DE60317615T2 - Tintenstrahlkopf, Filterbausatz zur Herstellung des Tintenstrahlkopfes, und Tintenstrahlkopfherstellungsverfahren unter Benutzung des Filterbausatzes - Google Patents

Tintenstrahlkopf, Filterbausatz zur Herstellung des Tintenstrahlkopfes, und Tintenstrahlkopfherstellungsverfahren unter Benutzung des Filterbausatzes Download PDF

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Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • 1. Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Tintenstrahlkopf zum Ausstoßen von Tinte auf ein Aufzeichnungsmedium zum Drucken, eine Filteranordnung, die für den Tintenstrahlkopf benutzt wird, und ein Verfahren zum Herstellen des Tintenstrahlkopfes unter Benutzung der Filteranordnung.
  • 2. Beschreibung der zugehörigen Technik
  • Bei einem Tintenstrahlkopf wird Tinte in einem Tintentank zu einem Lieferdurchgang, einer gemeinsamen Tintenkammer, einer Druckkammer und dann zu einer Düse zum Ausstoßen der Tinte geführt. Solch ein Tintendurchgang wird durch Laminieren einer Mehrzahl von Platten gebildet, von denen jede mit Rillen oder Löchern gebildet ist.
  • Ein Tintenstrahlkopf braucht in Hinblick auf die Druckqualität einen Filter zum Entfernen von Fremdmaterie, die in die Tinte gemischt ist. Somit sind derartige Techniken bekannt, dass ein Filter in einer Platte gebildet wird, die als eine Grenze zwischen einem Lieferdurchgang und einer gemeinsamen Tintenkammer aus der Mehrzahl von Platten dient, die den oben erwähnten Tintendurchgang darstellen (siehe Japanische Patentoffenlegungsschrift 6-255 101 ), und dass ein Filter in einem verbindenden Bereich einer gemeinsamen Tintenkammer und einer Druckkammer gebildet wird (siehe Japanische Patentoffenlegungsschrift 2-198 851 ).
  • In dem Fall jedoch, dass ein Filter in einer Platte gebildet ist, die als eine Grenze zwischen einem Lieferdurchgang und einer gemeinsamen Tintenkammer dient, muss der Filter entsprechend zu jeder gemeinsamen Tintenkammer gebildet werden, und in dem Fall, dass ein Filter in einem verbindenden Bereich einer gemeinsamen Tintenkammer und einer Druckkammer gebildet wird, muss der Filter entsprechend zu jeder Druckkammer gebildet werden. Als Resultat wird jeder Filter relativ klein in der Größe und relativ groß in der Anzahl. In diesen Fällen wird oft ein Abmessungsfehler des Filters verursacht. Dieser Abmessungsfehler bewirkt eine Variation des Durchgangswiderstandes in dem individuellen Tintendurchgang, der jeweils einer individuellen Düse entspricht, was zu einer Verschlechterung der Druckqualität führt.
  • Ein Tintenstrahlkopf gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1 kann aus der JP 08-197 736 A entnommen werden. Die Mehrzahl von Platten sind miteinander durch Ultraschallschweißen verbunden.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen Tintenstrahlkopf, der eine verbesserte Druckqualität durch Beschränken einer Variation eines Durchgangswiderstandes in dem individuellen Tintendurchgang vorsehen kann, eine Filteranordnung, die für den Tintenstrahlkopf benutzt wird, und ein Verfahren zum Herstellen des Tintenstrahlkopfes unter Benutzung der Anordnung vorzusehen.
  • Gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Tintenstrahlkopf in Anspruch 1 definiert.
  • Mit diesem Aufbau, bei dem der Filter in dem verzweigenden Tintendurchgang in der verzweigenden Durchgangseinheit gebildet ist, kann der Filter größer in der Größe und kleiner in der Anzahl im Vergleich mit einem Fall hergestellt werden, in dem ein Filter in der Durchgangseinheit gebildet ist wie zwischen der Einlassöffnung und der gemeinsamen Tintenkammer, zwischen der gemeinsamen Tintenkammer und der Druckkammer und ähnlichem. Somit können die Filter integriert werden. Folglich werden Abmessungsfehler der Filter nicht leicht verursacht, und daher wird eine Variation des Durchgangswiderstandes in dem individuellen Tintendurchgang beschränkt zum Realisieren einer verbesserten Druckqualität.
  • Gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Filteranordnung, die für einen Tintenstrahlkopf benutzt wird, in Anspruch 5 definiert.
  • Gemäß einem dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zum Herstellen eines Tintenstrahlkopfes in Anspruch 12 definiert.
  • Mit dem obigen zweiten und dritten Aspekt kann der Tintenstrahlkopf gemäß dem ersten Aspekt relativ leicht realisiert werden durch Trennen der Mehrzahl von Filtertragteilen einschließlich der Filteranordnung voneinander und dann Vorsehen eines jeden der Filtertragteile auf der Durchgangseinheit so, dass die Filter der Einlassöffnung zugewandt sein können, die auf der Oberfläche der Durchgangseinheit gebildet ist. Daher kann der gleiche Vorteil wie bei dem obigen Aspekt, d.h. Beschränkung einer Variation des Durchgangswiderstandes in dem individuellen Tintendurchgang in den Tintenstrahlkopf und Verbesserung der Druckqualität erzielt werden.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Andere und weitere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der Erfindung werden voller ersichtlich aus der folgenden Beschreibung, die in Zusammenhang mit den begleitenden Zeichnungen genommen wird, in denen:
  • 1 einen allgemeinen Aufbau eines Beispieles eines Druckers mit Tintenstrahlköpfen gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt;
  • 2 eine Bodenansicht der Tintenstrahlköpfe ist, die parallel angeordnet sind und in 1 dargestellt sind;
  • 3 eine Teilschnittansicht des in 1 dargestellten Tintenstrahlkopfes ist;
  • 4 eine auseinandergezogene perspektivische Ansicht einer in 3 dargestellten verzweigenden Durchgangseinheit ist;
  • 5A eine perspektivische Teilansicht ist, die ein Beispiel von Verfahren zum Einführen von Tinte von einer Tintenlieferquelle in eine Tinteneinführungsöffnung darstellt;
  • 5B eine Teilschnittansicht eines zylindrischen Teiles und der verzweigenden Durchgangseinheit ist, die in 5A dargestellt sind;
  • 6 eine vergrößerte Schnittansicht eines Tintendurchganges in einer in 3 dargestellten Durchgangseinheit ist;
  • 7 eine Teilschnittansicht entsprechend zu 3 eines Tintenstrahlkopfes gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist;
  • 8 eine auseinandergezogene perspektivische Ansicht entsprechend zu 5 einer verzweigenden Durchgangseinheit in dem in 7 dargestellten Tintenstrahlkopf ist;
  • 9 eine Teilschnittansicht entsprechend zu 3 eines Tintenstrahlkopfes gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist;
  • 10 eine auseinandergezogene perspektivische Ansicht entsprechend zu 5 eines Teiles einer verzweigendenden Durchgangseinheit in dem in 9 dargestellten Tintenstrahlkopf ist;
  • 11 eine perspektivische Ansicht einer Filteranordnung ist, die für den in 9 dargestellten Tintenstrahlkopf benutzt wird; und
  • 12 eine perspektivische Ansicht ist, die einen Zustand darstellt, in dem Filtertragteile, die in der Filteranordnung in 11 enthalten sind, voneinander getrennt sind und nun auf einer Oberfläche der Durchgangseinheit vorgesehen sind.
  • BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • 1 stellt einen allgemeinen Aufbau eines Beispieles eines Druckers mit Tintenstrahlköpfen gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar. Der Tintenstrahldrucker 1 gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist ein Farbtintenstrahldrucker mit vier Tintenstrahlköpfen 2. Innerhalb des Tintenstrahldruckers 1 sind eine Papiervorschubeinheit 11 und eine Papierausgabeeinheit 12 in dem linken bzw. rechten Abschnitt von 1 vorgesehen. Ein Papierförderpfad ist sich von der Papiervorschubeinheit 11 zu der Papierausgabeeinheit 12 innerhalb des Tintenstrahldruckers 1 erstreckend gebildet.
  • Ein Paar von Papiervorschubrollen 5a und 5b ist unmittelbar stromabwärts von der Papiervorschubeinheit 11 zum Vorwärtsbringen eines Papieres als ein Medium von links nach rechts in 1 vorgesehen. In der Mitte des Papierförderpfades sind zwei Gurtrollen 6 und 7 und ein geschlungener Fördergurt 8 vorgesehen. Der Fördergurt 8 ist um jede der Gurtrollen 6 und 7 gewickelt, so dass er dazwischen ausgestreckt ist.
  • Der Fördergurt weist eine Zweischichtstruktur auf, die aus einem Polyesterbasiskörper, der mit Urethan imprägniert ist, und einem Silikongummi aufgebaut ist. Der Silikongummi ist in einem äußeren Abschnitt des Fördergurtes 8 zum Bilden einer Förderfläche vorgesehen. Papier, das durch das Paar von Papiervorschubrollen 5a und 5b vorgeschoben wird, wird auf der Förderfläche des Fördergurtes 8 durch Haltekraft gehalten. In diesem Zustand wird das Papier stromabwärts gefördert, d.h. nach rechts in 1, durch Antreiben einer Gurtrolle 6 zum Drehen im Uhrzeigersinn in 1, wie durch einen Pfeil 90 bezeichnet ist.
  • Pressende Teile 9a und 9b sind entsprechend an Positionen zum Vorschieben von Papier auf den Fördergurt 8 bzw. zum Ausgeben des Papieres von dem Fördergurt 8 vorgesehen. Beide Pressteile 9a und 9b dienen zum Pressen des Papieres auf die Förderfläche des Fördergurtes, so dass das Papier daran gehindert wird, sich von der Förderfläche zu trennen. Somit wird das Papier sicher auf der Förderfläche gehalten.
