DE4320033A1 - Verfahren zur Bildung eines Metallmusters bei der Herstellung einer Halbleitereinrichtung - Google Patents

Verfahren zur Bildung eines Metallmusters bei der Herstellung einer Halbleitereinrichtung

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Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren gemäß dem Ober­ begriff des Patentanspruchs 1 zur Bildung eines Metallmusters bei der Herstellung einer Halbleitereinrichtung, und insbesondere auf ein solches Verfahren, mit dem sich verhindern läßt, daß Kerben bzw. Ausnehmungen in einem Fotoresistmuster infolge von Lichtreflexionen am Metallfilm bei Vornahme einer Belichtung in einem fotolithographischen Prozeß entste­ hen.
Bei der Herstellung einer Halbleitereinrichtung wird üblicherweise ein fo­ tolithographischer Prozeß durchgeführt, um ein gewünschtes Muster ei­ ner Halbleiterschaltung unter Verwendung eines Fotoresists auf einen Wafer aufzudrucken.
Dieser Prozeß wird nachfolgend näher erläutert.
Zuerst wird ein Wafer mit Fotoresist bedeckt. Auf der Fotoresistoberfläche kommt eine Maske zu liegen, die ein gewünschtes Muster aufweist. An­ schließend wird der auf dem Wafer gebildete Fotoresist einem Belich­ tungsprozeß unterworfen und sodann einem Entwicklungsprozeß, um auf dem Wafer dasselbe Fotoresistmuster zu erhalten, wie es in der Maske vor­ handen war.
Bei der Herstellung von Mustern in einer Halbleitereinrichtung mit Hilfe des oben beschriebenen fotolithographischen Prozesses läßt sich eine mi­ nimale Mustergröße erzielen, die im Submicron-Bereich liegt, z. B. unter­ halb von 0,5 µm ( 0,5 µm). Durch derart geringe Mustergrößen läßt sich ein hoher Integrationsgrad bei der Halbleitereinrichtung erreichen.
Es treten allerdings Probleme auf, wenn ein Fotoresist verwendet wird, der nur aus einer einzigen Schicht besteht.
Insbesondere wird ein sogenanntes Kerb- bzw. Stufenphänomen beobach­ tet, das im Bereich des Fotoresistmusters auftritt und durch am Substrat reflektiertes Licht verursacht wird. Ein Näherungseffekt ergibt sich durch eine Profildifferenz eines definierten Fotoresistmusters zwischen einem Bereich mit hoher Musterdichte und einem Bereich mit niedriger Muster­ dichte. Ferner werden Einschnürungen und Brücken infolge von unter­ schiedlichen Fokusdicken erhalten, wenn größere Schrittdifferenzen auf­ treten.
Ein Verhältnis von Höhe zu Breite in Verbindung mit dem definierten Foto­ resistmuster liegt ebenfalls im Submicron-Bereich, also bei 0,5 µm, so daß dieses Verhältnis ebenfalls ansteigt, wenn die minimale Mustergröße reduziert wird. Aus diesem Grunde wird ein Abschälphänomen bei Wahl derartiger Verhältnisse beobachtet, wenn ein Naßentwicklungsprozeß durchgeführt wird.
Die Fig. 1 zeigt einen Prozeß zur Bildung eines Metallmusters bei der Her­ stellung einer Halbleitereinrichtung, wobei ein fotolithographischer Pro­ zeß zum Einsatz kommt und das Metallmuster dazu verwendet wird, Ele­ mente der Halbleitereinrichtung miteinander zu verbinden.
Zunächst wird ein Metallfilm 12 auf ein Halbleitersubstrat 11 aufge­ bracht, wie die Fig. 1a zeigt, und zwar durch ein CVD-Verfahren (Chemi­ cal-Vopour-Deposition-Verfahren). Sodann wird auf den Metallfilm 12 ge­ mäß Fig. 1b ein Fotoresistfilm 13 aufgetragen.
Danach wird eine Maske 14 mit einem gewünschten Muster auf die Ober­ fläche des Fotoresistfilms 13 gelegt, der auf dem Metallfilm 12 liegt, wie Fig. 1c erkennen läßt.
