DE102007019267A1 - Messanordnung sowie Verfahren zum dreidimensionalen Messen eines Objekts - Google Patents

Messanordnung sowie Verfahren zum dreidimensionalen Messen eines Objekts Download PDF

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Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf eine Messanordnung sowie ein Verfahren zum dreidimensionalen Messen von zumindest einem Teil eines Objekts (28), umfassend eine Lichtquelle (10) mit einem kontinuierlichen Spektrum, eine Einrichtung (14) zur Erzeugung eines multifokalen Beleuchtungsmusters (16), ein Objektiv (18) mit großer chromatischer Aberration zur Abbildung von Foki des Beleuchtungsmusters auf das Objekt, eine Detektiereinheit (40) zur Ermittlung der Wellenlängenspektren der konfokal über das Objektiv auf das Objekt abgebildeten Foki sowie eine spektraldispersive Einrichtung (34, 36, 38), die zwischen den konfokal abgebildeten Foki und der Detektionseinrichtung angeordnet ist. Um auch bei bewegten Objekten in relativ kurzer Zeit ein Oberflächenprofil erstellen zu können, das eine hohe Genauigkeit aufweist, wird vorgeschlagen, dass in der Ebene der konfokal abgebildeten Foki ein erstes Lochmuster (30) mit ersten Löchern (32) angeordnet ist, wobei geometrische Anordnung der ersten Löcher geometrischer Anordnung der Foki des multifokalen Beleuchtungsmusters entspricht.

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf eine Messanordnung zum dreidimensionalen Messen von zumindest einem Teil eines Objekts, insbesondere eines semitransparenten Objekts, umfassend eine Lichtquelle mit einem kontinuierlichen Spektrum, eine Einrichtung zur Erzeugung eines multifokalen Beleuchtungsmusters, ein Objektiv mit großer chromatischer Aberration zur Abbildung von Foki des Beleuchtungsmusters auf das Objekt, eine Detektionseinheit wie CCD-Flächendetektor zur Ermittlung der Wellenlängenspektren der konfokal über das Objektiv auf das Objekt abgebildeten Foki sowie eine spektraldispersive Einrichtung, die zwischen den konfokal abgebildeten Foki und der Detektionseinrichtung angeordnet ist.
  • Ferner nimmt die Erfindung Bezug auf ein Verfahren zum Messen der Form zumindest eines Abschnitts eines Objekts, insbesondere eines semitransparenten Objekts wie zumindest Abschnitt eines Zahns, unter Verwendung einer Lichtquelle zur Erzeugung von Licht mit einem kontinuierlichem Spektrum, einer Einrichtung zur Erzeugung eines multifokalen Beleuchtungsmusters, eines Objektivs mit großer chromatischer Aberration zur Abbildung von Foki des Beleuchtungsmusters auf das Objekt, eine Detektiereinrichtung zur Ermittlung der Wellenlängenspektren der konfokal über das Objektiv auf das Objekt abgebildeten Foki, wobei aus dem jeweiligen Wellenlängenspektrum spektrale Peaklage eines jeden Fokus bestimmt wird, aus der die Erstreckung des Objekts in Richtung des Abbildungsstrahls (Z-Koordinate) berechnet wird.
  • In vielen Bereichen der Technik ist es erforderlich, dreidimensionale Strukturen von Objekten zu bestimmen, d. h. zu messen. Hierzu gehört auch die Ermittlung einer Zahnform, die zur Anfertigung von Zahnersatz notwendig ist. Werden nach herkömmlichen Verfahren Zahnrekonstruktionen mit Hilfe eines Gipsabdrucks angefertigt, so besteht das Bestreben, die entsprechende klassische Verfahrensweise zu verlassen und berührungslos die Geometrie der Zahnform zu bestimmen.
  • Aus dem Stand der Technik sind zahlreiche Verfahren bekannt, um die dreidimensionale Struktur von Körpern zu erfassen. Gelangen optische Verfahren zum Einsatz, so sind das Streifenprojektionsverfahren bzw. Phasenschiftverfahren, die optische Kohärenztomografie oder die Holografie zu nennen. Auf dem Gebiet der Zahntechnik gelangt dabei das Phasenschiftverfahren bereits zum Einsatz.
  • Es hat sich jedoch herausgestellt, dass entsprechende optische Verfahren insbesondere bei Objekten starker Streuung, wie dies bei Zähnen der Fall ist, nicht die gewünschten Ergebnisse zeigen. Bei dem Streifenprojektionsverfahren führt zum Beispiel die Streuung zu einer Unschärfe der Streifen und damit zu einer verminderten Auflösung.
  • Es sind auch Verfahren bekannt, bei denen nicht das gesamte Objekt, sondern nur in einem Bereich mit einem scharfen Fokus oder mehreren Foki unter Verwendung einer konfokalen Abbildung beleuchtet wird. Zur Aufnahme eines vollständigen zweidimensionalen Bildes muss der Fokus bzw. die Foki über das Objekt gescannt werden. Sollen dreidimensionale Strukturen erfasst werden, ist es erforderlich, dass die Fokusebene axial verschoben wird.
  • Alternativ kann zur Abbildung des Fokus' bzw. der Foki eine breitbandige Lichtquelle einer geeignete Optik mit stark wellenlängenabhängiger Brennweite zum Einsatz gelangen. Dadurch werden die Foki abhängig von der Wellenlänge in unterschiedlichen Abständen zum Objektiv scharf abgebildet. Nach rückwärtiger Abbildung der Foki über das Objektiv ist in der Fokusebene für die Farbe, die bei dem entsprechenden Objektabstand scharf abgebildet wird, ein Intensitätsmaximum detektierbar. Durch Bestimmung der spektralen Peaklage lässt sich somit der Abstand des Objekts zum Objektiv in diesem Punkt und damit letztendlich die dreidimensionale Struktur des Objekts bestimmen. Die Auswertung erfolgt dabei entweder punktweise über ein Spektrometer oder linienweise über ein Linienspektrometer mit Kamerachip.
  • Aus der EP-B-0 321 529 ist eine Messanordnung zur Messung der Abstände zwischen einem Objektiv mit großer chromatischer Aberration und einem Objekt bekannt. Zur Detektion wird eine Schwarz-Weiß-CCD-Flächenkamera benutzt, der eine spektraldispersive Apparatur vorgeordnet ist, die einen Eingangsspalt aufweist. Hierdurch wird die Wellenlängeninformation für jeden Punkt in eine Ortsinformation umgesetzt, um ein Profilbild der Oberfläche des Objekts zu gewinnen.
