DE4238080A1 - Through hole connection structure mfr. for multilayer integrated circuit - selectively etching insulating layer and using CVD process with gas containing titanium and forming conducting layers for coupling to connecting layer - Google Patents
Through hole connection structure mfr. for multilayer integrated circuit - selectively etching insulating layer and using CVD process with gas containing titanium and forming conducting layers for coupling to connecting layerInfo
- Publication number
- DE4238080A1 DE4238080A1 DE4238080A DE4238080A DE4238080A1 DE 4238080 A1 DE4238080 A1 DE 4238080A1 DE 4238080 A DE4238080 A DE 4238080A DE 4238080 A DE4238080 A DE 4238080A DE 4238080 A1 DE4238080 A1 DE 4238080A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- layer
- conductive
- conductive layer
- titanium silicide
- forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 239000010936 titanium Substances 0.000 title claims description 17
- 238000005530 etching Methods 0.000 title claims description 7
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 title claims description 7
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 6
- 230000008878 coupling Effects 0.000 title 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 title 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 title 1
- 229910021341 titanium silicide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 51
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims abstract description 27
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 21
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 361
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 55
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 29
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 28
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 28
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 23
- 229910008484 TiSi Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 17
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 10
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 4
- 239000002356 single layer Substances 0.000 claims description 4
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 4
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims 4
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 2
- 230000035515 penetration Effects 0.000 abstract description 2
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 26
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 16
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 14
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 11
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 7
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 6
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 6
- AZDRQVAHHNSJOQ-UHFFFAOYSA-N alumane Chemical group [AlH3] AZDRQVAHHNSJOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 4
- 229910018182 Al—Cu Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910003074 TiCl4 Inorganic materials 0.000 description 3
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 239000003085 diluting agent Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- XJDNKRIXUMDJCW-UHFFFAOYSA-J titanium tetrachloride Chemical compound Cl[Ti](Cl)(Cl)Cl XJDNKRIXUMDJCW-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 241000881711 Acipenser sturio Species 0.000 description 1
- 241000331231 Amorphocerini gen. n. 1 DAD-2008 Species 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000000543 intermediate Substances 0.000 description 1
- 238000004518 low pressure chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 238000005546 reactive sputtering Methods 0.000 description 1
- 230000008685 targeting Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/768—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics
- H01L21/76838—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics characterised by the formation and the after-treatment of the conductors
- H01L21/76841—Barrier, adhesion or liner layers
- H01L21/76843—Barrier, adhesion or liner layers formed in openings in a dielectric
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/28—Manufacture of electrodes on semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/268
- H01L21/283—Deposition of conductive or insulating materials for electrodes conducting electric current
- H01L21/285—Deposition of conductive or insulating materials for electrodes conducting electric current from a gas or vapour, e.g. condensation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/28—Manufacture of electrodes on semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/268
- H01L21/283—Deposition of conductive or insulating materials for electrodes conducting electric current
- H01L21/285—Deposition of conductive or insulating materials for electrodes conducting electric current from a gas or vapour, e.g. condensation
- H01L21/28506—Deposition of conductive or insulating materials for electrodes conducting electric current from a gas or vapour, e.g. condensation of conductive layers
- H01L21/28512—Deposition of conductive or insulating materials for electrodes conducting electric current from a gas or vapour, e.g. condensation of conductive layers on semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System
- H01L21/28518—Deposition of conductive or insulating materials for electrodes conducting electric current from a gas or vapour, e.g. condensation of conductive layers on semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System the conductive layers comprising silicides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/768—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics
- H01L21/76838—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics characterised by the formation and the after-treatment of the conductors
- H01L21/76877—Filling of holes, grooves or trenches, e.g. vias, with conductive material
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S257/00—Active solid-state devices, e.g. transistors, solid-state diodes
- Y10S257/915—Active solid-state devices, e.g. transistors, solid-state diodes with titanium nitride portion or region
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
Description
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Verbindungs
struktur für leitende Schichten einer Halbleitereinrichtung
welche eine obere leitende Schicht und eine untere leitende
Schicht elektrisch verbindet und ein Verfahren zu deren Her
stellung. Genauer bezieht sie sich auf ein Herstellungsverfah
ren für eine Verbindungsstruktur für leitende Schichten einer
Halbleitereinrichtung mit einer natürlichen Oxidschicht, die
unter Benutzung einer Titansilizidschicht entfernt wird, und
mit einer Verbindungsstruktur für leitende Schichten, die unter
Benutzung dieses Verfahrens ausgebildet werden.
Sputtern und CVD (Chemical Vapor Deposition = Gasphasenab
scheidung) sind als Schichtablagerungstechniken wohlbekannt.
Sputtern hat den Vorteil, daß eine Schicht ohne die Notwendig
keit des Einstellens des Gasflusses und der Temperatur, wie in
dem Fall der Benutzung von CVD, leicht erhalten wird. Ein
Verfahren zur Ausbildung einer oberen leitenden Schicht mit
Sputtern wird später noch beschrieben.
Bezugnehmend auf Fig. 17 wird eine Zwischenschichtisolier
schicht 3 auf einer unteren leitenden Schicht 5 ausgebildet.
Ein Durchgangsloch 6, welches die untere leitende Schicht 5
erreicht, wird in der Zwischenschichtisolierschicht 3 ausge
bildet. Ar-Ionen werden zum Zusammenprall mit einer Alumini
umplatte 1 gebracht, und aufgrund des Zusammenpralles fallen
die Aluminiumatome nach unten. Dieser Prozeß wird fortgesetzt
bis als Ergebnis der in Fig. 19 gezeigte Zustand, über den in
Fig. 18 gezeigten Zustand, erreicht ist. Das Bezugszeichen 7
bezeichnet eine obere leitende Schicht aus Aluminium.
Jedoch fallen in der Praxis die Aluminiumatome nicht wie in
Fig. 17 gezeigt senkrecht nach unten. Der Fall der Aluminium
atome wird, verursacht durch den Zusammenprall mit Ar-Ionen, in
verschiedenen Richtungen beobachtet, wie in Fig. 20 gezeigt. In
der Ecke 10 des Durchgangsloches 9 wird ein Aluminiumfilm nur
schwierig ausgebildet.
Die Öffnungsgröße des Durchgangsloches 9 ist, übereinstimmend
mit der kleiner werdenden Größe der Vorrichtungen, kleiner ge
worden. Die Dicke der Zwischenschichtisolierschicht 3 ist unter
Berücksichtigung der Möglichkeit eines Defektes im wesentlichen
auf einen konstanten Wert festgelegt. Darum wird das Längenver
hältnis (Lochtiefe/Öffnungsgröße des Loches) des Durchgangslo
ches unvermeidlich erhöht. Ein größeres Längenverhältnis macht
es für die Aluminiumatome noch schwieriger die Ecke 10 des
Durchgangsloches 9 zu erreichen. Das bringt Probleme mit sich,
die nachfolgend beschrieben werden.
Fig. 21 ist eine Schnittansicht einer Halbleitereinrichtung,
bei der eine obere leitende Schicht 7 aus Aluminium auf einer
Zwischenschichtisolierschicht 3 mit einem Durchgangsloch 9 mit
großem Längenverhältnis ausgebildet wird.
Fig. 22 zeigt den Zustand der Halbleitereinrichtung nach der
Ausbildung der oberen leitenden Schicht 7. Es ist zu sehen, daß
die Öffnung des Durchgangsloches 9 mit Aluminium verschlossen
ist bevor das Innere des Durchgangsloches 9 vollständig mit
Aluminium gefüllt ist, was in einem Hohlraum 11 in dem Durch
gangsloch 9 resultiert. Der Hohlraum 11 verursacht einen höhe
ren elektrischen Widerstand in der Aluminiumschicht im Durch
gangsloch 9. Das führt zu einer erhöhten Wahrscheinlichkeit von
Elektromigration in diesem Teil. Elektromigration ist ein Phä
nomen, bei dem Metallatome verfrachtet werden, wenn eine hohe
Strombelastung an dem Metall anliegt. Wenn die Metallatome in
der zu der Stromrichtung entgegengesetzten Richtung wandern,
wird auf der Kathodenseite kein Aluminium mehr sein und so ein
Hohlraum gebildet, wohingegen sich das Aluminium auf der Ano
denseite sammelt und Aufwürfe und Whisker (Haarkristalle) bil
det. Der durch die Elektromigration verursachte Defekt bein
haltet einen Anstieg des Verbindungswiderstandes und Verbin
dungsunterbrechung aufgrund von Hohlräumen und Kurzschlüssen
zwischen Mehrschichtverbindungen aufgrund von Aufwürfen und
Whiskern.
