DE69415517T3 - Handhabungseinrichtung mit gelenkarm - Google Patents

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Description

  • Die Vorrichtung der vorliegenden Erfindung bezieht sich auf Materialumladevorrichtungen. Das umgeladene Material könnte, ohne darauf eingeschränkt zu sein, Halbleiterwafer, etwa aus Silicium und Galliumarsenid, Halbleitergehäuse-Substrate, etwa hochdichte Zwischenverbindungen, Halbleiterfertigungsprozess-Abbildungsplatten, etwa Masken oder Fadenkreuze, und großflächige Anzeigetafeln, etwa Aktivmatrix-LCD-Substrate, umfassen.
  • Das Umladen zerbrechlicher Siliciumwafer oder dergleichen zwischen mehreren Arbeitsstationen oder Orten bei der Herstellung von Halbleitervorrichtungen weist eigentümliche Handhabungsprobleme auf. Die Siliciumwafer sind sehr zerbrechlich und besitzen hochpolierte Oberflächen. Wenn die Wafer plötzlich bewegt werden, neigen sie zu einem Gleiten. Diese Gleitwirkung kann einen Abrieb der Siliciumwafer oder aber eine Beschädigung ihrer Kanten, falls sie zusammenstoßen, bewirken.
  • Im Stand der Technik sind zahlreiche Vorrichtungen zum Umladen von Siliciumwafern beschrieben. Zum Beispiel:
  • Das US-Patent Nr. 3 823 836 offenbart eine Vorrichtung, die einen Beschickungsträger mit mehreren Rippen zum Halten der Siliciumwafer sowie eine Herausziehvorrichtung mit einer Unterdruckspannvorrichtung enthält. Die Unterdruckspannvorrichtung ist an einer Hubeinrichtung befestigt, die die Spannvorrichtung anhebt und absenkt. Zum Umladen des Siliciumwafers vom Zufuhrträger an eine gewünschte Arbeitsstation wird ein horizontaler Umladearm verwendet, der mit der Unterdruckspannvorrichtung verbunden ist.
  • Das US-Patent Nr. 3 730 595 offenbart eine Waferumlade-Handhabungsvorrichtung mit einem indexierbaren Träger zum Umladen von Wafern an und von Arbeitsstationen. Wafer gelangen auf den Waferträger und verlassen diesen auf einer Luftgleitbahn mithilfe eines Wafer-Auswurf-/Aufnahme-Arms mit gerichteten Luftstrahlen. Der Wafer-Auswurf-/Aufnahme-Arm steuert die Bewegung der Wafer von der Luftgleitbahn in den Träger oder vom Träger auf die Luftgleitbahn, die die Wafer an eine bzw. von einer Arbeitsstation bewegt.
  • Die US-Patente Nrn. 4 062 463, 3 874 525 und 4 208 159 offenbaren ebenfalls Waferumladevorrichtungen, die entweder Druckluftkomponenten oder Greifvorrichtungen zum Handhaben der Wafer enthalten.
  • Die US-Patente Nrn. 4 666 366 und 4 909 701 offenbaren Waferumlade-Handhabungsvorrichtungen mit einer Gelenkarm-Baueinheit, die in einer „froschähnlichen" Bewegung ausfährt und einfährt, um einen Gegenstand wie etwa einen Wafer zwischen mehreren Orten umzuladen. Zwei Gelenkarme sind funktional verbunden, so dass, wenn ein Arm durch einen Motor angetrieben wird, die Gelenkarme in einer „froschähnlichen" oder „Froschsprung"-Bewegung ausfahren und einfahren. Mit den Armen ist eine Plattform verbunden, auf der der umzuladende Gegenstand angeordnet ist.
