DE69635206T2

DE69635206T2 - Zerstäubungsvorrichtung und verfahren die akustische oberflächenwellen anwenden

Info

Publication number: DE69635206T2
Application number: DE69635206T
Authority: DE
Inventors: Kei Asai; Takanobu Yamauchi
Original assignee: Omron Healthcare Co Ltd
Current assignee: Omron Healthcare Co Ltd
Priority date: 1995-08-07
Filing date: 1996-08-05
Publication date: 2006-06-22
Anticipated expiration: 2016-08-06
Also published as: EP1602414A3; EP0844027A1; US5996903A; EP0844027A4; EP1602414B1; KR19990036166A; WO1997005960A1; KR100268533B1; JP3341023B2; EP1602414A2; DE69637458T2; EP0844027B1; DE69637458D1; DE69635206D1

Description

Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Zerstäuber und ein Zerstäubungsverfahren, welche akustische Oberflächenwellen verwenden, und insbesondere bezieht sie sich auf einen Ultraschallzerstäuber zur Heilung von Asthma- oder Lungenerkrankungen.
Stand der Technik
Ein Zerstäuber, der akustische Oberflächenwellen verwendet, ist in „Surface Acoustic Wave Atomizer with Pumping Effect" aus Proceedings of 8th IEEE International Workshop on Micro-Mechanical Systems, 30. Januar – 2. Februar 1995, Amsterdam, Niederlande, im Einzelnen beschrieben ist. 1 veranschaulicht den Zerstäuber, der in dieser Literaturstelle beschrieben wird. Der Zerstäuber umfasst einen Oszillator 3 mit einem Paar von Interdigitalelektroden 5 und 5 auf seiner Oberfläche zur Erzeugung von akustischen Oberflächenwellen, eine auf der Seite der oszillierenden Oberfläche des Oszillators 3 angeordnete Abdeckung 4 und ein Rohr 1. Eine zu zerstäubende Flüssigkeit 2 durchläuft das Rohr 1, wie durch Pfeil A gezeigt, und wird einem Zwischenraum zwischen Oszillator 3 und Abdeckung 4 zugeführt. Die aus dem Zwischenraum zwischen Oszillator 3 und Abdeckung 4 austretende Flüssigkeit 2 wird durch akustische Oberflächenwellenschwingung zerstäubt und versprüht.
Bei dem in 1 gezeigten Zerstäuber treten verschiedene Probleme auf, wenn die zugeführte Flüssigkeitsmenge und die Zerstäubungsmenge im Ungleichgewicht sind. Wenn die zugeführte Flüssigkeitsmenge übermäßig ist, tritt ein Überlaufen auf und die Zerstäubung hört möglicherweise auf. Wenn andererseits die zugeführte Flüssigkeitsmenge unzureichend ist, erfolgt die Zerstäubung so mit Unterbrechungen, dass eine kontinuierliche und gleichmäßige Zerstäubung nicht erzielt werden kann. Ferner ist zum Zerstäuben und Versprühen der Flüs sigkeit durch allein die Schwingung von akustischen Oberflächenwellen hohe elektrische Energie erforderlich, wobei es schwierig ist, einen gewünschten Vorgang unter Betrieb mit einer Batterie kleiner Leistung durchzuführen.
Offenbarung der Erfindung
Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen Zerstäuber sowie ein Zerstäubungsverfahren zu schaffen, welche das Gleichgewicht zwischen zugeführter Flüssigkeitsmenge und Zerstäubungsmenge in ausgezeichneter Weise aufrecht erhalten und eine stabile Zerstäubung durchführen können.
Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine stabile Zerstäubung bei kleiner Leistung einer Batterie oder dgl. zu ermöglichen.
Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine effiziente Zerstäubung und Versprühung zu ermöglichen.
Der Zerstäuber gemäß der vorliegenden Erfindung ist wie in Anspruch 1 definiert.
