WO2004004080A1 - Resonator, regenerative amplifier for ultrashort laser pulses, and a multi-layer mirror - Google Patents

Resonator, regenerative amplifier for ultrashort laser pulses, and a multi-layer mirror Download PDF

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WO2004004080A1
WO2004004080A1 PCT/EP2002/007058 EP0207058W WO2004004080A1 WO 2004004080 A1 WO2004004080 A1 WO 2004004080A1 EP 0207058 W EP0207058 W EP 0207058W WO 2004004080 A1 WO2004004080 A1 WO 2004004080A1
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laser pulses
resonator
mirror
laser
mirrors
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PCT/EP2002/007058
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Carsten Fallnich
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Lzh Laserzentrum Hannover E.V.
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/23Arrangements of two or more lasers not provided for in groups H01S3/02 - H01S3/22, e.g. tandem arrangements of separate active media
    • H01S3/2308Amplifier arrangements, e.g. MOPA
    • H01S3/2325Multi-pass amplifiers, e.g. regenerative amplifiers
    • H01S3/235Regenerative amplifiers
    • GPHYSICS
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    • G02B5/08Mirrors
    • G02B5/0816Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers
    • G02B5/0825Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers the reflecting layers comprising dielectric materials only
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/005Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
    • H01S3/0057Temporal shaping, e.g. pulse compression, frequency chirping

Definitions

  • Resonator Regenerative amplifier for ultrashort laser pulses and multilayer mirrors
  • the invention relates to a resonator of the type mentioned in the preamble of claims 1 and 2, a regenerative amplifier of the type mentioned in the preamble of claim 13 for ultrashort laser pulses and a multilayer mirror of the type mentioned in the preamble of claim 15.
  • a resonator of the type in question serves to amplify ultrashort laser pulses in a regenerative amplifier and has at least two mirrors for reflecting the laser pulses, between which an optical amplification medium, in particular a laser medium, is arranged for amplifying the laser pulses.
  • an optical amplification medium in particular a laser medium
  • laser pulses are injected into the resonator by a seed laser, reflected back and forth between the mirrors and amplified as they pass through the laser medium. Since the pulses experience a high amplification, there is a risk that the optical components of the resonator or the amplifier will be damaged by the high peak powers of the laser pulses that occur.
  • the known resonator has means for the temporal expansion of the laser pulses, which are formed, for example, by a grating stretcher arranged outside the resonator.
  • a disadvantage of an amplifier for the use of the known laser resonator for ultra-short laser pulses is that it is complex and therefore expensive to manufacture and takes up a lot of space.
  • the invention has for its object to provide a laser resonator of the type mentioned in the preamble of claim 1, which does not have the disadvantages of the known resonator, which therefore enables the construction of an amplifier for ultrashort laser pulses, which is simpler and easier than the known amplifiers so that it can be manufactured more cost-effectively and is therefore more compact.
  • the invention is also based on the object of specifying an amplifier for ultrashort laser pulses which is simple and inexpensive to produce and is compact. This object is achieved with regard to the resonator by the teaching of claims 1 and 2 and with regard to the amplifier by the teaching of claim 13.
  • the invention is based on the finding that complex optical components, for example a grating stretcher arranged outside the resonator, are not required in order to achieve a sufficient temporal expansion of the laser pulses, but rather that simple and inexpensive optical components, such as those found in resonators or amplifiers are present anyway, can be used for this purpose, provided that their group speed dispersion is selected so that a time required to reduce the peak power to the extent necessary before the laser pulses are stretched by these components.
  • the group velocity dispersion (GVD) is defined as follows:
  • is the wavelength of the laser radiation used
  • c is the speed of light
  • n n ( ⁇ ) is the wavelength-dependent refractive index.
  • a GVD> 0 is called normal dispersion and a GVD ⁇ 0 is called anomalous dispersion.
  • the means for temporal expansion are formed by at least one mirror, the group velocity dispersion of which is selected such that the temporal expansion of the laser pulses required to reduce the peak power is achieved.
  • the group velocity dispersion of the mirror for example in the case of a multilayer mirror by choice of the material or the thickness of successive layers of the mirror in the beam direction, the required temporal expansion of the laser pulses can be achieved with simple and inexpensive means.
  • the resonator and the amplifier according to the invention are thus simple and therefore inexpensive to manufacture.
  • the group speed dispersion of the internal resonator optical components of the resonator is chosen so that a time expansion of the laser pulses required to reduce the peak power is achieved exclusively by the optical component of the resonator is achieved.
  • the resonator-internal optical components thus form the means for temporal expansion, so that additional components are not required and the resonator is particularly simple and therefore inexpensive.
  • An extremely advantageous development of the teaching of claim 1 provides that the mirror is formed by an internal resonator mirror. In this embodiment, a separate mirror is not required to achieve the desired stretching of the laser pulses, so that a particularly compact construction results.
  • the mirror used to stretch the laser pulses can also be formed by a separate mirror arranged outside the resonator, as is provided in one embodiment. At least one mirror, which is used for pulse stretching, can also be provided both within the resonator and outside the resonator. If the resonator-internal optical components of the resonator have a positive group velocity dispersion and thus cause a certain temporal expansion of the laser pulses anyway, it is to achieve an additional temporal expansion, which may be necessary to reduce the peak power to the required extent, depending on the respective requirements. expedient that the mirror has a positive group velocity dispersion. In this way, the temporal expansion of the laser pulses introduced by the optical components of the resonator is increased to the required extent.
  • the mirror is expediently designed as a multilayer mirror, the thickness and / or the material of successive layers of the dielectric material applied to a substrate being selected such that the mirror has the desired group velocity dispersion.
  • the mirror is to have a negative group velocity dispersion
  • a “chirped” or “double chirped” mirror can be used, in which the thickness of successive layers applied to a substrate increases from the free side of the mirror towards the substrate.
  • Such mirrors to achieve a negative group velocity dispersion are described, for example, in the essay "Theory of Double-chirped Mirrors" by Nicolai Matuschek, Franz X. Kärtner, Ursula Keller in the IEEE Journal of Selected Topics in Quant. Electron. 4, 197/1998.
  • the invention proposes for the first time a chirped mirror in which the layer sequence is inverted compared to the known chirped mirrors, so that the thickness of successive layers decreases from the free side of the mirror to the substrate.
  • a chirped mirror which is also referred to below as an inverted-chirped or inverted double-chirped mirror
  • the long-wave frequency components of the laser pulse are preferably in the front, further away from the substrate in the beam direction Layers of the mirror reflected, since their greater layer thickness is adapted to the longer wavelength.
  • the shorter-wave frequency components are preferably reflected in the thinner layers closer to the substrate, since only there does the reflectivity increase for shorter wavelengths due to the decreasing layer thickness of the layers.
  • the different reflection locations of the different spectral components of the laser pulses lead to time delays or phase shifts, so that the pulse leading edge is reflected earlier and the pulse trailing edge is reflected later.
  • the pulse is stretched in time and phase-modulated at the same time, so that the pulse peak power decreases with increasing pulse duration. Accordingly, in order to achieve a positive group velocity dispersion, it is expedient for the thickness of the layers of the mirror to decrease from its free side towards the substrate.
  • the resonator has means which spatially separate different spectral components of the laser pulses from one another.
  • the peak power of the laser pulses can be reduced further, in particular in combination with the temporal expansion of the laser pulses provided according to the invention.
  • the pulse peak power does not exceed the destruction threshold of the optical components of the resonator.
  • Due to the spatial separation of different spectral components of the laser radiation these spectral components are amplified spatially separated. In this way, the spectral gain narrowing is significantly reduced, so that particularly short pulses can be amplified.
  • Another The advantage of this embodiment is that, due to the spatial separation of different spectral components of the laser radiation from one another, the temporal pulse profile can be controlled further.
  • the means which spatially separate different spectral components of the laser pulses from one another at least one refractive optic, for example a prism, and / or at least one diffractive optic, for example a diffraction grating, and / or at least one refractive-diffractive Optics, for example a so-called GRISM (granting on prism).
  • Such optics are available as simple and inexpensive standard components, so that the structure of the resonator according to the invention or of the amplifier according to the invention is simple and inexpensive.
