DE3939148C2 - - Google Patents

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    • G01J3/30Measuring the intensity of spectral lines directly on the spectrum itself
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    • G01J3/02Details
    • G01J3/0294Multi-channel spectroscopy

Description

Die Erfindung betrifft ein Zweistrahl-Spektrometer entsprechend dem Oberbegriff des Patentanspruchs.
Für solche Spektrometer wurden bisher Dual-Photodiodenzeilen und übereinanderstehende Eintrittsspalten verwendet.
Diese Dual-Photodiodenzeilen sind sehr teuer. Außerdem ist für eine solche Meßanordnung ein stigmatisches Gitter erforderlich. Die Strahleinkopplung ist daher praktisch nur mit Lichtleitern realisierbar oder erfordert aufwendige Optiken zur Strahltrennung.
Ein Zweistrahl-Spektrometer der eingangs genannten Art ist aus der US 44 58 323 bekannt.
Mit diesem Spektrometer werden Messungen der Probe und des Referenzstandards sowie Dunkelmessungen nacheinander ausgeführt. Eine gleichzeitige Messung an Probe und Referenzstandard ist nicht möglich.
Ferner ist aus der US 46 69 873 ein Spektrometer mit konkavem Gitter und Photodiodenarray bekannt. Bei diesem Spektrometer werden drei Lichtleiterbündel auf drei eng benachbarte Eintrittsspalten gegeben. Jeder dieser drei Teilstrahlen wird jedoch nicht gleichzeitig, sondern zeitlich nacheinander durch das Array analysiert. Die drei Einzelspektren werden leicht verschoben auf dem Array abgebildet.
Weiterhin ist aus der DE 26 56 119 A1 ein Spektrograph mit einer Quelle zu analysierenden Lichts und einer dispersiven Einrichtung bekannt, wobei die dispersive Einrichtung nur aus einem holographischen Beugungsgitter besteht, dessen Beugungsspektrum sich in einer Ebene ausbildet.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Zweistrahl- Spektrometer zu schaffen, mit dem auf einfache Weise Meß- und Referenzstrahl gleichzeitig spektral erfaßt werden können.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Zweistrahl- Spektrometer mit den im Patentanspruch genannten Merkmalen gelöst.
Durch die geeignete Wahl der Winkel zwischen den Eintrittsspalten und dem Gitter werden die Spektren im entgegengesetzten Sinn auf ein einziges Array abgebildet.
Es kann somit ein einziges Array und eine einfachere Elektronik verwendet werden. Die erfindungsgemäße Meßanordnung läßt insbesondere die Verwendung einer gepulsten Xenon-Blitzlampe zu.
Bevorzugt werden die Wellenlängen 200-400 nm.
Der Winkel zwischen den beiden Eintrittsspalten 8 und 9 kann 7,9° und der Winkel zwischen einem der Eintrittsspalten 8 oder 9 und dem Anfang des Arrays 17 kann 9,0° betragen, wobei von einem Radius von ca. 190 mm ausgegangen wird.
Das erfindungsgemäße Zweistrahl-Spektrometer weist folgende Vorteile auf:
  • - nur 1 Array und 1 Gitter erforderlich
  • - kein unterschiedliches Verhalten von Meß- und Referenzkanal
  • - nur geringerer elektronischer Aufwand erforderlich.
Das erfindungsgemäße Spektrometer kann vorteilhaft zur Messung der Gaskonzentrationen in Rauchgas verwendet werden.
Fig. 1 zeigt schematisch die Anordnung der Lampe 1 , der Meßzelle 6 und des Spektrometers 7.
In der Fig. 2 ist der Strahlengang schematisch dargestellt.
Die in den Fig. 1 und 2 verwendeten Bezugszeichen bezeichnen folgendes:
 1 Lampe
 2 Strahlteiler
 3 Meßstrahl
 4 Referenzstrahl
 5 Umlenkoptik
 6 Meßzelle
 7 Spektrometer
 8 Eintrittsspalt für Meßstrahl
 9 Eintrittsspalt für Referenzstrahl
10 Konkaves Flat-Field Gitter
11 Eintretender Meßstrahl (1)
12 Eintretender Referenzstrahl 2
13 Spektrum vom Meßstrahl (Ordnung: +1)
14 Spektrum vom Meßstrahl (Ordnung: -1)
15 Spektrum vom Referenzstrahl (Ordnung: +1)
16 Spektrum vom Referenzstrahl (Ordnung: -1)
17 Array-Detektor
Die Pfeile geben den Wellenlängenbereich von 400 nm bis 200 nm (Pfeilspitze) an.

