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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf Techniken für die durch
Computer integrierte Fertigung.
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Eine
Halbleitervorrichtung, beispielsweise ein IC (integrierte Schaltung)
hat elektronische Schaltungselemente, beispielsweise Transistoren, Dioden
und Widerstände,
die integriert auf einem einzigen Körper aus Halbleitermaterial
hergestellt sind. Die verschiedenen Schaltungselemente sind durch leitfähige Verbindungen
miteinander verbunden, um eine vollständige Schaltung zu bilden,
die Millionen einzelner Schaltungselemente enthalten können. Integrierte
Schaltungen werden typischerweise von Halbleiterwafern in einem
Verfahren hergestellt, das aus einer Sequenz von Verarbeitungsschritten
besteht. Dieses Verfahren, das gewöhnlich als Waferherstellung
oder Waferfabrikation bezeichnet wird, umfasst Arbeitsgänge wie
Oxidation, Ätzmaskenvorbereitung, Ätzen, Materialabscheidung,
Planarisierung und Reinigung.
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Eine
Zusammenfassung einer Waferverarbeitung 40 für einen
Aluminiumgate-PMOS (P-Kanal-Metalloxid-Halbleitertransistor)
ist schematisch in 1 gezeigt, die die hauptsächlichen
Verarbeitungsschritte 41–73 zeigt, wie in
W. R. Runyan et al., Semiconductor Integrated Circuit Processing
Technology, Addison-Wesley Publ. Comp. Inc., S. 48, 1994 beschrieben
ist. Jeder dieser hauptsächlichen Verarbeitungsschritte
umfasst typischerweise mehrere Teilschritte. Beispielsweise ist
ein hauptsächlicher Verarbeitungsschritt,
beispielsweise die Metallisierung, um eine Metallschicht mit Hilfe
einer Sputter-Abscheidung
in einer Waferfabrikationskammer zu erhalten, ist in U.S. Pat. No.
5, 108,570 (R. C. Wang, 1992) beschrieben. Das Sputter-Abscheidungsverfahren
ist schematisch in den Teilschritten 81–97 des Verfahrens 80 gezeigt,
siehe 2.
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Die 1 und 2 zeigen
sequentielle Waferfabrikationsverfahren. Es ist auch bekannt, Waferfabrikations-Teilsysteme
zu verwenden, die parallele Verarbeitungsschritte liefern. Solche
Teilsysteme umfassen typischerweise eines oder mehrere Gruppenwerkzeuge.
Ein Gruppen- oder Clustertool, wie es hier definiert ist, umfasst
ein System von Kammern und Waferhandhabungsausrüstungen, worin Wafer in den
Gruppenwerkzeugskammern verarbeitet werden, ohne eine kontrollierte
Gruppenwerkzeugsumgebung, beispielsweise ein Vakuum, zu verlassen.
Ein Beispiel eines Gruppenwerkzeugs ist in U.S. Pat. No. 5,236,868
(J. Nulman, 1993) offenbart, das eine Vakuumvorrichtung verwendet,
die eine zentrale Kammer und vier Verarbeitungskammern hat. Ein
Waferhandhabungsroboter in der zentralen Kammer hat Zugriff zu dem
Inneren von jeder der Verarbeitungskammern, um Wafer von der zentralen Kammer
in jede der Kammern zu transferieren, während die Wafer in einer Vakuumumgebung
gehalten werden.
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In
einem Beispiel werden die Wafer in der '868-Gruppe zuerst in eine Reinigungskammer
zur Verarbeitung transferiert, dann in eine PVD (physikalische Dampfabscheidung)-Kammer,
gefolgt von einem Transfer in eine Temperungskammer und danach in
eine Entgasungskammer, so dass ein sequentielles Verfahren verwendet
wird. Es ist auch bekannt, Gruppenwerkzeuge, wie die, die in dem '868-Patent offenbart
sind, zur Verarbeitung von Wafern in Kammern zu benutzen, die parallel
benutzt werden. Wenn auf einen langsamen Verarbeitungsschritt ein
schneller Verarbeitungsschritt folgt, können beispielsweise drei Kammern
parallel für
den langsamen Prozess verwendet werden, während vierte Kammer für den schnellen
Prozess verwendet wird.
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Ein
wirksames Waferinventarmanagement ist erforderlich, um die Inventare
der unverarbeiteten oder teilweise verarbeiteten Wafer auf einem
Minimum zu halten und dadurch die Einheitskosten der Halbleitervorrichtung
auf ein Minimum herabzusetzen, die in der Waferfabrikation hergestellt
werden. Auf ein Minimum herabgesetzte Waferinventare in dem Verfahren
hat auch einen Vorteil bei der Waferausbeute, weil es bekannt ist,
dass, je länger
Wafer in dem Verfahren sind, desto geringer die Ausbeute ist. Das
Waferinventramanagement verwendet typischerweise Zeitplanungstechniken,
um die Ausrüstungskapazitäten im Hinblick
auf den Bedarf für
verarbeitete Wafer auf ein Maximum zu bringen, beispielsweise durch
die Zeitplanung von parallelen und seriellen Verarbeitungsschritten,
um Verarbeitungs-Flaschenhälse zu vermeiden.
Es ist dem Durchschnittsfachmann bekannt, dass das während des
Prozesses stattfindendes Waferinventarmanagement durch während des
Prozesses stattfindende Waferüberwachung
beziehungsweise -verfolgung erleichtert wird, beispielsweise die Überwachung
von Waferchargen und Waferkassetten über die gesamte Waferfabrikation
hinweg. Ein effektives Inventarmanagement einer Waferfabrikation
erfordert auch eine geringe Anzahl von Flaschenhälsen oder Unterbrechungen aufgrund
nicht geplanter Abschaltzeiten, die beispielsweise durch nicht geplante
Wartungsarbeiten, Unterbrechungen, die sich aus Verarbeitungsparametern
ergeben, die außerhalb
ihrer vorgegebenen Grenzen sind, durch nicht Verfügbarkeit
von erforderlichen Materialien, beispielsweise Prozessgass, durch
nicht zur Verfügung
stellen notwendiger Wartungsersatzteilen oder durch die nicht Verfügbarkeit eines
Verarbeitungswerkzeuges, beispielsweise einer Kammer.
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Viele
Komponenten oder Teilsysteme einer Waferfabrikation werden automatisiert,
um ein hohes Maß an
Verarbeitungszuverlässigkeit
und Reproduzierbarkeit zu erreichen, und um die Ausbeuten auf ein
Maximum zu bringen. Waferfabrikationswerkzeuge, beispielsweise Kammern,
werden typischerweise durch einen Computer kontrolliert, der einen
Satz von Befehlen verwendet, die im allgemeinen als Rezept zum Betreiben
eines Verfahrens bekannt sind, das durch das Werkzeug durchgeführt wird.
Es ist jedoch anerkannt, dass ein hohes Maß an Automation, wobei verschiedene
Prozesse und Methoden integriert werden, aufgrund der Komplexität und der
inneren Abhängigkeit
von vielen der Waferfabrikationsprozesse schwer zu erreichen ist,
siehe beispielsweise Peter van Zandt, Microchip Fabrication, 3rd
ed., McGraw-Hill, S. 472–478,
1997. Herstellungssysteme, beispielsweise eine Waferfabrikation,
benutzen bekanntlich Software, die eine MES (Manufacturing executions
systems = Produktionsausführungssysteme)-Funktion
bereitstellt. Wunschgemäß sollte
ein Waferfabrikations-MES für
eine gesamte Waferfabrikations integriert sein, um ein(e) zentralisierte(s)
Waferfabrikationsmanagement und -kontrolle zu erreichen. Es ist
dem Durchschnittsfachmann jedoch bekannt, dass eine kommerzielle
Waferfabrikation typischerweise Halbleiterverarbeitungswerkzeuge
von unterschiedlichen Ausrüstungsherstellern
umfassen, was Schwierigkeiten der Werkzeugkompatibilität zur Folge
hat, wenn Versuche unternommen werden, ein integriertes MES zu entwickeln.
Ein anderer Nachteil von gegenwärtig
zur Verfügung
stehenden Waferherstellungs-MES ist die Notwendigkeit für eine extensive
Softwareprogrammierung für
jede Prozessänderung
in der Waferfabrikation, wie sie beispielsweise zum Ändern eines
Rezeptes, zum Hinzufügen
oder Ersetzen eines Werkzeuges oder zum Ändern der Waferfabrikation,
ein anderes Waferprodukt zu machen, erforderlich ist.
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Es
ist dem Durchschnittsfachmann bekannt, dass die Funktionen der Halbleiterherstellungsausrüsten, einschließlich beispielsweise
einer Waferfabrikation, in Basis-Ausrüstungszuständen, beispielsweise sechs
Zuständen
definiert werden kann, die schematisch in 3 gezeigt
sind, siehe SEMI E10-96, Standard for Definition and Measurement
of Equipment Reliability, Availability, and Maintainability (RAM),
veröffentlicht
von Semiconductor Equipment and Materials Int. (SEMI), S. 1–23, 1996.
Die Halbleiterindustrie verwendet typischerweise diese sechs Ausrichtungszustände, um
Ausrüstungs-RAM
(Reliability, Availability and Maintainability = Zuverlässigkeit,
Verfügbarkeit
und Wartungsfähigkeit)
auf der Grundlage von funktionalen Ausrüstungsfragen zu messen und
auszudrücken,
die unabhängig
davon sind, wer die Funktion ausführt. Diese sechs Basisausrüstungszustände umfassen
nicht geplante Zeit 102 (3), nicht
geplante Abschaltzeit 104, geplante Abschaltzeit 106,
Ingenieurleistungszeit 108, Standby-Zeit 110 und
Produktionszeit 112. Die nicht geplante Zeit 102 stellt
die Zeitdauer dar, in der die Verwendung der Ausrüstung nicht
geplant ist, beispielsweise eine arbeitsfreie Schicht. Ungeplante
Abschaltzeit 104 betrifft Zeitperioden, in denen die Ausrüstung nicht
in einem Zustand ist, eine beabsichtigte Funktion durchzuführen, beispielsweise
während
der Reparatur der Ausrüstung.
Die geplante Abschaltung 106 tritt auf, wenn die Ausrüstung in
der Lage ist, ihre Funktion auszuführen, jedoch nicht zur Verfügung steht,
dies zu tun, beispielsweise beim Einrichten eines Verfahrens oder
bei einer vorbeugenden Wartung. Die Ingenieurleistungszeit 108 betrifft
die Zeitdauer, in der die Ausrüstung
betrieben wird, um Ingenieurtests durchzuführen, beispielsweise die Bewertung
der Ausrüstung.
Die Standby-Zeit 110 ist eine Zeitdauer, während der
die Ausrüstung
nicht betrieben wird, obwohl sie in einem Zustand ist, um ihre beabsichtigte
Funktion durchzuführen,
und in der Lage ist, ihre Funktion auszuführen, beispielsweise, wenn kein
Bedienungspersonal zur Verfügung
steht oder wenn keine Eingabe von relevanten Informationssystemen
vorhanden ist. Der Produktionszustand 112 stellt die Zeitdauer
dar, in der die Ausrüstung
ihre beabsichtigte Funktion durchführt, beispielsweise eine reguläre Produktion
und Nachbearbeitung.
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Die
gesamte Zeitperiode 114, siehe 3, ist die
gesamte Zeit, während
der die Zeit gemessen wird; dies umfasst die sechs Ausrüstungszustände 102, 104, 106, 108, 110 und 112.
Die Betriebszeit 116 betrifft die gesamte Zeitperiode der
Zustände 104, 106, 108, 110 und 112.
Die Betriebszeit 116 umfasst die Ausrüstungsabschaltzeit 118,
die aus den Zuständen 104 und 106 besteht,
und die Ausrüstungseinschaltzeit 120.
Die Ausrüstungseinschaltzeit 120 umfasst
die Ingenieurleistungszeit 108 und die Herstellungszeit 122,
die aus der Standby-Zeit 110 und der Produktionszeit 112 besteht.
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Die 4 und 5 liefern
mehr detaillierte, schematische Darstellungen der sechs Ausrüstungszustände, die
in 3 gezeigt sind, siehe SEMI E10-96, auf den S.
1–6. Wie
in 4 gezeigt ist, besteht die Gesamtzeit 114 aus
nicht geplanter Zeit 102 und Betriebszeit 116.
Die nicht geplante Zeit 102 umfasst arbeitsfreie Schichten 130,
die Ausrüstungs-Installation,
-Modifikation, -Neuerstellung oder -Aufwertung 132, Offline-Training 134 und
eine Abschalt- oder Start-Zeitperiode 136. Die Betriebszeit 116 besteht,
wie schematisch in 5 gezeigt ist, aus Ausrüstungsabschaltzeit 118 und
Ausrüstungseinschaltzeit 120.
Die Ausrüstungsabschaltzeit 118 besteht aus
der ungeplanten Abschaltzeit 104 und der geplanten Abschaltzeit 106.
Die ungeplante Abschaltzeit 104 umfasst die Abschaltzeit
für Wartungsverzögerung 140,
die Reparaturzeit 142, den Ersatz von Verbrauchsmaterialien/Chemikalien 114,
die außerhalb
der Spezifizierung liegende Eingabe 146 oder mit den Betriebsanlagen
verbundene Abschaltzeit 148. Die geplante Abschaltzeit 106 betrifft
die Abschaltzeit für
Wartungsverzögerung 150,
Produktionstests 152, vorbeugende Wartung 154,
Austausch von Verbrauchsmaterialien/Chemikalien 156, die
Einrichtung 158 oder eine mit der Betriebsausrüstung zusammenhängende Zeit 159.
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Die
Ausrüstungseinschaltzeit 120,
die in 5 gezeigt ist, besteht aus Ingenieurleistungszeit 108 und
Herstellungszeit 122. Die Ingenieurleistungszeit 108 umfasst
Prozessexperimente 160 und Ausrüstungsexperimente 162.
Die Herstellungszeit 110 besteht aus der Standby-Zeit 110 und
der Produktionszeit 112. Die Standby-Zeit 110 umfasst
die Zeit, während
der keine Bedienungsperson zur Verfügung steht 180, kein
Produkt vorhanden ist 182, kein Unterstützungswerkzeug vorhanden ist 184 oder
wenn ein zugeordneter Gruppen-Modul abgeschaltet ist 186.
Die Produktionszeit 112 betrifft eine Zeitperiode, während der
eine reguläre
Produktion stattfindet 190, eine Arbeit für eine dritte
Partei erledigt wird 192, eine Nachbearbeitung 194 oder
Ingenieurleistungslauf 196 durchgeführt wird. Verschiedene Ausrüstungszustände, die
im Zusammenhang mit den 1–3 beschrieben
werden, liefern eine Basis zur Übermittlung
und Bewertung von RAM-bezogener Ausrüstungsinformationen in der
Halbleiterindustrie. RAM-bezogene Ausrüstungsinformationen umfasst
Punkte, die dem Durchschnittsfachmann bekannt sind, beispielsweise
die Ausrüstungszuverlässigkeit,
die Ausrüstungsverfügbarkeit,
die Ausrüstungswartungsfähigkeit
und die Ausrüstungsausnutzung,
siehe beispielsweise SEMI E10-96 auf den S. 6–11. Im Allgemeinen können MES-Funktionen
verwendet werden, um die Informationen, die die Ausrüstungszustände in Herstellungssystemen,
beispielsweise einer Waferfabrikation, zu verfolgen.
