EP0084086A2 - Laser microsensor - Google Patents

Laser microsensor Download PDF

Info

Publication number
EP0084086A2
EP0084086A2 EP82109634A EP82109634A EP0084086A2 EP 0084086 A2 EP0084086 A2 EP 0084086A2 EP 82109634 A EP82109634 A EP 82109634A EP 82109634 A EP82109634 A EP 82109634A EP 0084086 A2 EP0084086 A2 EP 0084086A2
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
laser
time
sample
ion
excitation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP82109634A
Other languages
German (de)
French (fr)
Other versions
EP0084086A3 (en
Inventor
Hans-Josef Dr. Heinen
Stefan Meier
Henning Vogt
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Original Assignee
Leybold Heraeus GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leybold Heraeus GmbH filed Critical Leybold Heraeus GmbH
Publication of EP0084086A2 publication Critical patent/EP0084086A2/en
Publication of EP0084086A3 publication Critical patent/EP0084086A3/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/02—Details
    • H01J49/10—Ion sources; Ion guns
    • H01J49/16—Ion sources; Ion guns using surface ionisation, e.g. field-, thermionic- or photo-emission
    • H01J49/161—Ion sources; Ion guns using surface ionisation, e.g. field-, thermionic- or photo-emission using photoionisation, e.g. by laser
    • H01J49/164—Laser desorption/ionisation, e.g. matrix-assisted laser desorption/ionisation [MALDI]
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
    • H01J49/34—Dynamic spectrometers
    • H01J49/40—Time-of-flight spectrometers

Definitions

  • Laser microprobes of this type have been known for a long time (cf. Nature, Vol. 256, July 10, 1975) and have been on the market.

Abstract

In a laser microsensor, with a pulsed laser for the excitation of samples (1) and with a propagation time mass-spectrometer (4, 5) surrounding a propagation path (4), an electrode system (9) is positioned in front of the propagation time path (4), which electrode system (9) is used for the formation of an ion pulse, defined with respect to time, from the plasma produced by excitation of the sample (1) (Fig. 1). <IMAGE>

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Lasermikrosonde mit einem Pulslaser zur Anregung einer Probe und mit einem eine Flugstrecke umfassenden Flugzeit-Massenspektrometer.The invention relates to a laser microprobe with a pulse laser for excitation of a sample and with a time-of-flight mass spectrometer comprising a flight path.

Lasermikrosonden dieser Art sind seit längerer Zeit bekannt (vgl. Nature, Vol.256, Juli 10, 1975) und auf dem Markt.Laser microprobes of this type have been known for a long time (cf. Nature, Vol. 256, July 10, 1975) and have been on the market.

Die Anwendung eines Flugzeit-Massenspektrometers als Massenanalysator hat sich dabei als besonders vorteilhaft erwiesen, da die für ein Flugzeit-Massenspektrometer notwendige Voraussetzung des Vorliegens von Ionenpulsen infolge der gepulsten Probenanregung erfüllt ist. Die Ausnutzung der Vorteile der Flugzeit-Massenspektroskopie (empfindlich, schnell vorliegende Ergebnisse über den gesamten Massenbereich) war deshalb in einfacher Weise möglich.The use of a time-of-flight mass spectrometer as a mass analyzer has proven to be particularly advantageous since the requirement for the presence of ion pulses as a result of the pulsed sample excitation is fulfilled for a time-of-flight mass spectrometer. The benefits of time-of-flight mass spectroscopy (sensitive, quickly available results across the entire mass range) could therefore be exploited in a simple manner.

Hinsichtlich der Auflösung entsprachen die Meßergebnisse jedoch nicht immer den Erwartungen. Insbesondere bei der Analyse von Festkörperproben (nicht-transparenten, vorzugsweise anorganischen Proben) traten LInienverbreiterungen auf, die das Erkennen nahe beieinander liegender Massen erschwerten.With regard to the resolution, however, the measurement results did not always meet expectations. In particular when analyzing solid-state samples (non-transparent, preferably inorganic samples), line broadening occurred, which made it difficult to identify masses lying close to one another.

