DE4310209C2

DE4310209C2 - Optische stationäre Bildgebung in stark streuenden Medien

Info

Publication number: DE4310209C2
Application number: DE4310209A
Authority: DE
Inventors: Alexander Dr Knuettel
Original assignee: Bruker Medizintechnik GmbH
Current assignee: Bruker Biospin MRI GmbH
Priority date: 1993-03-29
Filing date: 1993-03-29
Publication date: 1996-05-30
Anticipated expiration: 2013-03-30
Also published as: DE4310209A1; EP0618439A1; US5491552A; EP0618439B1

Description

Die Erfindung betrifft einen bildgebenden optischen Aufbau zur Untersuchung stark streuender Medien, insbesondere biologi scher Gewebeproben, mit mindestens 1-dimensionaler Ortsauf lösung immer unter Einschluß der Tiefenrichtung eines Meß objekts, mit einer Strahlenquelle zum Aussenden von Licht mit kurzen Kohärenzlängen von weniger als 0,1 mm, mit einer Vor richtung zur Aufspaltung des niederkohärenten Lichts in zwei Teilstrahlen, von denen einer in einem Objektarm zum Meßobjekt und der andere in einem Referenzarm zu einem reflektierenden Element geführt wird, und mit einer Detektoranordnung, auf die die von dem reflektierenden Element im Referenzarm und von dem Meßobjekt im Objektarm reflektierten Teilstrahlen gelenkt, zur Interferenz miteinander gebracht und nachgewiesen werden kön nen.

Ein solcher Aufbau ist beispielsweise aus Clivaz et al., OPTICS LETTERS Vol. 17, No. 1 (1992) 4-6 bekannt. Ähnliche Vorrichtungen sind aber auch in Takata et al., APPLIED OPTICS, Vol. 26, No. 9 (1987) 1603-1606, Takata et al., APPLIED PHYSICS LETTERS 59 (2) (1991) 143-145 oder Swanson et al., OPTICS LETTERS Vol. 17, No. 2 (1992) 151-153 offenbart.

Optische Bildgebung in stark streuenden Materialien, wie z. B. in vivo Gewebe, wird immer mehr zum Hilfsmittel für medizi nische Forschung und Diagnostik. "Klassische" optische Verfah ren wie z. B. die Mikroskopie können in stark streuenden Mate rialien nicht eingesetzt werden, da die mittlere freie Weg länge, über die ein Lichtstrahl nicht abgelenkt wird, weniger als 100 µm beträgt. Das bedeutet, daß mit geometrischer Optik (z. B. konfokaler Mikroskopie) keine Eindringtiefen größer als 50-100 µm möglich sind, da der diffuse Streulicht-Anteil exponentiell anwächst und den Kontrast der Bilder zerstört.

Die wichtigsten Verfahren zur dreidimensionalen Bildgebung bis in Tiefen von wenigen Millimetern in stark streuenden Materia lien basieren einerseits auf der Nieder-Kohärenz- und anderer seits auf der Kurz-Zeit-Interferometrie. Beide Verfahren un terscheiden sich im wesentlichen nur durch die Lichtquellen, wobei die emittierten Strahlungen in beiden Fällen kurze Kohä renzlängen von typisch 10-30 µm aufweist. Bei der Nieder- Kohärenz Interferometrie wird eine billige inkohärente Licht quelle (z. B. SLD oder LED) eingesetzt, während bei der Kurz zeit Interferometrie ein teurer (kohärenter) Mode-locked Laser die kurzen Lichtpulse erzeugt.

Das häufig angewandte Michelson-Interferometer ist nachfolgend kurz beschrieben. Das kollimierte Licht der Lichtquelle wird durch einen Strahlteiler geteilt und trifft im Referenzarm auf einen Spiegel und im Objektarm nach entsprechender Fokus sierung auf das Objekt. Nach Reflexion eines Punktes im Ob jekt und auf dem Spiegel wird das Licht im Strahlteiler wieder zusammengeführt und danach von z. B. einer Photodiode detek tiert. Wenn die optische Wegstrecke des Objektarmes (definiert durch den Mittelpunkt des Strahlteilers und einem Punkt in dem Objekt) und die des Referenzarmes bis auf eine Abweichung in der Größenordnung der Kohärenzlänge identisch ist, interferie ren beide Signale auf dem Detektor. Zum bequemen Nachweis ei nes AC-Signales (statt DC) wird der Referenz-Spiegel in der Regel mit entsprechender Frequenz entlang der optischen Achse mit kleiner Auslenkung vibriert. Während eines mechanischen Verschiebens des Referenz-Spiegels entlang der optischen Achse wird Punkt für Punkt das Objekt in der Tiefe abgetastet. Die starken Streu-Eigenschaften des Objektes beeinflussen die Qua lität des (eindimensionalen) Bildes nicht, da nur die unge streute kohärente Komponente zum AC-Signal beiträgt. Wegen des exponentiellen Signal-Abfalls der kohärenten Komponente sind allerdings nur begrenzte Eindringtiefen möglich (siehe z. B. M.R. Hee et al., J. OPT. SOC. AM. B, Vol. 9, No. 6 (1992) 903-908).

Wegen des mechanisch zu verschiebenden Referenz-Spiegels sind die bekannten Vorrichtungen aufwendig und teuer, mechanisch empfindlich sowie relativ langsam, da jeder Punkt entlang der Tiefenrichtung zeitlich sequentiell aufgenommen werden muß.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, einen opti schen Aufbau der eingangs genannten Art vorzustellen, der ein fach und kostensparend, aber auch stabil und unempfindlich gegen mechanische Störungen ist, und der Bildaufnahmen in re lativ rascher Folge ermöglicht.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Detektoranordnung eine räumliche Ausdehnung quer zur Auftreff richtung der beiden Teilstrahlen auf die Detektoranordnung aufweist, über die ortssensitiv und simultan Lichtsignale auf genommen werden können, und daß die beiden Teilstrahlen im Objektarm und im Referenzarm so geführt sind, daß entlang der lateralen Ausdehnung der Detektoranordnung aufgrund lateral getrennter virtueller Lichtquellen ein räumliches Interferenz muster entsteht, wobei das reflektierende Element im Referenz arm nur statische, allenfalls im Mikrometerbereich vibrierende Teile aufweist.

