WO1989004053A1 - Systeme de fabrication de substrats semi-conducteurs - Google Patents

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WO1989004053A1
WO1989004053A1 PCT/EP1988/000936 EP8800936W WO8904053A1 WO 1989004053 A1 WO1989004053 A1 WO 1989004053A1 EP 8800936 W EP8800936 W EP 8800936W WO 8904053 A1 WO8904053 A1 WO 8904053A1
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Horst Kunz-Concewitz
Wolfgang Schmutz
Roland Mann
Herbert Olbrich
Joseph Gentischer
Wolfgang FRÜHAUF
Johann Dorner
Günther BREITSCHWERDT
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Convac Gmbh
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Description

Fertigungssystem für Halbleitersubstrate
BESCHREIBUNG
Die Erfindung betrifft ein Fertigungssystem für Substrate, insbesondere Wafer, Glasmasken, Keramikträger, mit einzelnen Prozeßstationen für die Behandlung und/oder Bearbeitung der einzelnen Substrate unter Reinumgebung und
Transμortvorrichtungen zum Transport der Substrate zwischen den einzelnen Prozeßstationen, wobei die einzelnen Prozeßstationen über Versorgungs- und Entsorgungs leitungen mit den erforderlichen Chemikalien, Gasen, Flüssigkeiten, Daten, Energie, versorgt und entsorgt sind.
Aus der EP 35 844 A2 ist ein Fertigungssystem bekannt, bei dem mehrere Prozeßstationen in einem größeren Prozeßraum untergebracht sind. Diese einzelnen Prozeßstationen sind jeweils mit den erforderlichen Versorgungs- und Entsorgungsleitungen verbunden. Eine andere Anordnung der Prozeßstationen bei einer Änderung des Prozeßablaufs ist praktisch kaum möglich und erfordert einen aufwendigen Umbau, durch den der Fertigungsprozeß über lange Zeit gestoppt werden muß.
In Vermeidung dieser geschilderten Nachteile liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein Fertigungssystem der eingangs genannten Art so zu verbessern, daß Änderungen im Prozeßablauf , insbesondere auch der Austausch einzelner Prozeßstationen einfach, zeitsparend, ohne wesentliche Unterbrechung des Fertigungsablaufs, erfolgen kann
Zur Lösung dieser Aufgabe sieht die Erfindung vor, daß alle Versorgungs- und Entsorgungsleitungen in einem Medienbus parallel zu in austauschbaren Prozeßstationen angeordneten Prozeßmodulen geführt sind, daß im Rasterabstand der Prozeßmodule am Medienbus Kopplungsboxen angeordnet sind und daß an jedem der leicht austauschbaren Prozeßmodule den Kopplungsboxen entsprechend jeweils eine Gegenkopplung vorgesehen ist und daß durch Zusammenführen von Kopplungsbox und Gegenkopplung die Verbindungen der Versorgungs- und Entsorgungsleitungen hergestellt und durch Trennen von Kopplungsbox und Gegenkopplung diese Verbindungen unterbrochen sind . Durch diese Anordnung von Anschlußstellen aller Versorgungs- und Entsorgungsleitungen in einer "Schnittstelle" ist ein sehr rascher zeitsparender Austausch der einzelnen Prozeßmodule möglich. Die einzelnen Prozeßmodule können praktisch in beliebiger Reihenfolge zweckentsprechend am Medienbus angeschlossen werden, so daß entsprechend den jeweiligen Anforderungen Prozeßsysteme zusammengestellt oder geändert werden können oder zur Wartung oder Reparatur einzelne Prozeßmodule einfach ausgetauscht werden können. Damit kann eine wesentliche Steigerung der Produktivität bei gleichzeitiger Verminderung des Ausschußanteils erreicht werden .
Konstruktiv besonders einfach können in der Kopplungsbox Kupplungen und/oder Stecker und jeweils zugeordnet in der Gegenkopplung Stecker und/oder Kupplungen vorgesehen sein, die jeweils mit den entsprechenden zugeordneten Versorgungs- bzw. Entsorgungsleitungen des Medienbusses bzw. des Prozeßraoduls verbunden sind.
