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Die
vorliegende Erfindung betrifft einen Messtastkopf, der auch als
ein Analog- oder Proportionaltastkopf bekannt ist und beispielsweise
an einer Koordinatenpositionierungsmaschine, wie beispielsweise
einer Koordinatenmessmaschine oder einer Werkzeugmaschine verwendet
werden kann, um die Gestalt, die Form oder Abmessungen eines Objektes zu
messen.
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Ein
Messtastkopf umfasst typischerweise einen relativ fixierten Aufbau,
der gewöhnlich
die Form eines Gehäuses
aufweist, und einen relativ bewegbaren Aufbau, dessen Funktion darin
besteht, einen mit einem Werkstück
in Kontakt tretenden Taster zu halten und der daher häufig als
ein Tasterhalter bezeichnet wird. Der Tasterhalter ist in dem Gehäuse durch
einen Mechanismus aufgehängt,
der eine relative Bewegung des einen relativ zu dem anderen vorsieht.
Die relative Verstellung des Tasterhalters und des Gehäuses (und
daher Änderungen
der relativen Verstellung während
der relativen Bewegung) ist durch einen oder mehrere Wandler erfassbar,
die gewöhnlich
an dem Gehäuse
des Tastkopfs befestigt oder anderweitig darin vorgesehen sind.
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Im
Gebrauch sind der Tastkopf und ein Werkstück, das überprüft werden soll, an relativ
bewegbaren Teilen der Vorrichtung befestigt (wobei der Tastkopf
an der Vorrichtung durch das Gehäuse
befestigt ist, wodurch sich der Taster frei bewegen kann), und die
Vorrichtung wird betätigt,
um den Taster in Kontakt mit einer Oberfläche des Objektes zu bringen, dessen
Form-, Abmessungs- oder Konturinformation benötigt wird. Während der
Taster in Kontakt mit der Oberfläche
steht, geben die Wandler ausgaben von dem Tastkopf direkt die Beziehung
zwischen dem Teil der Vorrichtung, an dem der Taster befestigt ist,
und der zu prüfenden
Oberfläche
an. Die Position eines Punktes auf der Oberfläche bezüglich eines fixierten Referenzpunktes
an der Vorrichtung kann somit aus Signalen, die die relative Position
der beiden relativ zueinander bewegbaren Teile der Vorrichtung angeben,
und den Wandlerausgängen
des Tastkopfes bestimmt werden.
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Eine
bekannte Form eines Analogtastkopfes ist in dem europäischen Patent
Nr. 544 854 offenbart, der ein Gehäuse aufweist, relativ zu dem
ein Tasterhalter durch einen Mechanismus aufgehängt ist, der eine erste flexible
Membran umfasst, die den Tasterhalter mit einem Zwischenelement
verbindet, das dann seinerseits mit dem Gehäuse über zwei weitere zueinander
parallele, flexible Membrane verbunden ist. Ein ähnlicher Aufbau eines Tastkopfes
ist in dem europäischen
Patent 426 492 offenbart. Beide Tastkopfanordnungen nach dem Stand
der Technik sehen eine lösbare
Befestigung eines Tasters an dem Tasterhalter über Magnete und gegenseitig
in Eingriff bringbare Elemente vor, die eine wiederholbare kinematische
Anordnung bilden. Dies erlaubt, dass ein Anwender die Konfiguration
des Tasters in Abhängigkeit
von einer jeweiligen Überprüfungsaufgabe,
die mit dem Tastkopf durchgeführt
werden soll, ändern kann.
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Gemäß der vorliegenden
Erfindung umfasst ein Messtastkopf ein Gehäuse mit einer Achse, einen Tasterhalter,
der sich entlang der Achse erstreckt und mit dem ein Taster verbindbar
ist, und ein Aufhängungssystem
für den
Tasterhalter, wobei das Aufhängungssystem
zumindest ein Paar von im Wesentlichen planaren elastischen Vorrichtungen
umfasst, die zwi schen dem Tasterhalter und dem Gehäuse verbunden
sind und in einer ersten und zweiten parallelen Ebene liegen, die
rechtwinklig zu und voneinander beabstandet entlang der Achse angeordnet sind,
wobei die beiden elastischen Vorrichtungen eine beschränkte axiale
Bewegung des Tasterhalters zulassen, dadurch gekennzeichnet, dass
zumindest eine der elastischen Vorrichtungen in ihrer Ebene ausreichend
flexibel ist, um eine beschränkte
Querbewegung des Tasterhalters in der Ebene der zumindest einen
elastischen Vorrichtung zuzulassen.