Darum wird eine obere leitende Schicht unter Benutzung eines
CVD-Verfahrens ausgebildet, wenn das Längenverhältnis eines
Durchgangsloches groß ist. Bei dem CVD-Verfahren wird eine
Schicht durch die Berührung des Gases mit der Schicht bildenden
Fläche ausgebildet. Gas kann sich leicht in die Ecke eines
Durchgangsloches ausbreiten. Das bedeutet, daß das Innere eines
Durchgangsloches vollständig ausgefüllt werden kann, sogar dann
wenn das Durchgangsloch ein großes Längenverhältnis hat.
Ein Verfahren zum Auffüllen eines Durchgangsloches mit einer
leitenden Schicht durch ein CVD-Verfahren wird nachfolgend
beschrieben. Dieses Verfahren ist z. B. in 1990 IEEE June 12-
13, 1990 VMIC Conference pp. 219-225 "CONTAKT HOLE FILL
WITH LOW TEMPERATURE LPCVD TiN" Ivo J. Raaÿmakers et. al.
offenbart.
Fig. 23 zeigt, daß die Zwischenschichtisolationsschicht 19
selektiv zur Ausbildung eines Durchgangsloches 21, welches den
Störstellenbereich 17 erreicht, geätzt wird. Das Bezugszeichen
13 bezeichnet ein Siliziumsubstrat und das Bezugszeichen 15
eine Feldoxidschicht.
Fig. 24 zeigt, daß auf dem freiliegenden Störstellenbereich 17
durch den Sauerstoff der Atmosphäre eine natürliche Oxidschicht
23 gebildet wird. Da die Anwesenheit einer natürlichen Oxid
schicht 23 die elektrische Verbindung zwischen dem Störstellen
bereich 17 und einer später auszubildenden TiN-Schicht verrin
gern würde, wird die natürliche Oxidschicht 23 wie folgt redu
ziert.
Fig. 25 zeigt, daß durch Sputtern eine Ti-Schicht 25 auf der
ganzen Hauptoberfläche des Siliziumsubstrates 13 ausgebildet
wird.
Fig. 26 zeigt, daß das Siliziumsubstrat 13 für 30 Sekunden
einer Wärmebehandlung in einer Stickstoffatmosphäre bei einer
Temperatur von 650°C unterzogen wird. Der Teil der Ti-Schicht,
der in Kontakt mit der Zwischenschichtisolierschicht 19 ist,
wird eine TiN (O)-Schicht 29. Die TiN (O)-Schicht 29 ist eine
TiN-Schicht mit in dieser Schicht verteiltem Sauerstoff.
Aus dem betreffenden Teil der Ti-Schicht, die in Kontakt mit
dem Störstellenbereich 17 steht, diffundiert Ti in den Stör
stellenbereich 17 und wird in dem Störstellenbereich 17 an Si
gebunden, was in der Bildung von TiSix 27 (0 < x < 2) resul
tiert. Da TiSix reduzierend ist, reagiert ein Teil des TiSix
mit dem O der natürlichen Oxidschicht und wird zu TiSiO. So
wird die natürliche Oxidschicht reduziert.
Fig. 27 zeigt, das durch ein CVD-Verfahren eine TiN-Schicht 31
auf der ganzen Hauptoberfläche des Siliziumsubstrates 13 aus
gebildet wird. Das Durchgangsloch 21 kann vollständig mit der
TiN-Schicht 31 aufgefüllt werden, sogar dann wenn das Längen
verhältnis des Durchgangsloches 21 groß ist, da die Ausbildung
mit einem CVD-Verfahren durchgeführt wird.
Fig. 28 zeigt, das eine Al-Cu-Schicht 33 auf der TiN-Schicht 31
ausgebildet wird. Die Al-Cu-Schicht 33 dient zur Verbesserung
der Leitfähigkeit der Verbindungsschicht.
In dem oben beschriebenen konventionellen Verfahren wird das
Silizium zur Bildung des TiSix 27 vom Störstellenbereich 17 zur
Verfügung gestellt. Wenn die Reaktion zwischen Ti und Si zu
stark ist, wird das TiSix 27 durch den Störstellenbereich 17,
wie in Fig. 29 gezeigt, brechen und den pn-Übergang beschädi
gen. Daraus folgt, das ein Leckstrom auftritt.
Die Dicke der oberen Verbindungsschicht ist aufgrund ihrer
dreischichtigen Struktur aus Al-Cu-Schicht 33, TiN-Schicht 31
und TiN (O)-Schicht 29 groß. Das führt zu einem größeren ge
stuften Bereich in den über der oberen Verbindungsschicht ge
legenen Schichten mit Problemen, wie der Möglichkeit der Ver
bindungsunterbrechung in einer Verbindungsschicht über der auf
der oberen Verbindungsschicht liegenden Schicht.
Die vorliegende Erfindung ist zur Lösung der oben beschriebenen
herkömmlichen Probleme vorgesehen.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es ein Verfahren zur
Herstellung einer Verbindungsstruktur für leitende Schichten
einer Halbleitereinrichtung bereitzustellen, bei dem die lei
tende Schicht zur Reduzierung einer natürlichen Oxidschicht
benutzt werden kann ohne dabei übermäßig in eine untere leiten
de Schicht einzudringen.
Infolgedessen wird eine Verbindungsstruktur für leitende
Schichten einer Halbleitereinrichtung geschaffen, die eine
leitende Schicht, welche zur Reduzierung einer natürlichen
Oxidschicht benutzt wird, aufweist, die nicht übermäßig in eine
untere leitende Schicht eindringt.
Daraus folgt das die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur
Herstellung einer Verbindungsstruktur für leitende Schichten
einer Halbleitereinrichtung bereitstellt, das die Beschädigung
eines pn-Überganges verhindern kann.
Weiter folgt aus der vorliegenden Erfindung das eine Verbin
dungsstruktur für leitende Schichten einer Halbleitereinrich
tung bereitgestellt wird, bei der der elektrische Widerstand
der leitenden Schicht in einem Durchgangsloch reduziert werden
kann.
Mit der vorliegenden Erfindung wird außerdem eine Verbindungs
struktur für leitende Schichten einer Halbleitereinrichtung be
reitgestellt, bei der der gestufte Bereich reduziert werden
kann.
Entsprechend einem Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung
wird eine auf einer unteren leitenden Schicht ausgebildete Iso
lierschicht durch Ätzen selektiv entfernt um ein Durchgangs
loch, welches die untere leitende Schicht erreicht, auszu
bilden. Eine natürliche Oxidschicht wird auf der unteren lei
tenden Schicht in dem Durchgangsloch gebildet. Mit einem CVD-
Verfahren unter Benutzung eines Titan enthaltenden Gases und
eines Silizium enthaltenden Gases, oder durch ein Sputter-
Verfahren mit Titansilizid als Ziel, wird zur Reduzierung der
natürlichen Oxidschicht eine Titansilizidschicht auf der na
türlichen Oxidschicht ausgebildet. Dann wird eine leitende
Verbindungsschicht zum elektrischen Verbinden einer oberen
leitenden Schicht und einer unteren leitenden Schicht ausge
bildet. Am Schluß wird eine obere leitende Schicht auf einer
Isolierschicht zur elektrischen Verbindung mit der leitenden
Verbindungsschicht ausgebildet.
