EP0460386A1 - Membran für eine hydraulisch angetriebene Membranpumpe - Google Patents

Membran für eine hydraulisch angetriebene Membranpumpe Download PDF

Info

Publication number
EP0460386A1
EP0460386A1 EP91105990A EP91105990A EP0460386A1 EP 0460386 A1 EP0460386 A1 EP 0460386A1 EP 91105990 A EP91105990 A EP 91105990A EP 91105990 A EP91105990 A EP 91105990A EP 0460386 A1 EP0460386 A1 EP 0460386A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
membrane
diaphragm
connecting surfaces
membrane according
layers
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
EP91105990A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP0460386B1 (de
Inventor
Waldemar Dipl.-Ing. Horn
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Lewa GmbH
Lewa Herbert Ott GmbH and Co KG
Original Assignee
Lewa GmbH
Lewa Herbert Ott GmbH and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Lewa GmbH, Lewa Herbert Ott GmbH and Co KG filed Critical Lewa GmbH
Publication of EP0460386A1 publication Critical patent/EP0460386A1/de
Application granted granted Critical
Publication of EP0460386B1 publication Critical patent/EP0460386B1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/0009Special features
    • F04B43/0081Special features systems, control, safety measures
    • F04B43/009Special features systems, control, safety measures leakage control; pump systems with two flexible members; between the actuating element and the pumped fluid

Definitions

  • the invention relates to a diaphragm for a hydraulically driven diaphragm pump according to the preamble of claim 1.
  • the diaphragm In diaphragm pumps of this type, which are equipped with diaphragm rupture signaling for safety reasons, the diaphragm is usually made up of two or more individual layers, in order to get knowledge of this as quickly as possible in the event of a diaphragm rupture and to take appropriate measures to exchange the delivery and hydraulic fluid prevent.
  • the rapid signaling of the membrane rupture is made possible here by a connection from the membrane space formed between the membrane single-cell layers to a display device.
  • the invention is therefore based on the object of designing the diaphragm of the generic type provided for a hydraulically driven diaphragm pump in such a way that a simple, reliable coupling of the diaphragm systems is achieved with simple means both in the pressure stroke and in the suction stroke, and at the same time with certainty crack formation in one Membrane system can be signaled immediately.
  • the membrane according to the invention is based on the idea of connecting the individual membrane systems to one another for purely mechanical coupling both in the pressure stroke and in the suction stroke via a large number of connecting surfaces with the formation of intermediate free spaces or free spaces. To achieve this practically, it would be conceivable to glue the membrane systems together. However, the adhesive layer arranged between the membrane layers would be subjected to high shear forces at high pressure, which would lead to premature failure of the connection.
  • a preferred embodiment of the invention provides that the membrane systems consist of plastic, in particular fluoroplastic, and that the connecting surfaces are formed by welding the membrane systems.
  • plastic in particular fluoroplastic
  • fluoroplastics enable a compact and inexpensive pump design.
  • the preferred fluoroplastic is polytetrafluoroethylene (PTFE), which is characterized by almost unlimited resistance to media and good flexibility.
  • PTFE is difficult to weld due to its high melt viscosity.
  • modified PTFE grades for example, as material for the membrane systems, which are known from the sales information VM423, p. 11, from Hoechst AG, Frankfurt, and have good welding properties. The welding process takes place at around 360 to 390 ° C.
  • one or more thin intermediate layers of copolymers with 90 to 99.5% by weight of PTFE and 0.5 to 10% by weight of perfluoroalkyl-perfluorovinyl ether between the membrane layers. This creates the Welded joint under pressure and temperature, the temperature being 360 to 390 ° C, ie above the melting point of PTFE (325 ° C).
  • the connecting surfaces are designed to be as small as possible with the formation of the largest possible open spaces or free spaces. At the same time, it is advisable to make the design in such a way that the connecting surfaces have the smallest possible distance between them. It is also advantageous if the connecting surfaces are largely evenly distributed.
  • connection surfaces either as - radially extending - connecting strips or to design them as connecting points.
  • the individual connection points or surfaces are dimensioned in such a way that, on the one hand, a secure connection is formed and, on the other hand, membrane cracks that arise within a weld connection point spread to the area outside the weld connection point before one through all layers continuous crack occurs. This ensures fault-free membrane rupture signaling.
  • connection points are designed as welding spots, good results can be achieved if the welding spots have a diameter of 3 to 5 mm.
  • the distance between the connection points which is preferably as small as possible, should be chosen so that the membrane layers between the connection points do not stand out significantly from one another during the suction process, since the distance increases with increasing distance Suction head would reduce the delivery capacity of the pump. It has been shown that a favorable distance between the weld connection points is, for example, in the range of approximately 10 to 15 mm.
  • the connecting surfaces are arranged exclusively in the deflection zone, such that the deflection zone the edge of the membrane has a connection-free peripheral area, for example of 5 to 10 mm in width.
  • the outer membrane layers can be mechanically connected to one another by arranging an intermediate layer.
  • the arrangement is either such that the intermediate layer consists of a separating fabric or a separating fleece, in which the gaps provided in each case, together with the free spaces between the membrane systems, form the intermediate membrane space associated with the display device.
  • the intermediate layer which consists of the material of the outer membrane layers and is provided with slots. In this case, the slits together with the free spaces between the membrane layers form the intermediate membrane space.
  • the hydraulically driven diaphragm pump shown has a diaphragm 1 to be described in more detail.
  • This is provided with an edge-side clamping zone A, on which it is clamped between a pump housing 2 and a pump cover 3 which is detachably attached to the end thereof.
  • the membrane 1 separates a delivery chamber 4 from a pressure chamber 5 filled with hydraulic fluid.
  • the latter is connected to a hydraulic chamber 7 via a plurality of axial bores 6 on the housing side.
  • the diaphragm pump shown has a hydraulic diaphragm drive in the form of an oscillating displacement piston 8, which can be displaced in a sealed manner in the pump housing 2 between the hydraulic space 7 and a storage space 9 for the hydraulic fluid.
  • the pressure chamber 5 is delimited on the one hand by the membrane 1 and on the other hand by a rear calotte 10 on the piston side.
  • the membrane 1 lies against this rear limitation cap 10 at the end of the suction stroke.
  • the pump cover 3 in which a front limiting cap 11 is also formed, has an inlet valve 12 and an outlet valve 13 in the usual manner. These two valves 12, 13 are connected via an inlet duct 14 and an outlet duct 15 to the delivery chamber 4 in such a way that the conveying medium during the suction stroke of the displacer 8 and thus the diaphragm 1 to the right according to FIG. 1 and thus the diaphragm 1 in the direction of the arrow via the inlet valve 12 and the inlet channel 14 is sucked into the delivery chamber 4.
  • the pumped medium is then pressed out of the pumping chamber 4 in a metered manner via the outlet channel 15 and the outlet valve 13.
  • the membrane 1 is designed in the illustrated embodiment as a two-layer membrane with two individual layers 20, 21, between which a membrane space 19 is formed.
  • this membrane interspace 19 is used for rapid membrane rupture signaling, by means of a corresponding display device 22, which is connected to the membrane interspace 19.
  • the individual membrane layers 20, 21 are held at a distance in their edge-side clamping zone A by a ring 23, as is also clearly evident from FIG. 4.
  • This ring 23 is provided with one or more channels 24, which establish the connection between the membrane space 19 and the interior of the membrane rupture indicator 22.
  • this display device 22 is designed as a membrane pressure switch, which responds as soon as one of the membrane systems 20, 21 breaks, the liquid pressure - either from the delivery chamber 4 or from the pressure chamber 5 - propagates into the membrane interspace 19 and from there to the membrane pressure switch 22.
  • the membrane breakage can then be remotely reported by means of a correspondingly connected acoustic display 25 and / or an optical display 26.
  • connection points 27 are formed in the manner already mentioned by welding the membrane layers 20, 21, the membrane for this purpose consisting of suitable fluoroplastic in the manner also described above.
  • the connection points 27 are arranged in a membrane area surrounded by the edge-side clamping zone A, which represents the active deflection zone B of the membrane 1 and is connected to the clamping zone A by means of a bending or transition zone C.
  • connection points 27 Since this transition zone C is most heavily loaded by the membrane movement, this area is advantageously not affected at all by connection points 27. Instead, the connection points 27 that are furthest from the outside, as can be seen in FIG. 2, are at a certain minimum distance, for example 5-10 mm, from the transition zone C.
  • connection points 27 have a diameter of, for example, 3-5 mm, are largely evenly distributed and have the smallest possible distance between them, for example 10-15 mm, but at the same time it must be ensured that the free spaces formed between the connection points 27 separate the membrane space 19 form.
  • the outer membrane layers 20, 21 are mechanically connected to one another with the arrangement of an intermediate layer 28 by means of the connection points 27.
  • the intermediate layer 28 is produced from the material of the diaphragm layers 20, 21 and is provided with slots 29 which run, for example, in the manner shown in FIG. 5. These slots 29 have a length at least corresponding to the width of the clamping zone A.
  • the slots 29 provided in the intermediate layer 28 thus form together with the between the connecting points 27, free spaces formed by channels which establish the connection from the active deflection zone B through the clamping zone A to the outside, for example to the diaphragm rupture indicator device 22.
  • the sandwich structure of the membrane 1 can be produced or achieved in larger dimensions as a semi-finished product.
  • the individual membrane layers 20, 21 and also the intermediate layer 28 can be manufactured by simple punching out, so that overall simple production is ensured.
  • the connecting surfaces are not designed in the form of connecting points, but rather as connecting strips 30, which run radially in the manner shown and also a purely mechanical coupling of both the pressure stroke and the suction stroke of the membrane 1 Effect membrane systems 20, 21.
  • the two membrane layers 20, 21 of the membrane 1 are also kept at a distance by an intermediate layer 31.
  • This intermediate layer 31 consists of a separating fabric or a separating fleece which forms a channel system between the membrane layers 20, 21 with its gaps.
  • the membrane layers 20, 21 are connected to one another via connection points 27 - similar to the embodiments according to FIG. 2 or 5.

