DE60015035T2 - Vakuumlaminierungsvorrichtung mit Fördereinrichtung und Verfahren zum Aufbringen eines Trockenfilmresists auf eine Leiterplatte - Google Patents

Vakuumlaminierungsvorrichtung mit Fördereinrichtung und Verfahren zum Aufbringen eines Trockenfilmresists auf eine Leiterplatte Download PDF

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Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine automatische Vakuumlaminierungsvorrichtung mit Fördereinrichtung (conveyorized vacuum applicator) und ein Verfahren diese zu betreiben. Die Nutzanwendung liegt in der Aufbringung von Trockenfilmfotoresist-bildenden Materialien, wie etwa Fotolacke und Lötmasken, auf Oberflächen von Leiterplatten oder anderen Substraten, um eine vollständige Konformität der Trockenfilme um erhabene Leiterbahnen und unregelmäßige Oberflächenkonturen sicherzustellen. Die Aufbringungsvorrichtung und das Verfahren finden insbesondere Anwendung beim Fördern und beim Aufbringen von Vakuum, Wärme und mechanischem Druck auf Leiterplatten oder anderen Substraten die vor einer derartigen Aufbringung einen lose auf mindestens eine der Oberflächen aufgebrachten Trockenfilm in Form diskreter Abschnitte innerhalb der Begrenzungen des Substrates aufweisen.
  • Primäre Imagingfotolacke und sekundäre Imaginglötmasken sind unter den am meisten verwendeten Licht-bildgebenden Materialien bei der Herstellung von bedruckten Leiterplatten. Ein primärer Imagingfotolack wird bei der Erzeugung der gedruckten Schaltung selbst verwendet, wohingegen eine Lötmaske verwendet wird um den gedruckten Schaltkreis während des Auflötens von Komponenten auf die Platte zu schützen.
  • Ein Primärfotolack ist eine harte temporäre Schicht aus einem nicht leitenden Material welches die Metalloberfläche eines kupferkaschierten Substrates bedeckt, das später zur Leiterplatte wird. Der Fotolack ist auf solche Weise gemustert, dass er eine Lackschablone erzeugt um welche herum die gedruckten Schaltkreisbahnen gebildet werden.
  • Insbesondere werden Primärfotolacke typischerweise aus einer Schicht aus einer Licht-bildgebenden Zusammensetzung geformt, die auf die Oberfläche einer kupferkaschierten Platte aufgebracht wird. Die Licht-bildgebende Zusammensetzung wird einer aktinischen Strahlung ausgesetzt die mittels einer Schablone oder Druckvorlage gemustert ist. Nach der Aussetzung wird die Licht-bildgebende Schicht in einem organischen Lösungsmittel, einer wässrigen oder halbwässrigen Lösung entwickelt, welche entweder die exponierten oder nicht-exponierten Anteile der Schicht abwäscht (abhängig davon ob das Licht-bildgebende Material ein positiv oder negativ wirkendes ist). Danach werden die Schaltkreisbahnen durch Elektroplattieren oder Ätzen gebildet. In einem typischen Galvanisierverfahren werden die von Fotoresist freien Flächen, die zum Schaltkreis werden, durch Aufgalvanisieren von Kupfer auf der Plattenoberfläche aufgebaut. Nach dem Schützen der aufgalvanisierten Kupferschicht wird der übrige Fotoresist in einem organischen Lösungsmittel, in einer wässrigen oder halbwässrigen Lösung abgezogen, und die neu freigesetzten Flächen des Metalls werden anschließend in einer Ätzlösung selektiv entfernt, wobei die galvanisierten Kupferschaltkreislinienmuster zurückbleiben. Bei einem typischen Ätzverfahren wird das Metall in den Fotoresist-freien Flächen in einer Ätzlösung selektiv entfernt, wobei die zurückbleibenden Anteile der geätzten Metallschicht als Schaltkreisbahnen zurückbleiben nachdem der Primärlack abgezogen wurde.
  • Eine Lötmaske andererseits ist eine harte, permanente Schicht aus einem nicht leitenden Material welches die Oberfläche einer Leiterplatte oder eines anderen Substrates abdeckt, wobei die Bahnen des gedruckten Schaltkreises selbst verkapselt werden. Die Lötmaske ist strukturiert, um den Schaltkreis vollständig abzudecken, mit Ausnahme derjenigen Teile die dazu vorgesehen sind exponiert zu werden, z. B. um auf eine andere Komponente aufgesetzt zu werden.
  • Insbesondere werden Lötmasken typischerweise aus einer Schicht aus einer Licht-bildgebenden Zusammensetzung hergestellt, die auf eine Oberfläche der Leiterplatte aufgebracht wird. Ähnlich wie bei primär bildgebenden Lacken wird die Licht-bildgebende Schicht aktinischer Strahlung ausgesetzt, die mittels einer Schablone oder einer Druckvorlage strukturiert ist. Nach der Exponierung wird die Licht-bildgebende Schicht in einem organischen Lösungsmittel, einer wässrigen oder halbwässrigen Lösung entwickelt, welche entweder die exponierten oder die nicht-exponierten Teile der Schicht abwäscht (wiederum abhängig davon ob das Foto-abgebende Material positiv oder negativ wirkend ist). Die auf der Oberfläche verbleibende Schicht wird anschließend ausgehärtet, z. B. mit Wärme und/oder UV-Licht um eine harte, permanente Lötmaske auszubilden, die dazu gedacht ist den gedruckten Schaltkreis für die Lebensdauer der Platte zu schützen.
  • Ein Verfahren des Standes der Technik zum Aufbringen einer Schicht aus Primärlack oder einer Lötmaske auf eine Leiterplattenoberfläche besteht darin, das Material in flüssiger Form aufzubringen und dann entweder ein trockenes oder teilweise aushärtendes Material zu der Ausbildung einer semistabilen Schicht zu ermöglichen. Eine Reihe von Vorteilen beim Aufbringen einer Licht-bildgebenden Schicht auf eine Leiterplatte in Form eines Trockenfilms anstelle einer Flüssigkeit. Insbesondere sind Trockenfilme frei von organischen Lösemitteln und eliminieren daher diese Gefahren am Arbeitsplatz, und sie vermeiden den Bedarf für Vorrichtungen um die unmittelbare Arbeitsumgebung und die allgemeine Umwelt vor organischen Lösemittelemissionen zu schützen.
  • Typischerweise umfasst ein derartiger Trockenfilm eine Deckschicht aus einem Trägermaterial das ein bisschen flexibel ist, das jedoch eine ausreichende Steife aufweist um einer Schicht aus Licht-bildgebender Zusammensetzung eine Struktur zu geben, die eine Oberfläche der Deckschicht abdeckt. Die Deckschicht kann aus einem Polyestermaterial sein, wie etwa ein Polyethylenterephthalat (PET). Um die Licht-bildgebende Schicht zu schützen und zu ermöglichen, dass der Trockenfilm aufgerollt werden kann ist es bei der exponierten Oberfläche der Licht-bildgebenden Schicht üblich, dass sie mit einem entfernbaren Schutzblatt abgedeckt ist, z. B. einem Polyethylenblatt.
  • Das Verfahren zur Verwendung eines derartigen Trockenfilms ist im Allgemeinen wie folgt: Die schützende Ethylenschicht wird von der Licht-bildgebenden Zusammensetzungsschicht unmittelbar vor der Aufbringung des Trockenfilms auf die Oberfläche der Leiterplatte entfernt. Dies kann beispielsweise unter Verwendung einer automatisierten Vorrichtung erfolgen welche die Schutzabdeckung abschält und aufrollt wenn der Trockenfilm von einer Rolle abgerollt wird. Der Trockenfilm wird auf die Oberfläche der Leiterplatte mit der Licht-bildgebenden Schicht in direktem Kontakt mit der Plattenoberfläche aufgebracht.
  • Anschließend wird unter Verwendung entweder von Wärme oder von mechanischem Druck (im Fall von Walzenlaminatoren) oder einer Kombination von Vakuum, Wärme und mechanischem Druck (im Fall von Vakuumlaminatoren) die Licht-bildgebende Schicht unmittelbar auf die Oberfläche der Platte auflaminiert. Die Deckschicht verbleibt die Licht-bildgebende Schicht überliegend, und schützt die Licht-bildgebende Schicht vor Sauerstoff und vor Handhabungsschäden. Die Deckschicht erlaubt auch, dass ein Muster (oder eine Schablone) direkt auf die Oberseite des Trockenfilms für Kontaktdruck aufgelegt wird, wenn Kontaktdruck verwendet werden soll (was vom Standpunkt des Erhaltens einer optimalen Bildauflösung üblicherweise bevorzugt ist). Der Trockenfilm wird einer strukturierten aktinischen Strahlung durch die PET-Abdeckung ausgesetzt. Zu diesem Zeitpunkt wird das PET-Abdeckblatt entfernt, und erlaubt einen Zugang des Entwicklers an die exponierte Licht-bildgebende Schicht. In Abhängigkeit von der Zusammensetzung der Licht-bildgebenden Schicht wird die Licht-bildgebende Schicht mit organischem Lösungsmittel, einem wässrigen Entwickler oder einem semiwässrigen Entwickler entwickelt. Die Licht-bildgebende Schicht kann entweder positiv wirkend sein, wobei die exponierten Anteile vom Entwickler entfernt werden, oder negativ wirkend, wobei die nicht-exponierten Bereiche von dem Entwickler entfernt werden. Die meisten Licht-bildgebenden Schichten zur Herstellung primärer Imagingfotolacke und Lötmasken sind negativ wirkend. Nach der Entwicklung werden die primären Lacke insbesondere entweder einer Elektroplattierung oder einem Ätzvorgang wie vorher beschrieben unterzogen um die Schaltkreisbahnen zu bilden, wonach der übrige Fotolack mit organischem Lösungsmittel, wässrigem oder halbwässrigem Entfernungsmittel abgezogen werden. Obwohl im Falle der Lötmasken die permanent auf der Platte verbleiben die meisten Licht-bildgebenden Zusammensetzungsschichten nach der Entwicklung eine gewisse Aushärtung erfordern um die Schicht hart und permanent zu machen, um so als eine Lötmaske zu dienen. In Abhängigkeit von der Zusammensetzung der Licht-bildgebenden Schicht kann die Aushärtung mit Wärme und/oder UV-Licht bewirkt werden.
  • Leiterplatten haben nahezu ohne Ausnahme unebene Oberflächen, die bei der Aufbringung von Trockenfilmen Schwierigkeiten machen. Besonders während der Aufbringung von Lötmasken wird eine derartige Unebenheit üblicherweise den Schaltkreisbahnen zugeordnet die über die Oberfläche der Platte aus elektrisch nicht leitendem Material erhaben sind oder darüber hinausragen. Es ist daher erwünscht, dass jede auf die Platte aufgebrachte Trockenfilmlötmaske in der Lage ist sich entlang der nach oben stehenden Schaltkreisbahnen anzupassen um das Risiko von Defekten wie etwa Kurzschlüssen zu minimieren. Andererseits erfolgt eine derartige Unebenheit während der Aufbringung von Primärlacken üblicherweise beim Erzeugen von Schaltkreisen auf dünnen äußeren Oberflächen von vielschichtigen Leiterplatten, die hervorstehende eingebettete Komponenten enthalten und in der äußeren Oberfläche Absenkungen zurücklassen. Es ist wünschenswert, dass jeder auf eine derartige Platte aufgebrachte Fotoresist in der Lage ist sich solchen unregelmäßigen Oberflächenkonturen anzupassen um die Bildung von Defekten wie etwa Lücken, Fehlverbindungen oder Kurzschlüssen zu minimieren. Es gibt daher auch eine Anforderung an Leiterplattenhersteller aufgrund des gegenwärtigen Trends zur Miniaturisierung elektronischer Geräte die Größe von Leiterplatten zu verringern, während gleichzeitig deren funktionale Möglichkeiten erhöht werden, was wiederum zu anderen Schwierigkeiten bei der Aufbringung von Trockenfilmfotolacken führt. Da immer mehr Schaltungen auf immer kleinere Oberflächen passen müssen schrumpfen die Schaltkreislinien und die Räume dazwischen auf der Leiterplatte kontinuierlich. Die Erzeugung dieser feinen Linien und eng beabstandeten Schaltungen kann nur unter Schwierigkeiten erreicht werden, und nur wenn der Primärlack vollständig haftet und vollständig an die Konturen der Leiterplatten angepasst ist. Ansonsten kommt es zu Lücken innerhalb der kleinen Schaltkreisbahnen und der Ausbildung von Fehlverbindungen oder Kurzschlüssen.