Die Flüssigkeitszuführmittel zur Zufuhr der Flüssigkeit in den kleinen Zwischenraumteil zwischen dem Oszillator und der porösen dünnen Platte enthalten einen Flüssigkeitsbehälter, welcher die zu zerstäubende Flüssigkeit speichert. Die Flüssigkeit wird aus dem Flüssigkeitsbehälter in den kleinen Zwischenraumteil durch Schwingung durch die akustischen Oberflächenwellen oder durch Kapillarität angesaugt. Die Flüssigkeit wird kontinuierlich automatisch in den kleinen Zwischenraumteil durch Schwingung durch die akustischen Oberflächenwellen und/oder Kapillarität durch Oberflächenspannung auch, nachdem die Flüssigkeit in dem kleinen Zwischenraumteil zerstäubt ist, zugeführt, wodurch das Gleichgewicht zwischen der Zuführmenge der Flüssigkeit und der Zerstäubungsmenge auf einem ausgezeichneten Wert gehalten werden kann.
Ferner erfordert er insbesondere keine Mittel zur Zwangslieferung der Flüssigkeit in den kleinen Zwischenraum, wodurch Miniaturisierung des Zerstäubers verwirklicht werden kann.
Zur wirkungsvollen Ansaugung der Flüssigkeit aus dem Flüssigkeitsbehälter in den kleinen Zwischenraumteil durch Schwingung durch akustische Oberflächenwellen und/oder Kapillarität durch Oberflächenspannung ist der Raum zwischen dem Oszillator und der porösen dünnen Platte so eingerichtet, dass er sich zum Flüssigkeitsbehälter hin allmählich erweitert.
Die poröse dünne Platte weist eine Anzahl von Durchgangslöchern auf. Als Material für die poröse dünne Platte ist eine Keramik aus einem harten Material mit kleiner Dämpfung der Amplitude durch Schwingungsabsorption bevorzugt. Keramik hat ausgezeichnete Korrosionsfestigkeit, und auch die Sicherheit für den menschlichen Körper ist bestätigt. Bei einem Vernebler, der verschiedene Arten chemischer Lösungen, die beispielsweise zur Asthmaheilung verwendet werden, zerstäubt, ist daher eine dünne Platte (Sieb) aus Keramik optimal.
In einer bevorzugten Ausführungsform umfasst der Zerstäuber einen Halter, der sowohl den Oszillator als auch die poröse dünne Platte mit einem kleinen Zwischenraum hält. Dank des Vorsehens eines solchen Halters wird der Zwischenraum zwischen dem Oszillator und der porösen dünnen Platte regelmäßig konstant gehalten.
Der Oszillator weist einen Ausbreitungsteil auf, in dem die akustischen Oberflächenwellen zur Ausbreitung gebracht werden sollen, und einen Nicht-Ausbreitungsteil, wo keine akustischen Oberflächenwellen zur Ausbreitung gebracht werden. In einer bevorzugten Ausführungsform erstreckt sich der kleine Zwischenraumteil zwischen dem Oszillator und der porösen dünnen Platte über den Ausbreitungsteil und den Nicht-Ausbreitungsteil. Zur Ansaugung der Flüssigkeit aus dem Flüssigkeitsbehälter in den kleinen Zwischenraumteil durch Schwingung durch akusti sche Oberflächenwellen und/oder Kapillarität wird der kleine Zwischenraumteil an dem Nicht-Ausbreitungsteil in die Flüssigkeit im Flüssigkeitsbehälter getaucht. Bei diesem Aufbau wird ein durch die akustischen Oberflächenwellen schwingender Bereich nicht in die Flüssigkeit eingetaucht, wodurch sich die Belastung der Schwingung nicht vergrößert und keine bedeutsame Verminderung der Schwingungsamplitude stattfindet. Daher werden die Sprühleistung und die Zerstäubungseffizienz auf einen ausgezeichnete Wert aufrechterhalten.