Gemäß einem anderen Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung
sind eine auf einer unteren leitenden Schicht ausgebildete
Isolationsschicht mit einem Durchgangsloch, welches bis zu der
tieferen leitenden Schicht reicht, eine in dem Durchgangsloch
auf der unteren leitenden Schicht ausgebildete Titansilizid
schicht, und eine aus TiN gebildete leitende Verbindungsschicht
zum elektrischen Verbinden der Titansilizidschicht und der obe
ren leitenden Schicht vorgesehen. Es ist kein TiN (O) in dem
Durchgangsloch. Eine obere leitende Schicht, welche elektrisch
mit der leitenden Verbindungsschicht verbunden ist, wird auf
der Isolationsschicht ausgebildet.
Gemäß einem weiteren Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung
wird ein Durchgangsloch mit einer ausschließlich aus TiN, aus
schließlich Ti, oder ausschließlich TiSi2, mit einem CVD-Ver
fahren gebildeten, leitenden Verbindungsschicht aufgefüllt.
Eine obere leitende Schicht einer Einzelschichtstruktur wird
zur elektrischen Verbindung mit der leitenden Verbindungs
schicht auf der Isolationsschicht ausgebildet.
Gemäß einem Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung wird die
natürliche Oxidschicht unter Verwendung einer durch ein CVD-
Verfahren oder ein Sputter-Verfahren gebildeten Titansilizid
schicht reduziert. Genauer wird die natürliche Oxidschicht
durch Ausbildung einer Titansilizidschicht reduziert. Das zur
Ausbildung der Titansilizidschicht benutzte Silizium wird im
Fall des CVD-Verfahrens von einem Silizium enthaltenden Gas
zugeführt, und im Fall des Sputterns von einem Ziel (im weiteren
Target) genannt. Dadurch kann die Titansilizidschicht davon ab
gehalten werden übermäßig in die untere leitende Schicht einzu
dringen.
Eine weitere Anwendung der vorliegenden Erfindung ist eine Ver
bindungsstruktur für leitende Schichten, die nach dem ersten
genannten Gesichtspunkt hergestellt wird. TiN, nicht TiN (O),
wird in dem Durchgangsloch ausgebildet. TiN hat im Vergleich zu
TiN (O) einen niedrigeren elektrischen Widerstand. Dadurch kann
der elektrische Widerstand der leitenden Schicht in dem Durch
gangsloch reduziert werden.
Ein weiterer Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung erlaubt
eine Reduzierung in dem gestuften Bereich, da die obere leiten
de Schicht von einer Einzelschichtstruktur gebildet wird.
Weitere Merkmale und Zweckmäßigkeiten der Erfindung ergeben
sich aus der Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der
Figuren.
Von den Figuren zeigen:
Fig. 1 eine Schnittansicht eines MOS-Feldeffekttransistors
der entsprechend einer ersten Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung hergestellt wird;
Fig. 2 bis 7 Schnittansichten eines MOS-Feldeffekttransistors
der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfin
dung, die die jeweiligen ersten bis sechsten Her
stellungsschritte 1 bis 6 zeigen;
Fig. 8 eine Schnittansicht einer Verbindungsstruktur für
leitende Schichten hergestellt nach einer zweiten
Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
Fig. 9 eine Schnittansicht einer Verbindungsstruktur für
leitende Schichten hergestellt nach einer dritten
Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
Fig. 10 eine Schnittansicht einer Verbindungsstruktur für
leitende Schichten hergestellt nach einer vierten
Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
Fig. 11 eine Schnittansicht einer Verbindungsstruktur für
leitende Schichten hergestellt nach einer fünften
Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
Fig. 12 eine Schnittansicht einer Verbindungsstruktur für
leitende Schichten hergestellt nach einer sechsten
Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
Fig. 13 eine Schnittansicht einer Verbindungsstruktur für
leitende Schichten entsprechend der sechsten Aus
führungsform der vorliegenden Erfindung, die einen
Herstellungsschritt davon zeigt;
Fig. 14 eine Schnittansicht einer Verbindungsstruktur für
leitende Schichten hergestellt nach einer siebten
Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
Fig. 15 eine Schnittansicht einer Verbindungsstruktur für
leitende Schichten hergestellt nach einer achten
Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
Fig. 16 eine Schnittansicht einer Verbindungsstruktur für
leitende Schichten hergestellt nach einer neunten
Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
Fig. 17 bis 19 Schnittansichten, die einen ersten, einen zweiten
bzw. einen dritten Schritt der Bildung einer Alumi
niumschicht mit einem idealen Sputter-Verfahren
zeigen;
Fig. 20 eine Schnittansicht die eine Bildung einer Alumi
niumschicht durch tatsächliches Sputtern darstellt;
Fig. 21 und 22 Schnittansichten, die einen ersten Schritt bzw.
einen zweiten Schritt der Bildung einer Aluminium
schicht durch Sputtern in einem Durchgangsloch mit
einem großen Längenverhältnis zeigen.
Fig. 23 bis 28 Schnittansichten einer Verbindungsstruktur für
leitende Schichten einer herkömmlichen Halbleiter
einrichtung, die jeweils einen der ersten bis
sechsten Schritte der Herstellung dieser zeigen;
Fig. 29 eine Schnittansicht einer Halbleitereinrichtung, die
den Zustand einer Titansilizidschicht, der einen pn-
Übergang zerstört, zeigen.
Fig. 1 ist eine Schnittansicht eines MOS-Feldeffekttransistors
entsprechend einer ersten Ausführungsform der Erfindung. Stör
stellenbereiche 37 sind mit einem Abstand dazwischen auf dem
Siliziumsubstrat 35 ausgebildet. Der Feldeffekttransistor um
faßt eine Gate-Oxidschicht 39 und eine Gate-Elektrode 41. Auf
dem Siliziumsubstrat 35 ist eine Zwischenschicht-Isolierschicht
43 ausgebildet. Ein Durchgangsloch 49, welches den Störstellen
bereich 37 erreicht, ist auf der Zwischenschicht-Isolierschicht
43 ausgebildet. Eine TiSix-Schicht (Titansilizidschicht) 51 ist
auf dem Störstellenbereich 37 und an der Seitenwand des Durch
gangsloches 49 ausgebildet. Das Durchgangsloch 49 ist mit einer
TiN-Schicht 53 aufgefüllt. Eine Al-Schicht 55 ist auf der Zwi
schenschicht-Isolierschicht 43 zur elektrischen Verbindung mit
der TiN-Schicht 53 ausgebildet. Das Bezugszeichen 45 bezeichnet
eine Isolierschicht.
Die erste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nach
folgend beschrieben. Bezugnehmend auf Fig. 2 ist ein Störstel
lenbereich 59 in einem Siliziumsubstrat 57 ausgebildet. Das Be
zugszeichen 65 ist eine Feldoxidschicht. Eine Zwischenschicht-
Isolierschicht 61 ist überall auf dem Siliziumsubstrat 57 aus
gebildet. Ein Durchgangsloch 63, welches den Störstellenbereich
59 erreicht, ist in der Zwischenschicht-Isolierschicht 61 aus
gebildet.
Bezugnehmend auf Fig. 3 ist eine natürliche Oxidschicht 67
durch den Sauerstoff in der Atmosphäre auf dem Störstellenbe
reich 59 ausgebildet.
Um die natürliche Oxidschicht 67 zu reduzieren ist mit einem
CVD-Verfahren eine Titansilizidschicht 69, wie in Fig. 4
gezeigt, ausgebildet. Die Bedingungen sind wie folgt.
Temperatur:|700-800°C | |
Druck: | 20-40 Pa |
Gasfluß: | TiCl₄ 25 sccm |
SiH₄ 50-200 sccm | |
Schichtwachstumsrate: | 20-40 nm/min |
Die durch dieses CVD ausgebildete Titansilizidschicht besteht
aus TiSix, wobei für x gilt: 0 < x < 2. Es ist x < 2 gehalten,
da Titansilizid für x = 2 stabil wird, was in einer schwachen
Reduzierung resultiert. Die, die Reduzierung einer natürlichen
Oxidschicht zeigende, Reaktionsformel ist:
TiSix + SiOy → TiSixOy + Si
SiOy repräsentiert eine natürliche Oxidschicht. y ist ein Wert
nahe 2. Das bedeutet, daß die Schicht nicht aus SiO2 besteht,
da die natürliche Oxidschicht nicht mit einem positiven Über
schuß von Sauerstoff für das Silizium ausgebildet wurde. Es ist
außerdem anzumerken, daß nicht das gesamte Titansilizid zu
TiSixOy wird. Die Mehrheit des Titansilizids bleibt wie es ist,
und nur ein wenig TiSixOy befindet sich in dem Titansilizid. Die
obige Formel ist nur ein Beispiel zur Darstellung der Redu
zierung einer natürlichen Oxidschicht, und die natürliche Oxid
schicht kann in der Praxis durch verschiedene Reaktionen redu
ziert werden. Die natürliche Oxidschicht kann auch durch die
Ausbildung einer Titansilizidschicht durch Sputtern mit Titan
silizid als Target reduziert werden.