  • Die EP-B-0 466 979 bezieht sich auf eine Anordnung zur simultanen konfokalen Bilderzeugung. Hierzu werden über eine Lochrasterblende wie Nipkow-Scheibe Lichtpunkte erzeugt, die fokussiert auf ein Objekt abgebildet werden. Als Detektiereinheit wird eine CCD-Array-Kamera benutzt.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Messanordnung sowie ein Verfahren zur dreidimensionalen Bestimmung der Form eines insbesondere semitransparenten Objekts wie Zahns derart weiterzubilden, dass auch bei bewegten Objekten in relativ kurzer Zeit ein Oberflächenprofil erstellbar ist, das eine hohe Genauigkeit aufweist. Insbesondere sollen streuende bzw. stark streuende Objekte, die einen sehr hohen Weißlichtuntergrund liefern, gemessen werden können, so dass auch ein Einsatz im Bereich der Zahnmedizin bzw. -technik ermöglicht wird.
  • Zur Lösung der Aufgabe sieht eine Messanordnung der eingangs genannten Art im Wesentlichen vor, dass in der Ebene der konfokal abgebildeten Foki ein erstes Lochmuster mit ersten Löchern angeordnet ist, wobei geometrische Anordnung der ersten Löcher geometrischer Anordnung der Foki des multifokalen Beleuchtungsmusters entspricht.
  • Abweichend von bekannten Anordnungen wird in der die auf dem Objekt auftreffenden Foki abbildenden Fokusebene des Objektivs, das eine starke chromatische Aberration aufweist, ein Lochmuster oder Pinhole-Array angeordnet, auf das folglich das Beleuchtungsmuster rückwärtig vom Messobjekt konfokal abgebildet wird. Dabei ist die geometrische Zuordnung der ersten Löcher des ersten Lochmusters auf das Beleuchtungsmuster derart ausgerichtet, dass eine eindeutige Zuordnung erfolgt, so dass infolge dessen den Foki in den Löchern des Lochmusters Ortskoordinaten in einer Ebene zuordbar sind, die senkrecht zum das Objektiv durchsetzenden Strahlengang verläuft.
  • Erfindungsgemäß werden über eine Fläche verteilte Löcher oder Pinholes in der Fokusebene des Objektivs angeordnet, in die das Beleuchtungsmuster rückwärtig vom Objekt konfokal abgebildet wird. Dabei werden in den Pinholes wellenlängenabhängig und in Abhängigkeit vom Abstand zwischen dem Objektiv und dem Objekt auf dem Objekt abgebildete Foki abgebildet, die sodann mit der Detektiereinrichtung spektral ausgelesen werden. Dabei ist erfindungsgemäß insbesondere vorgesehen, dass die der Detektionseinrichtung vorgeschaltete dispersive Einrichtung die Spektrallinien des in dem jeweiligen Loch abgebildeten Fokus lateral aufspaltet, bevor die Spektrallinien auf Pixeln der Detektiereinrichtung auftreffen. Hierzu ist vorgesehen, dass die Detektionseinrichtung in einer Fläche angeordnete Pixel eines CCD-Flächensensors umfasst, wobei die dispersive Einrichtung derart zu dem ersten Lochmuster bzw. der Detektionseinrichtung relativ geneigt verläuft, dass die lateral aufgespreizten Spektren überlappungsfrei auf der Pixelfläche abbildbar sind. Dabei ist insbesondere vorgesehen, dass die aufgespreizten Spektren derart auf die Pixelfläche auftreffen, dass aufeinanderfolgend lateral aufgespreizte Spektren pixelfrei ineinander übergehen.
  • Es wird erfindungsgemäß folglich eine Farbmesseinheit vorgeschlagen, die aus dem dispersiven Element zur spektralen Aufspreizung des Lichts eines jeden Pinholes entlang einer Linie und einem CCD-Chip besteht, auf welchem die spektral aufgespreizten Messpunkte abgebildet werden. Somit ergibt sich eine einem Linienspektrometer ähnliche Anordnung mit dem Unterschied, dass die Messpunkte nicht auf einer Linie, sondern gleichmäßig über die gesamte Messfläche angeordnet sind. Die einzelnen Löcher des Pinhole-Arrays entsprechen dem eines langen Spalts eines Linienspektrometers.
  • Das Beleuchtungsmuster ist dabei auf die Farbmesseinheit derart abgestimmt, d. h. so gewählt, dass die Freiräume zwischen den einzelnen Foki für die spektrale Zerlegung des Lichts und Messung entlang von Linien verwendet werden.
  • Entsprechend dem Beleuchtungsmuster erhält man mit einer Bildaufnahme mehrere Stützstellen, also Messpunkte über das Messfeld verteilt. Ist der Abstand der Stützstellen größer als geforderte Auflösung, muss das Beleuchtungsmuster entsprechend verschoben werden. Dies kann entweder durch ein geeignetes optisches Element wie planparallele Platte in der Messanordnung erfolgen oder durch eine kontinuierliche Bewegung der Messanordnung selbst, wobei die resultierenden Einzelbilder zu einem Gesamtbild zusammengefügt werden.
  • Ergibt die Anordnung der Löcher in dem Lochmuster bzw. in dem Pinhole-Array die Ortskoordinaten in einer senkrecht zu dem das Objektiv durchsetzenden Strahlengang verlaufenden Ebene, so wird durch spektrale Auswertung des in dem jeweiligen Loch abgebildeten Fokus die erforderliche Höheninformation als Z-Koordinate ermittelt, da die Foki abhängig von der Wellenlänge in unterschiedlichen Abständen vom Objektiv scharf abgebildet werden und in den Löchern des Pinhole-Arrays nur die Foki abgebildet werden, die ihrerseits auf dem Objekt abgebildet waren.
  • Um ein Beleuchtungsmuster zu erzeugen, ist z. B. vorgesehen, dass der Lichtquelle ein Mikrolinsenarray zur Erzeugung des multifokalen Beleuchtungsmusters in der lichtquellenseitig verlaufenden ersten Fokusebene des Objektivs nachgeordnet ist. Es besteht jedoch auch die Möglichkeit, in der ersten Fokusebene des Objektivs ein zweites Lochmuster anzuordnen, in dessen Löcher die Foki des multifokalen Beleuchtungsmusters abbildbar sind oder dessen Löcher das multifokale Beleuchtungsmuster selbst vorgeben.
  • Um die Foki in der Ebene des ersten Lochmustes abzubilden, ist zwischen dem Objektiv und der Detektiereinrichtung ein erster Strahlteiler angeordnet. Ein zweiter Strahlteiler kann des Weiteren zwischen dem Objektiv und dem Beleuchtungsmuster, insbesondere zwischen dem Objektiv und dem ersten Strahlteiler angeordnet sein, um ein Live-Bild des Objekts zu erhalten. Dabei ist vorzugsweise vorgesehen, dass das Objekt mit einer zweiten Lichtquelle bestrahlt wird, wobei der Spektralbereich der zweiten Lichtquelle auch außerhalb des Wellenlängenbereichs der ersten Lichtquelle liegen kann, der im Wesentlichen zur Formerfassung des Objekts auswertbar ist. Das Live-Bild kann über eine Kamera aufgenommen werden.