Die Erfindung nützt das Prinzip der Nieder-Kohärenz (oder Kurz-Zeit) Interferometrie aus, allerdings ist das angewandte ein- oder mehrdimensionale (1D-3D) bildgebende Verfahren stationär, d. h. keine mechanisch bewegten Teile werden benö tigt und die Bildinformationen werden vom Detektor parallel und nicht zeitlich sequentiell aufgenommen.

Stationäre Fourier-Transformations Spektrometer ohne bildge bende Eigenschaften sind beispielsweise bekannt aus z. B. Junt tila et al., J. Opt. Soc. Am. A, Vol. 8, No. 9 (1991) 1457-1462, Stroke et al., Phys. Lett. Vol. 16, No. 3 (1965) 272-274 oder Okamoto et al., Appl. Opt., Vol. 23, No. 2 (1984) 269-273.

Bei diesen bekannten Spektrometern wird ein zeitliches Inter ferogramm durch ein räumliches Interferogramm ersetzt, aus dem mittels Fouriertransformation ein Spektrum erzeugt wird. Die bekannten Spektrometer sind zur Bildgebung, insbesondere im Falle von stark streuenden Medien ungeeignet und erlauben ins besondere auch keine Ortsauflösung in Tiefenrichtung des Meß objekts.

Bei dem erfindungsgemäßen Aufbau können Objekt-Signale entlang einer Linie in Tiefen-Dimension zeitgleich in eine laterale Dimension überführt und mit einem entsprechend gestalteten De tektor erfaßt werden. Wegen des stationären Aufbaus ergibt sich eine erhöhte Stabilität gegenüber mechanischen Erschütte rungen, die Vorrichtung ist insgesamt sehr einfach aufgebaut und daher billig herzustellen und ermöglicht sehr schnelle Aufnahmefolgen.

Bei einer besonders einfachen Ausführungsform des erfindungs gemäßen optischen Aufbaus sind der Objektarm und der Referenz arm Teile eines Michelson-Interferometers. Es sind aber auch andere Aufbauten des Interferometerteils der erfindungsgemäßen Vorrichtung denkbar, beispielsweise Interferometer wie sie in Junttila et al. J. Opt. Soc. Am. A, Vol. 8, No. 9 (1991) 1457-1462 gezeigt und beschrieben sind.

Bei einer Ausführungsform der Erfindung können mit der Detek toranordnung 2-dimensionale Abbildungen erfaßt werden. Dadurch kann bei der Bildgebung außer der Tiefen-Dimension eine weite re laterale räumliche Dimension erfaßt werden.

Zu diesem Zweck umfaßt bei einer Weiterbildung dieser Ausfüh rungsform die Strahlenquelle ein lateral zur Abstrahlungsrich tung angeordnetes, insbesondere lineares Array von Punktlicht quellen. Dabei können mehrere Punktstrahler nebeneinander an geordnet sein und gleichzeitig Licht emittieren.

Bei einer anderen Ausführungsform ist in Richtung des abge strahlten Lichtes nach der Strahlenquelle eine Einrichtung zur nicht-mechanischen lateralen Ablenkung des aus der Strahlen quelle emittierten Lichtes vorgesehen. Auch damit kann eine laterale Verteilung des von der Strahlenquelle ausgehenden Lichtes erreicht werden. Ebenso wie bei der davorgenannten Ausführungsform kann damit neben der Tiefendimension auch eine Lateraldimension des zu untersuchenden Objekts abgetastet wer den.

Bei einer weiteren Ausführungsform des erfindungsgemäßen op tischen Aufbaus sind Einrichtungen zur drei-dimensionalen Bildgebung vorgesehen.

Diese können beispielsweise bei einer Ausführungsform eine in Richtung des abgestrahlten Lichtes nach der Strahlenquelle angeordnete Einrichtung zur nicht-mechanischen Ablenkung in einer lateralen Richtung, z. B. x, des aus der Strahlenquelle emittierten Lichtes umfassen, wobei die Strahlenquelle selbst ein in z. B. y-Richtung lateral zur Abstrahlungsrichtung ange ordnetes, insbesondere lineares Array von Punktlichtquellen umfaßt.

Eine weitere Möglichkeit zur Realisierung der drei-dimensiona len Bildgebung besteht darin, daß eine zweite Einrichtung zur nicht-mechanischen lateralen Ablenkung vorgesehen ist, die das aus der Strahlenquelle emittierte Licht in eine Richtung quer zur Ablenkungsrichtung der ersten Einrichtung zur nicht-mecha nischen lateralen Ablenkung ablenkt.

Bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform ist eine Ein richtung zur Frequenz-Modulation der optischen Frequenz des Lichtes der beiden Teilstrahlen vorgesehen. Dadurch können AC- Signale in der Detektoreinrichtung erzeugt werden, wodurch die Verwendung eines Lock-in-Meßverfahrens ermöglicht wird, das der Unterdrückung des Rauschuntergrundes dient.

Die Modulation der Phasendifferenz kann bei einer Ausführungs form dadurch bewirkt werden, daß das reflektierende Element im Referenzarm ein mit einer definierten Frequenz vibrierender Reflektor, insbesondere ein vibrierender Spiegel mit Amplitu den im µm-Bereich ist. Ein derartiger Spiegel kann die opti sche Frequenz des reflektierten Lichtes im Frequenzbereich von etwa 1 bis 100 kHz verschieben. Die üblicherweise verwendeten optischen Detektoren haben keine Probleme, die bei der Inter ferenz entstehenden amplitudenmodulierten Signale dieser Fre quenz zu detektieren.

Bei einer anderen Ausführungsform ist im Strahlengang des Teilstrahls im Referenzarm oder im Objektarm eine nicht-mecha nische Ablenkeinheit vorgesehen, mit der dem entsprechenden Teilstrahl eine bestimmte Frequenzverschiebung aufgeprägt wer den kann. Eine solche nicht-mechanische Ablenkeinheit ist mechanisch robuster und in der Regel auch kompakter als ein vibrierender Spiegel.