Die TiN-Schicht 71 wurde auf der Titansilizidschicht 69 aus
gebildet, wie in Fig. 5 gezeigt. Die Bedingungen waren wie
folgt:
Temperatur: | |
400-800°C (bevorzugterweise 400-800°C) | |
Druck: | 1-100 Pa |
Gasfluß: | TiCl₄ 25 sccm |
MH₃ 25-100 sccm | |
Verdünnungsgas: | N₂ 0-300 sccm (bevorzugterweise 250 sccm) |
Schichtwachstumsrate: | 70-150 Å/min |
Ar kann als Verdünnungsgas benutzt werden.
Bezugnehmend auf Fig. 6 werden die TiN-Schicht 71 und die Ti
tansilizidschicht 69 überall geätzt um die Titansilizidschicht
69 und die TiN-Schicht 71 nur in dem Durchgangsloch 63 zu
belassen.
Bezugnehmend auf Fig. 7 ist eine Al-Schicht 73 auf der Zwi
schenschicht-Isolierschicht 61 mit einem Sputterverfahren aus
gebildet. Dies vervollständigt die erste Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung.
Die Herstellungszeitdauer kann reduziert werden, da die erste
Ausführungsform der vorliegenden Erfindung die Titansilizid
schicht 69 und die TiN-Schicht 71 sukzessive mit einem CVD-
Verfahren ausbildet. Der elektrische Widerstand kann reduziert
werden, da die Titannitridschicht ausschließlich aus TiN gebil
det wird. Es ist bekannt, daß der elektrische Widerstand proportio
nal zur Menge des Sauerstoffs im TiN ansteigt. Dies ist be
schrieben in 1987 American Vacuum Society "Nitrogen, Oxygen,
and Argon Incorporation During Reactive Sputter Deposition of
Titanum Nitride" pp. 1723-1729.
Fig. 8 ist eine Schnittansicht einer Verbindungsstruktur für
leitende Schichten, hergestellt mit einer zweiten Ausführungs
form der vorliegenden Erfindung. Gemäß der zweiten Ausführungs
form wird die natürliche Oxidschicht auf dem Störstellenbereich
77 durch eine Titansilizidschicht 81, die auf dem Störstellen
bereich 77 mit einem selektiven CVD-Verfahren gebildet wird,
entfernt. Eine TiN-Schicht 83 ist durch ein CVD-Verfahren aus
gebildet. Die Halbleitereinrichtung mit der vorliegenden Ver
bindungsstruktur für leitende Schichten umfaßt ein Silizium
substrat 75, eine Feldoxidschicht 79, eine Zwischenschichtiso
lationsschicht 85, ein Durchgangsloch 87, und eine Al-Schicht
89.
Fig. 9 ist eine Schnittansicht einer Verbindungsstruktur für
leitende Schichten die mit einer dritten Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung hergestellt wurde. Die dritte Ausfüh
rungsform umfaßt eine W-Schicht 105 als obere leitende Schicht.
Da die W-Schicht 105 keine gute Bindungskraft zur Zwischen
schichtisolierschicht 101 hat, werden die TiN-Schicht 99 und
die Titansilizidschicht 97 nicht vollständig geätzt und ver
bleiben. Die Halbleitereinrichtung mit der vorliegenden Ver
bindungsstruktur für leitende Schichten umfaßt ein Silizium
substrat 91, einen Störstellenbereich 93, eine Feldoxidschicht
95, und ein Durchgangsloch 103.
Fig. 10 ist eine Schnittansicht einer Verbindungsstruktur für
leitende Schichten, hergestellt mit einer vierten Ausführungs
form der vorliegenden Erfindung. Die vierte Ausführungsform
verwendet eine Titansilizidschicht 113 und eine TiN-Schicht 115
als die obere leitende Schicht. Die vierte Ausführungsform hat
einen Vorteil in der Vereinfachung des Schrittes zur Ausbildung
der oberen leitenden Schicht, da die das Durchgangsloch 119
füllende leitende Schicht die obere leitende Schicht darstellt.
Die Halbleitereinrichtung mit der vorliegenden Verbindungs
struktur für leitende Schichten umfaßt ein Siliziumsubstrat
107, einen Störstellenbereich 109, eine Feldoxidschicht 111 und
eine Zwischenschicht-Isolierschicht 117.
Fig. 11 ist eine Schnittansicht einer Verbindungsstruktur für
leitende Schichten, hergestellt mit einer fünften Ausführungs
form der vorliegenden Erfindung. Bei der fünften Ausführungs
form ist das Durchgangsloch 135 nicht vollständig mit einer
TiN-Schicht 129 ausgefüllt, und eine W-Schicht 131 ist in dem
offenen Raum ausgebildet. Die W-Schicht 131 ist mit einem CVD-
Verfahren ausgebildet. Da W einen niedrigen elektrischen Wi
derstand im Vergleich zu TiN hat, ist es möglich den elektri
schen Widerstand in der fünften Ausführungsform im Vergleich zu
der ersten Ausführungsform weiter zu senken. Die Halbleiterein
richtung mit der vorliegenden Verbindungsstruktur für leitende
Schichten umfaßt ein Siliziumsubstrat 121, einen Störstellen
bereich 123, eine Feldoxidschicht 125, eine Titansilizidschicht
127, eine Zwischenschicht-Isolierschicht 133 und eine Al-
Schicht 137.
Fig. 12 ist eine Schnittansicht einer Verbindungsstruktur für
leitende Schichten hergestellt mit einer sechsten Ausführungs
form der vorliegenden Erfindung. Das Durchgangsloch 151 ist mit
der TiN-Schicht 149 gefüllt. Die obere leitende Schicht wird
nur durch eine einzige Schicht, bestehend aus der Al-Schicht
153, gebildet. Daher ist die Dicke der oberen, leitenden Schicht
gering, so daß die sich über der oberen leitenden Schicht er
streckende Schicht und die Zwischenschicht-Isolierschicht 147
in dieser Hinsicht einen reduzierten gestuften Teil haben
werden. Die Halbleitereinrichtung mit der vorliegenden Verbin
dungsstruktur für leitende Schichten umfaßt ein Siliziumsub
strat 141, einen Störstellenbereich 143, eine Feldoxidschicht
145 und eine Zwischenschicht-Isolierschicht 147.
Fig. 13 ist eine Schnittansicht einer Verbindungsstruktur für
leitende Schichten, hergestellt mit der sechsten Ausführungs
form der vorliegenden Erfindung, wobei (a)-(e) deren Her
stellungsschritte zeigen. Bezugnehmend auf Fig. 13(a) ist das
Durchgangsloch 151 in der Zwischenschicht-Isolierschicht 147
ausgebildet.
Bezugnehmend auf Fig. 13(b) ist die TiN-Schicht 149 durch ein
CVD-Verfahren ausgebildet. Die Bedingungen sind wie folgt:
Temperatur:|700°C | |
Druck: | 50 Pa |
Gasfluß: | TiCl₄ 25 sccm |
NH₃ 25 sccm | |
Verdünnungsgas: | N₂ 250 sccm |
Bezugnehmend auf Fig. 13(c) wurde die auf der Zwischenschicht-
Isolierschicht 147 ausgebildete TiN-Schicht 149 durch Ätzen
entfernt.
Bezugnehmend auf Fig. 13(d) wird die Al-Schicht 153 auf der
Zwischenschicht-Isolierschicht 147 mit einem Sputterverfahren
ausgebildet.
