DE4103603A1 - Positionssensor zum erfassen linearer oder rotatorischer bewegungen eines teils - Google Patents

Positionssensor zum erfassen linearer oder rotatorischer bewegungen eines teils

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Description

Die Erfindung betrifft einen Positionssensor zum Erfassen linearer oder rotatorischer Bewegungen eines Teils; mit einer langgestreckten Meßspulenan­ ordnung, in der ein weichmagnetischer Kern in Längs­ richtung stationär angeordnet ist und der einen zur Längenausdehnung geringen Querschnitt aufweist; mit einem von dem Teil bewegbaren Steuermagneten, insbe­ sondere Permanentmagneten, der in Längsrichtung des weichmagnetischen Kerns bewegbar ist, diesen positi­ onsabhängig partiell magnetisch sättigt und damit die elektrischen Werte der Meßspulenanordnung steuert; und mit einer Auswerteeinrichtung zum Aus­ werten der sich positionsabhängig ändernden elektri­ schen Werte der Meßspulenanordnung.
Aus der EP-B 2 38 922 ist bereits ein magnetischer Wegsensor zur Erfassung der Lage eines Meßobjektes bekannt, der aus einem Differential-Transformator mit einem feststehenden Kern aus weichmagnetischem Material besteht. Entlang diesem Kern wird zusammen mit dem Meßobjekt ein Dauermagnet bewegt, der den weichmagnetischen Kern positionsabhängig partiell magnetisch sättigt, so daß an dieser Stelle ein virtueller Luftspalt in dem Kern bewirkt wird, der entsprechenden Einfluß auf die Kopplung zwischen den Wicklungen des Differential-Transformators hat. Ein ähnlicher magnetischer Wegsensor ist auch aus der DE-OS 39 14 787 bekannt.
Bei dem magnetischen Wegsensor nach der EP-B-2 38 922 befindet sich zwar der weichmagneti­ sche Kern innerhalb der Meßspulenanordnung mit Primär- und Sekundärwicklungen, der Steuermagnet ist jedoch außerhalb der gesamten Anordnung vorge­ sehen, so daß magnetische Fremdfelder verhältnis­ mäßig große Meßfehler verursachen können. Außerdem ist ein solcher Positionssensor verhältnismäßig kom­ pliziert aufgebaut und benötigt aufwendige Führungs­ mittel zur genauen Führung des Steuermagneten gegen­ über dem weichmagnetischen Kern.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, den Ein­ fluß von magnetischen Fremdfeldern zu minimieren und dabei gleichzeitig zu niedrigen Herstellkosten zu kommen.
Diese Aufgabe wird gemäß der vorliegenden Erfin­ dung dadurch gelöst, daß der weichmagnetische Kern im Querschnitt trogförmig, insbesondere V- oder U-förmig, ausgebildet ist und daß der Steuermagnet zwischen den Schenkeln des Kerns innerhalb der Meßspulenanordnung angeordnet und durch das Teil bewegbar ist. Diese Lösung hat den Vorteil, daß der Luftspalt zwischen dem Steuermagneten und dem Kern gering gehalten werden kann und stets die gleiche Größe hat, um eine Messung mit großer Zuverlässig­ keit zu ermöglichen. Die Unempfindlichkeit gegen­ über Fremdfeldern ist erheblich gesteigert gegen­ über dem Positionssensor nach dem besprochenen Stand der Technik.
Die Meßspulenanordnung des erfindungsgemäßen Positi­ onssensors ist vorzugsweise auf einen rohrförmigen Trägerkörper gewickelt, und die Länge des Kerns ent­ spricht etwa der Länge der Meßspulenanordnung und des Bewegungsweges des Steuermagneten. Der Kern ist vorzugsweise aus Dynamoblech hergestellt.
Eine andere Lösung der gestellten Aufgabe besteht bei einem Positionssensor der eingangs genannten Art darin, daß die Meßspulenanordnung als langge­ streckte Flachspulenanordnung und der weichmagne­ tische Kern als langgestreckte Folie ausgebildet sind, die schichtweise übereinander liegen. Die Meß­ spulenanordnung ist vorzugsweise als gedruckte Schaltung ausgebildet, oder die Meßspulenanordnung und der weichmagnetische Kern sind auf einem Iso­ lierträger auflaminiert. Durch diese Konstruktions­ weise ergibt sich ein besonders niedriger Herstell­ aufwand, da solche Meßspulenanordnungen auf ein­ fache Weise maschinell hergestellt werden können, d. h., daß aufwendiges Wickeln von Spulen vermieden wird. Da der Steuermagnet in sehr geringem Abstand an dem weichmagnetischen Kern in Form einer Folie entsprechend dem bewegten Teil vorbeigeführt wird, ergibt sich eine hohe Empfindlichkeit des Positions­ sensors, der gleichzeitig durch Fremdfelder kaum beeinflußt wird.
Bei einer besonders vorteilhaften Ausführungsform ist der Steuermagnet mit dem Teil seitlich aus­ weichend elastisch aufgehängt, wird von dem Kern angezogen, berührt diesen und wird von diesem gleichzeitig geführt. Hierdurch werden besondere Führungsmittel eingespart. Der Steuermagnet und/ oder der Kern sind an den Berührungsflächen vorzugs­ weise mit einer abriebfesten und reibungsmindern­ den Schicht überzogen, so daß trotz dieser Be­ rührung eine lange Lebensdauer und geringe Betäti­ gungskräfte erzielt werden.
