DE10245231A1 - Arrangement for reducing coherence - Google Patents

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Lars Dr. Erdmann
Matthias Burkhardt
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Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf eine Anordnung zur Verminderung der Kohärenz eines Lichtbündels, insbesondere eines Laserlichtbündels zur Beleuchtung einer Bildfläche oder einer Probe. DOLLAR A Erfindungsgemäß umfaßt eine solche Anordnung DOLLAR A - eine Einrichtung zur Strahlteilung, z. B. einen ersten Teilerwürfel (2), an dem ein einfallendes Lichtbündel (1) in zwei Teilbündel (4, 5) aufgespalten wird, DOLLAR A - eine Einrichtung zur Strahlvereinigung, z. B. einen zweiten Teilerwürfel (6), an dem die Teilbündel (4, 5) zu einem abgehenden Lichtbündel (10) zusammengeführt werden, und DOLLAR A - Umlenkelemente, z. B. Spiegel (8, 9), die in den Lichtwegen der Teilbündel (4, 5) zwischen diesen beiden Einrichtungen positioniert sind, wobei die Lichtweglängen der Teilbündel (4, 5) verschieden sind und der Längenunterschied so groß ist, daß die Kohärenz der Wellenzüge/Phasenraumzellen in den Teilbündeln (4, 5) überschritten und damit deren Fähigkeit, miteinander zu interferieren, vermindert bzw. aufgehoben ist.The invention relates to an arrangement for reducing the coherence of a light beam, in particular a laser light beam for illuminating an image area or a sample. DOLLAR A According to the invention, such an arrangement comprises DOLLAR A - a device for beam splitting, e.g. B. a first divider cube (2), on which an incident light bundle (1) is split into two sub-bundles (4, 5), DOLLAR A - a device for beam combining, z. B. a second divider cube (6), on which the partial bundles (4, 5) are merged to form an outgoing light bundle (10), and DOLLAR A - deflecting elements, e.g. B. mirrors (8, 9) which are positioned in the light paths of the sub-beams (4, 5) between these two devices, the light path lengths of the sub-beams (4, 5) being different and the length difference being so great that the coherence of the Wave trains / phase space cells in the sub-bundles (4, 5) are exceeded and thus their ability to interfere with one another is reduced or eliminated.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Anordnung zur Verminderung der Kohärenz eines Lichtbündels, insbesondere eines Laserlichtbündels zur Beleuchtung einer Bildfläche oder einer Probe.The invention relates to a Arrangement for reducing the coherence of a light beam, in particular of a laser light beam for illuminating an image area or a sample.

Zur Beleuchtung der Probe in einem Mikroskop oder zur Wiedergabe von Lichtbildern auf Bildwänden werden Lichtbündel, vorteilhaft Laserlichtbündel genutzt. Aufgrund der verhältnismäßig hohen zeitlichen und räumlichen Kohärenz des Laserlichts kommt es dabei zu Interferenzen, die der Beobachter als unterschiedliche Leuchtdichten bzw. als störendes Glitzern wahrnimmt. Derartige Beleuchtungsstrukturen werden häufig auch als „Speckle" bezeichnet.For illuminating the sample in one Microscope or for reproducing photographs on picture walls Light beam advantageous laser light bundle used. Because of the relatively high temporal and spatial coherence The laser light causes interference, which the observer regards as perceives different luminance levels or as annoying glitter. Such lighting structures are often referred to as "speckle".

Es ist bekannt, daß zur Verringerung dieser Störungen Verfahren und Anordnungen genutzt werden, die auf eine Kohärenzreduzierung abzielen, um dadurch die Interferenzfähigkeit der an der beleuchteten Fläche gestreuten bzw. reflektierten Strahlungsanteile zu verringern oder ganz aufzuheben.It is known to reduce of these disorders Procedures and arrangements are used that aim to reduce coherence aim to thereby reduce the interference ability of those at the illuminated area to reduce scattered or reflected radiation components or to pick up entirely.