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Fortschritte
in den Halbleitermaterialien, der Verarbeitung und den Testtechniken
haben dazu geführt,
dass die Gesamtgröße der IC-Schaltungselemente
reduziert wurde während
ihre Anzahl auf einem einzigen Körper
erhöht
wurde. Dies erfordert ein hohes Maß an Produkt- und Prozess-Steuerung
für jeden
Verarbeitungsschritt und für
Kombinationen oder Sequenzen von Verarbeitungsschritten. Es ist daher
erforderlich, Verunreinigungen und Teilchenkontamination in den
Verarbeitungsmaterialien, beispielsweise den Prozessgasen, zu steuern.
Es ist auch erforderlich, die Prozessparameter, beispielsweise Temperatur,
Druck, Gasflussraten, Verarbeitungszeitintervalle und Sputter-Eingangsleistung
zu steuern. Wie in den 1 und 2 gezeigt
ist, umfasst eine Waferfabrikation eine komplexe Sequenz von Verarbeitungsschritten,
wobei das Ergebnis von einem speziellen Verarbeitungsschritt typischerweise in
Abhängigkeit
von einem oder mehreren vorhergehenden Verarbeitungsschritten hoch
ist. Wenn beispielsweise ein Fehler in der Überlagerung oder der Ausrichtung
von Ätzmasken
für Verbindungsmittel
in nebeneinander liegenden IC-Schichten vorhanden ist, sind die
resultierenden Verbindungsmittel nicht an ihrer ordnungsgemäßen Designstelle.
Das kann Verbindungsmittel zur Folge haben, die zu dicht gepackt sind,
wodurch elektrische Kurzschlussfehler zwischen diesen Verbindungsmitteln
gebildet werden. Es ist auch bekannt, dass zwei unterschiedliche
Verarbeitungsprobleme einen kumulativen Effekt haben können. Beispielsweise
kann eine Fehlausrichtung der Verbindungs-Ätzmasken, die nicht groß genug ist,
um zu einem elektrischen Kurzschluss zu führen, dennoch dazu beitragen,
einen elektrischen Kurzschluss zu erzeugen, wenn das Verfahren geringfügig außerhalb
der Spezifikation zum Erlauben (oder nicht detektieren) von Teilchenkontamination
ist, die eine Teilchengröße haben,
die keinen elektrischen Kurzschluss erzeugt hätten, wenn die Verbindungsmasken
in einer guten Ausrichtung gewesen wären.
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Verarbeitungs-
und/oder Materialdefekte, wie sie beispielsweise oben beschrieben
werden, verursachen im allgemeinen eine verminderte Waferfabrikationsausbeute,
wobei die Ausbeute als Prozentsatz der annehmbaren Wafer definiert
ist, die in einer speziellen Fabrikation hergestellt werden. In dem
Prozess stattfindende Tests und eine Überwachung der Prozessparameter
werden verwendet, um festzustellen, ob ein vorgegebenes, im Prozess
befindliches Produkt oder ein Prozessproblem oder ein Fehler anzeigt,
dass ein Eingriff in den Prozesslauf notwendig ist, beispielsweise
die Durchführung
einer Prozess-Neueinstellung
oder das Verwerten des Laufes. Folglich werden Produkt- und Prozess-Steuertechnik
während
einer Waferfabrikation extensiv verwendet. Wenn möglich, werden
Ausbeuteprobleme zu einem speziellen Produkt oder zu speziellen Verarbeitungsproblemen
oder Fehlern zurückverfolgt,
um schließlich
die Ausbeute der Waferfabrikation zu verbessern. Hohe Ausbeuten
sind erwünscht, um
die Herstellungskosten für
jedes verarbeitete Wafer auf ein Minimum herabzusetzen und um die
Ausnützung
der Ressourcen, beispielsweise des elektrischen Stroms, der Chemikalien
und des Wassers, auf ein Maximum zu bringen, während die Nachbearbeitung von
Ausschuss oder deren Entsorgung auf ein Minimum herabgesetzt wird.
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Es
ist bekannt, SPC-(statistical process control = statistische Prozesskontrolle)
und SQC (statistical quality control = statistische Qualitätskontrolle)-Verfahren
zu verwenden, um geeignete Waferfabrikations-Kontrollgrenzen zu
bestimmen, und um den Prozess innerhalb dieser Grenzen zu halten,
siehe beispielsweise R. Zorich, Handbook Of Quality Integrated Circuit
Manufacturing, Academic Press Inc., S. 464–498, 1991. SPC- und SQC-Methoden,
die für eine
Waferfabrikation geeignet sind, umfassen die Verwendung von Kontrollplänen, siehe
beispielsweise R. Zorich auf S. 475–498. Wie dem Durchschnittsfachmann
bekannt ist, ist ein Kontrollplan eine graphische Darstellung von
einem oder mehreren ausgewählten
Verfahrens- oder Produktvariablen, beispielsweise Kammerdruck, die über die
Zeit hinweg gemessen werden. Der Zielwert einer speziellen Variablen
und ihrer oberen und unteren Kontrollgrenzen sind auf dem Plan angegeben,
wobei bekannte, statistische Mess- und Rechenverfahren verwendet werden.
Es wird angenommen, dass der Prozess außer Kontrolle ist, wenn der
beobachtete Wert der Variablen oder der statistisch abgeleitete
Wert, beispielsweise der Mittelwert von mehreren, beobachteten Werten,
sich außerhalb
der vorher festgelegten Kontrollgrenzen befindet. Die Kontrollgrenzen
werden typischerweise bei einem Vielfachen der Standardabweichung
des Mittelwerts des Zielwerts eingestellt, beispielsweise 2s oder
3s. Der Zielwert wird aus dem Testlauf oder einem Produktionslauf
abgeleitet, der Waferfabrikations-Designkriterien wie Ausbeute,
Prozesskontrolle und Produktqualität, erfüllt. SPC und SQC sind synonym,
wenn sie in dem obigen Zusammenhang verwendet werden, siehe R. Zorich
auf S. 464.
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US-A-5,657,254
zeigt ein System zur automatischen Herstellung von Halbleiterprodukten
und hat einen Abschnitt zur Vorbereitung eines Prozessflusses, der
eine Serie von Prozessen und Prozessbedingungen enthält, um unterschiedliche
Halbleiterprodukte mit unterschiedlichen Mengen in einer Produktions linie
zu erzeugen; einen Abschnitt zur Simulation der Produktion von Halbleiterprodukten
gemäß dem Prozessfluss;
einen Abschnitt zum Zuführen
des Ergebnisses der Simulation zurück zu dem Prozessfluss-Vorbereitungsabschnitt,
der den Prozessfluss gemäß dem simulierten
Ergebnis optimiert; und einen Abschnitt zur Erzeugung von Halbleiterprodukten
gemäß dem optimierten
Prozessfluss.
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US-A-5,495,417
zeigt ein System, das eine Vielzahl von Gasfluss-Steuereinheiten
in Kammern aufweist, die miteinander verbunden sind, um Prozessgas
nach Bedarf an eine Vielzahl von Nutzungsstellen, die als „Werkzeug"-Stellen in einer
Halbleiterherstellungsfabrik bekannt sind, zu verteilen. Wandler
werden in dem System verwendet, um Druck- und andere Kontrollparameter
zu messen. Eine Nullkalibrierung der Wandler ist vorgesehen, indem
jeder Wandler einer Referenz-Computerroutine unterworfen wird, um
den Unterschied zwischen dem Standardwert und dem Wandlerausgang
zu berechnen und den Unterschied als „Versatz" gegenüber dem richtigen Ausgang des
Wandlers zu speichern. Auf diese Weise wird eine Neukalibrierung
einfach und schnell bei verhältnismäßig niedrigen
Arbeitskosten und mit einer relativ geringen Abschaltzeit des Systems
durchgeführt.
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Folglich
gibt es einen Bedarf für
Verfahren und Techniken, die eine verbesserte computerimplementierte
Integration von Halbleiterherstellungstechniken bereitstellen, um
die Prozesskontrolle, die Qualität,
die Ausbeute und die Kostenreduktion zu optimieren. Es gibt auch
einen Bedarf dafür,
dass Waferfabrikationsmanagement und die Kontrolle durch ein computerintegriertes
Herstellungssystem zu zentralisieren, wodurch Verarbeitungs- und
Ausrüstungsänderungen
ohne extensive Softwareprogrammierung erleichtert wird.
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Diese
Aufgaben werden durch ein Verfahren zum Managen eines Prozesses
gemäß Anspruch
1 und ein computerimplementiertes System nach dem Anspruch 16 gelöst.
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Die
vorliegende Erfindung stellt neuartige Techniken für die durch
Computer integrierte Herstellung zur Verfügung, insbesondere für die Herstellung von
integrierten Schaltungsstrukturen, beispielsweise Halbleiterwafern.
Diese neuartigen Techniken liefern die geforderten Verbesserungen
in der Computerintegration.
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In
einem Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung wird ein neuartiger Fabrikations-Automatisierungslebenszyklus
bereitgestellt, der SW für Lebenszyklusaktivitäten zum
Entwickeln und Integrieren, Installieren und Verwalten, für die Fabrikmodellierung,
die Herstellungsplanung, die Herstellungskontrolle-Überwachung
und Verfolgung, und Lebenszyklusaktivitäten zum Analysieren der Herstel lungsergebnisse
umfasst. Die Ausgabe von einer die Herstellungsresultate analysierenden
Lebenszyklusaktivität
kann eine Eingabe zu anderen Lebenszyklusaktivitäten, beispielsweise zu der
Fabrikmodellierungs-Lebenszyklusaktivität, liefern. Rahmenwerkkomponenten
sind den verschiedenen Lebenszyklusaktivitäten zugeordnet.
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In
einem anderen Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung wird ein neuartiges Verfahren zum Managen
eines Fertigungssystems bereitgestellt, welches die Verwendung von
Rahmenwerk-Softwarecomponenten,
Anwendungssoftware-Komponenten und Software-Herstellungsblocks umfasst.
Die Anwendungskomponenten liefern Befehle für das Managen des Systems,
während
die Rahmenwerkkomponenten verwendet werden, um die Anwendungskomponenten
zu managen, die Rahmenwerkkomponenten definieren gemeinsame Regeln
und Dienstleistungen, die von den Anwendungskomponenten verwendet
werden. Die Herstellungsblocks sind dafür geeignet, Rahmenwerk- und
Anwendungskomponenten aufzubauen oder zu modifizieren. Ein Fabrikautomations-Lebenszyklus
umfasst die Rahmenwerkkomponenten. Eine neuartige Werkzeugintegrationskomponente
wird von dem neuartigen Verfahren verwendet, um Befehle an die Verarbeitungswerkzeuge
des Systems zu übermitteln.
Die Werkzeugintegrationskomponente umfasst ein Werkzeugschnittstellenprogramm
und einen Werkzeugintegrationskomponenten-Adapater. Die Befehle
zum Managen des Systems können
durch Eingabe von Daten modifiziert werden.
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In
einem anderen Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung umfasst ein neuartiges Verfahren zum
Verarbeiten eines Produktes die Bestimmung der Spezifikationen für die Verarbeitung
des Produktes und sodann das Managen des Verfahrens mit Hilfe eines
neuartigen, verteilten Fabriksystem-Rahmenwerks, welches Rahmenwerkkomponenten,
Anwendungskomponenten und SW-Herstellungsblocks
umfasst. Das neuartige, verteilte Fabriksystem kann, wenn erforderlich,
durch Eingabe von Daten modifiziert werden. Die computerimplementierten
Befehle zum Managen werden durch Anwendungskomponenten gebildet.
Diese Befehle werden zu dem Verfahren zur Herstellung eines Produktes übermittelt,
beispielsweise durch Verwendung einer Werkzeugintegrationskomponenten.
Die Befehle werden dann in dem Verfahren implementiert, beispielsweise
zur Herstellung von integrierten Schaltungsstrukturen. In einem
anderen Ausführungsbeispiel
der Erfindung umfasst ein neuartiges Verfahren zum Starten eines
Waferfabrikationslaufes das Bestimmen der Sequenz der Verarbeitungsschritte
und danach die Ausbildung eines Arbeitsablaufes, der diese Sequenz
in einer visuellen Arbeitsablaufkomponenten definiert. Die visuelle
Arbeitsablaufkomponente ist in einem neuartigen, verteilten Fabrikationssystem-Rahmenwerk
enthalten, das Rahmenwerkkomponenten und Anwendungskompo nenten aufweist.
Eine Anfrage wird dann mit Hilfe einer Managementkomponenten für in Ausführung befindliche Arbeiten
an die visuelle Arbeitsablaufkomponente gemacht, um den Lauf zu
starten.
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In
einem anderen Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung ist eine Einrichtung vorgesehen, die
eine Produktverarbeitungsausrüstung,
eine zentrale Verarbeitungseinheit, eine Verbindung, um die Verarbeitungsausrüstung und
die zentrale Verarbeitungseinheit miteinander zu verbinden, einen Speicher
zum Speichern digital kodierter Datenstrukturen und Datenstrukturen
umfasst, die einen neuen Fabrikautomations-Lebenszyklus aufweisen.
Die vorliegende Erfindung liefert auch Datenstrukturen einschließlich der
Anwendungskomponenten und der Herstellungsblockkomponenten.
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In
einem anderen Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung wird ein verteiltes Fabriksystem-Rahmenwerk bereitgestellt,
um ein Verarbeitungssystem zu managen, das eine digital kodierte, erste
Datenstruktur, die die Rahmenwerkkomponenten umfasst, eine zweite
Datenstruktur, die die Anwendungskomponenten umfasst, und eine Verbindung
zur Kommunikation digital kodierter Befehle an das Verarbeitungssystem
umfasst.
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In
noch einem anderen Ausführungsbeispiel der
vorliegenden Erfindung wird eine neuartige Vorrichtung bereitgestellt,
die Verarbeitungsausrüstung und
ein neuartiges, verteiltes Fabriksystem-Rahmenwerk zum Managen eines
Verarbeitungssystems aufweist.
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In
zusätzlichen
Ausführungsbeispielen
der vorliegenden Erfindung sind neuartige Datenspeichervorrichtungen
vorgesehen, die Datenstrukturen aufweisen, beispielsweise neuartige
Fabrikautomations-Lebenszyklusaktivitätsdatenstrukturen,
Rahmenwerkkomponenten-Datenstrukturen, Anwendungskomponenten-Datenstrukturen
und Herstellungsblock-Datenstrukturen.
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Gemäß einem
Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren zum Definieren eines durch
Computer implementierten Fabrikautomations-Lebenszyklus vorgesehen,
wobei das Verfahren umfasst;
- a) Definieren,
Installieren und Verwalten von Lebenszyklusaktivitäts-Rahmenwerkkomponenten;
- b) Definieren von Fabrikmodellierungs-Lebenszyklusaktivitäts-Rahmenwerkkomponenten;
und
- c) Definieren von Herstellungskontrolle, Überwachung und Verfolgung von
Lebenszyklusaktivitäts-Rahmenwerkkomponenten.
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Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren vorgesehen, in
dem das Definieren der Verwaltung von Lebenszyklusaktivitäts-Rahmenwerkkomponenten
das Definieren von einer oder mehreren Rahmenwerkkomponenten umfasst,
die ausgewählt
sind aus der Gruppe bestehend aus einer Sicherheitskomponenten,
einer GUI-Konsolen-Komponenten, einer Performance- und Lizenz-Managementkomponenten
und einer saga-Managementkomponenten.