Der Positionssensor kann sowohl für lineare, rotato­ rische oder andere Bewegungen eines Teils ausgebil­ det sein. In einem solchen Fall sind die Meßspulen­ anordnung und der Kern dem Bewegungsweg des Teils und des Steuermagneten angepaßt und entweder linear oder bogenförmig ausgebildet.
Die Wicklungen der Meßspulenanordnung können nicht nur spiralförmig, sondern auch mäanderförmig ausge­ bildet sein. Auf diese Weise läßt sich eine besonders feine Auflösung des Positionssensors er­ reichen.
Vorzugsweise ist die Meßspulenanordnung als Trans­ formator mit mehreren Wicklungen ausgebildet, insbe­ sondere in der Form eines Differential-Transforma­ tors. Im Falle von mäanderförmigen Wicklungen können diese auch mäanderförmig ineinandergeschach­ telt angeordnet sein.
Eine besonders vorteilhafte Ausführungsform eines Positionssensors für rotatorische Bewegungen ist dadurch gekennzeichnet, daß der Transformator mehrere sektorförmig angeordnete flache Spulen und einen weichmagnetischen Kern in Form einer Folie mit kreisförmiger Fläche enthält, die auf einer Trägerplatte übereinander angeordnet sind, und daß der Steuermagnet radial magnetisiert ist und zum Er­ fassen einer Drehbewegung des Teils mit seiner Stirnfläche den weichmagnetischen Kern steuert.
Als Auswerteeinrichtungen können verschiedene Formen vorgesehen sein. In einer vorteilhaften Aus­ führungsform ist die Auswerteeinrichtung zur Messung induktivitätsabhängiger Bestromungsverläufe der Meßspulenanordnung ausgebildet. Der Meßspulenan­ ordnung werden dabei vorzugsweise impulsförmige Ströme zugeführt. Eine andere Ausführungsform ist dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerteschaltung die Übertragung von Wechselstrom- oder Impulssigna­ len von der Primärwicklung auf die Sekundärwicklung der Meßspulenanordnung abhängig von der Position des Steuermagneten auswertet.
Weitere Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbei­ spielen unter Bezug auf die beigefügten Zeichnungen.
Es zeigen:
Fig. 1 einen Längsschnitt durch eine erste Ausführungsform eines Positionssensors entlang der Linie I-I von Fig. 2;
Fig. 2 einen Schnitt durch den Positionssensor nach Fig. 1 in vergrößerter Darstellung entlang der Linie II-II in Fig. 1;
Fig. 3 ein elektrisches Schaltbild zur Verdeut­ lichung der Polaritäten der Meßspulenan­ ordnung des Positionssensors nach den Fig. 1 und 2;
Fig. 4 ein Schaltbild einer Auswerteeinrichtung;
Fig. 5 ein Spannungs-Zeit-Diagramm zur Auswerte­ einrichtung nach Fig. 4;
Fig. 6 einen Längsschnitt einer zweiten Aus­ führungsform eines Positionssensors ent­ sprechend der Linie VI-VI der Fig. 7;
Fig. 7 eine Draufsicht auf den Positionssensor nach Fig. 6;
Fig. 8 eine dritte Ausführungsform eines Positi­ onssensors in Draufsicht;
Fig. 9 eine perspektivische Darstellung einer vierten Ausführungsform eines Positions­ sensors;
Fig. 10 eine perspektivische Ansicht einer fünften Ausführungsform eines Positions­ sensors;
Fig. 11 eine schematische Darstellung eines Posi­ tionssensors mit einer mäanderförmigen Meßspulenanordnung; und
Fig. 12 die Anordnung von mehreren mäanderförmi­ gen Wicklungen in einer Meßspulenanord­ nung.
Der in den Fig. 1 und 2 dargestellte Positions­ sensor enthält einen rohrförmigen Trägerkörper 2, auf den über den wesentlichen Teil seiner Länge eine Sekundärspule 3 gewickelt ist. An den axialen Endbereichen des Trägerkörpers 2 sind zwei Teil- Spulen 4 und 5 angeordnet, die durch einen Verbin­ dungsdraht 10 miteinander verbunden sind und die Primärspule bilden. Die entsprechenden Spulen 3, 4 und 5 sind mit Anschlüssen 9 versehen.
Innerhalb der aus den Spulen 3, 4 und 5 bestehenden Meßspulenanordnung, also im vorliegenden Beispiel innerhalb des Trägerkörpers 2, sind ein trogförmi­ ger Kern 6 sowie der an einem bewegten Teil 1 ange­ ordnete Steuermagnet 8 angeordnet, wobei der Steuer­ magnet 8 im vorliegenden Beispiel einen kreisförmi­ gen Querschnitt hat und mit seiner Umfangsfläche an den Innenflächen der Schenkel 7 des trogförmigen Kerns 6 anliegt. Im vorliegenden Beispiel ist der trogförmige Kern 6 V-förmig ausgebildet. Je nach den räumlichen Verhältnissen und der Form des Steuermagneten 8 sind auch andere Formen, wie z. B. U-Form möglich.