Das Zerstäubungsverfahren gemäß der vorliegenden Erfindung ist wie in Anspruch 7 definiert.
Die vorgenannten Aufgaben und weitere Merkmale sowie Vorteile der vorliegenden Erfindung werden aus der folgenden detaillierten Beschreibung, die unter Bezugnahme auf die Zeichnungen vorgenommen wird, deutlicher werden.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
1 ist eine perspektivische Ansicht, welche einen herkömmlichen Zerstäuber zeigt, der einen akustische Oberflächenwellen erzeugenden Oszillator verwendet.
2 ist einen auseinander gezogene perspektivische Ansicht einer Ausführungsform gemäß der Erfindung.
3 ist eine perspektivische Ansicht der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
4 ist einen Darstellung zur Veranschaulichung eines Benutzungszustands der Ausführungsform der Erfindung.
5 ist eine Darstellung, welche als Beispiel einen Ansauger, in welchem der Zerstäuber montiert ist, zeigt.
6 ist eine perspektivische Ansicht, welche einen akustische Oberflächenwellen erzeugenden Oszillator zeigt.
7 ist eine perspektivische Ansicht, weiche eine weitere Ausführungsform gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt.
8 ist eine Darstellung zur Veranschaulichung eines Benutzungszustands der vorgenannten weiteren Ausführungsform.
9 ist eine perspektivische Ansicht, welche einen Oszillator mit einem vorspringenden Nicht-Ausbreitungsteil zeigt.
Beste Ausführungsweisen der Erfindung
Unter Bezug auf 2, 3 und 4 wird eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben.
Ein Zerstäuber umfasst einen Oszillator 11, der akustische Oberflächenwellen erzeugt, eine dünne Platte 12 mit einem Netz 12a im Wesentlichen in der Mitte und einen Halter 13.
Der Oszillator 11 enthält ein rechteckiges Substrat 14, das beispielsweise aus Lithiumniobat (LiNbO₃) hergestellt ist, und ein Paar von Interdigitalelektroden 15 und 15, die auf einer Oberfläche dieses Substrats 14 ausgebildet sind. Kammzahnteile 15a des Paares von Interdigitalelektroden 15 und 15 sind so angeordnet, dass sie abwechselnd entlang der Längsrichtung des Substrats 14 positioniert sind. Akustische Oberflächenwellen werden erzeugt, wenn ein Hochfrequenzspannung zwischen dem Paar von Interdigitalelektroden 15 und 15 angelegt wird. Diese akustischen Oberflächenwellen breiten sich in Längsrichtung des Oszillators 11 aus. Das Substrat 14 des Oszillators 11 weist an seinen Seitenabschnitten Positioniervorsprünge 14a und 14a auf.
Die im Wesentlichen vierseitige dünne Platte 12 enthält das eine Anzahl von Löchern ausbildende Netz 12a. Jedes Loch des Netzes 12a ist mit einem ausreichend größeren Durchmesser eingerichtet, als die Durchmesser der durch Schwingung erzeugten zerstäubten Körner.
Keramik wird als Material für das Netz 12a bevorzugt. Keramik absorbiert Schwingungen nicht sehr, weshalb eine Dämpfung der Amplitu de gering ist. Ferner hat Keramik ausgezeichnete Korrosionsfestigkeit, und die Sicherheit für den menschlichen Körper ist ebenfalls bestätigt.
