WO2000005762A1 - Bras de transfert - Google Patents

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WO2000005762A1
WO2000005762A1 PCT/JP1999/003921 JP9903921W WO0005762A1 WO 2000005762 A1 WO2000005762 A1 WO 2000005762A1 JP 9903921 W JP9903921 W JP 9903921W WO 0005762 A1 WO0005762 A1 WO 0005762A1
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arm
transfer
transfer arm
rotation
rotatably connected
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Inventor
Hiroaki Saeki
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Tokyo Electron Limited
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J18/00—Arms
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
    • B25J9/106—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links
    • B25J9/1065—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links with parallelograms
    • B25J9/107—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links with parallelograms of the froglegs type
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices
    • H—ELECTRICITY
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    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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    • Y10T74/20305—Robotic arm
    • Y10T74/20329—Joint between elements

Definitions

  • the present invention relates to a transfer arm that can be reduced in size and has excellent control characteristics. Background technology
  • a semiconductor substrate for example, a semiconductor wafer (hereinafter, referred to as a “wafer”) is carried in and out between a cassette for accommodating the wafer and a semiconductor manufacturing apparatus or between various semiconductor manufacturing apparatuses
  • a transfer arm constituting a transfer device is used.
  • a multi-chamber processing apparatus formed as a cluster apparatus will be described as an example.
  • the transfer arm is housed in a transfer chamber (common transfer chamber) and provided with a substrate holding unit.
  • the substrate holding section is configured to be able to enter not only into the transfer chamber but also into the cassette chamber in various process chambers connected to the transfer chamber. Therefore, by the operation of the transfer arm, an unprocessed wafer is transferred from the cassette in the cassette chamber to each process chamber via the transfer chamber, and the processed wafer is transferred from the process chamber to the transfer chamber. It can be transported to the cassette again via the.
  • transfer arm a scalar transfer arm and a frog-redder transfer arm are generally used.
  • the SCARA type transfer arm has two or more arms for connecting the substrate holding unit and the rotating shaft.
  • a rotating mechanism is connected to the rotating shaft and the rotating portion of the arm, for example, via a rotating belt and a pulley.
  • the rotating shaft When the rotating shaft is operated, the arm expands and contracts in a horizontal linear direction, and the substrate holding portion moves to a predetermined position. It is supposed to.
  • the substrate holding unit and the rotation shaft are connected by a frog-legged arm in which a pair of arms are connected in a substantially frog-like shape.
  • a rotating force transmission mechanism is connected to the rotating shaft, and when the rotating shaft rotates, the frog redder The arm expands and contracts in the radial direction from the rotation center of the transfer arm, and the substrate holding unit moves to a predetermined position.
  • the rotating belt pulley constituting the rotating mechanism needs to be arranged in a transfer chamber through which the wafer passes. Therefore, at the time of driving the transfer arm, the particles tend to occur c result, easily wafer is contaminated by the particles, causing a reduction in yield.
  • the SCARA type transfer arm has a rotating belt and a pulley, vibration is apt to occur, and there is a problem that the transfer speed cannot be increased.
  • the end of the arm connected to the substrate holding unit can be pulled in a radial direction substantially opposite to the substrate holding unit with respect to the rotation center of the entire transfer arm.
  • the transfer arm needs to be increased in proportion to the distance. Therefore, there is a problem that it is not possible to reduce the size of a device employing the transfer arm.
  • the centrifugal force or the vibration generated by the centrifugal force may cause the wafer placed on the substrate holding unit to be displaced from a predetermined position or fall.
  • the resolution when the transfer arm is relatively contracted and the resolution when the transfer arm is relatively expanded are greatly different.
  • the resolution of the movement of the substrate holding unit in the radial direction is relatively large.
  • expanding or contracting the The moving resolution in the radial direction is relatively small. Therefore, it is difficult to accurately transfer the wafer placed on the substrate holder to a predetermined position. Especially when the transfer arm is operated at high speed, accurate transfer becomes more difficult.
  • the present invention has been made in view of the above-described problems of the related art, and has a large expansion / contraction distance of the transfer arm with respect to a rotation radius of the transfer arm, and the transfer arm has relatively shrunk. It is an object of the present invention to provide a new and improved transport arm having substantially the same resolution in the extended state and the extended state.
  • a transfer arm includes a first rotation shaft, a first arm having one end connected to the first rotation shaft, and an intermediate rotation unit, and one end of the transfer arm has a first rotation shaft.
  • a third arm rotatably connected to the other end of the arm, a fifth arm rotatably connected to the other end of the third arm, a second rotation shaft, and a second rotation A second arm having one end connected to the shaft, an intermediate rotating portion rotatably connected to an intermediate rotating portion of the third arm, and one end rotatably connected to the other end of the second arm;
  • a seventh arm rotatably connected to the other end of the third arm, one end of the third arm, an intermediate rotating portion, and the other end.
  • the line connecting the one end and the intermediate rotation part is substantially perpendicular to the line connecting the other end and the intermediate rotation part. So that the line connecting the one end and the intermediate rotating part and the line connecting the other end and the intermediate rotating part are substantially perpendicular to each other. It is characterized by the fact that
  • the other end of the third arm and the other end of the fourth arm are located on the first rotation axis and the second rotation axis with respect to the respective intermediate rotation parts. is there.
  • the third arm and the fourth arm have substantially symmetric shapes with each other.
  • the third arm and the fourth arm are preferably substantially L-shaped arms, and the first arm and the second arm preferably have substantially the same length.
  • the fifth and sixth arms also have substantially the same length. Is preferred.
  • the transported object holding unit is rotated by rotating the first rotation axis and the second rotation axis in the same direction. Is realized.
  • the first rotation axis and the second rotation axis rotate in opposite directions, thereby realizing linear movement of the transported object holding unit.
  • first rotation axis and the second rotation axis rotate around different axes
  • first rotation axis and the second rotation axis can rotate by the same angle in the opposite directions.
  • first rotation shaft and the second rotation shaft are provided on a drive mechanism for rotating the whole.
  • the fifth arm and the sixth arm rotate with respect to the seventh arm such that the angles formed by the fifth arm and the seventh arm are always the same.
  • another transfer arm includes a guide portion extending substantially linearly, a first sliding portion and a second sliding portion sliding along the guide portion.
  • a third arm having an intermediate rotating portion and one end rotatably connected to the first sliding portion; and a third arm having one end rotatably connected to the other end of the third arm.
  • a sixth arm rotatably connected to the other end of the fourth arm, and a transferred object holding portion, and rotatably connected to the other end of the fifth arm and the other end of the sixth arm.
  • a seventh arm and wherein the positional relationship between one end of the third arm, the intermediate rotation part, and the other end is such that the one end and the intermediate rotation part are
  • the connecting line and the line connecting the other end and the intermediate rotating part are substantially perpendicular to each other
  • the positional relationship between one end of the fourth arm, the intermediate rotating part, and the other end is: A line connecting the one end and the intermediate rotating part and a line connecting the other end and the intermediate rotating part are substantially perpendicular to each other.
  • the first sliding portion and the second sliding portion move in the same direction, the movement of the transported object holding portion in the guide portion direction is realized, and the first sliding portion and the second sliding portion move.
  • the moving part By moving the moving part in the opposite direction to each other, the movement of the transferred object holding part in the direction substantially perpendicular to the guide part is realized.
  • the other end of the third arm and the other end of the fourth arm are respectively located on the guide side with respect to the respective intermediate rotating parts.
  • the third arm and the fourth arm have substantially symmetric shapes with each other.
  • the third arm and the fourth arm are substantially L-shaped arms.
  • the fifth arm and the sixth arm have substantially the same length.
  • the fifth arm and the sixth arm rotate with respect to the seventh arm so that the angles formed by the fifth arm and the seventh arm are always the same.
  • the ends of the seventh arm on the fifth arm and the sixth arm side can move across the rotation (rotation) center of the transfer arm (in the extending direction of the transferred object holding portion). Can be pulled in a direction substantially opposite to that of the transfer arm).
  • the size of the transfer arm can be reduced, and the size of the device that accommodates the transfer arm can be reduced.
  • the center of the transferred object holding portion and the rotation center of the transfer arm can be made substantially the same position or close to each other. For this reason, even if the transport arm is rotated while the transported object is mounted on the transported object holding portion, an excessive centrifugal force is not applied to the transported object. For this reason, it is possible to prevent the transferred object from being shifted on the transferred object holding portion or from being dropped.
  • the transfer resolution of the transfer arm when the transfer arm is relatively contracted and extended that is, the expansion / contraction ratio, is reduced. They can be substantially the same.
  • the transfer arm regardless of the position of the transferred object holding unit, the transferred object placed on the transferred object holding unit can be easily transferred to a predetermined position accurately.
