WO2001061403A1 - Corps moule, panneau reflechissant, afficheur reflectif et procede pour produire un panneau reflechissant - Google Patents

Description

明 細 書 形状体、. 反射板、 及び反射型表示素子、 並びに反射板 の製造方法 技 術 分 野

本発明 は、 外光 を 利用 して表示 を行 う た め の反射板 と そ の製造方 法、 及び反射板 を 具備す る 反射型表示素子に 関する 。 背 景 技 術

(第 1 の背景技術）

従来の反射型液晶表示素子は、 例 え ば、 特開平 8 — 1 8 4 8 4 6 号公報に示 さ れる よ う に 、 ァ ク テ ィ ブマ ト リ ク ス 素子を構成する 積 層 さ れた金属層 、 半導体層 、 絶縁膜層 な どか ら 構成 さ れる ァ ク テ ィ ブマ ト リ ッ ク ス 素子の最上層 の絶縁膜層上 に さ ら に感光性樹脂 を塗 布後、 フ ォ ト リ ソ グ ラ フ ィ 一 と エ ッ チ ン グに よ り 柱状構造体 を形成 し 、 こ の柱状構造体 の加熱 に よ る 熱だれ、 さ ら に樹脂の塗布 に よ る レべ リ ン グの工程 を経て、散乱性 を有する 反射電極 を形成 し て い る 。 ま た、 特開平 9 一 5 4 3 1 8 号公報、 特開平 1 1 一 1 3 3 3 9 9 号公報及ぴ特開平 1 1 一 2 5 8 5 9 6 号公報 に示 さ れる よ う に、 ァ ク テ ィ ブマ ト リ ク ス 素子 を構成する 積層 さ れた金属層、 半導体層 、 絶縁膜層 な ど各層 を最上層 の絶縁膜層 を マ ス ク と し て、 エ ッ チ ン グ を行 う こ と に よ り 、 凹 凸形状 を形成 し 、 そ の上 に形成さ れた反射電 極 に散乱性 を付与 し て い る 。

通例の透過型液晶表示素子の ァ ク テ ィ ブマ ト リ ク ス 素子では、 5 回 の フ ォ ト リ ソ グ ラ フ ィ 一 と エ ッ チ ン グ の 工程 を 経て作製さ れる 。 こ れ に対 し て、 特 開平 8 — 1 8 4 8 4 6 号公報 に記載さ れて い る 方 法では、 反射電極 に散乱性 を付与する た め の 凹 凸形状の 制御性 に優 れ る も の の 、 通 例 の 透 過 型 液 晶 表 示 装 置 の T F T ( Thin Film Transistor, 薄膜 ト ラ ン ジス タ ） 型ア ク テ ィ ブマ ト リ ク ス基板 に 比 ベて工程が煩雑 と な り 、 製造 に必要な コ ス 卜 の 増大につ ながる と い つ た大き な製造上 の課題があ っ た。

こ の よ う な課題 に対 し て、 前記特開平 9 一 5 4 3 1 8 号公報、 特 開 平 1 1 一 1 3 3 9 9 号公報及ぴ特開平 1 1 一 2 5 8 5 9 6 号公報 に示 さ れる技術は、 ァ ク テ ィ プマ ト リ ク ス 素子 を構成する ため の各 層 を 1 回の フ ォ ト リ ソ グ ラ フ ィ ー並びにエ ッ チ ン グに よ り 工程数 の 削減 を企図 し 、 コ ス ト の増大 を抑制する と い う も の であ っ た。 こ れ ら は一見工程数の 削減 に よ っ て コ ス ト 削減可能な よ う に も考え ら れ た が、 以下の課題がそ の 素子形成後に な っ て初 め て露見 し た。

即ち 、 前記特開平 9 一 5 4 3 1 8 号公報及び特開平 1 1 一 2 5 8 5 9 6 号公報に記載 さ れて い る 工程 に よ り 製造 さ れた反射電極で は、 傾斜角 の分布が傾斜角 の大 き い部分に偏る 。 前記反射電極 に つ き、 そ の極角 0 ° 方向か ら 入射光 を入射 し 、 極角方向で の出射角分布 を 測定する と 、 0 ° 方向 の所謂正反射の よ る 出射光 と 極角 の大き な と こ ろ で の 出射光強度が大き く な つ て し ま う 。 こ の よ う な散乱特性 を 有す る 反射板 を外光下で観察する と観察者 に は暗 く 観察さ れて し ま う 。

ま た、 ァ ク ティ ブマ ト リ ク ス型素子 と し て逆ス 夕 ガ T F T型素子 を 形成 し 、 こ の 工程 を利用 す る こ と で、 反射電極 を形成 し た と こ ろ 、 こ の 反射電極 の再現性が悪 く 、 ロ ッ ト 間で の ば ら つ きがきわ め て大 き い こ と がわか っ た。 上記工程 に よ り 製造 さ れた反射電極 を詳細 に 観察 し てみ る と 、 反射電極 に亀裂や剥離な どが生 じ てい る こ と が判 明 し た。 こ れは、 各層 を 1 回のエ ッ チ ン グ に よ っ てパ タ ーニ ン グ を 行う が、 それぞれの層によ り エッチングの速度が異なる ため、 T F T素子パターニングの際に積層された各層の側面が不均一となる。 こ のため、 金属を反射電極と して成膜する際に、 密着性が悪 く 、 そ の結果と して、 亀裂や剥離な どを生 じる と考え られる。 これ ら の亀 裂や剥離によ り 反射電極の反射特性の ロ ッ ト 間のバラツキの増大や 再現性の劣化を招いている と考え られる。

本発明は、 上記の課題に鑑み、 アク ティ ブ素子の形成工程のみで 他の特別な製造工程を必要とせず、 反射電極の形状の制御性を高 く 維持でき、 反射特性を向上する よ う に した反射板及び反射型液晶表 示装置並びにその製造方法を提供する こ とであ る。

(第 2 の背景技術）

また、 反射型表示素子の高輝度化を図る手法と して、 反射層の表 面に凹凸構造を有する散乱反射板が提案さ れてお り （特開平 5 — 2 3 2 4 6 5 号公報）、 互い に独立 した凸部上に平坦化層 を積層 した 構成を用 いていた。

また、 前記特開平 1 1 一 2 5 8 5 9 6 号公報では、 生産工程を削 減する ため T F T素子や周辺配線を形成する プロセス を利用 して凹 凸構造を形成する手法が開示されてお り 、 当該公報には、 柱状突起 物を複数層積層 して凹凸構造が形成されていた。

パネルの高輝度化を図るためには、凹凸構造の制御が重要であ り 、 当該凹 凸構造の 傾斜面の平均傾斜角分布は、 最大 6 · ~ 1 5 ·程度 で設計する必要がある。

従来は、 ア レイ基板上に平坦化層を形成 した後、 感光性 レジス ト で凸部を一層形成 し、 さ ら に熱ァニールで形状が変わる平坦化層を 積層 して形状制御を行っ ていた。

こ のよ う に、 従来はア レイ基板上に T F T素子、 ゲー ト 、 ソース 等の周辺配線を形成 した後に レジス ト を積層する構成のため製造ェ 程が複雑で生産性 に課題があ っ た （特開平 5 — 2 3 2 4 6 5 号公 報）。

—方、 T F T素子や周辺配線を形成する プロセス を利用 して凹凸 構造 を形成する場合 （ 1 1 一 2 5 8 5 9 6 号公報）、 工程 に応 じ て 凸部を複数積層する必要があ る。 しか し、 製造時にはマス ク 合わせ のずれが必ず発生する ため、 独立した柱状凸部を用 いる と凸部が均 等に積層 されず所望の凹凸構造を得る のが困難であった。

(第 3 の背景技術）

また、 反射型表示素子は、 外光を利用するために透過型に比べて 表示が暗 く なる と い う 欠点があ る。 こ のため、 外光の利用効率が高 く 、 視認性に優れた反射板を用 いる こ とが、 高い表示品位を得るた め に .は欠かせない。

反射板と しては、 反射率が高いアルミ ニウムや銀などの金属膜等 を用 いる こ と によ り 、 反射率を高める こ とができる。 しか し、 平坦 な基板上に鏡面性を有する反射板を用 いた場合、 図 7 3 ( b ) のよ う に正反射する方向のみに光が反射するため、 こ の方向か ら見た場 合には光源が映 り こ んで表示が見づ ら く な り 、それ以外の方向では、 ほ と ん ど反射光がないため、 非常に暗い表示となる。 こ の課題を解 決する ため、 反射板の表面に微細な凹凸を形成する こ と によ り 、 図 7 3 ( a ) のよ う に反射光を散乱させ、 光源の映 り こみを抑制する と と も に、 明 る さ （反射率）、 視野角な どの視認性を高めた反射型 の液晶表示素子が提案されて い る （特開平 6 — 2 7 4 8 1 号公報）。

こ の従来例は、 図 7 4 に示すよ う に、 凹凸のベース となる突起物 4 1 4 a ， 4 1 4 b を、 駆動素子 4 1 0 が形成さ れた基板 4 1 1 上 に形成 し、 突起物 4 1 4 a , 4 1 4 b 上に樹脂層 4 1 5 を塗布する こ と によ り 、 滑 らかな凹凸を作る 。 こ の上に反射部材 4 1 9 を製膜 する こ と によ り 、 反射板の表面に微細な凹凸形状を形成し、 良好な 視認性を有する反射板を形成 した も のである。

こ のよ う に、 反射部材 4 1 9 の下地である樹脂層 4 1 5 に微細で かつ滑ら かな凹凸を形成する こ と に よ り 、 反射光を散乱させる こ と ができ、 光源の映 り こみや、 正反射以外の方向の表示が暗い、 と い つ た課題を解決 し、 明る く 、 視野角の広い反射型表示素子を構成で さる。

しか しなが ら 、 上記従来例の方法では、 微細でかつ滑 ら かな凹凸 を形成する工程が、 1 ) 凹凸の下地 となる突起物を形成する、 2 ) 突起物上に樹脂層を塗布 して滑 らかにする、 とい う 2 つ の工程が必 要であ り 、 冗長であっ た。

また、 前記従来例の突起物 4 1 4 a , 4 1 4 b は、 感光性材料を 塗布後、 露光おょぴ現像によ っ て、 所定の箇所にのみ突起物を残す、 とい う方法で形成 しているが、 露光時の フ ォ ト マス ク の突起物位置 パターンに規則性があ る と、 光の干渉によ り モア レ模様が発生して 非常に見づ ら い も の となる。 このため、 微細な凹凸配置には、 不規 則性が必要であ り 、 前記従来例の場合、 フ ォ トマス ク の凹凸パター ン配置に不規則性を考慮する必要があ っ た。

本発明は上記従来の課題を解決する も のであ り 、 凹凸形状を形成 する工程数を従来に比べて削減する と と も に、 モア レを生 じないよ う規則性のない凹 ΰを容易 に形成 し た反射板および該反射板を具備 する反射型表示素子を提供する こ と を 目 的とする。 発 明 の 開 示

一群の本発明は、 同一乃至類似 した着想に基づく ものである。 し か し 、 それぞれの発明は異な る 実施 の形態 に よ り 具現化 さ れる も の で あ る の で、 本明細書では、 こ れ ら の一群 の本発明 を密接 に関連 し た発 明 ご と に第 1 の発明群、 第 2 の発明群、 及び第 3 の発明群 と し て区分する 。 そ し て、 以下では、 それぞれの 区分 （発明群） ご と に そ の 内容 を順次説明する 。

(第 1 の発明群）

請求項 1 記載の発明 は、 基板上 に ァ ク テ ィ ブ素子及び凹 凸状の 反 射電極 を具備 し た反射板 にお いて、前記凹 凸状反射電極 の下方 に は、 薄膜が積み上げ ら れて構成 さ れる 複数の積層パ タ ー ンが形成 さ れて お り 、 前記積層パ 夕 一 ン は、 ア ク テ ィ ブ素子 を構成する 全ての薄膜 の う ち 選択 さ れた 2 つ 以上の薄膜で あ っ て、 且つ ァ ク テ ィ プ素子の 製造工程 に お いて、 所定 のパ タ ーニ ン グ に よ り 得 ら れた薄膜を含む こ と を特徴 と する 。

請求項 2 記載の発明は、 請求項 1 記載の反射板で あ っ て、 前記積 層パ タ ー ン は、 順次幅が小 さ く な る 複数の薄膜が積み上げ ら れて先 細状 と な っ て い る こ と，を特徴 と する 。

上記構成 に よれば、 形状制御性が向上 し 、 反射特性に優れた反射 板が構成 さ れる 。 更 に、 前記積層パ タ ー ンは、 順次幅が小 さ く な つ て い る 複数の薄膜が積み上 げ ら れて先細状 と な っ て い る のが好 ま し い。 尚、 本願明細書中 の実施の形態では、 上記薄膜を柱状体、 積層 パ タ ー ン を段差構造体 と し て説明する こ と と する 。

請求項 3 記載の発明 は、 請求項 2 記載の反射板であ っ て、 前記積 層パ タ ー ンは、 非対称性を有す る 構造で あ る こ と を特徴 とする 。

上記構成 に よ れば、 正反射方向 を観察者の視野角 の 中央部か ら 離 れた位置 にず ら す こ と がで き 、 良好な表示品位が得 ら れる こ と に な る 。 請求項 4 記載の発明は、 請求項 2 記載の反射板であっ て、 前記反 射電極 と前記積層パターン と の間には、 絶縁膜が形成されてなる こ と を特徴とする。

前記構成とする こ と によ り 、 前記積層パターンを絶縁膜層が囲い 込む構成 とする こ とができる ので、 電界によるオフ時の リ ーク を抑 制する こ とができる。 また、 反射電極の剥離や亀裂な どは発生する よ う な こ と はない。

請求項 5 記載の発明は、 請求項 4 記載の反射板であっ て、 前記絶 縁膜は樹脂材料か ら なる こ と を特徴とする。

請求項 6 記載の発明は、 請求項 5 記載の反射板であっ て、 前記樹 脂材料は感光性材料であ る こ と を特徴とする。

請求項 7 記載の発明は、 請求項 2 記載の反射板であ っ て、 前記積 層パターンを構成する薄膜の う ち、 テーパー角が異なる も のが少な く と も 2 層以上存在する こ と を特徴とする。

上記構成によ り 、 テーパー角が異なる ものが少な く と も 2 層以上 存在すれば、段差構造体の形状を任意に制御する こ とが可能 とな り 、 反射電極の 凹凸形状の制御性が向上する。

請求項 8 記載の発明は、 基板上にアク ティ ブ素子と、 カ ラ一 フ ィ ルタ と、 凹凸状の反射電極と、 を具備 した反射板において、 前記凹 凸状反射電極の下方には、 薄膜が積み上げられて構成される複数の 積層パター ンが形成されてお り 、 前記積層パターンは、 ア ク ティ ブ 素子若 し く は前記カ ラー フ ィ ル夕 を構成する全ての薄膜の う ち選択 さ れた 2 つ以上の薄膜であっ て、 且つァ クティ ブ素子の若 し く は力 ラーフ ィ ル夕 の製造工程において、 所定のパターニングによ り 得 ら れた 膜を含む こ と を特徴とする。

上記構成によっ て も、 請求項 1 記載の発明 と同様に、 形状制御性 が向上 し 、 反射特性 に優れた反射板が構成 さ れる 。

請求項 9 記載の発明 は、 基板上 に ァ ク テ ィ ブ素子及び凹 凸状の反 射電極 を具備 し 、 前記凹 凸状反射電極の下方 に は、 積層パ タ ー ンが 形成 さ れた構造の反射板 の製造方法で あ っ て、 前記ァ ク テ ィ プ素子 を構成する 薄膜 を 、 前記基板 の ァ ク テ ィ ブ素子形成領域に積層 し て パ タ ーニ ン グする 際 に 、 前記薄膜 を 凹 凸面形成領域に も 2 層 以上積 層 し てパ タ ーニ ン グ を行 っ て、 凹 凸面形成領域に積層パ タ ー ン を形 成する こ と を特徴 と する 。

上記方法 に よ れば、 積層パ タ ー ン の形状の制御が可能 と な り 、 こ の結果、 反射電極の 凹 凸形状 を 高精度で制御する こ と がで き る 。 ま た、 薄膜パ タ ー ン毎 にパ タ ーニ ン グ を行 う た め、 全ての層 を積層 し た後 に一括 してパ タ ーニ ン グす る従来例 の有する 各層 の側面 の不均 一に起因 し た金属層 の密着性 の劣化 と い う 問題 を解消する こ と がで さ る 。

請求項 1 0 記載の発明 は、 反射板で あ っ て、 基板上に、 ァ ク テ ィ ブ素子 と 、 蓄積容量形成の た め の容量電極 と 、 凹 凸状の反射電極 と 、 前記反射電極の下方 に積層パ タ ー ン と を具備 し た反射板 にお い て、 前記基板の 前記容量電極以外の領域上 に は、 ァ ク ティ プ素子を構成 する 薄膜の一部 を使用 し て構成 さ れた第 1 の積層パ タ ー ンが複数形 成 さ れてお り 、 前記容量電極上 に は前記第 1 の積層パタ ー ン と 異な る 第 2 の積層パ タ ー ンが複数形成 さ れてお り 、 前記凹 凸状反射電極 が前記第 1 及び第 2 の積層パ タ ー ン を覆 っ て い る こ と を特徴 と する 。

上記構成 に よ り 、 蓄積容量 を形成 し容量不足 に起因 し た フ リ ッ カ — の 防止 を 図 る こ と がで き る と と も に、 容量電極の直上で反射電極 に 凹 凸形状が得 ら れ、 反射電極の 凹 凸間 の平坦部面積 を可及的 に低 減 し 、 正面での 正反射強度 を低減する こ と が可能 と な る 。 請求項 1 1 記載の発明 は、 請求項 1 0 記載の反射板であ っ て、 前 記第 2 の積層パ タ ー ンは、 ァ ク テ ィ ブ素子を構成する 薄膜以外 の薄 膜か ら 構成 さ れて い る こ と を特徴 とする 。

請求項 1 2 記載の発明 は、 請求項 1 1 記載の反射板で あ っ て、 前 記第 2 の積層パ タ ー ン は、 容量電極 をパ タ ーニ ン グ して形成 さ れた 薄膜 を含む こ と を特徴 と する 。

請求項 1 3 記載の発明 は、 基板上 に、 ア ク テ ィ ブ素子 と 、 蓄積容 量形成の た め の容量電極 と 、 凹 凸状の反射電極 と を具備 し た反射板 の製造方法で あ っ て、 前記容量電極上 に、 前記ア ク ティ ブ素子 を構 成する 薄膜以外の薄膜 を 形成する 工程 と 、 前記薄膜以外の薄膜 をパ タ ーニ ン グ し て積層パ タ ー ン を形成する 工程 と 、 を含む こ と を特徴 とす る 。 .

請求項 1 4 記載の発明 は、 基板上 に、 ア ク ティ ブ素子 と 、 蓄積容 量形成の た め の容量電極 と 、 凹 凸状の反射電極 と を具備 し た反射板 の製造方法で あ っ て、 前記容量電極上 に、 前記ア ク ティ ブ素子 を構 成する 薄膜以外の薄膜を形成する 工程 と 、 前記薄膜以外の薄膜 をパ タ ーニ ン グ して積層パ タ ー ン を形成す る 工程 と 、 か ら な る こ と を特 徵 と する 。

請求項 1 5 記載の発明は、 基板上 に ア ク テ ィ ブ素子 と 、 蓄積容量 形成の ため の容量電極 と 、 凹 凸状の反射電極 と 、 前記反射電極下方 に形成 さ れた積層パ タ ー ン と を具備 し た反射板の製造方法であ っ て、 前記容量電極 を パ タ ーニ ン グ し て積層パ タ ー ン を形成する 工程 を含 む こ と を特徴 と する 。

上記方法 に よ っ て、 容量不足 に起 因 し た フ リ ッ カ ーの 防止 を 図 る こ と ができ る と と も に、 容量電極 の直上で反射電極 に 凹凸形状が得 ら れ、 反射電極の 凹 凸間の平坦部面積 を 可及的 に低減 し 、 正面での 正反射強度 を低減する こ と が可能は反射板 を 得る こ と が可能 と な る 請求項 1 6 記載の発明 は、 基板上 に ア ク テ ィ ブ素子 と 、 凹 凸状の 反射電極 と 、 前記凹 凸状の反射電極 の下方 に形成 さ れた積層 パ タ ー ン と を具備 し た反射板 にお いて、 前記積層パ タ ー ン を構成す る 各薄 膜の相対位置関係が所定領域毎に異な っ て い る こ と を特徴 とする 。

請求項 1 7 記載の発明 は、 請求項 1 6 記載 の反射板であ っ て、 前 記積層パ タ ー ンが非対称形状であ る こ と を特徴 と する 。

上記構成 に よ り 、 マス ク 合わせの際の マー ジ ン に よ る 凹 凸形状の 制御性低下 を最小限 に 抑制する こ と が可能 と な る 。

請求項 1 8 記載の発明 は、 形状体であ っ て、 パタ ーニ ン グ し た 2 層以上の 薄膜か ら な る 積層パタ ー ン を複数種有 し、 前記積層パ 夕 一 ン は、 複数種 ご と に、 積層 さ れた前記薄膜の大き さ の順序が異な る こ と を特徴 と す る 。

請求項 1 9 記載の発明 は、 反射板であ っ て、 請求項 1 8 記載の形 状体 を積層パ タ ー ン と し て備えた こ と を特徴 とする 。

上記形状体 を反射板に備え る こ と に よ り 、 前記複数種の積層パ タ ー ン 同士 に よ っ て反射特性の ば ら つ き を 小 さ く する こ と がで き る の で、 当該反射板の 凹 凸形状の制御性 の低下を抑制する こ と が可能 と な る 。 な お 、 前記形状体は、 本実施の形態 の よ う に反射板 に使用 す る こ とがで き る が、 その他 と して光学素子 （ レ ンズ） 等に使用 する こ と も で き る 。

請求項 2 0 記載の発明 は、 基板上 に ア ク テ ィ ブ素子 と 、 凹 凸状の 反射電極 と を 具備 し た反射板 にお いて、 前記 凹 凸状反射電極の下方 には、 薄膜が積み上げ ら れて構成 さ れる 積層 パ タ ー ンが形成 さ れて お り 、 前記積層パタ ー ンは、 ア ク ティ ブ素子 を構成する 全ての薄膜' の う ち 選択 さ れた 2 つ以上の薄膜で あ っ て、 且つ ァ ク テ ィ ブ素子の 製造工程 に お い て所定 のパ タ ーニ ン グ に よ り 得 ら れた薄膜か ら 構成 さ れ、 部分的 に重な り 部 を有する よ う に形成 さ れて い る こ と を特徴 とする 。

請求項 2 1 記載の発明 は、 請求項 2 0 記載の反射板で あ っ て、 前 記積層パ タ ー ン を構成す る 薄膜の最小幅よ り も 前記重な り 部が小 さ レ こ と を特徴 と する 。

上記構成 と す る こ と に よ り 、 上記積層パ タ ー ン を構成する 各薄膜 は、 部分的 に重な り 部を有す る よ う に形成 さ れ、 よ り 具体的 に は、 前記積層パ タ ー ン を構成する薄膜の最小幅よ り も 前記重な り 部を小 さ く し て い る の で、 反射板 にお ける 平坦部の 占め る割合 を小 さ く す る こ と がで き 、 正反射方向 の反射光強度の 小 さ い、 外光 の強 い環境 下で も 写 り 込みの少な い反射板 を実現する こ と ができる 。

請求項 2 2 記載の発明 は、 請求項 9 記載の反射板の製造方法で あ つ て、 前記積層パ タ ー ン を構成す る 薄膜 を 、 部分的な重な り 部 を有 す る よ う に形成する こ と を特徴 と する 。

請求項 2 3 記載の発明 は、 請求項 2 2 記載の反射板の製造方法 に で あ っ て、 前記重な り 部が、 前記積層パ タ ー ン を構成す る 薄膜 の最 小幅 よ り も 小 さ く な る よ う に形成する こ と を特徴 とする 。

上記方法 とす る こ と に よ り 、 反射板 にお け る 平坦部の 占め る 割合 を 小 さ く す る こ と ができ 、 正反射方向 の反射光強度の小 さ い 、 外光 の強 い環境下で も 写 り 込み の少な い反射板 を得る こ と ができ る 。 請求項 2 4 記載の発明 は、 請求項 1 記載 の反射板であ っ て 、 光透 過部位 を有する こ と を特徴 と する 。

請求項 2 5 記載の発明 は、 請求項 2 4 記載の反射板で あ っ て、 光 透過部位の厚み と 、 前記光透過部位以外の部位の厚み と が異な る こ と を 特徴 と す る 。 反射型表示素子は環境光の乏し い と こ ろでは表示品位が劣化する と い う 課題がある 。 そ こで、 かかる課題解決のため、 反射型表示素 子を構成する反射板を光透過部位を有する よ う に し、 バッ ク ライ ト な どの光源を基板裏面に具備する こ と によ り 、 如何なる環境でも視 認性の良好な表示素子が得 られる。

請求項 2 6 記載の発明は、 反射型表示素子であっ て、 請求項 1 記 載の反射板を用 いた こ と を特徴とする。

上記構成によ り 、反射特性の優れた反射型表示素子が構成さ れる。 請求項 2 7 記載の発明は、 半透過型表示素子であって、 請求項 2 4 記載の反射板を用 いた こ と を特徵とする。

反射型表示素子は環境光の乏 し い と こ ろでは表示品位が劣化する と い う 課題があ る。 そ こで、 かかる課題解決のため、 基板上に反射 電極と透明電極 と の両方を備え、 パッ ク ライ ト な どの光源を基板裏 面に具備する こ と によ り 、 如何なる環境でも視認性の良好な半透過 型表示素子が得 られる。