Abstract

Bei einer Membran 1 für eine hydraulisch angetriebene Membranpumpe, die mit einer Vorrichtung 22 zur Anzeige eines Membranbruchs versehen ist, wobei die randseitig zwischen Pumpengehäuse 2 und Pumpendeckel 3 eingespannte Membran 1 aus wenigstens zwei Einzellagen 20, 21 besteht, zwischen denen ein Membranzwischenraum 19 gebildet ist, der mit der Anzeigevorrichtung 22 in Verbindung steht, ist die Ausbildung derart getroffen, daß die einzelnen Membranlagen 20, 21 zur rein mechanischen Kopplung sowohl im Druckhub als auch im Saughub über eine Vielzahl von Verbindungsflächen 27 bzw. 30 unter Bildung von dazwischenliegenden Freiflächen bzw. Freiräumen miteinander verbunden sind. <IMAGE>

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Membran für eine hydraulisch angetriebene Membranpumpe gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
  • Bei derartigen Membranpumpen, die aus Sicherheitsgründen mit einer Membranbruchsignalisierung ausgestattet sind, ist die Membran üblicherweise aus zwei oder mehr Einzellagen aufgebaut, um im Fall eines Membranbruchs so schnell wie möglich Kenntnis hierüber zu erhalten und durch Ergreifen entsprechender Maßnahmen einen Austausch von Förder- und Hydraulikflüssigkeit zu verhindern. Die schnelle Signalisierung des Membranbruchs wird hierbei durch eine Verbindung von dem zwischen den Membraneinzellagen gebildeten Membranzwischenraum zu einer Anzeigevorrichtung ermöglicht.
  • Um insbesondere im Saughub ein unerwünschtes Lösen der Einzellagen der Membran voneinander zu verhindern, ist es erforderlich, die Einzellagen der Membran in geeigneter Weise anzuordnen und miteinander zu koppeln. In diesem Zusammenhang ist es bereits bekannt (DE-PS 710 320), die Membran aus drei Einzellagen zu bilden, die lose aufeinander liegen. Dies hat jedoch den Nachteil, daß bei Saugbetrieb eine mangelnde Betriebssicherheit gegeben ist, da sich die Einzellagen der Membran voneinander lösen können.
  • Zur Beseitigung dieses Nachteils ist es schon bekannt (DE-AS 12 26 740), den zwischen zwei Einzellagen der Membran gebildeten Membranzwischenraum zu evakuieren. Diese Maßnahme gewährleistet zwar eine gewisse Kopplung der Membranlagen, insbesondere im Saugbetrieb. Jedoch ist der Nachteil gegeben, daß ein großer apparativer Aufwand erforderlich ist, weil u.a. eine Vakuumpumpe vorgesehen sein und praktisch ständig betrieben werden muß, um den Membranzwischenraum evakuiert zu halten und die Kopplung zu gewährleisten.
  • Der vorerwähnte Nachteil wird bei einer weiteren bekannten Membrananordnung (DE-PS 1 800 018) wirkungsvoll dadurch vermieden, daß der zwischen den Einzellagen der Membran gebildete Membranzwischenraum mit einem Hydraulikmedium gefüllt ist, wobei der Membranzwischenraum nach außen durch ein Rückschlagventil verschlossen ist, derart, daß das Hydraulikmedium lediglich nach außen austreten kann. Hierdurch ergibt sich eine einwandfreie hydraulische Kopplung der Membranlagen im Saughub, wobei gleichzeitig eine mechanische Kopplung im Druckhub vorliegt. Eine derartige Ausbildung erfordert jedoch eine einwandfreie Befüllung des Membranzwischenraums mit Hydraulikmedium. Außerdem kann bei großer Ansaughöhe im Membranzwischenraum Gasbildung auftreten, was zum Leistungsabfall der Pumpe führt.
  • Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, die für eine hydraulisch angetriebene Membranpumpe vorgesehene Membran der gattungsgemäßen Art derart auszugestalten, daß mit einfachen Mitteln sowohl im Druckhub als auch im Saughub eine einwandfreie, zuverlässige Kopplung der Membranlagen erzielt ist und gleichzeitig mit Sicherheit eine Rißbildung in einer Membranlage sofort signalisiert werden kann.
  • Diese Aufgabe wird bei der erfindungsgemäß ausgestalteten Membran mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen hiervon sind in den weiteren Ansprüchen beschrieben.
  • Der Membran gemäß der Erfindung liegt der Gedanke zugrunde, die einzelnen Membranlagen zur rein mechanischen Kopplung sowohl im Druckhub als auch im Saughub über eine Vielzahl von Verbindungsflächen unter Bildung von dazwischenliegenden Freiflächen bzw. Freiräumen miteinander zu verbinden. Um dies praktisch zu erreichen, wäre zwar denkbar, die Membranlagen miteinander zu verkleben. Jedoch wäre die zwischen den Membranlagen angeordnete Klebschicht bei hohem Druck großen Scherkräften unterworfen, was zu vorzeitigem Ausfall der Verbindung führen würde.
  • Stattdessen sieht eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung vor, daß die Membranlagen aus Kunststoff, insbesondere aus Fluorkunststoff, bestehen und daß die Verbindungsflächen durch Verschweißen der Membranlagen gebildet sind. Derartige Fluorkunststoffe ermöglichen eine kompakte und preisgünstige Pumpenbauform. Vorzugsweise gelangt als Fluorkunststoff Polytetrafluoräthylen (PTFE) zum Einsatz, das sich durch eine fast uneingeschränkte Beständigkeit gegen Medien sowie durch gute Flexibilität auszeichnet.
  • Reines PTFE läßt sich aufgrund seiner hohen Schmelzviskosität zwar nur schwer verschweißen. Diesem Umstand läßt sich jedoch wirkungsvoll dadurch begegnen, daß beispielsweise als Material für die Membranlagen modifizierte PTFE-Sorten verwendet werden, die aus der Verkaufsinformation VM423, S. 11, der Firma Hoechst AG, Frankfurt, bekannt sind und gute Schweißeigenschaften aufweisen. Hierbei erfolgt der Schweißvorgang bei etwa 360 bis 390°C.
  • Stattdessen ist es auch möglich, zwischen den Membranlagen eine oder mehrere dünne Zwischenlagen aus Copolymeren mit 90 bis 99,5 Gew.-% PTFE und 0,5 bis 10 Gew.-% Perfluoralkyl-perfluorvinyläther vorzusehen. Hierbei entsteht die Schweißverbindung unter Druck und Temperatur, wobei die Temperatur bei 360 bis 390°C liegt, d.h. oberhalb des Schmelzpunktes von PTFE (325°C).
  • Mit derartigen Schweißverbindungen lassen sich Schweißfaktoren von bis zu 1,0 erreichen. Dies bedeutet, daß die Festigkeit der die jeweilige Verbindungsfläche bildenden Schweißstelle derjenigen des Grundwerkstoffes entspricht.