  • Das US-Patent Nr. 4 951 601 offenbart eine Waferumlade-Handhabungsvorrichtung mit einer Gelenkarm-Baueinheit, die ein Rotationsantriebssystem mit konzentrischen Wellen enthält. Ein solches Antriebssystem erfordert jedoch Rotationsdichtungen, die die Unterdruckkammer verunreinigen können. In dem Antriebssystem des US-Patents Nr. 4 951 601 ist die innere Welle 98 an einer Trommel 111 angebracht, die durch ein Seil 113 gedreht wird, das an einem Antrieb 115 angebracht ist, der seinerseits durch einen Riemen gedreht wird. Es scheint, dass der Antrieb 115 in einer Öffnung in der Unter druckkammer gedreht wird, so dass er eine Rotationsdichtung erfordert. Die hohle Mittelwelle 96 ist an einer Trommel 101 angebracht, die durch ein Seil 103 gedreht wird, das an einem Antrieb 100 angebracht ist, der seinerseits durch einen Riemen gedreht wird. Es ist nicht klar, welche Komponenten sich innerhalb des Unterdruckbereichs befinden, es scheint jedoch klar zu sein, dass sich einige Rotationselemente in einer Öffnung in der Unterdruckkammer bewegen müssen, so dass eine Rotationsdichtung erforderlich ist. Die Vorrichtung der vorliegenden Erfindung besitzt keine solchen Rotationsdichtungen. Sämtliche Lager der vorliegenden Erfindung befinden sich vollständig im Unterdruckbereich, außerdem befinden sich sämtliche rotierenden Teile vollständig im Unterdruckbereich.
  • EP 0 512 516 A1 beschreibt eine magnetische Antriebsvorrichtung zur Verwendung in einer Halbleiterherstellungsvorrichtung zum Handhaben von Wafern in einem Vakuum mit den Merkmalen des Oberbegriffs des Anspruchs 1.
  • Es ist die Aufgabe der Erfindung, die aus EP 0 512 516 bekannte Umladevorrichtung zu verbessern.
  • Diese Aufgabe wird gelöst anhand der Merkmale von Anspruch 1. Abhängige Ansprüche sind auf zweckmäßige Ausführungen der Erfindung gerichtet.
  • Es wird ein Rotationsantriebssystem mit konzentrischen Wellen für eine Gelenkarm-Umladevorrichtung zum Umladen von Gegenständen wie etwa Siliciumwafern, Kameralinsen, Kristalloszillatoren oder dergleichen zwischen mehreren Orten, die in verschiedenen axialen und radialen Ebenen angeordnet sind, geschaffen.
  • Das Antriebssystem ermöglicht die Drehung der gesamten Gelenkarm-Baueinheit in einer radialen Ebene. Wie die Vorrichtung des Standes der Technik erfolgt eine solche Drehung, wenn sich der Endeffektor nicht in einer ausgefahrenen Stellung befindet.
  • Das Antriebssystem ermöglicht außerdem eine Verschiebung der Plattformbaueinheit in einer axialen Richtung. Die Baueinheit ist an die Verwendung in vielen verschiedenen Umgebungen einschließlich des Betriebs in einer Unterdruckkammer oder in anderen kontrollierten Umgebungen anpassbar. Die Baueinheit kann so angebracht sein, dass sie sich in einer Unterdruckkammer bewegen kann, wobei zwischen der Baueinheit und ihrem Träger eine Unterdruckdichtung vorgesehen ist.
  • 1 ist ein Mittelquerschnitt durch eine Doppelwellenvorrichtung, die gemäß der Erfindung konstruiert und so verbunden ist, dass sie eine Gelenkarm-Umladevorrichtung des Typs antreibt, die in dem US-Patent Nr. 5 180 276 an Hendrickson, lautend auf den Anmelder der vorliegenden Anmeldung, offenbart ist;
  • 2 ist eine Einzelheit eines Abschnitts des Mittelquerschnitts von 1;
  • 3 ist eine Einzelheit eines Abschnitts des Mittelquerschnitts von 2;
  • 4 ist eine Draufsicht der Vorrichtung von 1;
  • 5 ist eine perspektivische Skizze einer Vorrichtung des Standes der Technik;
  • 6 ist eine Draufsicht der Vorrichtung von 1, die jedoch abgewandelt ist, um eine Gelenkarm-Umladevorrichtung des Typs anzutreiben, der in US 5 431 529 , eingereicht am 28. Dezember 1992 von Eastman und Davis und lautend auf den Anmelder der vorliegenden Anmeldung, offenbart ist; und
  • 7 ist ein Mittelquerschnitt längs der Linie 7–7 in 6.
