WO2006083190A1 - Microelectronic bundle module or device - Google Patents

Microelectronic bundle module or device Download PDF

Info

Publication number
WO2006083190A1
WO2006083190A1 PCT/RU2005/000183 RU2005000183W WO2006083190A1 WO 2006083190 A1 WO2006083190 A1 WO 2006083190A1 RU 2005000183 W RU2005000183 W RU 2005000183W WO 2006083190 A1 WO2006083190 A1 WO 2006083190A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
bundle
films
microelectronic
layers
microelectronic module
Prior art date
Application number
PCT/RU2005/000183
Other languages
French (fr)
Russian (ru)
Inventor
Bronya Tsoy
Yuriy Vasilievich Kogai
Vladimir Vladimirovich Lavrentiev
Original Assignee
Bronya Tsoy
Yuriy Vasilievich Kogai
Lavrentiev Vladimir Vladimirov
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Bronya Tsoy, Yuriy Vasilievich Kogai, Lavrentiev Vladimir Vladimirov filed Critical Bronya Tsoy
Publication of WO2006083190A1 publication Critical patent/WO2006083190A1/en

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/16Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof the devices being of types provided for in two or more different main groups of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. forming hybrid circuits
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/03Use of materials for the substrate
    • H05K1/0313Organic insulating material
    • H05K1/0353Organic insulating material consisting of two or more materials, e.g. two or more polymers, polymer + filler, + reinforcement
    • H05K1/036Multilayers with layers of different types
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/03Use of materials for the substrate
    • H05K1/0313Organic insulating material
    • H05K1/0353Organic insulating material consisting of two or more materials, e.g. two or more polymers, polymer + filler, + reinforcement
    • H05K1/0366Organic insulating material consisting of two or more materials, e.g. two or more polymers, polymer + filler, + reinforcement reinforced, e.g. by fibres, fabrics

Definitions

  • a superconducting tunneling diode comprising two electrodes, an emitter and a collector of a superconductor, separated by a semiconductor layer.
  • the semiconductor interlayer is made in the form of a multilayer quantum heterostructure consisting of at least two semiconductor
  • the dielectric layer of the capacitor is made of a stack of N> 1 thin film layers with a thickness d ⁇ 80 ⁇ m. Films can be from any dielectric material.
  • a beam microelectronic module or device is characterized in that dielectric materials, for example, polyimide, or quartz, or mica are used as films.
  • a beam microelectronic module or device is made in the form of a transistor oscillator type RC.
  • a beam microelectronic module or device is made in the form of a transistor oscillator with inductive coupling.
  • length 10 mm
  • through holes are made into which the terminals of the radio components are inserted.
  • small conductive rings are made on the top film (plate) of the stack.
  • Flexible printed (ribbon) connecting cables and flexible inductors are similarly manufactured. In the manufacture of the latter, a decrease in dielectric loss leads to an increase in the quality factor of the circuit, which allows them to be used, for example, as resonant microwave strip contours.
  • FIG. 4 shows an example of mounting a resistor on a multilayer flexible printed circuit board consisting of 4 polyimide films, where:

Abstract

The invention relate to radioelectronic engineering and can be used for producing high-accurate, ultra-accurate, ultrastable and high-quality oscillating loops, circuits and devices in radio and electronic sectors requiring a high and ultra-high accuracy and quality of electronic components and circuits. The inventive microelectronic bundle module or device comprises the following multilayer electronic bundle components: microelectronic boards, substrates, conductor tracks, resistors, inductive coils, capacitors, diodes, tyristors, transistors which form different microcircuits for modules or devices and made from thin single-type elements consisting of N>1 layers of thin films or fibre elements, wherein said films and fibres are combined into a pile or beam whose thickness d< 80 mkm, the physical characteristics of the components are proportionally enhanced and the dispersion thereof is decreased when the number of layers in the pile or the number of fibres in the bundle having said thickness is increased. In comparison with single-element modules or devices, the invention makes it possible to increase by one order and more of magnitude the result consisting in improving a resolution capability, input resistance, quality, accuracy and ultra-accuracy, reliability, service life, environmental stability, current overloading and a power.

