DE4018464A1 - Membran fuer eine hydraulisch angetriebene membranpumpe - Google Patents
Membran fuer eine hydraulisch angetriebene membranpumpeInfo
- Publication number
- DE4018464A1 DE4018464A1 DE4018464A DE4018464A DE4018464A1 DE 4018464 A1 DE4018464 A1 DE 4018464A1 DE 4018464 A DE4018464 A DE 4018464A DE 4018464 A DE4018464 A DE 4018464A DE 4018464 A1 DE4018464 A1 DE 4018464A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- membrane
- connecting surfaces
- membrane according
- diaphragm
- layers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
- F04B43/0009—Special features
- F04B43/0081—Special features systems, control, safety measures
- F04B43/009—Special features systems, control, safety measures leakage control; pump systems with two flexible members; between the actuating element and the pumped fluid
Description
Die Erfindung betrifft eine Membran für eine hydraulisch
angetriebene Membranpumpe gemäß dem Oberbegriff des An
spruchs 1.
Bei derartigen Membranpumpen, die aus Sicherheitsgründen
mit einer Membranbruchsignalisierung ausgestattet sind, ist
die Membran üblicherweise aus zwei oder mehr Einzellagen
aufgebaut, um im Fall eines Membranbruchs so schnell wie
möglich Kenntnis hierüber zu erhalten und durch Ergreifen
entsprechender Maßnahmen einen Austausch von Förder- und
Hydraulikflüssigkeit zu verhindern. Die schnelle Signali
sierung des Membranbruchs wird hierbei durch eine Verbin
dung von dem zwischen den Membraneinzellagen gebildeten
Membranzwischenraum zu einer Anzeigevorrichtung ermöglicht.
Um insbesondere im Saughub ein unerwünschtes Lösen der Ein
zellagen der Membran voneinander zu verhindern, ist es er
forderlich, die Einzellagen der Membran in geeigneter Weise
anzuordnen und miteinander zu koppeln. In diesem Zusammen
hang ist es bereits bekannt (DE-PS 7 10 320), die Membran
aus drei Einzellagen zu bilden, die lose aufeinander lie
gen. Dies hat jedoch den Nachteil, daß bei Saugbetrieb eine
mangelnde Betriebssicherheit gegeben ist, da sich die Ein
zellagen der Membran voneinander lösen können.
Zur Beseitigung dieses Nachteils ist es schon bekannt (DE-AS
12 26 740), den zwischen zwei Einzellagen der Membran
gebildeten Membranzwischenraum zu evakuieren. Diese Maß
nahme gewährleistet zwar eine gewisse Kopplung der Membran
lagen, insbesondere im Saugbetrieb. Jedoch ist der Nachteil
gegeben, daß ein großer apparativer Aufwand erforderlich
ist, weil u. a. eine Vakuumpumpe vorgesehen sein und prak
tisch ständig betrieben werden muß, um den Membranzwi
schenraum evakuiert zu halten und die Kopplung zu gewähr
leisten.
Der vorerwähnte Nachteil wird bei einer weiteren bekannten
Membrananordnung (DE-PS 18 00 018) wirkungsvoll dadurch
vermieden, daß der zwischen den Einzellagen der Membran ge
bildete Membranzwischenraum mit einem Hydraulikmedium ge
füllt ist, wobei der Membranzwischenraum nach außen durch
ein Rückschlagventil verschlossen ist, derart, daß das
Hydraulikmedium lediglich nach außen austreten kann. Hier
durch ergibt sich eine einwandfreie hydraulische Kopplung
der Membranlagen im Saughub, wobei gleichzeitig eine mecha
nische Kopplung im Druckhub vorliegt. Eine derartige Aus
bildung erfordert jedoch eine einwandfreie Befüllung des
Membranzwischenraums mit Hydraulikmedium. Außerdem kann bei
großer Ansaughöhe im Membranzwischenraum Gasbildung auftre
ten, was zum Leistungsabfall der Pumpe führt.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, die für
eine hydraulisch angetriebene Membranpumpe vorgesehene Mem
bran der gattungsgemäßen Art derart auszugestalten, daß mit
einfachen Mitteln sowohl im Druckhub als auch im Saughub
eine einwandfreie, zuverlässige Kopplung der Membranlagen
erzielt ist und gleichzeitig mit Sicherheit eine Rißbildung
in einer Membranlage sofort signalisiert werden kann.
Diese Aufgabe wird bei der erfindungsgemäß ausgestalteten
Membran mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Vorteil
hafte Ausgestaltungen hiervon sind in den weiteren Ansprü
chen beschrieben.
Der Membran gemäß der Erfindung liegt der Gedanke zugrunde,
die einzelnen Membranlagen zur rein mechanischen Kopplung
sowohl im Druckhub als auch im Saughub über eine Vielzahl
von Verbindungsflächen unter Bildung von dazwischenliegen
den Freiflächen bzw. Freiräumen miteinander zu verbinden.
Um dies praktisch zu erreichen, wäre zwar denkbar, die Mem
branlagen miteinander zu verkleben. Jedoch wäre die zwi
schen den Membranlagen angeordnete Klebschicht bei hohem
Druck großen Scherkräften unterworfen, was zu vorzeitigem
Ausfall der Verbindung führen würde.
Stattdessen sieht eine bevorzugte Ausführungsform der Er
findung vor, daß die Membranlagen aus Kunststoff, insbeson
dere aus Fluorkunststoff, bestehen und daß die Verbindungs
flächen durch Verschweißen der Membranlagen gebildet sind.