  • In den 1 bis 4 ist an einem mit einer Öffnung versehenen Bereich der Bodenwand 2 einer Unterdruckkammer, in der eine Gelenkarm-Umladeeinrichtung 3 unterstützt ist, ein Anbringungsflansch 1 befestigt. Der Anbringungsflansch selbst besitzt eine mittige Öffnung, durch die zwei konzentrische Ausgangswellen verlaufen. Die äußere Welle ist mit 4 bezeichnet, während die innere Welle mit 5 bezeichnet ist. An den Enden der Ausgangswellen in der Unterdruckkammer trennt ein Führungslager 6 die Wellen und unterstützt sie in übereinander liegender Anordnung. Die beiden Wellen sind unabhängig voneinander drehbar. In der zweckmäßigen Ausführung der Erfindung ist jedoch die Relativbewegung der Wellen auf eine Bewegung, in der sie sich gemeinsam drehen, und auf eine weitere Bewegung, in der sie sich in entgegengesetzten Richtungen drehen, eingeschränkt. Die erstgenannte Bewegung dient dazu, die Gelenkarm-Umladevorrichtung zu drehen, während die letztere Bewegung dazu dient, die Gelenkarm-Umladevorrichtung auszufahren und einzufahren.
  • Die innere Welle ist länger als die äußere Welle, wobei sich das Ende der inneren Welle außerhalb der Unterdruckkammer über das entsprechende Ende der äußeren Welle erstreckt und einen maximalen äußeren Durchmesser, der demjenigen der äußeren Welle entspricht, annimmt. An der äußeren Oberfläche der äußeren Welle 4 ist ein Rotor 7 unterstützt, ferner ist außerhalb des Rotors 7 ein entsprechen der Stator 8 unterstützt. Ähnlich ist an der äußeren Oberfläche der inneren Welle 5 ein Rotor 9 unterstützt, während ein entsprechender Stator 10 außerhalb des Rotors 9 unterstützt ist. Jeder Stator bildet einen Teil eines Antriebs, der die entsprechende Welle dreht. Wie später deutlich wird, befindet sich jeder Rotor innerhalb des Unterdruckbereichs, während sich jeder Stator außerhalb des Unterdruckbereichs befindet.
  • Jedes Rotor-Stator-Paar 7, 8 und 9 kann einen Teil eines herkömmlichen bürstenlosen Gleichstrommotors bilden, etwa desjenigen der M & K-Reihe, hergestellt von MFM Technology, Inc., 200 Thirteenth Avenue, Ronkonkoma, New York 11779.
  • Jeder Welle wird durch wohlbekannte Servomechanismus-Techniken eine Drehbewegung verliehen, wobei an die Spulen der Statoren ein geeignetes Signal angelegt wird.
  • Die veränderliche Position jeder Welle während ihrer Drehung wird durch einen geeigneten Erfassungsmechanismus in Kombination mit einer geeigneten codierten Scheibe oder dergleichen erfasst. Beispielsweise kann ein codiertes Muster lichtundurchlässiger Abschnitte einer lichtdurchlässigen Scheibe dazu veranlasst werden, sich zwischen einer Lichtquelle und einem Lichtdetektor zu bewegen. Anstelle eines solchen optischen Erfassungsmechanismus kann ein magnetischer Erfassungsmechanismus verwendet werden, bei dem ein codiertes Muster aus magnetisierten Abschnitten auf einer magnetischen Scheibe magnetisch abgetastet werden kann. Alternativ kann der Erfassungsmechanismus mechanisch sein, etwa eine Kombination aus einem Zahnrad und einem Schalter, oder akustisch, wobei die Drehung jeder Welle codierte Klicks irgendeiner Art erzeugt; selbst elektrostatische Systeme können entworfen werden. Zur Erläuterung wird nun ein optischer Erfassungsmechanismus beschrieben.