Diesbezüglich beschreibt beispielsweise die DE 195 01 525 C2 ein Verfahren, das zur Verringerung der zeitlichen Kohärenz des Laserlichtes dient. Dabei wird das Licht durch eine optische Platte hindurchgeleitet, die eine mikrostrukturierte, phasenverschiebende Ein- oder Abstrahlfläche aufweist, oder das Licht wird auf eine Platte gerichtet, die reflektierend wirkt und mit einer derartigen Oberflächenstruktur versehen ist.In this regard, for example, describes DE 195 01 525 C2 a method that serves to reduce the temporal coherence of the laser light. The light is passed through an optical plate which has a microstructured, phase-shifting radiation or radiation surface, or the light is directed onto a plate which has a reflective effect and is provided with such a surface structure.

Aus WO 01/35451 A1 ist es weiterhin bekannt, mittels einer Vielzahl von Einzelreflektoren das Lichtbündel in Teilbündel aufzuspalten. Die Teilbündel werden dann über unterschiedliche optische Weglängen geführt, wobei die Weglängenunterschiede größer als die zeitliche Kohärenzlänge des Lichtes sind. Die Kohärenzreduzierung ergibt sich mit der Überlagerung der Teilbündel bei der nachfolgenden Zusammenführung zu einem neuen Gesamtlichtbündel.From WO 01/35451 A1 it is still known, by means of a variety of individual reflectors in partial bundle split. The sub-bundles are then over different optical path lengths guided, with the path length differences larger than the temporal coherence length of the Are light. The coherence reduction results with the overlay the sub-bundle in the subsequent merge to a new overall light beam.

Nachteilig dabei ist, daß aufgrund der im Vergleich zur Wellenlänge des Lichtes verhältnismäßig großen Einzelreflektoren Abschattungen auftreten, die eine unerwünschte Schwächung der Strahlungsintensität zur Folge haben.The disadvantage is that due to compared to the wavelength of the light relatively large individual reflectors Shadowing occurs, which results in an undesired weakening of the radiation intensity to have.

Werden zur Realisierung der unterschiedlichen optischen Weglängen Wabenkondensatoren genutzt, die unterschiedlich dicke Glaswege in den einzelnen Waben haben, oder optische Prismen, wobei je nach Position des Prismas unterschiedliche Glaswege vorgegeben sind, tritt der Erfolg jedoch nur bei Strahlungsquellen ein, deren zeitliche Kohärenz verhältnismäßig gering ist, da andernfalls erhebliche Glaswegdifferenzen realisiert werden müssen und dies mit diesen Mitteln nicht möglich ist.Are used to realizing the different optical path lengths Honeycomb capacitors used in glass paths of different thickness have the individual honeycomb, or optical prisms, depending on Position of the prism different glass paths are given, However, success only occurs with radiation sources, their temporal Coherence relatively low because otherwise considerable glass path differences will be realized have to and this is not possible with these means.

Von diesem Stand der Technik ausgehend liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine weitere Möglichkeit zur Kohärenzminderung und damit zur Reduzierung von Speckle zu fin den, bei der die Strahlungsintensität möglichst wenig geschwächt wird.Based on this state of the art the invention has the object of another possibility to reduce coherence and thus to reduce speckle to find the radiation intensity where possible is weakened little.

Erfindungsgemäß umfaßt eine Anordnung zur Verminderung der Kohärenz eine Einrichtung zur Strahlteilung, an der ein einfallendes Lichtbündel in zwei Teilbündel aufgespalten wird, eine Einrichtung zur Strahlvereinigung, an der die Teilbündel wieder zu einem abgehenden Lichtbündel zusammengeführt werden, und Umlenkelemente, die in den Lichtwegen der Teilbündel zwischen diesen beiden Einrichtungen positioniert sind, wobei die Lichtweglängen der Teilbündel verschieden sind und der Längenunterschied so groß ist, daß die Kohärenz der Wellenzüge/Phasenraumzellen in den Teilbündeln überschritten und damit deren Fähigkeit, miteinander zu interferieren, vermindert bzw. aufgehoben wird.According to the invention comprises an arrangement for reduction of coherence a device for beam splitting, on which an incident light beam in two partial bundle is split up, a device for beam unification, at the the sub-bundles be brought together again to an outgoing bundle of light, and deflecting elements which are located in the light paths of the sub-bundles between these two devices are positioned, the light path lengths of the partial bundle are different and the difference in length is so big that the coherence the wave trains / phase space cells exceeded in the sub-bundles and thus their ability to interfere with each other, is reduced or canceled.