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Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren vorgesehen, in
dem das Definieren der Fabrikmodellierungs-Lebenszyklusaktivitäts-Rahmenwerkkomponenten
-das Definieren von einer oder mehreren Rahmenwerkkomponenten umfasst,
die ausgewählt
sind aus der Gruppe bestehend aus einer Kontext-Lösungskomponenten,
einer Konfigurationsmanagementkomponenten und einer Kalenderkomponenten.
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Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren vorgesehen, bei
dem das Definieren der Herstellungskontrolle-Überwachungs- und Verfolgungs-Lebenszyklusaktivitäts-Rahmenkomponenten
das Definieren von einer oder mehreren Rahmenkomponenten umfasst,
die ausgewählt sind
aus der Gruppe bestehend aus einer visuellen Arbeitsablaufkomponenten,
einer Ressourcen-Koordinationskomponenten,
einer Ereignisüberwachungskomponenten
und einer Ressourcenlistenkomponenten.
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Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren vorgesehen, das
zusätzlich
ein Verfahren zum Definieren von einer oder mehreren Lebenszyklusaktivitäts-Rahmenwerkkomponenten zum
Analysieren der Herstellungsergebnisse aufweist.
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Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren vorgesehen, in
dem das Definieren von einer Lebenszyklusaktivitäts-Rahmenwerkkomponenten zum
Analysieren der Herstellungsergebnisse das Definieren einer Datenmanager-Komponenten
umfasst.
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Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren vorgesehen, das
zusätzlich
ein Verfahren zum Definieren der Wechselwirkungen zwischen der einen
oder den mehreren Herstellungsresultat-Lebenszyklusaktivitäts-Rahmenwerkkomponenten
und Komponenten definiert, die ausgewählt sind aus der Gruppe bestehend
aus Fabrikmodellierungs-Lebenszyklusaktivitäts-Rahmenwerkkomponenten.
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Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren vorgesehen, das
zusätzlich eine
SW-Entwicklungs-
und Integrations-Lebenszyklusaktivität definiert.
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Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren vorgesehen, das
zusätzlich eine
Herstellungs-Planungs-Lebenszyklusaktivität definiert.
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Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren vorgesehen, bei
dem das Definieren eines Fabrikautomations-Lebenszyklus das Definieren
eines Fabrikautomations-Lebenszyklus für die Verarbeitung einer integrierten
Schaltungsstruktur aufweist.
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Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren vorgesehen, bei
dem das Definieren des Fabrikautomations-Lebenszyklus zusätzlich das
Definieren von Rahmenwerkkomponenten umfasst, so dass die Rahmenwerkkomponenten geeignet
sind, mit einer Werkzeugintegrationskomponenten zu kommunizieren,
wobei die Rahmenwerkkomponenten ausgewählt sind aus der Gruppe bestehend
aus Installierungs- und Verwaltungs-Lebenszyklusaktivitäts-Rahmenwerkkomponenten,
Fabrikmodellierungs-Lebenszyklusaktivitäts-Rahmenwerkkomponenten und
Herstellungskontroll-, Überwachungs-
und Verfolgungs-Lebenszyklusaktivitäts-Rahmenwerkkomponenten.
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Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung wird ein Verfahren bereitgestellt,
bei dem das Definieren der Herstellungskontroll-, Überwachungs- und
Verfolgungs-Lebenszyklusaktivitätskomponenten
das Definieren einer visuellen Arbeitsablaufkomponenten umfasst.
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Gemäß einem
Aspekt der Erfindung wird ein Fabrikautomations-Lebenszyklus zum
Betreiben der Fabrik bereitgestellt, der eine oder mehrere Rahmensoftwarekomponenten
umfasst, mit Hilfe von einem oder mehreren Computern, wobei das
Verfahren umfasst:
- a) Ausführen eines Fabrikautomations-Lebenszyklus,
der eine oder mehrere Rahmenwerksoftwarekomponenten aufweist, mit
Hilfe von einem oder mehreren Computern;
- b) Ausführen
von einer oder mehreren Anwendungssoftware-Komponenten, um einen
oder mehrere durch Computer implementierte Befehle zum Managen des
Systems zu liefern, worin die eine oder die mehreren Rahmenwerkkomponenten
geeignet sind, die Anwendungskomponenten zu managen;
- c) Bestimmen, ob der eine oder die mehreren Befehle modifiziert
werden müssen;
- d) Übermitteln
des einen oder der mehreren Befehle an das System, wenn die Befehle
nicht modifiziert werden müssen;
- e) Modifizieren der Befehle, wenn sie modifiziert werden müssen, mit
Hilfe von einer oder mehreren Rahmenwerkkomponenten, wobei modifizierte
Befehle gebildet werden; und
- f) Übermitteln
der modifizierten Befehle an das System.
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Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren vorgesehen, das
zusätzlich das
Management des Verarbeitungssystems durch Ausführen von einem oder mehreren
Befehlen in dem System umfasst.
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Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren vorgesehen, in
dem das Ausführen
von einer oder mehreren Rahmenkomponenten umfasst:
das Ausführen von
einer oder mehreren Komponenten, die ausgewählt sind aus der Gruppe bestehend aus
einer Sicherheitskomponenten, einer GUI-Konsolenkomponenten, einer
Performance- und Lizenz-Managementkomponenten,
einer saga-Managementkomponenten, einer Kontextauflösungskomponenten,
einer Konfigurations-Managementkomponenten, einer Kalenderkomponenten,
einer visuellen Arbeitsablaufkomponenten, einer Ressourcen-Koordinationskomponenten,
einer Ereignis-Monitorkomponenten,
einer Ressourcenlisten-Komponenten und einer Datenmanagement-Komponenten.
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Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren vorgesehen, bei
dem das Ausführen
der einen oder mehreren Anwendungskomponenten umfasst:
Ausführen von
einer oder mehreren Komponenten ausgewählt aus der Gruppe bestehend
aus einer Qualitätsmanagement-Komponenten,
einer Werkzeugintegrations-Komponenten, einer Ausrüstungsmanagement-Komponenten,
einer Rezeptmanagement-Komponenten, einer Absende- und Planungs-Komponenten, einer
Material-Handhabungskomponenten, einer Komponenten für in Ausführung befindliche
Arbeiten und eine Bestandssystem-Schnittstellenkomponente.
-
Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren vorgesehen, in
dem die Kommunikation die Kommunikation mit Hilfe einer Werkzeugintegrations-Komponenten
umfasst.
-
Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren vorgesehen, in
dem die Kommunikation die Kommunikation mit Hilfe eines Werkzeug-Schnittstellenprogramms
und einen Werkzeugintegrationskomponenten-Adapter aufweist.
-
Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren vorgesehen, bei
dem der/die eine oder mehrere, durch Computer implementierte Befehl(e)
visuelle Rahmenwerkkomponentenbefehle sind.
-
Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren vorgesehen, das
zusätzlich
die Ausbildung von einer oder mehreren Rahmenwerkkomponenten mit
Hilfe von einem oder mehreren Software-Herstellungsblocks aufweist,
die aus der Gruppe ausgewählt
sind bestehend aus:
einem Serveraufbau-Herstellungsblock, einem
Persistenz-Herstellungsblock, einem Herstellungsblock für gemeinsame
GUI-Kontrollen, einem Veröffentlichungs-
und Abonnierungs-Benachrichtungs-Herstellungsblock,
einem dynamischen API-Erkennungs-Herstellungsblock, einem Verknüpfungs-Block,
einem Historien-Herstellungsblock, einem allgemeine Dienstleistungen
ausführenden
Herstellungsblock, einem Klassifizierungs-Herstellungsblock, einem
Herstellungsblock für
Kunden definierte Attribute, einen Zustandsmodell-Herstellungsblock, einen
Namenraum-Herstellungsblock, einen Zeitplanungs-/Tagbuch-Herstellungsblock, einen Templates-Herstellungsblock,
einem Herstellungsblock für variierte
Objekte und einem Navigations-Herstellungsblock.
-
Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren vorgesehen, bei
dem das Ausführen
der einen oder mehreren Rahmenwerkkomponenten zusätzlich das
Kommunizieren einer Datenstruktur von der/den einer oder mehreren
Rahmenwerkkomponente(n) an eine Datenstruktur der einen oder mehreren
Komponenten umfasst, die ausgewählt
sind aus der Gruppe bestehend aus Rahmenwerkkomponenten und Anwendungskomponenten.
-
Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren vorgesehen, in
dem das Modifizieren der Befehle das Eingeben von Daten umfasst.
-
Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren vorgesehen, bei
dem das Managen des Verarbeitungssystems das Managen eines Systems
zur Verarbeitung einer integrierten Schaltungsstruktur umfasst.
-
Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren vorgesehen, bei
dem das System eines oder mehrerer Waferfabrikationswerkzeuge umfasst.
-
Gemäß einem
Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren vorgesehen, um ein Softwarerahmenwerk mit
einer Vorrichtung zu verknüpfen,
wobei das Verfahren das Verknüpfen
mit Hilfe einer Werkzeugintegrationskomponenten umfasst, die ein
Werkzeugschnittstellenprogramm und einen Werkzeugintegrationskomponenten-Adapter
umfasst.
-
Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren vorgesehen, bei
dem die Verknüpfung
das Austauschen von Meldungen zwischen der einen oder mehreren Rahmenkomponenten, dem
Werkzeugintegrations-Komponentenadapter und dem Werkzeugschnittstellenprogramm
umfasst.
-
Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren vorgesehen, bei
dem die eine oder mehrere Rahmenkomponenten eine visuelle Arbeitsablaufkomponente
umfassen.
-
Gemäß einem
Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren vorgesehen, um ein Produkt
zu verarbeiten, wobei das Verfahren das Bestimmen der Spezifikationen
zur Verarbeitung des Produkts und das Managen der Verarbeitung mit
Hilfe eines verteilten Fabriksystem-Rahmenwerks aufweist, umfassend:
- (1) einen automatisierten Fabriklebenszyklus,
der eine oder mehrere Rahmenwerkkomponenten hat, und
- (2) eine oder mehrere Anwendungskomponenten, wobei die Rahmenwerkkomponenten
geeignet sind, die Anwendungskomponenten zu managen.
-
Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren vorgesehen, bei
dem das Managen zusätzlich
das Bestimmen umfasst, ob das verteilte Fabriksystem-Rahmenwerk
modifiziert werden muss, um die Spezifikationen zu erfüllen, und das
Modifizieren von einer oder mehreren Anwendungskomponenten, wenn
das verteilte Fabriksystemnetzwerk modifiziert werden muss.
-
Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren vorgesehen, bei
dem das Modifizieren das Eingeben von Daten umfasst.
-
Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren vorgesehen, bei
dem das Managen zusätzlich
das Ausbilden von einer oder mehreren Rahmenkomponenten mit Hilfe
von einem oder mehreren der Software-Herstellungsblöcke umfasst.
-
Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren vorgesehen, bei
dem das Managen zusätzlich
umfasst:
- a) Herstellen von einer oder mehreren,
durch Computer implementierten Befehle zum Managen mit Hilfe von
einer oder mehreren Anwendungskomponenten;
- b) Übermitteln
des/der einen oder mehreren Befehls/Befehle an die Ausrüstung zum
Verarbeiten des Produkts; und
- c) Ausführen
des/der einen oder mehreren Befehls/Befehle auf der Ausrüstung.
-
Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren vorgesehen, bei
dem das Übermitteln
das Übermitteln
mit Hilfe einer Werkzeugintegrations-Komponenten umfasst, wobei
die Werkzeug-Integrationskomponente
umfasst:
- (1) einen Werkzeug-Integrations-Komponentenadapter
und
- (2) ein Werkzeug-Schnittstellenprogramm.
-
Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren vorgesehen, in
dem das Verarbeiten eines Produkts das Verarbeiten einer integrierten
Schaltungssstruktur umfasst.
-
Gemäß einem
Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren vorgesehen, um einen Waferfabrikationslauf
zu starten, wobei das Verfahren umfasst:
- a)
Bestimmen einer Sequenz von Verarbeitungsschritten zum Verarbeiten
des Waferfabrikationslaufes;
- b) Ausbilden eines Arbeitsablaufs, der eine Sequenz definiert,
in einer visuellen Arbeitsablaufkomponenten, die in einem verteilten
Fabriksystem-Rahmenwerk enthalten ist, das aufweist:
- (1) Rahmenwerkkomponenten und
- (2) Anwendungskomponenten; und
- c) Auffordern der visuellen Arbeitsablaufkomponenten, den Lauf
mit Hilfe einer Dienstleistung zu starten, die eine Managementkomponente
für in Ausführung befindliche
Arbeiten oder eine GUI innerhalb einer GUI-Konsolenkomponente ist.
-
Gemäß einem
Aspekt der Erfindung ist eine Vorrichtung vorgesehen, um ein Produkt
zu verarbeiten, wobei die Vorrichtung umfasst:
- a)
eine Produktverarbeitungsausrüstung;
- b) wenigstens eine zentrale Verarbeitungseinheit zur Verarbeitung
elektronischer Daten;
- c) eine Verbindung zur wirksamen Verbindung der zentralen Verarbeitungseinheit
mit der Produktverarbeitungausrüstung;
- d) einen Speicher zum Speichern digital kodierter Datenstrukturen,
worin der Speicher wirksam mit der wenigstens einen, zentralen Verarbeitungseinheit
verbunden ist; und
- e) eine digital kodierte, erste Datenstruktur, die in dem Speicher
gespeichert ist, wobei die Datenstruktur einen Fabrikautomations-Lebenszyklus aufweist,
der umfasst:
- (1) eine Verwaltungs-Lebenszyklusaktivitäts-Rahmenwerkkomponente,
- (2) Fabrikmodellierungs-Lebenszyklusaktivitäts-Rahmenwerkkomponenten und
- (3) Herstellungskontrolle- und Verfolgungs-Lebenszyklusaktivitäts-Rahmenwerkkomponenten.
-
Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist eine Vorrichtung vorgesehen,
in der die Verwaltungs-Lebenszyklusaktivitäts-Rahmenwerkkomponenten eine
oder mehrere Rahmenwerkkomponenten umfassen, die ausgewählt sind
aus der Gruppe bestehend aus einer Sicherheitskomponenten, einer
GUI-Konsolenkomponenten, einer Performance- und Lizenz-Managementkomponenten
und einer saga-Managementkomponenten.
-
Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist eine Vorrichtung vorgesehen,
in der die Fabrikmodellierungs-Lebenszyklusaktivitäts-Rahmenwerkkomponenten
eine oder mehrere Rahmenwerkkomponenten umfassen, die ausgewählt sind
aus der Gruppe bestehend aus einer Kontextauflösungskomponenten, einer Konfigurations-Managementkomponenten
und einer Kalenderkomponenten.
-
Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist eine Vorrichtung vorgesehen,
in der die Herstellungskontroll- und Verfolgungs-Lebenszyklusaktivitäts-Rahmenwerkkomponente
eine oder mehrer Rahmenwerkkomponenten aufweisen, die ausgewählt sind
aus der Gruppe bestehend aus einer visuel len Arbeitsablaufkomponenten,
einer Ressourcen-Koordinationskomponenten, einer Ereignis-Monitorkomponenten
und einer Ressourcenlisten-Komponenten.
-
Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist eine Vorrichtung vorgesehen,
die zusätzlich eine
oder mehrere Lebenszyklusaktivitäts-Rahmenwerkkomponenten
zum Analysieren von Herstellungsresultaten umfasst.
-
Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist eine Vorrichtung vorgesehen,
bei der die eine oder mehrere Rahmenwerkkomponenten zum Analysieren
der Herstellungsresultate eine Datenmanagerkomponente umfassen.