Zur sicheren gleichze tigen Kopplung bzw. Entkopplung der Kupplungen und Stecker können die Kopplungsboxen und die Gegenkopplungen gegenseitige Führungen aufweisen, durch die eine gleichzeitige fluchtende Zusammenführung der einzelnen Stecker und Kupplungen gewährleistet ist, wobei alle Stecker und Kupplungen parallel zu den gegenseitigen Führungen zusammenfügbar bzw. trennbar sind. Ein rascher und einfacher Austausch der Prozeßstationen wird dadurch ermöglicht, daß die Stecker und/oder Kupplungen für flüssige oder gasförmige Medien Selbstschlußventile aufweisen, so daß bei der Trennung von Kopplungsbox und Gegenkopplung mindestens die druckführenden Versorgungs- und Entsorgungsleitungen geschlossen sind und daß bei zusammengeführter Kopplungsbox und Gegenkopplung die Versorgungs- und Entsorgungsleitungen des Medienbusses mit den zugeordneten Versorgungs- und Entsorgungsleitungen des Prozeßmoduls durchgängig verbunden sind. Besondere Magnetventilsteuerungen können so eingespart werden.
Konstruktiv besonders einfach können sowohl die Kopplungsbox als auch die Gegenkopplung jeweils eine Kopplungsplatte aufweisen, wobei dann auf oder in diesen Kopplungsplatten einander zugeordnet die Stecker und Kupplungen vorgesehen sind .
Je nach Verwendungszweck müssen bei den einzelnen Prozeßstationen nicht alle Kupplungen bzw. Stecker, sondern nur die für die vorhandenen Versorgungs- und Entsorgungsleitungen Notwendigen vorgesehen werden. Entsprechend können auch beim Medienbus die einzelnen Kopplungsboxen unterschiedlich bestückt werden, wobei dann allerdings auch die spezielle Anordnung der Prozeßmodule entsprechend den vorhandenen Anschlüssen begrenzt ist. Die gegenseitigen Führungen von Kopplungsbox und Gegenkopplung oder der Kopplungsplatten kann besonders einfach durch .zugeordnete Führungsbolzen und Führungsbuchsen erfolgen, von denen mindestens zwei, vorzugsweise drei mit Abstand verteilt, angeordnet sein können.
Eine Erleichterung des Austauschs von Prozeßstationen bei gleichzeitig sicherer Kupplung der Versorgungs- und Entsorgungsleitungen kann dadurch erreicht werden, daß jeweils die Kopplungsbox und die zugeordnete Gegenkopplung durch mindestens eine Koppeleinrichtung zusammenbringbar ist, so daß die erforderlichen Kraftaufwendungen zum Verbindung und Trennen nicht von Hand aufgebracht werden müssen. Hierzu kann die Kopplungsbox und/oder die Gegenkopplung oder Baueinheiten davon in Kopplungsrichtung verschiebbar am Medienbus und/oder am Prozeßmodul vorgesehen sein. Die Kopplung von Kopplungsbox und Gegenkopplung kann in vorteilhafter Weise automatisch vorzugsweise über eine Kontaktsteuerung (Schalter, Sensoren) ausgelöst, erfolgen. Dazu kann der Prozeßmodul gegen den Medienbus in senkrechter Richtung verschiebbar geführt sein, wobei die Kontaktsteuerung bei Erreichen der Endlage oder kurz vor erreichen der Endlage ausgelöst werden kann.
Eine sichere Kopplung der Versorgungs- und Entsorgungsleitungen kann dadurch erreicht werden., daß die Verbindung und das Lösen von Koμplungsbox und Gegenkopplung bzw. deren Baueinheiten ohne gegenseitiges Verschieben von Prozeßmodul und Medienbus nur durch die gegenseitige, vorzugsweise automatische, sensorgesteuerte Verschiebung von Kopplungsbox und/oder Gegenkopplung oder von Baueinheiten davon erfolgt.