  • the transfer arm is operated at a high speed, its operability does not decrease, so that the control of the transfer arm becomes easy and reliable.
  • FIG. 1 is a schematic perspective view showing a transfer arm according to a first embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is a schematic perspective view showing a third arm and a fourth arm part of FIG.
  • FIG. 3 is a schematic front view showing a third arm and a fourth arm part of FIG.
  • FIG. 4 is a schematic explanatory diagram for explaining a seventh arm portion in FIG.
  • FIG. 5 is a schematic explanatory view showing the operation of the transfer arm of FIG.
  • FIG. 6 is a schematic explanatory view showing the operation of the transfer arm of FIG.
  • FIG. 7 is a schematic explanatory view showing the operation of the transfer arm of FIG.
  • FIG. 8 is a schematic perspective view showing a transfer arm according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 9 is a schematic explanatory view showing the operation of the transfer arm shown in FIG.
  • FIG. 10 is a schematic explanatory view showing another driving mechanism applicable to the transfer arm shown in FIGS. 1 and 8.
  • FIG. 11 is a schematic explanatory view showing another driving mechanism applicable to the transfer arm shown in FIGS. 1 and 8.
  • FIG. 12 is a schematic plan view showing a transfer arm according to the third embodiment of the present invention.
  • FIG. 13 is a schematic plan view showing a transfer arm according to the fourth embodiment of the present invention.
  • a first rotating shaft 104 is fixed to one end of the first arm 102, and a second rotating shaft 1 is fixed to one end of the second arm 106. 0 8 is fixed.
  • the first rotating shaft 104 and the second rotating shaft 108 form a coaxial structure. That is, the second rotating shaft 108 is formed in a hollow tubular shape, the first rotating shaft 104 is housed in the hollow portion of the second rotating shaft 108, and the rotation center of the first rotating shaft 104 is And the rotation center of the second rotation shaft 108 are arranged so as to match. Further, as shown in FIG. 5 (b), the first rotating shaft 104 is a servo motor.
  • the first drive mechanism 13 8 is connected to the second drive mechanism 140, and the second rotation shaft 108 is connected to the second drive mechanism 140.
  • One end of the fourth arm 114 is rotatably connected via a second joint 116.
  • the line connecting the one end of the third arm 110 and the intermediate rotation part is substantially perpendicular to the line connecting the other end of the third arm 110 and the intermediate rotation part. Also, the line connecting the one end of the fourth arm 114 and the intermediate rotating part is substantially perpendicular to the line connecting the other end of the fourth arm 114 and the intermediate rotating part. I have.
  • the intermediate rotating portion 1118a of the third arm 110 and the intermediate rotating portion 118b of the fourth arm 114 are rotatably connected by a third joint 118.
  • the third joint 118 penetrates the third arm 110 and connects the fourth arm 114 divided into two parts. 10 and 4th arm 1 1 4 intersect in a vertical plane.
  • the heights of the fifth arm 120 and the sixth arm 124 are made uniform.
  • the bending angles of the third arm 110 and the fourth arm 114 are each set to 90 °.
  • the first arm 102 and the second arm 106 have substantially the same length. Further, the fifth arm 120 and the sixth arm 124 also have substantially the same length.
  • the other end of the third arm 110 and the fifth arm 120 The one end is rotatably connected via a fourth joint 122, and the other end of the fourth arm 114 and one end of the sixth arm 124 are connected to the fifth joint 1 It is rotatably connected via 26. Further, the other end of the fifth arm 120 and the other end of the sixth arm 124 are connected to the seventh joint 128 and the seventh joint 130, respectively.
  • the arm 13 is rotatably connected to one end of the arm 13.
  • a gear portion 120a is formed at an end of the fifth arm 120 on the sixth joint 128 side, and a seventh joint 130 of the sixth arm 124 is formed.
  • a gear portion 124a is formed at the side end.
  • the fifth arm 1 20 and the sixth arm 1 2 4 are.
  • the gear portion 120a and the gear portion 124a are attached to the seventh arm 132 so that they mesh with each other.
  • the seventh arm 132 is arranged so as to substantially divide the angle between the fifth arm 120 and the sixth arm 124 into two equal parts. Even if the gear portion 120a and the gear portion 124a roll, the angle between the fifth arm 120 and the sixth arm 124 is substantially equal to 2 by the seventh arm 132.
  • the relationship of sharing is maintained.
  • the first to seventh joints 112, 116, 118, 122, 126, 128, 130 are pivotally extending in the vertical direction.
  • Each arm is rotatably connected via a shaft.
  • the seventh arm 1332 is formed with a fork-shaped substrate holding portion 132a constituting a transferred object holding portion.
  • the seventh arm 1332 and the substrate holding portion 132a are integrally formed.
  • a holding pin 134 for holding a wafer W as a transferred object mounted on the mounting surface is provided on the mounting surface of the substrate holding unit 132a.
  • Each of the arms 102, 106, 110, 114, 120, 124, and 132 is made of aluminum or ceramics.
  • first arm 102, the second arm 106, the third arm 110, and the fourth arm 114 are composed of a first rotating shaft 104, a first joint 111,
  • the two joints 1 16 and the third joint 118 are arranged so that the distance between the respective rotation axes is substantially equal. That is, the first arm 102, the second arm 106, the one end of the third arm 110 to the intermediate rotating part 118 a, and the one end of the fourth arm 111
  • the portion up to the intermediate rotating portion 1 18 b forms a substantially rhombus.
  • the fifth arm 120 and the sixth arm 124 also have the fifth arm 120, the sixth arm 124, and the other end from the intermediate rotating portion 1 18 a of the third arm 110. And from the intermediate rotation part 1 18 b of the fourth arm 114 to the other end are arranged so as to form a substantially rhombus.
  • the transfer arm 100 is arranged on the base 1336.
  • FIG. 5 shows a state in which the transfer arm 100 is contracted
  • FIG. 6 shows a state in which the transfer arm 100 is expanding and contracting
  • FIG. 7 shows a state in which the transfer arm 100 is extended. To Is shown.
  • the first drive mechanism 1338 and the second drive mechanism 140 are connected.
  • the first rotating shaft 104 and the second rotating shaft 108 are rotated.
  • the first rotating shaft 104 rotates counterclockwise
  • the second rotating shaft 108 rotates clockwise.
  • the first rotation axis 104 and the second rotation axis 108 have the same rotation angle amount.
  • the first rotation axis 104 is rotated clockwise and the second rotation axis Rotate 108 in a counterclockwise direction.
  • the rotation angles of the first rotating shaft 104 and the second rotating shaft 108 are the same.
  • the first arm 102 and the second arm The angle formed by the arm 106 and the angle formed by the first joint 112 side of the third arm 110 and the second joint 116 side of the fourth arm, and the angle formed by the third arm 110 4
  • the angle formed by the joint 1 22 side and the fifth arm 120 and the angle formed by the fifth joint 1 26 side of the fourth arm 114 and the sixth arm 124 increase.
  • the first arm 102 and the fifth arm 120 are connected by the substantially L-shaped third arm 110, and the second arm 106 and the sixth arm 124 are substantially L-shaped. And the intermediate rotation part 1 18a of the third arm 110 and the intermediate rotation part 1 18b of the fourth arm 111 are connected together.
  • the seventh arm 1332 is extended more than the rotation center in the extending direction when the transfer arm 100 is contracted. Can be pulled to the other side. Therefore, the moving distance of the substrate holding unit 132a can be increased with respect to the rotation radius of the transfer arm 100.
  • the fifth arm 120 and the sixth arm 124 are engaged with the corresponding gear portions 120a and 124a, respectively, and when the transfer arm 100 expands and contracts, Rotate in opposite directions at the same angle. Therefore, the substrate holding portion 1332a moves along with the seventh arm 1332 in a direction that substantially bisects the angle between the fifth arm 120 and the sixth arm 124. be able to.
  • the transfer arm 100 When the transfer arm 100 is turned, the first rotating shaft 104 and the second rotating shaft 108 may be rotated by the same angle in the same direction. Accordingly, the transfer arm 100 rotates clockwise or counterclockwise, and the direction of expansion and contraction of the substrate holding unit 104a can be changed as appropriate. By maintaining the contracted state of the transfer arm 100 during the turning movement, the centrifugal force acting on the substrate holding portion 132a can be significantly reduced.
  • the transfer arm 100 can be moved up and down, and the height of the substrate holding portion 132a can be increased. Can be adjusted as appropriate.
  • the transfer arm 100 when the transfer arm 100 is contracted and extended, the transfer arm 100 Since the extension and contraction distances and, consequently, the movement resolutions are substantially the same, the arrangement position of the substrate holding unit 132a can be controlled easily and accurately.
  • a transfer arm 200 of the second embodiment will be described with reference to FIGS.