Description

ПУЧКОВЫЙ МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ МОДУЛЬ ИЛИ ПРИБОР. BEAM MICROELECTRONIC MODULE OR DEVICE.
Область изобретенияField of Invention
Изобретение относится к радиоэлектронике и может быть использовано для разработки и изготовления высокоточных, сверхточных, сверхстабильных и сверхдобротных колебательных контуров, схем и устройств, а также в др. областях радиотехники и электроники, где требуется высокая и сверхвысокая точность и добротность электронных компонент и схем.The invention relates to electronics and can be used to develop and manufacture high-precision, ultra-precise, ultra-stable and ultra-high-quality oscillatory circuits, circuits and devices, as well as in other areas of radio engineering and electronics, where high and ultra-high accuracy and quality factor of electronic components and circuits are required.
Предшествующий уровень техникиState of the art
Известна базовая радиоэлектронная схема (или модуль) колебательного контура, состоящая из диэлектрической подложки (электронной платы), на которой монтируются (или напыляются) элементы контура: токопроводящая цепь, катушка индуктивности и конденсатор, обладающие активным сопротивлением.A basic radio-electronic circuit (or module) of an oscillatory circuit is known, consisting of a dielectric substrate (electronic board) on which circuit elements are mounted (or sprayed): a conductive circuit, an inductor, and a capacitor having active resistance.
В настоящее время токопроводящие пути, конденсаторы, катушки индуктивности и др. компоненты контура изготовлены (или напылены) и скомпонованы на печатной плате или полупроводниковой подложке по однослойной технологии с применением однослойных (одноэлементных) пленочных или волоконных материалов.Currently, conductive paths, capacitors, inductors, and other circuit components are made (or sprayed) and arranged on a printed circuit board or semiconductor substrate using a single-layer technology using single-layer (single-element) film or fiber materials.
Недостатками, например, колебательных контуров является низкая добротность и большая погрешность, возникающая из-за разброса значений физических характеристик составляющих электронных компонент: активного сопротивления, катушки индуктивности и емкости конденсатора.The disadvantages, for example, of the oscillatory circuits are the low quality factor and the large error arising from the scatter of the physical characteristics of the components of the electronic components: active resistance, inductance coil and capacitor capacitance.
Рассмотрим, для примера, недостатки этих компонент, которые связанны с погрешностью физических характеристик электронных элементов.Consider, for example, the shortcomings of these components, which are associated with an error in the physical characteristics of electronic elements.
1. Электронные печатные платы из однослойных пленочных материалов [1]. Недостатком электронных печатных плат является разброс значений tgδ и большие диэлектрические потери (tgδ достигает до 10" - 10" ), в результате которого снижается добротность и теряется стабильность работы колебательного контура, происходит потеря мощности радиосигнала и невозможным становится их применение в СВЧ- изделиях.1. Electronic printed circuit boards from single-layer film materials [1]. The disadvantage of electronic printed circuit boards is the spread of tanδ values and large dielectric losses (tanδ reaches up to 10 " - 10 " ), which reduces the quality factor and the stability of the oscillatory circuit, the radio signal power is lost and their use in microwave products becomes impossible.
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) 2. Электрическое сопротивление цепи, изготовленное из тонкого однослойного проводника (например, напылением меди, или травлением) и т.д. [2]. Недостатком любого резистора является погрешность его значения сопротивления прохождению электрического тока R - до 15%-20% от номинального значения, указанного в технических условиях (ТУ) этого электронного прибора и большой уровень шумов создаваемый им в процессе работы.SUBSTITUTE SHEET (RULE 26) 2. The electrical resistance of a circuit made of a thin single-layer conductor (for example, by copper deposition, or etching), etc. [2]. A disadvantage of any resistor is the error of its resistance to the passage of electric current R - up to 15% -20% of the nominal value specified in the technical specifications (TU) of this electronic device and the high noise level created by it during operation.
3. Конденсаторы с однослойной диэлектрической пленкой-прослойкой, например, из слюды, полистирола, фторопласта, полиимида и т.д. [2]. Недостатком конденсатора является погрешность в значениях емкости и пробойного напряжения - до 10-15 % от номинального значения указанного в ТУ и большой уровень шумов, а также низкая добротность из-за высоких диэлектрических потерь диэлектрической прослойки.3. Capacitors with a single-layer dielectric film-interlayer, for example, from mica, polystyrene, fluoroplast, polyimide, etc. [2]. The disadvantage of the capacitor is the error in the values of capacitance and breakdown voltage - up to 10-15% of the nominal value specified in the technical specifications and a large noise level, as well as low quality factor due to the high dielectric loss of the dielectric layer.
4. Катушки индуктивности из однослойных проволочных или пленочных токопроводящих путей [3]. Недостатком любых катушек индуктивности, включая гибкие, является погрешность в значениях индуктивности и добротности.4. Inductors from single-layer wire or film conductive paths [3]. The disadvantage of any inductance coils, including flexible ones, is the error in the inductance and quality factor.
В настоящее время для того, чтобы компенсировать погрешности, возникающие из-за разброса значений активного сопротивления, цепи в схему включают дополнительное подстроечное переменное сопротивление. Однако это не решает проблемы, связанные с погрешностью других компонент - емкости и индуктивности.At present, in order to compensate for errors arising from the scatter of the values of the active resistance, the circuit includes an additional tuning variable resistance. However, this does not solve the problems associated with the error of other components - capacitance and inductance.
Для того, чтобы избавиться от паразитных погрешностей электронного контура, стабилизировать его электрические параметры и снизить уровень собственных шумов исследователи модифицируют материалы этих компонент, в частности, их химическую структуру и разрабатывают сверхчистые бездефектные материалы, используя дорогостоящие технологии, что требует больших энерго- и финансовых затрат.In order to get rid of spurious errors of the electronic circuit, to stabilize its electrical parameters and reduce the level of intrinsic noise, researchers modify the materials of these components, in particular, their chemical structure and develop ultra-pure defect-free materials using expensive technologies, which requires large energy and financial costs .
Из патентной литературы известен сверхпроводниковый туннельный диод, содержащий два электрода, эмиттер и коллектор из сверхпроводника, разделенных полупроводниковой прослойкой. Для повышения максимальной рабочей частоты и мощности, полупроводниковая прослойка выполнена в виде многослойной квантовой гетероструктуры, состоящей по крайней мере из двух полупроводниковыхA superconducting tunneling diode is known from the patent literature, comprising two electrodes, an emitter and a collector of a superconductor, separated by a semiconductor layer. To increase the maximum operating frequency and power, the semiconductor interlayer is made in the form of a multilayer quantum heterostructure consisting of at least two semiconductor
