WO2013113679A1 - Arrangement for detecting particles - Google Patents

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WO2013113679A1
WO2013113679A1 PCT/EP2013/051634 EP2013051634W WO2013113679A1 WO 2013113679 A1 WO2013113679 A1 WO 2013113679A1 EP 2013051634 W EP2013051634 W EP 2013051634W WO 2013113679 A1 WO2013113679 A1 WO 2013113679A1
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Robert Schrobenhauser
Rainer Strzoda
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Siemens Aktiengesellschaft
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    • G01N15/02—Investigating particle size or size distribution
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    • G01N2015/03—Electro-optical investigation of a plurality of particles, the analyser being characterised by the optical arrangement

Definitions

  • the present invention relates to a device for optical detection of particles ⁇ rule based on scattered light.
  • the particles to be measured are irradiated with light and the scattered light on the particles collected by detectors such as Photodi ⁇ oden at certain angles, the signal is measured and inferred on the particle size.
  • Inten ⁇ intensity of the scattered light however, especially in the range of particle sizes d ⁇ 200 nm, which are very serious health, with d A 6 small (Rayleigh scattering), ie very small particles only create a very small signal, and are thus difficult to measure. If one uses even two or more angles in the light scattering, in order to determine a particle size distribution (on the hand of eg the intensity ratios in the Mie theory), the scattering intensities at larger angles can become even smaller and a signal even more difficult to measure.
  • GB 2474235 discloses a structure in which laser light is radiated into a passage intended for the particles to be measured and two identical mirrors designed as spherical caps are provided on both sides of the laser beam. Scattered light is directed by the mirrors into two detectors. In both known structures, the respective mirror arrangements lead to a considerable size. It is an object of the present invention to provide an arrangement for the detection of particles, which reduces the above-mentioned disadvantages. This object is achieved by an arrangement having the features of claim 1.
  • the subclaims relate to advantageous embodiments of the invention.
  • the inventive arrangement for detecting particles comprises a light source for irradiating the particles with egg ⁇ nem light beam.
  • a light source for irradiating the particles with egg ⁇ nem light beam.
  • This can be for example a laser diode or a light emitting diode (LED).
  • the arrangement comprises at least two detection devices for receiving particles of the light scattered on the particles.
  • photodiodes can be used as detection devices.
  • the detection devices can also be realized as a single component in which a spatially resolved measurement can take place.
  • the arrangement comprises at least two mirrors for focusing the light scattered by the particles in an angular range onto one of the detection devices.
  • the mirrors are each an opening and are arranged interleaved so that undeflected parts of the light of the light source passes through the openings of the mirror.
  • At least the largest of the mirrors is preferably designed in the form of a spherical zone, in particular in the form of a spherical cap.
  • spherical zone while the outer surface of a Ku ⁇ gel slice is meant, which is cut out of a ball by means of two paral ⁇ Lelex levels.
  • Ball cap refers to the lateral surface of a spherical surface from which more than half of the ball is cut away by means of a plane. In particular, all mirrors have this shape.
  • the spherical zones or spherical caps can advantageously be arranged in a space-saving concentric manner, wherein the light can be directed to the respective detection device by tilting or laterally displacing a respective mirror. It is therefore at a small size still significantly increased light output compared to a solution without mirror he ⁇ ranges.
  • FIG. 1 shows an arrangement 10 for detecting particles 13.
  • the particles 13 are simply present in the region of the arrangement 10 or are supplied and passed through.
  • the arrangement 10 has a laser diode 11. This is aligned so that it generates egg ⁇ nen laser beam 12 in the direction of the particles. Parts of the laser beam 12, which run unaffected by the particles, meet a light trap 14.
  • the light trap 14 may for example consist of a deflection mirror and a suitably unreflective hollow body. It ensures that virtually no reflected laser light reaches the particles 13.
  • reflectors are arranged around a point 15 on the laser beam 12.
  • the point 15 lies in the direction of the laser beam 12 expedient behind the area in which the laser beam strikes the particles 13.
  • these are a first mirror 16 and a second mirror 17.
  • Both mirrors have the shape of a spherical zone.
  • a sphere zone is a portion of a spherical surface which remains when a disk is cut from the sphere, the sphere zone being the remainder of the sphere surface in that disk.
