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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Bildaufzeichnungsvorrichtung,
in welcher ein Aufzeichnungskopf montiert ist, der ein Aufzeichnen durch
Auswerfen (Ausstoßen)
einer Flüssigkeit
aus einem Energie erzeugenden Element oder durch thermische Übertragung
durchführt.
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Die
vorliegende Erfindung kann auf Vorrichtungen, wie beispielsweise
Drucker, Kopierer, Faksimilemaschinen, für welche Kommunikationssysteme zur
Verfügung
gestellt sind, oder Textverarbeitungseinrichtungen, die Drucker
umfassen, welche das Aufzeichnen von Bildern auf einem Aufzeichnungsmedium,
wie beispielsweise Papier, Garn, Faser, Textilien, Leder, Metall,
Plastik, Glas, Holz oder Keramik durchführen, und auf industrielle
Aufzeichnungsvorrichtungen, bei welchen verschiedenste Verarbeitungseinrichtungen
kombiniert sind, angewendet werden.
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„Aufzeichnen" ist bei dieser Erfindung
nicht nur als die Erzeugung von Bildern, wie beispielsweise Zeichen
oder Zeichnungen, die eine Bedeutung tragen, sondern auch als die
Erzeugung von Bildern, wie beispielsweise Mustern, die keine Bedeutung
tragen, auf einem Aufzeichnungsmedium definiert.
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Herkömmlicherweise
hat die Nachfrage nach Hochqualitätsbildern erstellenden Aufzeichnungsvorrichtungen
zugenommen, und es war der Gegenstand von vielzähligen Diskussionen, wie die
Bildqualität
zu verbessern ist. Für
eine Aufzeichnungsvorrichtung, bei welcher ein Aufzeichnungskopf
beim Aufzeichnen von Bildern in einer Richtung bewegt wird, wird
die Präzision
der Positionierung eines aufzuzeichnenden Bildes durch die Genauigkeit
bestimmt, mit welcher der Aufzeichnungskopf selbst positioniert
wird. Und für
die Verbesserung der Bildqualität
ist die Erhöhung
der Genauigkeit, mit welcher ein Aufzeichnungskopf positioniert
wird, ein extrem wichtiges Element. Daher ist bei einer herkömmlichen Aufzeichnungsvorrichtung
für einen
Schlitten, an welchem ein in nur einer Richtung aufzeichnender Aufzeichnungskopf
montiert ist, eine Positionserfassungseinrichtung (beispielsweise
ein Scanner bzw. eine Abtasteinrichtung) zur genauen Sicherstellung der
Position des Aufzeichnungskopfs zur Verfügung gestellt. Oder es ist
an der Schlittenausgangspunktposition in der Vorrichtung eine optische
Leseeinrichtung zur Erfassung der Position des Aufzeichnungskopfs
zur Verfügung
gestellt. Dann wird auf der Grundlage der erlangten Kopfpositionierungsdaten bestimmt,
ob die Aufzeichnungsposition adäquat bzw.
geeignet ist, oder ob die Aufzeichnungsposition korrigiert werden
muss.
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Jedoch
sind bei einer herkömmlichen
Aufzeichnungsvorrichtung der die Druckeinrichtung bildende Aufzeichnungskopf
und die Positionserfassungseinrichtung separat angeordnet. Daher
muss bei einer Aufzeichnungsvorrichtung, bei welcher beispielsweise
eine Kopfpositionserfassungseinrichtung für einen Schlitten zur Verfügung gestellt
ist, eine zufriedenstellende Positionierungsgenauigkeit für den Aufzeichnungskopf
erlangt werden, indem der Aufzeichnungskopf an dem Schlitten montiert
wird. Um eine derartige Genauigkeit zu erlangen, muss die Präzision bei
der Bemessung von Komponenten, wie beispielsweise dem Schlitten
und dem Aufzeichnungskopf verbessert werden, oder es muss ein Prozess
bzw. Vorgang zur Korrektur der Positionierung des Aufzeichnungskopfs
durchgeführt
werden.
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Zusätzlich werden
sich die Herstellungskosten erhöhen,
da Elemente und Schaltungen zur Erfassung der Position des Aufzeichnungskopfs
an dem Schlitten oder an dem Substrat der Vorrichtung gebildet werden
müssen.
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Von
dem Gesichtspunkt eines Hochqualitätsbildaufzeichnens gesehen,
kann ein hoch empfindliches Aufzeichnen für eine verbesserte Bilddichte
und Abtönungswiedergabe
durch Erstellen von Punkten durchgeführt werden, die verschiedene
Größe aufweisen.
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Mit
zunehmender Auflösung
eines Bildes ist jedoch eine extrem hohe Genauigkeit bzw. Akkuratesse
erforderlich, um die gebildeten Punkte zu positionieren, und mit
der zunehmenden Anzahl von beim Variieren der Punktgrößen umfassten
Schritte ist eine größere Punktgrößengenauigkeit
erforderlich.
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Folglich
können,
wenn eine Vielzahl von Aufzeichnungselementen eingesetzt wird, Punktpositionierungsfehler
und die Verwendung von nicht gleichförmigen Punktgrößen eine
Verschlechterung der Bildqualität
zur Folge haben.
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Es
ist offensichtlich, dass der Bedarf an einer erhöhten Bildqualität nicht
nur durch Verbesserung der Genauigkeit der Positionierung eines
Schlittens und eines Aufzeichnungskopfs und der Genauigkeit bei
der Produktion bzw. Erstellung von Punktgrößen erfüllt werden kann, so dass dementsprechend
die einer ungenauen Punktpositionierung und der instabilen Erstellung
von genau bzw. akkurat bemessenen Punkten zuweisbaren Mängel nicht
gelöst
sind.
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Dokument
US-A-5684523 offenbart einen optischen Zeilendruckkopf und einen
dafür verwendeten
LED-Chip. Ein Chip für
eine Licht emittierende Diode umfasst ein Substrat, welches darauf
eine Anzahl von in einer Reihe ausgerichteten Licht emittierenden
Dioden aufweist, um ein Array zur Erstellung einer Anzahl von zueinander
parallelen optischen Strahlen in einer ersten Richtung zu bilden,
und ein an dem Substrat monolytisch zur Verfügung gestelltes Überwachungselement
zur Erfassung der Leistung der von den Licht emittierenden Dioden
erstellten optischen Strahlen. Das Überwachungselement umfasst
eine Licht emittierende Bezugsdiode mit einem zu den Licht emittierenden
Dioden in dem Array identischen Aufbau zur Erzeugung eines optischen Strahls
in einer zu der ersten Richtung senkrechten zweiten Richtung; und
eine Fotodiode, welche einen zu den Licht emittierenden Dioden in
dem Array identischen Aufbau aufweist und die durch eine Isolationsrille
von der Licht emittierenden Bezugsdiode getrennt ist, zur Erfassung
des von der Licht emittierenden Bezugsdiode erzeugten optischen
Strahls.
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Es
ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Aufzeichnungskopfsubstrat,
einen ein derartiges Aufzeichnungskopfsubstrat verwendenden Aufzeichnungskopf,
eine Tintenstrahlaufzeichnungsvorrichtung, und mit niedrigen Herstellungskosten eine
Aufzeichnungsvorrichtung zur Verfügung zu stellen, die nicht
nur die Position eines Aufzeichnungskopfs genau bzw. akkurat erfassen
kann, sondern auch die Positionierung und Bemessung von Punkten
genau bzw. akkurat stabilisieren kann.
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Gemäß jeweiligen
Aspekten der Erfindung wird diese Aufgabe beispielsweise durch ein
Aufzeichnungskopfsubstrat nach Anspruch 1, einen Aufzeichnungskopf
nach Anspruch 8, eine Tintenstrahlvorrichtung nach Anspruch 11,
und/oder eine Aufzeichnungsvorrichtung nach Anspruch 12 gelöst.
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Vorteilhafte
weitere Entwicklungen sind in den jeweiligen abhängigen Ansprüchen dargelegt.
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Die
Energie erzeugenden Elemente und die Licht empfangenden Elemente
können
vorzugsweise an dem selben Substrat montiert werden. Daher können, wenn
die Licht empfangenden Elemente von den Energie erzeugenden Elementen
gebildete bzw. geformte Punkte optisch erfassen, akkurate bzw. genaue
Informationen in Bezug auf die Positionierung, die Größen bzw.
Abmessungen und die Dichten der Bildpunkte schnell erlangt werden.
Zudem können, da
im Gegensatz zu einer Anordnung, bei welcher Energie erzeugende
Elemente und Licht empfangende Elemente an separaten Substraten
montiert sind, der Vorgang für
die Bildung bzw. Formung der individuellen Elemente gemeinsam ausgeführt werden kann
und keine Verbindungen erforderlich sind, die Herstellungskosten
und die Größe einer
Vorrichtung beträchtlich
reduziert werden.
