DE4233178A1 - Electrochemical oxygen measuring probe for waste gases - has protective sintered glass-contg. foil with gas passages - Google Patents

Electrochemical oxygen measuring probe for waste gases - has protective sintered glass-contg. foil with gas passages

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DE4233178A1 DE19924233178 DE4233178A DE4233178A1 DE 4233178 A1 DE4233178 A1 DE 4233178A1 DE 19924233178 DE19924233178 DE 19924233178 DE 4233178 A DE4233178 A DE 4233178A DE 4233178 A1 DE4233178 A1 DE 4233178A1
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Abstract

An electrochemical probe for determining oxygen contents in waste gases (esp. from i.c. engines) has a substrate, a sensitive region exposed to the waste gas and a protective layer covering at least the sensitive region. The novelty is that the protective layer (13) is a sinterable glass-contg. foil which can be laminated onto the sensitive region (14) and the substrate (10) and which includes channels (18), pores or the like for gas access to the sensitive region (14). Also claimed is prodn. of the above probe. ADVANTAGE - The foil provides satisfactory protection of the sensor layer and improved adhesion of the sensor layer during prodn. and subsequent use and has satisfactory stability.

Description

Stand der TechnikState of the art

Die Erfindung geht aus von einer elektrochemischen Sonde nach der Gattung des Hauptanspruchs. Es ist allgemein bekannt, bei elektro­ chemischen Sonden, wie Widerstandsmeßfühler oder Festelektrolyt­ sonden, den sensitiven Bereich mit einer porösen keramischen Schutz­ schicht abzudecken.The invention is based on an electrochemical probe according to the Genus of the main claim. It is well known at electro chemical probes, such as resistance sensors or solid electrolytes probes the sensitive area with a porous ceramic protection cover layer.

Aus der DE-PS 28 52 647 ist es bekannt, als Schutzschicht für Fest­ elektrolytsonden, Aluminiumoxid oder Magnesiumspinell zu verwenden, wobei außer diesen Schutzschichten auch solche aus stabilisiertem Zirkonoxid, reinem Zirkonoxid, Zirkonsilikat und Titandioxid einzeln oder im Gemisch miteinander beschrieben werden. Bei einem bekannten Verfahren wird die poröse Schutzschicht vor dem Sintern auf die Elektrodenschicht aufgebracht und anschließend mit dem Schichtsystem zusammen gesintert (co-fired).From DE-PS 28 52 647 it is known as a protective layer for hard to use electrolyte probes, aluminum oxide or magnesium spinel, besides these protective layers also those made of stabilized Zirconium oxide, pure zirconium oxide, zirconium silicate and titanium dioxide individually or described in a mixture with each other. With a known The porous protective layer is sintered onto the process Electrode layer applied and then with the layer system sintered together (co-fired).

Elektrochemischen Sonden, die nach dem Prinzip eines tempera­ tur- oder gaskonzentrationsabhängigen Widerstandes in halbleitenden Metalloxidschichten arbeiten, besitzen ein keramisches Substrat, auf welchem Elektroden aufgebracht sind und welches eine über die Elektroden gelegte Sensorschicht aus halbleitendem Metalloxid trägt, und bei dem die Sensorschicht mit einer sauer­ stoffdurchlässigen keramischen Schutzschicht versehen ist (DE-OS 29 08 916). Die Schutzschicht besteht hierbei aus Aluminium­ oxid oder Magnesiumspinell, die jeweils durch Plasmaspritzen aufge­ bracht werden. In der DE-OS 39 41 837 wurde bereits vorgeschlagen zur Verbesserung der Schichtfestigkeit der Schutzschicht silika­ tische Flußmittel zuzusetzen. Die so mit Zusätzen versetzte Schutz­ schicht wird auf das vorher gesinterte Schichtsystem aufgesintert. Bei den bekannten Schutzschichten wird ausschließlich eine Schutz­ wirkung der Sensorschicht erzielt.Electrochemical probes based on the principle of a tempera Resistance dependent on gas or gas concentration in semiconducting Metal oxide layers work on a ceramic substrate which electrodes are applied and which one over the Sensor layer made of semiconducting electrodes  Carries metal oxide, and in which the sensor layer with an acid permeable ceramic protective layer is provided (DE-OS 29 08 916). The protective layer consists of aluminum oxide or magnesium spinel, each released by plasma spraying be brought. DE-OS 39 41 837 has already been proposed to improve the layer strength of the protective layer of silica add tables to the flux. The protection added with additives layer is sintered onto the previously sintered layer system. In the known protective layers, only protection is provided effect of the sensor layer achieved.

