WO2003027652B1 - Dispositif d'inspection de defauts - Google Patents

Claims

補正書の請求の範囲

補正書の請求の範囲 [ 2 0 0 3年 3月 1 2曰 （1 2 . 0 3 . 0 3 ) 国際事務局受理：出願 当初の請求の範囲 1一 9は補正された；新たな請求の範囲 1 0—1 6が追加された； （5 頁） ]

1 (補正後） . 試料の表面 と 裏面を検査する た め の検査部 と 、 こ の検査部で得 ら れた前記試料の表面 と 裏面の画像デー タ を処理す る 制御部 と 、

前記検查部に設け られ、 前記試料を往復移動可能な移動手 段 と 、 こ の移動手段に よ り 移動 さ れる 前記試料の表面 と 裏面を照 明する 照明手段 と 、

こ の照明手段に よ り 照明 さ れる 前記試料の表面 と 裏面を撮 像す る撮像手段 と を備 え、

前記照明手段の前記試料に対する入射角度、 及び前記撮像 手段の前記試料に対する 撮像角度の少な く と も 一方を変更可 能 と した こ と を特徴 と する欠陥検査装置。

2 (補正後） . 前記入射角度 と 前記撮像角度は、 正反射画像 を撮像す る た め の第 1 の角度 と 、 前記入射角度 と 前記撮像角 度の少な く と も一方を前記第 1 の角度か ら 変更 した前記正反 射画像以外の画像を撮像する た めの第 2 の角度に設定 さ れる こ と を特徴 と する 請求項 1 に記載の欠陥検査装置。

3 (補正後） . 前記試料の表面を撮像す る と き の前記第 1 の 角度 と 、 前記試料の裏面を撮像する と き の前記第 1 の角度は 同 じであ る こ と を特徴 と する 請求項 2 に記載の欠陥検査装置

4 (補正後） . 前記試料を一方向 に移動 さ せた と き に、 前記 第 1 の角度で正反射画像を撮像 し、 前記試料を前記一方向 と 反対の方向 に移動 さ せた と き 、 前記第 2 の角度で前記正反射 画像以外の画像を撮像する こ と を特徴 と す る請求項 2 に記載 補正された用紙 （条約第 19条） の欠 陥検査装置

補正された用紙 （条約第 19条） 37

5 ( f|]正 後） . 前記照明 手段 と 前記撮像手段の少 な く と も一 方 は回動可能に設 け ら れて い る こ と を特徴 と す る 請求項 1 に 記载の欠陥検査装置。

6 (袖正 後） . 前記制御部 は、 前記撮像手段カゝ ら 取 り 込 ま れ た 前記試料の表面 と 裏面 の正反射画像の画像デー タ と 前記正 反射画像以外の画像デー タ と を画像処理 し、 そ の結果 を表示 部 に表示す る こ と を特徴 と す る 請求項 1 記載の欠陥検査装置

7 (補正 後） . 前記移動手段は、 前記試料の表面 と 裏面 を 開 放 し て保持す る 反転可能 な保持部材か ら な り 、 こ の保持部材 に保持 さ れ る 前記試料の表面ま た は裏面の一方の侧 に 前記照 明 手段 と 前記撮像手段 を配置 し、 前記試料の表面 と 裏面 を 検 査す る 際 に前記保持部材 を反転 さ せ る こ と を特徴 と す る 請求 項 1 に記載の欠 陥検査装置。

8 (補正後） . 前記保持部材は、 前記試料の周 縁を保持 し、 前記試料の厚みの ほ ぼ中 心 を 回転軸 と し て 反転す る こ と を特 徴 と す る 請求項 1 に記載の欠 陥検査装置。

補正された用紙 （条約第 19条） 38

9 (補正後） . 前記移動手段は、 前記試料の ¾面側 の赖 g部 分 を透明材料で形成 し た保持部材か ら な り 、 こ の保持部； ('才に 保持 さ れ る 前記試料の表面 と ¾面 の両侧 に それぞれ前記照明 段 と 前記撮像 ^段 を配 ft し た こ と を特徴 と す る 請求項 1 に 記載の欠 陥検査装置。

1 0 (追加） . 前記移動 段 は、 前記試料のエ ッ ジ部 を挾ん で保持す る 保持部材で あ る こ と を特徴 と す る 請求項 1 に記載 の欠陥検查装置。

1 1 (追加） . 前記移動手段 は、 前記試料の表面 と 裏面 を 開 放ま た は裏面側が透明 に形成 さ れた保持部材力 ら な り 、 こ の 保持部材 を z 軸方 向 に移動可能 に立設 し て設 け 、 こ の保持部 材の 両側 に 前記試料の表面 と 裏面 をそれぞれ検査す る 前記照 明手段 と 前記撮像手段 を配置 し た こ と を特徴 と す る 請求項 1 に記載の欠陥検查装置。

1 2 (追加） . 前記検査部は前記試料の表面 を検査す る 第 1 の検查部 と 前記試料の裏面 を検査す る 第 2 の検查部か ら な り こ の 第 2 の検査部 は、 前記試料 を搬送す る 搬送部 と 前記第 1 の検查部 と の 間 に設 け ら れて レヽ る こ と を特徴 と す る 請求項 1 記載の欠 陥検査装置。

1 3 (追加） . 前記移動手段は、 前記試料の裏面 を開放 して 保持す る 搬送ア ー ム と 、 こ の搬送アー ム カ ら 前記試料 を受 け 取 り 前記試料を保持す る 保持部材 と か ら な り 、 こ の搬送ァ ー ム の搬送路の前記試料の裏面側 に前記照明手段 と 前記撮像手 段 を配置 し、 前記保持部材に保持 さ れ る 前記試料の表面側 に 前記照 明 手段 と 前記撮像手段 を配置 し た こ と を特徴 と す る 請 補正された用紙 （条約第 19条） 39

求项 1 に記救の欠陥検査装膛。

1 4 (追加） . 前記移動手段 は、 前記試料 を搬送す る 複数の 非接触式搬送 コ ンベア 力-、 ら な り 、 こ の複数の搬送 コ ンベア の 搬送路 中 に前記試料の搬送方向 と 交差す る 方向 に 前記試料の 裏面 を撮像す る 隙問 を設 け た請求項 1 に記載の欠 陥検查装置

1 5 (追加） . 前記移動手段 は、 前記試料 を保持す る 保持部 材カ ら な り 、 前記照明手段の照射方向 を前記試料 に対 し て変 更す る よ う に前記保持部材 を水平方向 に回転可能 にす る こ と を特徴 と す る 請求項 1 に記載の欠 陥検査装置。

1 6 (追加） . 前記照明手段は、 前記試料面 に対 して所定の 入射角 度で ラ イ ン状の平行光 を 照射す る 線光源か ら な り 、 前 記撮像手段は、 こ の線光源 に よ り ラ イ ン状 に 照射 さ れた 前記 試料 を撮像す る ラ イ ンセ ンサカ メ ラ カゝ ら な る こ と を特徴 と す る 請求項 1 乃至 1 5 のいずれかに記載の欠陥検査装置。

補正された用紙 （条約第 19条）