Bei einer Weiterbildung dieser Ausführungsform kann die Ein richtung zur Frequenzmodulation ein piezoelektrisches Element umfassen. Bei einer anderen Weiterbildung kann die Ablenk einheit ein akusto-optischer Modulator sein. Bei derartigen Ablenkeinheiten wird dem abgelenkten Strahl eine Frequenz von ungefähr 80 MHz aufgeprägt.

Diese relativ hohe Frequenz kann von einigen bekannten Detek toranordnungen wie z. B. CCD-Kameras nicht mehr aufgelöst wer den. Daher ist bei einer bevorzugten Weiterbildung der oben genannten Ausführungsformen in Richtung des einfallenden Lich tes gesehen vor der Detektoranordnung eine Mikrokanalplatte (microchannelplate = MCP) mit einer Einrichtung zur gate gesteuerten Amplitudenmodulation vorgesehen. Das auf die MCP einfallende, hochfrequenz-modulierte Licht kann von den anfänglichen ca. 80 MHz durch Umschalten zwischen der Verstär ker und der Rejection-Mode in den Bereich von einigen kHz und darunter transformiert werden, so daß die Detektion an einer klassischen Detektoreinheit (CCD-Kamera) frequenzaufgelöst erfolgen kann.

Bei einer anderen Ausführungsform ist in Richtung des einfal lenden Lichtes gesehen vor der Detektoranordnung eine weitere nicht-mechanische Ablenkeinheit vorgesehen, die die Frequenz des einfallenden Lichts, die bereits um etwa 80 MHz verschoben ist, mit einer geringfügig unterschiedlichen Hochfrequenz wie der zurückverschiebt, so daß es den Detektor letztlich mit einer langwelligen Schwebungsfrequenz im Kilohertzbereich, die der Differenzfrequenz entspricht, erreicht.

Bei einer alternativen Ausführungsform weist die Strahlenquel le eine Einrichtung zur Amplitudenmodulation des emittierten Lichts mit einer geringfügig unterschiedlichen Hochfrequenz gegenüber der nicht-mechanischen Ablenkeinheit auf. Auch dadurch kann die von der nicht-mechanischen Ablenkeinheit dem Lichtstrahl aufgeprägte Hochfrequenz, z. B. 80 MHz, auf ein von den bekannten Detektoreinheiten zeitlich auflösbares Maß herabgesetzt werden.

Bei einer besonders einfachen Ausführungsform des erfindungs gemäßen optischen Aufbaus umfaßt die Detektoranordnung ein lateral ausgedehntes Fotodioden-Array. Das Array kann linear oder flächig angeordnet sein.

Bei einer alternativen Ausführungsform umfaßt die Detektoran ordnung eine CCD-Kamera (Charge-coupled device), wie bei spielsweise aus Sweedler et al., APPLIED SPECTROSCOPY, Vol. 43, No. 8 (1989) 1378-1384 an sich bekannt ist.

Die Strahlenquelle kann bei Ausführungsformen der Erfindung eine lichtemittierende Diode (LED) umfassen, bei anderen Aus führungsformen eine Superlumineszenz-Diode (SLD) oder eine sonstige Quelle mit kurzer Kohärenzlänge wie beispielsweise einen Kurzzeitlaser.

Anstelle von Punktquellen kann auch eine lateral ausgedehnte, insbesondere flächig emittierende Lampe eingesetzt werden, was eine solche Ausführungsform besonders preisgünstig macht. Da ohnehin nur Licht mit kurzen Kohärenzlängen von weniger als 0,1 mm benutzt wird, kann auf eine teuere Lasereinrichtung oder eine Laserdiode verzichtet werden.

Bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform ist der erfin dungsgemäße optische Aufbau eine Freistrahlanordnung (free space device). Bei anderen Ausführungsformen können aber auch faseroptische Elemente verwendet werden.

In den Rahmen der vorliegenden Erfindung fällt auch die Ver wendung eines oben beschriebenen optischen Aufbaus zur opti schen Spektroskopie oder Spektrometrie. Die in dem Interfero gramm aufgenommenen Peak-Werte des detektierten AC-modulierten Lichts weisen nämlich eine Feinstruktur auf, d. h., die Peaks sind Einhüllende unter einer Trägerfrequenz. Der Trägerfre quenz kann aber zusätzlich zu den räumlichen Informationen, die von den Peaks des Interferogramms widergegeben werden, spektroskopische Information über die Spektralverteilung auf geprägt sein.

Die Erfindung wird im folgenden anhand der in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiele näher beschrieben und er läutert. Die der Beschreibung und der Zeichnung zu entnehmen den Merkmale können bei anderen Ausführungsformen der Erfin dung einzeln, für sich oder zu mehreren in beliebiger Kombina tion Anwendung finden. Es zeigen:

Fig. 1 ein Funktionsschema eines stationären optischen Re flektometers gemäß der Erfindung;

Fig. 2a ein schematisches Funktionsdiagramm einer erfin dungsgemäßen Reflexionsanordnung für die 2D-Bildge bung;

Fig. 2b ein schematisches Funktionsdiagramm einer erfin dungsgemäßen Transmissions-Anordnung für die 2D- Bildgebung;

Fig. 2c ein Schema wie in Fig. 1, wobei im Objektarm eine nicht-mechanische Ablenkeinheit eingebaut ist;

Fig. 3 ein räumliches Funktionsschema einer erfindungsge mäßen Reflexions-Anordnung für die 3D-Bildgebung;

Fig. 4 ein schematisches Prinzipdiagramm für die optische Funktionsweise der Anordnung nach Fig. 1;

Fig. 5a eine AC-Meßgröße über der optischen Wegdifferenz z_l (Moire-Profil), aufgenommen mit einem niederauflö senden linearen Fotodioden-Array (durchgezogene Li nie) und einer gescannten Einzelelement-Fotodiode (gestrichelte Linie); und

Fig. 5b ein gemessenes AC-Signal über der Array-Elementnum mer aus einer prinzipiellen Meßanwendung zur Bestim mung der Dicke eines Plastikfilms.

