DE4035799C2 - Vorrichtung zur dreidimensionalen optischen Untersuchung eines Objektes - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur dreidimensionalen optischen Untersuchung eines Objektes nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.

Eine derartige Vorrichtung mit Verwendung eines CCD-Empfängers und eines zweidimensionalen Arrays von Löchern in einer beleuchteten Schicht ist für ein Scanning-Mikroskop aus der US 4 806 004 bekannt. Dort ist jedoch nur angegeben, daß das Objekt in verschiedenen Schichtebenen beobachtet werden kann. Vor allem wird dort die Blendenwirkung des CCD-Empfängers nicht ausgenutzt, d. h. die Tatsache, daß er aus rasterförmig angeordneten lichtempfindlichen Bereichen besteht, deren Abmessungen erheblich kleiner sind als ihre Abstände voneinander.

In dem oben angegebenen US-Patent ist der konfokale Strahlengang vielmehr nur bei einem Auflichtmikroskop verwirklicht, bei welchem die zum Objekt gehenden Strahlenbündel durch dasselbe Löcher-Array gehen wie die vom Objekt reflektierten Strahlenbündel. Daher ist es notwendig, durch ein als Okular bezeichnetes optisches Element das Löcher-Array in eine Ebene abzubilden, in der es beobachtet oder aufgenommen wird. Für den letzten Fall ist unter anderem eine Videokamera mit einem CCD-Empfänger angegeben, deren Bilder gespeichert und ausgewertet werden können.

Bei der vorliegenden Erfindung wird dagegen immer ein CCD-Empfänger benutzt und seine im allgemeinen nachteilige Eigenschaft ausgenutzt, daß nur ein kleiner Anteil der Empfängerfläche aus lichtempfindlichen Bereichen besteht.

In der DD 2 73 122 ist ein Lichtrastermikroskop beschrieben, bei dem zwar eine Blende mit lichtempfindlichen Schichten versehen ist, so daß die Randbereiche der Blende gleichzeitig auch als Detektor dienen. Diese Blende ist jedoch nicht in einer zur Objektoberfläche konjugierten Ebene angeordnet, d. h. die Fokusebene wird nicht in die Blendenebene abgebildet. Die Blende und damit die auf der Blende aufgebrachten Detektoren sind vielmehr entweder auf der dem Objekt zugewandten Seite des Objektivs oder im telezentrischen Strahlengang angeordnet. Eine tiefenselektive Messung wie die Aufzeichnung von Ober­ flächenprofilen ist daher mit dieser Vorrichtung nicht möglich.

Aus dem Aufsatz in Appl. Phys. Lett. 53 (8), 716 (1988), ist eine Vorrichtung zur dreidimensionalen optischen Untersuchung eines Objektes bekannt, bei der in einer zur Bildebene eines Mikroskopobjektivs konjugierten Ebene eine rotierende Nipkow-Scheibe angeordnet ist. Sowohl das Beleuchungslicht als auch das am Objekt reflektierte Licht transmittiert durch die kleinen Öffnungen der Nipkow- Scheibe, wodurch das außerhalb der Bildebene des Mikroskopobjektivs reflektierte Licht unterdrückt wird und daher Schnittbilder erzeugt werden. Das System dient jedoch nur zur Erzeugung von Schnittbildern in Echtzeit zur visuellen Beobachtung oder zur photographischen Aufzeichnung.