  • components having substantially the same functions and configurations as those of the transfer arm 100 will be denoted by the same reference numerals, and redundant description will be omitted.
  • the transfer arm 200 has a seventh arm 132 having a substrate holding portion 132 a mounted in a direction opposite to that of the transfer arm 100 described above.
  • the side of the fourth joint 122 with respect to the intermediate rotating portion 118a of the substantially L-shaped third arm 110 is longer than the case of the transfer arm 100, and similarly.
  • the fifth joint 1 26 side of the substantially L-shaped fourth arm 1 14 with respect to the intermediate rotating portion 1 18 b is longer than that of the transfer arm 100. Otherwise, the configuration is substantially the same as that of the transfer arm 100.
  • the seventh arm 1332 is connected to the first rotating shaft 104 as in the case of the transfer arm 100 described above. It can be pulled to the opposite side of the stretching direction from the rotation center with the two rotation shafts 108.
  • the extension distance can be further extended than that of the transfer arm 100.
  • the transfer arm 200 according to the present embodiment is configured as described above, and since the extension distance of the transfer arm 200 can be increased, the substrate holding unit is provided with respect to the rotation radius of the transfer arm 200. The movement distance of 1 32 a can be further increased.
  • first rotating shaft 104 and the second rotating shaft 108 rotate around the same axis, but the present invention is not limited to such a configuration.
  • FIG. 10 (a) the first rotation axis and the second rotation axis of another transfer arm 300 are shown. Show the part.
  • FIG. 10 (b) is a schematic cross-sectional view taken along a plane A—A shown in FIG. 10 (a), and
  • FIG. 10 (c) is a view shown in FIG. 10 (a). It is the schematic sectional drawing cut
  • the transport arm 300 shown in FIGS. 10 (a) to 10 (c) has a first rotating shaft 302 and a second rotating shaft 304 which are the same as the rotating center of the first rotating shaft 302.
  • the belt 30 is arranged so that the rotation centers of the second rotation shaft 340 do not overlap with each other (do not become coaxial), and are wound in a substantially cross-shaped (substantially S-shaped or substantially inverted S-shaped) shape. 6, 3 0 7 are connected.
  • the first arm 102 and the driving mechanism 310 are connected to the first rotating shaft 302, and the second arm 106 is connected to the second rotating shaft 304.
  • the belts 303 and 307 are attached in a substantially crossed shape (substantially S-shaped or substantially inverted S-shaped), so that the first rotating shaft 302 and the second The rotation axis 304 can be rotated by the same angle in the opposite direction.
  • FIG. 11A shows a first rotation shaft and a second rotation shaft of another transfer arm 400.
  • FIG. 11 (b) is a schematic cross-sectional view cut along a plane along the line CC shown in FIG. 11 (a).
  • the transfer arm 400 shown in FIGS. 11 (a) and (b) has the outer periphery of the first rotating shaft 302 and the second rotating shaft 304 described with reference to FIGS. 10 (a) to (c).
  • a gear portion 402 and a gear portion 404 are formed on the outer periphery, respectively, and the gear portion 402 and the gear portion 404 are engaged with each other.
  • a part of the outer periphery of the first rotation shaft 302 and the second rotation shaft 302 correspond to the rotation angles of the first rotation shaft 302 and the second rotation shaft 304.
  • a gear portion 500 and a gear portion 502 may be formed on only a part of the outer periphery of the rotating shaft 304, and may be engaged with each other. Even with such a configuration, the first rotation shaft 302 and the second rotation shaft 304 can be rotated by a predetermined angle.
  • the driving mechanism 308 may be connected to the second rotating shaft 304 instead of the first rotating shaft 302.
  • Gears 402, 404, 500, 500 May be configured separately from the first rotation axis 302 and the second rotation axis 304 corresponding to each.
  • FIG. 12 is a schematic plan view of a transfer arm according to the third embodiment.
  • the transfer arm 20 of the present embodiment has a guide portion 1 extending substantially linearly instead of the first rotation shaft, the second rotation shaft, the first arm and the second arm. 0, and a first sliding portion 11 and a second sliding portion 12 that slide along the guide portion 10.
  • One end of the third arm 110 is rotatably connected to the first sliding portion 11, and one end of the fourth arm 114 is rotatably connected to the second sliding portion 12.
  • FIG. 12 shows two transfer arms 20.
  • the upper transfer arm 20 is in an extended state, and the lower transfer arm 20 is in a contracted state.
  • the first sliding portion 11 and the second sliding portion 12 move together in the same direction along the guide portion 10, whereby the guide of the substrate holding portion 13 2 a is formed.
  • the movement in the direction 10 is realized.
  • first sliding portion and the second sliding portion move in opposite directions along the guide portion 10, so that the substrate holding portion 132 a in a direction substantially orthogonal to the guide portion 10. Movement, ie, telescopic movement, is realized. As a result, the substrate can be moved in and out of the process chamber P.
  • the guide unit 10 direction of the transferred object holding unit 132 a is used instead of the turning function of the substrate holding unit 132 a realized by the first and second embodiments. This makes it possible to move around.
  • the seventh arm 132 when the transfer arm 20 is contracted, the seventh arm 132 can be pulled to the opposite side of the guide portion 10 in the extending direction. Therefore, the stability when moving the transported object along the guide portion 10 is extremely good.
  • the substrate holding unit 132a moves along with the seventh arm 132 in a direction that substantially divides the angle between the fifth arm 120 and the sixth arm 124 into two equal parts. To do Can be.
  • the transfer arm 20 expands and contracts by almost the same distance when the transfer arm 20 is contracted and extended, it is possible to easily and accurately control the arrangement position of the substrate holding unit 13 22a. it can.
  • FIG. 13 is a schematic plan view of a transfer arm according to the fourth embodiment.
  • the transfer arm 30 of this embodiment is the same as the third embodiment shown in FIG. 12 except that the mounting direction of the seventh arm 13 2 is reversed.
  • the configuration is as follows.
  • the same parts as those of the third embodiment shown in FIG. 12 are denoted by the same reference numerals, and detailed description will be omitted.
  • the seventh arm 132 when the transfer arm 30 is contracted, the seventh arm 132 can be pulled to the opposite side of the rotation direction from the rotation center. Therefore, the stability when moving the transported body along the guide portion 10 is extremely good.
  • the seventh arm and the substrate holding unit are formed as a single body.
  • the present invention is not limited to such a configuration, and the seventh arm and the transferred object holding unit are separately provided. It may be configured on the body.
  • the shape of the substrate holding portion 132a is not limited to a fork shape, and can be appropriately changed according to an apparatus provided with a transferred object and a transfer arm.

