WO2002098561A1 - Conductive catalyst particle and its manufacturing method, gas-diffusing catalyst electrode, and electrochemical device - Google Patents

Conductive catalyst particle and its manufacturing method, gas-diffusing catalyst electrode, and electrochemical device Download PDF

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Kenji Katori
Toshiaki Kanemitsu
Katsuya Shirai
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Definitions

  • the present invention relates to conductive catalyst particles and a method for producing the same, a gas diffusion catalyst electrode, and an electrochemical device.
  • a gas-diffusible catalyst electrode is formed by molding catalyst particles in which platinum as a catalyst material is supported on carbon as a conductive powder together with a water-repellent resin such as a fluororesin and an ion conductor into a sheet.
  • a water-repellent resin such as a fluororesin and an ion conductor
  • this electrode When this electrode is used as an electrode for hydrogen decomposition constituting a fuel cell such as a polymer electrolyte fuel cell, the fuel is ionized by a catalyst material such as platinum, and the generated electrons travel through conductive carbon. Protons (H + ) generated by ionizing hydrogen flow to the ion conductive membrane via the ion conductor.
  • a gap for passing gas, carbon for passing electricity, an ion conductor for passing ions, and a catalyst material such as platinum for ionizing a fuel or an oxidizing agent are required.
  • platinum catalyst material
  • conductive powder a material that is attached to the surface of carbon powder as conductive powder by first ionizing the platinum into a liquid state and immersing the carbon in a solution containing this platinum. Platinum is adhered to the carbon powder, and then reduced and heat-treated to form a carbon powder on the surface of the carbon powder.
  • There is a method of attaching as fine-particle platinum Japanese Patent No. 28976449.
  • the conventional method as described above requires reduction and heat treatment to support platinum on the carbon powder.For example, when the temperature in this heat treatment is low, the crystallinity of platinum deteriorates. However, there is a problem that good catalyst characteristics cannot be obtained.
  • the fuel is ionized by the catalyst material such as platinum as described above, and the generated electrons flow through the conductive carbon, and the proton (H "generated by ionizing hydrogen is an ionic conductor). Therefore, since the carbon powder and the ion conductor need to be in contact with each other, the carbon powder is usually loaded with platinum and then the ion conductor is applied. Since platinum functions only in the portion in contact with the platinum, platinum that has no contact with the gas due to the ion conductor does not function.
  • FIG. 24A is a schematic cross-sectional view showing conductive catalyst particles obtained by supporting platinum 27 on carbon powder as conductive powder 1 by a conventional production method.
  • the figure is a schematic cross-sectional view showing conductive catalyst particles obtained by depositing ion conductor 11 on carbon powder and then supporting platinum 27 thereon.
  • platinum 27 is present on the surface of the carbon powder in a spherical form. It is easy to separate from the surface of the powder, and requires a large amount of platinum in the manufacturing process. Furthermore, platinum 27 exists spherically. Therefore, only the surface of platinum 27 functions as a catalyst material, and the inside does not function, and the catalytic efficiency is low with respect to the amount of platinum. Although not shown, platinum 27 enters the pores existing on the surface of the carbon powder. For this reason, some platinum 27 does not function effectively, and the catalytic efficiency is low with respect to the amount of platinum.
  • the platinum 27 when the platinum 27 is supported after the ionic conductor 11 is coated on the carbon powder, as described above, it is necessary to improve the crystallinity of the platinum 27. Although heat treatment is required, the ionic conductor 11 generally has low heat resistance, and if heated to a heat treatment temperature at which the crystallinity of platinum 27 is improved, the ionic conductor 11 deteriorates.
  • the conductive catalyst particles obtained by this method have platinum 27 adhered only to the surface of the carbon powder. Therefore, a good catalytic action can be obtained with a smaller amount, and a sufficient contact area between platinum 27 and the gas is secured, so that the specific surface area of platinum 27 contributing to the reaction is increased, and the catalytic activity is increased. Also improve.
  • an ionic conductor 11 was attached to the surface of the carbon powder, and platinum 27 was attached to the surface of the ionic conductor 11 by physical vapor deposition. Even, by depositing platinum 27 by physical vapor deposition Therefore, it is not necessary to perform a heat treatment for improving the crystallinity of platinum as in the related art, and platinum 27 can be attached without impairing the performance of the ionic conductor 11.
  • the chemical attaching method When attaching a catalytic material to the surface of the conductive powder by, for example, a physical vapor deposition method such as a sputtering method, and using a high-purity catalytic material as a target, the chemical attaching method according to the conventional technique described above is used. In comparison, a very pure catalyst material can be deposited. However, when the purity of the catalyst material attached to the surface of the conductive powder is high, the initial catalyst activity is high during use as a fuel cell, but the synergistic ring between the catalyst particles due to the temperature rise over time. There is a problem in that the activity tends to decrease due to the thin ring.
  • the present invention has been made in order to improve the inadequate points while making use of the features of the above-mentioned prior invention, and has the object of preventing the occurrence of a thin ring and having excellent catalytic properties.
  • the present inventors have conducted intensive studies to solve the above-mentioned problems, and as a result, it is necessary to prevent internal self-diffusion of the crystal lattice of the catalyst material in order to prevent thinning of the catalyst material, In order to prevent this internal self-diffusion, an insoluble material that does not normally form an alloy with the precious metal material even when heated is forcibly introduced into the crystal lattice of the precious metal material, and this is used as a catalyst material. As a result, it is possible to obtain the effect of preventing ringing.
  • the forcible introduction of a non-solid solution material into the crystal lattice of the noble metal material allows The present inventors have found that the growth of the particle size of the catalyst material is suppressed, and as a result, the catalyst activity is improved.
  • an electroconductive catalyst comprising: a catalyst material comprising an alloy of a noble metal material and an additive material that is thermally insoluble in the noble metal material on a surface of the conductive powder.
  • the present invention relates to particles (hereinafter referred to as first conductive catalyst particles of the present invention), and a noble metal material for producing the conductive catalyst particles;
  • a non-solid solution additive material is simultaneously adhered to the surface of the conductive powder by physical vapor deposition, whereby a catalyst material comprising an alloy of the noble metal material and the additive material adheres to the conductive catalyst.
  • the present invention relates to a method for producing conductive catalyst particles for obtaining particles (hereinafter, referred to as a first method for producing conductive catalyst particles of the present invention).
  • conductive catalyst particles containing a catalyst material made of an alloy of a noble metal material and an additive material that is thermally insoluble in the noble metal material are attached to the surface of the conductive powder.
  • the present invention relates to a gas diffusion catalyst electrode (hereinafter, referred to as a first gas diffusion catalyst electrode of the present invention).
  • the noble metal material and the additive material that is not in solid solution with respect to the noble metal material are simultaneously attached to the surface of the conductive powder by the physical vapor deposition method.
  • the additive material of a non-solid solution type that does not form an alloy with the noble metal material by heating can be forcibly introduced into the crystal lattice of the noble metal material.
  • Conductive catalyst particles can be obtained in which the above-mentioned catalyst material made of an alloy of the noble metal material and the additive material adheres to the surface of the conductive powder. Since the conductive catalyst particles contain the additive material in the catalyst material, internal self-diffusion of the crystal lattice of the noble metal material in the catalyst material is prevented, and the thin ring as described above is formed. It is unlikely to occur. It should be noted that, in the chemical attachment method according to the prior art, the non-solid solution-based additive material cannot be introduced into the noble metal material, and the alloy cannot be obtained.
  • the noble metal material and the additive material that is thermally insoluble in the noble metal material are simultaneously attached to the surface of the conductive powder by the physical vapor deposition method, the noble metal material at the time of attachment The growth of particle size is suppressed, and it has excellent catalytic activity.
  • the catalyst material is attached to the surface of the conductive powder by the physical vapor deposition method, a catalyst material having good crystallinity can be attached to the surface of the conductive powder at a low temperature.
  • the obtained first conductive catalyst particles of the present invention can obtain good catalytic action with a smaller amount of the catalyst material.
  • the present invention provides a method for manufacturing a semiconductor device, comprising the steps of: adding at least one noble metal element selected from the group consisting of Ml (where 1 is 1 ?, 1; Ir, Pd, Rh, Au, and Ru) ) And Mil (where ⁇ is Fe, Co, Ni, Cr, Al,
  • the present invention relates to the conductive catalyst particles to which the catalyst material made of the alloy described above is adhered (hereinafter, referred to as the second conductive catalyst particles of the present invention).
  • the second conductive catalyst particles of the present invention are simultaneously adhered to the surface of the conductive powder by a physical vapor deposition method, whereby a catalyst material comprising an alloy of Ml and MII is adhered, thereby obtaining conductive catalyst particles.
  • the present invention relates to a method for producing catalyst particles (hereinafter, referred to as a second method for producing conductive catalyst particles of the present invention.
  • the surface of the conductive powder is made of an alloy of Ml and Mil.
  • the present invention relates to a gas diffusion catalyst electrode containing conductive catalyst particles to which a catalyst material has adhered (hereinafter, referred to as a second gas diffusion catalyst electrode of the present invention).
  • the Mil is forcibly introduced into the crystal lattice of the Ml. It is possible to obtain conductive catalyst particles obtained by adhering the catalyst material made of the alloy of Ml and Mil to the surface of the conductive powder. Since the conductive catalyst particles contain the Mil in the catalyst material, the movement of the transfer of the Ml in the catalyst material is inhibited, and internal self-diffusion of the crystal lattice is prevented. The occurrence of a thin ring can be prevented.
  • the catalyst material is attached to the surface of the conductive powder by the physical vapor deposition method, a catalyst material having good crystallinity can be attached to the surface of the conductive powder at a low temperature.
  • the obtained second conductive catalyst particles of the present invention can obtain a good catalytic action with a smaller amount of the catalyst material, and can sufficiently secure a contact area between the catalyst material and gas. , Anti The specific surface area of the catalyst material, which contributes to the reaction, is increased, and the catalytic performance is improved.
  • the present invention comprises at least two electrodes and an ion conductor sandwiched between these electrodes.
  • the present invention relates to an electrochemical device, wherein the first gas-diffusing electrode or the second gas-diffusing electrode constitutes at least one of the electrodes.
  • the first or second gas diffusible catalyst electrode of the present invention constitutes at least one of the electrodes, the occurrence of a thin ring Can be prevented, good output characteristics can be obtained, and the output characteristics can be maintained for a long time.
  • FIGS. 1A to 1B are schematic sectional views of an apparatus that can be used in the method for producing conductive catalyst particles according to the present invention.
  • 2A to 2C are schematic sectional views showing the conductive catalyst particles.
  • 3A to 3B are schematic cross-sectional views of an apparatus that can be used in the method for producing conductive catalyst particles according to the present invention.
  • 4A to 4C are schematic sectional views showing the conductive catalyst particles.
  • FIG. 5 is a partially enlarged schematic view of a container in an apparatus usable for the method for producing conductive catalyst particles.
  • FIG. 6 is a partially enlarged schematic sectional view of the same device.
  • FIG. 7 is a schematic sectional view of a vibration device used in the device.
  • FIG. 8 is a schematic cross-sectional view of another vibration device.
  • FIG. 9 is a schematic cross-sectional view of the same or another vibration device.
  • FIG. 10 is a schematic configuration diagram of a fuel cell using a gas-diffusible catalyst electrode according to the present invention.
  • FIG. 11 is a schematic configuration diagram of the hydrogen production apparatus using the gas diffusible catalyst electrode.
  • FIGS. 12A to 12B are structural diagrams of polyfullerene hydroxide, which is an example of a fullerene derivative that can be used in the embodiment of the present invention.
  • FIGS. 13A to 13B are schematic diagrams showing examples of the same fullerene derivative.
  • FIG. 14 is a diagram showing the relationship between the amount of B added and the output after 200 hours of rotation, according to an example of the present invention.
  • FIG. 15 is a diagram showing the relationship between the amount of Si 02 added and the output after 200 hours of operation.
  • FIG. 16 the same is shown to view the relationship between Ga 2 ⁇ 3 amount and 200 hours after the operation output.
  • FIG. 17 is the same, is a diagram showing a relationship between V 2 0 5 amount and the output after 200 hours of operation.
  • FIG. 18 the same is a diagram showing the relationship between W_ ⁇ 3 amount and the output after 200 hours of operation.
  • FIG. 19 is a diagram showing the relationship between the added amount of Mil and the output after 200 hours of operation according to the embodiment of the present invention.
  • FIG. 20 is a diagram showing the relationship between the amount of ⁇ added and the output after 200 hours of operation.
  • FIG. 21 is a diagram showing the relationship between the amount of added ⁇ ′′ and the output after 200 hours of operation.
  • FIG. 22 is a graph showing the relationship between the amount of M11 composed of a mixture of Mil 'and ⁇ ′′ and the output after 200 hours of operation.
  • FIG. 23 is a diagram showing the relationship between the amount of ⁇ ⁇ which is a mixture of ⁇ ⁇ and Mil "and the output after 200 hours of operation.
  • 24A to 24B are schematic sectional views showing conductive catalyst particles obtained by supporting platinum on carbon powder by a conventional production method.
  • FIG. 25 is a schematic cross-sectional view of an apparatus for producing conductive catalyst particles according to the prior invention (Japanese Patent Application No. 2000-293935).
  • FIGS. 26A to 26B are schematic cross-sectional views of the conductive catalyst particles. BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
  • the first manufacturing method according to the present invention it is preferable to apply the above-mentioned sputtering method using a target made of a noble metal material and the additive material as the physical vapor deposition method.
  • the sputtering method can be easily produced, has high productivity, and has good film-forming properties.
  • a pulse laser deposition method may be applied as the physical vapor deposition method.
  • control in film formation is easy and film formability is good.
  • the non-solid solution-based additive material cannot be introduced into the noble metal material, and the catalyst material made of the alloy cannot be obtained.
  • the first manufacturing method according to the present invention is characterized in that the noble metal material and the additive material that is not in solid solution with the noble metal material are electrically conductive by the physical vapor deposition method such as the sputtering method.
  • the non-solid additive material which does not form an alloy with the noble metal material even when heated, is originally introduced into the crystal lattice of the noble metal material because it is simultaneously attached to the surface of the noble metal material. Can be enforced.
  • conductive catalyst particles obtained by adhering the catalyst material made of an alloy of the noble metal material and the additive material to the surface of the conductive powder can be obtained.
  • the first gas-diffusible catalyst electrode according to the present invention which contains sintering, self-diffusion inside the crystal lattice of the noble metal material is prevented by the additive material, so that sintering is more unlikely to occur.
  • the first conductive catalyst particles according to the present invention may be configured such that the noble metal material and the additive material that is thermally insoluble in the noble metal material are formed by the physical vapor deposition method such as the sputtering method. Since the particles are simultaneously attached to the surface of the conductive powder, the growth of the particle size of the noble metal material at the time of attachment is further suppressed, and the catalyst has more excellent catalytic activity.
  • the catalyst material is attached by the sputtering method or the pulsed laser deposition method, a catalyst material having good crystallinity can be attached to the surface of the conductive powder at a low temperature.
  • the first conductive catalyst particles according to the present invention can obtain a good catalytic action with a smaller amount of the catalyst material, and a sufficient contact area between the catalyst material and gas can be ensured.
  • the specific surface area of the catalyst material contributing to the reaction is increased, and the catalytic ability can be improved.
  • Japanese Patent Application Laid-Open No. H11-5011011 describes an example in which a noble metal is sputter-deposited on a carbon sheet, but the first manufacturing method based on the present invention employs a conductive method. Since the catalyst material is attached to the surface of the powder having the property, the specific surface area of the catalyst material contributing to the reaction can be made larger than that in the above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No. H11-151301. It is possible to improve the catalytic ability.
  • the addition amount of the non-solid solution-based additive material to the noble metal material is preferably 2 to 7 Omo 1% or at% in order to more effectively prevent the thinning. 2 mo If less than 1% or at%, If the amount is too small, the effect of preventing ringing may decrease.If the amount exceeds 7 Omo 1% or at%, the catalytic activity becomes poor due to the excessive amount of the additive material. May be.
  • ceramics as the additive material of the non-solid-solution, specifically, B (boron), S I_ ⁇ , S i 0 silicon oxide such as 2, G a 2 0 3 oxide such Gariumu, V it is preferred to use 2 ⁇ least one of vanadium oxide and W 0 3, etc. tungsten oxide, such as 5.
  • the conductive powder is vibrated, and the conductive powder and a vibration amplifying unit are arranged on a vibration surface, and the noble metal material is placed on the surface of the conductive powder while vibrating them.
  • the above-mentioned additive material is more preferably adhered by the physical vapor deposition method.
  • the conductive powder is further vibrated and sufficiently mixed, and does not remain at one place on the vibrating surface. Therefore, the conductive powder is exposed not only on the surface of the powder layer but also on the inside of the powder layer, and the catalyst material comprising an alloy of the noble metal material and the additive material is removed from all of the conductive powder. It can be more evenly attached to the body.
  • FIGS. 1A to 1B are schematic cross-sectional views of an example of a first apparatus for producing conductive catalyst particles according to the present invention.
  • the physical vapor deposition method for example, the sputtering method using a target 4 made of a noble metal material 2 and an additive material 3
  • a ball 5 having a smooth surface is used as the vibration amplifying means, and the conductive powder 1 and the pole 5 are mixed and arranged on the vibration surface 7 in the same container 6.
  • the above-mentioned vibration is applied by a vibrator 8 composed of a formula or an ultrasonic horn. Is preferred.
  • the vibration device 9 configured as described above, the conductive powder 1 collides with the pole 5, mixes and flows, and does not stay at one place on the vibration surface 7. Then, according to the sputtering method, not only the surface of the powder layer of the conductive powder 1 but also the inside thereof comes out to the surface in the container 6.
  • the catalyst material can be uniformly attached.
  • the pole 5 is preferably a ceramic or metal pole having a diameter of 1 to 15 mm.
  • the target 4 is to the noble metal material 2 B (boron), S i ⁇ , silicon oxide such as S I_ ⁇ 2, gallium oxide, such as G a 2 ⁇ 3, V 2 ⁇ 5 like vanadium oxide, preferably has an additive material 3 is introduced structure such as an oxide Tandasute emissions such W_ ⁇ 3, by the physical vapor deposition of the sputtering using such target 4
  • an additive material 3 is introduced structure such as an oxide Tandasute emissions such W_ ⁇ 3, by the physical vapor deposition of the sputtering using such target 4
  • the first conductive catalyst particles according to the present invention are such that the catalyst material 10 made of an alloy of the precious metal material and the additive material adheres to the surface of the conductive powder 1. ing.
  • the self-diffusion of the noble metal material in the crystal lattice is effectively prevented by the additive material, and sintering is prevented. Life can be further prevented.
  • the additive material can suppress the growth of the particle size of the noble metal material when the conductive powder adheres to the surface of the conductive powder, the first conductive catalyst particles according to the present invention are excellent. It has a catalytic activity.
  • the catalyst material 10 composed of the alloy of the noble metal material and the additive material may be non-uniformly adhered to the surface of the conductive powder 1. It has the same excellent characteristics as the first conductive catalyst particles according to the present invention having the structure of FIG. 2A.