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Um
die erforderliche Flexibilität
der oder jeder der flexiblen Membrane zu erreichen, sind ein oder
mehrere Kanäle
durch die jeweilige Membran hindurch vorgesehen.
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Bei
einer Ausführungsform
sind die Membrane identisch, und die Kanäle besitzen eine im Wesentlichen
spiralförmige
Gestaltung, wobei jede Membran drei derartige Kanäle aufweist,
die um 120° um
den Umfang herum versetzt sind. Aufgrund einer derartigen Anordnung
wird ein relativ einfacher und reibungsfreier Aufhängungsmechanismus
zusammen mit einem relativ kompakten Aufbau erzielt.
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Mit
einem derartigen Aufhängungsmechanismus
wird der Tasterhalter bezüglich
des Gehäuses
bei der Ausübung
einer Kraft auf den Taster entweder linear in der Richtung der Tastkopfachse
oder in einer schrägen
bzw. gekippten Weise in Ebenen, die im Wesentlichen quer zu der
Tastkopfachse liegen, verstellt. Die Erfassung der linearen Axialverstellung
und der Schrägverstellung
des Tasterhalters sehen für
eine gegebene Länge
des Tasters eine Angabe der Position der Erfassungsspitze des Tasters vor.
Da der Aufhängungsmechanismus
eine Schrägstellungswir kung
vorsieht, erzeugen für
eine gegebene lineare Ablenkung quer zu der Achse an der Tasterspitze
verschiedene Längen
von Tastern einen unterschiedlichen Grad an Schrägstellung des Tasterhalters
bezüglich
des Tastkopfgehäuses.
Dies wird typischerweise bei der Kalibrierung der Vorrichtung, an
der der Tastkopf verwendet werden soll, berücksichtigt.
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Alternativ
dazu kann das verwendete Wandlersystem derart ausgebildet sein,
dass es verschiedene Längen
von Tastern kompensiert, die verschiedene Schrägstellungswinkel für eine gegebene
Verstellung quer zu der Achse an der Tasterspitze erzeugen.
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Das
verwendete Wandlersystem ist bevorzugt ein optisches System, das
eine Lichtquelle umfasst, die einen Lichtstrahl aussendet, der auf
ein an dem Tasterhalter befestigtes optisches Merkmal auftrifft,
wobei der Lichtstrahl dann an einen photosensitiven Detektor geführt wird,
der in Abhängigkeit
von der Einfallposition des Lichtstrahls auf seiner photosensitiven
Fläche
eine Ausgabe erzeugt.
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Das
optische Merkmal ist bevorzugt durch ein reflektierendes oder (strahlen-)
brechendes Element vorgesehen, das mit einem einfallenden Strahl in
Wechselwirkung steht und den Strahl bei Wechselwirkung mit dem Merkmal
um einen Winkel reflektiert oder bricht, der durch einen oder mehrere
optische Parameter des Merkmals bestimmt ist. Somit können durch Ändern der
optischen Parameter, die die reflektierende oder brechende Wechselwirkung
bestimmen, verschiedene Schrägstellungswinkel
des Tasterhalters (entsprechend der unterschiedlichen Schrägstellung,
die durch eine gegebene Spitzenablenkung für unterschiedliche Tasterlängen erzeugt wird)
dieselbe Einfallposition des reflektierten oder gebrochenen Strahls
auf dem sensitiven Detektor zur Folge haben, wodurch eine konstante
Ausgabe für eine
konstante Spitzenablenkung quer zu der Achse erzeugt wird, die von
der Tasterlänge
unabhängig
ist.
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Bei
einer Ausführungsform
ist das optische Merkmal durch einen Spiegel vorgesehen, dessen Krümmung von
der Tasterlänge
abhängig
ist, wobei längere
Tasterlängen
eine größere Krümmung des Spiegels
aufweisen, um sicherzustellen, dass eine kleinere Schrägverstellung
aufgrund der Reflexion des einfallenden Lichtstrahls auf den gekrümmten Spiegel
denselben Ablenkungswinkel erzeugt. Bei einer alternativen Ausführungsform
beispielsweise wird das optische Merkmal durch eine Fresnel-Linse vorgesehen.