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) материалов, различающихся шириной запрещенной зоны. Слой узкозонного материала расположен между слоями широкозонных материалов и образует потенциальную яму для основных носителей заряда, содержащую по крайней мере один квантовый уровень (см. авт. свидетельство СССР N° 1575858, 1988.)SUBSTITUTE SHEET (RULE 26) materials differing in bandgap. A layer of narrow-gap material is located between the layers of wide-gap materials and forms a potential well for the main charge carriers containing at least one quantum level (see USSR author's certificate N ° 1575858, 1988.)
Из патентной литературы известен сверхпроводниковый материал в виде пленки, образованной несколькими мономолекулярными слоями, наложенными друг на друга на подложке, и содержащий по меньшей мере одну первую совокупность слоев, образующую накопитель электрических зарядов, и по меньшей мере одну вторую совокупность слоев, образующую сверхпроводящую зону , сформированную из п сверхпроводящих слоев, состоящих из окиси меди и отделенных друг от друга прокладочными слоями, причем упомянутый накопитель электрических зарядов и сверхпроводящая зона примыкают друг к другу в плотном пакете слоев. Упомянутое число п представляет собой целое число, по меньшей мере, равное 4.From the patent literature known superconducting material in the form of a film formed by several monomolecular layers superimposed on each other on a substrate, and containing at least one first set of layers forming an electric charge storage device, and at least one second set of layers forming a superconducting zone, formed of n superconducting layers consisting of copper oxide and separated from each other by cushioning layers, wherein said electric charge storage device and superconducting Single zone adjacent to each other in a tight package layers. Said number n is an integer of at least 4.
Накопитель электрических зарядов образован, по меньшей мере, двумя слоями, выполненными из окиси кальция и разделенными, по меньшей мере, одним слоем, выполненным из по меньшей мере одного металлического окисла.The electric charge storage device is formed by at least two layers made of calcium oxide and separated by at least one layer made of at least one metal oxide.
Объектом изобретения являются также компоненты, содержащие материал описанного выше типа, в частности элементы межсистемных соединений, быстродействующие транзисторы, элементы сверхвысокочастотной аппаратуры, быстродействующие коммуникационные и запоминающие устройства , используемые в цифровой технике (см. патент РФ JЧа 2131157, 1994).The object of the invention is also components containing material of the type described above, in particular elements of intersystem connections, high-speed transistors, elements of microwave equipment, high-speed communication and storage devices used in digital technology (see RF patent Ja 2131157, 1994).
Раскрытие изобретенияDisclosure of invention
Изобретение направлено на создание, например, колебательного контура с низкими и со сверхнизкими значениями разброса физических характеристик без модификации химической структуры материалов компонент контура с малым уровнем собственных шумов, с высокой механической и электрической прочностью, долговечностью.The invention is aimed at creating, for example, an oscillatory circuit with low and ultra-low values of the dispersion of physical characteristics without modifying the chemical structure of the materials of the circuit components with a low level of intrinsic noise, with high mechanical and electrical strength, and durability.
Осуществление изобретения основано на применении в монтаже колебательного контура электронных компонент со сверхточными значениями физических характеристик (сопротивления R, индуктивности L, емкости С, тангенса угла диэлектрических потерь tgδ), не имеющих погрешности в своихThe implementation of the invention is based on the use in the installation of an oscillatory circuit of electronic components with ultra-precise values of physical characteristics (resistance R, inductance L, capacitance C, dielectric loss tangent tanδ), which have no errors in their
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) значениях. В свою очередь осуществление сверхточности и отсутствие разброса в значениях физических характеристик основано на применении, открытых российскими учеными, универсальных общих природных закономерностей изменения физических характеристик одноэлементных (эффект Б.Цоя) и многоэлементных структур, явлении многоэлементного масштабного эффекта (эффект «Цoя-Kapтaшoвa-Шeвeлeвa»), а также открытии общих закономерностей разброса данных при физических измерениях [4-7] .SUBSTITUTE SHEET (RULE 26) values. In turn, the implementation of super-precision and the lack of dispersion in the values of physical characteristics is based on the application, discovered by Russian scientists, of universal general natural laws of changing the physical characteristics of single-element (B. Tsoi effect) and multi-element structures, the phenomenon of a multi-element scale effect (“Tsoi-Kartashov-Shevelev effect” »), As well as the discovery of general patterns of data scatter in physical measurements [4-7].
Согласно этих открытий при снижении линейных размеров одноэлементных структур (пленок и волокон) происходит эффект высокого усиления физических характеристик полимеров и твердых тел, а при объединении в пучок (стопу) этих одноэлементных структур происходит эффект сверхвысокого увеличения физических характеристик и снижение дисперсии пропорционально числу элементов в пучке, т.е. разброс данных эксперимента при увеличении числа отдельных однотипных элементов в пучке снижается.According to these discoveries, when the linear dimensions of single-element structures (films and fibers) are reduced, the effect of high amplification of the physical characteristics of polymers and solids occurs, and when these single-element structures are combined into a bundle (stack), the effect of an ultrahigh increase in physical characteristics and a decrease in dispersion is proportional to the number of elements in the beam , i.e. the scatter of the experimental data decreases with an increase in the number of individual elements of the same type in the beam.
Технический результат в компонентах, например, колебательного контура достигается использованием открытого эффекта: исчезновением разброса значений электрофизических параметров проводников и диэлектриков при объединении монопленок (моноволокон) из них в многослойную стопку (пучок) из N элементов, где N>1. При этом конфигурация тонких пленок или волокон может быть произвольной. Объединение в стопку или пучок одновременно улучшает структуру материалов и увеличивает их прочностные характеристики. Другим неожиданным эффектом, обнаруженным авторами, является снижение уровня собственных шумов приборов изготовленных из этих материалов. Объединение в многослойную стопку позволяет усовершенствовать любые материалы из однослойных (одиночных) материалов.The technical result in the components, for example, of the oscillatory circuit is achieved by using the open effect: the disappearance of the scatter in the values of the electrophysical parameters of the conductors and dielectrics when combining monofilms (monofilaments) of them into a multilayer stack (bundle) of N elements, where N> 1. In this case, the configuration of thin films or fibers can be arbitrary. Combining in a stack or bundle simultaneously improves the structure of materials and increases their strength characteristics. Another unexpected effect discovered by the authors is a decrease in the level of intrinsic noise of devices made from these materials. Combining in a multilayer stack allows you to improve any materials from single-layer (single) materials.