  • At least one amplitude mask and / or at least one phase mask can be provided, which is or are arranged in the Fourier plane, as is provided by a further development.
  • the gain medium may be a laser medium or an optically parametric gain medium, as embodiments provide.
  • the amplification medium can be formed, for example, by a flat laser crystal which can be cooled particularly easily.
  • a high amplification of the laser pulses can be achieved by active laser media, for example Nd.YVO, Yb: glass or Cr: LiCAF crystals.
  • a development of the amplifier according to the invention is specified in claim 14. According to this Education is followed by at least one optically parametric amplifying medium or a periodically poled crystal.
  • a periodically polarized crystal for example a crystal in which inverted domains are arranged in a fan-like manner, with spatial separation of the spectral components of the laser pulses, as is achieved in the embodiment of the resonator according to the invention, a broadband frequency conversion of the laser pulses is involved - For example, by generating the second harmonic.
  • the crystal can be provided with electrodes running in the beam direction. The phase position of the different wavelengths contained in the laser pulses can then be influenced separately from one another by applying a high voltage to these electrodes, so that an adaptive optic is formed. In this way, amplification with a high bandwidth and at the same time control of the spatially separated spectral components of the laser pulses, for example with regard to their phase position, is made possible.
  • a multilayer mirror according to the invention with a positive group velocity dispersion is specified in claim 15.
  • a positive group velocity dispersion it is expedient if the thickness of the layers of the mirror decreases from its free side towards the substrate, as is provided by a further development.
  • FIG. 1 is a schematic block diagram of a first embodiment of a regenerative amplifier according to the invention for ultrashort laser pulses
  • FIG. 2 is a highly schematic sectional view of a mirror used in the resonator of the amplifier according to FIG. 1,
  • FIG. 3 shows an enlarged view of a detail in the area of the laser crystal in the embodiment according to FIG.
  • FIG. 4 in the same representation as FIG. 1, a second exemplary embodiment of an amplifier according to the invention and FIG. 5 a highly schematic sectional view of a periodically polarized crystal for broadband frequency conversion.
  • FIG. 1 shows an amplifier 2 for ultrashort laser pulses, which has a resonator 4 which has a first mirror 6 in the form of an end mirror and a second mirror 8 in the form of an end mirror, between which a laser medium in the form of a laser crystal 10 is arranged.
  • the resonator also has a further mirror 12 and a pair of prisms 14, 16.
  • a diode laser 18 is provided, which irradiates laser light into the laser crystal 10 via two lenses 20, 22 serving in this exemplary embodiment for mode adjustment.
  • optical switch means which in this exemplary embodiment are formed by a Pockels cell 24 and a thin-film polarizer 26.
  • the optical switch means are generally known per se and are therefore not explained in more detail here.
  • the amplifier 2 serves to amplify ultrashort laser pulses which are radiated into the amplifier 2 by a seed laser 28 via a coupling mirror 30.
  • a pair of lenses 32, 34 is provided between the seed laser 28 and the mirror 30 in this embodiment.
  • An optical isolator 36 is provided for decoupling the seed beam from amplified laser radiation in the form of laser pulses, which is coupled out of the resonator 4 and is generally known per se and is therefore not explained in more detail here.
  • the resonator 4 has means which temporally expand the laser pulses injected into the resonator 4 by the seed laser 28.
  • these means are formed by mirrors 6, 8, 12, which are designed as inverted double-chirped mirrors.
  • the thickness of the successive layer is applied to a substrate
  • FIG. 2 schematically shows a sectional view through the mirror 6, which has a substrate 38 to which a plurality of successive layers of dielectric material are applied, of which in FIG. 2 only two layers are provided with the reference symbols 40, 42.
  • the thickness of the layers 40, 42 is shown exaggerated for illustration. The thickness of the successive layers 40, 42 of the mirror 6 decreases from a free side 43 of the mirror 6 towards the substrate, so that the mirror 6 has a positive group velocity dispersion for the laser radiation of the wavelength used.
  • the laser pulses radiated into the resonator 4 by the seed laser 28 are expanded in time when they are reflected on the mirror 6.
  • a pulse 44 is shown on the left in FIG. 2, which is expanded in time when reflected at the mirror 6, as is indicated in FIG. 2 at 44 ′.
  • the expansion of the pulse is based on the fact that the spectral components of longer wavelength are preferably reflected on the front layers of mirror 6, which are further away from substrate 38 in the beam direction, since the thickness of these layers is adapted to the reflection of the spectral components of longer wavelength.
  • the spectral components of a lower wavelength are preferably reflected on the thinner layers in the beam direction, which are arranged closer to the substrate 38, since the thickness of these layers is adapted to the reflection of the spectral components of a lower wavelength. Due to the different reflection locations of different spectral components, the pulse leading edge is reflected earlier and the pulse trailing edge later, so that the pulse is stretched in time.
  • the mirrors 8, 12 of the resonator 4 are correspondingly constructed as inverted chirped mirrors with a positive group velocity dispersion.
  • the laser pulses radiated into the resonator 4 by the seed laser 28 become in the resonator 4 amplified, the laser pulses being temporally stretched when reflected at the mirrors 6, 8, 12 having a positive group velocity dispersion.
  • the pulse peak power is reduced by the temporal expansion of the laser pulses, so that damage to the components of the amplifier 2 is avoided and at the same time a high amplification of the laser pulses is made possible.
  • the pair of prisms 14, 16 brings about a spatial separation of different spectral components of the laser pulses from one another, as is indicated in FIG. 3. Due to the spatial separation of different spectral components, the pulse peak power of the laser pulses is further reduced. On the other hand, the different spectral components of the laser pulses are amplified in a spatially separated manner in this way, so that the spectral gain narrowing is significantly reduced.
  • FIG. 4 shows a second exemplary embodiment of a regenerative amplifier 2 according to the invention for ultrashort laser pulses, which differs from the exemplary embodiment according to FIG. 1 in that the Pockels cell 24 is arranged between the laser crystal 10 and the prism 16 and in that the thin-film polarizer 26 is not formed as a separate component, but is vapor-deposited onto the prism 16.
  • FIG. 5 shows a highly schematic sectional view of a crystal 46 which has inverted domains in a manner which is generally known to the person skilled in the art, of which only one domain is provided with the reference symbol 48 in FIG. 5.
  • the domains 48 run essentially transversely to the beam direction of the laser pulses and are arranged in a fan-like manner.
  • the crystal 46 is arranged after an amplifier according to the invention, for example the amplifier 2 according to FIG. 1, at the output of which the different spectral components of the laser pulses are spatially separated from one another. These different spectral components thus enter the crystal 46 spatially separated from one another, as is indicated in FIG. 5 for three wavelengths WL_1, WL_2 and WL_3.
  • Crystal 46 enables a broadband frequency conversion of the laser pulses, for example by generating the second harmonic or by optical parametric amplification.
  • the crystal 46 can be arranged in the direction of the beam
  • Electrodes are provided. By applying a high voltage to these electrodes, the phase position of the different wavelengths contained in the laser pulses can then be influenced separately from one another, so that adaptive optics are formed. In this way, amplification with a high bandwidth and, at the same time, control of the spatially separated spectral components of the laser pulses, for example with regard to their phase position, is made possible.
  • Crystal 46 attached are generally known to the person skilled in the art and are therefore not explained in more detail here.

Abstract

The invention relates to a resonator (4) for amplifying laser pulses, especially ultrashort laser pulses. Said resonator comprises at least two mirrors (6, 8, 12) for reflecting the laser pulses, an optical amplifying medium which is arranged between said mirrors (6, 8, 12) and is used to amplify the laser pulses, and means for temporally stretching the laser pulses. According to the invention, the means for temporally stretching the laser pulses are formed by at least one mirror, the group velocity dispersion of said mirror being selected such that the laser pulses are temporally stretched for the reduction of the maximum output. The mirror in the inventive regenerative amplifier preferably has a positive group velocity dispersion.