Schließlich ist ein konfokales Scanning-Mikroskop in einer Veröffentlichung von D. K. Hamilton e. a. (Appl. Phys. B 27, 211 [1982]) beschrieben. Scanning- Mikroskope mit konfokalem Strahlengang, bei dem eine sog. Punktlichtquelle in eine Ebene des Objektes und diese Ebene des Objektes auf einen sog. Punktempfänger bzw. eine Lochblende, hinter der ein Empfänger sitzt, abgebildet wird, haben die Eigenschaft, sehr höhenselektiv zu sein, d. h. Ebenen, die nur einen geringen Abstand voneinander haben, optisch zu trennen. In der oben zitierten Veröffentlichung wird diese Eigenschaft dazu benutzt, ein Oberflächenprofil eines Halbleiterbauelementes aufzunehmen. Dafür wird für jede x-y-Lage des Lichtpunktes das Objekt in z-Richtung (Richtung der optischen Achse) bewegt und der Intensitätsverlauf gemessen. Da dieser ein ausgeprägtes Maximum hat, wenn das Bild des Lichtpunktes genau auf der Oberfläche liegt, kann für jeden Punkt in der x-y-Ebene die Höhe der Oberfläche in z-Richtung bestimmt werden und auf diese Weise zeitlich nacheinander das gesamte Oberflächenprofil des Objektes aufgenommen werden. Ein Nachteil dieser bekannten Vorrichtung ist, daß die Aufnahme eines Oberflächenprofils relativ viel Zeit erfordert.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zu schaffen, mit der in relativ kurzer Zeit Oberflächenprofile aufgenommen werden können.

Die gestellte Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kennzeichnende Merkmalskombination des Anspruchs 1 gelöst.

Vorteilhafte Ausgestaltungen sind in den Unteransprüchen 2 bis 15 aufgezeigt.

Die erfindungsgemäße Lösung hat den Vorteil, daß die Aufnahme eines Oberflächenprofils infolge des Beleuchtungsrasters nicht nur schnell geht, sondern daß auch unmittelbar eine höhenselektive Betrachtung möglich ist, da durch den konfokalen Strahlengang die Intensität der von den einzelnen Objektstellen reflektierten Strahlungen unmittelbar von den Höhen der betreffenden Stellen des Objektes abhängt, so daß jedes Rasterelement eine Information über die Höhe der Oberfläche an der zu ihm gehörenden Stelle des Objektes gibt und damit die Intensitätsverteilung über der Oberfläche unmittelbar einen Überblick über die Höhenverteilung der Objektoberfläche gibt. Insbesondere lassen sich dadurch, wenn das Objekt relativ zum Strahlengang in Richtung der optischen Achse bewegt wird, sehr einfach die Bereiche mit gleicher Höhe der Oberfläche feststellen.

Bei Objekten mit reflektierenden Bereichen in oder unter einer transparenten Schicht ergeben sich für die Abhängigkeit der Intensität von der Höhe im Objekt Reflexionsprofile mit einem kleinen Maximum für die Oberfläche der transparenten Schicht und einem großen Maximum für den reflektierenden Bereich. Daher ist es mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung möglich, nicht nur Oberflächenprofile zu untersuchen, sondern auch Strukturen innerhalb oder unter transparenten Schichten.

In einer vorteilhaften, einfachen Ausführungsform der Erfindung wird das Beleuchtungsraster durch Löcher in einer Schicht realisiert, die durch eine Lichtquelle beleuchtet wird. Um eine größere Intensität der beleuchteten Löcher - im folgenden auch kurz als Lichtpunkte bezeichnet - zu erreichen, kann vor der Schicht mit den Löchern ein Linsen-Array angeordnet werden, welches dafür sorgt, daß die Strahlung der Lichtquelle die Schicht nicht gleichmäßig ausleuchtet, sondern auf die Löcher konzentriert wird.

Normalerweise werden der CCD-Empfänger und das Beleuchtungsraster zueinander so justiert, daß die in die Blendenebene abgebildeten Lichtpunkte auf die lichtempfindlichen Bereiche des CCD-Empfängers fallen. In diesem Fall entstehen beim Durchfokussieren Intensitätsmaxima für diejenigen Objektstellen, deren reflektierende Flächen genau in der Fokusebene liegen.