Для устранения отмеченных недостатков собирают в пучок (стопку, пакет) из тонких волокон (или пленок) толщиной d<80 мкм из N>1 элементов. Составляющие элементы пучка (стопки, пакета) могут быть из любых токопроводящих или диэлектрических материалов.To eliminate the noted drawbacks, they are assembled into a bundle (stack, packet) of thin fibers (or films) of thickness d <80 μm from N> 1 elements. The constituent elements of the beam (stack, package) can be from any conductive or dielectric materials.
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) Диэлектрическую прослойку конденсатора изготавливают из стопки N>1 тонких слоев-пленок толщиной d<80 мкм. Пленки могут быть из любого диэлектрического материала.SUBSTITUTE SHEET (RULE 26) The dielectric layer of the capacitor is made of a stack of N> 1 thin film layers with a thickness d <80 μm. Films can be from any dielectric material.
Для контура индуктивности используют пучок (стопку) из числа N>1 токопроводящих (плоских или любых других) элементов толщиной d<80 мкм.For the inductance loop, a beam (stack) of N> 1 conductive (flat or any other) elements with a thickness of d <80 μm is used.
Для электронных печатных плат используется многослойная стопка из тонких монопленок толщиной d<80 мкм из N>1 элементов-слоев. Пленки могут быть из любых диэлектрических материалов: полиимида, или кварца, или слюды.For electronic printed circuit boards, a multilayer stack of thin monofilms with a thickness d <80 μm of N> 1 layer elements is used. Films can be from any dielectric materials: polyimide, or quartz, or mica.
Краткое описание фигур чертежейBrief Description of the Drawings
Изобретение поясняется графиками, чертежами и схемами, где на :The invention is illustrated by graphs, drawings and diagrams, where:
Фиг.l - приведены распределения измеренных значений сопротивления R, по номерам последовательности п для трех серий из N=500 испытанных образцов испытанных из данных по измерению одиночных (N=I) образцов медной проволоки толщиной 5 мкм и длиной /=10 мм (кривая 1 фиг 1). Как видно из этих данных, разброс достигает внушительных размеров от 0,1 Ома до 1,0 Ома. При объединении в пучок из N>1 и N»l (кривая 2 и 3 фиг 1) разброс неожиданно снижается до нуля. При этом увеличение числа составляющих N в стопке (или в пучке) приводит к дальнейшему снижению величины сопротивления R (кривая 3 фиг 1).Figure l - shows the distribution of the measured values of resistance R, according to sequence numbers n for three series of N = 500 tested samples tested from data on the measurement of single (N = I) samples of copper wire 5 μm thick and length = 10 mm (curve 1 Fig 1). As can be seen from these data, the spread reaches impressive sizes from 0.1 Ohm to 1.0 Ohm. When combined into a beam of N> 1 and N »l (curve 2 and 3 of FIG. 1), the spread unexpectedly decreases to zero. Moreover, an increase in the number of components N in the stack (or in the beam) leads to a further decrease in the resistance value R (curve 3 of FIG. 1).
Аналогичные данные получены для величин L, С, tg δ (фиг 2- 3) для монопленок или монопроводов толщиной менее 80 мкм и числом составляющих элементов в стопке (пучке) более 1 ;Similar data were obtained for the values of L, C, tanδ (Figs. 2–3) for monofilms or mono-wires with a thickness of less than 80 μm and the number of constituent elements in a stack (bundle) of more than 1;
Фиг.2 - представлены:Figure 2 - presents:
4, 5 - распределение емкости С для пленочного полиэтилентерефталата; 4- монопленка толщиной d=20 мкм (число слоев-элементов N=I); 5 - многослойная пленка число слоев N>1. толщина слоя d=20 мкм б, 7 - распределение индуктивности L из медной проволоки; 6 - катушка индуктивности из монопровода толщиной d=30 мкм и б витков и диаметром намотки 5 мм; 7 - пучковая катушка индуктивности с числом N>1 монопроводов в пучке толщиной d =30 мкм, количество витков в катушке - б, диаметр намотки - 5 мм.4, 5 - distribution of capacity C for film polyethylene terephthalate; 4- monofilm with a thickness of d = 20 μm (the number of element layers N = I); 5 - multilayer film, the number of layers N> 1. layer thickness d = 20 μm b, 7 — distribution of inductance L from a copper wire; 6 - inductance coil from a monowire with a thickness of d = 30 μm and b turns and a winding diameter of 5 mm; 7 - a beam inductance coil with a number N> 1 of mono-wires in a beam with a thickness of d = 30 μm, the number of turns in the coil is b, the diameter of the winding is 5 mm.
Фиг. 3 представлены:FIG. 3 are presented:
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) бSUBSTITUTE SHEET (RULE 26) b
8 — распределение тангенса диэлектрических потерь для .полиимидной моноплешш ПM-4 толщиной d=35 мкм, линейные размеры образца - 10x10 мм;8 - distribution of dielectric loss tangent for. PM-4 polyimide monoplesh with a thickness of d = 35 μm, linear dimensions of the sample - 10x10 mm;
9,10 - распределение тангенса диэлектрических потерь tgδ для многослойной полиимидной пленки ПM-4; толщина монослоя d=35 мкм, слоев N>1.9.10 - distribution of the dielectric loss tangent tanδ for a multilayer polyimide film PM-4; monolayer thickness d = 35 μm, layers N> 1.
Из этих экспериментальных данных видно осуществление технического эффекта в пучке с числом элементов N>1, а именно: разброс экспериментальных значений L, С, tg δ в пучке с диаметром отдельных тонких (толщиной d<80 мкм) индивидуальных составляющих становится нулевым;These experimental data show the implementation of the technical effect in a beam with the number of elements N> 1, namely: the scatter of the experimental values of L, C, tan δ in a beam with the diameter of individual thin (thickness d <80 μm) individual components becomes zero;
Фиг. 4 - приведен пример монтажа резистора на многослойной гибкой печатной плате, состоящей из 4-х пленок полиимида, где:FIG. 4 - an example of mounting a resistor on a multilayer flexible printed circuit board, consisting of 4 films of polyimide, where:
11- резистор, 12- кольца из меди на верхней пленки стопки, 13- вывод резистора, 14- сквозные отверстия в плате, 15- нижний токопроводящий слой (монтажный), 16- монопленки стопки, 17- капли припоя.11- resistor, 12- copper rings on the top film of the stack, 13- output of the resistor, 14- through holes in the board, 15- lower conductive layer (mounting), 16- monofilms of the stack, 17- drops of solder.
Фиг. 5 - схема колебательного контура;FIG. 5 is a diagram of an oscillatory circuit;
Фиг. б - схема транзисторного автогенератора типа RC;FIG. b - circuit transistor oscillator type RC;
Фиг. 7 - схема транзисторного автогенератора с индуктивной связью;FIG. 7 is a diagram of a transistor oscillator with inductive coupling;
Фиг. 8 - схема резистивного каскада усилителя с общим эмиттером;FIG. 8 is a diagram of a resistive cascade of an amplifier with a common emitter;
Фиг. 9 - схема усилителя постоянного тока прямого усиления. Варианты осуществления изобретенийFIG. 9 is a diagram of a direct amplification direct current amplifier. Embodiments of the Inventions