Description

Resonator, regenerativer Verstärker für ultrakurze Laserpulse und mehrschichtiger Spiegel Resonator, regenerative amplifier for ultrashort laser pulses and multilayer mirrors
Die Erfindung betrifft einen Resonator der im Oberbegriff der Ansprüche 1 und 2 genannten Art, einen regenerativen Verstärker der im Oberbegriff des Anspruchs 13 genannten Art für ultrakurze Laserpulse so- wie einen mehrschichtigen Spiegel der im Oberbegriff des Anspruchs 15 genannten Art .The invention relates to a resonator of the type mentioned in the preamble of claims 1 and 2, a regenerative amplifier of the type mentioned in the preamble of claim 13 for ultrashort laser pulses and a multilayer mirror of the type mentioned in the preamble of claim 15.
Ein Resonator der betreffenden Art ist allgemein bekannt. Er dient zur Verstärkung von ultrakurzen Laserpulsen in einem regenerativen Verstärker und weist wenigstens zwei Spiegel zur Reflexion der Laserpulse auf, zwischen denen ein optisches Verstärkungsmedium, insbesondere ein Lasermedium, zur Verstärkung der Laserpulse angeordnet ist. Bei Betrieb des bekannten Resonators werden von einem Seed-Laser Laserpulse in den Resonator injiziert, zwischen den Spiegeln hin- und herreflektiert und bei ihren Durchläufen durch das Lasermedium verstärkt. Da die Pulse hierbei eine hohe Verstärkung erfahren, besteht die Gefahr, daß die optischen Bauteile des Resonators bzw. des Verstärkers durch die auftretenden hohen Spitzenleistungen der Laserpulse beschädigt werden.A resonator of the type in question is generally known. It serves to amplify ultrashort laser pulses in a regenerative amplifier and has at least two mirrors for reflecting the laser pulses, between which an optical amplification medium, in particular a laser medium, is arranged for amplifying the laser pulses. During operation of the known resonator, laser pulses are injected into the resonator by a seed laser, reflected back and forth between the mirrors and amplified as they pass through the laser medium. Since the pulses experience a high amplification, there is a risk that the optical components of the resonator or the amplifier will be damaged by the high peak powers of the laser pulses that occur.
Aus diesem Grunde ist es erforderlich, die ultrakurzen Laserpulse zeitlich zu dehnen, um sicherzustellen, daß die bei der Verstärkung auftretenden Spitzen- leistungen die optischen Bauteil des Laser-Resonators und des regenerativen Verstärkers nicht beschädigen. Zu diesem Zweck weist der bekannte Resonator Mittel zur zeitlichen Dehnung der Laserpulse auf, die beispielsweise durch einen außerhalb des Resonators angeordneten Gitter-Stretcher gebildet sind. Ein Nachteil eines unter Verwendung des bekannten Laser-Resonators aufgebauten Verstärkers für ultrakurze Laserpulse besteht darin, daß er aufwendig und damit teuer in der Herstellung sowie raumgreifend ist.For this reason, it is necessary to temporally stretch the ultrashort laser pulses in order to ensure that the peak powers occurring during the amplification do not damage the optical components of the laser resonator and the regenerative amplifier. To For this purpose, the known resonator has means for the temporal expansion of the laser pulses, which are formed, for example, by a grating stretcher arranged outside the resonator. A disadvantage of an amplifier for the use of the known laser resonator for ultra-short laser pulses is that it is complex and therefore expensive to manufacture and takes up a lot of space.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Laser-Resonator der im Oberbegriff des Anspruchs 1 genannten Art anzugeben, der die Nachteile des bekannten Resonators nicht aufweist, der also den Aufbau eines Verstärkers für ultrakurze Laserpulse ermöglicht, der im Vergleich zu den bekannten Verstärkern einfacher und damit kostengünstiger herstellbar ist und damit kompakter aufgebaut ist. Der Erfindung liegt ferner die Aufgabe zugrunde, einen Verstärker für ultrakurze Laserpulse anzugeben, der einfach und kostengünstig herstellbar sowie kompakt ist. Diese Aufgabe wird hinsichtlich des Resonators durch die Lehre der Ansprüche 1 und 2 und hinsichtlich des Verstärkers durch die Lehre des Anspruchs 13 gelöst .The invention has for its object to provide a laser resonator of the type mentioned in the preamble of claim 1, which does not have the disadvantages of the known resonator, which therefore enables the construction of an amplifier for ultrashort laser pulses, which is simpler and easier than the known amplifiers so that it can be manufactured more cost-effectively and is therefore more compact. The invention is also based on the object of specifying an amplifier for ultrashort laser pulses which is simple and inexpensive to produce and is compact. This object is achieved with regard to the resonator by the teaching of claims 1 and 2 and with regard to the amplifier by the teaching of claim 13.
Der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, daß zur Erzielung einer ausreichenden zeitlichen Dehnung der Laserpulse aufwendige optische Bauteile, beispielsweise ein außerhalb des Resonators angeordneter Gitter- Stretcher, nicht erforderlich sind, sondern daß vielmehr auch einfache und kostengünstige optische Bautei- le, wie sie in Resonatoren oder Verstärkern ohnehin vorhanden sind, zu diesem Zweck verwendet werden können, sofern deren Gruppengeschwindigkeitsdispersion so gewählt wird, daß eine zur Herabsetzung der Spitzenleistung in dem erforderlichen Maße erforderliche zeitli- ehe Dehnung der Laserpulse durch diese Bauteile erzielt wird. Hierbei ist die Gruppengeschwindigkeitsdispersion (GVD) wie folgt definiert:The invention is based on the finding that complex optical components, for example a grating stretcher arranged outside the resonator, are not required in order to achieve a sufficient temporal expansion of the laser pulses, but rather that simple and inexpensive optical components, such as those found in resonators or amplifiers are present anyway, can be used for this purpose, provided that their group speed dispersion is selected so that a time required to reduce the peak power to the extent necessary before the laser pulses are stretched by these components. The group velocity dispersion (GVD) is defined as follows:
GVD = ß2 λ3 d2nGVD = ß 2 λ 3 d 2 n
2πc 22 2πc 22
wobei λ die Wellenlänge der verwendeten Laserstrahlung, c die Lichtgeschwindigkeit und n=n(λ) der wellenlängenabhängige Brechungsindex ist. Eine GVD > 0 wird als normale Dispersion und eine GVD < 0 als anomale Dispersion bezeichnet.where λ is the wavelength of the laser radiation used, c is the speed of light and n = n (λ) is the wavelength-dependent refractive index. A GVD> 0 is called normal dispersion and a GVD <0 is called anomalous dispersion.
Nach der Lehre des Anspruchs 1 sind die Mittel zur zeitlichen Dehnung durch wenigstens einen Spiegel gebildet, dessen bzw. deren Gruppengeschwindigkeitsdispersion so gewählt ist, daß eine zur Herabsetzung der Spitzenleistung erforderliche zeitliche Dehnung der Laserpulse erzielt ist. Durch gezielte Wahl der Gruppengeschwindigkeits- dispersion des Spiegels, beispielsweise bei einem mehrschichtigen Spiegel durch Wahl des Materiales bzw. der Dicke in Strahlrichtung aufeinanderfolgender Schichten des Spiegels, ist mit einfachen und kostengünstigen Mitteln die erforderliche zeitliche Dehnung der Laserpulse erzielbar.According to the teaching of claim 1, the means for temporal expansion are formed by at least one mirror, the group velocity dispersion of which is selected such that the temporal expansion of the laser pulses required to reduce the peak power is achieved. Through a targeted choice of the group velocity dispersion of the mirror, for example in the case of a multilayer mirror by choice of the material or the thickness of successive layers of the mirror in the beam direction, the required temporal expansion of the laser pulses can be achieved with simple and inexpensive means.
