WO1997020456A1 - Dispositif et procede de montage de composants electroniques - Google Patents

Description

明 細 書

発 明 の 名 称

電 子部 品 実 装 装 置 及 び電 子 部 品 実 装 方 法

技術 分 野

本 発 明 は 、 電子 部 品 実 装 装 置 及 び電 子 部 品 実装 方 法 に 関 す る も の で あ る 。 特 に 基板 の 変 形 に 対 し て 補 正 を か け な が ら 電 子 部 品 を 移 載す る こ と を 特 徴 と す る 。

背 景 技術

従 来 か ら 電 子部 品 実 装 装 置 で は 、 基 板 の 変 形 を 考 慮 し 、 補 正 を か け て 電 子部 品 を 移 載 す る よ う に な っ て い る 。 第 8 図 を 参 照 し な が ら 、 従 来 の 電 子 部 品 実 装 装 置 に お け る 補 正 に つ い て 説 明 す る 。 第 8 図 （ a ) に お い て 、 1 は 基板 、 2 、 3 は 基板 1 の 角 部 に 対 角 的 に 2 箇 所 形 成 さ れ る 認識 マ ー ク で あ る 。 そ し て 、 従 来 の 電 子 部 品 実装 装 置 で は 、 基 板 1 が 実 線 で 示 す 理 想 的 な 形 状 か ら 、 破線 で 示 す よ う に 変 形 し て い る 場 合 、 認 識 マ ー ク 3 の 位 置 も 同 様 に 変 形 す る と 考 え 、 認 識 マ ー ク 2 、 3 の 変 位 を 求 め 、 こ れ に よ り 一 定 の 変 形 率 を 算 出 す る 。 そ し て 、 こ の 変 形 率 を 実 装 位 置 に 適 用 し て 補 正 を 行 う こ と と し て い る 。

し カゝ し な が ら 、 こ の よ う に し た の で は 、 第 8 図 （ a ) に 示 す よ う に 、 変 形 が X 方 向 と Y 方 向 に つ い て 一 様 に 変 形 し て い る 場 合 に し か 適用 で き な い 。 即 ち 、 第 8 図 （ b ) の よ う に 、 X 方 向 、 Y 方 向 に つ い て 不均 一 な 変 形 を 生 じ て い る 場 合 、 2 つ の 認識 マ ー ク 2 、 3 か ら そ れ を 知 る こ と は で き な レゝ し 、 補 正 を 実 際 の 変 形 に 対 応 さ せ る こ と が で き な い 。 殊 に 、 近 年 大 型 の 基 板 が 使 用 さ れ る こ と が 増 え て お り ， 不 均 一 な 変 形 を 無 視 で き な く な っ て き て い る 。 こ の よ う に 、 従 来 の 電子 部 品 実 装 装 置 で は 、 大 型 基 板 の 場 合 や 、 よ り 精 密 な 移 載 を 必 要 と す る 場 合 、 基 板 の 変 形 に 十 分 対 応 で き な い と い う 問 題 点 が あ っ た 。

発 明 の 開 示

本 発 明 は 、 基 板 が ど の よ う に 変 形 し て も 適 切 に 補 正 を 行 い 正 確 な 実 装 を 行 え る 電 子 部 品 実 装 装 置 を 提 供 す る こ と を 目 的 と す る も の で あ る 。

本 発 明 の 電子 部 品 実 装 装 置 は 、 電 子部 品 を 基 板 に 移 載す る ァ ク チ ユ エ 一 夕 と 、 基 板 に 少 な く と も 4 箇 所 形 成 さ れ た 認識 マ 一 ク を 観 察 し こ れ ら の 認識 マ ー ク の 座 標 を 検 知 す る 検 出 器 と 、 前 記 ァ ク チ ユ エ 一 夕 を 制 御 す る 制 御 部 と 、 移 載 す る 電 子 部 品 の 実 装 座標 及 び 実 装 角 度 の 情 報 を 記 憶す る 実 装 デ 一 夕 テ ー ブ ル と 、 電子 部 品 が 移 載 さ れ る 基板 に つ い て 前 記 実 装 座 標 及 び 実 装 角 度 の 補 正 値 を 記憶 す る 補 正 デ ー タ テ ー ブ ル と を 備 え 、 前 記補 正 デ — 夕 テ ー ブ ル に は 、 前 記検 出 器 が検 知 し た 4 個 所 以 上 の 認 識 マ ー ク の 座 標 に 基 い て 基 板 を 一 定 の 規 則 で 細 分 し た 多 数 の セ ル 毎 の 補 正 値 が 格納 さ れ て お り 、 前 記実 装 テ ー ブ ル の 実 装 座 標 及 び 実 装 角 度 が 、 電 子 部 品 を 実 装 す べ き 該 当 セ ル の 前 記 補 正 デ ー タ テ ー ブ ル に お け る 補 正 値 に よ り 補 正 さ れ 、 前 記 電 子 部 品 が 移 載 さ れ る こ と を 特 徴 と す る 。