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Nachfolgend
werden Ausführungsformen der
vorliegenden Erfindung nur beispielhaft unter Bezugnahme auf die
begleitenden Zeichnungen beschrieben, in welchen:
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1 ein Schnitt durch eine
erste Ausführungsform
eines Messtastkopfes gemäß der vorliegenden
Erfindung ist;
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2 ein Schnitt bei II–II in 1 ist;
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3 ein Schnitt bei III–III in 1 ist;
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4 ein Schnitt bei IV–IV in 1 ist;
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5 ein Schnitt durch eine
zweite Ausführungsform
eines Messtastkopfes gemäß der vorliegenden
Erfindung ist; und
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6 ein teilweiser Schnitt
durch eine andere Ausführungsform
der Erfindung ist, die einen alternativen optischen Wandler zeigt.
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Wie
in 1 zu sehen ist, umfasst
ein Messtastkopf ein Wandlermodul 10, an dem ein Aufhängungsmodul 12 lösbar wie
auch wiederholbar befestigt werden kann. Der Wandler wie auch die
Aufhängungsmodule 10, 12 besitzen
jeweils einen relativ fixierten Aufbau, der durch Gehäuse 14a bzw. 14b vorgesehen
wird. Die lösbare
Befestigung des Aufhängungsmoduls 12 an
dem Wandlermodul 12 erfolgt aufgrund von gegenseitig miteinander
in Eingriff bringbaren Anordnungselementen, die in der Form von
Kugeln 16 an dem Gehäuse 14a des
Wandlermoduls vorgesehen sind und in V-Nuten 18 an dem Gehäuse 14b des
Aufhängungsmoduls
in Eingriff bringbar sind, zusammen mit Magneten 20 an
den Gehäusen 14a und 14b,
die die Anordnungselemente 16, 18 in Eingriff
drängen.
Wenn das Aufhängungsmodul 12 an
dem Wandlermodul 10 angeordnet ist, wirken die Gehäuse 14a und 14b effektiv
als ein einzelner, relativ fixierter Gehäuseaufbau zusammen. Das Aufhängungsmodul 12 trägt einen
länglichen und
relativ starren Tasterhalter 40, der bezüglich des Gehäuses 14b durch
ein Paar axial beabstandeter, im Wesentlichen planarer Membrane 42, 44 aufgehängt ist.
Da sich die Verbindungen zwischen den beiden Modulen an den Gehäuseteilen
befinden, trägt
das Aufhängungsmodul
lediglich den Tasterhalter und den Taster. Durch dieses Mittel wird
die Masse an dem Aufhängungsmodul
aus Gründen
einer erhöhten
Empfindlichkeit verringert.
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Der
Tasterhalter 40 ist mit den Membranen im Wesentlichen an
ihrem Zentrum verbunden, und das Gehäuse 14b ist mit den
Membranen an ihrem Umfang verbunden. Die Schwenkbewegung des Tasterhalters
erfolgt um einen Punkt, der abhängig
von der relativen Steifigkeit der beiden Membrane in der Ebene von
einer der Membrane oder an einer beliebigen axialen Position zwischen
den beiden positioniert sein kann.
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Wie
nun in 4 zu sehen ist,
ist jede der Membrane 42, 44 durch drei spiralförmige Kanäle 50 geschnitten,
die um 120° um
den Umfang herum versetzt sind. Die Kanäle haben die Wirkung, dass
die Steifigkeit der Membrane 42, 44 ausreichend
verringert wird, um eine begrenzte Querbewegung des Tasterhalters
in ihrer Ebene zuzulassen. Es ist somit möglich, dass der Tasterhalter
bezüglich
des Gehäuses
14b um entweder die x- oder y-Achsen schwenken kann und sich auch
bezüglich
des Gehäuses 14b entlang
der z-Achse bewegen kann.
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Die
Schwenkbewegung bei dieser Ausführungsform
erfolgt um einen Punkt an der Achse in dem Mittelbereich zwischen
den Ebenen der beiden Membrane.
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Die
Verwendung des Paares von quer flexiblen Membranen sieht eine einfache,
kostengünstige Tasterbefestigung
mit hoher Empfindlichkeit vor. Dieser Befestigungstyp kann so ausgebildet
sein, dass er für
niedrige Abtastkräfte
eine niedrige Federkonstante besitzt.
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Bei
dieser Ausführungsform,
in der die beiden Membrane relativ flexibel sind, kann es vorteilhaft
sein, eine dritte Membran hinzuzufügen, die im Mittelbereich zwischen
den beiden Membranen 142, 144 axial beabstan det
und in ihrer eigenen Ebene steif ist, um eine Querbewegung des Tasterhalters
in dieser Ebene zu verhindern, während
ein Schwenken des Tasterhalters um das Zentrum der Membran herum
zugelassen wird.