Пучковый микроэлектронный модуль или прибор содержит многослойные пучковые электронные компоненты: микроэлектронные платы, подложки, токопроводящие пути, резисторы, катушки индуктивности, конденсаторы, диоды, тиристоры, транзисторы, составляющие различные микросхемы модулей или приборов и выполненные из тонких отдельных однотипных элементов состоящих из N>1 слоев тонких пленок или элементов-волокон, причем отдельные однотипные пленки или элементы-волокна объединены в стопку или пучок толщиной d<80 мкм, при этом при увеличении слоев в стопке или количества элементов - волокон в пучке при указанной толщине физические характеристики компонентов пропорционально усиливаются, а их дисперсия снижается.A beam microelectronic module or device contains multilayer beam electronic components: microelectronic boards, substrates, current paths, resistors, inductors, capacitors, diodes, thyristors, transistors that make up various microcircuits of modules or devices and made of thin separate elements of the same type consisting of N> 1 layers of thin films or fiber elements, and individual films of the same type or fiber elements are combined into a stack or bundle with a thickness of d <80 μm, while increasing layers in st the optical fiber or the number of fiber elements in the bundle at the specified thickness, the physical characteristics of the components are proportionally enhanced, and their dispersion decreases.
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) Пучковый микроэлектронный модуль или прибор отличается тем, что в качестве пленок использованы диэлектрические материалы, например, полиимид, или кварц, или слюда.SUBSTITUTE SHEET (RULE 26) A beam microelectronic module or device is characterized in that dielectric materials, for example, polyimide, or quartz, or mica are used as films.
Пучковый микроэлектронный модуль или прибор отличается тем, что в качестве пленок или элементов-волокон использованы электропроводящие материалы, например, серебро, или медь, или углеродные волокна, или алюминий, или нихром.A beam microelectronic module or device is characterized in that electrically conductive materials, for example silver, or copper, or carbon fibers, or aluminum, or nichrome are used as films or fiber elements.
Пучковый микроэлектронный модуль выполнен в виде колебательного контура.The beam microelectronic module is made in the form of an oscillatory circuit.
Пучковый микроэлектронный модуль или прибор выполнен в виде транзисторного автогенератора типа RC.A beam microelectronic module or device is made in the form of a transistor oscillator type RC.
Пучковый микроэлектронный модуль или прибор выполнен в виде транзисторного автогенератора с индуктивной связью.A beam microelectronic module or device is made in the form of a transistor oscillator with inductive coupling.
Пучковый микроэлектронный модуль или прибор выполнен в виде резистивного каскадного усилителя с общим эмиттером.A beam microelectronic module or device is made in the form of a resistive cascade amplifier with a common emitter.
Пучковый микроэлектронный модуль или прибор выполнен в виде усилителя постоянного тока прямого усиления.A beam microelectronic module or device is made in the form of a direct current amplifier of direct current.
Заявляемое изобретение по сравнению с одноэлементными однослойными модулями или приборами позволяет значительно (на порядок и более) повысить достигаемый ими технический результат, заключающийся в повышении: разрешающей способности модуля или прибора; входного сопротивления; добротности; точности и сверх точности; надежности; долговечности; устойчивости к воздействию внешних факторов на прибор; устойчивости к токовым перегрузкам; и мощности модуля или прибора.The claimed invention, compared with single-element single-layer modules or devices, can significantly (an order of magnitude or more) increase their technical result, which consists in increasing: the resolution of the module or device; input impedance; quality factor; accuracy and over accuracy; reliability; longevity; resistance to external factors on the device; resistance to current overloads; and the power of the module or device.
На фиг 1 приведены распределения измеренных значений сопротивления R, по номерам последовательности п для трех серий из n=500 испытанных образцов испытанных из данных по измерению одиночных (N=I) образцов медной проволоки толщиной 5 мкм и длиной /=10 мм (кривая 1 фиг 1). Как видно из этих данных, разброс достигает внушительных размеров от 0,1 Ома до 1,0 Ома. При объединении в пучок из N>1 и N»l (кривая 2 и 3 фиг 1) разброс неожиданно снижается до нуля.Figure 1 shows the distribution of the measured values of resistance R, according to sequence numbers n for three series of n = 500 tested samples tested from data on the measurement of single (N = I) samples of copper wire 5 μm thick and length = 10 mm (curve 1 of FIG. one). As can be seen from these data, the spread reaches impressive sizes from 0.1 Ohm to 1.0 Ohm. When combined into a beam of N> 1 and N »l (curve 2 and 3 of FIG. 1), the spread unexpectedly decreases to zero.
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) При этом увеличение числа составляющих N в стопке (или в пучке) приводит к дальнейшему снижению величины сопротивления R (кривая 3 фиг 1).SUBSTITUTE SHEET (RULE 26) Moreover, an increase in the number of components N in the stack (or in the beam) leads to a further decrease in the resistance value R (curve 3 of FIG. 1).
Аналогичные данные получены для величин L, С, tgδ (фиг 2- 3) для монопленок или монопроводов толщиной менее 80 мкм и числом составляющих элементов в стопке (пучке) более 1.Similar data were obtained for the values of L, C, tanδ (Figs. 2–3) for monofilms or monowires with a thickness of less than 80 μm and the number of constituent elements in a stack (bundle) of more than 1.
На фиг 2 представлены:In Fig 2 presents:
4, 5 - распределение емкости С для пленочного полиэтилентерефталата; 4- монопленка толщиной d=20 мкм (число слоев-элементов N=I); 5 — многослойная пленка число слоев N>1. толщина слоя d=20 мкм4, 5 - distribution of capacity C for film polyethylene terephthalate; 4- monofilm with a thickness of d = 20 μm (the number of element layers N = I); 5 - multilayer film, the number of layers N> 1. layer thickness d = 20 μm
6, 7 - распределение индуктивности L из медной проволоки; 6 - катушка индуктивности из монопровода толщиной d=30 мкм и 6 витков и диаметром намотки 5 мм; 7 - пучковая катушка индуктивности с числом N>1 монопроводов в пучке толщиной d =30 мкм, количество витков в катушке - 6, диаметр намотки - 5 мм.6, 7 - distribution of the inductance L of a copper wire; 6 - inductance coil from a monowire with a thickness of d = 30 μm and 6 turns and a winding diameter of 5 mm; 7 - a beam inductance coil with a number N> 1 of mono-wires in a beam with a thickness of d = 30 μm, the number of turns in the coil is 6, the diameter of the winding is 5 mm.
На фиг 3 представлены:In Fig 3 presents:
8 - распределение тангенса диэлектрических потерь для полиимидной монопленки ПM-4 толщиной d=35 мкм, линейные размеры образца - 10x10 мм;8 - distribution of dielectric loss tangent for PM-4 polyimide monofilm with a thickness d = 35 μm, linear dimensions of the sample - 10x10 mm;
9,10 - распределение тангенса диэлектрических потерь tgδ для многослойной полиимидной пленки ПM-4; толщина монослоя d=35 мкм, слоев N>19.10 - distribution of the dielectric loss tangent tanδ for a multilayer polyimide film PM-4; monolayer thickness d = 35 μm, layers N> 1
Из этих экспериментальных данных видно осуществление технического эффекта в пучке с числом элементов N>1, а именно: разброс экспериментальных значений L, С, tg δ в пучке с диаметром отдельных тонких (толщиной d<80 мкм) индивидуальных составляющих становится нулевым.These experimental data show the implementation of the technical effect in the beam with the number of elements N> 1, namely: the scatter of the experimental values of L, C, tan δ in the beam with the diameter of individual thin (thickness d <80 μm) individual components becomes zero.