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Zudem
ist als ein weiterer Vorteil, da die zu einem Bildaufzeichnen beitragenden
Energie erzeugenden Elemente und die Elemente zur Erfassung der
Position des Aufzeichnungskopfs an dem selben Substrat montiert
sind, die Genauigkeit extrem hoch, bei welcher die Position eines
Bildes aufgezeichnet werden kann. Zusätzlich können, da bei einer Verwendung
einer Halbleiterherstellungsverarbeitung zumindest die Elemente
mit zwei Funktionen gleichzeitig an dem selben Substrat montiert
werden können,
die Herstellungskosten drastisch reduziert werden.
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KURZE BESCHREIBUNG
DER ZEICHNUNGEN
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1 ist
eine perspektivische Teilquerschnittsansicht eines Aufzeichnungskopfs
gemäß einem
ersten Ausführungsbeispiel,
welches ein nicht mit den Ansprüchen übereinstimmendes
erstes Beispiel ist, welcher ein Substrat umfasst, an welchem Energie
erzeugende Elemente montiert sind;
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2 ist
eine Querschnittsansicht des Aufzeichnungskopfs in 1;
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3 ist
ein Schaubild, welches eine Ansteuereinrichtung bzw. einen Treiber
für Energie
erzeugende Elemente, Licht emittierende Elemente und Licht empfangende
Elemente zeigt, die in 1 und 2 dargestellt
sind;
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4 ist
ein Graph zur Erläuterung
eines Verfahrens zur Erfassung der Genauigkeit der Bildung von Bildpunkten
durch den Aufzeichnungskopf gemäß dem ersten
Beispiel, und er zeigt eine Signalformausgabe durch das Licht empfangende
Element während
einer Abtastung;
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5 ist
ein Schaubild, welches die Gesamtanordnung eines Aufzeichnungssystems
für den Aufzeichnungskopf
des ersten Beispiels veranschaulicht.
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6 ist
eine perspektivische Teilquerschnittsansicht eines Aufzeichnungskopfs
gemäß einem
zweiten Ausführungsbeispiel,
welches ein nicht mit den Ansprüchen übereinstimmendes
zweites Beispiel darstellt, welches ein Substrat umfasst, an welchem
Energie erzeugende Elemente montiert sind;
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7 ist
eine Querschnittsansicht des Aufzeichnungskopfs in 6;
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8 ist
ein schematisches Schaubild für ein
drittes Ausführungsbeispiel,
das ein nicht mit den Ansprüchen übereinstimmendes
drittes Beispiel darstellt;
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9 ist
ein schematisches Schaubild zur Erläuterung des dritten Beispiels;
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10A ist ein Schaubild einer erfassten Signalform
eines Licht empfangenden Elements gemäß dem dritten Beispiel;
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10B ist ein Schaubild einer Signalform, die durch
eine A/D-Wandlung der erfassten Signalform aus 10A erlangt ist;
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11 ist
eine perspektivische Ansicht eines Aufzeichnungskopfs mit einem
Aufzeichnungskopfsubstrat gemäß einem
vierten Ausführungsbeispiel der
vorliegenden Erfindung;
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12 ist
ein Schaubild der Anordnung von Elementen an dem Aufzeichnungskopfsubstrat
gemäß dem vierten
Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung;
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13 ist
ein Schaubild zur Erläuterung
eines akkuraten Positionserfassungsverfahrens, welches eine Vielzahl
von Kopfpositionserfassungselementen und ein lineares magnetisches
Bauteil verwendet, gemäß dem vierten
Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung;
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14 ist
eine perspektivische Ansicht eines Aufzeichnungskopfs mit einem
Aufzeichnungskopfsubstrat gemäß einem
fünften
Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung;
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15 ist
eine perspektivische Ansicht eines Aufzeichnungskopfs mit einem
Aufzeichnungskopfsubstrat gemäß einem
sechsten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung;
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16 ist
ein Schaubild zur Erläuterung
eines genauen Positionserfassungsverfahrens, welches eine Vielzahl
von Kopfpositionserfassungselementen und linearen magnetischen Bauteilen
verwendet, gemäß dem sechsten
Ausführungsbeispiel der
vorliegenden Erfindung;
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17 ist
eine perspektivische Ansicht eines Aufzeichnungskopfs mit einem
Aufzeichnungskopfsubstrat gemäß einem
siebten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung;
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18 ist
eine schematische perspektivische Ansicht eines Beispiels einer
Tintenstrahlaufzeichnungsvorrichtung, in welcher der Aufzeichnungskopf
gemäß einem
der vierten bis siebten Ausführungsbeispiele
montiert werden kann; und
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19 ist
ein spezifisches Schaubild des allgemeinen Systemaufbaus einer Tintenstrahlaufzeichnungsvorrichtung
gemäß der vorliegenden
Erfindung.
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AUSFÜHRLICHE
BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSBEISPIELE
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Nun
werden die bevorzugten Ausführungsbeispiele
unter Bezugnahme auf die beiliegende Zeichnung beschrieben.
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(Erstes Beispiel)
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1 ist
eine perspektivische Teilquerschnittsansicht eines Aufzeichnungskopfs
gemäß einem
ersten Beispiel, welcher ein Substrat umfasst, in welchem Energie
erzeugende Elemente gebildet sind. 2 ist eine
Querschnittsansicht des in 1 gezeigten
Aufzeichnungskopfs.
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Bei
diesem Ausführungsbeispiel
sind eine Vielzahl von Energie erzeugenden Elementen 2 entlang
des Randes eines Substrats vertikal angeordnet, um eine Flüssigkeit
zu erwärmen
und Luftblasen für
den Ausstoß der
Flüssigkeit
zu erzeugen. An dem Substrat 1 ist eine obere Platte (Deckelplatte
bzw. Aufsatztafel) 4 befestigt, und in der Aufsatztafel 4 sind
Rillen bzw. Rinnen als Flüssigkeitsfließpfade 7 gebildet,
die den Energie erzeugenden Elementen 2 entsprechen. Ausstoßöffnungen 3 kommunizieren mit
den Flüssigkeitsfließpfaden 7 bzw.
stehen mit ihnen in Verbindung für
den Ausstoß einer
Flüssigkeit, wenn
die Energie erzeugenden Elemente 2 heizen bzw. erwärmen und
die Flüssigkeit
zum Schäumen bringen.
Für die
Zufuhr von Flüssigkeit
zu den Flüssigkeitsfließpfaden 7 sind
Flüssigkeitszufuhrröhren zur
Verfügung
gestellt. Ein Bild wird durch Auswerfen von Flüssigkeitströpfchen 20 durch die
Ausstoßöffnungen 3 gebildet,
so dass sie auf einem Bildaufzeichnungsblatt 19 landen.
Zusätzlich
zu dem Substrat 1 ist ein weiteres Substrat 14 zur
Verfügung
gestellt, auf welchem Verdrahtungsmuster 16 montiert sind,
und wenn Anschlüsse 13 an
dem Substrat 1 mit den Verdrahtungsmustern 16 durch
Bonddrähte 15 verbunden
sind, können
die Energie erzeugenden Elemente 2, die Licht emittierenden
Elemente 9 und die Licht empfangenden Elemente 10 mit
dem Hauptkörper
einer Aufzeichnungsvorrichtung Signale austauschen.
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Die
Licht emittierenden Elemente 9 und die Licht empfangenden
Elemente 10 sind an dem selben Substrat 1 mit
den Energie erzeugenden Elementen 2 unter Verwendung einer
Halbleiterschicht des Substrats 1 montiert. Bei diesem
Ausführungsbeispiel
entsprechen die Orte der Ausstoßöffnungen 3,
wie in 1 gezeigt, denjenigen der Licht emittierenden
Elemente 9 und der Licht empfangenden Elemente 10.
Jedoch kann ein Teil der Aufgabe der vorliegenden Erfindung sogar
ausgeführt
werden, wenn sich die Anordnungen nicht entsprechen.
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Findet
ein optisches System Verwendung, befinden sich die Licht emittierenden
Elemente 9 und die Licht empfangenden Elemente 10 optisch
gegenüber
der Fläche,
auf welcher ein Bild durch Ausstoßdüsen gebildet wird. Bei diesem
Beispiel wird mittels optischen Fasern 11 und 12 und
optischen Linsen 5 und 6 die Bildbildungsfläche durch
Licht emittierende Elemente 9 bestrahlt, und von der Fläche reflektiertes Licht
wird an die Licht empfangenden Elemente 10 gesendet. Wie
in 2 gezeigt, ist der Bereich an der Bildbildungsfläche, den
diese Elemente bestrahlen können
oder von welcher sie Licht empfangen können, ein Bereich benachbart
zu einem der Bildpunkte 21, die miteinander in Beziehung
stehend abgetastet werden (in der durch einen Pfeil A angezeigten
Abtastrichtung). Da Bildpunkte 21 auf dem Bildaufzeichnungsblatt 19 gebildet
werden, und da ein Aufzeichnungskopf 34 das Bildaufzeichnungsblatt 19 abtastet,
wird die relative Positionsbeziehung der Bildpunkte 21 verschoben.