-
Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist eine Vorrichtung vorgesehen,
die zusätzlich eine
digital kodierte, zweite Datenstruktur aufweist, die Anwendungskomponenten
enthält,
worin die erste Datenstruktur geeignet ist, die zweite Datenstruktur
zu managen.
-
Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist eine Vorrichtung vorgesehen,
die zusätzlich eine
digital kodierte, dritte Datenstruktur aufweist, die Software-Herstellungsblocks
zum Herstellen von einer oder mehreren Rahmenwerkkomponenten aufweist.
-
Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist eine Vorrichtung vorgesehen,
in der die erste Datenstruktur umfasst:
- a)
eine digital kodierte, vierte Datenstruktur, die eine GUI-Konsolenkomponente
umfasst; und
- b) eine digital kodierte, fünfte
Datenstruktur, die eine Konfigurationsmanagementkomponente umfasst.
-
Gemäß einem
bevorzugten Ausführungsbeispiel
der Erfindung ist eine Vorrichtung vorgesehen, in der die vierten
und fünften
Datenstrukturen geeignet sind, miteinander in Wechselwirkung zu
treten.
-
Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist eine Vorrichtung vorgesehen,
bei der die Verbindung eine Werkzeug-Integrationskomponente umfasst,
die aufweist:
- (1) einen Werkzeug-Integrations-Komponentenadapter
und
- (2) ein Werkzeug-Schnittstellenprogramm.
-
Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist eine Vorrichtung vorgesehen,
die eine Vorrichtung zum Verarbeiten einer integrierten Schaltungsstruktur
umfasst.
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Gemäß einem
Aspekt der Erfindung ist eine Vorrichtung vorgesehen, um ein Produkt
zu verarbeiten, wobei die Vorrichtung umfasst:
- a)
eine Produktverarbeitungsausrüstung;
- b) wenigstens eine zentrale Verarbeitungseinheit zur Verarbeitung
elektronischer Daten;
- c) eine Verbindung zum wirksamen Verbinden der zentralen Verarbeitungseinheit
mit der Produktverarbeitungsausrüstung;
- d) einen Speicher zum Speichern der digital kodierten Datenstrukturen,
worin der Speicher wirksam mit der wenigstens einen, zentralen Verarbeitungseinheit
verbunden ist; und
- e) ein verteiltes Fabriksystem-Rahmenwerk zum Managen der Produktverarbeitung,
wobei das verteilte Fabriksystem-Rahmenwerk umfasst:
- (1) eine digital kodierte, erste Datenstruktur, die einen Fabrikautomations-Lebenszyklus
aufweist, der digital kodierte Rahmenwerkkomponenten einschließt,
- (2) eine digital kodierte, zweite Datenstruktur, die Anwendungskomponenten
aufweist, die für
die Übermittlung
der digital kodierten Befehle zu der Verarbeitungsausrüstung geeignet
ist, wobei die erste Datenstruktur in der Lage ist, die zweite Datenstruktur
zu managen, und
- (3) eine Verbindung zum Übermitteln
der digital kodierten Befehle an die Verarbeitungsausrüstung.
-
Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist eine Vorrichtung vorgesehen,
die eine Vorrichtung zum Verarbeiten einer integrierten Schaltungsstruktur
aufweist.
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Gemäß einem
Aspekt der Erfindung ist ein verteiltes Fabriksystemnetzwerk zum
Managen eines Verarbeitungssystems vorgesehen, wobei das verteilte
Fabriksystem-Rahmenwerk umfasst:
- a) eine digital
kodierte, erste Datenstruktur, die digital kodierte Rahmenwerkkomponenten
umfasst;
- b) eine digital kodierte, zweite Datenstruktur, die Anwendungskomponenten
umfasst, die geeignet sind, um digital kodierte Befehle an das Verarbeitungssystem
zu übermitteln,
worin die erste Datenstruktur geeignet ist, die zweite Datenstruktur zu
managen; und
- c) eine Verbindung zum Übermitteln
der digital kodierten Befehle an das Verarbeitungssystem.
-
Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung wird ein verteiltes Fabriksystem-Rahmenwerk zur
Verfügung
gestellt, bei dem die Rahmenwerkkomponenten eine oder mehrere Komponenten
ausgewählt
aus der Gruppe bestehend aus einer Sicherheitskomponenten, einer
GUI-Konsolenkomponenten, einer Performance- und Lizenz-Managementkomponenten,
einer saga-Managementkomponenten, einer Kontext-Auflösungskomponenten,
einer Konfigurations-Managementkomponenten, einer Kalenderkomponenten,
einer visuellen Arbeitsablaufkomponenten, einer Ressourcenkoordinations-Komponenten, einer
Ereignis-Monitorkomponenten, einer Ressourcenlisten-Komponenten
und einer Datenmanagement-Komponenten umfasst.
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Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung wird ein verteiltes Fabriksystem-Rahmenwerk bereitgestellt,
bei dem die Anwendungskomponenten eine oder mehrere Komponenten
ausgewählt
aus der Gruppe bestehend aus einer Qualitätsmanagement-Komponenten, einer
Werkzeugintegrations-Komponenten,
einer Ausrüstungsmanagement-Komponenten,
einer Rezeptmanagement-Komponenten,
einer Absende- und Zeitplanungs-Komponenten, einer Materialhandhabungs-Komponenten, einer
Komponenten für
in der Ausführung
befindliche Arbeiten und einer Bestandssystem-Schnittstellenkomponenten
aufweist.
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Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung wird ein verteiltes Fabriksystem-Rahmenwerk zur
Verfügung
gestellt, bei dem die Verbindung eine vierte Datenstruktur aufweist,
die eine Werkzeug-Integrationskomponente
umfasst.
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Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung wird ein verteiltes Fabriksystem-Rahmenwerk bereitgestellt,
bei dem die vierte Datenstruktur eine fünfte Werkzeug-Schnittstellenprogramm-Datenstruktur
und eine sechste Werkzeug-Integrations-Komponentenadapter-Datenstruktur
umfasst.
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Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung wird ein verteiltes Fabriksystem-Rahmenwerk bereitgestellt,
das zusätzlich
einen oder mehrere Software-Herstellungsblocks aufweist, die ausgewählt sind
aus der Gruppe bestehend aus einem Serveraufbau-Herstellungsblock,
einem Persistance-Herstellungsblock,
einem Herstellungsblock für
gemeinsame GUI-Kontrollen, einen Veröffentlichungs- und Abonnierungs-Benachrichtungs-Herstellungsblock,
einem dynamischen API-Erkennungs-Herstellungsblock,
einem Verknüpfungs-Herstellungsblock,
einem Historien-Herstellungsblock, einem allgemeine Serviceleistungen
ausführenden Herstellungsblock,
einem Klassifizierungs-Herstellungsblock,
einem Herstellungsblock für
Kunden definierte Attribute, einem Statusmodell- Herstellungsblock, einem Namenraum-Herstellungsblock,
einem Zeitplanungs-/Datenbuch-Herstellungsblock,
einem Templates-Herstellungsblock, einem Herstellungsblock für variierte
Objekte und einen Navigations-Herstellungsblock aufweist.
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Gemäß einem
Aspekt der Erfindung wird eine Datenspeichervorrichtung bereitgestellt,
die eine digital kodierte, erste Datenstruktur umfasst, die einen
Fabrikautomations-Lebenszyklus einschließt, der aufweist:
- a) Verwalten von Lebenszyklusaktivitäts-Rahmenwerkkomponenten;
- b) Fabrikmodellierungs-Lebenszyklusaktivitäts-Rahmenwerkkomponenten; und
- c) Herstellungskontroll- und Überwachungs-Lebenszyklusaktivitäts-Rahmenwerkkomponenten.
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Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist eine Vorrichtung vorgesehen,
in der die Verwaltungs-Lebenszyklusaktivitäts-Rahmenwerkkomponenten eine
oder mehrere Rahmenwerkkomponenten aufweist, die ausgewählt sind
aus der Gruppe bestehend aus einer Sicherheitskomponenten, einer GUI-Konsolenkomponenten,
einer Performance- und Lizenz-Managementkomponenten und einer saga-Managementkomponenten.
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Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist eine Vorrichtung vorgesehen,
in der die Fabrikmodellierungs-Lebenszyklusaktivitäts-Rahmenwerkkomponenten
eine oder mehrere Rahmenwerkkomponenten umfassen, die ausgewählt sind
aus der Gruppe bestehend aus einer Kontext-Auflösungskomponenten,
einer Konfigurations-Managementkomponenten und einer Kalenderkomponenten.
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Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist eine Vorrichtung vorgesehen,
in der die Herstellungskontroll- und Verfolgungs-Lebenszyklusaktivitäts-Rahmenwerkkomponenten
eine oder mehrere Rahmenkomponenten umfassen, die ausgewählt sind
aus der Gruppe bestehend aus einer visuellen Arbeitsablaufkomponenten,
einer Ressourcen-Koordinationskomponenten, einer Ereignis-Monitorkomponenten
und einer Ressourcenlisten-Komponenten.
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Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist eine Vorrichtung vorgesehen,
die zusätzlich eine
oder mehrere Lebenszyklusaktivitäts-Rahmenwerkkomponenten
zum Analysieren der Herstellungsergebnisse umfasst.
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Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist eine Vorrichtung vorgesehen,
bei der die eine oder mehrere Lebenszyklusaktivitäts-Rahmenwerkkomponenten
zum Analysieren der Herstellungsresultate eine Daten-Managerkomponente
umfassen.
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Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist eine Vorrichtung vorgesehen,
die eine Vielzahl von Rahmenwerkkomponenten umfasst, die geeignet
sind, mit einer GUI-Konsolen-Rahmenwerkkomponenten in Wechselwirkung
zu treten.
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Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist eine Vorrichtung vorgesehen,
die zusätzlich eine
digital kodierte, zweite Datenstruktur aufweist, die Anwendungskomponenten
umfasst, wobei die erste Datenstruktur geeignet ist, die zweite
Datenstruktur zu managen.
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Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist eine Vorrichtung vorgesehen,
die zusätzlich eine
digital kodierte, dritten Datenstruktur aufweist, die Software-Herstellungsblocks
zur Herstellung von einer oder mehreren Rahmenwerkkomponenten umfasst.
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Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist eine Vorrichtung vorgesehen,
bei der die erste, zweite und dritte Datenstruktur geeignet sind,
um eine integrierte Schaltungsstruktur zu verarbeiten.
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Gemäß einem
Aspekt der Erfindung ist eine Datenspeichervorrichtung vorgesehen,
die eine digital kodierte, erste Datenstruktur aufweist, die einen Fabrikautomations-Lebenszyklus
aufweist, der digital kodierte Rahmenwerkkomponenten umfasst; und eine
digital kodierte, zweite Datenstruktur umfasst, die Anwendungskomponenten
aufweist, worin die erste Datenstruktur geeignet ist, die zweite
Datenstruktur zu modifizieren.
-
Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist eine Vorrichtung vorgesehen,
in der die Rahmenwerkkomponenten eine oder mehrere Komponenten ausgewählt aus
der Gruppe bestehend aus einer Sicherheitskomponenten, einer GUI-Konsolenkomponenten,
einer Performance- und Lizenz-Managementkomponenten,
einer saga-Managementkomponenten, einer Kontextauflösungs-Komponenten, einer
Konfigurations-Managementkomponenten, einer Kalenderkomponenten,
einer visuellen Arbeitsablaufkomponenten, einer Ressourcenkoordinationskomponenten,
einer Ereignismonitor-Komponenten, einer Ressourcenlisten-Komponenten
und einer Datenmanagement-Komponenten aufweist.
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Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist eine Vorrichtung vorgesehen,
in der die Anwendungskomponenten eine oder mehrere Komponenten ausgewählt aus
der Gruppe bestehend aus einer Qualitätsmanagement-Komponenten, einer Werkzeugintegrations-Komponenten,
einer Ausrüstungsmanagement-Komponenten
einer Rezeptmanagement-Komponenten, einer Absende- und Zeitplanungs-Komponenten,
einer Materialhandhabungskomponenten, einer Komponenten für in Ausführung befindliche
Arbeit und eine Bestandssystem-Schnittstellenkomponenten aufweist.
-
Gemäß einem
bevorzugten Aspekt der Erfindung ist eine Vorrichtung vorgesehen,
die zusätzlich eine
digital kodierte, dritte Datenstruktur aufweist, die eine oder mehrere
Software-Herstellungsblocks umfasst, die ausgewählt sind aus der Gruppe bestehend aus
einem Serveraufbau-Herstellungsblock, einem Persistance-Herstellungsblock,
einem Herstellungsblock für
gemeinsame GUI-Kontrollen, einem Veröffentlichungs- und Abonnierungs-Benachrichtungs-Herstellungsblock,
einem dynamischen API-Erkennungs-Herstellungsblock,
einem Verknüpfungs-Herstellungsblock,
einem Historien-Herstellungsblock,
einem allgemeine Dienstleistung ausführenden Herstellungsblock,
einem Klassifizierungs-Herstellungsblock, einem Herstellungsblock für Kunden
definierte Attribute, einen Statusmodell-Herstellungsblock, einen Namenraum-Herstellungsblock,
einen Zeitplanungs-, Datenbuch-Herstellungsblock,
einen Templates-Herstellungsblock, einen Herstellungsblock für variierte
Objekte und einen Navigations-Herstellungsblock aufweist.
-
Ein
bevorzugtes Ausführungsbeispiel
der Erfindung ist in dem Hauptanspruch beansprucht, während weitere,
bevorzugte Ausführungsbeispiele
der Erfindung und Merkmale davon in den beigefügten Ansprüchen und Unteransprüchen angegeben
sind.
-
Es
ist zu beachten, dass die beigefügten Zeichnungen
nur typische Ausführungsbeispiele
dieser Erfindung zeigen und daher nicht als einschränkend für den Schutzumfang
zu betrachten sind, da die Erfindung andere, in gleichem Maße wirkungsvolle
Ausführungsbeispiele
zulassen kann.
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1 ist
ein Flussdiagramm, das schematisch ein Waferfabrikationsverfahren
nach dem Stand der Technik zeigt.
-
2 ist
ein Flussdiagramm, das schematisch ein Waferfabrikations-Sputter-Metallisierungsverfahren
nach dem Stand der Technik zeigt.
-
3 ist
eine Stapelkarte, die Ausrüstungs-Zeitzustände nach
dem Stand der Technik schematisch darstellt.
-
4 ist
ein Blockdiagramm, das Ausrüstungszeitzustände der
in 3 gezeigten Stapelkarte nach dem Stand der Technik
schematisch zeigt.
-
5 ist
ein Blockdiagramm, das die Ausrüstungszeitzustände der
in 3 gezeigten Stapelkarte nach dem Stand der Technik
zeigt.
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6 ist
ein Blockdiagramm, das einen Fabrikautomations-Lebenszyklus der
vorliegenden Erfindung schematisch zeigt.
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7 ist
ein schematisches Diagramm, das die Wechselwirkung zwischen den
Rahmenwerkkomponenten der vorliegenden Erfindung zeigt.
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8 ist
ein Blockdiagramm, das Komponentenserver der vorliegenden Erfindung
schematisch zeigt.
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9 ist
ein Blockdiagramm, das eine Werkzeug-Integrationskomponente der
vorliegenden Erfindung zeigt.
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10 ist
ein schematisches Diagramm, das eine Sequenz von Benachrichtigungen
von einer visuellen Arbeitsablauf-Komponenten an ein Werkzeug-Schnittstellenprogramm
der vorliegenden Erfindung zeigt.