Description

明 細 書 搬送アーム 技 術 分 野
本発明は、 小型化が可能で、 制御特性に優れる搬送アームに関する。 背 景 技 術
従来、 半導体基板、 例えば半導体ウェハ （以下、 「ウェハ」 と称する。 ） を、 当該ウェハを収容するカセッ卜と半導体製造装置との間や、 各種半導体製造装置 間などで搬入出する場合には、 搬送装置を構成する搬送アームが用いられている。 クラスタ装置化されたマルチチャンバ方式の処理装置を例に挙げて説明する。 この場合、 搬送アームは、 トランスファチャンバ （共通移載室） 内に収容され、 基板保持部が設けられている。 当該基板保持部は、 トランスファチャンバ内のみ ならず、 トランスファチャンバに接続されている各種プロセスチヤンバ内ゃカセ ットチャンバ内にも侵入可能に構成されている。 従って、 上記搬送アームの作動 により、 未処理のウェハをカセットチヤンバ内のカセッ 卜からトランスファチヤ ンバ内を介して各プロセスチャンバ内に搬送し、 かつ処理済みのウェハをプロセ スチャンバ内からトランスファチャンバ内を介して再びカセッ トに搬送すること ができる。
また、 上記搬送アームとしては、 スカラ型搬送アームとフロッグレッダ型搬送 ァ一ムとが、 一般的に使用されている。
スカラ型搬送アームは、 基板保持部と回転軸とを接続する 2以上のアームを有 している。 回転軸及びアームの回転部には、 例えば回転ベルトとプーリを介して 回転機構が接続され、 回転軸を作動させると、 上記アームが水平直線方向に伸縮 して、 基板保持部が所定位置に移動するようになっている。
一方、 フロッグレッダ型搬送アームは、 一対のアームを略蛙足形状に複数接続 して成るフロッグレツグアームによって基板保持部と回転軸とを接続している。 回転軸には、 回転力伝達機構が接続され、 回転軸が回転すると、 フロッグレッダ アームが搬送アームの回転中心から半径方向に伸縮して、 基板保持部が所定位置 に移動するようになっている。
スカラ型搬送アームを上述した処理装置に採用する場合、 回転機構を構成する 回転ベルトゃプ一リは、 ウェハが通過するトランスファチャンバ内に配置される 必要がある。 このため、 搬送アームの駆動時に、 パーティクルが生じやすくなる c その結果、 そのパーティクルによってウェハが汚染され易くなり、 歩留りの低下 を招く。
また、 上記スカラ型搬送アームは、 回転ベルトやプーリを有するために振動が 生じやすく、 搬送速度の高速化を図ることができないという問題もある。
フロッグレッダ型搬送アームを上述した処理装置に採用する場合、 一般に、 ト ランスファチヤンバ内に上記のような回転ベルトゃプ一リを配置する必要がない t このため、 パーティクルの発生が抑制され、 振動発生も低下して、 搬送速度の高 速化を図ることができる。
しかしながら、 フロッグレツグ型搬送アームの構成上、 例えば基板保持部に接 続されたアームの端部を、 搬送アーム全体の回転中心よりも基板保持部に対して 略反対側の半径方向に引くことができず、 搬送アームの回転半径に対する搬送ァ ームの伸縮距離を大きくすることに制約が生じる。 その結果、 上記回転中心とゥ ェハの搬送位置とが離れている場合には、 それに比例して搬送アームを大型化す る必要がある。 従って、 該搬送アームを採用する装置などを小型化することがで きないという問題がある。
また、 基板保持部が上記回転中心から離れて配置されるにつれて、 搬送アーム の回転時に基板保持部に大きな遠心力が付加される。 このため、 当該遠心力や当 該遠心力によって生じた振動により、 基板保持部上に載置されたウェハが所定位 置からずれたり、 あるいは落下することがある。
さらに、 スカラ型搬送アームとフロッグレッダ型搬送アームのいずれもが、 搬 送アームが相対的に縮んだ状態での分解能と、 相対的に伸びた状態での分解能と が大きく異なる。 すなわち、 搬送アームが相対的に縮んだ状態で搬送アームを伸 縮させる場合、 基板保持部の半径方向への移動分解能は相対的に大きく、 これに 対して、 搬送アームが伸びた状態で搬送アームを伸縮させる場合、 基板保持部の 半径方向への移動分解能は相対的に小さい。 従って、 基板.保持部上に載置された ウェハを、 所定位置に正確に搬送することが難しい。 特に搬送アームを高速動作 させる場合、 正確な搬送が一層困難となる。 発 明 の 要 旨
本発明は、 従来の技術が有する上記のような問題点に鑑みて成されたものであ り、 搬送アームの回転半径に対して搬送アームの伸縮距離が大きく、 搬送アーム が相対的に縮んだ状態と伸びた状態での分解能が実質的に同一な、 新規かつ改良 された搬送ァ一ムを提供することを目的としている。
この目的を達成するために、 本発明による搬送アームは、 第 1回転軸と、 第 1 回転軸に一端部が接続された第 1アームと、 中間回動部を有すると共に、 一端部 が第 1アームの他端部に回転自在に接続された第 3アームと、 一端部が第 3ァー ムの他端部に回転自在に接続された第 5アームと、 第 2回転軸と、 第 2回転軸に 一端部が接続された第 2アームと、 第 3アームの中間回動部と回転自在に接続さ れる中間回動部を有すると共に、 一端部が第 2アームの他端部に回転自在に接続 された第 4アームと、 一端部が第 4アームの他端部に回転自在に接続された第 6 アームと、 被搬送体保持部を有すると共に、 第 5アームの他端部及び第 6アーム の他端部に回転自在に接続された第 7アームと、 を備え、 第 3アームの一端部と 中間回動部と他端部との位置関係が、 一端部と中間回動部とを結ぶ線と、 他端部 と中間回動部とを結ぶ線とが、 略垂直になるようになつており、 第 4アームの一 端部と中間回動部と他端部との位置関係が、 一端部と中間回動部とを結ぶ線と、 他端部と中間回動部とを結ぶ線とが、 略垂直になるようになつている、 ことを特 徴とする。
本発明の別の特徴の 1つとして、 第 3アームの他端部と第 4アームの他端部は, それぞれ各中間回動部に対して、 第 1回転軸及び第 2回転軸の側にある。
第 3アームと第 4アームとは、 互いに略対称の形状を有していることが好まし い。 特に、 第 3アームと第 4アームは、 略 L字状のアームであることが好ましい, また、 第 1アームと第 2アームとは、 実質的に同じ長さを有していることが好 ましい。 また、 第 5アームと第 6アームも、 実質的に同じ長さを有していること が好ましい。
第 1回転軸と第 2回転軸とが、 それぞれ独立に同軸周りを回転するようになつ ている場合、 第 1回転軸と第 2回転軸とが同方向に回転することによって被搬送 体保持部の旋回が実現される。 また、 この場合、 第 1回転軸と第 2回転軸とが逆 方向に回転することによって、 被搬送体保持部の直線移動が実現される。
第 1回転軸と第 2回転軸とが、 異なる軸周りを回転するようになっている場合、 第 1回転軸と第 2回転軸とは、 逆方向に同一角度量回転可能であることが好まし い。 また、 第 1回転軸と第 2回転軸とは、 全体を回転させる駆動機構上に設けら れていることが好ましい。
さらに、 第 5アームと第 6アームとは、 各々が第 7アームと共になす角度が常 に同じになるように第 7アームに対して回転するようになっていることが好まし い。
また、 前記の目的を達成するために、 本発明による別の搬送アームは、 略直線 状に延びるガイ ド部と、 ガイ ド部に沿って摺動する第 1摺動部及び第 2摺動部と、 中間回動部を有すると共に、 一端部が第 1摺動部に回転自在に接続された第 3ァ —ムと、 一端部が第 3アームの他端部に回転自在に接続された第 5アームと、 第 3アームの中間回動部と回転自在に接続される中間回動部を有すると共に、 一端 部が第 2摺動部に回転自在に接続された第 4アームと、 一端部が第 4アームの他 端部に回転自在に接続された第 6アームと、 被搬送体保持部を有すると共に、 第 5アームの他端部及び第 6アームの他端部に回転自在に接続された第 7アームと、 を備え、 第 3アームの一端部と中間回動部と他端部との位置関係が、 一端部と中 間回動部とを結ぶ線と、 他端部と中間回動部とを結ぶ線とが、 略垂直になるよう になっており、 第 4アームの一端部と中間回動部と他端部との位置関係が、 一端 部と中間回動部とを結ぶ線と、 他端部と中間回動部とを結ぶ線とが、 略垂直にな るようになっている、 ことを特徴とする。
この場合、 第 1摺動部と第 2摺動部とが共に同方向に移動することによって、 被搬送体保持部のガイ ド部方向の移動が実現され、 第 1摺動部と第 2摺動部とが 互いに逆方向に移動することによって、 被搬送体保持部のガイ ド部に対する略直 交方向の移動が実現される。 本発明においても、 別の特徴の 1つとして、 第 3アームの他端部と第 4アーム の他端部は、 それぞれ各中間回動部に対して、 ガイ ド部の側にある。
また本発明においても、 第 3アームと第 4アームとは、 互いに略対称の形状を 有していることが好ましい。 特に、 第 3アームと第 4アームとは、 略 L字状のァ —ムであることが好ましい。 また、 第 5アームと第 6アームとは、 実質的に同じ 長さを有していることが好ましい。 さらに、 第 5アームと第 6アームとは、 各々 が第 7アームと共になす角度が常に同じになるように、 第 7アームに対して回転 するようになつていることが好ましい。
本発明によれば、 第 7アームの第 5アームおよび第 6アーム側端部が、 搬送ァ —ムの回転 （旋回） 中心をまたいで移動することができ （被搬送体保持部の延伸 方向に対して略反対方向に引くことができ） 、 搬送アームの回転半径を大きくし ないで搬送アームの伸縮距離を大きくすることができる。 その結果、 搬送アーム を小型化でき、 搬送アームを収容する装置の小型化を図ることができる。