Derartige Fluorkunststoffe ermöglichen eine kompakte und
preisgünstige Pumpenbauform. Vorzugsweise gelangt als
Fluorkunststoff Polytetrafluoräthylen (PTFE) zum Einsatz,
das sich durch eine fast uneingeschränkte Beständigkeit ge
gen Medien sowie durch gute Flexibilität auszeichnet.
Reines PTFE läßt sich aufgrund seiner hohen Schmelzviskosi
tät zwar nur schwer verschweißen. Diesem Umstand läßt sich
jedoch wirkungsvoll dadurch begegnen, daß beispielsweise
als Material für die Membranlagen modifizierte PTFE-Sorten
verwendet werden, die aus der Verkaufsinformation VM423, S.
11, der Firma Hoechst AG, Frankfurt, bekannt sind und gute
Schweißeigenschaften aufweisen. Hierbei erfolgt der
Schweißvorgang bei etwa 360 bis 390°C.
Stattdessen ist es auch möglich, zwischen den Membranlagen
eine oder mehrere dünne Zwischenlagen aus Copolymeren mit
90 bis 99,5 Gew.-% PTFE und 0,5 bis 10 Gew.-% Perfluoral
kyl-perfluorvinyläther vorzusehen. Hierbei entsteht die
Schweißverbindung unter Druck und Temperatur, wobei die
Temperatur bei 360 bis 390°C liegt, d. h. oberhalb des
Schmelzpunktes von PTFE (325°C).
Mit derartigen Schweißverbindungen lassen sich Schweißfak
toren von bis zu 1,0 erreichen. Dies bedeutet, daß die
Festigkeit der die jeweilige Verbindungsfläche bildenden
Schweißstelle derjenigen des Grundwerkstoffes entspricht.
Es ist von Vorteil, wenn die Verbindungsflächen unter Bil
dung größtmöglicher Freiflächen bzw. Freiräume so klein wie
möglich ausgestaltet sind. Hierbei empfiehlt es sich
gleichzeitig, die Ausgestaltung derart zu treffen, daß die
Verbindungsflächen einen geringstmöglichen Abstand zwischen
sich aufweisen. Weiterhin ist es von Vorteil, wenn die Ver
bindungsflächen weitgehend gleichmä8ig verteilt sind.
Es liegt im Rahmen der Erfindung, die Verbindungsflächen
entweder als - radial verlaufende - Verbindungsstreifen
auszubilden oder als Verbindungspunkte auszugestalten. In
jedem Fall sind hierbei die einzelnen Verbindungsstellen
bzw. -flächen in ihrem Durchmesser so dimensioniert, daß
einerseits eine sichere Verbindung gebildet ist und daß an
dererseits Membranrisse, die innerhalb einer Schweißverbin
dungsstelle entstehen, sich auf den Bereich außerhalb der
Schweißverbindungsstelle ausbreiten, bevor ein durch alle
Schichten durchgehender Riß entsteht. Dadurch ist eine ein
wandfreie Membranbruchsignalisierung gewährleistet.
Im Fall der Ausbildung der Verbindungsstellen als Schweiß
punkte lassen sich gute Ergebnisse erzielen, wenn die
Schweißpunkte einen Durchmesser von 3 bis 5 mm aufweisen.
Der Abstand zwischen den Verbindungspunkten, der vorzugs
weise ein geringstmögliches Ausmaß aufweist, soll so ge
wählt sein, daß die Membranlagen zwischen den Verbindungs
punkten während des Saugvorganges nicht nennenswert vonein
ander abheben, da sich bei zu großem Abstand mit zunehmen
der Saughöhe die Förderleistung der Pumpe vermindern würde.
Es hat sich gezeigt, daß ein günstiger Abstand zwischen den
Schweißverbindungspunkten beispielsweise im Bereich von
etwa 10 bis 15 mm liegt.
Weitere Vorteile ergeben sich, wenn bei der erfindungsgemäß
ausgestalteten Membran, die üblicherweise eine randseitige
Einspannzone, eine die Förderung aktiv bewirkende Auslenk
zone und eine Biege- oder Übergangszone zwischen Einspann
zone und Auslenkzone aufweist, die Verbindungsflächen aus
schließlich in der Auslenkzone angeordnet sind, derart, daß
die Auslenkzone der Membran randseitig einen verbindungs
freien umlaufenden Bereich, beispielsweise von 5 bis 10 mm
Breite, aufweist.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung können
die äußeren Membranlagen unter Anordnung einer Zwischenlage
mechanisch miteinander verbunden sein. Hierbei ist die An
ordnung entweder derart getroffen, daß die Zwischenlage aus
einem Trenngewebe oder einem Trennvlies besteht, bei dem
die jeweils vorgesehenen Zwischenräume zusammen mit den
Freiräumen zwischen den Membranlagen den mit der Anzei
gevorrichtung in Verbindung stehenden Membranzwischenraum
bilden. Stattdessen ist es auch möglich, als Zwischenlage
eine solche zu verwenden, die aus dem Werkstoff der äußeren
Membranlagen besteht und mit Schlitzen versehen ist. Hier
bei bilden dann die Schlitze zusammen mit den Freiräumen
zwischen den Membranlagen den Membranzwischenraum.