Schließlich wird der Fotoresistfilm 13 belichtet und entwickelt, und zwar in dieser Reihenfolge, nachdem die Maske 14 auf dem Fotoresistfilm 13 ausgerichtet worden ist, um das Fotoresistmuster 13-1 gemäß Fig. 1d zu erhalten. In einem nachfolgenden Verfahrensschritt wird der Metallfilm 12 anisotrop geätzt, und zwar unter Verwendung des Fotoresistmusters 13-1 als Ätzmaske. Dadurch wird ein Metallfilmmuster 12-1 gemäß Fig. 1e er­ halten. Die verbleibende Fotoresistschicht ist vorher abgetragen worden.
Die oben beschriebene Bildung des Metallmusters ist jedoch nicht pro­ blemfrei.
Zum einen gelangt während des Belichtungsprozesses Licht in denjenigen Bereich 13-2 des Fotoresists 13, der im nachfolgenden Entwicklungspro­ zeß entfernt werden soll, während andererseits das zur Belichtung dienen­ de Licht diffus reflektiert wird, und zwar in Richtung des Fotoresistmu­ sters 13-1, das im nachfolgenden Entwicklungsprozeß stehenbleiben soll und zur Bildung des Metallfilms 12 dient, wie die Fig. 1c erkennen läßt.
Im Ergebnis wird also das Fotoresistmuster 13-1 durch diffus reflektiertes Licht bestrahlt, das aus dem Bereich 13-2 kommt, wodurch sich im Fotore­ sistmuster 13-1 Kerben bzw. Ausnehmungen, und dergleichen, bilden.
Üblicherweise wird eine Antireflexionsbeschichtung (ARC - Anti-Reflec­ ting Coating) verwendet, um diesem Problem entgegenzuwirken, wenn zur Bildung eines Metallmusters ein fotolithographischer Prozeß ausgeführt wird. Für die Antireflexionsbeschichtung kann anorganisches Material zum Einsatz kommen, welches die Lichtreflexion am Metallfilm reduziert, der unterhalb des Fotoresistmusters liegt, oder ein organisches Material, das z. B. ein Polymer oder dergleichen ist.
Die Fig. 2a bis 2c erläutern einen Prozeß, bei dem ein Metallmuster un­ ter Verwendung einer anorganischen Antireflexionsbeschichtung herge­ stellt wird.
Gemäß Fig. 2a wird zunächst auf die Oberfläche eines Halbleitersub­ strats 21 ein Metallfilm 22 aufgebracht, und zwar mit Hilfe eines CVD-Ver­ fahrens. Wie bereits erwähnt, wird beim Belichtungsvorgang Licht am Me­ tallfilm reflektiert, was zu dem genannten Kerbphänomen im Bereich des Fotoresistmusters führt.
Um dies zu verhindern, wird in einem weiteren Schritt auf den Metallfilm 22 ein ARC-Film 23 mit vorbestimmter Dicke aufgebracht, also eine Anti­ reflexionsbeschichtung, die z. B. aus TiN, Si3N4 oder aus TiW bestehen kann.
Schließlich wird ein Fotoresistfilm 24 auf den ARC-Film 23 aufgebracht, wie die Fig. 2b erkennen läßt. Dieser Fotoresistfilm 24 wird einem fotoli­ thographischem Prozeß unterworfen und anschließend einem Ätzprozeß unter Verwendung einer ein Muster enthaltenden Maske, um auf diese Weise ein Fotoresistmuster 24-1 zu erhalten, wie die Fig. 2c zeigt.
Danach werden, was in der Zeichnung nicht dargestellt ist, der ARC-Film 23 und der Metallfilm 22 geätzt, und zwar unter Verwendung des Fotore­ sistmusters 24-1 als Ätzmaske, um ein ARC-Filmmuster und ein Metall­ filmmuster zu bilden. Sodann wird das verbleibend ARC-Filmmuster ent­ fernt, so daß nur noch das gewünschte Metallfilmmuster vorliegt.
