DE19627568A1 - Anordnung und Verfahren zur konfokalen Mikroskopie - Google Patents
Anordnung und Verfahren zur konfokalen MikroskopieInfo
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Description
EP 0 320 760 B1 06.12.1988 McCarty (Baker Hughes)
DE P40 35 799.6 10.11.1990 Großkopf (Zeiss)
EP 539471 B1 16.07.1991 AMOS (Medical Research Council)
DE P 41 38 020.7 19.11.1991 Neumann (Iserlohn)
EP 0 539 691 A2 28.08.1992 Tanaami (Yokogawa)
US 5.162.941 10.11.1992 Lawrence (Wayne Universität)
DE 43 14 574 A1 29.04.1993 Kley
DE 43 33 620 A1 15.10.1993 Kley (JENOPTIK)
DE-C1 44 37 896 15.05.96 Leica
DE P40 35 799.6 10.11.1990 Großkopf (Zeiss)
EP 539471 B1 16.07.1991 AMOS (Medical Research Council)
DE P 41 38 020.7 19.11.1991 Neumann (Iserlohn)
EP 0 539 691 A2 28.08.1992 Tanaami (Yokogawa)
US 5.162.941 10.11.1992 Lawrence (Wayne Universität)
DE 43 14 574 A1 29.04.1993 Kley
DE 43 33 620 A1 15.10.1993 Kley (JENOPTIK)
DE-C1 44 37 896 15.05.96 Leica
Petrán, Hadravsky, Egger, Gamblos: "Tandem-scanning reflected-light microscop", Jour.
Opt. Soc. Amer., 68: 661-664
Kino et al, "Confocal Scanning Optical Microscopy, Physics Today, Sep. 1989 Pawley, "Handbook of Biological Confocal Microscopy", Sec. Edition 1995.
Kino et al, "Confocal Scanning Optical Microscopy, Physics Today, Sep. 1989 Pawley, "Handbook of Biological Confocal Microscopy", Sec. Edition 1995.
Die vorliegende Erfindung beschäftigt sich mit der Möglichkeit der schnellen
dreidimensionalen Abbildung von transparenten Objekten oder höhenstrukturierten
Flächen durch die Anwendung einer Vielzahl konfokaler Hilfsblenden (Pinholes) in einem
Abbildungsstrahlengang und einem entsprechend effektiven Scannen der Objektebene
sowie der Echtzeit-Bildbeobachtung sowohl mit dem bloßen Auge als auch mit
Bildaufnahmekameras.
Neben den konfokalen Laserscanningmikroskopen (CLSM), die nur einen sehr
aufwendigen und langsamen Aufbau des Bildes gestatten, haben sich vor allem
Anordnungen zum Scannen einer zu untersuchenden Objektebene mit Hilfe von
Nipkowscheiben etabliert.
Die erste in einem Tandem-Mikroskop benutzte Nipkowscheibe verwendete Petrán
1968. Sie bestand aus einer Kupferfolie, in die Löcher mit 30 bis 80 µm Durchmesser
gebohrt waren und in Form mehrerer links- und rechtsdrehender Archimedischer
Spiralen angeordnet wurden. Vorteil dieser Anordnung war derzeitig ein schneller
konfokaler Bildaufbau in Echtzeit für eine kontrastreiche visuelle Beobachtung.
Nachteile waren ein aufwendiger, gegen Dejustierung empfindlicher optischer
Gesamtaufbau mit einer schlechten Beleuchtungseffektivität. Durch den für konfokale
Nipkow-Einzelscheiben typische Bedeckungsgrade mit Lochflächen von wenigen
Prozent konnten nur einige Prozent der Leuchtenergie der Lichtquelle zur Beleuchtung
des Objektes wirklich genutzt werden. Dies war vor allem für Applikationen im Bereich
Fluoreszenz oft nicht genug für eine ausreichende Bildhelligkeit.
Weitere Probleme bei parallelen konfokalen Anordnungen sind ein durch Streuung an
der Lochscheibe stark aufgehellter Bild-Hintergrund, der den eigentlichen Bildinhalt
leicht überdecken kann.
Zur Verbesserung des störenden Streulichteinflusses einer einzelnen Nipkowscheibe
schlug Xiao und Kino et al 1987 eine geneigte Scheibe mit gerichtet reflektierender
Scheibenoberfläche vor, deren Beleuchtungs-Rückreflex kontrolliert ausgeblendet
wurde durch geringe Neigung der Scheibe gegen die optische Achse. Dadurch
entstehende metrische Verzerrungen der konfokalen Wirkung im Hauptstrahlengang
können bei manchen Applikationen akzeptiert werden, bei Anwendung der konfokalen
Mikroskope z. B. in der Mikroelektronik bei der Schaltkreiskontrolle jedoch nicht.
Eine enorme Verbesserung der Beleuchtungseffektivität konfokaler Anordnungen mit
Mehrfachblenden gelang durch Einsatz von Systemen von Paaren von Mikrolinsen mit
Blenden, die z. T. in ruhenden Beleuchtungsstrahlengängen zur Erzeugung von Arrays
von Beleuchtungsspots (DE 40 35 799 A1) aber vor allem in scannenden
Beleuchtungsstrahlengängen (US 5.162.941, JP 286.112/91, EP 0 539 691 A2) von
Anordnungen mit Nipkow-Doppelscheiben eingesetzt werden. Die refraktiven
Hilfslinsen oder Fresnellinsen sind im allgemeinen konzentrisch vor den Blenden
angeordnet und sammeln das Licht der Beleuchtungsquelle, bilden die Punktlichtquelle
in die konfokalen Blenden des Beleuchtungsstrahlenganges ab. So wird das reine
Vignettieren des Beleuchtungsbündels, wie dies bei Einsatz nur einer Nipkowscheibe
passiert, vermieden und die Beleuchtungseffektivität um mehr als eine Größenordnung
verbessert.
DE 44 37 896 beschreibt kleine ebene Spiegel als Reflexionsflächen auf einem
scheibenförmigen Strahlscanner.
Derartige Einscheibenanordnungen haben eine geringe Beleuchtungseffektivität.
Einen Vorschlag für die gleichzeitige Nutzung mehrerer Laser verschiedener
Farbemission in einem Laserscanning-Mikroskop ist im EP 539 471 B1 gemacht. Dort
werden in einem konventionellen Laserscanning-Mikroskop zwei körperlich gegenüber
einem Strahlteiler verschieden geneigte Laser in den Hauptstrahlengang gekoppelt und
die Fluoreszenzbilder beim konfokalen Bildaufbau mit zwei geeignet versetzten
Empfängern aufgenommen.
Beschrieben werden verschiedene Anordnungen zur zeitgleichen konfokalen
Beleuchtung einer Objektebene mit einer Vielzahl von geeignet divergierenden
Leuchtpunkten sowie zugehörigen Abbildungsgliedern und einer Vielzahl von Pinholes
zur konfokalen, kontrastreichen Abbildung in einem Beobachtungsgerät wie z. B. einem
Mikroskop.
In einer Ausführungsform wird das Beleuchtungsraster mit Hilfe einer oder mehrerer
wechselbarer Punktlichtquellen oder auch konventionellen Lichtquellen erzielt, welche
mit Teilerelementen wie z. B. polarisationsoptische Teiler und Phasenschieber sowie
einem sphärischen oder asphärischen Mikrospiegelarray in eine Objektebene abgebildet
werden. Die Applikation vorgenannter Mikrospiegelelemente erfolgt in gegenüber
bekannten Tandemanordnungen modifizierter Form. In einer weiteren Ausführung,
anwendbar sowohl in Nipkow-Doppelscheibenanordnungen als auch in
achssymmetrischen Doppelscheibenanordnungen, wird das Beleuchtungsraster durch
eine oder mehrere Punktlichtquellen oder auch konventionellen Lichtquellen erzielt, die
zeitgleich über eine angepaßte holographische Mikrooptik ebenfalls in die Objektebene
abgebildet werden. Im Hauptstrahlengang wird das Beleuchtungsraster durch das
Abbildungsobjektiv in eine optisch konjugierte Ebene mit einem geeigneten
Pinholeraster abgebildet, dabei konfokal begrenzt sowie über einen wählbaren
optischen Teiler und optische Hilfsmittel auf einen Kameradetektor oder zur visuellen
Beobachtung in Echtzeit transformiert. Die optische Anordnung zur konfokalen
Beleuchtung und Abbildung ist in der ersten Ausführung für einen großen
Wellenlängenbereich farblich korrigiert und für die zweite Ausführungsform für
ausgewählte Wellenlängen. Die Wirkung der Bauelemente der Beleuchtung beeinflußt
die Qualität der hochkorrigierten Abbildungsobjektive in keinem Fall negativ.
Die vorliegende Erfindung hat für Anordnungen mit multiplen konfokalen
Strahlengängen zur Aufgabe, eine hohe Effizienz der Beleuchtung mit einer
breitbandigen farblichen Korrektur des Beleuchtungs- und Abbildungszweiges zu
verbinden sowie Vereinfachungen in der Gesamtanordnung vorzuschlagen. Für
Anordnungen mit refraktorischen Einzellinsenarrays gelingt eine Korrektur für die
Abbildung von Lichtquellen in Blenden oder die Aufteilung in Beleuchtungsbündel mit
konfokalem Charakter bisher nur für eine Wellenlänge. Die Zusammenstellung von
achromatischen Mikrolinsensystemen im Beleuchtungszweig z. B. durch eine dritte oder
vierte Scheibe mit weiteren Mikrolinsen zum Aufbau eines farbkorrigierten
Beleuchtungssystemes erscheint technologisch und vom Aufwand für die Justierung
problematisch.
Eine Lösung für die vorliegende Aufgabe ist der Einsatz von vielen holographischen
Mikroelementen im Beleuchtungszweig und die optische Abtrennung dieser Elemente
aus dem Abbildungszweig, um die Korrekturen der Abbildung des
Beobachtungsobjektes nicht zu verschlechtern. Durch Wahl eines geeigneten
Einfallswinkels für eine monochromatische Punktlichtquelle (Laser) gelingt die vielfache
Abbildung der Punktlichtquelle in die Blenden der unteren Lochscheibe (oder die
Formierung eines vielfachen, konfokalen Beleuchtungsbüschels). Für weitere,
bevorzugte und monochromatische Beleuchtungs-Wellenlängen gelingt durch Wahl
anderer Einfallswinkel relativ zu den holographischen Mikroelementen eine farblich
korrekte Abbildung einer zweiten resp. weiterer Punktlichtquellen. Dabei wird das
Design der holographischen Abbildung so gewählt, daß der Ort des Bildes der
Punktlichtquelle bei den ausgewählten Wellenlängen übereinstimmt. Dazu wird neben
dem Einfallswinkel der Beleuchtungsbündel u. a. auch der optische Abstand oder die
Apertur der verschiedenen Punktlichtquellen zur Scheibe mit den holographischen
Elementen geeignet gewählt. Eine Unterstützung der farblich korrekten Abbildung für
verschiedene Punktlichtquellen gelingt zusätzlich durch einen möglichen Einsatz von
refraktiven Hilfslinsen, die z. B. an den Wechsel vom dichroitischen Teilerelement
gekoppelt sein könnten. Die Realisierung der vielen holographischen Mikroelemente der
Scheibe kann nach verschiedenen Verfahren erfolgen. Eine erste Möglichkeit ist die
numerische Berechnung von Mikro-Hologrammen, die mit den oben genannten
Randbedingungen zu erfolgen hat. Entscheidende Parameter sind die Auswahl der
später benutzten Beleuchtungs-Wellenlängen und der günstigsten Einfallswinkel zur
Erzielung einer hohen Beugungseffektivität sowie die Berücksichtigung von Effekten aus
sekundären Bildern. Um einen hohen Kontrast in der Beleuchtung zu erreichen, sind die
erzeugenden Parameter des Hologramms den geometrischen Randbedingungen der
Form des Beleuchtungsarrays anzupassen. Dazu sind die sekundären Bilder so zu legen,
daß sie nicht im Bereich der Blendenlöcher zu liegen kommen. Eine zweite Möglichkeit
zur Erzeugung vieler holographischer Mikroelemente ist das mehrfache Einbelichten
eines Amplituden- oder Phasenhologramms in eine Trägerplatte unter Berücksichtigung
der später erwünschten Beleuchtungsrichtungen und -Wellenlängen. Beim Erzeugen
von Hologrammen sind als Randbedingung der Belichtung die spektrale Empfindlichkeit
der Photolacke und die Wirkung der Hologramme bei den eigentlichen
Arbeitswellenlängen in Übereinstimmung zu bringen.