  • Eine Abziehvorrichtung 10 ist in dem Papierförderpfad unmittelbar stromabwärts von dem Fördergurt 8 vorgesehen, d.h. auf der rechten Seite in 1. Die Abziehvorrichtung 10 zieht das Papier, das auf der Förderfläche des Fördergurtes 8 durch Haltekraft gehalten ist, von der Förderfläche ab, so dass das Papier zu der rechten Papierausgabeeinheit 12 übertragen werden kann.
  • Jeder der vier Tintenstrahlköpfe 2 weist an seinem unteren Ende einen Kopfhauptkörper 2a auf. Jeder Kopfhauptkörper 2a weist einen rechteckigen Schnitt auf. Die Kopfhauptkörper 2a sind nahe zueinander angeordnet, wobei die Längsachse eines jeden Kopfhauptkörpers 2a senkrecht zu der Papierförderfläche ist, d.h. senkrecht zu 1. Das heißt, dieser Drucker 1 ist ein Linientyp. Der Boden eines jeden der vier Kopfhauptkörper 2a ist dem Papierförderpfad zugewandt. In dem Boden eines jeden Kopfhauptkörpers 2a ist eine große Zahl von Düsen vorgesehen, von denen jede eine Tintenausstoßöffnung 13 kleinen Durchmessers aufweist (siehe 2). Die vier Kopfhauptkörper 2a stoßen Tinte von Magenta, Gelb, Zyan bzw. Schwarz aus.
  • Die Kopfhauptkörper 2a sind derart vorgesehen, dass ein schmaler Freiraum zwischen der unteren Fläche eines jeden Kopfhauptkörpers 2a und der Förderfläche des Fördergurtes 8 gebildet ist. Der Papierförderpfad ist innerhalb des Freiraumes gebildet. Mit diesem Aufbau werden, während Papier, dass durch den Förderpfad 8 gefördert wird, unmittelbar unter den vier Kopfhauptkörpern 2a in der Reihenfolge durchgeht, die entsprechenden Farbtinten durch die entsprechenden Düsen zu der oberen Oberfläche ausge stoßen, d.h. der Druckfläche des Papieres, zum Erzeugen eines gewünschten Farbbildes auf dem Papier.
  • 3 stellt eine Teilschnittansicht des Tintenstrahlkopfes 2 dar. Der Tintenstrahlkopf 2 ist durch einen Halter 15 an einem geeigneten Teil 14 angebracht, das innerhalb des Druckers 1 vorgesehen ist. Der Halter 15 weist eine umgekehrte T-Form in einer Seitenansicht auf, die aus einem vertikalen Abschnitt 15a und einem horizontalen Abschnitt 15b gebildet ist. Der vertikale Abschnitt 15a ist an dem Teil 14 mit einer Schraube 16 befestigt. Der Kopfhauptkörper 2a ist an der unteren Fläche des horizontalen Abschnittes 15b mit einem dazwischenpositionierten Abstandshalter 3 befestigt. Der Kopfhauptkörper 2a enthält von unten eine Durchgangseinheit 20, eine Betätigungseinheit (Betätigungselement) 19, die an einer Oberfläche der Durchgangseinheit 20 befestigt ist, und eine verzweigende Durchgangseinheit 40, die an der Oberfläche der Durchgangseinheit 20 befestigt ist, wobei die Betätigungseinheit dazwischen eingeschlossen ist.
  • Ein Aufbau der verzweigenden Durchgangseinheit 40 wird hier unter Bezugnahme auf 3 und 4 beschrieben.
  • Die verzweigende Durchgangseinheit 40 ist durch Laminieren einer ersten Platte 41, einer zweiten Platte 42 und einer dritten Platte 43 miteinander aufgebaut. Unter diesen drei Platten 41 bis 43 sind die erste Platte 41 und die zweite Platte 42 aus Metall wie nichtrostendem Stahl hergestellt, und die dritte Platte 43 ist aus einer Metallplatte 43a wie eine Platte aus nichtrostendem Stahl und einer Kunststoffplatte 43c wie eine Platte aus Polyimid gebildet, die miteinander laminiert sind. Die dritte Platte 43 ist so angeordnet, dass die Metallplatte 43a der Durchgangseinheit 20 zugewandt sein kann.
  • Bezugnehmend auf 4, an einem breitenmäßigen Zentrum auf einer Seite der ersten Platte in einer Längsrichtung davon ist durch Ätzen usw. eine Tinteneinführungsöffnung 41a gebildet, die die Platte in ihrer Dickenrichtung durchdringt. Tinte wird von einer Tintenlieferquelle 200 wie ein Tintentank in die Tinteneinführungsöffnung 41a eingeführt, zum Beispiel wie in 5A dargestellt ist durch ein zylindrisches Teil 201 und eine Röhre 200a, die mit dem zylindrischen Teil 201 verbunden ist.
  • Wie in 5B dargestellt ist, weist das zylindrische Teil 201 eine zylindrische Basis 201b und einen Abschnitt 201c verringerten Durchmessers auf einer entgegengesetzten Seite der Basis 201b auf. Der Abschnitt 201c verringerten Durchmessers weist einen verringerten Durchmesser und eine Spitze 201a auf, die in einer angeschrägten Form gebildet ist. Die Basis 201b ist in die Tinteneinführungsöffnung 41a pressgepasst, und ein Ende der Röhre 200a, das sich von der Tintenlieferquelle 200 erstreckt, ist extern auf eine äußere Randoberfläche des Abschnittes 201c verringerten Durchmessers gepasst. Wenn ein Abschnitt des zylindrischen Teiles 201, an dem die Röhre 200a angebracht ist (der Abschnitt 201c verringerten Durchmessers) somit in der angeschrägten Form gebildet ist, kann die Röhre 200 leicht angebracht werden. Weiterhin kann in dem Fall, dass die Röhre 200a weggelassen ist und die Tintenlieferquelle 200 direkt an dem zylindrischen Teil 201 angebracht ist, eine Anbringung ebenfalls leicht ausgeführt werden.
  • Das zylindrische Teil 201 ist bevorzugt aus dem gleichen Material wie das der ersten Platte 41 hergestellt. Da in diesem Fall das zylindrische Teil 201 und die erste Platte 41 die gleichen linearen Expansionskoeffizienten aufweisen, expandieren und kontrahieren sie auf die gleiche Weise aufgrund von Änderungen in Temperatur, Feuchtigkeit und ähnlichem. Folglich kann enge Kopplung zwischen dem zylindrischen Teil 201 und der ersten Platte 41 gut gehalten werden. Somit kann ein Lufteinstrom durch eine Lücke zwischen der Basis 201b des zylindrischen Teiles 201 und der Tinteneinführungsöffnung 41a verhindert werden.
  • Bevorzugter sind das zylindrische Teil 201 und die erste Platte 41 beide aus nichtrostendem Stahl hergestellt. Da nichtrostender Stahl eine hervorragende Tintenwiderstandsfähigkeit aufweist, können verschiedene Arten von Tinte benutzt werden. Nichtrostender Stahl ist ebenfalls hervorragend in Luftbarriereneigenschaften. Daher kann verhindert werden, dass Luft an dem zylindrischen Teil 201 und der Tinteneinführungsöffnung 41a vorbeigeht zum Erzeugen von Blasen in einem verzweigenden Tintendurchgang in der verzweigenden Durchgangseinheit 40.
  • In der zweiten Platte 42 ist, wie in 3 und 4 dargestellt ist, ein Loch zum Darstellen eines Tintenreservoirs 42a zum Speichern von Tinte gebildet durch Pressbearbeiten usw. entlang einer Längsrichtung der zweiten Platte 42 (Richtung senkrecht zu 3). Weiter ist eine Mehrzahl von Kerben 42c mit nahezu halbzylindrischer Form aufeinanderfolgend an Seitenwänden des Loches zum Darstellen des Tintenreservoirs 42a gebildet, wie in 4 dargestellt ist.
  • An Abschnitten der Metallplatte 43a in der dritten Platte 43 entsprechen zu unten beschriebenen Einlassöffnungen 20a in der Durchgangseinheit 20 sind Tintenauslassöffnungen 43b mit der gleichen Form wie die der Tinteneinlassöffnung 20a gebildet, die die Platte in ihrer Dickenrichtung durchdringt (siehe 3). Die Abschnitte, an denen die Tintenauslassöffnungen 43a gebildet sind, entsprechend auch den Kerben 42c in der in 4 dargestellten zweiten Platte 42.
  • An Abschnitten der Kunststoffplatte 43c in der dritten Platte 43 entsprechend zu den unten beschriebenen Einlassöffnungen 20a in der Durchgangseinheit 20, d.h. entsprechend zu den oben erwähnten Tintenauslassöffnungen 43b sind Tintenfilter 43f mit der gleichen Form wie die der Tinteneinlassöffnung 20a und der Tintenauslassöffnung 43b gebildet.
  • Die Tintenauslassöffnungen 43b werden durch Ätzen der Metallplatte 43a gebildet, und darauf folgend werden die Filter 43f gebildet durch Herstellen mit Excimerlaserbearbeitung einer großen Zahl von Bohrungen kleinen Durchmessers (16 bis 24 Mikrometer) benachbart zueinander konzentriert an den Abschnitten der Kunststoffplatte 43c entsprechend zu den Tintenauslassöffnungen 43b.