Als ein Ergebnis kann der Aufzeichnungskopf 34 mittels
der optischen Linsen 5 und 6 von den auf dem Bildaufzeichnungsblatt 19 gebildeten
Bildpunkten reflektiertes Licht abstrahlen oder empfangen.
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Für eine Gestaltung,
bei welcher die optische Abstrahlungslinse 5 und die Licht
empfangende optische Linse 6 einen großen Bereich abdecken können, muss
die Fokussierung der optischen Linsen 5 und 6 nur
vertikal relativ zu dem Bildaufzeichnungsblatt 19 angepasst
bzw. eingestellt werden. Für
einen Fall, bei dem durch ein Verengen des Fokus nur ein kleiner
Bereich abgedeckt wird, um die Dichte eines Bildpunktes relativ
zu seiner Abmessung zu erhöhen und
die Genauigkeit zu verbessern, mit welcher die Position des Bildpunktes
erfasst wird, müssen
die optischen Linsen so abgewickelt werden, dass sie auf den selben
Ort an einem Bildpunkt fokussieren, wie es in 2 gezeigt
ist.
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Die
optischen Fasern 11 und 12 in 2 sind zylindrisch
und mit Schichten (Materialien mit einem Brechungsindex, welcher
sich von dem der optischen Fasern 11 und 12 unterscheidet) 35 und 36 beschichtet,
so dass Licht an den Oberflächen
der Fasern voll reflektiert wird, so dass es keinen Lichtverlust
nach außen
gibt. Als ein Ergebnis kann Licht mit geringer Reduktion oder Abschwächung an
die Licht empfangenden Elemente 10 gesendet werden. Zusätzlich kann,
wenn Lichtquellen, wie beispielsweise Halbleiterlaser, mit einer
hohen Kohärenz
als die Licht emittierenden Elemente 9 eingesetzt werden,
eine beträchtliche
Erhöhung
des Effekts erlangt werden.
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Wird
ein anderer Typ einer Lichtquelle, wie beispielsweise eine Halogenlichtquelle,
anstelle einer Verwendung der Licht emittierenden Elemente 9 extern
eingesetzt, kann ein Teil des von dem vorliegenden Beispiel zur
Verfügung
gestellten Effekts erlangt werden.
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Die
Licht empfangenden Elemente 10 können beispielsweise Fotodioden
oder CCDs sein, welche eine fotoelektrische Umwandlung durchführen können.
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3 ist
ein Schaubild, welches einen Treiber bzw. eine Ansteuereinrichtung
für die
Energie erzeugenden Elemente 2, die Licht emittierenden
Elemente 9, und die Licht empfangenden Elemente 10 darstellt,
die in 1 und 2 gezeigt sind. Wie es in 3 gezeigt
ist, werden die Energie erzeugenden Elemente 2, die Licht
emittierenden Elemente 9 und die Licht empfangenden Elemente 10 im
Wesentlichen von einer CPU 26 angesteuert. Die Energie
erzeugenden Elemente 2 und die Licht empfangenden Elemente 9 werden
angesteuert, wenn von der CPU 26 an Ansteuereinrichtungen 22 und 23 Steuersignale
gesendet werden. Insbesondere wird das Signal des Licht empfangenden
Elements 10 von einem Verstärker 24 verstärkt, und
das resultierende Signal wird von einem A/D-Wandler 25 in
ein digitales Signal umgewandelt. Dann wird der Signalwert an die
CPU 26 gesendet. Das Energie erzeugende Element 2, das
Licht emittierende Element 9 und das Licht empfangende
Element 10 sind an dem selben Substrat unter Verwendung
der an dem Substrat gebildeten Halbleiterschicht montiert. Daher
können
Prozeduren, für
welche die selbe Verarbeitung Verwendung findet, gemeinsam durchgeführt werden,
und dies kann zu einer beträchtlichen
Reduktion von Herstellungskosten führen, und während der Halbleiterherstellungsverarbeitung
kann die Einstellung der Positionen der drei Elemente mit einem
hohen Maß an Genauigkeit,
das heißt
mit einem Maß an
Genauigkeit in der Spanne von eins bis mehreren μms, durchgeführt werden. Als ein Ergebnis
dient diese Anordnung effektiv als Mittel zum Vornehmen einer Bildbildungskorrektur
in der Größenordnung
von μm.
Zusätzlich
kann, da die Positionierungsbeziehung fixiert ist, im Voraus eine
Varianz bei der Positionierung der individuellen Elemente erfasst
werden, so dass die Positionierung eines zu bildenden Bildes genau
bzw. akkurat korrigiert werden kann. Dementsprechend kann eine Korrektursteuerung
mit wenigen Fehlern ausgeführt
werden. Auch wenn die Korrekturinformationen in der Aufzeichnungsvorrichtung
gespeichert werden können,
können
derartige Informationen auch in einem an dem Substrat 1 montierten
nicht flüchtigen
Speicher gespeichert werden, so dass die Genauigkeit der Positionierung
an dem Substrat 1 verbessert werden kann. Sind die Ansteuereinrichtungen 22 und 23 für die Elemente
an dem Substrat 12 unter Verwendung der Halbleiterschicht
montiert, können
die zuvor erwähnten
Effekte, das heißt
die Reduktion bei den Herstellungskosten und die Verbesserung bei
der Genauigkeit, erlangt werden. Darüber hinaus können, wenn
eine Betriebsschaltung, wie beispielsweise die CPU 26,
an dem selben Substrat unter Verwendung der Halbleiterschicht montiert ist,
sowohl die Form eines Bildes als auch die Bildinformationen gleichzeitig
erlangt werden, so dass auch eine Korrektursteuerung durchgeführt werden kann.
Als ein Ergebnis können
Steuereffekte hoher Bildqualität
erlangt werden.
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Nun
wird eine Erläuterung
unter Bezugnahme auf 4 für das Verfahren vorgenommen,
welches zur Erfassung der Genauigkeit der Positionierung von aus
dem Bildaufzeichnungsblatt 19 gebildeten Bildpunkten Verwendung
findet.
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Wie
es in 3 gezeigt ist, werden die Bildpunkte 21,
so lange Bildpunkte 21 durch den Auswurf durch Ausstoßöffnungen 3 von
Flüssigkeitströpfchen 20 gebildet
werden, sequentiell von dem Licht emittierenden Element 9 und
dem Licht empfangenden Element 10 abgetastet. In diesem
Fall weist die Ausgabe aus dem Licht empfangenden Element 10 die
in 4 gezeigte Signalform auf. Die Ausgabe des Licht
empfangenden Elements 10 relativ zu dem Abschnitt, auf
welchem der Bildpunkt 21 gebildet wird, ist durch Punkt
A angezeigt. Dies ist dadurch begründet, dass eine Menge des Lichts,
welches vermutlich von einem Blatt zu reflektieren ist, auf welchem
gerade keine Bildpunkte 21 gebildet werden, von den Bildpunkten 21 absorbiert
wird und die Ausgabe reduziert ist. Mit Wiederholung der Punktbildung
und der Abtastvorgänge
wird eine Signalform erlangt, die Punkt B bis Punkt E umfasst. Das
Ausgabereduktionsmaß für den Bildpunkt 21 bei
Punkt B ist um ΔV größer, als
es bei Punkt A ist. Daher wird es bestimmt, dass die Dichte des
Bildpunktes 21 bei Punkt B und die Lichtabsorptionsrate
größer sind.
Das Zeitintervall zwischen den Punkten B und C ist größer als
das zwischen den Punkten A und B, und daher wird es bestimmt, dass
bei der Bildung der Bildpunkte 21 eine Verschiebung auftrat,
und es wird der Abstand der Verschiebung erlangt. Da es bei dem
Punkt D keine Reduktion der Ausgabe gibt, wird es bestimmt, dass
aus einem bestimmten Grund keine Punkte gebildet wurden. Und ferner
wird es bestimmt, dass die Abmessung des Bildpunkts größer ist,
da bei dem Punkt E eine Ausgabereduktionszeit T2 größer als
eine Zeit T1 ist.