Vorteile der ErfindungAdvantages of the invention

Die elektrochemische Sonde mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1 hat demgegenüber den Vorteil, daß neben einer aus­ reichenden Schutzwirkung für die Sensorschicht zugleich eine Haft­ verbesserung der Sensorschicht einschließlich der darin positionier­ ten Elektroden möglich ist. Die gute Haftung der Sensorschicht wird dadurch erzielt, daß die Sensorschicht vermittels der Schutzschicht fest auf dem Substrat gehalten wird.The electrochemical probe with the characteristic features of the Claim 1 has the advantage that in addition to one sufficient protective effect for the sensor layer is also an adhesive improvement of the sensor layer including the positioning in it ten electrodes is possible. The good adhesion of the sensor layer is achieved in that the sensor layer by means of the protective layer is held firmly on the substrate.

Das erfindungsgemäße Verfahren mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 8 zeichnet sich dadurch aus, daß sich die glashaltige Folie einfach und somit kostengünstig auf den sensitiven Bereich aufbringen läßt. Durch das Verfahren wird ferner der Vorteil er­ reicht, daß die Schutzschicht beim Einsintern wie auch beim späteren Betrieb der Sonde nicht mit der Sensorschicht reagiert und daher ausreichend stabil ist.The inventive method with the characterizing features of Claim 8 is characterized in that the glass-containing Foil simple and therefore inexpensive on the sensitive area can be applied. The process also has the advantage is enough that the protective layer during sintering as well as later Operation of the probe does not react with the sensor layer and therefore is sufficiently stable.

Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vor­ teilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen der im Anspruch 1 an­ gegebenen Sonde möglich. Besonders vorteilhaft ist, durch Aus­ sparungen in der Sensorschicht die Berührungsfläche der Schutz­ schicht gegenüber dem Substrat zu vergrößern. The measures listed in the subclaims provide for partial further developments and improvements in claim 1 given probe possible. Is particularly advantageous by Aus savings in the sensor layer the contact surface of the protection to enlarge layer relative to the substrate.  

Zeichnungdrawing

Zwei Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dar­ gestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigenTwo embodiments of the invention are shown in the drawing provided and explained in more detail in the following description. It demonstrate

Fig. 1 ein erstes Ausführungsbeispiel einer erfindungsge­ mäßen elektrochemischen Sonde am Beispiel eines Widerstandsmeß­ fühlers, Fig. 2 einen Schnitt entsprechend der Linie II-II durch den Widerstandsmeßfühler gemäß Fig. 1, Fig. 3 eine Draufsicht auf ein zweites Ausführungsbeispiels eines elektrochemischen Sensors, ebenfalls am Beispiel eines Widerstandsmeßfühlers, und Fig. 4 einen Schnitt entsprechend der Linien IV-IV des Widerstandsmeßfühlers gemaß Fig. 3. Fig. 1 shows a first embodiment of an electrochemical probe according to the invention using the example of a resistance sensor, Fig. 2 shows a section along the line II-II through the resistance sensor according to Fig. 1, Fig. 3 is a plan view of a second embodiment of an electrochemical sensor, also using the example of a resistance sensor, and FIG. 4 shows a section along lines IV-IV of the resistance sensor according to FIG. 3.