In jedem Fall wird aufgrund der Membran gemäß der Erfindung
eine einfache Handhabung bei der Membranmontage sowie beim
Membranwechsel erzielt, da die Membran als Verbundteil in
der Handhabung sehr einfach ist und keinerlei gesonderten
Aufwand zu ihrer Inbetriebnahme erfordert. Die zwischen den
Membranlagen vorgesehene rein mechanische Kopplung funktio
niert im Saughub auf Dauer störungsfrei, und zwar unabhän
gig von den jeweiligen Betriebsparametern. Hierbei haben
hohe Betriebstemperaturen, z. B. 150°C, und hohe Drücke,
z. B. 350 bar, auf die erfindungsgemäß vorgesehene Verbin
dung keinerlei Einfluß. Schließlich ist auch zwischen den
einzelnen Membranlagen jegliche Relativbewegung unterbun
den, so daß somit kein Reibverschleiß auftritt.
Die Erfindung wird im folgenden anhand der Zeichnung näher
erläutert. Hierbei zeigen:
Fig. 1 im Querschnitt eine mit der erfindungsgemäßen
Membran ausgestattete, hydraulisch angetriebene
Membranpumpe;
Fig. 2 die Membran gemäß der Erfindung schematisch in
Draufsicht sowie
Fig. 3 im Querschnitt;
Fig. 4 im Querschnitt das randseitige Detail der Membran
gemäß Fig. 3 in vergrößertem Maßstab;
Fig. 5 eine abgewandelte Ausführungsform der Membran in
teilweise geschnittener Draufsicht und
Fig. 6 im Querschnitt;
Fig. 7 eine weitere abgewandelte Ausführungsform der
Membran mit als Verbindungsstreifen ausgestalte
ten Verbindungsflächen schematisch in Draufsicht
und
Fig. 8 im Querschnitt sowie
Fig. 9 im Querschnitt eine weitere abgewandelte Ausfüh
rungsform der Membran.
Wie aus Fig. 1 ersichtlich, weist die dargestellte hydrau
lisch angetriebene Membranpumpe eine noch näher zu be
schreibende Membran 1 auf. Diese ist mit einer randseitigen
Einspannzone A versehen, an der sie zwischen einem Pumpen
gehäuse 2 sowie einem hieran stirnseitig lösbar festgeleg
ten Pumpendeckel 3 eingespannt ist. Die Membran 1 trennt
einen Förderraum 4 von einem mit Hydraulikflüssigkeit ge
füllten Druckraum 5. Letzterer steht über mehrere gehäuse
seitige axiale Bohrungen 6 mit einem Hydraulikraum 7 in
Verbindung. Die dargestellte Membranpumpe weist einen
hydraulischen Membranantrieb in Form eines oszillierenden
Verdrängerkolbens 8 auf, der im Pumpengehäuse 2 abgedichtet
zwischen dem Hydraulikraum 7 und einem Vorratsraum 9 für
die Hydraulikflüssigkeit verschiebbar ist.
Wie ersichtlich, wird der Druckraum 5 einerseits durch die
Membran 1 sowie andererseits durch eine hintere kolbensei
tige Kalotte 10 begrenzt. Die Membran 1 liegt dieser hinte
ren Begrenzungskalotte 10 am Ende des Saughubes an.
Der Pumpendeckel 3, in dem auch eine vordere Begrenzungska
lotte 11 gebildet ist, weist in der üblichen Weise ein Ein
laßventil 12 sowie ein Auslaßventil 13 auf. Diese beiden
Ventile 12, 13 stehen über einen Einlaßkanal 14 sowie einen
Auslaßkanal 15 derart mit dem Förderraum 4 in Verbindung,
daß das Fördermedium bei dem nach rechts gemäß Fig. 1 er
folgenden Saughub des Verdrängerkolbens 8 und damit der
Membran 1 in Pfeilrichtung über das Einlaßventil 12 und den
Einlaßkanal 14 in den Förderraum 4 angesaugt wird. Bei dem
nach links gemäß Fig. 1 erfolgenden Druckhub der Membran 1
wird dann das Fördermedium über den Auslaßkanal 15 und das
Auslaßventil 13 in Pfeilrichtung dosiert aus dem Förderraum
4 herausgedrückt.
Um am Ende des Saughubs eine Überlastung der Membran 1 so
wie das Auftreten von Kavitation zu verhindern, ist im Pum
pengehäuse 2 ein übliches federbelastetes Schnüffelventil
16 vorgesehen, das über Kanäle 17, 18 mit einer der axialen
Bohrungen 6 bzw. mit dem Vorratsraum 9 in Verbindung steht
und somit - einstellbar - bei einer zu großen Saughubwir
kung des Verdrängerkolbens 8 die Verbindung zwischen dem
Vorratsraum 9 und dem Druckraum 5 bzw. dem Hydraulikraum 7
öffnet.
Die Membran 1 ist beim dargestellten Ausführungsbeispiel
als Zweilagenmembran mit zwei Einzellagen 20, 21 ausgestal
tet, zwischen denen ein Membranzwischenraum 19 gebildet
ist. Dieser Membranzwischenraum 19 dient im Fall eines
Bruchs einer der Membranlagen 20, 21 zur schnellen Membran
bruchsignalisierung, und zwar mittels einer entsprechenden
Anzeigevorrichtung 22, die mit dem Membranzwischenraum 19
in Verbindung steht. Zu diesem Zweck sind die einzelnen
Membranlagen 20, 21 in ihrer randseitigen Einspannzone A
durch einen Ring 23 auf Abstand gehalten, wie gleichfalls
deutlich aus Fig. 4 ersichtlich. Dieser Ring 23 ist mit ei
nem oder mehreren Kanälen 24 versehen, welche die Verbin
dung zwischen dem Membranzwischenraum 19 und dem Innern der
Membranbruchanzeigevorrichtung 22 herstellen.
