DE4441240C1 - Vorrichtung und Verfahren zur Regelung der Bewegung eines Gegenstandes - Google Patents

Vorrichtung und Verfahren zur Regelung der Bewegung eines Gegenstandes

Info

Publication number
DE4441240C1
DE4441240C1 DE4441240A DE4441240A DE4441240C1 DE 4441240 C1 DE4441240 C1 DE 4441240C1 DE 4441240 A DE4441240 A DE 4441240A DE 4441240 A DE4441240 A DE 4441240A DE 4441240 C1 DE4441240 C1 DE 4441240C1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
variable
unit
compensation
equation
motion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE4441240A
Other languages
English (en)
Inventor
Johann Dr Engelhardt
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Leica Microsystems CMS GmbH
Original Assignee
Leica Lasertechnik GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leica Lasertechnik GmbH filed Critical Leica Lasertechnik GmbH
Priority to DE4441240A priority Critical patent/DE4441240C1/de
Priority to US08/817,699 priority patent/US5988849A/en
Priority to JP8516426A priority patent/JPH11501422A/ja
Priority to DE59506050T priority patent/DE59506050D1/de
Priority to EP95935803A priority patent/EP0792480B1/de
Priority to PCT/DE1995/001479 priority patent/WO1996016360A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE4441240C1 publication Critical patent/DE4441240C1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00Programme-control systems
    • G05B19/02Programme-control systems electric
    • G05B19/18Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/19Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path
    • G05B19/21Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using an incremental digital measuring device
    • G05B19/23Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using an incremental digital measuring device for point-to-point control
    • G05B19/231Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using an incremental digital measuring device for point-to-point control the positional error is used to control continuously the servomotor according to its magnitude