AusführungsbeispieleEmbodiments

Die Erfindung soll am Beispiel eines Widerstandsmeßfühlers zur Be­ stimmung des Sauerstoffgehalts in Abgasen beschrieben werden. Der Widerstandsmeßfühler gemäß Fig. 1 und 2 des ersten Ausführungsbei­ spiels besitzt ein Substrat 10, zwei auf dem Substrat 10 aufge­ brachte, parallel zueinander verlaufende Elektroden 12 mit Leiter­ bahnen 15, einen geteilten sensitiven Bereich 14 und eine Schutz­ schicht 13. Die sensitiven Bereiche 14 sind jeweils durch eine Sen­ sorschicht 11 aus halbleitendem Metalloxid, beispielsweise Titan­ dioxid gebildet. Die beiden sensitiven Bereiche 14 wurde deshalb gewählt, um der später aufzubringenden Deckschicht 13 eine ent­ sprechend vergrößerte Haftfläche auf dem Substrat 10 zu bieten. Es ist aber genauso denkbar, den sensitiven Bereich 14 sowohl noch weiter aufzuteilen als auch eine ganzflachige Sensorschicht 11 vor­ zusehen. The invention will be described using the example of a resistance sensor for determining the oxygen content in exhaust gases. The resistance probe according to FIG. 1 and 2 of the first Ausführungsbei game has a substrate 10, made two patch on the substrate 10, mutually parallel electrodes 12 with conductor tracks 15, a split-sensitive region 14, and a protective layer 13. The sensitive areas 14 are each formed by a sensor layer 11 made of semiconducting metal oxide, for example titanium dioxide. The two sensitive areas 14 were therefore chosen in order to provide the cover layer 13 to be applied later with a correspondingly enlarged adhesive surface on the substrate 10 . However, it is equally conceivable both to further divide the sensitive area 14 and to provide a full-surface sensor layer 11 .

Das Substrat 10 besteht aus Aluminiumoxid mit beispielsweise mehr als 90 Prozent Al2O3, wobei das Substrat sowohl im vorge­ sinterten als auch im fertig gesinterten Zustand eingesetzt werden kann. Die beiden Elektroden 12 werden mittels einer Platin-Druck­ paste aus beispielsweise 60 Vol.-% Platin und 40 Vol.-% Al₂O₃ auf das Substrat 10 aufgedruckt. Das mit den Elektroden 12 und den Leiterbahnen 15 versehene Substrat 10 wird nun bei einer Temperatur von vorzugsweise 1500-1600°C gesintert.The substrate 10 consists of aluminum oxide with, for example, more than 90 percent Al 2 O 3 , it being possible for the substrate to be used both in the pre-sintered state and in the fully sintered state. The two electrodes 12 are printed on the substrate 10 by means of a platinum printing paste of, for example, 60 vol.% Platinum and 40 vol.% Al₂O₃. The substrate 10 provided with the electrodes 12 and the conductor tracks 15 is now sintered at a temperature of preferably 1500-1600 ° C.

Als nächster Schritt wird die aus den zwei sentiven Bereichen 14 gebildete Sensorschicht 11 über die Elektroden 12 gelegt. Die Sensorschicht 11 besteht aus Titandioxid, welches einen von der jeweiligen Sauerstoffkonzentration abhängigen Widerstand aufweist. Das zum Drucken der Sensorschicht 11 verwendete Titanoxid-Pulver besteht beispielsweise zu 99,8% aus Rutil mit einer mittleren Korngröße von ca. 1 µm. Je nach den gewünschten Eigenschaften kann es in mehreren Lagen nacheinander aufgedruckt werden. Danach wird die Sensorschicht beispielsweise bei 1200°C aufgesintert.As the next step, the sensor layer 11 formed from the two sensitive areas 14 is placed over the electrodes 12 . The sensor layer 11 consists of titanium dioxide, which has a resistance dependent on the respective oxygen concentration. The titanium oxide powder used to print the sensor layer 11 consists for example of 99.8% of rutile with an average grain size of approximately 1 μm. Depending on the desired properties, it can be printed in several layers one after the other. The sensor layer is then sintered on, for example at 1200 ° C.

In einem weiteren Schritt wird nun die sauerstoffdurchlässige Schutzschicht 13 auf das Schichtsystem aufgebracht. Dazu wird eine sinterbare Folie verwendet, die beispielsweise aus Aluminiumoxid mit einer erhöhten Glasphase besteht. Zur Ausbildung der erhöhten Glas­ phase wird das Aluminiumoxid mit glasphasebildenden Zusätzen ver­ setzt, wie beispielsweise SiO2, PbO, CaO oder B2O3 oder einem Gemisch dieser Stoffe. Die Zusätze werden dabei so gewählt, daß die gesinterte Folie einen ähnlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten wie das Substrat aufweist. In a further step, the oxygen-permeable protective layer 13 is now applied to the layer system. For this purpose, a sinterable film is used, which consists, for example, of aluminum oxide with a raised glass phase. To form the elevated glass phase, the aluminum oxide is added with glass phase-forming additives, such as SiO 2 , PbO, CaO or B 2 O 3 or a mixture of these substances. The additives are chosen so that the sintered film has a similar coefficient of thermal expansion as the substrate.