請求項 2 8 記載の発明は、 請求項 2 7 記載の半透過型表示素子で あっ て、 集光部位を有する こ と を特徴 とする。

上記構成によ り 、 透過モー ド時における輝度の向上を図る こ とが できる。

(第 2 の発明群）

請求項 2 9 記載の発明は、 反射板であ っ て、 基板と、 前記基板上 に形成された凹凸構造を有する反射層 と、 を有 し、 前記凹凸構造は、 前記基板上に形成された複数の帯状の薄膜パター ンが互いに交差す る こ と によ り 形成さ れてなる こ と を特徴とする。

請求項 3 0 記載の発明は、 請求項 2 9 記載の反射板であ っ て、 前 記薄膜パターンが互いに交差する交差部では、 凸部が積層 さ れてな る こ と を特徴とする。

前記構成とする こ と によ り 、 帯状の薄膜パターンが互いに交差す る構成と されている ので、 所望も 凹凸構造を得る こ とができ、 特に、 交差する交差部で凸部が積層されて凸部頂点を構成すれば、 よ り 所 望の凹凸構造を得る こ とができる。

請求項 3 1 記載の発明は、 請求項 2 9 記載の反射板であっ て、 前 記薄膜パターンが互い に交差する交差部の形状は、 凹部であ る こ と を特徴とする。

前記構成とする こ と によつ ても、 所望の凹凸構造を得る こ とがで きる。

請求項 3 2 記載の発明は、 請求項 2 9 記載の反射板であ っ て、 前 記薄膜パター ンはメ ッ シュ状である こ と を特徴 とする。

前記構成のよ う に、 薄膜パターンがメ ッ シュ形状である と、 マス ク合わせのずれ等によ り 帯状の薄膜パター ンが上下の層で位置ずれ しても交点位置が多少移動す'る のみで薄膜パターン状自体はほぼ一 定に保たれる。 こ のためマス クずれが発生 して もパネルは、 ほぼ均 一の反射特性を示すこ とができ生産性が大幅に向上する。

請求項 3 3 記載の発明は、請求項 2 9 記載の反射板であ っ て、 前 記薄膜パター ン の間隔は一定でない こ と を特徴とする。

前記構成とする こ と によ り 、 帯状の薄膜パター ン の隣 り 合う 間隔 を ラ ンダム に設定する こ とで、 反射光の回折や干渉が抑制され良好 な表示が得 られる。

請求項 3 4 記載の発明は、 請求項 2 9 記載の反射板であ っ て、 前 記基板上には、 更にアク ティ ブ素子が形成されてお り 、 前記薄膜パ ター ンは、 前記ァク ティ ブ素子を構成する薄膜によ り 形成さ れてな る こ と を特徴とする。 請求項 3 5 記載の発明 は、請求項 2 9 記載の 反射板で あ っ て、 前 記基板上 に は、 更 に ア ク ティ ブ素子が形成 さ れてお り 、 前記薄膜パ タ ー ンは、 前記 ァ ク ティ プ素子を形成する 工程 に よ り 同時に形成 さ れてな る こ と を 特徴 と する 。

こ の よ う に構成す る こ と に よ り 、 帯状 の薄膜パ タ ー ン は、 ア レイ 基板上の T F T 素子、 及び周辺配線 を形成する プロ セス 工程 を 用 い て形成する こ と も で き 、 こ の場合、 生産性が更 に 向上す る 。

請求項 3 6 記載の発明 は、 請求項 2 9 記載の反射型表示装置で あ つ て、 請求項 2 9 に記載の反射板 と 、 前記反射板上 に設け ら れ光 の 吸収量を制御す る光制御手段 と 、 を有する こ と を特徴 と す る 。

前記構成 と する こ と に よ り 、 反射型表示素子の生産性が大幅 に 向 上する ため低コ ス ト で高輝度な反射型表示素子が実現でき る 。

(第 3 の発明群）

請求項 3 7 記載の発明 は、 反射板であ っ て、 基板 と 、 前記基板上 に形成 さ れ、 表面 に微細 な 凹 凸 を有する 樹脂層 と 、 前記樹脂層 上 に 設 け ら れ、 光を 反射す る 反射部材 と 、 を有 し、 前記樹脂層 は、 少な く と も 2 種類の樹脂部 を互い に分散保持す る 構成 に よ り 、 前記凹 凸 が形成 さ れてな る こ と を特徴 と する 。

請求項 3 8 記載の発明 は、 請求項 3 7 記載の反射板で あ っ て、 少 な く と も 2 種類の前記樹脂部の配置 に対応 し て、 前記凹 凸が形成 さ れてな る こ と を 特徵 とす る 。

請求項 3 9 記載の発明 は、 請求項 3 7 記載の 反射板で あ っ て、 前 記凹 凸 の段差が 0 . 7 以下で あ る こ と を特徴 と する 。

前記構成 とする こ と に よ り 、 反射板 の表面に微細な凹 凸が形成 さ れた構成 と する こ と がで き る の で、 良好な反射特性 を有する 反射板 を実現する こ と が可能 と な る 。 特 に、 前記 凹 凸 の段差が 0 . 7 jit m 以下の微細な段差を形成した構成 とする こ とができ、 よ り 良好な反 射特性を有する反射板を得る こ とができる。

請求項 4 0 記載の発明は、 請求項 3 7 記載の反射板であ っ て、 少 な く と も 2 種類の前記樹脂部は、 前記基板上に塗布された少な く と も 2 種類の樹脂材料を含む液体の相分離によ り 形成されてなる こ と を特徴とする。 '

上記構成によ り 、 混合液を基板上に塗布 したのち、 少な く と も 2 種類の樹脂材料を相分離させて、 これによ つ て、 少な く と も 2 種類 の樹脂部が形成される ので、 樹脂層表面に規則性を有しない凹凸を 形成する こ とができ る ので、 光の干渉によ り モア レ模様が発生する よ う な こ と はな く 、 良好な反射特性を有する反射板を得る こ とがで 含る。

請求項 4 1 記載の発明は、 請求項 3 7 記載の反射板であっ て、 少 な く と も 2 種類の前記樹脂部の収縮率は、 互いに異なる こ と を特徴 とする。 ,

こ の構成によ り 、 樹脂層表面の凹凸を容易に形成する こ とができ る。

請求項 4 2 記載の発明は、 反射型表示素子であ っ て、 前記反射板 上に設け られ、 光の吸収量を制御する光制御手段と、 を有する こ と を特徴とする。

こ の構成によ り 、 反射板の表面に微細な凹凸形状を形成する こ と ができ、 良好な反射特性を有する反射型表示素子を実現する こ とが でき る。

請求項 4 3 記載の発明は、 請求項 4 2 記載の反射型表示素子であ つ て前記樹脂材料は、 感光性樹脂を含む こ と を特徴 とする。

請求項 4 4 記載の発明は、 請求項 4 2 記載の反射型表示素子であ つ て、 前記基板上 に は更 に ア ク テ ィ ブ素子が形成 さ れ、 該ァ ク テ ィ ブ素子を 覆 う よ う に前記樹脂層が形成 さ れてな り 、前記樹脂層 に は、 上記ア ク テ ィ ブ素子 に達する コ ン タ ク ト ホールが形成さ れ、 該 コ ン タ ク ト ホール を介 し て上記 ァ ク テ ィ ブ素子 と 前記反射部材 と は電気 的 に接続 さ れて な る こ と を特徴 とする 。

こ の構成 に よ り 、 樹脂層 を貫通する 開 口 （ コ ンタ ク ト ホール） を 形成 し、 開 口 を介 し て基板上に予 め形成 し たア ク テ ィ ブ素子 と 、 榭 脂層上の電極 と を接続 し て、 樹脂層上 の反射部材 に印加する 電圧 を 制御でき 、 反射型表示素子の表示動作 を 、 基板上の ア ク ティ ブ素子 で行 う こ と が可能 と な る 。

請求項 4 5 記載の発明 は、 反射板の製造方法であ っ て、 基板 と 、 前記基板上 に形成 さ れ、 表面 に微細な 凹 凸 を有する 樹脂層 と 、 前記 樹脂層上 に設 け ら れ、 光 を反射する 反射部材 と 、 を有 し 、 前記樹脂 層 は、少な く と も 2 種類の樹脂部を互い に分散保持する 構成 に よ り 、 前記 凹 凸が形成 さ れてな る 反射板 の製造方法であ っ て、 少な く と も 2 種類以上 の樹脂材料 を含む混合液を作製する 混合液作製工程 と 、 前記混合液 を基板上 に塗布する 塗布工程 と 、 前記基板上 に塗布 し た 混合液に含 ま れる 樹脂材料 を相分離 さ せて、 表面 に 凹 凸 を有する 樹 脂層 を形成す る 樹脂層工程 と 、 前記樹脂層上 に反射部材 を形成する '反射部材形成工程 と 、 を含む こ と を特徴 とする 。

こ の方法 に よ り 、 表面の 凹 凸 を形成する 樹脂層 を形成する 工程 を 1 回で実現で き 、 かつ 凹 凸 の規則性がな く モ ア レ の な い 反射板 を形 成する こ と が可能で あ る 。 図 面 の 簡 単 な 説 明 図 1 は、 本発明 の概念図で あ る 。

図 2 は、 本発明 の概念図 で あ る 。

図 3 は、 実施 の形態 1 一 1 に係 る 反射型液晶表示装置の要部断面 図で あ る 。

図 4 は、 図 3 の一部 を拡大 し た断面図であ る 。

図 5 は、 実施の形態 1 一 1 に係 る液晶表示装置の製造工程 図で あ る 。

図 6 は、 ゲー ト 電極 5 及び円 形パ タ ー ン層 5 ' の製造工程 図で あ る 。

図 7 は、 マス ク 2 1 の平面図で あ る 。

図 8 は、 マ ス ク 2 7 の 平面図で あ る 。

図 9 は、 円形パ タ ー ン 1 6 ' の製造工程 図で あ る 。

図 1 0 は、 マス ク 3 1 の平面図で あ る 。

図 1 1 は、 信号配線 1 8 b 及びソ ース · ド レイ ン電極 1 8 a の製 造工程 図で あ る 。

図 1 2 は、 反射電極の反射特性 を評価する 装置 の配置図であ る 。 図 1 3 は、 実施の形態 1 一 1 に係 る 反射板の反射特性 を,示す図で あ る 。

図 1 4 は、 従来例 の反射板の反射特性 を示す図 で あ る 。

図 1 5 は、 実施の形態 1 一 2 に 係 る反射型液晶表示装置の要部断 面図 で あ る 。

図 1 6 は、 図 1 5 の一部 を拡大 した断面図で あ る 。

図 1 7 は、 実施の形態 1 一 2 に係 る 反射型液晶表示装置の製造ェ 程 図 で あ る 。

図 1 8 は、 実施の形態 1 — 3 に,係 る 反射型液晶表示装置の要部断 面図 で あ る 。 図 1 9 は、 図 1 8 の 一部 を拡大 し た断面図であ る 。

図 2 0 は、 実施の形態 1 一 3 に係 る 反射型液晶表示装置の製造ェ 程 図 で あ る 。

図 2 1 は、 実施の形態 1 一 3 に係 る 反射板の反射特性 を 示す図で 5 あ る 。

図 2 2 は、 実施の形態 1 — 4 に係 る 反射型液晶表示装置 の要部断 面図で あ る 。

図 2 3 は、 図 2 2 の一部を拡大 し た 断面図で あ る 。

― . m 2. 4 一.裏直.—の歷1丄 - 4 に係 る反射型液曰 ¾.¾1装置 製造 „

1 0 程 図 で あ る 。

図 2 5 は、 実施の 形態 1 — 5 に係 る 反射型液晶表示装置 の要部断 面図で あ る 。

図 2 6 は、 図 2 5 の一部 を拡大 し た 断面図であ る 。

図 2 7 は、 実施の形態 1 一 6 に係 る 反射型液晶表示装置 の要部断 1 5 面図 であ る 。

図 2 8 は、 図 2 7 の一部 を拡大 し た 断面図で あ る 。

図 2 9 は、 実施の形態 1 一 6 に係 る 反射型液晶表示装置の製造ェ 程図で あ る 。

図 3 0 は、 実施 の形態 1 一 7 に 係 る 透過型兼用 の反射型液晶表示 20 装置 の要部断面図で あ る 。

図 3 1 は、 実施の形態 1 — 8 に係 る 透過型兼用 の反射型液晶表示 装置 の要部断面図で あ る 。

図 3 2 は、 実施の形態 1 一 9 に係 る 反射型液晶表示装置 の要部断 面図で あ る 。

2 5 図 3 3 は、 図 3 2 の一部拡大図で あ る 。

図 3 4 は、 実施の形態 1 一 9 に係 る 反射型液晶表示装置 の製造ェ 程 図で あ る 。

図 3 5 は、 実施 の形態 1 一 1 0 に 係 る 反射型液晶表示装置の要部 断面図であ る 。

図 3 6 は、 図 3 5 の一部拡大図 で あ る 。

図 3 7 は、 実施の形態 1 — 1 0 に係 る 反射型液晶表示装置の製造 工程 図で あ る 。

図 3 8 は、 コ ン タ ク ト ホール 7 O A , 7 O B 付近 の 断面図で あ る 。 図 3 9 は、 実施の形態 1 一 1 1 に係 る 反射型液晶表示装置の要部 断面図で あ る 。

図 4 0 は、 実施の 形態 1 一 1 2 に係 る 反射型液晶表示装置の要部 断面図 で あ る 。

図 4 1 は、 実施 の形態 1 一 1 2 に 係る 反射型液晶表示装置の製造 工程'図 で あ る 。

図 4 2 は、 実施の形態 1 一 1 2 に係 る 反射型液晶表示装置の製造 工程 図 であ る 。

図 4 3 は、 実施の形態 1 一 1 3 に係る 反射型液晶表示装置 の要部 断面図で あ る 。

図 4 4 は、 上方か ら 観察 し た と き の共通電極の一部 を示す平面図 で あ る 。

図 4 5 は、 共通電極の変形例 の 一部 を示す平面図で あ る 。

図 4 6 は、 共通電極の他 の変形例 の一部を示す平面図で あ る 。 図 4 7 は、 実施の形態 1 一 1 4 に係 る 反射型液晶表示装置の製造 工程 図 であ る 。 - 図 4 8 は、 同 じ く 反射型液晶表示装置の製造工程 図であ る 。

図 4 9 は、 実施の形態 1 — 1 5 に係る 反射型液晶表示装置の製造 時 に使用す る マ ス ク の平面図 で あ る 。 図 5 0 は、 実施 の形態 1 一 1 6 に 係 る 反射型液晶表示装置 を構成 する 基板 の一部概念図で あ り 、 図 5 0 ( a ) は、 基板上 に形成 さ れ た ゲー ト 金属層 の形状を示す平面図、 図 5 0 ( b ) は、 図 5 0 ( a ) の X Y線矢視断面 図であ る 。

図 5 1 は、実施の形態 1 — 1 6 で使用する マス ク の概念図で あ る 。 図 5 2 は、 基板上 に形成 さ れたゲー ト 金属層お よ び半導体層 のパ タ ー ン を 示す概略図で あ り 、 図 5 2 ( a ) は、 そ の概略平面図、 図 5 2 ( b ) は、 図 5 2 ( a ) の X Y線矢視断面図であ る 。

図 5 3 は、 図 5 2 に示 し た状態か ら 、 マス ク 合わせ時の マー ジ ン <5 の範囲 でマス ク がずれ を生 じ て い る 時 に、 基板上 にゲー ト 金属膜 お よ び半導体層がずれて形成 さ れたパ タ ー ン を示す概略図で あ り 、 図 5 3 ( a ) は、 その概略平面図 、 図 5 3 ( b ) は、 図 5 3 ( a ) の X Y線矢視 断面図 を 示す。

図 5 4 は、 マス ク のずれが 0 の 時お よ びマス ク のずれが δ だけの 時の基板 の概略平面図で あ る 。

図 5 5 は、 図 5 4 の Χ Υ線矢視断面図 を示す。

図 5 6 は、 反射特性 を示すグ ラ フ で あ る 。

図 5 7 は、 傾斜角分布 を示すグ ラ フ で あ る 。

図 5 8 は、 凹 凸面形成領域にお け る ゲー ト 絶縁膜形成後のゲー ト 金属層か ら な る パ タ ー ン層 の形状 を示す概略図で あ り 、 図 5 8 ( a ) は、 バタ 一 ン層 の形状 を示す平面図、 図 5 8 ( b ) は、 図 5 8 ( a ) の X Y線矢視断面図で あ る 。

図 5 9 は、 実施 の形態 1 — 1 7 にお い て使用 する マス ク の概略平 面図で あ る 。

図 6 0 は、 凹 凸面形成領域にお け る 半導体層か ら なる パ タ ー ン層 を形成 し た基板の概略図であ り 、 図 6 0 ( a ) は、 半導体層 のパ 夕 一二 ン グ工程 を経た後の基板の概略平面図 、 図 6 0 ( b ) は、 図 6 0 ( a ) の X Y線矢視断面図で あ る 。

図 6 1 は、 実施の形態 1 — 1 7 にお い て使用 する他の マス ク の概 略図 であ る 。

図 6 2 は、 重な り 部のな い反射板の反射特性 と 、 本実施の形態 1 - 1 7 に示 し た反射板の反射特性 と を比較 し た グ ラ フ で あ る 。

図 6 3 は、 実施の形態 2 — 1 に係 る 液晶表示素子を構成す る ァ レ ィ 基板 の上面図 であ る 。

図 6 4 は、 同 じ く ア レイ 基板上 の 凹 凸構造の概念図で あ る 。

図 6 5 は、 同 じ く ア レイ 基板の部分断面図で あ る 。

図 6 6 は、 実施の形態 2 — 1 に係 る 液晶表示素子を構成する ァ レ ィ 基板の別構成の上面図であ る 。

図 6 7 は、 ア レイ 基板 の他の構成 を示す概念図であ る 。

図 6 8 は、 本発明 の実施の形態 3 ― 1 に 係 る 反射型表示素子の槻 赂断面図で あ る 。

図 6 9 は、 本発明 の実施の形態 3 — 1 に係 る 反射型表示素子の樹 脂層 の形成工程 を示す概略説明 図で あ る 。

図 7 0 は、 反射型表示素子の樹脂層 の形成 に つ い て説明す る た め の概略説明 図で あ る 。

図 7 1 は、 反射型表示素子の樹脂層表面 の 凹 凸形状の形成 に に つ いて説明す る た め の概略説明 図で あ る 。

図 7 2 は、 本発明 の実施の形態 3 — 2 に 係 る 反射型表示素子の樹 脂層 の形成工程 を示す概略説明 図であ る 。

図 7 3 は、 反射型表示素子の反射部材で の光 の反射方向 を示す説 明 図 で あ り 、 図 7 3 ( a ) は、 微細な 凹 凸 を有する 反射部材での光 の反射方向 を示す説明図、 図 7 3 ( b ) は、 鏡面性 を有する 反射部 材での光 の反射方向 を示す説明図で あ る 。

図 7 4 は、 従来の反射型表示素子の構成 を示す説明 図で あ る 。 発明 を実施する た め の最良 の形態

[第 1 の発明群 ]

図 1 及び図 2 は本発明 の概念を示す図で あ る 。 本発明 の理解の容 易化 のた め、 先ず、 図 1 及び図 2 を 参照 し て、 本発明 の技術的思想 を説明 し 、 そ の後 に具体的 に実施の形態 を説明する こ と にす る 。 尚、 以下 の実施の 形態では、 薄膜 を柱状体、 積層パ タ ー ン を段差構造体 と し て説明す る こ と と する 。

本発明 は、 絶縁性基板上 に ア ク テ ィ ブ素子及び凹 凸状の反射電極 を具備 し た反射板 にお い て、 ァ ク ティ ブ素子 を形成する 工程 にお い て、 周時 に 凹 凸状反射画素電極の 凸部の土台 と な る 段差構造体 を 形 成す る こ と を特徴 と する も の で あ る 。 従 っ て、 図 1 に ¾すよ う に 、 段差構造体 B が例 え ば第 1 の柱状体 A 1 と 第 2 の柱状体 A 2 か ら 構 成 さ れて い る 場合、 第 2 の柱状体 A 2 の幅は第 1 の柱状体 A 1 の 幅 よ り 小 さ い。 ま た 、 柱状体 A l , A 2 を構成する 層 はア ク テ ィ ブ素 子 D を構成す る 層 L I , L 2 , ··· , L n l の う ち の層か ら 選択 さ れ て い る 。 尚、 柱状体 A l , A 2 を構成する 層 は、 ア ク テ ィ ブ素子 D を構成す る 層 L I , L 2 , …， L n の う ち の 1 層以上選択 さ れて い る 。 但 し 、 柱状体 A l , A 2 の積層順序は、 ア ク テ ィ ブ素子 D を構 成する 層 L 1 , L 2 , …， L n の順序で あ る が、 L 1 ， L 2 , …， L n のすべてが必ず し も使用 さ れな く て も よ い。

上記の段差構造体 , B の製造方法 と し ては、 第 1 の柱状体 A 1 を積 層 し た後のパ タ ーニ ン グ、 次いで、 第 2 の柱状体 A を積層 し た後の パ タ ーニ ン グ と い う よ う に 2 回 の積層 · パ タ ーニ ン グを行 う こ と に よ り 作製さ れる 。

図 2 を参照 し て、 更 に説明する 。 例え ば、 ア ク ティ ブ素子 D を構 成する 層が L I , L 2 , ··· , L 5 の場合 （図 2 ( a ) 参照） を例 と し て説明す る 。 こ の と き 、 L l ， L 2 , ··· , L 5 の う ち 1 以上 の層 を選択 し て積層 · パ タ ーニ ン グを 2 回行 う こ と に よ り 、 図 2 ( b ) 〜 （ f ) に示す よ う に種々 の組み合わせが可能で あ る 。 従っ て、 本 発明では、 柱状体の数、 柱状体の積層数及びパ タ ーニ ン グに よ る 柱 状体の幅 を 制御す る こ と に よ り 、 段差構造体の形状が制御で き 、 こ の結果、反射電極の 凹 凸形状 を 高精度で制御可能 と する も ので あ 。

尚、 本発明 で は、 絶縁性基板 自 体 に 凹 凸 を形成 し て、 段差構造体 の一部 と なす よ う に構成 し て も よ い。 ま た、 上記の例では、 段差構 造体は 2 つ の柱状体か ら 構成 さ れる 場合 につ いて説明 し た けれ ど も ， 3 以上の柱状体か ら 構成 さ れる 段差構造体 に つ い て も 、 本発明 は適 用 する こ と がで き る 。

以下、 本発明 の実施 の形態 を 図面 を 用 い て説明する 。

(実施の形態 1 — 1 )

図 3 は実施の形態 1 一 1 に係 る 反射型液晶表示装置の要部断面図 で あ り 、 図 4 はそ の一部 を拡大 し た断面図で あ る 。 反射型液晶表示 装置 1 は、 ア レイ 基板 （反射板 に相 当 する ） R と 、 ガ ラ ス な ど の対 向基板 1 4 (表示面側） と 、 ア レイ 基板 R及び対向基板 1 4 間 に挟 持 さ れた液晶層 1 0 と を有する 。 ア レイ 基板 は、 ガラ ス な どの絶 縁性基板 4 上 に、 ア ク テ ィ ブ素子 と し て の T F T 3 と 、 ゲー ト 配線 6 と 、 信号配線 1 8 b と 、 段差構造体 8 0 (図 4 参照） と が形成 さ れて構成 さ れて い る 。 T F T 3 は、 絶縁性基板 4 の 上に形成 さ れた ゲー ト 電極 6 と 、 ゲー ト 絶縁膜層 1 5 と 、 ア モル フ ァ ス シ リ コ ン層 1 6 a 及び不純物 層 （ n +層） 1 6 b か ら な る 半導体層 1 6 と 、 層 間絶縁膜層 1 7 と 、 ソ ース · ド レイ ン電極 1 8 a と 、 信号配線 1 8 b と 、 第 1 の絶縁膜層 8 (パ ッ シベー シ ヨ ン膜層 に相 当する ） の 各 層 に よ っ て積層 さ れた構成 と な っ て い る 。 ま た、 段差構造体 8 0 は、 絶縁性基板 4 の 凹 凸面形成領域 7 に形成 さ れてお り 、 上方 に 向か う に連れて先細状の段差構造 を有する 。 こ の段差構造体 8 0 は、 ゲ一 ト 電極 5 と 、 ゲー ト 絶縁膜層 1 5 と 、 半導体層 1 ' 6 と 、 層間絶縁膜 層 1 7 と 、 ソ ース ' ド レイ ン電極 1 8 a と 、 第 1 の絶縁膜層 8 の 各 層が積層 さ れて構成 さ れて い る 。段差構造体 8 0 を構成する 各層 は、 断面形状が 円 形状 と な っ て い る 。 （尚、 T F T 3 を構成する 各層 と 、 段差構造体 8 0 を構成す る 各層 と の 区別 の た め 、 必要に応 じ て段差 構造体 8 0 を構成する 各層 につ いて は 円 形パ タ ー ン 層 と称す る こ と にす る 。 そ し て、 円形パ タ ー ン層 の う ち T F T の層 に対応する 層 に は、 T F T の層 を示す参照符号 に記号 卩 '」 を 付 して示す。 例え ば、 T F Tの ゲー ト 電極 6 と 同一層 の 円 形パ タ ー ン層 で あれば参照符号 6 ' で示 し 、 ま た、 T F T の半導体層 1 6 と 同一層 の 円形パ タ ー ン 層 で あ れ ば参照符号 1 6 ' で示す こ と に す る 。） そ し て、 凹 ΰ状 の 反射電極 2 が段差構造体 8 0 を覆っ て い る 。 ま た、 反射電極 2 及び T F T 3 等 の上面に は、 配向膜 1 1 が形成 さ れて い る 。 尚、 反射電 極 2 は、 コ ン タ ク ト ホール 9 を介 し て、 ソ ー ス · ド レイ ン電極 1 8 a と 電気 的 に 接続さ れて い る 。

ま た、 対 向基板 1 4 の 内側面に は、 カ ラ ー フ ィ ルタ ー 1 3 、 透明 電極 1 2 、 配 向膜 1 1 が積層 さ れて い る 。

