WO1998010314A1

WO1998010314A1 - Optisches strahlformungssystem

Info

Publication number: WO1998010314A1
Application number: PCT/EP1997/004805
Authority: WO
Inventors: Vitaly Lissotschenko; Joachim Hentze
Original assignee: Vitaly Lissotschenko; Joachim Hentze
Priority date: 1996-09-05
Filing date: 1997-09-04
Publication date: 1998-03-12
Also published as: EP0923747B1; JP3889446B2; AU4209297A; ATE284045T1; EP0923747A1; JP2000517436A; DE59712104D1; US6212011B1; DE19635942A1; EP0923747B8

Abstract

Die Erfindung betrifft ein optisches Strahlformungssystem, mit in einem Strahlbündel angeordneten optischen Elementen, die zum Teil als Linsenarrays mit jeweils mehreren, jeweils Teilstrahlbündel erfassende Linsen ausgebildet sind, wobei deren Linsenflächen (3) in eine optisch aktive Grenzfläche (2, 2') eines monolithischen optischen Elements (1) eingeformt sind. Um ein Strahlformungssystem zur Verfügung zu stellen, welches bei der Möglichkeit zur Beeinflussung der Strahlparameter einen besseren Wirkungsgrad als die nach dem Stand der Technik bekannten Strahlformungssysteme hat und dabei einfacher aufgebaut ist, schlägt die Erfindung vor, daß die Grenzfläche (2, 2') eine gekrümmte Grundform hat.

Description

Optisches Strahlformungssystem

Die Erfindung betrifft ein optisches Strahlformungssystem, mit in einem Strahlbündel angeordneten optischen Elementen, die Linsenarrays mit jeweils mehreren, jeweils Teilstrahlbündel erfassenden Linsen aufweisen, wobei deren Linsenflächen in eine optisch aktive Grenzfläche eines monolitischen refraktiven Elements eingeformt sind.

Als optische Strahlformungssysteme bezeichnet man allgemein Anordnungen von optischen Elementen, mit denen ein eingestrahltes Lichtstrahlbündel hinsichtlich seiner Strahlparameter definiert modifiziert wird. In der Praxis treten die hauptsächlichen Anwendungsfälle auf, daß für ein Strahlbündel im Querschnitt eine definierte geometrische Form und Größe, beispielsweise kreisrund, rechteckig oder gitterförmig oder dergleichen, und/oder eine über seinen Querschnitt definierte Intensitätsverteilung gefordert wird. Häufig müssen beide Eigenschaften gleichzeitig beeinflußt werden, beispielsweise wenn die Lichtquelle, die das Eingangs-Strahlbündel für das Strahlformungssystem liefert, ein Strahlbündel mit ungleichmäßiger Intensitätsverteilung und unregelmäßigen geometrischen Abmessungen liefert, je- doch für das Ausgangs-Strahlbündel des Strahlformungssystems hinsichtlich dieser Eigenschaften definierte Vorgaben gemacht werden.

Nach dem Stand der Technik sind beispielsweise aus der EP 0 232 037 A2 optische Strahlformungssysteme bekannt, in die ein Lichtstrahlbündel mit ungleichmäßiger Energieverteilung eingestrahlt werden kann, wobei deren Ausgangs-Strahlbündel über seinen Querschnitt eine gleichmäßige Intensi-

GSKOPIE tätsverteilung aufweist. Derartige Strahlformungssysteme werden auch als Homogenisierer bezeichnet.

Der vorgenannte Homogenisierer weist neben konventionellen optischen Elementen, wie beispielsweise Sammellinsen mit positiv gekrümmten, d.h. konvexen Grenzflächen, die den gesamten Strahlquerschnitt des eingeleiteten Strahlbündels erfassen, auch sogenannte Linsenarrays auf, die aus Linsen zusammengesetzt sind, die jeweils nur einen Teil des Strahlquerschnitts, d.h. Teilstrahlbündel, erfassen.