上記 構 成 に よ り 、 基 板 を 一定 の 規 則 で 多 数 の セ ル に 分割 し 、 各 セ ル 毎 に 補 正 値 が 求 め ら れ 、 補正 デ 一 夕 テ ー ブル に 格納 さ れ る 。 こ こ で 、 こ れ ら の セ ル は 、 少 な く と も 4 箇 所形 成 さ れ た 認 識 マ ー ク の 座 標 に 基 い て 設 定 さ れ る の で 、 基 板 が 直 行 し た X 方 向 、 Y 方 向 に つ い て 不 均 一 な 変 形 を 生 じ て レ る と き に は 、 こ の 変 形 を 反 映 し た 形 状 と な っ て い る 。 そ し て 、 各 セ ル 毎 に こ れ ら の 変 形 に 対 す る 補 正 値 が 求 め ら れ る の で 、 不均 一 な 変 形 に 対 応 し た 補 正 を か け る こ と が で き る 。

図 面 の 簡 単 な 説 明

第 1 図 は 本 発 明 の 最 良 の 実施 の 形 態 に お け る 電子 部 品 実装 装 置 の ブ ロ ッ ク 図 、 第 2 図 は 本 発 明 の 最 良 の 実 施 の 形 態 に お け る 電子 部 品 実 装 装 置 の ブ ロ ッ ク 図 、 第 3 図 （ a ) は 本 発 明 の 最 良 の 実 施 の 形 態 に お け る マ ス タ 一 基 板 の セ ル 説 明 図 、 第 3 図 （ b ) は 本 発 明 の 最 良 の 実 施 の 形 態 に お け る 基板 の セ ル 説明 図 、 第 4 図 本 発 明 の 最 良 の 実 施 の 形 態 に お け る 実 装 デ ー タ テ ー ブ ル の 構 成 図 、 第 5 図 本 発 明 の 最 良 の 実 施 の 形 態 に お け る 補 正 デ ー タ テ 一 ブ ル の 構 成 図 、 第 6 図 は 本 発 明 の 最 良 の 実 施 の 形 態 に お け る テ ー ブ ル 関 係 図 、 第 7 図 は 本 発 明 の 最 良 の 実 施 の 形 態 に お け る 電 子 部 品 実 装 装 置 の フ ロ ー チ ャ ー ト 、 第 8 図 （ a ) 、 第 8 図 （ b ) は 従 来 例 で の 補 正 量 の 説 明 図 で あ る 。

発 明 の 最 良 の 形態

次 に 、 図 面 を 参 照 し な が ら 本 発 明 の 最 良 の 実 施 の 形 態 を 説 明 す る 。

第 1 図 は 、 本 発 明 の 最 良 の 実 施 の 形 態 に お け る 電子 部 品 荚 装 装 置 の ブ ロ ッ ク 図 で あ る 。 第 1 図 に お い て 、 4 は 変 形 の な い マ ス タ 一 基 板 で あ り 、 A , B , C , D は マ ス 夕 一 基 板 4 の 4 つ つ の 角 部 に 形 成 さ れ た 認識 マ 一 ク 、 （ x A ， y A ) は認識 マ ー ク A の 座標 で あ り 以 下 同 様 に 、 （ x B ， y B ) ， （ x C ， y C ) ， ( x D , y D ) は 認 識 マ ー ク B ， C ， D の 座 標 で あ る 。 こ こ で は 一 般 の 長 方 形 の 基 板 を 考 慮 し て 、 x A = x B ， X C = X D , y A = y D , y B = y D と な る よ う に し て あ る 。