Hinsichtlich des Halters 13 ist die Form von vorne gesehen im Wesentlichen U-förmig und von oben gesehen im Wesentlichen rechteckig, wie dargestellt. Der Halter 13 weist ein Paar von Seitenwandabschnitten 13a und 13a auf, und Nuten 16 und 17 sind an Innenwandflächen derselben ausgebildet. Die Nuten 16, welche für ein Aufnehmen und Halten des Oszillators 11 eingerichtet sind, erstrecken sich im Wesentlichen parallel zu einem Bodenwandteil 13b des Halters 13. Die Nuten 17 sind für ein Aufnehmen und Halten der das Netz aufweisenden dünnen Platte 12 eingerichtet. Die Nuten 17 sind unter einem Winkel in Bezug auf den Bodenwandteil 13b des Halters 13 eingerichtet, weshalb die Räume zwischen den Nuten 17 und Nuten 16 nicht konstant sind. Die Räume zwischen diesen Nuten sind so gemacht, dass sie sich zu den Vorderenden hin allmählich erweitern. Als Abmessungsveranschaulichung sind die Maximalräume zwischen den Nuten 16 und den Nuten 17 an den Vorderenden beispielsweise zu etwa 1 (1 mm) unter der Annahme, dass die Längen der Nuten 16 10 (10 mm) sind, gemacht.
Bei Herstellung des Zerstäubers durch Zusammenbauen des Oszillators 11, der dünnen Platte 12 mit dem Netz und des Halters 13 wird das Vorderende des Substrats 14 des Oszillators 11 zunächst in der durch Pfeil A gezeigten Richtung bewegt und in die Nuten 16 des Halters 13 eingesetzt. Die Bewegung des Oszillators 11 wird durchgeführt, bis die Positioniervorsprünge 14a mit dem Halter 13 in Berührung kommen. Dann wird die das Netz aufweisende dünne Platte 12 in der durch Pfeil B gezeigten Richtung bewegt und in die Nuten 17 des Halters 13 eingesetzt. Damit ist der in 3 gezeigte Zerstäuber erhalten. Zwischen der schwingenden Fläche des vom Halter 13 gehaltenen Oszillators und der das Netz aufweisenden dünnen Platte 12 wird ein kleiner Zwischenraum ausgebildet. Der Raum zwischen dem Oszillator 11 und der dünnen Plat te 12 ist so gemacht, dass er sich zum Vorderende hin allmählich erweitert.
Unter Bezug auf 4 wird eine Arbeitsweise des Zerstäubers im Gebrauch beschrieben.
Eine zu zerstäubende Flüssigkeit 19 wird in einem Flüssigkeitsbehälters 18 gespeichert. Das Vorderende des Oszillators 11 und/oder das Vorderende der das Netz aufweisenden dünnen Platte 12 ist in die Flüssigkeit im Behälter 18 eingetaucht. D.h., der Teil mit dem kleinen Zwischenraum zwischen dem Oszillator 11 und der dünnen Platte 12 wird in die Flüssigkeit getaucht. Wenn der Oszillator 11 in diesem Zustand betrieben wird, werden von den Kammzahnteilen 15a des Oszillators 11 akustische Oberflächenwellen erzeugt, und diese akustischen Oberflächenwellen breiten sich auf der schwingenden Oberfläche des Oszillators 11 aus und erreichen die Flüssigkeitsoberfläche des Flüssigkeitsbehälters 18. Infolge der Schwingung durch diese akustischen Oberflächenwellen und der Kapillarität durch Oberflächenspannung wird die Flüssigkeit 19 in den kleinen Zwischenraum zwischen dem Oszillator 11 und der dünnen Platte 12 angesaugt. Die Menge an Flüssigkeit in dem kleinen Zwischenraum ist klein und richtig, so dass die Flüssigkeit durch die mit kleiner Leistung betriebene Schwingungsamplitude der Oberflächenwellen ausreichend zerstäubt wird. Die Schwingung auf der Schwingungsoberfläche des Oszillators 11 wird über die Flüssigkeit in dem kleinen Zwischenraum auf das Netz 12a der dünnen Platte 12 übertragen. Infolge der Schwingung des Netzes 12 wird die kleine Menge an Flüssigkeit, die in die Lochteile eintritt, zerstäubt und versprüht.