  • Unabhängig hiervon sollte der zweite Strahlteiler optisch derart ausgelegt sein, dass sich eine hohe Transmission für die Strahlung zur konfokalen Abbildung der Foki ergibt. Bei Verwendung eines Spektralbereichs für die Live-Bild-Einstellung, der außerhalb des Wellenlängenbereichs der ersten Lichtquelle liegt, handelt es sich bei dem zweiten Strahlteiler vorzugsweise um ein dichroitisches Filter, welches neben der hohen Transmission für die Strahlung der ersten Beleuchtungsquelle eine hohe Reflexion für die Strahlung der zweiten Lichtquelle aufweist. Um ein möglichst scharfes Live-Bild zu erhalten, ist es von Vorteil, wenn der für die Aufnahme verwendete Spektralbereich möglichst schmalbandig ist, was entweder durch Verwendung eines vor der Kamera bzw. dem Kamerachip vorgeschalteten Spektralfilters und/oder durch Verwendung einer schmalbandigen zweiten Lichtquelle erfolgen kann.
  • Anzumerken ist allerdings, dass es nicht zwingend erforderlich ist, dass eine zweite Lichtquelle eingesetzt wird. Vielmehr können die auf dem Objekt abgebildeten Foki zur Erzeugung eines Live-Bilds ausreichen.
  • In Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass das erste Lochmuster den ersten Löchern zugeordnete zur Untergrundbestimmung der Messergebnisse bestimmte zweite Löcher aufweist, die außerhalb des Beleuchtungsmusters liegen.
  • Zur Erzielung einer kompakten Baueinheit ist vorgesehen, dass zwischen dem Objektiv und dem Objekt eine Strahlumlenkeinrichtung wie Spiegel vorgesehen ist, so dass sich eine konstruktiv einfache Bauart zur intraoralen Nutzung der Messanordnung ergibt.
  • Bei der ersten Lichtquelle handelt es sich insbesondere um eine Halogenlampe. Es können jedoch auch Weißlicht-LEDs oder mehrere farbige LEDs benutzt werden.
  • Alternativ besteht die Möglichkeit, dass die Strahlung der ersten Lichtquelle über Lichtleiter zuführbar ist, deren Auskoppelenden in der ersten Objektebene des Objektivs liegen und damit anstelle der Foki des Mikrolinsenarrays selbst die Foki darstellen. Alternativ liegt das Auskoppelende vorzugsweise eines Lichtleiters in der Fokusebene einer Kollimationsoptik, nach der der kollimierte Strahl des Lichtleiters auf das Mikrolinsen-Array fällt.
  • Um eine eindeutige geometrische Zuordnung des Bildmusters und des ersten Lochmusters und des zwischen diesen angeordneten ersten Strahlteils zu erreichen, ist vorgesehen, dass das Mikrolinsen-Array, das erste Lochmuster und der erste Strahlteiler als eine Baueinheit ausgebildet sind. Dabei ergibt sich insbesondere eine Würfelgeometrie.
  • Um auf einfache Weise unterschiedliche Teilbereiche des Objekts messen zu können, können zwischen dem ersten Strahlteiler und dem Objektiv eine oder mehrere planparallele Platten angeordnet sein, die entsprechend dreh- bzw. schwenkbar sind. Insbesondere ist bei Vorhandensein einer planparallelen Platte diese um zwei in der von der Platte aufgespannten Ebene verlaufende Achse drehbar angeordnet.
  • Auch kann die Umlenkeinrichtung wie der Umlenkspiegel verschiebbar und/oder drehbar angeordnet sein, um unterschiedliche Teilbereiche des Objekts zu messen.
  • Ein Verfahren der eingangs genannten Art zeichnet sich dadurch aus, dass in der Ebene der konfokal abgebildeten Foki ein erstes Lochmuster mit ersten Löchern angeordnet wird, deren geometrische Anordnung mit der des multifokalen Beleuchtungsmusters korreliert, und dass durch die Position der ersten Löcher Positionen der Foki auf dem Objekt in einer senkrecht zum Abbildungsstrahl verlaufenden Ebene (X-, Y-Koordinaten) vorgegeben werden, wobei die Wellenlängenspektren der in den Löchern abgebildeten Foki gleichzeitig von der Detektiereinrichtung erfasst werden.
  • Dabei ist vorgesehen, dass das Wellenlängenspektrum eines jeden in einem Loch abgebildeten Fokus mit einer dem ersten Lochmuster nachgeordneten dispersiven Einrichtung lateral aufgespreizt wird.
  • Insbesondere schlägt die Erfindung vor, dass die Detektiereinrichtung eine die Wellenlängenspektren erfassende Pixelfläche eines CCD-Sensors aufweist, dass die Pixelfläche und/oder die dispersive Einrichtung zu dem ersten Lochmuster derart geneigt ausgerichtet werden, dass die Wellenlängenspektren der in den ersten Löchern abgebildeten Foki überlappungsfrei auf der Pixelfläche auftreffen.
  • Dabei sollte eine Ausrichtung der Pixelfläche und der dispersiven Einrichtung zu dem ersten Lochmuster derart erfolgen, dass die Wellenlängenspektren der in den ersten Löchern abgebildeten Foki überlappungsfrei ineinander übergehen.
  • Um in hinreichendem Umfang und mit der erforderlichen Genauigkeit die Wellenlänge des in den einzelnen Löchern scharf abgebildeten Foki zu ermitteln, ist vorgesehen, dass von einem Fokus ein erstes Spektrum ermittelt wird, das in den Strahlengang des Fokus ein Weglänge des Strahlengangs änderndes optisches Element angeordnet wird, dass von dem Fokus mit geändertem Strahlengang ein zweites Spektrum ermittelt wird, dass die Spektren voneinander subtrahiert werden und dass aus sich ergebenden gleichen Peaks unterschiedlichen Vorzeichens Wellenlänge der Strahlung des Fokus ermittelt wird.
  • Nach einem weiteren Vorschlag zur Ermittlung des die Wellenlänge bzw. den Wellenlängenbereich des Fokus charakterisierenden Peaks in der Messkurve ist zur Ermittlung des Untergrunds vorgesehen, dass spektraler Verlauf des Untergrunds des Spektrums des Fokus durch Ermittlung von Spektren in den ersten Löchern zugeordneten zweiten Löchern auftreffendem Licht ermittelt wird, wobei die Anordnung der zweiten Löcher von der des multifokalen Beleuchtungsmusters abweicht. Dabei werden vorzugsweise Spektren von Licht mehrerer einem ersten Loch zugeordneter zweiter Löcher zur Untergrundermittlung gemittelt.