  • Eine Scheibe 11 ist am äußeren Ende der äußeren Welle 4 durch eine Klemmplatte 12 befestigt. Diese Scheibe besitzt ein codiertes Muster aus lichtundurchlässigen Abschnitten, die sich zwischen einem Gehäuse 13 einer lichtemittierenden Diode und einem Lesekopf 14 bewegen, von dem ein Signal an die geeignete externe Schaltung über eine Signaldurchführung 15 gesendet wird. Das Gehäuse 13 der lichtemittierenden Diode, der Lesekopf 14 und die Signaldurchführung 15 sind an einem Antriebsgehäuse 16 unterstützt, das an einem vakuumdichten röhrenförmigen Behälter 17 befestigt ist und einen Teil desselben bildet. Der Rotor 7 ist an der äußeren Welle 4 befestigt, während der Stator 8 am Antriebsgehäuse 16 durch eine Statorklemme 18 befestigt ist, die so positioniert ist dass der Stator 8 mit dem Rotor 7 zusammenwirken kann; ferner sind zwischen der äußeren Welle 4 und dem entsprechenden Antriebsgehäuse 16, an dem dieser Antrieb angebracht ist, zwei Lager 19, 20 vorgesehen. In ähnlicher Weise ist eine Scheibe 31 am äußeren Ende der inneren Welle 5 durch eine Klemmplatte 32 befestigt. Diese Scheibe besitzt ein codiertes Muster aus lichtundurchlässigen Abschnitten, die sich zwischen einem Gehäuse 33 einer lichtemittierenden Diode und einem Lesekopf 34 bewegen, von dem ein Signal an die geeignete externe Schaltung über eine Signaldurchführung 35 gesendet wird. Der Rotor 9 ist an der inneren Welle 5 befestigt, während der Stator 10 am Antriebsgehäuse 36 durch eine Statorklemme 37 befestigt ist, die so positioniert ist, dass der Stator 10 mit dem Rotor 9 zusammenwirken kann; zwischen der inneren Welle 5 und dem entsprechenden Antriebsgehäuse 36, an dem der Antrieb angebracht ist, sind zwei Lager 38, 39 vorgesehen.
  • Die Antriebsgehäuse 16, 36 besitzen eine spezielle Konfiguration und schaffen einen wichtigen Teil des vakuumdichten Gehäuses 17, das die evakuierten Bereiche der Vorrichtung von den Atmosphärenluft- Bereichen der Vorrichtung trennt. Die beiden Antriebsgehäuse besitzen eine ähnliche Form und sind miteinander über einen Adapter 40 verbunden.
  • Den Wellen kann durch eine vertikale Bewegung der Antriebsgehäuse, die ihrerseits an zwei linearen Gleitern 41 und zwei Führungsschrauben 42 unterstützt sind, eine vertikale Bewegung verliehen werden. Alternativen zu den Führungsschrauben mit rotierenden Motoren können Linearmotoren (Servo- oder Schrittmotor) oder eine Schwingspule oder ein Solenoid sein. Die vertikal beweglichen Antriebsgehäuse sind vom Anbringungsflansch durch geeignete Bälge 43 getrennt, ferner ist das äußere Ende des äußersten Antriebsgehäuses durch eine Endkappe 44 verschlossen. Somit können der gesamte Bereich innerhalb der Bälge, der Antriebsgehäuse und der Endkappe evakuiert werden, ferner ist die Reibungsbewegung innerhalb dieses evakuierten Bereichs auf diejenige der verschiedenen Lager begrenzt.
  • Jedes Antriebsgehäuse besitzt einen Abschnitt, der zwischen seinem jeweiligen Rotor und seinem jeweiligen Stator verläuft, wobei zwischen dem Rotor und diesem Teil des Antriebsgehäuses ein ausreichendes Spiel vorgesehen sein muss.
  • In 5 ist eine Vorrichtung des Standes der Technik gezeigt. Die Drehbewegung wird der Gelenkarm-Umladevorrichtung durch Drehen des Rotationsstopfens verliehen. Das Ausfahren und Einfahren der Froschbeine wird durch eine Gegendrehung der Ausfahr-/Einfahr-Antriebswellen erzielt. Die Struktur der vorliegenden Erfindung reduziert die Anzahl und Typen von Dichtungen, die bei Verwendung konzentrischer Wellen, die in einer besonderen Weise konstruiert sind, erforderlich sind. Die herkömmliche Vorrichtung zeigt, dass die Steuerung durch (1) einfache Drehung einer Welle und (2) entgegen gesetzte Drehung zweier Wellen ausgeführt werden kann. In der Vorrichtung der Erfindung wird (1) erreicht, wenn sich die konzentrischen Wellen zusammen drehen, während (2) erreicht wird, wenn sich die konzentrischen Wellen entgegengesetzt zueinander drehen. In dieser Vorrichtung ist die Drehbewegung nicht auf den Grundmechanismus eingeschränkt, sondern kann in jeder Richtung um irgendeinen gewünschten Winkel fortgesetzt werden.