  • Eine Reihe von verbesserten Licht-bildgebenden Trockenfilmen und Vakuumlaminierungsverfahren wurden entwickelt, um zu versuchen die Anpassung des Trockenfilms auf die unregelmäßigen Oberflächenkonturen einer Leiterplatte zu verbessern, wie beispielsweise offenbart in US-Patenten Nrn. 4,889,790 (Roos et at.), 4,992,354 (Axon et al.), sowie 5,164,284 (Briguglio et al.). Die in diesen Patenten offenbarten Verfahren umfassen das Aufbringen einer Fotoresist-bildenden Schicht auf eine Leiterplatte unter Verwendung eines Trockenfilms, wobei eine „Zwischenschicht" ausgewählt aufgrund ihrer Transparenz, Festigkeit und Flexibilität, zwischen dem tragenden Film oder dem Abdeckblatt und der Licht-bildgebenden Schicht angeordnet wird. Die Zwischenschicht des Trockenfilms haftet selektiv stärker auf der Licht-bildgebenden Zusammensetzungsschicht als an dem Deckblatt, was es ermöglicht das Deckblatt zu entfernen nachdem die Licht-bildgebende Schicht auf eine Leiterplatte auflaminiert wurde um die Anpassung zu unterstützen, wobei die Zwischenschicht auf der Licht-bildgebenden Zusammensetzungsschicht als eine „Deckschicht" verbleibt. Die Deckschicht ist aus einem nichtklebrigen Material und kann mit anderen Oberflächen in Kontakt angeordnet werden, wie etwa Druckvorlagen für den Kontaktdruck. Die Deckschicht dient auch als eine Sauerstoffbarriere, und ermöglicht es der Licht-bildgebenden Zusammensetzungsschicht auf der Leiterplatte unexponiert zu verbleiben, sogar nachdem das Deckblatt entfernt wurde, zumindest für eine bestimmte Zeit. Die Verwendung von Trockenfilm mit der „Zwischenschicht" oder „Deckschicht" macht die in diesen Patenten beschriebenen Verfahren möglich.
  • In jedem Fall muss, um einen sich besser anpassenden Trockenfilm zu erzeugen, die Polyethylen-Schutzabdeckung zunächst abgeschält werden und die exponierte Oberfläche der Licht-bildgebenden Zusammensetzungsschicht wird auf die Oberfläche der Leiterplatte aufgebracht. Unter Verwendung von Vakuum, Wärme und mechanischem Druck wird der Trockenfilm auf die Oberfläche der Leiterplatte laminiert, wobei die Licht-bildgebende Schicht teilweise darauf angepasst wird. Innerhalb von etwa 60 Sekunden und bevor eine wesentliche Abkühlung der gedruckten Leiterplatte und des Trockenfilms auftritt, wird die Abdeckung des Trockenfilms entfernt, worauf die Licht-bildgebende Zusammensetzungsschicht und die darüber liegende Deckschicht vollständig die Konturen der Leiterplatte angepasst abdecken und im Wesentlichen die Bahnen und Oberflächenkonturen verkapseln, bevor die herkömmliche Weiterverarbeitung erfolgt. Da die Abdeckung vor dem letzten Anpassungsschritt entfernt wird wird eine bessere Anpassung, insbesondere wenn dünne Licht-bildgebende Zusammensetzungsschichten auf Platten mit eng beabstandeten Bahnen aufgebracht werden, erreicht. Eine bessere Auflösung ist auch erreichbar, da die Deckschicht direkt mit Druckvorlagen für die Kontaktbedruckung kontaktiert werden kann, da die Deckschicht viel dünner ist als ein Deckblatt oder ein Trägerfilm und daher einer guten Auflösung viel weniger abträglich ist als ein Trägerfilm.
  • Im US-Patent Nr. 4,946,524 (Stumpf et al.) ist eine Vorrichtung in einem Verfahren zum Aufbringen eines angepassten Trockenfilmmaterials auf die Oberfläche einer Leiterplatte offenbart, welche gleichzeitig eine Entfernung der Schutzabdeckung, ein nachfolgendes Handhaben der Platte mit dem aufgebrachten Film und dem Entfernen von zwischen dem Film und der Platte eingeschlossener Luft ermöglichen. Das Entfernen von zwischen dem Trockenfilm und der Oberfläche der Leiterplatte eingeschlossener Luft wird erleichtert wenn vor der Vakuumlaminierung die Oberfläche der Platte mit einer losen Filmabdeckung bedeckt wird. Auf diese Weise ist die Vorrichtung des US-Patents Nr. 4,946,524 dazu geeignet den Trockenfilm auf eine Platte an den vorderen und hinteren Kanten aufzukleben, wobei der mittlere Teil des Films nur lose aufgebracht ist. Der Film wird auf die Platte als diskret geschnittenes Blatt innerhalb der Grenzen des Perimeters der Oberfläche der Platte aufgeklebt. Der Einfachheit halber wird im Folgenden eine Leiterplatte mit einer derartigen losen Aufbringung eines Trockenfilmblatts auf dessen Oberfläche(n) als „vorlaminiert" bezeichnet.
  • Um die in den vorgenannten Patenten beschriebenen Verfahren an eine kontinuierliche automatische Betriebsweise in einem in Reihe arbeitenden System (in-line system) anzupassen wird im US-Patent Nr. 5,292,388 (Candore) eine automatisch fördernde Vakuumlaminierungsvorrichtung offenbart. Die Vorrichtung des US-Patents Nr. 5,292,388 gewährleistet ein verbessertes und effizientes Mittel zur automatischen Förderung und Aufbringung von Vakuum, Wärme und mechanischem Druck auf vorlaminierte gedruckte Leiterplatten oder Substrate und überwindet die mit der Verwendung eines herkömmlichen satzweise arbeitenden Vakuumlaminators verbundenen Schwierigkeiten in einem automatisierten in-line-System. Die automatische Vakuumlaminierungsvorrichtung mit Fördereinrichtung besteht aus zwei Hauptteilen, einer Vakuumlaminierungsvorrichtung und einem eingabeseitigen Bandförderer zum Zuführen vorlaminierter Leiterplatten in die Vakuumlaminierungsvorrichtung aus der vorhergehenden Vorlaminierungsvorrichtung. Die Vakuumlaminierungsvorrichtung umfasst insbesondere eine einzelne Vakuumkammer definiert durch beheizte obere und untere Heizplatten, sowie einen Endlosbandförderer angeordnet zwischen den Platten für die Bewegung der Leitplatten/Platinen in und aus dem Vakuumkammerbereich. Im Betrieb wird die vorlaminierte Leiterplatte (d. h. mit dem Licht-bildgebenden Materialtrockenfilm lose auf dessen Oberfläche aufgebracht), die vakuumlaminiert werden soll, von dem Eingangswalzenförderer auf das Endlosband überführt welches die Platte in eine geeignete Vakuumlaminierungsposition zwischen den erhitzten oberen und unteren Platten bewegt. Danach wird die untere Platte in eine versiegelte Stellung mit der oberen Platte angehoben um den Endlosbandförderer und die vorlaminierte Leiterplatte die auf dem Endlosband liegt in der Vakuumkammer einzuschließen. Als nächstes wird Vakuum in der Vakuumkammer zwischen den Platten gezogen um die gesamte Luft zwischen dem Trockenfilm und der Oberfläche der vorlaminierten Platte zu evakuieren, gefolgt von der Anwendung von Wärme und mechanischem Druck um den Trockenfilm auf der Leiterplatte anzupassen. Wenn der Zyklus abgeschlossen ist wird die untere Platte abgesenkt und die laminierte Platte zum nachfolgenden Verarbeitungsgerät weiter gefördert, während die nächste Platte, die vakuumlaminiert werden soll für den nächsten Vakuumlaminierungszyklus ankommt.
  • Jedoch gab es auch Schwierigkeiten beim Betrieb einer derartigen Vakuumlaminierungsvorrichtung mit Fördereinrichtung wie im US-Patent Nr. 5,292,388 beschrieben. Insbesondere war ein vorzeitiges Kleben des Trockenfilms auf der Leiterplattenoberfläche vor der Evakuierung in der Kammer ein Problem. Das Problem herrscht insbesondere vor bei dünnen Leiterplatten (z. B. < 0,25 mm), da diese anfällig für eine schnelle Erwärmung sind. Um eine vollständige Anpassung des Trockenfilms um die Leiterbahnen und die Oberflächenkonturen des Substrats sicherzustellen ist es notwendig, dass das lose Blatt aus Trockenfilm das auf die Platte vorlaminiert ist eine Evakuierung der gesamten zwischen sich und der Oberfläche der Leiterplatte eingeschlossenen Luft ermöglicht bevor Wärme und mechanischer Druck aufgebracht wird um den Film auf die Platte anzupassen. Mit der oben genannten Vorrichtung neigt daher die von dem Bandförderer abgegebene Restwärme, nachdem ein vorheriger Vakuumlaminierungszyklus gerade abgeschlossen war, dazu, eine vorzeitige Klebung des Films auf der nächsten Platte zu bewirken, die in die Vakuumkammer eintritt, bevor der Vakuumlaminierungszyklus beginnt. Die vorzeitige Haftung verhindert, dass Luft aus bestimmten Flächen während der Vakuumlaminierung entweichen kann, was wiederum eine Filmanpassung verhindert. Im Fall von Lötmasken führt ein Mangel an Filmanpassung zu Laminierungsdefekten, wie etwa unerwünschtem „puddling", verursacht durch vorzeitige Haftung. Im Fall der Primärfotolacke führt eine mangelnde Filmanpassung zur Hohlraumbildung in ganzen Bereichen der Schaltkreisbahnen verursacht durch unvollständige Haftung, wie auch zu „puddling" wie vorher beschrieben. Die vorliegende Erfindung ist dazu gedacht dieses Problem anzugehen.
  • Obwohl es einige Versuche gegeben hat dieses Problem des vorzeitigen Verklebens zu lösen wurde eine zufriedenstellende Antwort bisher nicht gefunden. Beispielsweise wurde vorgeschlagen die Trockenfilme in herkömmlichen, satzweise orientierten Vakuumlaminierungsvorrichtungen zu verarbeiten, die mit entfernbaren Kupferhitzeschilden zwischen den oberen und unteren Platten ausgestattet sind. Die entfernbaren Hitzeschilde werden zwischen den oberen und unteren Platten unmittelbar vor der Platzierung der Platte in der Vakuumkammer manuell eingesetzt. Die Evakuierung wird dann mit den Hitzeschilden durchgeführt, die dazu dienen den Fotolack lange genug von den erhöhten Temperaturen abzuschirmen um in der Lage zu sein die gesamte Luft zwischen dem Fotolack und der Platte zu entfernen bevor Wärme und mechanischer Druck angewendet wird. Satzweise Verarbeitung ist jedoch in höchstem Maße unerwünscht, da sie insgesamt für die Massenproduktion von gedruckten Leiterplatten zu langsam und extrem arbeitsintensiv ist.
  • Eine Aufgabe der Erfindung ist es daher ein verbessertes Verfahren und eine Vorrichtung zum Aufbringen eines Trockenfilmfotoresists oder einer Lötmaske auf vorlaminierte Leiterplatten oder andere Substrate unter Vakuum, Wärme und mechanischem Druck zur Verfügung zu stellen, wobei die gesamte zwischen dem Trockenfilm und der Oberfläche der Leiterplatte oder des Substrats eingeschlossene Luft entfernt wird um eine vollständige Anpassung des Trockenfilms um die erhabenen Schaltkreisbahnen und die Oberflächenkonturen des Substrats sicherzustellen.
  • Eine andere Aufgabe der Erfindung ist es ein verbessertes Verfahren und eine Vorrichtung zum Vakuumlaminieren von vorlaminierten Leiterplatten und Substraten zur Verfügung zu stellen, wobei das Verfahren und die Vorrichtung ein vorzeitiges Kleben der lose aufgebrachten vorlaminierten Trockenfilme auf die Oberfläche der Leiterplatte oder Substrats vor der Evakuierung der gesamten Luft zwischen dem Trockenfilm und der Platte oder Substratoberfläche zu verhindern. Gemäß der vorliegenden Erfindung werden die oben beschriebenen Aufgaben mittels eines Verfahrens wie in Anspruch 1 definiert oder mittels einer Vorrichtung wie in Anspruch 10 definiert, erreicht. Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist es ein verbessertes Verfahren und eine Vorrichtung zum Vakuumlaminieren vorlaminierter Leiterplatten und Substrate zur Verfügung zu stellen, die beide in einem in-line-System und in einer vollständig automatisierten kontinuierlichen Weise betrieben werden können.
  • Bei der Lösung der vorgenannten und andere Aufgaben der Erfindung wird ein verbessertes Verfahren zum Laminieren einer vorlaminierten Leiterplatte oder eines anderen Substrats zur Verfügung gestellt, welches ein vorzeitiges Kleben der Trockenfilmfotoresist-bildenden Schicht auf der Platte verhindert, umfassend die folgenden Schlüsselmerkmale: (a) Platzieren der Platte in einer ersten Vakuumlaminierungskammer eines Vakuumlaminators mit zwei unabhängigen (d. h. dualen) Vakuumlaminierungskammern; (b) Vakuumziehen in der ersten Kammer bei Umgebungstemperatur für eine ausreichende Zeit um im Wesentlichen die gesamte Luft zwischen dem Trockenfilm und der Oberfläche der Leiterplatte oder dem Substrat zu evakuieren und dabei den Trockenfilm in innigem Kontakt mit der Oberfläche der Leiterplatte oder des Substrats zu platzieren; (c) unmittelbares Platzieren der Leiterplatte in einer zweiten unabhängigen Vakuumlaminierungskammer des Vakuumlaminators; und (d) Anwenden ausreichender Wärme auf dem Trockenfilm auf der Leiterplatte oder dem Substrat in einer zweiten Vakuumlaminierungskammer um zu bewirken, dass der Trockenfilm fließt und anschließendes Anwenden von mechanischem Druck auf der Leiterplatte oder dem Substrat um dadurch das erhitzte Laminat zu zwingen sich eng an die Oberflächenkonturen der Leiterplatte oder des Substrats anzupassen.