Zur automatischen Kopplung kann die Koppeleinrichtung einen Kraftzylinder aufweisen, mittels dessen Kolbenstange die Kopplungsbox und die Gegenkopplung bzw. die Baueinheiten, wie deren Kopplungsplatten zusammenziehbar und ggf. gesteuert trennbar sind. Besonders vorteilhaft kann die Koppeleinrichtung mindestens eine motorisch angetriebene Gewindestange aufweisen, mittels der und mindestens einer Gewindebohrung kann dann die Kopplungsbox und die Gegenkopplung bzw. Baueinheiten hiervon, zusammenziehbar und gesteuert trennbar sein. Um Verkantungen zu vermeiden kann die Koppeleinrichtung im Kraftschwerpunkt der auftretenden Kräfte beim Koppelvorgang in der Kopplungsbox und der Gegenkopplung angeordnet sein.
Die stromführenden Kupplungen und Stecker können zur Vermeidung der Anordnung besonderer Schalter explosionsgeschützt ausgebildet sein und es können hierzu die stromführenden Teile von einem Abschirmmantel umschlossen sein, wobei die Abschirmung beim axialen Verbinden und Lösen der stromführenden Leitungen noch erhalten ist. Zweckmäßigerweise kann zur Abschirmung ein Außenmantel am Stecker und ein Innenmantel an der Kupplung oder umgekehrt vorgesehen sein, die während des KoppelVorgangs und im Betrieb einen geschlossenen Raum bilden, dabei ist die Überdeckungslänge von Außenmantel und Innenmantel größer als die Kontaktlänge von Stecker und Kupplung.
Zur weiteren Minderung der Explosionsgefahr kann der Innenraum von Außenmantel von Innenmantel mit einem Schutzgas bspw. Stickstoff, flutbar sein.
Zum Toleranzausgleich bei der Anordnung von Steckern und Kupplungen können diese federnd nachgiebig in der Kopplungsbox bzw. Gegenkopplung angeordnet sein.
Die einzelnen Stecker und Kupplungen sind zweckmäßigerweise leicht austauschbar in der Kopplungsbox bzw. Gegenkopplung eingesetzt, um eine sehr variable Medienführung zu erhalten. Ein späteres Auswechseln .einzelner Kupplungen und Stecker erfordert nur eine geringe Modifikation der Haltebuchsen, so daß die standardisierte Anordnung und Aufteilung erhalten bleibt.
Um Verunreinigungen der Medien nach Möglichkeit ganz zu vermeiden sind mindestens die Kupplungen und die Stecker aus kontaminationsarmem Material hergestellt. Irgendein Materialabrieb beim Kuppeln und Entkuppeln soll wenn irgendmöglich völlig vermieden werden. Zumindest die Oberflächen müssen daher entsprechend gestaltet sein. Zur weiteren Verminderung der Gefahr von einer unerwünschten Kontamination können die Kupplungen und Stecker für die reinsten Medien oben in den Kopplungsboxen und Gegenkopplungen und die Kupplungen und Stecker für die Medien, von denen eine größere Kontaminationsgefahr ausgeht, im unteren Bereich der Kopplungsboxen und Gegenkopplungen vorgesehen sein. Insbesondere werden also die elektrischen Zuleitungen, die ja gegen Verunreinigungen unempfindlich sind und bei denen keine Gefahr der Eintragung von Verunreinigungen in die Prozeßmodule besteht, im unteren Bereich der Kopplungsboxen und Gegenkopplungen angeordnet" sein. Hier besteht auch keine Verunreinigungsgefahr, wenn von einer darüber liegenden Leitung beim Abtrennen oder Ankoppeln Flüssigkeiten oder dgl. abtropfen.