次 に、 反射型液晶表示装置の製造方法 に つ い て説明する 。

(第 1 工程）

図 5 ( a ) に示す よ う に絶縁性基板 4 上の T F T形成領域 にゲー ト 配線 6 及ぴゲー ト 電極 5 を形成す る と と も に 、 絶録性基板 4上 の 凹 凸面形成領域 7 に ゲー ト 配線 6 及びゲー ト 電極 5 と 同一材料で構 成 さ れた 円 形パ タ ー ン層 5 ' を 形成する 。

こ の 円形パタ ー ン層 5 ' の製造方法 を 図 6 を用 いて、 さ ら に詳細 に説明する 。 絶縁性基板 4 上 にス パ ッ タ リ ン グな どの手法 に よ っ て ア ル ミ ニ ウ ム や ク ロ ム な ど の 金 属 材 料 層 1 9 を 成 膜 す る （ 図 6 ( b ) )。 次 い で、 こ の金属材料層 1 9 の 上 に ポジ型感光性樹脂 を ス ピ ン コ ー ト 等 の 手法 を 用 い て感光性樹脂 層 2 0 を 形成す る （ 図 6 ( c ) )。

次い で、 マス ク 2 1 を 用 いて露光 を行な う （図 6 ( d ) )。 こ の マ ス ク 2 1 は、 図 7 に示すよ う にゲー ト 配線パ タ ー ン 2 2 、 ゲー ト 電 極パ タ ー ン 2 3 の他 に 、円形のパ タ ー ン 2 4 が複数形成 さ れて い る。 こ れ ら はいずれ も遮光性 の材料、 た と え ばク ロ ム や アルミ ニ ウ ム な どで構成さ れて い る 。

こ の よ う なマ ス ク 2 1 を 用 いて露光 を行な っ た後、 現像 を行 う 。 こ の 結果、 感光性樹脂層 2 0 を所定のパ タ ー ン にす る こ と がで き る (図 6 ( e ) )。

感光性樹脂層 2 0 を前記 の方法でパ タ ーニ ン グ し た後、 金属材料 層 1 9 をエ ッ チ ン グす る （図 6 ( f ) )。 金属材料層 1 9 のエ ツ チ ン グ後、 感光性樹脂層 2 0 を剥離液 に よ り 剥離する 。 こ の結果、 絶録 性基板 4 上 に は 同一の金属材料層か ら な る 、 ゲー ト 配線 6 、 ゲー ト 電極 5 、 及 び 円 形パ タ ー ン 層 5 ' が形成 さ れ る こ と に な る （ 図 6 ( g ) )。 尚、 当 該パ タ ーニ ン グする ため のエ ッ チ ン グは、 テーパ形 状 と な る よ う な条件で行 う のが望ま し い。 こ の よ う にすれ ば、 後述 す る よ う に 円 形パ タ ー ン層 5 '、 ゲー ト 配線 6 、 及びゲー ト 電極 5 の上部 にゲー ト 絶縁膜層 1 5 を形成する 際 に、円形パ タ ー ン 層 5 '、 ゲー ト 配線 6 、 及びゲー ト 電極 5 と 、 ゲー ト 絶縁膜層 1 5 と の 密着 性 を 向上す る こ とが可能 と な る 。

(第 2 工程）

次 いで、 ゲー ト配線 6 及びゲー ト 電極 5 及ぴ円 形パタ ー ン層 5 ' 上 にゲー ト 絶縁膜層 1 5 を形成する 。

(第 3 工程）

次 い で、 半導体層 1 6 の形成 を行 う 。 薄膜 ト ラ ン ジス タ を ァ ク テ イ ブマ ト リ ク ス 素子 3 に用 い る 場合 に は、 プラ ズマ C V D な どの手 法 に よ り ア モル フ ァ ス シ リ コ ン層 1 6 a を 、 第 2 工程で成膜 し.た ゲ ー ト 絶縁膜層 1 5 上 に成膜す る （ 図 9 ( c ) )。 こ の工程 に お い て連 続的 に不純物層 1 6 b を ア モル フ ァ ス シ リ コ ン層 1 6 a 上 に成膜す る こ と も で き る （図 9 ( c ) )。 ま た、 ゲー ト 電極 5 上の ゲー ト 絶縁 膜層 1 5 を 、 半導体層 1 6 と 連続的 に成膜 し て も 良 い （図 9 ( c ) )。

こ れ ら 一連の半導体層 1 6 を成膜後 に再度パ タ ーニ ン グ を行 う 。 こ の 際、 第 1 工程 の場合 と 同様 に 、 ス ピ ン コ ー ト な ど に よ り ポ ジ型 感光性樹脂層 を成膜後、 図 8 に示 し たパタ ー ンの マス ク 2 7 を用 い て露光 を行 う （図 9 ( d ) )。 図 8 に示 し た マス ク 2 7 は、 半導体層 パ タ ー ン 2 8 と 円 形パ タ ー ン 2 9 等か ら 構成 さ れて い る 。 図 7 に示 し たマス ク パ タ ー ン 2 1 と 図 8 に示 し たマ ス ク ノヽ " タ ー ン 2 7 と の 関 係 を 図 9 に示す。 ァ ラ イ メ ン ト マー ク を用 いてマ ス ク の合わせ を行 つ た場合、 図 9 に示 し た通 り 、 図 7 に示 し た 円 形パ タ ー ン の 中 心 の 位置 と 、 図 5 に示 し た 円形パ タ ー ン の 中心の位置 は同 じ位置 に あ る 設計 にな っ て い る 。 こ の 2 つ の マ ス ク 2 1 , 2 7 の違い は 円 形パ 夕 ー ン の半径 に あ る 。 即ち 、 図 7 に示 し たマス ク 2 1 の 円 形ノ、。 タ ー ン よ り も 図 8 に示 し た マス ク 2 7 の 円 形パ タ ー ンの半径の方が小 さ く な る よ う に設計 さ れて い る 。 こ の結果、 図 9 ( e ) に示すよ う に ェ ツ チ ン グ後は、 ゲー ト 電極 6 と 同 じ金属材料層 1 9 の 円形パ 夕 一 ン 層 5 ' よ り も半導体層 1 6 (ア モル フ ァ ス シ リ コ ン層 1 6 a 及ぴ不 純物層 1 6 b ) に よ り 形成 さ れた 円 形パ タ ー ン層 1 6 ' ( 円 形パ 夕 — ン層 1 6 a ' 及び円形パ タ ー ン層 1 6 b ' ) の方が小 さ く な る 。

(第 4 工程）

第 4 工程 では、 層 間絶縁膜層 1 7 を成膜 し た後、 信号配線 1 8 b 及びソ ース · ド レイ ン電極 1 8 a の形成 の た め 、 金属材料層 3 0 を ス パ ッ タ リ ン グな ど の方法で成膜 し 、 次いで第 1 工程及び第 3 工程 と 同様 に ポ ジ型感光性樹脂 2 0 を成膜す る （（ 図 1 1 ( f ) )。 そ の 後、 図 1 0 に示すよ う なパ タ ー ン のマ ス ク 3 1 を 用 いて露光 · 現像 を 行 う （（ 図 1 1 ( g )：)。 さ ら に 、 R I E な ど の ド ラ イ エ ッ チ ン グ プ ロ セス に よ り 金属材料層 3 0 のパ タ ーニ ン グを行 う 。 こ の結果、 円 形パ タ ー ン層 1 7 '、 円 形パ タ ー ン 層 1 8 a ' が形成 さ れ る 。 こ こ で.、 マス ク 3 1 は、 図 1 1 の よ う な 閧係 に設計 し てお く 。 即ち 、 マ ス ク 3 1 の 円 形パ タ ー ン の 中心 は、 マス ク 2 1 , 2 7 の 円 形パ タ — ン の 中心 と 同 じ位置で あ る が、 円 形パ タ ー ン の大き さ が小 さ く な る よ う に設計 し てお く 。 こ う し て、 3 つ の マス ク 3 1 、 マス ク 2 7 、 マ ス ク 2 1 はそ の 円 形パ タ ー ン の 中心位置は同 じ で あ る けれ ど も 、 マス ク 3 1 、 マ ス ク 2 7 、 マ ス ク 2 1 の順で 円形パ タ ー ンの半径が 小 さ く な る よ う に設計 し てお く こ と に よ り 、 図 1 1 ( h ) に示すよ う な階段状 の 円 形パ タ ー ン層 を得 る こ と ができ る 。

(第 5 工程）

絶縁膜層 8 を形成 し た後、 ソ ース · ド レイ ン電極 1 8 a と の電気 的な導通部であ る コ ンタ ク ト ホール 9 を形成する た め、 第 3 工程 と 同様 に ポジ型感光性樹脂 を成膜後、 マス ク を用 い てパタ ーニ ン グを 行 う 。 さ ら に、 エ ッ チ ン グな ど に よ り 第 1 の絶縁膜層 8 のパ タ ー二 ン グ及びコ ン タ ク ト ホール 9 の形成 を行 う （図 5 ( d ))。 (第 6 工程）

第 6 工程 では、 反射電極 2 を ス パ ッ タ リ ン グな ど の成膜プ ロ セ ス に よ り 成膜後、 フ ォ ト リ ソ グ ラ フ ィ 一 に よ り ノ タ ーニ ン グ を行 う 。 こ の結果、 円形パ タ ー ン層 1 8 a ' 上 に 円形パ タ ー ン層 8 ' が形成 さ れ る 。

こ う し て第 1 工程か ら 第 6 工程 を経て形成さ れた反射電極は、 図 5 ( e ) に示すよ う に 、 複数の段差構造体 に沿 う た め、 凹 凸状 に形 成 さ れる こ と に な る 。 さ ら に、 段差構造体の各層 は最上層 に な る ほ ど 小 さ く な る よ う に形成 さ れて い る た め、 凹 凸形状の う ち 平坦な部 分の 占 め る 面積比率が従来例、 例え ば、 特開平 9 一 5 4 3 1 8 号公 報、 特 開平 1 1 一 1 3 3 3 9 9 号公報、 特開平 1 1 — 2 5 8 5 9 6 号公報な ど に記述 さ れて い る 反射電極 に比べて小 さ く する こ と がで さ る 。

ま た 、 特許公報第 2 7 5 6 2 0 6 号記載の よ う に、 ア ク テ ィ ブマ ト リ ク ス 素子がその表面 に形成 さ れた基板上 に新た に感光性樹脂 を 用 いて 凹 凸 を形成す る 工程では、 感光性樹脂 の塗布、 マス ク を介 し て の 露光、 現像な ど一連の フ ォ ト リ ソ グ ラ フ ィ ー プロセス が 1 工程 分増加する た め、 工程増加分の 固定費の増大、 例え ば、 感光性樹脂 材料費、 現像液費、 マス ク 作製費な ど の増加、 ま た、 全行程への歩 留 ま り の低下、 タ ク ト 増大な ど に よ る コ ス ト の増加 につ ながる 。 こ の点 に 関 し て、 上記実施 の形態 1 に よ れ ば、 ア ク テ ィ ブ素子形成後 の上記フ ォ ト リ ソ グ ラ フ ィ ー プロ セス がな いた め、 特許公報第 2 7 5 6 2 0 6 号記載の製造方法 に比べて、 製造 コ ス 卜 の低下 を 図 る こ と がで き る 。

こ こ で、 前記工程 を経て製造 さ れた反射電極 2 の反射特性の評価 方法 に つ い て説明す る 。 尚、 反射板 の み作製 し て、 反射電極 2 の反 射特性の評価 を行 っ た。 具体的 に は、 図 1 2 に示すよ う に、 平行光 源 3 5 か ら 白 色光 3 6 を入射 し て輝度計 3 8 に よ り 反射光強度 3 7 (本実施 の形態 の場合は、 散乱光強度） を測定する 。 こ の際、 光源 3 5 は反射電極 2 が形成さ れて い る 基板 4 の法線方向 に配置 し てお き 、 輝度計 を入射光 と 反射電極水平面 と が交わ る 円 面の 中 心か ら 等 距離にな る よ う に 回転 さ せなが ら 測定する 。 ま た、 実際 の液晶表示 装置の反射特性 を再現する た め対向基板 1 4 を屈折率が大凡 1 . 5 と な る 材料層 を挟み込むよ う に配置 してお く 。 こ の と き の測定結果 を 図 1 3 に示す。 同様に して 、 特開 平 9 一 5 4 3 1 8 号及びに特開 平 1 1 — 1 3 3 9 9 号な ら ぴ に特 開 平 1 1 - 2 5 8 5 9 6 号記載 の 反射電極 の反射特性 を評価 し た結果 を 図 1 4 に示す。 こ れ ら 反射特 性を示す 図 1 3 , 1 4 にお いて、 横軸 に散乱角 （基板法線方向か ら の輝度計 の測定角 ）、 縦軸 は散乱光強度 を 示すが、 こ こ では単位 は 任意 と し て い る 。 図 1 3 と 図 1 4 か ら 明 ら かな よ う に、 本実施 の形 態 に示さ れて い る 反射電極の反射特性の方が、 平行光源か ら の入射 光 に対す る 正反射が観測 さ れて い る 散乱角 を 中心 に広い散乱角 の範 囲で ほぼ一定で よ り 明 る い強度を示す こ と がわか る 。以上 の よ う に、 本実施の形態 に係 る 反射電極 にお いて、広い散乱角 の 範囲 にお いて、 良好な輝度 の反射電極 を製造する こ と がで き た。

ま た、反 射特性 を 複数の反射電極付 き基板 につ いて行 っ た と こ ろ 、 本実施の形態 に 係 る 反射電極では、 反射金属材料層 な ど の 剥離や亀 裂な どはほ と ん ど観察さ れなか っ た。

(第 7 工程）

第 1 工程か ら 第 6 工程 ま での工程 を経た絶縁性基板につ い て、 さ ら に、 反射電極の上 に液晶分子を配向 さ せ る た め の ポ リ イ ミ ド 系高 分子材料 も し く はポ リ ア ミ ッ ク 酸系高分子材料 を塗布、 焼成す る 。 次い で、 透明電極及びカ ラ ー フ ィ ルタ ー を有する 透明基板 と 、 ァ ク テ ィ ブマ ト リ ク ス 素子及び反射電極 と を具備する絶縁性基板 と を 、 樹脂製ス ぺ 一サな ど を介 し て一定の間隙 を保持する よ う に貼 り 合わ せ、 さ ら に 基板間 の 間隙 に液晶材料 を封入 し てお く 。 さ ら に、 駆動 回路の実装 な ど を経て反射型液晶表示装置が作製さ れる 。

前記方法で作製さ れた液晶表示装置 を 用 い て、 外光下 にお いて 、 映像信号 を 入力 し 、 映像表示 を観察 し た と こ ろ 、 フ リ ッ カ ーな ど の 表示不良は観察 さ れなか っ た。 ま た、 映像信号の電圧を調整 し 、 あ る 一定 の外光下で輝度の最小値 と最大値 と の比か ら コ ン ト ラ ス ト を 評価 し た と こ ろ 、 単純マ ト リ ク ス 駆動 し た液晶パ ネル と ほぼ同 じ値 を得 る こ と がで き た。

尚、 本反射型液晶表示装置の構成であ る が、 光学 フ ィ ルム と し て 偏光板 1 枚 に位相差板 を用 い 、 液晶材料 と し て、 T N型の液晶材料 を用 い て評価 を行 っ たが、 '偏光板 を用 いず、 2 色性 を有する 色素 を 用 いたゲス ト ホス ト 液晶材料 を用 いて行 っ て も 差 し支えな い。 ' ま た、 白 表示並びに黒表示の た め の 映像信号 を こ の反射型液晶表 示装置 に入力 し 、 S C E での コ ン ト ラ ス ト を測定 し た と こ ろ 、 従来 の反射型液晶表示装置よ り も 良好な表示品位 を得る こ と ができ た。

(実施の 形態 1 一 2 )

図 1 5 は実施の形態 1 一 2 に係 る 反射型液晶表示装置の要部断面 図で あ り 、 図 1 6 はそ の一部 を拡大 し た断面図 で あ る 。 本実施の形 態 1 一 2 は、 前記実施の形態 1 一 1 に類似 し対応する部分に は同 一 の参照符号 を付す。 本実施 の形態 1 一 2 が実施 の形態 1 一 1 と 異な る の は、 段差構造体 の積層 さ れた各 円 形パ タ ー ン層 が非対称な構成 にな っ て い る こ と で あ る 。 こ の よ う な構成 と し た の は、 以下の理由 に よ る 。 即ち 、 前記実施 の形態 1 一 1 にお ける 反射型液晶表示装置の 評価 過程 にお い て、 新た に課題が生 じ た。 光源か ら の入射方向 に輝度の ピー ク が存在する 。 観察者が こ の よ う な反射型液晶表示装置 を用 い て映像 を観察す る と 、 そ の視界内 中央 に 白 色 の輝点があ る よ う に見 え る た め 、 他の部分への影響 を生 じ る 。 こ の輝点 を視野の 中央か ら 可能な限 り 、 離れた位置にず ら す必要が生 じ た。 こ れ を解決す る た め に は、 傾斜角分布 を全体的 に角度の大 きな方向へず ら す必要があ る 。 そ こ で 、 段差構造体の積層 さ れた各層が非対称な構成 と す る こ と に よ り 、 正反射方向 を観察者の視野角 の 中央部か ら 離れた位置 に ず ら す こ と がで き、 良好な表示品位が得 ら れる こ と にな る 。

次 に 、 実施 の形態 1 一 2 に係 る 反射型液晶表示装置 3 9 の製造方 法 につ いて説明する 。 実施の形態 1 一 1 の製造方法 と 同様の製造ェ 程 を 経る が、 各工程 での フ ォ ト リ ソ グ ラ フ ィ 一 プロ セス で用 い る マ ス ク 4 0 の パ タ ー ン形状が異な る 。 こ の マス ク 4 0 のパ タ ー ン に つ き 、 図 1 7 を用 い て説明する 。 図 7 、 8 、· 1 0 と 同様 に 円形パ タ ー ンが形成 さ れて い る が、 実施の形態 1 と 異な る 箇所は円形 の 中 心が 同 じ位置 に あ る の で はな く 、 図 1 7 に示すよ う に あ る方向 にず ら す こ と に よ り 、 非対称な形状を各層 の積層 に よ り 構成する 。 前記 マス ク 4 0 を用 い て、 T F T 素子 3 を構成する 各層 を積層、 パ タ ーニ ン グ を繰 り 返 し 、 反射電極 を最上部 に成膜する 。

前記工程 に よ り 作製 し た反射電極 に つ い て、 図 1 2 に記載 し た評 価装置 を 用 いて 、 実施の形態 1 一 1 と 同様の評価方法で反射特性 を 評価 し た。 こ の 結果、 本実施の形態 1 一 2 に係 る 反射電極の反射特 性 は、 偏向 し てお り 、 光源か ら の入射光 の方向、 即ち 、 正反射が観 測 さ れる べ き角度に は輝度の ピー ク が観測 さ れな つ た。

ま た、 .本実施 の形態 1 一 2 に係 る 反射板上 に配向膜を形成 し 、 こ の反射板 と 、 配 向膜が形成 さ れた カ ラ 一 フ ィ ルタ 付き透明電極基板 と 貼 り 合わせ、 液晶材料 の封入、 周辺駆動回路な ど実装工程 を経て 反射型液晶表示装置 3 9 を作製 し た。 こ の反射型液晶表示装置 3 9 につ い て、 図 1 2 の評価装置 を用 い、 白 及び黒表示信号 を入力する こ と に よ り 、 コ ン ト ラ ス ト を測定 し た。 従来正反射が観測 さ れ る べ き 角度 に は ピー ク が観測 さ れなか っ た。 こ の よ う に、 段差構造体 8 0 の各層 を 非対称に積層す る こ と に よ り 、 正反射方向 を 観察者 の視 野角 の 中央部か ら 離れた位置 にず ら す こ と ができ 良好な表示品位 を 得る こ と ができ た。

(実施の形態 1 — 3 )

図 1 8 は実施 の形態 1 ― 3 に係 る 反射型液晶表示装置の要部断面 図で あ り 、 図 1 9 はそ の一部の拡大図で あ り 、 図 2 0 は実施 の形態 . 1 一 3 に係 る 反射型液晶表示装置の製造工程 図で あ る 。 本実施 の形 態 1 一 3 は、 前記実施の形態 1 ― 1 に類似 し対応する部分 に は 同一 の参照符号 を付す。 本実施の形態 1 一 3 は、 段差構造体 8 0 の積層 さ れた各層 の う ち 第 1 の絶縁膜層 8 の一部がパ タ ーニ ン グ さ れ、 且 つ溶融変形 に よ り 丸み を帯びた形状 と な っ て い る こ と であ る 。 こ の よ う な構成 に よ り 、 広 い散乱角 の 範囲で ほ ぼ一定でよ り 明 る い光強 度を 示す反射型液晶表示装置が得 ら れる 。

次 に、 実施 の形態 1 — 3 に 係 る 反射型液晶表示装置 4 1 の製造方 法 に つ いて説明す る 。 実施 の形態 1 一 1 の製造方法 と ほ ぼ同様で あ る （図 2 0 ( a ) 〜図 2 0 ( f ) ) が、 第 1 の絶縁膜層 8 に 代え て、 第 1 の絶縁膜 8 と 材料が異な る 絶縁膜層 4 2 を使用 する 点が異な る 。 絶縁膜層 4 2 と し ては、 有機材料か ら な る 感光性樹脂で あ る こ と が 望 ま し い。 ま た、 さ ら に は、 露光現像後の形状を適当な温度下で加 熱する こ と で変形する よ う な感光性樹脂で あ る こ と が望ま し い 。 カロ 熱後の形状は図 2 0 ( e ) に示すよ う な形状 と な る 。 続 く 工程 に お い て、 反射率の 良好な金属 を ス パ ッ 夕 な ど に よ り 成膜後、 反射電極 2 を形成する （図 2 0 ( f ) )。

上記、 工程 を経て、 製造 さ れた反射電極は、 特開平 8 — 1 8 4 8 4 6 号 に記載 さ れて い る 工程 よ り も 、 フ ォ ト リ ソ グ ラ フ ィ ー プ ロ セ ス が少な い た め 、 タ ク 卜 の 増大、 歩留 ま り 減少 の抑制等の効果 に よ り 、 コ ス ト を抑制する こ と ができ た。

こ こ で、 前記工程 を 経て製造 さ れた反射電極 の反射特性の評価方 法 につ い て説明する 。 図 1 2 に記載 し た評価装置を用 レ て、 実施 の 形態 1 と 同様の評価方法で反射特性 を評価 し た。 こ の結果 を 図 2 1 に示す。 図 2 1 か ら 明 ら か な よ う に本実施 の形態 3 に示 さ れて い る 反射電極 の反射特性 の方が、 平行光源か ら の入射光 に対する 正反射 が観測 さ れて い る 散乱角 を 中心 に広い散乱角 の範囲でほ ぼ一定でよ り 明 る い 強度を示す こ と がわ か る 。 以上の よ う に、 本実施の形態 に 係 る 反射電極 にお い て、 広 い散乱角 の範囲 に お い て、 良好な輝度 の 反射電極 を製造す る こ と がで き た。

(実施 の形態 1 一 4 )

図 2 2 は実施の形態 1 一 4 に 係 る 反射型液晶表示装置の要部断面 図で あ り 、 図 2 3 はそ の一部拡大図であ り 、 図 2 4 は実施の形態 1 一 4 に係 る 反射型液晶表示装置の製造工程 図で あ る 。 本実施の形態 1 一 4 は、 前記実施の形態 1 一 1 に類似 し 対応す る 部分 に は同一 の 参照符号 を付す。 本実施 の形態 1 一 4 は、 段差構造体 8 0 の積層 さ れた各 円 形パ タ ー ン層 の う ち 絶縁膜層 4 4 の 一部がパタ ーニ ン グ さ れて段差構造体 8 0 を 囲 い込む構成にな っ て い る こ と を特徴 と し て い る 。 こ の よ う な構成 に よ り 以下の効果 を奏する 。

( 1 ) 反射金属材料層 な ど の剥離や亀裂な ど は ほ と ん ど観察 さ れ なか っ た。

( 2 ) ま た、 外光下 に お い て、 映像信号 を入力 し 、 映像表示 を観 察 し た と こ ろ 、 フ リ ッ カ ーな ど の表示不良は観察さ れなか っ た。

( 3 ) ま た 、 映像信号の電圧 を 調整 し 、 あ る 一定の外光下で輝度 の最小値 と 最大値 と の比か ら コ ン ト ラ ス ト を評価 し た と こ ろ 、 単純 マ ト リ ク ス 駆動 し た液晶パ ネル と ほ ぼ同 じ値を得る こ と がで き た。

上記効果 （ 1 ) 〜 （ 3 ) が得 ら れる 理 由 は、 段差構造体 を 絶縁膜 層 4 4 が囲 い込んでお り 、 こ の結果、 電界に よ る オ フ 時の リ ー ク が 抑制 さ れて い る た め であ る 。

尚 、 本実施 の形態 に係 る液晶表示装置の製造方法は、 図 2 4 に示 すよ う に基本的 に は、 実施の形態 1 一 1 と 同様で あ る 。 但 し 、 本実 施 の形態 1 一 4 では、絶録膜層 4 4 が段差構造体 を 囲 い込むよ う に、 絶縁膜層 4 4 のパ 夕 一ニ ン グ を行 う 点が、 実施の形態 1 一 1 と 異な る 。

(実施の形態 1 一 5 )

図 2 5 は実施の形態 1 一 5 に係 る 反射型液晶表示装置の要部断面 図 で あ り 、 図 2 6 はその一部拡大図で あ る 。 本実施 の形態 1 一 5 は、 前記実施 の形態 1 ― 1 に類似 し対応す る部分に は同一の 参照符号 を 付す。 本実施 の形態 1 — 5 は、 段差構造体の積層 さ れた各層 の う ち ゲー ト 絶縁膜層 1 5 の一部がパ タ ーニ ン グ さ れ、 し か も 、 ゲー ト 絶 縁膜層 1 5 が同一組成であ っ て且つ膜密度の異な る 2 層 か ら 構成 さ れて い る こ と を特徴 とす る も の で あ る 。 こ の よ う な膜密度の 異な る ゲー ト 絶縁膜層 1 5 を 用 い る こ と に よ り 、 膜厚 を適宜調整すれば、 段差構造体 の形状 を任意 に制御す る こ と が可能 と な り 、 こ の結果、 反射電極 の 凹 凸形状の 制御 を 高精度で行 う こ と が可能 と な る 。