Wie bereits oben erwähnt, wird bei der Bildung eines Metallmusterfilms unter Verwendung eines ARC-Films der Vorteil erzielt, daß sich keine Ker­ ben bzw. Ausnehmungen mehr im Fotoresistmuster 24-1 bilden können, das nach dem Entwicklungsprozeß stehenbleibt, da der ARC-Film 23 die diffuse Reflexion des Lichts reduziert, das in den Bereich 24-2 des Fotore­ sistfilms 24 einfällt, der mit dem Entwicklungsprozeß beseitigt wird. Insofern ergibt sich hier ein Unterschied zu dem in den Fig. 1a bis 1e be­ schriebenen Verfahren.
Allerdings muß dafür der Nachteil in Kauf genommen werden, daß der ARC-Film 23 auf dem Metallfilm 22 mit exakter Dicke hergestellt werden muß, um die Lichtreflexion zu beseitigen oder sie vorzugsweise so zu steu­ ern, daß ein bestimmter Reflexionsgrad erzielt wird.
Ganz beseitigen läßt sich die Lichtreflexion allerdings nicht, da das reflek­ tierte Licht eine konstante Reflexionsrichtung aufweist und darüber hin­ aus Licht am ARC-Film 23 reflektiert wird, der unterhalb des Fotoresist­ films 24-2 liegt, der bei Durchführung des Entwicklungsprozesses ent­ fernt wird.
Deswegen kann nach wie vor das oben erwähnte Problem der Bildung von Kerben bzw. Ausnehmungen auftreten, obwohl ein ARC-Film 23 auf dem Metallfilm 22 liegt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die oben erwähnten Nachteile zu vermeiden und ein Verfahren zur Bildung eines Metallmusterfilms bei der Herstellung einer Halbleitereinrichtung anzugeben, durch das das oben erwähnte Kerb- bzw. Rißbildungsphänomen im Fotoresistmuster noch weiter verringert werden kann.
Die Lösung der gestellten Aufgabe ist im kennzeichnenden Teil des Patent­ anspruchs 1 angegeben. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind den Unteransprüchen zu entnehmen.
Ein Verfahren nach der Erfindung zur Bildung eines Metallmusters bei der Herstellung einer Halbleitereinrichtung zeichnet sich durch folgende Ver­ fahrensschritte aus:
  • - Bildung eines Metallfilms auf einem Halbleitersubstrat,
  • - Bildung eines porösen Antireflexionsfilms auf dem Metallfilm,
  • - Bildung eines Fotoresistfilms auf dem porösen Antireflexionsfilm,
  • - der Fotoresistfilm wird einem fotolithographischen Prozeß unterwor­ fen, um ein Fotoresistmuster zu erhalten,
  • - der Antireflexionsfilm und der Metallfilm werden unter Verwendung des Fotoresistmusters als Ätzmaske durch Ätzung strukturiert, um ein Antireflexionsfilmmuster und ein Metallfilmmuster zu erhalten, und
  • - es wird das Antireflexionsfilmmuster entfernt, so daß nur das Metall­ filmmuster verbleibt.
Vorzugsweise kann als Antireflexionsfilm (ARC-Film bzw. Anti-Reflection- Coating-Film) ein poröses Oxid bei niedriger Temperatur auf dem Metall­ film gebildet werden. Der Antireflexionsfilm (ARC-Film) kann z. B. aus O3 TEOS hergestellt sein.
Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Zeichnung nä­ her beschrieben. Es zeigen:
Fig. 1a bis 1e Darstellungen zur Erläuterung eines konventionellen Verfahrens zur Herstellung eines Metallfilmmusters,
Fig. 2a bis 2c Darstellungen zur Erläuterung eines weiteren konven­ tionellen Verfahrens zur Herstellung eines Metallfilmmusters unter Ein­ satz eines Antireflexionsbeschichtungs-Prozesses, und
Fig. 3a bis 3c Querschnittsdarstellungen zur Erläuterung eines erfin­ dungsgemäßen Verfahrens zur Bildung eines Metallmusters bei der Her­ stellung einer Halbleitereinrichtung.
Die Fig. 3a bis 3c zeigen ein verbessertes Verfahren zur Bildung eines Metallmusters unter Verwendung eines porösen ARC-Films.
Entsprechend der Fig. 3a wird ein Metallfilm 32 auf der Oberfläche eines Halbleitersubstrats 31 gebildet, und zwar unter Einsatz eines CVD-Ver­ fahrens (Chemical-Vopour-Deposition-Verfahren). Anschließend wird auf den Metallfilm 32 bei niedriger Temperatur ein ARC-Film 33 bzw. Antire­ flexionsfilm aufgebracht, der aus porösem Material besteht, vorzugsweise aus porösem Oxid, z. B. aus O3 TEOS.