Es ist jedoch auch möglich, den CCD-Empfänger und das Beleuchtungsraster zueinander so zu justieren, daß die in die Blendenebene abgebildeten Lichtpunkte zwischen die lichtempfindlichen Bereiche des CCD-Empfängers fallen. In diesem Fall entstehen beim Durchfokussieren Intensitätsminima für diejenigen Objektstellen, deren reflektierende Flächen genau in der Fokusebene liegen. Durch eine besondere Ausbildung des CCD-Empfängers, z. B. durch relativ großflächige lichtempfindliche Bereiche, kann dieser Effekt noch verstärkt werden.

Schließlich ist auch ein inverses Beleuchtungsraster möglich; d. h. das auf das Objekt und in die Blendenebene abgebildete Raster besteht nicht aus hellen Lichtpunkten, sondern aus einer hellen Fläche mit einer rasterförmigen Anordnung von kleinen dunklen Zonen. Ein derartiges Beleuchtungsraster, welches z. B. aus einer von der Lichtquelle beleuchteten Schicht mit lichtundurchlässigen Zonen besteht, liefert bei einem CCD-Empfänger mit kleinen lichtempfindlichen Bereichen, auf welche die dunklen Zonen abgebildet werden, ebenfalls Intensitätsminima für diejenigen Objektstellen, deren reflektierende Flächen genau in der Fokusebene liegen.

In einer anderen vorteilhaften Ausführungsform wird das Beleuchtungsraster durch ein Linsen- Array erzeugt, welches eine annähernd punktförmige Lichtquelle vielfach, in rasterförmiger Anordnung in die Beleuchtungsebene abbildet.

In einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform wird das Beleuchtungsraster dadurch erzeugt, daß eine von der Lichtquelle beleuchtete Blende vielfach, in rasterförmiger Anordnung in die Beleuchtungsebene abgebildet wird. Auch in diesem Fall kann ein inverses Beleuchtungsraster z. B. dadurch realisiert werden, daß die Blende ein lichtundurchlässiges Zentrum hat.

In einer besonders vorteilhaften Ausführungsform wird das Beleuchtungsraster durch ein Lichtquellen-Array erzeugt. Dieses kann z. B. aus einzelnen Leuchtdioden zusammengesetzt sein oder in integrierter Technik hergestellt werden. In beiden Fällen ist es ganz besonders vorteilhaft, die Arrays und ihre Spannungsversorgung so auszubilden, daß entweder jede einzelne Lichtquelle oder bestimmte Teilmengen der Lichtquellen unabhängig von den anderen ein- und ausgeschaltet werden können.

Zur Aufnahme der oben erläuterten höhenselektiven Übersichtsbilder ist es zweckmäßig, eine Verstellvorrichtung vorzusehen, welche es erlaubt, die Fokusebene mit den Bildern der Lichtpunkte auf verschiedene Schichtebenen des Objektes einzustellen. Zur Aufnahme vollständiger Reflexionsprofile mit guter Auflösung ist es zweckmäßig, eine Verstellvorrichtung vorzusehen, welche es erlaubt, das Beleuchtungsraster und das Objekt relativ zueinander in Ebenen senkrecht zur optischen Achse zu bewegen, so daß das Objekt mit dem Beleuchtungsraster abgescannt wird. Die Relativbewegung zwischen Lichtpunkten und Objekt kann dabei innerhalb des Abstandes benachbarter Lichtpunkte bleiben oder auch ein Vielfaches davon betragen.

In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist der CCD-Empfänger mit einem Computer verbunden, der die Signale des CCD-Empfängers auswertet. Es ist in diesem Fall vorteilhaft, die Verstellvorrichtungen für die relative Bewegung von Lichtpunkten und Objekt zueinander in Richtung der optischen Achse und/oder in den Ebenen der Lichtpunkte bzw. des Objektes durch den Computer zu steuern.

In einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird von dem Computer außerdem eine Schaltvorrichtung gesteuert, die unterschiedliche Teilmengen der Lichtquellen des Lichtquellen-Arrays ein- und ausschaltet. Dabei kann z. B. die Anzahl der eingeschalteten Lichtquellen von den Ergebnissen der Auswertung des Computers gesteuert werden, so daß in kritischen Bereichen eines Objektes der Streulichtanteil durch eine Verminderung der Anzahl der wirksamen Lichtquellen gesenkt werden kann.

Beim Abscannen eines Objektes kann es vorteilhaft sein, Beleuchtungsraster und CCD- Empfänger relativ zueinander in der Beleuchtungsebene bzw. in der Blendenebene durch eine Verstellvorrichtung, die zweckmäßigerweise vom Computer gesteuert wird, zu verschieben. Mit einem leistungsfähigen Computer können durch diese Verschiebung zusätzliche Informationen gewonnen werden, die eine genauere Auswertung ermöglichen. In diesem Fall muß das Rastermaß des Beleuchtungsrasters nur ungefähr gleich oder größer sein als das Rastermaß der lichtempfindlichen Bereiche des CCD-Empfängers.

Für eine möglichst geringe Tiefenschärfe der konfokalen Abbildung ist es vorteilhaft, an Stelle der üblichen kreisförmigen Telezentrie-Blende eine ringförmige Blende vorzusehen.

Die Erfindung wird im folgenden anhand von in den Fig. 1 bis 7 dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert. Dabei zeigt:

Fig. 1 eine Ausführung, bei der das Beleuchtungsraster durch eine beleuchtete Schicht mit Löchern erzeugt wird,

Fig. 2 eine Ausführung, bei der die Ausleuchtung der Löcher durch ein zusätzliches Linsen-Array verbessert wird,

Fig. 3 eine Ausführung, bei der das Beleuchtungsraster durch ein Halbleiter-Array erzeugt wird,

Fig. 4 eine Glasplatte mit einem Muster für ein inverses Beleuchtungsraster,

Fig. 5 eine Anordnung zur Erzeugung eines Beleuchtungsrasters durch vielfache Abbildung einer Lichtquelle mit einem Linsen-Array,

Fig. 6 eine Anordnung zur Erzeugung eines Beleuchtungsrasters durch vielfache Abbildung einer beleuchteten Blende mit einem Linsen-Array und

Fig. 7 ein Beispiel für die beleuchtete Blende in Fig. 6.

In Fig. 1 ist mit (11) eine Lichtquelle, z. B. eine Halogenlampe, bezeichnet, die mit Hilfe des Kondensors (11k), eventuell über ein Filter (11f) (zur Aussonderung eines ausreichend schmalen Spektralbereiches), Löcher 12l) in einer Schicht (12)s) beleuchtet. Eine derartige Schicht kann in bekannter Weise z. B. aus Chrom auf einer Glasplatte (12g) hergestellt weren. Die Löcher (12l) sind in der Schicht (12s) ebenso rasterförmig angeordnet wie die lichtempfindlichen Bereiche des CCD-Empfängers (17) und erheblich kleiner als ihr Abstand. Der Abstand der Löcher bzw. Bereiche von Mitte zu Mitte wird als Rastermaß bezeichnet.

Das durch die beleuchteten Löcher (12l) in der Schicht (12s) erzeugte Beleuchtungsraster liegt in der Beleuchtungsebene (11b). Diese wird durch die Linsen (13o, 13u) in die Fokusebene (13f) abgebildet, so daß in letzterer das Objekt (14) mit rasterförmig angeordneten Lichtpunkten beleuchtet wird. Bei nichttransparenten Objekten kann nur die Oberfläche (14o) beleuchtet werden, während bei transparenten Objekten auch Schichten (14s) im Inneren mit den Lichtpunkten beleuchtet werden können. Die vom Objekt in der Fokusebene (13f) reflektierten Lichtstrahlen werden von den Linsen (13u, 13o) über einen Strahlteiler (16) in der Blendenebene (17b) fokussiert. Die für eine konfokale Anordnung notwendigen Blenden werden in der Blendenebene (17b) realisiert durch die lichtempfindlichen Bereiche des CCD-Empfängers (17), die durch relativ große Zwischenräume voneinander getrennt sind. Zwischen den Linsen (13o, 13u) ist üblicherweise ein sog. Telezentrie-Blende (13t) angeordnet, welche dafür sorgt, daß der Mittenstrahl (13m) parallel zur optischen Achse (10) auf das Objekt (14) trifft, so daß die Lage der Lichtpunkte auf dem Objekt sich nicht ändert, wenn das Objekt (14) in Richtung der optischen Achse (10) bewegt wird.