また、 搬送アームを縮めた場合に、 被搬送体保持部の中心と搬送アームの回転 中心とを実質的に同一位置にする、 あるいは近づけることができる。 このため、 被搬送体を被搬送体保持部上に搭載した状態で搬送アームを回転させても、 上記 被搬送体に過大な遠心力が付加されない。 このため、 被搬送体保持部上で被搬送 体がずれたり、 あるいは被搬送体が落下することを防止できる。
さらに、 各中間回動部同士を接続した第 3アームと第 4アームを採用したので， 搬送アームが相対的に縮んだ状態と伸びた状態での搬送アームの移動分解能、 す なわち伸縮率を略同一にすることができる。 その結果、 被搬送体保持部の配置位 置に関わらず、 被搬送体保持部上に載置された被搬送体を所定位置に正確に搬送 することが容易となる。 また、 搬送アームを高速動作させてもその動作性が低下 することがないため、 搬送アームの制御が容易かつ確実になる。 図面の簡単な説明
図 1は、 本発明の第 1の実施の形態の搬送アームを示す概略的な斜視図である, 図 2は、 図 1の第 3アーム及び第 4アーム部分を示す概略的な斜視図である。 図 3は、 図 1の第 3アーム及び第 4アーム部分を示す概略的な正面図である。 図 4は、 図 1の第 7アーム部分を説明するための概略的な説明図である。
図 5は、 図 1の搬送アームの動作を表す概略的な説明図である。
図 6は、 図 1の搬送アームの動作を表す概略的な説明図である。
図 7は、 図 1の搬送アームの動作を表す概略的な説明図である。
図 8は、 本発明の第 2の実施の形態の搬送アームを示す概略的な斜視図である。 図 9は、 図 8に示す搬送アームの動作を表す概略的な説明図である。
図 1 0は、 図 1および図 8に示す搬送アームに適用可能な他の駆動機構を表す 概略的な説明図である。
図 1 1は、 図 1および図 8に示す搬送アームに適用可能な他の駆動機構を表す 概略的な説明図である。
図 1 2は、 本発明の第 3の実施の形態の搬送アームを示す概略的な平面図であ る。
図 1 3は、 本発明の第 4の実施の形態の搬送アームを示す概略的な平面図であ る。 発明を実施するための最良の形態
以下に、 添付図面を参照しながら、 本発明にかかる搬送アームを半導体基板の 搬送アームに適用した実施の形態について、 詳細に説明する。
まず、 図 1乃至図 7を参照しながら、 第 1の実施の形態の搬送アーム 1 0 0に ついて説明する。
はじめに、 搬送アーム 1 0 0の全体構成について説明する。
図 1乃至図 3に示すように、 第 1アーム 1 0 2の一端部には、 第 1回転軸 1 0 4が固定され、 第 2アーム 1 0 6の一端部には、 第 2回転軸 1 0 8が固定されて いる。
この場合、 図 1乃至図 3に示すように、 第 1回転軸 1 0 4と第 2回転軸 1 0 8 は同軸構造を成している。 すなわち、 第 2回転軸 1 0 8が中空管状に構成され、 第 2回転軸 1 0 8の中空部に第 1回転軸 1 0 4が内装されると共に、 第 1回転軸 1 0 4の回転中心と第 2回転軸 1 0 8の回転中心とがー致するように配置されて いる。 さらに、 図 5 ( b ) に示すように、 第 1回転軸 1 0 4は、 サーボモー夕な どの第 1駆動機構 1 3 8に接続され、 第 2回転軸 1 0 8は、 第 2駆動機構 1 4 0 に接統されている。
また、 図 1乃至図 3に示すように、 第 1アーム 1 0 2の他端部と、 中間回動部 1 1 8 aの部分で屈曲する略 L字状の第 3アーム 1 1 0の一端部とが、 第 1ジョ イント 1 1 2を介して回転自在に接続され、 第 2アーム 1 0 6の他端部と、 中間 回動部 1 1 8 bの部分で屈曲する略 L字状の第 4アーム 1 1 4の一端部とが、 第 2ジョイント 1 1 6を介して回転自在に接続されている。
第 3アーム 1 1 0の一端部と中間回動部とを結ぶ線は、 第 3アーム 1 1 0の他 端部と中間回動部とを結ぶ線に対して、 略垂直となっている。 また、 第 4アーム 1 1 4の一端部と中間回動部とを結ぶ線も、 第 4アーム 1 1 4の他端部と中間回 動部とを結ぶ線に対して、 略垂直となっている。
第 3アーム 1 1 0の中間回動部 1 1 8 aと第 4アーム 1 1 4の中間回動部 1 1 8 bとは、 第 3ジョイント 1 1 8で回転自在に接続されている。 この場合、 図 3 に示すように、 第 3ジョイント 1 1 8が、 第 3アーム 1 1 0を貫通すると共に、 2部分に分かれた第 4アーム 1 1 4を結合しており、 第 3アーム 1 1 0と第 4ァ ーム 1 1 4とが鉛直面内で交差するようになっている。 これにより、 第 5アーム 1 2 0と第 6アーム 1 2 4の高さを揃えている。 また、 図示の例では、 第 3ァ一 ム 1 1 0と第 4アーム 1 1 4の屈曲角は、 それぞれ 9 0 ° に設定されている。 第 1アーム 1 0 2と第 2アーム 1 0 6とは、 実質的に同じ長さを有している。 また、 第 5アーム 1 2 0と第 6アーム 1 2 4も、 実質的に同じ長さを有している また、 第 3ァ一ム 1 1 0の他端部と第 5アーム 1 2 0の一端部とは、 第 4ジョ イント 1 2 2を介して回転自在に接続され、 第 4アーム 1 1 4の他端部と第 6ァ —ム 1 2 4の一端部とは、 第 5ジョイント 1 2 6を介して回転自在に接続されて いる。 さらに、 第 5アーム 1 2 0の他端部と第 6アーム 1 2 4の他端部は、 それ ぞれに対応する第 6ジョイント 1 2 8及び第 7ジョイント 1 3 0を介して、 第 7 アーム 1 3 2の一端部と回転自在に接続されている。
図 4に示すように、 第 5アーム 1 2 0の第 6ジョイント 1 2 8側端部には、 ギ ァ部 1 2 0 aが形成され、 第 6アーム 1 2 4の第 7ジョイント 1 3 0側端部には, ギア部 1 2 4 aが形成されている。 第 5アーム 1 2 0および第 6アーム 1 2 4は. ギア部 1 2 0 aとギア部 1 24 aとが相互にかみ合うように、 第 7アーム 1 3 2 に取り付けられている。 この場合、 第 7アーム 1 3 2は、 第 5アーム 1 2 0と第 6アーム 1 24との間の角度を実質的に 2等分するように配置されている。 ギア 部 1 2 0 aとギア部 1 24 aとが転動しても、 第 7アーム 1 3 2が第 5アーム 1 2 0と第 6アーム 1 24との間の角度を実質的に 2等分するという関係は、 維持 される。 また、 図 1に示す例では、 第 1乃至第 7ジョイント 1 1 2、 1 1 6、 1 1 8、 1 2 2、 1 2 6、 1 2 8、 1 3 0は、 鉛直方向に延びる回動軸を介して、 各アームをそれぞれ回動可能に連結している。
また、 第 7アーム 1 3 2には、 被搬送体保持部を構成するフォーク状の基板保 持部 1 3 2 aが形成されている。 図示の例では、 第 7アーム 1 3 2と基板保持部 1 3 2 aとは、 一体形成されている。 さらに、 基板保持部 1 3 2 aの載置面上に は、 その載置面上に載置される被搬送体としてのウェハ Wを保持するための保持 ピン 1 34が設けられている。 また、 上記各アーム 1 0 2、 1 0 6、 1 1 0、 1 1 4、 1 2 0、 1 24、 1 3 2は、 アルミニウムやセラミックスから形成されて いる。
また、 第 1アーム 1 0 2と、 第 2アーム 1 0 6と、 第 3アーム 1 1 0と、 第 4 アーム 1 1 4とは、 第 1回転軸 1 04、 第 1ジョイント 1 1 2、 第 2ジョイント 1 1 6、 第 3ジョイント 1 1 8の各回動軸間の距離が略等しくなるように配置さ れている。 すなわち、 第 1アーム 1 0 2と、 第 2アーム 1 0 6と、 第 3アーム 1 1 0の一端部から中間回動部 1 1 8 aまでと、 第 4アーム 1 1 4の一端部から中 間回動部 1 1 8 bまでとが、 略菱形を形成している。
第 5アーム 1 2 0と第 6アーム 1 24も、 第 5アーム 1 2 0と、 第 6ァ一ム 1 24と、 第 3アーム 1 1 0の中間回動部 1 1 8 aから他端部までと、 第 4アーム 1 1 4の中間回動部 1 1 8 bから他端部までとが、 略菱形を形成するように配置 されている。
その他、 搬送アーム 1 0 0は、 ベース 1 3 6上に配置されている。
次に、 図 5乃至図 7を参照しながら、 搬送アーム 1 0 0の搬送動作について説 明する。 なお、 図 5は、 搬送アーム 1 0 0を縮めた状態を示し、 図 6は、 搬送ァ ーム 1 0 0の伸縮中の状態を示し、 図 7は、 搬送アーム 1 0 0を伸ばした状態を 示している。
まず、 図 5 ( a ) 、 ( b ) に示す搬送アーム 1 0 0を縮めた状態から当該搬送 アーム 1 0 0を伸ばす場合、 第 1駆動機構 1 3 8と第 2駆動機構 1 4 0とを作動 させて、 第 1回転軸 1 0 4と第 2回転軸 1 0 8を回転させる。 この際、 第 1回転 軸 1 0 4は、 反時計回り方向に回転させ、 第 2回転軸 1 0 8は、 時計回り方向に 回転させる。 また、 第 1回転軸 1 0 4と第 2回転軸 1 0 8の回転角度量は同一と する。