In einer weiteren, vorteilhaften Ausführungsform werden die Abbildungselemente für
die Lichtquelle als eine Vielzahl von geformten Spiegeln mit sphärischen oder
asphärischen Flächen ausgebildet. Die farbrichtige Abbildung ist den Spiegeln
innewohnend wie auch die sphärischen Abbildungsfehler bei nicht zu großen Öffnungen
des Beleuchtungsbündels geringer als bei refraktorischen Linsen gleicher Brechkraft
sind. Der für Abbildungen mit geformten Spiegeln vorteilhafte senkrechte Einfall des
Bündels (axiale Nutzung) wird durch geeignete polarisationsoptische Hilfsmittel oder
für Weißlichtquellen auch durch konventionelle Teilerelemente realisiert. Wenn das Licht
der Beleuchtungsquelle linear polarisiert ist, was bei Lasern ohne Verlust an Lichtleistung
leicht realisierbar ist und vorteilhaft auch über polarisationserhaltende Fasern geführt
werden kann ist die Einkopplung der Quelle in den Beleuchtungsstrahlengang
besonders effektiv möglich. Bei Nutzung von unpolarisierten Weißlichtquellen für eine
Beleuchtung kann ein Polarisator in der Abbildung der Lichtquelle eingebunden sein,
um polarisationsoptische Teilerelemente einsetzen zu können. Die resultierende
Lichtleistung des Beleuchtungszweiges wird dadurch natürlich einschränkt. Ein
Polarisations-Strahlungsteiler reflektiert das gesamte Beleuchtungsbündel in Richtung
der Flächennormalen der Platte mit den abbildenden Spiegeln. Um einen effektiven
Durchgang des Beleuchtungslichtes durch den Polarisations-Strahlungsteiler zu
erreichen wird im Beleuchtungsstrahlengang vor den Mikrospiegeln eine geeignete λ/4-
Platte angeordnet, die die Polarisationsebene bei zweimaligem Lichtdurchtritt um 90°
dreht und die nach den abbildenden Spiegeln entstehende Teilbündel ungehindert
durch den Polarisations-Strahlungsteiler durchtreten läßt. Damit ist eine nahezu gleich
große Beleuchtungseffektivität der Doppelscheibenanordnung mit abbildenden Spiegeln
wie mit einer Doppelscheibenanordnungen mit transmittiven Abbildungselementen bei
der vielfachen Abbildung der Punktlichtquelle möglich. Die Abbildung der
Punktlichtquelle über die geformten Spiegel wird bildseitig so dimensioniert, daß das
Bild der Punktlichtquelle die Größe der Blenden nicht überschreitet und der
Beleuchtungskegel die bildseitig aufnehmbare Apertur des Abbildungsobjektives
ausfüllt. Der freie Durchmesser der Spiegelelemente wird vor allen Dingen den
Bedürfnissen einer hohen Flächendeckung im relevanten Beleuchtungsbündel mit
"abbildenden Flächenanteilen" angepaßt, ohne daß es zu Flächenüberschneidungen
von Spiegel zu Spiegel kommen darf. Das Verhältnis Spiegeldurchmesser zum mittleren
Krümmungsradius ist für die meisten Anwendungsfälle sehr klein, so daß die Abbildung
über die Spiegel im paraxialen Raum stattfindet. Damit die zwischen den Spiegeln
liegenden Bereiche der Scheibe die Beleuchtungsverhältnisse nicht stören, können drei
Wege beschritten werden:
die "störenden" Flächenanteile der Spiegel-Scheibe werden technologisch geeignet geschwärzt, um eine Reflexion daran zu vermeiden und keinen Beleuchtungshintergrund zu erzeugen,
die "störenden" Flächenanteile der Spiegel-Scheibe werden wie die eigentlichen Spiegelflächen verspiegelt; die Reflexion des einfallenden Beleuchtungsbündels auf ebene Bereiche der Spiegel-Scheibe führt im Fall der Doppelscheibenanordnung auf Bereiche der Lochscheibe, die keine konfokalen Blenden enthält und somit das Störlicht vignettiert wird,
die "störenden" Flächenanteile der Spiegel-Scheibe werden entspiegelt; das Falschlicht tritt durch die Spiegel-Scheibe und kann dort unproblematisch beseitigt werden.
die "störenden" Flächenanteile der Spiegel-Scheibe werden technologisch geeignet geschwärzt, um eine Reflexion daran zu vermeiden und keinen Beleuchtungshintergrund zu erzeugen,
die "störenden" Flächenanteile der Spiegel-Scheibe werden wie die eigentlichen Spiegelflächen verspiegelt; die Reflexion des einfallenden Beleuchtungsbündels auf ebene Bereiche der Spiegel-Scheibe führt im Fall der Doppelscheibenanordnung auf Bereiche der Lochscheibe, die keine konfokalen Blenden enthält und somit das Störlicht vignettiert wird,
die "störenden" Flächenanteile der Spiegel-Scheibe werden entspiegelt; das Falschlicht tritt durch die Spiegel-Scheibe und kann dort unproblematisch beseitigt werden.
Fig. 1: Anordnung mit Nipkow-Doppelscheibe für effektive konfokale Beleuchtung und
Beobachtung,
Fig. 2: konfokale Anordnung mit Nipkow-Doppelscheibe und holographischen, den
Beleuchtungswellenlängen angepaßten Abbildungselementen,
Fig. 2a: Anordnung für eine modifizierte Köhlersche Beleuchtung mit Nipkow-
Doppelscheibe und abbildenden Mikroelementen sowie Streulichtblende,
Fig. 2b: Anordnung für eine modifizierte Köhlersche Beleuchtung mit Dx Dy scannender
Doppelscheibe und abbildenden Mikroelementen sowie Streulichtblende,
Fig. 2c: Anordnung für eine Beleuchtung mit mehreren Laserquellen mit Dx Dy
scannender Doppelscheibe und holographischen Abbildungselementen sowie
Streulichtblende,
Fig. 2d: Anordnung für eine modifizierte Köhlersche Beleuchtung mit stehender
Doppelscheibe, stellbaren Blendenelementen und drehender Keilplatte sowie
Streulichtblende,
Fig. 2e: konfokale stationäre Doppelscheiben-Anordnung mit stellbaren
Pinholedurchmessern und zwei gegensinnig synchronisiert drehenden Keilplatten sowie
holographischen Abbildungselementen für farblich korrekte Abbildung,
Fig. 4f: Anordnung für die Belichtung eines Hologrammes mit mehreren Laserquellen als
einzelne Trägerscheibe und darauf entstehenden mikroholographischen
Abbildungselementen,
Fig. 3: konfokale Anordnung mit Nipkow-Doppelscheibe und System aus abbildenden
Spiegeln für effektive, farbrichtige Beleuchtung und Abbildung bei Einsatz von
Laserlichtquellen,
Fig. 3a: konfokale Tandem-Anordnung mit Nipkow-Doppelscheibe und modifizierte
Köhlersche Beleuchtung sowie Teiler im parallelen Strahlengang und zusätzliche
Streulichtblende,
Fig. 3b: konfokale, modifizierte Tandem-Anordnung mit Nipkow-Doppelscheibe und
System aus Paaren von abbildenden Spiegeln und Blenden für Beleuchtung durch Laser
mit Mehrfachlinien,
Fig. 4: konfokale, modifizierte Tandem-Anordnung mit Dx Dy scannender
Doppelscheibe und angepaßter Köhlerscher Beleuchtung für konventionelle Linien- oder
Bandenlichtquellen,
Fig. 4a: konfokale, modifizierte Tandem-Anordnung mit Dx Dy scannender
Doppelscheibe aus periodischen Paaren von Mikrospiegeln und Blenden sowie
diffraktiver Einkopplung mehrerer Laser,
Fig. 4b: konfokale, modifizierte Tandem-Anordnung mit Dx Dy scannender
Doppelscheibe sowie dichroitischer Einkopplung mehrerer Laser oder/und Laser mit
Mehrfachlinien,
Fig. 4c: konfokale stationäre Doppelscheiben-Tandem-Anordnung mit stellbaren
Pinholedurchmessern und synchron laufenden Keilplatten sowie dichroitischer
Einkopplung mehrerer Laser,
Fig. 4d: konfokale stationäre Doppelscheiben-Tandem-Anordnung mit stellbaren
Pinholedurchmessern und synchron-laufenden Ablenkplatten sowie diffraktiver
Einkopplung mehrerer Laser.
In Fig. 1 ist der Stand der konfokalen Mikroskopie bei Scannern mit Nipkowscheibe
schematisch dargestellt (EP 539691 A2). Die Anordnung zur Effektivierung der
Beleuchtung besteht hauptsächlich aus zwei verbundenen optischen Trägerscheiben
1.1, 1.3:
- - mit erstens einem System aus Spiralen mit Mikrolinsen 1.2 mit vorgewählter Brennweite und spezifischer Lage der Mikrolinsen zueinander, die einen hohen Bedeckungsgrad auf der Trägerscheibe 1.1 gewährleisten
- - und zweitens einer unteren Trägerscheibe 1.3 mit konzentrisch zu den Mikrolinsen liegenden System aus Lochblenden 1.4, wobei die Trägerscheiben 1.1; 1.3 um eine gemeinsame Drehachse 1.5 rotieren. Das kollimierte Licht einer nicht dargestellten Laserlichtquelle 1.6 gelangt durch die Scheibenanordnung und ein Abbildungsobjektiv 1.7 in eine Objektebene 1.8. Das von der Objektebene zurückkehrende Licht wird von einem Strahlteilerelement 1.9 in Richtung einer Abbildungsoptik 1.10 umgelenkt, die das vom Abbildungsobjektiv 1.7 erzeugte Zwischenbild in eine Bildebene 1.11 abbildet.
Eine monochromatische Lichtquelle 1.6 (Laser) beleuchtet mit einem kollimierten Bündel
eine Anzahl der Mikrolinsen 1.2, die die Punktlichtquelle in die zugeordneten Blenden
1.4 abbildet. Die Mikrolinsen 1.4 haben dabei eine lichtsammelnde Wirkung neben der
Abbildungsfunktion. Die Dimensionierung der Abbildung erfolgt dergestalt, daß die
Bilder der Lichtquelle innerhalb der Blenden 1.4 liegen und die bildseitige
Bündelöffnung ausreicht, das eigentliche Abbildungsobjektiv vollständig auszuleuchten.
Dies ist erforderlich, um die lateral-mögliche Auflösung der Abbildung des Objektes zu
erreichen. Durch das Abbildungsobjektiv werden die sekundären Punktlichtquellen - das
System aus leuchtenden Spiralpunkten - in die Objektebene 1.8 abgebildet. So entsteht
eine effektive, parallele konfokale Beleuchtung in der Objektebene 1.8, die bis zu 80%
der Leuchtenergie der Quelle ausnutzt.
Durch eine relativ schnelle Rotation des Doppelscheibensystems und eine geeignete
Wahl der Form der Spiralen auf den Doppelscheiben ist die Beobachtung des
Objektbildes in der Okularebene in Echtzeit für den Beobachter möglich. Die optische
Bildwechselfrequenz kann durch die Wahl der Anzahl der Spiralarme und die Drehzahl
der Doppelscheibe in einem weiten Bereich verändert werden und z. B. den
Bedürfnissen der Beobachtung mit einer Kamera angepaßt werden (Anpassung auf
Videofrequenz).
Zur Herstellung von Mikrolinsen sei nochmals auf DE 43 33 620 A1 sowie DE 43 14 574 A1
hingewiesen.
In Fig. 2 ist eine mögliche Ausführungsform gemäß Anspruch zur effektiven
Beleuchtung mit mehreren farblich unterschiedlichen Beleuchtungsquellen für die
konfokale Mikroskopie bei Scannern mit Nipkow-Doppelscheibe schematisch
dargestellt. Die Anordnung besteht aus zwei verbundenen optischen Trägerscheiben:
- - mit erstens einem System aus holographischen Elementen mit vorgewählter Übertragungslänge und spezifischer Lage und Größe der Abbildungselemente zueinander, die einen hohen Bedeckungsgrad mit abbildenden Flächenanteilen auf der Trägerscheibe gewährleisten soll.
- - und zweitens einer unteren Trägerscheibe mit konzentrisch zu den holographischen Elementen liegenden Blenden, deren Abstand zueinander den Bedürfnissen einer konfokalen Wirkung entsprechen muß.
In einer oberen Trägerscheibe 2.1 sind mehrfachbelichtete holographische Elemente 2.2
vorgesehen, eine untere Trägerscheibe 2.3 weist optisch konjugierte Lochblenden 2.4
auf.
Beide Trägerscheiben 2.1; 2.3 rotieren um eine gemeinsame Drehachse 2.5.
Es sind mehrere Laserlichtquellen 2.6.1, 2.6.2, 2.6.3 dargestellt, wobei Laser 2.6.2 und
2.6.3 Einstrahlwinkel α, β zur Senkrechten aufweisen.
Die Beleuchtung erfolgt durch ein Abbildungsobjektiv 2.7 in Richtung einer
Objektebene 2.8.