次 に、 本実施の形態 1 一 5 に係 る 反射型液晶表示装置 4 5 の製造 方法 につ い て説明す る 。 実施 の形態 1 一 1 記載 の反射型液晶表示装 置の製造方法 と 同様 の製造工程 を 経る が、 同一 の組成か ら な る ゲー ト 絶縁膜層 1 5 であ っ て、 異な る プロ セス 条件 に よ り 成膜 さ れて い る 点が異な っ て い る 。 例 え ば、 ゲー ト 絶縁膜層 1 5 につ い て、 窒化 珪素 S i N x を用 い る 場合 に は、 プラ ズマ C V D な ど に よ り 成膜を 行 う 。 こ の 際、 原材料で あ る シ ラ ン S i H ₄ 、 ア ン モニ ア N H ₃ 、 窒素 N ₂ な どの量論比、 成膜時の温度を適切 に 調整する こ と に よ り 、 所謂膜密度 を調整す る こ と が可能 と な る 。 こ れ ら 膜密度の異な る 絶 縁膜 をエ ッ チ ン グ に よ り パ 夕 一ニ ン グを行 う と 、 一般に、 膜密度の 大き い も の程エ ッ チ ン グの速度が遅 く な る 。 従っ て、 図 2 6 に示す よ う に、 第 1 層 目 に膜密度の大き い窒化珪素 S i N x 4 6 、 第 2 層 目 に は膜密度の 小 さ い窒化珪素 S i N x 4 7 を成膜 してお き 、次 に、 エ ッ チ ン グ を行 う と 、 テーパー状にエ ッ チ ン グさ れる。 こ の際 の テ ーパ一 は角 度が異な る 。 ま た、 上層 に膜密度の 小 さ い絶縁膜を成膜 し て い る た め、第 1 層 目 よ り も 第 2 層 目 の方が角度が大 き く でき る 。 こ の よ う に 、 膜密度 の異な る絶縁膜 を成膜する こ と によ り 、 よ り 形 状制御 を 高 く する こ と ができ る 。 ま た、 膜厚 を適切 に調整する こ と に よ り 、 凹 凸 の形状 を 制御する こ と がで き る 。

次 い で、 半導体層 1 6 、 信号配線 1 8 b や ソ ース · ド レイ ン電極 1 8 a 等の金属層な どの成膜 · パタ ーニ ン グ工程 に行っ た後、 反射 率の 良好な金属 を ス パ ッ 夕 な ど に よ り 成膜後、 反射電極 2 を形成す る 。

以上の工程 を経た反射電極 の反射特性は、 入射する光 に対 し て正 反射方向へ の 出射光が少な く 、 良好な散乱特性 を有する も の で あ つ た。

さ ら に、 上記工程 を経て作製 さ れた反射電極が形成さ れた基板 を 用 いて 、 実施 の形態 1一 1 と 同様の工程 を経て、 反射型液晶表示装 置 を作製 し た。 こ の 反射型液晶表示装置 を 用 いて映像表示 を 行 っ た と こ ろ 、 広 い視角範囲でペーパー ホ ワイ ト 性の高 く 、 明 る く コ ン ト ラ ス ト の 良好な 映像 を得る こ と がで きた。

(実施 の形態 1 一 6 )

図 2 7 は実施の形態 1 一 6 に係 る 反射型液晶表示装置の要部断面 図で あ り 、 図 2 8 はその一部拡大図で あ り 、 図 2 9 は実施 の形態 1 一 6 に係 る 反射型液晶表示装置の製造工程 図であ る 。 本実施 の形態 1 一 6 は、 前記実施の形態 1 一 1 に類似 し対応する部分 に は同一の 参照符号 を付す。 本実施の形態 1 一 6 は、 T F T 3 を構成す る 積層 さ れた各層 の う ち 、 ソ ース ' ド レイ ン電極 1 8 a に も 凹 凸構造が形 成 さ れて い る こ と を特徴 と する も の であ る 。 こ の よ う な構成 と す る の は以下の 理 由 に よ る 。 即ち 、 反射電極 2 下に 凹 凸構造 を形成する だけでは、 平坦部はな く な ら ず、 ソ ース ' ド レイ ン電極上 に 凹 凸 を 形成す る こ と に よ り 、 よ り 良好な反射特性 を有する 反射電極、 さ ら に は良好な表示品位 の反射型液晶表示装置 を得る こ とがで き る 。尚、 信号配線、 ゲ一 ト 配線及び T F T の何れか 1 つ の上面を 凹 凸状 と す る よ う に し て も よ い。

次 に 、 実施の 形態 1 一 6 に係 る 反射型液晶表示装置 4 8 の製造方 法 に つ いて説明する 。 実施 の形態 1一 1 記載の反射型液晶表示装置 の製造方法 と 同様 の製造工程 を経る が、 ソ ース · ド レイ ン電極 1 8 a を 形成後、 その上部に絶縁膜層 4 9 を形成す る 。 こ の際、 絶縁膜 層 4 9 と し ては、 有機材料か ら な る 感光性樹脂であ る こ と が望ま し い 。 ま た、 さ ら に は、 露光現像後の 形状を適当 な温度下で加熱す る こ と で変形する よ う な感光性樹脂で あ る こ とが望ま し い 。 加熱後の 形状は図 2 9 ( e ) に示すよ う な形状 と な る 。 続 く 工程 にお い て、 反射率 の 良好な金属 を ス パ ッ 夕 な ど に よ り 成膜後、 反射電極 2 を 形 成する （図 2 9 ( f ) )。

尚、 反射電極層 を成膜後、 画素電極をパ タ ーエ ン グする 工程 にお いて、 同時 に ソ ース 電極 と ド レイ ン電極 と のパ タ 一ニ ン グ を行 い 、 T F Tがス イ ッ チ ン グ素子 と し て作用する よ う に し てお く 。

以上の 工程 を経た反射電極は、 予め T F T を構成する 積層 さ れた 各層 をパ タ ーニ ン グす る こ と に よ り 凹 凸が形成 さ れてお り 、 こ の た め 、 反射特性 は、 入射す る 光に対 し て正反射方向への出射光が少な く 、 良好な散乱特性 を有する も の で あ っ た。

さ ら に、 上記工程 を経て作製 さ れた反射電極が形成さ れた基板 を 用 い て、 実施の 形態 1 一 1 と 同様の工程 を経て、 さ ら に反射型液晶 表示装置 を 作製 し た。 こ の反射型液晶表示装置 を 用 いて映像表示 を 行 っ た と こ ろ 、 広 い視角範囲 でペーパーホ ワ イ ト 性の高 く 、 明 る く コ ン ト ラ ス 卜 の 良好な映像 を得る こ と ができ た。

(実施の 形態 1 — 7 )

図 3 0 は実施の形態 1 一 7 に係る 反射型液晶表示装置の要部断面 図で あ る 。 本実施 の形態 1 一 7 では、 前記実施の形態 1 _ 1 に類似 し対応する 部分 に は同一の参照符号 を付す。 本実施の形態 1 一 7 に 係 る 反射型液晶表示装置 5 4 は、 透過型兼用 の反射型液晶表示装置 で あ り 、 反射電極 2 の一部 に透明電極 5 5 が形成 さ れ、 光透過部位 (透明電極 5 5 が形成 さ れた平坦部位） の ]?み と 、 前記光透過部位 以外の部位 （段差構造体が形成 さ れた部位） の厚み と が異な る こ と を特徴 とす る 。

次 に 、 実施の形態 1 一 7 に 係 る 反射型液晶表示装置 5 4 の製造方 法 につ いて説明する 。 実施の形態 1 一 1 記載の反射型液晶表示装置 の製造方法 と 同様の製造工程 を経る が、 絶縁性'基板 4 上 の一部 に反 射電極 2 が形成 さ れず、 基板 4 裏面か ら 光 を入射 し た場合、 透過す る 部位 を有す る よ う に 各層 の形状をパ タ ーニ ン グする 。 こ の 際、 続 く 工程 にお い て、反射率の 良好な金属 を ス パ ッ 夕 な ど に よ り 成膜後、 反射電極 2 を形成す る 。 さ ら に 、 反射電極 2 を形成後、 I T O な ど の透明電極 5 5 を ス パ ッ 夕 な ど に よ り 成膜する 。

以上 の工程 を経た反射電極の反射特性 は、 入射する光 に対 し て正 反射方向へ の 出射光が少な く 、 良好な散乱特性 を有する も の で あ つ た。

さ ら に、 上記工程 を 経て作製さ れた反射電極が形成さ れた基板 を 用 い て、 実施 の形態 1 一 1 と 同様の工程 を経て、 さ ら に反射型透過 型兼用 液晶表示素子 を作製 し た。 さ ら に、 透過型モー ド で の使用 の た め に、 冷陰極管 と 反射板 と 導光板か ら な る パ ッ ク ラ イ ト ュニ ッ ト 等 を 固定 し てお く 。 こ の透過型兼用 の 反射型液晶表示装置 5 4 を 用 い て映像表示 を行 っ た と こ ろ 、 明 る い外光下では広い視野角 範囲で ペーパーホ ワイ ト 性の 高 く 、 明 る く コ ン ト ラ ス ト の 良好な 映像 を得 る こ と がで きた。 一方、 暗い環境下で も パ ッ ク ラ イ ト を点灯する こ と に よ り 、 視認性の 良好な映像表示 を行 う こ と がで き た。

尚、 透過型兼用 の反射型液晶表示装置 5 4 の基板間隔で あ る が、 望 ま し く は透明電極 5 5 の形成 さ れて い る 部位 と カ ラー フ ィ ルタ ー 1 3 等が形成 さ れて い る 対向基板 1 4 と の 間 隔は、 反射電極 2 の形 成 さ れて い る 部位のそれよ り も大き い こ と が映像表示上望 ま し い 。 こ の た め、 例 え ば、 各層 を適切 にパ タ ーニ ン グする こ と に よ り 、 図 3 0 に示す よ う に反射電極 2 形成部位 と 透過電極 5 5 形成部位 と の 膜厚 を異な る よ う に成膜 し てお け ばよ い。

(実施の形態 1 一 8 )

図 3 1 は実施 の形態 1 ― 8 に係 る 反射型液晶表示装置の要部断面 図で あ る 。 本実施の形態 1 一 8 では、 前記実施 の形態 1 — 7 に類似 し対応す る 部分 に は同一の参照符号 を付す。 本実施の形態 1 一 8 に 係 る 反射型液晶表示装置 5 6 は、 実施の形態 1 一 7 と 同様 に透過型 兼用 の反射型液晶表示装置で あ る 。 但 し 、 本実施 の形態 1 一 8 では、 透明電極 5 5 下 も し く は透明電極 5 5 上 にマイ ク ロ レ ンズ 5 7 (集 光手段 に相 当 ） を有 し て い る こ と を特徴 と し て い る 。

次 に 、 実施 の形態 1 一 8 の記載の反射型透過型兼用液晶表示装置 の製造方法 に つ いて説明する 。 実施の形態 1 一 7 記載の反射型液晶 表示装置の 製造方法 と 同様の製造工程 を経る が、 透明電極が形成 さ れて レ る 部位下 も し く は部位上 に マイ ク ロ レ ンズ 5 7 を形成 し てお く 。 望 ま し く は、 反射電極 5 5 下 に形成 さ れて い る 絶縁膜 に透明性 の感光性樹脂 を用 い る 。 こ の 際、 図 に示すよ う に 、 パ タ ーニ ン グ を 行い'、 加熱処理 を行 う と 、 反射電極形成部位は感光性樹脂 の熱だれ に よ っ て 凹 凸形状が構成 さ れ、 一方、 透明電極形成部位では、 図 に 示すよ う に 、 感光性樹脂が熱だれ に よ り 変形 し 、 レ ンズ形状に な る 。 こ の よ う に 、 絶縁性膜 に加熱 に よ り 熱だれ を 生 じ る 感光性樹脂 を 用 い る と 、 反射電極下の 凹凸形状 と 、 透明電極下の集光の た め の マイ ク ロ レ ンズ を 同時 に形成する こ と ができ る 。 続 く 工程 にお いて、 反 射率の 良好な金属 を ス パ ッ タ な ど に よ り 成膜後、 反射電極 を形成す る 。 さ ら に 、 反射電極層 を形成後、 I T O な ど の透明電極 を ス パ ッ タ な ど に よ り 成膜す る 。

以上 の工程 を経た反射電極の反射特性 は、 入射す る 光 に対 し て正 反射方向へ の 出射光が少な く 、 良好な散乱特性 を有する も ので あ つ た。

さ ら に 、 上記工程 を経て作製 さ れた反射電極が形成 さ れた基板 を 用 い て、 実施 の形態 1 一 1 と 同様の工程 を経て、 さ ら に反射型透過 型兼用液晶表示素子 を作製す る 。 こ の際、 透過型モー ド で の使用 の た め に 、 冷陰極管 と 反射板 と 導光板か ら な る バ ッ ク ラ イ ト ュニ ッ ト 等 を 固定 し てお く 。 こ の反射型透過型兼用液晶表示装置 を用 い て映 像表示 を行 っ た と こ ろ 、 明る い外光下で は広 い視野角範囲でぺーパ —ホ ワイ ト 性 の 高 く 、 明 る く コ ン ト ラ ス ト の 良好な映像 を得 る こ と がで き た。 一方、 暗 い環境下で もノ ッ ク ラ イ ト を点灯する こ と に よ り 、 視認性 の 良好な 映像表示 を行 う こ と ができ た。 尚、 マイ ク ロ レ ンズが形成 さ れて い る た め 、 実施の形態 1 一 7 の反射型透過型兼用 液晶表示装置 と 比べてバ ッ ク ラ イ ト 点灯時の輝度は 1 . 3 倍程度向 上 さ せる こ と ができ た。

ま た、 対 向基板上 に形成 し たカ ラ ー フ ィ ルタ ー を 反射型、 透過型 と し て 2 種類の光学濃度の も の を形成 し 、 マイ ク ロ レ ンズの集光性 を利用 する こ と に よ り 、 反射型モ一 ド お よ び透過型モー ド の各々 の 使用 時に色再現範囲 の広 い 良好な映像表示 を行 う こ とが可能 と な る （ (実施の 形態 1 一 9 )

図 3 2 は実施 の形態 1 一 9 に係 る 反射型液晶表示装置の要部断面 図であ り 、 図 3 3 はそ の一部拡大図で あ り 、 図 3 4 は実施の形態 1 一 9 に係 る 反射型液晶表示装置の製造工程 図で あ る 。 本実施の形態 1 一 9 では 、 上記実施の形態 に類似 し 、 対応する 部分に は同一の参 照符号 を付す。 本実施 の形態 1 一 9 では、 T F T 3 の ソ ース ' ド レ イ ン電極 1 8 a 上 を 覆 う 第 1 の絶縁膜層 8 が、 コ ン タ ク ト ホール形 成領域の みがパ タ ーニ ン グ さ れ、 そ の他の部分はパ タ ーニ ン グ さ れ て い な い こ と を特徴 と する も の で あ る 。 こ の よ う な構成 に よ り 、 第 1 の絶縁膜層 8 のパ タ ーニ ン グ にお け る タ ク ト の低下を 防止する こ と ができ る と レゝ う 特有の効果 を奏する 。 以下 にそ の理由 に つ い て説 明する 。 ソ ース ' ド レイ ン電極 1 8 a 上 を覆 う 第 1 の絶縁膜層 8 は、 窒化 珪素 （ S i N x ) 膜 を使用 する のが一般的であ り 、 従来例 にお いて も 、 ま た、 上記実施 の形態 1 一 1 〜 1 — 8 にお い て も、 第 1 の絶縁 膜層 8 と し て は、 窒化珪素 （ S i N X ) 膜が使用 さ れて い る 。 と こ ろ で、 かか る 窒化珪素膜 を 絶縁膜 と して使用 し た場合、 窒化膜はパ タ ーニ ン グが容易でな い と い う 性質 を有する た め 、 以下の 問題が生 じ る 。 即ち 、 窒化珪素膜 を絶縁膜 と して使用 し 、 反射電極 2 下の絶 縁膜 8 を ド ラ イ エ ッ チ ン グ プ ロ セ ス に よ り 柱状な ど にパ タ ー ニ ン グ を行 う と 、 エ ッ チ ン グ さ れる 領域が大き く な る ため 、 エ ッ チ ン グェ 程 に 多大な時間 を費やす こ と に な り 、 タ ク ト の低下を招 く と い う 問 題が判明 し た 。 そ こ で、 本実施の形態 1 ー 1 〜 1 — 9 では、 当 該第 1 の絶縁膜層 8 は コ ンタ ク ト ホール形成領域のみ をパタ ーニ ン グ し ， タ ク ト の低下 を 防止する よ う に し た も ので あ る 。

次 い で、 図 3 4 を参照 し て、 実施の形態 1 — 9 に係る 液晶表示装 置の製造方法 に つ い て説明する 。本実施の形態 1 一 9 の製造方法 は、 基本的 に は実施の形態 1 一 1 の液晶表示装置の製造方法 と 同一で あ る 。 従っ て、 本実施の形態 1 一 9 にお ける 製造方法の特徴的な事項 につ い て のみ説明する こ と にする 。

先ず、 本実施 の形態 1 一 1 と 同様 に第 1 工程 でゲー ト 配線 6 、 ゲ ー ト 電極 5 及 円 形パ タ ー ン層 5 ' を形成す る （図 3 4 ( a ) )。 次 い で、 第 2 工程 でゲー ト 絶縁膜層 1 5 を形成する 。 次 いで、 第 3 工程 で半導体層 1 6 及び円形パ タ ー ン層 1 6 ' を形成す る （図 3 4 ( b ))。 次い で、 第 4 工程 で ソ ース · ド レイ ン電極 1 8 及び円形パ タ ー ン層 1 8 ' を形成する （図 3 4 ( c ))。 次いで、 第 5 工程 にお い て第 1 の絶縁膜層 8 を形成 し た後、 ソ ース · ド レイ ン電極 1 8 a と の電気 的な導通部で あ る コ ン タ ク ト ホール 9 を形成する た め、 第 3 工程 と 同様 に ポジ型感光性樹脂 を成膜後、 マス ク を用 いてパタ ーニ ン グを 行 う 。 こ の 際 に使用 する フ ォ ト マス ク が実施の形態 1 一 1 と は異な る 。 即 ち 、 本実施の形態 1 — 9 にお い て使用 す る フ ォ ト マス ク は、 コ ン タ ク ト ホール 9 に対応する 領域の みが透光部分 と さ れた マ ク ス' ノ、。 タ ー ン を有 し て い る 。 こ の よ う な マス ク を 用 いてポジ型感光性樹 脂層 を 露光 · 現像する こ と に よ り 、 光の照射 さ れた部分が溶解 し て 消失す る 。 そ し て、 こ の状態で ド ラ イ エ ッ チ ン グ を行 う こ と に よ り 、 第 1 の絶縁膜層 8 に所定の コ ンタ ク ト ホール 9 が形成さ れる （図 3 4 ( d ) )。 尚、 コ ンタ ク 卜ホール 9 の形成後は、 ポ ジ型感光性樹脂 層 は第 1 の絶縁膜層 8 か ら 剥離する 。

こ こ で、 第 1 の絶縁膜層 8 と し ては窒化珪素 を使用 し 、 膜厚を 2 7 0 O A に成膜 し てお き 、 上述の と お り に コ ン タ ク ト ホール部 9 の みエ ッ チ ン グする と 、 こ の 工程 は 6 0 秒で終了 し た。 一方、 実施の 形態 1 一 1 と 同様 に 、 画素部の う ち 、 コ ン タ ク ト ホール 9 以外の部 分 も ド ラ イ エ ッ チ ン グ に よ り パ タ ーニ ン グす る と 、 1 5 0 秒要 し た。 従 っ て、 本実施の 形態 に 係 る 製造方法では、 タ ク 卜 は、 2 5 0 % 改 善 さ れ る こ と にな る 。

そ の後は、 実施 の形態 1 一 1 と 同様 に、 第 6 工程 で反射電極 2 を ス パ ッ タ リ ン グな ど の成膜 プ ロ セス に よ り 成膜後、 フ ォ ト リ ソ グ ラ フ ィ 一 に よ り パ夕 一ニ ン グ を 行 う 。

こ う し て第 1 工程か ら 第 6 工程 を経て形成 さ れた反射電極 2 は、 図 3 4 ( e ) に示すよ う に 、 複数の段差構造体 8 0 に沿 っ て 凹 凸状 に 形成 さ れ る 。 さ ら に、 段差構造体 8 0 の 各層 は最上層 にな る ほ ど 小 さ く な る よ う に形成 さ れて い る た め 、 凹 凸形状の う ち 平坦な部分 の 占 め る 面積比率が従来例、 例 え ば、 特開平 9 一 5 4 3 1 8 号公報、 特 開平 1 1 一 1 3 3 3 9 9 号公報、 特開平 1 1 一 2 5 8 5 9 6 号公 報な ど に 記述 さ れて い る 反射電極に比べて小 さ く する こ と がで き る ま た、 特許公報第 2 7 5 6 2 0 6 号記載の よ う に、 T F T がそ の 表面 に形成 さ れた基板上 に新た に感光性樹脂 を用 いて凹 凸 を形成す る 工程では、 感光性樹脂 の塗布、 マス ク を介 し ての露光、 現像な ど 一連 の フ ォ ト リ ソ グ ラ フ ィ ー プロ セス が 1 工程分増加する た め 、 ェ 程増加分の 固定費 の増大、 例 え ば、 感光性樹脂材料費、 現像液費、 マス ク 作製費な ど の 増加、 ま た 、 全行程への歩留 ま り の低下、 タ ク ト 増大な ど に よ る コ ス ト の増加 につ ながる 。 こ の点 に関 し て、 上記 実施の形態 9 に よれ ば、 T F T 3 形成後の 上記 フ ォ ト リ ソ グ ラ フ ィ — プ ロ セス がな い た め 、 特許公報第 2 7 5 6 2 0 6 号記載の製造方 法 に 比べて、 製造 コ ス ト の低下を 図 る こ と ができ る 。

尚、 特開平 9 一 5 4 3 1 8 号公報な ど に示さ れて い る 方法 と 同様 に 、 T F T を構成す る 半導体層、 ソ ース · ド レイ ン電極層 な ど各層 を積層 し た後、 ド ラ イ エ ッ チ ン グに よ り 形状をパ タ ーニ ン グ し た後、 さ ら に窒化珪素膜 を形成 し 、 コ ンタ ク ト ホールの み をエ ッ チ ン グ し て も 同様 に タ ク ト の 向上が可能であ る 。

上記の例で は、 第 1 の絶縁膜層 8 は窒化珪素 を 用 いた けれ ど も 、 酸化珪素 （ S i O x ) を 用 いて も よ い。

ま た、 第 1 の絶縁膜層 8 の膜材料 と し ては感光性樹脂 を用 い て も よ い 。 尚、 膜材料 と し て感光性樹脂 を用 い る 場合 に は、 デバイ ス の 動作性能の信頼性が窒化珪素膜 と 比べる と 劣る けれ ど も 、 パタ ー二 ン グが容易で あ る と い う 利点があ る 。 従 っ て、 第 1 の絶縁膜層 8 の 膜材料 と し て は感光性樹脂 を用 い る 場合は、 コ ン タ ク ト ホール形成 領域 に加えて、 コ ン タ ク ト ホール形成領域以外の部分につ い て も パ タ ー ニ ン グする よ う に し て も タ ク ト の低下 を招 く こ と も な い。勿論、 第 1 の絶縁膜層 8 の膜材料 と し て は感光性樹脂 を使用 する 場合 に 、 窒化珪素膜 を使用す る 場合 と 同様 に 、 コ ン タ ク ト ホール形成領域の みパ タ ー ニ ン グ し て も よ い。

(実施の 形態 1 — 1 0 ) '

図 3 5 は実施の形態 1 一 1 0 に係 る 反射型液晶表示装置 の要部断 面図で あ り 、 図 3 6 はそ の一部拡大図で あ り 、 図 3 7 は実施 の 形態 1 - 1 0 に 係 る 反射型液晶表示装置 の製造工程 図で あ る 。 本実施 の 形態 1 一 1 0 では、 実施 の形態 1 一 9 に類似 し 、 対応する 部分 に は 同一の参照符号 を付す。 本実施の形態 1 一 1 0 では、 コ ン タ ク ト ホ ール形成の た め窒化珪素か ら な る 第 1 の絶縁膜層 8 上に形成 さ れた 感光性樹脂層 を 、 コ ンタ ク ト ホール形成後 も 除去せずに残 し てお く こ と を特徴 とす る も ので あ る 。 即ち 、 前述の実施の形態 1 一 9 にお け る 第 5 工程 にお い ては、 コ ン タ ク ト ホール 9 を形成する の に 、 第 1 の絶縁膜層 8 上 に ポジ型感光性樹脂層 6 0 を形成 し 、 露光 · 現像 を行な い、 ド ラ イ エ ッ チ ン グ後に は、 こ のポジ型感光性樹脂層 6 0 を剥離する 工程があ る 。 その た め、 タ ク 卜 の低下を招き、 コ ス ト 増 大 につ なが る 。 こ の課題 を解決する ため 、 本実施の形態 1 — 1 0 で は、 ポ ジ型感光性樹脂層 6 0 を除去せず、 その ま ま残す こ と を特徴 と する も の で あ る 。