5 ist eine Schnittansicht eines Ansaugers, in welchem der in 2 bis 4 gezeigte Zerstäuber eingebaut ist. Der Ansauger umfasst ein Körpergehäuse 21 und eine Flasche 18 für eine chemische Lösung. In dem Körpergehäuse 21 sind eine Leiterplatte 23, die eine Schaltung zur Ansteuerung des Oszillators 11 trägt, eine Batterie 24 und ein Spannungsversorgungsschalter 25 außer dem aus dem Oszillator 11, der dünnen Platte 12 mit dem Netz und dem Halter 13 bestehenden Oszillator 11 untergebracht. Die Flasche 18 für eine chemische Lösung speichert eine chemische Lösung 19, wenn sie im Gebrauch ist, und ist an einem unteren Abschnitt des Körpergehäuses 21 angebracht. Wie dargestellt, sind die unteren Endabschnitte des Oszillators 11 und der das Netz aufweisenden dünnen Platte 12 in die chemische Lösung eingetaucht. Der kleine Zwischenraum zwischen dem Oszillator 11 und der das Netz aufweisenden dünnen Platte 12 ist mit der Flüssigkeit gefüllt und somit wird durch Schwingung der akustischen Oberflächenwellen die Flüssigkeit aus dem kleinen Zwischenraum in den Löchern des Netzes 12a der dünnen Platte 12 zerstäubt und nach außen versprüht, wenn der Spannungsversorgungsschalter 25 eingeschaltet wird. Bezugszeichen 20 bezeichnet einen Sprühnebel.
Gemäß der vorgenannten Ausführungsform wird die kleine Menge an Flüssigkeit, die in die Löcher des Netzes 12a der dünnen Platte 12 eindringt, durch akustische Oberflächenwellen zerstäubt und versprüht, wodurch eine stabile Zerstäubung auch bei Betreiben mit Batterie durchgeführt werden kann. Ferner wird die Zufuhr der Flüssigkeit in den kleinen Zwischenraum durch die Schwingung durch die akustischen Oberflächenwellen und/oder Oberflächenspannung automatisch durchgeführt, wodurch Mittel zur Zwangslieferung der Flüssigkeit nicht erforderlich sind, weshalb ein Miniaturzerstäuber erzielt ist. Ferner wird die Flüssigkeit aus dem Flüssigkeitsbehälter entsprechend der Zerstäubung zugeführt, wodurch das Gleichgewicht zwischen der Zufuhrmenge der Flüssigkeit und der Zerstäubungsmenge auf einem ausgezeichneten gehalten werden kann.
Es wurde eine dünne Platte mit Netz als poröse dünne Platte 12 mit einer Anzahl von Löchern verwendet, die poröse dünne Platte beschränkt sich jedoch nicht auf ein solches Netz, sondern es kann auch eine ebene dünne Platte, die mit einer Anzahl von Durchgangslöchern ausgebildet ist, verwendet werden.
6 zeigt eine Oszillator 30 mit einem Paar von Interdigitalelektroden 31 und 31. Durch Anlegen einer Spannung zwischen dem Paar von Interdigitalelektroden 31 und 31 erzeugte akustische Oberflächenwellen breiten sich in Längsrichtung des Oszillators 30 auf einer Breite eines Bereichs aus, wo die Kammzahnteile der Interdigitalelektroden einander überlappen. Unter Bezug auf 6 ist ein mit schrägen Linien gezeigter Bereich 32, ein Ausbreitungsteil, wo sich die akustischen Oberflächenwellen ausbreiten, und der verbleibende Bereich 33, ein Nicht-Ausbreitungsteil, wo sich keine akustischen Oberflächenwellen ausbreiten. In einem Zustand, in dem der vordere Endabschnitt des Oszillators 30 nicht in eine Flüssigkeit eingetaucht ist, werden die akustischen Oberflächenwellen durch eine Endfläche des Oszillators 30 reflektiert und wechselwirken mit laufenden Wellen, es werden stehende Wellen erzeugt und die Schwingungsamplitude nimmt zu. Wenn das Vorderende des Oszillators 30 in die Flüssigkeit, ähnlich wie bei der vorgenannten Ausführungsform eingetaucht ist, besteht jedoch die Möglichkeit, dass die Belastung der Schwingung zunimmt, die akustischen Oberflächen in der Flüssigkeit zerstreut werden und eine Zunahme der Schwingungsamplitude durch stehende Wellen nicht erwartet werden kann. Anders ausgedrückt, besteht die Möglichkeit, dass die Zerstäubungsleistung oder Zerstäubungseffizienz zurückgeht, wenn der in die Flüssigkeit eingetauchte Abschnitt des Oszillators 30 die Ausbreitungsrichtungsseite der akustischen Oberflächenwellen ist.