  • an ionic conductor 11 is attached to the surface of the conductive powder 1, and the noble metal material and the additive are further deposited on the surface of the ionic conductor 11 by the physical vapor deposition method. Since the catalyst material 10 composed of an alloy with the material can be adhered, it is not necessary to perform a heat treatment for improving the crystallinity of the catalyst as in the conventional case, and without impairing the performance of the ion conductor 11. The catalyst material 10 can be deposited.
  • Each of the first conductive catalyst particles according to the present invention in any of FIGS. 2A to 2C exerts both catalytic ability and conductivity.
  • Is preferably attached at a rate of 10 to 100% by weight.
  • the noble metal material include Pt :, Ir, and Rh.
  • the second manufacturing method according to the present invention it is preferable to apply a sputtering method using a sunset comprising Ml and Mil as the physical vapor deposition method.
  • the sputtering method can be easily produced, has high productivity, and has good film-forming properties.
  • a pulse laser deposition method may be applied as the physical vapor deposition method.
  • control in film formation is easy and film formability is good.
  • the Mil is usually introduced into the Mil by diffusion by heating. Will increase.
  • the book In the second manufacturing method according to the invention, the Ml and the Mil are simultaneously attached to the surface of the conductive powder by the physical vapor deposition method such as the sputtering method. It can be forcibly introduced into the crystal lattice without heating. This makes it possible to obtain conductive catalyst particles in which the catalyst material made of the alloy of MI and ⁇ adheres to the surface of the conductive powder, and contains the conductive catalyst particles.
  • the second gas-diffusible catalyst electrode according to the present invention self-diffusion inside the Ml crystal lattice is prevented by the ⁇ , so that sintering is more unlikely to occur.
  • the catalyst material is attached by the sputtering method or the pulse laser deposition method, a catalyst material having good crystallinity can be attached to the surface of the conductive powder at a low temperature.
  • the second conductive catalyst particles according to the invention can obtain a good catalytic action with a smaller amount of the catalyst material, and a sufficient contact area between the catalyst material and the gas can be ensured.
  • the specific surface area of the catalyst material contributing to the reaction is increased, and the catalytic ability can be improved.
  • Japanese Patent Application Laid-Open No. H11-5101031 describes an example in which a noble metal is sputter-deposited on a carbon sheet. Since the catalyst material is adhered to the surface of the powder having the catalyst, the specific surface area of the catalyst material contributing to the reaction can be made larger than that of the above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No. H11-131103, and the catalyst Performance can be improved.
  • the catalyst material is a Ml— ⁇ -Mil ”alloy (where Ml is at least one selected from noble metal elements such as Pt, Ir, Pd, Rh, Au, and Ru. e, Co, Ni, Cr, Al, Sn, Cu, Mo, W, 0, N, F and C. Mil “is Hf, Zr, T i, V, Nb, T a, G a, G e, S i, R e, O s, P It is at least one selected from b, Bi, Sb, Mn and rare earth elements.
  • the effect of preventing sintering may be reduced due to the excessively small amounts of ⁇ and Mil '', and when the value exceeds 60 at%, The catalytic action is liable to be reduced due to the excessive amount of the ⁇ and the Mil ”, and when the second gas diffusion catalyst electrode containing the conductive catalyst particles according to the present invention is used in a fuel cell, for example, The output may decrease.
  • the ⁇ ⁇ ⁇ as the Mil at least one selected from the group consisting of Fe, Co, Ni, Cr, A1, Sn, Mo, Cu, W, ⁇ , N, F, and C
  • the addition amount is desirably 60 at% or less, and within this range, a better catalytic action can be obtained and a more effective anti-synthesis effect can be obtained. It is also possible to further improve the catalytic activity.
  • the Mil "(Hf, Zr, Ti, V, Nb, Ta, B, Ga, Si, Re, ⁇ s, Pb, Bi, Sb, Mn And at least one selected from rare earth elements) is desirably 20 at% or less in order to obtain better catalytic action and a more effective anti-sinning effect. If it exceeds at%, the catalytic activity tends to be poor due to too much addition, and the output may decrease.
  • the conductive powder When attaching the Ml and the Mil to the surface of the conductive powder by the physical vapor deposition method such as the sputtering method, the conductive powder is vibrated.
  • the conductive powder and the vibration amplifying means are arranged on a vibrating surface, and while vibrating them, the Ml and the Mil are provided on the surface of the conductive powder. Is more preferably attached by the physical vapor deposition method.
  • the conductive powder is further vibrated and sufficiently mixed, and does not remain at one place on the vibrating surface. Accordingly, not only the surface of the powder layer, but also the inside of the powder layer emerges on the surface, and the catalyst material composed of an alloy of Ml and Mil is transferred to all of the conductive powder. It can be more evenly attached to the body.
  • FIGS. 3A to 3B are schematic cross-sectional views of an example of a second apparatus for producing conductive catalyst particles according to the present invention.
  • the catalyst material was applied to the surface of the conductive powder 1 by the sputtering method using a target 4 composed of, for example, MI 12 and MII 13 as the physical vapor deposition method.
  • a pole 5 having a smooth surface is used as the vibration amplifying means, and the conductive powder 1 and the ball 5 are mixed and arranged on the vibration surface 7 in the same container 6.
  • the vibration is applied by a vibrator 8 composed of a sound horn.
  • the conductive powder 1 collides with the pole 5 and mixes, However, it does not remain at one place on the vibrating surface 7.
  • the above-mentioned sputtering method not only the surface of the powder layer of the conductive powder 1 but also the inner one comes out to the surface in the container 6.
  • the catalyst material can be attached more uniformly.
  • the pole 5 is preferably a ceramic or metal pole having a diameter of 1 to 10 mm.
  • the target 4 preferably has a structure in which Mil II 3 is introduced into Mil 2, and such a target is obtained. Only by the physical vapor deposition method such as the sputtering method using the metal 4, it is possible to forcibly introduce ⁇ 13 into the crystal lattice of MI 12 without heating.
  • the second conductive catalyst particles according to the present invention are such that the catalyst material 14 made of the alloy of MI and the above M ⁇ adheres only to the surface of the conductive powder 1. ing.
  • the self-diffusion of the Ml in the crystal lattice is effectively prevented by the ⁇ , and the occurrence of sintering is further reduced. This can be further prevented.
  • the catalyst material 14 composed of an alloy of Ml and Mil is unevenly distributed on the surface of the conductive powder 1 as shown in FIG. 4B.
  • the particles have the same excellent properties as the second conductive catalyst particles according to the present invention having the structure shown in FIG. 4A.
  • an ionic conductor 11 is adhered to the surface of the conductive powder 1, and the Ml and the Ml are deposited on the surface of the ionic conductor 11 by the physical vapor deposition method. Since the catalyst material 14 made of an alloy with il can be attached, there is no need to perform a heat treatment for improving the crystallinity of the catalyst as in the conventional case, and the performance of the ion conductor 11 is impaired. Without this, the catalyst material 14 can be attached.
  • FIG. 5 is a schematic view of a container 6 in which a conductive powder 1 and a pole 5 as the vibration amplification means are arranged by the first or second method for producing conductive catalyst particles according to the present invention.
  • the ratio of the total area A of the pole 5 to the area S of the distribution region of the conductive powder 1 is preferably set to 30 to 80%. If the ratio is too small, the mixing of the conductive powder 1 becomes insufficient, and if it is too large, the ratio of the conductive powder 1 becomes small and the efficiency of depositing the catalyst material by the sputtering deteriorates. The production efficiency of the catalyst particles to which the catalyst material adheres becomes insufficient.
  • FIG. 6 shows a partially enlarged schematic cross-sectional view of a container 6 in which the conductive powder 1 and the port 5 as the vibration amplification means are arranged.
  • the diameter R of the pole 5 as the vibration amplifying means be 10 to 70%. If this diameter is outside the range, it is disadvantageous for the same reason as in the case of the area ratio described above.
  • the frequency of the vibration applied to the conductive powder 1 and the pole 5 as the vibration amplifying means by the vibrator 8 is 5 to 200 H in order to sufficiently mix the conductive powder 1.
  • z is preferable, and the amplitude of the vibration is preferably 0.5 to 20 mm for the same reason (hereinafter, the same applies to other embodiments).
  • the catalyst material is adhered to the surface of the conductive powder by, for example, the sputtering method under an environment within each preferable condition range, the conductive powder is more Since good vibration can be obtained, the catalyst material can be more uniformly adhered to the surface of the conductive powder.
  • the above-mentioned range is not satisfied, that is, when the diameter of the pole is less than 1 mm or more than 15 mm, when the frequency of the vibration is less than 5 Hz or more than 20 OHz, Or the amplitude
  • the conductive powder is less than ⁇ 0.5 mm, the conductive powder cannot vibrate satisfactorily, and the conductive powder stays at the bottom of the container without flowing, and the conductive powder is generated. In some cases, uniform film formation cannot be performed. Further, when the amplitude exceeds 20 mm, the conductive powder may fly out, and the yield may decrease.
  • the vibration amplifying means in place of the pole, has a substantially planar shape and a substantially spiral, substantially concentric, or substantially folded pattern.
  • the component is installed in a container at least partially so as to be in a non-fixed state (that is, so as to vibrate freely in three dimensions: the same applies to the following).
  • the conductive powder may be disposed on a component, and the vibration may be applied.
  • FIG. 7 shows a first or second manufacturing method according to the present invention using a part 15 formed so as to have a substantially planar and substantially spiral pattern as the vibration amplifying means. It is a schematic diagram of a vibrating device that can be used.
  • FIG. 8 shows the present invention using a part 16 which is substantially planar and is formed in a substantially concentric pattern (that is, connected radially) as the vibration amplifying means.
  • FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of a vibration device that can be used in the first or second manufacturing method based on the method.
  • FIG. 9 shows a first or second embodiment based on the present invention using a part 17 formed as a substantially planar and substantially folded pattern as the shake amplifying means. It is an outline sectional view of a vibration device which can be used for a manufacturing method.
  • the parts 15, 16, or 17 are installed in at least a part of the container 6 so as to be in a non-fixed state.
  • the conductive powder 1 is placed on 17. When the vibration is applied, the conductive powder 1 vibrates while maintaining the shape of the component 15, 16 or 17. Can be more vibrated and flow better .
  • the conductive powder 1 in the container 6 is not only in the surface but also in the inside.
  • the catalyst material can be uniformly applied over the entire surface including the catalyst material.
  • the part formed in a substantially spiral, substantially concentric or substantially folded pattern is a metal wire having a diameter of 1 to 10 mm, and is substantially spiral, substantially concentric or It is preferable that the outer diameter of the component formed in the substantially folded pattern is about 5 mm smaller than the inner diameter of the container, and the pitch of the pattern is 5 to 15 mm. If the values deviate from these values, the mixing of the conductive powder tends to be insufficient, and the attachment efficiency of the catalyst material tends to decrease.
  • the vibration amplification means has a substantially planar shape, a substantially spiral shape, a substantially concentric shape, or a substantially folded shape with respect to the layer thickness of the conductive powder. It is preferable that the thickness of the component formed so as to form a pattern is 10 to 70%.
  • the electrical resistance of the conductive powder 1 is less than 1 0- 3 ⁇ ⁇ m, the force one carbon, ITO (I nd i um t in ox i de: conductive that dough up the tin indium oxide and Mochiiruko at least one of oxides) and S n 0 2 is preferred.
  • gas permeability is important.
  • the oil absorption of the carbon fiber should be set to 200 m1 / 100 g or more. Good gas permeability can be obtained.
  • the first or second conductive catalyst particles according to the present invention can themselves form a catalyst layer by press working or the like, but when bound by resin to form a film, the conductive catalyst powder becomes porous. Since it can be held with sufficient strength on a porous gas-diffusing current collector, it is more preferable in the production of the first or second gas-diffusing catalyst electrode based on the present invention.
  • the first or second gas diffusible catalyst electrode according to the present invention substantially consists of only the first or second conductive catalyst particles according to the present invention, or according to the present invention.
  • other components such as a resin for binding the particles may be contained.
  • a water repellent resin in terms of cohesiveness and drainage eg if a fluorine-based
  • pore-forming agent in terms of gas permeability e.g., C a C_ ⁇ 3
  • first or second conductive catalyst particles according to the present invention be held on a porous gas-diffusing current collector (for example, a carbon sheet).
  • the first or second gas diffusible catalyst electrode based on the present invention can be applied to an electrochemical device configured as a fuel cell or a hydrogen production device.
  • first pole for example, in a basic structure consisting of a first pole, a second pole, and an ion conductor sandwiched between these two poles, at least one of the first pole and the second pole is connected to the first pole.
  • the first or second gas diffusible catalyst electrode based on the present invention can be applied.
  • the first or second gas diffusible catalyst electrode according to the present invention is preferably used for an electrochemical device or the like in which at least one of the first electrode and the second electrode is a gas electrode.
  • FIG. 10 shows, for example, the case where the first gas-diffusible catalyst electrode according to the present invention is used.
  • 2 shows a specific example of a fuel cell.
  • the catalyst layer 18 in FIG. 10 is made of an alloy of the noble metal material (for example, Pt) and the additive material (for example, B) on the surface of the conductive powder (for example, carbon powder).
  • the first gas-diffusible catalyst electrode according to the present invention comprises a catalyst layer 18 and a porous gas-diffusing current collector, for example, a carbon sheet 19. Gas diffusion catalyst electrode.
  • a gas diffusion catalyst electrode In a narrow sense, only the catalyst layer 18 may be referred to as a gas diffusion catalyst electrode.
  • an ion conductive portion 20 is sandwiched between a first electrode using the first gas-diffusible catalyst electrode according to the present invention and a second electrode.
  • This fuel cell includes a negative electrode (fuel electrode or hydrogen electrode) 22 using the first gas-diffusible catalyst electrode according to the present invention, having a terminal 21, and a terminal 21, and a terminal 23.
  • a positive electrode (oxygen electrode) 24 using a first gas-diffusible catalyst electrode based on the present invention (this is not necessarily used as a positive electrode) is used. 0 is pinched.
  • hydrogen is passed through the H 2 flow path 25 on the negative electrode 22 side.
  • hydrogen ions are generated.
  • the hydrogen ions are generated together with the hydrogen ions generated at the negative electrode 22 and the hydrogen ions generated at the ion conducting section 20 on the positive electrode 24 side. Where it reacts with oxygen (air) passing through the O 2 flow path 26, thereby extracting a desired electromotive force.
  • the first gas-diffusible catalyst electrode based on the present invention constitutes the first electrode and the second electrode, sintering hardly occurs, and the fuel cell has a good catalytic action.
  • a sufficient contact area between the catalyst material and the gas (H 2 ) is ensured, so that the specific surface area of the catalyst material contributing to the reaction is increased, the catalytic performance is improved, and good output characteristics are obtained.
  • the hydrogen ions are dissociated in the anode 22 and the hydrogen ions are dissociated in the ion conducting part 20, the hydrogen ions supplied from the anode 22 move to the cathode 24, so that the conductivity of the hydrogen ions is reduced.
  • FIG. 11 shows a specific example of a hydrogen production apparatus using the first gas diffusion catalyst electrode according to the present invention for the first electrode and the second electrode, for example.
  • Negative electrode 2 H + + 2 e ⁇ H 2 ⁇
  • the required theoretical voltage is greater than 1.2 V.
  • the catalyst layer 18 'in FIG. 11 is formed of an alloy of the noble metal material (for example, Pt) and the additive material (for example, B) on the surface of the conductive powder (for example, carbon powder).
  • the conductive powder for example, carbon powder.
  • other first electrically conductive catalyst particles in accordance with the present invention that the catalyst material is deposited into a film, in some cases, ion conductor, water repellent resins (for example, fluorine-based), and pore-forming agent (C a C0 3 And the like.
  • the first gas-diffusible catalyst electrode according to the present invention comprises a catalyst layer 18 ′ and a carbon sheet 19 ′ as a porous gas-diffusing current collector, for example.
  • a porous gas-diffusible catalyst electrode comprising: Further, an ion conductive portion 20 ′ is sandwiched between the first electrode using the first gas-diffusible catalyst electrode according to the present invention and the third electrode.
  • the first gas-diffusible catalyst electrode based on the present invention constitutes at least the first electrode of the first electrode and the second electrode. In this way, a thin ring is unlikely to occur, and protons and electrons necessary for generating hydrogen in the above-described negative electrode 22 ′ can move smoothly in the electrode.
  • the first or second gas-diffusible catalyst electrode according to the present invention or in the ion conducting portion sandwiched between the first electrode and the second electrode constituting the electrochemical device, Examples of usable ion conductors include fullerene derivatives such as fullerene (polyhydroxyfullerene hydroxide) in addition to general naphion (polyfluorosulfonic acid resin manufactured by DuPont).
  • fullerenol which has a structure in which multiple hydroxyl groups are added to fullerene molecules, was first synthesized by Chiang et al. Hir, CS; Chowdhury, SK; Cameron, S .; Creegan, K., J. Chem. Soc, Chem. Commun. 1992, 1791).
  • the present applicant has made such fullerenol into an aggregate as schematically shown in FIG. 13A, and the interaction between the hydroxyl groups of adjacent fullerenol molecules (in the figure, ⁇ indicates a fullerene molecule.)
  • this aggregate exhibits high proton-conducting properties as macroscopic aggregates (in other words, the dissociation of H + from the phenolic hydroxyl group of the fullerene molecule). I was able to.
  • an aggregate of fullerene having a plurality of ⁇ S ⁇ 3 H groups can be used as the ion conductor.
  • a fullerenol hydrogensulfate shown in Fig. 13B in which the 0 H group is replaced with the ⁇ S 0 3 H group was also reported by Chiang et al. In 1994 (Chiang. LY; Wang LY; Swirczewski, JW; Soled, S .; Cameron, S., J. Org. Chem. 1994, 59, 3960).
  • the hydrogensulfate esterified Hula one Ren also to some ones in a single molecule containing only 0 S 0 3 H group, one Alternatively, it is possible to have a plurality of such groups and a plurality of hydroxyl groups, respectively.
  • fullerenol and hydrogen sulfate esterified fullerenol are composed of carbon atoms of fullerene, so they are light in weight, hardly deteriorate, and contain no pollutants. Fullerene manufacturing costs are also dropping sharply. In terms of resources, environment and economy, fullerene is considered to be a more ideal carbon-based material than any other material. Further, the fullerene molecules, for example the _ ⁇ _H, - OS 0 3 in addition to H - COOH, one S_ ⁇ 3 H, can also be used those having either single OP_ ⁇ (OH) 2.
  • a desired group is introduced into carbon atoms of the fullerene molecule by subjecting the powder of the fullerene molecule to a known treatment such as acid treatment or hydrolysis, for example, as appropriate.
  • a known treatment such as acid treatment or hydrolysis, for example, as appropriate.
  • this ionic conductor is substantially composed only of the fullerene derivative, or is bound by a binder. Is preferred.
  • a binder is used instead of the ion conductor sandwiched between the first electrode and the second electrode, which is made of only the film-like fullerene derivative obtained by press-molding the fullerene derivative.