かかる動作により、 図 6 ( a ) 、 （ b ) に示すように、 第 1アーム 1 0 2及び 第 2アーム 1 0 6のなす角度と、 第 3アーム 1 1 0の中間回動部 1 1 8 aに対し ての第 1ジョイント 1 1 2側及び第 4アーム 1 1 4の中間回動部 1 1 8 bに対し ての第 2ジョイント 1 1 6側のなす角度が、 狭まる。 すなわち、 第 3ジョイント 1 1 8 (第 3アーム 1 1 0と第 4アーム 1 1 4との接続部） が、 第 1回転軸 1 0 4と第 2回転軸 1 0 8の回転中心から遠ざかるように移動する。
さらに、 第 3アーム 1 1 0の中間回動部 1 1 8 aに対しての第 4ジョイント 1 2 2側及び第 5アーム 1 2 0のなす角度と、 第 4アーム 1 1 4の中間回動部 1 1 8 bに対しての第 5ジョイント 1 2 6側及び第 6アーム 1 2 4のなす角度も狭ま る。 その結果として、 基板保持部 1 3 2 aが、 上記回転中心から半径方向に押し 出される。
さらに、 第 1回転軸 1 0 4及び第 2回転軸 1 0 8の回転を継続すると、 図 Ί ( a) 、 (b) に示すように、 第 1アーム 1 0 2及び第 2アーム 1 0 6のなす角 度と、 第 3アーム 1 1 0の第 1ジョイント 1 1 2側及び第 4アーム 1 1 4の第 2 ジョイント 1 1 6側のなす角度と、 第 3アーム 1 1 0の第 4ジョイント 1 2 2側 及び第 5アーム 1 2 0のなす角度と、 第 4アーム 1 1 4の第 5ジョイント 1 2 6 側及び第 6アーム 1 2 4のなす角度とがより狭まり、 基板保持部 1 3 2 aが上記 回転中心からさらに離れた位置に移動する。
また、 同図に示す搬送アーム 1 0 0を伸ばした状態から該搬送アーム 1 0 0を 縮める場合、 上記とは逆に、 第 1回転軸 1 0 4を時計回り方向に、 また第 2回転 軸 1 0 8を反時計回り方向に回転させる。 第 1回転軸 1 0 4と第 2回転軸 1 0 8 の回転角度量は同一とする。 かかる動作により、 第 1アーム 1 0 2及び第 2ァー ム 1 0 6のなす角度と、 第 3アーム 1 1 0の第 1ジョイント 1 1 2側及び第 4ァ 一ムの第 2ジョイント 1 1 6側のなす角度と、 第 3アーム 1 1 0の第 4ジョイン ト 1 2 2側及び第 5アーム 1 2 0のなす角度と、 第 4アーム 1 1 4の第 5ジョイ ント 1 2 6側及び第 6アーム 1 24のなす角度とが広がり、 図 6 ( a) 、 ( b ) に示す状態を介して、 図 5 ( a) 、 (b) に示す状態となる。 すなわち、 基板保 持部 1 3 2 aが上記回転中心方向に引き戻される。
上述の如く、 第 1アーム 1 0 2と第 5アーム 1 2 0とを略 L字状の第 3アーム 1 1 0で接続し、 第 2アーム 1 0 6と第 6アーム 1 24とを略 L字状の第 4ァ一 ム 1 1 4で接続すると共に、 それら第 3アーム 1 1 0の中間回動部 1 1 8 aと第 4アーム 1 1 4の中間回動部 1 1 8 bとを回動可能に接続したことにより、 搬送 アーム 1 0 0を縮めた際に、 図 5 ( a) 、 (b) に示すように、 第 7アーム 1 3 2を上記回転中心よりも延伸方向に対して反対側に引くことができる。 従って、 搬送アーム 1 0 0の回転半径に対して基板保持部 1 3 2 aの移動距離を大きくす ることができる。
また、 第 5アーム 1 2 0と第 6アーム 1 24は、 上述の如く、 それぞれに対応 するギア部 1 2 0 a、 1 24 aにて係合しており、 搬送アーム 1 0 0の伸縮時に は、 各々同一角度で反対方向に回転する。 従って、 基板保持部 1 3 2 aは、 第 7 アーム 1 3 2と共に、 第 5アーム 1 2 0と第 6アーム 1 24との間の角度を実質 的に 2等分する方向に沿って移動することができる。
また、 搬送アーム 1 0 0を旋回移動させる場合には、 第 1回転軸 1 04と第 2 回転軸 1 0 8とをそれぞれ同一方向に同一角度回転させればよい。 これにより、 搬送アーム 1 0 0が時計回り方向または反時計周り方向に旋回し、 基板保持部 1 04 aの伸縮方向を適宜変更することができる。 搬送アーム 1 0 0は、 旋回移動 の際に縮んだ状態を維持することによって、 基板保持部 1 3 2 aに作用する遠心 力を顕著に低減することができる。
さらに、 第 1回転軸 1 04と第 2回転軸 1 0 8に不図示の昇降機構を接続すれ ば、 搬送アーム 1 0 0を上下動させることもでき、 基板保持部 1 3 2 aの高さを 適宜調整することが可能である。
また、 搬送アーム 1 0 0を縮めた場合と伸ばした場合での搬送アーム 1 0 0の 伸縮距離、 結果的に移動分解能が略同一となるので、 基板保持部 1 3 2 aの配置 位置を、 容易かつ精度良く制御することができる。
次に、 図 8及び図 9を参照しながら第 2の実施の形態の搬送アーム 2 0 0につ いて説明する。 なお、 本実施の形態において、 上記搬送アーム 1 0 0と略同一の 機能および構成を有する構成要素については、 同一の符号を付することにより重 複説明を省略する。
搬送アーム 2 0 0は、 図 8に示すように、 基板保持部 1 3 2 aを有する第 7ァ —ム 1 3 2が、 上述した搬送アーム 1 0 0の場合とは逆方向に取り付けられてい る。 また、 略 L字状の第 3アーム 1 1 0の中間回動部 1 1 8 aに対しての第 4ジ ョイント 1 2 2側が、 搬送アーム 1 0 0の場合よりも長くなつており、 同様に、 略 L字状の第 4アーム 1 1 4の中間回動部 1 1 8 bに対しての第 5ジョイント 1 2 6側が、 搬送アーム 1 0 0の場合よりも長くなつている。 それ以外は、 上記搬 送アーム 1 0 0と略同一に構成されている。
かかる構成により、 搬送アーム 2 0 0を縮めた場合、 図 9 ( a ) に示すように、 上記搬送アーム 1 0 0と同様に、 第 7アーム 1 3 2を第 1回転軸 1 0 4と第 2回 転軸 1 0 8との回転中心よりも延伸方向の反対側にまで引くことができる。
また、 搬送アーム 2 0 0を伸ばした場合、 図 9 ( b ) に示すように、 搬送ァ一 ム 1 0 0よりも延伸距離をさらに伸ばすことができる。
本実施の形態にかかる搬送アーム 2 0 0は、 以上のように構成されており、 搬 送アーム 2 0 0の延伸距離を大きくできるので、 搬送アーム 2 0 0の回転半径に 対して基板保持部 1 3 2 aの移動距離をさらに大きくすることができる。
さらに、 搬送アーム 1 0 0を縮めた場合と伸ばした場合の移動分解能も、 上記 搬送アーム 1 0 0と同様に実質的に同一にできるので、 基板保持部 1 3 2 aの配 置位置の制御を容易に精度良く行うことができる。
なお、 本実施の形態の搬送アーム 2 0 0は、 上記搬送アーム 1 0 0よりも回動 部の干渉が生じにくいため、 アームの連結構造の設計自由度が大きい。
上記 2つの実施の形態においては、 第 1回転軸 1 0 4と第 2回転軸 1 0 8が同 軸周りに回転するが、 本発明はかかる構成に限定されるものではない。
例えば、 図 1 0 ( a ) に、 別の搬送アーム 3 0 0の第 1回転軸及び第 2回転軸 部分を示す。 図 1 0 (b) は、 図 1 0 ( a) に示す A— A線に沿う平面において 切断した概略的な断面図であり、 図 1 0 ( c ) は、 図 1 0 ( a ) に示す B— B線 に沿う平面において切断した概略的な断面図である。
図 1 0 ( a) 乃至 （c ) に示す搬送ァ一ム 3 0 0は、 第 1回転軸 3 0 2と第 2 回転軸 3 04とが、 それら第 1回転軸 3 0 2の回転中心と第 2回転軸 340の回 転中心とがお互いに重ならない （同軸とならない） ように配置されると共に、 略 たすき掛け状 （略 S字または略逆 S字状） に巻付けられたベルト 3 0 6、 3 0 7 を介して接続される。 第 1回転軸 3 0 2には、 第 1アーム 1 0 2と駆動機構 3 0 8が接続され、 第 2回転軸 3 04には、 第 2アーム 1 0 6が接続される。
かかる構成によれば、 第 1回転軸 3 0 2と第 2回転軸 3 04とがベルト 3 0 6、 3 0 7で接続されているので、 駆動機構 3 0 8により第 1回転軸 3 0 2を回転さ せると、 第 2回転軸も同時に回転させることができる。 さらに、 図 1 0 (b) 、
( c ) に示すように、 ベルト 3 0 6、 3 0 7が略たすき掛け状 （略 S字状または 略逆 S字状） に取り付けられているので、 第 1回転軸 3 0 2と第 2回転軸 3 04 とを、 それぞれ逆方同に同一角度回転させることができる。
また、 図 1 1 (a) に、 別の搬送アーム 4 0 0の第 1回転軸及び第 2回転軸部 分を示す。 図 1 1 (b) は、 図 1 1 (a) に示す C— C線に沿う平面において切 断した概略的な断面図である。
図 1 1 ( a ) 、 ( b ) に示す搬送アーム 40 0は、 図 1 0 ( a ) 乃至 （ c ) を 用いて説明した第 1回転軸 3 0 2の外周及び第 2回転軸 3 04の外周に、 それぞ れギア部 40 2及びギア部 404を形成し、 それらギア部 40 2とギア部 404 をお互いにかみ合わせる構成としたものである。
さらに、 図 1 1 (C) に示すように、 第 1回転軸 3 0 2と第 2回転軸 3 04の 回転角度に対応して、 第 1回転軸 3 0 2の外周の一部と第 2回転軸 3 04の外周 の一部のみに、 それぞれに対応するギア部 5 0 0及びギア部 5 0 2を形成し、 そ れらをお互いにかみ合わせるようにしても良い。 かかる構成によっても、 第 1回 転軸 3 0 2と第 2回転軸 3 04を所定角度回転させることができる。