Nieder-Kohärenz-Interferometrie wurde zum wichtigen Werkzeug für eine kontaktlose Tiefenprofilierung bei Lichtfasern, inte grierter Optik und biologischen Strukturen im dem Reflexions modus mit hoher räumlicher Auflösung. Bei allen derzeit be kannten Interferenzreflektometern wird eine Tiefenabtastung durch einen sich bewegenden Spiegel erreicht. Obwohl es Geräte mit hohen Spiegelgeschwindigkeiten gibt, ist bei vielen Anwen dungen eine Datenerfassung bei Geschwindigkeiten erforderlich, die für mechanisch-bewegte Teile zu schnell sind. In der bio logischen und medizinischen Diagnostik müssen Messungen im Vergleich zur Bewegung eines Patienten schnell durchgeführt werden. Bei der Steuerung von Verfahrens- und Montierfließbän dern ist eine schnelle Datenerfassung für einen hohen Durch satz erforderlich. Zusätzlich können fest angebrachte Geräte zu geringen Kosten kompakt und robust gemacht werden.

Das Gerät gemäß der vorliegenden Erfindung ist das erste Tie fenprofilierungs-Reflektometer auf der Basis von Interferenz meßverfahren mit niedriger Kohärenz, bei dem keine mechanisch sich bewegenden Teile verwendet werden.

Der optische Aufbau eines Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen stationären Re flektometers ist in der Fig. 1 gezeigt. Das Kernstück des Re flektometers ist ein Michelson-Interferometer, das Teil eines Interferometers vom Sagnac-Typ mit rechtwinkligen Lichtwegen ist. Bei dem Michelson-Interferometer wird das Licht von der Quelle durch einen polarisierenden Strahlteiler-Würfel PBS in zwei Strahlen aufgespaltet. Die Teilstrahlen werden auf einen Objektarm und einen Referenzarm gerichtet, die auf der Probe S bzw. auf einem Referenzspiegel M3, der mit einem piezoelektri schen Wandler PZT verbunden ist, enden. Das Interferometer des Sagnac-Typs besteht aus einem nicht-polarisierenden Strahlen teiler-Würfel BS und zwei Spiegeln M1 und M2.

Licht von einer breitbandigen superlumineszierenden Diode SLD mit einer sehr kleinen Emissionsfläche wird durch eine Objek tivlinse Ob (x10) parallel auf einen Strahlendurchmesser von 7 mm kollimiert. Die Linse L1 mit einer Brennweite von f = 150 mm fokussiert Licht auf die Probe und auf den Spiegel M3. Nach Rückreflexion werden Objekt- und Referenzstrahl wie der durch die Linse L2 (f = 150 mm) rückkollimiert. In Abhängigkeit der Position l′ von M2 relativ zu M1, erscheinen Interferenzränder mit variablen Abständen, die horizontal (in der Ebene der Fig. 1) in der Gitterebene, die am hinteren Brennpunkt von L2 angeordnet ist, ausgerichtet sind. Das Git ter G (80 L/mm) überlagert die räumliche Frequenz des Inter ferenzmusters bis zu einer geringen räumlichen Frequenz, um eine Detektion durch eine lineare Photodiodenanordnung mit geringer Auflösung zu ermöglichen. Die in Fig. 1 gezeigte (fakultative) abbildende Linse L3 (f = 62,5 mm) vergrößert das Moir´muster, wobei die Fähigkeit der Groß-Element-Detektoran ordnung, kleine optische Wegdifferenzen aufzulösen, weiter verbessert wird.

Um eine optimale Durchsatzwirkung zu gewährleisten, muß der Polarisationszustand des Lichtes an verschiedenen Stellen im Interferometer genau angepaßt werden. Der Polarisator P1 läßt nur vertikal polarisiertes Licht (Polarisationsebene senkrecht zu der Ebene der Fig. 1) in das Interferometer eindringen. Nachdem das Licht durch den nicht-polarisierenden Strahltei ler-Würfel BS aufgespalten wurde, werden die zwei abgehenden Teilstrahlen innerhalb des polarisierenden Strahlteilers PBS auf die Probe bzw. den Spiegel M3 nur reflektiert und nicht transmittiert. Um in dem Interferometer des Sagnac-Typs einen Strahlenweg im und gegen den Uhrzeigersinn zu schaffen, muß das von der Probe S und dem Spiegel M3 reflektierte Licht durch den polarisierenden Strahlenteiler-Würfel dringen. Um dies zu erreichen, wird die Polarisationsrichtung des Lichtes in die Horizontale (Ebene der Fig. 1) gedreht, indem das Licht zweimal durch jede der Viertelwellenlängen-Plättchen QW1 und QW2 hindurchgelassen wird. Die Polarisationsrichtung des Polarisators P2 wird in horizontaler Richtung eingestellt, um zu verhindern, daß restliches vertikal polarisiertes Licht die Detektoranordnung A erreicht. Wenn alle optischen Elemente perfekt wären und der Spiegel M3 und die Probe S das zirkular polarisierte Licht perfekt reflektieren würden (was unwahr scheinlich ist, insbesondere im Falle einer nicht spiegelnden reflektieren Probe), dann wäre die Signaleffizienz des vorlie genden Interferometers und des nicht modifizierten Sagnac- Interferometers gleich.

Um den Rauschuntergrund zu verringern, wird das optische In terferenzmuster phasenmoduliert, indem ein Spiegel M3 mit 30 kHz durch einen piezoelektrischen Wandler PZT vibriert wird. Da die Verschiebung des PZT nur einen Bruchteil einer Wellen länge beträgt, kann die vorliegende Methode ohne weiteres als stationär betrachtet werden. Bei dem Reflektometer wird sowohl räumlich heterodyn überlagerte Mischung (um die Verwendung von Detektor-Anordnungen mit geringer Auflösung zu ermöglichen) und zeitliche homodyne Mischung (um den Störabstand zu verbes sern) angewandt.