  • the bound fullerene derivative may be used for the ion conductive portions 20 and 20 '.
  • an ion conductive portion having sufficient strength can be formed by being bound by the binder.
  • the polymer material that can be used as the binder one or more known polymers having a film forming property are used, and the compounding amount in the ion conductive part is usually 20% by weight. % Or less. If it exceeds 20% by weight, the conductivity of hydrogen may be reduced.
  • the ion conductive portion having such a configuration also contains the above fullerene derivative as an ion conductor, it can exhibit the same hydrogen ion conductivity as the above-mentioned ion conductor substantially composed of only the fullerene derivative. .
  • the fullerene derivative unlike the fullerene derivative alone, it has a film-forming property derived from a polymer material, and has a higher strength and a more flexible ion conduction with gas permeation-preventing ability than the powder compression molded product of the fullerene derivative. It can be used as a conductive thin film (the thickness is usually 300 or less).
  • the polymer material is not particularly limited as long as it does not inhibit the conductivity of hydrogen ions as much as possible (due to reaction with the fullerene derivative) and has a film-forming property. Usually, those having no electronic conductivity and good stability are used. Specific examples include polyfluoroethylene, polyvinylidene fluoride, and polyvinyl alcohol. It is also a preferred polymer material for the reasons described in (1).
  • polyfluoroethylene is preferable because a thin film having higher strength can be easily formed with a smaller amount of compounding than other polymer materials.
  • the compounding amount is 3% by weight or less, preferably 0.5 to 1.5% by weight in the ion conductive part.
  • the thickness of the thin film is usually as thin as lOO ⁇ m to 1m. it can.
  • polyvinylidene fluoride-polyvinyl alcohol is preferable because an ion conductive thin film having more excellent gas permeation preventing ability can be obtained.
  • the compounding amount is preferably in the range of 5 to 15% by weight in the ion conductive part.
  • a known film forming method such as pressure molding or extrusion molding may be used.
  • Examples 1 to 5 specifically describe the first invention based on the present invention
  • Examples 6 to 12 describe the second invention based on the present invention. This is specifically explained.
  • the sputter target has the following addition amounts as shown in Table 1 after sputtering B (boron) with respect to Pt having a particle size of 10 O mm. What was introduced in this way was used.
  • the pole used was a stainless steel pole having a diameter of 3 mm
  • the conductive powder used was carbon powder having a surface area of 800 m 2 / g and an oil absorption of 360 ml Z100 g. Then, sputtering is performed while using the vibrator to generate vibration having a vibration of ⁇ lmm and a vibration frequency of 36 Hz.
  • a solvent prepared by kneading a Teflon binder and carbon (without platinum) was applied on the carbon sheet so as to have a thickness of 20 m after drying, and this was used as a permeation prevention layer.
  • each carbon powder carrying the PtZB alloy obtained by the above method was kneaded with perfluorosulfonic acid as a binder and nPA (normal propyl alcohol) as an organic solvent.
  • the mixed solution was applied and dried on the permeation prevention layer formed on the carbon sheet so that the applied thickness after drying was 10 m, and each gas diffusible catalyst electrode was obtained.
  • These gas-diffusible catalyst electrodes were arranged on both sides of an ion exchange membrane (perfluorosulfuric acid), and a fuel cell as shown in FIG. 10 was produced.
  • the initial output and the output after 200 hours of operation were measured.
  • the results of the output measurement of each fuel cell using each gas diffusible catalyst electrode with a different amount of B added are also shown in Table 1 below and FIG.
  • the initial output (unit: mW / cm 2 ) of a fuel cell using a gas-diffusible catalyst electrode to which B was not added was 100% relative value and this is used as the reference value
  • the first gas-diffusible catalyst electrode according to the present invention is characterized in that the catalyst material comprising an alloy of Pt as the noble metal material and B as the additive material is provided on the surface of the conductive powder. Since the first conductive catalyst particles according to the present invention adhered by spattering, the internal self-diffusion of the Pt crystal lattice in the above-mentioned catalyst material is prevented, and the thin ring hardly occurs. As compared with the case of using only Pt, the catalyst had excellent catalytic activity and excellent output characteristics.
  • a carbon powder as the conductive powder and a pole as the vibration amplifying means are arranged on the vibrating surface. Since the catalyst material was attached, the force powder was more vibrated, and did not remain at one location on the vibrating surface. Therefore, the catalyst material could be uniformly attached to the entire carbon powder placed in the container.
  • Pt as the noble metal material and S i ⁇ ⁇ as the additive material are non-solid solutions, and are alloyed by heating by a chemical method.
  • alloying was possible only by the physical vapor deposition method such as the sputtering method.
  • a carbon powder as the conductive powder and a pole as the vibration amplifying means are arranged on the vibrating surface. Since the catalyst material was attached, the carbon powder was further vibrated, and did not stay at one place on the vibrating surface. Therefore, the catalyst material could be uniformly attached to the entire carbon powder placed in the container.
  • Example 4 instead B as the additive material, except that changing the addition amount of V 2 0 5 as shown in and Table 4 using a V 2 0 5, in the same manner as in Example 1, shown in FIG. 10
  • Each of such fuel cells was manufactured.
  • the results of measuring the initial output of each fuel cell and the output after 200 hours of operation are also shown in Table 4 and Fig. 17 below.
  • V 2 0 5 unit mW / cm 2
  • W0 3 was used and except that changing the addition amount of W0 3, as shown in Table 5, in the same manner as in Example 1, the fuel as shown in the first 0 Figure Batteries were manufactured respectively.
  • the results of measuring the initial output of each fuel cell and the output after 200 hours of operation are also shown in Table 5 and Fig. 18 below.
  • the initial output (unit: mW / cm 2 ) of the fuel cell using the gas-diffusible catalyst electrode to which wo 3 was not added was set to 100% as a relative value, and this was set as a reference value.
  • the G a 2 ⁇ 3 V 2 0 5 or W0 3 as P t and the additive materials of the noble metal material is non-solid solution system, alloying by heating chemical procedures
  • alloying was possible only by the physical vapor deposition method such as the sputtering method.
  • the first conductive catalyst particles based on the present invention obtained by adhering the catalyst material made of an alloy of the present invention and the catalyst material by sputtering, so that the internal self-diffusion of the Pt crystal lattice in the catalyst material is performed. , Ringing was less likely to occur, the catalyst activity was superior to that of Pt alone, and the output characteristics were excellent.
  • a carbon powder as the conductive powder and a pole as the vibration amplifying means are arranged on the vibrating surface, and the catalyst material adheres to the surface of the carbon powder while vibrating them. As a result, the carbon powder was more vibrated, and did not remain at one location on the vibrating surface. Therefore, the catalyst material could be uniformly attached to the entire carbon powder placed in the container.
  • a sputter target, a vibrator, and a container were arranged, and a conductive powder and a pole as the vibration amplification means were arranged in the container.
  • the sputtering target as shown in FIG. 3B, for each Pt having a particle size of 10 O mm as the Ml, each of the additional elements as the above-mentioned Mil shown in Table 6 below was added at 3 at%. The introduced one was used.
  • the pole was a stainless steel pole having a diameter of 3 mm
  • the conductive powder was a carbon powder having a surface area of 800 m 2 Z g and an oil absorption of 360 m 1/100 g.
  • sputtering was performed using the vibrator while generating vibration of ⁇ 1 mm and a vibration frequency of several 36 Hz.
  • a solvent formed by kneading a Teflon binder and carbon (without platinum) was applied on the bonbon sheet so as to be 20 after drying, and this was used as a permeation prevention layer.
  • each of the carbon powders carrying the PtZ-added element (the above-mentioned Mil) alloy obtained by the above-mentioned method was mixed with perfluorosulfonate as a binder and nPA (normal propyl alcohol) as an organic solvent.
  • the mixture was kneaded together, and the mixed solution was applied and dried so that the applied thickness after drying was 20 m on the permeation preventing layer applied and formed on the carbon sheet to obtain each gas diffusible catalyst electrode.
  • These gas-diffusible catalyst electrodes were placed on both sides of an ion-exchange membrane (perfluorosulfonic acid) to produce a fuel cell as shown in Fig. 10, and the initial output and the output after 200 hours of operation were measured. It was measured .
  • the measurement results are shown in Table 6 below.
  • the initial output (unit: mWZcm 2 ) of the fuel cell using the gas-diffusible catalyst electrode to which the additive element as Mil was not added was set to 100% as a relative value, and this was used as a reference value.
  • the target was the Ml as shown in FIG. 3B.
  • Sputtering was carried out using Pt having a particle diameter of 100 mm and each of the additional elements shown in Table 7 below, which were introduced at 3 at%, into Pt having a particle diameter of 100 mm, to produce each gas diffusing catalyst electrode.
  • These gas-diffusible catalyst electrodes were placed on both sides of the ion-exchange membrane, and a fuel cell as shown in FIG. 10 was fabricated.
  • the initial output and the output after 200 hours of operation were measured.
  • the measurement results are shown in Table 7 below.
  • the initial output (unit: mW / cm 2 ) of the fuel cell using the gas-diffusible catalyst electrode in which the additional element as Mil was not added in Example 6 was set to 100% as a relative value, and this was set as a reference value.
  • the initial output (unit: mW / cm 2 ) of the fuel cell using the gas-diffusible catalyst electrode in which the additional element as Mil was not added in Example 6
  • a Pt having a particle diameter of 100 mm as Ml was used as a target as shown in FIG. Then, sputtering was carried out using a material containing 3 at% of each of the added elements as Mil shown in Table 8 below to produce each gas diffusible catalyst electrode. These gas-diffusible catalyst electrodes were placed on both sides of the ion-exchange membrane, and a fuel cell as shown in Fig. 10 was fabricated. The initial output and the ffi-force after 200 hours of operation were measured. The measurement results are shown in Table 8 below.
  • the second gas-diffusible catalyst electrode according to the present invention is characterized in that the catalyst comprises an alloy of Pt as Ml and each additive element as Mil on the surface of the conductive powder. Since it contains the second conductive catalyst particles according to the present invention in which the material is adhered by sputtering, internal self-diffusion of the Pt crystal lattice in the catalyst material is prevented, and thin ringing is less likely to occur. As a result, better output could be maintained for a longer time than in the case of using only Pt.
  • the catalyst material is adhered to the surface of the carbon powder while vibrating the carbon powder as the conductive powder, compared to the case where the catalyst material is adhered without vibration, As a result, the catalyst material could be attached more uniformly, and the output was further improved.
  • a carbon powder as the conductive powder; and the vibration amplification means. If the catalyst material is attached to the surface of the carbon powder while arranging the poles as above on the vibrating surface and vibrating them, compared with the case where the poles are vibrated without being added, The carbon powder was further vibrated and did not remain at one location on the vibrating surface. Therefore, the catalyst material can be more uniformly adhered to the entirety of the carbon powder disposed in the container, and the output is further improved.
  • the Mil is Fe, Co, Ni, Cr, Al, Cu, Hf, Zr, Ti, in addition to the additive elements shown in Tables 6, 7, and 8.
  • V, Nb, Ta, W, Ga, Sn, Ge, Si, Re, Os, Pb, Bi, Sb, Mo, Mn, 0, N, F, C, Zn When at least one selected from the group consisting of In, In and rare earth elements was introduced, the same effect as described above was obtained.
  • Table 9 and FIG. 19 more effective prevention of sintering can be achieved by specifying the addition amount of each additive element as Mil at 0.5 at% or more. The effect was obtained, and better catalytic activity could be obtained, and high output could be maintained for a long time. If the amount is less than 0.5 at%, the amount of the above-mentioned amount is too small, so that the effect of preventing the thinning ring is reduced. Sometimes reduced.
  • Hf belonging to the ⁇ ′′ is used as the ⁇ , but HfZrTiVNbTaGaGeGeSiReOsPb Similar results were obtained using at least one selected from BiSbMn and rare earth elements.
  • a fuel cell as shown in FIG. 10 was prepared in the same manner as in Example 6 except that the mixture was used and the addition amount of each additive element was changed as shown in Tables 12 and 13 below. Were prepared respectively.
  • the results of measuring the initial output of each fuel cell and the output after 200 hours of operation are shown in Tables 12 and 22 below and Tables 13 and 23 below.
  • the initial output (unit: mW / cm 2 ) of a fuel cell using a gas-diffusible catalyst electrode to which a mixture of F e belonging to ⁇ and H f belonging to Mil ” was not added as a relative value of 10%. 0% was set as the reference value.
  • F e as the Myuiotaganma
  • the same excellent anti-sinning effect and power as in the case of using the element alone can be obtained, and by specifying the addition amount of ⁇ in the range of 0.5 at% ⁇ b + c ⁇ 60 at% , With even better catalytic performance and higher output: In addition, the generation of thinning rings was more effectively prevented, so that high output was maintained for a longer time. Was completed.
  • Pt was used as the noble metal material, but in addition, Ir, Rh, or the like can be used. Further, the conductive powder may be used as the conductive powder. It was used, but this in addition to the I tO and S n 0 2, etc. also can be used.
  • ⁇ is not limited to the additive element used in each of the above Examples, and Fe, Co, Ni, Cr, Al, Sn, Cu , Mo, W, 0, N, F and C can be used.
  • the ⁇ ′′ is not limited to the additive element used in each of the above examples, but Hf, Zr, Ti, V, Nb, Ta, Ga, Ge, Si, Re, Os, Pb, Bi, Sb, Mn and at least one selected from rare earth elements Seeds can be used.
  • Pt was used as Ml, but at least one selected from noble metal elements such as Ir, Pd, Rh, Au, and Ru can be used.
  • noble metal elements such as Ir, Pd, Rh, Au, and Ru.
  • the pole is used as the vibration amplifying means, a substantially spiral part as shown in FIG. 7, a substantially concentric part as shown in FIG. A substantially folded part may be used, and in all cases, excellent results equivalent to those of Examples 1 to 12 were obtained.
  • the gas-diffusing catalyst electrode is a reverse reaction of the fuel cell. It can also be applied to
  • the noble metal material and the noble metal material since the additive material which is not thermally solid-soluble is simultaneously adhered to the surface of the conductive powder by the physical vapor deposition method, the alloy should not normally form an alloy with the noble metal material even by heating.
  • the non-solid solution-based additive material can be forcibly introduced into the crystal lattice of the noble metal material, and the surface of the conductive powder is formed of an alloy of the noble metal material and the additive material. Conductive catalyst particles having the catalyst material adhered thereto can be obtained. Since the conductive catalyst particles contain the additive material in the catalyst material, internal self-diffusion of the crystal lattice of the noble metal material in the catalyst material is prevented, and the sintering as described above occurs. Difficult to do. It should be noted that, in the chemical attachment method according to the prior art, the non-solid solution-based additive material cannot be introduced into the noble metal material, and the alloy cannot be obtained.
  • the noble metal material and the additive material that is thermally insoluble in the third noble metal material are simultaneously attached to the surface of the conductive powder by the physical vapor deposition method, It suppresses the growth of the particle size of the material and has excellent catalytic activity.
  • the catalyst material is attached to the surface of the conductive powder by the physical vapor deposition method, a catalyst material having good crystallinity can be attached to the surface of the conductive powder at a low temperature.
  • the obtained first conductive catalyst particles of the present invention can obtain good catalytic action with a smaller amount of the catalyst material, and a sufficient contact area between the catalyst material and gas can be secured. Therefore, the specific surface area of the catalyst material contributing to the reaction is increased, and the catalytic ability is also improved.
  • the Ml and the Mil are simultaneously attached to the surface of the conductive powder by the physical vapor deposition method, so that the Ml is introduced into the crystal lattice of the Ml. ⁇ can be forcibly introduced, and the catalyst material composed of an alloy of Ml and the ⁇ ⁇ ⁇ adheres to the surface of the conductive powder.
  • conductive catalyst particles can be obtained. Since the conductive catalyst particles contain the MII in the catalyst material, the movement of the Ml transition in the catalyst material is inhibited, the internal self-diffusion of the crystal lattice is prevented, and The occurrence of the thin ring as described above can be prevented.
  • the catalyst material is attached to the surface of the conductive powder by the physical vapor deposition method, a catalyst material having good crystallinity can be attached to the surface of the conductive powder at a low temperature.
  • the second conductive catalyst particles of the present invention can obtain a good catalytic action with a smaller amount of the catalyst material, and a sufficient contact area between the catalyst material and gas is secured.
  • the first gas diffusion electrode or the second gas diffusion electrode of the present invention in which the specific surface area of the catalyst material contributing to the reaction is increased and the catalytic performance is improved, comprises at least one of the electrodes. According to the configured electrochemical device, the occurrence of sintering can be prevented, good output characteristics can be obtained, and the output characteristics can be maintained for a long time.