Кроме того, из фиг. 3 видно, что в пучке (стопке или пакете) существенно снижается и тангенс угла диэлектрических потерь до 10° и ниже (у современных диэлектриков его величина на порядок выше), что позволяет использовать колебательный контур с такими значениями диэлектрических потерь составляющих компонент в условиях СВЧ. Одновременно снижение тангенса угла диэлектрических потерь свидетельствует об увеличении добротности колебательного контура с такими значениями характеристик составляющих компонент, например, колебательного контура.In addition, from FIG. Figure 3 shows that in the beam (stack or packet), the dielectric loss tangent also decreases significantly to 10 ° and lower (in modern dielectrics, its value is an order of magnitude higher), which makes it possible to use an oscillatory circuit with such values of the dielectric losses of the component components under microwave conditions. At the same time, a decrease in the dielectric loss tangent indicates an increase in the quality factor of the oscillatory circuit with such values of the characteristics of the component components, for example, the oscillatory circuit.
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) Составляющие компоненты колебательного контура могут быть получены, например, следующим образом (см. фиг. 5).SUBSTITUTE SHEET (RULE 26) The constituent components of the oscillatory circuit can be obtained, for example, as follows (see Fig. 5).
Пример 1.Example 1
Берется пленка токопроводящего материала, например, медной фольги толщиной d < 80 мкм. Пленка складывается в стопу в несколько слоев. Число подбирается слоев в зависимости от необходимого значения величины сопротивления R. Между слоями фольги прокладывается изолирующий слой, например, бумаги толщиной в несколько мкм. Под стопой в рамках настоящего изобретения следует понимать многослойную (многоэлементную) структуру, имеющую нижний слой, верхний слой и промежуточные слои, каждый из которых размещен любым известным способом на ближайшем к нему снизу слое. Затем из такой стопки-книжки вырубаются штампом заготовки необходимой конфигурации и размера, например, прямоугольной формы, с противоположных сторон такой заготовки припаиваются электроды. Простейший резистор готов.A film of conductive material, for example, copper foil with a thickness d <80 μm, is taken. The film is folded into the foot in several layers. The number of layers is selected depending on the required value of the resistance R. An insulating layer, for example, paper with a thickness of several microns, is laid between the layers of the foil. Under the foot in the framework of the present invention should be understood a multilayer (multi-element) structure having a lower layer, upper layer and intermediate layers, each of which is placed in any known manner on the layer closest to it from below. Then, blanks of the necessary configuration and size, for example, of a rectangular shape, are cut out from such a stack of books, for example, electrodes are soldered from opposite sides of such a blank. The simplest resistor is ready.
Резистор может быть изготовлен методом напыления. В этом случае изолирующие слои также напыляются оксидной пленкой.The resistor can be sprayed. In this case, the insulating layers are also sprayed with an oxide film.
Какого-то дополнительного оборудования для реализации данного примера не требуется - все вписывается в существующую в настоящее время технологию.Some additional equipment for the implementation of this example is not required - everything fits into the current technology.
Пример 2.Example 2
Берется промышленная пленка полиимдного материала толщиной d < 80 мкм. Пленка складывается в несколько слоев. Затем (если необходимо получить плату небольших размеров, например, для тонкопленочной микросхемы) из такой стопки-книжки вырубаются заготовки под размеры и конфигурацию будущей электронной платы. Заготовку платы сажают на посадочное место. На подготовленную таким образом заготовку электронной платы наносят методом напыления необходимую электронную схему .An industrial film of a polyimide material with a thickness d <80 μm is taken. The film is folded in several layers. Then (if it is necessary to obtain a small-sized board, for example, for a thin-film microcircuit), blanks for the dimensions and configuration of the future electronic board are cut out of such a stack of books. The blank of the board is planted on the seat. The necessary electronic circuit is deposited onto the blank of the electronic board thus prepared.
Для обычных печатных плат и гибких печатных кабелей однотипные пленки или пластины одинаковой толщины складываются в пачку (стопку). При этом, если это необходимо для экранизации на нижний слой методом напыления наносится экранирующее металлическое покрытие, например, методом вакуумного напыления или гальваническим методом. На верхний слой стопки (в случае одностороннегоFor ordinary printed circuit boards and flexible printed cables of the same type, films or plates of the same thickness are stacked in a bundle (stack). At the same time, if it is necessary for screening, a shielding metal coating is applied to the lower layer by spraying, for example, by vacuum spraying or by the galvanic method. On the top layer of the stack (in case of unilateral
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) монтажа) методом напыления или гальваники наносятся токопроводящие дорожки к которым припаиваются радиокомпоненты. В случае обычного монтажа в стопке проделываются сквозные отверстия в которые вставляются выводы радиокомпонентов. При этом на верхней пленке (пластине) стопки делаются небольшие токопроводящие кольца (полукольца). После вставки радиокомпонента, например, вывода резистора, конденсатора и т.д. производится пайка вывода элемента со стороны монтажа (нижняя часть стопки). Часть припоя попадая в кольцо (или полукольцо) с верхней части стопки (сторона вставки радиокомпонента) остается там после затвердевания и, тем самым, надежно скрепляет без всякого клея пленки (пластины) стопки между собой. Монтаж получается надежным, а тангенс угла диэлектрических потерь платы сверхнизким, что позволяет использовать ее в диапазоне СВЧ, например в преобразователях и усилителях параболических антенн СВЧ- диапазона, спутниковых и наземных мобильных телефонах и т.д. В случае, если токоведущие дорожки необходимо расположить на обоих поверхностях платы ( двухсторонний монтаж), то кольца не делают, а монтаж ведут сразу на верхней и нижней пленке стопки.SUBSTITUTE SHEET (RULE 26) installation) conductive paths are applied by spraying or electroplating to which the radio components are soldered. In the case of conventional mounting in a stack, through holes are made into which the terminals of the radio components are inserted. At the same time, small conductive rings (half rings) are made on the top film (plate) of the stack. After inserting a radio component, for example, the output of a resistor, capacitor, etc. the element is soldered from the installation side (bottom of the stack). Part of the solder falling into the ring (or half ring) from the top of the stack (the insertion side of the radio component) remains there after hardening and, thus, reliably holds the film (plate) of the stack together without any glue. The installation is reliable, and the dielectric loss tangent of the board is extremely low, which allows it to be used in the microwave range, for example, in converters and amplifiers of parabolic microwave antennas, satellite and terrestrial mobile phones, etc. If current-carrying tracks must be located on both surfaces of the board (two-sided installation), then the rings are not made, and the installation is carried out immediately on the top and bottom film of the stack.
Аналогично изготавливают гибкие печатные (ленточные) соединительные кабели и гибкие катушки индуктивности. При изготовлении последних снижение диэлектрических потерь ведет к росту добротности контура, что позволяет их использовать, например, в качестве резонансных полосковых СВЧ- контурах.Flexible printed (ribbon) connecting cables and flexible inductors are similarly manufactured. In the manufacture of the latter, a decrease in dielectric loss leads to an increase in the quality factor of the circuit, which allows them to be used, for example, as resonant microwave strip contours.