In Fig. 2a ist eine besonders bevorzugte Ausführungsform einer Reflexions-Anordnung (bzgl. Objekt) für die 2D-Bildgebung ge zeigt. Emittiertes Licht von einer inkohärenten punktförmigen Lichtquelle So wird mit Hilfe einer Linse C zu einem paralle len Lichtbündel von etwa 10 mm Durchmesser kollimiert. Etwa 50% des Lichtes wird nicht-mechanisch (z. B. durch einen akusto-optischen Modulator AO) abgelenkt, während die anderen 50% das Bauelement unbeeinflußt passieren. Der durch den AO abgelenkte Strahl passiert direkt einen Strahlteiler BSC und wird durch eine Linse L4 auf ein Objekt S fokussiert. Der damit erzeugte Punkt-Strahler entspricht einer virtuellen Quelle VS1, wie in Fig. 4 und unten näher erläutert.

Der durch den AO unabgelenkte Strahl wird durch den Strahltei ler BSC rechtwinklig abgelenkt und durch eine Linse L5 auf einen Spiegel M fokussiert. Ein Prisma Pr (oder eine Kombina tion von Spiegeln) verschiebt die virtuelle Quelle VS2 entlang des Spiegels in lateraler Richtung. Der Schnittpunkt der ge strichelten Linien mit dem Spiegel zeigt die Verschiebung von VS2 relativ zu VS1 an, wie unten näher erläutert. Die nach Reflexion rekollimierten Objekt- und Referenz-Strahlen tref fen nach dem Strahlteiler BSC auf einem Detektor Det (z. B. 1D- CCD-Kamera oder Photodioden-Array) zur Interferenz zusammen. Für jeden Punkt in lateraler Richtung wird die Tiefen-Informa tion des Objektes in einem "Schuß" auf den Detektor übertra gen.

In Fig. 2b ist eine besonders bevorzugte Ausführungsform einer Transmissions-Anordnung (bzgl. Objekt) für die 2D-Bildgebung gezeigt. Dies ist eine durch die Spiegel M1 und M2 "aufge klappte" Version von Fig. 2a, d. h. die Strahlen durchlaufen nicht mehr die identisch gleichen Bauelemente. Da das Prinzip exakt dem von Fig. 2a entspricht, wird auf eine detaillierte Beschreibung verzichtet.

In Fig. 2c ist eine weitere mögliche Ausführungsform einer Reflexions-Anordnung für die 2D-Bildgebung gezeigt, die im wesentlichen der Fig. 1 entspricht und oben im Detail be schrieben wurde. Der wesentliche Unterschied zur Anordnung nach Fig. 1 besteht darin, daß im Objektarm eine nicht-mecha nische Ablenk-Einheit (z. B. akusto-optischer Modulator AO) eingebaut ist.

In Fig. 3 ist eine besonders bevorzugte Ausführungsform einer Reflexions-Anordnung (bzgl. Objekt) für die 3D-Bildgebung gezeigt. Hier ist im wesentlichen der Aufbau nach Fig. 2a zu grunde gelegt. Die Lichtquelle besteht z. B. aus einem 1D-Array von Punktquellen So, welche 1D virtuelle Quellen im Objekt S und auf dem Spiegel M erzeugen. Eine Zylinderlinse CL foku siert die laterale Objekt-Information auf eine Achse des 2D- Detektors (z. B. CCD Kamera) während die Tiefen-Information auf die andere Achse übertragen wird. Damit ist eine 2D-Bildauf nahme analog zu der des Ultraschalls in einem "Schuß" möglich. Mit der nicht-mechanischen Ablenkeinheit (z. B. AO) ist dann ein weiteres laterales Abtasten zur 3D-Bildgebung möglich. Analog zu Fig. 2b kann auch hier eine Transmissions-Anordnung ausgeführt werden (nicht gezeigt).

Bei Beschränkung auf 1D- bzw. 2D-Bildgebung kann die nicht mechanische Ablenkeinheit (z. B. AO) weggelassen werden. In diesem Fall kann ein für die Verwendung der Lock-in-Technik zur Rauschunterdrückung notwendiges AC Signal am Detektor durch einen vibrierenden (statt wie bisher statischen) Refe renz-Spiegel erzeugt werden.

Im Falle eines eingesetzten akusto-optischen Modulators AO kann dessen intrinsische Frequenzverschiebung zu einem AC Sig nal ausgenützt werden. Ist die Frequenzverschiebung von etwa 80 MHz für den verwendeten Detektor zu groß, so kann mit fol genden Verfahren die AC Frequenz herabgesetzt werden:

Ein zweiter AO kann vorzugsweise in der Nähe des Detektors angeordnet werden und eine leicht unterschiedliche Frequenz verschiebung gegenüber dem ersten AO aufweisen, wodurch nur die niederfrequente Differenzfrequenz Δf zwischen den beiden Frequenzen der AOs vom Detektor verarbeitet wenden muß.

Durch Einsatz einer Mikrokanalplatte (microchannel plate = MCP) vor dem Detektor und entsprechender Gate AM-Modulation des MCP kann die hohe, vom AO aufmodulierte Frequenzverschie bung bis auf wenige kHz und darunter heruntertransformiert werden.

Durch entsprechende AM-Modulation der Lichtquelle kann eben falls das gleiche erreicht werden.

Die Linsen L1-L5, L können vorzugsweise die gleichen Brennwei ten haben, was jedoch nicht zwingend ist. Als Strahlenquelle für die erfindungsgemäße Anordnung kommen auch relativ preis günstige, flächenmäßig ausgedehnte Lichtquellen (einfache Lam pen) in Frage. Auch die Verwendung von Glasfaseroptik ist bei den erfindungsgemäßen Aufbauten möglich, wobei dann allerdings bei der Zusammenführung des reflektierten Objektstrahls und des Teilstrahls aus dem Referenzarm der Anordnung auf der De tektoroberfläche nur kleine relative Winkel zwischen den bei den Teilstrahlen auftreten dürfen.