  • Es ist von Vorteil, wenn die Verbindungsflächen unter Bildung größtmöglicher Freiflächen bzw. Freiräume so klein wie möglich ausgestaltet sind. Hierbei empfiehlt es sich gleichzeitig, die Ausgestaltung derart zu treffen, daß die Verbindungsflächen einen geringstmöglichen Abstand zwischen sich aufweisen. Weiterhin ist es von Vorteil, wenn die Verbindungsflächen weitgehend gleichmäßig verteilt sind.
  • Es liegt im Rahmen der Erfindung, die Verbindungsflächen entweder als - radial verlaufende - Verbindungsstreifen auszubilden oder als Verbindungspunkte auszugestalten. In jedem Fall sind hierbei die einzelnen Verbindungsstellen bzw. -flächen in ihrem Durchmesser so dimensioniert, daß einerseits eine sichere Verbindung gebildet ist und daß andererseits Membranrisse, die innerhalb einer Schweißverbindungsstelle entstehen, sich auf den Bereich außerhalb der Schweißverbindungsstelle ausbreiten, bevor ein durch alle Schichten durchgehender Riß entsteht. Dadurch ist eine einwandfreie Membranbruchsignalisierung gewährleistet.
  • Im Fall der Ausbildung der Verbindungsstellen als Schweißpunkte lassen sich gute Ergebnisse erzielen, wenn die Schweißpunkte einen Durchmesser von 3 bis 5 mm aufweisen. Der Abstand zwischen den Verbindungspunkten, der vorzugsweise ein geringstmögliches Ausmaß aufweist, soll so gewählt sein, daß die Membranlagen zwischen den Verbindungspunkten während des Saugvorganges nicht nennenswert voneinander abheben, da sich bei zu großem Abstand mit zunehmender Saughöhe die Förderleistung der Pumpe vermindern würde. Es hat sich gezeigt, daß ein günstiger Abstand zwischen den Schweißverbindungspunkten beispielsweise im Bereich von etwa 10 bis 15 mm liegt.
  • Weitere Vorteile ergeben sich, wenn bei der erfindungsgemäß ausgestalteten Membran, die üblicherweise eine randseitige Einspannzone, eine die Förderung aktiv bewirkende Auslenkzone und eine Biege- oder Übergangszone zwischen Einspannzone und Auslenkzone aufweist, die Verbindungsflächen ausschließlich in der Auslenkzone angeordnet sind, derart, daß die Auslenkzone der Membran randseitig einen verbindungsfreien umlaufenden Bereich, beispielsweise von 5 bis 10 mm Breite, aufweist.
  • Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung können die äußeren Membranlagen unter Anordnung einer Zwischenlage mechanisch miteinander verbunden sein. Hierbei ist die Anordnung entweder derart getroffen, daß die Zwischenlage aus einem Trenngewebe oder einem Trennvlies besteht, bei dem die jeweils vorgesehenen Zwischenräume zusammen mit den Freiräumen zwischen den Membranlagen den mit der Anzeigevorrichtung in Verbindung stehenden Membranzwischenraum bilden. Stattdessen ist es auch möglich, als Zwischenlage eine solche zu verwenden, die aus dem Werkstoff der äußeren Membranlagen besteht und mit Schlitzen versehen ist. Hierbei bilden dann die Schlitze zusammen mit den Freiräumen zwischen den Membranlagen den Membranzwischenraum.
  • In jedem Fall wird aufgrund der Membran gemäß der Erfindung eine einfache Handhabung bei der Membranmontage sowie beim Membranwechsel erzielt, da die Membran als Verbundteil in der Handhabung sehr einfach ist und keinerlei gesonderten Aufwand zu ihrer Inbetriebnahme erfordert. Die zwischen den Membranlagen vorgesehene rein mechanische Kopplung funktioniert im Saughub auf Dauer störungsfrei, und zwar unabhängig von den jeweiligen Betriebsparametern. Hierbei haben hohe Betriebstemperaturen, z.B. 150°C, und hohe Drücke, z.B. 350 bar, auf die erfindungsgemäß vorgesehene Verbindung keinerlei Einfluß. Schließlich ist auch zwischen den einzelnen Membranlagen jegliche Relativbewegung unterbunden, so daß somit kein Reibverschleiß auftritt.
  • Die Erfindung wird im folgenden anhand der Zeichnung näher erläutert. Hierbei zeigen:
  • Fig. 1
    im Querschnitt eine mit der erfindungsgemäßen Membran ausgestattete, hydraulisch angetriebene Membranpumpe;
    Fig. 2
    die Membran gemäß der Erfindung schematisch in Draufsicht sowie
    Fig. 3
    im Querschnitt;
    Fig. 4
    im Querschnitt das randseitige Detail der Membran gemäß Fig. 3 in vergrößertem Maßstab;
    Fig. 5
    eine abgewandelte Ausführungsform der Membran in teilweise geschnittener Draufsicht und
    Fig. 6
    im Querschnitt;
    Fig. 7
    eine weitere abgewandelte Ausführungsform der Membran mit als Verbindungsstreifen ausgestalteten Verbindungsflächen schematisch in Draufsicht und
    Fig. 8
    im Querschnitt sowie
    Fig. 9
    im Querschnitt eine weitere abgewandelte Ausführungsform der Membran.
  • Wie aus Fig. 1 ersichtlich, weist die dargestellte hydraulisch angetriebene Membranpumpe eine noch näher zu beschreibende Membran 1 auf. Diese ist mit einer randseitigen Einspannzone A versehen, an der sie zwischen einem Pumpengehäuse 2 sowie einem hieran stirnseitig lösbar festgelegten Pumpendeckel 3 eingespannt ist. Die Membran 1 trennt einen Förderraum 4 von einem mit Hydraulikflüssigkeit gefüllten Druckraum 5. Letzterer steht über mehrere gehäuseseitige axiale Bohrungen 6 mit einem Hydraulikraum 7 in Verbindung. Die dargestellte Membranpumpe weist einen hydraulischen Membranantrieb in Form eines oszillierenden Verdrängerkolbens 8 auf, der im Pumpengehäuse 2 abgedichtet zwischen dem Hydraulikraum 7 und einem Vorratsraum 9 für die Hydraulikflüssigkeit verschiebbar ist.
  • Wie ersichtlich, wird der Druckraum 5 einerseits durch die Membran 1 sowie andererseits durch eine hintere kolbenseitige Kalotte 10 begrenzt. Die Membran 1 liegt dieser hinteren Begrenzungskalotte 10 am Ende des Saughubes an.
  • Der Pumpendeckel 3, in dem auch eine vordere Begrenzungskalotte 11 gebildet ist, weist in der üblichen Weise ein Einlaßventil 12 sowie ein Auslaßventil 13 auf. Diese beiden Ventile 12, 13 stehen über einen Einlaßkanal 14 sowie einen Auslaßkanal 15 derart mit dem Förderraum 4 in Verbindung, daß das Fördermedium bei dem nach rechts gemäß Fig. 1 erfolgenden Saughub des Verdrängerkolbens 8 und damit der Membran 1 in Pfeilrichtung über das Einlaßventil 12 und den Einlaßkanal 14 in den Förderraum 4 angesaugt wird. Bei dem nach links gemäß Fig. 1 erfolgenden Druckhub der Membran 1 wird dann das Fördermedium über den Auslaßkanal 15 und das Auslaßventil 13 in Pfeilrichtung dosiert aus dem Förderraum 4 herausgedrückt.
