WO1999066523B1 - Dispositif emetteur d'electrons, source emettrice d'electrons, affichage d'images ainsi que procede de production de ceux-ci - Google Patents

Claims

補正書の請求の範囲 [1999年 12月 8日 （08. 1 2. 99 ) 国際事務局受理：出願当初の請求の範囲 1 , — 10, 19, 22及び 36は補正された；他の請求の範囲は変更なし。 （8頁)]

1. (補正後） 第 1の電極と、 該第 1の電極上に配置された電子放出部と、 を少なくとも備えた電子放出素子であって、

該電子放出部は、 粒子或いはその凝集体から構成されており、

該粒子が、 σ結合の切れた六炭素環構造を有するカーボン材料を含んでいる、 電子放出素子。

2. 前記電子放出部の近傍に設置された第 2の電極を更に備える、 請求項 1 に記載の電子放出素子。

3. 前記電子放出部が、 固着材によって前記第 1の電極に固着されている、 請求項 1に記載の電子放出素子。

4. 前記第 1の電極の表面が凹凸形状を有しており、 前記電子放出部は、 該 凹凸形状に沿って配置されている、 請求項 1に記載の電子放出素子。

5. 前記六炭素環構造を有するカーボン材料は、 グラフアイトを主成分とす る、 請求項 1に記載の電子放出素子。

6. 前記グラフアイトが高配向性グラフアイトである、 請求項 5に記載の電 子放出素子。

7. 前記電子放出部は、 前記六炭素環構造における σ結合の切断部が電子放 出方向に向いた状態で、 前記第 1の電極の上に配置されている、 請求項 1に記載 の電子放出素子。

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補正された用紙 （条約第 19条）

8 . (補正後） 前記 σ結合の切れた六炭素環構造を有するカーボン材料は、 グラフアイトを主成分としており、 前記電子放出部は、 該グラフアイトの積層面 に対する法線が前記第 1の電極の表面にほぼ平行になるような状態で該第 1の電 極の上に配置されている、 請求項 1に記載の電子放出素子。

9 . (補正後） 前記 σ結合の切れた六炭素環構造を有する力一ボン材料は、 グラフアイトを主成分としており、 前記電子放出部は、 該グラフアイトの積層面 に対する法線が前記第 1の電極の表面にほぼ垂直になるような状態で該第 1の電 極の上に配置されており、

該グラフアイ卜の上面には、 該六炭素環構造における σ結合の切断部が存在し ている、 請求項 1に記載の電子放出素子。

1 0 . (補正後） 前記 σ結合の切れた六炭素環構造を有するカーボン材料は、 カーボンナノチューブを主成分とする、 請求項 1に記載の電子放出素子。

1 1 . 前記力一ボンナノチューブの先端が前記粒子の表面から突出している、 請求項 1 0に記載の電子放出素子。

1 2 . 前記カーボンナノチューブの先端が終端せずに開放している、 請求項 1 0に記載の電子放出素子。

1 3 . 前記力一ボンナノチューブは、 炭素電極間のアーク放電によって形成 されたカーボンナノチューブを含むバルクカーボンの精製によって作成されたも のである、 請求項 1 0に記載の電子放出素子。

44 補正された用紙 （条約第 19条）

1 4 . 前記力一ボンナノチューブは、 触媒作用を利用したプラズマ C V D法 によって形成されたものである、 請求項 1 0に記載の電子放出素子。

1 5 . 前記固着材がビークルである、 請求項 3に記載の電子放出素子。

1 6 . 前記第 1の電極が、 炭素化合物を生成可能な元素を含む、 請求項 1に 記載の電子放出素子。

1 7 . 前記第 1の電極が、 少なくとも半導体層を 1層以上含む多層構造を有 する、 請求項 1に記載の電子放出素子。

1 8 . 第 1の電極と、 該第 1の電極上に配置された電子放出部と、 を少なく とも備えた電子放出素子であって、

該電子放出部は、 粒子或いはその凝集体から構成されており、

該電子放出部は、 固着材によって該第 1の電極の上に固着されている、 電子放 出素子。

1 9 . (補正後） 前記粒子が、 ひ結合の切れた六炭素環構造を有するカーボ ン材料を含んでいる、 請求項 1 8に記載の電子放出素子。

2 0 . 前記固着材がビークルである、 請求項 1 8に記載の電子放出素子。

2 1 . 前記固着材は、 前記第 1の電極の表面における前記電子放出部の固着 箇所のみに存在しており、 該第 1の電極の表面のその他の部分には存在していな い、 請求項 1 8に記載の電子放出素子。

2 2 . (補正後） 第 1の電極を形成する工程と、

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捕正された用紙 （条約第 19条） 該第 1の電極上に、 粒子或いはその凝集体から構成された電子放出部を配置す る工程と、

を少なくとも含む電子放出素子の製造方法であって、

該粒子として、 σ結合の切れた六炭素環構造を有するカーボン材料を含む材料 からなる粒子を使用する、 電子放出素子の製造方法。

2 3 . 前記電子放出部の近傍に第 2の電極を設置する工程を更に含む、 請求 項 2 2に記載の電子放出素子の製造方法。

2 4 . 前記電子放出部を配置する工程は、 固着材によって該電子放出部を前 記第 1の電極に固着する工程を含む、 請求項 2 2に記載の電子放出素子の製造方 法。

2 5 . 前記固着材としてビークルを使用する、 請求項 2 4に記載の電子放出 素子の製造方法。

2 6 . 前記第 1の電極の表面に凹凸形状を形成する工程を更に含み、 前記電 子放出部を該凹凸形状に沿って配置する、 請求項 2 2に記載の電子放出素子の製 造方法。

2 7 . 前記凹凸形状をサンドブラスト法で形成する、 請求項 2 6に記載の電 子放出素子の製造方法。

2 8 . 前記凹凸形状をエッチング法で形成する、 請求項 2 6に記載の電子放 出素子の製造方法。

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補正された用紙 （条約第 19条）

2 9 . 前記第 1の電極の上に前記電子放出部を配置する工程は、

所定の固着材に前記粒子を混合させた溶液を該第 1の電極の表面に塗布する塗 と、

該塗布された溶液を乾燥させる乾燥工程と、

を含む、 請求項 2 2に記載の電子放出素子の製造方法。

3 0 . 前記塗布工程をスピナ一塗布によって行う、 請求項 2 9に記載の電子 放出素子の製造方法。

3 1 . 前記乾燥工程によって、 前記固着材が、 前記電子放出部の電子放出サ ィ卜近傍の表面から除去される、 請求項 2 9に記載の電子放出素子の製造方法。

3 2 . 前記固着材を、 少なくとも前記電子放出部の電子放出サイ卜近傍の表 面から除去する工程を更に含む、 請求項 2 9に記載の電子放出素子の製造方法。

3 3 . 前記第 1の電極の上に前記電子放出部を配置する工程は、

前記電子放出素子を構成する粒子が混合された溶液を該第 1の電極の表面に塗 布する塗布工程と、

少なくとも、 該塗布された溶液に含まれる前記電子放出部の電子放出サイト近 傍の表面から該溶液を除去するとともに、 該電子放出部と該第 1の電極との間に 炭化物を形成する処理工程と、

を含み、 該炭化物によって該電子放出部を該第 1の電極に固着させる、 請求項 2 2に記載の電子放出素子の製造方法。

3 4 . 前記処理工程は、 水素、 酸素、 窒素、 アルゴン、 クリプトン、 炭化水 素の中の少なくとも 1つを含むプラズマへの暴露工程を含む、 請求項 3 3に記載

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捕正された用紙 （条約第 19条） の電子放出素子の製造方法。

3 5 . 第 1の電極を形成する工程と、

該第 1の電極上に、 粒子或いはその凝集体から構成された電子放出部を配置す る工程と、

を少なくとも含む電子放出素子の製造方法であって、

該第 1の電極の上に該電子放出部を配置する工程は、

所定の固着材と該電子放出部を構成する粒子とが混合された溶液を該第 1の電 極の表面に塗布する塗布工程と、

少なくとも、 該塗布された溶液に含まれる前記電子放出部の電子放出サイ卜近 傍の表面から該固着材が除去されるように、 該溶液を乾燥させる乾燥工程と、 を含む、 電子放出素子の製造方法。

3 6 . (補正後） 前記粒子として、 σ結合の切れた六炭素環構造を有する力 一ボン材料を含む材料からなる粒子を使用する、 請求項 3 5に記載の電子放出素 子の製造方法。

3 7 . 前記固着材としてビークルを使用する、 請求項 3 5に記載の電子放出 素子の製造方法。

3 8 . 前記乾燥工程によって、 前記固着材は、 前記第 1の電極の表面におけ る前記電子放出部の固着箇所のみに存在し、 該第 1の電極の表面のその他の部分 には存在しない、 請求項 3 5に記載の電子放出素子の製造方法。

3 9 . 所定のパターンに配置された複数の電子放出素子と、

該複数の電子放出素子の各々に入力信号を供給する手段と、

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補正された用紙 （条約第 19条） を備えた電子放出源であって、

該複数の電子放出素子の各々は、 請求項 1に記載の電子放出素子であって、 該複数の電子放出素子が、 各々への該入力信号に応じてそれぞれ電子を放出す るように構成されている、 電子放出源。

4 0 . 請求項 3 9に記載の電子放出源と、

該電子放出源から放出された電子に照射されて画像を形成する画像形成部材と、 を備える画像表示装置。

4 1 . 所定のパターンに配置された複数の電子放出素子と、

該複数の電子放出素子の各々に入力信号を供給する手段と、

を備えた電子放出源であって、

該複数の電子放出素子の各々は、 請求項 1 8に記載の電子放出素子であって、 該複数の電子放出素子が、 各々への該入力信号に応じてそれぞれ電子を放出す るように構成されている、 電子放出源。

4 2 . 請求項 4 1に記載の電子放出源と、

該電子放出源から放出された電子に照射されて画像を形成する画像形成部材と、 を備える画像表示装置。

4 3 . 複数の電子放出素子を、 各々への入力信号に応じて電子を放出するよ うに、 所定のパターンに配列して形成する工程と、

該複数の電子放出素子の各々に該入力信号を供給する手段を形成する工程と、 を含む電子放出源の製造方法であって、

該複数の電子放出素子の各々を、 請求項 2 2に記載の方法によって形成する、 電子放出源の製造方法。

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捕正された用紙 （条約第 I⁹条）

4 4 . 電子放出源を構成する工程と、

該電子放出源から放出された電子に照射されて画像を形成する画像形成部材を、 該電子放出源に対して所定の位置関係に配置する工程と、

を含む画像表示装置の製造方法であって、

該電子放出源を請求項 4 3に記載の方法によって構成する、 画像表示装置の製 造方法。

4 5 . 複数の電子放出素子を、 各々への入力信号に応じて電子を放出するよ うに、 所定のパターンに配列して形成する工程と、

該複数の電子放出素子の各々に該入力信号を供給する手段を形成する工程と、 を含む電子放出源の製造方法であって、

該複数の電子放出素子の各々を、 請求項 3 5に記載の方法によって形成する、 電子放出源の製造方法。

4 6 . 電子放出源を構成する工程と、

該電子放出源から放出された電子に照射されて画像を形成する画像形成部材を、 該電子放出源に対して所定の位置関係に配置する工程と、

を含む画像表示装置の製造方法であつて、

該電子放出源を請求項 4 5に記載の方法によって構成する、 画像表示装置の製 造方法。

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捕正された用紙 （条約第 19条）