In einer in 7 bis 9 gezeigten Ausführungsform ist daher ein Nicht-Ausbreitungsteil, wo sich keine akustischen Oberflächenwellen in einem Oszillator 30 ausbreiten, in eine Flüssigkeit getaucht. Konkret liegt eine dünne Platte 34 mit einem Netz 34a sowohl einem Ausbreitungsteil als auch dem Nicht-Ausbreitungsteil des Oszillators gegenüber und bildet so einen kleinen Zwischenraum aus. Der Raum zwischen dem Oszillator 30 und der dünnen Platte 34 mit dem Netz 34a ist so gemacht, dass er sich mit Annäherung an einen Flüssigkeitsbehälter allmählich erweitert.
8 zeigt einen solchen Zustand, dass der an einem Seitenabschnitt des Oszillators 30 positionierte Ausbreitungsteil und das Vorderende der das Netz aufweisenden dünnen Platte 34 in die Flüssigkeit im Flüssigkeitsbehälter 35 getaucht sind. Bei dieser Ausführungsform ist der Ausbreitungsteil, wo sich die akustischen Oberflächenwellen ausbreiten, nicht in die Flüssigkeit getaucht, wodurch die Schwingungslast nicht zunimmt und auch keine Verminderung der Schwingungsamplitude stattfindet. Eine Verbesserung der Zerstäubungsleistung bzw. der Zerstäubungseffizienz wird also erwartet.
9 zeigt ein weiteres Beispiel eines akustische Oberflächenwellen erzeugenden Oszillators 36. Der dargestellte Oszillator 36 weist einen vorspringenden Teil 36a auf, der seinen Außenrand in einem Bereich ausweitet, wo sich keine akustischen Oberflächenwellen ausbreiten. Dieser vorspringende Teil 36a wird in eine Flüssigkeit in einem Flüssigkeitsbehälter getaucht.
Gewerbliche Verfügbarkeit
Die vorliegende Erfindung kann mit Vorteil auf einen Ansauger zur Zerstäubung einer chemischen Flüssigkeit, die für eine Asthmabehandlung, Behandlung von Lungenkrankheiten und dgl. wirksam ist, angewandt werden.

Claims

Zerstäuber, welcher aufweist: einen Oszillator (11, 30, 36), wobei der Oszillator ein vorderes Ende aufweist, eine poröse dünne Platte (12a, 34a, 48) mit einer Anzahl von Löchern, die an der schwingenden Fläche des Oszillators unter Einhaltung eines kleinen Zwischenraums angeordnet ist, wobei die poröse dünne Platte ein vorderes Ende aufweist, und Mittel zur Lieferung einer zu zerstäubenden Flüssigkeit in einen Teil mit kleinem Zwischenraum zwischen dem Oszillator und der porösen dünnen Platte, wobei die Mittel einen Flüssigkeitsbehälter (18, 35) zur Speicherung von zu zerstäubender Flüssigkeit aufweisen, dadurch gekennzeichnet, dass der Oszillator (11, 30, 36) für die Erzeugung von akustischen Oberflächenwellen mittels auf der schwingenden Fläche ausgebildeten Interdigitalelektroden (15, 31) eingerichtet ist, wobei die vorderen Enden des Oszillators (11, 30, 36) und der porösen dünnen Platte (12a, 34a, 48) sich so in den Flüssigkeitsbehälter (18, 35) erstrecken, dass sie in die im Flüssigkeitsbehälter gespeicherte Flüssigkeit eintauchen, wobei der Raum zwischen dem Oszillator und der porösen dünnen Platte so vorgesehen ist, dass er sich mit Annäherung an den Flüssigkeitsbehälter allmählich erweitert, und die Flüssigkeit aus dem Flüssigkeitsbehälter in den Teil mit kleinem Zwischenraum durch Schwingung durch die akustischen Oberflächenwellen oder durch Kapillarität angesaugt wird, um die Flüssigkeit in dem Teil mit kleinem Zwischenraum durch Schwingung durch akustische Oberflächenwellen, die durch den Oszilla tor zur Ausbreitung gebracht werden, zu zerstäuben und zum Versprühen der Flüssigkeit durch die Löcher der porösen dünnen Platte hindurch.