Der Interferometerteil der erfindungsgemäßen Anordnung be schränkt sich nicht auf einen stationären Michelson-Aufbau, sondern es kommen beispielsweise auch ein Mach-Zehnder-Aufbau, ein Triangel-Interferometer-Aufbau, ein Doppelspiegel-Inter ferometer-Aufbau mit ausgedehnter Quelle oder ein modifizier ter Mach-Zehnder-Interferometer-Aufbau mit unkollimiertem Licht in Frage, wie sie in Junttila et al., J. Opt. Soc. Am. A, Vol. 8, No. 9 (1991) 1457-1462 beschrieben sind.

Die erfindungsgemäße Anordnung läßt sich auch in der Spektros kopie oder in der Spektrometrie einsetzen, d. h. zur bildhaften Erfassung von optischen Parametern wie Absorption, transienten Absorptions-Änderungen durch nicht-lineare optische Effekte, Streukoeffizienten, Streu-Anisotropie, Polarisation (M.R. Hee et al., J. OPT. SOC. AM. B, Vol. 9, No. 6 (1992) 903-908), oder elektrisch, magnetisch oder mechanisch induzierten optischen Effekten. Beispielsweise für Absorptions-Abmessungen (Junttila et al., J. Opt. Soc. Am. A, Vol. 8, No. 9 (1991) 1457-1462) können die bekannten Verfahren zur stationären Fourier-Trans formations Spektrometrie in die bildgebenden Verfahren einge baut werden. Spektroskopische Information kann insbesondere bei AC-Modulation den relativen Phasen bei den Teilstrahlen in der erfindungsgemäßen Anordnung aus der gemessenen Trägerfre quenz entnommen werden, während die Einhüllenden des aufgenom menen Interferogramms die Orts- bzw. Strukturinformationen über das gemessene Objekt enthalten.

Das Grundprinzip für die Funktionsweise der Anordnung nach Fig. 1 wird anhand der Fig. 4 erklärt. Im Gegensatz zum "klas sischen" Interferenz-Verfahren wo der Objekt- und Referenz- Punkt auf der optischen Achse liegen (in lateraler Richtung nicht getrennt) sind hier beide Punkte VS1 und VS2 lateral voneinander getrennt. Strahlen vom Objekt-Punkt (VS1) kund Re ferenz-Punkt (VS2) interferieren nur dann miteinander, wenn beide optischen Wegstrecken bis hin zum gemeinsamen Punkt auf dem 1D-Detektor-Array sich um nicht mehr als eine Kohärenz- Länge unterscheiden. Dies kann für unterschiedliche Objekt- Tiefen nur erreicht werden, wenn die Strahlen mit der opti schen Achse einen Winkel bilden. Die Signale entlang der Tiefe werden über die Winkel-Informationen örtlich in Signale ent lang einer lateralen Richtung umgewandelt.

Fig. 4 zeigt ein äquivalentes Diagramm des optischen Systems in Fig. 1, welches für eine Analyse hilfreich ist. VS1 und VS2 sind die zwei virtuellen Quellen (gegenseitige Kohärenz) die an den Brennpunkten der Probe S und des Spiegels M3 (siehe Fig. 1) angeordnet sind. Der Abstand zwischen den virtuellen Quellen ist gegeben durch l = 2l′, wobei l′ die relative Ver schiebung des Spiegels M2 (siehe Fig. 1) darstellt. VS2 liegt in der vorderen Brennebene der Linse L2. VS1 ist ein Refle xionspunkt in der Brennpunktregion in der Probe, wird als um einen kleinen Abstand z_l von der Brennebene in Tiefenrichtung verschoben angenommen. Das Gitter G ist in der hinteren Brenn ebene von L2 und das Detektor-Array A ist sehr dicht hinter G (ohne die Vergrößerungslinse L3 der Fig. 1) angeordnet. Ein Moir´muster ist entlang dem Durchmesser d sichtbar.

Nun kann ein Ausdruck für die Intensitätsverteilung I(x) des auf der Detektorebene gebildeten Interferogramms im Hinblick auf die in Fig. 4 definierten Variablen erhalten werden. Im speziellen Fall von z_l = 0 hängt der Kontrast des Interferenz randmusters aufgrund des optischen Fourier-Transformations- Aufbaus nicht von der Ausdehnung der virtuellen Quellen ab. Da im vorliegenden Fall die Differenz z_l der optischen Weglänge viel geringer ist als die Brennweite der Linse L2, können die virtuellen Quellen als Punktquellen behandelt werden. Die elektrische Feldverteilung E_n(X) in der hinteren Brennebene für ein Objekt n in der Nähe der vorderen Brennebene ist gegeben durch

Die Fourier-Transformierte T_n(U_n) der räumlichen Verteilung jedes (Quellen) Objektes n ist eine Funktion der zugeordneten Variablen U_n = -x/(λ(f+z_n)), wobei z_n die Differenz des opti schen Weges zwischen dem Objekt und der vorderen Brennebene in Tiefenrichtung ist. Die Intensitätsverteilung I(x) des Inter ferogramms (ohne Gitter) ist gegeben durch das Quadrat der Summe der elektrischen Feldbeiträge E_n(x) von beiden Quellen. Angenommen, daß die Quellen räumliche Verteilungen von Delta funktion haben, so erhalten wir

wobei = l/(λ_cf) die der Mittelwellenlänge λ_c entsprechende fundamentale räumliche Frequenz ist und S() ist die räumliche Intensitätsverteilung der Quelle. Es ist zu beachten, daß wir die Modulationstransferfunktion des optischen Aufbaus in diese Analyse nicht berücksichtigt haben. Angenommen, daß S() sym metrisch ist, dann hat das Intensitäts-Interferogramm I(x) sein Maximum, wenn das Argument der Cosinusfunktion in Gleichung [2] Null ist. Unabhängig von den letzten zwei (sehr kleinen) Termen in dem Argument, kann die optische Wegtransferfunktion als

definiert werden, wobei der Abstand x_m von der optischen Achse am Maximum des Intensitätsinterferogramms I(x) liegt.

Der dritte Term des (Cosinus) Arguments in Gleichung [2] zeigt, daß die fundamentale räumliche Frequenz um eine gerin gen Betrag z_l/(2f) verschoben wird. Dies liebt daran, daß eine der Quellen leicht außerhalb der Brennebene von L2 liegt. Der vierte Term legt eine geringe lineare Verschiebung auf die fundamentale räumliche Frequenz als Funktion von x und ist noch kleiner als der dritte Term, vorausgesetzt daß x/l<1 ist. Da beide Terme im Bereich von 10^-3 oder kleiner sind, können sie vernachlässigt werden.