In einer ersten bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung sind als Einrichtung zur Strahlteilung ein erster Teilerwürfel und als Einrichtung zur Strahlvereinigung ein zweiter Teilerwürfel vorgesehen, wobei ein erstes Teilbündel durch die Teilerschicht des ersten Teilerwürfels hindurchtritt, während ein zweites Teilbündel an der Teilerschicht umgelenkt wird. Am zweiten Teilerwürfel tritt das erste Teilbündel ebenfalls durch die Teilerschicht hindurch, während das zweite Teilbündel von dieser Teilerschicht in die Richtung des ersten Teilbündels umgelenkt wird und sich dabei mit dem ersten Teilbündel zu dem abgehenden Lichtbündel vereinigt.In a first preferred embodiment of the Invention are a first divider cube and device for beam splitting a second divider cube is provided as a device for beam union, being a first sub-bundle passes through the divider layer of the first divider cube while a second sub-bundle is diverted at the divider layer. Step on the second divider cube the first sub-bundle too through the divider layer, while the second sub-bundle of this divider layer is deflected in the direction of the first sub-bundle is and combined with the first sub-beam to the outgoing light beam.

In einer zweiten bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung ist als Einrichtung zur Strahlteilung ein Dreikantprisma vorgesehen, auf dessen Scheitelwinkel das einfallende Lichtbündel gerichtet ist, so daß von den beiden Grenzflächen des Dreikantprismas jeweils ein Teilbündel abgelenkt wird, und als Einrichtung zur Strahlvereinigung ist ein Teilerwürfel vorgesehen, wobei ein erstes Teilbündel durch die Teilerschicht des Teilerwürfels hindurchtritt, während das zweite Teilbündel so auf die Teilerschicht des Teilerwürfels gerichtet ist, daß dieses von der Teilerschicht in die Richtung des ersten Teilbündels umgelenkt wird und sich dabei mit dem ersten Teilbündel zu dem abgehenden Lichtbündel vereinigt.In a second preferred embodiment of the The invention provides a triangular prism as a device for beam splitting, on the apex angle of the incident light beam is directed so that from the two interfaces a partial bundle of the triangular prism is deflected, and as A splitting cube is provided for the device for beam union, being a first sub-bundle passes through the divider layer of the divider cube while the second partial bundle is so directed at the divider layer of the divider cube that this is diverted from the divider layer in the direction of the first sub-bundle and combined with the first sub-bundle to form the outgoing bundle of light.

Bevorzugt ist als Strahlungsquelle ein Laser, beispielsweise ein F2-Excimer-Laser vorgesehen, und der Lichtweg des zweiten Teilbündels ist um mindestens 14 mm länger als der Lichtweg des ersten Teilbündels.A laser, for example an F 2 excimer laser, is preferably provided as the radiation source, and the light path of the second sub-beam is at least 14 mm longer than the light path of the first sub-beam.

Bei diesem Längenunterschied wird die zeitliche Kohärenz der Strahlung des F2-Excimer-Lasers zwischen beiden Armen überschritten und es können keine Interferenzmuster mehr entstehen. Die Anwendung derartiger Anordnungen, die mit einem F2-Excimer-Laser ausgestattet sind, ist insbesondere im Zusammenhang mit Inspektionssystemen in der Mikrolithographie von Interesse.With this difference in length, the temporal coherence of the radiation of the F 2 excimer laser between the two arms is exceeded and interference patterns can no longer arise. The use of such arrangements, which are equipped with an F 2 excimer laser, is of particular interest in connection with inspection systems in microlithography.