  • Die vorgenannten Schritte (a) bis (d) werden vorzugsweise in Reihe (in-line) und in einer kontinuierlichen automatisierten Weise durchgeführt, so dass das Verfahren zur Anwendung in einem vollständig automatisierten in-line-System für die Herstellung von gedruckten Leiterplatten/Platinen verwendet werden kann.
  • Die Schritte in (b) und (d) werden auch vorzugsweise in alternierender Reihenfolge durchgeführt um zu ermöglichen, dass mindestens eine vorlaminierte Platte in jeder der Vakuumkammern zur gleichen Zeit vorliegt, was wiederum zu einer mindestens zweifachen Steigerung der Herstellungsproduktivität führt.
  • Beim Erreichen dieser und anderer Aufgaben der Erfindung wird auch eine verbesserte Trockenfilmfotoresist- oder Lötmaskenvakuumlaminierungsvorrichtung bereitgestellt, umfassend die folgenden Hauptmerkmale: Die Bereitstellung von zwei unabhängigen (d. h. dualen) Vakuumlaminierungskammern in Endseite zu Endseite-Beziehung, wobei die erste Vakuumlaminierungskammer bei Umgebungstemperatur betrieben wird während ein Vakuum gezogen wird um den Luftdruck innerhalb der Kammer zu verringern und die gesamte Luft zwischen dem lose aufgebrachten vorlaminierten Trockenfilm und der Oberfläche der Leiterplatte oder des Substrats abzuziehen, wodurch der Trockenfilm in innigem Kontakt mit der Substratoberfläche platziert wird während gleichzeitig ein vorzeitiges Kleben oder Haften des Trockenfilms auf dem Substrat vor der anpassenden Laminierung verhindert wird, und die zweite Laminierungskammer nach, vorzugsweise unmittelbar nach, der ersten Kammer betrieben wird um den vorher evakuierten Trockenfilm auf die gedruckte Leiterplatte oder das Substrat unter Wärme und mechanischem Druck aufzulaminieren, wodurch eine vollständige Anpassung des Trockenfilms um die erhabenen Schaltkreisbahnen und die Oberflächenkonturen des Substrats sichergestellt wird. Die ersten und zweiten Vakuumlaminierungskammern haben jeweils eine relativ stationäre obere Drucktiegelplatte und eine untere Drucktiegelplatte, die dafür angepasst ist in eine versiegelte Einstellung mit der oberen Drucktiegelplatte bewegt zu werden und dabei erste und bzw. zweite Vakuumkammerbereiche ausbildet. Bandförderer zum Fördern der vorlaminierten bedruckten Leiterplatten oder Substrate in und aus den ersten und zweiten Vakuumlaminierungskammern des Vakuumapplikators werden auch bereitgestellt.
  • Die vorgenannte Vorrichtung ist vorzugsweise ferner durch ihre Möglichkeit kontinuierlich betrieben zu werden gekennzeichnet. Es ist auch bevorzugt einen derartigen kontinuierlich betreibbaren Vakuumapplikator mit Fördereinrichtung zur Verfügung zu stellen, der in Verbindung mit automatisierten Eingabewalzenförderern zum Zuführen vorlaminierter Leiterplatten oder Substrate auf die automatisierten Förderbänder in solcher Weise betrieben werden kann, welche es ermöglicht, dass mindestens eine Platte oder ein Substrat in jeder der Vakuumkammern des Vakuumlaminators vorliegt, während die nächste Leiterplatte oder das Substrat welches vakuumlaminiert werden kann in einer Position auf einem Eingabewalzenförderer für den Beginn des nächsten Vakuumlaminierungszyklus bereitsteht. Nach dem Abschluss des Vakuumlaminierungszyklusses in jeder Kammer wird die Leiterplatte in der zweiten Vakuumkammer automatisch aus dem Vakuumlaminator herausgefördert, die Platte in der ersten Vakuumkammer wird in die zweite Vakuumkammer befördert, und die bereitstehende neue Leiterplatte, die vakuumlaminiert werden soll, wird in die erste Vakuumkammer befördert. Die automatisierte Vakuumapplikationsvorrichtung mit Fördereinrichtung weist eine besondere Nützlichkeit beim Fördern gedruckter Leiterplatten und beim Aufbringen von Wärme, Vakuum und mechanischem Druck auf Leiterplatten auf, die mit Fotoresist oder Lötmaskentrockenfilm gemäß dem Verfahren wie in US-Patent Nr. 4,946,524 vorlaminiert wurden und gemäß den in den US-Patenten Nr. 4,889,790; 4,992,354 sowie 5,164,284 beschriebenen Verfahren hergestellt wurden.
  • Der mit einer Fördereinrichtung ausgestattete Trockenfilmfotoresist- oder Lötmaskenapplikator der Erfindung ist ein wesentlicher Bestandteil in einem Gesamtarrangement aus einem automatischen kontinuierlichen Fluss von Material bei der in-line-Verarbeitung von Trockenfotoresist- oder Lötmaskenfilmen welche während der Verarbeitung eine Vakuumlaminierung erfordern.
  • Die Erfindung stellt die Mittel zum Automatisieren des Vakuumapplikationsverfahrens als in-line-System zur Verfügung, während gleichzeitig 1) übliche Laminierungsdefekte verringert werden, wie etwa vorzeitige Lackanhaftung, 2) der Reparatur- oder Überarbeitungsbedarf fertig gestellter Leiterplatten im Wesentlichen vermieden wird, und 3) die Leiterplattenherstellungsproduktivität um mindestens das Zweifache erhöht wird.
  • Dieser Beschreibung der Erfindung folgt eine detaillierte Beschreibung, wobei auf die beigefügten Figuren der Zeichnungen Bezug genommen wird, die einen Teil der Beschreibung bilden und in der gleiche Teile mit den gleichen Bezugszahlen versehen sind, welche zeigen:
  • 1 ist eine Seitenansicht einer Gehäusestruktur in der der Dualkammervakuumapplikator mit Fördereinrichtung der vorliegenden Erfindung eingehaust ist;
  • 2 ist eine graphische perspektivische Ansicht mit größerem Maßstab als in 1, welche das Fördersystem des Vakuumapplikators mit Fördereinrichtung für das sequenzielle Zuführen vorlaminierter Leiterplatten oder Substrate durch den Vakuumlaminator veranschaulicht;
  • die 3 bis 5 und 10 sind fragmentierte Teilansichten die verschiedene Merkmale der Applikatoren der 1 und 2 veranschaulichen;
  • die 5 bis 9 sind Querschnittsansichten eines Vakuumlaminators der in vorteilhafter Weise mit dem Vakuumapplikator mit Fördereinrichtung verwendet werden kann und worin eine Drucktiegelplattenbetriebssequenz veranschaulicht ist;
  • die 11 bis 24 sind graphische perspektivische Ansichten in einem kleineren Maßstab als in 2 gezeigt, welche den Funktionszyklus des Vakuumapplikators mit Fördereinrichtung veranschaulichen wenn dieser zum Zuführen von Leiterplatten oder Substraten zu einem Zeitpunkt durch den Vakuumlaminator verwendet wird; und
  • 25 ist eine graphische perspektivische Ansicht einer alternativen zweiten Kammer die in dem Vakuumapplikator mit Fördereinrichtung der 1 verwendet werden kann.
  • Der Vakuumapplikator mit Fördereinrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung ist besonders nützlich bei der Vakuumlaminierung gedruckter Leiterplatten und Substrate mit variierenden Dicken und Größen, typischerweise in einem Bereich von zwischen 0,1 und 3,2 mm und in einem Bereich von 25 × 38 und 60 × 1 cm, wobei diese Leiterplatten oder Substrate mit einem losen Blatt aus Trockenfilmprimärfotoresist oder Lötmaske „vorlaminiert" wurden, mit oder ohne eine „Deck"-Schicht wie oben beschrieben. Die spezifische Funktion des Vakuumapplikators mit Fördereinrichtung ist es automatisch eine Kombination von Vakuum, Wärme und mechanischem Druck auf eine solche Weise anzuwenden, dass eine vorzeitige Verklebung vermieden wird und damit eine vollständige Entfernung der gesamten Luft zwischen dem Trockenfilm und der Oberfläche der Leiterplatte oder des Substrats erfolgt um eine positive Anpassung des Trockenfilms um geätzte oder galvanisierte Schaltkreisbahnen und unregelmäßige Oberflächenkonturen des Substrats sicherzustellen.
  • Bezugnehmend auf die 1 und 2 wird eine Trägerstruktur oder ein Rahmen 10 gezeigt, der auf dem Vakuumapplikator bezeichnet mit 12, mit Fördereinrichtung montiert ist, gemäß der Erfindung. Der Vakuumapplikator 12 mit Fördereinrichtung besteht aus zwei Teilen. Ein Teil umfasst erste und zweite Eingabe- oder Zuführungsförderer 14 und 16. Der andere Teil umfasst erste und zweite Vakuumlaminierungsabschnitte 18 und 20. Jeder der ersten und zweiten Vakuumlaminierungsabschnitte 18 und 20 umfasst einen ersten und einen zweiten ¾-Bandförderer 22 und 24 sowie einen ersten und zweiten Vakuumlaminator 26 bzw. 28.
  • Wie in 2 gezeigt erstrecken sich der erste Zuführungsförderer 14, der erste ¾-Bandförderer 22, der zweite Zuführungsförderer 16 und der zweite ¾-Bandförderer 24 in einer Endseite zu Endseite-Beziehung, in derartiger Anordnung, dass ein kontinuierlicher Weg 18 in und aus jeder der Vakuumabschnitte 18 und 20 definiert wird.
  • Jeder der ersten und zweiten Zuführungsförderer 14 und 16 umfasst eine Vielzahl von mit Ketten verbundenen Walzen 15 bzw. 17, wobei die Walzen 15 und 17 sich um einen beträchtlichen Abstand entlang der Breite des Applikators 12 erstrecken. Positioniert für die vertikale Bewegung zwischen dem Ausgangsende 14b des ersten Zuführungsförderers 14 und dem Eingangsende 22a des ersten ¾-Bandförderers 22 befindet sich eine einstellbare Sperre 30. Die Sperre 30 erstreckt sich entlang der Breite des Applikators 12 und ist aufwärts beweglich mittels eines einzeln verknüpften Druckluftzylinders 32 wie in 2 gezeigt. Eine derartige Bewegung erstreckt sich von einer „Ab" oder nicht-blockierenden Position zu einer „Auf"-Position um den Transport zum ersten ¾-Bandförderer 22 einer Leiterplatte zu blockieren, die auf dem ersten Zuführungsförderer 14 von der vorherigen Vorrichtung die mit 34 gekennzeichnet ist transportiert wird.
  • Wie in 2 zu sehen wird eine Fotozelle 36 bereitgestellt um die Annäherung einer Leiterplatte an das Ausgangsende 14b des Zuführungsförderers 14 zu erfassen, sowie für das Starten der Betätigung des Druckluftzylinders 32 um eine Bewegung der Sperre 30 zwischen den die Leiterplatte nicht blockierenden und blockierenden Positionen zu bewirken.
  • Jeder der ¾-Bandförderer 22 und 24 umfasst eine Eingabewalze 38 bzw. 40 und eine Ausgabewalze 42 bzw. 44, wobei sich diese Walzen entlang der Breite des Applikators 12 erstrecken. Um jedes Paar von kooperierenden Eingabe- und Ausgabewalzen sind ein Paar von beabstandeten endlosen Ketten gewickelt wobei der Abstand so ist, dass jedes Kettenpaar 46 und 48 auf einer Seite des Applikators 12 und das andere jedes der Kettenpaare 50 und 52 auf der anderen Seite davon ist. Die Ketten 46 und 48 interagieren mit einzelnen Antrieben 54 bzw. 56, bereitgestellt am Ende jedes der korrespondierenden Eingabewalzen 38 und 40, und Antriebe 58 und 60 bereitgestellt am Ende der korrespondierenden Ausgabewalzen 42 und 44, wie in 2 gezeigt. Ähnlich agieren die Ketten 50 und 52 mit den Antrieben, die an den anderen Enden jeder der korrespondierenden Eingaberollen 38 und 40 und der Ausgaberollen 42 und 44 bereitgestellt werden. Daher, wie in 3 gezeigt, greifen die Ketten 50 und 52 bei den Antrieben 62 bzw. 64, am Ende der Ausgaberollen 42 und 44.
  • Zwischen jedem miteinander verbundenen Paar von Ketten 46, 50 und 48, 52 und daran befestigt an jedem Ende mittels geeigneten Greifern 66 und 68, wie in 3 gezeigt, sind entsprechende Bänder 70 und 72 die sich jeweils über ungefähr ¾ der Distanz der durch die Ketten geformte Schleife erstrecken. Jeder Greifer 66 und 68 umfasst eine entsprechende Stange 66a und 68a die an einem Ende der Ketten 46 und 48 und am anderen Ende der Ketten 50 bis 52 sicher befestigt ist. Getragen von jeder der Stangen 66a und 68a und sicher befestigt daran mittels geeigneter Bolzen oder Nieten sind entsprechende Stangenglieder 66b und 68b sowie 66c und 68c von kürzerer Länge zwischen deren Enden die entsprechenden Bänder 70 und 72 gefasst und gehalten sind. Wie am besten in 2 zu sehen hat daher jedes der Bänder 70 und 72 einen damit verbundenen Durchlass oder Öffnung 74 und 76 über die gesamte Breite davon, wobei die Länge dieses Durchlasses 74 und 76 etwa ¼ des Abstandes um die Schleife jedes der einzeln verknüpften Bandförderer 22 und 24 beträgt.