Diese Anzeigevorrichtung 22 ist beim dargestellten Ausfüh
rungsbeispiel als Membrandruckschalter ausgebildet, der an
spricht, sobald sich beim Bruch einer der Membranlagen 20,
21 der Flüssigkeitsdruck - entweder vom Förderraum 4 oder
vom Druckraum 5 - in den Membranzwischenraum 19 und von da
aus zum Membrandruckschalter 22 fortpflanzt. Durch eine
entsprechend angeschlossene akustische Anzeige 25 und/oder
eine optische Anzeige 26 kann dann der Membranbruch fernge
meldet werden.
Wie im einzelnen aus Fig. 2-4 ersichtlich, sind die Ein
zellagen 20, 21 der Membran 1 über eine Vielzahl von Ver
bindungsflächen in Form von Verbindungspunkten 27 unter
Bildung von dazwischenliegenden Freiflächen bzw. Freiräumen
miteinander verbunden, derart, daß sowohl im Druckhub als
auch im Saughub der Membran 1 eine rein mechanische Kopp
lung vorliegt. Diese Verbindungspunkte sind in der schon
erwähnten Weise durch Verschweißen der Membranlagen 20, 21
gebildet, wobei die Membran zu diesem Zweck aus geeignetem
Fluorkunststoff in der ebenfalls bereits beschriebenen
Weise besteht. Die Verbindungspunkte 27 sind in einem von
der randseitigen Einspannzone A umgebenen Membranbereich
angeordnet, der die aktive Auslenkzone B der Membran 1 dar
stellt und mittels einer Biege- oder Übergangszone C mit
der Einspannzone A verbunden ist. Da diese Übergangszone C
durch die Membranbewegung am stärksten belastet ist, ist
dieser Bereich vorteilhafterweise überhaupt nicht durch
Verbindungspunkte 27 beeinträchtigt. Stattdessen weisen die
jeweils am weitest außen liegenden Verbindungspunkte 27,
wie aus Fig. 2 ersichtlich, einen gewissen Mindestabstand,
beispielsweise 5-10 mm, zur Übergangszone C auf.
Die Verbindungspunkte 27 weisen einen Durchmesser von bei
spielsweise 3-5 mm auf, sind weitgehend gleichmäßig ver
teilt und besitzen einen geringstmöglichen Abstand zwischen
sich, beispielsweise 10-15 mm, wobei gleichzeitig aber
gewährleistet sein muß, daß die zwischen den Verbindungs
punkten 27 gebildeten Freiräume den Membranzwischenraum 19
bilden.
Bei der aus Fig. 5 und 6 ersichtlichen abgewandelten Aus
führungsform der Membran 1 sind die äußeren Membranlagen
20, 21 unter Anordnung einer Zwischenlage 28 mittels der
Verbindungspunkte 27 mechanisch miteinander verbunden. Bei
dieser Ausführungsform, die sich insbesondere für Nieder
druckanwendungen der Membranpumpe eignet, ist die Zwischen
lage 28 aus dem Werkstoff der Membranlagen 20, 21 herge
stellt und mit Schlitzen 29 versehen, die beispielsweise in
der aus Fig. 5 ersichtlichen Weise verlaufen. Diese
Schlitze 29 weisen eine mindestens der Breite der Einspann
zone A entsprechende Länge auf. Es bilden somit die in der
Zwischenlage 28 vorgesehenen Schlitze 29 zusammen mit den
zwischen den Verbindungspunkten 27 gebildeten Freiräumen
Kanäle, welche die Verbindung von der aktiven Auslenkzone B
durch die Einspannzone A nach außen, z. B. zur Mem
branbruchanzeigevorrichtung 22, herstellen.
Bei dieser Ausführungsform kann der Sandwichaufbau der Mem
bran 1 in größeren Abmessungen als Halbzeug hergestellt
bzw. erreicht werden. Die einzelnen Membranlagen 20, 21 so
wie auch die Zwischenlage 28 lassen sich durch einfaches
Ausstanzen fertigen, so daß insgesamt eine einfache Her
stellung gewährleistet ist.
Bei der weiterhin abgewandelten Ausführungsform gemäß Fig.
7 und 8 sind die Verbindungsflächen nicht in Form von Ver
bindungspunkten, sondern als Verbindungsstreifen 30 ausge
staltet, die in der dargestellten Weise radial verlaufen
und ebenfalls sowohl im Druckhub als auch im Saughub der
Membran 1 eine rein mechanische Kopplung der Membranlagen
20, 21 bewirken.
Wie schließlich aus der weiterhin abgewandelten Ausfüh
rungsform gemäß Fig. 9 ersichtlich, sind hier die beiden
Membranlagen 20, 21 der Membran 1 ebenfalls durch eine Zwi
schenlage 31 auf Abstand gehalten. Diese Zwischenlage 31
besteht aus einem Trenngewebe oder einem Trennvlies, das
mit seinen Zwischenräumen ein Kanalsystem zwischen den Mem
branlagen 20, 21 bildet. Bei einem Membranbruch kann sich
der Flüssigkeitsdruck äußerst schnell in Richtung der Mem
branbruchanzeigevorrichtung 22 fortpflanzen, so daß auch
der Membranbruch schnellstmöglich angezeigt wird. Wie dar
gestellt, sind die Membranlagen 20, 21 über Verbindungs
punkte 27 - ähnlich wie bei den Ausführungsformen gemäß
Fig. 2 oder 5 - miteinander verbunden.