ま た 5 は マ ス タ ー 基 板 4 を 観察 す る ビ デ オ カ メ ラ で あ り 、 こ の カ メ ラ 5 の 画 像 カゝ ら 上 記 各 座 標 を 求 め る 。 な お 、 マ ス タ ー 基 板 4 に よ ら ず に 、 基板 の 設 計 値 か ら 上 記 各 座 標 を 定 め て も 良 い 。

6 は 電 子 部 品 の 移 載 を 行 う ァ ク チ ユ エ 一 夕 7 を ド ラ イ ブ す る ド ラ イ バ 8 を 制 御 す る 制 御 部 で あ る 。 ま た 9 は 、 移 載 す る 電 子 部 品 の 実 装 座 標 及 び実 装 角 度 の 情報 を 記憶 す る 実 装 デ ー タ テ ー ブ ル 、 1 0 は 基板 を 縦 横 に 細 分 し た セ ル 毎 の 補 正 値 が 格 納 さ れ る 補 正 デ 一 夕 テ ー ブ ル で あ る 。

第 2 図 で は 、 マ ス タ ー 基 板 4 で は な く 、 電 子部 品 が 移 載 さ れ る べ き 基 板 1 1 を ビ デ オ カ メ ラ 5 で 観 察 し て い る 状 態 を 示 し て い る 。 こ こ で 、 基 板 1 1 は 、 一般 に は X Y 方 向 に 不 均 一 な 変 形 を し て お り 、 こ の 変 形 に 応 じ て 基 板 1 1 の 4 つ つ の 角 部 に 形 成 さ れ た 認識 マ ー ク A ' ， B ' , C ' ， D ' の 座 標 （ χ Α ' ， y A ' ) , ( x B ' , y Β ' ) , ( χ C ' , y C ' ) , ( χ D ' , y D ' ) は 、 マ ス タ ー 基 板 4 の 認識 マ 一 ク カ、 ら 変 位 し て い る も の で あ る 。

次 に 第 3 図 を 参 照 し な が ら 、 各 セ ル に お け る 位 置 関 係 及 び 補 正 量 に つ い て 説 明 す る 。 こ こ で 、 本 実 施 の 形 態 で は 、 添 字 i ( i = 1 , 2 ， 3 , m， m + l ) 、 j ( j = 1 , 2 , 3

n , n + 1 ) ( m , n は 整 数 ） を 導 入 す る 。 そ し て 、 マ ス タ 一 基 板 4 の 辺 A D の m等 分点 と 辺 B C の m等 分 点 の 隣 り 合 っ た 2 点 を そ れ ぞれ 結 ぶ 線 分 g i ， g i + 1 と 、 辺 A B の n 等 分 線 と 辺 D C の n 等 分 線 の 隣 り 合 っ た 2 点 を そ れぞ れ 結 ぶ 線 分 f i , f i + 1 と で 囲 ま れ る 小 さ な 四 角 形 か ら な る セ ル を 考 え る 。 ¾ ω ^ ¾ u G9 . つ , a cs ? ^ ^ ¾ u ® . 3 . v m 7 T + I

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(D ぬ (Fi) ' x) = ((Γυ)Α'(Γυ)χ)

( ∞ / - ν 'ax) = ( (Po)x)

(y u/((y/i-< X) x+u/f(v -a)) =《ra'y)A'(ra¾x)

(8 +^u/f(8ん。 'ax+u/f(gx-ox)) = (( )^'(0'

(₃ +ra /ぬん _a Όχ+τπ/Κοχ-αχ)) = (( u)A'(pu)x)

(a^+∞/i(aん v '£Ρ+∞Γ(9χ·νχ)) = (( o '(ro)x)

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((r₀)x-(f'u)x)((o'i)A-(ui'i)i)-((o'i)x-(m'i)x)(Cf^,o)^(ru)yi) 91

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((0'i)x-(ra')x)((iO)^-(rn)A)-(CO)x-C"")x)((O )^(∞'i)^

((ra¾ ¾x ui' ^(m«Ox)((ro)x) ^)x) (rn)^0)x<ro)^r")x)((0'i)x∞')x)