Weitere erfindungsgemäße Ausbildungen sind den Unteransprüchen zu entnehmen und werden mit ihren Vorteilen anhand der beigefügten Zeichnungen in der nachstehenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigt:
Figur 1 ein Fertigungssystem mit Prozeßmodulen und einem Medienmodul, angekoppelt an einen Medienbus in Schrägansicht, teilweise geschnitten;
Figur 2 eine Schrägansicht eines Medienbusses mit im
Rasterabstand angeordneten Kopplungsboxen; Figur 3 mit Steckern und Kupplungen bestückte busseitige und odulseitige Kopplungsplatten;
Figur 4 eine Medienkupplung bestehend aus Stecker und Kupplung und
Figur 5 eine Draufsicht auf eine explosionsgeschützte Ausführung einer Kupplung.
Das in Figur 1 schematisch dargestellte Fertigungssystem besteht aus parallel nebeneinander angeordneten Prozeßmodulen 1, einem Medienmodul 2 und einem Medienbus 3. Jeder Modul 1 , 2 ist jeweils über eine Kopplungsbo'x 4 und eine Gegenkopplung 4' mit dem Medienbus 2 verbunden. Die Kopplungsboxen 4 sind entsprechend der Rasterbreite der Prozeßmodule 1 und Medienmodule 2 am Medienbus 3 fest angeordnet.
Im Medienbus 3 sind alle erforderlichen Versorgungs- und Entsorgungsleitungen 5 angeordnet, die mit Kupplungen 6 bzw. Steckern 7 der Kopplungsboxen 4 in Verbindung stehen. Über diese Versorgungs- und Entsorgungsleitungen 5 können alle erforderlichen Chemikalien, Gase, Flüssigkeiten, aber auch Energie und Daten, zugeführt, abgeführt oder ausgetauscht werden, zwischen den einzelnen Prozeßmodulen 1 , dem Medienbus 3 und dem oder den Medienmodulen 2. Die Versorgungs- und Entsorgungsleitungen 5 des Medienbusses 3 selbst können mit einer ZentralVersorgung oder weiteren austauschbaren Medienmodulen 2 verbunden sein, um eine Versorgung und Entsorgung mit allen erforderliche Medien zu gewährleisten. Bei den genannten Versorgungs- und Entsorgungsleitungen 5 sind auch Steuer- und Meßleitungen für die Steuerung und Überwachung der Fertigungsprozeße mit umfaßt.
Der Aufbau des Medienbusses 3 mit seinen im Rasterabstand angeordneten Kopμlungsboxen 4 ist in Figur 2 näher dargestellt. Die Versorgungs- und Entsorgungsleitungen 5 des Medienbusses 3 sind in einem' langgestreckten Kanal 8 abgeschirmt, ggf. noch in besonders abgeteilten Kanälen 9 geführt und in nicht dargestellter Weise mit den einzelnen Kupplungen 6 der Kopplungsboxen 4 verbunden. Die Kupplungen 6 selbst sind, wie in Figur 3 näher dargestellt, auf oder in einer Kopplungsplatte 10 angeordnet. Die Kopplungsplatten 10 der einzelnen Kopplungsboxen 4 sind auf Führungsstangen 11 verschiebbar am Kopplungsboxrahmen 12 geführt und zwar senkrecht zum Medienbus 3, entsprechend dem Pfeil 13, in Fig. 3. Selbstverständlich ist der Verschiebeweg begrenzt. Der Verschiebeweg' ist aber so groß, daß die einzelnen einander zugeordneten Kupplungen 6 und Stecker 7 der Kopplungsplatte 10 und einer entsprechenden Kopplungsplatte 10' , des zugeordneten Prozeßmoduls 1 oder Medienmoduls 2 zusammnenführbar und trennbar.