Description

明細 : 導電性触媒粒子及びその製造方法、 ガス拡散性触媒電極及び電気化学デ バイス 技術分野
本発明は、 導電性触媒粒子及びその製造方法、 ガス拡散性触媒電極及 び電気化学デバイスに関するものである。 背景技術
従来、 ガス拡散性触媒電極は、 導電性粉体としてのカーボンに触媒材 料としての白金が担持されている触媒粒子を、 撥水性樹脂としての例え ばフッ素樹脂及びィオン伝導体と共にシート状に成形する （特開平 5— 3 6 4 1 8 ) 力、、 或いはカーボンシート上に塗布する工程を経て製造さ れる。
この電極を、 固体高分子型燃料電池等の燃料電池を構成する水素分解 用電極として用いた場合、 白金等の触媒材料によつて燃料がィォン化さ れ、 生じた電子は導電性カーボンを伝って流れ、 また水素をイオン化す ることで生じるプロトン （H + ) はイオン伝導体を介してイオン伝導膜 に流れる。 ここで、 ガスを通す間隙、 電気を通すカーボン、 イオンを通 すイオン伝導体及び燃料や酸化剤をイオン化するための白金等の触媒材 料が必要になる。
通常、 導電性粉体としてのカーボン粉体の表面に白金 （触媒材料） を 付着させる方法としては、 まず白金をイオン化して液状として、 この白 金を含有する溶液にカーボンを浸漬することで力一ボン粉体に白金を付 着させ、 次いで還元及び熱処理を行うことで、 カーボン粉体の表面上に 微粒子白金として付着させる方法がある （特許第 2 8 7 9 6 4 9号） 。 しかしながら、 上述したような従来の方法は、 カーボン粉体上に白金 を担持させるために還元及び熱処理を行うことが必要であり、 例えばこ の熱処理における温度が低い場合、 白金の結晶性が悪くなり、 良好な触 媒特性を得ることができないという問題点'を抱えている。
また、 上述したような白金等の触媒材料によつて燃料がィオン化され 、 生じた電子は導電性カーボンを伝って流れ、 また水素をイオン化する ことで生じるプロ卜ン ( H" はイオン伝導体を介レてイオン伝導膜に 流れる。 従って、 カーボン粉体とイオン伝導体は接する必要があるため 、 通常、 カーボン粉体に白金を担持した後、 イオン伝導体を塗布する。 しかしながら、 白金はガスと接した部分のみにおいて機能するため、 ィ オン伝導体によってガスとの接触部が無くなった白金は機能しない。
これに代わり、 力一ボン粉体にイオン伝導体を塗布した後、 白金を担 持させる方法がある。 しかしながら、 白金の結晶性を良好にするために 熱処理を行わなければならないが、 イオン伝導体は一般的に耐熱性が低 いため、 白金の結 性を良好にする熱処理温度まで加熱すると、 イオン 伝導体が劣化してしまう。
第 2 4 A図は、 従来の製造方法で導電性粉体 1としてのカーボン粉体 に白金 2 7を担持させて得られる導電性触媒粒子を示す概略断面図であ つて、 また第 2 4 B図は、 カーボン粉体にイオン伝導体 1 1を付着させ た後、 更にその上に白金 2 7を担持させて得られる導電性触媒粒子を示 す概略断面図である。
第.2 4 A図より明らかなように、 液相から得られる白金を担持した導 電性触媒粒子は、 白金 2 7がカーボン粉体の表面上において球状で存在 するため、 白金 2 7がカーボン粉体の表面上から離れ易く、 また製造ェ 程において白金量を多く必要とする。 更には、 白金 2 7が球状で存在す るため、 白金 2 7の表面のみが触媒材料として機能して、 内部は機能せ ず、 白金量に対して触媒能の効率は低い。 また、 図示省略したが、 カー ボン粉体の表面上に存在する細孔にも白金 2 7が入り込んでしまう。 こ のため、 有効に機能しない白金 2 7も存在し、 白金量に対して、 触媒能 の効率は低い。
また第 2 4 B図に示すように、 カーボン粉体にイオン伝導体 1 1を塗 布した後、 白金 2 7を担持させる場合、 上述したように白金 2 7の結晶 性を良好にするための熱処理が必要となるが、 イオン伝導体 1 1は一般 的に耐熱性が低く、 白金 2 7の結晶性を良好にする熱処理温度まで加熱 すると、 イオン伝導体 1 1が劣化してしまう。
本発明者らは、 上述したような問題点を解決すべく鋭意検討した結果 、 より少ない触媒量で良好な触媒作用を有するガス拡散性触媒電極を、 特願 2 0 0 0— 2 9 3 5 1 7号において提案した。
即ち、 特願 2 0 0 0— 2 9 3 5 1 7号 （以下、 先願発明と称する。 ） に係る発明によれば、 第 2 5図に示すようなスパッ夕法等の物理蒸着法 を用いて、 カーボン粉体 （導電性粉体） 1の表面に、 白金 （触媒材料） を付着させることにより、 第 2 5図に示すような、 カーボン粉体の表面 に、 白金 2 7が付着した導電性触媒粒子を得ることができる。
即ち、 第 2 6 A図に示すように、 物理蒸着法を用いれば、 これにより 得られる導電性触媒粒子は、 白金 2 7がカーボン粉体の表面にのみ付着 している。 従って、 より少ない量で良好な触媒作用を得ることができ、 また白金 2 7とガスとの接触面積が十分に確保されるので、 反応に寄与 する白金 2 7の比表面積が大きくなり、 触媒能も向上する。
また、 第 2 6 B図に示すように、 カーボン粉体の表面に、 イオン伝導 体 1 1を付着させ、 更にこのイオン伝導体 1 1の表面に、 物理蒸着法に より白金 2 7を付着させても、 物理蒸着法によって白金 2 7を付着させ るので、 従来のように白金の結晶性を良好にするための熱処理を行う必 要がなくなり、 イオン伝導体 1 1の性能を損なうことなく、 白金 2 7を 付着させることができる。
しかしながら、 本発明者らは、 先願発明は上記した優れた特長をもち つつも、 改善すべき点があることを見出した。
導電性粉体の表面に、 例えばスパッタ法等の物理蒸着法によって触媒 材料を付着させる際、 純度の高い触媒材料をターゲットとして用いる場 合は、 上述したような従来技術による化学的な付着方法と比較して、 非 常に純度の高い触媒材料を付着することができる。 しかしながら、 導電 性粉体の表面に付着した触媒材料の純度が高い場合、 燃料電池としての 使用中に、 初期の触媒活性は高いが、 時間の経過と共に温度上昇により 触媒粒子間でシン夕リングが生じ易くなり、 このシン夕リングによって 活性が低下するという問題点があった。 そして、 触媒材料の純度が高い 導電性触媒粒子を含有するガス拡散性触媒電極を例えば燃料電池に用い た場合、 このシン夕リングによって出力が低下するという問題点も抱え ていた。 - また、 触媒材料は、 その結晶粒の粒径が小さいほど、 触媒活性は高く なる。 物理蒸着法における触媒材料の初期粒径は、 導電性粉体への付着 時にて決定されるが、 触媒材料の純度が高い場合、 結晶粒径が大きくな り易いという問題点を抱えていた。 このため、 触媒材料の純度が高く、 かつ高い触媒活性を得るためには、 触媒材料の結晶粒径の微細化を検討 する必要があった。
本発明は、 上述した先願発明の特長を生かしつつ、 その不十分な点を 改善するためになされたものであって、 その目的は、 シン夕リングが発 生せず、 かつ触媒特性に優れた導電性触媒粒子及びその製造方法、 ガス 拡散性触媒電極及びその製造方法、 並びに電気化学デバイスを提供する ことにある。 発明の開示
本発明者らは、 上述したような問題点を解決すべく鋭意検討した結果 、 触媒材料のシン夕リングを防止するためには、 触媒材料の結晶格子の 内部自己拡散を防止する必要があり、 この内部自己拡散を防止するため には、 本来、 貴金属材料とは加熱によっても合金を作らないような非固 溶系の物質を、 貴金属材料の結晶格子中へ強制的に導入し、 これを触媒 材料として用いればシン夕リング防止効果が得られること、 また、 触媒 材料の結晶粒の微細化についても、 非固溶系の物質を貴金属材料の結晶 格子中へ強制的に導入することによって、 付着時の触媒材料の粒径の成 長が抑制され、 結果的に触媒活性が良好になることを見出し、 本発明に 到達した。
即ち、 本発明は、 導電性粉体の表面に、 貴金属材料と、 前記貴金属材 料に対して熱的に非固溶系の添加材料との合金からなる触媒材料が付着 している、 導電性触媒粒子に係るものであり （以下、 本発明の第 1の導 電性触媒粒子と称する。 ） 、 また、 この導電性触媒粒子を製造するため の、 貴金属材料と、 前記貴金属材料に対して熱的に非固溶系の添加材料 とを物理蒸着法によって導電性粉体の表面に同時に付着させ、 これによ つて前記貴金属材料と前記添加材料との合金からなる触媒材料が付着し てなる導電性触媒粒子を得る、 導電性触媒粒子の製造方法に係るもので ある （以下、 本発明の第 1の導電性触媒粒子の製造方法と称する。 ） 。 また、 導電性粉体の表面に、 貴金属材料と、 前記貴金属材料に対して 熱的に非固溶系の添加材料との合金からなる触媒材料が付着している導 電性触媒粒子を含有する、 ガス拡散性触媒電極に係るものである （以下 、 本発明の第 1のガス拡散性触媒電極と称する。 ） 。 本発明の第 1の発明によれば、 前記貴金属材料と、 前記貴金属材料に 対して熱的に非固溶系の前記添加材料とを前記物理蒸着法によって前記 導電性粉体の表面に同時に付着させるので、 本来ならば、 前記貴金属材 料とは加熱によっても合金を作らないような非固溶系の前記添加材料を 、 前記貴金属材料の結晶格子中へ強制的に導入することができ、 前記導 電性粉体の表面に、 前記貴金属材料と前記添加材料との合金からなる前 記触媒材料が付着してなる導電性触媒粒子を得ることができる。 この導 電性触媒粒子は、 前記触媒材料中に前記添加材料を含有しているので、 前記触媒材料中の前記貴金属材料の結晶格子の内部自己拡散が防止され 、 既述した如きシン夕リングが発生し難い。 なお、 従来技術による化学 的な付着方法では、 非固溶系の前記添加材料は、 前記貴金属材料中には 導入することはできず、 前記合金を得ることはできない。
また、 前記貴金属材料と、 前記貴金属材料に対して熱的に非固溶系の 前記添加材料とを前記物理蒸着法によって前記導電性粉体の表面に同時 に付着させるので、 付着時の前記貴金属材料の粒径の成長が抑制され、 優れた触媒活性を有する。
さらに、 前記導電性粉体の表面に、 前記物理蒸着法によって、 前記触 媒材料を付着させるので、 低温で、 結晶性の良好な触媒材料を前記導電 性粉体の表面に付着することができ、 得られる本発明の第 1の導電性触 媒粒子は、 より少ない量の触媒材料で良好な触媒作用を得ることができ
、 また前記触媒材料とガスとの接触面積が十分に確保されるので、 反応 に寄与する前記触媒材料の比表面積が大きくなり、 触媒能も向上する。 また、 本発明は、 導電性粉体の表面に、 Ml (但し、 1^ 1は？ 1;、 I r、 P d、 Rh、 Au、 R u等の貴金属元素から選ばれた少なくとも 1 種である。 ） と、 Mil (但し、 ΜΠは F e、 C o、 N i、 C r、 A l、
C u、 H f 、 Z r、 T i、 V、 Nb、 T a、 W、 G a、 S n、 G e、 S i、 R e、 〇 s、 P b、 B i、 S b、 Mo、 Mn、 0、 N、 F、 C, Z n、 I n及び希土類元素から選ばれた少なくとも 1種である。 ） との合 金からなる触媒材料が付着している、 導電性触媒粒子に係るものであり (以下、 本発明の第 2の導電性触媒粒子と称する。 ） 、 また、 前記 Ml と、 前記 Milとを物理蒸着法によって導電性粉体の表面に同時に付着さ せ、 これによつて前記 Mlと前記 M IIとの合金からなる触媒材料が付着 してなる、 導電性触媒粒子を得る、 導電性触媒粒子の製造方法に係るも のである （以下、 本発明の第 2の導電性触媒粒子の製造方法と称する。 また、 導電性粉体の表面に、 前記 Mlと、 前記 Milとの合金からなる 触媒材料が付着している導電性触媒粒子を含有する、 ガス拡散性触媒電 極に係るものであ'る （以下、 本発明の第 2のガス拡散性触媒電極と称す る。 ） 。
本発明の第 2の発明によれば、 前記 Mlと、 前記 Milとを前記物理蒸 着法によって前記導電性粉体の表面に同時に付着させるので、 前記 Ml の結晶格子中へ前記 Milを強制的に導入することができ、 前記導電性粉 体の表面に、 前記 Mlと前記 Milとの合金からなる前記触媒材料が付着 してなる導電性触媒粒子を得ることができる。 この導電性触媒粒子は、 前記触媒材料中に前記 Milを含有しているので、 前記触媒材料中の前記 Mlの転移の動きが阻害され、 結晶格子の内部自己拡散が防止され、 既 述した如きシン夕リングの発生を防止することができる。
また、 前記導電性粉体の表面に、 前記物理蒸着法によって、 前記触媒 材料を付着させるので、 低温で、 結晶性の良好な触媒材料を前記導電性 粉体の表面に付着することができ、 得られる本発明の第 2の導電性触媒 粒子は、 より少ない量の前記触媒材料で良好な触媒作用を得ることがで き、 また前記触媒材料とガスとの接触面積が十分に確保されるので、 反 応に寄与する前記触媒材料の比表面積が大きくなり、 触媒能も向上する また、 本発明は、 少なくとも 2つの電極と、 これらの電極の間に挟持 されたイオン伝導体とからなり、 上述した本発明の第 1のガス拡散性電 極又は第 2のガス拡散性電極が、 前記電極のうちの少なくとも 1つを構 成している、 電気化学デバイスに係るものである。
本発明の電気化学デバイスによ.れば、 上記した本発明の第 1又は第 2 のガス拡散性触媒電極が、 前記電極のうちの少なくとも 1つを構成して いるので、 シン夕リングの発生を防止することができ、 良好な出力特性 が得られ、 この出力特性を長時間にわたり維持することができる。 図面の簡単な説明
第 1 A図乃至第 1 B図は、 本発明に基づく導電性触媒粒子の製造方法 に使用可能な装置の概略断面図である。
第 2 A図乃至第 2 C図は、 同、 導電性触媒粒子を示す概略断面図であ る。
第 3 A図乃至第 3 B図は、 本発明に基づく導電性触媒粒子の製造方法 に使用可能な.装置の概略断面図である。
第 4 A図乃至第 4 C図は、 同、 導電性触媒粒子を示す概略断面図であ る。
第 5図は、 同、 導電性触媒粒子の製造方法に使用可能な装置における 、 容器の一部拡大概略図である。
第 6図は、 同、 装置の一部拡大概略断面図である。
第 7図は、 同、 装置に用いる振動装置の概略断面図である。
第 8図は、 同、 他の振動装置の概略断面図である。
第 9図は、 同、 更に他の振動装置の概略断面図である。 第 10図は、 本発明に基づくガス拡散性触媒電極を用いた燃料電池の 概略構成図である。
第 1 1図は、 同、 ガス拡散性触媒電極を用いた水素製造装置の概略構 成図である。
第 12 A図乃至第 12 B図は、 本発明の実施の形態に使用可能なフラ 一レン誘導体の一例であるポリ水酸化フラーレンの構造図である。 第 1 3 A図乃至第 13 B図は、 同、 フラ一レン誘導体の例を示す模式 図である。
第 14図は、 本発明に基づく実施例による、 B添加量と 200時間蓮 転後出力の関係を示す図である。
第 1 5図は、 同、 S i 02添加量と 20 0時間運転後出力の関係を示 す図である。
第 16図は、 同、 Ga2〇3添加量と 200時間運転後出力の関係を示 す図である。
第 17図は、 同、 V205添加量と 200時間運転後出力の関係を示す 図である。
第 18図は、 同、 W〇3添加量と 200時間運転後出力の関係を示す 図である。
第 1 9図は、 本発明に基づく実施例による、 Milの添加量と 200時 間運転後出力の関係を示す図である。
第 20図は、 同、 ΜΙΓ の添加量と 200時間運転後出力の関係を示 す図である。
第 21図は、 同、 ΜΠ" の添加量と 200時間運転後出力の関係を示 す図である。
第 22図は、 同、 Mil' と ΜΠ" の混合物からなる M 11の添加量と 2 00時間運転後出力の関係を示す図である。 第 2 3図は、 同、 Μ Ι Γ と M i l " の混合物からなる Μ Πの添加量と 2 0 0時間運転後出力の関係を示す図である。
第 2 4 A図乃至第 2 4 B図は、 従来の製造方法でカーボン粉体に白金 を担持させて得られる導電性触媒粒子を示す概略断面図である。
第 2 5図は、 先願発明 （特願 2 0 0 0— 2 9 3 5 1 7号） による導電 性触媒粒子の製造装置の概略断面図である。
第 2 6 A図乃至第 2 6 B図は、 同、 導電性触媒粒子の概略断面図であ る。 発明を実施するための最良の形態
以下、 実施の形態に基づいて本発明を更に具体的に説明する。
本発明に基づく第 1の製造方法において、 前記物理蒸着法として、 前 記貴金属材料及び前記添加材料からなるターゲットを用いるスパッ夕法 を適用することが望ましい。 前記スパッタ法は、 容易に生産することが 可能で、 生産性が高く、 また成膜性も良好である。
また、 前記スパッ夕法のほかに、 前記物理蒸着法としてパルスレーザ ーデポジション法を適用してもよい。 前記パルスレーザーデポジション 法は、 成膜における制御が容易であり、 成膜性も良好である。
上述した従来技術による化学的な付着方法では、 非固溶系の前記添加 材料は、 前記貴金属材料中には導入することはできず、 前記合金からな る前記触媒材料を得ることはできない。 これに対し、 本発明に基づく第 1の製造方法は、 前記貴金属材料と、 前記貴金属材料に対して熱的に非 固溶系の前記添加材料とを前記スパッタ法等の前記物理蒸着法によって 前記導電性粉体の表面に同時に付着させるので、 本来ならば、 前記貴金 属材料とは加熱によっても'合金を作らないような非固溶系の前記添加材 料を、 前記貴金属材料の結晶格子中へ強制的に導入することができる。 これによつて、 前記導電性粉体の表面に、 前記貴金属材料と前記添加材 料との合金からなる前記触媒材料が付着してなる導電性触媒粒子を得る ことができ、 この導電性触媒粒子を含有する本発明に基づく第 1のガス 拡散性触媒電極は、 前記添加材料により前記貴金属材料の結晶格子の内 部自己拡散が防止されるので、 シンタリングがより一層発生し難い。
また、 本発明に基づく第 1の導電性触媒粒子は、 前記貴金属材料と、 前記貴金属材料に対して熱的に非固溶系の前記添加材料とを前記スパッ タ法等の前記物理蒸着法によって前記導電性粉体の表面に同時に付着さ せるので、 付着時の前記貴金属材料の粒径の成長がより抑制され、 より 一層優れた触媒活性を有する。
さらに、 前記スパッ夕法又はパルスレーザ一デポジション法によって 、 前記触媒材料を付着させるので、 低温で、 結晶性の良好な触媒材料を 前記導電性粉体の表面に付着することができ、 得られる本発明に基づく 第 1の導電性触媒粒子は、 より少ない量の前記触媒材料で良好な触媒作 用を得ることができ、 また前記触媒材料とガスとの接触面積が十分に確 保されるので、 反応に寄与する前記触媒材料の比表面積が大きくなり、 触媒能も向上することができる。