Somit sind der erfindungsgemäße Resonator und der erfindungsgemäße Verstärker einfach und damit kostengünstig herstellbar. Nach der Lehre des Anspruchs 2 ist die Gruppengeschwindigkeitsdispersion der resonatorinternen optischen Bauteile des Resonators so gewählt, daß eine zur Herabsetzung der Spitzenleistung erforderliche zeitliche Dehnung der Laserpulse ausschließlich durch die optischen Bauteiles des Resonators erzielt ist. Somit bilden die resonatorinternen optischen Bauteile die Mittel zur zeitlichen Dehnung, so daß zusätzliche Bauteile nicht erforderlich sind und der Resonator beson- ders einfach und damit kostengünstig aufgebaut ist. Eine außerordentlich vorteilhafte Weiterbildung der Lehre des Anspruchs 1 sieht vor, daß der Spiegel durch einen resonatorinternen Spiegel gebildet ist. Bei dieser Ausführungsform ist zur Erzielung der gewünsch- ten Dehnung der Laserpulse ein separater Spiegel nicht erforderlich, so daß sich ein besonders kompakter Aufbau ergibt .The resonator and the amplifier according to the invention are thus simple and therefore inexpensive to manufacture. According to the teaching of claim 2, the group speed dispersion of the internal resonator optical components of the resonator is chosen so that a time expansion of the laser pulses required to reduce the peak power is achieved exclusively by the optical component of the resonator is achieved. The resonator-internal optical components thus form the means for temporal expansion, so that additional components are not required and the resonator is particularly simple and therefore inexpensive. An extremely advantageous development of the teaching of claim 1 provides that the mirror is formed by an internal resonator mirror. In this embodiment, a separate mirror is not required to achieve the desired stretching of the laser pulses, so that a particularly compact construction results.
Entsprechend den jeweiligen Anforderungen kann jedoch der zu Dehnung der Laserpulse verwendete Spiegel auch durch einen außerhalb des Resonators angeordneten separaten Spiegel gebildet sein, wie dies eine Ausführungsform vorsieht. Es kann auch sowohl resonatorintern als auch resonatorextern wenigstens ein Spiegel vorgesehen sein, der zur Pulsdehnung herangezogen wird. Wenn die resonatorinternen optischen Bauteile des Resonators eine positive Gruppengeschwindigkeitsdispersion aufweisen und somit ohnehin eine gewisse zeitliche Dehnung der Laserpulse bewirken, so ist es zur Erzielung einer darüber hinausgehenden zeitlichen Dehnung, die entsprechend den jeweiligen Anforderungen zur Herabsetzung der Spitzenleistung in dem erforderlichen Maße erforderlich sein kann, zweckmäßig, daß der Spiegel eine positive Gruppengeschwindigkeitsdispersion aufweist. Auf diese Weise wird die durch die optischen Bauteile des Resonators eingeführte zeitliche Dehnung der Laserpulse auf das erforderliche Maß verstärkt.According to the respective requirements, however, the mirror used to stretch the laser pulses can also be formed by a separate mirror arranged outside the resonator, as is provided in one embodiment. At least one mirror, which is used for pulse stretching, can also be provided both within the resonator and outside the resonator. If the resonator-internal optical components of the resonator have a positive group velocity dispersion and thus cause a certain temporal expansion of the laser pulses anyway, it is to achieve an additional temporal expansion, which may be necessary to reduce the peak power to the required extent, depending on the respective requirements. expedient that the mirror has a positive group velocity dispersion. In this way, the temporal expansion of the laser pulses introduced by the optical components of the resonator is increased to the required extent.
Wenn demgegenüber die optischen Bauteile des Resonators eine negative Gruppengeschwindigkeitsdispersion aufweisen, beispielsweise bei Verwendung bestimmter Lasermedien als optische Verstärkungsmedien, so ist es zur Erzielung der erforderlichen zeitlichen Dehnung der Laserpulse zweckmäßig, daß der Spiegel eine negative Gruppengeschwindigkeitsdispersion aufweist . Um die Gruppengeschwindigkeitsdispersion entsprechend den jeweiligen Anforderungen wählen zu können, ist der Spiegel zweckmäßigerweise als mehrschichtiger Spiegel ausgebildet, wobei die Dicke und/oder das Material aufeinanderfolgender, auf ein Substrat aufgebrach- ter Schichten des Spiegels aus dielektrischem Material derart gewählt ist, daß der Spiegel die gewünschte Gruppengeschwindigkeitsdispersion aufweist. Falls der Spiegel eine negative Gruppengeschwindigkeitsdispersion aufweisen soll, so kann beispielsweise ein "gechirpter" oder "doppelt gechirpter" Spiegel verwendet werden, bei dem die Dicke aufeinanderfolgender, auf ein Substrat aufgebrachter Schichten von der freien Seite des Spiegels zum Substrat hin zunimmt. Derartige Spiegel zur Erzielung einer negativen Gruppengeschwindigkeitsdis- persion sind beispielsweise durch den Aufsatz "Theory of Double-chirped Mirrors" von Nicolai Matuschek, Franz X. Kärtner, Ursula Keller in IEEE Journal of Selected Topics in Quant. Electron. 4, 197/1998 bekannt. Um eine positive Gruppengeschwindigkeitsdispersion zu erzielen, schlägt die Erfindung erstmals einen gechirpten Spiegel vor, bei dem die Schichtenfolge gegenüber den bekannten gechirpten Spiegeln invertiert ist, bei dem also die Dicke aufeinanderfolgender Schichten von der freien Seite des Spiegels zum Substrat hin abnimmt. Bei einem solchen Spiegel, der nachfolgend auch als invertiert gechirpter bzw. invertiert doppelt gechirpter Spiegel bezeichnet wird, werden die langwelligen Frequenzkomponenten des Laserpulses bevorzugt in den in Strahlrichtung vorderen, von dem Substrat weiter entfernten Schichten des Spiegels reflektiert, da deren größere Schichtdicke an die größere Wellenlänge angepaßt ist. Entsprechend werden die kürzerwelligen Frequenzkomponenten bevorzugt in den näher am Substrat liegenden, dünneren Schichten reflektiert, da erst dort durch die abnehmende Schichtdicke der Schichten für kürzere Wellenlängen die Reflektivität zunimmt . Durch die unterschiedlichen Reflexionsorte der verschiedenen spektralen Anteile der Laserpulse kommt es zu zeitlichen Ver- zögerungen bzw. Phasenverschiebungen, so daß die Pulsvorderflanke früher und die Pulsrückflanke später reflektiert wird. Hierdurch wird der Puls zeitlich gedehnt und gleichzeitig phasenmoduliert, so daß die Pulsspitzenleistung mit zunehmender Pulsdauer abnimmt. Dementsprechend ist es zur Erzielung einer positiven Gruppengeschwindigkeitsdispersion zweckmäßig, daß die Dicke der Schichten des Spiegels von seiner freien Seite zum Substrat hin abnimmt.In contrast, if the optical components of the resonator have a negative group velocity dispersion, for example when using certain ones Laser media as optical amplification media, it is expedient to achieve the required temporal expansion of the laser pulses that the mirror has a negative group velocity dispersion. In order to be able to select the group velocity dispersion in accordance with the respective requirements, the mirror is expediently designed as a multilayer mirror, the thickness and / or the material of successive layers of the dielectric material applied to a substrate being selected such that the mirror has the desired group velocity dispersion. If the mirror is to have a negative group velocity dispersion, for example a "chirped" or "double chirped" mirror can be used, in which the thickness of successive layers applied to a substrate increases from the free side of the mirror towards the substrate. Such mirrors to achieve a negative group velocity dispersion are described, for example, in the essay "Theory of Double-chirped Mirrors" by Nicolai Matuschek, Franz X. Kärtner, Ursula Keller in the IEEE Journal of Selected Topics in Quant. Electron. 4, 197/1998. In order to achieve a positive group velocity dispersion, the invention proposes for the first time a chirped mirror in which the layer sequence is inverted compared to the known chirped mirrors, so that the thickness of successive layers decreases from the free side of the mirror to the substrate. In the case of such a mirror, which is also referred to below as an inverted-chirped or inverted double-chirped mirror, the long-wave frequency components of the laser pulse are preferably in the front, further away from the substrate in the beam direction Layers of the mirror reflected, since their greater layer thickness is adapted to the longer wavelength. Accordingly, the shorter-wave frequency components are preferably reflected in the thinner layers closer to the substrate, since only there does the reflectivity increase for shorter wavelengths due to the decreasing layer thickness of the layers. The different reflection locations of the different spectral components of the laser pulses lead to time delays or phase shifts, so that the pulse leading edge is reflected earlier and the pulse trailing edge is reflected later. As a result, the pulse is stretched in time and phase-modulated at the same time, so that the pulse peak power decreases with increasing pulse duration. Accordingly, in order to achieve a positive group velocity dispersion, it is expedient for the thickness of the layers of the mirror to decrease from its free side towards the substrate.