  • Die drei Bewegungen (vertikal, rotatorisch und ausfahrend/ einfahrend) können gleichzeitig aktiviert werden, um jede gewünschte Bahn des Endeffektors zu schaffen. Andererseits müssen in manchen Anwendungen nicht alle drei Bewegungen aktiviert werden, wobei der Umfang der Erfindung Vorrichtungen umfasst, in denen nur eine oder zwei der drei oben genannten Bewegungen aktiviert werden.
  • Wie in 4 in Verwindung mit den 1–3 gezeigt ist, ist die äußere Welle 4 mit einem oberen Ast 51 und die innere Welle 5 mit dem anderen oberen Arm 52 einer Gelenkarm-Umladevorrichtung wie etwa jener, die in dem oben erwähnten US-Patent Nr. 5 180 276 gezeigt ist, verbunden. Für eine θ-Bewegung (d. h. eine Bewegung der Endeffektoren 53) drehen sich beide Rotoren 7, 9 synchron in einer Richtung. Für eine R-Bewegung (d. h. Ausfahren und Einfahren der Endeffektoren 53 spiegelt jeder Rotor 7, 9 den anderen mit gleicher, jedoch entgegengesetzter Drehung. Diese Bewegungen werden mittels eines Computers unter Verwendung der Eingangssignale von den beiden Codierern gesteuert.
  • Wenn sich die Rotoren 7, 9 synchron in einer Richtung drehen, drehen sich auch die Wellen 4, 5 in dieser Richtung. Wie in 4 gezeigt ist, drehen sich die oberen Arme 51, 52 dann, wenn sich die Wellen 4, 5 im Uhrzeigersinn drehen, zusammen mit dem Rest der in 4 gezeigten Vorrichtung ebenfalls im Uhrzeigersinn. Falls sich umgekehrt die Wellen 4, 5 im Gegenuhrzeigersinn drehen, dreht sich die gesamte in 4 gezeigte Vorrichtung im Gegenuhrzeigersinn. Falls sich andererseits die äußere Welle 4 im Uhrzeigersinn dreht, während sich die innere Welle 5 im Gegenuhrzeigersinn dreht, dreht sich der obere Arm 51 im Uhrzeigersinn, während sich der untere Arm 52 im Gegenuhrzeigersinn dreht. Die daraus sich ergebende Bewegung der beiden Endeffektoren 53 ist in 4 nach unten gerichtet. Falls sich umgekehrt die äußere Welle 4 im Gegenuhrzeigersinn dreht, während sich die innere Welle 5 im Uhrzeigersinn dreht, dreht sich der obere Arm 51 im Gegenuhrzeigersinn, während sich der obere Arm 52 im Uhrzeigersinn dreht. Die daraus sich ergebende Bewegung der beiden Endeffektoren 53 ist in 4 nach oben gerichtet.
  • Wie in den 6 und 7 gezeigt ist, ist an der äußeren Welle 4 ein Block 54 befestigt, in dem der obere Slave-Arm 55 der einen angelenkten Arm aufweisenden Umladevorrichtung wie etwa jener, die in der oben erwähnten Anmeldung US 5 431 529 gezeigt ist, drehbar unterstützt ist. Der obere Antriebsarm 56 einer derartigen Gelenkarm-Umladevorrichtung ist an der inneren Welle 5 so befestigt, dass er sich mit dieser dreht. In diesem Fall drehen sich die beiden Wellen für die θ-Bewegung synchron, hingegen wird die andere Welle 4 für eine radiale Bewegung festgehalten, so dass sich nur die innere Welle 5 dreht.
  • Falls eine Gelenkarm-Umladevorrichtung des Typs, der in den oben erwähnten US-Patenten Nrn. 4 666 366 und 4 909 701 (siehe 5) gezeigt ist, mit zwei konzentrischen Wellen ausgebildet ist, wovon eine äußere Welle die Arme für eine θ-Bewegung dreht und eine innere Welle eine Ausfahr-/Einfahr-Bewegung erzeugt, ist es möglich, die geeigneten Wellenkombinationen mit einem Motor (oder Codierer) unter Verwendung zweier Bremsen zu drehen, wovon eine die innere Welle mit der äußeren Welle verriegelt und die andere die äußere Welle mit dem Gehäuse verriegelt.