Dichroitische Teiler 2.9.1, 2.9.2, 2.9.3 sind wahlweise in den Strahlengang einschiebbar,
wobei den Lasern ein entsprechend ihrer Wellenlänge als Kurzpaß abgestimmter Teiler
zugeordnet ist, der das Laserlicht in Richtung der Objektebene 2.8 durchläßt und
langwelligere Anteile in Richtung der Abbildungsoptik 2.10 und der
Bildebene 2.11 reflektiert. Es können auch Teilerelemente vorgesehen sein, die für
mehrere Laserwellenlängen gleichzeitig geeignet sind.
Die holographischen Elemente 2.2 müssen optisch korrekte, möglichst effektive
Abbildungen verschiedener, ausgewählter Punktlichtquellen in das Blendensystem der
unteren Scheibe 2.3 realisieren. Um sogar gleichzeitig verschiedene Wellenlängen zur
Beleuchtung zur Verfügung zu haben werden die Punktlichtquellen vorzugsweise unter
verschiedenen Einfallswinkeln zur Flächennormalen der oberen Trägerscheibe
eingestrahlt. Diese Winkel werden vorbestimmt beim Design der holographischen
Elemente. Dabei spielt eine hohe Beugungseffektivität in das für die Beleuchtung
genutzte diffraktive Bild der Punktlichtquelle bei den geeignet gewählten
Arbeitswellenlängen eine entscheidende Rolle. Die holographischen Elemente können
dabei entweder in Transmission oder auch in Reflexion benutzt werden. Für die Arbeit
in Reflexion wirkt in jedem Fall der dichroitische Teiler und die untere Scheibe (Abstand
zur oberen Trägerscheibe) mit dem System von Blenden als körperliche Einschränkung
für die Wahl eines Einfallswinkels. Die Laser 2.6.1, 2.6.2, 2.6.3 von Fig. 2 sollen die
Möglichkeit der transmittiven Wirkung des Hologramms charakterisieren.
Es sind sowohl Hologramme mit gemischter Arbeitsweise (transmittive und reflektive
Nutzung) als auch Hologramme mit Anwendung nur der transmittiven oder der
reflektiven Arbeitsrichtung anwendbar. Die einseitig genutzten Hologramme lassen eine
allgemein höhere Beugungseffektivität zu. Die Mikro-Hologramme können erstens
durch mathematische Verfahren berechnet werden, vorzugsweise in Form identischer
Strukturen für alle Elemente des abbildenden Systems. Um für alle holographischen
Elemente gleiche Wirkbedingungen bei der Beleuchtung zu haben, werden die
Punktlichtquellen in Wellenbündel umgewandelt, die die erforderliche Fläche
(annähernd gleich Abmaßen des Zwischenbildfeldes) am Ort der ersten Trägerscheibe
vollständig ausfüllen müssen. Die interessierenden Arbeitswellenlängen für das
Hologramms werden vorrangig aus geeigneten Laserquellen ausgesucht, wobei die
Wahl durch die Bedürfnisse der Fluoreszensapplikation aber auch anderer optischer
Anwendungen entscheidend geprägt wird. Die Wahl der Einfallswinkel wird, wie oben
erwähnt, vorrangig durch die bei den gewählten Wellenlängen mögliche
Beugungseffektivität aber auch durch konstruktive Randbedingungen der Anordnung
bestimmt. Das entstehende nutzbare Beugungsbild der verschiedenen Punktlichtquellen
muß bei allen gewählten Arbeitswellenlängen übereinstimmen,
nämlich in Richtung des gewünschten Beleuchtungskanals senkrecht zu den
Trägerscheiben liegen und die Blenden der zweiten Trägerscheibe sämtlich treffen.
Diese vorausberechnete Eigenschaft ist entscheidend für die richtige Wirkung des
optischen Bauelementes "Hologramm" im Bereich der Arbeitswellenlängen.
Beim Design des Hologrammes wird für jede Arbeitswellenlänge eine Beugungsordnung
als "Hauptbild" ausgewählt und die sekundären Beugungsordnungen wenig angeregt
oder in einem Abstand zum Hauptbild angesiedelt, der den Bereich zwischen den
Blenden des Blendensystems trifft. Hergestellt werden die synthetischen Hologramme
mit höherer Beugungseffektivität vorrangig durch elektronenlithographische
Belichtungsprozesse nach den berechneten Interferenzstrukturen. Die Auflösung der
berechneten Interferenzstrukturen solcherart hergestellten Oberflächenhologramme
wird begrenzt durch die beherrschbaren Datenmengen (Verarbeitungszeit) und die
Breite der erzeugbaren Strichstrukturen (Strichanzahl pro Flächeneinheit).
Eine weitere Möglichkeit zur Erzeugung eines Hologramms mit den erfinderisch
vorteilhaften Wirkungen ist das experimentelle Aufzeichnen eines Vielfach-
Hologrammes. In Fig. 4f ist das prinzipielle Aufzeichnungsverfahren für die
Mehrfachbelichtung eines konzentrischen Mehrfachhologrammes dargestellt.
Fig. 4f zeigt einen ersten kollimierten Laser 4.41, einen zweiten kollimierten Laser 4.42,
ein Blendenarray 4.43, ein Mikrolinsenarray 4.44 sowie eine
Trägerscheibe 4.45 mit Fotolack, Teilerspiegel 4.46, 4.47 sowie
Umlenkspiegel 4.48, 4.49, 4.50, 4.51,4.52,4.53.
Für die Belichtung des Hologrammes werden zur Erzeugung der Signalwelle zwei
Bauelemente eingesetzt: das sind erstens eine Anordnung von abbildenden
Miniaturelementen auf einer ersten Trägerplatte 4.44 (Linsen, diffraktive Linsen wie z. B.
Fresnellinsen) und als zweites konzentrisch zu den abbildenden Elementen liegende
Blendenelemente auf einer zweiten Trägerplatte 4.43. Diese können nach bekannten
Verfahren hergestellt werden (DE 43 14 574, DE 43 33 620). Die Dimensionierung der
optischen Bauelemente (z. B. Brennweite, freier Durchmesser, Abstand untereinander)
erfolgt nach konstruktiven Gesichtspunkten der endgültigen
Doppelscheibenanordnung. Die Dimensionierung der Pinholegeometrie erfolgt nach
Gesichtspunkten der Konfokalität der Doppelscheibenanordnung (Pinholedurchmesser,
Pinholeabstand). Für die Herstellung des holographischen Originales sind
Arbeitswellenlängen für die gewünschte Beleuchtungs-Applikation zu fixieren, die
Einfallswinkel und -Richtung bei der Nutzung des Hologrammes wie auch die anderen
konstruktiven Randbedingungen im oben erläuterten Sinne vorzubestimmen. Die
Wellenlängen zur experimentellen Erzeugung eines Original-Hologrammes werden aber
bestimmt durch die Empfindlichkeitsverteilungen geeigneter Photolacke auf einem
optischen Träger, in die die Hologramme eingeschrieben werden. In Anlehnung zu dem
oben erläuterten Vorgehen werden für solche Schreib-Wellenlängen die erzeugenden
Parameter wie Einfallswinkel und Wellenlänge des Referenzbündels sowie Abstand und
Bündeldurchmesser der Signal-Punktlichtquelle berechnet. Mit diesen Parametern
erfolgt die Belichtung des Original-Hologrammes in einem oder mehreren Schritten der
Belichtung. Die Interferenzfähigkeit von Referenz- und Signalwelle wird erreicht durch
die guten Kohärenzeigenschaften von Laserquellen speziell bei Einsatz von Gaslasern
sowie durch Wahl annähernd gleich langer optischer Lichtwege im Strahlengang der
Referenz- und Signalwelle. Eine gute Beugungseffektivität der holographischen
Elemente bei den Arbeitswellenlängen wird durch eine "Vorverzerrung" der
Interferenzstrukturen bei den Belichtungswellenlängen erreicht, d. h. wie schon erwähnt
durch Änderung des Einfallswinkels der Referenzwelle sowie des Abstandes der
Signalwellen vom Hologrammträger. Die beugende Wirkung eines
Oberflächenhologrammes kann zusätzlich verbessert werden durch Herstellung eines
Blazewinkels an den im Interferogramm entstehenden Belichtungsstrukturen. Eine hohe
Beugungseffektivität wird ebenfalls erreicht, wenn das Hologramm als ein Volumen-
Phasenhologramm ausbildet wird. Anschließend erfolgen mehrere technologische
Schritte der Fixierung, der Härtung, einer möglichen zusätzlichen strukturellen Prägung
oder einer Zusatzbeschichtung des Hologrammes.
Geeignete Replikationstechniken gestatten eine vorteilhafte Vervielfachung der Original-
Hologramme in Duplikat-Hologramme.
Zwischen den Trägerscheiben für die abbildenden Elemente und dem zugehörigen
Blendensystem ist ein optischer Teiler angeordnet, der von den beleuchtenden
Teilbündeln der Punktlichtquellenbilder durchstrahlt wird. Dieser Teiler hat die Aufgabe
der Trennung von Beleuchtungs- und Abbildungsstrahlengang. Vorzugsweise ist er als
dichroitischer Teiler bei Fluoreszenzapplikationen ausgelegt und gestattet die räumliche
Aufspaltung von Beleuchtungs- und Abbildungsbündel dergestalt, daß die
holographischen Elemente im bildgebenden Strahlengang nicht wirksam sind. Damit
bleiben die gesamten Korrekturen im Abbildungsstrahlengang erhalten und gestatten
den Aufbau des gesamten konfokalen Bildes beim hohen Standard des
Korrektionszustandes im System Objektiv-Okular. Der Teiler kann im Bedarfsfall den
Eigenarten der Fluoreszensbanden in Bezug zu den Anregungsbanden angepaßt sein
und die Reflexionskanten entsprechend gelegt werden. Damit ist eine mehrfache
Anregung mit verschiedenen Beleuchtungsquellen möglich, bei günstiger Lage der
Reflexionskante des dichroitischen Teilers. Möglich ist auch ein Design mit mehrfachen
Reflexionskanten bei geeigneten Paarungen Anregungs- zu Fluoreszensbanden, die eine
gleichzeitige Untersuchung mehrerer fluoreszierender Stoffe gestatten. Dies ist
insbesondere bei Untersuchungen zu Prozeßabläufen vorteilhaft. Bei ungünstiger Lage
der Absorptions- zur Fluoreszensbande der fluoreszierender Stoffe ist der Wechsel des
dichroitischen Teilers erforderlich, um die Trennung von Beleuchtung und Abbildung
optimal zu erreichen, denn die Intensität von Fluoreszensbildern ist, durch schlechte
Fluoreszenswirkungsgrade bedingt, bekanntermaßen sehr gering.
Trotz Rotation des Doppelscheibensystems für das Rastern des gesamten Objektfeldes
und damit verschiedener Konstellationen der diffraktiven Abbildungselemente zur
Beleuchtungsquelle ist eine korrekte Abbildung der Beleuchtungsquelle in die jeweiligen
Blenden möglich, da das Hologramm mit parallelen Bündeln beleuchtet wird und der
Einfallswinkel beibehalten bleibt. Um den Rasterprozeß für die Objektebene günstig
durchführen zu können, wird eine geeignete Anzahl und Form der Spiralen auf den
Doppelscheiben gewählt. Dadurch ist auch im Fall mehrerer Lichtquellen und diffraktiver
Abbildungselemente im Beleuchtungsstrahlengang die Beobachtung eines korrigierten
farbigen Objektbildes in der Okularebene in Echtzeit für den Beobachter möglich. Für
den Fall des Einsatzes einer Kamera für die Bildaufnahme muß zur korrekten Erfassung
der Farbinformation des Fluoreszensbildes entweder eine Farbkamera gewählt werden
oder bei Einsatz mehrerer Schwarz-Weiß-Kameras eine Farbvorzerlegung in mehrere
optische Kanäle erfolgen und zusätzliche kalibrierende Korrekturen an den Signalen der
Schwarz-Weiß-Kameras vorgenommen werden. Für die Untersuchung von Prozessen
bei gleichzeitiger Anwendung mehrerer Beleuchtungsquellen erscheint die Nutzung
einer Farbkamera besonders sinnvoll, da verschiedene Fluoreszensbanden dann
gleichzeitig registriert werden können. Die optische Bildwechselfrequenz kann ebenfalls
durch die Wahl der Anzahl der Spiralarme und die Drehzahl der Doppelscheibe in einem
weiten Bereich verändert werden und z. B. den Bedürfnissen der Beobachtung mit einer
Kamera angepaßt werden (Anpassung auf verschiedene Videofrequenzen oder
Integrationszeiten der Kamera).
Eine weitere mögliche Ausführungsform für eine konfokale Beleuchtung und Abbildung
mit einer Doppel-Nipkowscheibe und Einsatz einer Weißlichtquelle ist in Fig. 2a
dargestellt.
Auf der Trägerscheibe 2.1 sind abbildende Mikroelemente wie Mikrolinsen 2.12
oder Hologramme vorgesehen.