Auf der Kopplungsplatte 10' sind die entsprechenden Stecker 7 und/oder Kupplungen 6 der Versorgungs- und Entsorgungsleiten 5 des zugeordneten Prozeßmoduls 1 oder Medienmoduls 2 angeordnet, so daß durch Zusammenführen der Kopplungsplatten 10, 10' eine Verbindung dieser Versorgungsleitungen 5 von Medienbus 3 und Prozeßmodul 1 bzw. Medienmodul 2 erfolgen kann. Hierzu wird* der Prozeßmodul 1 oder Medienmodul 2 an die gewünschte Stelle des Medienbusses 3 bis zu einem Anschlag herangeschoben, wobei die Kopplungsplatte 10 auf den Führungsstangen 11 zurückgefahren ist. Etwa im Kraftschwerpunkt der Kopplungsplatte -10 ist eine Kopplungseinrichtung 14, im Ausführungsbeispiel 1 ein pneumatischer Zylinder, angeordnet, dessen Kolbenstange einen beweglichen Haken 14' aufweist, der mit einem Hakengegenstück 14" der anderen Kopplungsplatte 10' zusammenwirkt. Durch einen Schaltkontakt wird der bewegliche Haken 14' mit dem Hakengegenstück 14" gekoppelt und durch Einziehen der Kolbenstange in der Koppeleinrichtung 14 werden die beiden Kopplungsplatten 10, 10' zusammengezogen und damit die Kupplungen 6 und Stecker 7 miteinander verbunden, ohne daß zur Herstellung der Verbindung äußere Kräfte auf den anzuschließenden Prozeßmodul 1 oder Medienmodul 2 aufgewendet werden müssen. Zur gegenseitigen exakten Führung in Verbindungsrichtung sind auf der Kopplungsplatte 10 verteilt, Führungsbolzen 15 vorgesehen, die mit Führungsbuchsen 15' der Kopplungsplatte 10' zusammenwirken. Durch einen Kontaktschalter 16 kann der Kopplungsvorgang gesteuert und überwacht werden. Zum Ausgleich geringfügiger Maßabweichungen ist die Koμplungsplatte 10' über Gummilager 17 etwas beweglich am Gestell 18 des betreffenden Prozeßmoduls 1 bzw. Medienmoduls 2 angeordnet.
Für den nachträglichen Anschluß weiterer Versorgungs- und Entsorgungsleitungen 5 können in den Kopplungsplatten 10, 10' für weitere Kupplungen 6 und/oder Stecker 7, Blindöffnungen 19 vorgesehen sein. Stecker 7 und Kupplungen 6 können auch je nach Zweckmäßigkeit vertauscht auf den Kopplungsplatten 10, 10' angeordnet sein.
In Figur 4 ist die Befestigung eines Steckers 6 und einer Kupplung 7 an den Kopplungsplatten 10, 10' in größerem Maßstab im Teilschnitt dargestellt. Die Kupplung 6 ist schwimmend über Haltebüchsen 20, 21 zwischen Rundschnurdichtringen in Form von O-Ringen 22, 23 gelagert und weist hierzu einen Bund 24 auf. Der Stecker 7 ist am Boden 25 einer Haltebuchse 26, diese durchdringend durch eine Mutter 27 leicht austauschbar befestigt. Der Anschluß einer Versorgungs- oder Entsorgungsleitung 5 ist beim Stecker 7 angedeutet.
Üblicherweise sollte das An- und Abkoppeln elektrische Spannungen führender Versorgungs- oder Entsorgungsleitungen 5 in spannungslosem Zustand erfolgen. Sollte dies nicht möglich sein, so kann entsprechend der Darstellung in Figur 5 für Elektro- und Datenleitungen die dort dargestellte Kupplung 6 verwendet werden, in der speziell bspw. eine Datenkupplung 6' und eine Elektrokupplung 6" oder entsprechende Stecker angeordnet sein können. Durch einen Außenmantel 28 und beim Gegenstück durch einen entsprechend angeordneten Innenmantel wird der Kupplungsbereich der Datenkupplung 6' und der Elektrokupplung 6" hermetisch abgeschottet. Der so gebildete Innenraum kann bspw. durch die Bohrungen 29 mit Stickstoff geflutet werden, um so jede gefährdende Funkenbildung unschädlich zu machen.