  • Um am Ende des Saughubs eine Überlastung der Membran 1 sowie das Auftreten von Kavitation zu verhindern, ist im Pumpengehäuse 2 ein übliches federbelastetes Schnüffelventil 16 vorgesehen, das über Kanäle 17, 18 mit einer der axialen Bohrungen 6 bzw. mit dem Vorratsraum 9 in Verbindung steht und somit - einstellbar - bei einer zu großen Saughubwirkung des Verdrängerkolbens 8 die Verbindung zwischen dem Vorratsraum 9 und dem Druckraum 5 bzw. dem Hydraulikraum 7 öffnet.
  • Die Membran 1 ist beim dargestellten Ausführungsbeispiel als Zweilagenmembran mit zwei Einzellagen 20, 21 ausgestaltet, zwischen denen ein Membranzwischenraum 19 gebildet ist. Dieser Membranzwischenraum 19 dient im Fall eines Bruchs einer der Membranlagen 20, 21 zur schnellen Membranbruchsignalisierung, und zwar mittels einer entsprechenden Anzeigevorrichtung 22, die mit dem Membranzwischenraum 19 in Verbindung steht. Zu diesem Zweck sind die einzelnen Membranlagen 20, 21 in ihrer randseitigen Einspannzone A durch einen Ring 23 auf Abstand gehalten, wie gleichfalls deutlich aus Fig. 4 ersichtlich. Dieser Ring 23 ist mit einem oder mehreren Kanälen 24 versehen, welche die Verbindung zwischen dem Membranzwischenraum 19 und dem Innern der Membranbruchanzeigevorrichtung 22 herstellen.
  • Diese Anzeigevorrichtung 22 ist beim dargestellten Ausführungsbeispiel als Membrandruckschalter ausgebildet, der anspricht, sobald sich beim Bruch einer der Membranlagen 20, 21 der Flüssigkeitsdruck - entweder vom Förderraum 4 oder vom Druckraum 5 - in den Membranzwischenraum 19 und von da aus zum Membrandruckschalter 22 fortpflanzt. Durch eine entsprechend angeschlossene akustische Anzeige 25 und/oder eine optische Anzeige 26 kann dann der Membranbruch ferngemeldet werden.
  • Wie im einzelnen aus Fig. 2 - 4 ersichtlich, sind die Einzellagen 20, 21 der Membran 1 über eine Vielzahl von Verbindungsflächen in Form von Verbindungspunkten 27 unter Bildung von dazwischenliegenden Freiflächen bzw. Freiräumen miteinander verbunden, derart, daß sowohl im Druckhub als auch im Saughub der Membran 1 eine rein mechanische Kopplung vorliegt. Diese Verbindungspunkte sind in der schon erwähnten Weise durch Verschweißen der Membranlagen 20, 21 gebildet, wobei die Membran zu diesem Zweck aus geeignetem Fluorkunststoff in der ebenfalls bereits beschriebenen Weise besteht. Die Verbindungspunkte 27 sind in einem von der randseitigen Einspannzone A umgebenen Membranbereich angeordnet, der die aktive Auslenkzone B der Membran 1 darstellt und mittels einer Biege- oder Übergangszone C mit der Einspannzone A verbunden ist. Da diese Übergangszone C durch die Membranbewegung am stärksten belastet ist, ist dieser Bereich vorteilhafterweise überhaupt nicht durch Verbindungspunkte 27 beeinträchtigt. Stattdessen weisen die jeweils am weitest außen liegenden Verbindungspunkte 27, wie aus Fig. 2 ersichtlich, einen gewissen Mindestabstand, beispielsweise 5 - 10 mm, zur Übergangszone C auf.
  • Die Verbindungspunkte 27 weisen einen Durchmesser von beispielsweise 3 - 5 mm auf, sind weitgehend gleichmäßig verteilt und besitzen einen geringstmöglichen Abstand zwischen sich, beispielsweise 10 - 15 mm, wobei gleichzeitig aber gewährleistet sein muß, daß die zwischen den Verbindungspunkten 27 gebildeten Freiräume den Membranzwischenraum 19 bilden.
  • Bei der aus Fig. 5 und 6 ersichtlichen abgewandelten Ausführungsform der Membran 1 sind die äußeren Membranlagen 20, 21 unter Anordnung einer Zwischenlage 28 mittels der Verbindungspunkte 27 mechanisch miteinander verbunden. Bei dieser Ausführungsform, die sich insbesondere für Niederdruckanwendungen der Membranpumpe eignet, ist die Zwischenlage 28 aus dem Werkstoff der Membranlagen 20, 21 hergestellt und mit Schlitzen 29 versehen, die beispielsweise in der aus Fig. 5 ersichtlichen Weise verlaufen. Diese Schlitze 29 weisen eine mindestens der Breite der Einspannzone A entsprechende Länge auf. Es bilden somit die in der Zwischenlage 28 vorgesehenen Schlitze 29 zusammen mit den zwischen den Verbindungspunkten 27 gebildeten Freiräumen Kanäle, welche die Verbindung von der aktiven Auslenkzone B durch die Einspannzone A nach außen, z.B. zur Membranbruchanzeigevorrichtung 22, herstellen.
  • Bei dieser Ausführungsform kann der Sandwichaufbau der Membran 1 in größeren Abmessungen als Halbzeug hergestellt bzw. erreicht werden. Die einzelnen Membranlagen 20, 21 sowie auch die Zwischenlage 28 lassen sich durch einfaches Ausstanzen fertigen, so daß insgesamt eine einfache Herstellung gewährleistet ist.
  • Bei der weiterhin abgewandelten Ausführungsform gemäß Fig. 7 und 8 sind die Verbindungsflächen nicht in Form von Verbindungspunkten, sondern als Verbindungsstreifen 30 ausgestaltet, die in der dargestellten Weise radial verlaufen und ebenfalls sowohl im Druckhub als auch im Saughub der Membran 1 eine rein mechanische Kopplung der Membranlagen 20, 21 bewirken.
  • Wie schließlich aus der weiterhin abgewandelten Ausführungsform gemäß Fig. 9 ersichtlich, sind hier die beiden Membranlagen 20, 21 der Membran 1 ebenfalls durch eine Zwischenlage 31 auf Abstand gehalten. Diese Zwischenlage 31 besteht aus einem Trenngewebe oder einem Trennvlies, das mit seinen Zwischenräumen ein Kanalsystem zwischen den Membranlagen 20, 21 bildet. Bei einem Membranbruch kann sich der Flüssigkeitsdruck äußerst schnell in Richtung der Membranbruchanzeigevorrichtung 22 fortpflanzen, so daß auch der Membranbruch schnellstmöglich angezeigt wird. Wie dargestellt, sind die Membranlagen 20, 21 über Verbindungspunkte 27 - ähnlich wie bei den Ausführungsformen gemäß Fig. 2 oder 5 - miteinander verbunden.