  • the Spie ⁇ gel 16, 17 are arranged interleaved. That is, the second, smaller mirror 17 is disposed entirely or substantially within the volume occupied by the first, larger mirror 16.
  • the volume of the first mirror 16 means the volume of the spherical disk whose surface corresponds to the first mirror 16.
  • 17 not take the two Spie ⁇ gel 16 in total, or barely more volume than the first mirror 16 alone.
  • the mirrors 16, 17 are arranged nearly so that their axes, that is the line connecting the centers of the circles that represent their edges coincide with the course of the laser beam over ⁇ . However, they have a slight lateral displacement relative to the exact agreement, ie the mirrors 16, 17 are not arranged exactly concentric.
  • the reflectors ⁇ struck from the first mirror 16 light is directed to a first photodiode 18 and the light reflected from the second mirror 17 light is directed to a two ⁇ th photodiode 19 is achieved. Because of the geometry of the Anord ⁇ voltage is the light which reaches the first photodiode 18, such laser light that is scattered by the particles 13 in a predetermined first angular range. The light which reaches the second photodiode 19, is laser light ⁇ that is scattered by the particles 13 in a certain second angle range.

Abstract

What is specified is: an arrangement for detecting particles, comprising a light source for exposing the particles to a light beam, at least two detection devices for picking up components of the light scattered at the particles, at least two mirrors for focusing the light scattered by the particles within an angular range onto in each case one of the detection devices, wherein the mirrors each have an opening and are nested one inside the other in such a way that undeflected parts of the light from the light source pass through the openings in the mirrors.

Description

Beschreibung description
Anordnung zur Detektion von Partikeln Die vorliegende Erfindung betrifft eine Anordnung zur opti¬ schen Detektion von Partikeln anhand von gestreutem Licht. Arrangement for detection of particles The present invention relates to a device for optical detection of particles ¬ rule based on scattered light.
Bei der laser- und streulichtbasierten Partikeldetektion werden die zu messenden Partikel mit Licht bestrahlt und das an den Partikeln gestreute Licht mittels Detektoren wie Photodi¬ oden unter bestimmten Winkeln aufgefangen, das Signal gemessen und daraus auf die Partikelgröße geschlossen. Die Inten¬ sität des gestreuten Lichts wird jedoch gerade im Bereich von Partikelgrößen d < 200 nm, die gesundheitlich sehr bedenklich sind, mit dA6 kleiner (Rayleigh-Streuung) , d.h. sehr kleine Partikel erzeugen nur noch ein sehr kleines Signal und sind somit schwer messbar. Nutzt man gar zwei oder mehr Winkel bei der Lichtstreuung, um daraus eine Partikelgrößenverteilung zu bestimmen (an Hand z.B. der Intensitätsverhältnisse bei der Mie-Theorie) können die Streuintensitäten bei größeren Winkeln noch deutlich kleiner werden und ein Signal noch schwerer messbar sein. In the laser and scattered light detection based particles, the particles to be measured are irradiated with light and the scattered light on the particles collected by detectors such as Photodi ¬ oden at certain angles, the signal is measured and inferred on the particle size. Inten ¬ intensity of the scattered light, however, especially in the range of particle sizes d <200 nm, which are very serious health, with d A 6 small (Rayleigh scattering), ie very small particles only create a very small signal, and are thus difficult to measure. If one uses even two or more angles in the light scattering, in order to determine a particle size distribution (on the hand of eg the intensity ratios in the Mie theory), the scattering intensities at larger angles can become even smaller and a signal even more difficult to measure.