-
Während die
Erfindung und ihre Ausführungsbeispiele
beschrieben werden, wird eine gewisse Technologie zum Zwecke der
Klarheit verwendet. Es ist beabsichtigt, dass solch eine Technologie
die beschriebenen Ausführungsbeispiele
und auch alle Äquivalente
umfasst.
-
In
einem Ausführungsbeispiel
der Erfindung ist eine DFS/F (distributed factory system framework =
verteiltes Fabriksystem-Rahmenwerk) in SW-(Software)-Umgebung vorgesehen,
um Fabrik MES (manufacturing execution system(s) = Zeichenherstellungs-Ausführungssystem(e))
zu automatisieren, integrieren und koordinieren, die Ausrüstungsschritte, Entscheidungsschritte
und Datenschritte umfassen, die in einem Verarbeitungs-, Herstellungs-
oder Fabrikationssystem oder einer Fabrik, beispielsweise einer
Waferfabrik zur Verarbeitung oder Herstellung von Halbleiterstrukturen,
beispielsweise IC (integrierte Schaltung)-Strukturen vorhanden sein
kann. Die Ausdrücke „FS" (Framework = Rahmenwerk),
wie er hier definiert ist, umfasst eine Auswahl von miteinander
verknüpften
SW-Strukturen-Komponenten
oder -Klassen, die eine Funktionalität oder einen Satz von Dienstleistungen
liefern. Der Ausdruck „MES" wie er hier definiert
ist, umfasst eine Ansammlung von SW-Datenstrukturen, um eine Verarbeitung
zu starten, die mit Aufgabenstellungen, dem Management und/oder
der Kontrolle der in der Ausführung
befindlichen Arbeit und der Vereinfachung der Verwendung von Ressourcen,
beispielsweise Materialien, Ausrüstung,
Information und historische Daten zur Ausführung der Verarbeitung/Herstellung/Fabrikationsaufgaben
bezogen ist, die wahlweise Test- und Datensammelaufgaben umfassen.
Der Ausdruck „IC-Strukturen", wie er hier definiert
ist, umfasst vollständig hergestellte
IC's und teilweise
hergestellte IC's.
-
Das
DFS/F der vorliegenden Erfindung umfasst einen neuartigen FALC (factory
automation lifecycle = Fabrikautomatisierungs-Lebenszyklus) 200, der
in 6 gezeigt ist, um eine Gesamtstruktur eines integrierten
Fabrikautomatisierungs-MES zu bilden. Der FALC 200 ist
geeignet, verschiedene mit der Herstellung zusammenhängende Aspekte
eines Verarbeitungs-, Herstellungs- oder Fabrikationssystems oder
einer Einrichtung zu integrieren, automatisieren, managen oder kontrollieren,
wodurch ein Fabrikmodell gebildet wird. Diese Aspekte können eine
mit der Waferfabrikation zusammenhängende Ausrüstung, beispielsweise Waferfabrikationswerkzeuge,
Verfahren, beispielsweise Waferfabrikationsverarbeitungsprozeduren,
Materialien, beispielsweise Waferfabrikations-Prozessgase, die Inventarkontrolle,
beispielsweise eine während
des Prozesses stattfindende Wafer-Inventarkontrolle, die Statusbestimmungen von
in der Ausführung
befindlicher Arbeit, die Ermittlung von im Prozess vorhandenen Testdaten,
die Überwachung
Ausrüstungsfunktionen
und Qualitätsmanagementmerkmale,
beispielsweise SPC (statistical process control = statistische Prozesskontrolle) umfassen.
Der neuartige Lebenszyklus vereinfacht zusätzlich die Integration von
Werkzeugen, Ausrüstung
oder Software von verschiedenen Werkzeugen, der Ausrüstung oder
von Softwarelieferungen, um eine koordinierte Herstellungs- oder Fabrikationseinrichtung
bereitzustellen, in der mehrere Werkzeuge integriert sind.
-
Der
neuartige FALC 200, der in 6 gezeigt
ist, umfasst eine SW-Entwicklungs- und Integrations-Lebenszyklusaktivität 210,
eine Installations- und Verwaltungs-Lebenszyklusaktivität 220,
eine Fabrikmodellierungs-Lebenszyklusaktivität 230, eine Herstellungs-Planungs-Lebenszyklusaktivität 240, eine
Herstellungskontroll-Überwachungs-
und Verfolgungs-Lebenszyklusaktivität 250 und eine Lebenszyklusaktivität 260 zum
Analysieren der Herstellungsresultate. Wie schematisch in 6 gezeigt
ist, kann ein ausgewählter
Ausgang von der Lebenszyklusaktivität 260 zum Analysieren
der Herstellungsresultate eine Rückkopplung
zu anderen Lebenszyklusaktivitäten
des Lebenszyklusaktivität
liefern, beispielsweise der SW-Entwicklungs- und Integrations-Lebenszyklusaktivität 210,
der Fabrikmodellierungs-Lebenszyklusaktivität 230 und
der Herstellungsplanungs-Lebenszyklusaktivität 240. Die Ausgabe-
und Eingabe-Wechselwirkungen zwischen diesen Lebenszyklusaktivitäten werden
in mehr Detail im Zusammenhang mit der Beschreibung der Lebenszyklusaktivität 260 zum
Analysieren der Herstellungsresultate beschrieben.
-
Die
verschiedenen Lebenszyklusaktivitäten des FALC 200 der
vorliegenden umfassen SW. Hardwareteile, Ausrüstung und Anordnungen sind
erforderlich, um die SW zu unterstützen, betreiben oder zu verwenden,
die die Funktionalität
der sechs Lebenszyklusaktivitäten
des FALC 200 liefert. Die Software des FALC 200 umfasst
FW-SW-Komponenten. Die FW-Komponenten definieren gemeinsame System- oder Fabrikbetriebsregeln
und -Dienstleistungen und sie werden verwendet, um Dienstleistungen für die Anwendungs-SW-Komponenten
bereitzustellen, die die Verarbeitungsfunktionen oder die Systeme
managen/kontrollieren, beispielsweise die Fabriken einschließlich der
Fabrikausrüstungen
und verschiedener Kombinationen von Waferfabrikationswerkzeugen,
durch die Wechselwirkung mit dem Kontrollsystem der Verarbeitungsausrüstung, beispielsweise
bordseitige Waferfabrikations-Werkzeugcontroller.
Die Anwendungskomponenten sind in der Lage, die spezifischen Erfordernisse
des Verfahrens und der Verarbeitungsausrüstung zu erfüllen, beispielsweise
ein Waferfabrikationsrezept. In anderen Worten erfordern wiederholte
Verarbeitungsläufe desselben
Produkttyps in derselben Ausrüstung
unter Verwendung derselben Prozessbedingungen eine Modifikation
der Anwendungskomponenten. Eine Änderung
in den Materialien, den Produkten, der Ausrüstung oder der Verarbeitungsbedingungen
erfordert jedoch typischerweise eine Modifikation der Daten von
einer oder mehreren Anwendungskomponenten. Beispielsweise erfordert
eine Änderung
in einer Verarbeitungsbedingung eine entsprechende Änderung
in einer oder mehreren Anwendungskomponenten, um die veränderten
Befehle an die Ausrüstung
zu liefern. FW-Komponenten liefern die Dienstleistungen, die einen
Benutzer in die Lage versetzen, eine oder mehrere Anwendungskomponenten
zu modifizieren, um das neuartige DFS/F auf neue Verarbeitungsbedingungen
oder auf ein unterschiedliches Material oder ein Werkzeug abzustimmen.
Der neuartige FALC, beispielsweise der FALC 200, kann an
neue Verarbeitungsbedingungen, Materialien oder Ausrüstung durch
eine Dateneingabe angepasst werden, vorausgesetzt, dass die Anpassung nicht
eine Änderung
zu einem Verarbeitungssystem erforderlich macht, welches substantiell
unterschiedlich ist. Beispielsweise ist der SW-Code von mehreren
Anwendungskomponenten eines Waferfabrikations-FALC unterschiedlich
von dem SW-Code der entsprechenden Komponenten eines FALC für ein Chargen-Herstellungsverfahren
eines pharmazeutischen Produkts. Die Anwendungskomponenten des neuartigen
DFS/S stehen mit der Ausrüstung,
beispielsweise individuellen Waferfabrikationswerkzeugen, durch
Protokolle und Schnittstellen in Kommunikation wie mehr im Einzelnen
im Zusammenhang mit TIC (tool integration component = Werkzeugintegrationskomponente)
beschrieben wird.
-
FW-
und Anwendungs-SW-Elemente werden als Komponenten bezeichnet, weil
sie separate SW-Einheiten
jede mit ihrer eigenen Datenbank, ihrem Server und ihrer Standard-GUI
sind. Die Komponenten arbeiten durch einen öffentlichen Satz von Kommunikationsstandards,
beispielsweise DCOM (MICROSOFT® – Microsoft ist eine eingetragene Marke
der Microsoft Corporation, Redmond, Washington – distribute common object
model = verteiltes gemeinsames Objektmodell)-APIs (application programming
interface = Anwendungsprogrammierungs-Schnittstelle) oder CORBA
(common object request broker architecture = Brokerarchitektur mit
gemeinsamer Objektanfrage) zusammen arbeiten.
-
Gemeinsame
SW-Herstellungsblocks werden in dem DFS/F vorgesehen, um die Erzeugung von
neuer FW- und Anwendungskomponenten zu erleichtern und um existierende
FW- und Anwendungskomponente abzuwandeln. Diese Herstellungsblocks umfassen
typischerweise GUI (graphical user interface = graphische Benutzerschnittstelle),
Server- und DB (database = Datenbank)-Elemente. Typischerweise werden
die FS/F- und FALC 200-Komponenten und SW-Herstellungsblocks
durch eine oder mehrere zentrale Verarbeitungseinheiten zur Datenverarbeitung
von einer oder mehreren Komponenten verarbeitet. Zentrale Verarbeitungseinheiten
und Computer, die für
die Ausführungsbeispiele
der vorliegenden Erfindung geeignet sind, sind dem Durchschnittsfachmann
bekannt.
-
Die
sechs Lebenszyklusaktivitäten
des FALC 200, siehe 6, umfassen
die folgenden Funktionen. Die SW-Entwicklungs- und Integrations-Lebenszyklusaktivität 210 ist
in der Lage, eine gemeinsame Struktur für Fabrikobjekte und Server
zu definieren. Diese gemeinsame Struktur vereinfacht die Herstellung
von DFS/F verträglichen
Anwendungen. Die Installation- und Verwaltungs-Lebenszyklusaktivität 220 installiert
MES-Anwendungen. Wenn es notwendig ist, die Kapazitäten der
MES-Anwendungen mit dem DFS/F zu registrieren, um es zu ermöglichen, dass
die MES-Anwendungen zusammen mit den Kapazitäten der anderen Anwendungen
integriert werden können.
Die Lebenszyklusaktivität 220 überwacht
und steuert auch die Software, die die MES der Fabrik aufweist.
Zusätzlich
regelt sie den Zugriff auf die MES-Kapazitäten, wobei sie eine gemeinsame Sicherheitsdienstleistung
bereitstellt. Die Fabrikmodellierungs-Lebenszyklusaktivität 230 ist
in der Lage, die Herstellung eines konsistenten Fabrikmodells in mehrfachen,
mit der Herstellung zusammenhängenden
Anwendungsfällen
herzustellen. Beispielsweise erfordert die Einführung eines neuen Produkts
typischerweise Änderungen
in mehreren Anwendungen, beispielsweise das Hinzufügen des
Produkts sowohl in einer WIP (work in process = in der Ausführung befindliche
Arbeit)-Anwendung als auch in der Planungsanwendung. Die Lebenszyklusaktivität 230 ist auch
in der Lage, die Art und Weise zu definieren, in der mehrfache Anwendungen
zusammenarbeiten, beispielsweise um zu definieren, wie eine WIP-Anwendung
und eine Ausrüstungsanwendung
zusammenarbeiten können,
um sicherzustellen, dass die richtige Ausrüstung verwendet wird, um ein
vorgegebenes Produkt herzustellen. Die SW der Fabrikmodellierungs-Lebenszyklusaktivität 230 ist
in der Lage, die Herstellung zu planen, kontrollieren und zu verfolgen,
sobald ein Modell der MES-Funktionen der Fabrik unter Verwendung
von fabrikmodellierungsbezogener SW aufgebaut worden ist.
-
Die
Herstellungs-Planungs-Lebenszyklusaktivität 240, die in 6 gezeigt
ist, sammelt Statusinformationen von mehreren Anwendungen, um eine Planungs-Anwendungskomponente
bereitzustellen. Die Lebenszyklusaktivität 240 entwickelt und
verteilt zusätzliche
Herstellungspläne/-Zeitabläufe für die Anwendungskomponenten,
die die Fabrikressourcen managen. Die Herstellungskontroll-, Überwachungs- und Verfolgungs-Lebenszyklusaktivität 250 ist
vorgesehen, um die Funktion der Herstellungs-Anwendungskomponenten in der Ausführung des
Herstellungsplans/-Zeitablaufs zu koordinieren, um Produkte gemäß den Schritten
zu erzeugen, die in dem Fabrikmodell definiert sind. Die Lebenszyklusaktivität 260 zum
Analysieren der Herstellungsresultate ist in der Lage, Informationen
von den Anwendungskomponenten zwecks Analyse zu kombinieren. Sie
setzt Daten in unterschiedlichen Anwendungskomponenten zur Datenanalyse
in Korrelation und definiert, detektiert und antwortet auf spezifische
Fabrikereignisse. Diese Lebenszyklusaktivität ist in der Lage, die tatsächliche
Produktion mit der geplanten Produktion zu vergleichen und anzuzeigen,
wenn ein auf den neuesten Stand gebrachter Plan durch Eingaben in die
SW-Entwicklungs- und Integrations-Lebenszyklusaktivität 210,
in die Fabrikmodellierungs-Lebenszyklusaktivität 230 und/oder die
Herstellungsplanungs-Lebenszyklusaktivität 240 erforderlich
ist. Wie in 6 gezeigt ist, gilt in Rückkopplungsschleifen von
der Lebenszyklusaktivität 260 zu
diesen Lebenszyklusaktivitäten
FALC 200-Rückkopplungszyklen wie
folgt. Die Rückkopplung
von der Lebenszyklusaktivität 260 zu
der Lebenszyklusaktivität 210 bildet einen
SW-Entwicklungszyklus 270,
während
die Rückkopplung
von der Lebenszyklusaktivität 260 zu der
Lebenszyklusaktivität 280 einen
Modellierungszyklus 280 liefert. Ein Ausführungszyklus 290 wird
in der Rückkopplungsschleife
von der Lebenszyklusaktivität 260 zu
der Lebenszyklusaktivität 240 gebildet. Während die
sechs Lebenszyklusaktivitäten
des neuartigen FALC 200 in ähnlicher Weise gezeigt und
beschrieben wurden, ist zu verstehen, dass die SW, die mit jedem
dieser Lebenszyklusaktivitäten
zusammenhängt,
typischerweise gleichzeitig mit einem oder mehreren der anderen
Lebenszyklusaktivitäten abläuft.
-
Der
FALC 200 der vorliegenden Erfindung, der oben beschrieben
wurde, ist eine Facette des neuartigen DFS/F. Zwei andere Facetten
des DFS/F sind definiert als: Systemschichten und N-Etagen. Der
Systemschichtaspekt des neuartigen DFS/F ist in Tabelle I beschrieben.