Claims (11)

  1. Membran für eine hydraulisch angetriebene Membranpumpe, die mit einer Vorrichtung zur Anzeige eines Membranbruchs versehen ist, wobei die randseitig zwischen Pumpengehäuse und Pumpendeckel eingespannte Membran aus wenigstens zwei Einzellagen besteht, zwischen denen ein Membranzwischenraum gebildet ist, der mit der Anzeigevorrichtung in Verbindung steht,
    dadurch gekennzeichnet, daß die einzelnen Membranlagen (20,21 ) zur rein mechanischen Kopplung sowohl im Druckhub als auch im Saughub über eine Vielzahl von Verbindungsflächen (27,30) unter Bildung von dazwischenliegenden Freiflächen bzw. Freiräumen miteinander verbunden sind.
  2. Membran nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Membranlagen (20,21 ) aus Kunststoff, insbesondere aus Fluorkunststoff, bestehen und daß die Verbindungsflächen (27,30) durch Verschweißen der Membranlagen (20,21) gebildet sind.
  3. Membran nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindungsflächen (27,30) unter Bildung größtmöglicher Freiflächen bzw. Freiräume so klein wie möglich ausgestaltet sind.
  4. Membran nach einem der Ansprüche 1 - 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindungsflächen (27,30) einen geringstmöglichen Abstand zwischen sich aufweisen.
  5. Membran nach einem der Ansprüche 1 - 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindungsflächen (27,30) weitgehend gleichmäßig verteilt sind.
  6. Membran nach einem der Ansprüche 1 - 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindungsflächen als Verbindungspunkte (27) ausgebildet sind.
  7. Membran nach einem der Ansprüche 1 - 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindungsflächen als Verbindungsstreifen (30) ausgebildet sind, die radial verlaufen.
  8. Membran nach einem der Ansprüche 1 - 7, die eine randseitige Einspannzone (A), eine die Förderung aktiv bewirkende Auslenkzone (B) und eine Übergangszone (C) zwischen Einspannzone und Auslenkzone aufweist,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß die Verbindungsflächen (27,30) ausschließlich in der Auslenkzone (B) angeordnet sind, derart, daß die Auslenkzone (B) der Membran (1) randseitig einen verbindungsfreien umlaufenden Bereich, beispielsweise von 5 - 10 mm Breite, aufweist.
  9. Membran nach einem der Ansprüche 1 - 8, dadurch gekennzeichnet, daß die äußeren Membranlagen (20,21) unter Anordnung einer Zwischenlage (28,31) mechanisch miteinander gekoppelt sind.
  10. Membran nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenlage (28) aus dem Werkstoff der äußeren Membranlagen (20,21) besteht und mit Schlitzen (29) versehen ist, die zusammen mit den Freiräumen zwischen den Membranlagen (20,21) den mit der Anzeigevorrichtung (22) in Verbindung stehenden Membranzwischenraum bilden.
  11. Membran nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenlage (31) aus einem Trenngewebe oder einem Trennvlies besteht.
EP91105990A 1990-06-08 1991-04-15 Membran für eine hydraulisch angetriebene Membranpumpe Expired - Lifetime EP0460386B1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4018464 1990-06-08
DE4018464A DE4018464A1 (de) 1990-06-08 1990-06-08 Membran fuer eine hydraulisch angetriebene membranpumpe