Einer Weißlichtquelle 2.13 ist eine Leuchtfeldblende 2.14, eine Kollektorlinse 2.15,
eine Aperturblende 2.16, ein Umlenkspiegel 2.17, eine erste Feldlinse 2.18
sowie eine zweite Feldlinse 2.19 nach der unteren Trägerscheibe 2.3 nachgeordnet.
Abbildungsseitig sind eine erste Linsengruppe 2.20, eine zweite Linsengruppe 2.21
und eine zwischen diesen liegende Streulichtblende 2.22 vorgesehen.
Die Beleuchtung mit einer Weißlichtquelle wird als eine modifizierte Köhlersche
Beleuchtung ausgelegt, wobei eine Vielzahl von Teilbildern der Leuchtfeldblende durch
die abbildenden Mikroelemente in der Zwischenbildebene entstehen. Eine breitbandige
Korrektion der Abbildung erscheint möglich, da der Kondensor der Köhlerschen
Beleuchtung die abbildenden Mikroelemente mit einem parallelen Bündel beleuchtet
und durch die Mikroelemente eine Fokussierung in die Zwischenbildebene erfolgt. Die
Pinholes der unteren Scheibe begrenzen die Schar von Leuchtbündeln in konfokaler
Weise. Jedes Teilbündel des entstehenden Arrays von Leuchtbündeln füllt die Apertur
des Abbildungsobjektives aus. Dieses leuchtende Array wird durch das
Abbildungsobjektiv in die Objektebene transformiert und dient der gleichzeitigen
Beleuchtung vieler Objektpunkte. Das rückwärtig entstehende Bild läuft ebenfalls
innerhalb der "Beleuchtungskanäle" und führt zu einem "punktuellen Zwischenbild" in
der bildseitig ersten Zwischenbildebene. Hier erfolgt durch die Pinholes der unteren
Scheibe die bildseitig entscheidende konfokale Beschneidung des Arrays von
Bildteilbündeln. In der Nähe der Zwischenbildebene befindet sich eine Feldlinsengruppe,
die die Austrittspupille des Abbildungsobjektives ins unendliche abbildet. Das in
Richtung Bildebene laufende Licht wird durch ein optisches Teilerelement körperlich
vom Beleuchtungsstrahlengang abgekoppelt. Die Linsengruppe 2.20 bildet das
telezentrische "gerasterte Bildbündel" in eine Ebene ab, in der eine einzelne Blende
2.22 angeordnet ist. Diese Blende wirkt nun zusätzlich wie eine Streulichtblende für den
Bildaufbau, da sie in der Brennebene des Linsensystems 2.20 steht.
Die Linsengruppe 2.21 bildet gemeinsam mit Linsengruppe 2.20 die bildseitig erste
Zwischenbildebene telezentrisch in eine Bildebene 2.11 ab. In dieser Bildebene kann
entweder mit dem Auge oder einer Kamera ein "Rasterbild" beobachtet werden. Durch
die Rotation der Nipkow-Doppelscheibe wird das gesamte Objektfeld gescannt und ein
lückenloses Bild mit einer Bildwechselfrequenz entsprechend der Drehzahl, der Anzahl
und der Steigung der Spiralen der Nipkow-Doppelscheibe aufgebaut. Die Form sowie
der Abstand der abbildenden Mikroelemente auf der Nipkow-Doppelscheibe
bestimmen solche Parameter wie die Gleichmäßigkeit der Bildfeldausleuchtung und den
Kontrast des konfokalen Bildes. Die Drehzahl bestimmt weiterhin die Helligkeit des
Bildes und muß bei Einsatz einer Beobachtungskamera mit selbiger synchronisiert
werden, d. h. die Kamera durch einen Sensor an der Welle der Nipkow-Doppelscheibe
in irgend einer Weise getriggert werden. Die Helligkeit des Bildes wird natürlich primär
durch die Leuchtdichte der Lichtquelle und den durch den Kollektor erfaßten
ausgeleuchteten Raumwinkel in Bezug auf die Lichtquelle vorbestimmt.
Eine weitere vorteilhafte und einfache Ausführungsform für eine konfokale Beleuchtung
und Abbildung, aufgebaut aus zwei Trägerscheiben mit einem achssymmetrischen Array
von Abbildungselementen und paarweise zu jedem Abbildungselement zugeordneten
Pinhole ist in Fig. 2b dargestellt. Das abbildende Array ist aus annähernd gleichen
optischen Elementen wie in Fig. 2a aufgebaut.
Dargestellt ist eine obere Scheibe 2.23 mit abbildenden Mikroelementen 2.24, eine
untere Scheibe 2.25 mit Lochblenden 2.26 sowie Ansteuermittel 2.27 zur Erzeugung
einer gleichzeitigen x-y-Scanbewegung der Bewegung der Scheiben 2.23 und 2.25.
Die Strukturen auf beiden Trägerscheiben sind in der geometrischen Anordnung der
abbildenden Elemente bzw. der Pinholes zueinander einfacher aufzubauen als eine
Nipkow-Doppelscheibe mit aufwendigeren Spiralstrukturen und vor allem entscheidend
kleiner in den Abmaßen. Auch eine empfindliche punktsymmetrische Zentrierung der
Trägerscheibe zu einer Drehachse entfällt auf Grund nicht vorhandener zentraler
Symmetrie der aufgebrachten Strukturen. Die azimutale Justierung, die
Parallelausrichtung der Scheiben sowie die konzentrische Ausrichtung der Strukturen
zueinander bleibt jedoch als kritische Justieraufgabe der Doppelscheibenanordnung. Die
Beleuchtung mit einer Weißlichtquelle wird ebenfalls als eine modifizierte Köhlersche
Beleuchtung ausgelegt. Die abbildenden Mikroelemente erzeugen wiederum eine
Vielzahl von Teilbildern der Leuchtfeldblende in der Zwischenbildebene. Die Symmetrie
der Strukturen kann flächig zweiachsig (rhombisch, quadratisch, rechteckig) oder
dreiachsig (hexagonal) gewählt werden, wobei die hexagonal dichteste Anordnung die
höchste Beleuchtungseffektivität bieten. Durch die hohe Symmetrie der Anordnung
braucht das Array nur um einen Abstand der Elemente untereinander senkrecht zu den
Symmetrieachsen bewegt werden, um die Objektebene vollständig dicht zu scannen.
Auch eine Rasterbewegung um jeweils die Hälfte des Abstandes der Elemente in zwei
respektive drei orthogonale Richtungen ist möglich. Wie in jeder Auflichtanordnung sind
Teilerelemente erforderlich, die hier als mehrere Wechselelemente dargestellt sind, um
die Möglichkeit spektral selektiver Trennung des Bildstrahlenganges von der
Beleuchtung zu repräsentieren.
Eine nächste vorteilhaft einfache Ausführungsform für eine konfokale Beleuchtung und
Abbildung, aufgebaut aus zwei Trägerscheiben mit einem achssymmetrischen Array von
holographischen Abbildungselementen und paarweise zu jedem holographischen
Abbildungselement zugeordneten Pinhole ist in Fig. 2c dargestellt.
Hier sind mehrere Laser vorgesehen, die unter verschiedenen Winkeln kollimiert
einstrahlen
(analog Fig. 2), wobei die obere Scheibe 2.23 holographische Elemente mit
wellenlängenabhängiger Ablenkung trägt.
Das holographische Array ist den Bedürfnissen einer Beleuchtung mit mehreren spektral
unterschiedlichen Lasern, die zur gleichen Zeit eingesetzt werden können, angepaßt.
Das Design der mikro-holographischen Abbildungselemente ist wie bei der Nipkow-
Doppelscheibenanordnung von Fig. 2 auf die farblich korrekte und effektive
Abbildung von ausgewählten Laser-Punktlichtquellen senkrecht zur Trägerscheibe
optimiert.
Analog wie bei Fig. 2b wird zum approximierten Scannen der Objektebene eine kleine
exzentrische Raster- oder Taumelbewegung mit der Doppelscheibenanordnung
durchgeführt.
Eine nicht dargestellte Variante eines Arrays holographischer Mikroelemente ist die
Möglichkeit, die Beleuchtungsquellen sämtlich austauschbar als ebene Bündel
senkrecht auf die Trägerscheibe zu richten und zur chromatischen Korrektion jeder
Einzelquelle ein zusätzliches, refraktives Element z. B. als Aufsatz- oder Vorsatzlinse vor
einem - jetzt wirklich farblich spezifischen - Teilerelement einzusetzen. Die Problematik
eines axialen Hologrammes ist die zu erwartende geringe Beugungseffektivität.
Eine besonders vorteilhafte Ausführungsform für die mechanische Scannerbewegung
bei einer konfokale Beleuchtung und Abbildung, ebenfalls aufgebaut aus zwei
Trägerscheiben mit einem achssymmetrischen Array von Abbildungselementen und
paarweise zu jedem Abbildungselement zugeordneten Pinhole ist in Fig. 2d dargestellt.
Das abbildende Array ist aus den gleichen optischen Elementen wie in Fig. 2b
aufgebaut.
Eine erste untere Scheibe 2.251 mit Lochblenden
sowie eine zweite untere Scheibe 2.252 mit Lochblenden sind über Zustellmittel 2.28
gegeneinander zur Einstellung der Lochgröße verschiebbar.
Eine Keilplatte 2.29 ist über Drehmittel 2.30 ansteuerbar im zwischen einer
Tubuslinse 2.31 und dem Abbildungsobjektiv 2.7 verlaufenden parallelen Strahlengang
angeordnet.
Die Strukturen auf beiden Trägerscheiben sind in der geometrischen Anordnung der
abbildenden Elemente bzw. der Pinholes zueinander ebenfalls gleich. Eine
Approximation des "differentiellen Scannens" des leuchtenden Arraybüschels quer zur
Objektebene wird durch eine drehende Keilplatte im parallelen Strahlengang zwischen
Tubuslinse und Objektiv erreicht. Dicke und Keil der Platte werden geeignet gewählt,
um sowohl Gesichtspunkten der optischen Korrektur als auch der Möglichkeit des
feinen Scannens Rechnung zu tragen. Die Keilplatte kann, wie weiter hinten
dargestellt, durch eine zweite Keilplatte mit gegensinnig synchronisierter Drehung
ergänzt werden und damit die Scanbewegung des Büschels als eine flächendeckende,
mäanderförmige Bewegung mit geringer Steigung ausgelegt werden. Beim
Bildstrahlengang wird das Büschel der leuchtenden Arraypunkte beim rückwärtigen
Durchtritt durch die Keilplatte wieder in die ursprüngliche Lage versetzt und geht durch
das Array der konfokal wirkenden Pinholes. Durch die stationäre Anordnung der
Doppelplatten 2.251, 2.252 ist ein vorteilhaftes Zustellen der Pinholedurchmesser
durch relatives Verschieben zweier deckungsgleicher Pinhole-Trägerscheiben
zueinander realisierbar. Dies ist sinnvoll für die flexible Einstellung der konfokalen
Wirkung der Pinholes für verschiedene Applikationsfälle sowie die optimale Anpassung
der konfokalen Blenden an das individuelle Beugungsverhalten verschiedene
Wechselobjektive (Durchmesser Airyscheibchen). Die Beleuchtung mit einer
Weißlichtquelle wird ebenfalls als eine modifizierte Köhlersche Beleuchtung ausgelegt.
Eine weitere Variante mit einer einfache Ausführungsmöglichkeit für eine konfokale
Beleuchtung und Abbildung, aufgebaut aus zwei Trägerscheiben mit einem
achssymmetrischen Array von holographischen Abbildungselementen und paarweise zu
jedem holographischen Abbildungselement zugeordneten Pinhole ist in Fig. 2e
dargestellt.
Auf der oberen Trägerscheibe sind zur Abbildung auf die Lochblenden einfachbelichtete
Hologramme 2.30 vorgesehen,
wobei
ein erster Laser 2.32 als Punktlichtquelle, ein zweiter Laser 2.33 als Punktlichtquelle und
ein dritter Laser 2.34 als außerhalb der Zeichenebene liegende quasi kollimierte
Punktlichtquelle mit Einstrahlwinkeln zur Senkrechten , δ, ε vorgesehen sind.
Jede Punktlichtquelle hat erfindungsgemäß einen anderen Abstand zur oberen
Trägerscheibe 2.23.
Beispielsweise hat der erste Laser eine Wellenlänge im blauen Bereich und einen
geringeren Abstand als der zweite Laser im grünen und der dritte Laser im roten
Bereich.
Die Wahl der Winkel und die Wahl des Abstands hängt von der Wellenlänge ab, wobei
jeweils auf die untere Trägerscheibe jeder Laser als senkrechte, reproduzierte Welle
einfällt.
Eine erste Keilplatte 2.291 und eine zweite Keilplatte 2.292
werden über Ansteuermittel 2.271 gegensinnig mit synchroner Geschwindigkeit im
Strahlengang gedreht.