Claims

ANSPRÜCHE
1. Fertigungssystem für Substrate, insbesondere Wafer, Glasmasken, Keramikträger, mit einzelnen Prozeßstationen für die Behandlung und/oder Bearbeitung der einzelnen Substrate unter Reinumgebung und Transportvorrichtungen zum Transport der Substrate zwischen den einzelnen Prozeßstationen, wobei die einzelnen Prozeßstationen über Versorgungs- und Entsorgungsleitungen (5) mit den erforderlichen Chemikalien, Gasen, Flüssigkeiten, Daten, Energie, versorgt und entsorgt sind, dadurch gekennzeichnet, daß alle Versorgungs- und Entsorgungsleitungen (5) in einem Medienbus (3) parallel zu in austauschbaren Prozeßstationen angeordneten Prozeßmodulen (1) geführt sind, daß im Rasterabstand der Prozeßmodule (1) am Medienbus (3) Kopplungsboxen (4) angeordnet sind, und daß an jeden der leicht austauschbaren Prozeßmodule (1) und ggf. Medienmodule (2) den Kopplungsboxen entsprechend jeweils eine Gegenkopplung (41) vorgesehen ist, und daß durch Zusammenführen von Kopplungsbox (4) und Gegenkopplung (41) die Verbindungen der Versorgungs- und Entsorgungsleitungen (5) hergestellt und durch Trennen von Kopplungsbox (4) und Gegenkopplung (41) diese Verbindungen unterbrochen sind.
2. Fertigungssystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in der Kopplungsbox (4) Kupplungen (6) und/oder Stecker (7) und jeweils zugeordnet in der Gegenkopplung (4') Stecker (7) und/oder Kupplungen (6) vorgesehen sind, die jeweils mit den entsprechenden zugeordneten Versorgungs- oder Entsorgungsleitungen (5) des Medienbusses (2) bzw. des Prozeßmoduls (1) bzw. des Medienmoduls (2) verbunden sind.
3. Fertigungssystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Kopplungsboxen (4) und die Gegenkopplungen (41 ) gegenseitige Führungen aufweisen, durch die eine gleichzeitige fluchtende Zusammenführung der einzelnen Stecker (7) und Kupplungen (6) gewährleistet ist, wobei alle Stecker (7) und Kupplungen (6) parallel zu den gegenseitigen Führungen zusammenfügbar bzw. trennbar sin .
4. Fertigungssystem nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Stecker (7) und/oder die "Kupplungen (6) für flüssige oder gasförmige Medien, Selbstschlußventile aufweisen und daß bei der Trennung von Kopplύngsbox (4) und Gegenkopplung (41) mindestens die druckführenden Versorgungs- und Entsorgungsleitungen (5) verschlossen sind und daß bei zusammengeführter Kopplungsbox (4) und Gegenkopplung (4' ) die Versorgungs- und Entsorgungsleitungen (5) des Medienbusses (2) mit den zugeordneten Versorgungs- und Entsorgungsleitungen (5) des zugeordneten Prozeßmoduls (1 ) bzw. Medienmoduls (2) durchgängig verbunden sind.
5. Fertigungssystem nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß sowohl die Kopplungsbox (4) als auch die Gegenkopplung (41) jeweils eine Kopplungsplatte (10,10') aufweisen, und daß auf oder in diesen Kopplungsplatten (10,10') einander zugeordnet die Stecker (7) und Kupplungen (6) vorgesehen sind.
6. Fertigungssystem nach Anspruch 3 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die gegenseitigen Führungen durch zugeordnete Führungsbolzen (15) und Führungsbuchsen (15') gebildet sind, von denen mindestens zwei, vorzugsweise 3, mit Abstand verteilt auf den Kopplungsplatten (10,10') vorgesehen sind.
7. Fertigungssystem nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß jeweils die Kopplungsbox (6) und die zugeordnete Gegenkopplung (4l) durch mindestens eine Koppeleinrichtung (14) zusammenbringbar und ggf. wieder trennbar sind.
8. Fertigungssystem nach Anspruch 7. dadurch gekennzeichnet, daß die Kopplungsbox (4) und/oder die Gegenkopplung (4') oder Baueinheiten hiervon, in Kopplungsrichtung verschiebbar, .am Medienbus (3) und/oder am Prozeßmodul (1) und/oder Medienmodul (2) vorgesehen sind.