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Wie
es zuvor beschrieben ist, kann der Aufzeichnungskopf geeignet gesteuert
werden, da eine Vielzahl von gebildeten Bildpunkten betreffenden
Daten durch ein als Paar angeordnetes Licht emittierendes Element
und Licht empfangendes Element akkurat erlangt werden kann. Darüber hinaus
kann ein gewöhnliches
Bild, wie beispielsweise ein Fotobild, abgetastet werden, indem
das Licht emittierende Element und das Licht empfangende Element
eingesetzt werden.
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Nun
wird die gesamte Systemanordnung der Aufzeichnungsvorrichtung des
vorliegenden Beispiels unter Bezugnahme auf 5 beschrieben.
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Wie
es in 5 dargestellt ist, sind die Energie erzeugenden
Elemente 2, zur Bildung von Bildpunkten, und die Ansteuereinrichtung 22 durch
eine Vielzahl von Leitungen 17 verbunden. In ähnlicher Weise
sind die Licht emittierenden Elemente 9 und die Ansteuereinrichtung 23 miteinander
verbunden, wie es die Licht empfangenden Elemente 10, ein (nicht
abgebildeter) Verstärker
und die Ansteuereinrichtung 24 sind. Diese Komponenten
sind über
logische Schaltungen 27, 28, 29 mit der
CPU 26 verbunden. Für
diese Verbindungen wird ein Bus 33 verwendet, und mit diesem
Bus 33 sind ein RAM 31, ein ROM 30 und
ein EEPROM 32 verbunden. Über ein Datenkabel 39 und
eine Eingabe/Ausgabe-Schnittstelle 37 werden von einem
Computer 38 zur Verfügung
gestellte Bildinformationen an die CPU 26 gesendet, und
sie werden zeitweise in dem RAM 31 gespeichert. In dem
EEPROM 32 sind Positionsinformationen für die einzelnen Elemente gespeichert.
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(Zweites Beispiel)
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Bei
einem zweiten Beispiel wird eine Erläuterung für einen Fall vorgenommen, bei
welchem die zuvor beschriebenen optischen Fasern nicht eingesetzt
werden. 6 ist eine perspektivische Teilquerschnittsansicht
eines Aufzeichnungskopfs gemäß dem zweiten
Beispiel, welches ein Substrat umfasst, an welchem Energie erzeugende
Elemente montiert sind. 7 ist eine Querschnittsansicht
des Aufzeichnungskopfs von 6. Auch
bei diesem Beispiel werden die selben Bezugszeichen verwendet, wie
sie für
das erste Beispiel Verwendung fanden, um entsprechende Komponenten
zu bezeichnen.
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Mit
dem auf diese Weise angeordneten Aufzeichnungskopf sind, wie es
in 6 gezeigt ist, Energie erzeugende Elemente 2 in
einer einzigen Reihe an einem Substrat 1 angeordnet, und
Licht emittierende Elemente 9 und Licht empfangende Elemente 10 sind
an dem selben Substrat 1 bei Orten entsprechend denjenigen
der Energie erzeugenden Elemente 2 montiert. Daher sind
die Licht emittierenden Elemente 9 und die Licht empfangenden
Elemente 10 relativ zu den Energie erzeugenden Elementen 2 in einzelnen
Reihen angeordnet und in einer Abtastrichtung (einer Richtung, in
welcher ein Bildaufzeichnungsblatt abgetastet wird, oder in welcher
ein Aufzeichnungskopf es abtastet) ausgerichtet, und diese Reihen
sind parallel zu den Reihen der einzelnen Energie erzeugenden Elemente 2.
Darüber
hinaus ist an dem selben Substrat 14 auch eine Steuereinrichtung (vergleiche 3 und 5)
zur Ansteuerung der Energie erzeugenden Elemente 2, der
Licht emittierenden Elemente 9 und der Licht empfangenden Elemente 10 montiert.
Diese Anordnung ist die selbe, wie die bei dem ersten Beispiel.
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Bei
dem zweiten Beispiel ist an dem Substrat 1 eine Trennplatte 17 befestigt,
um die Licht emittierenden Elemente 9 und die Licht empfangenden
Elemente 10 vollständig
von den Energie erzeugenden Elementen 2 zu trennen. Darüber hinaus
ist eine Aufsatztafel 18 an dem Substrat 1 mit
der Trennplatte 17 dazwischen befestigt, um die Energie
erzeugenden Elemente 2, die Licht emittierenden Elemente 9 und die
Licht empfangenden Elemente 10 abzudecken. Dann ist zwischen
der Aufsatztafel 18 und der Fläche des Substrats, an welcher
die Energie erzeugenden Elemente 2 positioniert sind, ein
Raum definiert, welcher für
Flüssigkeitsfließpfade 7 Verwendung
findet, und es ist auch ein Raum zwischen der Aufsatztafel 18 und
der Fläche
des Substrats definiert, an welcher die Licht emittierenden Elemente 9 und
die Licht empfangenden Elemente 10 gebildet sind. In den
Abschnitten der Aufsatztafel 18 sind Ausstoßöffnungen 3 gebildet,
welche sich gegenüber
von den einzelnen Energie erzeugenden Elementen 2 befinden,
so dass durch die Ausstoßöffnungen 3 Flüssigkeitströpfchen ausgeworfen
werden können,
um Bildpunkte zu bilden. Zusätzlich
sind bei Positionen in der Aufsatztafel 18, welche den
Licht emittierenden Elementen 9 und den Licht empfangenden
Elementen 10 gegenüberliegen,
optische Bestrahlungslinsen 5 und Licht empfangende Linsen 6 gebildet.
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Die
Anordnung bei dem zweiten Beispiel, für welche keine optischen Fasern
Verwendung finden, ist einfacher als diejenige bei dem ersten Beispiel. Die
anderen Aktionen und Effekte sind die selben, wie diejenigen bei
dem ersten Beispiel.
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(Drittes Beispiel)
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Das
vorliegende Beispiel kann derart modifiziert werden, dass zur Erfassung
der Position eines einzelnen Punkts eine Vielzahl von Licht empfangenden
Elementen für
ein Licht emittierendes Element zur Verfügung gestellt werden kann.
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Eine
derartige Beispielanordnung wird nun als ein drittes Beispiel unter
Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben.
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8 ist
ein schematisches Schaubild, welches, von der Ausstoßöffnungsseite
eines Aufzeichnungskopfs gesehen, einen Teil einer als Beispiel dienenden
Anordnung von Ausstoßöffnungen 3, (nachfolgend
als Licht emittierende Elemente bezeichnete) optische Bestrahlungslinsen 5,
und (nachfolgend als erste Licht empfangende Elemente 6a und
zweite Licht empfangende Elemente 6b bezeichnete) Licht
empfangende Linsen 6 zeigt.
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Wie
es in 8 gezeigt ist, sind Licht emittierende Elemente 5 in
einer zu der Anzahl von Ausstoßöffnungen 3 äquivalenten
Anzahl entlang der Abtastrichtung eines Aufzeichnungskopfs und mit
einem vorbestimmten Abstand von den Ausstoßöffnungen 3 angeordnet.
Danach sind die ersten Licht empfangenden Elemente 6a und
die zweiten Licht empfangenden Elemente 6b mit einem Abstand
von den Licht empfangenden Elementen 5 angeordnet. Ist
die Abtastrichtung des Aufzeichnungskopfs die Richtung X, und ist
die Richtung senkrecht zu der Abtastrichtung die Richtung Y, sind
die ersten und die zweiten Licht empfangenden Elemente 6a und 6b von
der Mittellinie der Ausstoßöffnung 3 in
den Richtungen X und Y verschoben.
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Nun
wird die von den auf diese Weise angeordneten Licht empfangenden
Elementen durchgeführte
Punkterfassungsverarbeitung unter Bezugnahme auf 9 und 10A und 10B beschrieben.
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9 ist
ein spezifisches Schaubild der Anordnung einer Ausstoßöffnung 3,
eines Licht emittierenden Elements 5, eines ersten Licht
empfangenden Elements 6a und eines zweiten Licht empfangenden
Elements 6b, und des Orts, an welchem ein Tintenpunkt 21 gelandet
ist.
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Wie
es in 9 gezeigt ist, ist, wenn die Positionierung des
Tintenpunkts 21 in der Y-Richtung verschoben ist, wie es
in 10A gezeigt ist, eine große Änderung einer Spannungssignalformausgabe
durch das erste Licht empfangende Element 6a vorhanden,
während
nur eine kleine Änderung
bei einer Spannungssignalformausgabe durch das zweite Licht empfangende
Element 6b vorhanden ist. Durch eine A/D-Wandlung der Ausgabespannungssignalform
wird die in 10B gezeigte Impulssignalform erlangt.