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Die
Vorteile des Zusatzes der dritten Membran liegen darin, dass sie
zu der baulichen Steifigkeit der Federkombination beiträgt und eine
hohe Resonanzfrequenz der Schwingung der Kombination beibehält. Durch
geeignete Konstruktion der dritten Membran kann die Gesamtfederkonstante
immer noch relativ niedrig gehalten werden, um so die Abtastkräfte nicht
erheblich zu erhöhen.
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Bei
einer alternativen Ausführungsform
ist eine der Membrane, bevorzugt die untere Membran 44,
so ausgebildet, dass sie in ihrer Ebene ausreichend steif ist, um
jegliche Querbewegung des Tasterhalters in dieser Ebene zu verhindern,
und die andere Membran 42 derart ausgebildet ist, dass
sie in ihrer Ebene flexibel ist, um so eine begrenzte Querbewegung
des Tasterhalters in dieser Ebene zuzulassen. Das Ergebnis daraus
ist, dass der Tasterhalter um das Zentrum der Membran 44 schwenkt,
wenn eine Querkraft an die Tasterspitze in der x-y-Ebene angelegt
wird.
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Durch
geeignete Auswahl der axialen Beabstandung der Membrane 42, 44 bezüglich ihrer
Steifigkeit in der x-, y-Ebene ist es auch möglich, das Aufhängungsmodul
derart auszubilden, so dass für
eine gegebene Länge
des Tasters, der mit dem Tasterhalter 40 verbunden ist,
im Wesentlichen gleiche Kräfte erforderlich
sind, um die Tasterspitze um denselben Betrag in der x-y-Ebene und
entlang der z-Achse abzulenken.
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Aufgrund
von Herstellungstoleranzen kann es schwierig sein, die Membrane
exakt planar in ihrem ungespannten Zustand zu halten, was dazu führen kann,
dass diese eine bistabile Ruheposition annehmen. Um dies zu vermeiden,
ist es möglich
sicherzustellen, dass die Membrane in ihre Ruheposition vorgespannt
sind.
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Eine
Bewegung des Tasterhalters 40 bezüglich der kombinierten fixierten
Struktur, die durch die Gehäuse 14a und 14b vorgesehen
wird, wird über Wandler
in dem Wandlermodul 10 erfasst. Es sind verschiedene Anordnungen
von Wandlern möglich.
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Wie
ferner in 2 zu sehen
ist, ist bei einer Wandleranordnung ein Blendenelement 60 starr
mit dem Tasterhalter 40 in dem Sinne befestigt, dass, wenn
das Aufhängungsmodul 12 an
dem Wandlermodul 10 befestigt ist, sich das Blendenelement 60 und
der Tasterhalter 40 gemeinsam bewegen. Das Blendenelement 60 besitzt
eine im Wesentlichen dreieckige Gestalt und trägt an jeder seiner Spitzen eine
Lichtquelle 62 (von denen in 2 nur
eine zu sehen ist). Licht von der Quelle 62 gelangt durch
einen Hohlraum 64, der in einem Schirm 66 vorgesehen
ist (dessen Zweck darin besteht, eine Kreuzkopplung zwischen den
einzelnen Wandlern zu verhindern) und gelangt dann durch einen relativ
schmalen, sich axial erstreckenden Schlitz 68. Ein Abbild des
Schlitzes 68, das durch hindurchgelangendes Licht gebildet
wird, fällt
auf einen positionssensitiven Photodetektor 70, dessen
Ausgabe eine Größe aufweist,
die von der Verstellung in der y-Richtung des einfallenden Bildes
des Schlitzes 68 abhängig
ist. Die Größe der Ausgabe
von dem positionssensitiven Detektor 70 gibt somit die
Verstellung in der y-Richtung des Tasterhalters 40 an.
Es sind zwei weitere Wandler vorgesehen, von denen einer einen weiteren,
sich axial erstre ckenden Schlitz 72 aufweist, um eine Angabe
der Verstellung des Tasterhalters in der x-Richtung zu ermöglichen,
und der andere einen Schlitz 74 aufweist, der sich im Wesentlichen
in der x-y-Ebene erstreckt, um eine Angabe der Verstellung des Tasterhalters 40 in
der Axial- oder z-Richtung vorzusehen.