Bei optischen Homogenisierern hat sich eine Bauform durchgesetzt, bei der im Strahlengang zueinander gekreuzte Zylinderlinsenarrays angeordnet sind. Teilweise werden diese Arrays noch aus einzelnen Zylinderlinsen-Elementen zusammengefügt; es sind jedoch auch bereits einfache ebene Zylinderlinsenarrays erhältlich, die aus einem monolitischen Glas- oder Kunststoffblock geschliffen sind.

Mit derartigen, nach dem Stand der Technik bekannten monolitischen optischen Elementen sind bisher allerdings ausschließlich Homogenisierer realisierbar, die zudem den Einsatz zusätzlicher optischer Elemente, wie Linsen oder dgl. erfordern. Um hingegen nicht nur wie beim Homogenisierer eine über den Querschnitt vergleichmäßigte Intensitätsverteilung zu erreichen, sondern ein definiertes Intensitätsprofil in einer definierten geometrischen Form ausgehend von beliebig geformten Eingangs-Strahlbündeln zu formen, ist es nach dem Stand der Technik erforderlich, zunächst den Eingangsstrahl zu homogenisieren, um dann im weiteren Strahlverlauf zusätzliche Strahlformungssysteme zwischenzuschalten. So ist es beispielsweise be- kannt, durch die Verwendung von Absorptionsfiltern oder Masken ein Intensitätsprofil vorzugeben. Eine geometrische Strahlformung wird durch Einfügung entsprechend geformter Masken in den Strahlengang erreicht.

Der Nachteil der vorgenannten geometrischen und Intensitäts-Strahlfor- mungssysteme liegt auf der Hand: der weitaus überwiegende Teil der einge- leiteten Strahlenergie wird in Filtern oder den undurchlässigen Bereichen der

Masken absorbiert und steht im ausgehenden Strahlbündel nicht mehr als Lichtenergie zur Verfügung. In der Praxis geht bei Strahlformungssystemen nach dem Stand der Technik auf diese Weise mehr als 90 % der eingestrahlten Energie verloren. Insgesamt liegt also ein ausgesprochen schlechter Wirkungsgrad vor.

Hinzu kommt, daß die bekannten optischen Strahlformungssysteme einschließlich der vorgenannten Homogenisierer jeweils aus einer Mehrzahl von optischen Bauelementen zusammengesetzt sind. Daraus ergibt sich, daß deren Herstellung und Justierung aufwendig und kostspielig ist.

Ausgehend von dem gattungsgemäßen Stand der Technik ergibt sich daraus die Aufgabe der Erfindung, die vorgenannten Probleme zu lösen, insbesondere ein optisches Strahlformungssystem zur Verfügung zu stellen, welches bei der Möglichkeit zur Beeinflussung der Strahlparameter einen besseren Wirkungsgrad hat und einfacher aufgebaut ist.

Zur Lösung dieser Aufgabe schlägt die Erfindung vor, daß die Grenzfläche eine gekrümmte Grundform hat.

Die Erfindung geht von der Erkenntnis aus, daß sich die in den bisher bekannten Strahlformungssystemen verwendeten, ebenen Linsenarrays und die übrigen optischen Bauelemente, beispielsweise Abbildungsslinsen und dergleichen, in einem einzigen oder einigen wenigen monolitischen optischen Elementen integrieren lassen. Diese erfindungsgemäßen monolitischen refraktiven Elemente zeichnen sich dadurch aus, daß die optisch aktiven Grenzflächen, beispielsweise die eingangsseitige und ausgangsseitige Oberfläche einer Linse, eine gekrümmte Basisform bilden, deren Oberfläche quasi mit den kleineren Linsenflächen der einzelnen Linsen eines Linsenarrays moduliert, d.h. überlagert ist.

Neben dem offensichtlichen Vorteil, daß sich auf diese Weise die Anzahl der verwendeten Bauelemente drastisch reduzieren läßt, indem beispielsweise alle bisher in einem Homogenisierer verwendeten Bauelemente in einem einzigen monolitischen Element zusammengefaßt werden können, ergibt sich darüber hinaus ein weiterer Vorteil, der überhaupt erst durch die monolitische Integration eröffnet wird: durch die beliebige Formung und Ausrichtung des Linsenarrays unter Berücksichtigung der gekrümmten Grundform, ist es erstmals möglich, durch dessen Formgebung eine nahezu beliebige Beeinflussung der Strahlparameter hinsichtlich Geometrie und In- tensitätsverteilung vorzugeben, d.h. quasi in dem monolitischen Element zu programmieren. Da hierbei keine absorbierenden Bauteile, wie Filter oder Masken verwendet werden, werden im Vergleich zum Stand der Technik hohe Wirkungsgrade erreicht. In der Regel werden dabei die Absorptionsverluste vernachlässigbar gering sein.

Die Realisierung der gewünschten Eigenschaften, die eine gezielte Beeinflussung aller Strahlparameter einschließt, erfordert zwar im Einzelfall einen gewissen Rechenaufwand zur Bestimmung der Grenzflächengeometrie, der jedoch angesichts der zur Verfügung stehenden Rechnerkapazität nicht weiter nachteilig ins Gewicht fällt. Dem steht der weitere Vorteil gegenüber, daß die erfindungsgemäßen monolitischen optischen Elemente nach ihrer Fertigung keiner weiteren Justierung bedürfen und sich insofern im Laufe der Zeit auch nicht dejustieren können.

Grundsätzlich ermöglicht es die Erfindung in jeweils vorteilhafter Weise, die vormals erforderlichen, separaten Bauelemente eines optischen Strahlfor- mungssystems in einem einzigen optischen Element zusammenzufassen. Hierzu kann es je nach Maßgabe des Einzelfalls zweckmäßig und vorteilhaft sein, daß die Grundform einer im Strahlengang liegenden Oberfläche, d. h. der Grenzfläche, des monolitischen optischen Elements konkav oder konvex ist und dabei sphärisch, asphärisch oder auch zylindrisch ausgeformt ist. Die in die Oberfläche dieser Grundform eingeformten Linsenflächen der Linsen eines Linsenarrays können selbst wieder konkav oder konvex, dabei sphärisch, asphärisch oder auch zylindrisch sein.

Die Grenzfläche, d. h. die Grundform, kann sowohl rotationssymmetrisch oder elliptisch sein als auch jede andere denkbare geometrische Form an- nehmen. Für die einzelnen Linsen eines Linsenarrays gilt dies gleichermaßen. So können beispielsweise streifenförmige Linsen in eine viereckige Grundfläche eingeformt sein oder auch facettenartige Linsen auf einer rota- tionssymmetrischen - beispielsweise kreisrunden - oder elliptischen Grundform rotationssymmetrisch angeordnet sein.

Bevorzugte Weiterbildungen der Erfindung sehen vor, daß die einzelnen Linsen eines Linsenarrays unterschiedliche Brennweiten und/oder unterschied- liehe Aperturen aufweisen. Durch diese Maßnahmen läßt sich die Intensität im Focus derart modulieren, so daß beispielsweise Gaußprofile oder beliebige andere Verteilungen vorgegeben werden können.

Durch die sich daraus ergebenden Kombinationsmöglichkeiten, die bei der Auslegung praktisch nahezu völlige Freiheit im Hinblick auf die Brennweiten, Aperturen, Grenzflächenformen und die Anordnungen der optischen Achsen im Raum lassen, läßt sich eine Strahlformung, d.h. eine Beeinflussung der Strahlparameter im Hinblick auf Geometrie und Intensität, in nahezu beliebiger Weise in dem erfindungsgemäßen optischen Element integrieren, d.h. programmieren.

Je nach den Anforderungen des jeweils auftretenden Einzelfalls, d.h. der Veränderung der Strahlparameter zwischen dem in das Strahlformungssystem eingeleiteten und dem daraus austretenden Strahlbündel, bietet die Erfindung die Möglichkeit, entweder nur eine Grenzfläche des erfindungsgemäßen optischen Elements, d.h. die Oberfläche, in die das Strahlbündel eintritt oder austritt, erfindungsgemäß auszugestalten. So kann es beispielsweise von Vorteil sein, ein einziges monolitisches Element, bei dem in beide Grenzflächen Linsenarrays eingeformt sind, in zwei gegeneinander bewegliche monolitische Elemente aufzutrennen, wodurch eine gewisse Variierbarkeit der optischen Eigenschaften des gesamten Strahlformungs- Systems erreicht werden kann.

Es kann weiterhin zweckmäßig sein, daß ein Linsenarray als Linsenmatrix ausgebildet ist, d.h. als zweidimensionales Array mit einer Mehrzahl von rasterförmig angeordneten Linsenflächen, oder auch als eindimensionales Array, bei dem beispielsweise eine Mehrzahl von Zylinderlinsenflächen linear nebeneinander angeordnet ist. Diese können unterschiedliche Aperturen, d. h. Breiten und auch voneinander abweichende Brennweiten haben. Eine bevorzugte Ausführungsform des erfindungsgemäßen Strahlformungssystems sieht vor, daß auf den beiden Grenzflächen des monolitischen Elements Zylinderlinsenarrays eingeformt sind, deren Zylinderlinsen zueinander gekreuzt angeordnet sind. Auf diese Weise läßt sich ein Homogenisierer, wie er im Stand der Technik aus einer Mehrzahl von Zylinderlinsenarrays und Abbildungslinsen aufgebaut ist, in einem einzigen optischen Bauelement realisieren. Dabei ist nicht nur eine spätere Dejustierung ausgeschlossen; durch den Wegfall mehrerer Grenzflächen werden auch die daran entstehenden unvermeidlichen Verluste reduziert, wodurch sich eine Steigerung des Gesamtwirkungsgrades ergibt.

Bei dem vorgenannten Homogenisierer können die Zylinderlinsenarrays, wie nach dem Stand der Technik üblich, konvexe Zylinderlinsen aufweisen. Besondere Vorteile ergeben sich jedoch dadurch, daß die Zylinderlinsenarrays konkave Zylinderlinsen aufweisen. Konvexe Linsen haben nämlich prinzipiell den Nachteil, einen reellen Brennpunkt aufzuweisen, in dem die Energiedichte unter Umständen so weit ansteigen kann, daß entweder Verluste durch Ionisation oder Schäden im optischen Material auftreten können. Hingegen haben konkave Zylinderlinsen lediglich einen virtuellen Brennpunkt, so daß Verluste durch die vorgenannten Effekte prinzipiell nicht auftreten können.

Grundsätzlich können zur praktischen Realisierung des erfindungsgemäßen monolitischen Elements alle verfügbaren optischen Materialien eingesetzt werden, etwa entsprechend hochwertige Kunststoffe oder Gläser. Die zur Herstellung verwendeten Fertigungsverfahren müssen dann auf das jeweils zum Einsatz gelangende Material abgestimmt werden. Die Umsetzung der bei der Integration der unterschiedlichen optischen Flächen erforderliche Freiformflächengeometrie wird zweckmäßigerweise durch rechnergestützte Fertigungsverfahren umgesetzt.

Ausführungsbeispiele erfindungsgemäßer Strahlformungssysteme werden im folgenden anhand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen im einzelnen: Fig. 1 ein erfindungsgemäßes monolitisches optisches Element in einer ersten Ausführungsform;

Fig. 2 ein erfindungsgemäßes monolitisches optisches Element in einer zweiten Ausführungsform;

Fig. 3 ein erfindungsgemäßes monolitisches optisches Element in einer dritten Ausführungsform.

In Fig. 1 ist ein erfindungsgemäßes, monolitisches optisches Element in einer perspektivischen Ansicht dargestellt und als Ganzes mit dem Bezugszeichen

1 versehen. In der dargestellten Ansicht bildet die oben liegende Grenzfläche

2 die Lichteintrittsfläche und die unten liegende Grenzfläche 2' die Lichtaustrittsfläche - oder umgekehrt.

Beide Grenzflächen 2, 2' weisen eine konvex-zylindrische Grundform auf. Dabei sind die Zylinder gekreuzt angeordnet.

Sowohl in die obere Grenzfläche 2 als auch in die untere Grenzfläche 2' ist jeweils ein ein-dimensionales Array von konkaven Zylinderlinsen 3 eingeformt. Die Zylinder-Längsachsen der Zylinderlinsen 3 liegen jeweils parallel zu den Zylinder-Längsachsen der Grenzflächen 2 bzw. 2'.

In der dargestellten Ausführungsform bildet das monolitische optische Element 1 bereits einen Homogenisierer mit definierten optischen Eigenschaften. Durch die Ausformung der Zylinderlinsen 3 sowie der Grenzflächen 2, 2' wird bereits bei der Herstellung eine vordefinierte Beeinflussung der Strahlparameter vorgegeben.

An dieser Ausführungsform ist besonders vorteilhaft, daß die Zylinderlinsen 3 konkav sind und somit keinen reellen Brennpunkt im Inneren des monolitischen optischen Elements 1 aufweisen. Hierdurch werden hohe Ener- giedichten vermieden, die zu einer Beschädigung des optischen Materials führen könnten.

In Fig. 2 ist in derselben Darstellung wie in Figur 1 ein ähnlich aufgebautes monolitisches optisches Element dargestellt, welches ebenfalls mit dem Be- zugszeichen 1 versehen ist. Der einzige Unterschied zu Figur 1 besteht darin, daß die in dessen Grenzflächen 2, 2' eingeformten Zylinderlinsen 4 konvex- zylindrisch ausgebildet sind.

Die Vorteile der in den Figuren 1 und 2 dargestellten Homogenisierer liegen darin, daß sie lediglich zwei optisch aktive Grenzflächen aufweisen und somit einen besonders hohen Wirkungsgrad haben. Weiterhin sind sie gegenüber aus mehreren optischen Elementen aufgebauten Homogenisierern insgesamt einfacher konstruiert und erfordern auch keine Justierung.

In Fig. 3 ist eine axiale Ansicht auf eine optisch aktive Grenzfläche 5 eines erfindungsgemäßen refraktiven Elements 1 in einer weiteren Ausführungs- form dargestellt. Die Besonderheit besteht dabei darin, daß die Grundform, d. h. die Grenzfläche 5, kreisrund ausgebildet ist. Auf der runden Grundfläche, die erfindungsgemäß eine normal zur Zeichenebene gekrümmte, d. h. beispielsweise eine sphärisch-konvexe, Grundform aufweist, sind rotationssymmetrisch facettenartig einzelne Linsen 6 eingeformt. Diese können er- findungsgemäß wiederum sphärisch, asphärisch oder zylindrisch, konvex oder konkav ausgebildet sein und unterschiedliche Brennweiten und/oder Aperturen haben. In gleicher Weise kann die Grenzfläche 5 ebenfalls elliptisch sein.

Durch eine computergestützte Herstellung können monolitische optische Elemente 1 praktisch für alle geforderten Beeinflussungen der Strahlparameter mit relativ geringem Aufwand hergestellt werden.

Claims

Patentansprüche

1. Optisches Strahlformungssystem, mit in einem Strahibündel angeordneten optischen Elementen, die Linsenarrays mit jeweils mehreren, jeweils Teilstrahlbündel erfassenden Linsen aufweisen, wobei deren Linsenflächen in eine optisch aktive Grenzfläche eines monolitischen refraktiven Elements eingeformt sind, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Grenzfläche (2, 2', 5) eine gekrümmte Grundform hat.

2. Strahlformungssystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Grundform konkav ist.

3. Strahlformungssystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Grundform konvex ist.

4. Strahlformungssystem nach Anspruch 1 , dadurch gekenn- zeichnet, daß die Grundform sphärisch ist.

5. Strahlformungssystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Grundform asphärisch ist.

6. Strahlformungssystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Grundform zylindrisch ist.

7. Strahlformungssystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Grundform rotationssymmetrisch ist.

8. Strahlformungssystem nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß die Grundform elliptisch ist.

9. Strahlformungssystem nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß die Linsenflächen der Linsen (3, 4, 6) eines Linsenarrays kon- kav sind.

10. Strahlformungssystem nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß die Linsenflächen der Linsen (3, 4, 6) eines Linsenarrays konvex sind.

1 1 . Strahlformungssystem nach Anspruch 1 , dadurch gekenn- zeichnet, daß die Linsenflächen der Linsen (3, 4, 6) eines Linsenarrays sphärisch sind.

1 2. Strahlformungssystem nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß die Linsenflächen der Linsen (3, 4, 6) eines Linsenarrays asphärisch sind.

1 3. Strahlformungssystem nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß die Linsenflächen der Linsen (3, 4, 6) eines Linsenarrays zylindrisch sind.

14. Strahlformungssystem nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß die Linsen (3, 4, 6) eines Linsenarrays rotationssymmetrisch sind.

1 5. Strahlformungssystem nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß die Linsen (3, 4, 6) eines Linsenarrays elliptisch sind.

1 6. Strahlformungssystem nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß die Linsen (3, 4, 6) eines Linsenarrays unterschiedliche Brennweiten aufweisen.

1 7. Strahlformungssystem nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß die Linsen (3, 4, 6) eines Linsenarrays unterschiedliche Aperturen aufweisen.

1 8. Strahlformungssystem nach Anspruch 1 , dadurch gekenn- zeichnet, daß die Linsen (3, 4, 6) eines Linsenarrays unterschiedlich ausgerichtete optische Achsen aufweisen.

1 9. Strahlformungssystem nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß ein Linsenarray ein eindimensionales Array ist.

20. Strahlformungssystem nach Anspruch 1 , dadurch gekenn- zeichnet, daß ein Linsenarray ein zweidimensionales Array ist.

21 . Strahlformungssystem nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß auf einer im Strahlengang liegenden Grenzfläche (2, 2 ^' , 5) des monolithischen Elements (1 ) ein Linsenarray angeordnet ist.

22. Strahlformungssystem nach Anspruch 1 , dadurch gekenn- zeichnet, daß auf zwei hintereinander im Strahlengang liegenden Grenzflächen (2, 2 ' , 5) des monolitischen Elements (1 ) jeweils Linsenarrays angeordnet sind.

23. Strahlformungssystem nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß auf den beiden Grenzflächen (2, 2 ^' , 5) des monolitischen Elements ( 1 ) Zylinderlinsenarrays eingeformt sind, deren Zyiinderlinsen zueinander gekreuzt angeordnet sind.

24. Strahlformungssystem nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß die Zylinderlinsenarrays konkave Zylinderlinsen aufweisen.

25. Strahlformungssystem nach Anspruch 23, dadurch gekenn- zeichnet, daß die Zylinderlinsenarrays konvexe Zylinderlinsen aufweisen.

26. Strahlformungssystem nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Grenzflächen (2, 2 ' ) des monolithischen Elements zylindrisch-konvex sind, wobei die Zylinderflächen gekreuzt angeordnet sind.