Das bewegliche Teil 1 kann in Richtung des Doppel­ pfeils 16 in Richtung der Längsachse der Meßspulen­ anordnung bewegt werden, und zwar derart, daß der Steuermagnet 8 im wesentlichen die gesamte Länge des Kerns 6 bestreicht. Der Kern besteht vorzugs­ weise aus Dynamoblech, und wird an der Stelle magne­ tisch gesättigt, an der sich der Steuermagnet 8 gerade befindet. Diese partielle Sättigung führt zu einem virtuellen Luftspalt im Kern 6, wodurch die Kopplungsverhältnisse zwischen den Primärspulen 4 und 5 und der Sekundärspule 3 lageabhängig ver­ ändert werden. Das bewegliche Teil 1 mit seinem Steuermagneten 8 ist in Querrichtung federnd ge­ lagert, so daß der Steuermagnet 8 beim Anziehen der Innenflächen der Schenkel 7 des Kerns 6 mit diesem in enger Berührung bleibt, wodurch sich besonders stabile magnetische Verhältnisse ergeben. Um die Reibungskräfte zwischen dem Steuermagneten 8 und den Innenflächen des Kerns 6 sowie Abnutzung zu vermindern, sind die Berührungsflächen der beiden Teile zweckmäßigerweise mit einer abriebfesten und reibungsmindernden Schicht (nicht gezeigt) über­ zogen.
Die Wicklungen 3, 4 und 5 der Meßspulenanordnung des ersten Ausführungsbeispiels sind als Differen­ tial-Transformator geschaltet, was das Schaltbild nach Fig. 3 im einzelnen zeigt. Es ist zu sehen, daß bei der durch Punkte an den einzelnen Wicklun­ gen 4, 3 und 5 angedeuteten Polaritäten sich eine gegensinnige Polarität für die Teil-Primärwicklun­ gen 4 und 5 ergibt.
Fig. 4 zeigt nun ein Beispiel einer Auswerteein­ richtung für den Positionssensor nach den Fig. 1 bis 3. Ein durch einen Steuerimpuls 12 gesteuerter Transistor 13 beaufschlagt die aus den Teilwicklun­ gen 4 und 5 bestehende Primärwicklung. Je nach Stellung des mit dem bewegten Teil verbundenen Kerns 8 wird auf die Sekundärwicklung 3 ein positi­ onsabhängiges Signal übertragen und von einem Differentialverstärker 14 ausgewertet. Wie Fig. 5 zeigt, ist die Primärspannung Upr in der Form von Impulsen 12′, und das auf die Sekundwärwicklung 3 übertragene Signal Usek hat die Form eines verform­ ten Rechteckimpulses 15. Aus dem Impulsverlauf der Impulse 15 kann auf die Stellung des Steuermagneten 8 gegenüber dem Kern 6 geschlossen werden. Es ist jedoch auch denkbar, der Primärwicklung 4, 5 ein sinusförmiges Wechselstromsignal zuzuführen und die Amplitude der in der Sekundärwicklung 3 induzierten Spannung auszuwerten. Darüber hinaus ist es möglich, die Wicklungen 4, 5 sowie 3 in der Funktion mitein­ ander zu vertauschen, d. h., die Wicklung 3 als Primärwicklung zu verwenden und die beiden zusammen­ geschalteten Teilwicklungen 4 und 5 als Sekundär­ wicklung zu benutzen. Schließlich ist es auch mög­ lich, nur eine Wicklung vorzusehen und deren Induk­ tivität als Maß der Position des Steuerkerns 8 aus­ zuwerten.
In den Fig. 6 und 7 ist nun eine zweite Ausführungs­ form des erfindungsgemäßen Positionssensors darge­ stellt. Hier sind die Spulen 23, 24, 25 der Meß­ spulenanordnung nicht wie bei dem ersten Aus­ führungsbeispiel auf einen rohrförmigen Träger­ körper gewickelt, sondern als Flachspulen in Form einer gedruckten Schaltung auf einem Trägersubstrat 22 angeordnet. Auch hier ist eine Sekundärspule 23 vorgesehen sowie eine aus zwei Teilspulen 24 und 25 bestehende Primärspule. Beide Spulenarten können miteinander vertauscht werden. Die Flachwicklungen 23, 24, 25 sind auf der einen Seite des Substrats 22 angeordnet, während auf die entgegengesetzte Seite das Kernmaterial 26 in Form einer Folie aufla­ miniert ist. Darüber hinaus sind die Wicklungen 23, 24, 25 durch eine Isolierschicht abgedeckt. Der Steuermagnet 28 ist in Richtung des Doppelpfeiles 16 im Bereich der Ausmaße der inneren Wicklung, der Sekundärwicklung 23 in Längsrichtung verschiebbar, und zwar von der ausgezogen dargestellten Position 28 in die gestrichelt dargestellte Position 28′. Auch bei diesem Ausführungsbeispiel zieht der Steuermagnet 28 den Kern 26 an, so daß sich eine gute Berührung zwischen beiden Teilen ergibt. Zwischen beiden Teilen ist eine Schutzschicht 27 vorgesehen, die auf die Kern-Schicht auflaminiert ist, um Reibung und Verschleiß zu vermindern. Die Wicklungen 23, 24 und 25 sind mit Anschlüssen 29 versehen.