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Regelung der Bewegung eines Gegenstandes nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1. Weiterhin bezieht sich die Erfindung auf ein Verfahren nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 8.
In der DE 39 22 255 A1 wird ein Reglerkreis beschrieben, der die Position eines bewegli­ chen Teils eines Systems regelt. Beispielsweise kann der Regelkreis als Positioniersteue­ rung für eine bewegliche Kamera verwendet werden. Dabei vergleicht ein Abweichungs­ komparator das Ausgangssignal eines Abweichungsdetektors mit einem gesetzten Grenz­ wert. Dadurch wird ein "Fortlaufen" des Reglerkreises verhindert, wenn sich dieser in einem anormalen Zustand, z. B. außerhalb der Steuerungsgrenze, befindet.
In dem Artikel von CLASSE, Detlef: Selektive Kraft- und Positionsregelung bei sensorge­ stützter Roboterprogrammierung. In: Automatisierungstechnik, Bd.39, No.3 (1991 ), S.92-97, wird eine Bewegungsregelung unter Einbeziehung von Kräften dargestellt. Mit einem sen­ sorgestützten Programmierverfahren für Roboter werden Konturen von Werkstücken in be­ liebigen Ebenen eingelernt. Ein Kraftsensor wird zur Erfassung der Werkstückgeometrie eingesetzt und seine Signale einer selektiven Kraft-Positions-Regelung zugeführt. Damit werden Bewegungsprogramme im Zusammenhang mit Bearbeitungsaufgaben automatisiert eingelernt.
Bei der Regelung von Aktoren zur Positionierung von Gegenständen, die auf einer vorgegebenen Bahn bewegt werden, werden üblicherweise PID-Regler eingesetzt. Mit diesen sind unter konstanten oder linearen Verhältnissen gute Regelergebnisse erzielbar. Da sich das System (Regelstrecke) oftmals nicht linear verhält, bei­ spielsweise treten Nichtlinearitäten in Folge von Reibungseffekten oder beim Auf­ nehmen eines Gegenstandes durch einen Roboterarm auf, ändern sich die Para­ meter des Systems (Regelstrecke) abhängig vom Ort und der Zeit. Durch die auf­ tretenden Nichtlinearitäten ergeben sich Ungenauigkeiten bei der Bahnbewegung des Gegenstandes.
Der Erfindung liegt das technische Problem zugrunde, eine Vorrichtung und ein Verfahren anzugeben, so daß eine genaue und schnelle Bewegung des Gegen­ standes auf einer vorprogrammierten Bahn ermöglicht wird.
Das technische Problem wird durch die Merkmale des Anspruchs 1 und des An­ spruchs 8 gelöst.
Die Erfindung weist eine Kompensationseinheit auf, in der ständig eine das System charakterisierende Bewegungsgleichung gelöst wird. In der Kompensationseinheit werden somit ständig die auf das System bzw. die Regelstrecke wirkenden Kräfte ermittelt und zu einer Kompensationsgröße aufsummiert. Diese Kompensations­ größe wirkt dann unmittelbar als Stellgröße auf das System (Regelstrecke) ein. Dadurch, daß die Kompensationsgröße unmittelbar auf die Regelstrecke einwirkt, tritt eine Idealisierung des Systems ein. Es werden nämlich ständig die auf den Gegenstand einwirkenden Kräfte kompensiert, so daß die Reglereinheit nur die von der Führungsgröße aufgeprägten Änderungen einzuregeln braucht. Der Regel­ bereich der Reglereinheit ist somit relativ klein. Durch die in der Kompensations­ einheit erzeugte Kräftekompensation wird eine genauere und schnellere Bahnbe­ wegung des Gegenstandes von einem Ort zu einem anderen ermöglicht. Der Bereich der zulässigen Geschwindigkeiten des Gegenstandes wird erhöht.
Mit der Erfindung wird somit die Reglerdynamik erhöht. Darüber hinaus werden automatisch lokale und zeitliche Veränderungen der Systemparameter kompen­ siert.
Nach einer Weiterbildung der Erfindung wird die Ausgangsgröße des Positionsde­ tektors als Regelgröße einer Vergleichseinheit einerseits und dem Eingang der Kompensationseinheit andererseits zugeführt. Die Reglereinheit und die Kompen­ sationseinheit sind parallel zueinander angeordnet, wobei die Ausgangsgrößen der Reglereinheit und der Kompensationseinheit in einer Addiereinheit zu einer Stell­ größe addiert werden.