更 に、 本実施 の形態 1 一. 1 0 では、 感光性樹脂層 6 0 の 内周面及 び第 1 の絶縁膜層 8 の 内周面は、 面一 に連な り 、 同一傾斜角度 と な つ て い る 。 こ の よ う コ ン タ ク ト ホールの形状 に よ り 、 例え ばコ ン 夕 ク ト ホール 内周面に部分的 に 突出 し た形状で あ る と 、 その部分 にお いて、反射電極 2 と コ ンタ ク ト ホール内周面 と の密着性が悪 く な り 、 こ の結果、 反射電極 2 に亀裂や剥離が発生 して、 表示特性 の低下 を 招 く こ と に な る が、 本実施の形態 の よ う に コ ンタ ク ト ホールの 内周 面が凹 凸 の な い連続 し た面 と な っ て い る た め、 かか る 問題点 を解消 す る こ と ができ る 。

尚 、 本実施の形態 1 一 1 0 では、 感光性樹脂層 6 0 を第 1 の絶緣 膜層 8 か ら 剥離せずに残 し てお く ため、 感光性樹脂層 6 0 は従来使 用 さ れて い る ノ ポ ラ ッ ク 系 の感光性樹脂 に代えて、 ァ ク リ ル系 の感 光性樹脂が使用 さ れて い る 。 ノ ポ ラ ッ ク 系 の感光性樹脂 は耐熱性 に 劣 り 、 基板か ら 剥がれ易 い と い う 性質 を有 し て い る ため、 デバイ ス の信頼性が劣る か ら で あ る 。 一方、 ア ク リ ル系 の感光性樹脂は耐熱 性が良好で あ り 、 基板 に強固 に く っ つ い た状態 を維持する 性質 を有 して い る た め 、 かか る 問題点 の発生はな い 。

ま た 、 感光性樹脂層 6 0 の材料 と し て は、 ア ク リ ル系 に 限 ら ず、 感光性及ぴ耐熱性 を 有する 材料で あれ ばよ い 。

次い で、 上記構成 の液晶表示装置の製造方法 につ いて説明す る 。 本実施 の形態 に お け る 製造方法は、 基本的 に は実施の形態 1 一 9 の 製造方法 と 同一で あ り 、 従 っ て、 本実施の形態 に係 る製造方法の主 た る 特徴の み説明す る こ と にする 。

上記実施 の形態 1 一 9 と 同様 に、 第 1 工程及び第 2 工程 を経て、 第 3 工程 に お いて、 図 3 7 ( a ) で示すよ う に、 ソ ース . ド レイ ン 電極 1 8 a 上 を 覆っ て、 窒化珪素 を厚み 2 7 0 O A で成膜 し て、 第 1 の絶縁膜層 8 を形成す る 。 次 に、 図 3 7 ( b ) に示すよ う に、 第 1 の絶縁膜層 8 上 に ア ク リ ル系 の ポ ジ型感光性樹脂 （例 え ば、 J S R 株式会社製 の P C 4 0 3 (商品名）） を厚み 7 0 0 O A で塗布 し て感光性樹脂層 6 0 を形成する 。 そ し て、 フ ォ ト マス ク 5 9 を 用 い て感光性樹脂層 6 0 の コ ンタ ク 卜 ホール形成領域の みが除去 さ れる よ う に 、 露光 · 現像 を行い 、 更に第 1 の絶縁膜層 8 のエ ッ チ ン グ を 行 い 、 感光性樹脂層 6 0 に コ ンタ ク ト ホール 7 O A (図 3 8 参照） を 形成 し 、 第 1 の絶縁膜層 8 に コ ン タ ク ト ホール 7 0 B (図 3 8 参 照） を形成す る 。 こ の感光性樹脂層 6 0 の現像及び第 1 の絶縁膜層 8 のエ ッ チ ン グにお け る エ ツ チ ャ ン ト と し ては、 塩素系ガス と フ ッ 素 系 ガス の混合ガス を使用する 。 こ こ で、 注 目 すべ き は、 図 3 8 ( a ) に 明 ら か に示すよ う に、 コ ン タ ク ト ホール 7 O A の 内周面 と 、 コ ン タ ク ト ホール 7 0 B の 内周面 と が、 同一傾斜角度で面一 に連な っ て い る こ と であ る 。 こ の よ う な コ ン タ ク ト ホール 7 0 A， 7 0 B の形 状に よ り 、 図 3 8 ( b ) に示すよ う に、 反射電極 2 と コ ン タ ク ト ホ ール 7 O A , 7 0 B の 内周面 と の密着性が良好 と な り 、 コ ンタ ク ト ホールで の反射電極の亀裂や剥離 に起因 し た表示特性の低下 を 防止 する こ と がで き る 。

尚、 こ の よ う な コ ン タ ク ト ホール 7 O A , 7 0 B の上記形状 を得 る た め に は、 例 え ば、 エ ツ チ ャ ン ト の組成 （塩素系ガス と フ ッ 素系 ガス の混合比）、 エ ッ チ ン グ時間等 を適宜調整すればよ い 。

次 いで、 図 3 7 ( d ) に示すよ う に、 基板全体 を加熱す る 。 加熱 に は ホ ッ ト プ レー ト を用 い、 1 2 0 "C で 5 秒間加熱する 。 こ の加熱 工程後、 感光性樹脂層 6 0 は溶融変形 し 、 T F T 及び段差構造体の 凹 凸状 に沿 っ て形成 さ れる 。 こ れに よ り 、 段差構造体の層 と し て感 光性樹脂層 6 0 を用 い る こ と がで き る 。

次 いで、 図 3 7 ( e ) に示すよ う に、 反射率 の高 い金属、 例え ば、 A 1 や A g 系 の合金な ど を成膜 し て、 反射電極 2 が形成 さ れる と と も に 、 反射電極 2 がコ ン タ ク トホール 7 0 A， 7 O B を介 し て ソ 一 ス - ド レイ ン電極 1 8 a と 電気的 に接続 さ れ る こ と にな る 。

次 い で、上記方法 に よ り 作製さ れた反射型液晶表示装置 に つ い て、 白表示 と な る よ う な 信号を入力 し 、 前述の方法で反射特性 を測定 し た。 こ の結果、 正反射の強度が抑制 さ れて い る こ と が分か っ た。 こ の原因 と し て、 ポ ジ型感光性樹脂 に よ り 凹 凸間 に あ る平坦部が埋め ら れ、 結果的 に正反射が抑制 さ れて い る こ と が判 明 し た。 こ の よ う に、 ポジ型感光性樹脂 を適切な膜厚で塗布する事 に よ っ て、 正反射 が抑制さ れ、 写 り 込みの 少な い反射型液晶表示装置を得る こ と がで き た。

(実施の 形態 1 一 1 1 )

図 3 9 は実施 の形態 1 — 1 1 に係 る 反射型液晶表示装置の要部断 面図 であ る 。 本実施 の形態 1 一 1 1 は、 実施 の形態 1 に類似 し対応 する 部分に は 同一の参照符号 を示す。 上記実施の形態 1 一 1 〜 1 一 1 0 では、 ゲー ト 電極 5 を構成する 金属材料層 をパタ ーニ ン グ し て 得 ら れた各 円 形パ タ ー ン層 5 ' のそれぞれ に 、 1 つ の段差構造体 8 0 が形成 さ れる よ う に構成 さ れて い た けれ ど も 、 本実施の形態 1 一 1 1 では円 形パ タ ー ン層 5 '上 に複数の段差構造体 8 0 を形成 し て、 凹 凸状反射電極 2 の下地層 と し た こ と を特徴 と する も ので あ る 。 こ の よ う な構成 に よ り 、 反射電極 2 の 凹 凸間 の平坦部面積 を更 に 小 さ く する こ と がで き、 正反射の強度を抑制 し て表示特性の 向上 し た反 射型液晶表示装置 を得る こ と ができ る 。

尚、 本実施の形態 1 一 1 1 の構成 を 、 実施の形態 1 一 1 ~ 1 — 1 0 の構成に も適用 す る こ と ができ る 。 ま た、 実施の形態 1 — 1 〜 1 一 1 0 と 本実施の形態 1 ― 1 1 と を混在 さ せた構成であ っ て も よ い 。 即 ち 、 円形パタ ー ン層 5 ' に 1 つ の段差構造体 8 0 が形成 さ れた構 成の も の と 、 円 形パ タ ー ン層 5 ' に複数の段差構造体 8 0 が形成さ れた構成の も の と が混在 し た 凹 凸構造 を 、 凹 凸状反射電極 2 の下地 層 と し た構成で あ っ て も よ い。

(実施の形態 1 — 1 2 )

図 4 0 は実施 の形態 1 一 1 2 に係 る 反射型液晶表示装置の要部断 面図 であ り 、 図 4 1 及ぴ図 4 2 は実施 の形態 1 一 1 2 に係 る 反射型 液晶表示装置の製造工程 図で あ る 。 本実施の形態 1 一 1 2 は、 実施 の形態 1 — 1 〜 1 一 9 に類似 し 、 対応す る部分に は同一の参照符号 を付す。 本実施 の形態 1 一 1 2 は、 円 形状パ タ ー ン上 に形成 さ れた 段差構造体 8 0 (第 1 の積層 パ タ ー ン に相 当 する ） の他 に、 補助容 量 （蓄積容量） 形成用 の共通電極 （容量電極） 6 6 を絶縁性基板 4 上 に形成 し 、 こ の共通電極 6 6 上 に段差構造体 8 1 (第 2 の積層パ タ ー ン に相 当する ） を複数形成 し て 凹 凸状反射電極 2 の下地層 と し た こ と を特徴 と する も ので あ る 。 こ の よ う な構成 に よ り 、 フ リ ツ 力 一 の発生 を 防止する こ と ができ る と と も に 、 正反射が抑制 さ れ、 写 り 込みの少 な い反射型液晶表示装置を得 る こ と がで き る 。 以下 にそ の理 由 につ いて説明する 。

画素電極 の面積が小 さ い場合 に、 T F T 3 を形成する 積層 さ れた 各層 を 1 層 以上 も し く は 2 層以上バ タ 一二 ン グする こ と に よ り 反射 電極 2 下に 凹 凸 を形成 し た と こ ろ 、 フ リ ッ カ ー を 生 じ る と い う 新た な課題が判 明 し た。 こ の原因 に つ い て追究 し た と こ ろ 、 画素電極の 面積が小 さ いた め、 画素 に蓄積 さ れる 電荷が小 さ く 、 1 フ レーム の 画像を 書き 込んでい る 間 に電荷 を保持する こ と ができな い ため に生 じ る 現象で あ る こ と が判 明 し た。 そ こ で、 こ の課題 を解決する ため、 ゲー ト 電極 5 を構成する 金属材料層 をパ タ ーニ ン グ し 、 対向電極 と 同 じ よ う に 接地する 回路構成 と し た共通電極 6 6 を形成 し た。 こ の 共通電極 6 6 に よ る 補助容量の形成 に よ り 、 前記 フ リ ッ カ ー は ほ と ん ど生 じ な く な っ た。 し か し なが ら 、 こ の補助容量用 の共通電極 6 6 を有する 基板 に つ い て、 白表示 を行 う よ う に信号 を送 り なが ら 、 前述の測定装置に よ り 、 反射特性 を測定 し た と こ ろ 、 正反射の強度 が強 く な つ て し ま っ た。 そ こ で、 再度、 凹凸 の形成 さ れて い る 反射 電極 の形状 を評価 し た と こ ろ 、 反射電極 の う ち 共通電極 6 6 がそ の 下部 に形成 さ れて い る 部分 に平坦部が多 く な つ てい る こ と が判 明 し た。

そ こ で、 補助容量を形成 し容量不足 に起 因 し た フ リ ッ カ ー の 防止 を 図 る と と も に 、 正反射強度の低減 を 図 る べ く 、 共通電極 6 6 上 に 複数の段差構造体 8 1 を 形成する よ う に し た も ので あ る 。 こ の よ う な構成で あ れば、 共通電極 6 6 の直上で反射電極 2 に凹 凸形状が得 ら れ、 反 射電極 2 の 凹 凸 間 の平坦部面積 を 可及的 に低減 し 、 正面で の正反射強度を低減する こ と が可能 と な る 。 尚 、 本実施の形態 1 2 では、 円 形パタ ー ン層 で構成 さ れる 第 1 種類の段差構造体 8 0 は T F T 3 の構成する 層 の一部 を使用 し て構成 さ れ、 共通電極 6 6 上の 第 2 種類 の段差.構造体 8 1 は T F T 3 と は異な る 別 の 層か ら 構成 さ れて い る 。

次-いで、 上記構成 の反射型液晶表示装置 の製造方法につ いて説明 する 。 先ず、 絶縁性基板 4 上 に T F T 3 及び T F T 3 の層 の一部を 使用 し た第 1 種類の段差構造体 8 0 を形成する 。 こ の形成工程 は、 上記第 1 工程 1 〜第 8 工程 に よ り 達成 さ れ る 。 こ う して、 T F T 3 及ぴ第 1 種類の段差構造体 8 0 を形成後 に 、 共通電極 6 6 上 に第 2 種類の段差構造体 8 1 を 形成す る 。 尚、 第 1 工程〜第 8 工程 にお い て、 共通電極 6 6 が形成 さ れて い る 部分では、 図 4 1 ( b ) に示す よ う に 、 ゲー ト 絶緣膜 1 5 、 ア モル フ ァ ス シ リ コ ン層 1 6 a 、 不純 物層 1 6 b ま で成膜 し た後、 ド ラ イ エ ッ チ ン グ に よ り 、 ァ モル フ ァ ス シ リ コ ン層 1 6 a 及び不純物層 1 6 b を 除去する 。 ま た、 図 4 1 ( c ) に 示すよ う に 、 共通電極部 6 6 以外 の と こ ろ では、 ソ ース - ド レイ ン電極 1 8 a の形成お よ びパ タ ーニ ン グ を行 う が、 共通電極 部 6 6 で は ド ラ エ ッ チ ン グ に よ り ソ ー ス · ド レイ ン電極 1 8 a を 除 去する 。 そ の後、 図 4 2 ( d ) に示す工程 にお い て、 第 1 の絶縁膜 層 8 の形成、 並びに コ ン タ ク ト ホール 9 形成の た め のパ タ ーニ ン グ を行 う 。

次 いで、 共通電極 6 6 上 に第 2 種類の段差構造体 8 1 を形成する 処理工程 を行 う 。 具体的 に は、 共通電極 6 6 上 にポ ジ型感光性樹脂、 例 え ば、 P C 4 0 3 (商品名 ： J S R 株式会社製） を塗布 し て感光 性樹脂層 を 形成する 。 次 い で、 所定のパ タ ー ン を有する フ ォ ト マス ク を 用 い て 露光 し 、 次い で、 露光 さ れた感光性樹脂層 を現像する 。 こ れ に よ り 、 共通電極上 に 複数の段差構造体 8 1 が形成 さ れる （図 4 2 ( e ) )。 次 い で、 反射率 の高 い金属、 例 え ば、 A 1 、 A g 系合 金な ど を成膜 し て、 凹 凸状の反射電極 2 が得 ら れる こ と に な る （図 4 2 ( f ) )。

次 に 、 上記方法で作製 し た反射型液晶表示装置につ いて、 上記 と 同様 の方法で反射特性 を測定 し た。 尚、 実験の条件 と し ては、 白 表 示 と な る よ う な信号 を入 力 し た。 こ の結果、 正反射の強度が抑制 さ れて い る こ と が分か っ た。 こ の原因 と し て、 ポ ジ型感光性樹脂 に よ る 段差構造体 8 1 の形成 に よ り 、 共通電極 6 6 上の平坦部が埋め ら れ、 結果的 に正反射が抑制 さ れて い る こ と が判 明 し た。 こ の よ う に、 共通電極 6 6 上 に 凹 凸状 の積層構造 を形成する こ と に よ り 、 正反射 が抑 制 さ れ、 写 り 込みの 少な い反射型液晶表示装置 を得る こ と が理 解さ れる 。

上記の例 では、 第 2 種類の段差構造体 8 1 は、 感光性樹脂 に よ り 形成 し た け れ ど も 、 本発明 は こ れに限定 さ れる も の ではな く 、 T F T 3 形成後 に 、 別途、 金属材料や又 は半導体材料で形成する よ う に し て も よ レ 。

ま た、 上記の例では、 第 2 種類の段差構造体 8 1 は、 T F T 3 と は異な る 層 に よ り 構成 さ れて い た けれ ど も 、 第 1 種類の段差構造体 8 0 と 同様に T F T 3 を構成する 層 の一部を使用 す る 構成で あ っ て も よ い 。

(実施 の形態 1 一 1 3 )

図 4 3 は実施の形態 1 一 1 3 に係 る 反射型液晶表示装置の要部断 面図で あ り 、 図 4 4 は上か ら 観察 し た と き の共通電極の一部 を示す 平面図であ る 。 本実施の形態 1 3 は、 実施の形態 1 一 1 2 に類似 し 対応す る 部分に は同一の参照符号 を付す。 本実施の形態 1 一 1 3 で は、 共通電極 6 6 を予めパ タ ーニ ン グする こ と に よ り 、 凹 ύ構造 を 形成す る こ と を特徴 とす る も ので あ る 。 以下 に、 具体的な構成 を説 明する 。 共通電極 6 6 は、 図 4 4 に示す よ う に、 凹 凸 を形成す る た め の 円 形パ ター ン状 の共通電極部 6 7 と 、 共通電極部 6 7 を対向基 板電極 と 同電位 とす る た め の配線 6 8 か ら な る 。

上記パ タ ー ン形状の共通電極 6 6 の具体的な製造方法 に つ いて説 明する と 、 ゲー ト 電極 5 と な る 金属材料層 を成膜 し た後、 こ の金属 材料層上 に 感光性樹脂 （例え ば、 O F P R 5 0 0 0 (商品名 ： 東京 応化工業 （株） 製）） を塗布 し 、 パ タ ー ン 6 7 及 ぴ配線 6 8 に対応 し た遮光領域を有す る フ ォ ト マス ク を 用 いて金属材料層 を 露光 し 、 次い で現像 を行 う 。 し か る 後に、 ウ エ ッ ト エ ッ チ ン グ も し く は ド ラ ィ エ ッ チ ン グ に よ り 金属材料層 をパ 夕 一ニ ン グする 。 こ れ に よ り 、 上記パ タ ー ン形状の共通電極が形成 さ れ る 。 尚、 各共通電極部 6 7 は、 配線 6 8 を介 し て接地 さ れて い る 。

そ の後の 工程は、 上記実施 の形態 1 ― 1 2 と 同様に T F T 形成ェ 程後 に、 共通電極 6 6 上 に複数の段差構造体 8 1 を感光性樹脂 に よ り 形成する 工程 を行 う 。 そ し て、 T F T 3 及び段差構造体 8 1 を 覆 つ て A 1 等 を塗布 し 、 凹 凸状の反射電極 2 が形成 さ れる 。 こ の結果、 図 4 3 に示すよ う に、 予 めパ タ ーニ ン グ さ れた共通電極 6 6 上 に段 差構造体 8 1 が形成 さ れ、 こ の段差構造体 8 1 を下地層 と し て 凹 凸 状の反射電極 2 が形成 さ れた反射型液晶表示装置が作製さ れ る 。

次 いで、 上記方法で作製 し た反射型液晶表示装置につ い て 、 白 表 示 と な る よ う な信号 を入力 し 、 前述 の方法で反射特性 を測定 し た。 こ の結果、 正反射の強度が抑制 さ れて い る こ と が分か っ た。 こ の よ う に、予め パ タ ーニ ン グ さ れた共通電極 6 6 を使用 する こ と に よ り 、 共通電極 6 6 上 の反射電極 2 の 凹 凸形状 を更 に制御す る こ と が可能 と な る 。 ま た、 共通電極 6 6 を予 めパ タ 一ニ ン グす る構成で あ れば、 パ タ ー ンニ ン グ に よ る 膜厚差 に よ る 凹 凸が形成さ れて い る た め 、 共 通電極 6 6 上 に感光性樹脂 を塗布すれば、 そ の感光性樹脂 を フ ォ ト リ ソ グ ラ フ ィ ー処理を行 う こ と な く 段差構造体 8 1 を形成す る こ と が可能 と な る 。

尚、 共通電極 6 6 は、 図 4 5 に示すよ う に 、 配線 6 8 の な い 円 形 状パ タ ー ン のみか ら な る 構成であ っ て も よ い 。 但 し 、 反射板 と し て は、 配線 6 8 がな く 、 フ ロ ーテ ン グの状態で あ っ て も 、 凹 凸形成 に 影響はな く 。 従 っ て、 反射特性 の 向上 し た反射板が得 ら れ る こ と に な る 。 し か し なが ら 、 こ の よ う な構成 の反射板を液晶表示装置 に適 用 し た場合 、 画像デー タ の書き込み時 に 、 正確 に充電でき な く な る おそれがあ り 、 そ の た め 、 かか る 構造の表示装置はデバイ ス と し て の機能 を果たす こ と がて き な く な る おそれがあ る 。 従っ て、 液晶表 示装置 に適用 す る 場合は、 配線 6 8 を有す る 共通電極は接地 し てお く 構成 とす る 必要が あ る 。

上記の例では、 共通電極上 に感光性樹脂か ら 成る 段差構造体が形 成 さ れてい た けれ ど も 、 共通電極上 に T F T を構成する 層 の一部 を 使用 し て段差構造体 を形成す る構成で あ っ て も よ い 。

ま た、 共通電極のパタ ー ンは、 図 4 4 に 示す も の に限定 さ れず、 図 4 6 に 示す よ う に、 空孔パ タ ー ン 6 9 で も 同様 に可能で あ る 。 さ ら に 、 本実施 の形態では、 1 種類の 円形パ タ ー ン を用 い たが、 そ の 他の形状、 例 え ば、 六角形な ど のパ タ ー ン を用 いて も 同様 に実施可 能で あ る 。 ま た、 パ タ ー ン の大き さ も 1 種類の みでな く 、 複数種存 在 し て も 何 ら 実施 にお い て障害に な る も のでな い 。 ま た、 形状 に つ いて も 1 種類の みでな く 、複数種存在 して も 同様 に実施可能で あ る 。

(実施 の形態 1 一 1 4 )

図 4 7 は、 実施 の形態 1 一 1 4 に係 る 反射型液晶表示装置の製造 工程 図、 0 4 8 は、 同 じ く 反射型液晶表示装置 の製造工程 図で あ る。

本実施 の 形態 1 一 1 4 は、 前記実施の形態 1 一 1 に類似 し対応す る 部分 に は 同 一の参照符号 を付す。 本実施の形態 1 一 1 4 は、 ァ ク テ ィ ブ素子 と 凹 凸状の反射電極 と が形成 さ れた基板上 に、 カ ラ ー フ ィ ルタ を配置 し た構成の反射板 に 関する も のであ り 、 凹 凸状反射電 極の下方 に は、 柱状体が積み上げ ら れて構成 さ れる 段差構造体が形 成 さ れてお り 、 前記段差構造体は、 前記カ ラ ー フ ィ ルタ を構成する 薄膜 を含む こ と を特徴 と し て い る 。

こ の よ う に 、 上記段差構造体 を構成する 柱状体 と し て、 ァ ク テ ィ プ素子以外 の薄膜、 即ち 、 カ ラ ー フ ィ ルタ を構成する 薄膜 を用 い る こ と に よ つ て も 、 段差構造体の形状 を任意 に制御する こ と が可能 と な り 、 こ の 結果、 反射電極 の 凹 凸形状の制御 を 高精度で行 う こ と が 可能 と な る 。

次 に 、 本実施の形態 1 一 1 4 に係 る 反射型液晶表示装置の製造方 法 に つ い て説明する 。 実施の形態 1 一 1 記載の反射型液晶表示装置 の製造方法 と 同様の製造工程 を経る が、 段差構造体の最上層が、 力 ラ ー フ イ リレタ を 構成する ブラ ッ ク マ ト リ ク ス に よ り 構成 さ れて い る 点が異な っ て い る 。 尚、 ゲー ト 絶縁膜等 につ いては、 図示する こ と に よ り か え つ て複雑 と な る の で省略 して説 明する こ と と する 。

即 ち 、 図 4 7 ( a ) に示すよ う に、 基板 4 上 に 、 上記実施 の形態 1 一 1 と 同様 の工程 に よ り 、 段差構造体 8 0 を形成 し 、 次 に 、 図 4 7 ( b ) に示すよ う に、 基板 4 上 に例え ば、 カ ーボ ン等 を フ オ ト レ ジス ト に分散 し た樹脂 ブ ラ ッ ク 6 1 を塗布 し た。 尚、 図 4 7 、 4 8 にお い て は、 ソ ース配線 6 0 · 6 0 間 に は段差構造体 8 0 を 1 つ だ け記載 し て い る が、 実際 に は多数形成さ れて い る 。

次い で、 図 4 7 ( c ) に示すよ う に、 フ ォ ト マス ク 6 4 を用 い て 露光、 現像 を行っ て、 図 4 7 ( d ) に示すよ う に 、 ソース 配線 6 0 を被覆す る よ う に、 ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス 6 1 a を パ ター ン状 に 形成 す る と と も に 、 段差構造体 8 .0 上に樹脂ブ ラ ッ ク か ら な る 柱状体 6 1 b を形成 し た。

次い で、 図 4 7 ( e ) に示すよ う に、 前記段差構造体 8 0 を被覆 する よ う に 、 反射電極 2 を形成 し 、 最後 に 図 4 7 ( f ) に示す よ う に し て、 反射電極上 にカ ラ ー フ ィ フレタ 6 6 R · 6 6 G - 6 6 B を マ ト リ ク ス 状 に形成 し た。

こ の よ う に 、 上記段差構造体 を構成する柱状体 と して、 ァ ク テ ィ ブ素子以外 の薄膜、 即ち 、 カ ラー フ ィ ルタ を構成する ブラ ッ ク ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス を用 い る こ と に よ つ て も 、 段差構造体の形状 を任意 に制御する こ と が可能 と な る 。 尚、 ブラ ッ ク マ ト リ ク ス と し て は、 そ の他 に も 金属 ク ロ ム等 を用 い る こ と も でき る 。

ま た、 段差構造体 を構成す る 柱状体 と し ては、 上記ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス だ けでな く 、 カ ラ ー フ ィ ルタ 6 6 R ' 6 6 G · 6 6 B のそれ ぞれ を 前記柱状体 と し て用 い る こ と も 可能で あ る 。