Bei den hier aufgezeigten Experimenten wählen wir die Verwen dung eines Gitters mit einer räumlichen Frequenz von 80 L/mm, um das Intensitäts-Interferogramm von seiner fundamentalen räumlichen Frequenz nach unten zu konvertieren, = l/(λ_cf). Ein Moir´muster mit einer oszillationsfreien Einhüllenden wur de in der Detektorebene erzeugt, indem der Abstand l (gleich der Hälfte der Verschiebung des Spiegels M2 in Fig. 1) ver stellt wurde. Bei einer Mittelwellenlänge von SLD (840 nm) mußte dieser Abstand 10,08 mm sein. Gemäß Gleichung [3] ergibt dies eine optische Wegtransferfunktion von Tr = 67,2 µm/mm. Die nach oben konvertierte räumliche Frequenz trägt nicht zu dem Signal bei, da das Array eine Tiefpaß-Filterfunktion aus übt, weil seine Bildelementgröße im Vergleich zu dem Gitter abstand groß ist.

Die räumliche Auflösung des Reflektometers wird durch die Ko härenzlänge der Lichtquelle und der Auflösung der Detektoran ordnung bestimmt. Um den Betrieb des Reflektometers zu de monstrieren, wurde zuerst das Moir´profil der superlumineszen ten Diode mit einem linearen Detektor-Array mit geringer Auf lösung und einem mechanisch abgetasteten Einzelelementdetektor aufgezeichnet. Bei diesen Experimenten wurde die Probe durch einen Spiegel ersetzt. Der Einzelelement-Detektor wurde ver wendet, um ein Profil mit hoher Auflösung zu erhalten, um die Kohärenzlänge der Quelle genau zu bestimmen. Die superlumines zente Diode (Modell L3302, Hamamatsu Corp.) emittierte Licht bei einer Mittelwellenlänge von λ_c = 840 nm mit einer spektra len Halbwertsbreite von Δλ = 10 nm bei Betrieb mit einem be stimmten Strom von 100 mA (1,9 mW Leistungsabgabe). Unter An nahme einer Gauß-Spektralform hatte die Quelle eine theoreti sche Halbwerts-Kohärenzlänge von 31 µm, bei 0,44 λ_c²/Δλ.

Das in Fig. 5a gezeigte Interferogramm wurde ohne Vergröße rungslinse L3 aufgenommen. Die gemessene Halbwerts-Kohärenz länge (gestrichelte Linie) war 35 µm. Dieser Wert ist gering fügig größer als der theoretische Wert, da die Diode bei einem Strom betrieben wurde, der höher als angegeben war (110 mA anstatt 100 mA), wodurch seine spektrale Bandbreite verringert wurde.

Das auf die Detektoranordnung projizierte Moir´muster wies keine Oszillationen auf, wenn die Position von M2 exakt einge stellt wurde. Das lineare 50-Element Photodioden-Array (Modell LD50-5, Centronic, Inc.) mit geringer Auflösung, das in diesen Experimenten verwendet wurde, bestand aus 600 µm breiten Ele menten mit einem Abstand zwischen den Mitten der Elementen von 700 µm. Ohne zusätzliche Vergrößerung war deshalb die kleinste mit der Anordnung detektierbare Differenz des optischen Weges Tr × 700 µm = 47 µm (mit einer optischen Wegtransferfunktion Tr = 67,2 µm/mm). Dieser Abstand ist geringfügig größer als die Kohärenzlänge, wie in Fig. 5a gezeigt.

Eine perfekte Anpassung der räumlichen Frequenz ist wichtig, um einen Signalverlust aufgrund von räumlicher Tiefpaßfilte rung über jedem Bildelement zu verhindern. Der maximale dyna mische Bereich dieser Anordnung war ∼ -70 dB pro Bildelement, was von einem Spektralanalysegerät mit einer Sekunde Erlas sungszeit gemessen wurde.

Die maximale zu detektierende optische Weglänge z_lmax = Tr × d war ungefähr 300 µm bei einer gemessenen Breite d des Moir´profils von ca. 4,5 mm. Obwohl im Idealfall in unserem Aufbau (ohne Vergrößerung) das Moir´profil über dem gesamten Durchmesser (7 mm) des kollidierten Quellenstrahls sichtbar sein sollte, war die effektive Breite d kleiner, da die Sichtbarkeit in Richtung der Ränder des Strahles abfiel.

Um die bei einem vorhandenen Array mit geringer Auflösung er hältliche räumliche Auflösung zu erhöhen, wurden die in der Gitterebene gebildeten Ränder vergrößert und auf die endgülti ge Bildebene projiziert. Ein Vergrößerungsfaktor von ca. 2 ergab eine vergrößerte räumliche Auflösung von 23 µm. Da das Array sehr lang war, wurde die maximale optische Wegdifferenz z_lmax nicht durch die Vergrößerung reduziert.

Als Anwendung zur Demonstration des Prinzips wurde die Dicke eines in Luft aufgehängten transparenten Plastikfilms gemes sen. Fig. 5b zeigt die vorderen und hinteren Reflexionen des Films. Der Abstand zwischen den zwei Arrayelementen, bei denen die Spitzenreflexionen auftraten entsprach einer optischen Wegdifferenz von 161 µm. Bei der Annahme, daß der Film einen Brechungsindex von 1,4 hatte, war die tatsächliche Dicke die ser Plastikfolie ca. 58 µm unter Berücksichtigung des doppel ten Weges durch die Probe im Reflexionsmodus. Die vorderen und hinteren Reflexionen traten bei den Bildanordnungselementen #8 und #15 auf.

Die beschriebene Ausführungsform der erfindungsgemäßen Anord nung, die hauptsächlich aus einem in einem Interferometer des Typs Sagnac miteinbezogenen Michelson-Interferometer besteht, kann eine maximale optische Wegdifferenz von 300 µm (150 µm in Tiefe beim Reflexionsmodus) mit einer Auflösung von 23 µm (mit einer zusätzlichen Vergrößerungslinse) messen.