Nach einer Ausgestaltung der Erfindung weist die Reglereinheit einen digitalen Regler, vorzugsweise einen PID-Regler, auf. Sowohl die Reglereinheit als auch die Kompensationseinheit sind Bestandteil eines Digitalrechners.
Nach einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung wird die Führungsgröße in der Führungsgrößeneinheit derart vorgegeben, daß die Stellgröße sprung- oder knick­ frei ausgebildet ist. Vorzugsweise entspricht der zeitliche Verlauf der Stellgröße einer Gaußschen Glockenform. Hierdurch wird ein ruckfreier Betrieb des zu bewe­ genden Gegenstandes ermöglicht. Insbesondere wird bei raschen Beschleunigun­ gen nur ein geringer Anteil von Schwingungen auf den Gegenstand übertragen.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Un­ teransprüchen.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden im folgenden näher beschrieben.
Es zeigen:
Fig. 1 ein Blockschaltplan eines ersten Ausführungsbeispiels der Erfindung,
Fig. 2 ein Blockschaltbild eines zweiten Ausführungsbeispiels der Erfindung, und
Fig. 3 den zeitlichen Verlauf der Stellgröße, der Geschwindigkeit und des Ortes bei Bewegung eines Gegenstandes von einem Ort x₁ zu einem Ort x₂.
In Fig. 1 ist ein erstes Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt. Die Erfindung weist einen Aktor 10 als Antriebseinheit auf, der einen Tisch 11, beispielsweise einen Mikroskoptisch, auf einer vorgegebenen Bahn von einem Ort x₁ zu einem Ort x₂ verfährt. Der Aktor 10 ist als Gleichstrommotor ausgebildet und wird mit einem zum abzugebenden Drehmoment proportionalen Strom gespeist. Ein Positionsdetek­ tor 13, der als Winkelschrittgeber, Glasmaßstab oder Interferometer ausgebildet sein kann, erfaßt die aktuelle Lage des Tisches 11. Die von dem Positionsdetektor 13 gemessenen Positionswerte werden als Regelgröße X über einen Ana­ log/Digital-Wandler 14 zum einen einer Vergleichseinheit 15 und zum anderen ei­ ner Kompensationseinheit 17 zugeführt. In der Vergleichseinheit 15 wird die Re­ gelgröße X von der von einer Führungsgrößeneinheit 18 abgegebenen Führungs­ größe W subtrahiert. Die Führungsgrößeneinheit 18 dient dazu, die manuell einge­ gebene Zielposition x₂ in einen digitalen Spannungswert umzusetzen und als Füh­ rungsgröße W der Vergleichseinheit 15 zuzuleiten. Die von der Vergleichseinheit 15 ermittelte Regeldifferenz wird einer Reglereinheit 19 zugeleitet. Die Reglerein­ heit 19 weist einen digitalen Regler in Form eines PID-Algorithmus auf. Abhängig vom Einzelfall können auch weitere übliche Regelalgorithmen, wie zum Beispiel P- oder PI-Algorithmen verwendet werden, um einen Bahnfehler auszuregeln. Die Ausgangsgröße der Reglereinheft 19 wird einer Addiereinheit 20 zugeleitet, in der sie zu einer von der Kompensationseinheit 17 abgegebenen Kompensationsgröße K addiert wird.
In der Kompensationseinheit 17 wird fortlaufend die das System bzw. die Regel­ strecke charakterisierende Bewegungsgleichung gelöst und die der Bewegung des Tisches 11 entgegenstehenden Kräfte bestimmt. Die Summe dieser Kräfte wird als Kompensationsgröße K der Addiereinheit 20 zugeleitet.
Unter Zugrundelegung einer Differentialgleichung 2. Ordnung
f(x) = a + bx + c + d
wobei a eine konstante Kraft beispielsweise die Gewichtskraft, b eine Fe­ derkonstante, c einen Reibungskoeffizienten und d die Masse des Tisches 11 dar­ stellt, sowie x den Ort des Tisches 11 angibt, läßt sich die Kompensationsgröße K nach drei Zeitintervallschritten T bestimmen. Dies folgt nach Umwandlung der Dif­ ferentialgleichung in eine Differenzen-Gleichung aus:
Zur Erlangung der Kompensationsgröße K wird nach einem ersten Zeitintervall T der Ort x₁ ermittelt. Nach einem weiteren Zeitintervall T liefert der Positionsdetektor 13 einen weiteren Ortswert x₂, aus dem durch Differenzbildung zum Ort x₁ bei be­ kanntem Zeitintervall T die momentane Geschwindigkeit berechnet werden kann. Nach einem weiteren Zeitintervall T läßt sich die Beschleunigung ermitteln. Durch ständiges Messen der Lage des Tisches 11 und gleichzeitiges Lösen der Differen­ zen-Gleichung der Regelstrecke läßt sich ständig die Kompensationsgröße K ermit­ teln, die dafür sorgt, daß das System den augenblicklichen Bewegungszustand zu erhalten trachtet. Dies bewirkt daß die hinzuaddierte Ausgangsgröße der Reg­ lereinheit 19 klein sein kann und somit ein scheinbar kräftefreies ideales System vorfindet.