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Es
werden das Zentrum bzw. die Mitte (Linie a in 10B) der von dem ersten Licht empfangenden Element 6a erfassten
Impulssignalform, das Zentrum bzw. die Mitte (Linie b in 10B) der von dem zweiten Licht empfangenden Element 6b erfassten
Impulssignalform und die Differenz zwischen der Mitte der Impulssignalform
und der Linie a oder der Linie b, die erfassten werden hätte sollen,
berechnet, um die „Verschiebung" in der Richtung
X zu erfassen. Der Ausstoßzeitpunkt
wird derart korrigiert, dass die Linie a oder die Linie b, welche
tatsächlich erfasst
hätte werden
sollen, mit der Mitte der Impulssignalform übereinstimmt, die von dem ersten
oder dem zweiten Licht empfangenden Element 6a oder 6b erfasst
ist. Als ein Ergebnis kann die „Verschiebung" eines Punktes in
Richtung X korrigiert werden. Da bei diesem Ausführungsbeispiel die ersten und zweiten
Licht empfangenden Elemente 6a und 6b im Voraus
mit einem vorbestimmten Abstand positioniert sind, wird die Differenz
zwischen den Mitten bzw. Zentren der Impulssignalformen berechnet,
um ein Ergebnis zu erlangen, welches einen Faktor für die Positionierung
des Licht empfangenden Elements umfasst. Daher muss der Faktor für die Positionierung
des Licht empfangenden Elements, wenn die Orte der Licht empfangenden
Elemente in der Richtung X die selben sind, nicht umfasst werden.
-
Unter
der Annahme, dass ein auszuwerfender Punkt ein Kreis ist, repräsentiert
darüber
hinaus die Differenz zwischen den Impulsbreiten des ersten und des
zweiten Licht empfangenden Elements 6a und 6b eine
Positionierungsverschiebung eines Punktes in der Richtung Y und
eine Verzerrung des Durchmessers des Punktes. Als ein Ergebnis kann die „Verschiebung" des Punktes in der
Richtung Y und die „Verzerrung" des Durchmessers
des Punktes erlangt werden. Danach wird an das Energie erzeugende
Element eine derartige Spannung angelegt, dass die Impulsbreite
des ersten Licht empfangenden Elements 6a mit der Impulsbreite
des zweiten Licht empfangenden Elements 6b übereinstimmt. Dann
kann die „Verzerrung" des Durchmessers
des Punktes korrigiert werden.
-
Die
vorangehende Anordnung ist nur ein Beispiel, und es kann eine andere
Anordnung eingesetzt werden, welche die Positionierung eines Punktes
erfassen und korrigieren kann. Es können auch eine Vielzahl von
Licht emittierenden Elementen zur Verfügung gestellt werden, so dass
sie mit den Licht empfangenden Elementen bei der vorangehenden Anordnung
in einem Paar angeordnet sind.
-
Mit
dieser Anordnung kann im Vergleich zu einem Fall, bei dem eine ähnliche
bzw. gleiche Anzahl von Energie erzeugenden Elementen und Licht empfangenden
Elementen zur Verfügung
gestellt sind, die „Verschiebung" des Punktes in den
Richtungen X und Y und die „Verzerrung" des Durchmessers des
Punktes genauer erfasst und korrigiert werden. Als ein Ergebnis
kann eine empfindlichere Bildaufzeichnung ausgeführt werden.
-
Bei
den vorangehenden Beispielen wird ein Bild durch Ausstoßen einer
Flüssigkeit
gebildet. Jedoch kann das Konzept der vorliegenden Beispiele auch
für eine
Bildbildungseinrichtung, wie beispielsweise einen thermischen Kopf,
der eine thermische Übertragung
durchführt,
angewendet werden.
-
Wie
es zuvor beschrieben ist, werden gemäß den vorliegenden Beispielen,
da die Energie erzeugenden Elemente zur Bildung von Bildpunkten
und die Licht empfangenden Elemente zur optischen Erfassung der
Bildpunkte an dem selben Substrat montiert sind, die folgenden Wirkungen
bzw. Effekte erlangt:
- 1) Informationen im Bezug
auf die Position, die Abmessung und die Dichte eines Bildpunktes können akkurat
und schnell erlangt werden; und
- 2) Verglichen mit einer Anordnung, bei welcher die Energie erzeugenden
Elemente, die Licht emittierenden Elemente und die Licht empfangenden
Elemente an separaten Substraten montiert sind, werden Prozeduren
gemeinsam durchgeführt,
welche den selben Vorgang zur Herstellung der Elemente verwenden,
und ein sie miteinander Verbinden ist nicht erforderlich. Als ein
Ergebnis sind die Herstellungskosten beträchtlich niedriger, und es kann
die Abmessung der Vorrichtung reduziert werden.
-
Ferner
können,
wenn mehr Licht empfangende Elemente zur Verfügung gestellt sind als es Energie
erzeugende Elemente sind, akkuratere Bildpunktinformationen erlangt
werden.
-
Darüber hinaus
kann das selbe Verfahren zum zur Verfügung Stellen akkurater Korrekturen
für eine
Vielzahl von Köpfen
eingesetzt werden.
-
Das
Licht emittierende Element und das Licht empfangende Element können als
eine Abtasteinrichtung zum Lesen eines Bildes, wie beispielsweise
eines üblichen
Foto, dienen.
-
Nun
werden die Ausführungsbeispiele
der vorliegenden Erfindung beschrieben.
-
(Viertes Ausführungsbeispiel)
-
11 ist
eine perspektivische Ansicht eines Aufzeichnungskopfs mit einem
Aufzeichnungskopfsubstrat gemäß einem
vierten Ausführungsbeispiel der
vorliegenden Erfindung. 12 ist
ein Schaubild, welches die Orte von Elementen an dem Aufzeichnungskopfsubstrat
gemäß dem vierten
Ausführungsbeispiel
zeigt.
-
Bei
dem Aufzeichnungskopf für
dieses Ausführungsbeispiel
ist, wie in 11 gezeigt, die rückwärtige Fläche eines
(nachfolgend als ein „Elementsubstrat 1" bezeichneten) Aufzeichnungskopfsubstrats
an einer Fläche
eines Tintenbehälters 51 befestigt,
in welchem Tinte als eine Aufzeichnungsflüssigkeit aufbewahrt wird. Eine
Vielzahl von als Energie erzeugende Elemente dienenden elektrothermischen Umwandlungselementen 2 sind
linear bei spezifischen Abständen
an der Oberfläche
des Elementsubstrats 1 angeordnet. In der Nähe der elektrothermischen
Umwandlungselemente 2 an dem Elementsubstrat 1 ist
ein mit dem Tintenbehälter 51 in
Verbindung stehender Flüssigkeitsfließpfad 7 gebildet,
und er erstreckt sich parallel zu dem elektrothermischen Umwandlungselement 2 in
der Richtung, in welcher sie angeordnet sind.
-
An
dem Elementsubstrat 1 ist eine Aufsatztafel 4 über ein
Rahmenbauteil 18 befestigt, welches die elektrothermischen
Umwandlungselemente 2 und den Flüssigkeitsfließpfad 7 umschließt, und
es ist ein Raum definiert, welcher als ein Flüssigkeitsreservoir dient. Bei
den Abschnitten der Aufsatztafel 4, welche den einzelnen
elektrothermischen Umwandlungselementen entsprechen, sind Ausstoßöffnungen 3 gebildet.
Tinte wird von dem Tintenbehälter 51 entlang
des Flüssigkeitsfließpfads 7 zu
dem Raum zugeführt,
welcher durch das Elementsubstrat 1, das Rahmenbauteil 18 und
die Aufsatztafel 4 definiert ist. Wird die Tinte erwärmt und
durch das elektrothermische Umwandlungselement 2 zum Sieden
gebracht, wird ein Druck erzeugt und die Tinte wird durch die Ausstoßöffnungen 3 auf
ein (nicht gezeigtes) Aufzeichnungsmedium herausgezwungen. Bei diesem Ausführungsbeispiel
wird ein sogenannter Seitenschießtyp eingesetzt, welcher Tinte
vertikal relativ zu dem Elementsubstrat 1 ausstößt.
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An
einem Ende des Elementsubstrats 1 sind Elektrodenanschlüsse 13 zur
Verbindung mit einer flexiblen Druckplatte 14 zur Verfügung gestellt.
Es wird ein Verfahren, wie beispielsweise Drahtbonden, eingesetzt,
um die flexible Druckplatte 14 mit den Elektrodenanschlüssen 13 zu
verbinden. Zudem befinden sich an der flexiblen Druckplatte 14 Kontaktanschlüsse 53,
und sie dienen als Kontaktpunkte für elektrische Verbindungen
zwischen der Aufzeichnungsvorrichtung und dem Aufzeichnungskopf. Über die
Kontaktpunkte werden aufgezeichnete Daten und Aufzeichnungszeitvorgaben
umfassende Bildforminformationen ausgetauscht.