Claims (11)
1. Membran für eine hydraulisch angetriebene Membran
pumpe, die mit einer Vorrichtung zur Anzeige eines Membran
bruchs versehen ist, wobei die randseitig zwischen Pumpen
gehäuse und Pumpendeckel eingespannte Membran aus wenig
stens zwei Einzellagen besteht, zwischen denen ein Mem
branzwischenraum gebildet ist, der mit der Anzeigevorrich
tung in Verbindung steht,
dadurch gekennzeichnet, daß die ein
zelnen Membranlagen (20, 21) zur rein mechanischen Kopplung
sowohl im Druckhub als auch im Saughub über eine Vielzahl
von Verbindungsflächen (27, 30) unter Bildung von
dazwischenliegenden Freiflächen bzw. Freiräumen miteinander
verbunden sind.
2. Membran nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Membranlagen (20, 21) aus Kunststoff, insbesondere aus
Fluorkunststoff, bestehen und daß die Verbindungsflächen
(27, 30) durch Verschweißen der Membranlagen (20, 21) gebil
det sind.
3. Membran nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich
net, daß die Verbindungsflächen (27, 30) unter Bildung
größtmöglicher Freiflächen bzw. Freiräume so klein wie mög
lich ausgestaltet sind.
4. Membran nach einem der Ansprüche 1-3, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Verbindungsflächen (27, 30) einen ge
ringstmöglichen Abstand zwischen sich aufweisen.
5. Membran nach einem der Ansprüche 1-4, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Verbindungsflächen (27, 30) weitgehend
gleichmäßig verteilt sind.
6. Membran nach einem der Ansprüche 1-5, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Verbindungsflächen als Verbindungs
punkte (27) ausgebildet sind.
7. Membran nach einem der Ansprüche 1-5, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Verbindungsflächen als Verbindungs
streifen (30) ausgebildet sind, die radial verlaufen.
8. Membran nach einem der Ansprüche 1-7, die eine
randseitige Einspannzone (A), eine die Förderung aktiv
bewirkende Auslenkzone (B) und eine Übergangszone (C) zwi
schen Einspannzone und Auslenkzone aufweist,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Verbindungsflächen (27, 30) ausschließlich in der
Auslenkzone (B) angeordnet sind, derart, daß die Auslenk
zone (B) der Membran (1) randseitig einen verbindungsfreien
umlaufenden Bereich, beispielsweise von 5-10 mm Breite,
aufweist.
9. Membran nach einem der Ansprüche 1-8, dadurch ge
kennzeichnet, daß die äußeren Membranlagen (20, 21) unter
Anordnung einer Zwischenlage (28, 31) mechanisch miteinander
gekoppelt sind.
10. Membran nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet,
daß die Zwischenlage (28) aus dem Werkstoff der äußeren
Membranlagen (20, 21) besteht und mit Schlitzen (29) verse
hen ist, die zusammen mit den Freiräumen zwischen den
Membranlagen (20, 21) den mit der Anzeigevorrichtung (22) in
Verbindung stehenden Membranzwischenraum bilden.
11. Membran nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet,
daß die Zwischenlage (31) aus einem Trenngewebe oder einem
Trennvlies besteht.
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4018464A DE4018464A1 (de) | 1990-06-08 | 1990-06-08 | Membran fuer eine hydraulisch angetriebene membranpumpe |
DE91105990T DE59100601D1 (de) | 1990-06-08 | 1991-04-15 | Membran für eine hydraulisch angetriebene Membranpumpe. |
EP91105990A EP0460386B1 (de) | 1990-06-08 | 1991-04-15 | Membran für eine hydraulisch angetriebene Membranpumpe |
US07/709,648 US5188515A (en) | 1990-06-08 | 1991-06-03 | Diaphragm for an hydraulically driven diaphragm pump |
JP3134660A JPH04252880A (ja) | 1990-06-08 | 1991-06-06 | 油圧駆動式ダイヤフラムポンプ用のダイヤフラム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4018464A DE4018464A1 (de) | 1990-06-08 | 1990-06-08 | Membran fuer eine hydraulisch angetriebene membranpumpe |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4018464A1 true DE4018464A1 (de) | 1991-12-12 |
Family
ID=6408081
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4018464A Withdrawn DE4018464A1 (de) | 1990-06-08 | 1990-06-08 | Membran fuer eine hydraulisch angetriebene membranpumpe |
DE91105990T Expired - Fee Related DE59100601D1 (de) | 1990-06-08 | 1991-04-15 | Membran für eine hydraulisch angetriebene Membranpumpe. |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE91105990T Expired - Fee Related DE59100601D1 (de) | 1990-06-08 | 1991-04-15 | Membran für eine hydraulisch angetriebene Membranpumpe. |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5188515A (de) |
EP (1) | EP0460386B1 (de) |
JP (1) | JPH04252880A (de) |
DE (2) | DE4018464A1 (de) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5810567A (en) * | 1993-08-19 | 1998-09-22 | Lewa Herbert Ott Gmbh & Co. | Hydraulic Diaphragm pump |