  • Jedes der Bänder 70 und 72 kann aus einem sehr dünnen Glasfaser-verstärkten Kautschuk oder Teflon-beschichteten Glasfasern hergestellt sein. Eine gesamte Dicke des Bandes im Bereich von 0,013 bis 0,025 cm ist erwünscht um sicherzustellen, dass es eine vollständige Versiegelung gibt, wenn in jedem der Vakuumlaminatoren 26 und 28 Vakuum gezogen wird. Dies ist deshalb so, weil der obere Abschnitt 70a und 72a jedes Bandes 70 und 72 zwischen den oberen und unteren Drucktiegelplatten jeder der Vakuumlaminatoren 26 und 28 während des Vakuumlaminierungsverfahrens eingefasst wird.
  • Bewegungskraft zum Antrieb der Ketten-gekoppelten Walzen des ersten Zuführungsförderers 14 und des damit verknüpften ersten ¾-Bandförderers 22 wird von einem ersten elektrischen Motor 78 bereitgestellt. Die Antriebskraft zum Antrieb der Ketten-gekoppelten Rollen des zweiten Zuführungsförderers 16 und des zweiten ¾-Bandförderers 22, der damit verknüpft ist, wird von einem zweiten elektrischen Motor 80 bereitgestellt. Die Motoren 78 und 80 können jeweils einen elektrischen Gleichstrommotor umfassen, ausgestattet mit separaten Antriebsgetrieben 82 und 84 sowie 86 bzw. 88, um deren entsprechende Zuführungsförderer 14 und 16 sowie die Bandförderer 22 und 24 anzutreiben.
  • Wie in 2 gezeigt ist der Motor 78 über einen Antrieb 82 und ein Kettenantriebsgetriebe 90 mit dem ersten Zuführungsförderer 14 verbunden. Ein selektiver oder gemeinsamer Antrieb des Zuführungsförderers 14 wird über eine elektromagnetische Kupplung 92 gewährleistet. Der Motor 80 wird über das Getriebe 86 und das Kettenantriebsgetriebe 94 mit dem zweiten Zuführungsförderer 16 gekoppelt. Ein selektiver oder gemeinsamer Antrieb des Zuführungsförderers 16 mit den anderen Förderern wird über die elektromagnetische Kupplung 96 gewährleistet. Energiezufuhr und Energieabfuhr bei der Kupplung 92 steuert die Rotation der Ketten-gekoppelten Rollen des ersten Zuführungsförderers 14. In ähnlicher Weise steuert eine Energiezuführung und Energieabführung in der Kupplung 96 die Rotation der Ketten-gekoppelten Rollen des zweiten Zuführungsförderers 16.
  • Der Motor 78 wird auch mittels des Getriebes 84 und des Kettenantriebsgetriebes 98 und 100 an der Antriebsstange 102 der Ausgaberolle 42 des ersten ¾-Bandförderers 22 gekoppelt. Eine elektromagnetische Kupplung 104, angeordnet zwischen dem Kettenantriebsgetriebe 100 und 102, gewährleistet eine selektive Steuerung des Betriebs des ersten ¾-Bandförderers 22. Der Motor 80 wird in ähnlicher Weise mittels des Getriebes 86 und der Kettenantriebsgetriebe 106 und 108 an die Antriebsstange 110 der Ausgangsrolle 44 des zweiten ¾-Bandförderers 24 gekoppelt. Ähnlich gewährleistet eine elektromagnetische Kupplung 112, angeordnet zwischen den Kettenantriebsgetrieben 108 und 110, eine selektive Steuerung des Betriebs des zweiten ¾-Bandförderers 24.
  • Gemäß der Erfindung ist jeder der Motoren 78 und 80 ein Motor mit variabler Geschwindigkeit, der über eine Gleichstromquelle (nicht gezeigt) selektiv mit Energie versorgt wird, über Motorgeschwindigkeitssteuerungspotentiometer 114, 116 und 118 sowie 120, 122 bzw. 124, sowie entsprechende Auswahlschalter 126 und 128, wie in 2 gezeigt, um die Zuführungsförderer 14 und 16 mit einer Geschwindigkeit von etwa drei (3) Meter in der Minute (m/Min.) anzutreiben, um die Zuführungsförderer 14 und 16 und die ¾-Bandförderer 22 und 24 bei einer Geschwindigkeit von etwa neun (9) m/Min. anzutreiben, und um die ¾-Bandförderer 22 und 24 mit einer Geschwindigkeit von nur 30 m/Min. anzutreiben, wie im Folgenden näher beschrieben. Die Anordnung ist so, dass die Zuführungsförderer 14 und 16 unabhängig voneinander und von den ¾-Bandförderern 22 und 24 angetrieben werden können. In ähnlicher Weise können die ¾-Bandförderer 22 und 24 unabhängig voneinander und von den Zuführungsförderern 14 und 16 angetrieben werden. Jedoch können zu keiner Zeit, wenn sie zu gleicher Zeit angetrieben werden, die Geschwindigkeiten der Förderer 14, 16, 22 und 24 unterschiedlich sein.
  • Zum Zweck, dass die Spannung der ¾-Bänder 70 und 72 der ersten und zweiten ¾-Bandförderer 22 und 24 an einem erwünschten Punkt in dem Vakuumverfahren entspannt werden kann, wie in 2 gezeigt, sind Lager 130 und 132 in denen die Stangen der Eingaberollen 38 und 40 jedes der ¾-Bandförderer 22 und 24 montiert sind, für die Rotation so arrangiert, dass sie eine kurze Distanz auf die entsprechenden Vakuumlaminatoren 22 und 26 zu und davon weg mittels entsprechender 2-Positionsluftzylinder 134 und 136 bewegbar sind.
  • Um zu erfassen wann eine vorlaminierte Leiterplatte von den Bandförderern 22 und 24 auf eine geeignete Position relativ zum einzeln damit verknüpften Vakuumlaminat 26 und 28 bewegt wurde damit der Vakuumlaminierungsprozess voranschreiten kann werden wie am besten in den 2 und 4 zu sehen entsprechende Nocken 138 und 140 und kooperierend Sensoren 142 und 144 bereitgestellt. Die Nocken 138 und 140 sind montiert auf und bewegen sich bezüglich ihrer entsprechenden Endlosketten 46 und 48 um die Schleife jedes der einzeln verbundenen Bandförderer 22 und 24. Entsprechende Sensoren 142 und 144 sind in jeder geeigneten Weise auf dem Rahmen 10 des Applikators 12 in kooperativer Beziehung mit deren entsprechenden Nocken 138 und 140 montiert.
  • Wenn die Leiterplatte in geeigneter Position relativ zum beabsichtigten Vakuumlaminator 26 und 28 ist damit das Vakuumlaminierungsverfahren fortgesetzt werden kann, ist die Öffnung 74 und 76 in den Bändern 70 und 72 der Bandförderer 22 und 24 unmittelbar d. h. vertikal unterhalb der Vakuumlaminatoren positioniert, wie am besten in 2 zu sehen. Dies ermöglicht, dass die unteren Drucktiegelplatten 146 und 148 der entsprechenden ersten und zweiten Vakuumlaminatoren 26 und 28 aufwärts durch die Öffnung 74 und 76 in jedem der Bänder 70 und 72 in eine kooperative Beziehung mit den oberen Drucktiegelplatten 150 und 152 der entsprechenden Vakuumlaminatoren 26 und 28 angehoben werden kann, um die Vakuumlaminierung einer Leiterplatte zu bewirken die dann auf der Oberfläche der oberen Abschnitte 70a und 72b der Bänder 70 und 72 innerhalb der Begrenzungen der ersten bzw. zweiten Vakuumlaminatoren 26 bzw. 28 ruht.
  • Es gibt eine Anfangsposition für jeden der ersten und zweiten Bandförderer 22 und 24, so dass beim Transfer einer Leiterplatte von entweder dem ersten oder zweiten Zuführungsförderer 14 und 16 die Leiterplatte in den Laminierungsbereich des entsprechenden Vakuumlaminators 26 und 28 bewegt wird, während die Öffnungen 74 und 76 in eine Position vertikal unterhalb jedes der Vakuumlaminatoren 26 und 28 bewegt werden. Zur Vereinfachung wird diese Anfangsposition jedes der Bänder 70 und 72 im Folgenden als „Sollwert"-Position der Bandförderer 22 und 24 bezeichnet.
  • Zum Erfassen der Sollwert-Position jedes der Bandförderer 22 und 24 werden entsprechende Nocken 154 und 156 bereitgestellt, die jeweils auf den Endlosketten 50 und 52 montiert sind, sowie kooperierende Sensoren 158 und 160, die auf dem Rahmen 10 des Applikators 12 montiert sein können, wie in den 2 und 5 gezeigt.
  • Um ein Signal bereitzustellen welches die Annäherung jedes der Bandförderer 22 und 24 an die Sollwertposition vorweg nimmt, und dadurch einen relativ schnellen Betrieb zum Rückführen der Bandförderer 22 und 24 in die Sollwertposition zu ermöglichen, werden auch entsprechende Nocken 162 und 164, Sensoren 166 und 168 zum Verlangsamen der Geschwindigkeit jedes Bandförderers 22 und 24 auf die Sollwertposition bereitgestellt, wie in 2 und 5 gezeigt.
  • Zum Bestimmen der Gegenwart einer verarbeiteten Leiterplatte oder eines Substrats am Ausgangsende der Bandförderer 22 und 24 werden entsprechende Ausgangsfotozellen 170 und 172 bereitgestellt, wie in 2 gezeigt.
  • Auch wird, wie in 2 gezeigt, ein Infrarotsensor 174 bereitgestellt, zum Erfassen der Temperatur der bearbeiteten Leiterplatte oder des Substrats wenn es aus dem zweiten Laminator 28 herausgefördert wird. Die Temperatur der verarbeiteten Leiterplatte oder des Substrats, wie vom Sensor 174 erfasst und angezeigt oder ausgegeben mittels geeigneter Mittel erleichtert die Steuerung der Heizmittel in dem zweiten Vakuumlaminator 28 wobei eine Überhitzung dessen und eine mögliche Beschädigung der Leiterplatte oder des Substrats während der Vakuumlaminierung ausgeschlossen wird.
  • Da die auf die vorlaminierten Leiterplatten aufgebrachten Trockenfilmblätter für die Vakuumlaminierung hohe Fließeigenschaften im Temperaturbereich von 30°C bis 150°C aufweisen, kann der Vakuumlaminierungsprozess innerhalb dieses Bereichs durchgeführt werden.
  • Die Vakuumlaminatoren 26 und 28, die in vorteilhafter Weise in dem Vakuumlaminator mit Fördereinrichtung 12 verwendet werden können, sind in den 6 bis 9 dargestellt. Die Vakuumlaminatoren 26 und 28 können als ein Teil einer integralen Dualkammermaschine bereitgestellt werden, wie in 2 gezeigt, oder, falls erwünscht, als separate Vakuumlaminierungseinheiten die in einer Endseite zu Endseite-Beziehung angeordnet sind. Jeder der Vakuumlaminatoren 26 und 28, obwohl als identisch konstruiert gezeigt, wird erfindungsgemäß in verschiedenen Weisen betrieben, wie unten beschrieben, um getrennte Funktionen in dem Vakuumlaminierungsprozess auszuführen, die in Kombination eine vollständige Anpassung des Trockenfilms auf die Substratoberfläche sicherstellen.
  • Bezugnehmend auf 6 (mit dem Strich ('), der verwendet wird um vorher nicht nummerierte Teile zu kennzeichnen die mit dem ersten Laminator 26 verbunden sind, und einem Doppelstrich (''), verwendet für diejenigen des zweiten Laminators 28), umfasst jeder der Laminatoren 26 und 28 eine obere stationäre Drucktiegelplatte 150 und 152 sowie eine entsprechende bewegliche untere Drucktiegelplatte 146 bzw. 148. Verbunden mit jeder der oberen Drucktiegelplatten 150 und 152 ist eine federnde Silikonkautschukeinlage 176', 176'', die eine Decke der Vakuumkammerregion wie bei 178', 178'' in den 6, 8 und 9 gezeigt bildet. Jede untere Drucktiegelplatte 176 und 178 weist eine Vertiefung 180', 180'' auf, in welcher eine Vakuum-zu-laminierende vorlaminierte Leiterplatte oder ein Substrat auf einem Silikonkautschukeinsatz 180', 182'' für die Vakuumlaminierung positioniert wird. Versiegelungsmittel 184', 184'' in Form eines O-Rings umgebend den Umfang jeder der unteren Drucktiegelplatten 146 und 148 werden für die hermetische Versiegelung der Hohlräume 180', 180'' bereitgestellt, zum Zwecke der Evakuierung der Luft daraus mittels einer Vakuumpumpe 186', 186'', sobald die entsprechenden unteren Drucktiegelplatten 146 und 148 aufwärts bis zum Kontakt mit einer oberen Drucktiegelplatte 150 und 152 bewegt wurden. Einer oder mehrere Ausgleichsscheibeneinsätze 188', 188'' können wie in 6 gezeigt bereitgestellt werden, um eine Anpassung für Leiterplatten verschiedener Dicken zu ermöglichen, d. h. zum Einstellen der Leiterplatten auf eine optimale Position in den Vertiefungen 180', 180'' für den besten Vakuumlaminierungsvorgang.