  • Weiter ist ein Teil der Metallplatte 43a in der dritten Platte 43 durch Ätzen usw. abgeschnitten und nur Gebiete verbleiben, die die Tintenauslassöffnungen 43b enthalten, was durch gestrichelte Linien in 4 bezeichnet ist. Somit ist ein Hohlraum 43g in der dritten Platte 43 der Durchgangseinheit 20 zugewandt gebildet. Wie in 3 dargestellt ist, bildet der Hohlraum 43g einen Raum 44, in dem die Betätigungseinheit 19 (auf der Oberfläche der Durchgangseinheit 20 mit abwechselnd langen und zwei kurzen gestrichelten Linien in 4 dargestellt) anzuordnen ist. Vorsprünge 43h, die zu der Durchgangseinheit 20 vorstehen, sind an Gebieten der Metallplatte 43a entsprechend zur Außenseiten der langen Seiten der Betätigungseinheit 19 gebildet (Gebiete außerhalb der abwechselnd langen und kurzen gestrichelten Linien in 4) (siehe 3). Der Vorsprung 43h weist eine solche Höhe auf, dass eine unten beschriebene flexible gedruckte Schaltung (FPC) 4 aus dem Raum 44 zu der Außenseite herausgezogen werden kann. Der Vorsprung 43h verschließt den Raum 44.
  • Die Zahl der Prozessschritte kann durch Ausführen von zwei Ätzvorgängen in der Metallplatte 43a zur gleichen Zeit verringert werden, d.h. das Ätzen zum Bilden des Hohlraumes 43e und das Ätzen zum Bilden der Tintenauslassöffnungen 43b.
  • Die oben beschriebene erste bis dritte Platte 41 bis 43 sind miteinander laminiert, so dass ein verzweigender Tintendurchgang zum Verzweigen von Tinte von der Tinteneinführungsöffnung 41a zu den Tintenauslassöffnungen 43b innerhalb der verzweigenden Durchgangseinheit 40 gebildet ist.
  • Die Durchgangseinheit 20 weist kreisförmige Einlassöffnungen 20a auf (siehe 2 und 3), die der verzweigenden Durchgangseinheit 40 zugewandt sind. Die Durchgangseinheit 20 ist mit der verzweigenden Durchgangseinheit 40 verbunden, so dass entsprechende Einlassöffnungen 20a mit entsprechenden Abschnitten in Verbindung stehen können, die den Kerben 42c der verzweigenden Durchgangseinheit 40 entsprechen. Somit kann Tinte in dem Tintenreservoir 42a in die Durchgangseinheit 20 durch die Einlassöffnungen 20a fließen.
  • Die Betätigungseinheit 19 ist mit der oberen Fläche der Durchgangseinheit 20 verbunden, und genauer in einem Bereich ungleich dem Bereich, in dem die obere Fläche der Durchgangseinheit 20 und die verzweigende Durchgangseinheit 40 verbunden sind. Die Betätigungseinheit 19 sind von der verzweigenden Durchgangseinheit 20 getrennt. Das heißt, obwohl die verzweigende Durchgangseinheit 40 in Kontakt mit der Durchgangseinheit 20 in der Nähe der Einlassöffnung 20a steht, ist die verzweigende Durchgangseinheit 40 von dem Kopfhauptkörper 2a in dem anderen Bereich beabstandet. Die Betätigungseinheit 19 ist innerhalb des Trennungsbereiches vorgesehen. Wie durch abwechselnd lange und zwei kurze gestrichelte Linien in 4 dargestellt ist, weist jede Betätigungseinheit 19 eine im wesentliche Trapezform in Draufsicht auf. Die Betätigungseinheit 19 sind in einer Zickzackweise entlang der Länge des Kopfes 2 angeordnet. Jede Betätigungseinheit 19 ist so vorgesehen, dass ihre parallelen gegenüberliegenden Seiten, d.h. obere und untere Seite entlang der Länge der Durchgangseinheit 20 sind. Schräge Seiten von jeweils benachbarten Betätigungseinheiten 19 überlappen einander entlang der Breite der Durchgangseinheit 20. Der Bereich der unteren Fläche der Durchgangseinheit 20 entsprechend zu einem verbundenen Bereich einer jeden Betätigungseinheit 19 ist in einen Tintenausstoßbereich gebildet.
  • Die Einlassöffnungen 20a in der Durchgangseinheit 20 sind, wie oben beschrieben wurde, so angeordnet, dass sie Bereichen entsprechen, an denen keine Betätigungseinheit 19 vorgesehen ist. In größerem Detail, wie in 4 gezeigt ist, enthalten die Einlassöffnungen 20a welche, die gegeneckig an beiden Enden in einer Längsrichtung der Durchgangseinheit 20 angeordnet sind, und anderen, die Paare bildend nahe entsprechend den kurzen Seiten von gegenüberliegenden parallelen Seiten der Betätigungseinheit 19 in einer Zickzackweise angeordnet sind. Da die Mehrzahl von Einlassöffnungen 20a in einem Abstand dazwischen in der Längsrichtung der Durchgangseinheit 20 angeordnet sind, kann, selbst wenn der Kopf 2 lang ist, Tinte in dem Tintenreservoir 42a stabil zu der Durchgangseinheit 20 geliefert werden, wobei der Durchgangswiderstand beschränkt ist.
  • Als nächstes wird ein Tintendurchgang in der Durchgangseinheit 20 im einzelnen unter Bezugnahme auf 6 beschrieben. 6 ist eine vergrößerte Schnittansicht eines Tintendurchganges in einer in 3 dargestellten Durchgangseinheit.
  • Die Durchgangseinheit 20 weist, wie in 6 dargestellt ist, eine geschichtete Struktur aus neun metallischen dünnen flachen Platten 21, 22, 23, 24, 25, 26, 27, 28 und 29 auf. Ein Verteilerkanal (gemeinsame Tintenkammer) 30 ist durch die flachen Platten 22 bis 27 auf solch eine Weise gebildet, dass er quer über diesen drei Platten liegt, die eine fünfte bis siebte Schicht von einer Oberseite darstellen. Der Verteilerkanal 30 steht mit den oben beschriebenen Einlassöffnungen 20a durch einen nicht dargestellten Pfad in Verbindung. Ein Verbindungsloch 31 ist in der vierten flachen Platte 24 gebildet, die unmittelbar auf dem Verteilerkanal 30 vorgesehen ist. Das Verbindungsloch 31 ist in Verbindung mit einer Öffnung 32, die in der dritten flachen Platte 23 gebildet ist.
  • Die Öffnung 32 steht mit einem Ende einer Druckkammer 34, die in der ersten flachen Platte 21 gebildet ist, durch ein Verbindungsloch 33 in Verbindung, das in der zweiten flachen Platte 22 gebildet ist. Die Druckkammern 34, die zu entsprechenden Düsen Eins zu Eins entsprechen, dienen zum Anlegen von Druck auf Tinte mittels eines Treibens der Betätigungseinheit 19, die auf einer oberen Fläche der Durchgangseinheit 20 befestigt ist. Das andere Ende der Druckkammer 34 steht mit einer Düse einer angeschrägten Form in Verbindung, die in der neunten flachen Platte 29 gebildet ist, durch ein Düsenverbindungsloch 35, das in der zweiten bis achten flachen Platte zum Durchdringen dieser sieben Platten gebildet ist. Eine Tintenausstoßöffnung 13 ist an einem Vorderende der Düse gebildet.
  • Eine planare Form der Druckkammer 34 ist im wesentlichen ein länglicher Diamant oder ein Parallelogramm (Darstellung weggelassen).
  • In dem Kopfhauptkörper 2a mit dem obigen Aufbau wird, wie in 5A zum Beispiel dargestellt ist, Tinte, die von der Tintenlieferquelle 200 eingeführt wird, zuerst durch die Tinteneinführungsöffnung 41a in das Tintenreservoir 42a eingeführt, in dem die Tinte während einer Zeit aufbewahrt wird. Die Tinte in dem Tintenreservoir 42a geht daraufhin folgend durch die Kerben 42c und dann durch die Filter 43f. Zu dieser Zeit werden Fremdmaterie, die in die Tinte gemischt sind, durch die Filter 43f entfernt. Die Tinte erreicht, nachdem sie durch die Filter 43f geht, die Tintenauslassöffnungen 43b (siehe 4). Die Tinte wird dann von den Tintenauslassöffnungen 43b in die Tinteneinlassöffnungen 20a in der Durchgangseinheit 20 geführt und weiter in den Verteilerkanal 30. Die Tinte in dem Verteilerkanal 30 wird, wie in 6 dargestellt ist, zu jeder Druckkammer 34 durch das Verbindungsloch 31, die Öffnung 32 und das Verbindungsloch 33 geliefert. Ein Antrieb der Betätigungseinheit 19, wie unten beschrieben wird, legt Druck an die Tinte in jeder Druckkammer 34 an, so dass die Tinte aus der Tintenausstoßöffnung 13 durch das Düsenverbindungsloch 35 ausgestoßen wird.
  • Die Betätigungseinheit 19 ist durch Laminieren einer Mehrzahl von piezoelektrischen Platten aufgebaut, die aus einem Keramikmaterial wie Bleizirkonattitanat (PCT) hergestellt sind. Dünnfilmelektroden, die aus z.B. einem metallischen Material auf Ag-Pd-Basis hergestellt sind, sind zwischen die piezoelektrischen Platten eingefügt, so dass aktive Abschnitte an Bereichen gebildet sind, die entsprechenden Druckkammern 34 zugewandt sind. Wenn eine Potentialdifferenz zwischen den Elektroden verursacht wird, die in den piezoelektrischen Platten auf die oben beschriebene Weise angeordnet sind, verformt sich jeder aktive Abschnitt in eine konvexe Form zu der Druckkammer 34. Als Resultat wird ein Volumen der Druckkammer 34 verringert zum Anlegen von Druck an die Tinte in der Druckkammer 34.