Das Objekt (14) kann durch eine Verstellvorrichtung (15) in allen 3 Raumrichtungen bewegt werden, so daß verschiedene Schichten (14s) des Objektes (14) abgescannt werden können. Dabei kann die Bewegung in x- und y-Richtung kleiner gewählt werden als das Rastermaß der Lichtpunkte (12) bzw. des CCD-Empfängers (17). Selbstverständlich kann die Bewegung des Objektes (14) in z-Richtung auch durch Verschieben der Linsen (13o, 13u) in Richtung der optischen Achse (10) erreicht werden, und ebenso können anstelle der Bewegung des Objektes in x- und y-Richtung auch die Schicht (12s) mit den Löchern (12l) und CCD-Empfänger (17) entsprechend bewegt werden.

Die Signale des CCD-Empfängers (17) werden über die Verbindungsleitung (17v) in einen Computer (18) übertragen, der in bekannter Weise die Auswertung übernimmt und auf einem Bildschirm (18b) die Ergebnisse der Auswertung z. B. in Form von graphischen Darstellungen wiedergibt. Der Computer (18) kann auch über die Verbindungsleitung (18v) die Verschiebung der Fokusebene (13f) im Objekt und das Scannen in x- und y-Richtung steuern. Diese Steuerung kann im Computer als festes Programm vorliegen oder abhängig von den Ergebnissen der Auswertung erfolgen.

In Fig. 2 ist zwischen dem Kondensor (11k) bzw. dem Filter (11f) und der Schicht (12s) mit den Löchern (12l) ein Linsen-Array (22a) angeordnet, welches ebenso viele kleine Linsen (22l) enthält wie die Schicht (12s) Löcher (12l) hat. Die Linsen (22l) haben die Aufgabe, Bilder der Leuchtwendel der Lichtquelle (11) in die Löcher abzubilden und damit den Lichtpunkten eine größere Intensität zu geben.

Das Linsen-Array (22a) und die Schicht (12s) mit den Löchern (12l) können - wie dargestellt - in einem gemeinsamen Teil (22g) vereinigt sein.

Eine besonders vorteilhafte Realisierung des Beleuchtungsrasters ist in Fig. 3 dargestellt. Dort ist mit (31) ein Lichtquellen-Array bezeichnet, welches z. B. aus Lumineszenzdioden (LEDs) (31l) bestehen kann. Ein derartiges Array mit einer Größe von z. B. 10×10 Dioden läßt sich z. B. aus handelsüblichen Mini-Dioden mit einem Rastermaß von 2,5 mm zusammensetzen und hat daher eine Gesamtgröße von 2,5 cm×2,5 cm. Es wird im Maßstab von ca. 1:5 in die Beleuchtungsebene (11b) durch das Objektiv (31o) so abgebildet, daß es ungefähr die Größe der gesamten lichtempfindlichen Fläche des CCD-Empfängers von 5 mm×5 mm erhält. Vom CCD-Empfänger (17) werden in diesem Fall nur 100 lichtempfindliche Bereiche mit einem Rastermaß von ca. 0,5 mm×0,5 mm ausgenutzt. Trotzdem ergibt sich durch die 100 Lichtpunkte ein erheblicher Zeitgewinn gegenüber dem Scannen mit nur einem Lichtpunkt.