  • Sowohl die oberen als auch die unteren Drucktiegelplatten umfassen Heizer, insbesondere einen Heizer 190', 190'' in jeder der unteren Drucktiegelplatten 150 und 152 sowie einen Heizer 192', 192'' in jeder der unteren Drucktiegelplatten 146 und 148. Wie unten beschrieben können die Drucktiegelplattenheizer an oder aus sein, abhängig von der erwünschten Betriebsweise des Laminators.
  • Leiterplatten die vorlaminiert wurden, d. h. die einen Trockenfilmfotoresist oder eine Lötmaske vorher auf eine oder beide Seiten lose aufgebracht aufweisen wie oben beschrieben, werden in den Vakuumlaminatoren 26 und 28 erfindungsgemäß mit der folgenden Sequenz vakuumlaminiert.
    • (1) Die im Vakuum zu laminierende Leiterplatte wird zunächst in der Vertiefung 180' der unteren Drucktiegelplatte 146 des ersten Vakuumlaminators 26 auf den Silikonkautschukeinsatz 182' platziert. Dies wird erleichtert durch Entspannen der Spannung am ersten Förderband 70 auf dessen Oberfläche die Leiterplatte in den Bereich der ersten Vakuumkammer 178' befördert wurde.
    • (2) Die untere Drucktiegelplatte 148 wird anschließend aufwärts bewegt, wie in 8 gezeigt, um mittels des O-Rings 184', die Vertiefung 180', die zusammen mit der Auskleidung 176' die erste Vakuumkammer 178' bildet, zu versiegeln. Zu beachten ist, dass das Band 70 auf dem die im Vakuum zu laminierende Leiterplatte liegt auch zwischen der oberen Drucktiegelplatte 150 und der unteren Drucktiegelplatte 146 eingefasst wird.
    • (3) Bei ruhenden Drucktiegelplatten 190' und 192' wird der Vakuumverfahrenszyklus gestartet durch Betätigung der Vakuumpumpe 186', wodurch Luft aus der Vakuumkammer 178' evakuiert wird. Während dieser Stufe werden Kanäle 194' in der oberen Drucktiegelplatte 150 des ersten Vakuumlaminators 26 geschlossen, so dass Luft auch nicht aus dem Bereich zwischen der oberen Drucktiegelplatte 150 und der Auskleidung 176' evakuiert wird. Zu beachten ist, dass dieser Verfahrensschritt bei Umgebungstemperatur durchgeführt wird, was eine Vorverklebung des vorlaminierten Films auf der Platine verhindert.
    • (4) Sobald der erste Vakuumzyklus vollständig ist wird das Vakuum in der ersten Vakuumkammer 178' aufgegeben indem man ermöglicht, dass atmosphärische Luft eintritt, wobei die untere Drucktiegelplatte 146 aus dem Kontakt mit der oberen Drucktiegelplatte 150 heraus abwärts bewegt wird. Die Spannung im Band 70 wird anschließend wiederhergestellt um zu ermöglichen, dass die Leiterplatte zum zweiten Vakuumlaminierungsvorgang befördert wird.
    • (5) Die Leiterplatte wird anschließend unmittelbar zum zweiten Vakuumlaminator 28 bewegt und in der Vertiefung 180'' der unteren Drucktiegelplatte 148 auf dem Siliziumkautschukeinsatz 182'' platziert. Auf ähnliche Weise wird dies dadurch erleichtert, dass die Spannung im zweiten Förderband 72 auf dessen Oberfläche die Leiterplatte in den Bereich der zweiten Vakuumkammer 178'' gefördert wurde entspannt wird.
    • (6) Die untere Drucktiegelplatte 148 des zweiten Vakuumlaminators 28, der in dieser Stufe beheizt ist, wird aufwärts bewegt, wie in 8 gezeigt, um mittels des O-Rings 184'' die Vertiefung 180'', die zusammen mit der Auskleidung 176'' auf gleiche Weise wie oben ausgeführt die zweite Vakuumkammer 178'' bildet, zu versiegeln. Zu beachten ist, dass das Band 72 auf dem die Leiterplatte vakuumlaminiert wird auch zwischen der oberen Drucktiegelplatte 152, die in dieser Stufe auch beheizt wird, und der unteren Drucktiegelplatte 178 eingeschlossen ist.
    • (7) Der zweite Vakuumverfahrenszyklus wird gestartet durch Betätigen der Vakuumpumpe 186'', wobei Luft aus der Vakuumkammer 178'' und aus dem Bereich zwischen der oberen Drucktiegelplatte 152 und der Auskleidung 176'' evakuiert wird.
    • (8) Für einen bestimmten Zeitraum am Ende der ersten Stufe des zweiten Vakuumverfahrenszyklus gibt es eine zweite Stufe oder einen „Abschlag" (slap down) der Auskleidung 176'' in der oberen Drucktiegelplatte 152, wie in 9 gezeigt. Dies wird bewirkt durch Öffnen der Kanäle 194'' in der oberen Drucktiegelplatte 152 um atmosphärische Luft oder Druckluft (z. B. 1 bis 5 bar) den Raum zwischen der Auskleidung 176'' und der oberen Drucktiegelplatte 152 einzudringen. Ein derartiger „Abschlag" bringt mechanischen Druck auf die Leiterplatte auf um den nun erhitzten Film dazu zu zwingen sich um die erhabenen Schaltkreisbahnen oder Substratoberflächenkonturen anzupassen. Obwohl es nicht notwendig ist ein Vakuum in der zweiten Kammer für die Filmevakuierung zu ziehen erlaubt dieses Gerät einen wirksamen „Abschlag".
    • (9) Wenn der zweite Vakuumzyklus vollständig ist wird das Vakuum in der zweiten Vakuumkammer 178'' aufgegeben indem man den Eintritt atmosphärischer Luft ermöglicht, wobei die erhitzte untere Drucktiegelplatte 178 abwärts aus dem Kontakt mit der erhitzten oberen Drucktiegelplatte 152 bewegt wird. Die Spannung in dem Band 70 wird anschließend wiederhergestellt um zu ermöglichen, dass die Leiterplatte zum nächsten Vorgang bewegt wird.
  • Es muss angemerkt werden, dass gemäß der Erfindung die vorlaminierten, im Vakuum zu laminierenden Leiterplatten mit dem Vakuumapplikator 12 mit Fördereinrichtung durch vorhergehende Geräte in dem in-line-System zentriert werden müssen, obwohl wenn erwünscht einstellbare Führungen 196 bereitgestellt werden können zu diesem Zweck, in Verbindung mit den Zuführungsförderern 14 und 16, wie in 10 veranschaulicht.
  • Der Funktionszyklus des verbesserten Vakuumapplikators 12 mit Fördereinrichtung der vorliegenden Erfindung der eine vorzeitige Verklebung oder Haftung des Trockenfilms auf die Leiterplatte vor der Filmevakuierung verhindert ist in den 11 bis 24 veranschaulicht.
  • Im Schritt 1 der Sequenz, wie in 11 gezeigt, ist eine vorlaminierte Leiterplatte 200 gezeigt, die am Zuführungsförderer 14 von der vorhergehenden Vorrichtung die mit einer Geschwindigkeit von 3 m/Min. läuft, ankommt. Die bewegliche Sperre 30 ist in der „auf"-Position der die Platten blockierenden Position. Weil abgekoppelt von dem Kettenantriebsgetriebe 84 durch die Kupplung 104 verbleibt der Bandförderer 22 stationär.
  • In Schritt 2 der Sequenz, wie in 12 gezeigt, wird die Platte 200 am Ausgangsende 14b des Zuführungsförderers 14 durch die Sperre 30 gestoppt und wird in eine Ausrichtung bewegt, die bezüglich dessen rechtwinklig ist. Wie vorher angemerkt wurde die Leiterplatte 200 bereits auf dem Förderer 14 zentriert, wurde durch vorherige Vorrichtungen oder durch einstellbare Führungen 196 verknüpft mit dem Zuführungsförderer 14 zentriert. Der erste Zuführungsförderer 14 wird gestoppt, etwa durch Betätigung des elektromagnetischen Kupplung 92, sobald die Leiterplatte 200 am Ausgangsende 14b davon durch die Fotozelle 36 erfasst wurde.
  • Wie mittels eines programmierbaren Logik-Controllers (PLC) gesteuert, schematisch beim Bezugszeichen Nr. 198 in 2 angedeutet, wird die Sperre 30 abwärts bewegt, durch Betätigung des Druckluftzylinders 32 in Schritt 3 der Sequenz, wie in 13 gezeigt, um die Leiterplatte 200 freizugeben. Unmittelbar danach werden sowohl der Zuführungsförderer 14 als auch der erste Bandförderer 22 durch eine entsprechende Energiezufuhr für den Gleichstrommotor 78 für einen Betrieb einer Geschwindigkeit von 9 m/Min. gestartet um die Leiterplatte sehr schnell auf das Band 70 auf dem ersten Bandförderer 22 aufzuladen und dabei in die erste Vakuumkammer des ersten Vakuumlaminators 26 zu verbringen. Im Schritt 4 der Sequenz, wie in 14 zu sehen, gewährleisten eine Nocke 138 und ein kooperierender Sensor 142 ein Signal um den Bandförderer 70 des ersten Vakuumlaminators 26 und den Zuführungsförderer 14 zu stoppen sobald die Leiterplatte 200 in der ersten Vakuumkammer 178' bei einer Position direkt vertikal oberhalb der Vertiefung 180 in der unteren Drucktiegelplatte 146 ist. Die Sperre 30 wird durch Betätigung des Druckluftzylinders 32 aufwärts bewegt und die Eingaberolle 38 des Bandförderers 22 wird durch die Betätigung des Zweitpositionsdruckluftzylinders 134 in die Richtung der ersten Vakuumkammer verschoben um die Spannung des Bandes 70 zu entlasten. Der Zuführungsförderer 14 beginnt mit einer Geschwindigkeit von 3 m/Min. zu laufen. Weil vom Kettenantriebsgetriebe 84 durch die elektromagnetische Kupplung 104 abgekoppelt, verbleibt der erste Bandförderer 22 stationär.
  • Wie in 15 zu sehen wird in Schritt 5 der Sequenz die untere Drucktiegelplatte 146 des ersten Laminators 26 vertikal aufwärts mittels eines pneumatischen Presskolbens 202 bewegt. Die untere Drucktiegelplatte 146 durchläuft aufwärts durch die Öffnung 74 im Band 70 wobei die Öffnung 74 anschließend in vertikaler Anordnung mit der unteren Drucktiegelplatte 146 ist. Die Vakuumpumpe 186' wird für eine vorherbestimmte Zeit in einer ersten Stufe des Vakuumprozesses bei Umgebungstemperaturbedingungen betätigt. Entsprechend wird zu keinem Zeitpunkt während dieser Phase die Vakuumkammer durch die Drucktiegelplattenheizer 190' und 192' beheizt, die Heizer verbleiben ruhend. Inzwischen kommt eine neue in Vakuum zu laminierende vorlaminierte Leiterplatte 200a am Zuführungsförderer 14 an und wird auf die Sperre 30 zu bewegt und dort gestoppt, die wie in 15 gezeigt in der oberen Position ist.
  • Schritt 6 der Sequenz ist in 16 gezeigt. Dies ist nachdem die erste Stufe des Vakuumprozesses abgeschlossen ist. Das Vakuum in der ersten Vakuumkammer wird durch Betätigen eines Ventils um den Einlass von atmosphärischer Luft in die Vakuumkammer 178' zu ermöglichen aufgegeben. Die untere Drucktiegelplatte 146 wird anschließend mit dem hydraulischen Zylinder 202 abwärts durch die Öffnung 74 im Band 70 des ersten Bandförderers 22 abgesenkt. Inzwischen ist eine neue Leiterplatte 200a angeordnet oder rechtwinklig zur Sperre 30 liegend, und der erste Zuführungsförderer 14 ist gestoppt.
  • In 17, welche den Schritt 7 der Sequenz zeigt, wird die Eingangsbandrolle 38 zurück in Richtung auf das Ausgangsende 14b des Zuführungsförderers 14 bewegt, mittels des Zweipositionsdruckluftzylinders 34 um die Spannung in dem Band 70 des ersten Bandförderers 22 wiederherzustellen. Die neue Leiterplatte 200a wartet in der anliegenden Position an der Sperre 30 auf dem Zuführungsförderer 14.