Claims (2)

  1. Zweistrahl-Spektrometer mit
    • a) einer Lampe (1), einem Strahlteiler (2), der den Strahl der Lampe (1) in einen Meßstrahl (3) und einen Referenzstrahl (4) aufteilt, einer Umlenkoptik (5),
    • b) einer Meßzelle (6), die vom Meßstrahl (3) durchstrahlt wird, und
    • c) einem Spektrometer (7), bestehend aus
    • d) einem ersten Eintrittsspalt (8), der den Meßstrahl (3) nach Durchlaufen der Meßzelle (6) in das Spektrometer (7) eintreten läßt,
    • e) einem zweiten Eintrittsspalt (9), der den Referenzstrahl (4) in das Spektrometer (7) eintreten läßt,
    • f) einem optischen Gitter (10), das sowohl den Meßstrahl (3) als auch den Referenzstrahl (4) spektral zerlegt und aus beiden Strahlen jeweils ein Spektrum bildet, und
    • g) einem Array-Detektor (17),
  2. dadurch gekennzeichnet, daß
    • h) der zweite Eintrittsspalt (9) getrennt vom ersten Eintrittsspalt (8) angeordnet ist,
    • i) das optische Gitter (10) ein konkaves Gitter ist,
    • j) die beiden Eintrittsspalte (8, 9), der Mittelpunkt des Gitters (10) und die Spektren des Meß- und Referenzstrahls (3, 4) in einer Ebene liegen,
    • k) die beiden Eintrittsspalte (8, 9) gegenüber der Gitternormalen in einem solchen Winkel angeordnet sind, daß sich das Spektrum des Meßstrahls (3) der Ordnung +1 unmittelbar an das Spektrum des Referenzstrahls (4) der Ordnung -1 in umgekehrter Richtung anschließt und
    • l) die beiden Spektren gemäß Merkmal k auf einen einzigen Array-Detektor (17) abgebildet und von diesem registriert werden.
DE3939148A 1989-11-27 1989-11-27 Zweistrahl-spektrometer Granted DE3939148A1 (de)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4223211A1 (de) * 1992-07-15 1994-01-20 Bodenseewerk Perkin Elmer Co Zweistrahl-Gitterpolychromator
DE19509157A1 (de) * 1995-03-14 1996-09-19 Meinrad Maechler Optisches System mit großen Meßbereichen
DE19543729A1 (de) * 1995-11-23 1997-05-28 Bodenseewerk Perkin Elmer Co Spektrometer

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1995030179A1 (en) * 1994-05-02 1995-11-09 Instruments Sa, Inc. A method of forming a holographic diffraction grating
US6734967B1 (en) * 1995-01-19 2004-05-11 Kla-Tencor Technologies Corporation Focused beam spectroscopic ellipsometry method and system
US5608526A (en) * 1995-01-19 1997-03-04 Tencor Instruments Focused beam spectroscopic ellipsometry method and system
US5708504A (en) * 1996-10-25 1998-01-13 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Interfering imaging spectrometer
AU9119098A (en) 1997-08-25 1999-03-16 Richard A. Holub A system for distributing and controlling color reproduction at multiple sites
DE19740210B4 (de) * 1997-09-12 2013-08-01 PerkinElmer Singapore Pte.Ltd. Atomabsorptionsspektrometer
DE19814660C1 (de) * 1998-04-01 1999-10-21 Karlsruhe Forschzent Gitterspektrometer und Verfahren zur Messung spektraler Intensitäten von weißem Licht
DE19815080C1 (de) * 1998-04-06 1999-09-09 Inst Physikalische Hochtech Ev Anordnung zur Erhöhung der spektralen Ortsauflösung eines Spektrometers
US6954271B2 (en) * 2001-10-10 2005-10-11 Analytical Spectral Devices, Inc. System and method for multiplexing inputs into a single spectrometer
RU2262086C1 (ru) * 2004-04-01 2005-10-10 Лившиц Александр Маркович Способ измерения спектра излучения, спектрометр и малогабаритный спектрометр
US7379180B2 (en) * 2006-01-26 2008-05-27 Schlumberger Technology Corporation Method and apparatus for downhole spectral analysis of fluids
US9770196B2 (en) * 2013-11-27 2017-09-26 Universiteit Gent Sensing of components in liquids
CN103983354A (zh) * 2014-04-30 2014-08-13 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 双光束分光系统
IT201900014748A1 (it) * 2019-08-13 2021-02-13 Laboratorio Europeo Di Spettroscopie Non Lineari Lens Metodo ed apparato per la misurazione della risposta spettrale di un campione basato su un random laser come sorgente di illuminazione
CN110926612A (zh) * 2019-12-18 2020-03-27 复旦大学 一种多通道宽带高分辨光谱仪

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2334947A1 (fr) * 1975-12-10 1977-07-08 Instruments Sa Spectographe a champ plan pour un domaine spectral etendu utilisant un reseau holographique concave
US4458323A (en) * 1980-04-18 1984-07-03 Hewlett-Packard Company Method of performing measurements and error analysis of the measurements
DE3406645A1 (de) * 1984-02-24 1985-08-29 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Spektralfotometeranordnung
US4875773A (en) * 1988-05-06 1989-10-24 Milton Roy Company Optical system for a multidetector array spectrograph

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4223211A1 (de) * 1992-07-15 1994-01-20 Bodenseewerk Perkin Elmer Co Zweistrahl-Gitterpolychromator
DE4223211C2 (de) * 1992-07-15 1999-03-04 Bodenseewerk Perkin Elmer Co Zweistrahl-Gitterpolychromator
DE19509157A1 (de) * 1995-03-14 1996-09-19 Meinrad Maechler Optisches System mit großen Meßbereichen
DE19543729A1 (de) * 1995-11-23 1997-05-28 Bodenseewerk Perkin Elmer Co Spektrometer
DE19543729B4 (de) * 1995-11-23 2008-08-21 Berthold Gmbh & Co. Kg Spektrometer

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ATE118090T1 (de) 1995-02-15
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US5251007A (en) 1993-10-05
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