Bezugnehmend auf Fig. 13(e) wurde eine vorbestimmte Struktur
auf die Al-Schicht 153 gebracht. Obwohl das Durchgangsloch 151
in der vorliegenden Ausführungsform ausschließlich mit der TiN-
Schicht 149 vollständig aufgefüllt ist, kann das Durchgangsloch
151 ausschließlich mit einer Titansilizidschicht aufgefüllt
sein.
Fig. 14 ist eine Schnittansicht einer Verbindungsstruktur für
leitende Schichten, hergestellt mit einer siebten Ausführungs
form der vorliegenden Erfindung. Der Störstellenbereich 157 ist
auf dem Siliziumsubstrat 155 ausgebildet. Das bis in den
Störstellenbereich 157 reichende Durchgangsloch 169 ist in der
Zwischenschicht-Isolierschicht 161 ausgebildet. Die TiSi2-
Schicht 165 ist entlang der inneren Wand des Durchgangsloches
169 ausgebildet. Die TiN-Schicht 163 ist im Inneren der TiSi2-
Schicht 165 ausgebildet. Die TiN-Schicht 171 ist auf der Zwi
schenschicht-Isolierschicht 161 zum Einrichten des elektrischen
Kontaktes mit der TiN-Schicht 163 und der TiSi2-Schicht 165
ausgebildet. Die W-Schicht 167 ist auf der TiN-Schicht 171
ausgebildet. Die obere leitende Schicht wird von einer Zwei
schichtstruktur aus der TiN-Schicht 171 und der W-Schicht 177
gebildet um die Dicke der oberen leitenden Schicht zu redu
zieren.
Die siebte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung kann
durch die Ausbildung einer TiN-Schicht 171 und dann einer W-
Schicht 167 auf der in Fig. 6 gezeigten Zwischenschicht-Iso
lierschicht 61, gefolgt von einem Strukturierungsschritt, im
plementiert werden.
Fig. 15 ist eine Schnittansicht einer Verbindungsstruktur für
leitende Schichten, hergestellt mit einer achten Ausführungs
form der vorliegenden Erfindung. Im Vergleich mit der Zwei
schichtstruktur der oberen leitenden Schicht in der siebten
Ausführungsform aus Fig. 14 hat die obere leitende Schicht der
achten Ausführungsform eine Einzelstruktur, gebildet aus
schließlich von der TiN-Schicht 187. Daher werden die sich über
der oberen leitenden Schicht erstreckende Schicht und außerdem
die darunterliegende Zwischenschicht-Isolierschicht 179 eine in
dieser Hinsicht weiter reduzierten gestuften Teil haben. Die
Halbleitereinrichtung mit der vorliegenden Verbindungsstruktur
für leitende Schichten umfaßt ein Siliziumsubstrat 173, eine
Feldoxidschicht 175, einen Störstellenbereich 177, eine Zwi
schenschicht-Isolierschicht 179, eine TiSi2-Schicht 181, eine
TiN-Schicht 183 und ein Durchgangsloch 185.
Fig. 16 ist eine Schnittansicht einer Verbindungsstruktur für
leitende Schichten, hergestellt mit einer neunten Ausführungs
form der vorliegenden Erfindung. In der vorliegenden Ausfüh
rungsform ist die, das Durchgangsloch 197 füllende, TiN-Schicht
195 als die obere leitende Schicht eingeführt. Die Halbleiter
einrichtung mit der vorliegenden Verbindungsstruktur für lei
tende Schichten umfaßt ein Siliziumsubstrat 189, eine Feldoxid
schicht 191, einen Störstellenbereich 193 und eine Zwischen
schicht-Isolierschicht 199. Die neunte Ausführungsform weist
den Herstellungsschritt aus Fig. 13(b), gefolgt von einem
Strukturierungsschritt der TiN-Schicht 149 auf.
Obwohl die Durchgangslöcher der Ausführungsformen 1 bis 5, der
Ausführungsform 7 und der Ausführungsform 8 mit einer TiN-
Schicht gefüllt sind, kann das Durchgangsloch anstatt dessen
mit einer Ti-Schicht aufgefüllt sein.
Obwohl das Durchgangsloch der sechsten und der neunten Ausfüh
rungsform mit einer TiN-Schicht gefüllt ist, kann das Durch
gangsloch ausschließlich mit einer Ti-Schicht oder ausschließ
lich mit einer TiSi2-Schicht aufgefüllt sein.
Entsprechend einem Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung
wird das für die Bildung einer Titansilizidschicht benutzte Si
lizium von einem Silizium enthaltenden Gas bereitgestellt. Da
durch kann die Titansilizidschicht davon abgehalten werden
übermäßig in die untere leitende Schicht einzudringen. Dadurch
kann das Problem der Störung des pn-Überganges, verursacht
durch das übermäßige Eindringen der Titansilizidschicht in die
untere leitende Schicht, verhindert werden.
Entsprechend einem weiteren Gesichtspunkt der vorliegenden Er
findung besteht das in einem Durchgangsloch ausgebildete Titan
nitrid nur aus TiN. Darum kann der elektrische Widerstand der
leitenden Schicht in einem Durchgangsloch im Vergleich zu den
Fällen, in denen das Titannitrid aus TiN und TiN (O) besteht,
reduziert werden.
Entsprechend einem weiteren Gesichtspunkt der vorliegenden Er
findung kann die Dicke der oberen leitenden Schicht reduziert
werden. Darum kann die auf der oberen leitenden Schicht ausge
bildete Schicht ihre Stufe reduziert bekommen. Da die Stufe in
der Schicht reduziert werden kann, kann eine Verbindungsunter
brechung der Verbindungsschicht, die auf dieser Schicht ausge
bildet ist, verhindert werden.
Claims (22)
1. Verfahren zur Herstellung einer Verbindungsstruktur für lei
tende Schichten einer Halbleitervorrichtung, die eine obere
leitende Schicht (73) und eine untere leitende Schicht (59)
elektrisch verbindet, mit folgenden Schritten:
selektives Ätzen einer auf der unteren leitenden Schicht (59) ausgebildeten Isolierschicht (61) zur Ausbildung eines Durch gangsloches (63), welches die untere leitende Schicht (59) er reicht,
wobei eine natürliche Oxidschicht (67) auf der unteren leiten den Schicht (59) in dem Durchgangsloch (63) ausgebildet wird, Ausbildung einer Titansilizidschicht (69) auf der natürlichen Oxidschicht (67), zur Reduzierung der natürlichen Oxidschicht (67), mit einem CVD-Verfahren unter Benutzung eines Titan ent haltenden Gases und eines Silizium enthaltenden Gases, oder mit einem Sputterverfahren mit Titansilizid als Target,
Ausbildung einer leitenden Verbindungsschicht (71) in dem Durchgangsloch (63) zum elektrischen Verbinden der oberen lei tenden Schicht (73) und der unteren leitenden Schicht (59), und Ausbildung der oberen leitenden Schicht (73) auf der Isolier schicht (61) zum elektrischen Verbinden mit der leitenden Ver bindungsschicht (71).
selektives Ätzen einer auf der unteren leitenden Schicht (59) ausgebildeten Isolierschicht (61) zur Ausbildung eines Durch gangsloches (63), welches die untere leitende Schicht (59) er reicht,
wobei eine natürliche Oxidschicht (67) auf der unteren leiten den Schicht (59) in dem Durchgangsloch (63) ausgebildet wird, Ausbildung einer Titansilizidschicht (69) auf der natürlichen Oxidschicht (67), zur Reduzierung der natürlichen Oxidschicht (67), mit einem CVD-Verfahren unter Benutzung eines Titan ent haltenden Gases und eines Silizium enthaltenden Gases, oder mit einem Sputterverfahren mit Titansilizid als Target,
Ausbildung einer leitenden Verbindungsschicht (71) in dem Durchgangsloch (63) zum elektrischen Verbinden der oberen lei tenden Schicht (73) und der unteren leitenden Schicht (59), und Ausbildung der oberen leitenden Schicht (73) auf der Isolier schicht (61) zum elektrischen Verbinden mit der leitenden Ver bindungsschicht (71).