Das holographische Array ist wiederum den Bedürfnissen einer Beleuchtung mit
mehreren spektral unterschiedlichen Lasern, die zur gleichen Zeit eingesetzt werden
können, angepaßt. Das Design der mikro-holographischen Abbildungselemente ist wie
bei der Doppelscheibenanordnung von Fig. 2c auf die farblich korrekte und effektive
Abbildung von ausgewählten Laser-Punktlichtquellen senkrecht zur Trägerscheibe
optimiert. In der Fig. 2e wird ein einfach belichtetes Mikrohologramm eingesetzt, das
mit mehreren Referenzwellen unterschiedlichen Neigungswinkels und Abstandes zum
Hologrammträger reproduziert wird. Die gebeugten, arrayartig angeordneten
Signalwellen entstehen alle senkrecht zum Hologrammträger und konvergieren für alle
vorgewählte Arbeitswellenlängen in den Pinholes der zweiten Trägerscheibe. Zum
Scannen des leuchtenden Arraybüschels quer zur Objektebene wird ein drehendes
Keilplattenpaar im parallelen Strahlengang zwischen Tubuslinse und Objektiv eingesetzt.
Die Ablenkeinheit arbeitet als gegensinnig synchronisiert umlaufendes Keilpaar und
führt eine Scanbewegung des Büschels als Mäanderbewegung aus. Die stationäre
Anordnung der Doppelplatten gestattet auch hier das Zustellen der Pinholedurchmesser
durch relatives Verschieben zweier deckungsgleicher Pinhole-Trägerscheiben
zueinander.
Eine dritte mögliche Ausführungsform, gemäß Anspruch zur effektiven Beleuchtung
mit mehreren unterschiedlichen Beleuchtungsquellen, ist in Fig. 3 schematisch
dargestellt.
Sie zeigt eine obere Trägerscheibe 3.1 mit abbildenden Spiegeln 3.2,
eine untere Trägerscheibe 3.3 mit zentralsymmetrischen Lochblenden 3.4 und einer
gemeinsamen Drehachse 3.5.
Eine polarisierte Lichtquelle 3.6, wobei die Pfeilrichtung die Polarisierungsrichtung
darstellt, strahlt über einen Polteiler 3.7 und einen Phasenschieber 3.8 auf die
abbildenden Spiegel 3.2, die die Lichtquelle auf die Lochblenden 3.4 abbilden.
Über Umlenkspiegel 3.91, 3.92, 3.93, 3.94, wobei die schraffierten Spiegelflächen F1,
F2 der Umlenkspiegel 3.93, 3.94 bezüglich ihrer Flächennormalen zueinander senkrecht
orientiert sind, was eine Bildumkehr bewirkt, so daß ein Spiegelbild des
Beleuchtungsarrays wieder aufrecht auf die Lochblenden der Scheibe 3.3 fällt, wodurch
die bei einer Tandemanordnung mit archimedeschen Spiralen erforderliche
Punktsymmetrie der Spiralpaare berücksichtigt wird, erfolgt eine Beleuchtung des
Objektes sowie eine Übertragung der vom Objekt kommenden Strahlung.
Dichroitische Teilerelemente 3.101, 3.102, 3.103 sind wiederum analog Fig. 2
einschiebbar vorgesehen und vorteilhaft in Richtung der Bildebene als Langpässe
ausgebildet. Ein Abbildungsobjektiv 3.11 ist in Richtung der Objektebene 3.12
vorgesehen.
In Richtung der Bildebene 3.15 sind Umlenkspiegel 3.13 sowie
Abbildungselemente 3.14 vorgesehen.
Die Anordnung ist besonders vorteilhaft im Fall der Anwendung von kontinuierlichen
Weißlichtquellen aber auch bei der Beleuchtung mit verschiedenfarbigen Lasern oder
Mehrlinienlasern. Die Anordnung besteht auch hier aus zwei verbundenen optischen
Nipkow-Trägerscheiben, die in einer Tandem-Anordnung benutzt werden:
- - mit erstens einer optischen Anordnung aus sphärischen oder asphärischen Spiegelelementen mit vorgewählter Brennweite und spezifischer Lage und Größe der Abbildungselemente zueinander, welche ebenfalls einen hohen Bedeckungsgrad auf der Trägerscheibe gewährleisten soll
- - und zweitens einer unteren Trägerscheibe mit konzentrisch zu den Spiegelelementen liegenden Pinholes, deren Abstand zueinander den Bedürfnissen einer konfokalen Wirkung entsprechen muß.
Die Herstellung von Anordnungen von Mikrospiegeln auf einem Substrat erfolgt analog
dem Vorgehen zur Erzeugung von refraktiven Strukturen auf einer Trägerplatte.
Die farbrichtige Abbildung von verschiedenen Punktlichtquellen ist den Spiegeln
generell innewohnend wozu positiv der geringere sphärische Fehleranteil gegenüber
refraktorischen Linsen gleicher Brechkraft kommt. Das Problem der effektiven
Ausnutzung der Leuchtenergie der Lichtquelle wird erfindungsgemäß durch Einsatz
eines breitbandig wirksamen Polarisationsteilers im vorderen Teil der
Beleuchtungsanordnung gelöst. Die Lichtquelle muß dazu allerdings linear polarisiert
sein oder werden, um mit Hilfe eines Phasenschiebers - der hier doppelt durchlaufen
wird - und nach der reflektorischen Abbildung an dem Array aus Mikrospiegeln mit um
90° verdrehter Polarisationsrichtung den Polarisationsteiler mit optimaler
Beleuchtungsenergie zu durchstrahlen. In jeder Blende des Arrays erscheint nun wieder
die Lichtquelle als Bild in verschiedenen möglichen Farben. Beim Einsatz einer
Entladungslichtquelle kann für eine optimale Wirkung des Phasenschiebers ein
Schmalbandfilter zur spektralen Einschränkung der Linien oder Banden der Lichtquelle
benutzt werden. Bei einem Wechsel des Spektralbereiches muß der Phasenschieber (λ/4-
Platte) ausgetauscht oder der neuen Wellenlänge durch Justierung angepaßt werden.
Als eine Variante der kontinuierlichen Phasenschiebung bietet sich z. B. ein Babinet-
Soleil-Phasenschieber an.
Zur Erläuterung des Aufbaus eines konfokalen Mikroskopes mit einer Weißlichtquelle
und guter Beleuchtungseffektivität soll Fig. 3a dienen.
Sie beinhaltet die Anordnung einer Weißlichtquelle 3.16, einer Leuchtfeldblende 3.17,
einer Kollektorlinse 3.18, einer Aperturblende 3.19 vor einem Strahlteiler 3.20,
einer ersten Feldlinse 3.21 vor dem Strahlteiler, einer zweiten Feldlinse 3.22
in Richtung der Bildebene sowie von Tubuslinsen 3.23 im Strahlengang von und zu der
zweiten Trägerscheibe 3.3.
Einem zwischen den Trägerscheiben 3.1, 3.3 angeordneten Umlenkelement 3.24
ist eine erste Linsengruppe 3.25, eine zweite Linsengruppe 3.26 sowie eine zwischen
diesen liegende Streulichtblende 3.28 nachgeordnet.
Ein chromatisches Zusatzobjektiv 3.29 mit definiertem Farblängsfehler ist hier vor der
Objektebene 3.12 vorgesehen, um eine Farbtrennung und damit eine Erhöhung der
Tiefenauflösung bei der Erfassung der Oberflächentopologie zu erzielen (siehe den
vergrößerten Ausschnitt).
Für eine konfokale Beleuchtung mit kontinuierlichem weißen Licht ist der Einsatz eines
farbneutralen 50 : 50 Strahlenteilers möglich, bei Einschränkung der
Beleuchtungseffektivität auf ca. 25% gegenüber der maximal möglich übertragbaren
Beleuchtungsenergie bei Einsatz eines Polarisationsteilers. Dieser Nachteil erscheint aber
gering gegenüber dem Vorteil der korrekten, beleuchtungseffektiven vielfachen
Abbildung von Flächenanteilen der Weißlichtquelle in die Ebene des Blendenarrays, um
eine parallele konfokale Beleuchtung für weißes Licht zu erzeugen. Um die Abbildung
der Leuchtfläche der Quelle praktisch optisch zu realisieren wird wie in Fig. 2a eine
modifizierte Köhlersche Beleuchtung angewendet. Dazu sitzt der Kollimator-Kondensor
der Köhlerschen Beleuchtung direkt vor der oberen Nipkowscheibe mit den Elementen
aus Mikrospiegeln und bildet die Aperturblende ins unendliche ab. Die Mikrospiegel
wiederum bilden - jeder für sich - Flächenanteile der Leuchtfeldblende koinzident in die
Pinholes der unteren Scheibe der Nipkow-Doppelscheibenanordnung ab (sogenannte
"kritische Beleuchtung"). Das optische Teilerelement zur Trennung von Beleuchtungs- und
Abbildungsstrahlengang kann bei einer Weißlichtquelle ein 50 : 50 Strahlenteiler
sein, der vorrangig bei "normaler Auflichtbeleuchtung" und Beobachtung
unterschiedlichster Applikation günstig eingesetzt werden kann. Der entscheidende
Vorteil ist vor allem aber die konsequente Konfokalität der Beleuchtungs- und
Abbildungsstrahlengänge und die farbkorrekte Beobachtungsmöglichkeit mit dem Auge
und/oder einer Kamera.
Eine Variante der Anordnung mit Elementen aus Mikrospiegeln auf einer Nipkow-
Doppelscheibe ist in Fig. 3b dargestellt.
Als Lichtquelle ist ein polarisierter Multilinienlaser 3.30 vorgesehen.
Lochblendenspiralen 3.31 sind als archimedesche Spiralen ausgebildet.
Der Einkoppelort der Beleuchtung 3.32 liegt hier, um Justierprobleme zu vermeiden,
nicht wie in vorhergehenden Darstellungen um 180 Grad versetzt, sondern um 90 Grad
versetzt zum Auskoppelort des Bildes 3.33. Hierzu sind auf der oberen Trägerscheibe
vier archimedesche Spiralen erforderlich, damit die Deckungsgleichheit gewährleistet
ist.
Die Strahlteiler 3.101, 3.102, 3.103 sind funktionsgleich wie in Fig. 3, rücken aber
enger zusammen.
Die Anzahl der Lochblendenspiralen 3.31 beträgt je nach Versatzwinkel 360°/Winkel
in Grad.
Diese Variante paßt sich besser den realen Verhältnissen am Weißlicht-
Auflichtmikroskop an, da die Teilerelemente dem Repertoir dieser Gattung Mikroskope
entnommen werden können. Sie sind von den Korrekturen dem Einsatz im parallelen
Strahlengang zwischen Tubuslinse und Objektiv angepaßt. Um weiterhin eine
kontrastreiche parallele konfokale Beleuchtung zu erreichen muß auf der Scheibe mit
den Mikrospiegeln eine konsequente Beseitigung von Falschlicht vorgenommen werden.
Das kann durch optimales Schwärzen der zwischen den Spiegeln liegenden Bereichen
der Scheibe erfolgen, damit diese nicht zur Abbildung der Leuchtfeldblende in irgend
einer Form beitragen können. Eine andere Variante der Beseitigung von Falschlicht ist
das Entspiegeln der zwischen den Spiegelelementen liegenden Scheibenbereiche, womit
das Licht der Quelle in diesen Bereichen durch die Trägerscheibe durchtritt und keine
negativen Auswirkungen im Beleuchtungsstrahlengang hat.
In der Anordnung nach Fig. 3b wird eine den Nipkow-Tandem-Anordnungen
innewohnende Problematik entschärft, nämlich - neben dem Einsatz von vielen Umlenk- und
Umkehrelementen - die Empfindlichkeit auf Dezentrierungen der
Scheibenstrukturen zur Drehachse. Sie zeigt sich u. a. in einer zusätzlichen
Helligkeitsmodulation im Bild - stärker als in einfachen Nipkowanordnungen. Die
Modifikation der klassischen Tandemanordnung - 180° gegenüber der Drehachse
stehende Strahlengänge - in Fig. 3b erreicht eine Verringerung der Empfindlichkeit auf
Dezentrierung, indem Beleuchtungs- und Beobachtungsstrahlengang sich räumlich
nähern und dadurch die Zusatzmodulation verringert wird.