  • Falls die äußere Welle mit dem Gehäuse verriegelt ist und die Schulterbaueinheit an der äußeren (rotierenden) Welle angebracht ist, ist eine Drehung der Schulter nicht möglich. Die Drehung der inneren Welle durch einen an ihr befestigten Motor erzeugt eine Ausfahr/Einfahr-Bewegung, die nun durch den Ausfahr-/Einfahr-Motor einer Gelenkarm-Umladevorrichtung des in 5 gezeigten Typs ausgeführt wird.
  • Falls umgekehrt die innere Welle mit der äußeren Welle verriegelt ist, ist eine Ausfahr-/Einfahr-Bewegung nicht möglich. Falls daher die Bremse zwischen der äußeren Welle und dem Gehäuse gelöst ist, hat die Drehung der inneren Welle durch den Motor eine gleichzeitige Drehung der äußeren Welle und daher eine θ-Bewegung zur Folge.
  • Falls beide Bremsen am Ende jeder Bewegung verriegelt werden und dann die geeignete Bremse gelöst wird, kann ein Codierer, wenn sein Signal in einem Computer mit dem Bremsbefehl kombiniert wird, die Bewegung irgendeines Parameters angeben. Falls eine höhere Präzision erforderlich ist, können wie in 1 zwei Codierer (11, 31) verwendet werden.
  • Durch einen geeigneten Entwurf und die Verwendung magnetischer und nichtmagnetischer Materialien ist es möglich, sämtliche beweglichen Teile einschließlich der Bremsschuhe und der Motoren-Rotoren in einem dichten, zylindrischen Gehäuse anzubringen, während die Magnetspulen sämtlicher Komponenten in der Atmosphäre außerhalb des Gehäuses angeordnet sind. Dadurch werden die bekannten Ausgasungsprobleme und die elektrischen Durchführungen, die die Leistung von Systemen mit aktiven Elektromagneten im Vakuum verschlechtern, beseitigt.
  • Obwohl dieser Mechanismus mit irgendeiner der einen ausfahrenden Arm aufweisenden Baueinheiten arbeitet, die für Roboter typisch sind, die vom Anmelder der vorliegenden Anmeldung hergestellt werden, wird ein besonderer Vorteil erzielt, wenn der oben erwähnte Arm, der in den 6 und 7 gezeigt ist, in Gelenkarm-Umladevorrichtungen des Typs, der in der oben erwähnten Anmeldung US 5 431 529 offenbart ist, verwendet wird, da nur eine einzige Antriebswelle an der Schulter erforderlich ist, wodurch die Notwendigkeit eines Getriebes an der Oberseite der Drehwellen beseitigt wird.

Claims (19)

  1. Transportvorrichtung mit einer einen beweglichen Arm aufweisenden Baueinheit (51, 52) und einem Antriebsmechanismus, der durch zwei Motoren angetrieben wird, wobei der Antriebsmechanismus enthält: einen Behälter (17), der an einer Unterdruckkammer befestigt ist und ein erstes und zweites Gehäuse (16, 36) aufweist, zwei elektromagnetische Statoren (8, 10) auf verschiedenen Höhen in Bezug auf die Unterdruckkammer, wobei die Statoren sich außerhalb der Kammern befinden; zwei Rotoren (7, 9); und zwei Antriebswellen (4, 5), die sich zum Teil in der Unterdruckkammer befinden, wobei die zwei Wellen zwei unabhängig voneinander drehbare, koaxiale Wellen (4, 5) sind, wobei eine erste innere Welle (5) koaxial durch eine zweite äußere Welle (4) verläuft, wobei jede Welle (4, 5) einen Rotor (7, 9) aufweist, der jeweils mit einem der elektromagnetischen Statoren ausgerichtet ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Motoren bürstenlose Gleichstrommotoren sind, und die Statoren (8, 10) stationär mit je einem Gehäuse (16, 36) verbunden sind.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, mit: einem Anbringungsflansch (1); wobei das erste und das zweite Gehäuse (16, 36) beweglich mit dem Anbringungsflansch (1) durch einen Vertikalbewegungsmechanismus (41, 42) verbunden sind.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei das erste (16) und das zweite (36) Gehäuse übereinander angeordnet miteinander verbunden sind.