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die leitende Verbindungsschicht (71) durch ein CVD-Verfahren
ausgebildet wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die leitende Verbindungsschicht (71) TiN oder Ti aufweist.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekenn
zeichnet, daß
der Schritt zur Reduzierung der natürlichen Oxidschicht (67) den Schritt der Ausbildung einer Titansilizidschicht (69) auf der Isolierschicht (61), auf der Seitenwand des Durchgangslo ches (63), und auf der natürlichen Oxidschicht (67) durch ein CVD-Verfahren unter Benutzung eines Titan enthaltenden Gases und eines Silizium enthaltenden Gases, oder durch ein Sputter verfahren mit Titansilizid als Target, zum Reduzieren der natürlichen Oxidschicht (67) durch die auf der natürlichen Oxidschicht (67) ausgebildete Titansilizidschicht (69) aufweist,
wobei der Schritt der Ausbildung der leitenden Verbindungs schicht (71) den Schritt der Ausbildung einer leitenden Verbin dungsschicht (71) auf der Titansilizidschicht (69) zum Füllen des Durchgangsloches (63), und das Wegätzen der Titansilizid schicht (69) und der leitenden Verbindungsschicht (71) auf der Isolierschicht (61) aufweist.
der Schritt zur Reduzierung der natürlichen Oxidschicht (67) den Schritt der Ausbildung einer Titansilizidschicht (69) auf der Isolierschicht (61), auf der Seitenwand des Durchgangslo ches (63), und auf der natürlichen Oxidschicht (67) durch ein CVD-Verfahren unter Benutzung eines Titan enthaltenden Gases und eines Silizium enthaltenden Gases, oder durch ein Sputter verfahren mit Titansilizid als Target, zum Reduzieren der natürlichen Oxidschicht (67) durch die auf der natürlichen Oxidschicht (67) ausgebildete Titansilizidschicht (69) aufweist,
wobei der Schritt der Ausbildung der leitenden Verbindungs schicht (71) den Schritt der Ausbildung einer leitenden Verbin dungsschicht (71) auf der Titansilizidschicht (69) zum Füllen des Durchgangsloches (63), und das Wegätzen der Titansilizid schicht (69) und der leitenden Verbindungsschicht (71) auf der Isolierschicht (61) aufweist.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch
gekennzeichnet, daß
die obere leitende Schicht eine TiN-Schicht (99) aufweist.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch
gekennzeichnet, daß die obere leitende Schicht eine Zwei
schichtstruktur aus einer TiN-Schicht (99) und einer W-Schicht
(105) aufweist.
7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
der Schritt der Reduzierung der natürlichen Oxidschicht (67)
den Schritt der selektiven Ausbildung einer Titansilizidschicht
(81) auf der natürlichen Oxidschicht (67) durch ein selektives
CVD-Verfahren zur Reduzierung der natürlichen Oxidschicht (67)
aufweist.
8. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
der Schritt der Reduzierung der natürlichen Oxidschicht (67)
den Schritt der Ausbildung einer Titansilizidschicht (97) auf
der Isolierschicht (101), auf der Seitenwand des Durch
gangsloches (103), und auf der natürlichen Oxidschicht (67)
durch ein CVD-Verfahren unter Benutzung eines Titan enthalten
den Gases und eines Silizium enthaltenden Gases, oder durch ein
Sputterverfahren mit Titansilizid als Target, zur Reduzierung
der natürlichen Oxidschicht (67) durch die Titansilizidschicht
(97) auf der natürlichen Oxidschicht (67) aufweist,
wobei der Schritt der Ausbildung der leitenden Verbindungs schicht den Schritt der Ausbildung der leitenden Verbindungs schicht (99) auf der Titansilizidschicht (97) zum Auffüllen des Durchgangsloches (103) aufweist,
wobei der Schritt der Ausbildung der oberen leitenden Schicht die Schritte der Ausbildung einer anderen leitenden Schicht (105) auf der, auf der Isolierschicht (101) verbleibenden, lei tenden Verbindungsschicht (99), und die Strukturierung der Titansilizidschicht (97), der leitenden Verbindungsschicht (99), und der anderen leitenden Schicht (105) zur Ausbildung der oberen leitenden Schicht aufweist.
wobei der Schritt der Ausbildung der leitenden Verbindungs schicht den Schritt der Ausbildung der leitenden Verbindungs schicht (99) auf der Titansilizidschicht (97) zum Auffüllen des Durchgangsloches (103) aufweist,
wobei der Schritt der Ausbildung der oberen leitenden Schicht die Schritte der Ausbildung einer anderen leitenden Schicht (105) auf der, auf der Isolierschicht (101) verbleibenden, lei tenden Verbindungsschicht (99), und die Strukturierung der Titansilizidschicht (97), der leitenden Verbindungsschicht (99), und der anderen leitenden Schicht (105) zur Ausbildung der oberen leitenden Schicht aufweist.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß
die andere leitende Schicht (105) Wolfram aufweist.
10. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
der Schritt der Reduzierung der natürlichen Oxidschicht (67)
den Schritt der Ausbildung einer Titansilizidschicht (113) auf
der Isolierschicht (117), auf der Seitenwand des Durchgangslo
ches (119), und auf der natürlichen Oxidschicht (67) durch ein
CVD-Verfahren unter Benutzung eines Titan enthaltenden Gases
und eines Silizium enthaltenden Gases, oder durch ein Sputter
verfahren mit Titansilizid als Target, zur Reduzierung der na
türlichen Oxidschicht (67) durch die Titansilizidschicht (113)
auf der natürlichen Oxidschicht (67) aufweist,
wobei der Schritt der Ausbildung der leitenden Verbindungs schicht den Schritt der Ausbildung der leitenden Verbindungs schicht (115) auf der Titansilizidschicht (113) zum Auffüllen des Durchgangsloches (119) aufweist,
wobei der Schritt der Ausbildung der oberen leitenden Schicht den Schritt der Strukturierung der leitenden Verbindungsschicht (115) und der Titansilizidschicht (113) auf der Isolierschicht (117) zur Ausbildung der oberen leitenden Schicht aufweist.
wobei der Schritt der Ausbildung der leitenden Verbindungs schicht den Schritt der Ausbildung der leitenden Verbindungs schicht (115) auf der Titansilizidschicht (113) zum Auffüllen des Durchgangsloches (119) aufweist,
wobei der Schritt der Ausbildung der oberen leitenden Schicht den Schritt der Strukturierung der leitenden Verbindungsschicht (115) und der Titansilizidschicht (113) auf der Isolierschicht (117) zur Ausbildung der oberen leitenden Schicht aufweist.
11. Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch
Ausbildung der leitenden Verbindungsschicht (129) auf der
Titansilizidschicht (127),
Ausbildung einer begrabenen leitenden Schicht (131) auf der leitenden Verbindungsschicht (129) zum Auffüllen des Durch gangsloches (135), und
den Schritt des Wegätzens der Titansilizidschicht (127) auf der Isolierschicht (133), der leitenden Verbindungsschicht (129), und der begrabenen leitenden Schicht (131).
Ausbildung einer begrabenen leitenden Schicht (131) auf der leitenden Verbindungsschicht (129) zum Auffüllen des Durch gangsloches (135), und
den Schritt des Wegätzens der Titansilizidschicht (127) auf der Isolierschicht (133), der leitenden Verbindungsschicht (129), und der begrabenen leitenden Schicht (131).
12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß
die begrabene leitende Schicht (131) Wolfram aufweist.
