WO2008129073A3 - Messanordnung sowie verfahren zum dreidimensionalen messen eines objekts - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf eine Messanordnung sowie ein Verfahren zum dreidimensionalen Messen von zumindest einem Teil eines Objekts (28) umfassend eine Lichtquelle (10) mit einem kontinuierlichen Spektrum, eine Einrichtung (14) zur Erzeugung eines multifokalen Beleuchtungsmusters (16), ein Objektiv (18) mit großer chromatischer Aberration zur Abbildung von Foki des Beleuchtungsmusters auf das Objekt, eine Detektiereinheit (40) zur Ermittlung der Wellenlängenspektren der konfokal über das Objektiv auf das Objekt abgebildeten Foki sowie eine spektraldispersive Einrichtung (34, 36, 38), die zwischen den konfokal abgebildeten Foki und der Detektionseinrichtung angeordnet ist. Um auch bei bewegten Objekten in relativ kurzer Zeit ein Oberflächenprofil erstellen zu können, das eine hohe Genauigkeit aufweist, wird vorgeschlagen, dass in der Ebene der konfokal abgebildeten Foki ein erstes Lochmuster (30) mit ersten Löchern (32) angeordnet ist, wobei geometrische Anordnung der ersten Löcher geometrischer Anordnung der Foki des multifokalen Beleuchtungsmusters entspricht.
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