-
Tabelle I
-
DFS/F Systemschichten
-
1. Basistechnologie
-
Diese
umfasst die Basistechnologie-Herstellungsblocks für das DFS/F,
beispielsweise Messverfahren, den Aufbau einer graphischen Benutzerschnittstelle,
(GUI), die Verwendung von beispielsweise MTS (Microsoft transaction
manager = Microsoft Transaktionsmanager) für den Serveraufbau, und das
Mappen von Objekten auf eine Relationsdatenbank für die Persistenz.
-
2. Gemeinsame
Herstellungsblocks
-
Dies
umfasst gemeinsame Objekte, beispielsweise benutzerdefinierte Attribute,
Versionierungs-, Historie- und Klassifizierungsschemata. Typische
gemeinsame Herstellungsblocks sind in Tabelle II aufgelistet und
beschrieben.
-
3. Rahmenwerkkomponenten
-
FW-Komponenten
managen den Gesamtbetrieb des Fabriksystems durch das Verfahren
des Aufbaus eines Fabrikmodells, die Herstellung von Produkten entsprechend
dem Modell, und dann die Beurteilung des Ergebnisses, um die Notwendigkeit für Verbesserungen
festzustellen. Der FALC 200 umfasst diese Komponenten.
Typische FW-Komponenten sind der Tabelle III aufgelistet und beschrieben.
-
4. Anwendungskomponenten
-
Diese
Komponenten umfassen die Fabrikressourcen-Managemenfunktionalität, beispielsweise
das Materialmanagement, das Ausrüstungsmanagement
und die Werkzeugintegration, beispielsweise VFEI (virtual factory
equipment interface = virtuelle Fabrikausrüstungs-Schnittstelle)-Niveaukommunikationen
mit Werkzeugen. Typische Anwendungskomponenten sind in der Tabelle
IV aufgelistet und beschrieben.
-
Die
gemeinsamen Herstellungsblocks des neuartigen DFS/F werden typischerweise
verwendet, um FW- und Anwendungskomponenten herzustellen oder zu
modifizieren. Repräsentative
Herstellungsblocks sind in der Tabelle II gezeigt.
-
Tabelle II
-
Gemeinsame
Herstellungsblocks
-
- 1. Serveraufbau-Herstellungsblock, der eine Schnittstelle
zwischen dem Server API (application programming interface = Anwendungsprogrammierungs-Schnittstelle)
und Fabrikobjekterstellung (construction of an object instance =
Aufbau eines Objektereignisses).
- 2. Persistenz-Herstellungsblock zur Erzeugung eines Mappings
von SQL/ODBC (structure query language/open DB connection = strukturierte
Abfragesprache/offene DB-Verbindung).
- 3. DFS/F-gemeinsame GIU-Kontroll-Herstellungsblock, um die gemeinsamen
Kontrollen für den
Aufbau der GUIs bereitzustellen.
- 4. Veröffentlichungs-
und Abonnierungs-Benachrichtungs-Herstellungsblock, um Abonnierungsmeldungen
zu veröffentlichen,
die sich von synchronen DCOM-Meldungen unterscheiden.
- 5. Dynamischer API-Erkennungs-Herstellungsblock, der von den
FW-Komponenten verwendet wird, um Dienstleistungen, die von den DFS/F-Komponenten
geliefert werden, zu entdecken.
- 6. Verknüpfungs-Herstellungsblock,
um Objekte über
die FS/F-Komponenten hinweg zu verbinden. Repräsentative Nutzungsfälle umfassen
die Verknüpfung
von Modelldaten um „wo
benutzt" – Fragen
zu beantworten und MES-Ausführungsinformationen,
beispielsweise Qualitätsdaten
mit der Ausrüstungshistorie
zu verknüpfen.
- 7. Historie-Herstellungsblock, um eine gemeinsame Dienstleistung
bereitzustellen, um die Historie von Fabrikereignissen zu speichern
und abzurufen.
- 8. Allgemeine Serviceleistungen ausführender Herstellungsblock,
um unterschiedliche Typen von DFS/F-Dienstleistungen auszuführen einschließlich: (1)
synchrone Dienstleistungen, (2) langlaufende Dienstleistungen, die
durch ein Vollendungs-Rückrufprotokoll
implementiert sind und (3) auf GUI basierende Dienstleistungen,
die durch eine Verknüpfung
zwischen anderen Dienstleistungen und einem Zielcomputerdesktop implementiert
sind.
- 9. Klassifizierungsherstellungsblock, der eine gemeinsame Dienstleistung
liefert, um Fabrikobjekte für
Abfragen und Analysen zu klassifizieren.
- 10. Herstellungsblock für
Kundendefinierte Attribute, um die auf der DFS/F-Komponente beruhenden
Objektmodelle auszuweiten. DFS/F liefert typischerweise von dem
Benutzer erweiterbare Attributenmodelle, die die Ausdehnung des
Modells auf der Basis von Benutzerbedürfnissen unterstützen.
- 11. Ein Statusmodell-Herstellungsblock umfasst eine Dienstleistung,
um Statusmodelle zu definieren und dann zu betreiben, beispielsweise
einen Verfolgungsstatus für
die Ausrüstung,
das Material und ECNs (engineering change notice = Ingenieurleistungs-Änderungsmeldung).
Ein Statusmodell-Herstellungsblock
kann so definiert sein, dass er eine ungeplante Abschaltzeit von
verschiedenen Kammern eines Gruppenwerkzeugs verfolgt.
- 12. Ein Namensraum-Herstellungsblock definiert Managementbereiche
innerhalb von DFS/F-Datenmodellen.
- 13. Zeitplanungs-/Datenbuch-Herstellungsblock, um die Zeitplanung
zu unterstützen
und die Kapazität
für jedes
Fabrikobjekt hinzuzufügen,
um ein Datenbuch zu erhalten, das zukünftige Ereignisse und Historien-Verbesserungen
zeigt, um anzuzeigen, wie ein spezieller Zeitablauf befolgt worden ist.
- 14. Ein Template-Herstellungsblock liefert Dienstleistungen,
um Basisdefinitionen zu definieren, die von Fabrikobjekten gemeinsam
benutzt werden können.
Beispielsweise kann dieser Herstellungsblock verwendet werden, um
gemeinsame Charakteristiken für
alle Speicherprodukte zu definieren.
- 15. Ein Herstellungsblock für
variierte Objekte umfasst Dienstleistungen, um Änderungen in den Fabrikmodellobjekten
während
der Zeit zu managen und zu verfolgen, beispielsweise das Planen und
die Verfolgung von Änderungen
in der Definition eines speziellen Produkts über die Zeit.
- 16. Navigations-Herstellungsblock, um die Beziehung zwischen
den Fabrikobjekten zu sehen, beispielsweise eine Materialvorratshistorie.
-
FW-Komponenten,
die in dem neuartigen FALC 200 verwendet werden, definieren
gemeinsame Regeln und Dienstleistungen, die von den Anwendungskomponenten
verwendet werden, siehe Tabelle IV, durch Schritte in dem FALC 200.
Beispiele geeigneter SW-Komponenten sind in der Tabelle III enthalten.
-
Beschriftung
der Zeichnungen
-
1 (Stand
der Technik)
-
- 41
- Reinige
Wafer
- 43
- Ziehe
Feldoxid
- 45
- Source-Drain-Oxid
entfernen
- 47
- Source-Drain-B-Diffusion
- 49
- Gateoxid
entfernen
- 51
- Reinige
Gatevorläufer
- 53
- Ziehe
Gateoxid
- 55
- Einstellung
des Ionen-Implantierungsschwellenwerts
- 57
- Kontaktoxid
entfernen
- 59
- Metallisieren
- 61
- Bemustere
Metall
- 63
- Ätze Metall
- 65
- Tampern
- 67
- Scheide
Schutzschicht ab
- 69
- Bemustere
Schutzschicht
- 71
- Ätze Schutzschicht
- 73
- Mehrfachprobenwafer
-
2 (Stand
der Technik)
-
- 81
- Heize
die Waferlagerplattform vor
- 83
- Positioniere
das Wafer auf der Plattform
- 85
- Klemme
das Wafer in der Position fest
- 87
- Evakuiere
die Kammer auf ein vorgegebenes Vakuum
- 89
- Heize
das Wafer auf eine vorgegebene Temperatur auf
- 91
- Lasse
Sputtergas in die Kammer mit einem vorgegebenen Strömungsbereich
und Druckbereich einströmen
- 93
- Führe eine
erste Sputterabscheidung bei vorgegebenen, ersten Sputterabscheidungsbedingungen
durch
- 95
- Führe eine
zweite Sputterabscheidung bei vorgegebenen, zweiten Sputterabscheidungsbedingungen
durch
- 97
- Führe wahlweise
eine dritte Sputterabscheidung an vorgegebenen, dritten Sputterabscheidungsbedingungen
durch
-
3 (Stand
der Technik)
-
- 102
- nicht-geplante
Zeit
- 104
- ungeplante
Abschaltzeit
- 106
- geplante
Abschaltzeit
- 108
- Ingenieurleistungszeit
- 110
- Standby-Zeit
- 112
- Produktionszeit
-
4 (Stand
der Technik)
-
- 102
- nicht-geplante
Zeit
- 114
- Gesamtzeit
- 116
- Betriebszeit
- 130
- Arbeitsfreie
Schichten
- 132
- Installation,
Aufbau oder auf den neuesten Stand bringen
- 134
- Offline-Training
- 136
- Abschalt/Start-Vorgang
-
5 (Stand
der Technik)
-
- 104
- ungeplante
Abschaltzeit
- 106
- geplante
Abschaltzeit
- 108
- Ingenieurleistungszeit
- 110
- Standby-Zeit
- 112
- Produktionszeit
- 116
- Betriebszeit
- 120
- Ausrüstungs-Einschaltzeit
- 122
- Herstellungszeit
- 140
- Wartungsverzögerung
- 142
- Reparaturzeit
- 144
- Verbrauchsmaterial/Chemikalienaustausch
- 146
- Eingabe
außerhalb
der Spezifikation
- 148
- auf
Ausstattung bezogen
- 150
- Wartungsverzögerung
- 152
- Produktionstest
- 154
- vorbeugende
Wartung
- 156
- Verbrauchsmaterialien/Chemikalienaustausch
- 158
- Aufbau
- 159
- Auf
Einrichtung bezogen
- 160
- Prozessexperimente
- 162
- Ausrüstungsexperimente
- 180
- Keine
Bedienungsperson
- 182
- Kein
Produkt
- 184
- Kein
Unterstützungswerkzeug
- 186
- Probenmodul
abgeschaltet
- 190
- Reguläre Produktion
- 192
- Arbeit
für eine
dritte Partei
- 194
- Nachbearbeitung
- 196
- Ingenieurleistungslauf
-
6
-
- 210
- SW-Entwicklung
und -Integration
- 220
- Installation
und Verwaltung
- 230
- Fabrikmodellierung
- 240
- Herstellungsplanung
- 250
- Herstellungskontrolle,
-verfolgung und -überwachung
- 260
- Analyse
von Herstellungsergebnissen
-
7
-
- 316
- Öffne ECN
- 318
- ECN-Daten
- 320
- Editiere
VWC-Arbeitsablauf
- 322
- Zeige
VWC-WF-Editor an
- 324
- VWC-WF-Änderungen
- 326
- Füge revidierte
VWC-WF hinzu
-
8
-
- 410
- Konfigurationsmanagement-Komponente
- 412
- visuelle
Arbeitsablaufkomponente
- 414
- Datenmanagerkomponente
- 416
- Ereignismonitorkomponente
- 418
- GUI-Konsolenkomponente
- 419
- Sicherheitskomponente
- 420
- Ausrüstungsmanagement-Komponente
- 422
- WIP-Managementkomponente
- 424
- Absende-
und Zeitplanungs-Komponente
- 426
- Qualitätsmanagement-Komponente
- 428
- Werkzeugintegrationskomponente
- 429
- Gateway-Komponente
- 430
- Gemeinsame
Serviceprotokolle
-
9
-
- 510
- DFS/F-Komponente
- 522
- TIC-Adapterknoten
A
- 532
- VFEI-Protokoll
auf DCOM
- 534
- TIC-Auftritt
auf Knoten B
- 536
- SECS-Protokoll
- 538
- Werkzeug
- 542
- VFEI-Protokoll
auf DCOM
- 544
- TIP-Auftritt
auf Knoten C
- 546
- SECS-Protokoll
- 548
- Werkzeug
-
10
-
- 612
- TIC-Adapter
- 614
- TIP-Auftritt
- 616
- Ereignisaufbau-Anfrage
- 618
- Routing-Ereignis-Aufbauanfrage
- 626
- Bestätige Aufbauanfrage
- 622
- Ereignisberichtanfrage
- 614
- Bestätige Berichtanfrage
- 616
- Übermittle
Ereignisbericht
- 628
- Liefere
Bericht ab
- 630
- Bestätige Berichtlieferung
-
Tabelle III
-
Rahmenwerkkomponenten
-
- 1. Eine SC (security component = Sicherheitskomponente)
liefert eine grundlegende Sicherheit, die drei Sicherheitsmodi hat:
(1) Definition von Benutzerrollen, (2) Zuordnung von Benutzern zu
Rollen und (3) Definieren des Zugriffs zu DFS/F-Objekten und Verfahren
durch Rolle.
- 2. GCC (GUI console component = GUI-Konsolenkomponente) unterstützt die
Navigation und die Anzeigen von Daten zwischen DFS/F und GUIs. Kunden-
und/oder drittseitige Anwendungen können zu der Konsolen-Werkzeugleiste
hinzugefügt
werden. Eine Kundenumgebung kann durch Hinzufügen von GUIs und Fabrikobjekten erzeugt
werden. Die Konsole kann eine Transaktionsdarstellung, d. h. einen
vollen Bildschirm, eine Kaskade, Fenster und Symbole umfassen. Ein
GUI-Konsolen-Navigator gestattet das Durchsuchen und Auswählen von
DFS/F-Fabrikobjekten und hat eine Sucheigenschaft, die auf von dem
Server gelieferten Suchkriterien beruht. Sie liefert beispielsweise
die Navigation und die gemeinsame Datennutzung zwischen aktiv X-GUIs.
- 3. PLMC (performance & license
management component = Performance & Lizenzmanagement-Komponente) zum Verfolgen und Regeln der
Systemausnutzung von Komponenten.
- 4. SMC (saga management component = Saga-Managementkomponente)
liefert eine Unterstützung
für „langlaufende" Transaktionen, die
als Einheit behandelt werden sollten, jedoch zu lange dauern, bis
dass man sich auf Standard DB-Verriegelungstechniken verlassen könnte.
- 5. CRC (context resolution component = Kontextauflösungskomponente)
unterstützt
die MES-Ausführung durch
Verknüpfung
von Kontext zu Resultaten, wobei sichergestellt wird, dass die richtigen
Befehle zu einer beliebigen Ressource dadurch geliefert werden,
dass es dem Benutzer gestattet wird, den Aufbau von Ressourcenauswahlen
flexibel zu modellieren.
- 6. CMC (configuration management component = Konfigurationsmanagementkomponente)
liefert das Management von Fabrikmodelländerungen über Komponenten hinweg.
- 7. CC (calender component = Kalenderkomponente) liefert Kalender-
und Verschiebedefinitionen für
die Zeitplanung und die Berichterstattung.
- 8. VWC (visual workflow component = visuelle Arbeitsablaufkomponente)
definiert und führt
aus die Herstellungsprozesse und ist in der Lage, vorgegebene Geschäftsprozesse
auszuführen.