Die glashaltige Folie wird auf die entsprechende Größe zuge­ schnitten. Die Größe der glashaltigen Folie 13 muß dabei so bemessen sein, daß sie den oder die sensitiven Bereiche 14 überspannt und eine ausreichende Auflage auf dem Substrat 10 findet. In die glas­ haltige Folie werden anschließend Kanäle 18 eingebracht.The glass-containing film is cut to the appropriate size. The size of the glass-containing film 13 must be such that it spans the sensitive area or areas 14 and finds sufficient support on the substrate 10 . Channels 18 are then introduced into the glass-containing film.

Die Kanäle 18 sind so angeordnet, daß sie über dem sensitiven Bereich 14 ein Array von Luftzutrittskanälen zur darunterliegenden Sensorschicht 11 bilden. Der Durchmesser der Kanäle 18 liegt bei­ spielsweise bei 0,05 bis 0,1 mm und kann durch Stanzen, Bohren und durch Laserbearbeitung eingebracht werden.The channels 18 are arranged such that they form an array of air access channels to the underlying sensor layer 11 over the sensitive area 14 . The diameter of the channels 18 is, for example, 0.05 to 0.1 mm and can be introduced by punching, drilling and by laser processing.

Die mit den Kanälen 18 versehene glashaltige Folie wird nun über die beiden Teile des sensitiven Bereichs 14 gelegt und bei einer Temperatur von 50 bis 100°C, vorzugsweise 80°C und unter einem Druck von 1500 bis 2000 N/cm2 , vorzugsweise bei 2000 N/cm2 auf das Substrat 10 auflaminiert. Anschließend wird das Schichtsystem mit der auflaminierten glashaltigen Folie bei beispielsweise 1000°C gesintert. Danach liegt der fertige Widerstandsmeßfühler vor, der in eine Fassung derart eingesetzt wird, daß die mit den Kanälen 18 versehene Schutzschicht 13 mit dem zu messenden Gas in Berührung kommt.The glass-containing film provided with the channels 18 is now placed over the two parts of the sensitive area 14 and at a temperature of 50 to 100 ° C., preferably 80 ° C. and under a pressure of 1500 to 2000 N / cm 2 , preferably at 2000 N / cm 2 laminated onto the substrate 10 . The layer system with the laminated glass-containing film is then sintered at 1000 ° C., for example. Then there is the finished resistance sensor, which is inserted into a socket in such a way that the protective layer 13 provided with the channels 18 comes into contact with the gas to be measured.

Der Widerstandsmeßfühler ist ferner üblicherweise mit einem Heizer ausgeführt. Auf die Beschreibung eines solchen Heizers wird an dieser Stelle verzichtet, da dies hinlänglich bekannt ist.The resistance sensor is also usually with a heater executed. The description of such a heater is based on omitted this point, as this is well known.

Das in Fig. 3 und 4 dargestellte zweite Ausführungsbeispiel besitzt eine mit Aussparungen 16 und Einschnitten 17 ausgeführte Sensor­ schicht 11. Die Aussparungen 16 sind zwischen die Elektroden 12 gelegte kreisrunde Durchbrüche. Die Einschnitte 17 sind jeweils in Höhe der Aussparungen 16 in die gegenüberliegenden Kanten der Sen­ sorschicht 11 eingebracht. Dadurch wird die Spannweite der Schutz­ schicht 13 über die Sensorschicht 11 reduziert. Infolgedessen wird der Druck der Schutzschicht 13 auf die Sensorschicht 11 verstärkt, wodurch die Sensorschicht 11 besser auf dem Substrat 10 gehalten wird. The second exemplary embodiment shown in FIGS. 3 and 4 has a sensor layer 11 with cutouts 16 and incisions 17 . The recesses 16 are circular openings placed between the electrodes 12 . The incisions 17 are each made at the level of the recesses 16 in the opposite edges of the sensor layer 11 . As a result, the span of the protective layer 13 via the sensor layer 11 is reduced. As a result, the pressure of the protective layer 13 on the sensor layer 11 is increased, as a result of which the sensor layer 11 is better held on the substrate 10 .