Die von der Addiereinheit 20 abgegebene Stellgröße Y wird einem Digital/Analog- Wandler 21 zugeleitet, der die Stellgröße Y analogisiert und einem Treiber 12 zu­ führt, der vorzugsweise als spannungsgesteuerte Stromquelle arbeitet und den Spannungswert der Stellgröße Y in einen dem Drehmoment proportionalen Strom­ wert umsetzt.
Die Steuerung bzw. Regelung des Tisches 11 erfolgt somit auf digitale Weise. So­ wohl die Reglereinheit 19, die Kompensationseinheit 17 als auch die Führungsgrö­ ßeneinheit 18′ sind Bestandteil eines Digitalrechners 16. Auf diese Weise wird eine einfache Ausregelung des Bahnfehlers ermöglicht.
Nach einem zweiten Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 2 weist die Erfindung zusätz­ lich eine Stelleinheit 22 auf. Die in Fig. 2 dargestellten, mit den jeweiligen Bauteilen des ersten Ausführungsbeispiels übereinstimmenden Bauteile weisen die gleichen Bezugsziffern auf.
In der Stelleinheit 22 wird eine Stellgröße Y erzeugt, die die Form einer Gaußschen Glockenkurve aufweist. Wie aus Fig. 3a zu ersehen ist, besteht die Stellgröße aus einem positiven und einem negativen sprungfreien bzw. knickfreien Impuls. Durch die sprungfreie Ausbildung des zeitlichen Verlaufs der Stellgröße Y wird vermie­ den, daß zum einen der in der Reglereinheit 19 erzeugte Regel-Algorithmus destabilisiert wird und zum anderen zusätzliche Systemschwingungen in Folge eines Kraftsprunges auftreten. Es wird hierdurch eine ruckfreie Bewegung des Ti­ sches 11 bewirkt. Die Ruckfreiheit der Bewegung des Tisches 11 ist insbesondere dann wichtig, wenn es sich bei dem Tisch 11 um einen schweren Mikroskoptisch handelt.
Als Gleichungen für die Stellgröße Y, die der Beschleunigung proportional ist, sowie der Geschwindigkeit und dem Weg ergeben sich:
m = Masse
α = Beschleunigungsparameter
β = Kraftpulsbreite
τ = Abstand zwischen Beschleunigungs- und Bremspuls
erf(): Error Function nach Abramowitz,
"Handbook of Mathematical Functions", Präzision: 3e-7, Dover Publications Inc., New York 1970, pp. 235.
Durch Vorgabe der Kraftpulsbreite p und der Beschleunigungsparameter ergibt sich die maximal zu erreichende Geschwindigkeit, siehe Fig. 3b. Durch Einstellung des Wertes τ läßt sich die zurückzulegende Wegstrecke zwischen dem Ort ₁ und dem Ort ₂ einstellen. Aus dem Verlauf der Stellgröße Y läßt sich durch zweimalige Integration der zeitliche Verlauf des Ortes gemäß Fig. 3c ermitteln. Diese Ortsfunk­ tion wird, nachdem der gewünschte Zielort ₂ eingegeben worden ist, der Füh­ rungsgrößeneinheit 18 übergeben und in dieser als Führungsgrößenfunktion ausge­ geben. Die Abweichungen von der gewünschten Bahn werden dann von der Reg­ lereinheit 19 ausgeregelt.
Darüber hinaus kann auch die Führungsgröße W selbst glockenförmig nach Art einer Gauß′schen Glockenform in der Führungseinheit 18 ausgebildet werden. Damit könnte die Stelleinheit 22 wegfallen.
Alternativ dazu könnte der Verlauf des Ortes durch die Aneinanderreihung von Geraden gebildet werden. Durch eine anschließende Filterung in einem Tiefpaß würde sich ebenfalls eine sprungfreie Form der Stellgröße Y ergeben.
Vorzugsweise werden die zeitlichen Verläufe der Stellgröße Y, der Geschwindigkeit und des Ortes mittels eines Rechenprogrammes in einem Digitalrechner ermittelt.
Mit der Erfindung wird eine weitgehend ruckfreie Bewegung, insbesondere von Tischen, Robotern und Fokusantrieben in Mikroskopsystemen oder Kameraführun­ gen erzielt. Die Erfindung läßt sich überall dort anwenden, wo Gegenstände mög­ lichst schnell und ruckfrei auf einer programmierten Bahn bewegt werden sollen.