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rit'£0/96«If/13d ま れ る 小 さ な 四 角 形 か ら な る セ ル S ( i . j ) を 考 え る 。 こ の セ ル S ( i ， j ) は 、 セ ル R ( i , j ) に 一 対 一 に 対 応す る も の で あ る 。 し 力 し 、 基 板 1 1 の 変 形 に よ っ て 一 般 に 四 角 形 A ' B ' C ' D ' は 長 方 形 で な い 四 角 形 と な る か ら 、 セ ル R ( i , j ) と 異 な り 、 図 3 ( b ) に 示 す よ う に 、 セ ル S ( i , j ) は 長 方 形 で な い 四 角 形 と な る 。 そ し て 、 セ ル R ( i , j ) と 同 様 に 、 セ ル S ( i , j ) に つ い て も 4 つ の 角 点 を P ' ( i , J ) , P ' ( i + 1 . j ) , Ρ ' ( i , j + 1 ) , Ρ ' ( i + 1 , j + 1 ) と し 、 角 点 Ρ ' ( i . j ) の 座 標 を （ χ ' ( i , j ) , y ' ( i , j ) ) と 表 記 す る 。 こ れ ら 角 点 P ' ( i , j ) の 座 標 も （ 数 式 1 ) と 同 様 に 認識 マ ー ク A ' , B ' , C ' , D ' の 座 標 よ り 求 め る こ と が で き る 。 こ こ で 、 本 実 施 の 形態 で は 、 水 平 方 向 に 関 す る 補 正 量 ε を 、 セ ル R ( i , j ) の 4 つ の 角 点 に 対 応 す る セ ル S ( i ， j ) の 4 つ の 角 点 の ず れ 量 （ Δ χ , Δ y ) の 平 均 値 と 定 義 す る 。 セ ル R ( i ， j ) に 対 す る セ ル S ( i , j ) の X 方 向 の 補 正 量 を ε X ( i , j ) , Υ 方 向 の 補 正 量 を ( i , j ) と す る と 、 こ れ ら の 補 正 量 ε χ ( i ， j ) ， ε y ( i , j ) は 、 次 式 で 求 め る こ と が で き る 。 ε χ( ) = (Δ x(ij)+A x(ij+l)+A x(i+l,j) + Δ x(i+lj+l))/4

ε y(ij) = (A γ(ΐο)+Δ y(i,j+l)+A y(i+lj)+ Δ y(i+lj+l))/4

ただし

(Δ x(ij), Δ y(ij)) = (x'(i，か x(i，j), y'(i,j)-y(ij))

(Δ x(i，j+l)， Δ y(i,j+l)) = (x'(ij+l)-_X(ij+l)， y'(i,j+l)-y(i,j+l))

(Δ x(i+l,j), Δ y(i+lj)) = (x'(i+lj)-_X(i+lj)， y'(i+l j)-y(i+l,j))

(Δ x(i+l,j+l), Δ y(i+lj+l)) = (x'(i+l j+l)-x(i+l,j+l), y'(i+l,j+l)-y(i+lj+l))

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図 4 は 、 本 発 明 の 最 良 の 実 施 の 形 態 に お け る 実 装 デ 一 夕 テ ー ブ ル の 構 成 図 、 図 5 は 、 本 発 明 の 最 良 の 実 施 の 形 態 に お け る 補 正 デ 一 夕 テ ー ブ ル の 構 成 図 で あ る 。 図 4 に 示 す よ う に 、 実 装 デ 一 夕 は 、 実 装 順序 S N 毎 に 、 実 装 座 標 （ X , y ) 、 実 装 角 度 等 が 格 納 さ れ て 成 る も の で あ る 。 こ の 実 装 庵 標 （ X , y ) 、 実 装 角 度 は 、 マ ス タ ー 基 板 4 の よ う に 理 想 的 な 位 置 関 係 が 成 立 し て い る と き の 値 で あ る 。 そ し て 、 実 装 座 標 （ X , y ) が 与 え ら れ れ ば 、 こ の 実 装 痤 標 （ X , y ) が ど の セ ル R ( i ， j ) に 位 置 す る の か を 決 定 で き る 。 そ こ で 、 セ ル 添 字 （ i ， j ) の デ 一 夕 セ ク シ ョ ン を 設 け て 、 属 す る セ ル の 添 字 （ i , j ) を 記愴 で き る よ う に し て あ る 。