VWC definiert Geschäftsprozesse
graphisch als Sequenz/Netzwerk von Dienstleistungsaufrufen von einer
Palette von DFS/F-Dienstleistungen. Andere DFS/F-Komponenten verwenden
die VWC für Prozessdefinitionen.
Beispielsweise verwendet die WIP-Managementkomponente die VWC-Dienstleistungen,
um zu definieren, wie Produkte hergestellt werden, und sie benutzt
sie, um die Verarbeitung von Materialvorräten auszuführen. Die VWC-Prozessdefinitionsfähigkeit
umfasst den Austausch von Daten zwischen den Dienstleistungsaufrufen
und den Kontrollstrukturen, um den Pfad oder die Pfade durch vorgegebene
Geschäftsverfahren
zu bestimmen/auszuwählen.
Die FWC ist in der Lage, Geschäftsprozesse
autonom auszuführen,
d. h. unabhängig von
anderen SW-Komponenten zu funktionieren, und sie ist in der Lage,
auf automatisierte Eingaben und auch auf Benutzereingaben zu antworten.
- 9. RCC (resource coordination component = Ressourcenkoordinations-Komponente)
ist verantwortlich dafür,
dass aktive Ressourcen an Abgabestationen zur Verfügung stehen.
Sie stimmt die Ressourcen auf gemeinsame Arbeiten/Chargen ab, die
BRC verwenden. Zusammen mit BRC koordiniert sie die Zusammenführung von
aktiven und passiven Ressourcen
- 10. EVMC (event monitor component = Ereignismonitorkomponente) überwacht/sammelt
Ereignisse, die von den DFS/F-Dienstleistungen veröffentlicht
werden. Eine DFS/F-Dienstleistung kann ausgeführt werden (einschließlich des
Starts eines VWC-Jobs), wenn ein überwachtes Ereignis auftritt.
Die VMC unterstützt
die beaufsichtigte Herstellung durch die Bereitstellung von Fabrikmonitoren.
- 11. BRC (bill of resources component = Resourcenlisten-Komponente)
baut die Ressourcen über mehrere
DFS/F-Komponenten auf, die benötigt werden,
um ein Chargenverfahren zu starten, d. h. ein Chargenverfahren,
das die koordinierte Zusammenwirkung von mehreren Ressourcen beinhaltet.
- 12. DMC (data manager component = Datenmanagerkomponente) konsolidiert
Daten von den FW-Komponenten
und den Anwendungskomponenten für
die Berichterstattung und die Analyse. Sie basiert auf einer DW
(data warehouse = Datenwarenhaus)-Technologie und kann Muster-DW-Sternschemata
und Berichte liefern. DMC kann auf DBs zur umstrukturierten Datenanalyse zugreifen.
-
Anwendungskomponenten
liefern die MES-Befehle an die Herstellungsausrüstung, um spezielle Werkzeuge
und Prozesse zu managen und zu kontrollieren. Beispiele geeigneter
Anwendungskomponenten sind in Tabelle IV beschrieben.
-
Tabelle IV
-
Anwendungskomponenten
-
- 1. QMC (quality management component = Qualitätsmanagement-Komponente)
liefert eine Qualitätsanalyse
und eine flexible Datensammlung. Sie ist in der Lage, korrigierende
Herstellungstaktiken zu bestimmen, um eine Übereinstimmung mit vorgegebenen
Geschäftsregeln
sicherzustellen.
- 2. TIC (tool integration component = Werkzeugintegrations-Komponente)
liefert Zweiweg-Kommunikation
zwischen der DFS/F und verschiedenen Ausrüstungstypen. Sie ist in der
Lage, durch Werkzeugprotokolle, beispielsweise SECS (SEMI – Semiconductor
Equipment and Materials International – Equipment Communication Standard
= SEMI – Internationaler
Ausrüstungskommunikationsstandard
für Halbleiterausrüstung und
Materialien), GEM (generic equipment model = allgemeines Ausrüstungsmodell)
und VFEI (virtual factory equipment interface = virtuelle Fabrikausrüstungs-Schnittstelle)
zu kommunizieren. SECS, GEM und VFEI sind Werkzeugprotokolle, die
dem Durchschnittsfachmann bekannt sind.
- 3. EMC (equipment managemt component = Ausrüstungsmanagementkomponente)
löst die
unterschiedlichen Ausrüstungszustände in SEMI-E10-Zustände auf,
die ein neuartiges Hierarchiemodell verwenden, um einzelne Werkzeuge in
den Kammern in Gruppenwerkzeugen zu verfolgen.
- 4. RMC (recipe management component = Rezeptmanagementkomponente)
liefert die Definition, die Auswahl und die Verteilung von Rezepten an
die Ausrüstung,
beispielsweise die Fabrikationswerkzeuge.
- 5. DSC (dispatching and scheduling component = Absende- und
Zeitplanungskomponente) zum Zeitplanen und Absenden von Fabrikaufgaben einschließlich der
Verarbeitung und der Wartung.
- 6. MHC (material handling component = Materialhandhabungskomponente)
als Stichstelle mit der Materialhandhabungsausrüstung.
- 7. WMC (WIP – work
in progress-management component = WIP-Managementkomponente für in Ausführung befindlicher
Arbeit) ist vorgesehen, um die Verfolgung von Wafern, Serien, Chargen und
Trägern
bereitzustellen, wodurch Eigeninitiative-Geschäftsentscheidungen, beispielsweise: „Wenn, dann" unterstützt werden.
WIP bietet eine Gruppenwerkzeugseinrichtung und -kontrolle, wodurch
MES an Waferchargen in dem Gruppenwerkzeug bereitgestellt wird.
- 8. Altbestandsystemschnittstelle, die eine Komponente ist, um
auf existierende Fabriksoftware zuzugreifen.
-
Ein
dritte Facette von DFS/F der vorliegenden Erfindung umfasst verschiedene
Etagen, die in FW-Komponenten,
Anwendungskomponenten und gemeinsamen Herstellungsblocks vorhanden
sein können.
Beispielsweise kann dies eine drei Etagen-Facette sein wie folgt.
Eine erste Etage umfasst Klienten, die die Dienstleistungen von
anderen SW-Programmen oder -Komponenten, beispielsweise visuelle
WF-Jobs, GUIs und Kundenprogramme, beispielsweise VB (virtual Basic
= virtuelles Basic) verwenden. Eine zweite Etage umfasst Anwendungen
oder FW-Server, die beispielsweise MTS/DCOM für die Kommunikation mit DCOM
verwenden. Eine dritte Etage umfasst eine DB-Maschine, beispielsweise
Oracle, die eine ODB (open database connectivity = Connectivity
einer offenen Datenbank)-Schnittstelle verwendet. Alle DFS/F-Komponenten
verwenden diese drei Etagen, während
gemeinsame Herstellungsblocks in einer oder mehreren dieser Etagen
je nach der Struktur und der Funktion des Herstellungsblocks verwendet
werden können.
-
FW-Komponenten
sind verschiedenen Lebenszyklusaktivitäten des FALC
200 zugeordnet.
Repräsentative
Beispiele für
diese Zuordnungen sind in Tabelle IV gezeigt. Tabelle
V FW-Komponenten,
die FALC – 200 – Lebenszyklusaktivitäten zugeordnet
sind
FALC 200 | FW-Komponente |
Lebenszyklusaktivität | |
220 | SC,
GCC, PLMC, SMC |
230 | CRC,
CMC, CC |
250 | VWC,
RCC, EVMC, BRC |
260 | DMC |
-
FW-Komponenten
eines FALC der vorliegenden Erfindung, beispielsweise des FALC 200, sind
in der Lage, miteinander in Wechselwirkung zu treten, so dass sie
zusammen arbeiten. Beispielsweise kann ein Fabrikmodell revidiert
werden, wie in 7 gezeigt ist, indem ein Austausch
von Nachrichten zwi schen einer GCC (GUI – console component = GUI-Konsolenkomponente) 310,
einer CMC (configuration management component = Konfigurationsmanagement-Komponente) 312 und
einer VWC (visual workflow component = visuelle Arbeitsablaufkomponente) 314 verwendet
wird. Änderungen
in dem Fabrikmodell werden gesammelt, um eine ECM (engineering change
notice = Ingenieurleistung-Änderungsnotiz)
in einer CMC, beispielsweise der CMC 312, die in 7 gezeigt
ist, herzustellen. Die ECM 316 ist offen (7),
um Änderungen
in dem Fabrikmodell zu sammeln. Die resultierenden ECM-Daten 318 werden
von der GCC 310 während
der Ausgabe des VWC-Arbeitsablaufs 320 verwendet. Der Arbeitsablauf
wird durch eine in der GCC 31 enthaltene GUI 322 angezeigt
und editiert. Die Änderung
des VWC-Arbeitsablaufs wird an die VWC in dem Schritt 324 zurückgeführt, und
die VWC 314 fügt
dann den veränderten
Arbeitsablauf zu der CMC-ECM in dem Schritt 326 hinzu.
-
Eine
beliebige Anwendungskomponente des neuartigen DFS/F kann an dem
DFS/F teilnehmen, indem die benötigten
Dienstleistungen von der geeigneten FW-Komponenten implementiert
werden, wodurch ein FW-Rahmenwerk vom Typ „Einschalten und Spielen" verbildet wird,
wie in 8 schematisch gezeigt ist, wobei FW- oder Anwendungsserver
verwendet werden, die durch den Austausch von Nachrichten miteinander
arbeiten. Wie in 8 gezeigt ist, verwenden FW-Komponenten,
die FW-Komponentenserver
für CMC 410,
VWC 412, DMC 414, EMC 416, GCC 418 und
SC 419 verwenden, gemeinsame Serviceprotokolle, um Serviceleistungen
an Anwendungskomponenten zu liefern, die Anwendungskomponentenserver
für EMC 420,
WMC 422, DSC 424, QMC 426, TIC 428 und
eine Gateway-Komponente 429 verwenden. Diese Serviceleistungen
werden durch gemeinsame Serviceprotokolle 430 unter Verwendung
von beispielsweise DCOM-Kommunikation weitergeleitet. Diese SW-Technik
der vorliegenden Erfindung ermöglicht
es einem Benutzer, die Verarbeitungs- und Ausrüstungs-MES-Befehle durch Dateneingaben zu verändern, statt
durch Kodierung, so dass die Notwendigkeit für zeitaufwändige Programmierungsänderungen,
die spezielle Fertigkeiten erfordern, eliminiert wird. Die Anwendungskomponenten
erfordern eine wirksame Kommunikation mit integrierten Teilen der
Ausrüstung,
beispielsweise den Waferfabrikationswerkzeugen und der Materialhandhabungsausrüstung, um
die MES-Befehle an die Controller der Waferfabrikationswerkzeuge
und/oder an andere Ausrüstungen
auszuführen.
Typische Controller umfassen Prozessoren, beispielsweise Mikroprozessoren,
beispielsweise On-board-angeordnete Rechner, Computer betriebene
Software und mechanische/elektrische Controller, beispielsweise Schalter
und elektrische Schaltungen, die beispielsweise einen variablen
Widerstand, beispielsweise einen Potentiometer, verwenden.
-
DFS/F
der vorliegenden Erfindung umfasst eine neuartige TIC-Anwendungskomponente
(Tabelle IV), um die Kommunikation zwischen den verschiedenen DFS/F-Komponenten
unter Ausrüstung,
beispiels weise den Waferfabrikationswerkzeugen, dadurch zu vereinfachen,
dass grundlegende Ausrüstungskontroll-Feststellungsblocks
bereitgestellt werden, die in einem VWC (Tabelle III)-Arbeitsablauf
assembliert werden können,
um eine Maschine zu steuern. TIC liefert Serviceleistungen, die
das Versenden und Empfangen von VFEI-Meldungen oder Befehlen zu
und von der Ausrüstung
umfassen. Eine Sequenz dieser Befehle oder Nachrichten stellt eine
Geschäftslogik
dar, beispielsweise Befehle zur Steuerung eines Werkzeuges. Diese
Art von Sequenzen kann in einem VWC-Arbeitsablauf definiert werden. TIC
liefert die Herstellungsblocks, die verwendet werden, um Befehle
oder Meldungen an ein Werkzeug zu senden und um Meldungen oder Informationen von
dem Werkzeug zu empfangen, und um die empfangenden Meldungen oder
die empfangene Information an andere DFS/F-Komponenten weiterzugeben.
TIC ist Teil der Kommunikationsverbindung zwischen DFS/F und der
Ausrüstung,
beispielsweise den Waferfabrikationswerkzeugen.
-
Die
TIC der vorliegenden Erfindung umfasst eine neuartige Kombination
von einem TIP (tool interface program = Werkzeug-Schnittstellenprogramm) und
einem neuartigen TIC-Adapter. TIP wird für jede Maschine oder jeden
Werkzeugtyp bereitgestellt, um VFEI-Befehle oder -Meldungen an eine
Schnittstelle, beispielsweise SECS, einer Maschine und deren Steuerung,
beispielsweise die Steuerungs-SW weiterzugeben. Ausrüstung, die
geeignet ist, um mit dem neuartigen DFS/F zu kommunizieren, hat
einen TIP-Auftritt, d. h. einen auf die Ausrüstung abgestimmten SW-Prozess,
der als Vermittler zwischen der Ausrüstung und dem DFS/F läuft. Ein
Beispiel eines geeigneten Kommunikationsprotokolls zwischen einem
TIP-Auftritt für
eine Maschine und DFS/F ist ein VFEI-Protokoll auf DCOM. Zusätzlich ist
daran gedacht, ein neuartiges VFEI+-Protokoll auf DCOM bereitzustellen,
bei dem VFEI+-Verbesserungen
für die
Verwaltung, für
die Modellierung und für
die RPC (remote procedure call = Fern-Prozeduraufruf)-Natur des
DCOM umfasst. Es ist daran gedacht, TEP auf verschiedenen Computern
zu verteilen, beispielsweise, wenn diese Computer in durch Computer
integrierten Waferfabrikationswerkzeugen, die TIP-SW verwenden,
verwendet werden.
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Ein
TIC-Adapter der vorliegenden Erfindung ist ein Vermittler zwischen
DFS/F und TIPs, indem er beispielsweise gestattet, dass andere DFS/F-Komponenten
auf Werkzeugkapazitäten
durch generalisierte Befehle zugreift, die der Adapter dann auf
die Bedürfnisse
der spezifischen TIP-Vorgänge
des Werkzeuges anpasst. Dies ist in dem folgenden Beispiel zum Sammeln
von Messungen unter Verwendung eines Methodologie-Werkzeuges in
der Waferfabrikation beschrieben, die unterschiedliche Werkzeuge
zum Sammeln von Messungen zur Verfügung hat. Diese neuartigen
Techniken sind geeignet, um das Sammelverfahren in einem VWC-WF
einzubitten, welches dann einen Benutzer, beispielsweise einen Prozesstechniker
oder einen Ingenieur in die Lage versetzt, identische Messanfragen
an die TIC zu senden. Der TIC-Adapter übersetzt dann die Anfrage in
Werkzeugspezifische VFEI-Anfragen basierend auf dem speziellen Werkzeug,
das beim Lauf ausgewählt
ist. Diese Techniken der vorliegenden Erfindung sind in der Lage,
beispielsweise einen einzigen QMC (quality management component
= Qualitätsmanagement-Komponente)
Datensammelplan zu definieren, der dann in unterschiedlichen Werkzeugen
verwendet werden kann, die dieselben Arten von Daten sammeln, weil
der TIC-Adapter die Datenparameternamen von dem allgemeinen Namen
in dem QMC-Plan in spezielle Namen übersetzen kann, die durch spezifische
Ausrüstungstypen
oder Werkzeuge gefordert werden.