  • Wie in 18 gezeigt, welche Schritt der Sequenz zeigt, ist die Betätigung der elektromagnetischen Kupplung in 96, 104 und 112 so, dass die Bandförderer 22 und 24 beider Laminatoren 26 und 28 zusammen mit dem Zuführungsförderer 16 zu laufen beginnen. Da vom Kettenantriebsgetriebe 90 durch die Kupplung 92 abgekoppelt, verbleibt der erste Zuführungsförderer 14 stationär. Die simultane Energieversorgung beider Motoren 78 und 80, wie durch den PLC 198 gesteuert, ist dann so, dass beide Bandförderer 22 und 24 und der Zuführungsförderer 16 mit einer Geschwindigkeit von 9 m/Min. starten um eine schnelle Entladung und Beladung der teilweise verarbeiteten Leiterplatte 200 aus der Vakuumkammer des ersten Vakuumlaminators 26 in die Vakuumkammer des zweiten Vakuumlaminators 28 zu bewirken. Eine Nocke 140 und ein kooperierender Sensor 144 stellen ein Signal zum Stoppen des Bandführers 72 und des Zuführungsförderers 16 zur Verfügung sobald die Leiterplatte 200 in der zweiten Vakuumkammer bei einer Position direkt oberhalb der Ausnehmung in der unteren Drucktiegelplatte 148 ist.
  • In Schritt 9 der Sequenz, gezeigt in 19, wird sobald die teilweise verarbeitete Leiterplatte 200 vollständig außerhalb des ersten Bandes 70 ist, wie mittels Fotozelle 170 erfasst, die Geschwindigkeit des Bandförderers 70 auf 30 m/Min. erhöht um das Band 70 schnell zum Sollwert zu bewegen und die neue Leiterplatte 200a aufzunehmen, die am Ausgangsende 14b des Zuführungsförderers 14 gewartet hat. Einige Zentimeter bevor der Sollwert erreicht wird, wird die Geschwindigkeit des Bandförderers 22 auf 3 m/Min. verlangsamt und anschließend wird der Bandförderer 22 präzise am Sollwert gestoppt. Inzwischen wird, mit der teilweise verarbeiteten Platte 200 bereits in die zweite Vakuumkammer 178'' eingeführt, die Eingaberolle 40 des zweiten Bandförderers 24 durch Betätigung der Zweipositionsdruckluftzylinder 136 in die Richtung der zweiten Vakuumkammer bewegt um die Spannung im Band 72 zu entspannen.
  • Im Schritt 10 der Sequenz, wie in 20 gezeigt, wird die untere Drucktiegelplatte 148 des zweiten Vakuumlaminators 28 vertikal mittels eines hydraulischen Presskolbens 204 aufwärts bewegt. Die Drucktiegelplatte 148 durchläuft aufwärts durch die Öffnung 46 im Band 42, wobei die Öffnung 46 anschließend in vertikaler Anladung mit der unteren Drucktiegelplatte 148 ist. Die Vakuumpumpe 186'' wird für eine vorherbestimmte Zeit in einer ersten Stufe des zweiten Vakuumprozesses betätigt, wonach für einen kurzen Zeitraum eine Abschlagsbewegung wie im Zusammenhang mit 9 beschrieben angewandt wird. Während der Vakuumphase wird die Leiterplatte 200 durch die Heizer 190'' und 192'' in den oberen und unteren Drucktiegelplatten 152 bzw. 148 beheizt. Es sollte klar sein, dass während des zweiten Vakuumprozesses Vakuum angewandt wird nicht um Luft zwischen dem Film und der Oberfläche der Leiterplatte 200 abzuziehen, da dies bereits in der ersten Stufe des zweistufigen Vorgangs erledigt wurde, sondern um eine gute Situation zu erzeugen um mechanischen Druck auf die Leiterplatte 200 durch die Abschlagswirkung aufzubringen. Zwischenzeitlich wird die Sperre 30 abwärts bewegt, durch Betätigung des Druckluftzylinders 32, um die neue vorlaminierte Leiterplatte 200a die am Eingang des ersten Vakuumlaminators 26 wartet einzulassen. Unmittelbar danach werden sowohl der Zuführungsförderer 14 als auch der erste Bandförderer 22 durch entsprechende Betätigung der elektromagnetischen Kupplungen 92 und 104 und Energiezufuhr zum Motor 78 für einen Betrieb bei einer Geschwindigkeit von 9 m/Min. gestartet um die neue Leiterplatte 200a auf das Band 70 des ersten Bandförderers 22 und damit in die erste Vakuumkammer zu bewegen. Die Nocke 138 und der kooperierende Sensor 142 stellen ein Signal zum Stoppen des Bandförderers 22 zur Verfügung nachdem die Leiterplatte 200a in die günstige Position in der ersten Vakuumkammer bewegt wurde.
  • Schritt 11 der Sequenz ist in 21 gezeigt. Dies ist nachdem die Endstufe des Vakuumlaminierungsverfahrens abgeschlossen wurde. Das Vakuum in der zweiten Vakuumkammer 178'' wird durch Betätigen eines Ventils um einen Zutritt von atmosphärischer Luft in die Vakuumkammer zu ermöglichen aufgegeben. Die untere Drucktiegelplatte 148 wird anschließend mittels des hydraulischen Zylinders abwärts durch die Öffnung im Band 76 des zweiten Bandförderers 24 abgesenkt. Während zur gleichen Zeit die Sperre 30 durch Betätigung des Druckluftzylinders 32 aufwärts bewegt wird, wird die Eingangsrolle des ersten Bandförderers 22 durch Betätigung des Druckluftzylinders 134 in Richtung der Vakuumkammer verschoben um die Spannung des Bandes 70 zu entspannen. Der Zuführungsförderer 14 beginnt dann mit einer Geschwindigkeit von 3 m/Min. zu laufen um eine neue vorlaminierte Leiterplatte zu empfangen während das Band 70 stationär verbleibt.
  • Wie in 22 zu sehen, wird in Schritt 12 der Sequenz die Eingangsrolle 40 zurück zum Ausgangsende 16b des Zuführungsförderers 16 bewegt durch den Zweipositionsdruckluftzylinder 136 um die Spannung im Band 72 des zweiten Bandförderers 24 wiederherzustellen. Zur gleichen Zeit wird die untere Drucktiegelplatte 146 des ersten Laminators vertikal aufwärts durch die Öffnung 74 im Band 70 bewegt. Evakuierung bei Umgebungsbedingungen erfolgt auf gleiche Weise wie oben beim Schritt 5 ausgeführt. Zwischenzeitlich kommt eine neue vorlaminierte Leiterplatte 200b beim ersten Zuführungsförderer 14 an.
  • Im Schritt 13 wie in 23 gezeigt ist die Betätigung der elektromagnetischen Kupplungen 96 und 112 so, dass nur der zweite Bandförderer 24 startet. Die Energieversorgung des Motors 80 wie mittels des PLC gesteuert ist dann so, dass der zweite Bandförderer 24 mit einer Geschwindigkeit von 9 m/Min. startet um eine schnelle Entladung der verarbeiteten Leiterplatte 200 zu bewirken. Zwischenzeitlich ist der Umgebungstemperaturvakuumprozess der ersten Vakuumkammer abgeschlossen. Das Vakuum in der ersten Kammer 178' wird daher durch Betätigung eines Ventils aufgegeben um ein Eindringen von atmosphärischer Luft in die Vakuumkammer zu ermöglichen. Die untere Drucktiegelplatte 146 wird anschließend mit dem hydraulischen Zylinder abwärts durch die Öffnung 74 im Band 70 abgesenkt. Die neue Leiterplatte 200b wird angeordnet oder rechtwinklig an der Barriere 30 angelegt und der Zuführungsförderer 14 wird gestoppt.
  • Im Schritt 14 der Sequenz, wie in 24 gezeigt, wird sobald die verarbeitete Leiterplatte vollständig vom zweiten Band 72 abgegeben wurde wie mittels Fotozelle 172 erfasst, die Geschwindigkeit des zweiten Bandförderers 24 auf 30 m/Min. erhöht um das Band 72 schnell auf den Sollwert zu bringen um die neue Leiterplatte 200a aufzunehmen. Die Temperatur der verarbeiteten Leiterplatte 200 wird mittels Infrarotsensor 174 bestimmt während diese den zweiten Vakuumlaminator 28 verlässt. Zur gleichen Zeit wird die Eingangswalze 38 des ersten Bandförderers 22 zurück Richtung des Ausgangsendes 176 des ersten Zuführungsförderers 17 durch den Zweipositiondruckluftzylinder 134 bewegt, um die Spannung des Bandes 70 des ersten Bandförderers 22 wiederherzustellen. Die nächste neue Leiterplatte 200b wartet in einer angeordneten Position an der Barriere 30 auf dem Zuführungsförderer 14. Der Zyklus wiederholt sich dann vom Schritt 8 wie in 18 veranschaulicht.
  • Die Erfassungsschalter umfassend Nocken 138, 140, 154, 156, 162 und 164 sowie die kooperierenden Sensoren 142, 144, 158, 160, 166 bzw. 168 können jeweils von bekannter Art wie etwa Annäherungsschalter, kontaktlose Schalter sein. Insbesondere kann die Nocke ein metallisches Objekt mit dem Sensor umfassen, in jedem Fall umfassend eine elektronische Vorrichtung die in der Position fixiert ist und auf die Bewegung in der Nähe der metallischen Nocke reagiert und dabei ein elektrisches Signal in Antwort auf die Bewegung erzeugt und somit das metallische Objekt erfasst.
  • Der programmierbare Logik-Controller 198, verwendet zum Steuern des sequentiellen Betriebs des Vakuumapplikators mit Fördereinrichtung 12, kann ein Mikroprozessorregler des kommerziell erhältlichen Typs von Saia, Mitsubishi oder ein anderer sein. Der Controller 198 erwidert auf die verschiedenen von den Fotozellen 36, 170 und 172 und von den Annäherungsschalternsensoren 142, 144, 158, 160, 166 und 168 erzeugten Signale, um zusammen mit den vorprogrammierten Vergleichsdaten die verschiedenen Steuerungsfunktionen zu koordinieren, einschließlich der Zeitabläufe der Vakuumverfahren-Laminierungsstufen. Diese Steuerungsfunktionen umfassen die Betätigung der geeigneten Sequenz der Druckluftzylinder 32, 134 und 136 der pneumatischen Druckkolben 202 und 204 sowie der elektromagnetischen Kupplungen 92, 96, 104 und 112 und der Auswahlschalter 126 und 128 für die Motorgeschwindigkeitssteuerungspotentiometer 114, 116 und 118 sowie 120, 122 bzw. 124. Für die einfache Veranschaulichung wurden in 2 die Steuerungswege zwischen dem PLC 198 und den verschiedenen Steuerungsvorrichtungen wie eben erwähnt in gestrichelten Linien gezeigt. Es ist klar, dass obwohl nicht gezeigt, die gestrichelten Linien, wo notwendig und angemessen wie den Fachleuten gut bekannt ist, auch Umwandlungsvorrichtungen wie etwa elektrisch betriebene pneumatische Ventile zur Steuerung der verschiedenen Luftzylinder und der pneumatischen Druckkolben und elektrischer Verzögerungsmittel zur Steuerung der Motorgeschwindigkeits-Steuerungsausfallschalter. Die elektrischen Schaltkreisverbindungen zu den verschiedenen Eingabeterminals (nicht gezeigt) des PLC 198 von den Fotozellen und von den Sensoren wurden nicht gezeigt um eine Verkomplizierung der Zeichnungen zu vermeiden, da derartige Schaltungen gut bekannt sind und von den Fachleuten verstanden werden.
  • Bezugnehmend auf 25 kann in einer alternativen Ausführungsform der zweite Vakuumlaminator 28 ein Dualbandsystem enthalten, um die evakuierte Leiterplatte weiter von den erhitzten oberen und unteren Drucktiegelplatten zu isolieren. Dieses Dualbandsystem ist vollständiger beschrieben in der parallel anhängigen italienischen Anmeldung, eingereicht am selben Tag vom gleichen Anmelder unter dem gleichen Titel, deren Offenbarung per Zitierung hier mit einbezogen wird. Das wesentliche Merkmal des Dualbandvakuumlaminators wie in 25 gezeigt, ist die Bereitstellung von zwei unabhängigen (d. h. dualen) Bandfördersystemen, insbesondere ein unterer Bandförderer 206 und ein oberer Bandförderer 208. Der untere Bandförderer 206 wird für die Bewegung der vorlaminierten Leiterplatte in und aus der Vakuumkammer des zweiten Laminators 28 für die Anwendung von Wärme und mechanischem Druck positioniert. Der untere Bandförderer umfasst ein Endlosband mit zwei unterschiedlichen Bereichen 210 und 212 auf welchen die Leiterplatte von zwei Öffnungen 214 und 216 beabstandet platziert werden kann. Die beiden Abschnitte sind so positioniert, dass wenn ein Abschnitt des unteren Bandes mit der Leiterplatte in die Vakuumkammerregion bewegt wird, der andere Abschnitt aus dieser Region zum Abkühlen herausbewegt wird und andersherum. Der obere Bandförderer 208 liegt beabstandet oberhalb des unteren Bandförderers in dem Vakuumkammerbereich und umfasst auch ein Endlosband 218 mit mindestens zwei unterschiedlichen Abschnitten die alternierend in und aus dem Vakuumkammerbereich liegen, so dass wenn ein Abschnitt des oberen Bandes in den Vakuumkammerbereich bewegt wird, mindestens ein anderer Abschnitt aus dem genannten Bereich für die Abkühlung herausbewegt wird und umgekehrt. Beim Betrieb wird, wenn ein Abschnitt (d. h. ein Kühlabschnitt) des unteren Bandes mit der Leiterplatte die vakuumlaminiert werden soll sich in den Vakuumkammerbereich bewegt, wird ein Abschnitt (d. h. ein Kühlabschnitt) des oberen Abschnitts auch in die Vakuumkammerregion indexiert, sobald die anderen Bandabschnitte aus dem Vakuumkammerbereich für Umgebungskühlung herausbewegt werden. Dies ermöglicht, dass die im Vakuum zu laminierende Leiterplatte anfangs nur zwischen Kühlabschnitten der oberen und unteren Bänder angeordnet ist, die als Wärmeschilde wirken um zu verhindern, dass der Trockenfilm sich zu schnell aufheizt und vorab an der Leiterplatte haftet, sobald diese der Presshitze ausgesetzt sind die von den erhitzten Drucktiegelplatten abgegeben wird die noch vom vorhergehenden Vakuumlaminierungszyklus heiß sind.