ま た、 本実施 の形態 1 一 1 4 に示すよ う な構成 を前記実施の形態 1 〜 1 3 に適用 する こ と は可能で あ る 。 (実施の形態 1 一 1 5 )

図 4 9 は実施の形態 1 一 1 5 に係 る 反射型液晶表示装置 に用 い ら れる 反射電極 にお け る 円 形パ タ ー ン層 の配列状態 を模式的 に示す図 で あ る 。

こ れま で の検討の結果、 さ ら な る 新たな課題が発生 し た。 複数の 反射電極 を製造 し て い る 過程 にお い て、 反射特性 のパ ラ ツキが発生 して い る こ と が判 明 し た。 こ の反射特性のパ ラ ツキの原 因 が、 円 形 パ タ ー ン層 を積層す る 際 の合わせの マ一 ジ ンで あ る こ と が判明 し た 即 ち 、 前記実施の形態 1 〜 1 4 では、 フ ォ ト リ ソ グラ フ ィ 一 に よ る 積層 の 際 に、 円 形パ タ ー ン層 を形成する 各層 の形状の 制御 を行 つ て い る が、 こ の フ ォ ト リ ソ グ ラ フ ィ 一 にお け る 露光時に 、 マ ス ク の 合わ せマ ー ジ ン を 考慮 し て い な い た め 、 円 形パ タ ー ン 層 の 配 置 が 個 々 に反射電極面内でずれた り 、 あ る い は 円 形パ タ ー ン層か ら な る 段差構造体 8 0 の形状が個 々 に希望す る 形状か ら ずれた り す る た め に、 反射電極 2 の 凹 凸 の傾斜角分布 にバ ラ ツキが発生す る か ら で あ る 。 そ こ で、 本実施の形態 1 一 1 5 では、 各層 を パタ ー ンニ ン グす る 際 に用 い る マス ク に つ き、 予 め各画素毎 に合わせマ一ジ ン よ り も 小 さ い 範囲 内で位置 をず ら し た も の を使用 し 、 反射特性 のパ ラ ツキ 発生 を 防止する こ と を特徴 とする も の で あ る 。 尚、 現状 の T F T 製 造プ ロ セ ス では、 合わせのマー ジ ン は ± 0 . 5 m、 全体で 1 m 程度 の マ一 ジ ン を考慮する必要があ る 。

以下 に 、 図 4 9 を参照 して、 具体的 に説明する と 、 各画素 につ き、 同等の位置 に あ る 円 形パ タ ー ン 5 1 、 5 2 、 5 3 、 5 4 につ い て座 標の 指定 を 以下 の通 り 、 行っ てお く 。 まず、 ゲー ト 配線方向 に平行 に X 軸、 信号配線方向 に平行 に y 軸 を各 々 定義す る 。 さ ら に 、 各画 素 の ゲー ト 配線方向 の ピ ッ チ を a m 、 信号配線方向の ピ ッ チ を b i m とす る 。 円 形パ タ ー ン 5 1 の 中 心座標 を 5 1 ( xO, yO) ( rn ) と 仮定す る と 、 円 形パ タ ー ン 5 2 、 5 3 、 5 4 は、 本来は、 5 2 ( θ + a , y0)、 5 3 ( xO, yO+ b )、 5 4 ( χθ+ a , yO+ b ) と な る は ずで あ る 。

予 め こ れ ら の座標 につ き、 マス ク の合わせマ一 ジ ン よ り 小 さ い範 囲 でそれぞれ の方向 にずれる 様 に マス ク を 設計 し てお く 。 即ち 、 例 え ば、 5 2 ( xO+ a — 0 . 5 , yO)、 5 3 ( xO, yO+ b — O . 5 )、 5 4 ( O + a - 0 . 5 , yO+ b — 0 . 5 ) と な る よ う に し てお く 。 実際 は、 ± 0 . 5 mで あ る ので、 例 え ば、 （ xO— a + 0 . 5 ， yO)、 ( xO, yO- b + 0 . 5 )、 （ xO+ a + 0 . 5 , yO+ b + 0 . 5 ) と い う 様 に 円 形パ タ ー ン の 中心座標をず ら し てお く 。

こ のずれの範囲で積層 さ れた 円 形パ タ ー ン層 は、 凹 凸 の あ る 反射 電極 を形成す る 。 こ の 反射電極上の 凹 凸 の傾斜角分布 （積層パ タ ー ン を構成する 各薄膜 の相対位置関係） は、 各画素毎 に微妙に異な る 。 し か し なが ら 、 反射電極上のすべて の画素電極で考えた場合 に一定 と考え る こ と ができ る 。 即ち 、 その反射特性 も 反射電極全体で はマ ス ク の合わせマ一 ジ ン を考慮 し て も ほ ぼ一定 と みなす こ と ができ る 。

積層 さ れた各層 を パ タ ーニ ン グす る 際 に 用 い る パ タ ー ン を マス ク の合わせマ ー ジ ン よ り 小 さ い範囲でず ら し て設計 し たマス ク を用 い て反射電極 を製造 し た と こ ろ 、 前記課題で観察 さ れた反射特性のパ ラ ツキは観察 さ れなか っ た。

本実施 の 形態では各画素毎での マス ク 上 に描画パ タ ー ン位置を ず ら す こ と に よ っ て、 反射特性のバ ラ ツキ の 少な い 、 冗長性の高 い反 射電極 を実現す る こ と ができ た。 尚、 上記の例では、 各画素毎 にパ 夕 一 ン位置 をず ら す よ う に し た けれ ど も 、 1 画素 を複数に分割 し た 各分割領域毎 にパタ ー ン位置 をず ら すよ う に し て も よ い。 (実施の形態 1 一 1 6 )

本実施の形態 1 一 1 6 は、 実施 の形態 1 一 1 5 と 同様 に反射特性 のパ ラ ツキ を 防 ぐ技術 に 関す る も の で あ る 。

即ち 、 パ タ ーエ ン グ し た 2 層以上の薄膜か ら な る 積層パタ ー ン を 複数種有 し 、 前記積層パ タ ー ンが複数種 ご と に、 積層 さ れた前記薄 膜の大き さ の順序が異な る形状体、 該形状体 を反射板 に備え た こ と を特徴 と し て い る 。

上記形状体 を 反射板に備 え る こ と に よ り 、 前記複数種の積層パ 夕 ー ン 同士 に よ っ て反射特性 の ば ら つ き を 小 さ く す る こ と がで き る の で、 当 該反射板の 凹 凸形状の 制御性の低下 を抑制する こ と が可能 と な る 。 なお 、 前記形状体は、 本実施の形態の よ う に反射板 に使用す る こ と がで き る が、 そ の他 と し て光学素子 （ レ ンズ） 等 に使用 す る こ と も でき る 。 以下 に 詳 し く 説明する 。

前記 ま で の工程で は、 フ ォ ト リ ソ グ ラ フ ィ ー に よ り 積層 の 際 に 円 形パ タ ー ン 層 を形成す る 各層 の形状 の制御 を行 っ て き た。 こ の露光 時の 、 マス ク の合わせマー ジ ン を考慮する必要が判 明 し た。 現状の T F T プ ロ セス では、 合わせ の マ一 ジ ンは ± 0 . 5 m、 全体で 1 m程度の マー ジ ン を考慮する 必要があ る 。

本実施の形態 1 一 1 6 の反射電極 につ いて、 図 5 0 を用 レ て説明 す る 。 図 5 0 は、 実施の形態 1 一 1 6 に係 る 反射型液晶表示装置 を 構成する基板の 一部概念図で あ り 、 図 5 0 ( a ) は、 基板上 に形成 さ れたゲー ト 金属層 の形状 を示す平面図、 図 5 0 ( b ) は、 図 5 0 ( a ) の X Y線矢視断面図で あ る 。 尚、 ゲー ト 絶縁膜は発明 に直接 関係す る も の で はな く 、 図示す る こ と に よ り 複雑 と な る ので省略 し て説明する こ と と する 。

即 ち 、 基板上 に任意の 層 、 例え ば A 1 、 C r な ど のゲー ト 金属層 を 成膜後、 目 的 とす る 図形 （図 5 0 ( a ) に示す 円 形パタ ー ン） が 形成 さ れて い る マス ク （図 5 0 ( a ) に示すマス ク 7 3 ) を 用 い 、 レ ジス ト を塗布後、 露光、 現像な ど の操作 を 経て、 ゲー ト 金属層 の パ 夕 一ニ ン グを行 う 。 そ の後、 窒化珪素 S i N X な どか ら な る ゲー ト 絶縁膜 を成膜する 。

図 5 0 に示すよ う に、 2 種類の大き さ の 円形パタ ー ン （ゲー ト 金 属層 ）、 即 ち 、 円 形パ タ ー ン 7 1 … 及び、 該 円 形パ タ ー ン 7 1 … に 比較 し て大き さ が小 さ い 円形パタ ー ン 7 2 … が基板 4 上 に形成 さ れ て い る 。

次 に、 図 5 1 に示 し た 円形パ タ ー ン 7 1 … 及ぴ円形パタ ー ン 7 2

…上 に a — S i な ど の半導体層 を形成 し 、 上記 円形パ タ ー ン 7 1 … 及ぴ円形パ タ ー ン 7 2 … の大小 を入れか え た マス ク （図 5 1 ( b ) に示すマス ク 7 4 ) を用 いて形状をパ タ ー ンニ ン グする 。 こ こ で、 図 5 1 に示 し たマ ス ク 7 4 を用 いて レ ジス ト を塗布後、 露光、 現像 を行 い、 最後 に エ ッ チ ン グ工程 に よ っ て、 半導体層 のパ夕 一ニ ン グ を行 う 。

図 5 1 ( a )、 ( b ) に示すよ う に 、 前記ゲー ト 金属膜のパタ ー二 ン グで用 い る マ ス ク 7 3 と半導体層 のパ タ ーニ ン グで用 い る マ ス ク 7 4 と の 関係 につ い て述べる と 、 マス ク 7 3 及びマス ク 7 4 に よ つ て形成 さ れる 大き い 円形パ タ ー ン 7 1 と 小 さ い 円 形パ タ ー ン 7 2 の 数は各々 等 し い。

図 5 2 は、 基板上 に形成 さ れたゲー ト 金属層 お よ び半導体層 のパ タ ー ン を示す概略図であ り 、 図 5 2 ( a ) は、 そ の概略平面図、 図 5 2 ( b ) は、 図 5 2 ( a ) の X Y線矢視断面図 で あ る 。 積層 さ れ た形状は、 大 き い 円 形パ タ ー ン上 に小 さ い 円 形パ タ ー ンが積層 さ れ た形状 7 5 、 小 さ い 円形パタ ー ン上 に大き い 円 ノ、" タ ー ンが積層 さ れ た形状 7 6 か ら 構成 さ れる 。

ま た 、 図 5 3 は、 図 5 2 に示 し た状態か ら 、 マス ク 合わせ時 の マ 一ジ ン <5 の範囲でマス ク がずれ を生 じ て い る 時 に、 基板上 にゲー ト 金属膜お よ び半導体層がずれて形成 さ れたパタ ー ン を示す概略図 で あ り 、 図 5 3 ( a ) は、 そ の概略平面図、 図 5 3 ( b ) は、 図 5 3 ( a ) の X Y線矢視断面図 を示す。

さ ら に、 図 5 4 は、 マス ク のずれが 0 の時お よ びマス ク のずれが δ だけ の時の基板の概略平面図、 図 5 5 は、 図 5 4 の Χ Υ線矢視断 面図 を示す。

図 5 4 及び図 5 5 にお いて 、 それぞれ小 さ い 円 形パタ ー ン の 中 心 の位置ずれにつ いて着 目 する と 、 小 さ い 円形パ タ ー ンが半導体層 で 形成 さ れた積層パ タ ー ン 7 7 と 小 さ い 円形パ タ ー ンがゲ一 ト 金属膜 . に よ っ て形成 さ れて い る 積層パ タ ー ン 7 8 ではずれの大 き さ は δ で あ る が、 そ の δ の方向 は逆向 き と な っ て い る こ と が分か る 。 こ の よ う な構成 と する こ と に よ り 、 最終的 に積層 さ れた形状で は、 マス ク の ァ ラ イ メ ン ト 時 にお け る ずれの影響が緩和 さ れ、 反射特性のバ ラ ツ キ を 防 ぐこ と ができ る 。

こ の よ う な 凹 凸形状に つ い てそれぞれ、 前記実施 の形態で記 し た 工程 に よ り 各層 を成膜 し 、 最後に A 1 や A g 合金な どの反射率の 高 い金属層 を反射電極 と し て成膜 し て形成 し た の ち 、 反射特性 を測定 し た。 尚 、 上記マス ク のずれが 0 で あ る 反射板の反射特性 を 8 3 、 上記マ ス ク のずれが <5 で あ る 反射板の反射特性 8 4 とす る 。 そ の結 果、 図 5 6 に示すよ う に、 ほぼ同一の も のが得 ら れた。

ま た、 その原子間 力顕微鏡 A F M を用 いて表面形状を測定 し 、 そ の傾斜角 分布 を各々 算出 し た と こ ろ 、 図 5 7 に示す よ う に 、 マ ス ク のずれが 0 で あ る 反射板 の傾斜角 分布 8 5 と マス ク のずれが δ で あ る 反射板 の 傾斜角 分布 8 6 と はほ ぼ同一 の も の が得 ら れた。

こ の よ う に 、 本実施の形態では、 各積層 工程 にお いて、 一対の大 き さ も し く は形状 の異な る パ タ ー ン をそ の 中 心が同一 と な る よ う に 積層 し 、 こ の 際 にそれぞれの比、 即ち 個数が同 じ で あれ ば、 マス ク ァ ラ イ メ ン ト の際 の位置ずれ に よ っ て も 、 反射特性のバ ラ ツ キ の 少 な い 、 冗長性 の高 い反射板お よ び反射型液晶表示装置 を実現する こ と ができ た。

尚、 本実施 の形態では、 ノ タ ー ンで は 円 形パ タ ー ン を 用 い たが、 そ の他任意の形状 にお いて も 、 異な る 層 に 同一の位置関係 にな る よ う に積層 さ れた一対のパタ ー ンか ら 構成 さ れ る 限 り 、 同様 に実施可 能で あ る 。

ま た、 ア ク テ ィ ブ素子の 限 ら ず、 同様の 2 層 の 関係 に あ る 形状 に つ いて も 同様 に実施可能で あ る 。 ま た、 2 層 に限 ら ず、 3 層 以上で あ っ て も よ ！^ 。

(実施の形態 1 一 1 7 )

前記実施の 形態 に記載の 工程 に よ り 作製さ れた反射型液晶表示装 置では、 晴天下な ど外光 の強 い環境下で写 り 込み と い う 新たな課題 が発生 し た。 本願発明者 ら が こ の原因 を調査 し た結果、 凹 凸面形成 領域 にお け る 平坦部の面積 の 占 め る 割合が依然高 い ため で あ る こ と が判 明 し た。 こ れは、 フ ォ ト リ ソ グ ラ フ ィ 一 に よ る パタ ーニ ン グの 解像限界が 2 mで あ り 、 パ タ ー ン とパ タ ー ン と の 間 に平坦部が残 つ て い る た め で あ る 。 こ の た め 、 よ り 解像度 を 小 さ く する 必要が生 じ た 。

本実施の形態の 反射電極 に つ い て、 そ の製造工程 を用 い て説明す る こ と にする 。 任意の 層、 例え ば、 A l 、 C r な どのゲー ト 金属層 を基板 に成膜後、 目 的 と する 図形が形成 さ れて い る マス ク を用 い 、 W

レ ジス ト を塗布後、 露光、 現像な ど の操作を経て、 ア ク テ ィ ブ素子 形成領域お よ び凹 凸面形成領域のゲー ト 金属層 のパ ターニ ン グ を行 う 。 そ の後、 窒化珪素 S i N X な どか ら な る ゲー ト 絶縁膜 を 成膜す る 。 図 5 8 は、 凹 凸面形成領域にお け る ゲー ト 絶縁膜形成後 のゲー ト 金属 層 か ら な る パ タ ー ン 層 の 形状 を 示す概 略 図 で あ り 、 図 5 8 ( a ) は、 パタ ー ン層 の形状 を示す平面図、 図 5 8 ( b ) は、 図 5 8 ( a ) の X Y線矢視断面図で あ る 。 尚、 前記ゲー ト絶縁膜は発明 に直接関係する も のではな く 、 図示する こ と に よ り 複雑 と な る の で 省略 し て説 明する こ と と する 。

上記工程 の後、 a - S i な ど の半導体層 を成膜す る 。 こ こ で、 図 5 9 に示 し たマス ク 8 8 を 用 いて レ ジス ト を塗布後、 露光、 現像 を 行 い 、 最後 にエ ッ チ ン グ工程 に よ っ て、 半導体層 のパタ ーニ ン グ を 行 う 。 図 5 9 は、 実施の形態 1 一 1 7 にお いて使用 する マス ク の概 略平面図、 図 6 0 は、 凹 凸面形成領域にお ける 半導体層 か ら な る パ タ ー ン層 を形成 し た基板 の概略図で あ り 、 図 6 0 ( a ) は、 半導体 層 の パ タ ーニ ン グ工程 を経た後の基板の概略平面図、 図 6 0 ( b ) は、 図 6 0 ( a ) の X Y線矢視断面図であ る 。

図 6 0 に 示すよ う に 、 積層 さ れた形状は、 大き い正方形パ タ ー ン 層 （ゲー ト 金属層） 8 9 と 、 小 さ い正方形パ タ ー ン層 （半導体層） 9 0 と 、 パ タ ー ン層 8 9 と ノ タ ー ン層 9 0 と の重な り 部 9 1 と か ら な る 。 図 5 9 に示 し たマ ス ク 8 8 の ァ ラ イ メ ン ト 精度が 1 m以下 で あ れば、 重な り 部 9 1 を 1 ja m以下 とする こ と ができ る 。 よ っ て、 重な り 部 9 1 を Ι μ πι以下 とす る 、 即ち 、 解像度 を 小 さ く す る こ と に よ り 、 平坦部の 占 め る割合 を 小 さ く する こ と がで き る ので、 正反 射方向 の反射光強度の 小 さ い 、 外光 の強 い環境下で も写 り 込み の 少 な い反射型液晶表示装置 を実現する こ と ができ る 。 こ の原理 を利用 し 、 パ タ ー ン と パ タ ー ン と に重な り 部が形成 さ れ る よ う に 、 ア ク テ ィ ブマ ト リ ク ス ア レイ 工程 の各積層工程 を利用 し て、 反射電極 を作製 し た。 図 6 2 は、 重な り 部の な い （即 ち 、 平坦 部の面積 の 占 め る割合が高 い） 反射板の反射特性 と 、 本実施の形態 1 6 に示 し た反射板 の反射特性 と を 比較 し た グ ラ フ で あ る 。 図 6 2 に示すよ う に、 本実施 の形態 に示す反射板の反射特性 9 6 ば、 重な り 部の な い反射板の反射特性 9 5 に 比較 して正反射方向 の 反射強度 が低下 し て い る こ と が分か っ た。

こ のよ う に し て、 本実施の形態で は、 各積層工程 にお い て重な り 部を有す る よ う に ア レイ を構成する 各層 を積層すれば、 正反射方向 の反射光強度の小 さ い 、 外光の強 い環境下で も写 り 込みの 少な い反 射電極並びに反射型液晶表示装置を実現する こ と ができ た。

淌、 本実施の形態では、 正方形パ タ ー ン を用 い たが、 その他の 図 形、 例え ば、 円 形パ タ ー ンや、 図 6 1 に示すよ う な六角 形な ど の多 角形パ タ ー ンで も 、 2 層 （ゲー ト 金属層 と 半導体層） の積層 工程後 に、 それ ら のパ タ ー ン に重な り 部が存在すれば同様 に実施可能で あ る 。 図 6 1 は、 実施の形態 1 — 1 7 にお いて使用 する 他 の マス ク の 概略図 で あ る 。 図 6 1 ( a ) ^ ( b ) にお け る マス ク 9 2 及ぴ 9 3 と が、 図 6 1 ( c ) に示すよ う に、 重な り 部 9 4 を 有すれよ う に予 め 設計 さ れて いれ ば良 い 。

ま た、 2 層 のパ タ ー ン形状は、 同一形状で あ る必要はな く 、 例 え ば、 円 形パ タ ー ン と 多角形パ タ ー ン と が重な り 部 を有する よ う に し て も よ い 。

尚、 本実施の形態では、 フ ォ ト リ ソ グ ラ フ ィ 一 の解像限界 に つ い て述べて い る が、 そ の他 のパ タ ーニ ン グ手段で も 、 パ タ ー ン の最小 幅 よ り も 小 さ い 幅で重ね合わせ を生 じ さ せる こ と に よ つ て も 同様 に 実施可能で あ る 。

(第 1 の発明群 に 関する そ の他の事項）

( 1 ) 上記実施の形態 1 ~ 9 にお ける エ ッ チ ン グ と し て は、 ド ラ ィ エ ッ チ ン グ、 ゥエ ツ ト エ ッ チ ン グの い ずれ を使用 し て も よ い。

( 2 ) 上記実施の形態 1 ~ 1 7 では、 逆ス 夕 ガー型 の T F T を備 えた反射板 につ いて説明 し た けれ ど も 、 順ス 夕 ガー型の T F T を 備 え た反射板 に つ いて も 本発明 は適用する こ と がで き る 。

( 3 ) 上記実施の形態 ：！ 〜 1 7 にお ける T F Tは、 ア モル フ ァ ス シ リ コ ン を用 い た も の で も 、 多結晶 シ リ コ ン を用 い た も の で あ っ て も よ い 。 ま た、 上記実施の形態 1 ~ 1 4 ではア ク ティ ブ素子 と し て T F T を使用 し た けれ ど も 、 M I M型素子 を用 いて も よ い 。

( 4 ) 上記実施の形態 1 〜 1 7 では、 絶縁性基板の表面は平坦面 であ っ た けれ ど も 、 予め絶縁性基板の表面 を、 例え ばサ ン ド プ ラ ス ト 法 に よ り エ ッ チ ン グ し て、 凹 凸面形成領域に予め基礎柱状体 を形 成 し てお き 、 こ の基礎柱状体上 に T F T を構成する 層 の一部 を積層 し て基礎柱状体 を含めて段差構造体を構成する よ う に し て も よ い 。

( 5 ) 上記実施の 形態では、 段差構造体は、 順次幅が小 さ く な る 複数 の柱状体が積み上げ ら れて先細状 と な っ て い る が、 こ れに限 る も の で はな く 、 積み上げ ら れ る 複数の柱状体の 幅が順次小 さ く な ら な い よ う な構成で あ っ て も 良 い。

[第 2 の発明群 ]

以下では、 本発明 の反射型表示素子 （反射型液晶表示素子） につ いて 図面を 用 い て説明する 。

(実施の 形態 2 — 1 )

図 6 3 は、 実施の形態 2 — 1 に係 る 液晶表示素子 を構成す る ァ レ ィ 基板の上面図 を示す。 ゲー ト ラ イ ン 1 0 0 、 ソ 一ス ラ イ ン 1 0 1 上 に反射層 1 0 6 が形成 さ れて い る 。

反射層 1 0 6 の下部 に は、 第 1 の 凸部 1 0 2 及び第 2 の 凸部 1 0 3 が互い に交差 し た メ ッ シ ュ 形状に形成 さ れて い る 。 ま た、 メ ッ シ ュ の 間 に は 凹部 1 0 4 が存在する 。 ま た、 メ ッ シ ュ の 間 隔は ラ ン ダ ム と し 、 光 の 回折、 千渉等が発生 し な い構成 にな っ て い る 。

前記第 1 の 凸部 1 0 2 と 前記第 2 の凸部 1 0 3 と の交差部 に は、 2 層 が積層 さ れて反射面上で最 も 高 い 凸部交点 1 0 7 が形成 さ れる 図 6 4 は、 前記第 1 の 凸部 1 0 2 と 前記第 2 の 凸部 1 0 3 と が交差 する と こ ろ を示 し た概念図 で あ る 。 凸部交点 1 0 7 で 2 層が積層 さ れ段差が最 も 大き く な る 。

そ し て、 囟 6 5 に示すよ う に、 同構成上 に平坦化層 1 0 8 を積層 し た後、 該平坦化膜 1 0 8 上 に反射層 1 0 9 を設 ける と 平坦化層 1 0 8 に よ り 凸部 と 凹部がなだ ら か に な り 、 凸部頂点 1 0 7 と 凹部 1 0 4 を 中 心 に 凹 凸構造が形成 さ れ、 反射層 1 0 6 の 凹凸が形成 さ れ る 。

反射面 の 凸部 を上記 の よ う に帯状凸部 と し 、 さ ら に複数層 を交差 する 形状で積層 し て形成する と 、 交差部に は必ず反射面か ら 最 も 高 ぃ 凸部交点 が 1 0 7 が形成 さ れる 。 本構成ではマス ク 合わせがずれ て も 凸部交点 の形状は ほ ぼ同一に保たれ生産性が向上す る 。 例 え ば 第 1 の 凸部 1 0 2 に対 し て、 上層 の第 2 の 凸部 1 0 3 が位置合わせ のずれで 図 1 の右方向 に移動 し た場合 を考 え る 。 こ の と き 、 凸部交 点 1 0 7 の位置は変わ ら な い ため反射性能 も 同一で あ る 。 ま た 、 同 上方 にずれた と し て も 、 凸部交点が全体的 に上方 に ずれる のみであ り 反射面全体の反射性能はほ ぼ同一で あ る 。 し たがっ てマス ク 合わ せ のずれ に よ る 不良が大幅 に低減 し 生産性が向上する 。