なお、 上記各構成において、 第 1回転軸 3 0 2ではなく第 2回転軸 3 04に駆 動機構 3 0 8を接続しても良い。 また、 ギア部 40 2、 404、 5 0 0、 5 0 2 は、 それぞれに対応する第 1回転軸 3 0 2と第 2回転軸 3 0 4から別体に構成し ても良い。
次に、 本発明の第 3の実施の形態の搬送アームについて図 1 2を用いて説明す る。 図 1 2は、 第 3の実施の形態の搬送アームの概略平面図である。
図 1 2に示すように、 本実施の形態の搬送アーム 2 0は、 第 1回転軸、 第 2回 転軸、 第 1アーム及び第 2アームの代わりに、 略直線状に延びるガイ ド部 1 0と、 ガイ ド部 1 0に沿って摺動する第 1摺動部 1 1及び第 2摺動部 1 2と、 を有して いる。 第 3アーム 1 1 0の一端部は第 1摺動部 1 1に回転自在に接続され、 第 4 アーム 1 1 4の一端部は第 2摺動部 1 2に回転自在に接続されいる。
その他の構成は、 図 1乃至図 7に示す第 1の実施の形態と同様の構成である。 第 3の実施の形態において、 図 1乃至図 7に示す第 1の実施の形態と同一の部分 には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
図 1 2には、 2つの搬送アーム 2 0が示されており、 上方の搬送アーム 2 0が 延びた状態にあり、 下方の搬送アーム 2 0が縮んだ状態にある。
本実施の形態の場合、 第 1摺動部 1 1と第 2摺動部 1 2とがガイ ド部 1 0に沿 つて共に同一方向に移動することによって、 基板保持部 1 3 2 aのガイ ド部 1 0 方向の移動が実現されるようになっている。
また、 第 1摺動部と第 2摺動部とがガイ ド部 1 0に沿って互いに逆方向に移動 することによって、 基板保持部 1 3 2 aのガイ ド部 1 0に対する略直交方向の移 動、 すなわち伸縮移動が実現されるようになっている。 これにより、 プロセスチ ャンバ P内への基板の出し入れが可能である。
本実施の形態は、 前記の第 1及び第 2の実施の形態が実現する基板保持部 1 3 2 aの旋回機能の代わりに、 被搬送体保持部 1 3 2 aのガイ ド部 1 0方向の移動 を実現可能にしたものである。
本実施の形態によれば、 搬送アーム 2 0を縮めた際に、 第 7アーム 1 3 2を上 記ガイ ド部 1 0よりも延伸方向に対して反対側に引くことができる。 従って、 被 搬送体をガイ ド部 1 0に沿って移動させる時の安定性が、 極めて良好である。 また、 基板保持部 1 3 2 aは、 第 7アーム 1 3 2と共に、 第 5アーム 1 2 0と 第 6アーム 1 2 4との間の角度を実質的に 2等分する方向に沿って移動すること ができる。
また、 搬送アーム 2 0を縮めた場合と伸ばした場合での搬送アーム 2 0の伸縮 距離が略同一となるので、 基板保持部 1 3 2 aの配置位置を、 容易かつ精度良く 制御することができる。
次に、 本発明の第 4の実施の形態の搬送アームについて図 1 3を用いて説明す る。 図 1 3は、 第 4の実施の形態の搬送アームの概略平面図である。
図 1 3に示すように、 本実施の形態の搬送アーム 3 0は、 第 7アーム 1 3 2の 取り付け方向が逆になつている他は、 図 1 2に示す第 3の実施の形態と同様の構 成である。 第 4の実施の形態において、 図 1 2に示す第 3の実施の形態と同一の 部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
本実施の形態によっても、 搬送アーム 3 0を縮めた際に、 第 7アーム 1 3 2を 上記回転中心よりも延伸方向に対して反対側に引くことができる。 従って、 被搬 送体をガイ ド部 1 0に沿って移動させる時の安定性が、 極めて良好である。 なお、 上記の各実施の形態においては、 第 7アームと基板保持部とがー体形成 されているが、 かかる構成に限定されるものではなく、 第 7アームと被搬送体保 持部を別体に構成してもよい。
さらに、 基板保持部 1 3 2 aの形状は、 フォーク状に限られず、 被搬送体ゃ搬 送アームを設ける装置に応じて、 適宜に変更可能である。
以上、 本発明の好適な実施の形態について、 添付図面を参照しながら説明した が、 本発明はかかる構成に限定されるものではない。 特許請求の範囲に記載され た技術的思想の範疇において、 当業者であれば、 各種の変更例および修正例に想 到し得るものであり、 それら変更例および修正例についても本発明の技術的範囲 に属するものと了解される。

Claims

請 求 の 範 囲
1 . 第 1回転軸と、
第 1回転軸に一端部が接続された第 1アームと、
中間回動部を有すると共に、 一端部が第 1アームの他端部に回転自在に接続さ れた第 3アームと、
一端部が第 3アームの他端部に回転自在に接続された第 5アームと、 第 2回転軸と、
第 2回転軸に一端部が接続された第 2アームと、
第 3アームの中間回動部と回転自在に接続される中間回動部を有すると共に、 一端部が第 2アームの他端部に回転自在に接続された第 4アームと、
一端部が第 4アームの他端部に回転自在に接続された第 6アームと、 被搬送体保持部を有すると共に、 第 5アームの他端部及び第 6アームの他端部 に回転自在に接続された第 7アームと、
を備え、
第 3アームの一端部と中間回動部と他端部との位置関係が、 一端部と中間回動 部とを結ぶ線と、 他端部と中間回動部とを結ぶ線とが、 略垂直になるようになつ ており、
第 4アームの一端部と中間回動部と他端部との位置関係が、 一端部と中間回動 部とを結ぶ線と、 他端部と中間回動部とを結ぶ線とが、 略垂直になるようになつ ている、
ことを特徴とする搬送アーム。
2 . 第 3アームの他端部と第 4アームの他端部は、 それぞれ各中間回動部に 対して、 第 1回転軸及び第 2回転軸の側にあることを特徴とする請求項 1に記載 の搬送アーム。
3 . 第 3アームと第 4アームとは、 互いに略対称の形状を有していることを 特徴とする請求項 1に記載の搬送アーム。
4 . 第 3アームと第 4アームは、 略 L字状のアームであることを特徴とする 請求項 1に記載の搬送アーム。
5 . 第 1アームと第 2アームとは、 実質的に同じ長さを有していることを特 徴とする請求項 1に記載の搬送アーム。
6 . 第 5アームと第 6アームとは、 実質的に同じ長さを有していることを特 徴とする請求項 1に記載の搬送アーム。
7 . 第 1回転軸と第 2回転軸とは、 それぞれ独立に同軸周りを回転するよう になっていることを特徴とする請求項 1に記載の搬送アーム。
8 . 第 1回転軸と第 2回転軸とが同方向に回転することによって被搬送体保 持部の旋回移動が実現され、
第 1回転軸と第 2回転軸とが逆方向に回転することによって、 被搬送体保持部 の直線移動が実現される
ことを特徴とする請求項 7に記載の搬送アーム。
9 . 第 1回転軸と第 2回転軸とは、 異なる軸周りを回転するようになってい ることを特徴とする請求項 1に記載の搬送アーム。
1 0 . 第 1回転軸と第 2回転軸とは、 逆方向に同一角度量回転するようにな つていることを特徴とする請求項 9に記載の搬送アーム。
1 1 . 第 1回転軸と第 2回転軸とは、 全体を回転させる駆動機構上に設けら れていることを特徴とする請求項 1 0に記載の搬送アーム。
1 2 . 第 5アームと第 6アームとは、 各々が第 7アームと共になす角度が常 に同じになるように、 第 7アームに対して回転するようになっていることを特徴 とする請求項 1に記載の搬送アーム。
1 3 . 略直線状に延びるガイ ド部と、
ガイ ド部に沿って摺動する第 1摺動部及び第 2摺動部と、
中間回動部を有すると共に、 一端部が第 1摺動部に回転自在に接続された第 3 アームと、
一端部が第 3アームの他端部に回転自在に接続された第 5アームと、 第 3アームの中間回動部と回転自在に接続される中間回動部を有すると共に、 一端部が第 2摺動部に回転自在に接続された第 4アームと、
一端部が第 4アームの他端部に回転自在に接続された第 6アームと、 被搬送体保持部を有すると共に、 第 5アームの他端部及び第 6アームの他端部 に回転自在に接続された第 7アームと、
を備え、
第 3アームの一端部と中間回動部と他端部との位置関係が、 一端部と中間回動 部とを結ぶ線と、 他端部と中間回動部とを結ぶ線とが、 略垂直になるようになつ ており、
第 4アームの一端部と中間回動部と他端部との位置関係が、 一端部と中間回動 部とを結ぶ線と、 他端部と中間回動部とを結ぶ線とが、 略垂直になるようになつ ている、
ことを特徴とする搬送アーム。
1 4 . 第 3アームの他端部と第 4アームの他端部は、 それぞれ各中間回動部 に対して、 ガイ ド部の側にあることを特徴とする請求項 1 3に記載の搬送アーム,
1 5 . 第 3アームと第 4ァ一ムとは、 互いに略対称の形状を有していること を特徴とする請求項 1 3に記載の搬送アーム。
1 6 . 第 3アームと第 4アームとは、 略 L字状のアームであることを特徴と する請求項 1 3に記載の搬送アーム。
1 7 . 第 5アームと第 6アームとは、 実質的に同じ長さを有していることを 特徴とする請求項 1 3に記載の搬送アーム。
1 8 . 第 5アームと第 6アームとは、 各々が第 7アームと共になす角度が常 に同じになるように、 第 7アームに対して回転するようになっていることを特徴 とする請求項 1 3に記載の搬送アーム。