In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung sind im Lichtweg mindestens eines der Teilbündel Mittel zur Veränderung der Wellenfront eingeordnet. Diese Mittel können beispielsweise als optisches Element mit einer im Mikrometerbereich strukturierten Ein- oder Abstrahlfläche, als Teleskop oder als Dove-Prisma ausgebildet sein. Tritt die Strahlung hier hindurch, wird die Wellenfront so verändert, daß bei der späteren Vereinigung der Teilbündel eine effizientere Durchmischung der nicht-interferenzfähigen Strahlungsanteile erfolgt.In a further embodiment of the invention, at least one of the partial beams is arranged in the light path for changing the wavefront. These means can be used, for example, as optical Element with a radiation or radiation area structured in the micrometer range, as a telescope or as a Dove prism. If the radiation passes through it, the wavefront is changed in such a way that when the sub-beams are later combined, the non-interference-capable radiation components are mixed more efficiently.

Bevorzugt haben die verwendeten Teilerwürfel ein Teilungsverhältnis von 50:50, d.h. im Falle der Strahlteilung wird das einfallende Lichtbündel in etwa gleiche Strahlungsanteile aufgespalten.The divider cubes used preferably have one division ratio from 50:50, i.e. in the case of beam splitting, the incident light beam split into approximately the same radiation components.

Im Rahmen der Erfindung liegt es weiterhin, wenn in der Anordnung zusätzlich ein Spiegelsystem vorhanden ist, durch welches Strahlungsanteile, die sonst an der Einrichtung zur Strahlvereinigung ungenutzt ausgekoppelt werden, wieder zu der Einrichtung zur Strahlvereinigung gelenkt und dort in die Lichtwege der Teilbündel eingekoppelt werden.It is within the scope of the invention further, if there is an additional mirror system in the arrangement is by what radiation components that otherwise on the device be coupled out unused for beam union, again to the Device directed to beam union and there in the light paths the sub-bundle be coupled.

Die Erfindung soll nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert werden. Die zugehörigen Zeichnungen zeigen inThe invention is based on the following of embodiments are explained in more detail. The associated Drawings show in

l den prinzipiellen Aufbau der erfindungsgemäßen Anordnung in einem Ausführungsbeispiel mit zwei Teilerwürfeln, l the basic structure of the arrangement according to the invention in an embodiment with two divider cubes,

2 den prinzipiellen Aufbau der erfindungsgemäßen Anordnung in einem Ausführungsbeispiel mit einem Dreikantprisma und einem Teilerwürfel. 2 the basic structure of the arrangement according to the invention in an embodiment with a triangular prism and a divider cube.

In l trifft ein einfallendes Lichtbündel 1 auf einen Teilerwürfel 2, der eine Teilerschicht 3 aufweist. An der Teilerschicht 3 wird das einfallende Lichtbündel 1 in ein Teilbündel 4 und ein Teilbündel 5 aufgespalten. Dabei entspricht das Teilbündel 4 dem Strahlungsanteil, der durch die Teilerschicht 3 hindurchtritt.In l strikes an incident beam of light 1 on a divider cube 2 which is a divider layer 3 having. At the divider layer 3 becomes the incoming light beam 1 into a sub-bundle 4 and a sub-bundle 5 split. The sub-bundle corresponds 4 the proportion of radiation that passes through the divider layer 3 passes.

Das Teilbündel 4 ist auf einen zweiten Teilerwürfel 6 mit einer Teilerschicht 7 gerichtet. Das Teilbündel 4 tritt durch die Teilerschicht 7 hindurch.The sub-bundle 4 is on a second divider cube 6 with a divider layer 7 directed. The sub-bundle 4 passes through the divider layer 7 therethrough.

Das zweite Teilbündel 5, das dem an der Teilerschicht 3 abgelenkten Strahlungsanteil des einfallenden Lichtbündels 1 entspricht, trifft auf einen ersten Spiegel 8, wird von diesem in Richtung auf einen zweiten Spiegel 9 umgelenkt und ist von diesem auf die Teilerschicht 7 des zweiten Teilerwürfels 6 gerichtet.The second sub-bundle 5 that at the divider layer 3 deflected radiation component of the incident light beam 1 corresponds to a first mirror 8th , from this towards a second mirror 9 deflected and is from this to the divider layer 7 of the second divider cube 6 directed.