9. Fertigungssystem nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Kopplung von Kopplungsbox (4) und Gegenkopplung (4') automatisch, vorzugsweise über eine Kontaktsteuerung ausgelöst, erfolgt.
10. Fertigungssystem nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Prozeßmodul (1) gegenüber dem'Medienbus (3) in senkrechter Richtung verschiebbar geführt ist und daß die Kontaktsteuerung bei Erreichen einer Endlage oder kurz vor Erreichen der Endlage ausgelöst wird.
11. Fertigungssystem nach Anspruch 8 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß Verbindung und Lösung von der Kopplungsbox (4) und der Gegenkopplung (4' ) bzw. deren Baueinheiten (Kopplungsplatten 10, 10' ) ohne gegenseitige Verschiebung von Prozeßmodul (1) und Medienbus (3) nur durch die gegenseitige Verschiebung von Kopplungsbox (4) und/oder Gegenkopplung (4" ) oder von Baueinheiten, davon insbesondere durch eine verschiebbare Kopplungsplatte (10) erfolgt .
12. Fertigungssystem nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Koppeleinrichtung (14) einen Kraftz linder aufweist, mittels dessen Kolbenstange die Kopplungsbox (4) und die Gegenkopplung (41 ) bzw. . Baueinheiten hiervon (Kopplungsplatten 10,10' ) , zusammenziehbar und ggf. gesteuert trennbar sind.
13. Fertigungssystem nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Koppeleinrichtung (14) mindestens eine motorisch angetriebene Gewindestange aufweist, mittels der und einer Gewindebohrung die Kopplungsbox (4) und die Gegenkopplung (41) bzw. Baueinheiten hiervon (Kopplungsplatten 10,10') zusammenziehbar und gesteuert trennbar sind.
14. Fertigungssystem nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Koppeleinrichtung (14) im Kraftschwerpunkt der auftretenden Kräfte beim Koppelvorgang in der Kopplungsbox (4) oder Gegenkopplung (41) angeordnet sind.
15. Fertigungssystem nach Anspruch 2, 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die stromführenden Kupplungen (6) und Stecker (7) explosionsgeschützt ausgebildet sind und daß dazu die stromführenden Teile von einem Abschirmmantel (28) umschlossen sind, wobei die Abschirmung beim axialen Verbinden und Lösen der stromführenden Leitungen noch erhalten sind.
16. Fertigungssystem nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß zur Abschirmung ein Außenmantel (28) am Stecker (7) und ein Innenmantel an der Kupplung (6) oder umgekehrt vorgesehen ist, die während des Koppelvorgangs und im Betrieb einen geschlossenen Raum bilden, wobei die Überdeckungslänge von Außenmantel (28) und Innenmantel größer ist als die Kontaktlänge von Stecker (7) und Kupplung (6).
17. Fertigungssystem nach Anspruch 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, daß der Inneπraum zwischen Außenmantel (28) und Innenmantel mit einem Schutzgas flutbar ist.
18. Fertigungssystem nach einem der Ansprüche 2 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß jeweils die Kupplung (6) und/oder der Stecker (7) federnd nachgiebig, vorzugsweise leicht austauschbar, in der Kopplungsbox (4) bzw. Gegenkopplung (4') angeordnet sind.
19. Fertigungssystem nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Kupplung (6) bzw. der Stecker (7) einen zwischen Rundschnurringen (O-Ringe 22,23) aus elastischem Material gehaltenen Bund (24) aufweisend, in einer Platte (10,10') federnd gehalten sind (Fig. 4).
20. Fertigungssystem nach einem der Ansprüche 1 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens die Kupplungen (6) und/oder die Stecker (7) aus kontaminationsarmem Material bestehen .
21. Fertigungssystem nach einem der Ansprüche 1 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß die Kupplungen (6) und Stecker (7) für die reinsten Medien oben in den Kopplungsboxen (4) - und Gegenkopplungen (41) und die Kupplungen (6) und Stecker (7) für die Medien, von denen eine größere Kontaminationsgefahr ausgeht, im unteren Bereich der Kopplungsboxen (4) und Gegenkopplung (41) vorgesehen sind.
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