  4. Vorrichtung nach Anspruch 3, wobei die beiden Gehäuse (16, 36) durch einen Adapter (40) verbunden sind.
  5. Vorrichtung nach Anspruch 3, wobei ein erster Stator (8) direkt mit einem ersten Gehäuse (16) und ein zweiter Stator (10) direkt mit einem zweiten Gehäuse (36) verbunden ist.
  6. Vorrichtung nach Anspruch 1, ferner mit zwei Lagern (19, 20, 38, 39) zwischen jeder der ersten und zweiten koaxialen Wellen und den Gehäusen (16, 36).
  7. Vorrichtung nach Anspruch 2, wobei der Vertikalbewegungsmechanismus (41, 42) mit einer Oberseite eines Gehäuses verbunden ist, um beide Gehäuse und die Antriebswellenbaueinheit in vertikaler Richtung zu bewegen.
  8. Vorrichtung nach Anspruch 7, wobei die Gehäuse durch den Vertikalbewegungsmechanismus mit einem Anbringungsflansch (1) der Vorrichtung verbunden sind.
  9. Vorrichtung nach Anspruch 8, ferner mit Balgen (43), die die zwischen dem Anbringungsflansch und den Gehäusen (16, 36) Behälter befindliche Antriebswellenbaueinheit umgeben.
  10. Vorrichtung nach Anspruch 1, ferner mit einer Erfassungseinrichtung (11–15, 31–35) zum unabhängigen Erfassen der Winkelstellung jeder der ersten und zweiten Wellen relativ zum Behälter.
  11. Vorrichtung nach Anspruch 10, wobei die Erfassungseinrichtung zwei optische Platten (11, 31), die mit der Antriebswellenbaueinheit verbunden sind und jeweils mit einer der koaxialen Wellen fest verbunden sind, sowie zwei lichtemittierende Dioden (13, 33) und zwei Leseköpfe (14, 34), die mit dem Gehäuse an räumlich getrennten Orten in der Kammer stationär verbunden sind, enthält.
  12. Vorrichtung nach einem der vorangegangenen Ansprüche, mit: einem Unterdruckgehäuse (2), das eine Öffnung und eine auf der Öffnung angebrachte Endkappe (44) enthält; einem Führungslager (6), das die äußere Welle auf der inneren Welle hält; und einer Einrichtung, die jeden der Statoren dazu veranlasst, auf seinen jeweiligen Rotor ein geeignetes elektromagnetisches Feld auszuüben, um ihn zu einer Drehbewegung zu veranlassen.
  13. Vorrichtung nach Anspruch 12, mit: einem Träger; einem ersten oberen Arm (51), der am Träger so unterstützt ist, dass er um eine erste Achse drehbar ist; einem zweiten oberen Arm (52), der am Träger so unterstützt ist, dass er um eine zweite Achse drehbar ist; einer Einrichtung, die den zweiten oberen Arm durch Drehung des ersten oberen Arms antreibt; einem ersten Paar Vorderarme, die an den ersten und zweiten oberen Armen angelenkt sind; einem zweiten Paar Vorderarme, die an den ersten und zweiten oberen Armen angelenkt sind; wobei jeder der oberen Arme eine geringere Länge als jeder Vorderarm besitzt; einer ersten Halteeinrichtung, die am ersten Paar Vorderarme angelenkt ist, und einer zweiten Halteeinrichtung, die am zweiten Paar Vorderarme angelenkt ist, einer Verbindung zwischen dem ersten Paar Vorderarme, die eine Drehung der ersten Halteeinrichtung verhindert, und einer Verbindung zwischen dem zweiten Paar Vorderarme, die Drehungen der zweiten Halteeinrichtung verhindert; und einer Antriebseinrichtung, die den ersten oberen Arm rotatorisch um einen Winkel im Bereich von mehr als 120° bis einschließlich 180° antreiben kann, um die erste Halteeinrichtung zwischen einer ersten ausgefahrenen Position und einer zweiten eingefahrenen Position zu bewegen, wobei gleichzeitig die zweite Halteeinrichtung zwischen einer zweiten eingefahrenen Position und einer zweiten ausgefahrenen Position bewegt wird.