US5899671A (en) * | 1993-08-19 | 1999-05-04 | Lewa Herbert Ott Gmbh & Co. | Hydraulic driven diaphragm pump with mechanical diaphragm stroke limitation |
DE102006044255B3 (de) * | 2006-09-16 | 2008-03-27 | Thomas Magnete Gmbh | Membranpumpe zur Förderung und Dosierung eines Fluids |
DE102006044253B3 (de) * | 2006-09-16 | 2008-03-27 | Thomas Magnete Gmbh | Membran und Pumpenkopf für eine hydraulisch angetriebene Membranpumpe |
DE102016111987A1 (de) * | 2016-06-30 | 2018-01-04 | Prominent Gmbh | Membranaufbau mit Trennschnitten |
Families Citing this family (66)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5476368A (en) * | 1992-08-20 | 1995-12-19 | Ryder International Corporation | Sterile fluid pump diaphragm construction |
TW539918B (en) | 1997-05-27 | 2003-07-01 | Tokyo Electron Ltd | Removal of photoresist and photoresist residue from semiconductors using supercritical carbon dioxide process |
US6145430A (en) * | 1998-06-30 | 2000-11-14 | Ingersoll-Rand Company | Selectively bonded pump diaphragm |
US6190136B1 (en) | 1999-08-30 | 2001-02-20 | Ingersoll-Rand Company | Diaphragm failure sensing apparatus and diaphragm pumps incorporating same |
CA2387373A1 (en) * | 1999-11-02 | 2001-06-28 | Tokyo Electron Limited | Method and apparatus for supercritical processing of a workpiece |
US6748960B1 (en) | 1999-11-02 | 2004-06-15 | Tokyo Electron Limited | Apparatus for supercritical processing of multiple workpieces |
DE10012904B4 (de) * | 2000-03-16 | 2004-08-12 | Lewa Herbert Ott Gmbh + Co | Membraneinspannung mit Elastizitätsausgleich |
US6561774B2 (en) * | 2000-06-02 | 2003-05-13 | Tokyo Electron Limited | Dual diaphragm pump |
AU2001290171A1 (en) * | 2000-07-26 | 2002-02-05 | Tokyo Electron Limited | High pressure processing chamber for semiconductor substrate |
US20040040660A1 (en) * | 2001-10-03 | 2004-03-04 | Biberger Maximilian Albert | High pressure processing chamber for multiple semiconductor substrates |
US7001468B1 (en) | 2002-02-15 | 2006-02-21 | Tokyo Electron Limited | Pressure energized pressure vessel opening and closing device and method of providing therefor |
JP2005517884A (ja) * | 2002-02-15 | 2005-06-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 圧力強化ダイヤフラム弁 |
US7387868B2 (en) | 2002-03-04 | 2008-06-17 | Tokyo Electron Limited | Treatment of a dielectric layer using supercritical CO2 |
DE10233561B4 (de) * | 2002-07-24 | 2008-02-21 | Prominent Dosiertechnik Gmbh | Sicherheitsmembran für eine Membranpumpe |
US7021635B2 (en) * | 2003-02-06 | 2006-04-04 | Tokyo Electron Limited | Vacuum chuck utilizing sintered material and method of providing thereof |
US7225820B2 (en) * | 2003-02-10 | 2007-06-05 | Tokyo Electron Limited | High-pressure processing chamber for a semiconductor wafer |
US7077917B2 (en) * | 2003-02-10 | 2006-07-18 | Tokyo Electric Limited | High-pressure processing chamber for a semiconductor wafer |
US7270137B2 (en) | 2003-04-28 | 2007-09-18 | Tokyo Electron Limited | Apparatus and method of securing a workpiece during high-pressure processing |
DE10323059A1 (de) * | 2003-05-20 | 2004-12-09 | Prominent Dosiertechnik Gmbh | Sensormembran |
US7163380B2 (en) | 2003-07-29 | 2007-01-16 | Tokyo Electron Limited | Control of fluid flow in the processing of an object with a fluid |
US20050034660A1 (en) * | 2003-08-11 | 2005-02-17 | Supercritical Systems, Inc. | Alignment means for chamber closure to reduce wear on surfaces |
US20050035514A1 (en) * | 2003-08-11 | 2005-02-17 | Supercritical Systems, Inc. | Vacuum chuck apparatus and method for holding a wafer during high pressure processing |
US20050067002A1 (en) * | 2003-09-25 | 2005-03-31 | Supercritical Systems, Inc. | Processing chamber including a circulation loop integrally formed in a chamber housing |
US7186093B2 (en) * | 2004-10-05 | 2007-03-06 | Tokyo Electron Limited | Method and apparatus for cooling motor bearings of a high pressure pump |
US7250374B2 (en) * | 2004-06-30 | 2007-07-31 | Tokyo Electron Limited | System and method for processing a substrate using supercritical carbon dioxide processing |
US7307019B2 (en) * | 2004-09-29 | 2007-12-11 | Tokyo Electron Limited | Method for supercritical carbon dioxide processing of fluoro-carbon films |
US20060065189A1 (en) * | 2004-09-30 | 2006-03-30 | Darko Babic | Method and system for homogenization of supercritical fluid in a high pressure processing system |
US20060065288A1 (en) * | 2004-09-30 | 2006-03-30 | Darko Babic | Supercritical fluid processing system having a coating on internal members and a method of using |
US7491036B2 (en) * | 2004-11-12 | 2009-02-17 | Tokyo Electron Limited | Method and system for cooling a pump |