Der vorliegenden Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, eine Lasermikrosonde der eingangs genannten Art mit in einfacher Weise verbessertem Auflösungsvermögen zu schaffen.The present invention is therefore based on the object of providing a laser microprobe of the type mentioned at the outset with an improved resolution capability in a simple manner.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß der Flugzeitstrecke des Flugzeit-Massenspektrometers ein Elektrodensystem für die Formung eines zeitlich definierten Ionenpulses aus dem durch die Anregung der Probe entstehenden Plasma vorgelagert ist. Diese Erfindung beruht auf der Erkenntnis, daß selbst bei kürzesten, im ps-Bereich liegenden Laserpulsen - insbesondere bei der Anregung von Festkörper-Oberflächen - das durch den Laserpuls im Bereich der Probenoberfläche erzeugte Ionen-Plasma wesentlich länger vorhanden ist, als es nach der Zeitdauer des Laserpulses zu erwarten ist. Ein definierter Startzeitpunkt für die zu analysierenden Ionen ist deshalb trotz kurzer Laserpulse nicht gegeben. Mit Hilfe des erfindungsgemäßen Elektrodensystems ist es jetzt möglich,einen zeitlich definierten Ionenpuls aus dem durch die Laseranregung entstandenen Plasma zu formen und dem Flugzeit-Massenspektrometer zuzuführen. Verschmierungen infolge des für eine längere Zeit bestehenden Plasmas treten nicht mehr auf; wodurch eine wesentliche Verbesserung der Auflösung erzielt wird.According to the invention, this object is achieved in that the time-of-flight path of the time-of-flight mass spectrometer is preceded by an electrode system for the formation of a temporally defined ion pulse from the plasma produced by the excitation of the sample. This invention is based on the Recognition that even with the shortest laser pulses lying in the ps range - especially when exciting solid surfaces - the ion plasma generated by the laser pulse in the area of the sample surface is present much longer than is to be expected after the duration of the laser pulse . A defined start time for the ions to be analyzed is therefore not given despite short laser pulses. With the aid of the electrode system according to the invention, it is now possible to form a temporally defined ion pulse from the plasma produced by the laser excitation and to feed it to the time-of-flight mass spectrometer. Smearing as a result of the plasma which has existed for a long time no longer occurs; which results in a significant improvement in resolution.

Weitere Vorteile und Einzelheiten sollen anhand der Figuren 1 bis 7 erläutert werden. Die Figuren zeigen schematisch dargestellte Ausführungsbeispiele und jeweils den zugehörigen Potentialverlauf an den erfindungsgemäßen Elektroden.Further advantages and details will be explained with reference to FIGS. 1 to 7. The figures show schematically illustrated exemplary embodiments and in each case the associated potential profile on the electrodes according to the invention.

Bei den in den Figuren 1, 3 und 5 dargestellten Ausführungsbeispielen sind jeweils die Probe mit 1, der Strahlengang des Laserpulses mit 2, das Laserlichtobjektiv mit 3, die FLugzeitstrecke mit 4 und der nachgeordnete Ionendetektor mit 5 bezeichnet. Die in den Figuren 1 und 5 dargestellten Proben sind nicht transparent, so daß das Laserlichtobjektiv 3 auf der zu untersuchenden Seite der Festkörper-Oberfläche angeordnet sein muß. Die Probe 1 nach Fig. 3 ist transparent, so daß das Laserlicht durch die Probe hindurch, also auf der dem Laserobjektiv 3 gegenüberliegenden Seite der Probe, fokussiert werden und dort die gewünschte Anregung des Probenmaterials bewirken kann.In the exemplary embodiments shown in FIGS. 1, 3 and 5, the sample is denoted by 1, the beam path of the laser pulse by 2, the laser light objective by 3, the flight time path by 4 and the downstream ion detector by 5. The samples shown in FIGS. 1 and 5 are not transparent, so that the laser light objective 3 must be arranged on the side of the solid surface to be examined. The sample 1 according to FIG. 3 is transparent, so that the laser light can be focused through the sample, that is to say on the side of the sample opposite the laser objective 3, and can bring about the desired excitation of the sample material there.

Beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 1 ist der Flugstrecke 4 eine aus zwei Rohrabschnitten 6 und 7 bestehende Ionenoptik 8 vorgelagert. Diese hat die Aufgabe, die erzeugten Ionen von der Probe her abzusaugen. Außerdem läßt die Ionenoptik 8 nur Ionen aus einem bestimmten Energieintervall durch. Schließlich richtet die Ionenoptik 8 das Ionenbündel parallel aus, so daß es nach dem Durchfliegen der Driftstrecke 4 den Ionendetektor 5 erreicht. Zwischen der Probe 1 und der lonenoptik 8 ist ein Gitter 9 angeordnet, das in der erfindungsgemäßen Weise der Formung eines seitlich definierten Ionenpulses aus dem infolge der Bestrahlung im Bereich der Probenoberfläche entstehenden Plasma dient. Der dazu im Falle der Analyse positiver Ionen notwendige Potentialverlauf an der Elektrode 9 ist in Fig. 2 dargestellt. Zum Zeitpunkt O, dem Zeitpunkt des Laserpulses, liegt ein positives Potential U1 an der Elektrode 9. Der Spannungswert ist so gewählt, daß positive Ionen nicht in die Ionenoptik 8 eintreten können. Für die Zeitdauer (t2-t1) hat die Elektrode 9 ein negatives Potential (U2), so daß positive Ionen durch das Gitter 9 hindurchtreten können. Danach hat die Elektrode 9 wieder das Potential U1, so daß das "Zeitfenster" genau definiert ist und Zeitverschmierungen infolge eines länger bestehenden Plasmas nicht mehr auftreten. Bei der Analyse negativer Ionen ist ein entsprechender, zur t-Achse spiegelbildlicher Potentialverlauf zu wählen.In the exemplary embodiment according to FIG. 1, the flight path 4 is preceded by an ion optic 8 consisting of two tube sections 6 and 7. This has the task of aspirate generated ions from the sample. In addition, the ion optics 8 only allows ions from a certain energy interval to pass through. Finally, the ion optics 8 align the ion bundle in parallel so that it reaches the ion detector 5 after passing through the drift path 4. A grating 9 is arranged between the sample 1 and the ion optics 8, which serves in the manner according to the invention to form a laterally defined ion pulse from the plasma which arises as a result of the irradiation in the region of the sample surface. The potential curve at the electrode 9 required for this in the case of the analysis of positive ions is shown in FIG. 2. At the time O, the time of the laser pulse, there is a positive potential U 1 at the electrode 9. The voltage value is chosen such that positive ions cannot enter the ion optics 8. For the period (t 2 -t 1 ), the electrode 9 has a negative potential (U 2 ) so that positive ions can pass through the grid 9. Thereafter, the electrode 9 again has the potential U 1 , so that the “time window” is precisely defined and time smears due to a longer-lasting plasma no longer occur. When analyzing negative ions, a corresponding potential curve that is mirror-image to the t-axis must be selected.

Beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 3 ist eine Ionenoptik nicht vorhanden. Dem Flugzeitrohr 4 vorgelagert ist lediglich eine Saugelektrode 11. Zwischen dieser Saugelektrode 11 und dem Flugzeitrohr 4 ist ein Ablenkkondensator 12 mit Platten 13 und 14 angeordnet. Mit Ablenkplatten dieser Art kann der gleiche Zweck, d. h. ein zeitlich definierter Ionendurchlaß, erreicht werden. Liegt z. B. die Platte 14 ständig auf Erd- oder einem anderen bestimmten Potential, dann werden die Ionen nur dann durchgelassen, wenn die Platte 12 das gleiche Potential hat. Solange an diesen Platten unterschiedliche Potentiale liegen (vgl. Fig. 4, Erdpotential und das Potential U3), können Ionen beider Polaritäten die Flugzeitstrecke 4 nicht erreichen. Unter bestimmten Umständen kann die Platte 14 auch entfallen.3, ion optics are not present. Only a suction electrode 11 is arranged in front of the time-of-flight tube 4. A deflection condenser 12 with plates 13 and 14 is arranged between this suction electrode 11 and the time-of-flight tube 4. The same purpose, ie a time-defined ion passage, can be achieved with baffles of this type. Is z. B. the plate 14 constantly at ground or some other specific potential, then the ions are only let through when the plate 12 has the same potential. As long as there are different potentials on these plates (see Fig. 4, Earth potential and the potential U 3 ), ions of both polarities cannot reach the time-of-flight route 4. In certain circumstances, the plate 14 can also be omitted.