次 に 、 図 5 に 示 す よ う に 、 補 正 デ ー タ ε χ ( i ， j ) ， ε y ( i ， j ) ， f Θ ( i , j ) は 、 上 述 し た 式 に よ っ て 各 セ ル S ( i , j ) ご と に 定 め る こ と が で き 、 添 字 i , j の 2 次 元 配 列 と し て 補 正 デ 一 夕 テ ー ブ ル 1 0 に 記 憶 さ れ る よ う に な っ て レ る 次 に 図 6 を 参 照 し な 力 ら 、 実 装 デ ー タ テ ー ブ ル 9 、 補 正 デ ー 夕 テ ー ブ ル 1 0 が 設 定 さ れ た 後 に 、 こ れ ら の テ ー ブ ル 9 、 1 0 の 各 値 力 ど の よ う に 利 用 さ れ る カゝ と い う 点 に つ い て 説 明 す る 。 ま ず 、 制 御 部 6 カゝ ら 実 装 デ ー タ テ ー ブ ル 9 に 実 装 順 序 S N が 与 え ら れ る と 、 こ の 実 装 順 序 S N に お け る 実 装 デ ー タ （ X , y , ゆ ） が 実 装 デ ー タ テ ー ブ ル 9 か ら 読 出 さ れ る 。 ま た 、 実 装 順 序 S N に 対応 す る 添 字 （ i ， j ) は 、 補 正 デ 一 夕 テ ー ブ ル 1 0 の セ ル S ( i , j ) を 指 示 す る （ セ ル S ( i ， j ) 中 に 実 装 が 行 わ れ る こ と を 意 味 す る ） か ら 、 指示 さ れ た セ ル S ( i ， j ) に お け る 補 正 値 （ ε X , ε y , ε θ ) が 補 正 デ ー タ テ ー ブ ル 1 0 か ら 読 出 さ れ る 。 そ し て 、 制 御 部 6 に お い て 、 実 装 デー タ （ x ， y , ） と 補 正値 （ ε χ ， ε y , ε θ ) が 加 算 さ れ 、 補 正 実 装 デ ー タ （ X , Υ ， θ ) ( X = χ + ε χ , Υ = y + ε χ , θ = φ + ε θ ) と し て 、 ド ラ イ ノ 8 へ 出 力 さ れ る も の で あ る 。

次 に 図 7 を 参照 し な が ら 、 本 実施の 形態 の 電子部 品 実 装 装 置 の 動作 の 流れ を 説 明 す る 。 ま ず分 割 数 m , n に 従 っ て 、 マ ス タ 一 基板 4 を セ ル に 分 割 し 、 実装 デー タ テ ー ブル 9 の 各 セ ク シ ョ ン に 、 該 当 す る セ ル の 添字 （ i , j ) を 格納す る （ ス テ ッ プ 1 ) 。 次 に 基 板 1 1 ( 実 際 に 実 装 を 行 う も の ） を カ メ ラ 5 の 下 方 に セ ッ ト し （ ス テ ッ プ 2 ) 、 カ メ ラ 5 で 認識 マ ー ク Α ' , Β ' , C ' ， D ' の 各 座 標 を 計 測 す る （ テ ツ プ 3 ) 。 そ し て 、 上述 し た よ う に 、 基板 1 1 に つ い て も 各 セ ル S ( i , j ) に 分割 し 、 補正 デ 一 タ テ 一 ブ ル 1 0 に 各 セ ル S ( i ， j ) に お け る 補 正 値 ε X ( i ， j ) , ε y ( i , j ) , ε Θ ( i , j ) を 格納す る （ ス テ ッ プ 4 ) 。 次 に 制 御 部 6 は 、 実 装 順 序 S N を 1 に 初 期 化 し （ ス テ ッ プ 5 ) 、 実 装 順 序 S N が 最 終 値 E N D に 達 し て い な い こ と を 確 認 す る （ ス テ ッ プ 6 ) 。 そ し て 、 図 6 に よ り 説 明 し た 要 領 で 、 実 装 デ ー タ X , y , と 補 正値 ε χ , ε y , を 読 出 し て （ ス テ ツ プ 7 , 8 ) 、 補正 実 装 デ 一 夕 X , Υ , を 算 出 し （ ス テ ツ プ 9 ) 、 補 正 実装 デ ー タ X , Y , 0 に 基づ い た 実装 が 行 わ れ る ( ス テ ッ プ 1 0 ) 。 即 ち 、 補 正 は 基板 1 1 を 細 分 化 し た セ ル 毎 に 行 わ れ 、 一般 に 各 セ ル 毎 に 補 正値 が 異 な る の で 、 き め 細 や か に 実装 座 標 等 を 修 正 し て 、 正確 な 実 装 を 実現 で き る 。 そ し て 、 実 装 順序 S N を 一 つ 増加 さ せ て （ ス テ ッ プ 1 1 ) 、 実 装順 序 S N が最終値 S N に 達す る ま で （ ス テ ッ プ 6 ) 、 ス テ ッ プ 7 〜 ス テ ツ プ 1 1 の 処 理 が く り 返 さ れ る 。 そ し て 、 基板 1 1 に 対 す る 実 装 が終 了 し た ら 、 基 板 1 1 を 搬 出 し （ ス テ ッ プ 1 2 ) 、 同 種 の 他 の 基 板 に つ い て の 処理 に 移 行 す る （ ス テ ッ プ 1 3 ) 。