ここで、 特表平 1 1 一 5 1 0 3 1 1において、 カーボンシ一ト上に貴 金属をスパッ夕成膜する例が記載されているが、 本発明に基づく第 1の 製造方法は、 導電性を有する粉体の表面に前記触媒材料を付着させるの で、 前記特表平 1 1 一 5 1 0 3 1 1に比べ、 反応に寄与する前記触媒材 料の比表面積をより大きくすることができ、 触媒能の向上を図ることが でさる。
前記貴金属材料に対する前記非固溶系の添加材料の添加量は、 シン夕 リングをより効果的に防止するために 2〜 7 O m o 1 %又は a t %であ ることが好ましい。 2 m o 1 %又は a t %未満の場合、 前記添加材料の 添加量が少なすぎるためにシン夕リング防止の効果が低下することがあ り、 7 O m o 1 %又は a t %を超えると、 前記添加材料の添加量が多す ぎるために触媒活性が不良となることがある。
前記非固溶系の添加材料としてセラミックスを用いることが好ましく 、 具体的には、 B (ホウ素） 、 S i〇、 S i 02等のシリコン酸化物、 G a 2 03等の酸化ガリゥム、 V 2〇5等の酸化バナジウム及び W 03等の 酸化タングステンのうちの少なくとも 1種を用いることが好ましい。 前記貴金属材料と、 前記貴金属材料に対して熱的に非固溶系の前記添 加材料とを前記導電性粉体の表面に、 前記スパッタ法等の前記物理蒸着 法により付着させる際に、 前記導電性粉体を振動させることが好ましく 、 また、 前記導電性粉体と、 振動増幅手段とを振動面上に配置し、 これ らを振動させながら、 前記導電性粉体の表面に、 前記貴金属材料と、 前 記添加材料とを前記物理蒸着法により付着させることがより好ましい。 これにより、 前記導電性粉体は、 より振動されて十分に混合され、 前記 振動面上の一箇所に留まることがなくなる。 従って、 前記導電性粉体は 、 粉体層の表面のみならず、'内部のものも表面へ出て、 前記貴金属材料 と前記添加材料との合金からなる前記触媒材料を全ての前記導電性粉体 に対してより一層均一に付着させることができる。
第 1 A図乃至第 1 B図は、 本発明に基づく第 1の導電性触媒粒子の製 造装置の一例の概略断面図である。
第 1 A図に示すように、 導電性粉体 1の表面に、 前記物理蒸着法とし ての、 例えば、 貴金属材料 2及ぴ添加材料 3からなるターゲット 4を用 いる前記スパッ夕法によって、 前記触媒材料を付着させる際、 前記振動 増幅手段として表面が平滑なボール 5を用い、 導電性粉体 1とポール 5 とを混合させて同一容器 6内の振動面 7上に配置し、 例えば電磁コイル 式又は超音波ホーンからなる振動子 8によって、 前記振動をかけること が好ましい。 このように構成された振動装置 9を用いることにより、 導 電性粉体 1は、 ポール 5とぶつかり合って混ざり合い、 流動し、 振動面 7上の一箇所に留まることがなくなる。 そして、 前記スパッ夕法により 、 容器 6内では導電性粉体 1の粉体層の表面のみならず、 内部のものも 表面へ出ることになり、 導電性粉体 1の全体に対して、 より均一に前記 触媒材料を付着させることができる。
この場合、 ポール 5は、 直径 1〜 1 5 mmのセラミックス又は金属製 のポールであることが好ましい。
また、 第 1 B図に示すように、 ターゲット 4は、 貴金属材料 2に対し て B (ホウ素） 、 S i 〇、 S i〇2等のシリコン酸化物、 G a 2〇3等の 酸化ガリウム、 V 2〇5等の酸化バナジウム、 W〇3等の酸化タンダステ ン等の添加材料 3が導入された構造を有することが好ましく、 このよう なターゲット 4を用いる前記スパッタ法等の前記物理蒸着法によって、 貴金属材料 2の結晶格子中に添加材料 3を強制的に導入することが可能 である。
本発明に基づく第 1の導電性触媒粒子は、 第 2 A図に示すように、 前 記貴金属材料と前記添加材料との合金からなる触媒材料 1 0が導電性粉 体 1の表面に付着している。 この導電性触媒粒子を含有する本発明に基 づく第 1のガス拡散性触媒電極は、 前記添加材料によって前記貴金属材 料の結晶格子中の内部自己拡散が効果的に防止され、 シンタリングの発 生をより一層防止することができる。
また、 前記添加材料が、 前記導電性粉体の表面への付着時における、 前記貴金属材料の粒径の成長を抑制することができるので、 本発明に基 づく第 1の導電性触媒粒子は優れた触媒活性を有する。
さらに、 より少ない量の触媒材料 1 0で良好な触媒作用を得ることが でき、 また触媒材料 1 0とガスとの接触面積が十分に確保されるので、 反応に寄与する触媒材料 1 0の比表面積が大きくなり、 触媒能も向上す る。
また、 第 2 B図に示すように、 前記貴金属材料と前記添加材料との合 金からなる触媒材料 1 0が導電性粉体 1の表面に不均一に付着していて もよく、 この場合でも、 第 2 A図の構造を有する本発明に基づく第 1の 導電性触媒粒子と同様の優れた特性を有する。
さらに、 第 2 C図に示すように、 導電性粉体 1の表面にイオン伝導体 1 1を付着させ、 更にこのイオン伝導体 1 1の表面に、 前記物理蒸着法 により前記貴金属材料と前記添加材料との合金からなる触媒材料 1 0を 付着させることができるので、 従来のように触媒の結晶性を良好にする ための熱処理を行う必要がなくなり、 イオン伝導体 1 1の性能を損なう ことなく、 触媒材料 1 0を付着させることができる。
第 2 A図乃至第 2 C図のいずれの本発明に基づく第 1の導電性触媒粒 子も、 触媒能と導電性を共に発揮する上で、 導電性粉体 1に対して触媒 材料 1 0を 1 0〜 1 0 0 0重量％の割合で付着させることが好ましく、 前記貴金属材料としては P t：、 I r、 R h等が挙げられる。
一方、 本発明に基づく第 2の製造方法において、 前記物理蒸着法とし て、 前記 M l及び前記 M i lからなる夕ーゲットを用いるスパッタ法を適 用することが望ましい。 前記スパッタ法は、 容易に生産することが可能 で、 生産性が高く、 また成膜性も良好である。
また、 前記スパッ夕法のほかに、 前記物理蒸着法としてパルスレーザ ーデポジション法を適用してもよい。 前記パルスレーザーデポジション 法は、 成膜における制御が容易であり、 成膜性も良好である。
上述した従来技術による化学的な付着方法では、 通常、 前記 M i lを、 前記 M l中に対して加熱による拡散により導入しており、 このような加 熱の際に、 シン夕リングにより粒径が増大してしまう。 これに対し、 本 発明に基づく第 2の製造方法は、 前記 Mlと、 前記 Milとを前記スパッ 夕法等の前記物理蒸着法によって前記導電性粉体の表面に同時に付着さ せるので、 前記 Milを、 前記 Mlの結晶格子中へ加熱せずに強制的に導 入す.ることができる。 これによつて、 前記導電性粉体の表面に、 前記 M Iと前記 ΜΠとの合金からなる前記触媒材料が付着してなる導電性触媒 粒子を得ることができ、 この導電性触媒粒子を含有する本発明に基づく 第 2のガス拡散性触媒電極は、 前記 ΜΠにより前記 Mlの結晶格子の内 部自己拡散が防止されるので、 シンタリングがより一層発生し難い。 さらに、 前記スパッタ法又はパルスレ一ザーデポジション法によって 、 前記触媒材料を付着させるので、 低温で、 結晶性の良好な触媒材料を 前記導電性粉体の表面に付着することができ、 得られる本発明に基づく 第 2の導電性触媒粒子は、 より少ない量の前記触媒材料で良好な触媒作 用を得ることができ、 また前記触媒材料とガスとの接触面積が十分に確 保されるので、 反応に寄与する前記触媒材料の比表面積が大きくなり、 触媒能も向上することができる。
ここで、 特表平 1 1— 5 1 0 3 1 1において、 カーボンシート上に貴 金属をスパッタ成膜する例が記載されているが、 本発明に基づく第 2の 製造方法は、 導電性を有する粉体の表面に前記触媒材料を付着させるの で、 前記特表平 1 1一 5 1 03 1 1に比べ、 反応に寄与する前記触媒材 料の比表面積をより大きくすることができ、 触媒能の向上を図ることが できる。
前記触媒材料を、 Ml— ΜΙΓ -Mil" 合金 （伹し、 Mlは P t、 I r 、 P d、 Rh、 Au、 Ru等の貴金属元素から選ばれた少なくとも 1種 である。 ΜΠ' は F e、 C o、 N i、 C r、 A l、 S n、 Cu、 Mo、 W、 0、 N、 F及び Cから選ばれた少なくとも 1種である。 Mil" は H f 、 Z r、 T i、 V、 Nb、 T a、 G a、 G e、 S i、 R e、 O s、 P b、 B i、 S b、 Mn及び希土類元素から選ばれた少なくとも 1種であ る。 ） とし、 またその組成を MIa— ΜΙΓ b -Mil" eとする場合、 シン 夕リングをより効果的に防止し、 かつより優れた触媒能を有するために 、 a + b + c = 1 0 0 a t % 0. 5 a t %≤b + c≤ 60 a t %, b ≤ 6 0 a t %、 c≤ 20 a t %とすることがより好ましい。
前記 b + cの値が 0. 5 a t %未満の場合、 前記 ΜΙΓ 及び前記 Mil " の添加量が少なすぎるためにシンタリング防止効果が低減することが あり、 また 6 0 a t %を超える場合、 前記 ΜΙΓ 及び前記 Mil" の添加 量が多すぎるために触媒作用が低下し易く、 この導電性触媒粒子を含有 する本発明に基づく第 2のガス拡散性触媒電極を例えば燃料電池に使用 したとき、 出力が低下することがある。
また、 前記 Milとしての前記 ΜΙΓ (F e、 C o、 N i、 C r、 A 1 、 S n、 Mo、 C u、 W、 〇、 N、 F及び Cから選ばれた少なくとも 1 種） の添加量は 6 0 a t %以下であることが望ましく、 この範囲内では 、 より良好な触媒作用が得られると共に、 より効果的なシン夕リング防 止効果が得られる。 また、 触媒活性をより向上することも可能である。
6 0 a t %を超える場合、 前記 ΜΙΓ の添加量が多すぎるために触媒作 用が低下しやすく、 出力が低下することがある。
さらに、 前記 ΜΠとしての前記 Mil" (H f 、 Z r、 T i、 V、 Nb 、 T a、 B、 G a、 S i、 R e、 〇 s、 P b、 B i、 S b、 Mn及び希 土類元素から選ばれた少なくとも 1種） の添加量は、 より良好な触媒作 用及びより効果的なシン夕リング防止効果を得るために 20 a t %以下 であることが望ましい。 2 0 a t %を超えた場合には、 添加量が多すぎ るために触媒活性が不良となり易く、 出力が低下することがある。
前記 Mlと、 前記 Milとを前記導電性粉体の表面に、 前記スパッ夕法 等の前記物理蒸着法により付着させる際に、 前記導電性粉体を振動させ ることが好ましく、 また、 前記導電性粉体と、 振動増幅手段とを振動面 上に配置し、 これらを振動させながら、 前記導電性粉体の表面に、 前記 M lと、 前記 M i lとを前記物理蒸着法により付着させることがより好ま しい。 これにより、 前記導電性粉体は、 より振動されて十分に混合され 、 前記振動面上の一箇所に留まることがなくなる。 従って、 前記導電性 - 粉体は、 粉体層の表面のみならず、 内部のものも表面へ出て、 前記 M l と前記 M i lとの合金からなる前記触媒材料を全ての前記導電性粉体に対 してより一層均一に付着させることができる。
第 3 A図乃至第 3 B図は、 本発明に基づく第 2の導電性触媒粒子の製 造装置の一例の概略断面図である。
第 3 A図に示すように、 導電性粉体 1の表面に、 前記物理蒸着法とし ての、 例えば M I 1 2及び M I I 1 3からなるターゲット 4を用いる前記 スパッ夕法によって、 前記触媒材料を付着させる際、 前記振動増幅手段 として表面が平滑なポール 5を用い、 導電性粉体 1とボール 5とを混合 させて同一容器 6内の振動面 7上に配置し、 例えば電磁コイル式又は超 音波ホーンからなる振動子 8によって、 前記振動をかけることが好まし レ^ このように構成された振動装置 9を用いることにより、 導電性粉体 1は、 ポール 5とぶつかり合って混ざり合い、 流動し、 振動面 7上の一 箇所に留まることがなくなる。 そして、 前記スパッ夕法により、 容器 6 内では導電性粉体 1の粉体層の表面のみならず、 内部のものも表面へ出 ることになり、 導電性粉体 1の全体に対して、 より均一に前記触媒材料 を付着させることができる。
この場合、 ポ一ル 5は、 直径 1〜 1 0 mmのセラミックス又は金属製 のポールであることが好ましい。
また、 第 3 B図に示すように、 ターゲット 4は、 M i l 2に対して M l I I 3が導入された構造を有することが好ましく、 このような夕一ゲッ ト 4を用いる前記スパッタ法等の前記物理蒸着法によってのみ、 M I 1 2の結晶格子中に加熱せずに Μ Π 1 3を強制的に導入することが可能で ある。
本発明に基づく第 2の導電性触媒粒子は、 第 4 A図に示すように、 前 記 M Iと前記 M Πとの合金からなる触媒材料 1 4が導電性粉体 1の表面 にのみ付着している。 この導電性触媒粒子を含有する本発明に基づく第 2のガス拡散性触媒電極は、 前記 Μ Πによって前記 M lの結晶格子中の 内部自己拡散が効果的に防止され、 シンタリングの発生をより一層防止 することができる。
また、 より少ない量の触媒材料 1 4で良好な触媒作用を得ることがで き、 また触媒材料 1 4とガスとの接触面積が十分に確保されるので、 反 応に寄与する触媒材料 1 4の比表面積が大きくなり、 触媒能も向上する また、 第 4 B図に示すように、 前記 M lと前記 M i lとの合金からなる 触媒材料 1 4が導電性粉体 1の表面に不均一に付着していてもよく、 こ の場合でも、 第 4 A図の構造を有する本発明に基づく第 2の導電性触媒 粒子と同様の優れた特性を有する。
さらに、 第 4 C図に示すように、 導電性粉体 1の表面にイオン伝導体 1 1を付着させ、 更にこのイオン伝導体 1 1の表面に、 前記物理蒸着法 により前記 M lと前記 M i lとの合金からなる触媒材料 1 4を付着させる ことができるので、 従来のように触媒の結晶性を良好にするための熱処 理を行う必要がなくなり、 イオン伝導体 1 1の性能を損なうことなく、 触媒材料 1 4を付着させることができる。
第 4 A図乃至第 4 C図のいずれの本発明に基づく第 2の導電性触媒粒 子も、 触媒能と導電性を共に発揮する上で、 導電性粉体 1に対して触媒 材料 1 4を 1 0〜 1 0 0 0重量％の割合で付着させることが好ましい。 第 5図は、 本発明に基づく第 1又は第 2の導電性触媒粒子の製造方法 による、 導電性粉体 1及び前記振動増幅手段としてのポール 5を配置し た容器 6の概略図である。
第 5図に示すように、 導電性粉体 1の分布領域の面積 Sに対する、 ポ —ル 5の総面積 Aの比率を 3 0〜8 0 %とすることが好ましい。 この比 率が小さすぎると、 導電性粉体 1の混合が不十分となり、 また大きすぎ ると、 導電性粉体 1の割合が小さくなつて前記スパッタによる前記触媒 材料の付着効率が悪くなり、 前記触媒材料の付着した触媒粒子の生産効 率が不十分となる。
第 6図に、 導電性粉体 1及び前記振動増幅手段としてのポ一ル 5を配 置した容器 6の一部拡大概略断面図を示すように、 導電性粉体 1がなす 層厚 tに対し、 前記振動増幅手段としてのポール 5の直径 Rを 1 0〜7 0 %とすることが好ましい。 この直径がその範囲外であると、 上記の面 積比率の場合と同様の理由で不利となる。
また、 振動子 8によって導電性粉体 1及び前記振動増幅手段としての ポール 5に与える前記振動の周波数は、 導電性粉体 1を十二分に混合す るには、 5〜 2 0 0 H zであることが好ましく、 また、 前記振動の振幅 も同様の理由から振幅は 0 . 5〜2 0 mmであることが好ましい （以下 、 その他の実施の形態の場合も同様） 。
上述したような、 好ましいとする各条件範囲内の環境下、 前記導電性 粉体の表面に、 例えば前記スパッ夕法によって前記触媒材料を付着させ れば、 前記導電性粉体は、 より一層の良好な振動をすることができるの で、 前記導電性粉体の表面に、 前記触媒材料をより一層均一に付着する ことが可能である。 上記した各範囲から外れた場合、 即ち、 前記ポール の直径が 1 mm未満の場合又は 1 5 mmを超える場合、 前記振動の周波 数が 5 H z未満の場合又は 2 0 O H zを超える場合、 或いは、 前記振幅 が ± 0 . 5 mm未満の場合等には、 前記導電性粉体は良好な振動をする ことができず、 流動せずに前記容器の底部に滞留したままの前記導電性 粉体が生じ、 均一な成膜ができなくなることがある。 また、 前記振幅が 2 0 mmを超えた場合、 前記導電性粉体の飛び出すおそれがあり、 収量 が減少することがある。
本発明に基づく第 1又は第 2の製造方法は、 前記ポールに代えて、 前 記振動増幅手段として、 略平面状であり、 かつ略渦巻状、 略同心円状又 は略折返し状のパターンをなすように形成された部品を用い、 前記部品 を容器に少なくとも一部が非固定状態となるように （即ち、 それ自体が 三次元的に自由に振動するように：以下、 同様） 設置し、 この部品上に 、 前記導電性粉体を配置し、 前記振動をかけてもよい。
第 7図は、 前記振動増幅手段として、 略平面状であり、 かつ略渦巻状 のパターンをなすように形成された部品 1 5を用いた、 本発明に基づく 第 1又は第 2の製造方法に使用可能な振動装置の概略図である。
第 8図は、 前記振動増幅手段として、 略平面状であり、 かつ略同心円 状のパターンをなすように形成された （即ち、 径方向に連結された） 部 品 1 6を用いた、 本発明に基づく第 1又は第 2の製造方法に使用可能な 振動装置の概略断面図である。
第 9図は、 前記振勤増幅手段として、 略平面状であり、 かつ略折返し 状のパターンをなすように形成された部品 1 7を用いた、 本発明に基づ く第 1又は第 2の製造方法に使用可能な振動装置の概略断面図である。 第 7図〜第 9図に示されるいずれの場合も、 前記部品 1 5、 1 6又は 1 7を容器 6の少なくとも一部に非固定状態となるように設置し、 この 部品 1 5、 1 6又は 1 7上に、 導電性粉体 1を配置し、 .前記振動をかけ ると、 部品 1 5、 1 6又は 1 7の形状は保持されたまま振動するため、 導電性粉体 1は、 より一層振動され、 より良好に流動することができる 。 このとき、 前記スパッ夕法等の前記物理蒸着法により、 導電性粉体 1 の表面に、 前記触媒材料を付着すれば、 容器 6内の導電性粉体 1は、 そ の表面のみならず内部のものも含めて全体にわたって、 均一に前記触媒 材料を付着することができる。