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Vorteilhafterweise
kann ein TIC-Adapter auch eine Protokollumsetzung zwischen Kommunikationen
im Stil von DFS/F und TIPs durchführen. Dies ist eine nützliche
Funktion, weil viele DFS/F-Komponenten unter Verwendung von MTS aufgebaut
sind und so ausgelegt sind, dass sie durch direkte Datenverarbeitung
und zustandslos funktionieren. Beispielsweise sind in DFS/F-Servern
sowohl Anfrage- als auch Verarbeitungsserviceleistungen „synchron", d. h. Serviceleistungen,
von denen erwartet wird, dass sie in einer vorhersagbaren, kurzen Verarbeitungszeit
von einer Sekunde oder weniger abgeschlossen sind, oder Serviceleistungen,
die als langlaufend betrachtet werden und die ein LRSP (long running
service protocol = lang laufendes Serviceprotokoll) verwenden. Wie
er hier verwendet wird, umfasst der Begriff „lang laufende Serviceleistung" Serviceleistungen,
die eine Gesamtlaufzeit haben, die nicht vorhergesagt werden kann
und die daher für
DB-Verriegelungstechniken ungeeignet sind, die typischerweise im
Zusammenhang mit herkömmlichen
Serviceleistungen, beispielsweise synchronen Serviceleistungen,
verwendet werden. Es ist daran gedacht, die Dienstleistung durch
einen Server auf MTS-Basis
unter Verwendung eines verhältnismäßig kurzlebigen
MTS-Threads zu verarbeiten, wobei jeglicher, langfristiger Status
in einer DB gesichert wird. Es ist daran gedacht, dass Serviceleistungsanfragen auf
einem Modell der DCOM-RCM-Art begründet werden kann, wo eine Serviceleistung
angefordert wird, auf die dann eine Rückantwort folgt. Der TIC-Adapter
ist ein Vermittler zwischen DFS/F und TIPs.
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Ein
Beispiel einer neuartigen TIC ist in 9 gezeigt,
die ein neuartiges DFS/F 500 mit einer TIC 520 der
vorliegenden Erfindung zeigt. In dem vorliegenden Beispiel wurde
ein verteilter Rechner mit Knoten A, B und C verwendet. Die DFS/F-Komponenten 510 hatten
eine Kommunikation mit den Fabrikationswerkzeugen 538 und 548 mit
Hilfe der TIC 520. MES-Befehle für die Werkzeuge 538 und 548 werden
von den Komponenten 510 an den neuartigen TIC-Adapter 522 der
TIC 520 gesendet. Beispielsweise können Befehle zum Starten der
Verarbeitung eines Materials von einer DFS/F-Komponenten 510,
beispielsweise einem VWC-Arbeitsablauf, durch die TIC 520 an
das Werkzeug 538 übermittelt werden.
Auf den TIC-Adapter wurde durch einen MTS-Server an dem Knoten A
zugegriffen. Die Befehle für
das Werkzeug 538 werden von dem TIC-Adapter 522 über ein
VFEI-Protokoll auf TCOM 532 an einen TIP- Auftritt 534 auf
dem Knoten B übermittelt. Der
TIP-Auftritt 534 hat dann diese Befehle an das Werkzeug 538 unter
Verwendung eines SECS-Protokolls 537 des Werkzeugs 538 übertragen.
Auf ähnliche
Weise wurden die Befehle für
das Werkzeug 548 von dem TIC-Adapter 522 an einen
TIP-Auftritt 544 an dem Knoten C durch ein VFEI-Protokoll
auf DCOM 542 übermittelt.
Der TIP-Auftritt 544 hat die Befehle an das Werkzeug 548 unter
Verwendung eines SECS-Protokolls 536 des Werkzeugs 548 übermittelt.
Auch eine DB (nicht gezeigt) kann vorgesehen sein, auf die durch
den TIC-Adapter 522 zugegriffen werden kann, um TIC-Daten,
beispielsweise Netzwerkorte spezifischer TIPs, unter Verwendung solcher
Verfahren und Techniken, wie sie dem Durchschnittsfachmann bekannt
sind, zu speichern und abzurufen.
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Die
TICs der vorliegenden Erfindung verwenden Microsoft-TCOM-Benachrichtigungstechnologie,
um Benachrichtigungen zwischen DFS/F-Komponenten der vorliegenden
Erfindung und einem TIC-Adapter und zwischen einem TIC-Adapter und den
Werkzeugschnittstellenprogramm-Objekten gemäß der vorliegenden Erfindung
zu senden. Ein TIC-Adapter ist unter Verwendung gemeinsamer Herstellungsblocks
der vorliegenden Erfindung, wie die in Tabelle II beschriebenen,
aufgebaut. Ein erfindungsgemäßer TIC-Adapter
kann unter Verwendung eines Microsoft-Transaktionsservers aufgebaut
sein. Der Adapter ist in der Lage, gleichzeitig Nachrichten von
vielen DFS/F-Komponenten und vielen TIP-Vorgängen
gleichzeitig zu managen. Ein TIC-Adapter der vorliegenden Erfindung
ist in der Lage, Informationen, beispielsweise anhängige Ereignisanfragen
zu sichern, d. h. die Befehle zu einem TIP, die eine Anfrage betreffen,
dass das Werkzeug einen bestimmten Status oder ein Betriebsereignis
melden sollte. Diese Information kann beispielsweise unter Verwendung
von Oracle-Datenbanktechnologien gesichert werden, die dem Durschnittsfachmann
bekannte Techniken verwendet.
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10 zeigt
eine Sequenz von Benachrichtigungen von einem VWC 610,
der ein Geschäftsverfahren
ausführt,
das in einem VWC-WF definiert ist, an einen TIC-Adapter 612 und
dann weiter zu einem TIP-Auftritt 614.
Dieser TIP-Auftritt umfasst ein Werkzeug-Schnittstellenprogramm,
um eine Schnittstelle mit einer Verarbeitungsausrüstung (nicht
gezeigt), beispielsweise einem Waferfabrikationswerkzeug zum Herstellen
einer integrierten Schaltungsstruktur, herzustellen. Das VWC-Geschäftsverfahren
sendet einen Befehl an den TIC-Adapter 612, der einen Ereignisaufbau 616 anfordert,
welches eine Anfrage zum Berichten eines Ausrüstungsereignisses ist, beispielsweise
der Bericht über
den Abschluss eines Waferfabrikationsverfahrens. Die Ereignis-Aufbauanfrage
wird dann über 618 zu
dem TIP-Auftritt 614 weitergeleitet, was danach der VWC 610 bestätigt wird 620.
Die VWC fordert dann einen Ereignisbericht 622 an, der
die Ereignis-Aufbauanfrage von dem TIC-Adapter 612 betrifft.
Die Ereignis-Berichtanfrage 622 wird
in dem Schritt 624 bestätigt.
Wenn das angeforderte Ereignis an der Ausrüstung auftritt, wird ein Bericht,
der das Ereignis betrifft, von dem TIP-Auftritt 614 zu
dem TIC-Adapter 612 mitgeteilt 626, der dann eine Überprüfung macht,
um festzustellen, ob es eine anstehende Berichtanforderung gibt.
Wenn es eine anstehende Berichtanforderung gibt, beispielsweise die
Anforderung 622, liefert der TIC-Adapter 612 den angeforderten
Bericht 628 an die VWC-WF und bestätigt die Lieferung 630 des
Ereignisberichts an den TIP-Auftritt 614. Wahlweise kann
die VWC-Geschäfts-WF
eine Schleife ausführen,
wobei zusätzliche
Ereignisberichte angefordert werden. Sobald die angeforderten Berichte
von dem Werkzeug empfangen worden sind, endet die Schleife, und
die VWC-WF sendet einen Abschlussbefehl an die TIC, um das Werkzeug über seine
TIP zu benachrichtigen, dass die angeforderten Ereignisberichte
nicht weiterhin gesendet werden sollen. Es ist zu beachten, dass
der TIP-Auftritt 614 ein Protokoll benötigen könnte, beispielsweise SECS (nicht
gezeigt), um mit der Ausrüstung
in Kommunikation zu treten.
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Wie
in den vorstehenden Beispielen gezeigt ist, stehen Anwendungskomponenten,
beispielsweise TIC, mit FW-Komponenten, beispielsweise VWC (Tabelle
III) in Kommunikation und benutzen diese. Zusätzlich kann eine spezielle
FW-Komponente mit einer anderen FW-Komponenten kommunizieren und
ihre Serviceleistungen ausnutzen. Beispielsweise können alle
FW-Komponenten die gemeinsame Sicherheits-FW-Komponente benutzen,
um den Zugriff auf Serviceleistungen zu regeln, die diese FW-Komponenten bereitstellen
können,
wie in 8 gezeigt.
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Die
Fähigkeit
zu „Einschalten
und Spielen" einer
FWC werden beispielsweise durch WFs gezeigt, bei denen die VWC eine
Technik zum Definieren eines Geschäftsprozesses ist, beispielsweise eine
WV, die später
als ein Job ausgeführt
wird. WFs sind graphische Darstellungen von Geschäftsprozessen,
die für
die Herstellung eines Produkts definiert werden, beispielsweise
einer Halbleiterstruktur, die typischerweise viele Verarbeitungsschritte,
Ausrüstungsschritte,
Bewegungsschritte, Entscheidungsschritte und Datenschritte umfasst.
Jeder dieser Schritte ist als ein Schritt in einer WF definiert.
WFs können
Bewegungen, Entscheidungen, Qualitätsaktivitäten und Ausrüstungsbefehle
umfassen. WFs werden unter Verwendung von Techniken von „Ziehen
und Ablegen" in
einer graphischen Computerumgebung unter Verwendung von Techniken
hergestellt, die dem Durchschnittsfachmann bekannt sind. Sobald
sie definiert ist, wird eine WF als Job ausgeführt. Beispielsweise kann eine
WF ausgeführt
werden, um eine Charge eines Produkts zu erzeugen.
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Das
DFS/F der vorliegenden Erfindung kann verwendet werden, um die Produktion,
beispielsweise einen Waferfabrikationslauf, mit Hilfe der WIP-Management-Anwendungskomponenten
(Tabelle IV) wie folgt zu starten. Ein Benutzer, beispielsweise
ein Prozessingenieur, definiert, wie ein spezielles Produkt gemacht
wird, indem eine WF in der VWC erzeugt wird, die die Sequenz der
Schritte definiert, die zur Herstellung des Produkts erforderlich
sind. Diese Sequenz kann beispielsweise ein Waferfabrikationsrezept
umfassen. Der Benutzer startet dann die Charge unter Verwendung
der Serviceleistung der WIP-Management-Anwendungskomponenten
oder der GUI, wodurch die VWC aufgefordert wird, die WF für die Charge
zu starten. Zusammenfassend verwendet die WIP die VMC als eine Dienstleistung,
um die Verarbeitungsschritte zu definieren, und danach, um tatsächlich Produktionschargen
herzustellen/fabrizieren.
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Die
Herstellungsblocks liefern eine gemeinsame Funktionalität für die neuartigen
DFS/F-Techniken, um den Aufbau einer Anwendung und der FW-Komponenten
zu erleichtern. Beispielsweise kann ein DFS/F-Klassifizierungs-Herstellungsblock (Tabelle
II) in der EMC-Anwendungskomponenten (Tabelle IV) verwendet werden,
um Ausrüstung
zu klassifizieren. Sie kann auch in der WIP-Management-Anwendungskomponenten
(Tabelle IV) verwendet werden, um Produkte zu klassifizieren. Dieser
Herstellungsblock umfasst drei DFS/F-Etagen. Eine erste Etage verwendet
DFS/F-GUI in der GCC, um die Klassifizierungsinformationen zu betrachten und
zu modifizieren oder auf den neuesten Stand zu bringen. Eine zweite
Etage umfasst SW-Code/Logik, die in dem Komponentenserver, beispielsweise EMC- oder WMC-Server,
bereitgestellt wird. Diese spezielle SW definiert, wie die Klassifizierungen
spezifiziert sind. Beispielsweise versetzt diese SW einen Benutzer
in die Lage, ein spezielles Waferfabrikationswerkzeug, beispielsweise
eine Ätzvorrichtung,
zu klassifizieren. Die Klassifizierungs-Herstellungsblock-SW wird in den Komponentenservern
durch beispielsweise C++-Fähigkeit,
d. h. die Fähigkeit, Ressourcen
und Attribute von den Komponentenservern nach unten zu den spezifischen
Merkmalen eines speziellen Produktes, Verfahrens oder einer Maschine
weiterzugeben. Eine dritte Etage umfasst eine DB-Tabellendefinition,
die von der Komponenten-Serverlogik verwendet wird, um die Klassifizierungsinformation
zu speichern und abzurufen.
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Digital
kodierte Datenstrukturen oder Informationen des neuartigen DFS/F
oder seiner Komponenten und Herstellungsblocks können auf einem abnehmbaren,
elektronischen Datenspeichermedium oder einer derartigen Vorrichtung,
beispielsweise Computerdisketten, entfernbare Computerfestplatten,
Magnetbänder
und optischen Platten, gespeichert werden, um die Verwendung desselben
Typs an unterschiedlichen Verarbeitungsstellen zu erleichtern. Alternativ
kann die Datenstruktur oder die Information auf einem nicht-flüchtigen,
elektronischen Datenspeichermedium, einschließlich einem Medium, das an
einer Stelle angeordnet ist, die von dem Werkzeug entfernt liegt,
unter Verwendung solcher Speichervorrichtungen gespeichert werden,
die dem Durchschnittsfachmann bekannt sind. Die Datenstrukturen
oder die Information kann von einer entfernt liegenden Stelle zu
einer zentralen Datenverarbeitungseinheit oder zu einem Computer
unter Verwendung von Kommunikationstechniken übertragen werden, die dem Durchschnittsfachmann
bekannt sind, einschließlich
fest verdrahtete Anschlüsse, drahtlose
Anschlüsse
und Datenkommunikationsverfahren, die eines oder mehrere Modems
oder Techniken verwenden, die einen oder mehrere Computer, die gewöhnlich als
Server bekannt sind, verwenden. Sobald das DFS/F oder seine Komponenten
oder Herstellungsblocks installiert sind, werden sie gemeinsam in
einer Datenspeichervorrichtung oder einem Speicher eines dedizierten
Computers oder einem verteilten Computersystem gespeichert, das
mit dem Verarbeitungssystem und seiner Ausrüstung integriert ist, wobei
solche Datenspeichertechniken verwendet werden, die dem Durchschnittsfachmann bekannt
sind.
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Es
ist daran gedacht, neuartige Produkte bereitzustellen, die digital
kodierte Datenstrukturen oder Informationen eines neuartigen DFS/F
oder seiner Komponenten oder Herstellungsblocks umfassen, die in
einem Speicher, beispielsweise einem abnehmbaren, elektronischen
Datenspeichermedium oder einer solchen Vorrichtung gespeichert sind.
Es ist daran gedacht, eine neue, durch Computer integrierte Vorrichtung
mit einem Speicher oder einer Datenspeichervorrichtung zum Speichern
elektronischer oder digitaler Daten, eine zentrale Verarbeitungseinheit
oder einen Computer und Verarbeitungsausrüstung freizustellen, in dem
das DFS/F oder seine Komponenten oder Herstellungsblocks in der
Datenspeichervorrichtung gespeichert sind.