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP0460386A1 true EP0460386A1 (de) 1991-12-11
EP0460386B1 EP0460386B1 (de) 1993-11-18

Family

ID=6408081

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP91105990A Expired - Lifetime EP0460386B1 (de) 1990-06-08 1991-04-15 Membran für eine hydraulisch angetriebene Membranpumpe

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5188515A (de)
EP (1) EP0460386B1 (de)
JP (1) JPH04252880A (de)
DE (2) DE4018464A1 (de)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1384891A1 (de) * 2002-07-24 2004-01-28 ProMinent Dosiertechnik GmbH Sicherheitsmembran für eine Membranpumpe
WO2008031418A2 (de) * 2006-09-16 2008-03-20 Thomas Magnete Gmbh Membranpumpe
EP2180185A3 (de) * 2008-10-24 2010-06-30 ProMinent Dosiertechnik GmbH Membranbruchanzeige
EP2444668A1 (de) * 2010-10-22 2012-04-25 Milton Roy Europe Membranpumpe mit hoher Ansaugkraft
WO2017016642A1 (de) * 2015-07-30 2017-02-02 Linde Aktiengesellschaft Vorrichtung zur druckerhöhung eines fluids mit einem druckbegrenzungsventil
WO2017016635A1 (de) * 2015-07-30 2017-02-02 Linde Aktiengesellschaft Vorrichtung zur druckerhöhung eines fluids, insbesondere in form eines druckgasflaschenventils
EP2401501A4 (de) * 2009-02-24 2018-03-14 Tetra Laval Holdings & Finance S.A. Membranpumpenkopf für einen homogenisator oder eine hochdruckpumpe
WO2019057646A1 (de) * 2017-09-19 2019-03-28 L'orange Gmbh Pumpe