Auch in diesem Fall kann es vorteilhaft sein, in der Beleuchtungsebene (11b) eine Schicht (32s) mit Löchern (32l) anzuordnen, damit die Lichtpunkte genügend kleine Abmessungen erhalten. Außer dem Objektiv (31o) für die verkleinerte Abbildung ist eine Feldlinse (31f) für die weitere Abbildung im konfokalen Strahlengang zweckmäßig.

Wesentlich vorteilhafter ist es, für das Beleuchtungsraster integrierte LED-Arrays zu verwenden.

Auch derartige LED-Arrays haben genauso wie das zusammengesetzte Array aus Mini- Dioden den Vorteil, daß definierte Teilmengen der LEDs ein- und ausgeschaltet werden können. In beiden Fällen kann das Ein- und Ausschalten vom Computer (18) über die Schaltvorrichtung (19) gesteuert werden.

Der in den Fig. 1 bis 3 dargestellte, konfokale Strahlengang zwischen Beleuchtungsebene (11b), Fokusebene (13f) und Blendenebene (17b) ist nur eine spezielle Ausführungsform von mehreren möglichen konfokalen Strahlengängen. Außerdem ist auch bei dem dargestellten Strahlengang eine Abbildung der Beleuchtungsebene (11b) in die Fokusebene (13f) im Maßstab 1:1 keineswegs notwendig. Vielmehr ist dabei nicht nur - wie von Mikroskopen bekannt - eine Verkleinerung, sondern auch eine Vergrößerung möglich, weswegen in der Überschrift auch nicht die Bezeichnung Mikroskop verwendet wurde.

In der Fig. 4 ist eine Glasplatte (41) für ein inverses Beleuchtungsraster dargestellt. Hier besteht die auf die Glasplatte aufgebrachte, lichtundurchlässige Schicht nur aus kleinen Zonen (42), welche durch relativ weite, lichtdurchlässige Bereiche voneinander getrennt sind.

In der Fig. 5 wird das Beleuchtungsraster durch ein Linsen-Array (53) erzeugt, welches durch ausreichend gute Abbildungseigenschaften von einer nahezu punktförmigen Lichtquelle (51) ausreichend kleine Lichtpunkte (54) in der Beleuchtungsebene (11b) herstellt. Die Kondensorlinse (52) bewirkt, daß das Linsen-Array (53) von einem Parallelbündel durchsetzt wird, so daß jede einzelne Linse (53l) optimal benutzt wird.

Fig. 6 zeigt eine Anordnung, bei der durch ein Linsen-Array (53) eine Blende (61) vielfach in die Beleuchtungsebene (11b) abgebildet wird. Diese Blende wird über den Kondensor (62) und die Streuscheibe (63) von der Lichtquelle (11) beleuchtet. Als Blende sind die verschiedensten Ausführungsformen möglich. Als Beispiel zeigt die Fig. 7 eine Blende (61) mit quadratischer Begrenzung des lichtdurchlässigen Bereiches (71) und einem lichtundurchlässigen Zentrum (72) für ein inverses Beleuchtungsraster. Natürlich sind auch Blenden für ein Beleuchtungsraster aus Lichtpunkten etc. möglich.

Claims (16)

1. Vorrichtung zur dreidimensionalen optischen Untersuchung eines Objektes,

• - mit einer Lichtquelle (11), die ein in einer Beleuchtungsebene (11b) angebrachtes Beleuchtungsraster (12l, 31l, 32l) beleuchtet,
• - mit optischen Elementen (13o, 13u), die das Beleuchtungsraster (12l, 31l, 32l) in eine Fokusebene (13f) am Ort des zu beobachtenden Objektes (14, 14s) und das von dort abgestrahlte Reflexlicht in eine konfokal zu dem Beleuchtungsraster (12l, 31l, 32l) angeordnete Blendenebene (17b) abbilden,
• - und mit einem CCD-Empfänger (17) mit voneinander getrennten, lichtempfindlichen Bereichen, der das von den optischen Elementen (13o, 13u) übertragene Reflexlicht des Objektes (14) konfokal registriert,