Aufgrund von räumlicher Überlagerung durch ein Gitter bestimmt die Kohärenzlänge der Quelle die Größe des Detektorelementes, das benötigt wird, um Reflexionen in der Probe aufzulösen und nicht die Beabstandung der Ränder in dem nicht konvertierten Interferogramm.

Claims

1. Bildgebender optischer Aufbau zur Untersuchung stark streuender Medien, insbesondere biologischer Gewebepro ben, mit mindestens 1-dimensionaler Ortsauflösung immer unter Einschluß der Tiefenrichtung eines Meßobjekts, mit einer Strahlenquelle zum Aussenden von Licht mit kurzen Kohärenzlängen von weniger als 0,1 mm, mit einer Vorrich tung zur Aufspaltung des niederkohärenten Lichts in zwei Teilstrahlen, von denen einer in einem Objektarm zum Meß objekt und der andere in einem Referenzarm zu einem reflektierenden Element geführt wird, und mit einer Detektoranordnung, auf die die von dem reflektierenden Element im Referenzarm und von dem Meßobjekt im Objektarm reflektierten Teilstrahlen gelenkt, zur Interferenz miteinander gebracht und nachgewiesen werden können, dadurch gekennzeichnet, daß die Detektoranordnung eine räumliche Ausdehnung quer zur Auftreffrichtung der beiden Teilstrahlen auf die De tektoranordnung aufweist, über die ortssensitiv und simultan an den einzelnen Orten der Detektoranordnung Lichtsignale aufgenommen werden können, und daß die beiden Teilstrahlen im Objektarm und im Referenzarm so geführt sind, daß entlang der lateralen Ausdehnung der Detektoranordnung aufgrund lateral getrennter virtueller Lichtquellen ein räumliches Interferenzmuster entsteht, wobei das reflektierende Element im Referenzarm nur statische, allenfalls im Mikrometerbereich vibrierende Teile aufweist.

2. Optischer Aufbau nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Objektarm und der Referenzarm Teile eines Michel son-Interferometers sind.

3. Optischer Aufbau nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn zeichnet, daß die Detektoranordnung ein 2-dimensionales Array ist.

4. Optischer Aufbau nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlenquelle ein lateral zur Abstrahlungsrich tung angeordnetes, insbesondere lineares Array von Punkt lichtquellen umfaßt.

5. Optischer Aufbau nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß in Richtung des abgestrahlten Lichtes nach der Strah lenquelle eine Einrichtung zur nicht-mechanischen latera len Ablenkung des aus der Strahlenquelle emittierten Lichtes vorgesehen ist.

6. Optischer Aufbau nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtungen zur 3-dimensionalen Bildgebung eine in Richtung des abgestrahlten Lichtes nach der Strahlenquelle angeordnete Einrichtung zur nicht-mecha nischen lateralen Ablenkung des aus der Strahlenquelle emittierten Lichtes umfassen.

7. Optischer Aufbau nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß eine zweite Einrichtung zur nicht-mechanischen lateralen Ablenkung vorgesehen ist, die das aus der Strahlenquelle emittierte Licht in eine Richtung quer zur Ablenkungsrichtung der ersten Einrichtung zur nicht mechanischen lateralen Ablenkung ablenkt.

8. Optischer Aufbau nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine Einrichtung zur Frequenz-Modulation der optischen Frequenz des Lichtes der beiden Teilstrahlen vorgesehen ist.

9. Optischer Aufbau nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das reflektierende Element im Referenzarm ein mit einer definierten Frequenz vibrierender Reflektor, ins besondere ein vibrierender Spiegel, ist.

10. Optischer Aufbau nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß im Strahlengang des Teilstrahls im Referenzarm oder im Objektarm eine nicht-mechanische Ablenkeinheit vorge sehen ist, mit der dem entsprechenden Teilstrahl eine bestimmte Frequenzverschiebung aufgeprägt werden kann.

11. Optischer Aufbau nach einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur Frequenz modulation ein piezoelektrisches Element umfaßt.

12. Optischer Aufbau nach Anspruch 10, dadurch gekenn zeichnet, daß die Ablenkeinheit ein akusto-optischer Modulator ist.

13. Optischer Aufbau nach einem der Ansprüche 10 bis 12, da durch gekennzeichnet, daß in Richtung des einfallenden Lichtes gesehen vor der Detektoranordnung eine Micro kanalplatte (microchannelplate = MCP) mit einer Einrich tung zur gategesteuerten Amplitudenmodulation vorgesehen ist.

14. Optischer Aufbau nach einem der Ansprüche 8 bis 12, da durch gekennzeichnet, daß in Richtung des einfallenden Lichtes gesehen vor der Detektoranordnung eine weitere nicht-mechanische Ablenkeinheit zur Frequenz-Rück verschiebung vorgesehen ist.

15. Optischer Aufbau nach einem der Ansprüche 8 bis 12, da durch gekennzeichnet, daß die Strahlenquelle eine Ein richtung zur Amplitudenmodulation des emittierten Lichts aufweist.

16. Optischer Aufbau nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Detektoranordnung ein lateral ausgedehntes Photodioden-Array umfaßt.

17. Optischer Aufbau nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Detektoranordnung eine CCD-Kamera (Charge-coupled device) umfaßt.

18. Optischer Aufbau nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlenquelle eine licht-emittierende Diode (LED) umfaßt.

19. Optischer Aufbau nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlenquelle eine Superlumineszenz-Diode (SLD) umfaßt.

20. Optischer Aufbau nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlenquelle einen Kurzzeitlaser umfaßt.

21. Optischer Aufbau nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlenquelle lateral ausgedehnt, insbesondere eine flächig emittierende Lampe ist.

22. Optischer Aufbau nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der optische Aufbau eine Freistrahlanordnung (free space device) ist.

23. Verwendung eines optischen Aufbaus nach einem der vorher gehenden Ansprüche zur optischen Spektroskopie oder Spek trometrie.