Claims (9)

1. Vorrichtung zur Regelung der Bewegung eines Gegenstandes, insbesonde­ re zur Positionierung eines Tisches (11) oder Roboterarms, auf einer vorge­ gebenen Bahn mit einer Antriebseinheit (Aktor 10) zum Antreiben des Ge­ genstands, mit einem Positionsdetektor (13) zur Messung der aktuellen La­ ge des Gegenstands, mit einer Vergleichseinheit (15) zur Subtrahierung der von dem Positionsdetektor (13) erfaßten Regelgröße (X) von einer Füh­ rungsgröße (W) und mit einer der Vergleichseinheit (15) nachgeschalteten Reglereinheit (19), dadurch gekennzeichnet, daß eine Kom­ pensationseinheit (17) vorgesehen ist, in der ständig mindestens eine den Zustand des Systems (Regelstrecke) beschreibende Bewegungsgleichung gelöst wird, derart, daß die Summe der auf das System (Regelstrecke) wir­ kenden Kräfte zur Bildung einer Kompensationsgröße (K) ermittelt wird und daß diese Kompensationsgröße (K) als Bestandteil einer Stellgröße (Y) auf das System (Regelstrecke) gegeben wird.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgangsgröße der Reglereinheit (19) und die Ausgangsgröße (Kompensationsgröße K) der Kompensationseinheit (17) in einer Addierein­ heit (20) zur Bildung der Stellgröße (Y) addiert werden.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Regelgröße (X) die Eingangsgröße der Kompensationseinheit (17) bildet.
4. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Reglereinheit (19) und die Kompensati­ onseinheit (17) digital ausgebildet und in einem einzigen Digitalrechner (16) angeordnet sind.
5. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Kompensationseinheit (17) einen Mikro­ prozessor zur Berechnung der Bewegungsgleichung derart aufweist, daß mindestens nach einer der Ordnung der Bewegungsgleichung der Regel­ strecke entsprechenden Anzahl von Zeitintervallen die Bewegungsglei­ chung gelöst und die Kompensationsgröße (K) bestimmt ist.
6. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß eine Führungsgrößeneinheit (18) angeordnet ist, in der die Führungsgröße (W) derart gebildet wird, daß der zeitliche Verlauf der auf das System (Regelstrecke) gegebenen Stellgröße (Y) sprung- oder knickfrei ausgebildet ist.
7. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Führungsgröße (W) in der Führungsgrö­ ßeneinheit (18) derart gebildet wird, daß die Stellgröße (Y) nach Art einer Gaußschen Glockenkur­ ve glockenförmig über die Zeit verläuft.
8. Verfahren zur Regelung der Bewegung eines Gegenstandes, insbesondere zur Positionierung eines Tisches (11) oder Roboterarms, auf einer vorgege­ benen Bahn, wobei der Gegenstand von einer Antriebseinheit (Aktor 10) angetrieben wird, die aktuelle Lage des Gegenstandes durch einen Positi­ onsdetektor (13) gemessen wird und als Regelgröße (X) einer Vergleichs­ einheit (15) zugeführt wird, in der die Regelgröße (X) von einer Führungs­ größe (W) subtrahiert und nachfolgend einer Reglereinheit (19) zuge­ führt wird, dadurch gekennzeichnet, daß in einer Kompensati­ onseinheit (17) ständig aus der tatsächlichen Bewegung des Systems (Regelstrecke) die der Stellgröße (Y) entgegenwirkenden Kräfte durch Lö­ sung der Bewegungsgleichung des Systems (Regelstrecke) bestimmt wer­ den und daß die so ermittelte Kompensationsgröße (K) zur Bildung der Stellgröße (Y) herangezogen wird.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Regelgröße (X) in einem Analog/Digital-Wandler (14) digitalisiert wird und daß mindestens nach einer der Ordnung der Bewegungsgleichung des Sy­ stems (Regelstrecke) entsprechenden Anzahl von Zeitintervallen (T) die Bewegungsgleichung gelöst und die Kompensationsgröße (K) bestimmt wird.
DE4441240A 1994-11-19 1994-11-19 Vorrichtung und Verfahren zur Regelung der Bewegung eines Gegenstandes Expired - Fee Related DE4441240C1 (de)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4441240A DE4441240C1 (de) 1994-11-19 1994-11-19 Vorrichtung und Verfahren zur Regelung der Bewegung eines Gegenstandes
US08/817,699 US5988849A (en) 1994-11-19 1995-10-24 Device and process for controlling the movement of an object
JP8516426A JPH11501422A (ja) 1994-11-19 1995-10-24 対象物の運動の制御方法及び装置
DE59506050T DE59506050D1 (de) 1994-11-19 1995-10-24 Vorrichtung und verfahren zur regelung der bewegung eines gegenstandes
EP95935803A EP0792480B1 (de) 1994-11-19 1995-10-24 Vorrichtung und verfahren zur regelung der bewegung eines gegenstandes
PCT/DE1995/001479 WO1996016360A1 (de) 1994-11-19 1995-10-24 Vorrichtung und verfahren zur regelung der bewegung eines gegenstandes