Eine andere außerordentlich vorteilhafte Weiter- bildung der erfindungsgemäßen Lehre sieht vor, daß der Resonator Mittel aufweist, die unterschiedliche Spektralanteile der Laserpulse räumlich voneinander trennen. Auf diese Weise läßt sich die Spitzenleistung der Laserpulse weiter verringern, insbesondere in Kombina- tion mit der erfindungsgemäß vorgesehenen zeitlichen Dehnung der Laserpulse. Auf diese Weise ist sichergestellt, daß die Pulsspitzenleistung nicht die Zerstörungsschwelle der optischen Bauteile des Resonators überschreitet. Aufgrund der räumlichen Trennung unter- schiedlicher Spektralanteile der Laserstrahlung werden diese Spektralanteile räumlich getrennt verstärkt. Auf diese Weise ist die spektrale Einschnürung (spectral gain narrowing) deutlich verringert, so daß sich auch besonders kurze Pulse verstärken lassen. Ein weiterer Vorteil dieser Ausführungsform besteht darin, daß sich aufgrund der räumlichen Trennung unterschiedlicher Spektralanteile der Laserstrahlung voneinander der zeitliche Pulsverlauf weitergehend kontrollieren läßt. Eine Weiterbildung der vorgenannten Ausführungsform sieht vor, daß die Mittel, die unterschiedliche Spektralanteile der Laserpulse räumlich voneinander trennen, wenigstens eine refraktive Optik, beispielsweise ein Prisma, und/oder wenigstens eine diffraktive Optik, beispielsweise ein Beugungsgitter, und/oder wenigstens eine refraktiv-diffraktive Optik, beispielsweise ein sogenanntes GRISM (granting on prism) , aufweisen. Derartige Optiken stehen als einfache und kostengünstige Standardbauteile zur Verfügung, so daß der Aufbau des erfindungsgemäßen Resonators bzw. des erfindungsgemäßen Verstärkers einfach und kostengünstig gestaltet ist.Another extremely advantageous development of the teaching according to the invention provides that the resonator has means which spatially separate different spectral components of the laser pulses from one another. In this way, the peak power of the laser pulses can be reduced further, in particular in combination with the temporal expansion of the laser pulses provided according to the invention. In this way it is ensured that the pulse peak power does not exceed the destruction threshold of the optical components of the resonator. Due to the spatial separation of different spectral components of the laser radiation, these spectral components are amplified spatially separated. In this way, the spectral gain narrowing is significantly reduced, so that particularly short pulses can be amplified. Another The advantage of this embodiment is that, due to the spatial separation of different spectral components of the laser radiation from one another, the temporal pulse profile can be controlled further. A further development of the aforementioned embodiment provides that the means which spatially separate different spectral components of the laser pulses from one another, at least one refractive optic, for example a prism, and / or at least one diffractive optic, for example a diffraction grating, and / or at least one refractive-diffractive Optics, for example a so-called GRISM (granting on prism). Such optics are available as simple and inexpensive standard components, so that the structure of the resonator according to the invention or of the amplifier according to the invention is simple and inexpensive.
Zur Kompensation von Phasenfehlern der Resonatorkomponenten kann wenigstens eine Amplitudenmaske und/oder wenigstens eine Phasenmaske vorgesehen sein, die in der Fourier-Ebene angeordnet ist bzw. sind, wie dies eine Weiterbildung vorsieht.To compensate for phase errors of the resonator components, at least one amplitude mask and / or at least one phase mask can be provided, which is or are arranged in the Fourier plane, as is provided by a further development.
Das Verstärkungsmedium kann ein Laser-Medium oder ein optisch-parametrisch verstärkendes Medium sein, wie dies Ausführungsformen vorsehen. Insbesondere bei der Ausführungsform mit der räumlichen Trennung unterschiedlicher Spektralanteile der Laserpulse voneinander kann das Verstärkungsmedium beispielsweise durch einen flachen Laserkristall gebildet sein, der sich besonders einfach kühlen läßt. Durch aktive Lasermedien, beispielsweise Nd.YVO-, Yb:Glas- oder Cr :LiCAF-Kristalle, ist eine hohe Verstärkung der Laserpulse erzielbar.The gain medium may be a laser medium or an optically parametric gain medium, as embodiments provide. In particular in the embodiment with the spatial separation of different spectral components of the laser pulses from one another, the amplification medium can be formed, for example, by a flat laser crystal which can be cooled particularly easily. A high amplification of the laser pulses can be achieved by active laser media, for example Nd.YVO, Yb: glass or Cr: LiCAF crystals.
Eine Weiterbildung des erfindungsgemäßen Verstärkers ist im Anspruch 14 angegeben. Gemäß dieser Weiter- bildung ist dem Verstärker wenigstens ein optisch-parametrisch verstärkendes Medium oder ein periodisch ge- polter Kristall nachgeordnet. Bei einem periodisch gepolten Kristall, beispielsweise einem Kristall, bei dem invertierte Domänen fächerartig angeordnet sind, ist bei räumlicher Trennung der Spektralanteile der Laserpulse, wie sie bei der Ausführungsform des erfindungs- gemäßen Resonators gemäß Anspruch 9 erzielt ist, eine breitbandige Frequenzkonversion der Laserpulse, bei- spielsweise durch Erzeugung der zweiten Harmonischen, ermöglicht. Darüber hinaus kann der Kristall mit in Strahlrichtung verlaufenden Elektroden versehen sein. Durch Anlegen einer Hochspannung an diese Elektroden ist dann die Phasenlage der verschiedenen, in den La- serpulsen enthaltenen Wellenlängen getrennt voneinander beeinflussbar, so daß eine adaptive Optik gebildet ist. Auf diese Weise ist eine Verstärkung mit hoher Bandbreite und gleichzeitig eine Steuerung der räumlich voneinander getrennten Spektralanteile der Laserpulse, beispielsweise hinsichtlich ihrer Phasenlage, ermöglicht.A development of the amplifier according to the invention is specified in claim 14. According to this Education is followed by at least one optically parametric amplifying medium or a periodically poled crystal. In the case of a periodically polarized crystal, for example a crystal in which inverted domains are arranged in a fan-like manner, with spatial separation of the spectral components of the laser pulses, as is achieved in the embodiment of the resonator according to the invention, a broadband frequency conversion of the laser pulses is involved - For example, by generating the second harmonic. In addition, the crystal can be provided with electrodes running in the beam direction. The phase position of the different wavelengths contained in the laser pulses can then be influenced separately from one another by applying a high voltage to these electrodes, so that an adaptive optic is formed. In this way, amplification with a high bandwidth and at the same time control of the spatially separated spectral components of the laser pulses, for example with regard to their phase position, is made possible.
Ein erfindungsgemäßer mehrschichtiger Spiegel mit positiver Gruppengeschwindigkeitsdispersion ist im Anspruch 15 angegeben. Zur Erzielung einer positiven Gruppengeschwindigkeitsdispersion ist es hierbei zweckmäßig, wenn die Dicke der Schichten des Spiegels von seiner freien Seite zum Substrat hin abnimmt, wie dies eine Weiterbildung vorsieht. Die Erfindung wird nachfolgend anhand der beigefügten Zeichnung näher erläutert, in der Ausführungs- beispiele dargestellt sind.A multilayer mirror according to the invention with a positive group velocity dispersion is specified in claim 15. To achieve a positive group velocity dispersion, it is expedient if the thickness of the layers of the mirror decreases from its free side towards the substrate, as is provided by a further development. The invention is explained in more detail below with reference to the accompanying drawing, in which exemplary embodiments are shown.