Der Positionssensor nach den Fig. 6 und 7 kann nicht nur zur Bestimmung der Position eines linear beweglichen Teils 1 verwendet werden, sondern - bei entsprechender Ausbildung - auch für bogenförmige oder sonstige Bewegungsformen. Fig. 8 zeigt ein solches Beispiel, bei dem auf einem Substrat mit beliebigem Formenverlauf die entsprechenden Meß­ spulen 33, 34 und 35 als Flachspulen angeordnet sind. Ein Steuermagnet 38 ist gegenüber einem Kern 36 (unterhalb des Substrates 32) angeordnet, um einen Drehpunkt 31 bogenförmig bewegbar und über­ streicht die gesamte Fläche der Meßspulenanordnung 33, 34, 35. Die entsprechenden Meßspulen sind über Anschlüsse 39 an eine (nicht gezeigte) Auswerteein­ richtung angeschlossen.
Fig. 9 zeigt eine weitere Ausführungsform, bei der entweder zwei Meßspulenanordnungen mit entsprechen­ den Kernen 46a und 46b durch einen gemeinsamen Steuermagneten 48 positionsabhängig gesteuert werden, oder die beiden Meßspulenanordnungen 46a und 46b werden durch zwei getrennte, einander gegen­ überstehende, aber gegenpolig zueinander magneti­ sierte Steuermagnete 48a und 48b beeinflußt. Beide Steuermagnete 48a und 48b werden gleichförmig von einem (nicht gezeigten) beweglichen Teil in Längs­ richtung der Meßspulenanordnungen bewegt. Die An­ schlüsse der einzelnen Wicklungen der Meßspulenan­ ordnungen sind über Steckkontakte 49 herausgeführt. Die Anordnung von zwei gegenpoligen Steuermagneten 48a und 48b hat den Vorteil, daß externe Streu­ felder einen noch geringeren Einfluß auf die Messung haben.
Insgesamt für alle bisher besprochenen Ausführungs­ formen kann gesagt werden, daß für die einzelnen Wicklungen der Meßspulenanordnung verschiedene Varianten möglich sind. Fig. 10 zeigt eine weitere Ausführungsform für einen Positionssensor zum Er­ fassen von rotatorischen Bewegungen. Auf einem Sub­ strat 52 sind drei sektorförmige Spulen 53, 54 und 55 angeordnet, die über entsprechende Anschlüsse 59 angeschlossen werden können. Auf der den Wicklungen 53, 54, 55 gegenüberliegenden Seite des Substrats 52 ist ein Kern 56 in Form einer kreisförmigen Folie aufgebracht. Oberhalb der Wicklungen 53, 54, 55 ist ein Steuermagnet 58 vorgesehen, der selbst­ verständlich in nur geringem Abstand von den Wick­ lungen angeordnet ist. Der Steuermagnet 58 ist radial magnetisiert, so daß je nach Drehstellung des Steuermagneten 58 eine etwa linienförmige Sätti­ gung des Kerns 56 unterhalb des Substrats 52 be­ wirkt wird. Die Winkelposition dieser Sättigungs­ linie dreht sich zusammen mit dem Steuermagneten 58 um den Mittelpunkt.
Die Funktion der Wicklungen 53, 54, 55 ist im vor­ liegenden Fall nicht festgelegt. Es kann jeweils eine der Wicklungen als Primärwicklung dienen, während die anderen beiden Wicklungen Sekundär­ wicklungen darstellen; es ist jedoch auch möglich, zwei Wicklungen als Primärwicklungen zu benutzen und die dritte Wicklung als Sekundärwicklung an eine entsprechende Auswerteeinrichtung (nicht gezeigt) anzuschließen. Des weiteren ist es möglich, die drei Einzelwicklungen 53, 54 und 55 jeweils als Induktivitäten an eine entsprechende Auswerteeinrichtung anzuschließen, deren Werte durch die Stellung des Steuermagneten 58 gesteuert werden. Schließlich ist es auch möglich, anstelle des zweipoligen Steuermagneten 58 einen solchen mit mehr als zwei Polen zu benutzen.
Fig. 11 zeigt nun, daß anstelle der spiralförmigen Wicklungen der vorhergehenden Ausführungsbeispiele auch eine oder mehrere mäanderförmige Spulen 63 mög­ lich sind, die auf einem Substrat 62 angeordnet sind. Unterhalb des Substrats 62 ist wiederum der Kern 66 in Form einer Folie angeordnet. Die Spule 63 ist über Kontakte 69 an eine geeignete Auswerte­ einrichtung angeschlossen.
Ein oberhalb der Spule 63 bzw. des Kerns 66 ange­ ordneter Steuermagnet 68 ist im vorliegenden Bei­ spiel mehrpolig ausgebildet und bewegt sich zu­ sammen mit dem zu messenden Teil 1 entlang des Doppelpfeils 16. Der Steuermagnet 68 ist mehrpolig ausgebildet; es ist jedoch auch eine einpolige oder doppelpolige Ausführung möglich.