  14. Vorrichtung nach Anspruch 12, mit: einem Träger; einem ersten oberen Arm (51), der am Träger so unterstützt ist, dass er um eine erste Achse drehbar ist; einem zweiten oberen Arm (52), der am Träger so unterstützt ist, dass er um eine zweite Achse drehbar ist, einem Paar Vorderarme, die einen ersten Vorderarm und einen zweiten Vorderarm umfassen, wobei die zwei Vorderarme an den ersten und zweiten oberen Armen über eine Verbindungseinrichtung angelenkt sind; wobei die Verbindungseinrichtung eine Verbindung, eine an der Verbindung drehbar unterstützte obere Welle, eine an der Verbindung drehbar unterstützte untere Welle sowie eine Einrichtung umfasst, die eine Drehung einer Welle in einem Richtungssinn bewirkt, um die Drehung der anderen Welle im entgegengesetzten Richtungssinn zu bewirken; wobei der erste obere Arm an der oberen Welle befestigt ist; wobei der zweite obere Arm an der unteren Welle drehbar angebracht ist; wobei der erste Vorderarm an der unteren Welle befestigt ist; wobei der zweite Vorderarm an der oberen Welle drehbar angebracht ist; einer Halteeinrichtung, die an dem Paar Vorderarme angelenkt ist; und einer Antriebseinrichtung, die wenigstens einen der oberen Arme rotatorisch um einen Winkel im Bereich von mehr als 120° bis einschließlich 180° antreibt, um die Halteeinrichtung zwischen einer ausgefahrenen Position und einer eingefahrenen Position zu bewegen.
  15. Vorrichtung nach Anspruch 1, die einer Vorrichtung in einer Unterdruckkammer eine Drehbewegung verleiht und in Kombination enthält: einen vakuumdichten, röhrenförmigen Behälter aus nichtmagnetischem Material, wobei der Behälter eine Längsachse besitzt, wobei die erste Welle (5) im Behälter längs der Achse drehbar angebracht ist und an der ersten Welle eine erste Scheibe aus magnetischem Material angebracht ist, wobei die zweite Welle (4) im Behälter um die erste Welle drehbar angebracht ist, wobei die zweite Welle röhrenförmig ist und wobei außerhalb der zweiten Welle eine zweite Scheibe aus magnetischem Material angebracht ist, eine erste Spule, die außerhalb des Behälters angebracht und so beschaffen ist, dass sie in der ersten Scheibe ein Magnetfeld erzeugt, eine zweite Spule, die außerhalb des Behälters angebracht und so beschaffen ist, dass sie in der zweiten Scheibe ein Magnetfeld erzeugt, wobei wenigstens die erste Spule so beschaffen ist, dass sie ein erstes rotierendes Feldmuster zum Drehen der ersten Welle erzeugt, wobei die erste Scheibe in einem Muster magnetisiert wird, um durch das erste rotierende Feldmuster gedreht zu werden.
  16. Vorrichtung nach Anspruch 15, wobei die zweite Spule so beschaffen ist, dass sie ein zweites rotierendes Feldmuster erzeugt, um die zweite Welle zu drehen, und wobei die zweite Scheibe in einem Muster magnetisiert wird, um durch das zweite rotierende Feldmuster gedreht zu werden.
  17. Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei das elektromagnetische Feld aus einem oder mehreren Codierern abgeleitet wird, die an einer oder an beiden Wellen angebracht sind.
  18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 15, wobei die einen beweglichen Arm aufweisende Baueinheit einen ersten Antriebsarm, der mit der ersten Welle verbunden ist, einen zweiten Antriebsarm, der mit der zweiten Welle verbunden ist, und eine Verbindungsstruktur, die zwei getrennte Paare angetriebener Arme enthält, umfasst.
  19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 15, wobei jedes Paar angetriebener Arme mit einem eigenen Endeffektor verbunden ist und ein angetriebener Arm jedes Paars von Armen mit dem ersten Antriebsarm verbunden ist und der andere an getriebene Arm jedes Paars von Armen mit dem zweiten Antriebsarm verbunden ist.
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