Es zeigt: Fig. 1 ein schematisches Blockschaltbild eines ersten Ausführungsbeispieles eines erfindungsgemäßen regenerativen Verstärkers für ultrakurze Laserpulse, Fig. 2 in stark schematischer Schnittansicht einen in dem Resonator des Verstärkers gemäß Fig. 1 verwendeten Spiegel,It shows: 1 is a schematic block diagram of a first embodiment of a regenerative amplifier according to the invention for ultrashort laser pulses, FIG. 2 is a highly schematic sectional view of a mirror used in the resonator of the amplifier according to FIG. 1,
Fig. 3 in vergrößerter Darstellung eine Einzelheit im Bereich des Laserkristalls bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig.3 shows an enlarged view of a detail in the area of the laser crystal in the embodiment according to FIG.
1, Fig. 4 in gleicher Darstellung wie Fig. 1 ein zweites Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Verstärkers und Fig. 5 eine stark schematische Schnittansicht eines periodisch gepolten Kristalls zur breitbandigen Frequenzkonversion.1, FIG. 4 in the same representation as FIG. 1, a second exemplary embodiment of an amplifier according to the invention and FIG. 5 a highly schematic sectional view of a periodically polarized crystal for broadband frequency conversion.
In den Figuren der Zeichnung sind gleiche bzw. sich entsprechende Bauteile mit den gleichen Bezugszeichen versehen.In the figures of the drawing, identical or corresponding components are provided with the same reference symbols.
In Fig. 1 ist ein Verstärker 2 für ultrakurze Laserpulse dargestellt, der einen Resonator 4 aufweist, der einen ersten als Endspiegel ausgebildeten Spiegel 6 und einen zweiten als Endspiegel ausgebildeten Spiegel 8 aufweist, zwischen denen ein Lasermedium in Form eines Laserkristalls 10 angeordnet ist. Der Resonator weist ferner einen weiteren Spiegel 12 sowie ein Paar von Prismen 14, 16 auf. Zum Pumpen des Laserkristalls 10 ist ein Diodenlaser 18 vorgesehen, der über zwei bei diesem Aus- führungsbeispiel zur Modenanpassung dienende Linsen 20, 22 Laserlicht in den Laserkristall 10 einstrahlt.1 shows an amplifier 2 for ultrashort laser pulses, which has a resonator 4 which has a first mirror 6 in the form of an end mirror and a second mirror 8 in the form of an end mirror, between which a laser medium in the form of a laser crystal 10 is arranged. The resonator also has a further mirror 12 and a pair of prisms 14, 16. For pumping the laser crystal 10, a diode laser 18 is provided, which irradiates laser light into the laser crystal 10 via two lenses 20, 22 serving in this exemplary embodiment for mode adjustment.
Zur Auskopplung verstärkter Laserpulse aus dem Resonator 4 sind optische Schaltermittel vorgesehen, die bei diesem Ausführungsbeispiel durch eine Pockels- zelle 24 und einen Dünnschichtpolarisator 26 gebildet sind. Die optischen Schaltermittel sind für sich genom- men allgemein bekannt und werden daher hier nicht näher erläutert .To extract amplified laser pulses from the Resonator 4 are provided with optical switch means, which in this exemplary embodiment are formed by a Pockels cell 24 and a thin-film polarizer 26. The optical switch means are generally known per se and are therefore not explained in more detail here.
Der Verstärker 2 dient zur Verstärkung ultrakurzer Laserpulse, die von einem Seed-Laser 28 über einen Einkoppelspiegel 30 in den Verstärker 2 eingestrahlt wer- den. Zur Modenanpassung ist zwischen dem Seed-Laser 28 und dem Spiegel 30 bei diesem Ausführungsbeispiel ein Paar von Linsen 32, 34 vorgesehen.The amplifier 2 serves to amplify ultrashort laser pulses which are radiated into the amplifier 2 by a seed laser 28 via a coupling mirror 30. For mode matching, a pair of lenses 32, 34 is provided between the seed laser 28 and the mirror 30 in this embodiment.
Zur Entkopplung des Seed-Strahles von aus dem Resonator 4 ausgekoppelter, verstärkter Laserstrahlung in Form von Laserpulsen ist ein optischer Isolator 36 vorgesehen, der für sich genommen allgemein bekannt ist und daher hier nicht näher erläutert wird.An optical isolator 36 is provided for decoupling the seed beam from amplified laser radiation in the form of laser pulses, which is coupled out of the resonator 4 and is generally known per se and is therefore not explained in more detail here.
Der Resonator 4 weist erfindungsgemäß Mittel auf, die die von dem Seed-Laser 28 in den Resonator 4 inji- zierten Laserpulse zeitlich dehnen. Diese Mittel sind bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 1 durch die Spiegel 6, 8, 12 gebildet, die als invertiert doppelt gechirpte Spiegel ausgebildet sind. Um eine zeitliche Dehnung der Laserpulse zu erzielen, ist die Dicke auf- einanderfolgender auf ein Substrat aufgebrachterAccording to the invention, the resonator 4 has means which temporally expand the laser pulses injected into the resonator 4 by the seed laser 28. In the exemplary embodiment according to FIG. 1, these means are formed by mirrors 6, 8, 12, which are designed as inverted double-chirped mirrors. In order to achieve a temporal expansion of the laser pulses, the thickness of the successive layer is applied to a substrate
Schichten der Spiegel 6, 8, 12 derart gewählt, daß die Spiegel 6, 8, 12 für die Laserstrahlung der verwendeten Wellenlänge eine positive Gruppengeschwindigkeitsdispersion (GVD) aufweisen, die über die spektrale Band- breite der Laserpulse im wesentlichen konstant ist. In Fig. 2 ist schematisch eine Schnittansicht durch den Spiegel 6 dargestellt, der ein Substrat 38 aufweist, auf das mehrere aufeinanderfolgende Schichten aus dielektrischem Material aufgebracht sind, von denen in Fig. 2 lediglich zwei Schichten mit den Bezugszeichen 40, 42 versehen sind. Zur Veranschaulichung ist die Dicke der Schichten 40, 42 überhöht dargestellt. Die Dicke der aufeinanderfolgenden Schichten 40, 42 des Spiegels 6 nimmt von einer freien Seite 43 des Spiegels 6 zum Substrat hin ab, so daß der Spiegel 6 für die Laserstrahlung der verwendeten Wellenlänge eine positive Gruppengeschwindigkeitsdispersion aufweist. Infolgedessen werden die von dem Seed-Laser 28 in den Resona- tor 4 eingestrahlten Laserpulse bei Reflexion an dem Spiegel 6 zeitlich gedehnt. In Fig. 2 ist links ein Impuls 44 dargestellt, der bei Reflexion an dem Spiegel 6 zeitlich gedehnt wird, wie dies in Fig. 2 bei 44' angedeutet ist. Die Dehnung des Impulses beruht darauf, daß die Spektralanteile größerer Wellenlänge bevorzugt an den in Strahlrichtung vorderen, von dem Substrat 38 weiter entfernten Schichten des Spiegels 6 reflektiert werden, da die Dicke dieser Schichten an die Reflexion der Spektralanteile größerer Wellenlänge angepaßt ist. Demgegenüber werden die Spektralanteile geringerer Wellenlänge bevorzugt an den in Strahlrichtung hinteren, näher an dem Substrat 38 angeordneten dünneren Schichten reflektiert, da die Dicke dieser Schichten an die Reflexion der Spektralanteile geringerer Wellenlänge angepaßt ist. Aufgrund der unterschiedlichen Reflexionsorte unterschiedlicher Spektralanteile wird die Pulsvorderflanke früher und die Pulsrückflanke später reflektiert, so daß der Puls zeitlich gedehnt wird. Die Spiegel 8, 12 des Resonators 4 sind in ent- sprechender Weise als invertiert gechirpte Spiegel mit positiver Gruppengeschwindigkeitsdispersion aufgebaut .Layers of the mirrors 6, 8, 12 are selected such that the mirrors 6, 8, 12 have a positive group velocity dispersion (GVD) for the laser radiation of the wavelength used, which is essentially constant over the spectral bandwidth of the laser pulses. FIG. 2 schematically shows a sectional view through the mirror 6, which has a substrate 38 to which a plurality of successive layers of dielectric material are applied, of which in FIG. 2 only two layers are provided with the reference symbols 40, 42. The thickness of the layers 40, 42 is shown exaggerated for illustration. The thickness of the successive layers 40, 42 of the mirror 6 decreases from a free side 43 of the mirror 6 towards the substrate, so that the mirror 6 has a positive group velocity dispersion for the laser radiation of the wavelength used. As a result, the laser pulses radiated into the resonator 4 by the seed laser 28 are expanded in time when they are reflected on the mirror 6. A pulse 44 is shown on the left in FIG. 2, which is expanded in time when reflected at the mirror 6, as is indicated in FIG. 2 at 44 ′. The expansion of the pulse is based on the fact that the spectral components of longer wavelength are preferably reflected on the front layers of mirror 6, which are further away from substrate 38 in the beam direction, since the thickness of these layers is adapted to the reflection of the spectral components of longer wavelength. In contrast, the spectral components of a lower wavelength are preferably reflected on the thinner layers in the beam direction, which are arranged closer to the substrate 38, since the thickness of these layers is adapted to the reflection of the spectral components of a lower wavelength. Due to the different reflection locations of different spectral components, the pulse leading edge is reflected earlier and the pulse trailing edge later, so that the pulse is stretched in time. The mirrors 8, 12 of the resonator 4 are correspondingly constructed as inverted chirped mirrors with a positive group velocity dispersion.