Пример 3. На фиг 4 приведен пример монтажа резистора на многослойной гибкой печатной плате, состоящей из 4-х пленок полиимида, где:Example 3. FIG. 4 shows an example of mounting a resistor on a multilayer flexible printed circuit board consisting of 4 polyimide films, where:
1 1- резистор, 12- кольца из меди на верхней пленки стопки, 13- вывод резистора, 14- сквозные отверстия в плате, 15- нижний токопроводящий слой (монтажный), 16- монопленки стопки, 17- капли припоя.1 1- resistor, 12- copper rings on the top film of the stack, 13- output of the resistor, 14- through holes in the board, 15- lower conductive layer (mounting), 16- monofilms of the stack, 17- drops of solder.
Пример 4. Берется тонкая изолированная эмалью серебряная проволока (волокно) толщиной менее 80 мкм. Затем из этой проволоки нарезаются 10 образцов-заготовок равной длины. Нарезанные таким способом заготовки собираются в пучок. Затем концы заготовок припаиваются и простейший сверхточный резистор готов.Example 4. A thin enamel-insulated silver wire (fiber) with a thickness of less than 80 microns is taken. Then, 10 blank samples of equal length are cut from this wire. Workpieces cut in this way are collected in a bundle. Then the ends of the workpieces are soldered and the simplest ultra-precise resistor is ready.
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) ИSUBSTITUTE SHEET (RULE 26) AND
Пример 5. Известна базовая радиоэлектронная схема транзисторного автогенератора типа RC (см. фиг. б ), состоящая из подложки (электронной платы), полупроводникового прибора (например, биполярного или полевого транзистора), примыкающих к нему токопроводящих цeпeй(пyтeй), резисторов, конденсаторов, из которых возможно затем собрать более сложные и комбинированные радиоэлектронные схемы генераторов, например, автогенератора с индуктивной связью (см фиг. 7 ) и др.Example 5. Known basic electronic circuit of a transistor oscillator type RC (see Fig. B), consisting of a substrate (electronic board), a semiconductor device (for example, a bipolar or field effect transistor), adjacent to it conductive circuits (circuits), resistors, capacitors from which it is then possible to assemble more complex and combined electronic circuits of generators, for example, an oscillator with inductive coupling (see Fig. 7), etc.
Недостатки в электронных схемах автогенераторов аналогичны недостаткам в усилительных схемах, контурах или в любых других однослойных электронных устройствах. Устранение недостатков также аналогично предыдущим случаям. Осуществление изобретения т.е. основанного, как и в предыдущих случаях, с использованием микроэлектронных компонентов, выполненных из отдельных однотипных пленок или волокон, со сверхточными значениями физических характеристик (сопротивления R, индуктивности L, емкости С, тангенса угла диэлектрических потерь tgδ, транзисторов и др.), не имеющих погрешности в своих значениях и имеющих идеальные электрические параметры.Deficiencies in the electronic circuits of oscillators are similar to deficiencies in amplification circuits, circuits, or in any other single-layer electronic devices. Elimination of deficiencies is also similar to previous cases. The implementation of the invention i.e. based, as in previous cases, using microelectronic components made of separate films of the same type or fiber, with ultra-precise values of physical characteristics (resistance R, inductance L, capacitance C, dielectric loss tangent tanδ, transistors, etc.) that do not have errors in their values and having ideal electrical parameters.
Приведение в качестве примеров на фиг. 4-9 различных схем модулей и приборов, выполненных из многослойных пучковых микроэлектронных компонентов, состоящих из отдельных однотипных элементов из N > 1 слоев тонких пленок или элементов-волокон, объединенных в стопку или пучок толщиной d < 80 мкм показывает, что заявленное изобретение обеспечивает решение поставленной технической задачи - главное: на порядок и более повышает разрешающую способность модуля или прибора.Referring to the examples in FIG. 4-9 various schemes of modules and devices made of multilayer beam microelectronic components, consisting of separate elements of the same type from N> 1 layers of thin films or fiber elements, combined into a stack or beam with a thickness of d <80 μm shows that the claimed invention provides a solution The assigned technical task is the main thing: it increases the resolution of the module or device by an order of magnitude or more.
Источники информации.Information sources.
1. Богородицкий H.П., Пасынков В. В., Тареев Б. M. Электротехнические материалы. Изд. 7-е, Л.: Энергоатомиздат, Ленингр. отд, 1985.- 304 с.1. Bogoroditsky H.P., Pasynkov V.V., Tareev B. M. Electrotechnical materials. Ed. 7th, L .: Energoatomizdat, Leningrad. Dep., 1985.- 304 p.
2. Резисторы, конденсаторы, трансформаторы, дроссели, коммутационные устройства РЭА : Справ./ Н.Н.Акимов, Е.П.Ващуков, В. А. Прохоренко, Ю.П. Ходоренок - Мн.: Беларусь, 1994.- 591 с.2. Resistors, capacitors, transformers, chokes, switching devices REA: Ref. / NN Akimov, EP Vashchukov, VA Prokhorenko, Yu.P. Khodorenok - Mn .: Belarus, 1994.- 591 p.
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) 3. Изготовление катушек индуктивности из плоского кабеля для печатных плат. Эдрингтон, Хинкл. Лаборатории прикладных исследований Университета шт. Техас.SUBSTITUTE SHEET (RULE 26) 3. Production of inductors from flat cable for printed circuit boards. Edrington, Hinkle. University of Applied Research Laboratory Texas.
4. Цой, Э.М. Карташов, В. В. Шевелев. Закономерность изменения физических характеристик многоэлементных структур полимеров и твердых тел при изменении числа элементов. Москва. Диплом N« 207 на открытие от 18.06. 2002 г., рег. Ne 245.4. Tsoi, E.M. Kartashov, V.V. Shevelev. The pattern of changes in the physical characteristics of multi-element structures of polymers and solids with a change in the number of elements. Moscow. Diploma N "207 for the opening of 18.06. 2002, reg. Ne 245.
5. Цой Б, Э.М. Карташов, В. В. Шевелев. Закономерность распределения значений физических характеристик полимеров и твердых тел при внешнем многофакторном воздействии. Москва. Диплом на открытие N° 209. от 02 октября 2002 г Рег. N° 248.5. Tsoi B, E.M. Kartashov, V.V. Shevelev. The regularity of the distribution of the values of the physical characteristics of polymers and solids under external multifactor exposure. Moscow. Opening diploma N ° 209. October 2, 2002 Reg. N ° 248.
6. Цой Б. , Э.М. Карташов, В. В. Шевелев. Явление многоэлементного масштабного эффекта характеристик физических объектов (эффект Цоя-Каратшова- Шевелева). Москва. Диплом на открытие Na 243 от 16 декабря 2003 г. Рег. Na 287.6. Tsoi B., E.M. Kartashov, V.V. Shevelev. The phenomenon of a multi-element scale effect of the characteristics of physical objects (Tsoi-Karatshov-Shevelev effect). Moscow. Opening Diploma Na 243 dated December 16, 2003 Reg. Na 287.
7. Цой Б. Закономерность изменения физических характеристик одноэлементных структур полимеров и твердых тел при изменении масштаба (эффект Б. Цоя). Москва. Диплом на открытие N°247 от 02 марта 2004 г. Рег. Ж293.7. Choi B. The pattern of changes in the physical characteristics of single-element structures of polymers and solids with a change in scale (B. Choi effect). Moscow. Opening diploma N ° 247 dated March 2, 2004 Reg. G293.
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) SUBSTITUTE SHEET (RULE 26)