Die effektive Einkopplung eines Lasers in den Hauptstrahlengang erfordert den Einsatz
eines Polarisationsteilers. Die für die Drehung der Polarisationsebene nötige
Phasenverschiebung von 90° wird bekanntlich nach doppelten Durchlaufen einer λ/4-
Platte für eine spezielle Wellenlänge erreicht. Für einen Mehrlinienlaser muß bei Wechsel
der Einsatzwellenlänge der Phasenschieber angepaßt werden. Bei justierbaren
Phasenschiebern wird dies funktionsgerecht durch Ändern der relativen optischen Dicke
des Phasenschiebers erreicht (Babinet Soleil Kompensator). Die Auskopplung des
Beobachtungsstrahlenganges aus dem Hauptstrahlengang erfolgt vorrangig durch
spektral selektive Teilerelemente wie dichroitische Spiegel oder Banden-selektive
Spiegel, die wiederum dem Repertoir der Gattung konventionelle Auflichtmikroskope
entnommen werden können. Die Dimensionierung vor allem der Brennweite und der
wirksamen Durchmesser der Mikrospiegel muß auf die zusätzlichen optischen
Bauelemente zwischen den Trägerplatten abgestimmt sein und erfordert mindestens die
Verdoppelung der Brennweite gegenüber dem Typ mit Durchlichtbeleuchtung an der
oberen Nipkowscheibe.
In Fig. 4 ist eine weitere vorteilhafte Vereinfachung der Tandem-Anordnungen für
den Einsatz von Paaren aus Mikrospiegeln und Pinholes für die parallele konfokale
Beleuchtung bzw. Abbildung schematisch dargestellt.
Dargestellt ist eine obere Scheibe 4.1 mit Mikrospiegeln 4.2, eine untere Scheibe 4.3
mit Lochblenden 4.4 dar, wobei eine Weißlichtquelle 4.5 mit nachgeordneter
Leuchtfeldblende 4.6, Kollektor 4.7, Aperturblende 4.8, Kollimator 4.9
sowie ein Teiler 4.10 zwischen den Scheiben vorgesehen ist.
Unterhalb der unteren Scheibe 4.3 sind Tubuslinsen 4.12 sowie
Spiegel 4.13, 4.14, 4.15 und wahlweise einschiebbare
Teilerelemente 4.151, 4.152, 4.153 analog bisheriger Ausführungen
vorgesehen, des weiteren ein Abbildungsobjektiv 4.16 vor der Objektebene 4.17.
In Richtung der Bildebene 4.24 ist eine Feldlinse 4.18 sowie nach der Scheibe 4.3 ein
Spiegel 4.19, eine erste Linsengruppe 4.20, eine Streulichtblende 4.21 sowie
eine zweite Linsengruppe 4.23 vorgesehen.
Eine Ansteuereinheit 4.25 dient der gemeinsamen Bewegung der Scheiben 4.1, 4.3.
Die Nipkow-Doppelscheibe wird hierbei durch eine Tandem-Doppelplattenanordnung
ersetzt, die oben Mikrospiegel enthält, welche in axialer Symmetrie angeordnet sind
und mit den Pinholes konzentrische Paare bilden. Der Aufwand zur Herstellung und
Justierung solch einer optischen Gruppe im Vergleich zur Nipkow-Doppelscheibe ist
erheblich reduziert. Wie bei den Nipkow-Scheibenscannern ist bei der Dimensionierung
der Arrays aus Mikrospiegeln auf die richtige Dimensionierung der "Rasterkonstante" -
des Abstandes aller Elemente aus Mikrospiegeln bzw. der Pinholes im Array
untereinander - zu achten, um die Vermischung von nicht eineindeutig einander
zugeordneten Bündeln zu minimieren. Das optisch dichte Rastern des Objektfeldes mit
parallelen konfokalen Bündeln in Beleuchtung und Abbildung wird durch eine - im
Vergleich zu den Abmaßen des gesamten Arrays - "differentielle Scanbewegung"
erreicht. Mechanisch kann das dichte Rastern durch z. B. eine exzentrische
Taumelbewegung der gesamten Einheit "Tandem-Doppelplatte" annähernd erreicht
werden, was mechanisch relativ leicht umzusetzen ist. Wie schon beim Einsatz von
Nipkow-Doppelscheiben ist zur Erzielung eines kontrastreichen Arrays aus
Leuchtbündeln auf die Wirkung des Falschlichtes von der Trägerplatte des Arrays zu
achten. Dazu müssen die zwischen den Mikrospiegeln befindlichen Zonen konsequent
geschwärzt oder gut transmittiv sein, um ein Beleuchtungsarray in der
Zwischenbildebene mit hohem Kontrast (Bildgüte der Quelle) und geringem Untergrund
(Streu- oder Falschlicht der Trägerscheibe) zu haben. Die Unterdrückung von Falsch- oder
Streulicht der Spiegel-Trägerscheibe gelingt vor allem auch durch die 2. Scheibe
mit den konzentrisch zu den Mikrospiegeln liegenden Pinholes. Das Einkoppeln der
Leuchtquelle in den Hauptstrahlengang erfolgt wie in den Fig. 3b, 3c, 3d mit Hilfe
von optischen Teilern oder Polarisationsteilern. Auch das Auskoppeln des
Abbildungszweiges aus dem Hauptstrahlengang erfolgt analog den Fig. 3b, 3c, 3d
mit vorrangig farblich selektiven Teilerelementen. Um die gesamte Anordnung
konsequent kontrastreich auszuführen, wird wiederum die 2. Stufe des
Abbildungsstrahlenganges telezentrisch mit einer einzelnen stellbaren Streulichtblende
ausgestattet.
In Fig. 4a ist die Anordnung 4 für die diffraktive Einkopplung von mehreren Laser in
den Beleuchtungsstrahlengang ausgeführt.
Die Laser können sowohl gleichzeitig als auch nacheinander eingestrahlt werden.
Fig. 4a zeigt Laserlichtquellen 4.26, 4.27, 4.28, die über ein
diffraktives Element 4.29, hier ein Dispersionsgitter, unter verschiedenen Winkeln
entsprechend ihrer Wellenlänge in den Strahlengang eingekoppelt werden.
In Fig. 4b ist als Beleuchtungsquelle ein polarisierter Multilinienlaser eingesetzt oder es
werden mehrere unterschiedliche Laserquellen über eine spektral selektive Einkopplung
(dichroitische Mischerspiegel) in den Beleuchtungsstrahlengang eingespiegelt.
Ein polarisierter Multilinienlaser 4.30 sowie zweiter Laser 4.301 werden über
einen dichroitischen Mischerspiegel 4.33 eingekoppelt.
Die effektive Einkopplung in den Beleuchtungsstrahlengang gelingt wieder durch einen
Polarisationsteiler als Teiler; für eine gleichzeitige Einkopplung vieler Quellen läßt sich
auch ein farbneutraler 50 : 50% Teiler anstelle des Polteilers einsetzen.
Dem Polteiler ist in Richtung der Mikrospiegelscheibe ein Phasenschieber 4.11
zugeordnet.
Eine ähnlich wie in Fig. 2d wirkende, vorteilhafte Ausführungsform für die
mechanische Scannerbewegung bei einer konfokale Beleuchtung und Abbildung ist in
Fig. 4c dargestellt.
Sie zeigt eine zweite Lochscheibe 4.31 sowie Zustellmittel 4.32 zur Einstellung der
Lochgröße,
erste und zweite drehbare Keilplatte 4.34 im parallelen Strahlengang
sowie Ansteuermittel 4.35 für die Keilplatten 4.34.
Das abbildende Array ist wiederum aus Mikrospiegeln aufgebaut. Eine Approximation
des "differentiellen Scannens" des leuchtenden Arraybüschels quer zur Objektebene wird
in der Tandemanordnung durch ein gleichsinnig drehendes, aber 180°
phasenverschoben wirkendes Paar aus Keilplatten im parallelen Strahlengang zwischen
Tubuslinse und Objektiv erreicht. Dicke und Keil der Platten werden geeignet gewählt,
um sowohl Gesichtspunkten der optischen Korrektur als auch der Möglichkeit des
approximierten Scannens Rechnung zu tragen. Beim Bildstrahlengang wird das Büschel
der leuchtenden Arraypunkte beim rückwärtigen Durchtritt durch die Keilplatte wieder
in die ursprüngliche Lage versetzt und geht anschließend durch das Array der konfokal
wirkenden Pinholes. Durch die stationäre Anordnung der Doppelplatten ist ein
vorteilhaftes Zustellen der Pinholedurchmesser durch relatives Verschieben zweier
deckungsgleicher Pinhole-Trägerscheiben zueinander realisierbar. Dies ist sinnvoll für
die flexible Einstellung der konfokalen Wirkung der Pinholes für verschiedene
Applikationsfälle sowie die optimale Anpassung der konfokalen Blenden an das
individuelle Beugungsverhalten verschiedene Wechselobjektive (Durchmesser
Airyscheibchen). Ein optischer Vorteil von Tandemanordnungen ist die gute Trennung
von Falsch- oder Streulicht der Beleuchtung (Wirkung der Flächen zwischen Pinholes
und/oder Linsenelementen!) vom eigentlichen Bildaufbau, was in der Anordnung laut
Fig. 4c positiv zu Buche steht.
Eine weitere Variante mit einer Ausführungsmöglichkeit für eine konfokale Beleuchtung
und Abbildung ist in Fig. 4d dargestellt.
Es sind die bisherigen Keilplatten im parallelen Strahlengang durch eine erste und
zweite drehbare parallele Ablenkplatte 4.36, 4.37 im divergenten Strahlengang
zwischen Tubuslinsen 4.12 und unterer Scheibe vorgesehen, sowie diesen zugeordnete
Ansteuermittel 4.38 zur mittels Pfeilen dargestellten Drehung und gleichzeitigen
Verkippung in Richtung der optischen Achse.
Die Mischung von spektral unterschiedlichen Lasern in den Beleuchtungsstrahlengang
erfolgt hier mit einem planen, diffraktiven Element, wodurch die Laser wie in Variante
4c zur gleichen Zeit eingesetzt werden können. Zum Scannen des leuchtenden
Arraybüschels quer zur Objektebene wird in dieser Tandem-Anordnung ein synchron
drehendes Paar von Planplatten vor respektive hinter der Tubuslinse eingesetzt. Die
Ablenkeinheit kann z. B. einseitig angetrieben sein und durch einen Zahnriementrieb
synchronisiert werden. Die Planplatten sind gegensinnig zueinander geneigt (180°
phasenverschoben) und können zur Realisierung einer weiteren Scanrichtung
("differentielle Archimedische Spiralen") synchron zusätzlich leicht verkippt werden. Die
stationäre Anordnung der Doppelplatten gestattet auch hier das Zustellen der
Pinholedurchmesser durch relatives Verschieben zweier deckungsgleicher Pinhole-
Trägerscheiben zueinander.
In Fig. 4e ist eine vorteilhafte Variante einer Tandem-Anordnung mit Paaren aus
strukturierten Mikrospiegeln und Pinholes für eine parallel konfokale, partielle
Dunkelfeld-Beleuchtung bzw. Abbildung schematisch dargestellt.
Sie zeigt abbildende Spiegelelemente 4.39 als hohle Lichtkegel 4.40 erzeugende
Mikroringspiegel, wie in dem vergrößerten Ausschnitt dargestellt, zur
Dunkelfeldbeleuchtung.
Die Beleuchtung mit einer Weißlichtquelle ist vorteilhaft als modifizierte köhlersche
Beleuchtung ausgelegt.
Jeder oben befindliche Mikrospiegel ist ringförmig, ringsektorisch oder ähnlich geartet
strukturiert und bildet mit jeweils einem Pinhole ein konzentrisches Paar. Wie in der
Tandem-Grundanordnung in Fig. 4 ist bei der Dimensionierung des Arrays aus
strukturierten Mikrospiegeln und Pinholes auf die richtige Dimensionierung der
"Rasterkonstante" - des Abstandes aller Elemente aus strukturierten Mikrospiegeln bzw.
der Pinholes im Array untereinander - zu achten. Das optisch dichte Rastern des
Objektfeldes mit parallelen konfokalen Ringkegel-Bündeln der partiellen Dunkelfeld-
Beleuchtung und Abbildung wird in der graphisch dargestellten Version durch eine
wiederum "differentielle Scanbewegung" erreicht. Eine andere Variante des Scannens
wäre wie in Fig. 4b der Einsatz eines synchronisierten Paares aus drehenden Keilplatten
im parallelen Strahlengang des Primärtubus. Zur Erzielung eines kontrastreichen, an
Falschlicht armen Arrays aus Leuchtbündeln muß wiederum auf die optische Wirkung
der Trägerplatte geachtet werden. Es können die zwischen den Mikrospiegeln
befindliche Zonen konsequent geschwärzt oder gut transmittiv ausgelegt sein, um ein
Beleuchtungsarray in der Zwischenbildebene mit hohem Kontrast (Bildgüte der Quelle)
und geringem Untergrund (Streu- oder Falschlicht der Trägerscheibe) zu erreichen. Die
entscheidende Unterdrückung von Falsch- oder Streulicht der Spiegel-Trägerscheibe
gelingt natürlich durch die Scheibe mit den konzentrisch zu den strukturierten
Mikrospiegeln liegenden Pinholes. Das Einkoppeln von weißen Leuchtquellen in den
Hauptstrahlengang erfolgt wie in der Fig. 4 mit Hilfe von optischen Teilern oder
Polarisationsteilern. Auch das Auskoppeln des Abbildungszweiges aus dem
Hauptstrahlengang erfolgt analog der Fig. 4 mit farblich selektiven oder auch
neutralen Teilerelementen. Um die gesamte Anordnung konsequent kontrastreich
auszuführen, wird wiederum die zweite Stufe des Abbildungsstrahlenganges
telezentrisch mit einer einzelnen stellbaren Streulichtblende ausgestattet.