Bei Betrieb des erfindungsgemäßen regenerativen Verstärkers werden die von dem Seed-Laser 28 in den Resonator 4 eingestrahlten Laserpulse in dem Resonator 4 verstärkt, wobei die Laserpulse bei Reflexion an den eine positive Gruppengeschwindigkeitsdispersion aufweisenden Spiegeln 6, 8, 12 zeitlich gedehnt werden. Durch die zeitliche Dehnung der Laserpulse wird die Pulsspitzenleistung herabgesetzt, so daß eine Beschädigung der Bauteile des Verstärkers 2 vermieden und gleichzeitig eine hohe Verstärkung der Laserpulse ermöglicht ist.When the regenerative amplifier according to the invention is operated, the laser pulses radiated into the resonator 4 by the seed laser 28 become in the resonator 4 amplified, the laser pulses being temporally stretched when reflected at the mirrors 6, 8, 12 having a positive group velocity dispersion. The pulse peak power is reduced by the temporal expansion of the laser pulses, so that damage to the components of the amplifier 2 is avoided and at the same time a high amplification of the laser pulses is made possible.
Das Prismenpaar 14, 16 bewirkt hierbei eine räum- liehe Trennung unterschiedlicher Spektralanteile der Laserpulse voneinander, wie dies in Fig. 3 angedeutet ist. Aufgrund der räumlichen Trennung unterschiedlicher Spektralkomponenten ist einerseits die Pulsspitzenleistung der Laserpulse weiter reduziert. Andererseits werden auf diese Weise die unterschiedlichen Spektralanteile der Laserpulse räumlich getrennt verstärkt, so daß die spektrale Einschnürung (spectral gain narro- wing) deutlich reduziert ist.The pair of prisms 14, 16 brings about a spatial separation of different spectral components of the laser pulses from one another, as is indicated in FIG. 3. Due to the spatial separation of different spectral components, the pulse peak power of the laser pulses is further reduced. On the other hand, the different spectral components of the laser pulses are amplified in a spatially separated manner in this way, so that the spectral gain narrowing is significantly reduced.
Dadurch, daß die erforderliche zeitliche Dehnung der Laserpulse durch die ohnehin in dem Resonator 4 vorhandenen Spiegel 6, 8, 12 erzielt wird, sind zusätzliche Mittel zur zeitlichen Dehnung der Pulse nicht erforderlich, so daß der Verstärker 2 einfach im Aufbau und damit kostengünstig sowie kompakt ist. Er ermög- licht darüber hinaus eine hohe Verstärkung der Laserpulse .Because the required temporal expansion of the laser pulses is achieved by the mirrors 6, 8, 12 already present in the resonator 4, additional means for the temporal expansion of the pulses are not required, so that the amplifier 2 is simple in construction and thus inexpensive and compact is. It also enables high amplification of the laser pulses.
In Fig. 4 ist ein zweites Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen regenerativen Verstärkers 2 für ultrakurze Laserpulse dargestellt, das sich von dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 1 dadurch unterscheidet, daß die Pockelszelle 24 zwischen dem Laserkristall 10 und dem Prisma 16 angeordnet ist und daß der Dünn- schichtpolarisator 26 nicht als separates Bauteil ausgebildet, sondern auf das Prisma 16 aufgedampft ist. In Fig. 5 ist stark schematisiert eine Schnittansicht eines Kristalls 46 dargestellt, der in dem Fachmann allgemein bekannter Weise invertierte Domänen aufweist, von denen in Fig. 5 lediglich eine Domäne mit dem Bezugszeichen 48 versehen ist. Die Domänen 48 verlaufen im wesentlichen quer zur Strahlrichtung der Laserpulse und sind fächerartig angeordnet. Der Kristall 46 ist bei Betrieb einem erfindungsgemäßen Verstärker, beispielsweise dem Verstärker 2 gemäß Fig. 1, nachge- ordnet, an dessen Ausgang die unterschiedlichen Spektralanteile der Laserpulse räumlich getrennt voneinander vorliegen. Diese unterschiedlichen Spektralanteile treten somit räumlich voneinander getrennt in den Kristall 46 ein, wie dies in Fig. 5 für drei Wellenlän- gen WL_1 , WL_2 und WL_3 angedeutet ist. Mittels des4 shows a second exemplary embodiment of a regenerative amplifier 2 according to the invention for ultrashort laser pulses, which differs from the exemplary embodiment according to FIG. 1 in that the Pockels cell 24 is arranged between the laser crystal 10 and the prism 16 and in that the thin-film polarizer 26 is not formed as a separate component, but is vapor-deposited onto the prism 16. FIG. 5 shows a highly schematic sectional view of a crystal 46 which has inverted domains in a manner which is generally known to the person skilled in the art, of which only one domain is provided with the reference symbol 48 in FIG. 5. The domains 48 run essentially transversely to the beam direction of the laser pulses and are arranged in a fan-like manner. During operation, the crystal 46 is arranged after an amplifier according to the invention, for example the amplifier 2 according to FIG. 1, at the output of which the different spectral components of the laser pulses are spatially separated from one another. These different spectral components thus enter the crystal 46 spatially separated from one another, as is indicated in FIG. 5 for three wavelengths WL_1, WL_2 and WL_3. By means of the
Kristalls 46 ist eine breitbandige Frequenzkonversion der Laserpulse, beispielsweise durch Erzeugung der zweiten Harmonischen bzw. durch optisch-parametrische Verstärkung, ermöglicht. Darüber hinaus kann der Kri- stall 46 mit in Strahlrichtung verlaufenden in derCrystal 46 enables a broadband frequency conversion of the laser pulses, for example by generating the second harmonic or by optical parametric amplification. In addition, the crystal 46 can be arranged in the direction of the beam
Zeichnung nicht dargestellten Elektroden versehen sein. Durch Anlegen einer Hochspannung an diese Elektroden ist dann die Phasenlage der verschiedenen, in den Laserpulsen enthaltenen Wellenlängen getrennt voneinander beeinflussbar, so daß eine adaptive Optik gebildet ist. Auf diese Weise ist eine Verstärkung mit hoher Bandbreite und gleichzeitig eine Steuerung der räumlich voneinander getrennten Spektralanteile der Laserpulse, beispielsweise hinsichtlich ihrer Phasenlage, ermög- licht. Die Art und Weise, wie die Elektroden an demDrawing not shown electrodes are provided. By applying a high voltage to these electrodes, the phase position of the different wavelengths contained in the laser pulses can then be influenced separately from one another, so that adaptive optics are formed. In this way, amplification with a high bandwidth and, at the same time, control of the spatially separated spectral components of the laser pulses, for example with regard to their phase position, is made possible. The way the electrodes on the
Kristall 46 angebracht sind, ist dem Fachmann allgemein bekannt und wird daher hier nicht näher erläutert . Crystal 46 attached are generally known to the person skilled in the art and are therefore not explained in more detail here.