  • Werden zur Messung des Objekts nacheinander Teilbereiche des Objekts gemessen, so sollten aufeinanderfolgende Teilbereiche einen gemeinsamen Unterteilbereich umfassen, der 50% bis 95% des jeweiligen Teilbereichs beträgt. Somit ist eine einfache Korrelation zwischen den einzelnen Messungen möglich. Des Weiteren ist vorgesehen, dass zur Ermittlung der Form des zumindest einen Abschnitts des Objekts die Teilbereiche nacheinander mit einer Bildfolge zwischen 25 und 50 Bildern pro Sekunde aufgenommen werden.
  • Bevorzugterweise ist das Messverfahren zum intraoralen Messen von Zähnen bzw. Zahnbereichen vorgesehen. Hierzu kann das Objektiv mit der Umlenkeinrichtung in den Mundbereich eingeführt werden, um die Messungen durchzuführen.
  • Weitere Einzelheiten, Vorteile und Merkmale der Erfindung ergeben sich nicht nur aus den Ansprüchen, den diesen zu entnehmenden Merkmalen – für sich und/oder in Kombination –, sondern auch aus der nachfolgenden Beschreibung von der Zeichnung zu entnehmenden bevorzugten Ausführungsbeispielen.
  • Es zeigen:
  • 1 eine erste Ausführungsform einer Messanordnung in prinzipieller Darstellung,
  • 2 ein Beleuchtungsmuster,
  • 3 eine Spektralverteilung,
  • 4 eine Messkurve,
  • 5 eine Lochanordnung mit ersten und zweiten Löchern,
  • 6 eine monolithische Ausführungsform eines Mikrolinsen-Arrays und Pinhole-Arrays mit Strahlteiler,
  • 7 eine zweite Ausführungsform einer Messanordnung und
  • 8 durch Subtraktion zweier Messkurven ermittelte Peaklagen.
  • In den Figuren, in denen grundsätzlich gleiche Elemente mit gleichen Bezugszeichen versehen sind, werden verschiedene Ausführungsformen von Messanordnungen dargestellt, um insbesondere intraoral einen Zahn bzw. einen Bereich eines solchen oder mehrere Zäh ne oder Bereiche dieser zu scannen, um die dreidimensionale Form zu erfassen. Dabei werden die die Form repräsentierenden Daten digital zur Verfügung gestellt, um sodann in gewohnter Weise im CAD/CAM-Verfahren aus insbesondere vorgesinterten Keramikrohlingen eine Zahnrekonstruktion herzustellen.
  • Die Messanordnung umfasst dabei als wesentliche Elemente eine Lichtquelle 10 wie Halogenlampe, deren Licht über eine Linse 12 kollimiert wird. Der kollimierte Lichtstrahl fällt auf ein Mikrolinsen-Array 14, welches ein Beleuchtungsmuster 16 in einer Fokusebene eines Objektivs 18 großer chromatischer Aberration abbildet. Das Beleuchtungsmuster kann z. B. eine Größe von 20 mm × 15 mm mit ca. 1600 Foki im Abstand von 250 μm aufweisen, das durch das Mikrolinsen-Array 14 erzeugt wird. In 2 ist rein beispielhaft das entsprechende Beleuchtungsmuster 14 dargestellt, in dem zwei Foki beispielhaft mit dem Bezugszeichen 20, 22 gekennzeichnet sind.
  • Das Beleuchtungsmuster 16 kann derart konzipiert sein, dass sich ein Durchmesser der Foki 20, 22 von jeweils ca. 25 μm ergibt.
  • Zur Verbesserung der Beleuchtungsstruktur kann das Mikrolinsen-Array 14 mit einem darauf abgestimmten Pinhole-Array kombiniert werden, das sich in der Objektebene des Objektivs 18 befindet. Dabei sind die Löcher des Pinhole-Arrays auf das Beleuchtunsmuster, das durch die Foki 20, 22 gebildet wird, geometrisch bzw. lagemäßig abgestimmt.
  • Entsprechend der Darstellung der 1 fällt das von der Lichtquelle 10 stammende Licht nach dem Beleuchtungsmuster 16 auf einen Strahlteiler 24, von dem der transmittierte Anteil auf das Objektiv 18 mit starker chromatischer Aberration fällt.
  • Der Strahlteiler 24 ist entsprechend der zeichnerischen Darstellung als Platte mit einer teilreflektierenden Schicht dargestellt. Alternativ sind andere strahlteilende Elemente möglich. Beispielsweise sind Strahlteilerwürfel zu nennen. Auch ein ringförmiger Spiegel oder ein kleinerer Spiegel ist denkbar, wobei jeweils der äußere oder innere Strahlanteil zur nachstehend zu erläuternden Detektion oder zur Beleuchtung dient.
  • Die das Objektiv 18 durchsetzende Strahlung wird über eine Umlenkeinrichtung 26 wie Umlenkspiegel auf ein zu messendes Objekt 28 wie Zahn abgebildet. Dabei ist der Abstand zwischen der Ebene des Beleuchtungsmusters 16 und dem Objekt 28 so gewählt, dass die Foki nach der Umlenkung über die Umlenkeinrichtung 26 auf die Oberfläche des Objekts 28 abgebildet werden, wobei je nach Abstand der Objektoberfläche zum Objektiv 18 eine andere Farbe, d. h. Wellenlänge, scharf abgebildet wird. Der gewählte Abbildungsmaßstab bestimmt dabei die Größe des Messfelds und die Auflösung.
  • Die von dem Objekt 28 emittierte Strahlung bzw. das Licht fällt zum Teil in das Objektiv 28 zurück und nach teilweiser Reflexion am Strahlteiler 24 auf ein erstes Lochmuster oder Pinhole-Array 30, dessen Löcher bzgl. des Abstands zueinander, der Größe und der geometrischen Anordnung insgesamt dem des Beleuchtungsmusters 16 entspricht.
  • Mit anderen Worten ist die axiale und laterale Lage des Pinholder-Arrays 30, d. h. dessen Löcher so gewählt, dass die Foki auf der Oberfläche des Objekts 28 konfokal in die Löcher des Pinhole-Arrays 30 abgebildet werden. Somit wird durch jedes Loch des Pinhole-Arrays 30 die X-, Y-Koordinate des abgebildeten Fokus auf der Oberfläche des Objekts 28 vorgegeben.
  • In 5 ist eine Ausgestaltung des Pinhole-Arrays 30 wiedergegeben, in denen die offenen Kreise 32 in ihrer Anordnung und Erstreckung dem Muster der Foki des Beleuchtungsmusters 16 entsprechen.
  • Durch die starke chromatische Aberration des Objektivs 18 wird in dem jeweiligen durch die Lage der Foki des Beleuchtungsmusters 16 vorgegebenen Messpunkte entsprechend deren Abstände zum Objektiv 18 jeweils nur eine bestimmte Farbe scharf abgebildet, d. h. nur eine bestimmte Wellenlänge erfüllt die konfokale Bedingung. Entsprechend tritt im Spektrum des durch das jeweilige Loch 32 des Pinhole-Arrays 30 transmittierten Lichts bei dieser Wellenlänge ein Intensitätsmaximum auf.
  • Mit zunehmender Dichte der Messpunkte und mit zunehmender Lichtstrahlung des Objekts 28 fällt neben der Peakwellenlänge auch ein zunehmender Weißlichtanteil durch das Loch bzw. das Pinhole. Um ungeachtet dessen die für den Fokus charakteristische Peakwellenlänge in hinreichendem Umfang und mit der notwendigen Genauigkeit zu ermitteln, ist vorgesehen, dass dem Pinhole-Array 30 eine auf das Beleuchtungsmuster 16 und damit dem Lochmuster des Pinhole-Arrays 30 abgestimmte spektrometrische Anordnung nachgeordnet ist, die im Ausführungsbeispiel aus Optiken 34, 36 und zwischen diesen angeordneter spektraldispersivem Element besteht, das im Ausführungsbeispiel ein Prisma 38 ist.
  • Über die Optiken 34, 36, die aus einer oder mehreren Linsen bestehen können, wird das Pinhole-Array 30 auf einen CCD-Flächensensor als Detektiereinrichtung 40 abgebildet. Das spektraldispersive Element, also das Prisma 38 bewirkt eine laterale spektrale Aufspreizung des in den Löchern mit Intensitätsmaximum auftretenden Wellenlängenbereichs des Lichts des Fokus, so dass folglich jedes Loch des Pinhole-Arrays 30 auf eine Linie auf dem CCD-Flächensensor 40, also den in einer Fläche angeordneten Pixeln abgebildet wird, wobei – wie bei einem Zeilenspektrometer – die Position entlang dieser Linie mit einer bestimmten Wellenlänge korreliert. Dabei wird die aus den Optiken 34, 36 und dem Prisma 30 bestehende spektraldispersive Einheit und der CCD-Sensor 40 derart zu dem Pinhole-Array 30 ausgerichtet, dass die lateral aufgespreizten Spektrallinien von aufeinanderfolgenden Löchern des Pinhole-Arrays 30, die folglich Linien auf den Pixeln bilden, nahezu ohne Freiräume ineinander übergehen, ohne dass eine Überlappung erfolgt.
  • So ergibt sich aus 3, dass dem Grunde nach sämtliche Pixel zwischen den Messpunkten für die spektrale Aufspreizung und damit für die Bestimmung der Peaklage verwendet werden. Die ausgefüllten Kreise 42 symbolisier einen Messpunkt und der zum nachfolgenden Messpunkt 44 verlaufende Pfeil 46 die lateral aufgespreizten Spektrallinien des in dem dem Messpunkt 42 entsprechenden Loch des Pinhole-Arrays abgebildeten Fokus.
  • Wird beispielhaft das oben angegebene Beleuchtungsmuster mit den angegebenen Dimensionierungen gewählt und ein CCD-Chip oder Kamera-Chip mit einer Größe X mm × X mm mit 6 Mio. Pixel (Pixelgröße X μm × X μm), so stehen pro Messpunkt XX Pixel für die spektrale Aufspreizung zur Verfügung. Bei einer Linienbreite von 3 Pixel, entsprechend dem Pinhole-Durchmesser, wird so für jeden der 1600 Messpunkte ein Zeilenspektrometer mit XX Pixel realisiert. Nach Bildaufnahme erfolgt die Auswertung der Bildinformation bzw. der Messdaten entweder bereits auf dem CCD-Sensor oder auf einer externen Einheit. Hierzu wird in jedem Messpunkt durch einen geeigneten Algorithmus die spektrale Peaklage und daraus der Abstand jedes Messpunkts zum Objekt 28 ermittelt. Mit einem Bild erhält man so die dreidimensionale Struktur des Objekts 28 in den 1600 Stützstellen oder Messpunkten, wobei die Auflösung von dem gewählten Fokusabstand und dem Abbildungsmaßstab des Objektivs 18 abhängt.
  • Ist der Abstand der Stützstellen größer als die geforderte Auflösung und/oder die dreidimensionale Struktur aus einer Perspektive nicht erfassbar, so kann das Beleuchtungsmuster 16 entsprechend verschoben werden. Handelt es sich bei der Messanordnung um eine von Hand zu betätigende Vorrichtung, so kann durch kontinuierliche Bewegung der Messanordnung eine vollständige Erfassung des Objekts 28 erfolgen, wobei die resultierenden Einzelbilder in geeigneter Weise zu einem Gesamtbild zusammengefügt werden.
  • Da erwähntermaßen in den Löchern 32 des Pinhole-Arrays 30 dann, wenn das Objekt 28 stark streuend ist, nicht nur die Wellenlänge des scharf abgebildeten Fokus abgebildet werden, sondern auch im erheblichen Umfang Weißlicht, müssen Verfahren zur Anwendung gelangen, um den hierdurch bedingten Untergrund zu eliminieren oder zu reduzieren.
  • Um die Bedeutung des Weißlichtuntergrunds bei der Messung und Auswertung zu veranschaulichen, wird in 4 ein typisches Messsignal 48 an einem Zahn als das Objekt 28 dargestellt. Je höher der Anteil des Weißlichtuntergrunds am Messsignal 48 ist, umso genauer muss für die Bestimmung der Lage des für die Wellenlänge des Fokus charakteristischen Peaks 50 der Spektralverlauf des Untergrunds 52 in jedem Messpunkt bekannt sein. Hierbei kann ein Verfahren zur Anwendung gelangen, dass rein prinzipiell durch die 5 verdeutlicht wird. So weist das Pinhole-Array 30 neben den Löchern 32, in denen die Foki abgebildet werden, weitere Löcher 54 auf, die nicht mit dem Beleuchtungsmuster 14 übereinstimmen. Entsprechend der bevorzugten Anordnung gemäß 5 liegen die mit dem Beleuchtungsmuster 14 nicht übereinstimmenden Löcher 54 zwischen den dem Beleuchtungsmuster 14 entsprechenden Löchern 32. Die Spektren in den Löchern 54, in denen Foki nicht abgebildet sind, geben sodann ungefähr das Untergrundsignal der benachbarten Löcher 32 wieder, in denen Foki abgebildet sind und somit Messpunkte bilden. Dabei kann alternativ das Messsignal eines einzelnen benachbarten im Grunde nur Weißlicht enthaltenden Lochs 54 als Untergrund oder der Mittelwert über mehrere benachbarte Löcher 54 zur Bestimmung des Untergrunds 52 verwendet werden. Dabei können die Löcher 54 als unbeleuchtete und die Löcher 32 als beleuchtete Löcher oder Pinholes bezeichnet werden.
  • Entsprechend der Anordnung der beleuchteten oder ersten Löcher 32, in denen Foki abgebildet werden und der für die Untergrundbestimmung verwendeten zweiten Löcher 54, die auch als unbeleuchtete Löcher zu bezeichnen sind, stehen pro Messpunkt nur noch die Hälfte der Pixel für die spektrale Aufspaltung zur Verfügung, verglichen mit der Variante, bei der die Anzahl der Foki mit der der Pinholes oder Löcher 32 übereinstimmt.
  • Eine weitere Möglichkeit zur Bestimmung des Weißlichtanteils ist die Verwendung einer planparallelen Platte 56, die in den Strahlengang zwischen dem ersten Strahlteiler 24 und der Strahlumlenkung 26, insbesondere zwischen dem Objektiv 18 und dem ersten Strahlteiler 24 angeordnet wird. Die planparallele Platte 56 im Strahlengang bewirkt eine axiale Verschiebung der Foki, die letztendlich im Messsignal eine Verschiebung der Peaklage bewirkt. Durch eine sequenzielle Bildaufnahme an einer Position mit und ohne planparallele Platte 56 erhält man pro Messpunkt zwei Spektren mit unterschiedlicher Peaklage und identischem Untergrund. Durch Abzug der beiden Spektren lässt sich dadurch der Untergrund eliminieren. Ein typischer Signalverlauf durch Subtraktion der beiden Spektren ist in 8 dargestellt. Man erkennt die durch die Subtraktion bestimmten Peaks 58, 60, deren Abstand durch die planparallele Platte 56 bestimmt ist.
  • Für die weitere Auswertung zur Bestimmung des gesuchten Objektabstands können verschiedene Kenngrößen unter anderem die beiden Extrems, also Peaks 58, 60 und/oder die spektrale Lage des Nulldurchgangs verwendet werden.
  • Zur Positionierhilfe und zur Einzelbildzuordnung für eine Gesamtbilderzeugung kann eine Live-Bilderfassung vorgesehen sein. Hierzu ist im Ausführungsbeispiel ein weiterer Kamerachip 62 vorgesehen, auf den das Objekt 28 abgebildet wird. Hierzu kann zusätzlich eine weitere Lichtquelle 64 vorgesehen sein, die das Objekt 28 vorzugsweise über die Umlenkeinrichtung 26 bestrahlt. Anstelle einer Lichtquelle 64 können auch mehrere Lichtquellen vorgesehen sein. Für die Live-Bildaufnahme sollte die Lichtquelle 64 Licht in einem Spektralbereich emittieren, der außerhalb des für die eigentliche Messung verwendeten Wellenlängenbereichs liegt. Dadurch sind Live-Bild und Messung unabhängig voneinander möglich.
  • Zur Strahlteilung kann in den Strahlengang zwischen dem Objektiv 18 und dem ersten Strahlteiler 24 ein zweiter Strahlteiler 66 wie ein dichroitischer Filter verwendet werden, der eine hohe Transmission für das Messsignal und eine hohe Reflexion für das Live-Bildsignal aufweist.
  • Erwähntermaßen wird für die Abbildung des Objekts 28 auf den Kamerachip 62 gleichfalls das Objektiv 18 verwendet, wobei die axiale Position des Kamerachips 62 so gewählt ist, dass das Live-Bild ungefähr in der Mitte des Messbereichs scharf ist.
  • Insbesondere bei einer intraoralen Anwendung zur Vermessung von Zähnen ist die Baugröße und Bauform der Messanordnung bzw. des Messgeräts von großer Bedeutung. So können in Ausgestaltung der Erfindung allein das Objektiv 18 und die Strahlumlenkung 26 in einem intraoralen Teil eines Handgeräts angeordnet sein, der in einem Mundraum einführbar ist. Die anderen Komponenten können in einem extraoralen Teil des Handgeräts oder in einer separaten Geräteeinheit integriert sein. Bei kompakter Lichtquelle ist eine Integration in einem Handgerät möglich.
  • Anstelle der Halogenlampe 10 sind auch andere Lichtquellen wie beispielsweise ein Weißlicht-LED oder mehrere verschiedenfarbige LEDs mit geeigneter Kollimationsoptik denkbar.
  • Alternativ kann die Lichtquelle 10 in einem externen Gerät integriert sein und das Licht über Fasern in das Handgerät geführt werden, wobei das Auskoppelende des Lichtleiters im Fokus der Kollimatorlinse 12 verläuft.
  • Zur Erzeugung des multifokalen Beleuchtungsmusters 16 kann anstelle des Mikrolinsen-Arrays 14 auch ein Pinhole-Array verwendet werden, das in der Ebene des in den Fig. dargestellten Beleuchtungsmusters 16 anordbar ist.
  • Wesentlich für eine exakte Messung und einfache Handhabbarkeit der Messanordnung ist es, dass eine genaue geometrische und räumliche Zuordnung von Mikrolinsen-Array 14 und Pinhole-Array 30 gegeben ist. Um dies zu verwirklichen, kann eine monolithische Ausführung gewählt werden, die prinzipiell der 6 zu entnehmen ist. In der monolithischen Ausführungsform, die eine Würfelgeometrie aufweisen kann, ist ferner der erste Strahlteiler 24 integriert.
  • Sofern das Objekt 28 nicht durch eine einzelne Aufnahme, sondern durch eine Vielzahl von Aufnahmen, also einzelnen Bildern gemessen bzw. gescannt wird, müssen die einzelnen Bilder eine eindeutige Zuordnung zueinander haben, um eine einfache Auswertung zu ermöglichen. Hierzu ist insbesondere vorgesehen, dass sich die Einzelbilder in Teilen überlappen, die 50% bis 95% eines jeden Bilds ausmachen. Alternativ oder ergänzend kann als Hilfsmittel zur Überlagerung der Einzelbilder auch das Einbringen von Fixpunkten auf dem Objekt 28 dienen.
  • Alternativ zu einer manuellen Verschiebung des erwähntermaßen vorzugsweise als Handgerät ausgebildeten Messgeräts können Stellglieder in der Messanordnung integriert sein, um Messpunkte zu verschieben. Der maximal notwendige Verschiebweg entspricht dabei dem Messpunktabstand abzüglich der gewünschten Auflösung, im erläuterten Ausführungsbeispiel also bei einer gewünschten Auflösung von 25 um 225 μm (250 μm Abstand der Löcher – 25 μm Auflösung).
  • Eine Möglichkeit, um Einzelbilder zu gewinnen, ergibt sich aus der 7. So sind im Messstrahl – und zwar im Ausführungsbeispiel vor dem Objektiv 18 – planparallele Platten 70, 72 anordbar, wobei auch die Verwendung einer einzigen Platte mit zwei Drehachsen (siehe Pfeile 74, 76) möglich ist. Dabei verlaufen die Drehachsen vorzugsweise in der von der planparallelen Platte 70, 72 aufgespannten Ebene. Eine weitere mögliche Ausführung ist die Verwendung eines verschiebbaren bzw. verdrehbaren Umlenkspiegels wie der Umlenkeinrichtung 26 als variable Strahlumlenkung,
    Bezüglich des Live-Bilds ist anzumerken, dass alternativ auf eine zusätzliche Lichtquelle verzichtet werden kann, insbesondere dann, wenn das Beleuchtungsmuster in dem für die Live-Bilderfassung verwendeten Spektralbereich unscharf ist.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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  • Zitierte Patentliteratur
    • - EP 0321529 B [0008]
    • - EP 0466979 B [0009]

Claims (40)

  1. Messanordnung zum dreidimensionalen Messen von zumindest einem Teil eines Objekts (28), insbesondere eines semitransparenten Objekts, umfassend eine Lichtquelle (10) mit einem kontinuierlichen Spektrum, eine Einrichtung (14) zur Erzeugung eines multifokalen Beleuchtungsmusters (16), ein Objektiv (18) mit großer chrometrischer Aberration zur Abbildung von Foki des Beleuchtungsmusters auf das Objekt, eine Detektionseinheit (40) wie CCD-Flächendetektor zur Ermittlung der Wellenlängenspektren der konfokal über das Objektiv auf das Objekt abgebildeten Foki sowie eine spektraldispersive Einrichtung (34, 36, 38), die zwischen den konfokal abgebildeten Foki und der Detektionseinrichtung angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass in der Ebene der konfokal abgebildeten Foki ein erstes Lochmuster (30) mit ersten Löchern (32) angeordnet ist, wobei geometrische Anordnung der ersten Löcher geometrischer Anordnung der Foki des multifokalen Beleuchtungsmusters entspricht.
  2. Messanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die dispersive Einrichtung (34, 36, 38) eine die in den ersten Löchern (32) abgebildeten Foki auf die Detektionseinrichtung (40) abbildende Optik mit jeweiliges Spektrum eines jeden Fokus lateral aufspreizendem dispersiven Element wie Prisma umfasst.
  3. Messanordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die abbildende Optik zwei Optiken (34, 36) wie Linsen oder Linsensystem mit dem zwischen diesen angeordneten dispersiven Element (38) umfasst.
  4. Messanordnung nach zumindest einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Detektionseinrichtung (40) in einer Fläche angeordnete Pixel eines CCD-Flächensensors umfasst und dass die spektraldispersive Einrichtung (34, 36, 38) zu dem ersten Lochmuster (30) und/oder die Detektionseinrichtung zu der dispersiven Einrichtung derart angeordnet sind, dass die lateral aufgespreizten Spektren überlappungsfrei auf der Pixelfläche auftreffen.
  5. Messanordnung nach zumindest einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die aufgespreizten Spektren derart auf die Pixelfläche auftreffen, dass aufeinander folgend lateral augespreizte Spektren pixelfrei ineinander übergehen.
  6. Messanordnung nach zumindest einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Lichtquelle (10) ein Mikrolinsenarray (14) zur Erzeugung des multifokalen Beleuchtungsmusters (16) in der lichtquellenseitig verlaufenden ersten Fokusebene des Objektivs (18) nachgeordnet ist.
  7. Messanordnung nach zumindest einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in der ersten Fokusebene des Objektivs (18) ein zweites Lochmuster angeordnet ist, in dessen Löcher die Foki des multifokalen Beleuchtungsmusters abbildbar sind oder dessen Löcher das multifokale Beleuchtungsmuster vorgibt.
  8. Messanordnung nach zumindest einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem Objektiv (28) und der Detektiereinrichtung (40) ein Strahlung auf das erste Lochmuster (30) umlenkender erster Strahlteiler (24) angeordnet ist.
  9. Messanordnung nach zumindest einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Messanordnung eine das Objekt (28) bestrahlende zweite Lichtquelle (64) aufweist.
  10. Messanordnung nach zumindest einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Spektralbereich der zweiten Lichtquelle (64) außerhalb des Wellenlängenbereichs der ersten Lichtquelle (10) liegt, der im Wesentlichen zur Formerfassung des Objekts (28) auswertbar ist.
  11. Messanordnung nach zumindest einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem ersten Strahlteiler (24) und dem Objektiv (18) ein zweiter Strahlteiler (66) angeordnet ist, über den das Objekt (28) abbildende Strahlung der zweiten Lichtquelle (64) auf eine Erfassungseinrichtung (62) abbildbar ist.
  12. Messanordnung nach zumindest einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Erfassungseinrichtung (62) eine Kamera ist.
  13. Messanordnung nach zumindest einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Strahlteiler (66) optisch derart ausgelegt ist, dass eine hohe Transmission für die Strahlung zur konfokalen Abbildung der Foki und eine hohe Reflexion für die Strahlung der zweiten Lichtquelle (64) gegeben ist.
  14. Messanordnung nach zumindest einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Strahlteiler (66) ein dichroitischer Filter ist.
  15. Messanordnung nach zumindest einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Lochmuster (30) den ersten Löchern (32) zugeordnete zur Untergrundbestimmung von Messergebnissen bestimmte zweite Löcher (54) aufweist.
  16. Messanordnung nach zumindest einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem Objektiv (18) und dem Objekt (28) eine Strahlumlenkeinrichtung (26) angeordnet ist.
  17. Messanordnung nach zumindest einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Objektiv (18) mit der Strahlumlenkeinrichtung (26) ein intraoral zu nutzender Abschnitt der Messanordnung ist.
  18. Messanordnung nach zumindest einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Lichtquelle (10) eine Halogenlampe ist.
  19. Messanordnung nach zumindest einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Lichtquelle (10) Weisslicht-LEDs oder mehrere farbige LEDs umfasst oder aus diesen besteht.