Claims

Формула изобретения. Claim.
1. Пучковый микроэлектронный модуль или прибор, содержащий многослойные пучковые электронные компоненты: микроэлектронные плата, подложки, токопроводящие пути, резисторы, катушки индуктивности, конденсаторы, диоды, тиристоры, транзисторы, составляющие различные микросхемы модулей или приборов и выполненные из тонких отдельных однотипных элементов состоящих из N>1 слоев тонких пленок или элементов-волокон, причем отдельные однотипные пленки или элементы-волокна объединены в стопку или пучок толщиной d<80 мкм, при этом при увеличении слоев в стопке или количества элементов - волокон в пучке при указанной толщине физические характеристики компонентов пропорционально усиливаются, а их дисперсия снижается.1. A beam microelectronic module or device containing multilayer beam electronic components: microelectronic circuit boards, substrates, conductive paths, resistors, inductors, capacitors, diodes, thyristors, transistors that make up various microchips of modules or devices and made of thin separate elements of the same type consisting of N> 1 layers of thin films or fiber elements, and individual films of the same type or fiber elements are combined into a stack or bundle with a thickness d <80 μm, while increasing layers in a stack or the number of fiber elements in a bundle at a specified thickness, the physical characteristics of the components are proportionally enhanced, and their dispersion is reduced.
2. Пучковый микроэлектронный модуль или прибор по п.l, отличающийся тем, что в качестве пленок использованы диэлектрические материалы, например, полиимид, или кварц, или слюда.2. A bundle microelectronic module or device according to claim 1, characterized in that dielectric materials, for example, polyimide, or quartz, or mica are used as films.
3. Пучковый микроэлектронный модуль или прибор по п.l, отличающийся тем, что в качестве пленок или элементов-волокон использованы электропроводящие материалы, например, серебро, или медь, или углеродные волокна, или алюминий, или нихром. v3. A bundle microelectronic module or device according to claim 1, characterized in that electrically conductive materials, for example, silver, or copper, or carbon fibers, or aluminum, or nichrome, are used as films or fiber elements. v
4. Пучковый микроэлектронный модуль или прибор по любому из п. п.1-3, отличающийся тем, что он выполнен в виде колебательного контура.4. A beam microelectronic module or device according to any one of p. 1-3, characterized in that it is made in the form of an oscillatory circuit.
5. Пучковый микроэлектронный модуль или прибор по любому из п.п.1-3, отличающийся тем, что он выполнен в виде транзисторного автогенератора типа RC.5. A beam microelectronic module or device according to any one of claims 1 to 3, characterized in that it is made in the form of an RC type transistor oscillator.
6. Пучковый микроэлектронный модуль или прибор по любому из п. п.1-3, отличающийся тем, что он выполнен в виде транзисторного автогенератора с индуктивной связью.6. A beam microelectronic module or device according to any one of p. 1-3, characterized in that it is made in the form of a transistor oscillator with inductive coupling.
7. Пучковый микроэлектронный модуль или прибор по любому из п. п.1-3, отличающийся тем, что он выполнен в виде резистивного каскадного усилителя с общим эмиттером.7. A beam microelectronic module or device according to any one of p. 1-3, characterized in that it is made in the form of a resistive cascade amplifier with a common emitter.
8. Пучковый микроэлектронный модуль или прибор по любому из п. п.1-3, отличающийся тем, что он выполнен в виде усилителя постоянного тока прямого усиления.8. A beam microelectronic module or device according to any one of p. 1-3, characterized in that it is made in the form of a direct current direct current amplifier.
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) SUBSTITUTE SHEET (RULE 26)
PCT/RU2005/000183 2005-01-28 2005-04-12 Microelectronic bundle module or device WO2006083190A1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2005101944 2005-01-28
RU2005101944/28A RU2005101944A (en) 2005-01-28 2005-01-28 BEAM MICROELECTRONIC MODULE OR DEVICE

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2006083190A1 true WO2006083190A1 (en) 2006-08-10

Family

ID=36777501

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/RU2005/000183 WO2006083190A1 (en) 2005-01-28 2005-04-12 Microelectronic bundle module or device

Country Status (2)

Country Link
RU (1) RU2005101944A (en)
WO (1) WO2006083190A1 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1995013628A1 (en) * 1993-11-12 1995-05-18 Lewiner, Jacques Multilayer material and device comprising same
RU2062529C1 (en) * 1992-06-15 1996-06-20 Санкт-Петербургский государственный университет Superlattice
RU2133523C1 (en) * 1997-11-03 1999-07-20 Закрытое акционерное общество "Техно-ТМ" Three-dimensional electron module
US6465813B2 (en) * 1998-06-16 2002-10-15 Hyundai Electronics Industries Co., Ltd. Carbon nanotube device

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2062529C1 (en) * 1992-06-15 1996-06-20 Санкт-Петербургский государственный университет Superlattice
WO1995013628A1 (en) * 1993-11-12 1995-05-18 Lewiner, Jacques Multilayer material and device comprising same
RU2133523C1 (en) * 1997-11-03 1999-07-20 Закрытое акционерное общество "Техно-ТМ" Three-dimensional electron module
US6465813B2 (en) * 1998-06-16 2002-10-15 Hyundai Electronics Industries Co., Ltd. Carbon nanotube device

Also Published As

Publication number Publication date
RU2005101944A (en) 2006-07-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7280024B2 (en) Integrated transformer structure and method of fabrication
US10211541B2 (en) Antenna device
US9799448B2 (en) Inductor, transformer, and method
US6906682B2 (en) Apparatus for generating a magnetic interface and applications of the same
US6975199B2 (en) Embedded inductor and method of making
US20070126544A1 (en) Inductive component
US20040240126A1 (en) Planar inductive component and a planar transformer
JP2009507426A (en) 3DMMIC balun and manufacturing method thereof
US11152975B2 (en) High frequency galvanic isolators
KR20190021686A (en) Coil component and method of manufacturing the same
KR20190004669A (en) Winding module, hybrid transformer, module and circuit for dc-dc power conversion
EP3619727A1 (en) High speed semiconductor chip stack
US6931712B2 (en) Method of forming a dielectric substrate having a multiturn inductor
US7489218B2 (en) Inductor structure
US7420452B1 (en) Inductor structure
US9147513B2 (en) Series inductor array implemented as a single winding and filter including the same
KR20130010016A (en) High q vertical ribbon inductor on semiconducting substrate
WO2006052158A1 (en) Material for components of radio-electronic devices
WO2006083190A1 (en) Microelectronic bundle module or device
US6836195B2 (en) Transmission line type noise filter with small size and simple structure, having excellent noise removing characteristic over wide band including high frequency band
US11631523B2 (en) Symmetric split planar transformer
US20220165476A1 (en) Symmetric split transformer for emi reduction
CN110534287A (en) Inductor
JP4493946B2 (en) Chip element
US10176926B2 (en) Composite electronic component

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 05772455

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1