  • Wie in 6 dargestellt ist, ist eine FPC 4, die als ein Leistungsversorgungsteil für die Betätigungseinheit 19 dient, mit einer oberen Fläche der Betätigungseinheit 19 verbunden. Wie in 3 dargestellt ist, ist die FPC 4 von einer Seite des Tintenstrahlkopfhauptkörpers 2a herausgezogen, nach oben gebogen und elektrisch mit einer integrierten Treiberschaltung (IC) verbunden (nicht dargestellt), die auf einer Seitenfläche des Teiles 14 angebracht ist. Treiberpulse, die in den Treiber-IC erzeugt werden, werden durch die FPC 4 zu den Elektroden in der Betätigungseinheit 19 geliefert, so dass sich die oben beschriebenen aktiven Abschnitte verformen. Solche Potentialsteuerung wird entsprechend für jede Druckkammer 34 unabhängig voneinander ausgeführt.
  • Weiterhin ist, wie in 3 dargestellt ist, ein Abdichtteil 36 auf Siliziumbasis an einer Seite des Kopfhauptkörpers 2a entsprechend zu einer Öffnung zum Herausziehen der FPC 4 vorgesehen. Das Abdichtteil 36 dient als Sicherung für die FPC 4 als auch zum Abdichten des oben erwähnten Raumes 44 zum Verhindern, dass Tinte usw. in den Raum 44 eintritt.
  • Wie oben beschrieben wurde, kann bei dem Tintenstrahlkopf 2 gemäß der vorliegenden Ausführungsform, da die Tintenfilter 43f in dem verzweigenden Tintendurchgang innerhalb der verzweigenden Durchgangseinheit 40 gebildet sind, der Filter größer in der Größe und kleiner in der Zahl im Vergleich mit einem Fall hergestellt werden, in dem die Filter in der Durchgangseinheit 20 gebildet sind. Somit können die Filter integriert werden. Folglich werden Abmessungsfehler der Filter 49f nicht leicht verursacht, und daher wird eine Variation des Durchgangswiderstandes in dem individuellen Tintendurchgang beschränkt zum Realisieren einer verbesserten Druckqualität.
  • Auch in dem Fall, dass der Filter in dem Tintendurchgang innerhalb der Durchgangseinheit 20 gebildet, ist (z.B. an dem Verbindungsloch 31 oder dem Drosselteil 32) müssen die flachen Platten 21 bis 29 (siehe 6) miteinander mit einer relativ strikten Genauigkeit zum Ausrichten einer Position des Filters in jedem Teil positioniert werden. Bei der vorliegenden Ausführungsform auf der andern Seite ist es nicht notwendig, so dass strikte Genauigkeit beim Positionieren zum sicheren Durchgehen von Tinte durch die Filter 43f nicht notwendig ist. Da weiter ein Filter nicht in den flachen Platten 21 bis 29 gebildet ist, können die flachen Platten 21 bis 29, die die Durchgangseinheit 20 darstellen, relativ leicht miteinander positioniert werden. Daher kann der Tintenstrahlkopf 2 leicht hergestellt werden, so dass eine verbesserte Herstellungsausbeute und verringerte Herstellungskosten realisiert werden.
  • Die Filter 43f sind in der Platte 43 gebildet, die eine der Platten ist, die die verzweigende Durchgangseinheit 40 darstellen. Somit können die Filter 43f leicht gebildet werden durch z.B. Ätzen oder Excimerlaserbearbeitung.
  • Eine Benutzung einer Excimerlaserbearbeitung zum Bilden der großen Zahl von Poren, die den Filter 43f darstellen, kann im Vergleich mit Ätzen usw. die Formen und Größen der Poren stabilisieren. Durchgangswiderstand in dem individuellen Tintendurchgang wird dadurch stabilisiert.
  • Da weiterhin die dritte Platte 43, die mit den Filtern 43f gebildet ist, eine geschichtete Struktur aufweist, die mit der Metallplatte 43a und der Kunststoff- z.B. Polyimidplatte 43c laminiert ist, können die Tintenauslassöffnungen durch Ätzen der Metallplatte 43a gebildet werden, und zur gleichen Zeit können die Filter 43f leicht durch Herstellen einer großen Zahl von Poren mit Excimerlaserbearbeitung an den Abschnitten der Kunststoffplatte 43c entsprechend zu den Tintenauslassöffnungen 43b gebildet werden. Bei dem oben beschriebenen Verfahren zum Bilden von Filtern können Herstellungskosten des Filters 43f verringert werden.
  • In diesem Fall kann zusätzlich die Festigkeit des Filters 43f gut aufrechterhalten werden im Vergleich mit einem Fall, in dem der Filter in einer einzelnen Platte gebildet ist, da die Kunststoffplatte 43c von der Metallplatte 43a verstärkt wird. Da die dritte Platte 43 dadurch vorteilhafterweise gute Festigkeit aufweist, kann Laminieren der dritten Platte 43 und der zweiten Platte 42 leicht ausgeführt werden.
  • Weiterhin sind die Filter 43f zwischen dem Tintenreservoir 42a und der Tintenauslassöffnung 43b vorgesehen. Genauer, die Filter 43f sind an Abschnitten der dritten Platte 43 mit dem Tintenauslassöffnungen 43b entsprechend zu den entsprechenden Tintenauslassöffnungen 43b aus den Platten gebildet, die die verzweigende Durchgangseinheit 40 darstellen. Tinte, die einmal in dem Tintenreservoir 42a aufbewahrt wird, fließt durch die Kerben 42c in die Filter 43f und erreicht dann die Tintenauslassöffnungen 43b. In diesem Fall variiert der Durchgangswiderstand nicht stark bevor und nachdem die Tinte durch die Filter 43f geht, d.h. wäh rend die Tinte von den Kerben 42c in die Tintenauslassöffnungen 43b fließt. Daher kann die Tinte glatt fließen ohne Erzeugung von Blasen beim Gehen durch die Filter 43f.
  • Als nächstes wird ein Tintenstrahlkopf gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf 7 und 8 beschrieben. Ein Tintenstrahlkopf 102 der vorliegenden Ausführungsform unterscheidet sich von dem der ersten Ausführungsform nur in seiner verzweigenden Durchgangseinheit. Die anderen Komponenten wie eine Durchgangseinheit 20 usw. sind identisch zu jenen der ersten Ausführungsform und werden daher nicht beschrieben durch Bezeichnen derselben mit gleichen Bezugszeichen.
  • Eine verzweigende Durchgangseinheit 50 wird durch Laminieren einer ersten Platte 51, einer zweiten Platte 52 und einer dritten Platte 53, die zwischen der ersten Platte 51 und der zweiten Platte 52 vorgesehen ist, miteinander dargestellt. Aus diesen drei Platten 51 bis 53 sind die erste Platte 51 und die zweite Platte 52 aus Metall wie nichtrostender Stahl hergestellt, und die dritte Platte 53 ist durch eine Metallplatte 53a wie eine Platte aus nichtrostendem Stahl und einer Kunststoffplatte 53c wie eine Platte aus Polyimid gebildet, die miteinander laminiert sind. Die dritte Platte 53 ist so angeordnet, dass die Metallplatte 53a der zweiten Platte 52 zugewandt sein kann.
  • Bezugnehmend auf 8 ist an einem breitenmäßigen Zentrum auf einer Seite der ersten Platte 51 in einer Längsrichtung davon durch Ätzen usw. eine Tinteneinführungsöffnung 51a gebildet, die durch die Platte in ihrer Dickenrichtung durchdringt. Ähnlich zu der ersten Ausführungsform wird Tinte von einer Tintenlieferquelle 200 (siehe 5A) wie ein Tintentank in die Tinteneinführungsöffnung 51a eingeführt. Weiter ist, wie in 8 gezeigt ist, ein Schlitz 51b in der ersten Platte 51 gebildet, die der dritten Platte 53 zugewandt ist. Ein Ende des Schlitzes 51b ist mit der Tinteneinführungsöffnung 51a verbunden, und das an dere Ende erstreckt sich zu im wesentlichen einer Mitte der Platte in ihrer Längsrichtung.
  • Drei Reservoirverbindungslöcher 53b benachbart zueinander entlang einer Längsrichtung der Platte sind an einem im wesentlichen Zentrum der Metallplatte 53a in der dritten Platte 53 gebildet, d.h. an einem Abschnitt, der im wesentlichen ein Zentrum eines unten beschriebenen Tintenreservoirs 52a wird. Filter 53f mit einer großen Zahl von Poren und der gleichen Form wie die der Reservoirverbindungslöcher 53b sind an Abschnitten der Kunststoffplatte 53c in der dritten Platte 53 entsprechend zu den Reservoirverbindungslöchern 53b gebildet.
  • Die Reservoirverbindungslöcher 53b sind durch Ätzen der Metallplatte 53a gebildet, und darauf folgend werden die Filter 53f durch Herstellen mit Excimerlaserbearbeitung einer großen Zahl von Poren kleinen Durchmessers (16 bis 24 Mikrometer) benachbart zueinander konzentriert an den Abschnitten der Kunststoffplatte 53c entsprechend zu den Reservoirverbindungslöchern 53b gebildet.
  • In der zweiten Platte 52, die der dritten Platte 53 zugewandt ist, ist durch Halbätzen usw. ein Hohlraum gebildet, um ein Tintenreservoir 52a mit der gleichen planaren Form wie die des Loches zum Darstellen des Tintenreservoirs 42a in der ersten Ausführungsform (siehe 4) zu bilden. Weiterhin sind Kerben 52c mit der gleichen planaren Form wie die der Kerben 42c in der ersten Ausführungsform (siehe 4) aufeinander folgend durch Halbätzen usw. an Seitenwänden des Hohlraumes zum Darstellen des Tintenreservoirs 52a gebildet. Weiter sind an Nachbarschaften der Kerben 52c entsprechend zu den Einlassöffnungen 20a der Durchgangseinheit 20 Tintenauslassöffnungen 52b mit der gleichen Form wie die der Tinteneinlassöffnungen 20a gebildet und durchdringen die Platte in ihrer Dickenrichtung.