Fig. 12 zeigt eine Variante der Ausführungsform nach Fig. 11, bei der drei mäanderförmige Spulen 73, 74 und 75 einer Meßspulenanordnung vorgesehen sind. Die Spulen 73, 74, 75 sind mäanderförmig in­ einandergeschachtelt und an entsprechende An­ schlüsse 79 angeschlossen. Die Ausbildung der Wicklungen bzw. Spulen als Mäanderspulen hat den Vorteil, daß die Auflösung des Positionssensors weiter verbessert werden kann und das aufwendige Wickeln von Spulen entfällt. Die mäanderförmigen Spulen 63, 73, 74 und 75 können in gedruckter Tech­ nik aufgebracht werden; es ist jedoch auch möglich, die bekannte Siebdrucktechnik anzuwenden. Das Mate­ rial des Kernes 66 ist eine Folie mit vorzugsweise hoher magnetischer Permeabilität mit mittlerem bis niedrigem Sättigungsverhalten, z. B. Mu-Metall oder Amorph-Metalle, die auch als metallische Gläser be­ zeichnet werden und z. B. unter den Handelsnamen Vitrovac und Metglas bekannt sind.
Für die Auswerteeinrichtung sind verschiedene Formen möglich. Bei der Impulsauswertung werden zur Bestromung und Auswertung der Bestromungsverläufe zweckmäßigerweise Schaltungen mit einem Mikropro­ zessor verwendet, um die Position des Steuermagne­ ten genau zu ermitteln.

Claims (21)

1. Positionssensor zum Erfassen linearer oder rotatorischer Bewegungen eines Teils;
mit einer langgestreckten Meßspulenanordnung, in der ein weichmagnetischer Kern in Längsrichtung stationär angeordnet ist und der einen zur Längenausdehnung geringen Querschnitt aufweist;
mit einem von dem Teil bewegbaren Steuermagneten, insbesondere Permanentmagneten, der in Längs­ richtung des weichmagnetischen Kerns bewegbar ist, diesen positionsabhängig partiell magnetisch sättigt und damit die elektrischen Werte der Meßspulenan­ ordnung steuert; und
mit einer Auswerteeinrichtung zum Auswerten der sich positionsabhängig ändernden elektrischen Werte der Meßspulenanordnung;
dadurch gekennzeichnet, daß der weichmagnetische Kern (6) im Querschnitt trogförmig, insbesondere V- oder U-förmig, ausgebildet ist und daß der Steuer­ magnet (8) zwischen den Schenkeln (7) des Kerns (6) innerhalb der Meßspulenanordnung (3, 4, 5) angeord­ net und durch das Teil (1) bewegbar ist.
2. Positionssensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßspulenanordnung (3, 4, 5) auf einen rohrförmigen Trägerkörper (2) gewickelt ist.
3. Positionssensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Länge des Kerns (6) etwa gleich der Länge der Meßspulenanordnung (3, 4, 5) und des Bewegungsweges des Steuermagneten (8) ist.
4. Positionssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Kern (6) aus Dynamo­ blech besteht.
5. Positionssensor zum Erfassen linearer oder rotatorischer Bewegungen eines Teils;
mit einer langgestreckten Meßspulenanordnung, die einen stationären, weichmagnetischen und in Längs­ richtung angeordneten Kern mit zur Längenausdehnung geringem Querschnitt aufweist;
mit einem von dem Teil bewegbaren Steuermagneten, insbesondere Permanentmagneten, der in Längsrichtung des weichmagnetischen Kerns bewegbar ist, diesen positionsabhängig partiell magnetisch sättigt und damit die elektrischen Werte der Meßspulenanordnung steuert; und
mit einer Auswerteeinrichtung zum Auswerten der sich positionsabhängig ändernden elektrischen Werte der Meßspulenanordnung;
dadurch gekennzeichnet, daß die Meßspulenanordnung (23, 24, 25; 33, 34, 35; 53, 54, 55; 63; 73, 74, 75) als langgestreckte Flachspulenanordnung und der weichmagnetische Kern (26; 36; 46a, 46b; 56; 66) als langgestreckte Folie ausgebildet sind, die schichtweise übereinander liegen.
6. Positionssensor nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßspulenanordnung als gedruckte Schaltung ausgebildet ist.
7. Positionssensor nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßspulenanordnung und der weichmagnetische Kern auf einen Isolier­ träger (22, 32, 52, 62) auflaminiert sind.
8. Positionssensor nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Steuermagnet (8; 28; 38; 48; 48a, 48b; 58; 68) mit dem Teil (1) seitlich ausweichend elastisch aufgehängt ist, von dem Kern (6; 26; 36; 46a, 46b; 56; 66) angezogen wird, diesen berührt und von diesem geführt wird.
9. Positionssensor nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Steuermagnet und/ oder der Kern an den Berührungsflächen mit einer ab­ riebfesten und reibungsmindernden Schicht (27) über­ zogen sind.
10. Positionssensor nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß anstelle eines einzel­ nen Steuermagneten (48) zwei beiderseits des weich­ magnetischen Kerns angeordnete und mit dem Teil (1) synchron bewegte Steuermagneten (48a, 48b) gegen­ sätzlicher Polarität vorgesehen sind.
11. Positionssensor nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßspulenanordnung (3, 4, 5) sowie der Bewegungsweg des Teils (1) und des Steuermagneten (8) linear ausgebildet sind.