こ れ ら の 方 法 は 、 認識 マ ー ク が 5 力 所 以 上 あ る 場 合 、 基 準 と な る 認識 マ ー ク の 位 置 が長 方 形 で な い 場 合 、 認識 マ ー ク の 位 置 が 一 般 の 多 角 形 ま た は そ れ ら の 組 み 合 わ せ で あ っ て も 、 同 様 の 方 法 で 補 正 出 来 る こ と は い う ま で も な い 。

ま た 、 補 正 す る 座 標 な ど と し て は 、 直 行 す る 座 標 軸 X 、 Y の 代 わ り に 直 行 し な い 座 標 軸 を 使 用 す る こ と も 出 来 る 。 ま た 角 度 の 代 わ り に 特 定 の 座 標 軸 に た い す る 勾 配 を 用 い る こ と も で き る 産 業 上 の 利 用 の 可 能 性

本 発 明 の 電子 部 品 実 装 装 置 は 、 電 子 部 品 を 基 板 に 移 載 す る ァ ク チ ユ エ 一 夕 と 、 基 板 に 少 な く と も 4 箇 所 形 成 さ れ た 認 識 マ ー ク を 観察 し こ れ ら の 認 識 マ ー ク の 座 標 を 検 知 す る 検 知 器 と 、 ァ ク チ ユ エ 一 夕 を 制 御 す る 制 御 部 と 、 移 載 す る 電 子 部 品 の 装 座 標 及 び実 装 角 度 の 情 報 を 記 憶 す る 実 装 デ ー タ テ ー ブ ル と 、 電 子 部 品 が移 載 さ れ る 基 板 に つ い て の 実 装 座 標 及 び 実 装 角 度 の 補 正 値 を 記憶 す る 補 正 デ ー タ テ ー ブ ル と を 備 え 、 補 正 デ ー タ テ ー プ ル に は 、 検 知 器 が 検 知 し た 認識 マ ー ク の 座 標 に 基 い て 基 板 を 一 定 の 規則 で 細 分 し た 多 数 の セ ル 毎 の 補 正 値 が 格 納 さ れ て お り 、 実 装 テ ー ブ ル の 実 装 座 標 及 び実 装 角 度 が 、 該 電 子 部 品 を 移 載 す べ き 該 当 セ ル の 補 正 デ ー タ テ ー ブ ル に お け る 補 正 値 に よ り 補 正 さ れ る よ う に し て あ る の で 、 基板 の 変 形 に 対 し て き め 細 や か な 補 正 を か け て 移 載 を 行 う こ と が で き 、 基 板 が 不 均 一 に 変 形 し て い て も 、 正 確 な 実 装 が 実 現 で き る 。