  • Ein Hohlraum 52g mit der gleichen planaren Form wie die des Hohlraumes 43g in der ersten Ausführungsform (siehe 4) ist durch Halbätzen usw. in der zweiten Platte 52 gebildet, die der Durchgangseinheit 20 zugewandt ist. Vorsprünge 52h ähnlich zu den Vorsprüngen 43h in der ersten Ausführungsform sind an Gebieten der zweiten Platte 52 entsprechend zu den Außenseiten von langen Seiten der Betätigungseinheiten 19 gebildet (Gebiete außerhalb der abwechselnd langen und kurzen gestrichelten Linien in 8) (siehe 7).
  • Die oben beschriebene erste Platte 51, die zweite Platte 52 und die dritte Platte 53, die zwischen diesen zwei Platten vorgesehen ist, sind miteinander laminiert, so dass ein verzweigender Tintendurchgang zum Verzweigen von Tinte von der Tinteneinführungsöffnung 51a zu dem Tintenauslassöffnungen 52b innerhalb der verzweigenden Durchgangseinheit 50 gebildet ist.
  • Bei dem Kopfhauptkörper 102a mit dem obigen Aufbau wird, wie in 5A zum Beispiel dargestellt ist, Tinte, die von der Tintenlieferquelle 200 eingeführt wird, zuerst von der Tinteneinführungsöffnung 51a in den Schlitz 51b einführt und geht dann durch die Filter 53f. Zu dieser Zeit wird fremde Materie, die in die Tinte gemischt ist, durch die Filter 53f entfernt. Die Tinte, die durch die Filter 53f gegangen ist, wird durch die Reservoirverbindungslöcher 53b in das Tintenreservoir 52a eingeführt, in dem die Tinte für eine Zeit aufbewahrt wird. Die Tinte in dem Tintenreservoir 52a wird darauf folgend durch die Kerben 52c von den Tintenauslassöffnungen 52b in die Einlassöffnungen 20a in der Durchgangseinheit 20 geführt und dann zu einem Verteilerkanal 30 eingeführt. Die Tinte fließt von dem Verteilerkanal 30 in eine Tintenausstoßöffnung 13 auf die gleiche Weise wie in der ersten Ausführungsform. Somit wird die Beschreibung des Tintenflusses danach weggelassen.
  • Wie oben beschrieben wurde, kann bei dem Tintenstrahlkopf 102 gemäß der vorliegenden Ausführungsform, da der Tintenfilter 53f zwischen der Tinteneinführungsöffnung 51a und dem Tintenreservoir 52a vorgesehen ist, der Filter weiter größer in der Größe und kleiner in der Zahl hergestellt werden im Vergleich mit einem Fall der ersten Ausführungsform und einem Fall, bei dem der Filter in der Durchgangseinheit 20 gebildet ist. Somit können die Filter weiter integriert werden, so dass sicher der Effekt erzielt wird, dass eine Variation von Durchgangswiderstand in dem individuellen Tintendurchgang beschränkt ist zum Realisieren einer verbesserten Druckqualität.
  • Da weiter die Filter 53f an dem Abschnitt, der ein im wesentliches Zentrum des Tintenreservoirs 52a werden soll, gebildet wird, kann die Excimerlaserbearbeitung usw. leichter ausgeführt werden und die Prozesszeit davon kann verkürzt werden im Vergleich mit der ersten Ausführungsform.
  • Weiterhin kann der Aufbau, bei dem der Filter zwischen der Tinteneinführungsöffnung 51a und dem Tintenreservoir 52a vorgesehen ist, eine weite Vielfachheit in Position, Zahl und Form usw. des Filters vorsehen. Folglich kann der Filter an einer Position unterschiedlich von der Position des Filters 53f in der zweiten Ausführungsform gebildet werden, und die Zahl, Größe und Form usw. des Filters kann geeignet geändert werden. Wenn der Filter kleiner in der Zahl und größer in der Größe zum Beispiel hergestellt wird, kann eine Verringerung eines Durchgangswiderstandes in Tintendurchgängen weiter beschränkt werden, und zusätzlich wird Tinte daran gehindert, unbequemerweise an Poren zu verstopfen, die den Filter darstellen. Weiterhin können Fehler in Poren häufig verursacht werden in einem Fall des Herstellens einer großen Zahl von Poren kleinen Durchmessers durch Ätzen usw.. Bei der vorliegenden Ausführungsform jedoch kann dieses Problem der Fehler in Poren verkleinert werden durch Vergrößern der Größe des Filters. Weiter ist es auch möglich, dem Filter eine Größe und eine Form vorteilhaft in der Festigkeit zu geben.
  • Zusätzlich können dieselben Effekte wie jene der ersten oben beschriebenen Ausführungsform erzielt werden aufgrund der Aufbauten, bei denen ein Filter nicht in den flachen Platten 21 bis 29 gebildet ist, die die Durchgangseinheit 20 darstellen (siehe 6), in der die Filter 53f in der Platte 53 gebildet sind, die eine der Platten ist, die die verzweigende Durchgangseinheit 50 darstellt, und in der die dritte Platte 53, die mit den Filtern 53f gebildet ist, eine geschichtete Struktur aufweist, die mit der Metallplatte 53a und der Harzplatte 53c laminiert ist.
  • Als nächstes wird ein Tintenstrahlkopf gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf 9 bis 12 beschrieben. Ein Tintenstrahlkopf 201 der vorliegenden Ausführungsform unterscheidet sich von jenen der ersten und der zweiten Ausführungsform nur in seiner verzweigenden Durchgangseinheit. Die anderen Komponenten wie eine Durchgangseinheit 20 usw. sind identisch zu jenen der ersten Ausführungsform, und wird daher nicht beschrieben durch Bezeichnen derselben mit gemeinsamen Bezugszeichen.
  • Wie in 9 dargestellt ist, enthält eine verzweigende Durchgangseinheit 60 eine erste Platte 61, eine zweite Platte 62 und Filtertragteile 63. Die erste Platte 61 und die zweite Platte 62 sind aus Metall wie nichtrostender Stahl hergestellt. Die erste Platte 61 und die zweite Platte 62 mit praktisch der gleichen Form sind miteinander laminiert, wie in 10 dargestellt ist. Andererseits sind die Filtertragteile 63, die in einer unten beschriebenen Filteranordnung 73 (siehe 11) enthalten sind, so angeordnet, dass sie entsprechende Einlassöffnungen 20a auf einer Oberfläche der Durchgangseinheit 20 bedecken, wie in 12 dargestellt ist. Die zweite Platte 62 ist auf den Filtertragteilen 63 vorgesehen.
  • Die erste Platte 61 ist, wie in 10 gezeigt ist, identisch zu der ersten Platte 51 in der ersten Ausführungsform und weist eine Tinteneinführungsöffnung 61a an einem breitenmäßigen Zent rum auf einer Seite der Platte in einer Längsrichtung auf. Ein Hohlraum zum Darstellen eines Tintenreservoirs 62a und Düsen 62c sind in der zweiten Platte 62 gebildet, die der ersten Platte 61 zugewandt ist. Der Hohlraum zum Darstellen des Tintenreservoirs 62a und die Düsen 62c sind ähnlich zu dem Hohlraum zum Darstellen des Tintenreservoirs 52a bzw. der Düsen 52c in der zweiten Ausführungsform (siehe 8). Weiterhin sind ähnlich zu den Tintenauslassöffnungen 52b in der zweiten Ausführungsform Tintenauslassöffnungen 62b, die durch die Platte in ihrer Dickenrichtung durchdringt, an Nachbarschaften der Kerben 62c gebildet.
  • Vorsprünge 62h sind an Gebieten gebildet, die mit abwechselnd langen und kurzen Strichlinien in 10 eingeschlossen sind, die der Durchgangseinheit 20 zugewandt sind. Abschnitte ungleich den Vorsprüngen 62h sind auf der gleichen Ebene vorhanden. Ähnlich zu den Vorsprüngen 42h und 52h in der ersten und zweiten Ausführungsform weisen die Vorsprünge 62h eine Höhe auf, dass eine FPC 4 aus einem Raum 44 zu der Außenseite herausgezogen werden kann. Die Vorsprünge 62h verschließen den Raum 44, in dem eine Betätigungseinheit 19 anzuordnen ist (siehe 9). Der Raum 44 ist an einem Abschnitt gebildet, an dem die Filtertragteile 63 nicht angeordnet sind, wenn die zweite Platte 62 an der Durchgangseinheit 20 befestigt ist, wobei die Filtertragteile 63 dazwischen eingeschlossen sind.
  • Die Filteranordnung 73, die für den Tintenstrahlkopf 202 der vorliegenden Ausführungsform benutzt wird, wird hier im folgenden unter Bezugnahme auf 11 beschrieben.
  • Die Filteranordnung 73 weist vier Filtertragteile 63, die benachbart zueinander vorgesehen sind, Verbindungsabschnitte 73d zum Verbinden der benachbarten Filtertragteile 63, einen Rahmenabschnitt 73g, die die Ränder der vier Filtertragteile 63 umgibt, und Randverbindungsabschnitte 73e zum Verbinden des Rah menabschnittes 73g und der Filtertragteile 63 benachbart zu dem Rahmenabschnitt 73g auf.