12. Positionssensor nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßspulenanordnung (33, 34, 35) sowie der Bewegungsweg des Teils (1) und des Steuermagneten (38) bogenförmig ausgebildet sind.
13. Positionssensor nach einem oder mehreren der Ansprüche 5 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßspulenanordnung (63; 73, 74, 75) mäanderförmig ausgebildet ist.
14. Positionssensor nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßspulenanordnung (3, 4, 5; 23, 24, 25; 33, 34, 35; 53, 54, 55; 73, 74, 75) als Transformator mit mehreren Wicklungen ausgebildet ist.
15. Positionssensor nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Wicklungen (73, 74, 75) mäanderförmig ineinander geschachtelt ange­ ordnet sind.
16. Positionssensor nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, daß der Transformator als Differentialtransformator (3, 4, 5; 23, 24, 25; 33, 34, 35) ausgebildet ist.
17. Positionssensor nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß der Transformator zwei in Längsrichtung im Abstand voneinander angeordnete und gegeneinander geschachtelte Teilwicklungen (4, 5; 24, 25; 34, 35) und eine sich über den gesamten Bewegungsbereich des Steuermagneten (8, 28, 38) er­ streckende zweite Wicklung (3, 23, 33) enthält.
18. Positionssensor nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet,
daß der Transformator mehrere sektorförmig angeordnete flache Spulen (53, 54, 55) und einen weichmagnetischen Kern (56) in Form einer Folie mit kreisförmiger Fläche ent­ hält, die auf einer Trägerplatte (52) übereinander angeordnet sind, und
daß der Steuermagnet (58) radial magnetisiert ist und zum Erfassen einer Drehbewegung des Teils mit seiner Stirnfläche den weichmagnetischen Kern (56) steuert.
19. Positionssensor nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerteeinrichtung zur Messung induktivitätsabhängiger Bestromungsver­ läufe der Meßspulenanordnung ausgebildet ist.
20. Positionssensor nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß der Meßspulenanordnung impulsförmige Ströme zugeführt werden.
21. Positionssensor nach einem der Ansprüche 14 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerteschaltung (Fig. 4) die Übertragung von Wechselstrom- oder Impulssignalen von der Primärwicklung (4, 5) auf die Sekundärwicklung (3) der Meßspulenanordnung abhängig von der Position des Steuermagneten (8) auswertet.
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Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4429444A1 (de) * 1993-08-24 1995-03-02 A B Elektronik Gmbh Anordnung zur Erfassung von Meßpunkten sich relativ zueinander bewegender Teilelemente
EP0693673A3 (de) * 1994-07-21 1996-03-20 Vacuumschmelze Gmbh Magnetischer Wegsensor
DE19806529A1 (de) * 1998-02-17 1999-08-19 Micro Epsilon Messtechnik Weg-Winkel-Sensor
DE19805783A1 (de) * 1998-02-12 1999-09-16 Siemens Ag Anordnung zur zweidimensionalen, berührungslosen Positionsbestimmung eines Meßobjektes
DE19621886C2 (de) * 1996-05-31 2000-11-30 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Magnetische Positionsmeßeinrichtung
US6469501B1 (en) 1998-06-30 2002-10-22 3D Sensor Aps Conductive system for measuring the linear and angular positions of one object relative to another
US6605939B1 (en) 1999-09-08 2003-08-12 Siemens Vdo Automotive Corporation Inductive magnetic saturation displacement sensor
EP1354329A1 (de) * 2000-12-21 2003-10-22 ICT, Inc. Induktive joysticks
US6714004B2 (en) 2000-05-24 2004-03-30 Balluff Gmbh Inductive position measuring system
DE10044839B4 (de) * 1999-09-27 2004-04-15 Siemens Ag Induktiver Positionssensor
US6828780B2 (en) 2001-05-01 2004-12-07 Balluff Gmbh Position measuring system having an inductive element arranged on a flexible support
WO2008007193A3 (en) * 2006-07-07 2008-11-06 Magneti Marelli Powertrain Spa Acquisition system for detecting the angular position of a knob for the gas of a motorcycle
WO2015124123A1 (de) * 2014-02-18 2015-08-27 Balluff Gmbh Positionsmessvorrichtung und verfahren zum betreiben der positionsmessvorrichtung
DE102014214439A1 (de) * 2014-07-23 2016-01-28 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Aktor-Sensor-Anordnung und Verfahren zur Anwendung bei einer solchen Anordnung
DE102018000422A1 (de) 2017-01-20 2018-07-26 Thomas Magnete Gmbh Magnetspule mit integriertem Sensor