Es ist bekannt, eine große Zahl von Licht-Detektoren als Ring anzuordnen, um viele sphärisch angeordnete Punkte eines be¬ stimmten Winkelbereichs der Streuung zu erfassen. Die einzelnen Signale werden anschließend bei der Signalverarbeitung aufsummiert und daraus ein größeres Signal zur Bestimmung der Partikelgröße ermittelt. Eine weitere Möglichkeit wird in (Kondensations-) Partikelzählern und mobilen Partikelmessern verwendet: Ein Spiegelabschnitt, der einen Raumwinkel von meist >120° einfasst, wird verwendet, um möglichst viel It is known to arrange a large number of light detectors as a ring in order to detect many spherically arranged points of a certain angle range of the scattering. The individual signals are then summed up in the signal processing and used to determine a larger signal for determining the particle size. Another possibility is used in (condensation) particle counters and mobile particle meters: A mirror section, which encloses a solid angle of mostly> 120 °, is used to as much as possible
Streulicht aufzufangen und dieses auf einen einzelnen Detektor abzubilden. Winkel-abhängige Streuinformationen, die nö- tig sind, um das vorliegende Partikel zu identifizieren, ge¬ hen dabei verloren und es ist lediglich möglich zu detektie- ren, ob ein Partikel durch den Laser fliegt oder nicht. Die Funktionsweise entspricht also in diesem Fall einer Licht- schranke. Ebenfalls ist bekannt, Photomultipliertubes zu ver¬ wenden. Diese sind zwar sehr empfindlich, weisen aber auch eine erhebliche Baugröße auf und geringe Geschwindigkeit auf. Aus der WO 2004/074817 ist ein Aufbau bekannt, bei dem eine für die zu vermessenden Partikel gedachte Passage von einem Hohlkörper umschlossen wird, wobei die Innenflächen des Hohlkörpers als nebeneinander liegende Spiegel in Form von Ellipsenkappen gestaltet sind. Licht wird in den Hohlkörper einge- strahlt und reflektierte Anteile des Lichts von den Spiegeln auf Lichtaustritte gelenkt. Aus der GB 2474235 wiederum ist ein Aufbau bekannt, bei dem Laserlicht in eine für die zu vermessenden Partikel gedachte Passage eingestrahlt wird und zwei gleiche, als Kugelkappen gestaltete Spiegel zu beiden Seiten des Laserstrahls vorgesehen sind. Gestreutes Licht wird von den Spiegeln in zwei Detektoren gelenkt. Bei beiden bekannten Aufbauten führen die jeweiligen Spiegelanordnungen zu einer erheblichen Baugröße. Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Anordnung zur Detektion von Partikeln anzugeben, die die oben genannten Nachteile verringert. Diese Aufgabe wird durch eine Anordnung mit den Merkmalen von Anspruch 1 gelöst. Die Unteransprüche betreffen vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung. To capture scattered light and to image this on a single detector. Angle-dependent scattering information NÖ kind, to identify the present particles ge ¬ hen be lost and it is only possible to be detected reindeer, whether a particle flies through the laser or not. The mode of operation corresponds in this case to a lighting cabinets. It is also known contact Photomultipliertubes to ver ¬. Although these are very sensitive, they also have a considerable size and low speed. A structure is known from WO 2004/074817, in which a passage intended for the particles to be measured is enclosed by a hollow body, the inner surfaces of the hollow body being designed as adjacent mirrors in the form of ellipse caps. Light is radiated into the hollow body and reflected portions of the light are directed by the mirrors to light exits. GB 2474235 in turn discloses a structure in which laser light is radiated into a passage intended for the particles to be measured and two identical mirrors designed as spherical caps are provided on both sides of the laser beam. Scattered light is directed by the mirrors into two detectors. In both known structures, the respective mirror arrangements lead to a considerable size. It is an object of the present invention to provide an arrangement for the detection of particles, which reduces the above-mentioned disadvantages. This object is achieved by an arrangement having the features of claim 1. The subclaims relate to advantageous embodiments of the invention.
Die erfindungsgemäße Anordnung zur Detektion von Partikeln umfasst eine Lichtquelle zur Bestrahlung der Partikel mit ei¬ nem Lichtstrahl. Diese kann beispielsweise eine Laserdiode oder eine Leuchtdiode (LED) sein. The inventive arrangement for detecting particles comprises a light source for irradiating the particles with egg ¬ nem light beam. This can be for example a laser diode or a light emitting diode (LED).
Weiterhin umfasst die Anordnung wenigstens zwei Detektion- seinrichtungen zur Aufnahme von an den Partikeln gestreuten Anteilen des Lichts. Als Detektionseinrichtungen können beispielsweise Photodioden verwendet werden. Die Detektionsein- richtungen können auch als einzelnes Bauelement realisiert sein, bei dem eine räumlich aufgelöste Messung erfolgen kann. Schließlich umfasst die Anordnung wenigstens zwei Spiegel zur Fokussierung des von den Partikeln in einen Winkelbereich gestreuten Lichts auf jeweils eine der Detektionseinrichtungen . Die Spiegel werden dabei jeweils eine Öffnung auf und sind so ineinander verschachtelt angeordnet, dass unabgelenkte Teile des Lichts der Lichtquelle durch die Öffnungen der Spiegel tritt . Furthermore, the arrangement comprises at least two detection devices for receiving particles of the light scattered on the particles. For example, photodiodes can be used as detection devices. The detection devices can also be realized as a single component in which a spatially resolved measurement can take place. Finally, the arrangement comprises at least two mirrors for focusing the light scattered by the particles in an angular range onto one of the detection devices. The mirrors are each an opening and are arranged interleaved so that undeflected parts of the light of the light source passes through the openings of the mirror.