Fig. 5 zeigt ein Ausführungsbeispiel, wieder mit einer der Flugstrecke 4 vorgelagerten Ionenoptik 8. Zwischen der Ionenoptik 8 und der Probe 1 befinden sich zwei Gitterelektroden 15 und 16, deren zeitliche Potentialverläufe in den Figuren 6 und 7 dargestellt sind. Das Gitter 15 dient wieder - wie zu den Figuren 1 und 2 beschrieben - der Unterdrückung positiver Ionen außer für die Zeitdauer (t2-t1). Am Gitter 16 liegt (vgl. Fig. 7) außer für die Zeitdauer (t2-t1) ständig ein negatives Potential U4, dessen Größe'so gewählt ist, daß Elektronen, die einen Signaluntergrund verursachen können, zurückgehalten werden.FIG. 5 shows an exemplary embodiment, again with an ion optics 8 located upstream of the flight path 4. Between the ion optics 8 and the sample 1 there are two grid electrodes 15 and 16, the potential curves of which are shown in FIGS. 6 and 7. The grating 15 again serves - as described for FIGS. 1 and 2 - to suppress positive ions except for the period (t 2 -t 1 ). Except for the period (t 2 -t 1 ), there is always a negative potential U 4 on the grid 16 (see FIG. 7), the size of which is chosen such that electrons which can cause a signal background are retained.

In allen Figuren sind die "Zeitfenster" gegeben durch die Differenz (t2-t1). Die durch diese Zeitdifferenz gegebene Zeitdauer liegt zweckmäßigerweise in der Größenordnung von etwa 100 x 10-9 sec. Durch Verschieben oder Variieren dieses Zeitfensters können die Messungen nicht nur optimiert werden; es können darüber hinaus sogar Untersuchungen über den Mechanismus der Laser-Wechselwirkung durchgeführt werden.In all figures, the "time window" is given by the difference (t 2 -t 1 ). The time period given by this time difference is expediently of the order of magnitude of approximately 100 × 10 -9 seconds. By moving or varying this time window, the measurements can not only be optimized; In addition, studies on the mechanism of the laser interaction can be carried out.

Claims (5)

1. Lasermikrosonde mit einem Pulslaser zur Anregung einer Probe und mit einem eine Flugstrecke umfassenden Flugzeit-Massenspektrometer, dadurch gekennzeichnet , daß der Flugzeitstrecke (4) ein Elektrodensystem (9; 12 oder 15, 16) für die Formung eines zeitlich definierten Ionenpulses aus dem durch die Anregung der Probe entstehenden Plasma vorgelagert ist.1. Laser micro-probe with a pulse laser for excitation of a sample and with a time-of-flight mass spectrometer comprising a flight path, characterized in that the time-of-flight path (4) is an electrode system (9; 12 or 15, 16) for the formation of a temporally defined ion pulse from the the excitation of the sample is preceded by plasma. 2. Lasermikrosonde nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß eine Gitterelektrode (9) vorgesehen ist.2. Laser microprobe according to claim 1, characterized in that a grid electrode (9) is provided. 3. Lasermikrosonde nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß eine oder zwei Ablenkplatten (13, 14) vorgesehen sind.3. Laser microprobe according to claim 1, characterized in that one or two baffles (13, 14) are provided. 4. Lasermikrosonde nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß zwei Elektroden (15, 16) vorgesehen sind, von denen die eine der Formung des Ionenimpulses und die andere der Unterdrückung von Elektronen dient.4. Laser microprobe according to claim 1, characterized in that two electrodes (15, 16) are provided, one of which is used to shape the ion pulse and the other to suppress electrons. 5. Lasermikrosonde nach Anspruch 1, 2, 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet , daß zwischen dem Elektrodensystem (9; 12 oder 15, 16) und der Flugstrecke (4) eine Ionenoptik angeordnet ist.5. Laser microprobe according to claim 1, 2, 3 or 4, characterized in that between the electrode system (9; 12 or 15, 16) and the flight path (4) an ion optics is arranged.
EP82109634A 1982-01-16 1982-10-19 Laser microsensor Withdrawn EP0084086A3 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3201264 1982-01-16
DE19823201264 DE3201264A1 (en) 1982-01-16 1982-01-16 LASER MICRO PROBE