Families Citing this family (43)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5793206A (en) * 1995-08-25 1998-08-11 Jentek Sensors, Inc. Meandering winding test circuit
JPH11513797A (ja) * 1995-10-17 1999-11-24 サイエンティフィック ジェネリクス リミテッド 位置検出エンコーダー
US6486673B1 (en) 1997-01-06 2002-11-26 Jentek Sensors, Inc. Segmented field dielectrometer
US6781387B2 (en) 1997-01-06 2004-08-24 Jentek Sensors, Inc. Inspection method using penetrant and dielectrometer
JP2001508178A (ja) * 1997-01-06 2001-06-19 ジェンテク・センサーズ・インコーポレーテッド 地表下の対象物のマグネトメータおよびディエレクトロメータによる探知
DE69814601T2 (de) 1997-03-13 2004-04-01 Jentek Sensors, Inc., Watertown Magnetometrische detektion von ermüdungsschäden in flugzeugen
ATE256865T1 (de) * 1997-10-29 2004-01-15 Jentek Sensors Inc Absolutmessung von eigenschaften mit luftkalibrierung
US6377039B1 (en) 1997-11-14 2002-04-23 Jentek Sensors, Incorporated Method for characterizing coating and substrates
DE19805621A1 (de) * 1998-02-12 1999-08-19 Hydraulik Ring Gmbh Anordnung zur berührungslosen Positionsbestimmung eines Meßobjektes, vorzugsweise einer Schaltwelle eines Kraftfahrzeuggetriebes
AU4420800A (en) * 1999-04-23 2000-11-10 Scientific Generics Limited Position sensor
FR2800459B1 (fr) * 1999-10-27 2002-01-11 Siemens Automotive Sa Capteur analogique de position sans contact a couplage differentiel
FR2800458B1 (fr) * 1999-10-27 2002-01-11 Siemens Automotive Sa Capteur analogique de position sans contact a couche noyau de largeur variable
EP1224110B1 (de) * 1999-10-27 2007-04-18 Siemens VDO Automotive S.A.S. Elektronisches lenksäulenmodul
FR2800460B1 (fr) * 1999-10-27 2002-01-11 Siemens Automotive Sa Capteur analogique de position sans contact
FR2800457B1 (fr) * 1999-10-27 2002-01-11 Siemens Automotive Sa Procede de fabrication de capteur analogique de position sans contact
JP2001347959A (ja) * 2000-06-06 2001-12-18 Mitsubishi Electric Corp 電動パワーステアリング装置
DE10105082A1 (de) * 2001-02-05 2002-08-14 Wincor Nixdorf Gmbh & Co Kg Vorrichtung zur Entgegennahme von Banknoten
FR2830614B1 (fr) * 2001-10-09 2003-12-05 Siemens Vdo Automotive Capteur de position sans contact de type a inductance mutuelle
US20040036468A1 (en) * 2002-04-17 2004-02-26 Bernd Hoffelder Measuring device for detecting the angular position of a rotatable object
WO2005085763A2 (en) * 2004-03-01 2005-09-15 Scientific Generics Limited Position sensor
CN100592036C (zh) * 2004-03-08 2010-02-24 微一埃普西龙测量技术有限两合公司 非接触式位移测量系统
DE102004041107A1 (de) * 2004-03-08 2005-10-06 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co Kg Berührungslos arbeitendes Wegmesssystem
US7135855B2 (en) * 2004-05-17 2006-11-14 David Scott Nyce Simplified inductive position sensor and circuit configuration
GB0513414D0 (en) * 2005-06-30 2005-08-03 Sensopad Ltd Sensing apparatus and method
EP1843063B1 (de) * 2006-04-06 2010-02-03 Magneti Marelli S.p.A. Aktuator mit berührungslosem Weggeber
US20080284554A1 (en) * 2007-05-14 2008-11-20 Thaddeus Schroeder Compact robust linear position sensor
KR101496654B1 (ko) * 2007-06-27 2015-02-27 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 리프트 능력 및 감소된 코깅 특성들을 가지는 전동기 고정자
US8283813B2 (en) * 2007-06-27 2012-10-09 Brooks Automation, Inc. Robot drive with magnetic spindle bearings
US9752615B2 (en) * 2007-06-27 2017-09-05 Brooks Automation, Inc. Reduced-complexity self-bearing brushless DC motor
US8823294B2 (en) * 2007-06-27 2014-09-02 Brooks Automation, Inc. Commutation of an electromagnetic propulsion and guidance system
WO2009003186A1 (en) 2007-06-27 2008-12-31 Brooks Automation, Inc. Multiple dimension position sensor
WO2009003187A1 (en) * 2007-06-27 2008-12-31 Brooks Automation, Inc. Sensor for position and gap measurement
US7834618B2 (en) 2007-06-27 2010-11-16 Brooks Automation, Inc. Position sensor system
KR20100056468A (ko) 2007-07-17 2010-05-27 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 챔버 벽들에 일체화된 모터들을 갖는 기판 처리 장치
EP2265901B1 (de) 2008-03-19 2016-06-08 Sagentia Limited Verarbeitungsschaltkreise
DE102009009085A1 (de) 2009-02-14 2010-08-19 Hella Kgaa Hueck & Co. Positionssensoreinrichtung
KR102160324B1 (ko) * 2013-02-01 2020-09-25 콘티넨탈 테베스 아게 운트 코. 오하게 감지 디바이스를 제조하기 위한 방법
DE102013203586A1 (de) * 2013-03-01 2014-09-04 Continental Teves Ag & Co. Ohg Sensor zum Erfassen einer Position eines Gebermagneten
EP3134711A1 (de) * 2014-04-21 2017-03-01 Nucleus Scientific, Inc. Induktive positionserfassung bei linearen stellgliedern