Claims (19)

  1. Verfahren zur Vakuumlaminierung einer Trockenfilmfotoresist-bildenden Schicht auf eine vorlaminierte Leiterplatte oder ein anderes Substrat (200), welches ein vorzeitiges Haften des Trockenfilms auf der Platte oder dem Substrat verhindert, umfassend: (a) Platzieren der Platte oder des Substrates in einer ersten Vakuumlaminierungskammer eines Vakuumlaminators (12) mit zwei unabhängigen Vakuumlaminierungskammern (18, 20); (b) Vakuumziehen in der genannten ersten Kammer (18) bei Umgebungstemperatur für eine ausreichende Zeit um im Wesentlichen die gesamte Luft zwischen dem Trockenfilm und der Oberfläche der Leiterplatte oder des Substrates zu evakuieren und den Trockenfilm in innigem Kontakt mit der Oberfläche der Leiterplatte oder des Substrates zu platzieren; (c) Platzieren der Leiterplatte oder des Substrats in einer zweiten Vakuumlaminierungskammer (20) des Vakuumlaminators, wobei die zweite Kammer von der ersten Kammer unabhängig ist; und (d) Anwenden ausreichender Wärme auf dem Trockenfilm auf der Leiterplatte oder dem Substrat in der zweiten Kammer (20) um zu bewirken, dass der Trockenfilm angemessen fließt und anschließend Anwenden von ausreichendem mechanischen Druck auf die Leiterplatte oder das Substrat um dadurch das erhitzte Laminat zu zwingen sich eng den Oberflächenkonturen auf der Leiterplatte oder dem Substrat anzupassen.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, worin die Schritte (a) bis (d) in Reihe (in-line) durchgeführt werden.
  3. Verfahren nach Anspruch 2, wobei die Schritte (a) bis (d) in einer kontinuierlichen, automatisierten Weise durchgeführt werden.
  4. Verfahren nach Anspruch 3, wobei die Schritte (b) und (d) in alternierender Reihenfolge durchgeführt werden um zu ermöglichen, dass mindestens eine vorlaminierte Platte oder Substrat zur gleichen Zeit in jeder der Vakuumkammer vorliegt.
  5. Verfahren nach Anspruch 3 oder Anspruch 4, umfassend in einem automatischen, schrittweisen Vorgang: (a) Platzieren einer ersten Leiterplatte oder eines Substrates (200a) am Eingangsende eines ersten sich bewegenden Bandförderers (22) zur Bewegung in die erste Vakuumlaminierungskammer (18), wobei die erste Kammer durch eine obere Drucktiegelplatte (150) und eine untere Drucktiegelplatte (146) definiert wird, die dazu angepasst sind in eine versiegelte Einstellung bewegt zu werden, wobei der erste Bandförderer ein Endlosband (70) unter Spannung aufweist das in sich eine Öffnung (74) aufweist und dadurch gekennzeichnet ist, dass es eine Anfangs- oder Sollpunktposition aufweist, so dass, wenn die Leiterplatte oder das Substrat auf dem Endlosband in den Bereich der ersten Vakuumkammer zwischen den oberen und unteren Drucktiegelplatten bewegt wird, die Öffnung in eine Ausrichtung mit und zwischen der Leiterplatte und der unteren Drucktiegelplatte bewegt wird; (b) Abtasten der Positionierung der Leiterplatte in der ersten Vakuumkammer (18) des Vakuumlaminators und Stoppen der Bewegung des ersten Bandförderers (22); (c) Entlasten der Spannung auf dem Endlosband (70) des ersten Bandförderers; (d) Anheben der unteren Tiegeldruckplatte (146) aufwärts durch die Öffnung (74) in dem Endlosband in die versiegelte Einstellung mit der oberen Tiegeldruckplatte (150) und dadurch Einfassen der Leiterplatte oder des Substrats (200) sowie mindestens eines Teils des Endlosbandes, auf dem die Leiterplatte oder das Substrat positioniert ist, innerhalb der ersten Vakuumkammer (18); (e) Evakuieren der ersten Vakuumkammer (18) bei Umgebungstemperatur für eine ausreichende Zeit um die gesamte Luft zwischen dem lose aufgebrachten vorlaminierten Trockenfilm und der Oberfläche der Leiterplatte oder des Substrates abzuziehen, wodurch der Trockenfilm in innigem Kontakt mit der Leiterplatten- oder Substratoberfläche platziert wird; (f) nach Abschluss der vorgenannten Evakuierung Ermöglichen des Eintritts von atmosphärischer Luft in die erste Vakuumkammer (18); (g) Absenken der unteren Drucktiegelplatte (146) abwärts durch die Öffnung (74) in dem Endlosband (70); (h) Wiederherstellen der Spannung in dem Endlosband (70) für die Bewegung der evakuierten Leitplatte oder des Substrats aus der ersten Vakuumkammer (18) heraus; (i) Fördern der Leiterplatte oder des Substrats (200a) aus der ersten Vakuumkammer (18) heraus und zum Eingangsende eines zweiten bewegten Bandförderers (24), für die Bewegung in eine zweite Vakuumlaminierung (20) des Vakuumlaminators, wobei die zweite Vakuumkammer in Reihe mit der ersten Kammer (18) angeordnet ist, und die zweite Kammer definiert wird durch eine obere Drucktiegelplatte (152) und eine zweite Drucktiegelplatte (148), angepasst um in eine versiegelte Einstellung bewegt zu werden, wobei der zweite Bandförderer ein Endlosband (72) unter Spannung aufweist, welches eine Öffnung (76) darin aufweist und dadurch charakterisiert ist, dass es eine Anfangs- oder Sollpunktposition aufweist, so dass wenn die Leiterplatte auf dem Endlosband im Bereich der zweiten Vakuumkammer zwischen die oberen und unteren Drucktiegelplatten bewegt wird, die Öffnung in eine Ausrichtung mit und zwischen der Leiterplatte und der unteren Drucktiegelplatte (148) bewegt wird; (j) Fortsetzen der Bewegung des ersten Endlosbandes (70) bis zur Anfangs- oder Sollpunktposition für die Aufnahme einer neuen vorlaminierten Leiterplatte oder eines Substrats das am Eingangsende der ersten Vakuumkammer (18) ankommt; (k) Abtasten der Positionierung der evakuierten Leiterplatte oder des Substrats (200a) in der zweiten Vakuumkammer (20) und Stoppen der Bewegung des zweiten Bandförderers (24); (l) Entlasten der Spannung des Endlosbandes (72) des zweiten Bandförderers (74); (m) Anheben der unteren Drucktiegelplatte (148) bei der zweiten Vakuumkammer aufwärts durch die Öffnung (46) in dem Endlosband (72) in die versiegelte Einstellung mit der oberen Drucktiegelplatte (152) und dadurch Einfassen der Leiterplatte oder des Substrats und mindestens eines Teils des Endlosbandes, auf dem die Leiterplatte oder das Substrat positioniert ist, innerhalb der zweiten Vakuumkammer; (n) Evakuieren der zweiten Vakuumkammer (20); (o) Erhitzen der oberen Drucktiegelplatte (152) und der unteren Drucktiegelplatte (148) der zweiten Vakuumkammer auf eine Temperatur bei welcher das Laminat auf der Leiterplatte oder dem Substrat eine hohe Fließcharakteristik aufweist; (p) Bewirken, dass die obere Drucktiegelplatte (152) mechanischen Druck auf die Leiterplatte oder das Substrat ausübt um das erhitzte Laminat zu zwingen sich eng an die Oberflächenkonturen der Leiterplatte oder des Substrats anzupassen; (q) nach Abschluss der vorgenannten Laminierung Ermöglichen des Zutritts atmosphärischer Luft in die zweite Vakuumkammer (20); (r) Absenken der unteren Drucktiegelplatte (148) der zweiten Vakuumkammer abwärts durch die Öffnung (76) in dem Endlosband (72) des zweiten Bandförderers (24); (s) Wiederherstellen der Spannung in dem Endlosband (22) des zweiten Bandförderers für die Bewegung der laminierten Leiterplatte oder des Substrats aus dem Vakuumlaminator (12) heraus; (t) Fördern der Leiterplatte oder des Substrats aus dem Vakuumlaminator heraus; und (u) Fortsetzen der Bewegung des zweiten Endlosbandes (72) zu der Anfangs- oder Sollpunktposition zur Aufnahme einer neuen Leiterplatte oder eines Substrats das aus der ersten Vakuumkammer (18) austritt und am Eingangsende der zweiten Vakuumkammer (20) ankommt.
  6. Verfahren nach Anspruch 5, ferner umfassend: (v) Platzieren einer zweiten vorlaminierten Leiterplatte oder eines anderen Substrates (200b) am Eingangsende des ersten Förderbandes (70); und (w) Wiederholen der Schritte (a) bis (u).
  7. Verfahren nach Anspruch 6, wobei in (v) die zweite vorlaminierte Leiterplatte oder das Substrat (200b) am Eingangsende des ersten Förderbandes (70) zu im Wesentlichen der gleichen Zeit platziert wird zu welcher Schritt (m) bezüglich der ersten Leiterplatte oder des Substrats erfolgt, um zu ermöglichen, dass der Vakuumlaminierungszyklus in jeder Vakummkammer (18, 20) in alternierender Reihenfolge betrieben wird, wodurch ermöglicht wird, dass mindestens eine vorlaminierte Leiterplatte zur gleichen Zeit in jeder der Kammern vorliegt.
  8. Verfahren nach einem der Ansprüche 5 bis 7, ferner umfassend die folgenden Schritte vor Schritt (a): (a.i) Fördern einer vorlaminierten Leiterplatte oder eines Substrats (200a) von vorhergehenden Anlagen auf einem ersten Zuführungsförderer (14) in Richtung des ersten Bandförderers (22); (a.ii) Bereitstellen einer Sperre (30) am Ausgangsende des ersten Zuführungsförderers (14) um die Bewegung der Leiterplatte oder des Substrats zu stoppen und die Leiterplatte oder das Substrat auszurichten; (a.iii) Erfassen der Anwesenheit der Leiterplatte oder des Substrats am Ausgangsende des ersten Zuführungsförderers (14) und Stoppen der Bewegung des ersten Zuführungsförderers; (a.iv) Einstellen der Sperre (30) am Ausgangsende des ersten Zuführungsförderers auf eine nicht stoppende oder nicht blockierende Position; und (a.v) Fördern der Leiterplatte vom ersten Zuführungsförderer ans Eingangsende des ersten Bandes (70) für die Bewegung der Leiterplatte oder des Substrats in die erste Vakuumkammer.
  9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Trockenfilm eine Lötmaske oder ein primär optischer Fotoresist (primary imaging fotoresist) ist.
  10. Apparat zur Vakuumlaminierung einer Trockenfilmfotoresist-bildenden Schicht auf eine vorlaminierte Leiterplatte oder ein anderes Substrat (200) welches ein vorzeitiges Haften des Trockenfilms auf der Leiterplatte oder dem Substrat verhindert, umfassend: einen Vakuumlaminator (12) mit zwei unabhängigen Vakuumlaminierungskammern (18, 20) angeordnet in Endseite-zu-Endseite-Beziehung; wobei die erste Vakuumlaminierungskammer (18) bei Umgebungstemperatur betrieben wird während ein Vakuum gezogen wird um im Wesentlichen die gesamte Luft zwischen dem lose aufgebrachten vorlaminierten Trockenfilm und der Oberfläche der Leiterplatte oder des Substrats zu evakuieren, wodurch der Trockenfilm in innigem Kontakt mit der Leiterplatte und dem Substrat platziert wird ohne zu verursachen, dass der Trockenfilm vorzeitig an der Oberfläche haftet bevor die gesamte Luft evakuiert werden kann, und die erste Vakuumlaminierungskammer (18) eine relativ stationäre obere Drucktiegelplatte (150) und eine untere Drucktiegelplatte (146) aufweist, die dafür angepasst ist in eine versiegelte Einstellung mit der oberen Drucktiegelplatte bewegt zu werden um den ersten Vakuumkammerbereich auszubilden, sowie einen ersten Bandförderer (22); und die zweite Vakuumlaminierungskammer (20) unter Wärme und mechanischem Druck betrieben wird um den evakuierten Trockenfilm auf die Leiterplatte oder das Substrat zu laminieren, wodurch eine vollständige Anpassung des Trockenfilms auf die Oberflächenkonturen der Leiterplatte oder des Substrats sichergestellt wird, wobei die zweite Vakuumlaminierungskammer (20) eine relativ stationäre obere Drucktiegelplatte (152) und eine untere Drucktiegelplatte (148) aufweist, die dafür angepasst ist in eine versiegelte Einstellung mit der oberen Drucktiegelplatte bewegt zu werden um den zweiten Vakuumkammerbereich auszubilden, sowie einen zweiten Bandförderer (24).