dadurch gekennzeichnet,

• - daß der CCD-Empfänger (17) in der Blendenebene (17b) angeordnet ist
• - und das Beleuchtungsraster (12l, 31l, 32l) mit einem Rastermaß auf den CCD-Empfänger (17) abgebildet wird, welches mit dem Rastermaß der lichtempfindlichen Bereiche des CCD- Empfängers (17) übereinstimmt oder ein ganzzahliges Vielfaches von diesem ist,
• - so daß bereits die Zwischenräume zwischen den voneinander getrennten, lichtempfindlichen Bereichen des CCD-Empfängers (17) die konfokale Anordnung des CCD-Empfängers bewirken.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Beleuchtungsraster aus Löchern (12l) besteht, die in eine lichtundurchlässige Schicht (12s) eingebracht sind und von der Lichtquelle (11) beleuchtet werden.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Beleuchtung der Löcher (12l) durch ein Linsenarray (22a) hindurch erfolgt und hierzu einem jeden Loch (12l) eine eigene Linse zugeordnet ist.

4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Beleuchtungsraster (12l, 31l, 32l) als inverses Beleuchtungsraster ausgebildet ist und aus einer von der Lichtquelle (11) beleuchteten, transparenten Schicht mit kompakten, lichtundurchlässigen Bereichen (42) besteht, deren Abmessungen klein gegen die dazwischenliegenden, lichtdurchlässigen Bereiche sind.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Beleuchtung der lichtdurchlässigen Bereiche durch ein Linsenarray (22a) hindurch erfolgt und hierzu einem jeden lichtundurchlässigen Bereich eine eigene Linse zugeordnet ist.

6. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Beleuchtungsraster (12l, 31l, 32l) durch ein Linsenarray (53) erzeugt ist, das eine von der Lichtquelle (11) beleuchtete Lochblende (61) vielfach in rasterförmiger Anordnung in die Beleuchtungsebene (11b) abbildet.

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Lochblende (61) ein lichtundurchlässiges Zentrum (72) hat und als Ringblende ausgebildet ist.

8. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Beleuchtungsraster (12l, 31l, 32l) als ein aus punktförmigen Lichtquellen bestehendes Lichtquellenarray ausgebildet ist.

9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquellen (31l) des Lichtquellenarrays (31) einzeln oder in Teilmengen ein- oder ausschaltbar sind.

10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß über eine Verstellvorrichtung (15) die Fokusebene (13f) auf verschiedene Schichtebenen (14s) innerhalb des Objektes(14) einstellbar ist und/oder das Beleuchtungsraster (12l, 31l, 32l) und das Objekt (14) relativ zueinander in Ebenen senkrecht zur optischen Achse bewegbar sind.

11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß der CCD-Empfänger (17) mit einem Computer (18) verbunden ist, der die Signale des CCD-Empfängers (17) auswertet.

12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Computer (18) die Einstellung der Fokusebene (13f) auf verschiedene Schichtebenen (14s) des Objektes (14) und/oder die Relativbewegung zwischen Beleuchtungsraster (12l, 31l, 32l) und Objekt (14) über die Verstellvorrichtung (15) vornimmt.

13. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Computer (18) die Lichtquellen (32l) des Lichtquellenarrays einzeln oder in Teilmengen über eine Schaltvorrichtung (19) abhängig von den Ergebnissen der Auswertung durch den Computer (18) ein- oder ausschaltet.

14. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Verstellvorrichtung (15v) durch den Computer (18) betätigt wird.

15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß in dem konfokalen Strahlengang eine ringförmige Telezentrierblende (13t) angeordnet ist.