13. Verbindungsstruktur für leitende Schichten einer Halb
leitervorrichtung zum elektrischen Verbinden einer oberen lei
tenden Schicht (73) und einer unteren leitenden Schicht (59)
gekennzeichnet durch
eine Isolierschicht (61), ausgebildet auf der unteren leitenden Schicht (59), mit einem Durchgangsloch (63), welches die untere leitende Schicht (59) erreicht,
einer Titansilizidschicht (69), ausgebildet auf der unteren leitenden Schicht (59) in dem Durchgangsloch (63),
einer leitenden Verbindungsschicht (71), aus TiN oder Ti in dem Durchgangsloch (63) ausgebildet, und die Titansilizidschicht (69) und die obere leitende Schicht (73) elektrisch verbindend, wobei TiN (O) in dem Durchgangsloch (63) nicht existiert,
wobei die obere leitende Schicht (73), die mit der leitenden Verbindungsschicht (71) elektrisch verbunden ist, auf der Iso lierschicht (61) ausgebildet ist.
eine Isolierschicht (61), ausgebildet auf der unteren leitenden Schicht (59), mit einem Durchgangsloch (63), welches die untere leitende Schicht (59) erreicht,
einer Titansilizidschicht (69), ausgebildet auf der unteren leitenden Schicht (59) in dem Durchgangsloch (63),
einer leitenden Verbindungsschicht (71), aus TiN oder Ti in dem Durchgangsloch (63) ausgebildet, und die Titansilizidschicht (69) und die obere leitende Schicht (73) elektrisch verbindend, wobei TiN (O) in dem Durchgangsloch (63) nicht existiert,
wobei die obere leitende Schicht (73), die mit der leitenden Verbindungsschicht (71) elektrisch verbunden ist, auf der Iso lierschicht (61) ausgebildet ist.
14. Eine leitende Verbindungsstruktur nach Anspruch 13, dadurch
gekennzeichnet, daß
die Seitenwand des Durchgangsloches (63) eine darauf
ausgebildete Titansilizidschicht (69) hat.
15. Leitende Verbindungsstruktur nach Anspruch 13, dadurch
gekennzeichnet, daß
die untere leitende Schicht (59) einen Silizium enthaltenden
Störstellenbereich aufweist.
16. Verbindungsstruktur für leitende Schichten nach Anspruch
13, dadurch gekennzeichnet, daß
die untere leitende Schicht (59) einen Source/Drain-Bereich
aufweist.
17. Verbindungsstruktur für leitende Schichten nach Anspruch
13, dadurch gekennzeichnet, daß
die leitende Verbindungsschicht (99) und die obere leitende
Schicht (99) aus dem gleichen Material gebildet sind.
18. Leitende Verbindungsstruktur nach Anspruch 17, dadurch
gekennzeichnet, daß
die obere leitende Schicht desweiteren eine andere leitende
Schicht (105) enthält.
19. Leitende Verbindungsstruktur nach Anspruch 18, dadurch
gekennzeichnet, daß
die andere leitende Schicht (105) Wolfram aufweist.
20. Leitende Verbindungsstruktur nach Anspruch 13, dadurch
gekennzeichnet, daß
die leitende Verbindungsschicht (131) Wolfram aufweist.
21. Verfahren zur Herstellung einer leitenden Verbindungsstruk
tur einer Halbleitervorrichtung, die eine obere leitende
Schicht (153) und eine untere leitende Schicht (143) elektrisch
verbindet, gekennzeichnet durch
selektives Ätzen einer auf der unteren leitenden Schicht (143) ausgebildeten Isolierschicht (147) zur Ausbildung eines Durch gangsloches (151), welches die untere leitende Schicht (143) erreicht,
Auffüllen des Durchgangsloches (151) mit einer leitenden Ver bindungsschicht (149) aus ausschließlich TiN, ausschließlich Ti, oder ausschließlich TiSi2 durch ein CVD-Verfahren und Ausbildung der oberen leitenden Schicht (153) aus einer Einzelschichtstruktur auf der Isolierschicht (147), die elek trisch mit der leitenden Verbindungsschicht (149) verbunden ist.
selektives Ätzen einer auf der unteren leitenden Schicht (143) ausgebildeten Isolierschicht (147) zur Ausbildung eines Durch gangsloches (151), welches die untere leitende Schicht (143) erreicht,
Auffüllen des Durchgangsloches (151) mit einer leitenden Ver bindungsschicht (149) aus ausschließlich TiN, ausschließlich Ti, oder ausschließlich TiSi2 durch ein CVD-Verfahren und Ausbildung der oberen leitenden Schicht (153) aus einer Einzelschichtstruktur auf der Isolierschicht (147), die elek trisch mit der leitenden Verbindungsschicht (149) verbunden ist.
22. Verfahren nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß
die leitende Verbindungsschicht (195) und die obere leitende
Schicht (195) aus dem gleichen Material gebildet sind.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3323923A JP2983098B2 (ja) | 1991-11-11 | 1991-11-11 | 半導体装置の製造方法 |
JP04050839A JP3109687B2 (ja) | 1992-03-09 | 1992-03-09 | 半導体装置の導電層接続構造の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4238080A1 true DE4238080A1 (en) | 1993-05-13 |
DE4238080C2 DE4238080C2 (de) | 2002-10-31 |
Family
ID=26391314
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4238080A Expired - Fee Related DE4238080C2 (de) | 1991-11-11 | 1992-11-11 | Verbindungsstruktur für leitende Schichten einer Halbleitervorrichtung und ein Verfahren zu deren Herstellung |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5534730A (de) |
KR (1) | KR970009274B1 (de) |
DE (1) | DE4238080C2 (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2742924A1 (fr) * | 1995-12-22 | 1997-06-27 | Jorge Luis Regolini | Procede de depot selectif d'un siliciure de metal refractaire sur du silicium et plaquette de silicium metallisee par ce procede |
US6031288A (en) * | 1995-11-14 | 2000-02-29 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor integrated circuit device for connecting semiconductor region and electrical wiring metal via titanium silicide layer and method of fabrication thereof |
WO2003052815A2 (en) * | 2001-11-19 | 2003-06-26 | Micron Technology, Inc. | Electrode structure for use in an integrated circuit |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6653733B1 (en) | 1996-02-23 | 2003-11-25 | Micron Technology, Inc. | Conductors in semiconductor devices |
US6107190A (en) * | 1997-01-30 | 2000-08-22 | Nec Corporation | Method of fabricating semiconductor device |
US5930671A (en) | 1997-10-20 | 1999-07-27 | Industrial Technology Research Institute | CVD titanium silicide for contract hole plugs |
KR100292943B1 (ko) * | 1998-03-25 | 2001-09-17 | 윤종용 | 디램장치의제조방법 |
US6399490B1 (en) * | 2000-06-29 | 2002-06-04 | International Business Machines Corporation | Highly conformal titanium nitride deposition process for high aspect ratio structures |
US6784105B1 (en) * | 2003-04-09 | 2004-08-31 | Infineon Technologies North America Corp. | Simultaneous native oxide removal and metal neutral deposition method |
US7407882B1 (en) | 2004-08-27 | 2008-08-05 | Spansion Llc | Semiconductor component having a contact structure and method of manufacture |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6459937A (en) * | 1987-08-31 | 1989-03-07 | Sony Corp | Semiconductor device |
US4870033A (en) * | 1985-03-19 | 1989-09-26 | Yamaha Corporation | Method of manufacturing a multilayer electrode containing silicide for a semiconductor device |
US4962414A (en) * | 1988-02-11 | 1990-10-09 | Sgs-Thomson Microelectronics, Inc. | Method for forming a contact VIA |
US4985750A (en) * | 1986-09-17 | 1991-01-15 | Fujitsu Limited | Semiconductor device using copper metallization |
US5049975A (en) * | 1989-03-14 | 1991-09-17 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Multi-layered interconnection structure for a semiconductor device |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS567304B2 (de) * | 1972-08-28 | 1981-02-17 | ||
US4557943A (en) * | 1983-10-31 | 1985-12-10 | Advanced Semiconductor Materials America, Inc. | Metal-silicide deposition using plasma-enhanced chemical vapor deposition |
US4924295A (en) * | 1986-11-28 | 1990-05-08 | Siemens Aktiengesellschaft | Integrated semi-conductor circuit comprising at least two metallization levels composed of aluminum or aluminum compounds and a method for the manufacture of same |
US4966865A (en) * | 1987-02-05 | 1990-10-30 | Texas Instruments Incorporated | Method for planarization of a semiconductor device prior to metallization |