Dadurch wird vorteilhaft eine geringe Baugröße erreicht, da die Spiegel ineinander verschachtelt angeordnet sind und sich ihre Volumina somit nicht addieren. As a result, a small size is advantageously achieved, since the mirrors are arranged nested in each other and thus their volumes do not add up.
Dabei ist wenigstens der größte der Spiegel bevorzugt in Form einer Kugelzone, insbesondere in Form einer Kugelkappe aus- gestaltet. Mit Kugelzone ist dabei die Mantelfläche einer Ku¬ gelscheibe gemeint, die aus einer Kugel mittels zweier paral¬ leler Ebenen herausgeschnitten wird. Kugelkappe bezeichnet die Mantelfläche einer Kugelfläche, aus der mittels einer Ebene mehr als die Hälfte der Kugel weggeschnitten wird. Ins- besondere haben alle Spiegel diese Form. In this case, at least the largest of the mirrors is preferably designed in the form of a spherical zone, in particular in the form of a spherical cap. With spherical zone while the outer surface of a Ku ¬ gel slice is meant, which is cut out of a ball by means of two paral ¬ Lelex levels. Ball cap refers to the lateral surface of a spherical surface from which more than half of the ball is cut away by means of a plane. In particular, all mirrors have this shape.
Mit den Kugelzonen oder Kugelkappen wird erreicht, dass eine möglichst große Menge Streulicht für einen Streuwinkel zu ei¬ nem Detektor reflektiert wird. Gleichzeitig können die Kugel- zonen oder -kappen vorteilhaft in einer platzsparenden konzentrischen Art und Weise angeordnet werden, wobei durch Verkippen oder Laterales Verschieben eines jeweiligen Spiegels das Licht zur jeweiligen Detektionseinrichtung lenkbar ist. Es wird also bei geringer Baugröße dennoch eine wesentlich erhöhte Lichtausbeute gegenüber einer Lösung ohne Spiegel er¬ reicht . With the spherical zones or spherical caps is achieved that the largest possible amount of scattered light is reflected for a scattering angle to egg ¬ nem detector. At the same time, the spherical zones or caps can advantageously be arranged in a space-saving concentric manner, wherein the light can be directed to the respective detection device by tilting or laterally displacing a respective mirror. It is therefore at a small size still significantly increased light output compared to a solution without mirror he ¬ ranges.
Insbesondere sind dabei sämtliche Spiegel innerhalb des Volu¬ mens der Kugelscheibe oder Kugelkappe angeordnet, deren Man- telfläche der größte der Spiegel darstellt. Mit anderen Wor¬ ten finden sämtliche Spiegel im gedachten Volumen des größten der Spiegel Platz. Weitere Merkmale, Eigenschaften und Vorteile der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispiels für eine erfindungsgemäße Drehmo¬ mentsensoranordnung unter Bezugnahme auf die Figur 1. In particular, all mirrors are arranged within the Volu ¬ mens of the ball disc or ball cap, one whose Man- telfläche the largest of the mirror is. In other wor ¬ th all levels can be accommodated in notional volume of the largest in the mirror. Further features, properties and advantages of the present invention will become apparent from the following description of an embodiment of an inventive torque ¬ sensor assembly with reference to the figure 1.
Figur 1 zeigt eine Anordnung 10 zur Detektion von Partikeln 13. Je nach Anwendung sind die Partikel 13 einfach im Bereich der Anordnung 10 vorhanden oder werden zugeführt und durchgeleitet. Zur Detektion der Partikel weist die Anordnung 10 ei- ne Laserdiode 11 auf. Diese ist so ausgerichtet, dass sie ei¬ nen Laserstrahl 12 in Richtung der Partikel erzeugt. Teile des Laserstrahls 12, die unbeeinflusst durch die Partikel laufen, treffen auf eine Lichtfalle 14. Die Lichtfalle 14 kann beispielsweise aus einem Umlenkspiegel und einem geeig- net unreflektiven Hohlkörper bestehen. Sie sorgt dafür, dass so gut wie kein reflektiertes Laserlicht zu den Partikeln 13 gelangt . FIG. 1 shows an arrangement 10 for detecting particles 13. Depending on the application, the particles 13 are simply present in the region of the arrangement 10 or are supplied and passed through. For detecting the particles, the arrangement 10 has a laser diode 11. This is aligned so that it generates egg ¬ nen laser beam 12 in the direction of the particles. Parts of the laser beam 12, which run unaffected by the particles, meet a light trap 14. The light trap 14 may for example consist of a deflection mirror and a suitably unreflective hollow body. It ensures that virtually no reflected laser light reaches the particles 13.
In dieser Anordnung 10 sind um einen Punkt 15 auf dem Laser- strahl 12 herum Reflektoren abgeordnet. Der Punkt 15 liegt dabei in Laufrichtung des Laserstrahls 12 zweckmäßig hinter dem Bereich, in dem der Laserstrahl auf die Partikel 13 trifft. In diesem Ausführungsbeispiel handelt es sich dabei um einen ersten Spiegel 16 und einen zweiten Spiegel 17. Bei- de Spiegel haben die Form einer Kugelzone. Eine Kugelzone ist ein Abschnitt einer Kugeloberfläche, der verbleibt, wenn eine Scheibe aus der Kugel geschnitten wird, wobei die Kugelzone der Rest der Kugeloberfläche in dieser Scheibe ist. Die Spie¬ gel 16, 17 sind dabei ineinander verschachtelt angeordnet. Das bedeutet, dass der zweite, kleinere Spiegel 17 ganz oder zu wesentlichen Teilen innerhalb des Volumens angeordnet ist, das durch den ersten, größeren Spiegel 16 eingenommen wird. Mit dem Volumen des ersten Spiegels 16 ist dabei das Volumen der Kugelscheibe gemeint, dessen Oberfläche dem ersten Spie- gel 16 entspricht. Mit anderen Worten nehmen die beiden Spie¬ gel 16, 17 insgesamt nicht oder kaum mehr Volumen ein als der erste Spiegel 16 allein. Die Spiegel 16, 17 sind dabei nahezu so angeordnet, dass ihre Achsen, d.h. die Verbindungslinie der Zentren der Kreise, die ihre Kanten darstellen, mit dem Lauf des Laserstrahls über¬ einstimmen. Sie weisen jedoch gegenüber der exakten Überein- Stimmung eine leichte laterale Verschiebung auf, d.h. die Spiegel 16, 17 sind nicht exakt konzentrisch angeordnet. In this arrangement 10, reflectors are arranged around a point 15 on the laser beam 12. The point 15 lies in the direction of the laser beam 12 expedient behind the area in which the laser beam strikes the particles 13. In this exemplary embodiment, these are a first mirror 16 and a second mirror 17. Both mirrors have the shape of a spherical zone. A sphere zone is a portion of a spherical surface which remains when a disk is cut from the sphere, the sphere zone being the remainder of the sphere surface in that disk. The Spie ¬ gel 16, 17 are arranged interleaved. That is, the second, smaller mirror 17 is disposed entirely or substantially within the volume occupied by the first, larger mirror 16. The volume of the first mirror 16 means the volume of the spherical disk whose surface corresponds to the first mirror 16. In other words, 17 not take the two Spie ¬ gel 16 in total, or barely more volume than the first mirror 16 alone. The mirrors 16, 17 are arranged nearly so that their axes, that is the line connecting the centers of the circles that represent their edges coincide with the course of the laser beam over ¬. However, they have a slight lateral displacement relative to the exact agreement, ie the mirrors 16, 17 are not arranged exactly concentric.
Dadurch wird erreicht, dass das vom ersten Spiegel 16 reflek¬ tierte Licht zu einer ersten Fotodiode 18 gelenkt wird und das vom zweiten Spiegel 17 reflektierte Licht zu einer zwei¬ ten Fotodiode 19 gelenkt wird. Wegen der Geometrie der Anord¬ nung ist dabei das Licht, das bei der ersten Fotodiode 18 eintrifft, solches Laserlicht, das von den Partikeln 13 in einen bestimmten ersten Winkelbereich gestreut wird. Das Licht, das bei der zweiten Fotodiode 19 eintrifft, ist Laser¬ licht, das von den Partikeln 13 in einen bestimmten zweiten Winkelbereich gestreut wird. Characterized in that the reflectors ¬ struck from the first mirror 16 light is directed to a first photodiode 18 and the light reflected from the second mirror 17 light is directed to a two ¬ th photodiode 19 is achieved. Because of the geometry of the Anord ¬ voltage is the light which reaches the first photodiode 18, such laser light that is scattered by the particles 13 in a predetermined first angular range. The light which reaches the second photodiode 19, is laser light ¬ that is scattered by the particles 13 in a certain second angle range.
Neben den zwei hier beschriebenen Spiegel 16, 17 können auch noch weitere Spiegel für weitere Winkelbereiche vorgesehen sein. Diese werden ebenso verschachtelt angeordnet, sodass das Volumen, das von den Spiegeln eingenommen wird, fast oder ganz dem Volumen des größten Spiegels 16 entspricht. Somit wird eine kompakte Anordnung geschaffen, die dennoch eine Partikeldetektion mit Winkelauflösung erlaubt. In addition to the two mirrors 16, 17 described here, it is also possible to provide further mirrors for further angular ranges. These are also arranged nested, so that the volume occupied by the mirrors almost or completely corresponds to the volume of the largest mirror 16. Thus, a compact arrangement is provided which still allows particle detection with angular resolution.

Claims

Patentansprüche claims
1. Anordnung (10) zur Detektion von Partikeln (13), umfassend : An assembly (10) for detecting particles (13), comprising:
- eine Lichtquelle (11) zur Bestrahlung der Partikel mit ei¬ nem Lichtstrahl (12), - a light source (11) for irradiating the particles with egg ¬ nem light beam (12),
- wenigstens zwei Detektionseinrichtungen (18, 19) zur Aufnahme von an den Partikeln (13) gestreuten Anteilen des  at least two detection devices (18, 19) for receiving portions of the particle scattered on the particles (13)
Lichts , Light,
- wenigstens zwei Spiegel (16, 17) zur Fokussierung des von den Partikeln (13) in einen Winkelbereich gestreuten Lichts auf jeweils eine der Detektionseinrichtungen (18, 19), wobei die Spiegel (16, 17) jeweils eine Öffnung aufweisen und so ineinander verschachtelt angeordnet sind, dass unabgelenk- te Teile des Lichtstrahls (12) durch die Öffnungen der Spie¬ gel (16, 17) tritt. - At least two mirrors (16, 17) for focusing the scattered by the particles (13) in an angular range of light on each one of the detection means (18, 19), wherein the mirrors (16, 17) each having an opening and so interleaved are arranged that undeflected parts of the light beam (12) through the openings of the Spie ¬ gel (16, 17) occurs.
2. Anordnung (10) gemäß Anspruch 1, bei der wenigstens der größte der Spiegel (16) die Form einer Kugelzone hat. 2. Arrangement (10) according to claim 1, wherein at least the largest of the mirror (16) has the shape of a spherical zone.
3. Anordnung (10) gemäß Anspruch 2, bei der sämtliche Spiegel (16, 17) innerhalb des Volumens der Kugelscheibe angeordnet sind, deren Mantelfläche der größte der Spiegel (16) dar¬ stellt . 3. Arrangement (10) according to claim 2, wherein all the mirrors (16, 17) are arranged within the volume of the spherical disk whose lateral surface is the largest of the mirrors (16) represents ¬ .
4. Anordnung (10) gemäß einem der vorangehenden Ansprüche, bei der die Lichtquelle (11) eine Laserlichtquelle, insbeson¬ dere eine Laserdiode (11) ist. 4. The arrangement (10) according to one of the preceding claims, wherein the light source (11) is a laser light source, insbeson ¬ particular a laser diode (11).
5. Anordnung (10) gemäß einem der vorangehenden Ansprüche, bei der die Detektionseinrichtungen (18, 19) Fotodioden (18, 19) sind. 5. Arrangement (10) according to one of the preceding claims, wherein the detection means (18, 19) photodiodes (18, 19).
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