In einem nächsten Verfahrensschritt wird ein Fotoresistfilm 34 auf den ARC-Film 33 niedergeschlagen, wie die Fig. 3b erkennen läßt. Sodann wird der Fotoresistfilm 34 einem fotolithographischen Prozeß unterwor­ fen, wobei eine Maske mit einem vorbestimmten Muster zum Einsatz kommt, um auf diese Weise ein Fotoresistmuster 34-1 zu erzeugen, das in Fig. 3c zu erkennen ist.
Schließlich werden, was in der Zeichnung nicht dargestellt ist, der Metall­ film 32 und der ARC-Film 33 strukturiert bzw. weggeätzt, und zwar unter Verwendung des verbleibenden Fotoresistmusters 34-1 als Ätzmaske, wo­ nach der verbleibende ARC-Film 33 entfernt wird, um den gewünschten Metallmusterfilm zu erhalten.
Da nach der Erfindung als Material für den ARC-Film 33 ein poröses Mate­ rial bzw. ein poröses Oxid zum Einsatz kommt, weist die Oberfläche des ARC-Films 33 eine zerklüftete bzw. rauhe Struktur auf, wie in Fig. 3b ein­ gezeichnet ist. Entsprechend der Fig. 3b wird somit das Licht diffuser re­ flektiert, besitzt also nicht mehr so eine starke Richtwirkung, und zwar an derjenigen Oberfläche des ARC-Films 33, die sich unterhalb des Teils 34-2 des Fotoresists befindet, der im Entwicklungsprozeß später entfernt wird. Im Vergleich zum Verfahren nach Fig. 2 erfolgt also erfindungsgemäß ei­ ne stärkere Zerstreuung des Lichts an der Oberfläche des ARC-Films 33, so daß keine Vorzugsrichtung mehr vorhanden ist.
Die am ARC-Film 33 ohne Vorzugsrichtung reflektierten Lichtstrahlen be­ einflussen sich gegenseitig so, daß diejenigen Lichtkomponenten, die im Fotoresistmuster die oben erwähnten Kerben bzw. Ausnehmungen verur­ sachen, im wesentlichen beseitigt werden.
Entsprechend der vorliegenden Erfindung wird ein ARC-Film 33 als Anti­ reflexionsfilm verwendet, dessen morphologischer Zustand bzw. Oberflä­ chenzustand ein poröser Zustand ist, wobei der ARC-Film 33 aus anorganischem Material hergestellt ist. An diesem Film erfolgt somit eine Lichtstreuung, die keine Vorzugsrichtung aufweist, so daß es möglich ist, das Phänomen der Bildung von Kerben bzw. Ausnehmungen im Fotoresist­ muster zu verhindern.

Claims (3)

1. Verfahren zur Bildung eines Metallmusters bei der Herstellung einer Halbleitereinrichtung, gekennzeichnet durch folgende Schritte:
  • - Bildung eines Metallfilms (32) auf einem Halbleitersubstrat (31),
  • - Bildung eines porösen Antireflexionsfilms (33) auf dem Metallfilm (32),
  • - Bildung eines Fotoresistfilms (34) auf dem porösen Antireflexionsfilm (33),
  • - der Fotoresistfilm (34) wird einem fotolithographischen Prozeß un­ terworfen, um ein Fotoresistmuster (34-1, 34-2) zu erhalten,
  • - der Antireflexionsfilm (33) und der Metallfilm (32) werden unter Ver­ wendung des Fotoresistmusters als Ätzmaske strukturiert, um ein Antire­ flexionsfilmmuster und ein Metallfilmmuster zu erhalten, und
  • - es wird das Antireflexionsfilmmuster entfernt, so daß nur das Metall­ filmmuster verbleibt.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Antireflexionsfilm (33) (ARC-Film) ein poröses Oxid bei niedriger Temperatur auf dem Metallfilm (32) gebildet wird.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der An­ tireflexionsfilm (33) aus O3 TEOS hergestellt ist.
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