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP0084086A2 true EP0084086A2 (en) 1983-07-27
EP0084086A3 EP0084086A3 (en) 1984-02-22

Family

ID=6153253

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP82109634A Withdrawn EP0084086A3 (en) 1982-01-16 1982-10-19 Laser microsensor

Country Status (2)

Country Link
EP (1) EP0084086A3 (en)
DE (1) DE3201264A1 (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0539664A1 (en) * 1991-10-28 1993-05-05 SPECTRO ANALYTICAL INSTRUMENTS Gesellschaft für analytische Messgeräte mbH Programmable control and data recording system for a time-of-flight mass spectrometer
US5894063A (en) * 1993-05-28 1999-04-13 Baylor College Of Medicine Surface-enhanced neat desorption for disorption and detection of analytes
US6020208A (en) * 1994-05-27 2000-02-01 Baylor College Of Medicine Systems for surface-enhanced affinity capture for desorption and detection of analytes
US7294515B2 (en) 1993-05-28 2007-11-13 Baylor College Of Medicine Method and apparatus for desorption and ionization of analytes
US20210391161A1 (en) * 2019-01-15 2021-12-16 Fluidigm Canada Inc. Direct ionization in imaging mass spectrometry operation

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5641959A (en) * 1995-12-21 1997-06-24 Bruker-Franzen Analytik Gmbh Method for improved mass resolution with a TOF-LD source

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3307033A (en) * 1963-07-19 1967-02-28 William H Johnston Lab Inc Coincidence mass spectrometer with electrostatic means to separate positive and negative ions and detectors and method of use
FR1580234A (en) * 1968-05-15 1969-09-05

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3307033A (en) * 1963-07-19 1967-02-28 William H Johnston Lab Inc Coincidence mass spectrometer with electrostatic means to separate positive and negative ions and detectors and method of use
FR1580234A (en) * 1968-05-15 1969-09-05

Non-Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
APPLIED PHYSICS, Band 8, Nr. 4, Dezember 1975, Seiten 341-348, Springer-Verlag 1975, Heidelberg, DE. *
INTERNATIONAL JOURNAL OF MASS SPECTROMETRY AND ION PHYSICS, Band 13, Nr. 1, 1974, Seiten 45-53, Elsevier Scientific Publishing Company, Amsterdam, NL. *
JOURNAL OF PHYSICS E, SCIENTIFIC INSTRUMENTS, Band 7, Nr. 5, Mai 1974, Seiten 364-368, London, GB. *
THE REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, Band 40, Nr. 3, M{rz 1969, Seiten 503-504, New York, USA *

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0539664A1 (en) * 1991-10-28 1993-05-05 SPECTRO ANALYTICAL INSTRUMENTS Gesellschaft für analytische Messgeräte mbH Programmable control and data recording system for a time-of-flight mass spectrometer
US6734022B2 (en) 1993-05-28 2004-05-11 Baylor College Of Medicine Method and apparatus for desorption and ionization of analytes
US6027942A (en) * 1993-05-28 2000-02-22 Baylor College Medicine Surface-enhanced affinity capture for desorption and detection or analytes
US6124137A (en) * 1993-05-28 2000-09-26 Baylor College Of Medicine Surface-enhanced photolabile attachment and release for desorption and detection of analytes
US6528320B2 (en) 1993-05-28 2003-03-04 Baylor College Of Medicine Method and apparatus for desorption and ionization of analytes
US5894063A (en) * 1993-05-28 1999-04-13 Baylor College Of Medicine Surface-enhanced neat desorption for disorption and detection of analytes
US7071003B2 (en) 1993-05-28 2006-07-04 Baylor College Of Medicine Surface-enhanced laser desorption/Ionization for desorption and detection of analytes
US7294515B2 (en) 1993-05-28 2007-11-13 Baylor College Of Medicine Method and apparatus for desorption and ionization of analytes
US7413909B2 (en) * 1993-05-28 2008-08-19 Baylor College Of Medicine Method and apparatus for desorption and ionization of analytes
US7449150B2 (en) 1993-05-28 2008-11-11 Baylor College Of Medicine Probe and apparatus for desorption and ionization of analytes
US7491549B2 (en) 1993-05-28 2009-02-17 Baylor College Of Medicine Apparatus for desorption and ionization of analytes
US8748193B2 (en) 1993-05-28 2014-06-10 Baylor College Of Medicine Apparatus for desorption and ionization of analytes
US6020208A (en) * 1994-05-27 2000-02-01 Baylor College Of Medicine Systems for surface-enhanced affinity capture for desorption and detection of analytes
US20210391161A1 (en) * 2019-01-15 2021-12-16 Fluidigm Canada Inc. Direct ionization in imaging mass spectrometry operation