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4441240A DE4441240C1 (de) 1994-11-19 1994-11-19 Vorrichtung und Verfahren zur Regelung der Bewegung eines Gegenstandes

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE4441240C1 true DE4441240C1 (de) 1996-05-09

Family

ID=6533666

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE4441240A Expired - Fee Related DE4441240C1 (de) 1994-11-19 1994-11-19 Vorrichtung und Verfahren zur Regelung der Bewegung eines Gegenstandes
DE59506050T Expired - Lifetime DE59506050D1 (de) 1994-11-19 1995-10-24 Vorrichtung und verfahren zur regelung der bewegung eines gegenstandes

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE59506050T Expired - Lifetime DE59506050D1 (de) 1994-11-19 1995-10-24 Vorrichtung und verfahren zur regelung der bewegung eines gegenstandes

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5988849A (de)
EP (1) EP0792480B1 (de)
JP (1) JPH11501422A (de)
DE (2) DE4441240C1 (de)
WO (1) WO1996016360A1 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10223670A1 (de) * 2002-05-28 2003-12-18 Kuka Roboter Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Bewegen eines Handhabungssystems
DE10351126B3 (de) * 2003-11-03 2005-07-14 Rexroth Mecman Gmbh Einrichtung und Verfahren zur Kompensation der auf einen lageveränderbaren Druckmittelzylinder einwirkenden Gewichtskraft

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB0104995D0 (en) * 2001-02-28 2001-04-18 Isis Innovation Artificial morpho-functional multiped and motion controller therefor
US6612799B1 (en) 2001-10-12 2003-09-02 Component Manufacturing Company Cart loading system

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2910928A1 (de) * 1978-03-20 1979-10-04 Dana Corp Geraet zur steuerung der bewegung eines objekts
EP0262624A2 (de) * 1986-09-29 1988-04-06 Kabushiki Kaisha Sg Positions-Regelsystem
US4748393A (en) * 1987-02-04 1988-05-31 Ampex Corporation Positive feedback position servo
US4857816A (en) * 1987-02-05 1989-08-15 Joseph Rogozinski Precise positioning apparatus
DE3922255A1 (de) * 1988-07-07 1990-01-11 Mitsubishi Electric Corp Reglerkreis

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0199485A (ja) * 1987-10-09 1989-04-18 Toshiba Corp サーボ電動機の制御装置
JP2512099B2 (ja) * 1988-08-24 1996-07-03 松下電器産業株式会社 ロボットの動作教示方法および制御装置
US4985668A (en) * 1989-09-19 1991-01-15 Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho Robot controller
JPH03290706A (ja) * 1990-04-09 1991-12-20 Mitsubishi Electric Corp 数値制御装置
KR940002206B1 (ko) * 1991-01-26 1994-03-19 삼성전자 주식회사 컨벌루션(Convolution)을 이용한 로보트의 궤적발생방법
DE69227434T2 (de) * 1991-11-22 1999-03-18 Fujitsu Ltd Positionsregelsystem
JP3217522B2 (ja) * 1992-03-02 2001-10-09 キヤノン株式会社 精密位置決め装置
JP2822809B2 (ja) * 1992-09-30 1998-11-11 三菱電機株式会社 位置制御方法および位置制御装置
EP0605909B1 (de) * 1992-12-07 1997-11-19 Koninklijke Philips Electronics N.V. Steuerungseinrichtung

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2910928A1 (de) * 1978-03-20 1979-10-04 Dana Corp Geraet zur steuerung der bewegung eines objekts
EP0262624A2 (de) * 1986-09-29 1988-04-06 Kabushiki Kaisha Sg Positions-Regelsystem
US4748393A (en) * 1987-02-04 1988-05-31 Ampex Corporation Positive feedback position servo
US4857816A (en) * 1987-02-05 1989-08-15 Joseph Rogozinski Precise positioning apparatus
DE3922255A1 (de) * 1988-07-07 1990-01-11 Mitsubishi Electric Corp Reglerkreis

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
BEINER, L.: Time-optimization of point-to-point robotic motions. In: Robotersysteme, Vol. 6 (1990), S. 171-176 *
CLASSE, Detlef: Selektive Kraft- und Positions- regelung bei sensorgestützter Roboterprogrammie- rung. In: Automatisierungstechnik, Bd. 39, No. 3 (1991), S. 92-97 *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10223670A1 (de) * 2002-05-28 2003-12-18 Kuka Roboter Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Bewegen eines Handhabungssystems
US7366585B2 (en) 2002-05-28 2008-04-29 Kuka Roboter Gmbh Method and apparatus for moving a handling system
DE10351126B3 (de) * 2003-11-03 2005-07-14 Rexroth Mecman Gmbh Einrichtung und Verfahren zur Kompensation der auf einen lageveränderbaren Druckmittelzylinder einwirkenden Gewichtskraft