Families Citing this family (63)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5476368A (en) * 1992-08-20 1995-12-19 Ryder International Corporation Sterile fluid pump diaphragm construction
DE4327969C2 (de) * 1993-08-19 1997-07-03 Ott Kg Lewa Hydraulisch angetriebene Membranpumpe
DE4327970C2 (de) * 1993-08-19 1997-07-03 Ott Kg Lewa Hydraulisch angetriebene Membranpumpe mit mechanischer Membranhubbegrenzung
TW539918B (en) 1997-05-27 2003-07-01 Tokyo Electron Ltd Removal of photoresist and photoresist residue from semiconductors using supercritical carbon dioxide process
US6145430A (en) * 1998-06-30 2000-11-14 Ingersoll-Rand Company Selectively bonded pump diaphragm
US6190136B1 (en) 1999-08-30 2001-02-20 Ingersoll-Rand Company Diaphragm failure sensing apparatus and diaphragm pumps incorporating same
US6748960B1 (en) 1999-11-02 2004-06-15 Tokyo Electron Limited Apparatus for supercritical processing of multiple workpieces
EP1234322A2 (de) * 1999-11-02 2002-08-28 Tokyo Electron Limited Verfahren und vorrichtungen zur überkritischen verarbeitung von werkstücken
DE10012904B4 (de) * 2000-03-16 2004-08-12 Lewa Herbert Ott Gmbh + Co Membraneinspannung mit Elastizitätsausgleich
US6561774B2 (en) * 2000-06-02 2003-05-13 Tokyo Electron Limited Dual diaphragm pump
KR100750018B1 (ko) * 2000-07-26 2007-08-16 동경 엘렉트론 주식회사 반도체 기판의 처리를 위한 고압 챔버 및 반도체 기판의고압 처리를 위한 장치
US20040040660A1 (en) * 2001-10-03 2004-03-04 Biberger Maximilian Albert High pressure processing chamber for multiple semiconductor substrates
US7001468B1 (en) 2002-02-15 2006-02-21 Tokyo Electron Limited Pressure energized pressure vessel opening and closing device and method of providing therefor
AU2003215238A1 (en) * 2002-02-15 2003-09-09 Supercritical Systems Inc. Pressure enchanced diaphragm valve
US7387868B2 (en) 2002-03-04 2008-06-17 Tokyo Electron Limited Treatment of a dielectric layer using supercritical CO2
US7021635B2 (en) * 2003-02-06 2006-04-04 Tokyo Electron Limited Vacuum chuck utilizing sintered material and method of providing thereof
US7225820B2 (en) * 2003-02-10 2007-06-05 Tokyo Electron Limited High-pressure processing chamber for a semiconductor wafer
US7077917B2 (en) * 2003-02-10 2006-07-18 Tokyo Electric Limited High-pressure processing chamber for a semiconductor wafer
US7270137B2 (en) 2003-04-28 2007-09-18 Tokyo Electron Limited Apparatus and method of securing a workpiece during high-pressure processing
DE10323059A1 (de) * 2003-05-20 2004-12-09 Prominent Dosiertechnik Gmbh Sensormembran
US7163380B2 (en) 2003-07-29 2007-01-16 Tokyo Electron Limited Control of fluid flow in the processing of an object with a fluid
US20050034660A1 (en) * 2003-08-11 2005-02-17 Supercritical Systems, Inc. Alignment means for chamber closure to reduce wear on surfaces
US20050035514A1 (en) * 2003-08-11 2005-02-17 Supercritical Systems, Inc. Vacuum chuck apparatus and method for holding a wafer during high pressure processing
US20050067002A1 (en) * 2003-09-25 2005-03-31 Supercritical Systems, Inc. Processing chamber including a circulation loop integrally formed in a chamber housing
US7186093B2 (en) * 2004-10-05 2007-03-06 Tokyo Electron Limited Method and apparatus for cooling motor bearings of a high pressure pump
US7250374B2 (en) * 2004-06-30 2007-07-31 Tokyo Electron Limited System and method for processing a substrate using supercritical carbon dioxide processing
US7307019B2 (en) * 2004-09-29 2007-12-11 Tokyo Electron Limited Method for supercritical carbon dioxide processing of fluoro-carbon films
US20060065288A1 (en) * 2004-09-30 2006-03-30 Darko Babic Supercritical fluid processing system having a coating on internal members and a method of using
US20060065189A1 (en) * 2004-09-30 2006-03-30 Darko Babic Method and system for homogenization of supercritical fluid in a high pressure processing system
US20060102590A1 (en) * 2004-11-12 2006-05-18 Tokyo Electron Limited Method for treating a substrate with a high pressure fluid using a preoxide-based process chemistry
US20060102208A1 (en) * 2004-11-12 2006-05-18 Tokyo Electron Limited System for removing a residue from a substrate using supercritical carbon dioxide processing
US20060102591A1 (en) * 2004-11-12 2006-05-18 Tokyo Electron Limited Method and system for treating a substrate using a supercritical fluid
US7491036B2 (en) * 2004-11-12 2009-02-17 Tokyo Electron Limited Method and system for cooling a pump
US20060130966A1 (en) * 2004-12-20 2006-06-22 Darko Babic Method and system for flowing a supercritical fluid in a high pressure processing system
US7434590B2 (en) * 2004-12-22 2008-10-14 Tokyo Electron Limited Method and apparatus for clamping a substrate in a high pressure processing system
US20060134332A1 (en) * 2004-12-22 2006-06-22 Darko Babic Precompressed coating of internal members in a supercritical fluid processing system
US20060135047A1 (en) * 2004-12-22 2006-06-22 Alexei Sheydayi Method and apparatus for clamping a substrate in a high pressure processing system
US7140393B2 (en) * 2004-12-22 2006-11-28 Tokyo Electron Limited Non-contact shuttle valve for flow diversion in high pressure systems
US7435447B2 (en) * 2005-02-15 2008-10-14 Tokyo Electron Limited Method and system for determining flow conditions in a high pressure processing system
US20060180572A1 (en) * 2005-02-15 2006-08-17 Tokyo Electron Limited Removal of post etch residue for a substrate with open metal surfaces
US20060180174A1 (en) * 2005-02-15 2006-08-17 Tokyo Electron Limited Method and system for treating a substrate with a high pressure fluid using a peroxide-based process chemistry in conjunction with an initiator
US7291565B2 (en) * 2005-02-15 2007-11-06 Tokyo Electron Limited Method and system for treating a substrate with a high pressure fluid using fluorosilicic acid
US7767145B2 (en) 2005-03-28 2010-08-03 Toyko Electron Limited High pressure fourier transform infrared cell
US7380984B2 (en) * 2005-03-28 2008-06-03 Tokyo Electron Limited Process flow thermocouple
US7255175B2 (en) * 2005-03-28 2007-08-14 J&J Technical Services, L.L.C. Fluid recovery system and method
US20060226117A1 (en) * 2005-03-29 2006-10-12 Bertram Ronald T Phase change based heating element system and method
US20060225772A1 (en) * 2005-03-29 2006-10-12 Jones William D Controlled pressure differential in a high-pressure processing chamber
US7494107B2 (en) 2005-03-30 2009-02-24 Supercritical Systems, Inc. Gate valve for plus-atmospheric pressure semiconductor process vessels
US20060255012A1 (en) * 2005-05-10 2006-11-16 Gunilla Jacobson Removal of particles from substrate surfaces using supercritical processing
US7789971B2 (en) * 2005-05-13 2010-09-07 Tokyo Electron Limited Treatment of substrate using functionalizing agent in supercritical carbon dioxide
US7524383B2 (en) * 2005-05-25 2009-04-28 Tokyo Electron Limited Method and system for passivating a processing chamber
US20070012337A1 (en) * 2005-07-15 2007-01-18 Tokyo Electron Limited In-line metrology for supercritical fluid processing
DE102006044253B3 (de) * 2006-09-16 2008-03-27 Thomas Magnete Gmbh Membran und Pumpenkopf für eine hydraulisch angetriebene Membranpumpe
DE102006044255B3 (de) * 2006-09-16 2008-03-27 Thomas Magnete Gmbh Membranpumpe zur Förderung und Dosierung eines Fluids
US8596648B2 (en) * 2010-10-22 2013-12-03 Oshkosh Corporation Pump for vehicle suspension system
FR2985791B1 (fr) * 2012-01-17 2014-03-07 Milton Roy Europe Dispositif de detection de rupture d'une membrane d'une pompe a actionnement hydraulique, procede de montage d'un tel dispositif sur une pompe, et pompe equipee d'un tel dispositif
CN103671042A (zh) * 2013-12-27 2014-03-26 胜瑞兰工业设备(苏州)有限公司 延长隔膜疲劳寿命的计量泵用双层隔膜装置
DE102014109801A1 (de) * 2014-07-11 2016-01-14 Prominent Gmbh Membranpumpe mit reduzierter Leckageergänzung im Überlastfall
US9890024B2 (en) 2016-04-08 2018-02-13 Oshkosh Corporation Leveling system for lift device
DE102016111987A1 (de) * 2016-06-30 2018-01-04 Prominent Gmbh Membranaufbau mit Trennschnitten
DE102016216006A1 (de) * 2016-08-25 2018-03-01 Siemens Aktiengesellschaft Doppelmembran für eine Staubpumpe
JP7297423B2 (ja) * 2017-11-30 2023-06-26 キヤノン株式会社 吐出材吐出装置およびインプリント装置
KR102312743B1 (ko) 2017-11-30 2021-10-18 캐논 가부시끼가이샤 토출재 토출 장치 및 임프린트 장치