An der Teilerschicht 7 wird das Teilbündel 5 umgelenkt, und zwar in die gleiche Richtung, in der das Teilbündel 4 durch die Teilerschicht 7 hindurchtritt. Dabei vereinigen sich beide Teilbündel 4, 5 zu einem abgehenden Lichtbündel 10, das nun eine im Vergleich zum einfallenden Lichtbündel 1 verminderte Kohärenz aufweist, so daß die einzelnen Wellenzüge bzw. Phasenraumzellen des Lichtbündels 10 nicht mehr miteinander interferieren können und dadurch auch die Ausbildung von Speckle vermindert wird und das Lichtbündel 10 ohne die oben beschriebenen Nachteile zur Beleuchtung einer Probe bzw. zur Ausleuchtung einer Fläche genutzt werden kann.At the divider layer 7 becomes the sub-bundle 5 redirected, in the same direction as the sub-bundle 4 through the divider layer 7 passes. The two sub-bundles unite 4 . 5 to an outgoing bundle of light 10 which is now a compared to the incident light beam 1 has reduced coherence, so that the individual wave trains or phase space cells of the light beam 10 can no longer interfere with each other and this also reduces the formation of speckle and the light beam 10 can be used for illuminating a sample or for illuminating a surface without the disadvantages described above.

Aus 1 geht weiterhin hervor, daß zwischen den beiden Spiegeln 8 und 9 ein Dove-Prisma 11 positioniert ist, durch welches das Teilbündel 5 hindurchläuft und dabei eine Sei tenvertauschung erfährt. Dies trägt zu einer besseren Mischung nicht interferenzfähiger Wellenzüge bei der Vereinigung beider Teilbündel 4, 5 zu dem abgehenden Lichtbündel 10 bei.Out 1 continues to show that between the two mirrors 8th and 9 a dove prism 11 through which the sub-bundle is positioned 5 runs through and experiences a side swap. This contributes to a better mixture of non-interference-capable wave trains when the two sub-bundles are combined 4 . 5 to the outgoing light beam 10 at.

Es ist denkbar, anstelle des Dove-Prisma 11 ein Teleskop, bevorzugt ein 1:1-Keplerteleskop, zu nutzen, bei dem ebenfalls eine Seitenvertauschung der Strahlungsanteile erfolgt.It is conceivable to replace the Dove prism 11 to use a telescope, preferably a 1: 1 Kepler telescope, in which the radiation components are also reversed.

Weiterhin ist es möglich, anstelle des Dove-Prismas 11 ein optisches Element mit einer im Mikrometerbereich strukturierten Ein- und/oder Austrittsfläche vorzusehen, die eine willkürliche Durchmischung der Strahlungsanteile bewirkt, so daß hierdurch ebenfalls die Effizienz der erfindungsgemäßen Anordnung gesteigert wird.It is also possible to replace the Dove prism 11 to provide an optical element with an entry and / or exit surface structured in the micrometer range, which effects an arbitrary mixing of the radiation components, so that this also increases the efficiency of the arrangement according to the invention.

In einer besonderen Ausgestaltung, die ebenfalls im Rahmen der Erfindung liegt und die in 1 in Form gestrichelter Linien dargestellt ist, sind zwei weitere Spiegel 12 und 13 vorgesehen, die dafür sorgen, daß die sonst ungenutzten Strahlungsanteile des Teilbündels 4, die an der Teilerschicht 7 in Richtung auf den Spiegel umgelenkt werden bzw. die Strahlungsanteile des Teilbündels 5, die an der Teilerschicht 7 in Richtung des Spiegels 12 hindurchtreten, am Spiegel 12 zu dem Spiegel 13 umgelenkt und über den Spiegel 13 und die Teilerschicht 3 wieder in die Teilbündel 4, 5 eingekoppelt werden, wobei ein Teil der rückgeführten Strahlungsanteile an der Teilerschicht 3 in Richtung auf den Teilerwürfel 6 umgelenkt wird und der übrige Teil durch die Teilerschicht 3 hindurchtritt und sich mit dem Teilbündel 5 vereinigt.In a special embodiment, which is also within the scope of the invention and which in 1 shown in dashed lines are two more mirrors 12 and 13 provided that ensure that the otherwise unused radiation portions of the sub-beam 4 that at the divider layer 7 are deflected towards the mirror or the radiation components of the sub-beam 5 that at the divider layer 7 towards the mirror 12 step through, at the mirror 12 to the mirror 13 redirected and over the mirror 13 and the divider layer 3 back into the sub-bundle 4 . 5 be coupled in, with a part of the returned radiation components at the divider layer 3 towards the divider cube 6 is deflected and the rest of the part through the divider layer 3 passes through and with the sub-bundle 5 united.