1 9 . 第 1摺動部と第 2摺動部とが共に同方向に移動することによって、 被 搬送体保持部のガイ ド部方向の移動が実現され、
第 1摺動部と第 2摺動部とが互いに逆方向に移動することによって、 被搬送体 保持部のガイ ド部に対する略直交方向の移動が実現される
ことを特徴とする請求項 1 3に記載の搬送アーム。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002099854A2 (en) * 2001-06-04 2002-12-12 Applied Materials, Inc. Semiconductor wafer handling robot for linear transfer chamber
US6988867B2 (en) * 2002-09-30 2006-01-24 Tokyo Electron Limited Transfer apparatus
CN103192372A (zh) * 2012-01-06 2013-07-10 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 连杆型机械手

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6892618B2 (en) * 2003-08-06 2005-05-17 Chang Chin-Chin Circular sawing machine having a link mechanism
DE102005052443A1 (de) * 2005-11-03 2007-05-10 Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. Roboterarm sowie Roboter-Tragstruktur
TW200900210A (en) * 2006-11-09 2009-01-01 Ihi Corp Frog-leg arm robot and control method thereof
TWI398335B (zh) * 2006-11-27 2013-06-11 Nidec Sankyo Corp Workpiece conveying system
WO2008126556A1 (ja) * 2007-04-05 2008-10-23 Ulvac, Inc. 搬送装置
US8414246B2 (en) * 2007-06-06 2013-04-09 Cycogs, Llc Modular hybrid snake arm
US20090088912A1 (en) * 2007-09-28 2009-04-02 Anorad Corporation Linear driven x-z robot
DE102012201059A1 (de) * 2012-01-25 2013-07-25 Krones Ag Eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Ausleiten von Produkten, insbesondere Füllgutbehältern wie Flaschen
FR3032698B1 (fr) * 2015-02-13 2022-10-14 Sidel Participations "dispositif de convoyage de recipients comportant un organe de prehension mobile transversalement a la direction de deplacement"
KR20210069029A (ko) * 2018-06-27 2021-06-10 팹웍스 솔루션스 인코포레이티드 엘보 하드 스톱을 구비한 로봇식 아암 조립체

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01252379A (ja) * 1988-03-31 1989-10-09 Shin Meiwa Ind Co Ltd ３次元マニピュレータ
JPH04331090A (ja) * 1991-04-24 1992-11-18 Tokyo Electron Ltd 搬送装置
JPH05129418A (ja) * 1991-11-07 1993-05-25 Tokyo Electron Ltd 搬送アーム
JPH09254061A (ja) * 1996-03-15 1997-09-30 Komatsu Ltd ハンドリング用ロボット

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4666366A (en) 1983-02-14 1987-05-19 Canon Kabushiki Kaisha Articulated arm transfer device
GB2145691B (en) * 1983-08-29 1987-06-03 Toshiba Kk Extendible and contractable arms
JPH0236083A (ja) * 1988-07-22 1990-02-06 Kiyouhou Seisakusho:Kk パンタグラフ型ロボットアーム
US5227708A (en) 1989-10-20 1993-07-13 Applied Materials, Inc. Two-axis magnetically coupled robot
US5180276A (en) 1991-04-18 1993-01-19 Brooks Automation, Inc. Articulated arm transfer device
JPH06132380A (ja) * 1992-09-04 1994-05-13 Fujitsu Ltd 搬送装置
DE4499167T1 (de) * 1993-11-22 1996-11-14 Sony Corp Transportvorrichtung mit Vielfachgelenk-Arm
KR100430885B1 (ko) 1995-12-15 2004-06-16 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 관절아암을 구비한 물체이송장치
JP3769802B2 (ja) * 1996-02-09 2006-04-26 株式会社日立製作所 半導体装置の製造方法
JPH09216182A (ja) * 1996-02-14 1997-08-19 Hitachi Tokyo Electron Co Ltd 多関節ロボットおよびその駆動方法ならびにロボットアームの位置検出装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01252379A (ja) * 1988-03-31 1989-10-09 Shin Meiwa Ind Co Ltd ３次元マニピュレータ
JPH04331090A (ja) * 1991-04-24 1992-11-18 Tokyo Electron Ltd 搬送装置
JPH05129418A (ja) * 1991-11-07 1993-05-25 Tokyo Electron Ltd 搬送アーム
JPH09254061A (ja) * 1996-03-15 1997-09-30 Komatsu Ltd ハンドリング用ロボット

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP1113491A4 *

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002099854A2 (en) * 2001-06-04 2002-12-12 Applied Materials, Inc. Semiconductor wafer handling robot for linear transfer chamber
WO2002099854A3 (en) * 2001-06-04 2003-12-11 Applied Materials Inc Semiconductor wafer handling robot for linear transfer chamber
US6988867B2 (en) * 2002-09-30 2006-01-24 Tokyo Electron Limited Transfer apparatus
CN103192372A (zh) * 2012-01-06 2013-07-10 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 连杆型机械手

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Publication number Publication date
KR100532531B1 (ko) 2005-11-30
EP1113491B1 (en) 2006-04-26
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EP1113491A1 (en) 2001-07-04
US20030190224A1 (en) 2003-10-09
DE69931057T2 (de) 2006-11-23
US6884019B2 (en) 2005-04-26
EP1113491A4 (en) 2004-05-12
KR20010053569A (ko) 2001-06-25
US6575691B1 (en) 2003-06-10

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