こうした効果を得る上で、 略渦巻状、 略同心円状又は略折返し状のパ ターンに形成された前記部品は直径 1〜 1 0 mmの金属製ワイヤーであ り、 略渦巻状、 略同心円状又は略折返し状のパターンに形成された前記 部品の外径が前記容器の内径より約 5 mm小さく、 またパターンのピッ チが 5〜 1 5 mmであることが好ましい。 これらの値を外れた条件の場 合、 前記導電性粉体の混合が不十分となり易く、 また前記触媒材料の付 着効率が低下し易い。
また、 上記したポールを用いた場合と同様の理由から、 前記導電性粉 体がなす層厚に対し、 前記振動増幅手段としての、 略平面状でありかつ 略渦巻状、 略同心円状又は略折返し状のパターンをなすよう【こ形成され た前記部品の厚みが 1 0〜 7 0 %であることが好ましい。
導電性粉体 1の電気抵抗は 1 0— 3 Ω · m以下であることが好ましく、 力一ボン、 I T O ( I nd i um t in ox i de：インジウム酸化物にスズをドー プした導電性酸化物） 及び S n 02のうちの少なくとも 1種を用いるこ とが好ましい。
導電性粉体 1としてカー ンを用いるとき、 このカーボンの比表面積 を 3 0 0 m2 / g以上とすることが好ましく、 3 0 0 mz Z g未満の場合 、 導電性触媒粒子としての特性が低下することがある。
また、 本発明に基づく第 1又は第 2の導電性触媒粒子を用いて、 本発 明に基づ.く第 1又は第 2のガス拡散性触媒電極を作製した場合、 ガス透 過性が重要な性能となるが、 導電性粉体 1としてカーボンを用いるとき 、 この力一ボンの吸油量を 2 0 0 m 1 / 1 0 0 g以上とすることで、 良 好なガス透過性を得ることができる。
本発明に基づく第 1又は第 2の導電性触媒粒子は、 それ自体でもプレ ス加工等により触媒層を形成できるが、 樹脂によって結着して成膜する と、 前記導電性触媒粉体を多孔性のガス拡散性集電体上に十分な強度で 保持できるので、 本発明に基づく第 1又は第 2のガス拡散性触媒電極の 製造上、 より好ましい。
本発明に基づく第 1又は第 2のガス拡散性触媒電極は、 上述したよう に、 実質的に、 本発明に基づく第 1又は第 2の導電性触媒粒子のみから なるか、 或いは本発明に基づく第 1又は第 2の導電性触媒粒子の他に、 この粒子を結着するための樹脂等の他成分を含有していてもよい。 後者 の場合、 前記他成分としては、 結着性及び排水性の点で撥水性樹脂 （例 えばフッ素系） を、 ガス透過性の点で造孔剤 （例えば C a C〇3 ) を、 及びプロトン等の移動性の点でイオン伝導体等を用いるのがよい。 さら に、 本発明に基づく第 1又は第 2の導電性触媒粒子を多孔性のガス拡散 性集電体 （例えばカーボンシート） 上に保持させることが好ましい。 本発明に基づく第 1又は第 2のガス拡散性触媒電極は、 燃料電池又は 水素製造装置として構成されている電気化学デバイスに適用することが できる。
例えば、 第 1極と、 第 2極と、 これらの両極間に挾持されたイオン伝 導体とからなる基本的構造体において、 前記第 1極及び第 2極のうち少 なくとも前記第 1極に本発明に基づく第 1又は第 2のガス拡散性触媒電 極を適用することができる。
さらに具体的にいうと、 第 1極及び第 2極のうちの少なくとも一方が 、 ガス電極である電気化学デバイスなどに対し、 本発明に基づく第 1又 は第 2のガス拡散性触媒電極を好ましく適用することが可能である。 第 1 0図は、 例えば、 本発明に基づく第 1のガス拡散性触媒電極を用 いた具体例の燃料電池を示す。 ここで、 第 1 0図中の触媒層 1 8は、 導 電性粉体 （例えばカーボン粉体） の表面に、 前記貴金属材料 （例えば P t ) と前記添加材料 （例えば B ) との合金からなる前記触媒材料が付着 している本発明に基づく第 1の導電性触媒粒子の他、 場合によっては、 イオン伝導体、 撥水性樹脂 （例えばフッ素系） 及び造孔剤 （C a C〇3 ) との混合物からなる混合層であり、 本発明に基づく第 1のガス拡散性 触媒電極は、 触媒層 1 8と、 多孔性のガス拡散性集電体としての例えば カーボンシート 1 9とからなる多孔性のガス拡散性触媒電極である。 但 し、 狭義には、 触媒層 1 8のみをガス拡散性触媒電極と称してもよい。 また、 本発明に基づく第 1のガス拡散性触媒電極を用いた第 1極と、 第 2極との間には、 イオン伝導部 2 0が挟着されている。
この燃料電池は、 互いに対向する、 端子 2 1付きの、 本発明に基づく 第 1のガス拡散性触媒電極を用いた負極 （燃料極又は水素極） 2 2、 及 び端子 2 3付きの、 本発明に基づく第 1のガス拡散性触媒電極 （伹し、 これは必ずしも正極に用いる必要はない。 ） を用いた正極 （酸素極） 2 4.を有レ、 これらの両極間にイオン伝導部 2 0が挟着されている。 使用 時には、 負極 2 2側では H 2流路 2 5中に水素が通される。 燃料 （H 2 ) が流路 2 5を'通過する間に水素イオンを発生し、 この水素イオンは負極 2 2で発生した水素イオン及びイオン伝導部 2 0で発生した水素イオン と共に正極 2 4側へ移動し、 そこで 02流路 2 6を通る酸素 （空気） と 反応し、 これにより所望の起電力が取り出される。
かかる燃料電池は、 本発明に基づく第 1のガス拡散性触媒電極が前記 第 1極及び第 2極を構成しているので、 シンタリングが発生し難く、 良 好な触媒作用を有しており、 また前記触媒材料とガス （H 2 ) との接触 面積が十分に確保されるので、 反応に寄与する前記触媒材料の比表面積 が大きくなり、 触媒能も向上して、 良好な出力特性が得られる。 また、 負極 2 2中で水素イオンが解離し、 またイオン伝導部 2 0で水素イオン が解離しつつ、 負極 22側から供給される水素イオンが正極 24側へ移 動するので、 水素イオンの伝導率が高い特徴がある。
• 第 1 1図には、 上記第 1極及び前記第 2極に、 例えば本発明に基づく 第 1のガス拡散性触媒電極を用いた具体例の水素製造装置を示す。
ここで、 各電極における反応を以下に示す。
正極 ： H20→2H++ lZ202+ 2 e_
負極： 2 H+ + 2 e →H2†
必要な理論電圧は、 1. 2 3 V以上となる。
第 1 1図中の触媒層 1 8 ' は、 前記導電性粉体 （例えばカーボン粉体 ) の表面に、 前記貴金属材料 （例えば P t ) と前記添加材料 （例えば B ) との合金からなる前記触媒材料が膜状に付着している本発明に基づく 第 1の導電性触媒粒子の他、 場合によっては、 イオン伝導体、 撥水性樹 脂 （例えばフッ素系） 及び造孔剤 （C a C03等） との混合物からなる 混合層であり、 本発明に基づく第 1のガス拡散性触媒電極は、 触媒層 1 8 ' と、 多孔性のガス拡散性集電体としての例えばカーボンシート 1 9 ' とからなる多孔性のガス拡散性触媒電極である。 また、 本発明に基づ く第 1のガス拡散性触媒電極を用いた第 1極と、 第 3極との間には、 ィ オン伝導部 2 0 ' が挟着されている。
この水素製造装置は、 使用時には、 正極 24 ' 側では水蒸気又は水蒸 気含有大気が供給され、 この水蒸気又は水蒸気含有大気は正極 24 ' 側 にて分解され、 電子及びプロトン （水素イオン） を発生し、 この発生し た電子及びプロトンが負極 22 ' 側へ移動し、 この負極 22 ' 側にて水 素ガスへと転化し、 これにより所望の水素ガスが生成される。
かかる水素製造装置は、 本発明に基づく第 1のガス拡散性触媒電極が 前記第 1極及び第 2極のうち少なくとも前記第 1極を構成しているので 、 シン夕リングが発生し難く、 上記した負極 2 2 ' における水素の生成 に必要なプロトン及び電子が電極内を円滑に移動することができる。 本発明に基づく第 1又は第 2のガス拡散性触媒電極中に、 或いは前記 電気化学デバイスを構成する前記第 1極と、 第 2極との両極間に挟持さ れた前記イオン伝導部に、 使用可能な前記イオン伝導体としては、 一般 的なナフイオン （デュポン社製のパ一フルォロスルホン酸樹脂） のほか にもフラレノール （ポリ水酸化フラーレン） 等のフラーレン誘導体が挙 げられる。
第 1 2 A図乃至第 1 2 B図に示す如く、 フラーレン分子に複数の水酸 基を付加レた構造を持つフラレノール （Pullerenol) は、 1 9 9 2年に Chiangらによって最初に合成例が報告された （Chiang, L.Y.； Swirczewsk i, J. .； Hsu, C. S.； Chowdhury, S. K.； Cameron, S.； Creegan, K. , J. Chem. Soc, Chem. Commun.1992, 1791) 。
本出願人は、 そうしたフラレノールを第 1 3 A図に概略図示するよう に凝集体とし、 近接し合ったフラレノール分子 （図中、 〇はフラーレン 分子を示す。 ） の水酸基同士に相互作用が生じるようにしたところ、 こ の凝集体はマクロな集合体として高いプロトン伝導特性 （換言すれば、 フラレノ一ル分子のフヱノ一ル性水酸基からの H+の解離性） を発揮す ることを初めて知見することができた。
また、 上記フラレノール以外に、 例えば、 複数の〇S〇3H基をもつ フラーレンの凝集体を前記イオン伝導体として用いることもできる。 0 H基が〇 S 03H基と置き換わった第 1 3 B図に示すような硫酸水素ェ ステル化フラレノールは、 やはり Chiangらによって 1 9 94年に報告さ れている（Chiang. L.Y. ;Wang, L.Y.； Swirczewski, J.W.； Soled, S.； Came ron， S. , J. Org. Chem.1994, 59, 3960)。 硫酸水素エステル化されたフラ一 レンには、 ひとつの分子内に 0 S 03H基のみを含むものもあるし、 或 いはこの基と水酸基をそれぞれ複数、 持たせることも可能である。 上述したフラレノール及び硫酸水素エステル化フラレノールを多数凝 集させた時、 それがバルクとして示すプロトン伝導性は、 分子内に元々 含まれる大量の水酸基や 0 S〇3 H基に由来するプロトンが移動に直接 関わるため、 雰囲気から水蒸気分子などを起源とする水素、 プロトンを 取り込む必要はなく、 また、 外部からの水分の補給、 とりわけ外気より 水分等を吸収する必要もなく、 雰囲気に対する制約はない。 従って、 乾 燥雰囲気下においても、 継続的に使用することができる。 .
また、 これらの分子の基体となっているフラーレンは特に求電子性の 性質を持ち、 このことが酸性度の高い O S 03 H基のみならず、 水酸基 等においても水素イオンの電離の促進に大きく寄与していると考えられ 、 優れたプロトン伝導性を示す。 また、 一つのフラーレン分子中にかな り多くの水酸基及び O S 03 H基等を導入することができるため、 伝導 に関与するプロトンの、 伝導体の単位体積あたりの数密度が非常に多く なるので、 実効的な伝導率を発現する。
上記フラレノール及び硫酸水素エステル化フラレノールは、 その殆ど が、 フラーレンの炭素原子で構成されているため、 重量が軽く、 変質も し難く、 また汚染物質も含まれていない。 フラーレンの製造コストも急 激に低下しつつある。 資源的、 環境的、 経済的にみて、 フラーレンは他 のどの材料にもまして、 理想に近い炭素系材料であると考えられる。 さらに、 フラーレン分子に、 例えば上記 _〇H、 - O S 03 H以外に — C O O H、 一 S〇3 H、 一 O P〇 ( O H) 2のいずれかを有するもので も使用可能である。
上記フラレノール等を合成するには、 フラーレン分子の粉末に対し、 例えば酸処理や加水分解等の公知の処理を適宜組み合わせて施すことに より、 フラーレン分子の構成炭素原子に所望の基を導入することができ る。
ここで、 上記イオン伝導部を構成する前記イオン伝導体として、 上記 フラーレン誘導体を用いた場合、 このイオン伝導体が実質的にフラーレ ン誘導体のみからなるか、 或いは結合剤によって結着されていることが 好ましい。
なお、 上記フラーレン誘導体を加圧成形して得られる膜状の上記フラ 一レン誘導体のみからなる、 上記第 1極と、 第 2極とに挟持されたィォ ン伝導体に代わり、 結合剤によって結着されているフラーレン誘導体を イオン伝導部 2 0、 2 0 ' に用いてもよい。 この場合、 結合剤によって 結着されることによって、 強度の十分なイオン伝導部を形成できる。
ここで、 上記結合剤として使用可能な高分子材料としては、 公知の成 膜性を有するポリマーの 1種又は 2種以上が用いられ、 そのイオン伝導 部中の配合量は、 通常、 2 0重量％以下に抑える。 2 0重量％を超える と、 水素ィォンの伝導性を低下させる恐れがあるからである。
このような構成のイオン伝導部も、 上記フラーレン誘導体をイオン伝 導体として含有するので、 上記した実質的にフラ一レン誘導体のみから なるイオン伝導体と同様の水素イオン伝導性を発揮することができる。 しかも、 フラーレン誘導体単独の場合と違って高分子材料に由来する 成膜性が付与されており、 フラーレン誘導体の粉末圧縮成形品に比べ、 強度が大きく、 かつガス透過防止能を有する柔軟なイオン伝導性薄膜 （ 厚みは通常 3 0 0 以下） として用いることができる。
なお、 上記高分子材料としては、 水素イオンの伝導性をできるだけ阻 害 （フラ一レン誘導体との反応による） せず、 成膜性を有するものなら 、 特に限定はしない。 通常は電子伝導性をもたず、 良好な安定性を有す るものが用いられる。 その具体例を挙げると、 ポリフルォロエチレン、 ポリフッ化ビニリデン、 ポリビニルアルコールなどがあり、 これらは次 に述べる理由からも、 好ましい高分子材料である。
まず、 ポリフルォロエチレンが好ましいのは、 他の高分子材料に比べ 、 少量の配合量で強度のより大きな薄膜を容易に成膜できるからである 。 この場合の配合量は、 、 イオン伝導部中、 3重量％以下、 好ましくは 0 . 5〜 1 . 5重量％と少量ですみ、 薄膜の厚みは通常、 l O O ^ mから 1 mまでと薄くできる。
また、 ポリフッ化ビニリデンゃポリビニルアルコールが好ましいのは 、 より優れたガス透過防止能を有するイオン伝導性薄膜が得られるから である。 この場合の配合量は、 イオン伝導部中、 5〜 1 5重量％の範囲 とするのがよい。
ポリフルォロエチレンにせよ、 ポリフッ化ビニリデンゃポリビエルァ ルコールにせよ、 それらの配合量が上述したそれぞれの範囲の下限値を 下回ると、 成膜に悪影響を及ぼすことがある。
本実施の形態の各フラーレン誘導体が結合剤によって結着されてなる イオン伝導部の薄膜を得るには、 加圧成形や押出し成形を始め、 公知の 成膜法を用いればよい。
実施例
以下、 実施例に基づいて本発明を具体的に説明する。 なお、 実施例 1 〜実施例 5は、 本発明に基づく第 1の発明を具体的に説明するものであ り、 また実施例 6〜実施例 1 2は、 本発明に基づく第 2の発明を具体的 に説明するものである。
実施例 1
第 1 A図に示した装置を用いて、 スパッタターゲット、 振動子及び容 器を配置し、 前記容器中には、 導電性粉体及びポールを配置した。 前記 スパッタターゲットは、 第 1 B図に示すような、 粒径 1 0 O mmの P t に対して B (ホウ素） をスパッ夕後に下記表 1に示す各添加量となるよ うに導入したものを用いた。 前記ポールは直径 3 mmのステンレス製の ポールを、 前記導電性粉体は表面積 800 m2/g、 吸油量 360m l Z100 gのカーボン粉体を用いた。 そして、 前記振動子を用いて、 振 動 ±lmm、 振動の周波数 36 H zの振動を発生させながら、 スパッタ を行つに。
上記した条件のもと、 容器内に力一ポシ粉体 1 g及びステンレス製の ポール 35 gを投入して、 ガスは Ar (I P a) を導入し、 ターゲット に 400 の を印加し、 カーボン粉体及びボールに対し振動子によ り振動を加えながら、 スパッ夕を 30分間行ったところ、 カーボン粉体 は重量 1. 66 gに増加しており、 0. 66 gの P t ZBの合金からな る前記触媒材料がカーボン上に付着した。 これは 40 w t %P t担持力 —ボンの重量比に相当する。
次いで、 カーボンシ一ト上に、 テフロンバインダーと力一ボン （白金 を付着していないもの） を混練してなる溶剤を、 乾燥後 20 mとなる ように塗布し、 これを染み込み防止層とした。
また、 上記の方法によって得られた、 P t ZB合金を担持した各カー ボン粉体を、 バインダ一としてのパーフルォロスルホン酸及び有機溶媒 としての nPA (ノルマルプロピルアルコール） と共に混練し、 この混 合液を、 カーボンシート上に塗布形成した染み込み防止層上に、 乾燥後 の塗布厚が 10 mとなるように塗布乾燥させ、 各ガス拡散性触媒電極 を得た。 これらのガス拡散性触媒電極をイオン交換膜 （パーフルォロス ルホン酸） の両面側に配置し、 第 10図に示すような燃料電池を作製し 、 初期出力及び 200時間運転後の出力を測定した。 B添加量のそれぞ れ異なる各ガス拡散性触媒電極を用いた、 各々の燃料電池の出力測定の 結果を下記表 1、 第 14図に併せて示す。.なお、 Bを添加しなかったガ ス拡散性触媒電極を用いた燃料電池の初期出力 (単位 mW/cm2) を 相対値で 1 0 0 %とし、 これを基準値とした
表 1
添加 泰 添加暈 (at%) 初期出力 (¾) 200時間運転後出力
Β 0 100 75
1 100 80
R * υ 100 82
R ? η 105 u 95
R 2 B 107 107
o 108 u
R JJ 5 u 110 no
10 1 15 1 15
R 20 120 u 120
B 30 130 130
B 40 130 130
B 50 130 130
B 60 120 120
B 65 115 115
B 70 110 110
B 75 95 95
B 80 80 80 以上より明らかなように、 前記貴金属材料としての P tと前記添加材 料としての Bは非固溶系であり、 化学的手法の加熱により合金化するこ とはできないのに対し、 スパッ夕法等の前記物理蒸着法によって、 合金 化することができた。 また、 本発明に基づく第 1のガス拡散性触媒電極 は、 前記導電性粉体の表面に、 前記貴金属材料としての P tと、 前記添 加材料としての Bとの合金からなる前記触媒材料をスパッ夕により付着 してなる本発明に基づく第 1の導電性触媒粒子を含有しているので、 前 記触媒材料中の P t結晶格子の内部自己拡散が防止され、 シン夕リング が発生し難く、 P tのみの場合と比較して、 優れた触媒活性を有してお り、 出力特性に優れていた。
また、 前記導電性粉体としての力一ボン粉体と、 前記振動増幅手段と してのポールを前記振動面上に配置し、 これらを振動させながら、 前記 力一ボン粉体の表面に前記触媒材料を付着させたので、 前記力一ボン粉 体は、 より振動され、 前記振動面上の一箇所に留まることがなくなった 。 従って、 前記容器中に配置された前記カーボン粉体の全体に対して、 均一に前記触媒材料を付着させることができた。
さらに、 表 1及び第 1 4図より明らかなように、 前記添加材料として の Bの添加量を 2〜7 O m o 1 %又は a t %と特定の範囲とすることで 、 より効果的なシン夕リング防止効果が得られ、 かつより良好な触媒活 性を有することができ、 長時間にわたり高い出力を維持することが可能 となった。
実施例 2
前記添加材料としての Bに代わり、 S i〇2を用いかつ下記表 2に示 す如く S i 02の添加量を変化させたこと以外は、 実施例 1と同様にし て、 第 1 0図に示すような燃料電池をそれぞれ作製した。 各燃料電池の 初期出力及び 2 0 0時間運転後の出力を測定した結果を、 下記表 2、 第 1 5図に併せて示す。 なお、 S i 02を添加しなかったガス拡散性触媒 電極を用いた燃料電池の初期出力 （単位 mW/cm2) を相対値で 1 0 0 %とし、 これを基準値とした。
表 2
Figure imgf000035_0001
以上より明らかなように、 前記貴金属材料としての P tと前記添加材 料としての S i 〇，は非固溶系であり、 化学的手法の加熱により合金化 することはできないのに対し、 スパッタ法等の前記物理蒸着法によって のみ、 合金化することができた。 また、 本発明に基づく第 1のガス拡散 性触媒電極は、 前記導電性粉体の表面に、 前記貴金属材料としての P t と、 前記添加材料としての S i 02との合金からなる前記触媒材料をス パッ夕により付着してなる本発明に基づく第 1の導電性触媒粒子を含有 しているので、 前記触媒材料中の P t結晶格子の内部自己拡散が防止さ れ、 シン夕リングが発生し難く、 P tのみの場合と比較して、 優れた触 媒活性を有しており、 出力特性に優れていた。
また、 前記導電性粉体としての力一ボン粉体と、 前記振動増幅手段と してのポールを前記振動面上に配置し、 これらを振動させながら、 前記 力一ボン粉体の表面に前記触媒材料を付着させたので、 前記カーボン粉 体は、 より振動され、 前記振動面上の一箇所に留まることがなくなった 。 従って、 前記容器中に配置された前記カーボン粉体の全体に対して、 均一に前記触媒材料を付着させることができた。
表 2及び第 1 5図より明らかなように、 前記添加材料としての S i 0 2の添加量を 2〜 7 O m o 1 %又は a t %と特定の範囲とすることで、 より効果的なシンタリング防止効果が得られ、 かつより良好な触媒活性 を有することができ、 長時間にわたり高い出力を維持することが可能と なった。
また、 前記添加材料として S i 02の代わりに S i Oを用いても、 S i 02を用いた場合と全く同様の効果が観察された。 また S i o 2の一部 を Bで置き換えた場合にも全く同様の効果が得られた。
実施例 3
前記添加材料としての Bに代わり、 G a 2〇3を用いかつ下記表 3に示 す如く G a 2 03の添加量を変化させたこと以外は、 実施例 1と同様にし て、 第 1 0図に示すような燃料電池をそれぞれ作製した。 各燃料電池の 初期出力及び 2 00時間運転後の出力を測定した結果を、 下記表 3、 第 1 6図に併せて示す。 なお、 G a2〇3を添加しなかったガス拡散性触媒 電極を用いた燃料電池の初期出力 （単位 mW/cm2) を相対値で 1 0 0 %とし、 これを基準値とした。
表 3
Figure imgf000037_0001
実施例 4 前記添加材料としての Bに代わり、 V205を用いかつ下記表 4に示す 如く V205の添加量を変化させたこと以外は、 実施例 1と同様にして、 第 10図に示すような燃料電池をそれぞれ作製した。 各燃料電池の初期 出力及び 200時間運転後の出力を測定した結果を、 下記表 4、 第 17 図に併せて示す。 なお、 V205を添加しなかったガス拡散性触媒電極を 用いた燃料電池の初期出力 （単位 mW/cm2) を相対値で 100%と し、 これを基準値とした。
表 4
添加元素 添加量（mol¾) 初期出力（¾) 200時間運転後出力
V205 ' lmol% 100 82
v2o5 1.5 100 85
VA 2.0 100 95
v2o5 2.5 100 98
v2o5 3 100 100
v2o5 5 100 100
VA 10 100 100
v2o5 20 100 100
VA 30 100 100
VA 40 100 100
v2o5 50 100 100
v2o5 60 100 100
vzo5 65 110 110
VA 70 110 110
v2o5 75 95 95
v2o5 80 80 80 実施例 5
前記添加材料としての Bに代わり、 W03を用いかつ下記表 5に示す 如く W03の添加量を変化させたこと以外は、 実施例 1と同様にして、 第 1 0図に示すような燃料電池をそれぞれ作製した。 各燃料電池の初期 出力及び 20 0時間運転後の出力を測定した結果を、 下記表 5、 第 1 8 図に併せて示す。 なお、 wo3を添加しなかったガス拡散性触媒電極を 用いた燃料電池の初期出力 （単位 mW/cm2) を相対値で 1 00 %と し、 これを基準値とした。
表 5
Figure imgf000040_0001
以上より明らかなように、 前記貴金属材料としての P tと前記添加材 料としての G a2〇3 V205又は W03は非固溶系であり、 化学的手法 の加熱により合金化することはできないのに対し、 スパッ夕法等の前記 物理蒸着法によってのみ、 合金化することができた。 また、 本発明に基 づく第 1のガス拡散性触媒電極は、 前記導電性粉体の表面に、 前記貴金 属材料としての P tと、 前記添加材料としての G a 2 03、 V 2 05又は W 03との合金からなる前記触媒材料をスパッ夕により付着してなる本発 明に基づぐ第 1の導電性触媒粒子を含有しているので、 前記触媒材料中 の P t結晶格子の内部自己拡散が防止され、 シン夕リングが発生し難く 、 P tのみの場合と比較して、 優れた触媒活性を有しており、 出力特性 に優れていた。
また、 前記導電性粉体としてのカーボン粉体と、 前記振動増幅手段と してのポールを前記振動面上に配置し、 これらを振動させながら、 前記 カーボン粉体の表面に前記触媒材料を付着させたので、 前記カーボン粉 体は、 より振動され、 前記振動面上の一箇所に留まることがなくなつ'た 。 従って、 前記容器中に配置された前記カーボン粉体の全体に対して、 均一に前記触媒材料を付着させることができた。
表 3、 4又は 5及び第 1 6図、 第 1 7図又は第 1 8図より明らかなよ うに、 前記添加材料としての G a 2〇3、 V 2 05又は W 03の添加量を 2 〜 7 0 m o l %又は a t %と特定の範囲とすることで、 より効果的なシ ンタリング防止効果が得られ、 かつより良好な触媒活性を有することが でき、 長時間にわたり高い出力を維持することが可能となった。
実施例 6
第 3 A図に示した装置を用いて、 スパッ夕ターゲット、 振動子及び容 器を配置し、 前記容器中には、 導電性粉体及び前記振動増幅手段として のポールを配置した。 前記スパッ夕ターゲットは、 第 3 B図に示すよう な、 前記 M lとしての粒径 1 0 O mmの P tに対して下記表 6に示す前 記 M i lとしての各添加元素を 3 a t %導入したものを用いた。 前記ポー ルは直径 3 mmのステンレス製のポールを、 前記導電性粉体は表面積 8 0 0 m2 Z g、 吸油量 3 6 0 m 1 / 1 0 0 gのカーボン粉体を用いた。 そして、 前記振動子を用いて、 振動 ± lmm、 振動の周波数は数 3 6 H zの振動を発生させながら、 スパッタを行った。
上記した条件のもと、 容器内にカーボン粉体 1 g及びステンレス製の ポール 3 5 gを投入して、 ガスは A r ( I P a) を導入し、 ターゲット に 4 0 0 Wの R Fを印加し、 力一ボン粉体及びポールに対し振動子によ り振動を加えながら、 スパッ夕を 3 0分間行ったところ、 力一ボン粉体 は重量 1. 6 6 gに増加しており、 0. 6 6 gの P t Z各添加元素 （前 記 Mil) の合金からなる前記触媒材料がカーボン上に付着した。 これは 40 w t %P t担持カーボンの重量比に相当する。
次いで、 力一ボンシート上に、 テフロンバインダーとカーボン (白金 を付着していないもの） を混練してなる溶剤を、 乾燥後 2 0 となる ように塗布し、 これを染み込み防止層とした。
また、 上記の方法によって得られた、 P t Z添加元素 （前記 Mil) 合 金を担持した各カーボン粉体を、 バインダ一としてのパーフルォロスル ホン酸及び有機溶媒としての n P A (ノルマルプロピルアルコール） と 共に混練し、 この混合液を、 カーボンシート上に塗布形成した染み込み 防止層上に、 乾燥後の塗布厚が 2 0 mとなるように塗布乾燥させ、 各 ガス拡散性触媒電極を得た。 これらのガス拡散性触媒電極をイオン交換 膜 （パ一フルォロスルホン酸） の両面側に配置し、 第 1 0図に示すよう な燃料電池を作製し、 初期出力及び 2 0 0時間運転後の出力を測定した 。 その測定結果を下記表 6に併せて示す。 なお、 前記 Milとしての添加 元素を添加しなかったガス拡散性触媒電極を用いた燃料電池の初期出力 (単位 mWZcm2) を相対値で 1 0 0 %とし、 これを基準値とした。 実施例 Ί
前記振動増幅手段としてのポールを用いなかったこと以外は、 実施例 6と同様にして、 ターゲットとして、 第 3 B図に示すような、 前記 Ml としての粒径 100mmの P tに対して下記表 7に示す前記 ΜΠとして の各添加元素を 3 a t %導入したものを用いスパッタを行い、 各ガス拡 散性触媒電極を作製した。 これらのガス拡散性触媒電極をイオン交換膜 の両面側に配置し、 第 10図に示すような燃料電池を作製し、 初期出力 及び 200時間運転後の出力を測定した。 その測定結果を下記表 7に併 せて示す。 なお、 実施例 6における、 前記 Milとしての添加元素を添加 しなかったガス拡散性触媒電極を用いた燃料電池の初期出力 （単位 mW /cm2) を相対値で 100%とし、 これを基準値とした。
実施例 8
前記振動増幅手段としてのポールを用いず、 また振動させなかったこ と以外は、 実施例 6と同様にして、 ターゲットとして、 第 3B図に示す ような、 前記 Mlとしての粒径 100 mmの P tに対して下記表 8に示 す前記 Milとしての各添加元素を 3 a t %導入したものを用いスパッ夕 を行い、 各ガス拡散性触媒電極を作製した。 これらのガス拡散性触媒電 極をイオン交換膜の両面側に配置し、 第 10図に示すような燃料電池を 作製し、 初期出力及び 200時間運転後の ffi力を測定した。 その測定結 果を下記表 8に併せて示す。 なお、 実施例 1における、 前記 ΜΠとして の添加元素を添加しなかったガス拡散性触媒電極を用いた燃料電池の初 期出力 （単位 mWZcm2) を相対値で 100%とし、 これを基準値と した。 表 6 (ポール有り +振動有り）
添加量 (at¾) ネ刀期出为 (%) 200日き間運転後出力（％)
0 100 75
Fe 3 1 no 100
Co 3 inn 100
Mil' Ni 3 1 no 100
Cr 3 1 nn 100
Al 3 100 100
Mil" Hf 3 1 nn 100 表 7 (ポールなし +振動有り）
添カロ元素 添加量（at%) 初期出力（％) 200時間運転後出力（« 実施例 1 無し 0 100 75
Fe 3 60 60
Co 3 60 60
Mil' Ni 3 60 60
Cr 3 60 60
Al 3 60 60
Mil" Hf 3 60 60 表 8 (ポールなし +振動なし）
Figure imgf000045_0001
以上より明らかなように、 前記 M Iとしての P tと前記 M i lとしての 各添加元素は、 スパッ夕法等の前記物理蒸着法によって、 合金化するこ とができた。 また、 本発明に基づく第 2のガス拡散性触媒電極は、 前記 導電性粉体の表面に、 前記 M lとしての P tと、 前記 M i lとしての各添 加元素との合金からなる前記触媒材料をスパッタ より付着してなる本 発明に基づく第 2の導電性触媒粒子を含有しているので、 前記触媒材料 中の P t結晶格子の内部自己拡散が防止され、 シン夕リングが発生し難 く、 P tのみの場合と比較して、 より長時間にわたり良好な出力を維持 することができた。
また、 前記導電性粉体としてのカーボン粉体を振動させながら、 前記 カーボン粉体の表面に前記触媒材料を付着させれば、 振動させずに付着 させた場合と比べ、 前記カーボン粉体に対してより均一に前記触媒材料 を付着することができ、 より出力が向上した。
さらに、 前記導電性粉体としての力一ボン粉体と、 前記振動増幅手段 としてのポールを前記振動面上に配置し、 これらを振動させながら、 前 記カーボン粉体の表面に前記触媒材料を付着させれば、 前記ポールを加 えずに振動させた場合と比べ、 前記カーボン粉体は、 より一層振動され 、 前記振動面上の一箇所に留まることがなくなった。 従って、 前記容器 中に配置された前記カーボン粉体の全体に対して、 より一層均一に前記 触媒材料を付着させることができ、 より一層出力が向上した。
ここで、 前記 Milは、 表 6、 表 7及び表 8に示す各添加元素の他に、 F e、 C o、 N i、 C r、 A l、 Cu、 H f 、 Z r、 T i、 V、 Nb、 T a、 W、 G a、 S n、 G e、 S i、 R e、 O s、 P b、 B i、 S b、 Mo、 Mn、 0、 N、 F、 C、 Z n、 I n及び希土類元素から選ばれた 少なくとも 1種を導入した場合も、 上述したと同様の効果が得られた。 実施例 9
下記表 9に示すように、 前記 Milとしての添加元素の種類及びその添 加量を変化させたこと以外は、 実施例 6と同様にして、 第 1 0図に示す ような燃料電池をそれぞれ作製した。 各燃料電池の初期出力及び 2 0 0 時間運転後の出力を測定した結果を下記表 9及び第 1 9図に併せて示す 。 なお、 前記 Milとしての添加元素を添加しなかったガス拡散性触媒電 極を用いた燃料電池の初期出力 （単位 mW/cm2) を相対値で 1 0 0 %とし、 これを基準値とした。
添カロ元素 添加量（at 初期出力 (%) 200時間運転後出力（％) 無し 0 100 75
Fe 0. 3 100 75
Fe 0. 4 100 76
Fe 0. 5 100 86
Fe 0. 6 100 89
Fe 0. 7 100 92
Mi l '
Co 0. 3 100 75
Co 0. 4 100 76
Co 0. 5 100 86
Co . 0. 6 100 89
Co 0. 7 100 92
Hf 0. 3 100 80
Hf 0. 4 100 76 ,
Mi l" Hf 0. 5 100 86
Hf 0. 6 100 89
Hf 0. 7 100 92 表 9及び第 1 9図より明らかなように、 前記 M i lとしての各添加元素 の添加量を 0 . 5 a t %以上と特定することで、 より効果的なシンタリ ング防止効果が得られ、 かつより良好な触媒活性を有することができ、 長時間にわたり高い出力を維持することが可能となった。 0 . 5 a t ¾ 未満の場合、 前記 Μ Πの量が少なすぎるためにシン夕リング防止効果が 低減することがあった。
実施例 1 0
前記 Milとして、 前記 ΜΙΓ に属する F eを用いかつ下記表 1 0に示 す如く F eの添加量を変化させたこと以外は、 実施例 6と同様にして、 第 1 0図に示すような燃料電池をそれぞれ作製した。 各燃料電池の初期 出力及び 2 0 0時間運転後の出力を測定した結果を下記表 1 0及び第 2 0図に併せて示す。 なお、 F eを添加しなかったガス拡散性触媒電極を 用いた燃料電池の初期出力 （単位 mWZcm2) を相対値で 1 0 0 %と し、 これを基準値とした。
表 10
Figure imgf000048_0001
表 1 0及び第 2 0図より明らかなように、 前記 Milとして、 前記 ΜΠ ' に属する F eを用いた場合、 その添加量を 6 0 a t %以下と特定する ことで、 より一層の優れたシン夕リング防止効果が得られると共に、 よ り一層の良好な出力が得られた。 60 a t %を超えた場合、 シンタリン グを防止することはできたが、 F eの添加量が多すぎるために出力が低 下することがあつ 。
また、 実施例 10では、 前記 Milとして、 前記 Μ.ΙΓ に属する F eを 使用する例を示したが、 F e、 Co、 N i、 C r、 A l、 Sn、 Cu、 Mo、 W、 0、 N、 F、 Cから選ばれた少なくとも 1種を用いても同様 の結果が得られた。
実施例 1 1
前記 Milとして、 前記 ΜΠ" に属する H f を用いかつ下記表 1 1に示 す如く H f の添加量を変化させたこと以外は、 実施例 6と同様にして、 第 10図に示すような燃料電池をそれぞれ作製した。 各燃料電池の初期 出力及び 200時間運転後の出力を測定した結果を下記表 1 1及び第 2 1図に併せて示す。 なお、 H f を添加しなかったガス拡散性触媒電極を 用いた燃料電池の初期出力 （単位 mWZcm2) を相対値で 100%と し、 これを基準値とした。
表 11
Figure imgf000050_0001
表 1 1及び第 2 1図より明らかなように、 前記 Milとして、 前記 Mil " に属する H f を用いた場合、 その添加量を 2 0 a t %以下と特定する ことで、 より一層の優れたシンタリング防止効果が得られると共に、 良 好な出力が得られた。 2 0 a t %を超えた場合、 シン夕リングを防止す ることはできたが、 H f の添加量が多すぎるために出力が低下すること があった。
また、 実施例 1 1では、 前記 ΜΠとして、 前記 ΜΠ" に属する H f を 使用する例を示したが、 H f Z r T i V Nb T a G a G e S i R e O s P b B i S b Mn及び希土類元素から選 ばれた少なくとも 1種を用いても同様の結果が得られた。
実施例 1 2
前記 Milとして、 前記 ΜΙΓ に属する F eと前記 Mil" に属する H f の混合物を用いかつ下記表 1 2及び下記表 1 3に示す如く各添加元素の 添加量を変化させたこと以外は、 実施例 6と同様にして、 第 1 0図に示 すような燃料電池をそれぞれ作製した。 各燃料電池の初期出力及び 2 0 0時間運転後の出力を測定した結果を； 下記表 1 2及び及び第 2 2図、 下記表 1 3及び第 2 3図に併せて示す。 なお、 前記 ΜΙΓ に属する F e と前記 Mil" に属する H f の混合物を添加しなかったガス拡散性触媒電 極を用いた燃料電池の初期出力 （単位 mW/c m2) を相対値で 1 0 0 %とし、 これを基準値とした。
表 12 b+c≥0.5at%に対して
添加元素とその添加量（a ） 初期出力 «) 200時間運転後出力 ） 無し 100 75
Hf (0.2at%)+Fe(0.2at¾) 100 76
Hf (0.2at%)+Fe(0.3at¾) 100 86
Hf (0.2at%)+Fe(0.4at%) 100 89
Hf (0.2at%)+Fe(0.5at¾) 100 92
表 13 b+c≤60 at%に対して
Figure imgf000052_0001
以上より明らかなように、 前記 ΜΙΓ としての例えば F eと、 前記 M II" としての例えば H f とからなる混合物を前記 M II (F ea-H f „) として用いても、 それぞれの添加元素を単独で用いた場合と同等の優れ たシン夕リング防止効果及び出力が得られ、 前記 ΜΠの添加量を 0. 5 a t %≤b + c≤ 6 0 a t %の範囲と特定することで、 より一層の優れ た触媒能を有し、 より出力が向上し： またシン夕リングの発生をより一 層効果的に防止することができたので、 より長時間にわたり高出力を維 持することができた。 表 1 2及び第 2 2図より明らかなように、 前記 + cの値が 0. 5 a t %未満の場合、 前記 ΜΙΓ 及び前記 ΜΠ" の添加 量が少なすぎるためにシンタリング防止効果が低減することがあった。 また、 表 1 3及び第 2 3図より明らかなように、 6 0 a t %を超える場 合、 前記 ΜΙΓ 及び前記 ΜΠ" の添加量が多すぎるために触媒作用が低 下し易く、 出力が低下することがあった。
以上に説明した実施例は、 本発明の技術的思想に基づいて種々に変形 が可能である。
例えば、 実施例 1〜実施例 5において、 前記貴金属材料として P tを 用いたが、 この他にも I rや Rh等が使用可能であり、 また前記導電性 粉体として前記力一ボン粉体を用いたが、 この他にも前記 I TOや S n 02等も使用可能である。
また、 実施例 6〜実施例 1 2において、 前記 ΜΙΓ は、 上記の各実施 例にて使用した添加元素に限らず、 F e、 C o、 N i、 C r、 A l、 S n、 Cu、 Mo、 W、 0、 N、 F及び Cから選ばれた少なくとも 1種を 用いることができ、 前記 ΜΠ" は、 上記の各実施例にて使用した添加元 素に限らず、 は H f 、 Z r、 T i、 V、 Nb、 T a、 G a、 G e、 S i 、 R e、 O s、 P b、 B i、 S b、 M n及び希土類元素から選ばれた少 なくとも 1種を用いることができる。
また、 前記 Mlとして P tを用いたが、 この他にも I r、 P d、 Rh 、 Au、 Ru等の貴金属元素から選ばれた少なくとも 1種が使用可能で あり、 また前記導電性粉体として前記カーボン粉体を用いたが、 この他 にも前記 I TOや S n02等も使用可能である。
また、 前記振動増幅手段として、 前記ポールを用いたが、 第 7図に示 すような略渦巻状の部品や、 第 8図に示すような略同心円状の部品や、 第 9図に示すような略折返し状の部品を用いてもよく、 いずれも実施例 1〜 1 2と同等の優れた結果が得られた。
さらに、 本発明に基づく第 1又は第 2のガス拡散性触媒電極を用いた 前記燃料電池について説明したが、 前記ガス拡散性触媒電極は、 前記燃 料電池の逆反応である、 前記水素製造装置にも応用できる。
本発明の第 1の発明によれば、 前記貴金属材料と、 前記貴金属材料に 対して熱的に非固溶系の前記添加材料とを前記物理蒸着法によって前記 導電性粉体の表面に同時に付着きせるので、 本来ならば、 前記貴金属材 料とは加熱によっても合金を作らないような非固溶系の前記添加材料を 、 前記貴金属材料の結晶格子中へ強制的に導入することができ、 前記導 電性粉体の表面に、 前記貴金属材料と前記添加材料との合金からなる前 記触媒材料が付着してなる導電性触媒粒子を得ることができる。 この導 電性触媒粒子は、 前記触媒材料中に前記添加材料を含有しているので、 前記触媒材料中の前記貴金属材料の結晶格子の内部自己拡散が防止され 、 既述した如きシンタリングが発生し難い。 なお、 従来技術による化学 的な付着方法では、 非固溶系の前記添加材料は、 前記貴金属材料中には 導入することはできず、 前記合金を得ることはできない。
また、 前記貴金属材料と、 前 Ϊ3貴金属材料に対して熱的に非固溶系の 前記添加材料とを前記物理蒸着法によって前記導電性粉体の表面に同時 に付着させるので、 付着時の前記貴金属材料の粒径の成長が抑制され、 優れた触媒活性を有する。
さらに、 前記導電性粉体の表面に、 前記物理蒸着法によって、 前記触 媒材料を付着させるので、 低温で、 結晶性の良好な触媒材料を前記導電 性粉体の表面に付着することができ、 得られる本発明の第 1の導電性触 媒粒子は、 より少ない量の前記触媒材料で良好な触媒作用を得ることが でき、 また前記触媒材料とガスとの接触面積が十分に確保されるので、 反応に寄与する前記触媒材料の比表面積が大きくなり、 触媒能も向上す る。
本発明の第 2の発明によれば、 前記 M lと、 前記 M i lとを前記物理蒸 着法によって前記導電性粉体の表面に同時に付着させるので、 前記 M l の結晶格子中へ前記 Μ Πを強制的に導入することができ、 前記導電性粉 体の表面に、 前記 M lと前記 Μ Πとの合金からなる前記触媒材料が付着 してなる導電性触媒粒子を得ることができる。 この導電性触媒粒子は、 前記触媒材料中に前記 M I Iを含有しているので、 前.記触媒材料中の前記 M lの転移の動きが阻害され、 結晶格子の内部自己拡散が防止され、 既 述した如きシン夕リングの発生を防止することができる。
また、 前記導電性粉体の表面に、 前記物理蒸着法によって、 前記触媒 材料を付着させるので、 低温で、 結晶性の良好な触媒材料を前記導電性 粉体の表面に付着することができ、 られる本発明の第 2の導電性触媒 粒子は、 より少ない量の前記触媒材料で良好な触媒作用を得ることがで き、 また前記触媒材料とガスとの接触面積が十分に確保されるので、 反 応に寄与する前記触媒材料の比表面積が大きくなり、 触媒能も向上する 本発明の第 1のガス拡散性電極又は第 2のガス拡散性電極が、 前記電 極のうちの少なくとも 1つを構成している電気化学デバイスによれば、 シンタリングの発生を防止することができ、 良好な出力特性が得られ、 この出力特性を長時間にわたり維持することができる。

Claims

請求の範囲
1 . 導電性粉体の表面に、 貴金属材料と、 前記貴金属材料に対して熱 -的に非固溶系の添加材料との合金からなる触媒材料が付着している、 導 電性触媒粒子。
2 . 前記貴金属材料と前記添加材料との合金が物理蒸着法により前記 触媒材料として付着される、 請求の範囲第 1項に記載した導電性触媒粒 子。
3 . 前記非固溶系の添加材料がセラミックスである、 請求の範囲第 1 項に記載した導電性触媒粒子。
4 . 前記非固溶系の添加材料がホウ素、 酸化シリコン、 酸化ガリウム
、 酸化バナジウム及び酸化タングステンのうちの少なくとも 1種である 、 請求の範囲第 1項に記載した導電性触媒粒子。
5 . 前記非固溶系の添加材料の添加量が、 前記貴金属材料に対して 2 〜 7 O m o 1 %又は a t %である、 請求の範囲第 1項に記載した導電性 触媒粒子。
6 . 前記物理蒸着法が、 前記貴金属材料及び前記添加材料をターゲッ トとするスパッタ法である、 請求の範囲第 2項に記載した導電性触媒粒 子。
7 . 前記物理蒸着法がパルスレーザ一デポジション法である、 請求の 範囲第 2項に記載した導電性触媒粒子。
8 . 前記導電性粉体の表面にイオン伝導体が付着していて、 更にこの イオン伝導体の表面に、 前記触媒材料が付着している、 請求の範囲第 1 項に記載した導電性触媒粒子。
9 . 前記触媒材料の付着量が、 前記導電性粉体に対して 1 0〜 1 0 0 0重量％である、 請求の範囲第 1項に記載した導電性触媒粒子。
1 0. 前記導電性粉体の電気抵抗が 1 0— 3 Ω * m以下である、 請求の 範囲第 1項に記載した導電性触媒粒子。
1 1. 前記導電性粉体がカーボン、 I TO (Indium tin oxide :イン ジゥム酸化物にスズをドープした導電性酸化物） 及び S n〇2のうちの 少なくとも 1種である、 請求の範囲第 1項に記載した導電性触媒粒子。
1 2. 前記導電性粉体が、 比表面積が 3 0 0 m2Zg以上のカーボンで ある、 請求の範囲第 1項に記載した導電性触媒粒子。
1 3. 前記導電性粉体が、 吸油量が 2 0 0 m 1 / 1 00 g以上の力一 ボンである、 請求の範囲第 1項に記載した導電性触媒粒子。
14. 導電性粉体の表面に、 Ml (但し、 M P t、 I r、 P d、 R h、 Au、 Ru等の貴金属元素から選ばれた少なくとも 1種である。 ） と、 Mil (但し、 ΜΠは F e、 C o、 N i、 C r、 A l、 C u、 H f 、 Z r、 T i、 V、 Nb、 T a、 W、 G a、 S n、 G e、 S i、 R e、 O s、 P b、 B i、 S b、 Mo、 Mn、 0、 N、 F、 C、 Z n、 I n及び 希土類元素から選ばれた少なくとも 1種である。 ） との合金からなる触 媒材料が付着している、 導電性触媒粒子。
1 5. 前記触媒材料が、 Ml— ΜΙΓ -Mil" 合金 （但し、 Mlは P t 、 I r、 P d、 Rh、 Au、 R u等の貴金属元素から選ばれた少なくと も 1種である。 ΜΙΓ は F e、 C o、 N i、 C r、 A l、 S n、 C u、 Mo、 W、 0、 N、 F及び Cから選ばれた少なくとも 1種である。 ΜΠ " は H f 、 Z r、 T i、 V、 Nb、 T a、 G a、 G e、 S i、 R e、 〇 s、 P b、 B i、 S b、 Mn及び希土類元素から選ばれた少なくとも 1 種である。 ） からなり、 その組成が MIa— ΜΙΓ b— Mil" eのとき、 a + b + c = 1 0 0 a t %、 0. 5 a t %≤b + c≤ 6 0 a t , b≤ 6 0 a t %、 c≤ 2 0 a t %である、 請求の範囲第 1 4項に記載した導電 性触媒粒子。
1 6. 前記触媒材料が物理蒸着法により付着している、 請求の範囲第 14項に記載した導電性触媒粒子。
1 7. 前記物理蒸着法が、 前記 Ml及び前記 Milをターゲットとするス パッ夕法である、 請求の範囲第 1 6項に記載した導電性触媒粒子。
1 8. 前記物理蒸着法がパルスレーザ一デポジション法である、 請求 の範囲第 1 6項に記載した導電性触媒粒子。
1 9. 前記導電性粉体の表面にイオン伝導体が付着していて、 更にこ のイオン伝導体の表面に、 前記触媒材料が付着している、 請求の範囲第 14項に記載した導電性触媒粒子。 ，
2 0. 前記触媒材料の付着量が、 前記導電性粉体に対して 1 0〜 1 0 0 0重量％である、 請求の範囲第 14項に記載した導電性触媒粒子。
2 1. 前記導電性粉体の電気抵抗が 1 0— 3 Ω · m以下である、 請求の 範囲第 1 4項に記載した導電性触媒粒子。
2 2. 前記導電性粉体が力一ボン、 I TO (Indium tin oxide：イン ジゥム酸化物にスズをド一プした導電性酸化物） 及び S n〇2のうちの 少なくとも 1種である、 請求の範囲第 14項に記載した導電性触媒粒子
2 3. 前記導電性粉体が、 比表面積が 30 0 m2Zg以上のカーボンで ある、 請求の範囲第 14項に記載した導電性触媒粒子。
24. 前記導電性粉体が、 吸油量が 200m 1 / 1 0 0 g以上のカー ボンである、 請求の範囲第 1 4項に記載した導電性触媒粒子。
2 5. 請求の範囲第 1項、 1 4項、 1 5項のいずれか 1項に記載した 導電性触媒粒子を含有する、 ガス拡散性触媒電極。
2 6. 前記導電性触媒粒子が樹脂で結着されている、 請求の範囲第 2 5項に記載したガス拡散性触媒電極。
2 7. 前記導電性触媒粒子が集電体上に付着している、 請求の範囲第 2 5項に記載したガス拡散性触媒電極。
2 8 . 少なくとも 2つの電極と、 これらの電極の間に挟持されたィォ ン伝導体とからなり、 請求の範囲第 2 5項に記載したガス拡散性電極が 、 前記電極のうちの少なくとも 1つを構成している電気化学デバイス。
2 9 . 燃料電池として構成されている、 請求の範囲第 2 8項に記載し た電気化学デバイス。
3 0 . 水素製造装置として構成されている、 請求の範囲第 2 8項に記 載した電気化学デバイス。
3 1 . 貴金属材料と、 前記貴金属材料に対して熱的に非固溶系の添加 材料とを物理蒸着法によって導電性粉体の表面に同時に付着させ、 これ によって前記貴金属材料と前記添加材料との合金からなる触媒材料が付 着してなる導電性触媒粒子を得る、 導電性触媒粒子の製造方法。
3 2 . 前記導電性粉体を振動させながら、 前記貴金属材料と、 前記貴 金属材料に対して熱的に非固溶系の前記添加材料とを前記物理蒸着法に よって、 前記導電性粉体の表面に、 同時に付着させる工程を有する、 請 求の範囲第 3 1項に記載した導電性触媒粒子の製造方法。
3 3 . 前記導電性粉体と、 振動増幅手段とを共に振動させながら、 前 記導電性粉体の表面に、 前記貴金属材料と、 前記添加材料とを前記物理 蒸着法により付着させる、 請求の範囲第 3 2項に記載した導電性触媒粒 子の製造方法。
3 4 . 前記振動増幅手段としてポールを用い、 前記導電性粉体と前記 ポールとを混合させて同一容器内に設置し、 前記振動をかける、 請求の 範囲第 3 3項に記載した導電性触媒粒子の製造方法。
3 5 . 前記ポ一ルを直径 1〜 1 5 mmのセラミックス又は金属製のポ ールとする、 請求の範囲第 3 4項に記載した導電性触媒粒子の製造方法
3 6. 前記振動増幅手段として、 略平面状でありかつ略渦巻状、 略同 心円状又は略折返し状のパターンを'なすように形成された部品を用い、 前記部品を容器に少なくとも一部が非固定状態となるように設置し、 こ の部品上に、 前記導電性粉体を配置し、 前記振動をかける、 請求の範囲 第 3 3項に記載した導電性触媒粒子の製造方法。
3 7. 略渦巻状、 略同心円状又は略折返し状のパターンに形成された 前記部品を直径 1〜 1 0mmの金属製ワイヤーとする、 請求の範囲第 3 6項に記載した導電性触媒粒子の製造方法。
3 8. 略渦巻状、 略同心円状又は略折返し状のパターンに形成された 前記部品の外径を前記容器の内径より約 5 mm小さくし、 パターンのピ ツチを 5〜 1 5 mmとする、 請求の範囲第 3 6項に記載した導電性触媒 粒子の製造方法。
3 9. 前記導電性粉体がなす層厚に対し、 前記振動増幅手段の厚み又 は直径を 1 0〜70 %とする、 請求の範囲第 3 3項に記載した導電性触 媒粒子の製造方法。
40. 前記導電性粉体の分布領域に対する、 前記振動増幅手段の面積 比率を 3 0〜 8 0 %とする、 請求の範囲第 3 3項に記載した導電性触媒 粒子の製造方法。
4 1. 前記振動の周波数を 5〜 2 0 0 H zとする、 請求の範囲第 3 2 項に記載した導電性触媒粒子の製造方法。
42. 前記振動の振幅は 0. 5〜20mmとする、 請求の範囲第 3 2 項-に記載した導電性触媒粒子の製造方法。
4 3. Ml (伹し、 Mlは P t、 I r、 P d、 Rh、 Au、 R u等の貴 金属元素から選ばれた少なくとも 1種である。 ） と、 Mil (Min Fe 、 C o、 N i、 C.r、 A l、 Cu、 H f 、 Z r、 T i、 V、 Nb、 T a 、 W、 G a、 S n、 G e、 S i、 R e、 O s、 P b、 B i、 S b、 Mo 、 Mn、 0、 N、 F、 Cs Z n、 I n及び希土類元素から選ばれた少な くとも 1種である。 ） とを物理蒸着法によって導電性粉体の表面に同時 に付着させ、 これによつて前記 Mlと前記 Milとの合金からなる触媒材 料が付着してなる、 導電性触媒粒子を得る、 導電性触媒粒子の製造方法
44. 前記 Mlと、 前記 ΜΠとを前記導電性粉体の表面に、 前記物理蒸 着法により付 *させる際に、 前記導電性粉体を振動させる、 請求の範囲 第 43項に記載した導電性触媒粒子の製造方法。
45. 前記導電性粉体と、 振動増幅手段とを共に振動させながら、 前 記導電性粉体の表面に、 前記 Mlと、 前記 Milとを前記物理蒸着法によ り付着させる、 請求の範囲第 44項に記載した導電性触媒粒子の製造方 法。
46. 前記振動増幅手段としてポールを用い、 前記導電性粉体と前記 ポールとを混合させて同一容器内に設置し、 前記振動をかける、 請求の 範囲第 45項に記載した導電性触媒粒子の製造方法。
47. 前記ボールを直径 1〜 1 Ommのセラミックス又は金属製のボ ールとする、 請求の範囲第 46項に記載した導電性触媒粒子の製造方法
48. 前記振動増幅手段として、 略平面状でありかつ略渦巻状、 略同 心円状又は略折返し状のパターンをなすように形成された部品を用い、 前記部品を容器に少なくとも一部が非固定状態となるように設置し、 こ の部品上に、 前記導電性粉体を配置し、 前記振動をかける、 請求の範囲 第 4 5項に記載した導電性触媒粒子の製造方法。
49. 略渦巻状、 略同心円状又は略折返し状のパターンに形成された 前記部品を直径 1. 6mmの金属製ワイヤーとする、 請求の範囲第 48 項に記載した導電性触媒粒子の製造方法。
5 0. 略渦巻状、 略同心円状又は略折返し状のパターンに形成された 前記部品の外径を前記容器の内径より約 5 mm小さくし、 パターンのピ ツチを 5~ 1 5mmとする、 請求の範囲第 48項に記載した導電性触媒 粒子の製造方法。
5 1. 前記導電性粉体がなす層厚に対し、 前記振動増幅手段の厚み又 は直径を 1 0〜7 0 %とする、 請求の範囲第 45項に記載した導電性触 媒粒子の製造方法。
5 2. 前記導電性粉体の分布領域に対する、 前記振動増幅手段の面積 比率を 3 0〜8 0 %とする、 請求の範囲第 45項に記載した導電性触媒 粒子の製造方法。
5 3. 前記振動の周波数を 5〜 20 0 H zとする、 請求の範囲第 44 項に記載した導電性触媒粒子の製造方法。
54. 前記振動の振幅は 0. 5〜 2 Ommとする、 請求の範囲第 44 項に記載した導電性触媒粒子の製造方法。
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