  • Jeder Verbindungsabschnitt 73d weist eine längliche Form auf, die in einer Richtung des Verbindens der Filtertragteile 63 miteinander länglich ist. Eine Biegefestigkeit einer Grenze zwischen jedem Verbindungsabschnitt 73d und jedem Filtertragteil 63 ist kleiner als eine Biegefestigkeit der Filtertragteile 63. Eine Biegefestigkeit einer Grenze zwischen jedem Randverbindungsabschnitt 73e und jedem Filtertragteil 63 ist ebenfalls kleiner als die Biegefestigkeit der Filtertragteile 63.
  • Filter 63f entsprechend zu dem entsprechenden Einlassöffnungen 20a (siehe 12) sind in jedem der vier Filtertragteile 63 gebildet. Unter den vier Filtertragteilen 63 sind zwei Filtertragteile 63, wie sie auf dieser Seite in 11 vorgesehen sind, sind in allgemein rechteckiger Form, und jedes weist zwei Filter 63f entsprechend zu jedem Paar von Einlassöffnungen 20a auf. Verbleibende zwei Filtertragteile 63 sind in allgemein L-Form, und jedes weist drei Filter 63f auf, die jeweils einem Paar von Einlassöffnungen 20a und einer einzelnen Einlassöffnung 20a entsprechen, die gegenüber diesem Paar von Einlassöffnungen 20a ist.
  • Die Filtertragteile 63 sind in solch einer Form gebildet, dass sie abwechselnd ohne Überlappen mit den Betätigungseinheiten 19 (auf der Durchgangseinheit 20 mit abwechselnd lange und zwei kurzen gestrichelten Linien in 12 dargestellt) auf einer Oberfläche der Durchgangseinheit 20 angeordnet sind. In der in 11 gezeigten Filteranordnung 73 sind die Filtertragteile 63 benachbart zueinander in einem Abstand kürzer als ein Abstand vorgesehen, in dem sie auf der Oberfläche der Durchgangseinheit 20 anzuordnen sind (siehe 12).
  • Die Filtertragteile 63, die Verbindungsabschnitte 73d, der Rahmenabschnitt 73g und die Randverbindungsabschnitte 73e sind in einem Stück gebildet.
  • Die Filteranordnung 73 ist, wie in 11 gezeigt ist, durch eine Metallplatte 73a wie eine Platte aus nichtrostendem Stahl und eine Kunststoffplatte 73c wie eine Platte aus Polyimid gebildet, die miteinander laminiert sind. Jede Komponente der Filteranordnung 73 ist durch Ätzen der Metallplatte 73a zum Belassen der Umrisse der Filtertragteile 63 und des Rahmenabschnittes 73g und darauf folgendes Anwenden von Laserbearbeiten auf die Kunststoffplatte 73c zum Belassen der Umrisse der Verbindungsabschnitte 73d und der Randverbindungsabschnitte 73e zusätzlich zu den Umrissen der Filtertragteile 63 und des Rahmenabschnittes 73g gebildet.
  • Somit weist das Filtertragteil 63 eine geschichtete Struktur auf, die mit einer Metallplatte 63a und der Kunststoffplatte 73c laminiert ist. Dann werden Öffnungen 63b, wie in 9 dargestellt ist, durch Ätzen von Abschnitten der unteren Metallplatte 63a entsprechend zu den Filtern 63f gebildet. Danach werden die Filter 63f in den Filtertragteilen 63 durch Herstellen mit Excimerlaserbearbeitung einer großen Zahl von Poren kleinen Durchmessers (16 bis 24 Mikrometer) benachbart zueinander konzentriert an Abschnitten der oberen Kunststoffplatte 63c entsprechend zu den Öffnungen 63b gebildet.
  • Die Zahl von Prozessschritten kann verringert werden durch Ausführen von zwei Ätzvorgängen zur gleichen Zeit, d.h. das Ätzen in der Metallplatte 73a der Filteranordnung 73 und das Ätzen zum Bilden der Öffnungen 63b in der Metallplatte 63a der Filtertragteile 63.
  • Die vier Filtertragteile 63 mit dem obigen Aufbau sind auf der Oberfläche der Durchgangseinheit 20 angeordnet, wie in 12 dargestellt ist, und die zweite Platte 62 und die erste Platte 61 sind auf den Filtertragteilen 63 laminiert, so dass ein verzweigender Tintendurchgang zum Verzweigen von Tinte von der Tinteneinführungsöffnung 61a zu den Tintenauslassöffnungen 62b und dann zu den Filtern 63f, die in den Filtertragteilen 63 gebildet sind, innerhalb der verzweigenden Durchgangseinheit 60 gebildet sind.
  • Wie oben beschrieben wurde, kann gemäß der Filteranordnung 73 der vorliegenden Ausführungsform die Zahl von Teilen beschränkt werden, da die vier Filtertragteile 63 als ein einzelnes Teil hergestellt werden. Folglich ist die Filteranordnung 73 kompakt und leicht zu handhaben, während sie vier Filtertragteile 63 aufweist.
  • Da zusätzlich die Filtertragteile 63 benachbart zueinander vorgesehen sind, kann die Prozesszeit zum Bilden der Filter 63f verkürzt werden, insbesondere in dem Fall des Anwendens von Excimerlaserbearbeitung. Dieses ist so, da ein relativ kurzer Abstand zwischen den Filtern 63f einen Bewegungsabstand eines Laserkopfes beim Ausführen der Excimerlaserbearbeitung verkürzen kann. Solch eine Verkürzung der Prozesszeit kann die Herstellungskosten verringern.
  • Weiterhin sind die Filtertragteile 63 benachbart zueinander an einem Abstand kürzer als ein Abstand vorgesehen, mit dem sie auf der Oberfläche der Durchgangseinheit 20 vorzusehen sind, und die Filter 63f sind dadurch kollektiv vorgesehen. Daher kann eine Prozesseffektivität, insbesondere wie oben beschrieben wurde, verbessert werden. Wenn jedes Filtertragteil 63 auf der Oberfläche der Durchgangseinheit 20 angeordnet ist, können andererseits die Filtertragteile 63 in einem Abstand voneinander angeordnet werden, so dass sie flexibel verschiedenen Layouts der Einlassöffnung 20a entsprechen.
  • Weiter kann ein kompaktes Layout der Betätigungseinheit 19 und der Filtertragteile 63 realisiert werden, da jedes Filtertrag teil 63 in solch einer Form gebildet ist, dass sie abwechselnd ohne Überlappen mit den Betätigungseinheiten 19 auf der Oberfläche der Durchgangseinheit 20 anzuordnen sind, wie in 12 gezeigt ist. Dieses kann eine kompaktere Anordnung des Kopfes 202a realisieren.
  • Noch weiter können die Filtertragteile 63 leicht voneinander getrennt werden, da die Filtertragteile 63 durch Mittel der Verbindungsabschnitte 73d verbunden sind, von denen jedes die längliche Form aufweist, die in der Richtung des Verbindens der Filtertragteile 63 länglich sind.
  • Noch weiter weist die Filteranordnung 73 den Rahmenabschnitt 73g auf, der die Ränder der vier Filtertragteile 63 umgibt, und daher leichter gehandhabt werden kann. Zum Beispiel kann ein Problem, dass die Filtertragteile 63 während des Transportes der Filteranordnung 63 beschädigt werden, verringert werden.
  • Noch weiter, da die Filtertragteile 63, die Verbindungsabschnitte 73d, der Rahmenabschnitt 73g und die Randverbindungsabschnitte 73e in einem Stück gebildet werden, können Herstellungskosten verringert werden.
  • Als nächstes wird ein Verfahren zum Herstellen des Tintenstrahlkopfes 202 unter Benutzung der Filteranordnung 73 gemäß der vorliegenden Ausführungsform beschrieben. Hier wird jedoch ein Verfahren zum Herstellen nur des Kopfhauptkörpers 202a in dem in 9 dargestellten Kopf 202 beschrieben.
  • Zuerst wird die Durchgangseinheit 20 durch Positionieren und Laminieren der flachen Platten 20 bis 29 gebildet (siehe 6), während Herstellen der Filteranordnung 73 in 11 dargestellt ist.
  • Bei einem Herstellungsprozess der Filteranordnung 73 werden die Filtertragteile 63, die Verbindungsabschnitte 73d, der Rahmenab schnitt 73g und die Randverbindungsabschnitte 73e in einem Stück gebildet, wie oben beschrieben wurde. Bei diesem Prozess werden zusätzlich die vier Filtertragteile 63 benachbart zueinander an dem Abstand kürzer als der Abstand vorgesehen, an dem sie auf der Oberfläche der Durchgangseinheit 20 anzuordnen wären (siehe 12). Weiterhin werden die Filter 63f durch Excimerlaserbearbeiten gebildet, wie oben beschrieben wurde.
  • Die vier Filtertragteile 63 werden voneinander durch Biegen der Verbindungsabschnitte 73 an den Grenzen zwischen den Verbindungsabschnitten 73 und den Filtertragteilen 63 getrennt. Der Rahmenabschnitt 73g und die Filtertragteile 63 benachbart zu dem Rahmenabschnitt werden voneinander getrennt durch Biegen der Randverbindungsabschnitte 73e an den Grenzen zwischen den Randverbindungsabschnitten 73e und den Filtertragteilen 63. Bei diesem Trennungsprozess kann ein Schneiden ausgeführt werden zum Beispiel durch Anlegen von Kraft an einen geeigneten Verbindungsabschnitt 73d oder einen Randverbindungsabschnitt 73e, während die Filteranordnung 73 von Hand gehalten wird.
  • Dann wird, wie in 12 gezeigt ist, jedes Filtertragteil 63 auf der Oberfläche der Durchgangseinheit derart angeordnet, dass jeder Filter 63f jeder Einlassöffnung 20a zugewandt sein kann.