US20060102590A1 (en) * | 2004-11-12 | 2006-05-18 | Tokyo Electron Limited | Method for treating a substrate with a high pressure fluid using a preoxide-based process chemistry |
US20060102208A1 (en) * | 2004-11-12 | 2006-05-18 | Tokyo Electron Limited | System for removing a residue from a substrate using supercritical carbon dioxide processing |
US20060102591A1 (en) * | 2004-11-12 | 2006-05-18 | Tokyo Electron Limited | Method and system for treating a substrate using a supercritical fluid |
US20060130966A1 (en) * | 2004-12-20 | 2006-06-22 | Darko Babic | Method and system for flowing a supercritical fluid in a high pressure processing system |
US20060135047A1 (en) * | 2004-12-22 | 2006-06-22 | Alexei Sheydayi | Method and apparatus for clamping a substrate in a high pressure processing system |
US7434590B2 (en) * | 2004-12-22 | 2008-10-14 | Tokyo Electron Limited | Method and apparatus for clamping a substrate in a high pressure processing system |
US20060134332A1 (en) * | 2004-12-22 | 2006-06-22 | Darko Babic | Precompressed coating of internal members in a supercritical fluid processing system |
US7140393B2 (en) * | 2004-12-22 | 2006-11-28 | Tokyo Electron Limited | Non-contact shuttle valve for flow diversion in high pressure systems |
US20060180174A1 (en) * | 2005-02-15 | 2006-08-17 | Tokyo Electron Limited | Method and system for treating a substrate with a high pressure fluid using a peroxide-based process chemistry in conjunction with an initiator |
US7435447B2 (en) * | 2005-02-15 | 2008-10-14 | Tokyo Electron Limited | Method and system for determining flow conditions in a high pressure processing system |
US7291565B2 (en) * | 2005-02-15 | 2007-11-06 | Tokyo Electron Limited | Method and system for treating a substrate with a high pressure fluid using fluorosilicic acid |
US20060180572A1 (en) * | 2005-02-15 | 2006-08-17 | Tokyo Electron Limited | Removal of post etch residue for a substrate with open metal surfaces |
US7380984B2 (en) * | 2005-03-28 | 2008-06-03 | Tokyo Electron Limited | Process flow thermocouple |
US7767145B2 (en) | 2005-03-28 | 2010-08-03 | Toyko Electron Limited | High pressure fourier transform infrared cell |
US7255175B2 (en) * | 2005-03-28 | 2007-08-14 | J&J Technical Services, L.L.C. | Fluid recovery system and method |
US20060225772A1 (en) * | 2005-03-29 | 2006-10-12 | Jones William D | Controlled pressure differential in a high-pressure processing chamber |
US20060226117A1 (en) * | 2005-03-29 | 2006-10-12 | Bertram Ronald T | Phase change based heating element system and method |
US7494107B2 (en) | 2005-03-30 | 2009-02-24 | Supercritical Systems, Inc. | Gate valve for plus-atmospheric pressure semiconductor process vessels |
US20060255012A1 (en) * | 2005-05-10 | 2006-11-16 | Gunilla Jacobson | Removal of particles from substrate surfaces using supercritical processing |
US7789971B2 (en) * | 2005-05-13 | 2010-09-07 | Tokyo Electron Limited | Treatment of substrate using functionalizing agent in supercritical carbon dioxide |
US7524383B2 (en) * | 2005-05-25 | 2009-04-28 | Tokyo Electron Limited | Method and system for passivating a processing chamber |
US20070012337A1 (en) * | 2005-07-15 | 2007-01-18 | Tokyo Electron Limited | In-line metrology for supercritical fluid processing |
WO2008031418A2 (de) * | 2006-09-16 | 2008-03-20 | Thomas Magnete Gmbh | Membranpumpe |
DE102008053050A1 (de) * | 2008-10-24 | 2010-04-29 | Prominent Dosiertechnik Gmbh | Membranbruchanzeige |
SE0900233A1 (sv) * | 2009-02-24 | 2010-08-25 | Tetra Laval Holdings & Finance | Membranpumphuvud för en homogenisator |
FR2966525B1 (fr) | 2010-10-22 | 2012-11-16 | Milton Roy Europe | Pompe a membrane a forte capacite d'aspiration |
US8596648B2 (en) | 2010-10-22 | 2013-12-03 | Oshkosh Corporation | Pump for vehicle suspension system |
FR2985791B1 (fr) * | 2012-01-17 | 2014-03-07 | Milton Roy Europe | Dispositif de detection de rupture d'une membrane d'une pompe a actionnement hydraulique, procede de montage d'un tel dispositif sur une pompe, et pompe equipee d'un tel dispositif |
CN103671042A (zh) * | 2013-12-27 | 2014-03-26 | 胜瑞兰工业设备(苏州)有限公司 | 延长隔膜疲劳寿命的计量泵用双层隔膜装置 |
DE102014109801A1 (de) * | 2014-07-11 | 2016-01-14 | Prominent Gmbh | Membranpumpe mit reduzierter Leckageergänzung im Überlastfall |
DE102015009850A1 (de) * | 2015-07-30 | 2017-02-02 | Linde Aktiengesellschaft | Vorrichtung zur Druckerhöhung eines Fluids, insbesondere in Form eines Druckgasflaschenventils |
DE102015009847A1 (de) * | 2015-07-30 | 2017-02-02 | Linde Aktiengesellschaft | Vorrichtung zur Druckerhöhung eines Fluids mit einem Druckbegrenzungsventil |