  11. Apparat nach Anspruch 10, wobei die ersten und zweiten Vakuumlaminierungskammern (18, 20) durchlaufend sind um einen Betrieb in kontinuierlicher und automatisierter Weise zu ermöglichen.
  12. Apparat nach Anspruch 11, wobei die ersten und zweiten Vakuumlaminierungskammern in alternierender Reihenfolge betrieben werden können.
  13. Apparat nach Anspruch 11 oder 12, wobei die zweite Vakuumlaminierungskammer (20) ein duales Förderbandsystem umfasst.
  14. Apparat nach einem der Ansprüche 10 bis 13, wobei der erste Bandförderer (22) ein Eingangsende (22a) und ein Ausgangsende aufweist und in operativer Beziehung mit der ersten Vakuumlaminierungskammer (18) angeordnet ist, so dass wenn sie von ihrer Sollpunktposition mit einer vorlaminierten Leiterplatte oder einem Substrat das an ihrem Eingangsende platziert ist bewegt wird, die Leiterplatte in den ersten Vakuumkammerbereich zwischen den oberen und unteren Drucktiegelplatten (150, 146) bewegt wird, der erste Bandförderer ein Endlosband (70) unter Spannung umfasst, auf welchem die Leiterplatte oder das Substrat (200) am Eingangsende (22a) des ersten Bandförderers platziert ist und eine Öffnung (74) darin aufweist, die bezüglich des Eingangsendes des ersten Bandförderers so positioniert ist, dass wenn die Leiterplatte in den Bereich der ersten Vakuumkammer zwischen den oberen und unteren Drucktiegelplatten (150, 146) bewegt wird, die Öffnung in eine Ausrichtung zwischen der Leiterplatte oder dem Substrat und der unteren Drucktiegelplatte bewegt wird; wobei der Apparat ferner umfasst: einen ersten Motor (78), der bewirkt, dass sich das Band (70) mit einer Leiterplatte oder einem Substrat (200), das am Eingangsende des ersten Bandförderers (22) platziert ist bewegt, wobei die Leiterplatte oder das Substrat im Bereich der Vakuumkammer (18) positioniert wird; einen ersten Sensor (142), angeordnet um ein Signal auf die Bewegung des Bandes bereitzustellen, das benötigt wird um die Position der Leiterplatte oder des Substrats im Bereich der Vakuumkammer zu positionieren und um den ersten Motor (78) anzuhalten und somit davon abzuhalten eine weitere derartige Bewegung auszuführen; einen ersten Spannungsregler (134), zum Entspannen der Spannung des Endlosbandes (70) des ersten Bandförderers (22); eine erste Hebevorrichtung (202), zum Anheben der unteren Drucktiegelplatte (146) der ersten Vakuumkammer aufwärts durch die Öffnung (74) in dem Band (70) in eine versiegelte Einstellung mit der oberen Drucktiegelplatte (150), wodurch die Leiterplatte oder das Substrat und mindestens ein Teil des Bandes auf dem die Leiterplatte oder das Substrat innerhalb der ersten Vakuumkammer positioniert ist, einzufassen; eine erste Vakuumpumpe (186) zur Evakuierung der ersten Vakuumkammer (18); wobei der zweite Bandförderer (24) ein Eingangsende und ein Ausgangsende aufweist und in operativer Beziehung mit der zweiten Vakuumlaminierungskammer (20) positioniert ist, so dass wenn dieser von seiner Sollpunktposition mit einer vorlaminierten Leiterplatte und einem Substrat (200), das an seinem Eingangsende platziert ist, bewegt wird, die Leiterplatte in den zweiten Vakuumkammerbereich zwischen den oberen und unteren Drucktiegelplatten bewegt wird, wobei der zweite Bandförderer ein Endlosband (72) unter Spannung umfasst auf dem die Leiterplatte oder das Substrat am Eingangsende des zweiten Bandförderers platziert ist, und das eine Öffnung (76) darin aufweist die bezüglich des Eingangsendes zweiten Bandförderers (24) so positioniert ist, dass wenn die Leiterplatte in den Bereich der zweiten Vakuumkammer zwischen den oberen und unteren Drucktiegelplatten (152, 148) bewegt wird, die Öffnung in eine Ausrichtung zwischen der Leiterplatte oder dem Substrat und der unteren Drucktiegelplatte (148) bewegt wird; wobei der Apparat ferner umfasst: einen zweiten Motor (80) um zu bewirken, dass das Band sich mit einer am Eingangsende des zweiten Bandförderers platzierten Leiterplatte oder Substrat bewegt, wobei die Leiterplatte oder das Substrat im Bereich der zweiten Vakuumkammer (20) positioniert wird; einen zweiten Sensor (144) welcher ein Signal bezüglich der Bewegung des Bandes (72) bereitstellt, welches benötigt wird um die Leiterplatte oder das Substrat in dem Bereich der zweiten Vakuumkammer zu positionieren und den zweiten Motor (80) davon abzuhalten eine weitere derartige Bewegung zu bewirken; einen zweiten Spannungsregler (136) zur Entlastung der Spannung des Endlosbandes (72) des zweiten Bandförderers (24); eine zweite Hebevorrichtung (204) zur Anhebung der unteren Drucktiegelplatte (148) der zweiten Vakuumlaminierungskammer aufwärts durch die Öffnung (76) in dem Band (72) in eine versiegelte Einstellung mit der oberen Drucktiegelplatte (152) wodurch die Leiterplatte oder das Substrat und mindestens der Teil des Bandes auf dem die Leiterplatte oder das Substrat innerhalb der zweiten Vakuumkammer positioniert ist eingefangen wird; eine zweite Vakuumpumpe (186'') um die zweite Vakuumkammer zu evakuieren; einen Heizer (190'', 192'') zum Erhitzen der oberen Drucktiegelplatte (152) und der unteren Drucktiegelplatte (148) der zweiten Vakuumlaminierungskammer (20) auf eine Temperatur bei welcher das Trockenfilmlaminat auf der Leiterplatte eine hohe Fließcharakteristik aufweist; eine mechanische Presse um zu bewirken, dass die obere Drucktiegelplatte (152) des zweiten Vakuumlaminators mechanischen Druck auf die Leiterplatte ausübt damit sich der Trockenfilm vollständig an die Oberfläche der Leiterplatte oder des Substrats anpasst; und eine Regeleinrichtung (198), ansprechend auf das vom ersten Sensor (142) bereitgestellte Signal um den ersten Motor (78) zu steuern, den ersten Spannungsregler (134), die erste Hebevorrichtung (202) und die erste Vakuumpumpe (186') und auch ansprechend auf das Signal, das von dem zweiten Sensor (144) bereitgestellt wird um den zweiten Motor (80) zu steuern, den zweiten Spannungsregler (136), die zweite Hebevorrichtung, die zweite Vakuumpumpe (186''), den Heizer (190'', 192'') sowie die mechanische Presse.
  15. Apparat nach Anspruch 14, ferner umfassend in jeder der zwei Vakuumlaminierungskammern (18, 20): einen ersten Durchgang kommunizierend zwischen der Vakuumkammer und der Vakuumpumpe und gesteuert durch die Regeleinrichtung (198) zur Evakuierung der Vakuumkammer; und einen zweiten Durchgang kommunizierend zwischen der Vakuumkammer und atmosphärischer Luft, gesteuert durch die Regeleinrichtung, um zu ermöglichen, dass Luft bei Atmosphärendruck in die Vakuumkammer nach Vervollständigung des Vakuumlaminierungszyklus in jeder Kammer eintritt; wobei die Regeleinrichtung die Hebevorrichtung (202, 204) betätigt um die unteren Drucktiegelplatten (146, 148) abwärts durch die Öffnungen (74, 76) in den Bändern (70, 72) abzusenken, um die Spannungsregler (134, 136) zu betätigen und die Spannung des Bandes wiederherzustellen, und um die Motoren (78, 80) zu betätigen um die verarbeitete Leiterplatte (200) aus dem Bereich der entsprechenden Vakuumkammer herauszubewegen.
  16. Apparat nach Anspruch 15, wobei die obere Drucktiegelplatte (152) der zweiten Vakuumkammer ein Diaphragma (176'') umfasst, das im Wesentlichen luftundurchlässig ist und die Decke der zweiten Vakuumkammer bildet, ferner umfassend: einen dritten Durchgang (194') kommunizierend zwischen der Vakuumpumpe (186'') und dem Raum zwischen dem Diaphragma und der oberen Drucktiegelplatte und gesteuert durch die Regeleinrichtung (198) zum Evakuieren dieses Raums; und einen vierten Durchgang (194''), kommunizierend zwischen dem Raum zwischen dem Diaphragma und der oberen Drucktiegelplatte und der Luft, gesteuert durch die Regeleinrichtung um einen Luftzutritt bei atmosphärischem Druck oder komprimierte Luft in den Raum eintreten zu lassen, bevor man ermöglicht, dass atmosphärische Luft die Vakuumkammer durch den zweiten Durchlass betritt, um zu bewirken, dass das Diaphragma herabgedrückt wird und mechanischen Druck auf die Leiterplatte ausübt um das Laminat zu zwingen sich eng an die Oberflächenkonturen der Leiterplatte oder des Substrats anzupassen.
  17. Apparat nach einem der Ansprüche 14 bis 16, ferner umfassend: Einen dritten Sensor (170), der ein Signal bereitstellt welches auf eine Bewegung der Leiterplatte weg vom ersten Bandförderer (22) an dessen Ausgangsende anspricht, um zu bewirken, dass der erste Motor (78) die Bewegung des Bandes (70) bis zu der Sollpunktposition des Bandförderers fortsetzt; einen vierten Sensor (166), der ein Signal bereitstellt das auf die Annäherung des Bandes an die Sollpunktposition des ersten Bandförderers anspricht, um zu bewirken, dass der erste Motor die Bewegung des Bandes zur Sollpunktposition verlangsamt; einen fünften Sensor (158), der ein Signal bereitstellt welches auf die Bewegung des Bandes (70) auf die Sollpunktposition des Bandförderers (22) anspricht um zu bewirken, dass der erste Motor den ersten Bandförderer mit dem Band bei der Sollpunktposition stoppt; einen sechsten Sensor (172), der ein Signal bereitstellt, das auf die Bewegung der Leiterplatte von dem zweiten Bandförderer (24) an dessen Ausgangsende anspricht, um zu bewirken, dass der zweite Motor (80) die Bewegung des Bandes (72) zur Sollpunktposition des Bandförderers fortsetzt, einen siebten Sensor (168), der ein Signal bereitstellt welches auf die Bewegung des Bandes zur Sollpunktposition des zweiten Bandförderers anspricht, um zu bewirken, dass der zweite Motor die Bewegung des Bandes zur Sollpunktposition verlangsamt; und einen achten Sensor (160), der ein Signal bereitstellt, das auf die Bewegung des Bandes zur Sollpunktposition des Bandförderers anspricht um zu bewirken, dass der zweite Motor den zweiten Bandförderer mit dem Band bei der Sollpunktposition abstoppt.
  18. Apparat nach einem der Ansprüche 14 bis 17, ferner umfassend: Einen Infrarotsender (174) am Ausgangsende der zweiten Vakuumkammer zum Messen der Temperatur der laminierten Leiterplatte die aus der zweiten Vakuumkammer austritt, und um ein Signal bereitzustellen, welches bewirkt dass die Drucktiegelplatten die Laminierungstemperatur in der zweiten Kammer anheben oder absenken.
  19. Apparat nach einem der Ansprüche 14 bis 18, ferner umfassend: Einen ersten Zuführungsförderer (14) angeordnet in einer Endseiten-zu-Endseiten-Beziehung mit der ersten Vakuumlaminierungskammer (18) und angetrieben unter Steuerung der Regeleinrichtung (198) durch den ersten Motor (78), wobei der erste Zuführungsförderer ein Eintrittsende und ein Austrittsende aufweist und dazu dient die vorlaminierten Leiterplatten aus vorhergehenden Anlagen an das Eintrittsende des ersten Bandförderers (22) zu fördern; eine erste bewegliche Sperre (30) am Austrittsende des ersten Zuführungsförderers, wobei die Sperre eine Leiterplatten-blockierende Position und eine die Leiterplatte nicht blockierende Position aufweist, mit einer ersten Sperre die in der Leiterplatten-blockierenden Position ist; einen Fotosensor (36) zum Erfassen einer Leiterplatte (200) am Austrittsende des ersten Zuführungsförderers, wobei der Fotosensor ein Signal erzeugt, das auf die Anwesenheit einer Leiterplatte im Austrittsende des ersten Zuführungsförderers anspricht, um zu bewirken, dass die Regeleinrichtung die Bewegung des ersten Zuführungsförderers stoppt und die Barriere auf eine nicht blockierende Position einstellt, wonach die Regeleinrichtung bewirkt, dass der erste Motor sowohl den ersten Zuführungsförderer und den ersten Bandförderer startet um die Leiterplatte auf das Eintrittsende des ersten Bandförderers zu laden.
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