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Der
Tasterhalter 40 kann von dem Blendenelement 60 außer Eingriff
bringbar sein, um den Wechsel bzw. Austausch von Modulen zuzulassen.
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Eine
Verbindung zwischen dem Tasterhalter 40 und dem Blendenelement
wird durch drei Kugeln 80 an dem Tasterhalter 40 vorgesehen,
von denen jede mit einer V-Nut 82 in Eingriff bringbar
ist, die an der Basis des Blendenelements vorgesehen ist. Magnete 84, 86 drängen die
Kugeln 80 in Eingriff mit den V-Nuten, wodurch von einem
Wechsel eines gegebenen Aufhängungsmoduls 12 zu
einem anderen eine wiederholbare Anordnung des Blendenelements 60 an
dem Tasterhalter 40 vorgesehen wird. Bei einer Abwandlung
kann das Blendenelement 60 starr an dem Tasterhalter 40 befestigt
sein, so dass ein Blendenelement einteilig mit einem Aufhängungsmodul ausgewechselt
wird. Bei dieser Abwandlung sind die Lichtquellen für die Wandler
an dem Gehäuse 14a des
Wandlermoduls befestigt, und das Blendenelement 60 würde somit
nur dazu dienen, die optischen Merkmale (in der Form der Schlitze)
vorzusehen, die für
den Betrieb des betreffenden Wandlers erforderlich sind.
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In 5 ist eine weitere Ausführungsform des
Messtastkopfs gezeigt, der ein Wandlermodul 110 umfasst,
an dem ein Aufhängungsmodul 112 an dem
Gehäuse 114a des
Wandlermoduls wiederholbar und lösbar über Kugeln 116 befestigt
werden kann, die mit V-Nuten 118 an dem Gehäuse 114b des Aufhängungsmoduls über Magnete 120 in
Eingriff gedrängt
werden.
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Ein
Tasterhalter 140 ist bezüglich des Gehäuses 114b des
Aufhängungsmoduls
durch ein Paar planarer, axial beabstandeter Membrane 142, 144 aufgehängt, die
eine Gestaltung aufweisen, die im Wesentlichen der in 4 der vorhergehenden Ausführungsform
gezeigten Gestaltung entspricht. Die Membrane werden während einer
Verbindung eines Tasters 150 mit dem Tasterhalter (wobei
die Verbindung typischerweise durch einen Schraubgewindeeingriff
erfolgt) aufgrund eines Paares von Schutzarmen 146 an einer Überdehnung
gehindert, die sich im Wesentlichen radial bezüglich der Tastkopfachse A erstrecken
und starr mit dem Tasterhalter 140 verbunden sind. Die
distalen Enden der Arme 146 erstrecken sich in Schlitze 148,
die in dem Gehäuse 114b des
Aufhängungsmoduls
mit einem kleinen Spielraum dazwischen vorgesehen sind. Während eines
Normalbetriebs des Tastkopfes kommen die Arme 146 nicht
in Kontakt mit den Seiten der Schlitze 148, und die Aufhängung des
Tasterhalters 140 bezüglich
des Gehäuses 114b wird
ausschließlich durch
die Membrane 142, 144 ausgeführt. Wenn an den Tasterhalter 140 um
die Achse A herum während der
Schraubgewindeverbindung des Tasters 150 ein Moment angelegt
wird, werden die Membrane 142, 144 anfänglich geringfügig bezüglich der
Achse A um den Umfang herum abgelenkt, bis der Spielraum zwischen
den distalen Enden der Arme 146 in den Schlitzen 148 aufgebraucht
ist, woraufhin das an den Tasterhalter 104 angelegte Moment über die
Arme in das Gehäuse 114b übertragen
wird. Somit werden die Membrane 142, 144 vor einem
Schaden aufgrund eines zu großen
Momentes geschützt.
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Zur
Erfassung einer Verstellung des Tasterhalters 140 bezüglich des
fixierten Aufbaus, der durch die starren, jedoch lösbar verbundenen
Gehäuse 114a, 114b vorgesehen
wird, sind optische Wandler vorgesehen. Bei diesem Beispiel werden zwei
Wandler verwendet, wobei jeder Wandler eine Laserdioden-Lichtquelle 200 umfasst,
die einen Strahl 210 auf ein optisches Merkmal projiziert,
wie beispielsweise einen Spiegel oder eine Fresnel-Linse 212,
die in einem Hohlraum 214 an dem oberen Bereich des Tasterhalters 140 angeordnet
ist. Das von dem optischen Merkmal 212 reflektierte Licht
fällt auf einen
positionssensitiven Detektor 220 ein, dessen Ausgabe die
Einfallposition des reflektierten Lichtes und daher die Verstellung
des Tasterhalters bezüglich
des fixierten Aufbaus des Tastkopfes angibt.