Ein Vorteil einiger der vorgeschlagenen Anordnungen ist die konstruktive
Möglichkeit der Abtrennung der neuartigen Baugruppen von einem Mikroskop
gewöhnlicher Bauart zu einer adaptionsfähigen Zusatzgruppe zur Ergänzung eines
vorhandenen Mikroskops. Aus diesem Grund kann auch ein großer Teil des
mikroskopischen Zubehörs für die konfokalen Anordnung mit Entladungs- oder
Weißlichtquelle eingesetzt werden. Dies betrifft u. a. Beleuchtungsfilter und
Schwächungsfilter, Bandfilter für den Beobachtungsstrahlengang sowie Zubehör für die
dichroitische Teilung und den Phasenkontrast.
Es ist weiterhin möglich, die parallele konfokale Baugruppe mit anderen
mikroskopischen Baugruppen zu verbinden, um sowohl monochromatisch als auch
polychromatisch Verfahren wie verschiedene Methoden des Phasenkontrastes
(differentiellen, Interphako, positiver und negativer Kontrast) mit den konfokalen
Bildern kombinieren zu können.
Verzeichnet sind jeweils die Bezugszeichen bezüglich der ersten Zeichnung, in der sie
auftreten, sie wiederholen sich in nachfolgenden Zeichnungen mit gleicher oder
ähnlicher Bedeutung.
Bezugszeichenliste
Fig. 1
1.1 Obere Trägerscheibe
1.2 Mikrolinsen
1.3 Untere Trägerscheibe
1.4 Lochblenden
1.5 Drehachse
1.6 Laserlichtquelle
1.7 Abbildungsobjektiv
1.8 Objektebene
1.9 Strahlteilerelement
1.10 Abbildungsoptik
1.11 Bildebene
1.1 Obere Trägerscheibe
1.2 Mikrolinsen
1.3 Untere Trägerscheibe
1.4 Lochblenden
1.5 Drehachse
1.6 Laserlichtquelle
1.7 Abbildungsobjektiv
1.8 Objektebene
1.9 Strahlteilerelement
1.10 Abbildungsoptik
1.11 Bildebene
Fig. 2
2.1 Obere Trägerscheibe
2.2 Mehrfachbelichtete holografische Elemente
2.3 Untere Trägerscheibe
2.4 Lochblenden
2.5 Drehachse
2.6.1, 2.6.2, 2.6.3 Laserlichtquellen
α, β Einstrahlwinkel zur Senkrechten
2.7 Abbildungsobjektiv
2.8 Objektebene
2.9.1, 2.9.2, 2.9.3 Dichroitische Teiler
Abbildungsoptik
Bildebene
2.1 Obere Trägerscheibe
2.2 Mehrfachbelichtete holografische Elemente
2.3 Untere Trägerscheibe
2.4 Lochblenden
2.5 Drehachse
2.6.1, 2.6.2, 2.6.3 Laserlichtquellen
α, β Einstrahlwinkel zur Senkrechten
2.7 Abbildungsobjektiv
2.8 Objektebene
2.9.1, 2.9.2, 2.9.3 Dichroitische Teiler
Abbildungsoptik
Bildebene
Fig. 2a
2.12 Mikrolinsen
2.13 Weißlichtquelle
2.14 Leuchtfeldblende
2.15 Kollektorlinse
2.16 Aperturblende
2.17 Umlenkspiegel
2.18 erste Feldlinse
2.19 zweite Feldlinse
2.20 erste Linsengruppe
2.21 zweite Linsengruppe
2.22 Streulichtblende
2.12 Mikrolinsen
2.13 Weißlichtquelle
2.14 Leuchtfeldblende
2.15 Kollektorlinse
2.16 Aperturblende
2.17 Umlenkspiegel
2.18 erste Feldlinse
2.19 zweite Feldlinse
2.20 erste Linsengruppe
2.21 zweite Linsengruppe
2.22 Streulichtblende
Fig. 2b
2.23 Obere Scheibe
2.24 Abbildende Mikroelemente
2.25 Untere Scheibe
2.26 Lochblenden
2.27 Ansteuermittel
2.23 Obere Scheibe
2.24 Abbildende Mikroelemente
2.25 Untere Scheibe
2.26 Lochblenden
2.27 Ansteuermittel
Fig. 2c
Fig. 2d
2.251 Erste untere Scheibe mit Lochblenden
2.252 Zweite untere Scheibe mit Lochblenden
2.28 Zustellmittel
2.29 drehbare Keilplatte
2.30 Drehmittel
2.31 Tubuslinse
2.251 Erste untere Scheibe mit Lochblenden
2.252 Zweite untere Scheibe mit Lochblenden
2.28 Zustellmittel
2.29 drehbare Keilplatte
2.30 Drehmittel
2.31 Tubuslinse
Fig. 2e
2.32 Erster Laser als Punktlichtquelle
2.33 zweiter Laser als Punktlichtquelle
2.34 Dritter Laser als außerhalb der Zeichenebene liegende Punktlichtquelle
, δ, ε Einstrahlwinkel zur Senkrechten
2.291 erste Keilplatte
2.292 zweite Keilplatte
2.271 Ansteuermittel
2.30 einfachbelichtete holografische Elemente
2.32 Erster Laser als Punktlichtquelle
2.33 zweiter Laser als Punktlichtquelle
2.34 Dritter Laser als außerhalb der Zeichenebene liegende Punktlichtquelle
, δ, ε Einstrahlwinkel zur Senkrechten
2.291 erste Keilplatte
2.292 zweite Keilplatte
2.271 Ansteuermittel
2.30 einfachbelichtete holografische Elemente
Fig. 3
3.1 obere Trägerscheibe
3.2 abbildende Spiegel
3.3 untere Trägerscheibe
3.4 zentralsymmetrische Lochblenden
3.5 Drehachse
3.6 polarisierte Lichtquelle
Pfeilrichtung ist Polarisierungsrichtung
3.7 Polteiler
3.8 Phasenschieber
3.91, 3.92, 3.93, 3.94 Umlenkspiegel
3.93, 3.94 Spiegelflächen F1, F2 der Umlenkspiegel
3.101, 3.102, 3.103 Teilerelemente
3.11 Abbildungsobjektiv
3.12 Objektebene
3.13 Umlenkspiegel
3.14 Abbildungselemente
3.15 Bildebene
3.1 obere Trägerscheibe
3.2 abbildende Spiegel
3.3 untere Trägerscheibe
3.4 zentralsymmetrische Lochblenden
3.5 Drehachse
3.6 polarisierte Lichtquelle
Pfeilrichtung ist Polarisierungsrichtung
3.7 Polteiler
3.8 Phasenschieber
3.91, 3.92, 3.93, 3.94 Umlenkspiegel
3.93, 3.94 Spiegelflächen F1, F2 der Umlenkspiegel
3.101, 3.102, 3.103 Teilerelemente
3.11 Abbildungsobjektiv
3.12 Objektebene
3.13 Umlenkspiegel
3.14 Abbildungselemente
3.15 Bildebene
Fig. 3a
3.15 Weißlichtquelle
3.17 Leuchtfeldblende
3.18 Kollektorlinse
3.19 Aperturblende
3.20 Strahlteiler
3.21 erste Feldlinse
3.22 zweite Feldlinse
3.23 Tubuslinsen
3.24 Umlenkelement
3.25 erste Linsengruppe
3.26 zweite Linsengruppe
3.28 Streulichtblende
3.29 Chromatisches Zusatzobjektiv
3.15 Weißlichtquelle
3.17 Leuchtfeldblende
3.18 Kollektorlinse
3.19 Aperturblende
3.20 Strahlteiler
3.21 erste Feldlinse
3.22 zweite Feldlinse
3.23 Tubuslinsen
3.24 Umlenkelement
3.25 erste Linsengruppe
3.26 zweite Linsengruppe
3.28 Streulichtblende
3.29 Chromatisches Zusatzobjektiv
Fig. 3b
3.30 polarisierter Multilinienlaser
3.31 Lochblendenspiralen als archimedesche Spiralen
3.32 Einkoppelort der Beleuchtung
3.33 Auskoppelort des Bildes
3.30 polarisierter Multilinienlaser
3.31 Lochblendenspiralen als archimedesche Spiralen
3.32 Einkoppelort der Beleuchtung
3.33 Auskoppelort des Bildes
Fig. 4
4.1 Obere Scheibe
4.2 Mikrospiegel
4.3 untere Scheibe
4.4 Lochblenden
4.5 Weißlichtquelle
4.6 Leuchtfeldblende
4.7 Kollektor
4.8 Aperturblende
4.9 Kollimator
4.10 Strahlteiler
4.11 Phasenschieber
4.12 Tubuslinsen
4.13, 4.14, 4.15 Spiegel
4.151, 4.152, 4.153 Teilerelemente
4.16 Abbildungsobjektiv
4.17 Objektebene
4.18 Feldlinse
4.19 Spiegel
4.20 erste Linsengruppe
4.21 Streulichtblende
4.23 zweite Linsengruppe
4.24 Bildebene
4.25 Ansteuereinheit
4.1 Obere Scheibe
4.2 Mikrospiegel
4.3 untere Scheibe
4.4 Lochblenden
4.5 Weißlichtquelle
4.6 Leuchtfeldblende
4.7 Kollektor
4.8 Aperturblende
4.9 Kollimator
4.10 Strahlteiler
4.11 Phasenschieber
4.12 Tubuslinsen
4.13, 4.14, 4.15 Spiegel
4.151, 4.152, 4.153 Teilerelemente
4.16 Abbildungsobjektiv
4.17 Objektebene
4.18 Feldlinse
4.19 Spiegel
4.20 erste Linsengruppe
4.21 Streulichtblende
4.23 zweite Linsengruppe
4.24 Bildebene
4.25 Ansteuereinheit
Fig. 4a
4.26, 4.27, 4.28 Laserlichtquellen
4.29 Diffraktives Element, hier ein Dispersionsgitter
4.26, 4.27, 4.28 Laserlichtquellen
4.29 Diffraktives Element, hier ein Dispersionsgitter
Fig. 4b
4.30 polarisierter Multilinienlaser
4.301 zweiter Laser
4.33 Dichroitischer Mischerspiegel
4.30 polarisierter Multilinienlaser
4.301 zweiter Laser
4.33 Dichroitischer Mischerspiegel
Fig. 4c
4.31 Zweite Scheibe
4.32 Zustellmittel
4.34 erste und zweite drehbare Keilplatte im parallelen Strahlengang
4.35 Ansteuermittel
4.31 Zweite Scheibe
4.32 Zustellmittel
4.34 erste und zweite drehbare Keilplatte im parallelen Strahlengang
4.35 Ansteuermittel
Fig. 4d
4.36, 4.37 erste und zweite drehbare parallele Ablenkplatte im divergenten Strahlengang
4.38 Ansteuermittel zur Drehung und gleichzeitigen Verkippung in Richtung der optischen Achse
4.36, 4.37 erste und zweite drehbare parallele Ablenkplatte im divergenten Strahlengang
4.38 Ansteuermittel zur Drehung und gleichzeitigen Verkippung in Richtung der optischen Achse
Fig. 4e
4.39, 4.40 Abbildende Spiegelelemente als hohle Lichtkegel erzeugende Mikroringspiegel, wie vergrößert dargestellt, zur Dunkelfeldbeleuchtung
4.39, 4.40 Abbildende Spiegelelemente als hohle Lichtkegel erzeugende Mikroringspiegel, wie vergrößert dargestellt, zur Dunkelfeldbeleuchtung
Fig. 4f
4.41 erster kollimierter Laser
4.42 zweiter kollimierter Laser
4.43 Blendenarray
4.44 Mikrolinsenarray
4.45 Trägerscheibe mit Fotolack
4.46, 4.47 Teilerspiegel
4.48, 4.49, 4.50, 4.51, 4.52, 4.53 Umlenkspiegel
4.41 erster kollimierter Laser
4.42 zweiter kollimierter Laser
4.43 Blendenarray
4.44 Mikrolinsenarray
4.45 Trägerscheibe mit Fotolack
4.46, 4.47 Teilerspiegel
4.48, 4.49, 4.50, 4.51, 4.52, 4.53 Umlenkspiegel
Claims (41)
1. Anordnung zur konfokalen Mikroskopie,
mit einer ersten Trägerscheibe und einer zweiten, ein Lochblendenraster aufweisenden
Trägerscheibe, wobei die erste Trägerscheibe zur Übertragung des Lichtes mindestens
einer Lichtquelle in Richtung der zweiten Trägerscheibe und eines beleuchteten
Objektes rasterförmig angeordnete Mikrolinsen oder Transmissionshologramme
aufweist.