In Fig. 3 wurde auf die Darstellung der Kanäle 18 verzichtet. Aus Fig. 4 geht hervor, daß die Kanäle 18 nur an den Stellen in die glasartige Folie eingebracht wurden, die mit dem sensitiven Bereich 14 in Verbindung stehen.In FIG. 3 the channels 18 have not been shown. From Fig. 4 it is evident that the channels 18 have been introduced only at the locations in the glassy film associated with the sensitive region 14 in connection.

Nachdem ein aus Substrat 10, Sensorschicht 11 und Elektroden 12 bestehendes Schichtsystem gemäß Fig. 3 und 4, wie im ersten Aus­ führungsbeispiel beschrieben, hergestellt ist, wird die vorbereitete glasartige Folie auf den sensitiven Bereich 14 gelegt. Die Vorbe­ reitung der glasartigen Folie erfolgt dabei wie im ersten Aus­ führungsbeispiel beschrieben. Das Auflaminieren der glasartigen Folie erfolgt ebenfalls unter den Bedingungen des ersten Aus­ führungsbeispiels. Schließlich wird nach dem Auflaminieren der glasartigen Folie der Sensor einer abschließenden Sinterung unterzogen, die wie im ersten Ausführungsbeispiel bei beispielsweise 1000°C liegt.After a layer system consisting of substrate 10 , sensor layer 11 and electrodes 12 according to FIGS. 3 and 4, as described in the first exemplary embodiment, is produced, the prepared glass-like film is placed on the sensitive area 14 . The preparation of the glass-like film is carried out as described in the first exemplary embodiment. The laminating of the glass-like film is also carried out under the conditions of the first exemplary embodiment. Finally, after the glass-like film has been laminated on, the sensor is subjected to a final sintering which, as in the first exemplary embodiment, is, for example, 1000 ° C.

Die Verwendung einer glasartigen Folie als Schutzschicht ist neben der Anwendung bei Widerstandsmeßfühlern auch für Festelektrolytsen­ soren zur Bestimmung des Sauerstoffgehalts in Abgasen möglich. Im Unterschied zum Widerstandsmeßfühler kann bei den Festelektrolyt­ sensoren die glasartige Folie im Co-Sinterverfahren mit dem Schicht­ system zusammengesintert werden.The use of a glass-like film as a protective layer is next to of use with resistance sensors also for solid electrolytes sensors for determining the oxygen content in exhaust gases possible. in the The difference to the resistance sensor can be with the solid electrolyte sensors the glass-like film in the co-sintering process with the layer system are sintered together.

Claims (15)