AU2017248349B2 (en) | 2016-04-08 | 2021-11-11 | Oshkosh Corporation | Leveling system for lift device |
DE102016216006A1 (de) * | 2016-08-25 | 2018-03-01 | Siemens Aktiengesellschaft | Doppelmembran für eine Staubpumpe |
DE102017008774B4 (de) * | 2017-09-19 | 2019-05-16 | Woodward L'orange Gmbh | Pumpe |
JP7297423B2 (ja) * | 2017-11-30 | 2023-06-26 | キヤノン株式会社 | 吐出材吐出装置およびインプリント装置 |
KR102312743B1 (ko) | 2017-11-30 | 2021-10-18 | 캐논 가부시끼가이샤 | 토출재 토출 장치 및 임프린트 장치 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE710320C (de) * | 1939-02-26 | 1941-09-10 | Henri Corblin | Membranverdichter |
DE943739C (de) * | 1953-10-28 | 1956-06-01 | Josef Emmerich | Membrane fuer Pumpen, Ventile oder Schaltgeraete sowie Verfahren zum Betrieb derartiger Vorrichtungen |
US4781535A (en) * | 1987-11-13 | 1988-11-01 | Pulsafeeder, Inc. | Apparatus and method for sensing diaphragm failures in reciprocating pumps |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR1552305A (de) * | 1967-12-15 | 1969-01-03 |
-
1990
- 1990-06-08 DE DE4018464A patent/DE4018464A1/de not_active Withdrawn
-
1991
- 1991-04-15 DE DE91105990T patent/DE59100601D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-04-15 EP EP91105990A patent/EP0460386B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1991-06-03 US US07/709,648 patent/US5188515A/en not_active Expired - Fee Related
- 1991-06-06 JP JP3134660A patent/JPH04252880A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE710320C (de) * | 1939-02-26 | 1941-09-10 | Henri Corblin | Membranverdichter |
DE943739C (de) * | 1953-10-28 | 1956-06-01 | Josef Emmerich | Membrane fuer Pumpen, Ventile oder Schaltgeraete sowie Verfahren zum Betrieb derartiger Vorrichtungen |
US4781535A (en) * | 1987-11-13 | 1988-11-01 | Pulsafeeder, Inc. | Apparatus and method for sensing diaphragm failures in reciprocating pumps |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5810567A (en) * | 1993-08-19 | 1998-09-22 | Lewa Herbert Ott Gmbh & Co. | Hydraulic Diaphragm pump |
US5899671A (en) * | 1993-08-19 | 1999-05-04 | Lewa Herbert Ott Gmbh & Co. | Hydraulic driven diaphragm pump with mechanical diaphragm stroke limitation |
DE102006044255B3 (de) * | 2006-09-16 | 2008-03-27 | Thomas Magnete Gmbh | Membranpumpe zur Förderung und Dosierung eines Fluids |
DE102006044253B3 (de) * | 2006-09-16 | 2008-03-27 | Thomas Magnete Gmbh | Membran und Pumpenkopf für eine hydraulisch angetriebene Membranpumpe |
DE102016111987A1 (de) * | 2016-06-30 | 2018-01-04 | Prominent Gmbh | Membranaufbau mit Trennschnitten |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0460386B1 (de) | 1993-11-18 |
US5188515A (en) | 1993-02-23 |
EP0460386A1 (de) | 1991-12-11 |
DE59100601D1 (de) | 1993-12-23 |
JPH04252880A (ja) | 1992-09-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0460386B1 (de) | Membran für eine hydraulisch angetriebene Membranpumpe | |
EP0418644B1 (de) | Membranpumpe mit mechanisch angetriebener Membran | |
DE1800018C3 (de) | Hydraulische Membranpumpe | |
DE4412668C2 (de) | Pumpe | |
EP0188730B1 (de) | Membranpumpe mit hydraulisch angetriebener Rollmembran | |
AT506811B1 (de) | Druckpackung aus verdrehgesicherten packungsringen mit spritzgegossenen segmenten | |
EP0057288A1 (de) | Zweizylinder-Dickstoffpumpe, vorzugsweise Betonpumpe mit einem von einer zylinderseitigen Brillenplatte abwechselnd schwenkenden Schaltorgan | |
EP0641936B1 (de) | Hydraulisch angetriebene Membranpumpe | |
EP0175105A1 (de) | Membranpumpe, insbesondere zum Dosieren von Flüssigkeiten | |
EP2929211B1 (de) | Stossdämpfer für ein fahrzeug mit einem flansch zur verbindung eines externen modulrohres | |
EP0226712A1 (de) | Bremszylinder | |
DE2719067A1 (de) | Spritzeinheit fuer spritzgiessmaschinen | |
DE2757892B2 (de) | Federmembrane | |
EP1384891B1 (de) | Sicherheitsmembran für eine Membranpumpe | |
DE3334638A1 (de) | Vorrichtung zum anzeigen des bruchs einer membran | |
EP0641935B1 (de) | Hydraulisch angetriebene Membranpumpe mit mechanischer Membranhubbegrenzung | |
DE2851324C2 (de) | Als Zweikreissystem ausgebildete hydraulische Achsausgleichsvorrichtung | |
DE3146222C2 (de) | Membranpumpe mit einer Membranbruchanzeigevorrichtung | |
EP0374498B1 (de) | Spritz- oder Presswerkzeug | |
DE3523164C1 (de) | Hydraulische Presse, insbes. für die Herstellung von Preßteilen aus faserverstärktem Kunststoff | |
DE1601695C (de) | Druckmittelbetätigter Antriebszylinder | |
DE1935253B2 (de) | Hydraulisch betriebener vibrationsantrieb | |
DE2111480B2 (de) | Hubkolbenbrennkraftmaschine | |
DE1921081A1 (de) | Zahnradpumpe | |
DE819545C (de) | Fluessigkeitsfilter |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8130 | Withdrawal |