2. Anordnung zur konfokalen Mikroskopie,
mit einer ersten Trägerscheibe und einer zweiten, ein Lochblendenraster aufweisenden
Trägerscheibe, wobei die erste Trägerscheibe zur Übertragung des Lichtes mindestens
einer Lichtquelle in Richtung der zweiten Trägerscheibe und eines beleuchteten
Objektes rasterförmig angeordnete reflektierende Elemente wie abbildende
Mikrospiegel oder Reflexionshologramme aufweist.
3. Anordnung nach Anspruch 2,
wobei bei einer Anordnung mit einer ersten Trägerscheibe mit rasterförmig
angeordneten reflektierenden Elementen das Licht mindestens einer Lichtquelle über
einen zwischen erster und zweiter Trägerscheibe angeordneten Strahlteiler so
eingeblendet wird, daß es senkrecht auf die reflektierenden Elemente auftrifft.
4. Anordnung nach Anspruch 3,
wobei der Strahlteiler ein Polteiler ist und polarisiertes Licht eingestrahlt wird.
5. Anordnung nach Anspruch 4,
wobei im Beleuchtungsstrahlengang ein Phasenschieber vorgesehen ist.
6. Anordnung nach einem der vorangegangenen Ansprüche,
wobei auf der ersten Trägerscheibe einfach belichtete Hologramme vorgesehen sind.
7. Anordnung nach einem der vorangegangenen Ansprüche,
wobei auf der ersten Trägerscheibe mehrfach belichtete Hologramme vorgesehen sind.
8. Anordnung nach einem der vorangegangenen Ansprüche,
wobei die Mikrolinsen oder Spiegel diffraktive optische Elemente sind.
9. Anordnung nach einem der vorangegangenen Ansprüche,
wobei die erste und zweite Trägerscheibe um eine gemeinsame Drehachse rotierend
ausgebildet sind.
10. Anordnung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche,
wobei die erste und zweite Trägerscheibe zueinander über Ansteuermittel verschiebbar
sind.
11. Anordnung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche,
wobei der zweiten Trägerscheibe eine weitere, Lochblenden aufweisende dritte
Trägerscheibe zugeordnet ist, die zur Zustellung der Lochblenden gegen die zweite
Trägerscheibe verschiebbar ist.
12. Anordnung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche,
wobei zur Erzeugung einer Scanbewegung im Beleuchtungsstrahlengang zwischen der
zweiten Trägerscheibe und dem Objekt mindestens eine dreh- und/oder verschiebbare
Keilplatte oder Planplatte angeordnet ist.
13. Anordnung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche,
wobei über einen dichroitischen Mischerspiegel mehrere Laser in den
Beleuchtungsstrahlengang eingekoppelt werden.
14. Anordnung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche,
wobei Einkoppelort des Beleuchtungslichtes auf der zweiten Trägerscheibe und
Einkoppelort der vom Objekt kommenden Strahlung nicht übereinstimmen.
15. Anordnung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche,
wobei zwischen der zweiten Trägerscheibe und dem Objekt mehrere Umlenkspiegel
vorgesehen sind.
16. Anordnung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche,
wobei auf der zweiten Trägerscheibe Lochblendenspiralen und auf der ersten
Trägerscheibe korrespondierende Spiralen von reflektierenden Elementen vorgesehen
sind, beide um eine gemeinsame Drehachse drehbar sind und das Beleuchtungslicht
und das vom Objekt kommende Licht an unterschiedlichen Orten auf die zweite
Trägerscheibe gelangen.
17. Anordnung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche,
wobei der Einkoppelort der Beleuchtung und der Einkoppelort der vom Objekt
kommenden Strahlung mit der Drehachse einen Winkel ungleich 180 Grad einschließen.
18. Anordnung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche,
wobei archimedesche Spiralen vorgesehen sind, deren Anzahl sich als Quotient von 360
Grad durch den Winkel, den die Trägerscheiben mit der Drehachse einschließt, ergibt.
19. Anordnung nach Anspruch 18,
wobei bei einem Winkel von 90 Grad vier Spiralen vorgesehen sind.
20. Anordnung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche,
wobei nacheinander oder gleichzeitig mehrere Lichtquellen verschiedener Wellenlängen
eingestrahlt werden.
21. Anordnung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche,
wobei mehrere, zueinander einen Winkel einschließende Lichtquellen verschiedener
Wellenlängen eingestrahlt werden.
22. Anordnung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche,
wobei die Einkopplung mehrerer Lichtquellen verschiedener Wellenlängen in den
Beleuchtungsstrahlengang über ein diffraktives Element, vorzugsweise ein
Dispersionsgitter erfolgt.
23. Anordnung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche,
wobei die Einstrahlung der Lichtquelle durch eine Köhlersche Beleuchtung erfolgt.
24. Anordnung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche,
wobei eine Weißlichtquelle vorgesehen ist.
25. Anordnung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche,
wobei zwischen den Trägerscheiben mindestens ein reflektierendes Element zur
Ausblendung der von einem über die erste und zweite Trägerscheibe beleuchteten
Objekt kommenden Strahlung in Richtung einer Bildebene vorgesehen ist.
26. Anordnung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche,
wobei mehrere auswechselbare Strahlteiler vorgesehen sind.
27. Anordnung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche,
wobei mindestens ein dichroitischer Strahlteiler vorgesehen ist.
28. Anordnung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche,
wobei in Richtung der Bildebene ein telezentrischer Strahlengang vorgesehen ist, der
mindestens eine Streulichtblende beinhaltet.
29. Anordnung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche,
wobei die reflektierenden Elemente der ersten Trägerscheibe randverspiegelte
Mikrospiegel sind
und durch Lichtkegel eine Art Dunkelfeldbeleuchtung erzeugen.
30. Anordnung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche,
wobei im Strahlengang zwischen der zweiten Trägerscheibe und dem Objekt ein
Objektiv mit definiertem chromatischen Längsfehler vorgesehen ist.
31. Anordnung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche,
wobei die vielfache, räumlich parallele und zeitgleiche Abbildung mindestens einer
Punktlichtquelle in die Objektebene eines optischen Vergrößerungsgerätes durch eine
Vielzahl ineinander geschriebener sowie für eine parallel konfokale Beleuchtung sinnvoll
zueinander gelegene und gleichzeitig auslesbare Vielzahl von Mikrohologrammen
realisiert wird.
32. Anordnung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche,
wobei die vielfache, räumlich parallele und zeitgleiche Abbildung der Punktlichtquelle in
die Objektebene eines optischen Vergrößerungsgerätes mittels eines einfarbig
belichteten Mikrohologrammes erfolgt wobei die Reproduktion des Hologrammes zu
einer Vielzahl von funktionsbestimmt leuchtenden Signalwellen führt, die durch
Referenzbündel verschiedener Laser-Arbeitswellenlängen und geeigneter Konvergenz
angeregt werden.
33. Anordnung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche,
wobei die Mikrohologramme entweder als Reflexions- oder als
Transmissionshologramme mit hoher Beugungseffektivität benutzt werden aber auch
eine gemischtes Rekonstruieren der vielfachen Signalwelle möglich ist.
Anordnung zur parallel konfokalen Beleuchtung gemäß Ansprüchen 5 und 6 wobei die Hologramme vorrangig als Phasenhologramme ausgelegt sind aber auch Amplitudenhologramme sein können wobei sie entweder synthetisch oder auch experimentell erzeugt werden können.
Anordnung zur parallel konfokalen Beleuchtung gemäß Ansprüchen 5 und 6 wobei die Hologramme vorrangig als Phasenhologramme ausgelegt sind aber auch Amplitudenhologramme sein können wobei sie entweder synthetisch oder auch experimentell erzeugt werden können.
34. Anordnung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche,
wobei verschiedenartige konventionelle Beleuchtungslichtquellen austauschweise
benutzt werden können und die Vielzahl der Teilbündel der Beleuchtung mit Hilfe von
Baugruppen einer modifizierten Köhlerschen Beleuchtung im Zusammenwirken mit
einer Vielzahl mikrooptischer Elemente gleichzeitig räumlich gebildet werden.
35. Anordnung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche
wobei die vielfache räumlich parallele und zeitgleiche Abbildung der Lichtquelle in die
Objektebene eines optischen Vergrößerungsgerätes durch eine Vielzahl sphärischer oder
asphärischer Mikrospiegel geeigneter Brennweite und Durchmesser mit einem für eine
parallel konfokale Beleuchtung sinnvollen Abstand zueinander realisiert wird.
Anordnung zur parallel konfokalen Beleuchtung gemäß Anspruch 7 und 10 bei der zur Erzielung eines guten Beleuchtungskontrastes und zur Minimierung von Falsch- oder Streulicht die Zonen zwischen den abbildenden Bereichen der mikrooptischen Elemente geeignet geschwärzt sind, aus Licht absorbierenden Material bestehen oder transmissiv ausgelegt sind.
Anordnung zur parallel konfokalen Beleuchtung gemäß Anspruch 7 und 10 bei der zur Erzielung eines guten Beleuchtungskontrastes und zur Minimierung von Falsch- oder Streulicht die Zonen zwischen den abbildenden Bereichen der mikrooptischen Elemente geeignet geschwärzt sind, aus Licht absorbierenden Material bestehen oder transmissiv ausgelegt sind.
36. Anordnung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche
wobei die Trägerscheibe mit den abbildenden mikrooptischen Elementen entweder eine
oder eine Vielzahl, auch paarweise mögliche zentralsymmetrische Anordnung
Archimedischer Spiralen aufweist, auf der die mikrooptischen Elemente angeordnet
sind, oder achssymmetrische Strukturen in Form eines quadratischen, rechteckigen,
rhombischen oder hexagonalen Arrays aus mikrooptischen Bauelementen, wobei ein
hoher Bedeckungsgrad mit abbildenden Flächenanteilen erreicht werden soll.
Anordnung zur parallel konfokalen Beleuchtung gemäß Ansprüchen 1, 5, 6, 10 und 12, bei der die Trägerscheiben für eine Doppelscheibenanordnung konzentrisch zu den aufgebrachten Strukturen verbunden sind.
Anordnung zur parallel konfokalen Beleuchtung gemäß Ansprüchen 1, 5, 6, 10 und 12, bei der die Trägerscheiben für eine Doppelscheibenanordnung konzentrisch zu den aufgebrachten Strukturen verbunden sind.
37. Anordnung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche,
wobei das parallele Scannen der Objektebene entweder durch motorisches Drehen der
Nipkow-Doppelscheibenanordnung erfolgt oder durch ein motorisiertes Verschieben
einer Array-Doppelscheibenanordnung um den Betrag des Abstandes der optischen
Mikroelemente in 2 orthogonalen Richtungen senkrecht zur optischen Achse der
Beleuchtung.
38. Anordnung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche,
wobei das gleichzeitige Scannen von achssymmetrischen Leuchtstrukturen in der
Objektebene durch motorisches Drehen eines Keiles, Doppelkeiles oder eines in
konjugierten Lagen befindlichen synchronisierten Keilpaares im Parallelstrahlengang von
Tandemanordnungen erfolgt oder durch Drehen und Kippen einer Planplatte oder eines
in konjugierten Lagen befindlichen synchronisierten Planplattenpaares im konvergenten
Strahlengang von Tandemanordnungen um den Betrag des Abstandes der optischen
Mikroelemente in Richtungen senkrecht zur optischen Achse der Beleuchtung.
39. Anordnung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche,
wobei die Array-[Doppelscheibenanordnung mit dem achssymmetrischen Array(s) nur
die Fläche des Feldes eines Zwischenbildes unwesentlich übertrifft und nicht ein
Vielfaches der Fläche davon haben muß.
Anordnung zur effektiv beleuchteten parallel konfokalen Abbildung gemäß Anspruch 1, bei der die konfokale Wirkung im Abbildungszweig durch die zweifache Nutzung des Blendensystems im Leuchtfeldbereich bzw. in einer Tandemeinrichtung im Feld der Objekt-Zwischenabbildung erreicht wird.
Anordnung zur effektiv beleuchteten parallel konfokalen Abbildung gemäß Anspruch 1, bei der die konfokale Wirkung im Abbildungszweig durch die zweifache Nutzung des Blendensystems im Leuchtfeldbereich bzw. in einer Tandemeinrichtung im Feld der Objekt-Zwischenabbildung erreicht wird.
40. Anordnung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche,
wobei die Abbildung des Beobachtungsobjektes sowohl mit dem Auge als auch mit
einer optischen Anpassung durch einen flächigen Empfänger stattfinden kann.
41. Anordnung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche
wobei durch sukzessives Verschieben des Objektes gegenüber dem abbildenden System
schnell und prozeßnah eine Information über die räumliche Struktur des Objektes
gewonnen wird und durch elektronische Mittel zur Bildspeicherung verarbeitet werden
kann.
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Family Applications (1)
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