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Als
das Konfigurationsmerkmal dieses Ausführungsbeispiels sind Kopfpositionserfassungselemente 101 bis 104,
welche magnetische Sensoren sind, unter Verwendung einer Halbleiterschicht
an dem Elementsubstrat 1 montiert, an welchem die elektrothermischen
Umwandlungselemente 2 montiert sind. Die Kopfpositionserfassungselemente 101 bis 104 sind
nicht von der Aufsatztafel 4 bedeckt, und sie sind in einer
zu der Reihe der Ausstoßöffnungen 3 senkrechten
Richtung angeordnet. Der Aufzeichnungskopf bei diesem Ausführungsbeispiel
kann sich in einer Richtung parallel zu dem Elementsubstrat 1 und
senkrecht zu der Reihe von Ausstoßöffnungen 3 (in von
Pfeilen A und B in 11 angezeigten Richtungen) hin
und her bewegen. Die Kopfpositionserfassungselemente 101 bis 104 sind
mit einer dazwischen liegenden Lücke
gegenüber
einem linearen magnetischen Bauteil 100 (einem magnetischen Bauteil,
bei welchem nördlich
und südlich
polarisierte Segmente bzw. Segmente mit Südpolung und Nordpolung wechselweise
linear angeordnet sind) positioniert, welches entlang der Bewegungsrichtung
des Aufzeichnungskopfs fixiert ist. Die Kopfpositionserfassungselemente 101 bis 104 und
das linear magnetische Bauteil 100 bilden die Kopfpositionserfassungseinrichtung
dieses Ausführungsbeispiels.
Mit dieser Anordnung kann die Position des sich in der durch einen
Pfeil A oder B in 11 angezeigten Richtung bewegenden
Aufzeichnungskopfs erfasst werden, wenn die magnetische Kraft des
an der Vorrichtung fixierten linearen magnetischen Bauteils 100 von
den Kopfpositionserfassungselementen 101 bis 104 erfasst
wird.
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Das
Elementsubstrat 1 wird unter Bezugnahme auf 12 ausführlicher
beschrieben.
-
Die
als Energie erzeugende Elemente dienenden elektrothermischen Umwandlungselemente 2 werden
durch Einschalten oder Ausschalten eines Ansteuertransistors (Ansteuerelements) 22 aktiv
gemacht. Die Kopfpositionserfassungselemente 101 bis 104,
welche magnetische Sensoren sind, sind an dem Elementsubstrat 1 montiert,
und die Halbleiterschicht des Elementsubstrats 1 kann als
ein Bestandteil der Kopfpositionserfassungselemente 101 bis 104 eingesetzt
werden. Die Kopfpositionserfassungselemente 101 bis 104 geben
Signale gemäß den Polen
des gegenüberliegenden
linearen magnetischen Bauteils 100 aus. Die Signale werden
von einem Verstärker 42 verstärkt, die
verstärkten
Signale werden von einem A/D-Wandler in digitale Signale umgewandelt,
und die digitalen Signale werden an eine CPU 26 gesendet,
welche eine Betriebsschaltung ist.
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Wenn
Bilddaten extern an das Elementsubstrat 1 gesendet werden,
werden sie von einer Eingabe/Ausgabeschaltung 37 empfangen
und verarbeitet und die resultierenden Daten werden an die CPU 26 gesendet.
Die CPU 26 verarbeitet die empfangenen Bildsignale, um
so die Energie erzeugenden Elemente 2 mit einer adäquaten Zeitvorgabe
anzusteuern, und sie sendet die Bildsignale an den Ansteuertransistor 22 als
Ansteuersignale. Da die Zeitvorgabe gemäß der von den Kopfpositionserfassungselementen 101 bis 104 erfassten
Position des Kopfs korrigiert wird, bevor die Ansteuersignale gesendet
werden, kann ein Bild extrem genau aufgezeichnet werden. Insbesondere
beträgt
bei diesem Ausführungsbeispiel,
da die das Aufzeichnen induzierenden Energie erzeugenden Elemente 2 und
die die Kopfposition erfassenden Kopfpositionserfassungselemente 101 bis 104 an
dem selben Substrat montiert sind, ein Fehler bei der Positionierung
der Elemente nur mehrere Mikrometer, welches die Musterungsgenauigkeit
während
einer Halbleiterherstellungsverarbeitung ist. Als ein Ergebnis kann
ein extrem genaues Aufzeichnen erzielt werden, und die Bildqualität kann drastisch verbessert
werden. Zudem können,
da die Elemente mit zwei separaten bzw. getrennten Funktionen an dem
selben Substrat montiert sind, diese Elemente zu der gleichen Zeit
während
des Halbleiterherstellungsvorgangs hergestellt werden, und es ist
keine Verdrahtung erforderlich. Als ein Ergebnis können die
Herstellungskosten in großem
Umfang reduziert werden.
-
Zudem
kann, da die Kopfpositionserfassungselemente nicht durch irgendein
Bauteil abgedeckt sind, wie beispielsweise die Aufsatztafel, ein gewünschter
Elementtyp ausgewählt
werden, solange wie er an dem Aufzeichnungskopfsubstrat montiert
werden kann, und die Position des Kopfs kann mit niedrigen Kosten
akkurat erfasst werden.
-
Nun
wird ein akkurates bzw. genaues Verfahren zur Erfassung der Position
eines gleitbaren Aufzeichnungskopfs beschrieben. 13 ist
ein Schaubild zur Erläuterung
des akkuraten Positionserfassungsverfahrens gemäß diesem Ausführungsbeispiel,
welches die Kopfpositionserfassungselemente 101 bis 104 und
das lineare magnetische Bauteil 100 verwendet.
-
In 13 ist
das lineare magnetische Bauteil 100 mit einem Abstand D
mit wechselnden südlichen und
nördlichen
Polaritäten
magnetisiert, um das magnetische Polaritätsmuster zu bilden. Da die
Kopfpositionserfassungselemente 101 bis 104 mit
einem Abstand D/4 angeordnet sind, weist die Erfassungsgenauigkeit
in den Kopfbewegungsrichtungen A und B einen Wert von D/4 auf. Das
heißt,
auch wenn ein preislich günstiges
lineares magnetisches Bauteil 100 mit einem großen Abstand
eingesetzt wird, kann eine extrem hohe Erfassungsgenauigkeit in Übereinstimmung
mit den Abständen
und der Anzahl der Kopfpositionserfassungselemente 101 bis 104 erlangt
werden. Zusätzlich
können,
indem mehr Kopfpositionserfassungselemente zur Verfügung gestellt sind,
die Verbindungen und die Verdrahtung für sie an dem selben Substrat
durchgeführt
werden. Daher ist der Aufbau der Vorrichtung nicht sehr kompliziert, ihre
Abmessung ist nicht vergrößert, und
die Herstellungskosten sind nur geringfügig erhöht. Da die Erfassungsgenauigkeit
um den Abstand D/n erhöht
ist, wobei die Anzahl von Elementen n ist, hängt die Erfassungsgenauigkeit
im Wesentlichen von der Musterungsgenauigkeit ab, die während der
Halbleiterherstellungsverarbeitung erzielt wird. Folglich ist eine Positionserfassung
möglich,
die gleich oder geringer als ein Mikrometer ist.
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(Fünftes Ausführungsbeispiel)
-
14 ist
eine perspektivische Ansicht eines Aufzeichnungskopfs gemäß einem
fünften
Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung, welcher ein Aufzeichnungskopfsubstrat
umfasst. Auch bei diesem Ausführungsbeispiel
werden die selben Bezugszeichen verwendet, wie sie für das vierte
Ausführungsbeispiel
verwendet wurden, um entsprechende Komponenten zu bezeichnen. Es
werden nur diejenigen Abschnitte beschrieben, welche sich von denjenigen
des vierten Ausführungsbeispiels
unterscheiden.
-
Bei
diesem Ausführungsbeispiel
werden, wie es in 14 gezeigt ist, optische Sensoren
als Kopfpositionserfassungselemente eingesetzt. Es sind vier Paare
von Licht emittierenden Elementen 201 bis 204 und
Licht empfangenden Elementen 205 bis 208 mit Energie
erzeugenden Elementen (elektrothermischen Umwandlungselementen)
an einem Elementsubstrat 1 montiert. Die Paare von Licht
emittierenden Elementen 201 bis 204 und Licht
empfangenden Elementen 205 bis 208 sind nicht
mit einer Aufsatztafel 18 abgedeckt, und sie sind in einer
Richtung senkrecht zu einer Reihe von Ausstoßöffnungen 3 angeordnet.