  • Darauf folgend werden die Betätigungseinheiten 19 abwechselnd auf der Oberfläche der Durchgangseinheit 20 angeordnet, so dass sie nicht mit den Filtertragteilen 63 überlappen, die auf die oben beschriebene Weise angeordnet sind. Ein Prozess des Anordnens der Betätigungseinheit 19 kann entweder vor oder nach dem Prozess des Anordnens der Filtertragteile 63 sein, und diese zwei Prozesse können auch zusammenfallen.
  • Die erste und die zweite Platte 61 und 62, die miteinander verbunden sind und die verzweigende Durchgangseinheit 60 darstellen, werden an der Durchgangseinheit 20 derart befestigt, dass jedes Filtertragteil 63 mit einer geeigneten Position auf der unteren Fläche der zweiten Platte 62 in Kontakt stehen kann.
  • Bei dem Kopfhauptkörper 202a mit dem obigen Aufbau wird, wie in 5A zum Beispiel dargestellt ist, Tinte, die von der Tintenlieferquelle 200 eingeführt wird, zuerst von der Tinteneinführungsöffnung 61a in das Tintenreservoir 62a eingeführt, in dem die Tinte für eine Zeit aufbewahrt wird. Dann wird die Tinten in dem Tintenreservoir 62 durch die Kerben 62c von den Tintenauslassöffnungen 62b geführt, und weiter geht die Tinte durch die Filter 63f, die in den Filtertragteilen 63 gebildet sind. Zu dieser Zeit wird fremde Materie, die in die Tinte gemischt ist, durch die Filter 63f entfernt. Die Tinte, die durch die Filter 63f gegangen ist, wird durch die Öffnungen 63b zu den Einlassöffnungen 20a in der Durchgangseinheit 20 geführt und dann in den Verteilerkanal 30 eingeführt. Die Tinte fließt von dem Verteilerkanal 30 zu der Tintenausstoßöffnung 13 auf die gleiche Weise wie bei der ersten Ausführungsform. Somit wird die Beschreibung des Tintenflusses danach weggelassen.
  • Wie oben beschrieben wurde, können die gleichen Effekte wie jene der oben beschriebenen Filteranordnung 73 erhalten werden durch das Verfahren zum Herstellen des Tintenstrahlkopfes 202 unter Benutzung der Filteranordnung 73. Weiter kann der Tintenstrahlkopf 202 mit dem gleichen Effekt wie jener des Tintenstrahlkopfes 2 in der ersten Ausführungsform, d.h. dem Effekt, dass eine Variation des Durchgangswiderstandes in dem individuellen Tintendurchgang beschränkt wird zum Realisieren einer verbesserten Druckqualität, unter Benutzung der Filteranordnung 73 hergestellt werden. Bei der oben erwähnten ersten, zweiten und dritten Ausführungsform können die Poren, die die Filter 43f, 53f und 63f darstellen, durch verschiedene Verfahren gebildet werden, nicht auf Excimerlaserbearbeitung begrenzt.
  • Die Kunststoffplatten 43c, 53c, 63c und 73c können aus verschiedenen Kunststoffen wie Polyester oder Vinylchlorid oder usw. an statt von Polyimid hergestellt werden. Die Metallplatten 43a, 53a, 63a, 73a, die ersten Platten 41, 51, 61 und die zweiten Platten 42, 52, 62 können aus verschiedenen Metallen hergestellt werden, zum Beispiel Nickellegierung wie 42ALLOY oder INVAR usw. anstatt von nichtrostendem Stahl.
  • Die Zahl der Tinteneinführungsöffnungen 41a, 51a und 61a ist nicht auf 1 begrenzt, und die Zahl der Tinteneinführungsöffnungen, die gebildet sind, ist optional. Die Form der Tinteneinführungsöffnungen kann ebenfalls verschieden geändert werden.
  • Die Form der Tintenauslassöffnungen 43b, 52b, 62b kann ebenfalls verschieden geändert werden und kann zum Beispiel eine Quadratform oder eine elliptische Form sein. Die Filter 43f und 63f in der ersten und dritten Ausführungsform sind in der gleichen Form wie die der Tintenauslassöffnungen 43b und 62b gebildet.
  • Das Reservoirverbindungsloch 53b in der zweiten Ausführungsform kann in optionalen Anzahlen, in optionalen Formen und an optionalen Positionen gebildet sein, solange das Reservoirverbindungsloch 53b Tinte in das Tintenreservoir 52a einführen kann. In diesem Fall braucht die Anzahl, Form und Position der Filter 53f nicht mit jenen der Reservoirverbindungslöcher 53b Übereinzustimmen.
  • Bei der dritten Ausführungsform kann das Filtertragteil 63 so ausgelegt werden, dass es irgendeine optionale Einlassöffnung 20a bedeckt.
  • Bei der dritten Ausführungsform kann weiterhin eine Pressbearbeitung zum Herstellen der Filteranordnung 73 ausgeführt werden, so dass die Filtertragteile 63, die Verbindungsabschnitte 73d, die Randverbindungsabschnitte 72e und der Rahmenabschnitt 73e alle belassen werden, die alle Komponenten sind.
  • Bei der dritten Ausführungsform ist es weiter ausreichend, die Verbindungsabschnitte 73d und die Randabschnitte 73e so zu bilden, dass sie eine Festigkeit aufweisen, dass Beschädigung während des Transportes der Filteranordnung 73 vermieden wird. Folglich können die beiden Verbindungsabschnitte 73d und die Randverbindungsabschnitte 73e entweder in der Kunststoffplatte 73c oder der Metallplatte 73a gebildet werden, und ihre Zahl und Position usw. sind nicht besonders begrenzt.
  • Bei der dritten Ausführungsform brauchen weiterhin die Filtertragteile 63, die Verbindungsabschnitte 73d, der Rahmenabschnitt 73g und die Randverbindungsabschnitte 73e nicht in einem Stück gebildet zu sein.
  • Bei der dritten Ausführungsform ist weiterhin die Zahl der Filtertragteile 63, die in der Filteranordnung 73 enthalten sind, nicht begrenzt, solange nicht weniger als zwei Filtertragteile 63 enthalten sind.
  • Die vorliegende Erfindung kann zum Beispiel auf einen seriellen Tintenstrahldrucker angewendet werden, der ein Drucken durch Übertragen eines Papieres als auch Hin- und Herbewegen des Kopfhauptkörpers 2a senkrecht zu der Übertragungsrichtung des Papieres ausführt, anstelle des Linientypes des Tintenstrahldruckers wie bei den zuvor erwähnten Ausführungsformen, der ein Drucken durch Übertragen eines Papieres in bezug auf einen festen Kopfhauptkörper 2a ausführt.
  • Weiter ist die Anwendung der vorliegenden Erfindung nicht auf einen Tintenstrahldrucker begrenzt. Die vorliegende Erfindung ist auch zum Beispiel auf ein Tintenstrahlfaxgerät oder ein Tintenstrahlkopiergerät anwendbar.
  • Während diese Erfindung in Zusammenhang mit den oben umrissenen speziellen Ausführungsformen beschrieben worden ist, ist ersichtlich, dass viele Alternativen, Modifikationen und Variatio nen dem Fachmann ersichtlich sind. Folglich sind die bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung, wie sie oben angegeben sind, als darstellend gedacht und nicht als begrenzend. Verschiedene Änderungen können gemacht werden, ohne dass der Umfang der Erfindung verlassen wird, wie er in den folgenden Ansprüchen definiert ist.

Claims (18)

  1. Tintenstrahlkopf (2) mit: einer Durchgangseinheit (20) mit einer Mehrzahl von Düsen zum Ausstoßen von Tinte, einer Mehrzahl von Druckkammern (34), von denen jede mit jeder der Düsen verbunden ist, einer gemeinsamen Tintenkammer (30) zum Liefern von Tinte zu den Druckkammern (34) und Einlassöffnungen (20a) zum Einführen von Tinte in die gemeinsame Tintenkammer (30); und einer verzweigenden Durchgangseinheit (40, 50, 60) mit einer Tinteneinführungsöffnung (41a, 51a, 61a), in die Tinte eingeführt wird, Tintenauslassöffnungen (43b, 52b, 62b), die zum Entsprechen zu den Einlassöffnungen (20a) gebildet sind und Tinte zu den Einlassöffnungen (20a) herausführen, einem verzweigenden Tintendurchgang zum Verzweigen von Tinte von der Tinteneinführungsöffnung (41a, 51a, 61a) zu den Tintenauslassöffnungen (43b, 52b, 62b) und einem Tintenfilter (43f, 53f, 63f), der in dem verzweigenden Tintendurchgang gebildet ist; worin die verzweigende Durchgangseinheit (40, 50, 60) durch Laminieren einer Mehrzahl von Platten gebildet ist; dadurch gekennzeichnet, dass die Mehrzahl von Platten eine Metallplatte (43a, 53a, 63a) und eine Kunststoffplatte (43c, 53c, 63c) enthalten und die Platte, in der der Filter (43f, 53f, 63f) gebildet ist, eine Kunststoffplatte (43c, 53c, 63c) ist.
  2. Tintenstrahlkopf nach Anspruch 1, bei dem der Filter (43f) durch Excimerlaserbearbeiten gebildet ist.
  3. Tintenstrahlkopf nach Anspruch 1 oder 2, bei dem die verzweigende Durchgangseinheit (40) weiter ein Tintenreservoir (42a) zum Aufbewahren von Tinte enthält und der Filter (43f) zwischen dem Tintenreservoir (42a) und den Tintenauslassöffnungen (43b) vorgesehen ist oder der Filter zwischen der Tinteneinführungsöffnung (41a) und dem Tintenre servoir (42a) vorgesehen ist oder die verzweigende Durchgangseinheit (50) eine erste Platte (51), in der die Einführungsöffnung (51a) gebildet ist, eine zweite Platte (52), in der das Tintenreservoir (52a) gebildet ist, und eine dritte Platte (53), die zwischen der ersten Platte (51) und der zweiten Platte (52) angeordnet ist, aufweist und der Filter (53f) in der dritten Platte (53) gebildet ist, bevorzugt der Filter (53f) in der dritten Platte (53) und an einem im wesentlichen Zentrum des Tintenreservoirs (52a) gebildet ist.