Also Published As

Publication number Publication date
DE3201264A1 (en) 1983-07-28
EP0084086A3 (en) 1984-02-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3920566C2 (en)
DE4341699A1 (en) Method and device for time of flight spectrometry
DE4134905A1 (en) TANDEM MASS SPECTROMETER BASED ON FLIGHT TIME ANALYSIS
DE3913965A1 (en) DIRECTLY IMAGING SECOND EDITION MASS SPECTROMETER WITH RUNTIME MASS SPECTROMETRIC MODE
DE19930894B4 (en) Method for controlling the number of ions in ion cyclotron resonance mass spectrometers
DE1937482C3 (en) Microbeam probe
DE102009050041A1 (en) High-resolution ion mobility spectrometry
DE3231036C2 (en)
DE2716810A1 (en) METHOD AND DEVICE FOR ANALYSIS OF A SAMPLE BY MEANS OF EMISSION SPECTROGRAPHY USING A LASER BEAM
DE19635645A1 (en) High-resolution ion detection for linear time-of-flight mass spectrometers
EP0084086A2 (en) Laser microsensor
DE102008048085B4 (en) Differentiation of enantiomers using broadband femtosecond circular dichroism mass spectrometry
DE3430984A1 (en) METHOD AND DEVICE FOR REGISTERING PARTICLES OR QUANTS WITH THE AID OF A DETECTOR
DE2411841B2 (en) Auger electron spectrometer
DE1598023A1 (en) mass spectrometry
DE102016103292B4 (en) mass spectrometry
DE3490595C2 (en) Surface diagnostic analysis
DE102016009789B4 (en) Mirror lens for directing an ion beam
DE2450912A1 (en) METHOD AND DEVICE FOR PERFORMING ANALYTICAL SPECTROMETRY
DE2414221A1 (en) PARTICLE OPTICAL DEVICE FOR ION SCATTERING SPECTROMETRY AND SECONDARY ION MASS SPECTROMETRY
DE102018116305B4 (en) Dynamic ion filter to reduce highly abundant ions
DE1045687B (en) Ion resonance mass spectrometer
WO2001055700A1 (en) Device for the analysis of elements contained in droplet liquid samples
DE102018106412B4 (en) Particle spectrometer and particle spectrometry methods
DE3208618A1 (en) LASER MICRO PROBE FOR SOLID SPECIMENS IN WHICH AN OBSERVATION OPTICS, A LASER LIGHT OPTICS AND ION ION OPTICS ARE ARRANGED ON THE SAME SIDE OF A SAMPLE HOLDER

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

17P Request for examination filed

Effective date: 19821019

AK Designated contracting states

Designated state(s): DE FR GB NL

PUAL Search report despatched

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009013

AK Designated contracting states

Designated state(s): DE FR GB NL

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE APPLICATION IS DEEMED TO BE WITHDRAWN

18D Application deemed to be withdrawn

Effective date: 19850531

RIN1 Information on inventor provided before grant (corrected)

Inventor name: HEINEN, HANS-JOSEF, DR.

Inventor name: VOGT, HENNING

Inventor name: MEIER, STEFAN