Claims

Patentansprüche claims
1. Resonator zur Verstärkung von Laserpulsen, insbesondere von ultrakurzen Laserpulsen,1. resonator for amplifying laser pulses, in particular ultrashort laser pulses,
mit wenigstens zwei Spiegeln zur Reflexion der Laser- pulse,with at least two mirrors for reflecting the laser pulses,
mit einem zwischen den Spiegeln angeordneten optischen Verstärkungsmedium zur Verstärkung der Laserpulse undwith an optical amplification medium arranged between the mirrors for amplifying the laser pulses and
mit Mitteln zur zeitlichen Dehnung der Laserpulsewith means for the temporal expansion of the laser pulses
dadurch gekennzeichnet,characterized,
daß die Mittel zur zeitlichen Dehnung durch wenigstens einen Spiegel (6, 8, 12) gebildet sind, dessen bzw. deren Gruppengeschwindigkeitsdispersion so gewählt ist, daß eine zur Herabsetzung der Spitzenleistung erforderliche zeitliche Dehnung der Laserpulse erzielt ist.that the means for temporal expansion are formed by at least one mirror (6, 8, 12), the group velocity dispersion of which is selected such that the temporal expansion of the laser pulses required to reduce the peak power is achieved.
2. Resonator zur Verstärkung von Laserpulsen, insbesondere von ultrakurzen Laserpulsen,2. resonator for amplifying laser pulses, in particular ultrashort laser pulses,
mit wenigstens zwei Spiegeln zur Reflexion der Laserpulse,with at least two mirrors for reflecting the laser pulses,
mit einem zwischen den Spiegeln angeordneten optischen Verstärkungsmedium zur Verstärkung der Laserpulse undwith an optical amplification medium arranged between the mirrors for amplifying the laser pulses and
mit Mittel zur zeitlichen Dehnung der Laserpulse, dadurch gekennzeichnet,with means for the temporal expansion of the laser pulses, characterized,
die Gruppengeschwindigkeitsdispersion der resonatorinternen optischen Bauteile des Resonators (4) so ge- wählt ist, daß eine zur Herabsetzung der Spitzenleistung erforderliche zeitliche Dehnung der Laserpulse erzielt ist, derart, daß die Mittel zur zeitlichen Dehnung der Laserpulse durch die resonatorinternen optischen Bauteile des Resonators (4) gebildet sind.the group velocity dispersion of the internal resonator optical components of the resonator (4) is selected such that the temporal expansion of the laser pulses required to reduce the peak power is achieved in such a way that the means for the temporal expansion of the laser pulses through the internal resonator optical components of the resonator (4 ) are formed.
3. Resonator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, der Spiegel bzw. die Spiegel zur zeitlichen Dehnung der Laserpulse durch einen resonatorinternen Spiegel bzw. resonatorinterne Spiegel (6, 8, 12) gebildet ist bzw. sind.3. Resonator according to claim 1, characterized in that the mirror or mirrors for the temporal expansion of the laser pulses is or are formed by an internal resonator mirror or internal resonator mirror (6, 8, 12).
4. Resonator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Spiegel zur zeitlichen Dehnung der Laserpulse durch einen außerhalb des Resontors angeordneten sepa- raten Spiegel gebildet ist.4. Resonator according to claim 1, characterized in that the mirror for the temporal expansion of the laser pulses is formed by a separate mirror arranged outside the resonator.
5. Resonator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Spiegel (6, 8, 12) eine positive Gruppengeschwindigkeitsdispersion (GVD) aufweist.5. Resonator according to claim 1, characterized in that the mirror (6, 8, 12) has a positive group velocity dispersion (GVD).
6. Resonator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Spiegel eine negative Gruppengeschwindigkeitsdispersion (GVD) aufweist.6. Resonator according to claim 1, characterized in that the mirror has a negative group velocity dispersion (GVD).
7. Resonator nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens einer der Spiegel (6, 8, 12) als mehrschichtiger Spiegel ausgebildet ist, wobei die Dicke und/oder das Material aufeinanderfolgender, auf ein Substrat (38) aufgebrachter Schichten (40, 42) des Spiegels (6, 8, 12) derart gewählt ist, daß der Spiegel (6, 8, 12) eine positive Gruppengeschwindigkeitsdispersion aufweist.7. Resonator according to claim 3, characterized in that at least one of the mirrors (6, 8, 12) is designed as a multilayer mirror, the thickness and / or the material of successive layers (40, 42) applied to a substrate (38) ) of Mirror (6, 8, 12) is selected such that the mirror (6, 8, 12) has a positive group velocity dispersion.
8. Resonator nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke der Schichten (40, 42) des Spiegels von seiner freien Seite (43) zum Substrat (38) hin abnimmt.8. Resonator according to claim 7, characterized in that the thickness of the layers (40, 42) of the mirror decreases from its free side (43) to the substrate (38).
9. Resonator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Resonator (4) Mittel aufweist, die unterschiedliche Spektralanteile der Laserpulse räumlich voneinander trennen.9. Resonator according to claim 1, characterized in that the resonator (4) has means which spatially separate different spectral components of the laser pulses from one another.
10. Resonator nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel, die unterschiedliche Spektralanteile der Laserpulse räumlich voneinander trennen, wenigstens eine refraktive Optik, beispielsweise ein Prisma (14, 16) , und/oder wenigstens eine diffraktive Optik, beispielsweise ein Beugungsgitter, und/oder wenigstens eine refraktiv-diffraktive Optik, beispielsweise ein sogenanntes GRISM (grating on prism) , aufweisen10. Resonator according to claim 5, characterized in that the means which spatially separate different spectral components of the laser pulses from one another, at least one refractive optic, for example a prism (14, 16), and / or at least one diffractive optic, for example a diffraction grating, and / or have at least one refractive-diffractive optic, for example a so-called GRISM (grating on prism)
11. Resonator nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens eine Amplitudenmaske und/oder wenig- stens eine Phasenmaske vorgesehen, die in der Fourier- ebene angeordnet ist bzw. sind.11. Resonator according to claim 9, characterized in that at least one amplitude mask and / or at least one phase mask is provided, which is or are arranged in the Fourier plane.
12. Resonator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Verstärkungsmedium ein Laser-Medium (10) oder ein optisch-parametrisch verstärkendes Medium ist.12. Resonator according to claim 1, characterized in that the gain medium is a laser medium (10) or an optically parametrically amplifying medium.
13. Regenerativer Verstärker für ultrakurze Laserpulse, dadurch gekennzeichnet,13. Regenerative amplifier for ultra-short laser pulses, characterized,
daß er einen Resonator (4) nach einem der vorhergehenden Ansprüche aufweist .that it has a resonator (4) according to one of the preceding claims.
14. Verstärker nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß dem Verstärker (2) wenigstens ein optisch-parametrisch verstärkendes Medium oder ein periodisch gepolter Kristall (46) nachgeordnet ist.14. Amplifier according to claim 13, characterized in that the amplifier (2) is followed by at least one optically parametrically amplifying medium or a periodically polarized crystal (46).
15. Mehrschichtiger Spiegel zur Reflexion von Laserpulsen, insbesondere zur Verwendung in einem Laser-Resonator nach einem der vorhergehenden Ansprüche und/oder einem Verstärker nach einem der vorhergehenden Ansprüche,15. A multilayer mirror for reflecting laser pulses, in particular for use in a laser resonator according to one of the preceding claims and / or an amplifier according to one of the preceding claims,
mit mehreren, auf ein Substrat aufgebrachten Schichten aus dielektrischem Material,with several layers of dielectric material applied to a substrate,
dadurch gekennzeichnet,characterized,
daß die Dicke und/oder das Material aufeinanderfolgender Schichten (40, 42) derart gewählt ist, daß der Spiegel eine positive Gruppengeschwindigkeitsdispersion (GVD) aufweist.that the thickness and / or the material of successive layers (40, 42) is selected such that the mirror has a positive group velocity dispersion (GVD).
16. Spiegel nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke aufeinanderfolgender Schichten (40, 42) des Spiegels (6) von seiner freien Seite (43) zum Sub- strat (38) hin abnimmt. 16. Mirror according to claim 15, characterized in that the thickness of successive layers (40, 42) of the mirror (6) decreases from its free side (43) to the substrate (38).
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