Also Published As

Publication number Publication date
EP0792480A1 (de) 1997-09-03
WO1996016360A1 (de) 1996-05-30
DE59506050D1 (de) 1999-07-01
US5988849A (en) 1999-11-23
EP0792480B1 (de) 1999-05-26
JPH11501422A (ja) 1999-02-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102012106771B4 (de) Controller für elektromotor, umfassend eine funktion zum simultanen schätzen von trägheit, reibung und federkonstante
EP2212753A1 (de) Verfahren zum abfahren einer vorgegebenen bahn durch einen manipulator, sowie steuervorrichtung zur durchführung eines solchen verfahrens
DE60016190T2 (de) Vorrichtung und steuerung eines industriellen robotors und verfahren zur programmierung und/ oder einstellung der bewegungen des robotors
DE3408523A1 (de) Verfahren zur ueberwachung der durch die steuerung der antriebe einer rechnergesteuerten werkzeugmaschine oder eines industrieroboters erzeugten bahn
EP0419706B1 (de) Verfahren zur numerischen Positions- oder Bahnsteuerung
EP3037905A1 (de) Vorrichtung und verfahren zum aufnehmen von positionen
DE4441240C1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Regelung der Bewegung eines Gegenstandes
DE3408173C2 (de)
DE10349361A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Positionieren eines Handhabungsgeräts
WO1998015880A1 (de) Verfahren und regelungsstruktur zur momentenvorsteuerung numerisch geregelter, elastischer und damit schwingungsfähiger mehrmassensysteme
EP0318660A1 (de) Verfahren und Einrichtung zur Wegregelung eines Positionier-antriebes, insbesondere für Aufzugsanlagen
DE2457801C3 (de) Steuereinrichtung für die Verstellung des Arms eines Manipulators
DE102017107402B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Regelung einer Fokuslage eines Arbeitslaserstrahls sowie Laserbearbeitungskopf mit einer derartigen Vorrichtung
EP1229411B1 (de) Steuerungsverfahren sowie Regelungsstruktur zur Bewegungsführung, Vorsteuerung und Feininterpolation von Objekten in einem Drehzahlreglertakt, der schneller als der Lagereglertakt ist
DE102005032336B4 (de) Verfahren zur Beeinflussung einer Steuerung oder zur Steuerung einer Bewegungseinrichtung und Steuerung oder Steuerungskomponente einer Bewegungseinrichtung
DE3928547A1 (de) Numerisches steuerungsverfahren
EP3324254A1 (de) Einrichtung und verfahren zur bestimmung der parameter einer regeleinrichtung
DE3501487C2 (de)
EP0844542B1 (de) Numerisches Steuerungsverfahren sowie Regelungsstruktur zur Bewegungsführung von Objekten mit einem Geschwindigkeitreglertakt, der schneller als der Lagereglertakt ist
DE19925165A1 (de) Positionsregelungsvorrichtung unter Verwendung eines Servomotors
EP0211374B1 (de) Einrichtung zum Kompensieren des Schwerkrafteinflusses auf ein elektromotorisch heb- und senkbares Element einer Werkzeugmaschine oder eines Roboters und Verfahren zum Betrieb einer derartigen Einrichtung
DE3703725C2 (de)
DE3938083C2 (de)
DE102018217162A1 (de) Steuerung
DE19620706C1 (de) Numerisches Verfahren zur Regelung für lineare Regelvorgänge, insbesondere geeignet zur schnellen und exakten Lage- und Drehzahlregelung von Elektromotoren

Legal Events

Date Code Title Description
8100 Publication of patent without earlier publication of application
D1 Grant (no unexamined application published) patent law 81
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: LEICA MICROSYSTEMS HEIDELBERG GMBH, 69120 HEIDELBE

8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: LEICA MICROSYSTEMS HEIDELBERG GMBH, 68165 MANNHEIM

8339 Ceased/non-payment of the annual fee