  4. Tintenstrahlkopf nach Anspruch 1 oder 2, bei dem der Filter (43f) in einer Platte (43), die die Tintenauslassöffnungen (43b) enthält, aus der Mehrzahl von Platten und in einem Bereich entsprechend zu den Tintenauslassöffnungen (43b) gebildet ist.
  5. Filteranordnung (73), die für einen Tintenstrahlkopf (2) benutzt wird, wobei der Tintenstrahlkopf eine Durchgangseinheit (20) mit einer Mehrzahl von Düsen zum Ausstoßen von Tinte, einer Mehrzahl von Druckkammern (34), von denen jede mit jeder der Düsen verbunden ist, einer gemeinsamen Tintenkammer (30) zum Liefern von Tinte zu den Druckkammern (34) und Einlassöffnungen (20a) zum Einführen von Tinte in die gemeinsame Tintenkammer (30); und eine Mehrzahl von Filtertragteilen (63), die auf einer Oberfläche der Durchgangseinheit (20) so angeordnet sind, dass jedes Filtertragteil (63) die Einlassöffnungen (20a) bedeckt; aufweist und die Mehrzahl von Filtertragteilen (63) voneinander beabstandet sind, wobei die Filteranordnung (73) aufweist: eine Mehrzahl von Filtertragteilen (63), die benachbart zueinander vorgesehen sind; Verbindungsabschnitte (73d) zum Verbinden der benachbarten Filtertragteile (63) miteinander, wobei die Biegestärke an einer Grenze zwischen dem Verbindungsabschnitt (73d) und dem Filtertragteil (63) kleiner als eine Biegestärke des Filtertragteiles (63) ist; und einen Filter (63f), der in jedem der Mehrzahl von Filtertragteilen (63) gebildet ist.
  6. Filteranordnung nach Anspruch 5, bei der die Mehrzahl von Filtertragteilen (63) benachbart zueinander in einem Abstand kürzer als ein Abstand vorgesehen sind, in dem sie auf einer Oberfläche der Durchgangseinheit (20) anzuordnen sind.
  7. Filteranordnung nach Anspruch 5 oder 6, bei der der Filter (63f) durch Excimerlaserbearbeiten gebildet ist.
  8. Filteranordnung nach einem der Ansprüche 5 bis 7, bei der jedes der Filtertragteile (63) eine Metallplatte (63a) und eine Kunststoffplatte (63c) enthält und die Platte, in der der Filter gebildet ist, eine Kunststoffplatte (63c) ist, oder bei der die Mehrzahl von Filtertragteilen (63) in solch einer Form gebildet ist, dass sie abwechselnd auf einer Oberfläche der Durchgangseinheit (20) angeordnet sind und nicht Betätigungselemente (19) zum Ändern von Volumina der Druckkammern (34) überlappen.
  9. Filteranordnung nach einem der Ansprüche 5 bis 8, bei der jeder der Verbindungsabschnitte (73d) eine längliche Form in einer Richtung des Verbindens der Filtertragteile (63) miteinander aufweist oder bei der die Filtertragteile (63) und die Verbindungsabschnitte (73d) in einem Stück gebildet sind.
  10. Filteranordnung nach einem der Ansprüche 5 bis 9, weiter mit: einem Rahmenabschnitt (73g), der die Mehrzahl von Filtertragteilen (63) umgibt; und Randverbindungsabschnitten (73e) zum Verbinden des Rahmenabschnittes (73g) mit den Filtertragteilen (63) benachbart zu dem Rahmenabschnitt (73g), wobei die Biegestärke auf einer Grenze zwischen dem Randverbindungsabschnitt (73e) und dem Filtertragteil (63) kleiner als eine Biegestärke des Filtertragteiles (63) ist, bevorzugt die Filtertragteile (63), die Verbindungsabschnitte (73d), der Rahmenabschnitt (73g) und die Randverbindungsabschnitte (73e) in einem Stück gebildet sind.
  11. Filteranordnung nach einem der Ansprüche 5 bis 10, bei der innerhalb einer verzweigenden Durchgangseinheit (60), die ein Tintenreservoir (62) zum Aufbewahren von Tinte enthält, das Filtertragteil (63) ein Teil darstellt, das zwischen den Tintenreservoir (62a) und Tintenauslassöffnungen (62) zum Herausführen von Tinte zu den Einlassöffnungen (20a) eingefügt ist.
  12. Verfahren zum Herstellen eines Tintenstrahlkopfes (2), mit den Schritten: Bilden einer Durchgangseinheit (20) mit einer Mehrzahl von Düsen zum Ausstoßen von Tinte, einer Mehrzahl von Druckkammern (34), von denen jede mit jeder der Düsen verbunden ist, einer gemeinsamen Tintenkammer (30) zum Liefern von Tinte zu den Druckkammern (34) und Einlassöffnungen (20a) zum Einführen von Tinte in die gemeinsame Tintenkammer (30); Herstellen einer Filteranordnung (73) mit einer Mehrzahl von Filtertragteilen (63), die benachbart zueinander vorgesehen sind, Verbindungsabschnitten (73d) zum Verbinden der benachbarten Filtertragteile (63) und einem Filter (63f), der in jedem der Mehrzahl von Filtertragteilen (63) gebildet ist, wobei die Biegestärke auf einer Grenze zwischen dem Verbindungsabschnitt (73d) und dem Filtertragteil (63) kleiner als die Biegestärke des Filtertragteiles (63) ist; Trennen der Mehrzahl von Filtertragteilen (63) voneinander durch Biegen der Verbindungsabschnitte (73d) auf den Grenzen zwischen den Verbindungsabschnitten (73d) und den Filtertragteilen (63); und Anordnen der Mehrzahl von Filtertragteilen (63) auf einer Oberfläche der Durchgangseinheit (20) derart, dass der Filter (63f) jeder der Einlassöffnungen (20a) zugewandt sein kann.
  13. Verfahren zum Herstellen eines Tintenstrahlkopfes nach Anspruch 12, bei dem in dem Schritt des Herstellens der Filteranordnung (73) die Mehrzahl von Filtertragteilen (63) be nachbart zueinander an einem Abstand kürzer als ein Abstand vorgesehen werden, in dem sie auf der Oberfläche der Durchgangseinheit (20) in dem Schritt des Anordnens der Mehrzahl von Filtertragteilen (63) anzuordnen sind.
  14. Verfahren zum Herstellen eines Tintenstrahlkopfes nach Anspruch 12 oder 13, bei dem in dem Schritt des Herstellens der Filteranordnung (73) der Filter (63f) durch Excimerlaserbearbeitung gebildet wird.
  15. Verfahren zum Herstellen eines Tintenstrahlkopfes nach einem der Ansprüche 12 bis 15, bei dem in dem Schritt des Herstellens der Filteranordnung (73) jedes der Filtertragteile (63) eine Metallplatte (63a) und eine Kunststoffplatte (63c) enthält und der Filter (63f) in der Kunststoffplatte (63c) des Filtertragteiles (63) gebildet ist.
  16. Verfahren zum Herstellen eines Tintenstrahlkopfes nach einem der Ansprüche 12 bis 15, weiter mit einem Schritt des abwechselnden Anordnens von Betätigungselementen (19) zum Ändern von Volumina der Druckkammern (34) auf einer Oberfläche der Durchgangseinheit (20), so dass sie nicht die Mehrzahl von Filtertragteilen (63) überlappen.
  17. Verfahren zum Herstellen eines Tintenstrahlkopfes nach einem der Ansprüche 12 bis 16, bei dem in dem Schritt des Herstellens der Filteranordnung (73) jeder der Verbindungsabschnitte (73d) in einer länglichen Form in einer Richtung des Verbindens der Filtertragteile (63) miteinander gebildet wird oder die Filtertragteile (63) und die Verbindungsabschnitte (73d) in einem Stück gebildet werden.
  18. Verfahren zum Herstellen eines Tintenstrahlkopfes nach einem der Ansprüche 12 bis 17, in dem Schritt des Herstellens der Filteranordnung (73), Herstellen einer Filteranordnung (73) mit der Mehrzahl von Filtertragteilen (63), den Verbindungsabschnitten (73d), den Filtern (63f), einem Rahmenabschnitt (73g), der die Mehrzahl von Filtertragteilen (63) umgibt, und Randverbindungsabschnitten (73e) zum Verbinden des Rahmenabschnittes (73g) mit den Filtertragteilen (63) benachbart zu dem Rahmenabschnitt (73g), wobei die Biegestärke auf einer Grenze zwischen dem Randverbindungsabschnitt (73e) und dem Filtertragteil (63) kleiner als die Biegestärke des Filtertragteiles (63) ist, und wobei das Verfahren weiter einen Schritt aufweist: Trennen des Rahmenabschnittes (73g) und der Filtertragteile (63) benachbart zu dem Rahmenabschnitt (73g) voneinander durch Biegen der Randverbindungsabschnitte (73e) auf den Grenzen zwischen den Randverbindungsabschnitten (73e) und den Filtertragteilen (63), bevorzugt in dem Schritt des Herstellens der Filteranordnung (73) Bilden der Filtertragteile (63), der Verbindungsabschnitte (73d), des Rahmenabschnittes (73g) und der Randverbindungsabschnitte (73i) in einem Stück.
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