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE710320C (de) * 1939-02-26 1941-09-10 Henri Corblin Membranverdichter
DE943739C (de) * 1953-10-28 1956-06-01 Josef Emmerich Membrane fuer Pumpen, Ventile oder Schaltgeraete sowie Verfahren zum Betrieb derartiger Vorrichtungen
DE1800018A1 (de) * 1967-12-15 1969-08-07 Lewa Herbert Ott Hydraulische Membranpumpe

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4781535A (en) * 1987-11-13 1988-11-01 Pulsafeeder, Inc. Apparatus and method for sensing diaphragm failures in reciprocating pumps

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE710320C (de) * 1939-02-26 1941-09-10 Henri Corblin Membranverdichter
DE943739C (de) * 1953-10-28 1956-06-01 Josef Emmerich Membrane fuer Pumpen, Ventile oder Schaltgeraete sowie Verfahren zum Betrieb derartiger Vorrichtungen
DE1800018A1 (de) * 1967-12-15 1969-08-07 Lewa Herbert Ott Hydraulische Membranpumpe

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1384891A1 (de) * 2002-07-24 2004-01-28 ProMinent Dosiertechnik GmbH Sicherheitsmembran für eine Membranpumpe
US6907816B2 (en) 2002-07-24 2005-06-21 Prominent Dosiertechnik Gmbh Safety diaphragm for a diaphragm pump
WO2008031418A2 (de) * 2006-09-16 2008-03-20 Thomas Magnete Gmbh Membranpumpe
WO2008031418A3 (de) * 2006-09-16 2008-06-12 Thomas Magnete Gmbh Membranpumpe
EP2180185A3 (de) * 2008-10-24 2010-06-30 ProMinent Dosiertechnik GmbH Membranbruchanzeige
EP2401501A4 (de) * 2009-02-24 2018-03-14 Tetra Laval Holdings & Finance S.A. Membranpumpenkopf für einen homogenisator oder eine hochdruckpumpe
EP2444668A1 (de) * 2010-10-22 2012-04-25 Milton Roy Europe Membranpumpe mit hoher Ansaugkraft
FR2966525A1 (fr) * 2010-10-22 2012-04-27 Milton Roy Europe Pompe a membrane a forte capacite d'aspiration
US9371827B2 (en) 2010-10-22 2016-06-21 Milton Roy Europe Diaphragm pump with high suction capacity
WO2017016642A1 (de) * 2015-07-30 2017-02-02 Linde Aktiengesellschaft Vorrichtung zur druckerhöhung eines fluids mit einem druckbegrenzungsventil
WO2017016635A1 (de) * 2015-07-30 2017-02-02 Linde Aktiengesellschaft Vorrichtung zur druckerhöhung eines fluids, insbesondere in form eines druckgasflaschenventils
WO2019057646A1 (de) * 2017-09-19 2019-03-28 L'orange Gmbh Pumpe

Also Published As

Publication number Publication date
US5188515A (en) 1993-02-23
DE59100601D1 (de) 1993-12-23
DE4018464A1 (de) 1991-12-12
JPH04252880A (ja) 1992-09-08
EP0460386B1 (de) 1993-11-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0460386B1 (de) Membran für eine hydraulisch angetriebene Membranpumpe
EP0418644B1 (de) Membranpumpe mit mechanisch angetriebener Membran
DE1800018C3 (de) Hydraulische Membranpumpe
EP0188730B1 (de) Membranpumpe mit hydraulisch angetriebener Rollmembran
AT506811B1 (de) Druckpackung aus verdrehgesicherten packungsringen mit spritzgegossenen segmenten
EP0057288A1 (de) Zweizylinder-Dickstoffpumpe, vorzugsweise Betonpumpe mit einem von einer zylinderseitigen Brillenplatte abwechselnd schwenkenden Schaltorgan
DE102008012014A1 (de) Druckverstärker
EP0175105A1 (de) Membranpumpe, insbesondere zum Dosieren von Flüssigkeiten
EP0641936B1 (de) Hydraulisch angetriebene Membranpumpe
EP0363788B1 (de) Pumpenaggregat
EP4055280A1 (de) Arbeitszylinder
DE2335342A1 (de) Sicherheitsvorrichtung zum begrenzen des druckes eines fluids
DE10233561B4 (de) Sicherheitsmembran für eine Membranpumpe
WO1992019866A1 (de) Mehrlagen-membran mit leckage-ableitung für membranpumpen
DE3334638A1 (de) Vorrichtung zum anzeigen des bruchs einer membran
EP0641935B1 (de) Hydraulisch angetriebene Membranpumpe mit mechanischer Membranhubbegrenzung
DE3319729C2 (de) Kolbenringanordnung für Hydraulikanwendungen, insbesondere für sehr hohe Betriebsdrücke
DE10143978B4 (de) Hydraulisch angetriebene Membranpumpe mit vorgespannter Membran
EP0400693A2 (de) Höchstdruckpumpe
DE3519318A1 (de) Durchbiegungssteuerbare walze
DE2510852B2 (de) Scheibenraffineur zum Zerfasern von Fasermaterial
DE3420890C2 (de)
DE102020108235A1 (de) Hydraulikelement und Verdrängerpumpe mit einem solchen
DE4143371C2 (de) Membran für eine Membranpumpe
DE2731899A1 (de) Schere zum spanlosen abtrennen von abschnitten von profilmaterial

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): DE FR GB IT

17P Request for examination filed

Effective date: 19920226

GBC Gb: translation of claims filed (gb section 78(7)/1977)
ITCL It: translation for ep claims filed

Representative=s name: ING. ANTON AUSSERER

EL Fr: translation of claims filed
17Q First examination report despatched

Effective date: 19930505

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): DE FR GB IT

ITF It: translation for a ep patent filed

Owner name: ING. ANTON AUSSERER

REF Corresponds to:

Ref document number: 59100601

Country of ref document: DE

Date of ref document: 19931223

ET Fr: translation filed
GBT Gb: translation of ep patent filed (gb section 77(6)(a)/1977)

Effective date: 19940223

PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

26N No opposition filed
PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Payment date: 19990325

Year of fee payment: 9

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Payment date: 19990415

Year of fee payment: 9

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Payment date: 19990630

Year of fee payment: 9

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20000415

GBPC Gb: european patent ceased through non-payment of renewal fee

Effective date: 20000415

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20001229

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20010201

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: ST

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES;WARNING: LAPSES OF ITALIAN PATENTS WITH EFFECTIVE DATE BEFORE 2007 MAY HAVE OCCURRED AT ANY TIME BEFORE 2007. THE CORRECT EFFECTIVE DATE MAY BE DIFFERENT FROM THE ONE RECORDED.

Effective date: 20050415