Zusätzlich
kann sich der Aufzeichnungskopf bei diesem Ausführungsbeispiel in den Richtungen parallel
zu dem Elementsubstrat und senkrecht zu der Reihe von Ausstoßöffnungen 3 (durch
Pfeil A und B in 14 angezeigte Richtungen) hin
und herbewegen. Die Licht emittierenden Elemente 201 bis 204 und
die Licht empfangenden Elemente 205 bis 208 sind
mit einer dazwischenliegenden Lücke
gegenüber
einem linearen reflektierenden Bauteil (einem Riemenbauteil, in
welchem ein reflektierender Abschnitt und ein nicht reflektierender
Abschnitt wechselweise linear angeordnet sind) positioniert, welches
entlang der Richtung fixiert ist, in welcher sich der Aufzeichnungskopf
bewegt. Mit dieser Anordnung wird beispielsweise Licht von dem Licht
emittierenden Element 201 von dem reflektierenden Abschnitt
des linearen reflektierenden Bauteils 200 reflektiert,
und es wird an das Licht empfangende Element 205 gesendet.
-
Ähnlich zu
dem vierten Ausführungsbeispiel in 13 weist
das lineare reflektierende Bauteil 200 mit Abständen D angeordnete
reflektierende Abschnitte und nicht reflektierende Abschnitte auf.
Jedoch sind in diesem Fall die vier Paare von Licht emittierenden
Elementen 201 bis 204 und Licht empfangenden Elementen 205 bis 208 mit
Abständen
mit einem Wert von D/4 angeordnet. Daher können die vier optischen Sensoren,
welche durch die Licht emittierenden Elemente 201 bis 204 und
die Licht empfangenden Elemente 205 bis 208 gebildet
sind, die Position des Kopfs in den Kopfbewegungsrichtungen A und
B mit einer Genauigkeit von D/4 erfassen. Mit anderen Worten kann
in Übereinstimmung
mit den Abständen
und der Anzahl der durch Licht emittierende Elemente und Licht empfangende
Elemente gebildeten optischen Sensoren eine extrem hohe Erfassungsgenauigkeit
erlangt werden.
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(Sechstes Ausführungsbeispiel)
-
15 ist
eine perspektivische Ansicht eines Aufzeichnungskopfs mit einem
Aufzeichnungskopfsubstrat gemäß einem
sechsten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung. In 15 werden
die selben Bezugszeichen, wie für
das vierte Ausführungsbeispiel,
zur Bezeichnung entsprechender Komponenten verwendet.
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Bei
den vorangehenden Ausführungsbeispielen
wird die Kopfpositionserfassungseinrichtung der vorliegenden Erfindung
für den
sogenannten Seitenschießtyp
angewendet, welcher Tinte vertikal relativ zu dem Elementsubstrat
auswirft. Bei dem sechsten Ausführungsbeispiel
wird die Kopfpositionserfassungseinrichtung der vorliegenden Erfindung
für einen
sogenannten Randschießtyp
angewendet.
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Bei
diesem Ausführungsbeispiel
ist eine Aufsatztafel 168 an dem Elementsubstrat 1 befestigt,
an welchem eine Vielzahl von elektrothermischen Umwandlungselementen 2 montiert
sind, und ein Raum ist als ein Flüssigkeitsreservoir definiert.
In einer Fläche
der Aufsatztafel 168 ist eine Vielzahl von Ausstoßöffnungen 163 gebildet,
die parallel zu dem Elementsubstrat 1 und senkrecht zu
der Reihe von elektrothermischen Umwandlungselementen 2 ist,
und bei Positionen gebildet, welche den einzelnen elektrothermischen
Umwandlungselementen 2 entsprechen.
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Darüber hinaus
sind Kopfpositionserfassungselemente 151 bis 154,
welche magnetische Sensoren sind, unter Verwendung einer Halbleiterschicht
an dem Elementsubstrat 1 montiert, an welchem die elektrothermischen
Umwandlungselemente 2 montiert sind. Die Kopfpositionserfassungselemente 151 bis 154 sind
nicht von der Aufsatztafel 168 bedeckt, und sie sind in
einer Richtung angeordnet, welche sich senkrecht zu der Reihe von
Ausstoßöffnungen 163 befindet.
Der Aufzeichnungskopf bei diesem Ausführungsbeispiel kann sich in
einer vertikalen Richtung relativ zu dem Elementsubstrat 1 und senkrecht
relativ zu der Reihe von Ausstoßöffnungen 163 (in
den durch Pfeile A und B in 15 angezeigten
Richtungen) hin und her bewegen. Die Kopfpositionserfassungselemente 151 bis 154 sind
mit einer dazwischenliegenden Lücke
gegenüber
von linearen magnetischen Bauteilen 150 (magnetische Bauteile mit
nördlichen
Polaritäten
und südlichen
Polaritäten sind
wechselweise linear angeordnet) positioniert, welche entlang der
Richtung fixiert sind, in welche sich der Aufzeichnungskopf bewegt.
Die anderen Anordnungen sind die selben, wie diejenigen bei dem vierten
Ausführungsbeispiel.
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16 ist
ein Schaubild zur Erläuterung
des genauen Positionserfassungsverfahrens gemäß diesem Ausführungsbeispiel,
welches die Kopfpositionserfassungselemente 151 bis 154 und
die linearen magnetischen Bauteile 150 verwendet.
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Wie
es in 16 gezeigt ist, sind den Kopfpositionserfassungselementen 151 bis 154 entsprechende
vier magnetische Polmuster 150a bis 150d für die linearen
magnetischen Bauteile 150 zur Verfügung gestellt. Die magnetischen
Polmuster sind mit Abständen
D mit südlichen
und nördlichen
Polaritäten
magnetisiert. Die magnetischen Polmuster 150a und 150b sind
magnetisiert, während
sie um Abstände
mit einem Wert von D/4 verschoben sind, die magnetischen Polmuster 150c und 150d sind
magnetisiert, während
sie um Abstände
mit einem Wert von D/4 verschoben sind, und die magnetischen Polmuster 150d und 150a sind
magnetisiert, während
sie um Abstände
mit einem Wert von D/4 verschoben sind. Daher weist die Erfassungsgenauigkeit
der Kopfpositionserfassungselemente 151 bis 154 in
den Kopfbewegungsrichtungen A und B einen Wert von D/4 auf. Das
heißt,
es kann in Übereinstimmung
mit der Anzahl von Kopfpositionserfassungselementen und den Abständen für die Kopfpositionserfassungselemente sowie
entsprechenden magnetischen Polmustern eine extrem hohe Erfassungsgenauigkeit
erlangt werden.
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(Siebtes Ausführungsbeispiel)
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17 ist
eine perspektivische Ansicht eines Aufzeichnungskopfs mit einem
Aufzeichnungskopfsubstrat gemäß einem
siebten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung. Bei diesem Ausführungsbeispiel werden auch
die selben Bezugszeichen verwendet, wie sie für das sechste Ausführungsbeispiel
verwendet wurden, um entsprechende Komponenten zu bezeichnen. Es
werden nur diejenigen Abschnitte beschrieben, welche sich von dem sechsten
Ausführungsbeispiel
unterscheiden.
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Bei
diesem Ausführungsbeispiel
werden, wie es in 17 gezeigt ist, elektrostatische
Sensoren als Kopfpositionserfassungselemente eingesetzt. Elektrostatisch
erfassende Elemente 301 bis 304 sind unter Verwendung
einer Halbleiterschicht eines Elementsubstrats 1 montiert,
an welchem Energie erzeugende Elemente (elektrothermische Umwandlungselemente)
montiert sind. Die elektrostatisch erfassenden Elemente 301 bis 304 sind
nicht mit einer Aufsatztafel 168 bedeckt, und sie sind
relativ zu einer Reihe von Ausstoßöffnungen 163 in einer
senkrechten Richtung angeordnet. Zusätzlich kann sich der Aufzeichnungskopf
bei diesem Ausführungsbeispiel in
einer vertikalen Richtung relativ zu dem Elementsubstrat 1 und
senkrecht relativ zu der Reihe von Ausstoßöffnungen 163 (in von
Pfeilen A und B in 17 angezeigten Richtungen) hin
und her bewegen. Die elektrostatisch erfassenden Elemente 301 bis 304 sind
mit einer dazwischenliegenden Lücke gegenüber einem
linear geladenen Bauteil (ein geladenes Bauteil, bei welchem eine
positive Ladung und eine negative Ladung wechselweise linear angeordnet
sind) positioniert, welches entlang der Bewegungsrichtung des Aufzeichnungskopfs
fixiert ist.