Zerstäuber nach Anspruch 1, wobei die poröse dünne Platte (12a, 34a, 48) ein Netz ist.
Zerstäuber nach Anspruch 1, wobei die poröse dünne Platte (12a, 34a, 48) aus Keramik besteht.
Zerstäuber nach Anspruch 1, welche ferner einen Halter (13) aufweist, der sowohl den Oszillator (11, 30, 36) als auch die poröse dünne Platte (12a, 34a, 48) unter Einhaltung des kleinen Zwischenraums hält.
Zerstäuber nach Anspruch 1, wobei der Oszillator (30) einen Ausbreitungsteil (32), wo die akustischen Oberflächen zur Ausbreitung gebracht werden, sowie einen Nichtausbreitungsteil (33a), wo keine akustischen Oberflächenwellen zur Ausbreitung gebracht werden, aufweist, der Teil mit kleinem Zwischenraum sich über den Ausbreitungsteil und den Nichtausbreitungsteil erstreckt, und der Nichtausbreitungsteil in die Flüssigkeit in dem Flüssigkeitsbehälter (35) eintaucht.
Zerstäuber nach Anspruch 5, wobei der Oszillator (30) einen vorspringenden Teil (36a) aufweist, der seinen Außenrand in einen Bereich ausdehnt, wo keine akustischen Oberflächenwellen zur Ausbreitung gebracht werden, wobei der vorspringende Teil in die Flüssigkeit in dem Flüssigkeitsbehälter (35) eintaucht.
Zerstäubungsverfahren, welches aufweist: Anordnen einer porösen dünnen Platte (12a, 34a, 48) mit einer Anzahl von Löchern auf der schwingenden Fläche eines Oszillators (10, 30, 34) unter Einhaltung eines kleinen Zwischenraums, Zuführen einer Flüssigkeit in den kleinen Zwischenraum zwischen dem Oszillator und der porösen dünnen Platte aus einem Flüssigkeitsbehälter (18, 35), und Zerstäuben der Flüssigkeit in dem kleinen Zwischenraum, gekennzeichnet durch Ansaugen der Flüssigkeit in den kleinen Zwischenraum aus dem Flüssigkeitsbehälter (18, 35) durch Schwingung durch akustische Oberflächenwellen oder durch Kapillarität, wobei der kleine Zwischenraum in die Flüssigkeit in dem Flüssigkeitsbehälter (18, 35) eintaucht und so vorgesehen sind, dass er sich zum Flüssigkeitsbehälter hin allmählich erweitert, wobei der Oszillator so eingerichtet ist, dass er akustischen Oberflächenwellen mittels auf der schwingenden Fläche ausgebildeter Interdigitalelektroden (15, 31) erzeugt, und Zerstäuben der Flüssigkeit in dem kleinen Zwischenraum durch Schwingung durch akustischen Oberflächenwellen, die durch den Oszillator zur Ausbreitung gebracht werden, zur Versprühung der Flüssigkeit durch die Löcher der porösen dünnen Platte hindurch.