In dem Ausführungsbeispiel nach 2 trifft ein einfallendes Lichtbündel 1 auf ein Dreikantprisma 14, das so im Lichtbündel 1 positioniert ist, daß von seinen Grenzflächen 15 und 16 etwa gleiche Teilbündel 17 und 18 ablaufen. Dabei ist das Teilbündel 17 über einen Spiegel 19 auf einen Teilerwürfel 21 mit einer Teilerschicht 20 gerichtet, durch die das Teilbündel 17 hindurchläuft.In the embodiment according to 2 strikes an incident beam of light 1 on a triangular prism 14 , so in the bundle of light 1 positioned that from its interfaces 15 and 16 about the same sub-bundle 17 and 18 expire. Here is the sub-bundle 17 through a mirror 19 on a divider cube 21 with a divider layer 20 directed through which the sub-bundle 17 passes.

Das Teilbündel 18 wird über zwei Spiegel 22 und 23 ebenfalls auf die Teilerschicht 20 gelenkt und von dieser in die Richtung abgelenkt, die auch das durch die Teilerschicht 20 hindurchtretende Teilbündel 17 nimmt. Dabei werden beide Teilbündel 17, 18 zu einem abgehenden Lichtbündel 24 vereinigt, das nun wie im eingangs genannten Ausführungsbeispiel nach l auch wieder durch eine verminderte Kohärenz charakterisiert ist.The sub-bundle 18 will have two mirrors 22 and 23 also on the divider layer 20 steered and diverted from this in the direction that also through the divider layer 20 partial bundles passing through 17 takes. Both sub-bundles 17 . 18 to an outgoing bundle of light 24 united, now as in the above-mentioned embodiment l is also characterized by reduced coherence.

Um die Effizienz zu erhöhen, können auch in dem Ausführungsbeispiel nach 2 in einem der Teilbündel 17, 18 oder in beiden Teilbündeln 17, 18 Einrichtungen zur Beeinflussung der Wellenfront, also etwa ein Dove-Prisma, ein Teleskop, bevorzugt ein Keplerteleskop, oder ein optisches Element mit mikrosturkturierter Oberfläche vorgesehen sein.In order to increase the efficiency, can also in the embodiment 2 in one of the sub-bundles 17 . 18 or in both sub-bundles 17 . 18 Devices for influencing the wavefront, for example a Dove prism, a telescope, preferably a Kepler telescope, or an optical element with a microstructured surface can be provided.

Zudem kann auch hier, ähnlich wie in 1, ein Spiegelsystem vorgesehen werden, das die Strahlungsanteile, die sonst an der Teilerschicht 20 nutzlos ausgekoppelt werden, wieder auf das Dreikantprisma 14 lenkt. Dazu ist des denk bar, die Strahlungsanteile mit Hilfe eines teilreflektierenden Elementes, das beispielsweise unter einem Winkel von 45° Neigung in das einfallende Lichtbündel 1 gestellt ist, in das Lichtbündel 1 einzukoppeln und auf den Scheitelwinkel des Dreikantprisma 14 zu lenken.In addition, similar to in 1 , a mirror system can be provided that the Radiation shares that otherwise on the divider layer 20 be uselessly coupled out again on the triangular prism 14 directs. For this purpose, it is conceivable to use a partially reflecting element that, for example, at an angle of 45 ° in the incident light beam, the radiation components 1 is placed in the light beam 1 couple and onto the apex angle of the triangular prism 14 to steer.