  20. Messanordnung nach zumindest einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlung der ersten Lichtquelle (10) über Lichtleiter zuführbar ist, deren Auskoppelenden in der Fokusebene einer Kollimationsoptik (12) liegen, deren lichtleiterfernliegende Fokusebene mit der Fokusebne des Objektivs (18) zusammenfällt.
  21. Messanordnung nach zumindest einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlung der ersten Lichtquelle (10) über Lichtleiter zuführbar ist, deren Auskoppelenden in der ersten Objektebene des Objektivs (18) liegen.
  22. Messanordnung nach zumindest einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Mikrolinsenarray (14), das erste Lochmuster (30) und der erste Strahlteiler (24) als eine Baueinheit ausgebildet sind.
  23. Messanordnung nach zumindest einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Einheit eine Würfelgeometrie aufweist.
  24. Messanordnung nach zumindest einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem ersten Strahlteiler (24) und dem Objektiv (18) zumindest eine planparallele Platte (70, 72) angeordnet ist und dass die planparallele Platte um zwei in der von der Platte aufgespannten Ebene verlaufende Achsen drehbar ausgebildet ist.
  25. Messanordnung nach zumindest einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Umlenkeinrichtung (26) wie ein Umlenkspiegel verschiebbar und/oder kippbar ausgebildet ist.
  26. Messanordnung nach zumindest einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der optische Weg der Messstrahlung durch Einschieben einer planparallelen Platte (56) in den Strahlengang veränderbar ist.
  27. Verfahren zum Messen der Form zumindest eines Abschnitts eines Objekts, insbesondere eines semitransparenten Objekts wie zumindest Abschnitt eines Zahns, unter Verwendung einer Lichtquelle zur Erzeugung von Licht mit einem kontinuierlichem Spektrum, eine Einrichtung zur Erzeugung eines multifokalen Beleuchtungsmusters, eines Objektivs mit großer chromatischer Aberration zur Abbildung von Foki des Beleuchtungsmusters auf das Objekt, eine Detektiereinrichtung zur Ermittlung der Wellenlängenspektren der konfokal über das Objektiv auf das Objekt abgebildeten Foki, wobei aus dem jeweiligen Wellenlängenspektrum spektrale Peaklage eines jeden Fokus bestimmt wird, aus der die Erstreckung des Objekts in Richtung des Abbildungsstrahls (Z-Koordinate) berechnet wird, dadurch gekennzeichnet, dass in der Ebene der konfokal abgebildeten Foki ein erstes Lochmuster mit ersten Löchern angeordnet wird, deren geometrische Anordnung mit der des multifokalen Beleuchtungsmusters korreliert, und dass durch die Position der ersten Löcher Positionen der Foki auf dem Objekt in einer senkrecht zum Abbildungsstrahl verlaufenden Ebene (X-, Y-Koordinaten) vorgegeben werden, wobei die Wellenlängenspektren der in den Löchern abgebildeten Foki gleichzeitig von der Detektiereinrichtung erfasst werden.
  28. Verfahren nach Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet, dass das Wellenlängenspektrum eines jeden in einem Loch abgebildeten Fokus mit einer dem ersten Lochmuster nachgeordneten dispersiven Einrichtung lateral aufgespreizt wird.
  29. Verfahren nach Anspruch 27 oder 28, dadurch gekennzeichnet, dass die Detektiereinrichtung eine die Wellenlängenspektren erfassende Pixelfläche eines CCD-Sensors aufweist, dass die Pixelfläche und/oder die dispersive Einrichtung zu dem ersten Lochmuster derart geneigt ausgerichtet werden, dass die Wellenlängenspektren der in den ersten Löchern abgebildeten Foki überlappungsfrei auf der Pixelfläche auftreffen.
  30. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 27–29, dadurch gekennzeichnet, dass die Pixelfläche und/oder die dispersive Einrichtung zu dem ersten Lochmuster derart geneigt ausgerichtet werden, dass die Wellenlängenspektren der in den ersten Löchern abgebildeten Foki pixelfrei ineinander übergehen.
  31. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 27–30, dadurch gekennzeichnet, dass von einem Fokus ein erstes Spektrum ermittelt wird, das in den Strahlengang des Fokus ein Weglänge des Strahlengangs änderndes optisches Element angeordnet wird, dass von dem Fokus mit geändertem Strahlengang ein zweites Spektrum ermittelt wird, dass die Spektren voneinander subtrahiert werden und dass aus sich ergebenden gleichen Peaks unterschiedlichen Vorzeichens Wellenlänge der Strahlung des Fokus ermittelt wird.
  32. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 27–31, dadurch gekennzeichnet, dass spektraler Verlauf des Untergrunds des Spektrums des Fokus durch Ermittlung von Spektren von in den ersten Löchern zugeordneten zweiten Löchern auftreffendem Licht ermittelt wird, wobei die Anordnung der zweiten Löcher von der des multifokalen Beleuchtungsmusters abweicht.
  33. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 27–32, dadurch gekennzeichnet, dass Spektren von Licht mehrerer einem ersten Loch zugeordneter zweiter Löcher zur Untergrundermittlung gemittelt werden.
  34. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 27–33, dadurch gekennzeichnet, dass das Objekt intraoral gemessen wird.
  35. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 27–34, dadurch gekennzeichnet, dass zur Messung des Objekts nacheinander Teilbereiche des Objekts gemessen werden, wobei aufeinander folgende Teilbereiche einen gemeinsamen Unterteilbereich umfassen, der 50% bis 95% des Teilbereichs beträgt.
  36. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 27–35, dadurch gekennzeichnet, dass zur Ermittlung der Form des zumindest einen Abschnitts des Objekts die Teilbereiche nacheinander mit einer Bildfolge zwischen 25 und 50 Bildern pro Sekunde aufgenommen werden.
  37. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 27–36, dadurch gekennzeichnet, dass zur Abbildung der Teilbereiche eine zwischen dem Objekt und dem Objektiv angeordnete Umlenkeinrichtung verstellt wird.
  38. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 27–37, dadurch gekennzeichnet, dass zur Abbildung der Teilbereiche die Umlenkeinrichtung mit dem Objekt als Einheit verstellt wird.
  39. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 27–38, dadurch gekennzeichnet, dass zur Ermittlung der Teilbereiche das multifokale Beleuchtungsmuster verstellt wird, mit dem synchron das erste Lochmuster verstellt wird.
  40. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 27–39, dadurch gekennzeichnet, dass über eine Bilderfassungseinrichtung wie CCD-Chip das Objekt abgebildet wird, wobei zur Abbildung ein Spektralbereich ausgewählt wird, in dem das auf dem Objekt abgebildete Beleuchtungsmuster unscharf abgebildet wird.
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