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Wie
bei dem sechsten Ausführungsbeispiel in 16 sind
für das
linear geladene Bauteil 300 den elektrostatisch erfassenden
Elementen 301 bis 304 entsprechende vier geladene
Muster zur Verfügung
gestellt. Das Aufladungsmuster ist als eine positive Ladung und
eine negative Ladung mit Abständen
mit einem Wert von D magnetisiert. Die geladenen Muster sind durch
eine Verschiebung von einem benachbarten geladenen Muster um eine
Entfernung äquivalent
zu einem Abstand mit einem Wert von D/4 geladen. Daher weist die
Erfassungsgenauigkeit der elektrostatisch erfassenden Elemente 301 bis 304 in den
Kopfbewegungsrichtungen A und B einen Wert von D/4 auf. Das heißt, es kann
in Übereinstimmung mit
der Anzahl von elektrostatisch erfassenden Elementen und den Abständen der
elektrostatisch erfassenden Elemente, und den entsprechenden geladenen
Mustern, eine extrem hohe Erfassungsgenauigkeit erlangt werden.
-
Bei
dem vierten bis siebten Ausführungsbeispiel
sind die Kopfpositionserfassungselemente zum Einsatz von magnetischer
Kraft, Licht oder einem elektrischen Feld zur Erfassung der Position
eines Kopfs, nachdem er bewegt wurde, an dem Substrat montiert,
an welchem das Energie erzeugende Element gebildet ist. Jedoch können Licht
empfangende Elemente, wie beispielsweise CCDs, welche eine Vielzahl
von Informationen, wie beispielsweise die Positionen, die Abmessungen
und die Dichten von ein Bild bildenden Bildpunkten, optisch lesen,
mit den Energie erzeugenden Elementen und den Kopfpositionserfassungselementen
montiert sein.
-
(Anderes Ausführungsbeispiel)
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18 ist
eine schematische perspektivische Ansicht einer Tintenstrahlaufzeichnungsvorrichtung,
welche den Aufzeichnungskopf gemäß einem der
vorangehenden Ausführungsbeispiele
einsetzt. In 18 sind der Tintenstrahlaufzeichnungskopf und
der Tintenbehälteraufzeichnungskopf
gemäß jedem
Ausführungsbeispiel
integral bzw. einteilig gebildet, um eine Tintenstrahlkopfkartusche 601 zur
Verfügung
zu stellen. Die Tintenstrahlkopfkartusche 601 ist an einem
Schlitten 607 montiert, welcher in eine Spiralrille 606 einer
Führungsschraube 605 eingreift, die
gemäß der Vorwärts/Rückwärtsdrehung
eines Ansteuermotors 602 mittels Ansteuerkraftübertragungsgetriebe 603 und 604 gedreht
wird. Mit dem Schlitten 607 wird die Kopfkartusche 601 durch
die von dem Ansteuermotor 602 erzeugte Energie entlang
einer Führung 608 in
den durch Pfeile a und b angezeigten Richtungen bewegt. Wird ein
Druckblatt P durch eine (nicht abgebildete) Aufzeichnungsmediumzuführvorrichtung
um eine Schreibwalze 609 gespeist, presst eine Papierhalteplatte 610 das
Druckblatt P gegen die Schreibwalze 609 in der Richtung, in
welcher der Schlitten 607 bewegt wird. In Übereinstimmung
mit dem bei jedem der vorangehenden Ausführungsbeispiele beschriebenen
Aufzeichnungskopf ist ein lineares magnetisches Bauteil, ein lineares
reflektierendes Bauteil oder ein lineares geladenes Bauteil, die
einen Teil der Kopfpositionserfassungseinrichtung bilden, für die Papierhalteplatte 610 zur
Verfügung
gestellt.
-
In
der Nähe
eines Endes der Führungsschraube 605 befinden
sich Fotokoppler 611 und 612. Diese sind Ausgangspositionserfassungseinrichtungen
zur Feststellung des Vorhandenseins eines zu dem Schlitten 607 gehörenden Hebels 607a in diesem
Bereich, und zur Änderung
der Drehrichtung des Ansteuermotors 602. In 18 stützt ein
Stützbauteil 613 ein
Kappenbauteil 614, welches die vordere Fläche des
Tintenstrahlaufzeichnungskopfs 601 abdeckt, in welcher
Ausstoßöffnungen
gebildet sind. Eine Tintensaugeinrichtung 615 absorbiert
Tinte, welche durch einen Aufzeichnungskopf 601 vorausgestoßen ist
und in dem Kappenbauteil 614 aufbewahrt wird. Die Saugeinrichtung 615 führt einen
Saugwiedergewinnungsvorgang für
den Kopf 601 über
den offenen Abschnitt in der Kappe durch. Ein Bewegungsbauteil 618 bewegt
eine Reinigungsklinge 617 nach vorn oder nach hinten (in
einer Richtung senkrecht zu der Richtung, in welcher der Schlitten 607 bewegt wird).
Die Reinigungsklinge 617 und das Bewegungsbauteil 618 werden
von einem Stützbauteil 619 gestützt. Die
Reinigungsklinge 617 ist nicht auf diese Form beschränkt, und
es kann ein weiterer sehr gut bekannter Typ eingesetzt werden. Es
findet ein Hebel 620 Verwendung, um das Saugen für die Saugwiedergewinnungsoperation
zu starten. Der Hebel 620 wird im Zusammenhang mit der
Bewegung eines in den Schlitten 607 eingreifenden Nockens 621 bewegt,
und die von dem Ansteuermotor 602 ausgeübte Ansteuerkraft wird von
einer gut bekannten Übertragungseinrichtung,
wie beispielsweise einer Kupplungsschalteinrichtung gesteuert. Da
eine Tintenstrahlaufzeichnungssteuereinrichtung zur Sendung eines
Signals an ein für
den Kopf 601 zur Verfügung gestelltes
Wärme erzeugendes
Bauteil 202 oder zur Steuerung der zuvor beschriebenen
Abschnitte für den
Hauptkörper
der Vorrichtung zur Verfügung
gestellt ist, ist es in 18 nicht
gezeigt.
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Bei
einer Tintenstrahlaufzeichnungsvorrichtung 600 mit der
vorangehenden Anordnung wird der Kopf 601 bei einer Aufzeichnung über die
gesamte Breite eines Aufzeichnungsblattes P vor und zurück bewegt,
welches von einer (nicht abgebildeten) Aufzeichnungsmediumzuführvorrichtung
um die Schreibwalze 609 herum gespeist wird.
-
Nun
wird die gesamte Systemanordnung der Vorrichtung unter Bezugnahme
auf 19 beschrieben. Wie es in 19 gezeigt
ist, sind in der Vorrichtung Energie erzeugende Elemente 702 zur
Bildung von Bildpunkten und Ansteuereinrichtungen 703 durch
eine Vielzahl von Leitungen 704 verbunden. In ähnlicher
Weise sind die Kopfpositionserfassungselemente 705 und
eine Ansteuereinrichtung 706, die selben, wie diejenigen
bei den zuvor beschriebenen Ausführungsbeispielen,
durch Leitungen verbunden, wie es Licht empfangende Elemente 707 zur
Erlangung von Bildinformationen und einer Ansteuereinrichtung 708 sind.
Zudem sind diese Ansteuereinrichtungen über Logikschaltungen 709, 710 und 711 mit einer
CPU 712 verbunden. Für
diese Verbindungen wird ein Bus 713 eingesetzt, und mit
dem Bus 713 sind ein RAM 714, ein ROM 715 und
ein EEPROM 716 verbunden. Über ein Datenkabel 718 und
eine Eingabe/Ausgabeschnittstelle 719 werden Bildinformationen
von einem Computer 717 an die CPU 712 übertragen,
und sie werden zeitweise in dem RAM 714 gespeichert. Die
Positionierungsinformationen für
die einzelnen Elemente sind in dem EEPROM 716 gespeichert.
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Wie
es zuvor beschrieben ist, werden gemäß der vorliegenden Erfindung,
da zumindest die Energie erzeugenden Elemente und Elemente zur Erfassung
der Position eines Aufzeichnungskopfs an dem selben Substrat montiert
sind, die folgenden Effekte erlangt:
- 1) Ein
Bild kann mit einer hohen Positionsgenauigkeit aufgezeichnet werden;
und
- 2) da Elemente mit zumindest zwei Funktionen an dem selben Substrat
zur gleichen Zeit während der Halbleiterverarbeitung
gebildet werden können,
sind die Herstellungskosten extrem niedrig. In ähnlicher Weise kann, wenn eine
Vielzahl von Köpfen
eingesetzt wird, das selbe Verfahren zum akkuraten bzw. genauen
Erfassen der Positionen der Köpfe
und zum akkuraten bzw. genauen Korrigieren der Kopfpositionen eingesetzt
werden.