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Da
eine gegebene Verstellung der Spitze des Tasters 150 in
der x-y-Ebene für
verschiedene Tasterlängen 150 eine
unterschiedliche Winkelverstellung des Tasterhalters 140 bezüglich des
Gehäuses 114a, 114b erzeugt,
unterscheidet sich die Ausgabe von den Wandlern 220 für eine gegebene
Verstellung der Tasterspitze in der x-y-Ebene abhängig von
der Länge
des Tasters. Um dies zu kompensieren, ist es möglich, ein optisches Merkmal 212 vorzusehen,
wie beispielsweise einen geeignet gekrümmten Spiegel oder eine Fresnellinse
mit einer geeigneten Brechungsleistung, so dass unterschiedliche
Längen von
Tastern im Wesentlichen dieselbe Ausgabe an dem Wandler 220 für die gleiche
Verstellung der Tasterspitze in der xy-Ebene erzeugen.
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Bei
einer Abwandlung der gezeigten Ausführungsform von 5 kann das optische Merkmal an der oberen
Fläche
des Tasters 150 vorgesehen sein, der derart ausgebildet
ist, dass er sich weiter in das Gehäuse 114b hinein erstreckt.
Ein weiterer unabhängiger
Aspekt der vorliegenden Erfindung sieht somit einen länglichen
Taster für
einen Messtastkopf mit einem optischen Merkmal vor, das zur Verwendung
mit einem Wandler geeignet ist, wobei das Merkmal an dem von der
Spitze entfernten Ende des Tasters vorgesehen ist und eine oder
mehrere optische Eigenschaften abhängig von der Länge des Tasters
aufweist.
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Nachfolgend
wird eine weitere Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf 6 beschrieben, die einen Teil eines Tastkopfes
zeigt, dessen Aufbau ähnlich
zu dem ist, der in 5 zu
sehen ist. Die Komponenten, die identisch zu den in 5 sind, sind mit den gleichen Bezugszeichen
bezeichnet worden.
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Der
Tasterhalter 140 wird von dem Gehäuse des Tastkopfes (nicht gezeigt)
durch ein Paar Membrane 142, 144 getragen, die
beide von dem Typ sind, der bereits in 4 gezeigt sind.
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Die
optischen Wandler bei dieser Ausführungsform bestehen aus zwei
Seite an Seite liegenden fokussierenden Spiegeln 312, 314,
die unter entgegengesetzten kleinen Winkeln zueinander schräg gestellt
sind, und zwei Seite an Seite liegenden Lichtquellen 316,
die Lichtstrahlen liefern, die an die Spiegel (von denen nur einer
gezeigt ist) geführt
sind. Das von den Spiegeln reflektierte Licht wird an Seite an Seite
liegende positionssensitive Detektoren 318 geführt. Somit
bewirkt ein Schrägstellen
des Tasterhalters aufgrund der x- oder y-Ablenkungen der Tasterspitze
x- oder y-Bewegungen der fokussierten Punkte auf den Detektoren,
und axiale Bewegungen des Tasters bewirken simultane x- und / oder
y-Bewegungen der beiden fokussierten Punkte auf den Detektoren.
Algorithmen, die aus einer Kalibrierung des Tastkopfwandlersystems
abgeleitet sind, ermöglichen, dass
aus den Detektorausgaben Ablenkungen des Tasters bestimmt werden
können.
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Obwohl
die beschriebenen Ausführungsformen
ein Paar elastischer Vorrichtungen in der Form von Membranen betreffen,
kann eine äquivalente Wirkung
offensichtlich auch dadurch erreicht werden, dass eine der Membrane
durch eine andere Form einer planaren elastischen Vorrichtung ersetzt
wird, beispielsweise durch ein im Wesentlichen planares Feld elastischer
Elemente von unterschiedlichem Typ, wie beispielsweise Schraubenfedern.
Bei einer derartigen Ausführungsform
würden
sich zumindest drei Federn in einem solchen Feld befinden. Wenn drei
Federn verwendet würden,
wären sie
in Intervallen von 120° um
den Umfang herum beabstandet.