11
Lichtbündellight beam
22
Teilerwürfelsplitter cube
33
Teilerschichtsplitter layer
4,54.5
Teilerbündeldivider bundle
66
Teilerwürfelsplitter cube
77
Teilerschichtsplitter layer
8,98.9
Spiegelmirror
1010
Lichtbündellight beam
1111
Dove-PrismaDove prism
12,1312.13
Spiegelmirror
1414
DreikantprismaTriangular prism
15,1615.16
Grenzflächeninterfaces
17,1817.18
Teilbündelpartial bundle
1919
Spiegelmirror
2020
Teilerschichtsplitter layer
2121
Teilerwürfelsplitter cube
22,2322.23
Spiegelmirror
2424
Lichtbündellight beam

Claims (7)

Anordnung zur Verminderung der Kohärenz eines Lichtbündels, umfassend – eine Einrichtung zur Strahlteilung, an der ein einfallendes Lichtbündel (1) in zwei Teilbündel (4, 5) aufgespalten wird, – eine Einrichtung zur Strahlvereinigung, an der die Teilbündel (4, 5) zu einem abgehenden Lichtbündel (10) zusammengeführt werden, und – Umlenkelemente, die in den Lichtwegen der Teilbündel (4, 5) zwischen den beiden Einrichtungen angeordnet sind, wobei die Lichtweglängen der Teilbündel (4, 5) verschieden sind und der Längenunterschied so groß ist, daß die Kohärenzlängen der Wellenzüge/Phasenraumzellen in den Teilbündeln (4, 5) überschritten und damit deren Fähigkeit, miteinander zu interferieren, vermindert oder aufgehoben wird.Arrangement for reducing the coherence of a light beam, comprising - a device for beam splitting, on which an incident light beam ( 1 ) in two sub-bundles ( 4 . 5 ) is split, - a device for beam unification, on which the sub-beams ( 4 . 5 ) to an outgoing light beam ( 10 ) are brought together, and - deflecting elements which are located in the light paths of the partial bundles ( 4 . 5 ) are arranged between the two devices, the light path lengths of the sub-beams ( 4 . 5 ) are different and the difference in length is so great that the coherence lengths of the wave trains / phase space cells in the sub-bundles ( 4 . 5 ) is exceeded and thus their ability to interfere with each other is reduced or abolished. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Einrichtung zur Strahlteilung ein erster Teilerwürfel (2) und als Einrichtung zur Strahlvereinigung ein zweiter Teilerwürfel (6) vorgesehen sind, wobei – ein erstes Teilbündel (4) durch die Teilerschicht (3) des ersten Teilerwürfels (2) hindurchtritt, während ein zweites Teilbündel (5) an der Teilerschicht (3) umgelenkt wird, – das erste Teilbündel (4) auch durch die Teilerschicht (7) des zweiten Teilerwürfels (6) hindurchtritt, während das zweite Teilbündel (5) so auf die Teilerschicht (7) des zweiten Teilerwürfels (6) gerichtet ist, daß dieses von der Teilerschicht (7) in die Richtung des ersten Teilbündels (4) umgelenkt wird und sich dabei mit dem ersten Teilerbündel (4) zu dem abgehenden Lichtbündel (10) vereinigt.Arrangement according to Claim 1, characterized in that a first divider cube ( 2 ) and a second splitter cube as a device for beam union ( 6 ) are provided, whereby - a first sub-bundle ( 4 ) through the divider layer ( 3 ) of the first divider cube ( 2 ) passes through while a second sub-bundle ( 5 ) at the divider layer ( 3 ) is deflected, - the first sub-bundle ( 4 ) also through the divider layer ( 7 ) of the second divider cube ( 6 ) passes through while the second sub-bundle ( 5 ) so on the divider layer ( 7 ) of the second divider cube ( 6 ) is directed from the divider layer ( 7 ) in the direction of the first sub-bundle ( 4 ) is redirected and with the first bundle of dividers ( 4 ) to the outgoing light beam ( 10 ) united. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß – als Einrichtung zur Strahlteilung des einfallenden Lichtbündels (1) ein Dreikantprisma (14) vorgesehen ist, auf dessen Scheitelwinkel das einfallende Lichtbündel (1) gerichtet ist, so daß von den beiden Grenzflächen (15, 16) des Dreikantprismas (14) jeweils ein Teilbündel (17, 18) abgelenkt wird, und – als Einrichtung zur Strahlvereinigung ein Teilerwürfel (21) vorgesehen ist, wobei – das erste Teilbündel (17) durch die Teilerschicht (20) des Teilerwürfels (21) hindurchtritt, während das zweite Teilbündel (18) so auf die Teilerschicht (20) des Teilerwürfels (21) gerichtet ist, daß dieses von der Teilerschicht (20) in die Richtung des ersten Teilbündels (17) umgelenkt wird und sich dabei mit dem ersten Teilbündel (17) zu dem abgehenden Lichtbündel (24) vereinigt.Arrangement according to claim 1, characterized in that - as a device for splitting the beam of the incident light beam ( 1 ) a triangular prism ( 14 ) is provided, on the apex angle of which the incident light beam ( 1 ) is directed so that from the two interfaces ( 15 . 16 ) of the triangular prism ( 14 ) one sub-bundle each ( 17 . 18 ) is deflected, and - as a device for beam union, a divider cube ( 21 ) is provided, whereby - the first sub-bundle ( 17 ) through the divider layer ( 20 ) of the divider cube ( 21 ) passes through while the second sub-bundle ( 18 ) so on the divider layer ( 20 ) of the divider cube ( 21 ) is directed from the divider layer ( 20 ) in the direction of the first sub-bundle ( 17 ) is redirected and thereby with the first sub-bundle ( 17 ) to the outgoing light beam ( 24 ) united. Anordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Strahlungsquelle ein Laser, insbesondere ein F2-Excimer-Laser vorgesehen ist und der Lichtweg des zweiten Teilbündels (5, 18) um mindestens 14 mm länger ist als der Lichtweg des ersten Teilbündels (4, 17).Arrangement according to claim 1 or 2, characterized in that a laser, in particular an F 2 excimer laser, is provided as the radiation source and the light path of the second sub-beam ( 5 . 18 ) is at least 14 mm longer than the light path of the first sub-bundle ( 4 . 17 ). Anordnung nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß im Lichtweg mindestens eines der Teilbündel (4, 5, 17, 18) Mittel zur Veränderung der Wellenfront vorgesehen sind, die bevorzugt als optisches Element mit einer im Mikrometerbereich strukturierten Ein- oder Abstrahlfläche, als Keplerteleskop, bevorzugt als 1:1-Keplerteleskop, oder als Dove-Prisma (11) ausgebildet sind.Arrangement according to one of the preceding claims, characterized in that at least one of the partial bundles ( 4 . 5 . 17 . 18 Means for changing the wavefront are provided, which are preferably as an optical element with a radiation or radiation surface structured in the micrometer range, as a Kepler telescope, preferably as a 1: 1 Kepler telescope, or as a Dove prism ( 11 ) are trained. Anordnung nach einem vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur Strahlteilung ein Teilungsverhältnis von 50:50 bewirkt.Arrangement according to one of the preceding claims, characterized characterized that the Device for beam splitting causes a splitting ratio of 50:50. Anordnung nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein Spiegelsystem vorgesehen ist, durch welches an der Einrichtung zur Strahlvereinigung ungenutzt ausgekoppelte Strahlungsanteile zu der Einrichtung zur Strahlvereinigung gelenkt und dort wieder in die Lichtwege der Teilbündel (4, 5, 17, 18) eingekoppelt werden.Arrangement according to one of the preceding claims, characterized in that a mirror system is provided, by means of which radiation components, which are coupled out unused on the device for beam combining, are directed to the device for beam combining and there again into the light paths of the partial beams ( 4 . 5 . 17 . 18 ) are coupled.
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