WO2017184994A1 (en) * 2016-04-22 2017-10-26 KSR IP Holdings, LLC Inductive sensor for shock absorber
CN109716630B (zh) 2016-09-13 2021-01-22 核科学股份有限公司 多连杆电传动系统
SE541400C2 (en) 2017-02-27 2019-09-17 Sem Ab Inductive position sensor with improved plunger core design
CN109855524A (zh) * 2019-04-11 2019-06-07 优利德科技(中国)股份有限公司 一种覆层测厚仪传感器

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3641429A (en) * 1969-12-24 1972-02-08 Massachusetts Inst Technology Position-measuring transducer comprising a stator and relatively movable flux-altering member
GB1485646A (en) * 1973-11-16 1977-09-14 Hitachi Ltd Digital displacement sensors
FR2523719B1 (fr) * 1982-03-17 1985-09-13 Merlin Gerin Detecteur de position d'un element mobile, notamment d'une barre de controle d'un reacteur nucleaire
US4639667A (en) * 1983-05-23 1987-01-27 Andresen Herman J Contactless controllers sensing displacement along two orthogonal directions by the overlap of a magnet and saturable cores
US4697144A (en) * 1984-04-19 1987-09-29 Verify Electronics Limited Position sensing apparatus
US4678991A (en) * 1985-11-18 1987-07-07 United Technologies Corporation Inductive displacement transducer with unipolar output
DE3610479A1 (de) * 1986-03-27 1987-10-01 Vacuumschmelze Gmbh Magnetischer wegsensor
DE3914787A1 (de) * 1989-05-05 1990-11-08 Hermann Michael Dipl Phys Induktiv arbeitender positionssensor
DE3933627A1 (de) * 1989-10-07 1990-09-27 Daimler Benz Ag Sensor mit einem beweglichen permanentmagnetsystem zur bestimmung einer bewegungsabhaengigen groesse

Cited By (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4429444A1 (de) * 1993-08-24 1995-03-02 A B Elektronik Gmbh Anordnung zur Erfassung von Meßpunkten sich relativ zueinander bewegender Teilelemente
EP0693673A3 (de) * 1994-07-21 1996-03-20 Vacuumschmelze Gmbh Magnetischer Wegsensor
DE19621886C2 (de) * 1996-05-31 2000-11-30 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Magnetische Positionsmeßeinrichtung
DE19805783A1 (de) * 1998-02-12 1999-09-16 Siemens Ag Anordnung zur zweidimensionalen, berührungslosen Positionsbestimmung eines Meßobjektes
DE19805783C2 (de) * 1998-02-12 2000-06-08 Siemens Ag Anordnung zur zweidimensionalen, berührungslosen Positionsbestimmung eines Meßobjektes
DE19806529A1 (de) * 1998-02-17 1999-08-19 Micro Epsilon Messtechnik Weg-Winkel-Sensor
EP0936385A3 (de) * 1998-02-17 2001-05-30 Micro-Epsilon Messtechnik GmbH & Co. KG Weg-Winkel-Sensor
DE19806529C2 (de) * 1998-02-17 2002-04-18 Micro Epsilon Messtechnik Weg-Winkel-Sensor
US6469501B1 (en) 1998-06-30 2002-10-22 3D Sensor Aps Conductive system for measuring the linear and angular positions of one object relative to another
US6605939B1 (en) 1999-09-08 2003-08-12 Siemens Vdo Automotive Corporation Inductive magnetic saturation displacement sensor
DE10044839B4 (de) * 1999-09-27 2004-04-15 Siemens Ag Induktiver Positionssensor
US6714004B2 (en) 2000-05-24 2004-03-30 Balluff Gmbh Inductive position measuring system
EP1354329A1 (de) * 2000-12-21 2003-10-22 ICT, Inc. Induktive joysticks
EP1354329A4 (de) * 2000-12-21 2007-01-24 Ict Inc Induktive joysticks
US6828780B2 (en) 2001-05-01 2004-12-07 Balluff Gmbh Position measuring system having an inductive element arranged on a flexible support
WO2008007193A3 (en) * 2006-07-07 2008-11-06 Magneti Marelli Powertrain Spa Acquisition system for detecting the angular position of a knob for the gas of a motorcycle
US8046151B2 (en) 2006-07-07 2011-10-25 MAGNETI MARELLI S.p.A. Integrated control system for an internal-combustion engine of a motorcycle provided with a gas knob and acquisition system for detecting the angular position of a knob for the gas of a motorcycle
WO2015124123A1 (de) * 2014-02-18 2015-08-27 Balluff Gmbh Positionsmessvorrichtung und verfahren zum betreiben der positionsmessvorrichtung
DE102014214439A1 (de) * 2014-07-23 2016-01-28 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Aktor-Sensor-Anordnung und Verfahren zur Anwendung bei einer solchen Anordnung
DE102018000422A1 (de) 2017-01-20 2018-07-26 Thomas Magnete Gmbh Magnetspule mit integriertem Sensor
DE102018000422B4 (de) 2017-01-20 2023-06-01 Thomas Magnete Gmbh Magnetspule mit integriertem Sensor

Also Published As

Publication number Publication date
DE4103603C2 (de) 2003-09-11
US5204621A (en) 1993-04-20

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