図 6 6 は本実施の形態 2 — 1 の別形態 を 示す図で あ る 。 第 1 の 凸 部 1 1 2 、 及び第 2 の 凸部 1 1 3 を 曲線か ら 成る 帯状で形成する こ と を特徴 と す る 。 凸部を 曲線状 にす る と 、 特 に 凹部 1 1 4 の形状が 多様 と な り 所望の反射特性の実現がよ り 容易 に な る 。 こ れは 凹部 の 形状が多様で あ る と 平坦化層 を積層 し た後の傾斜角分布 の 制御が よ り 容易 に な る か ら で あ る 。 ま た、 凸部 を 曲線で構成 して も 第 1 の 凸 部 1 1 2 どお し 、 及び第 2 の 凸部 1 1 3 どお し が、 それぞれ交差 し な い形状 と すれば、 上記 と 同様に マ ス ク ずれが発生 して も 反射性能 は ほ ぼ同等 と な る 。 また、 凸部を 曲線 と し た方が、 反射光 の 回折、 干渉が生 じ 難 い。 こ れは、 帯状凸部の上下左右、 及び斜め方向 の対 照性が大幅 に低減す る た めで あ る 。

当 然な が ら 、 凸部の 間隔を ラ ンダム にする と 、 反射光の 回折、 干 渉が更 に生 じ難 い効果が得 ら れる 。

次に、 本発明 の実施の形態 2 — 1 の具体例 を 、 図 6 3 、 図 6 4 、 図 6 5 を 用 いて説明する 。

ア レイ 基板上 に 、 T F T素子、 ゲー ト 配線、 及ぴソース 配線等 を 形成する プ ロ セス を利用 して、 基板上に 凸部を形成 し た。 こ の と き 、 第 1 の 凸構造 1 0 2 をゲー ト 酸化膜形成 と 同一工程 を用 い て、 幅 1 0 m , 高 さ 0 . 5 m の ス ト ラ イ プの 帯状 に 形成 し た。 次 に 第 2 の 凸構造 1 0 3 を 、 ソ ース 配線形成 と 同一工程 を 用 いて、 幅 1 0 A m、 高 さ 0 . 5 ^ m の ス ト ラ イ プの帯状 に 形成 し た 。 こ の と き 、 凸 部交点 は 2 層 が積層 さ れて段差 は 1 mであ っ た。 こ の よ う に ァ レ ィ 基板 を作成す る プ ロ セス を利用 し て、 T F T 素子、 及び周辺配線 等の材料 と 同一 の材料を用 いて帯状凸部を形成す る と、 製造工程が 簡略化 さ れ生産性が向上す る 。

次 に平坦化層 1 0 8 を 層厚 0 . 5 ^ 111で積層 し 、 熱ァ ニ ールで形 状 を溶か し て所望の傾斜角 と し た後、 アルミ を 用 い て反射層 1 0 9 を 形成 し た。 こ の と き の反射層 1 0 9 の平均傾斜角 は最大で約 1 1 。 で あ っ た。

上記 ア レイ 基板 と対向基板 を用 いて液晶表示素子を作成 し た。 素 子の反射率 は 3 6 % で あ り 高輝度なパ ネルが実現できた。

マス ク 合わせ に対する マ一 ジ ン を調べ る た め 、 第 2 の 凸構造 1 0

3 を 形成す る 際の マ ス ク を故意 にず ら し て、 従来 と の反射率 を 比較 し た。

従来の柱状凸部の場合、 第 1 の 凸構造 1 0 2 の径が 1 0 m の場 合、 ずれが 2 m以上 と な る と 柱形状が非対称 と な り 、 結果 と し て 所望の傾斜角分布が得 ら れなか っ た。 こ の た め反射性能は大き く 低 減 し た。 ま た 、 パネル内でずれ方が異な る た め 、 パネル内で輝度ム ラ が発生 し た。

ま た、 製造 ラ イ ンで大判 のガ ラ ス 基板で作成する と、 ガ ラ ス 内の パネル子片 の位置で、 マス ク ずれが更に大き く な り 同一の表示性能 のパネルが得 ら れなか っ た。

一方、 本発明 の構成に よれ ば、 マス ク 位置が 1 0 m程度ずれて も 凸部交点 1 0 7 の位置が全体的 に移動す る だけで、 反射性能 は ほ ぼ同様であ っ た。 こ の ため生産性が大幅 に 向上 し た。

凸構造は上記例 に よ ら ずア レイ プ ロ セ ス の任意 の層形成 と 兼用 し て形成でき る 。 例え ば a — S i 層 と 兼用 し て も 良 い。 層数は 2 層以 上で も 良 い 。

ま た、 ア レイ プ ロ セ ス と 兼用せず、 ソ ース 、 ゲー ト 等の上 に平坦 化層 を形成 し た後、 感光性 レ ジス ト を用 い て 凸部 を形成 し て も 同様 の表示性能が得 ら れ る 。

凸構造は、上記 の ス ト ライ プ構成以外 に 図 6 6 で示 し た曲線構成、 ま た はス 卜 ラ イ プ と 曲線 を混合 し て用 い て も 良 い。 例え ば画素内 は 曲線 と し 、 コ ン タ ク 卜 ホール 1 0 5 の近辺のみス ト ラ イ プ構成 と す る と 凸部 を効率的 に配置する こ と ができ る 。 ま た 、 曲線構成の と き は コ ン タ ク ト ホール 1 0 5 の形状を 隣接する 曲線構成 に応 じ て 曲線 で構成 し て も 凸部を効率的 に配置でき る 。 凸部 効率的 に配置する と 傾斜角 が小 さ い平坦な領域が減少 し 反射率が向上する 。

平坦化 層 の 層厚は、 上記 の 0 . 5 /i m以外 に 2 i m程 度以下で形 成で き る 。 層厚は凸部の最大段差の 大き さ 、 凹部 の大き さ と形状、

¾ぴ凸部の 上面形状に応 じ て任意に選ぶ こ と がで き る 。

上記例で は、 反射層 を全面に形成 し た反射型液晶表示素子 と し た が、 こ れは反射層 に 開 口 窓 を 設けた半透過型液晶表示素子で も 良 い。 こ の と き 、 開 口 窓の形状は 円 形、 正方形状、 長方形状以外 に も 隣接 す る 帯状凸部の構成 に応 じ て輪郭 を 変え る こ と で凸部を効率的 に配 置で き る 。

上記例で は帯状凸部を用 い て 凹 凸構造 を 形成 し たが、 図 6 7 に示 すよ う な構成 の 凹 凸構造であ っ て も 良 い 。 即ち 、 基板 1 2 0 上 にゲ ー ト 絶縁膜 1 2 1 を成膜 し 、 該ゲー ト 絶縁膜 1 2 1 を フ ォ ト リ ソ グ ラ フ ィ 一 と エ ッ チ ン グ技術等 に よ り 、 マ ト リ ク ス 状に 凸部 1 2 1 a … を有する （帯状の 凹部 1 2 1 b … を有する ） よ う に構成 し て も 良 い。 ま た帯状の 凸部 と 凹部 と を混合 し て用 い て も 良 い。

上記例で は帯状凸部を組み合わせて 凹 凸構造 を形成 し たが、 こ れ は、 帯状凸部以外の形状の 凹 凸構造が含 ま れて い て も 良 い 。 例 え ば、 上記 凹部内 に独立 し た凸部が形成 さ れて も 良 い。 凹部の 中 に さ ら に 独立 し た 凸部 （例 え ば、 円 柱状、 多角形柱状） が あ れば、 凹部 の傾 斜角 の制御 がさ ら に容易 にな り 反射率の 向 上が実現 さ れる 。

ま た、 帯状凸部は必ず し も 連続 し て い る 必要はな く 、 一部が切れ た構造で も 良 い 。 マス ク ずれの見 こ み に合わせて、 ずれが小 さ い場 合は、 標準 の交点位置 を 中心 に 凸部中心か ら 帯状凸部が十字状 に形 成 さ れる よ う 設計 し て も 同様の効果が得 ら れ る 。

(実施の 形態 2 _ 2 )

実施の形態 2 — 1 の液晶表示素子 にバ ッ ク ラ イ ト シス テム 、 駆動 回路部、 及び筐体等 を付与 し て反射型液晶表示装置 と し た。

上記凸部 の間 隔 を ラ ン ダム に形成 し た こ と で回折や干渉項が発生 せず色付き の な い 良好な表示が得 ら れた。

(実施の 形態 2 — 3 )

実施の形態 2 — 1 の液晶表示素子 に用 い た反射層 と 同一の構成 を 基板上 に形成 し 、 反射板 と し た。 本構成の反射板 に よ り 、 複数の 凸 部、 ま た は 凹部 を積層 し て 凹 凸構造を形成 し て も 、 マ ス ク ずれに よ る パ タ ー ン ずれが発生せず、 大面積で も 均一な反射性能 を有す る 散 乱反射板が得 ら れた。

(第 2 の発明群 に 関する そ の他の事項）

( 1 ) 上記実施の形態で は、 液晶 を用 いた反射型液晶表示素子 につ い て示 し た が、 本発明 の反射型表示素子は、 液晶 を 用 い た表示素子 に 限定 さ れ る も ので はな い 。 例え ば、 溶液中 に分散 さ せた微粒子 を 電界で移動 さ せる こ と に よ り 、 光 の 吸収、 透過 を 制御する 電気泳動 ディ ス プ レイ に適用 する こ と も 可能であ り 、 液晶表示素子以外 の反 射型表示素子 に も 用 い る こ と がで き る 。

[第 3 の発明群 ]

(実施の 形態 3 — 1 )

本発明 の反射板お よ び反射型表示素子の実施の形態の一例 に つ い て図 面 に基づい て説明す る 。 図 6 8 は、 光制御手段 と し て液晶 を用 い た反射型液晶表示素子 の概略断面図で あ り 、 表示部分中央の 一画 素分の 断面図 を示す も の で あ る 。 なお、 図 中 に は省略部分が存在 し、 ま た 図 の縮尺 も 実際 と 異なる 部分があ る 。

図 6 8 に示すよ う に 、 反射型液晶表示素子は、 いわ ゆ る 1 枚偏光 板方式の反射型カ ラ ー液晶表示素子で あ る 。 基板 3 0 1 と対向基板 3 0 2 と の 間 に は所定の 間隙が設け ら れ、 こ の 間隙 に液晶が充填 さ れた液晶層 3 0 3 を有する 。 上記対向基板 3 0 2 に は、 赤 R 、 緑 G 、 青 B の各色 に対応す る カ ラ ー フ ィ ルタ 3 0 4 が各画素 ご と に配置 さ れ、 カ ラ ー フ ィ ルタ 3 0 4 の 内側 に透明導電膜か ら な る共通電極 3 0 5 を有する 。 上記対向基板 3 0 2 の外側 に は偏光板 3 0 6 お よ び 位相差板 3 0 7 が設 け ら れて い る 。

上記基板 3 0 1 上 に は、 表面に 凹 凸形状 を有する樹脂層 3 0 8 が 設 け ら れ、 該樹脂層 3 0 8 上 に は入射光 を反射する ため の反射部材 3 0 9 が成膜さ れて い る 。 上記樹脂層 3 0 8 表面の 凹 凸は、 反射光 を散乱 さ せて、 光源の 映 り こ みを抑制する と と も に、 反射率、 視野 角 な どの視認性 を得 る た め の も ので あ る 。

上記樹脂層 3 0 8 は、 第 2 の樹脂材料か ら な る 第 2 樹脂部 3 0 8 a が、 第 1 の樹脂材料か ら な る 第 1 樹脂部 3 0 8 b 中 に分散保持 さ れて形成 さ れて構成 さ れてお り 、 上記第 2 樹脂部 3 0 8 a の形状に 沿 っ て樹脂層 3 0 8 の 凸形状が形成 さ れて い る 。

上記第 2 樹脂部は、 厚みがお よ そ 2 / m、 径がお よそ l O i mの 滴状 であ る 。 第 2 樹脂部の滴状体の 中央部 （樹脂層 の 凸形状の頂 上部分） と 、 滴状体 ど う し の 間 の部分 （樹脂層 の 凹形状の底部分） の樹脂層 3 0 8 の厚みの差は、 約 0 . で あ る 。 尚、 第 2 樹脂 部 の滴状体の厚み、 径、 厚みの差は、 上記 と 異な る 値で あ っ て も よ く 、 ま た、 滴状でな い形状、 例え ば棒状等で も よ い。

ま た、 上記第 2 樹脂部は、 第 1 の樹脂材料 と 第 2 の樹脂材料 と 溶 剤 と の混合液か ら 相分離 し て形成 さ れた も の で あ り 、 第 2 樹脂部の 配置は 自 然発生的 に定ま る た め に不規則性 を有す る 。なお相分離は、 異な る 材料が相溶 し た混合液が、 各々 の材料の 比率が高 い相 に分か れて分離す る 現象で あ る 。

上記樹脂層 3 0 8 上の反射部材 3 0 9 は、 反射率が高 い アル ミ 二 ゥ ム を主成分 と する 金属 を約 0 . 2 mの厚み に成膜 し た も ので あ る 。 なお 、 反射部材は、 アル ミ ニ ウム以外 の金属、 例え ば銀 を主成 分 とす る 金属 を用 い る こ と も でき る 。

上記反射部材 3 0 9 は、 各画素 ご と に 区切 ら れ、 画素電極 を兼ね てお り 、 樹脂層 3 0 8 を貫通する 開 口 （コ ンタ ク ト ホール） 3 1 0 で基板 3 0 1 上 の駆動素子 3 1 1 の ド レイ ン端子 3 1 1 a と 接続 し て い る 。 こ の構成 に よ り 、 基板 3 0 1 上 の駆動素子 3 1 1 に よ っ て、 画素電極を 兼ねる 反射部材 3 0 9 と共通電極 3 0 5 の 間 に印加す る 電圧 を 変化 さ せる こ と がで き 、 表示動作が可能 と な る 。

こ の よ う に構成する こ と に よ り 、 対向基板 3 0 2 側か ら 入射 し た 光は、 偏光板 3 0 6 、 位相差板 3 0 7 、 対向基板 3 0 2 、 カ ラ ー フ ィ ルタ 3 0 5 、 液晶層 3 0 3 を通過 し 、 反射部材 3 0 9 で反射 さ れ、 逆の経路を通っ て、 反射型表示素子 を見る 人の 目 に入る 。 こ の と き、 液晶層 に 印加する 電圧 を 制御する こ と に よ り 、 光の 吸収 と 透過 を 制 御する こ と がで き る 。 こ の よ う に、 本実施 の形態で は、 液晶層 を光 制御手段 と して用 いて い る 。

次に、 本発明 の 反射型表示素子の樹脂層 3 0 8 の 凹 凸 を形成す る 工程 に つ い て、 図 6 9 に基づいて説明する 。 図 6 9 は、 本発明 の実 施の形態 3 — 1 に係 る 反射型表示素子の樹脂層 の形成工程 を示す概 略説明図で あ る 。

まず、 図 6 9 ( a ) の よ う に、 感光性 を有する 第 1 の樹脂材料お よ び第 2 の樹脂材料 を共通の溶剤 中 に溶解 さ せた混合液を作成 し た 。 こ こ で、 第 1 の樹脂材料はア ク リ ル系 の ポジ型感光材料、 第 2 の榭 脂材料 はス チ レ ン系 の ポ ジ型感光材料 を使用 し 、 第 1 の樹脂材料 と 第 2 の樹脂材料 の 比率が 4 0 対 6 0 重量パーセ ン ト にな る よ う に調 整 し た。 ま た、 溶剤は プロ ピ レ ン グ リ コ ールモ ノ メ チルエーエルァ セ テー ト （ P G M E A ) を用 いた。 こ こ で、 第 2 の樹脂材料 は、 第 1 の樹脂材料 と 比較 し て共通 の溶剤で あ る P G M E A に対 し溶解性 が小 さ い材料 を選択 し た。 なお、 共通の溶剤 に対す る溶解性が、 第 1 の樹脂.材料 に 比べて第 2 の樹脂材料 と 異な る 組み合わせで あ れ ば 第 1 、 2 の樹脂材料お ょ ぴ溶剤 と し て上記以外の材料を用 い る こ と も 可能であ る 。

次に、 あ ら か じ め駆動素子 3 1 1 お よ び駆動素子の端子 3 1 1 a を形成 し た基板 3 0 1 上 に、 前記混合液を塗布 し 、 プ リ べー ク し た。 塗布は、 ス ピ ン コ ー ト に よ り 実施 し 、 所定の温度 に設定 し たホ ッ ト プ レー ト 上 に基板 を置 いて プ リ べ一 ク し た。 プ リ べーク に よ り 溶剤 が乾燥 さ せ る 際、 第 2 の樹脂材料は、 第 1 の樹脂材料よ り も 混合液 中 の溶剤 に溶解 し に く い こ と か ら 、 図 6 9 ( b ) の よ う に 第 2 の樹 脂材料が相分離 し て先 に凝集 し て集 ま る 。

次 に 、 第 2 の樹脂材料が図 6 9 ( c ) の よ う に凝集 し て第 2 樹脂 部 を 形成 し た の ち 、 第 1 の樹脂材料が残っ て第 1 樹脂部 と な り 、 第 2 樹脂部 を 覆 っ た。

こ の よ う に し て、 図 6 9 ( d ) に示すよ う に、 プ リ べー ク 後 に は、 第 1 の樹脂材料か ら な る 第 1 樹脂部 3 0 8 b 中 に第 2 の樹脂材料か ら な る 第 2 樹脂部 3 0 8 a が分散、 保持 さ れた樹脂層 を形成 し た 。 こ の と き、 上記第 1 の樹脂材料 と 上記第 2 の樹脂材料 と は表面張 力 が異な る 材料 を 用 いて い る の で、 第 2 樹脂部の形状 に沿 っ て樹脂層 表面 の形状が形成 さ れ、 樹脂層 の表面 に微細な 凹 凸が形成 さ れた。 こ こ で 、 1 0 0 で 前後の温度で プ リ べー ク を実施す る と 、 塗布後 の混合溶液か ら 急激 に溶剤が揮発する た め 、 第 2 の樹脂材料が凝集 する 時間が短 く な り 、 各々 の第 2 樹脂部の大き さ が図 6 の よ う に 小 さ く な る 。 第- 2 樹脂部が小 さ い場合、 図 7 0 の よ う に樹脂層 8 の表 面は ほ ぼ同 じ 高 さ と な り 、 凹 凸が形成 さ れな い。 こ の た め プ リ べ一 'ク は、 塗布後常温 よ り 2 0〜 3 0 °C 高 い温度での低温プ リ べー ク の 次 に 、 1 0 0 t 前後の高温 プ リ べー ク を実施する 2 段階プ リ べー ク を実施 し た。

具体的 に は、 5 0 °C の ホ ッ ト プ レー ト で 5 分間乾燥 し た の ち 、 こ れ に続いて 1 0 0 で の ホ ッ ト プ レー ト で 2 分間乾燥 さ せた。 こ の よ う にする こ と で、 低温 プ リ べー ク 時 に は溶剤の揮発が緩慢 と な る た め第 2 の樹脂材料が凝集 し て図 6 9 ( c ) の構造を形成 し 、 次 に高 温プ リ ベー ク で第 1 お よ び第 2 の樹脂材料の両方か ら 溶剤 を揮発 さ せて、 図 6 9 ( d ) の形状を形成 し た。

尚 、 本実施の形態では、 低温 プ リ べー ク を実施 し たが、 こ の代替 ま た は こ の工程 に 追加 し て、 減圧乾燥 ま た は気流 に よ る 乾燥の工程 を 用 い て も 高温でのプ リ ベー ク に比べて溶剤の揮発 を緩慢 にす る こ と ができ、第 2 の樹脂材料の液滴 を成長さ せて第 2 樹脂部 を形成 し 、 前述 と 同様 に樹脂層表面に 凹 凸 を形成す る こ と がで き る 。

表面に 凹 凸 を有す る樹脂層 を上記 の方法 に よ り 形成 し た の ち 、 開 口 部分の み を 露光す る マス ク 露光お ょ ぴ現像、 リ ンス の工程 に よ り 、 基板 3 0 1 に あ ら か じ め形成 し た駆動素子の端子上の樹脂層 を 取 り 除き 、 コ ン タ ク ト ホール を 開 口 し た。 次 に 、 樹脂材料 1 お よ び樹脂 材料 2 の硬化温度 2 0 0 °C の恒温槽で 1 時間焼成 し た。 焼成後、 前 記樹脂膜上 に ア ル ミ ニウ ム を 主成分 とす る 反射部材 3 0 9 を製膜 し 、 フ ォ ト リ ソ グ ラ フ ィ ーお よ びエ ッ チ ン グの 工程 に よ り 、 図 6 9 ( e ) の よ う に 、 画素形状 に パ タ ーニ ン グ し た。 画素形状にパタ ーニ ン グ し た反射部材 9 は、 樹脂膜 に形成 し た前記 コ ン タ ク ト ホール を介 し て基板上 の駆動素子 3 1 1 の ド レイ ン端子 3 1 1 a と 接続 し た。

次 に、 反射部材 をパ タ ーエ ン グ し た基板 3 ϋ 1 に、 液晶層 の液晶 を所定の方向 に配向 さ せる 配向膜 （図示せぬ） を形成 し た。 一方、 あ ら か じ めカ ラ ー フ ィ ルタ 3 0 4 お よ び共通電極 3 0 5 を 形成 し た 対向基板 3 0 2 に、 基板 3 0 1 と 同様に配向膜 を形成 し てお き、 基 板 3 0 1 と 対向基板 3 0 2 と を一定の 間 隙 を保ち なが ら 貼 り 合わせ 間 隙 に液晶 を注入 し た。 こ の後、 対向基板 3 0 2 上 に偏光板 3 0 6 、 位相差板 3 0 7 を貼 り 合わせ、 図 6 8 に示すよ う な本実施 の形態の 反射型液晶表示素子 を完成 し た。

以上の よ う に、 本発明の反射型表示素子の製造方法 に よ れ ば、 特 開平 6 — 2 7 4 8 1 に記載 の よ う に 、 1 ) 凹 凸 の下地 と な る 突起物 を形成する 、 2 ) 突起物上 に樹脂層 を塗布 し て滑 ら か にす る 、 と い う 2 つ の 工程 を行 う 必要がな く 、 表面 に 凹 凸 を有する樹脂層 を 1 回 の工程で形成す る こ と がで き る の で、工程 を簡略化でき る と と も に、 良好な反射特性 を得る こ と ができ た。

ま た、 本発明 に よ り 樹脂膜の表面 に 凹 凸 を形成 し た場合、 自 然発 生的 に 凹 凸配置が決 ま る の で、 樹脂膜の表面 に不規則な 凹 凸形状を 形成す る こ と がで き る 。 こ の た め 、 凹 凸配置の規則性に起 因する モ ァ レが発生 し な い と い う 特長 を有する 。

ま た、 本'発明 に よ り 反射板の表面 に微細な 凹凸が形成す る こ と が でき 、 特 に 、 前記凹 凸 の段差 を 0 . 7 m以下の微細な も の とする こ と ができ る ので、 よ り 良好な反射特性 を有する反射板 を得る こ と がで き る 。

第 2 樹脂部の滴状体の大き さ は、 1 ) 第 1 の樹脂材料 と 第 2 の樹 脂材料の 比率、 2 ) 樹脂層 の プ リ べー ク 条件、 の 2 つ に依存する 。 こ の う ち 2 ) につ いて は前述の通 り であ る 。 1 ) につ い て、 本実施 の形態で は、 第 1 、 2 の樹脂材料の合計 に対する 第 2 の樹脂材料 の 比率 を 4 0 重量 ％ と し たが、 こ れが概ね 5 0 重量 ％ よ り 小 さ い場合 に は、 膜 の厚み に比べ、 滴状体の厚みが小 さ く な り 、 膜表面 に 凹 凸 が形成 さ れな い 。 一方、 5 0 重量％ よ り 大き い場合 に は、 第 2 の厚 みが膜よ り も 大 き く な り 、 樹脂層 の表面 に 凹 凸 を形成する こ と がで さ る 。

ま た、 本実施の形態では、 溶剤 と し て単独の も の を用 い たが、 複 数の溶剤 を 混合 して用 いて も よ い。 例え ば、 溶剤 A に対 し て溶解 し やす い第 1 の樹脂材料 と 、 溶剤 B に対 し溶解 し やすい第 2 の樹脂材 料 と を 、 溶剤 A 、 B の混合溶剤 中 に溶解 し た混合液を作成する 。 こ の場合、 溶剤 A に比べて溶剤 B の ほ う が揮発性が高い材料 を選択す る 。 こ の よ う にする と 、 プ リ べー ク 時 に溶剤 B が混合液中 か ら 先 に 揮発 し 、溶剤 A に溶け に く い第 2 の樹脂材料が先 に 凝集 し は じ め る 。 こ の方法で も 、 第 2 樹脂部が第 1 樹脂部 中 に分散保持さ れた樹脂層 を形成でき 、 上記実施の形態 と 同様 の効果 を得る こ と ができ る 。

尚 、 本実施 の形態では、 溶剤 を使用 して い る が、 第 1 の樹脂材料 と 第 2 の樹脂材料 と が相溶する 組合せで あ れば、 溶剤 を使用 する 必 要はな い 。

ま た、 本実施 の形態では、 プ リ べー ク 時 に第 2 の樹脂材料 を 凝集 さ せ る こ と に よ り 、 第 1 樹脂部中 に第 2 樹脂部が分散保持 さ れた樹 脂膜 を形成 し た。 こ こ で、 第 1 の樹脂材料 と し て、 硬化時 の加熱 に よ る 収縮率が第 2 の樹脂材料 と 異な る 材料 を用 い る こ と に よ り 、 よ り 大 き な 凹 凸 を樹脂層表面 に形成する こ と が可能 と な る 。 図 7 0 に こ の 様子 を 示す。 図 7 0 は反射型表示素子の樹脂層表面の 凹 凸形状 の形成 に につ い て説明する ため の概略説明 図で あ る 。

図 7 0 ( a ) の よ う に 、 プ リ べー ク 後 に は樹脂層 の表面 に 凹 凸が 形成 さ れて いな い か、 凹 凸がわずか な場合で も 、 例え ば第 1 の樹脂 材料 の収縮 ^が大き い場合 に は、 硬化後、 図 7 0 ( b ) の う に 、 第 1 樹脂部 8 b の厚みが小 さ く な り 、 樹脂層 8 の表面に必要な 凹 凸 を形成す る こ と が可能 と な る 。