1. Elektrochemische Sonde für die Bestimmung des Sauerstoffgehalts in Abgasen, insbesondere in Abgasen von Verbrennungsmotoren, mit einem Substrat, mit einem dem Abgas ausgesetzten sensitiven Bereich und mit einer Schutzschicht, welche wenigstens den sensitiven Bereich überdeckt, dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzschicht (13) eine auf den sensitiven Bereich (14) und auf das Substrat (10) auflaminierbare und sinterbare glashaltige Folie ist, welche Kanäle (18), Poren oder dgl. für den Gaszutritt zum sensitiven Bereich (14) enthält.1. Electrochemical probe for determining the oxygen content in exhaust gases, in particular in exhaust gases from internal combustion engines, with a substrate, with a sensitive area exposed to the exhaust gas and with a protective layer which covers at least the sensitive area, characterized in that the protective layer ( 13 ) is a glass-containing film which can be laminated and sintered onto the sensitive area ( 14 ) and onto the substrate ( 10 ) and which contains channels ( 18 ), pores or the like for gas access to the sensitive area ( 14 ). 2. Sonde nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die glas­ haltige Folie eine Aluminiumoxidkeramikfolie mit glasphasebildenden Zusätzen ist.2. Probe according to claim 1, characterized in that the glass containing film an aluminum oxide ceramic film with glass phase forming Addition is. 3. Sonde nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die glashaltige Folie eine zumindest beim Sintern ausbildende poröse Struktur besitzt.3. Probe according to claim 1 or 2, characterized in that the glass-containing film a porous, at least during the sintering Has structure. 4. Sonde nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß der sensitive Bereich (14) von mindestens einer Sensorschicht (11) ge­ bildet ist, und daß die glashaltige Folie die Sensorschicht (11) einzukapseln vermag. 4. A probe according to claim 1, 2 or 3, characterized in that the sensitive area ( 14 ) of at least one sensor layer ( 11 ) is ge, and that the glass-containing film is able to encapsulate the sensor layer ( 11 ). 5. Sonde nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere sensitive Bereiche (14) vorgesehen sind, und daß die glashaltige Folie in den Zwischenräumen zwischen den sensitiven Bereichen (14) auf das Substrat (10) auflaminiert ist.5. Probe according to one of claims 1 to 4, characterized in that a plurality of sensitive areas ( 14 ) are provided, and that the glass-containing film is laminated onto the substrate ( 10 ) in the spaces between the sensitive areas ( 14 ). 6. Sonde nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Sensor­ schicht (11) Aussparungen aufweist, die die Berührungsfläche der glashaltigen Folie gegenüber dem Substrat (10) zu vergrößern ver­ mögen.6. A probe according to claim 4, characterized in that the sensor layer ( 11 ) has recesses which like to enlarge the contact surface of the glass-containing film with respect to the substrate ( 10 ). 7. Sonde nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens eine Aussparung (16) zwischen den Elektroden (12) angeordnet ist.7. Probe according to claim 6, characterized in that at least one recess ( 16 ) is arranged between the electrodes ( 12 ). 8. Sonde nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß im Randbereich der Sensorschicht (11) bis auf das Substrat (10) reichende Ein­ schnitte (17) vorgesehen sind.8. A probe according to claim 6, characterized in that in the edge region of the sensor layer ( 11 ) up to the substrate ( 10 ) reaching cuts ( 17 ) are provided. 9. Sonde nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Ein­ schnitte (17) auf der Hohe der Aussparung (16) angeordnet sind.9. A probe according to claim 8, characterized in that the cuts ( 17 ) are arranged at the height of the recess ( 16 ). 10. Verfahren zur Herstellung einer elektrochemischen Sonde für die Bestimmung des Sauerstoffgehalts in Abgasen, insbesondere in Abgasen von Verbrennungsmotoren, mit einem dem Abgas ausgesetzten sensitiven Bereich, der mit einer Schutzschicht abgedeckt wird, dadurch gekenn­ zeichnet, daß eine glashaltige Folie als Schutzschicht auf das Substrat und den sensitiven Bereich auflaminiert und anschließend gesintert wird.10. Method of making an electrochemical probe for the Determination of the oxygen content in exhaust gases, especially in exhaust gases of internal combustion engines, with a sensitive to the exhaust gas Area that is covered with a protective layer records that a glass-containing film as a protective layer on the Laminated substrate and the sensitive area and then is sintered. 11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die glashaltige Folie nach dem Sintern des sensitiven Bereichs auf­ laminiert wird. 11. The method according to claim 10, characterized in that the glass-containing film after sintering the sensitive area is laminated.   12. Verfahren nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß das Auflaminieren bei einer Temperatur von 50 bis 100°C, vorzugs­ weise 80°C, und bei einem Druck von 1500 N/cm2 bis 2500 N/cm2, vorzugsweise 2000 N/cm2, erfolgt.12. The method according to claim 10 or 11, characterized in that the lamination at a temperature of 50 to 100 ° C, preferably as 80 ° C, and at a pressure of 1500 N / cm 2 to 2500 N / cm 2 , preferably 2000 N / cm 2 . 13. Verfahren nach Anspruch 10, 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß die glashaltige Folie mit Porenbildnern versetzt wird, die beim Sintern in der glashaltigen Folie eine poröse Struktur ausbilden.13. The method according to claim 10, 11 or 12, characterized in that the glass-containing film is mixed with pore formers, which at Sintering form a porous structure in the glass-containing film. 14. Verfahren nach Anspruch 10, 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß vor dem Auflaminieren der glashaltigen Folie Kanäle oder dgl. in die glashaltige Folie eingebracht werden.14. The method according to claim 10, 11 or 12, characterized in that before laminating the glass-containing film channels or the like. in the glass-containing film can be introduced. 15. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 14, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Sintertemperatur der glashaltigen Folie niedriger als die vorausgehende Sintertemperatur des sensitiven Bereichs ein­ gestellt wird.15. The method according to any one of claims 10 to 14, characterized records that the sintering temperature of the glass-containing film is lower than the previous sintering temperature of the sensitive area is provided.
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