Claims

請 求 の 範 囲

. 電 子 部 品 を 基板 に 移 載 す る ァ ク チ ユ エ 一 夕 と 、 基 板 に 少 な く と も 4 箇所 形 成 さ れ た 認識 マ ー ク を 観察 し こ れ ら の 認識 マ ー ク の 座 標 を 検 知 す る 検 出 器 と 、 前 記 ァ ク チ ユ エ 一 夕 を 制 御 す る 制 御 部 と 、 移 載 す る 電 子 部 品 の 実 装 座 標 及 び実 装 角 度 の 情報 を 記憶 す る 実 装 デ ー タ テ ー ブ ル と 、 電 子 部 品 が 移 載 さ れ る 基 板 に つ い て 前 記 実 装 座 標 及 び実 装 角 度 の 補 正 値 を 記憶 す る 補 正 デ ー タ テ ー ブ ル と を 備 え 、 前 記 補 正 デ ー 夕 テ ー ブ ル に は 、 前 記検 出 器 が 検 知 し た 4 個 所 以 上 の 認 識 マ ー ク の 座 標 に 基 い て 基 板 を 一 定 の 規 則 で 細 分 し た 多 数 の セ ル 毎 の 補 正 値 が 格納 さ れ て お り 、 前 記 実 装 テ ー ブ ル の 実 装 座 標 及 び 実 装 角 度 が 、 電 子 部 品 を 実 装 す べ き 該 当 セ ル の 前 記 補 正 デ ー タ テ ー ブ ル に お け る 補 正 値 に よ り 補 正 さ れ 、 前 記 電 子 部 品 が 移 載 さ れ る こ と を 特 徴 と す る 電 子 部 品 実 装 装 置 。

2 . 補 正 を か け る た め の 標 準 値 に 変 形 の 無 い マ ス タ ー 基 板 の 実 測 値 を 用 い る 請 求 項 1 に 記 載 さ れ た 電 子 部 品 実 装 装 置 。

3 . 補 正 を か け る た め の 標 準値 に 設 計 値 を 用 い る 請 求 項 1 に 記 載 さ れ た 電 子 部 品 実 装 装 置 。

4 . 認識 マ ー ク を 検 知 す る 検 出 器 力 ビ デ オ カ メ ラ で あ る 請 求 項 1 に 記 載 さ れ た 電子 部 品 実 装 装 置 。

5 . 補 正 さ れ る 実 装 座 標 が 直 行 し た 座 標 軸 に 対 し た 座 標 で あ る 請求 項 1 に 記 載 さ れ た 電子 部 品 実 装 装 置 。

6 . 補 正 さ れ る 実 装 角 度 が 一 定 の 基 準線 に 対 す る 勾 配 で 表 さ れ る 請求項 1 に 記 載 さ れ た 電 子 部 品 実装 装 置 。

. 一 定 の 規 則 で 細 分 し た 多 数 の セ ル が 長 方 形 で あ る 請 求 項 1 に 記 載 さ れ た 電 子 部 品 実 装 装 置 。

. 基 板 に 少 な く と も 4 箇 所 認 識 マ ー ク を 形 成 し て お き 、 こ れ ら の 認 識 マ ー ク を 検 出 し 、 そ れ ら の デ ー タ に 基 い て 基 板 を 一 定 の 規 則 で 細 分 し た 多 数 の セ ル 毎 の 補 正 値 を 求 め る ス テ ッ プ と 、 理 想 的 に 形 成 さ れ た 基 板 に お け る 、 移 載 す べ き 電 子 部 品 の 実 装 座 標 及 び 実 装 角 度 を 、 該 当 す る セ ル の 補 正 値 に よ り 補 正 し て 、 前 3己 の 実 際 の 基 板 に 電 子 部 品 を 移 載 す る ス テ ツ プ と を 含 む こ と を 特 徴 と す る 電 子 部 品 実 装 方 法 。

9 . 補 正 を か け る た め の 標 準 値 に 変 形 の 無 い マ ス タ ー 基 板 の 実 測 値 を 用 い る 請 求 項 8 に 記 載 さ れ た 電 子 部 品 実 装 方 法 。

1 0 . 補 正 を か け る た め の 標準 値 に 設 計 値 を 用 い る 請 求 项 8 に 記 載 さ れ た 電 子 部 品 実 装 方 法 。

1 1 . 補 正 さ れ る 実 装 座 標 が 直 行 し た 压 標 軸 に 対 し た 座 標 で あ る 請 求 項 8 に 記 截 さ れ た 子 部 品 実 装 方 法 。

1 2 . 補 正 さ れ る 実 装 角 度 が 一 定 の 基 準 線 に 対 す る 勾 配 で 表 さ れ る 請 求 項 8 に 記 載 さ れ た 電 子 部 品 実 装 方 法 。

1 3 . 一 定 の 規 則 で 細 分 し た 多 数 の セ ル が 長 方 形 で あ る 請 求 ¾ 8 に 記 載 さ れ た 電 子 部 品 実 装 方 法 。