ま た、 本実施の形態で は、 第 1 の樹脂材料お よ び第 2 の樹脂材料 と も に感光性材料 を 用 い た。 こ の構成 に よ り 、 開 口 を介 し て画素電 極 と 駆動素子の端子 を接続する こ と が可能 と な る 。 なお、 開 口 の大 き さ が第 2 の樹脂材料で形成さ れる 第 2 樹脂部よ り も十分大き い場 合に は、第 2 の樹脂材料は必ず し も 感光性 の材料で あ る 必要はな い。 こ の場合、 第 1 の樹脂材料が感光性材料で あ れば、 マス ク 露光、 現 像、 洗浄の 際 に 開 口 に位置する 第 2 樹脂部が同時 に洗浄、 除去 さ れ る た め 、 開 口 を 開 ける こ と ができ る 。

ま た、 第 2 の樹脂材料は、 プ リ べー ク 後に は液体であ り 、 第 1 、 2 の樹脂材料 を焼成 し た の ち に 固体化する 材料 を用 いて も よ い 。 例 え ば、 硬化前の常温状態が液体で あ る エポキ シ系樹脂を第 2 の樹脂 材料 と し て用 い た場合、 プ リ べ一 ク 時 に第 2 樹脂部が凝集 し た際 に は液体で あ る 。 こ の た め 、 樹脂層 に 開 口 を 形成す る 際、 開 口 部分 に 位置す る 第 2 樹脂部は、 第 1 樹脂部の現像お よ び洗浄工程 に よ り 、 洗 い流す こ と がで き る 。 こ の後の焼成 に よ り 、 第 1 樹脂部 に保持 さ れた第 2 樹脂部 を熱架橋 さ せ、 固体化 さ せ る 。 こ の方法 に よ れ ば、 第 2 の樹脂材料 と し て感光性 を有 し な い材料 を用 い る こ と も でき る 。

ま た、 本実施の形態では、 各画素 に対応 し た基板上の駆動素子で 画素 ご と に 印加す る 電圧 を 制御する 、 い わ ゆ る ァ ク ティ ブマ ト リ ク ス 方式の液晶表示素子を例 に挙げた が、 各画素 に駆動素子 を持たな い構成 に よ り 、 本発明 の反射型表示素子 を構成 し て も よ い 。 駆動素 子 を持た な い構成 に は、 例え ば、 櫛型の反射部材 を設 けた基板 と 、 櫛型 の透明電極 を形成 し た対向基板 と を 、 櫛型の方向が互 い に垂直 に な る よ う に配置 し て、 一定の間 隙 を介 'レ て貼 り 合わせ、 間 隙 に液 晶 を封入 し 、 上下基板の電極が交差 し た各点 を画素 と して電圧 を 印 加する 、 い わ ゆ る パ ッ シ ブマ ト リ ス ク 方式の液晶表示素子が あ る 。 パ ッ シ ブマ ト リ ク ス方式では、 上下基板の 間 隙の間での液晶のね じ り 角 が 1 8 0 度以上の S T N (ス ー パ ー ツイ ス ト ネマチ ッ ク ） 方式 液晶表示素子が あ る 。 こ の よ う に各画素 に駆動素子を持たな い構成 の場合、 樹脂層 に は、 駆動素子 を貫通する 開 口 を形成する 必要がな く 、 従 っ て 、 第 1 の樹脂材料、 第 2 の樹脂材料は と も に 、 感光性 を 有 し な い材料 を 用 い る こ と ができ る 。

(実施の 形態 3 — 2 )

本発明 の 実施 の形態 3 — 2 の反射型表示素子の反射板、 反射型表 示素子お よ びそ の製造方法 に つ い て説明する 。実施の形態 3 — 2 は、 実施の形態 3 — 1 と 樹脂層 の構成が異な り 、 その他の部分に つ いて は共通で あ る 。 こ の た め、 実施の形態 3 — 2 は、 樹脂層 の形成する 工程 の み に つ い て、 図 7 2 に基づいて説明す る 。 図 7 2 は、 本発明 の実施 の形態 3 — 2 に係 る 反射型表示素子の樹脂層 の形成工程 を示 す概略説明 図 で あ る 。

感光性 を 有す る 第 1 の樹脂材料お よ び第 2 の樹脂材料 を共通 の溶 剤 中 に溶解 さ せ た混合液を作成 し た。 こ こ で、 第 1 の樹 ^材料 はァ ク リ ル系 の ポ ジ型感光材料、 第 2 の樹脂材料はス チ レ ン系 の ポ ジ型 感光材料 を使用 し 、 第 1 の樹脂材料 と 第 2 の樹脂材料の比率 を 5 0 対 5 0 重量パーセ ン ト にな る よ う に調整 し た。 尚、 本実施の形態 3 一 2 で は、 第 1 の樹脂材料 と 第 2 の樹脂材料 と の相溶性は、 前記実 施の形態 3 — 1 に比較 し て高 い 。

次 に、 あ ら か じ め駆動素子 3 1 1 お よ び駆動素子の端子 3 1 1 a を形成 し た基板 3 0 1 上 に、 前記混合液を塗布 し 、 プ リ べ一 ク し た。 プ リ べ一 ク で溶剤 を乾燥 さ せ る こ と に よ り 、 図 7 2 ( a ) の よ う に、 第 1 の樹脂材料 と 第 2 の樹脂材料 を互い に相分離 さ せ、 図 7 2 ( b ) の よ う に、 ネ ッ ト ワ ー ク 状 に 第 1 の樹脂材料か ら な る第 1 樹脂部 3 0 8 c と 第 2 の樹脂材料か ら な る 第 2 樹脂部 3 0 8 d と が相分離 し て分かれた樹脂層 3 0 8 を形成 し た。

次 に、 開 口部分のみ を 露光する マス ク 露光お よ び現像、 リ ンス の 工程 に よ り 、 基板 3 0 1 に あ ら か じ め形成 し た駆動素子の端子 3 1 l a 上の樹脂層 を取 り 除き 、 図 7 2 ( b ) の よ う に コ ンタ ク ト ホ一 ル 3 1 0 を 開 口 し た。

次 に、 第 1 の樹脂材料お ょ ぴ第 2 の樹脂材料の硬化温度 2 0 0 °C の恒温槽で 1 時間焼成 し た。 硬化時の熱収縮率が第 1 の樹脂材料 と 第 2 の樹脂材料 と で異な る 材料 を選択 し てお く こ と に よ り 、 樹脂層 3 0 8 の表 面に微細な 凹 凸 を 形成 し た。 本実施の 形態の場合、 第 2 の樹脂材料 の熱収縮率が、 第 1 の樹脂材料の熱収縮率よ り も 大 き い こ と か ら 、 第 2 樹脂部 3 0 8 d の厚みが薄 く な り 、 図 7 2 ( c ) の よ う に、 樹脂層 3 0 8 内で の 各樹脂材料 の配置 に対応 し た微細 な 凹 凸 を樹脂層 3 0 8 の表面 に形成 し た。 尚 、 上記第 1 の樹脂材料 の熱 収縮率が、 上記第 2 の樹脂材料 の熱収縮率 よ り も 大き く て も よ い。

焼成後、 前記樹脂膜上 に アル ミ ニ ウ ム を主成分 と する 反射部材 3 0 9 を製膜 し 、 フ ォ ト リ ソ グ ラ フ ィ 一お よ びエ ッ チングの工程 に よ り 、 実施の 形態 3 — 1 で説明 し た 図 6 9 ( e ) の よ う に、 反射部材 3 0 9 を画素形状にパ タ ーニ ン グ し た。 なお、 反射部材 3 0 9 は、 樹脂膜 に形成 し た前記コ ン タ ク ト ホール 3 1 0 を介 して基板上 の駆 動素子の端子 3 1 1 a と 接続 さ せた。

こ の後、 実施の形態 3 — 1 と 同 じ工程 を実施 し 、 反射型液晶表示 素子 を完成 し た。

上記の よ う に実施の形態 3 — 2 の構成お よ び製造方法 に よ っ て も 実施の形態 3 — 1 と 同様 に樹脂層 の表面 に微細な 凹 凸 を 形成す る こ と がで き 、 同様の効果 を得る こ と ができ る 。

なお、 樹脂層 を構成す る 樹脂材料 を基板上 に塗布 し、 プ リ べー ク に よ り 相分離さ せた 際の樹脂層 の形態は、 材料の種類、 比率等 に よ り 変化 し 、 前記実施 の形態 3 — 1 に示 し た よ う な、 一方が滴状体 と し て形成 さ れる 場合以外 に、 本実施の形態 2 の よ う に、 2 種類の樹 脂が不規則 に入 り 組み、 一方 の樹脂がネ ッ 卜 ワ ー ク を形成する 網状 と な る 場合、 があ る 。 こ の よ う に実施の形態 1 、 2 の ど ち ら で あ つ て も 、 2 種類の樹脂部の配置 に対応 し て、 樹脂層 の表面 に微細な 凹 凸 を形成す る こ と がで き 、 同様の効果 を得 る こ と ができ る 。

(第 3 の発明群 に 関する そ の他の事項）

( 1 ) 上記実施の形態では、 光制御手段 と し て、 液晶 を用 い た反 射型液晶表示素子 につ い て示 し たが、 本発明 の 反射型表示素子は、 液晶 を用 い た表示素子 に 限定 さ れる も の で はな い 。 例え ば、 溶液 中 に分散 さ せ た微粒子 を電界で移動 さ せる こ と に よ り 、 光の 吸収、 透 過 を 制御す る 電気泳動ディ ス プ レイ に適用 す る こ と も可能で あ り 、 液晶表示素子以外の反射型表示素子に も 用 い る こ と ができ る 。

( 2 ) 上記実施 の形態では、 相分離に よ っ て 2 種類の樹脂部 を形 成 し たが、 相分離以外の方法 に よ っ て も 2 種類の樹脂部を形成する こ と ができ る 。 即ち 、 2 種類の樹脂材料が相溶状態 にな く 、 単 に混 合 さ れて い る 状態 に 、 例 え ば、 加熱 し た り 紫外線照射する こ と に よ つ て 2 種類 の樹脂材料 を 分離 し て 2 種類の樹脂部 を形成する よ う な こ と も で き る 。

( 3 ) 上記実施の形態で は、 2 種類の樹脂材料 に よ り 樹脂層 を形 成 し たが、 3 種類以上の樹脂材料 を 用 いて も 同様の効果 を得 る こ と がで き る 。

( 4 ) 上記実施 の形態で は、 硬化時の熱収縮率が異な る 材料 を用 い る こ と に よ り 、 樹脂層表面 に微細 な 凹 凸 を形成 し たが、 材料 に よ つ て物性 （例 え ば、 粘度、 表面張力等が異な る 材料 を用 い る 等の方 法に よ っ て も樹脂層表面 に微細な 凹 凸 を形成する こ と がで き る 。 産業上 の利用 可能性

以上の よ う に第 1 の発明群 に よ れ ば、 ァ ク ティ ブ素子の形成工程 の みで他の特別な製造工程 を必要 とせず、 反射電極の形状の 制御性 を高 く 維持でき、 反射特性 を 向上す る よ う に し た反射板及び反射型 液晶表示装置 を製造方法する こ と が可能 と な る 。

ま た、 第 2 の発明群 に よ れ ば、 反射層 の 凹 凸構造 と し て交点 を有 す る 複数 の帯状の 凸部を 用 い る と 、 複数層が積層 さ れて 凹 凸構造が 形成 さ れ る 際 のパ タ ー ンずれ に よ る 反射率の変動が解消 し 生産性が 大幅 に 向上する 。

ま た、 第 3 の発明群 に よ れ ば、 反射部材 の下地 と して表面 に微細 な 凹 凸 を 有す る樹脂層 を 1 回 の工程 で形成する こ と に よ り 、 工程 の 簡略化 を 図 る と と も に 、 良好な反射特性 を有する 反射板、 お よ び前 記反射板 を 具備 し た反射型表示素子 を実現する こ と ができ る 。

Claims

請 求 の 範 囲 l . 基板上 に ァ ク テ ィ ブ素子及び凹 凸状の反射電極を具備 し た反 射板 にお い て、

前記凹 凸状反射電極 の下方 に は、 薄膜が積み上 げ ら れて構成 さ れ る 複数の積層パ タ ー ンが形成 さ れてお り 、

前記積層パ タ ー ン は、 ァ ク テ ィ ブ素子を構成する 全て の薄膜の う ち 選択 さ れた 2 つ 以上 の薄膜で あ っ て、 且つ ア ク テ ィ ブ素子 の製造 工程 にお いて 、 所定のパ タ ーニ ン グ に よ り 得 ら れた薄膜 を含む こ と を特徴 と する 反射板。

2 . 前記積層パ タ ー ン は、 順次幅が小 さ く な る 複数の 薄膜が積み 上げ ら れて先細状 と な っ て い る こ と を特徴 とする 請求項 1 記載の 反 射板。

3 . 前記積層パ タ ー ン は、 非対称性 を有する 構造であ る こ と を特 徴 と する 請求項 2 記載 の反射板。

4 . 前記反射電極 と 前記積層パ タ ー ン と の間 に は、 絶縁膜が形成 さ れてな る こ と を特徴 と する 請求項 2 記載の反射板。

5 . 前記絶縁膜は樹脂材料か ら な る こ と を特徴 と する 請求項 4 記 載の 反射板。

6 . 前記樹脂材料 は感光性材料で あ る こ と を特徴 とす る 請求項 5 記載 の反射板。

7 . 前記積層パ タ ー ン を構成す る 薄膜の う ち 、 テーパ ー角 が異な る も の が少な く と も 2 層 以上存在する こ と を特徴 と す る 請求項 2 記 載の 反射板。

8 . 基板上 に ア ク テ ィ ブ素子 と 、 カ ラ ー フ ィ ル 夕 と 、 凹 凸状の反 射電極 と 、 を具備 し た反射板 にお いて、

前記 凹 凸状反射電極の下方 に は、 薄膜が積み上 げ ら れて構成 さ れ る 複数の積層パ タ ー ンが形成 さ れてお り 、

前記積層 パ タ ー ンは、 前記ァ ク テ ィ ブ素子若 し く は前記カ ラ ー フ ィ ルタ を構成す る 全ての薄膜の う ち 選択さ れた 2 つ以上の薄膜で あ つ て、 且つ ア ク ティ ブ素子若 し く はカ ラ ー フ ィ ルタ の製造工程 にお い て 、 所定のパ タ ーニ ン グ に よ り 得 ら れた薄膜 を含む こ と を 特徴 と する 反射板。

9 . 基板上 に ア ク ティ ブ素子及び凹 凸状の反射電極を 具備 し 、 前 記 凹 凸状反射電極の下方 に は、 積層パ タ ー ンが形成 さ れた構造の反 射板 の製造方法で あ っ て、

前記 ァ ク テ ィ ブ素子を構成する 薄膜を、 前記基板の ァ ク テ ィ ブ素 子形成領域 に積層 し てパ タ ーニ ン グする 際 に、 前記薄膜を 凹 凸面形 成領域に も 2 層以上積層 し てパ タ ーニ ン グ を行 っ て、 凹 凸面形成領 域 に 積層 パ タ ー ン を 形成する こ と を特徴 と する 反射板の製造方法。

1 0 . 基板上 に、 ア ク テ ィ ブ素子 と 、 蓄積容量形成のため の容量 電極 と 、 凹 凸状の反射電極 と 、 前記反射電極の下方 に積層パ タ ー ン と を 具備 し た反射板 にお い て、 前記基板の 前記容量電極以外の領域上 に は、 ァ ク テ ィ プ素子 を構 成す る 薄膜の 一部 を使用 し て構成 さ れた第 1 の積層パタ ー ンが複数 形成 さ れてお り 、

前記容量電極上 に は前記第 1 の積層パ タ ー ン と 異な る 第 2 の積層 パ タ ー ンが複数形成 さ れてお り 、

前記凹 凸状反射電極が前記第 1 及ぴ第 2 の積層パ タ ー ン を 覆 っ て い る こ と を特徴 と する 反射板。

1 1 . 前記第 2 の積層パタ ー ン は、 ア ク テ ィ ブ素子を 構成する 薄 膜以外の薄膜か ら 構成 さ れて い る こ と を特徴 と する 請求項 1 0 記載 の反射板。

1 2 . 前記第 2 の積層 パ タ ー ン は、 容量電極 をパ ター ニ ン グ し て 形成 さ れた薄膜を含む こ と を特徴 と する 請求項 1 1 記載の 反射板。

1 3 . 基板上 に、 ア ク ティ ブ素子 と 、 蓄積容量形成の た め の容量 電極 と 、凹 凸状の反射電極 と を具備 し た反射板の製造方法で あ っ て、 前記容量電極上 に、 前記ァ ク テ ィ ブ素子 を構成す る薄膜以外の薄 膜を形成する 工程 と 、

前記薄膜以外 の薄膜 を パタ ーニ ン グ し て積層パ タ ー ン を形成する 工程 と 、

を含む こ と を 特徴 と す る 反射板の製造方法。

1 4 . 基板上 に 、 ア ク テ ィ ブ素子 と 、 蓄積容量形成の た め の容量 電極 と 、凹 凸状の反射電極 と を具備 し た反射板の製造方法であ っ て、 前記容量電極上 に 、 前記ァ ク テ ィ ブ素子 を構成す る 薄膜以外 の薄 膜 を形成す る 工程 と 、

前記薄膜以外の薄膜 をパ タ ーニ ン グ し て積層パ タ ー ン を形成する 工程 と 、

か ら な る こ と を 特 ¾ とする 反射板 の製造方法。

1 5 . 基板上 に ア ク テ ィ ブ素子 と 、 蓄積容量形成のた め の容量電 極 と 、 凹 凸 状の反射電極 と 、 前記反射電極下方 に形成さ れた積層 パ タ ー ン と を 具備 し た反射板 の製造方法で あ っ て、

前記容量電極 をパ タ ーエ ン グ し て積層パタ ー ン を形成す る 工程 を 含む こ と を 特徴 と す る 反射板 の製造方法。

1 6 . 基板上 に ア ク テ ィ ブ素子 と 、 凹 凸状の反射電極 と 、 前記 凹 凸状の反射電極 の下方 に形成 さ れた積層パ タ ー ン と を具備 し た反射 板 にお い て、

前記積層パ タ ー ン を構成する 各薄膜の相対位置関係が所定領域毎 に 異な っ て い る こ と を特徴 と する 反射板。

1 7 . 前記積層パ タ ー ンが非対称形状で あ る こ と を特徴 とす る 請 求項 1 6 記載の反射板。

1 8 . パ タ ーニ ン グ し た 2 層 以上 の薄膜か ら な る 積層パ タ ー ン を 複数種有 し 、 前記積層パ タ ー ン は、 複数種 ご と に 、 積層 さ れた前記 薄膜 の大き さ の順序が異な る こ と を特徴 と する 形状体。

1 9 . 請求項 1 8 記載の形状体 を積層パ タ ー ン と して基板上 に備 え た こ と を特徴 と する 反射板。

2 0 . 基板上 に ア ク テ ィ ブ素子 と 、 凹 凸状の反射電極 と を 具備 し た反射板 にお い て、

前 iid凹凸状反射電極の 下方 に は、 薄膜が積み上 け ら れて構成 さ れ る 積層パ タ ー ンが形成 さ れてお り 、

前記積層パ タ ー ン は、 ァ ク ティ プ素子 を構成する 全て の薄膜の う ち 選択さ れた 2 つ 以上の薄膜で あ っ て 、 且つ ア ク テ ィ ブ素子の製造 工程 にお い て所定のパ タ ーエ ン グに よ り 得 ら れた薄膜か ら 構成 さ れ 部分的 に重な り 部 を有す る よ う に形成 さ れて い る こ と を特徴 と す る 反射板。

2 1 . 前記積層パ タ ー ン を構成する 薄膜の最小幅 よ り も 前記重な り 部が小 さ い こ と を特徴 とする 請求項 2 0 記載の反射板。

2 2 . 前記積層パタ ー ン を構成する 薄膜 を 、 部分的な重な り 部 を 有する よ う に形成する こ と を特徴 と す る 請求項 9 記載の反射板の製 造方法。

2 3 . 前記重な り 部が、 前記積層パ タ ー ン を構成する 薄膜の最小 幅 よ り も 小 さ く な る よ う に形成する こ と を 特徴 と する請求項 2 2 記 載の 反射板 の製造方法。

2 4 . 光透過部位 を有する こ と を特徴 と する 請求項 1 記載の反射 板。

2 5 . 光透過部位の厚み と 、 前記光透過部位以外 の部位の厚み と が異な る こ と を特徴 と する 請求項 2 4 記載の反射板。

2 6 . 請求項 1 記載の反射板 を用 いた こ と を特徴 とする 反射型表 示素子。

2 7 . 請求項 2 4 記載の反射板 を用 い た こ と を特徴 と する 半透過 型表示素子。

2 8 . 集光部位 を有する こ と を特徴 とす る請求項 2 7 記載の 半透 過型表示素子。

2 9 . 基板 と 、

前記基板上 に形成 さ れた 凹 凸構造 を有す る 反射層 と 、

を有 し 、

前記凹 凸構造は、 前記基板上 に形成 さ れた複数の帯状の薄膜パ 夕 ー ンが互い に交差す る こ と に よ り 形成 さ れてな る こ と を特徵 と す る 反射板。

3 0 . 前記薄膜パ タ ー ンが互い に交差する 交差部では、 凸部が積 層 さ れて なる こ と を特徴 とする 請求項 2 9 記載の反射板。

3 1 . 前記薄膜パ タ ー ンが互い に交差する 交差部の形状は、 凹部 であ る こ と を特徴 と する 請求項 2 9 記載の反射板。

3 2 . 前記薄膜パタ ー ンはメ ッ シ ュ 状で あ る こ と を特徴 と する 請 求項 2 9 記載の反射板。

3 3 . 前記薄膜パ タ ー ン の 間 隔は一定でな い こ と を特徴 と する 請 求項 2 9 記載の反射板。

3 4 . 前記基板上 に は、 更 に ア ク ティ ブ素子が形成 さ れてお り 、 前記薄膜パ タ ー ン は、 前記ァ ク テ ィ ブ素子 を 構成する 薄膜 に よ り 形成 さ れてな る こ と を特徴 と する 請求項 2 9 の反射板。

3 5 . 前記基板上 に は、 更 に ア ク テ ィ ブ素子が形成 さ れてお り 、 前記薄膜パ タ ー ン は、 前記ア ク テ ィ ブ素子 を 形成す る 工程 に よ り 同時 に形成 さ れてな る こ と を特徴 と する 請求項 2 9 記載の反射板。

3 6 . 請求項 2 9 に記載の反射板 と 、

前記反射板上 に設 け ら れ光の 吸収量 を制御す る光制御手段 と 、 を有す る こ と を特徴 とす る 反射型表示素子。

3 7 . 基板 と 、

前記基板上 に形成 さ れ、 表面 に微細 な 凹 凸 を有する樹脂層 と 、 前記樹脂層上 に設 け ら れ、 光 を 反射す る 反射部材 と 、

を有 し 、

前記樹脂層 は、 少な く と も 2 種類の樹脂部 を互 い に分散保持する 構成 に よ り 、 前記 凹 凸が形成 さ れてな る こ と を特徴 とす る 反射板。

3 8 . 少な く と も 2 種類の前記樹脂部の配置 に対応 し て、 前記 凹 凸が形成 さ れてな る こ と を特徴 と す る 請求項 3 7 記載の反射板。

3 9 . 前記 凹 凸 の段差が 0 . 7 m以下で あ る こ と を特徴 と する 請求項 3 7 記載の 反射板。

^ 0 . 少な く と も 2 種類の前記樹脂部は、 前記 ^板上 に塗布 さ れ た少な く と も 2 種類の樹脂材料 を含む液体の相分離に よ り 形成 さ れ てな る こ と を特徴 と する 請求項 3 7 記載の反射板。

4 1 . 少な く と も 2 種類の前記樹脂部の収縮率は、 互 い に異な る こ と を特徴 と す る 請求項 3 7 記載の反射板。

4 2 . 請求項 3 7 記載の反射板 と 、

前記反射板上 に設け ら れ、 光の 吸収量を 制御する 光制御手段 と 、 を有する こ と を特徵 と する 反射型表示素子。

4 3 . 前記樹脂部は、 感光性樹脂 を含む こ と を特徴 と する 請求項 4 2 記載の反射型表示素子。

4 4 . 前記基板上 に は更 に ア ク テ ィ ブ素子が形成 さ れ、 該ァ ク テ イ ブ素子 を 覆 う よ う に前記樹脂層 が形成 さ れて な り 、 ' 前記樹脂層 に は、 上記ア ク テ ィ ブ素子 に達す る コ ンタ ク 卜 ホール が形成 さ れ、 該 コ ン タ ク ト ホール を介 し て上記ア ク テ ィ ブ素子 と 前 記反射部材 と は電気的 に接続 さ れてな る こ と を特徴 とする 請求項 4 2 記載の反射型表示素子。

4 5 . 基板 と 、

前記基板上に形成 さ れ、 表面 に微細な 凹 凸 を 有する 樹脂層 と 、 前記樹脂層上 に設 け ら れ、 光 を反射する 反射部材 と 、

を有 し 、

前記樹脂層 は、 少な く と も 2 種類の樹脂部を互 い に分散保持す る 構成 によ り 、前記 凹 凸が形成 さ れて な る 反射板 の製造方法で あ っ て、 少な く と も 2 種類の樹脂材料 を含む混合液を 作製する 混合液作製 工程 と 、

前記混合液 を基板上 に塗布する 塗布工程 と 、

前記基板上 に塗布 し た混合液に含 ま れる 樹脂材料 を相分離 さ せて 表面 に 凹 凸 を有する樹脂層 を形成する 樹脂層工程 と 、

前記樹脂層上に反射部材 を形成する 反射部材形成工程 と 、 を含む こ と を特徴 と する 反射板 の製造方法。