US4884123A (en) * | 1987-02-19 | 1989-11-28 | Advanced Micro Devices, Inc. | Contact plug and interconnect employing a barrier lining and a backfilled conductor material |
JPS6455861A (en) * | 1987-08-27 | 1989-03-02 | Mitsubishi Electric Corp | Semiconductor device |
US4898841A (en) * | 1988-06-16 | 1990-02-06 | Northern Telecom Limited | Method of filling contact holes for semiconductor devices and contact structures made by that method |
US4957777A (en) * | 1988-07-28 | 1990-09-18 | Massachusetts Institute Of Technology | Very low pressure chemical vapor deposition process for deposition of titanium silicide films |
US5008730A (en) * | 1988-10-03 | 1991-04-16 | International Business Machines Corporation | Contact stud structure for semiconductor devices |
US5104694A (en) * | 1989-04-21 | 1992-04-14 | Nippon Telephone & Telegraph Corporation | Selective chemical vapor deposition of a metallic film on the silicon surface |
JPH03192768A (ja) * | 1989-12-21 | 1991-08-22 | Fujitsu Ltd | 半導体装置 |
KR940008936B1 (ko) * | 1990-02-15 | 1994-09-28 | 가부시끼가이샤 도시바 | 고순도 금속재와 그 성질을 이용한 반도체 장치 및 그 제조방법 |
EP0469215B1 (de) * | 1990-07-31 | 1995-11-22 | International Business Machines Corporation | Verfahren zur Herstellung von Bauelementen mit übereinander angeordneten Feldeffekttransistoren mit Wolfram-Gitter und sich daraus ergebende Struktur |
US5208170A (en) * | 1991-09-18 | 1993-05-04 | International Business Machines Corporation | Method for fabricating bipolar and CMOS devices in integrated circuits using contact metallization for local interconnect and via landing |
US5216282A (en) * | 1991-10-29 | 1993-06-01 | International Business Machines Corporation | Self-aligned contact studs for semiconductor structures |
US5275715A (en) * | 1992-01-23 | 1994-01-04 | Micron Technology Inc. | Electroplating process for enhancing the conformality of titanium and titanium nitride films in the manufacture of integrated circuits and structures produced thereby |
-
1992
- 1992-11-04 KR KR1019920020626A patent/KR970009274B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1992-11-11 DE DE4238080A patent/DE4238080C2/de not_active Expired - Fee Related
-
1995
- 1995-04-19 US US08/423,476 patent/US5534730A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4870033A (en) * | 1985-03-19 | 1989-09-26 | Yamaha Corporation | Method of manufacturing a multilayer electrode containing silicide for a semiconductor device |
US4985750A (en) * | 1986-09-17 | 1991-01-15 | Fujitsu Limited | Semiconductor device using copper metallization |
JPS6459937A (en) * | 1987-08-31 | 1989-03-07 | Sony Corp | Semiconductor device |
US4962414A (en) * | 1988-02-11 | 1990-10-09 | Sgs-Thomson Microelectronics, Inc. | Method for forming a contact VIA |
US5049975A (en) * | 1989-03-14 | 1991-09-17 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Multi-layered interconnection structure for a semiconductor device |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
"Contact Resistance Improvement for Tungsten Metallurgy" US-Z.: IBM Technical Disclosure Bulle-tin, Vol. 32, No. 8B, January 1990, S. 50 * |
US-Buch: Einspruch, N.G., Cohen S.S. & Gildenblat G.Sh. Hrsg. "VLSI ELECTRONICS-Microstructure Science - Vol. 15, VLSI Metallization" ACADEMIC PRESS INC: Orlando usw. 1987, S. 107-140 * |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6031288A (en) * | 1995-11-14 | 2000-02-29 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor integrated circuit device for connecting semiconductor region and electrical wiring metal via titanium silicide layer and method of fabrication thereof |
US6268658B1 (en) | 1995-11-14 | 2001-07-31 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor integrated circuit device for connecting semiconductor region and electrical wiring metal via titanium silicide layer and method of fabrication thereof |
US6503803B2 (en) | 1995-11-14 | 2003-01-07 | Hitachi, Ltd. | Method of fabricating a semiconductor integrated circuit device for connecting semiconductor region and electrical wiring metal via titanium silicide layer |
FR2742924A1 (fr) * | 1995-12-22 | 1997-06-27 | Jorge Luis Regolini | Procede de depot selectif d'un siliciure de metal refractaire sur du silicium et plaquette de silicium metallisee par ce procede |
EP0780889A3 (de) * | 1995-12-22 | 1997-07-02 | France Telecom | Verfahren zu selektiver Abscheidung von Feuerfestmetall-Silizid über Silizium sowie durch dieses Verfahren metallizierte Siliziumwafer |
WO2003052815A2 (en) * | 2001-11-19 | 2003-06-26 | Micron Technology, Inc. | Electrode structure for use in an integrated circuit |
WO2003052815A3 (en) * | 2001-11-19 | 2003-11-20 | Micron Technology Inc | Electrode structure for use in an integrated circuit |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR930011279A (ko) | 1993-06-24 |
KR970009274B1 (ko) | 1997-06-09 |
US5534730A (en) | 1996-07-09 |
DE4238080C2 (de) | 2002-10-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE4234666C2 (de) | Verbindungsstruktur und Herstellungsverfahren dafür | |
DE4214391C2 (de) | Integrierte Halbleiterschaltkreisstruktur und Verfahren zu ihrer Herstellung | |
DE10351875B4 (de) | Integriertes Schaltkreisbauelement mit MIM-Kondensator | |
DE102005052000B3 (de) | Halbleiterbauelement mit einer Kontaktstruktur auf der Grundlage von Kupfer und Wolfram | |
DE4207916C2 (de) | Verbindungsstruktur einer integrierten Halbleiterschaltungseinrichtung | |
DE4202294C2 (de) | Halbleitereinrichtung mit einer Mehrschichtverbindungsstruktur und Herstellungsverfahren dafür | |
DE19829300B4 (de) | Ferroelektrische Speichereinrichtung mit elektrischer Verbindung zwischen einer unteren Kondensatorelektrode und einem Kontaktstopfen sowie Verfahren zu deren Herstellung | |
DE4420365C2 (de) | Halbleiterbauelement-Isolierverfahren und integrierte Schaltungen für eine Speicheranordnung | |
DE19700868C2 (de) | Verfahren zum Herstellen von Verbindungen in einem Halbleiterbauteil | |
DE3834241C2 (de) | Halbleitereinrichtung und Verfahren zum Herstellen einer Halbleitereinrichtung | |
DE19748501C2 (de) | Verfahren zum Bilden einer Grabenelementtrennstruktur, eine Grabenelementtrennstruktur und deren Verwendung in einer DRAM-Speicherzellenstruktur | |
DE10056871A1 (de) | Feldeffekttransistor mit verbessertem Gatekontakt und Verfahren zur Herstellung desselben | |
DE4234698A1 (de) | Integrierte schaltung mit leitern auf mehreren niveaus sowie verfahren zu deren herstellung | |
DE10051583A1 (de) | Verfahren zum Herstellen von Halbleitervorrichtungen | |
DE4010618A1 (de) | Halbleitervorrichtung und verfahren zu ihrer herstellung | |
DE4100525A1 (de) | Halbleitereinrichtung und herstellungsverfahren dafuer | |
DE19750918A1 (de) | Halbleitereinrichtung und zugehöriges Herstellungsverfahren | |
DE10041565A1 (de) | Metallzwischenverbindung, Halbleitervorrichtung, Verfahren zum Bilden einer Metallzwischenverbindung und Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung | |
DE4239457C2 (de) | Halbleiterwaferstruktur und Herstellungsverfahren dafür | |
DE4238080A1 (en) | Through hole connection structure mfr. for multilayer integrated circuit - selectively etching insulating layer and using CVD process with gas containing titanium and forming conducting layers for coupling to connecting layer | |
DE4423558A1 (de) | Halbleiterbauelement und Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE3931127C2 (de) | Verfahren zum Herstellen einer Halbleitereinrichtung | |
DE10341062A1 (de) | Gate-Strukturen bei nicht-flüchtigen Speichervorrichtungen mit gekrümmten Seitenwänden, die unter Verwendung von Sauerstoffkanälen ausgebildet sind, und Verfahren zum Ausbilden derselben | |
DE19531602C2 (de) | Verbindungsstruktur einer Halbleitereinrichtung und ihr Herstellungsverfahren | |
DE19835898A1 (de) | Halbleitervorrichtung und zugehöriges Herstellungsverfahren |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |