DE3715999C2 - - Google Patents
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- G01D5/241—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes
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- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
Description
Die Erfindung betrifft eine Membran gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Eine derartige Membran bildet wenigstens eine Elektrode eines Kondensators,
der als druckempfindlicher Signalaufnehmer in einem nach dem Prinzip
eines Kondensatormikrophons arbeitenden Sensor dient. Die Membran
wird durch den abzutastenden Druck beaufschlagt und hierdurch verformt
und ausgelenkt. Sensoren mit derartigen Membranen werden beispielsweise
in dispersionsfreien Infrarot-Gasanalysegeräten eingesetzt.
Eine die gegenständlichen Merkmale nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1
aufweisende Membran ist aus der DE-AS 25 23 446 bekannt. Diese Membran
ist für ein Gerät für die Messung von Beschleunigungen oder von Komponenten
der Gravitationskraft vorgesehen und wird durch eine dünne Folie gebildet,
die in ihrem Mittelbereich eine dickere Elektrodenplatte trägt. Der Mittelbereich
ist von dem zur Befestigung der Membran dienenden äußeren
Randbereich durch einen federnden Bereich getrennt, der durch drei in
konzentrischen Kreisen angeordnete, jeweils durch versetzt angeordnete radiale
Stege unterbrochene Schlitze gebildet wird. Die radial verlaufenden Stege
ermöglichen jedoch nur eine relativ geringe Auslenkung des Mittelbereichs
der Membran. Darüber hinaus nimmt die Anordnung aus den auf konzentrischen
Kreisen angeordneten Schlitzen eine relativ große Fläche ein, so
daß die Fläche des Mittelbereichs im Verhältnis zur Gesamtfläche der Membran
relativ klein ist. Aufgrund dieser Eigenschaften weist ein Sensor mit dieser
herkömmlichen Membran nur eine geringe Empfindlichkeit auf. Durch
die notwendige Versteifung des Mittelbereichs der Membran durch die Elektrodenplatte
wird zudem die Herstellung der Membran erschwert.
Zur näheren Erläuterung des Standes der Technik, der sich mit Membranen
für nach dem Prinzip eines Kondensatormikrophons arbeitende Sensoren in
Gasanalysegeräten befaßt, soll bereits hier auf Fig. 12 bis 14 der Zeichnung
Bezug genommen werden.
In Fig. 12 ist schematisch der allgemeine Aufbau eines
Infrarot-Gasanalysegerätes dargestellt. Die zu analysierende
Gasprobe wird kontinuierlich in eine Meßzelle a eingeleitet.
In einer Vergleichszelle b ist ein Inertgas (beispielsweise
N2 oder dergleichen) eingeschlossen. Lichtquellen c und d
dienen zur Erzeugung von Infrarotlicht-Strahlen, die die
Meßzelle a bzw. die Vergleichszelle b durchqueren. Ein
Unterbrecher e dient zur periodischen Unterbrechung der
von den Lichtquellen c und d ausgesandten Lichtstrahlen.
Das von den Lichtquellen ausgesandte Licht tritt nach
Durchqueren der Meßzelle a bzw. der Vergleichszelle b in
Empfangskammern f, g ein. Ein in den Empfangskammern f, g
enthaltenes Gas absorbiert Energie des auftreffenden
Infrarotlichts und dehnt sich hierdurch aus. Die Empfangs
kammern f und g sind über Leitungen h und i mit einem als
Kondensatormikrophon ausgebildeten Sensor X verbunden, der
somit durch die in den Empfangskammern herrschenden Drücke
P f und P g beaufschlagt wird. Der Sensor X tastet die
zwischen den beiden Empfangskammern herrschende Druck
differenz ab und liefert ein entsprechendes Differenz
drucksignal an eine externe Auswertungsschaltung, die
durch einen Verstärker j, ein Aufzeichnungsgerät k, ein
Anzeigegerät l und dergleichen gebildet wird.
Ein herkömmlicher Aufbau des Sensors X ist in Fig. 13(A),
(B) dargestellt. Eine als Standardelektrode oder Bezugs
elektrode dienende feste Elektrode 1 weist eine mit
wenigstens einer Durchlaßöffnung oder einem Schlitz m
versehene feste Elektrodenplatte 1 B auf, die mit einem
ersten Elektroden-Montagesockel 1 A verbunden ist. Der
Montagesockel 1 A ist an die Leitung h angeschlossen, die
den in der Empfangskammer f herrschenden Druck P f führt.
Eine Elektrode 2 ist mit der festen Elektrode 1 verbunden
und weist eine Membran 2 B auf, die durch die Druckdifferenz
P g -P f zwischen den beiden Empfangskammern f und g
beaufschlagt und durch diese Druckdifferenz ausgelenkt wird.
Die Membran 2 B wird durch eine durchgehende dünne Metall
folie (beispielsweise eine Titanfolie) gebildet, die in
Fig. 13(B) gezeigt ist, und ist über einen zweiten
Elektroden-Montagesockel 2 A gespannt, der über die
Leitung i mit der anderen Empfangskammer g verbunden ist
und den Druck P g aufnimmt. Zwischen den Elektroden 1 und 2
ist ein Abstandshalter 3 eingefügt, so daß die Elektroden
platte 1 B und die Membran 2 b einander in gewissem Abstand
parallel gegenüberliegen.
Da jedoch bei dieser herkömmlichen Konstruktion des Sensors X
die in Abhängigkeit von der Druckdifferenz auslenkbare
Membran 2 B der Elektrode 2 durch eine durchgehende Metall
folie gebildet wird, ist der Grad der Auslenkung der
Membran (der Folie) bei einer Änderung des Differenzdruckes
P g -P f infolge der in der Folie auftretenden Zugspannungen
nur sehr begrenzt. Bei einer kompakten Konstruktion des
Sensors, d. h. bei kleinen Abmessungen der Membran, läßt
sich daher keine hohe Empfindlichkeit erreichen. Darüber
hinaus erfordert es ein hohes Geschick, die Membran 2 B
derart von Hand auf dem Montagesockel 2 A zu befestigen,
daß sich eine gleichmäßige Verteilung der Zugspannung
in der Folie ergibt. Sensoren mit herkömmlichen Membranen
eignen sich daher nur wenig für eine rationelle Massen
produktion und verursachen sehr hohe Herstellungskosten.
In Fig. 14(A), (B) ist ein weiteres Beispiel eines
herkömmlichen Sensors X gezeigt, wie er beispielsweise
in der offengelegten japanischen Patentanmeldung 1 33 323/1985
vorgeschlagen wird. Gemäß Fig. 14(A) weist die feste
Bezugselektrode 1 ein isolierendes plattenförmiges Bau
teil 1 B auf, das mit einer großen Anzahl von Durchlaß
öffnungen oder Schlitzen n in einer Hälfte ihrer Fläche
(in der oberen Hälfte in der Zeichnung) versehen ist.
Auf der dem Inneren des Sensors zugewandten Oberfläche der
Platte 2 B ist eine Elektrodenplatte p angebracht. Die
Membran 2 B der beweglichen Elektrode 2 ist ebenfalls als
isolierendes, plattenförmiges Bauteil ausgebildet und
weist einen beweglichen Mittelbereich 2 b auf, der über
zwei Stützbereiche 2 c derart mit einem zur Befestigung der
Membran dienenden äußeren Umfangsbereich 2 a verbunden ist,
daß er in bezug auf den Umfangsbereich schwenkbar ist.
Der Mittelbereich 2 b ist in einer Hälfte seiner Fläche
(in der unteren Hälfte in der Zeichnung) mit einer großen
Anzahl von Durchlaßöffnungen oder Schlitzen o versehen und
weist auf der anderen Hälfte seiner Fläche auf der der
Elektrode 1 zugewandten Seite eine durch Plattieren,
Aufdampfen oder dergleichen gebildete Elektrodenplatte q
auf. Die Platte 1 B und die Membran 2 B sind fest zwischen
den Elektroden-Montagesockeln 1 A und 2 A eingefügt, die
über die Leitungen h und i mit den Empfangskammern f
(Druck P f ) und g (Druck P g ) verbunden sind, und werden
durch den Abstandshalter 3 in Abstand zueinander gehalten,
wie in Fig. 14(B) gezeigt ist.
Da bei einem Sensor X mit dieser Konstruktion der bewegliche
Mittelbereich 2 d der Membran 2 B mit Hilfe der beiden
Stützbereiche 2 c schwenkbar gehalten ist, wird im Vergleich
zu der zuvor beschriebenen Bauform eine hohe Empfindlich
keit bei verhältnismäßig kompakter Konstruktion erreicht,
da die Auslenkung der Membran nicht durch Zugspannungen in
der Membran behindert wird. Da jedoch in den beiden Stütz
bereichen 2 c eine hohe Biegesteifigkeit erforderlich ist,
kann die Membran 2 B bei dieser Ausführungsform nicht aus
einer dünnen Metallfolie gebildet werden. Die Membran ist
aus einem Quarzkristall, also einem isolierenden Material
hergestellt. Die Herstellung der Membran erfordert daher
sehr schwierige und zeitaufwendige mikromechanische
Bearbeitungstechniken, wie etwa anisotropes Ätzen. Darüber
hinaus muß zusätzlich die gesonderte Elektrodenplatte q
angebracht werden. Diese Membran eignet sich daher nicht
zur rationellen Massenproduktion. Da ferner ein Quarz
kristall mit einer hohen Sprödigkeit verwendet werden muß,
ergibt sich ein weiterer Nachteil aus der begrenzten
Lebensdauer der Stützbereiche 2 c, die bei der Auslenkung
der Membran tordiert werden.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Membran
für einen Sensor der oben beschriebenen Art zu schaffen,
die trotz einer kompakten Konstruktion eine hohe Empfind
lichkeit aufweist und dennoch kostengünstig herstellbar
ist.
Die erfindungsgemäße Lösung dieser Aufgabe ist in Patentanspruch
1 angegeben.
Erfindungsgemäß wird der federnde Bereich der Membran durch
drei oder mehr getrennte Stege gebildet, die einen den
Mittelbereich von dem Randbereich der Membran trennenden
Zwischenraum überbrücken und jeweils im Grundriß mäanderförmig
oder ziehharmonikaförmig ausgebildet sind. Aufgrund
dieser Gestaltung der Stege ist der Mittelbereich der Membran relativ leicht
in parallel zur Ebene der Membran versetzte Positionen auslenkbar, so daß
eine hohe Empfindlichkeit erreicht wird. Die Stege lassen sich aufgrund ihrer
Mäander- oder Ziehharmonikaform relativ leicht in Radialrichtung dehnen
und brauchen deshalb nur geringe Abmessungen in Radialrichtung aufzuweisen.
Hierdurch wird ohne Vergrößerung der Gesamtabmessungen der
Membran eine Vergrößerung der Fläche des Mittelbereichs und damit eine
weitere Steigerung der Empfindlichkeit erreicht. Die Membran läßt sich mit
Hilfe des äußeren Randbereiches einfach in dem Sensor fixieren, ohne daß
ungleichförmige Zugspannungen in dem Mittelbereich verursacht werden.
Durch die Stege wird der Mittelbereich der Membran straff gespannt gehalten.
Die Membran läßt sich einfach aus einer Metallfolie herstellen und weist
dennoch die vorteilhaften Eigenschaften herkömmlicher Quarz-Membranen
auf. Ein weiterer Vorteil der Erfindung besteht darin, daß eine größere Vielseitigkeit
hinsichtlich der Grundrißformen der Membran bzw. des Mittelbereichs
derselben besteht, so daß die Gestaltung der Membran jeweils optimal
an die Erfordernisse bei dem betreffenden Sensor angepaßt werden kann.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den
Unteransprüchen.
Im folgenden werden bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand
der Zeichnungen, die auch Darstellungen zum Stand der Technik enthalten,
näher erläutert.
Es zeigt
Fig. 1 eine Skizze zur Veranschaulichung des grund
sätzlichen Aufbaus einer erfindungsgemäßen
Membran für ein Kondensatormikrophon;
Fig. 2 einen Schnitt längs der Linie II-II in
Fig. 1, zur Veranschaulichung der Wirkungs
weise der Membran;
Fig. 3 einen Längsschnitt eines als Kondensator
mikrophon ausgebildeten Sensors mit fester
Standardelektrode und einer erfindungsgemäßen
Membran;
Fig. 4 eine Explosionsdarstellung des Sensors gemäß
Fig. 3;
Fig. 5 eine Frontansicht der Membran des Sensors
gemäß Fig. 4;
Fig. 6 eine vergrößerte Teilansicht der Membran
gemäß Fig. 5;
Fig. 7 einen Längsschnitt durch einen Sensor mit
einer Membran gemäß einem anderen Aus
führungsbeispiel der Erfindung;
Fig. 8 eine Explosionsdarstellung des Sensors
gemäß Fig. 7;
Fig. 9 eine Frontansicht der Membran des Sensors
gemäß Fig. 7 und 8;
Fig. 10 eine vergrößerte Teilansicht der Membran
gemäß Fig. 9;
Fig. 11(A)-11(E) Frontansichten anderer Ausführungsbeispiele
erfindungsgemäßer Membranen;
Fig. 12 eine schematische Darstellung eines Infrarot-
Gasanalysegerätes;
Fig. 13(A) einen Längsschnitt durch einen als Konden
satormikrophon ausgebildeten Sensor herkömm
licher Bauart;
Fig. 13(B) eine perspektivische Ansicht einer Membran
des Sensors gem. Fig. 13(A);
Fig. 14(A) einen Längsschnitt durch einen anderen
Kondensatormikrophon-Sensor herkömmlicher
Bauart; und
Fig. 14(B) eine Explosionsdarstellung des Sensors gemäß Fig. 14(A).
Zunächst soll anhand der Fig. 1 und 2 der allgemeine
Aufbau einer erfindungsgemäßen Membran Z erläutert werden.
Die Membran wird insgesamt durch Blatt einer dünnen Metall
folie Y gebildet und weist einen beweglichen Mittelbereich
B auf, der in bezug auf einen zur Fixierung der Membran
dienenden Randbereich A in Axialrichtung (senkrecht zur
Zeichenebene der Fig. 1) auslenkbar ist. Der Mittelbereich
B ist mit dem Randbereich A durch wenigstens drei, im gezeigten
Beispiel durch vier, Federabschnitte C verbunden.
Die in Fig. 1 nur schematisch dargestellten Federabschnitte weisen
einen mäander- oder ziehharmonikaförmigen Grundriß auf, wie
weiter unten noch näher erläutert wird.
Die Membran Z ist zwar in einem Stück aus der Metallfolie Y
hergestellt, weist jedoch insofern eine kompliziertere
Struktur als herkömmliche Membranen auf, als der rahmen
förmige Randbereich A weitgehend von dem
beweglichen Mittelbereich B getrennt und lediglich über
die Federabschnitte C mit diesem verbunden ist. Durch
Auslenkung der im gezeigten Beispiel blattförmig ausge
bildeten Federabschnitte C ist der Mittelbereich B insgesamt
in Abhängigkeit von dem zwischen seinen beiden Seiten
bestehenden Differenzdruck P g -P f beweglich, wie in
Fig. 2 gezeigt ist. Dadurch, daß der Mittelabschnitt B
nur punktuell durch die Federabschnitte C abgestützt wird,
wird der Montagevorgang, bei dem die Membran Z mit ihrem
Randbereich in dem Sensor befestigt wird, erheblich
vereinfacht. Darüber hinaus wird hierdurch die Zugspannung
in dem beweglichen Mittelbereich B auf einen sehr niedrigen
und gleichförmigen Wert eingestellt, so daß auch
bei verhältnismäßig niedrigem Differenzdruck P g -P f
zwischen den beiden Seiten der Membran eine beträchtliche
Verformung der Federabschnitte C und eine entsprechend
weite Auslenkung des Mittelabschnitts B
erreicht wird. Obgleich die Membran insgesamt sehr kompakt
ausgebildet ist, wird auf diese Weise eine hohe Empfind
lichkeit der Membran gewährleistet.
Da der bewegliche Mittelbereich B nicht durch zwei tordier
bare Halteabschnitte schwenkbar gehalten wird, wie bei dem
in Fig. 14(B) gezeigten Stand der Technik, sondern durch
wenigstens drei bieg- und dehnbare Federabschnitte C derart
gehalten wird, daß er insgesamt parallelverschoben wird,
wird eine ausreichende Stabilität der Membran gewährleistet,
obgleich die Membran aus einer dünnen Metallfolie Y
hergestellt ist. Da die Metallfolie Y, aus der die Membran
hergestellt ist, unmittelbar die Elektrodenplatte bildet,
wird der Aufbau und die Herstellung der Membran erheblich
vereinfacht. Mit Hilfe einfach anzuwendender mikromechani
scher Herstellungstechniken, beispielsweise mit einem
kürzlich entwickelten Elektro-Form- oder Schneidverfahren,
kann eine große Anzahl von Membranen Z, beispielsweise ein
Blatt mit einigen zehn Membranen in einem Nutzen, in einem
Arbeitsgang und in kurzer Zeit hergestellt werden. Die
erfindungsgemäße Membran ist somit durch einfache Massen
produktionstechniken zu sehr geringen Kosten herstellbar.
Fig. 3 und 4 zeigen ein als Differenzdrucksensor dienendes
Kondensatormikrophon mit einer festen Elektrode 1, die als
Standardelektrode oder Bezugselektrode dient und durch eine
feste Elektrodenplatte 1 B mit einer großen Anzahl von
Durchlaßöffnungen 1 c gebildet wird. Ein erster Elektroden-
Montagesockel 1 A ist als einfache Platte ausgebildet und
weist ebenfalls eine große Anzahl von Durchlaßöffnungen 1 b
auf, die mit den Durchlaßöffnungen 1 c der Elektrode
fluchten und mit einem Druckraum verbunden sind, in dem
der Druck P f herrscht. Die Membran Z dient als bewegliche
Elektrode 2 des Sensors und bildet das druckbeaufschlagte
und in Abhängigkeit vom Druck auslenkbare Element des
Sensors. Die Elektroden 1, 2 sind durch einen isolierenden
Abstandshalter 3 voneinander getrennt. Ein weiterer Abstands
halter 4 B ist zwischen der beweglichen Elektrode 2 und
einem zweiten Elektroden-Montagesockel 2 A angeordnet. Der
zweite Elektroden-Montagesockel 2 A ist ebenfalls als
einfache Platte ausgebildet und mit einer großen Durchlaß
öffnung 2 a versehen, die mit einem unter dem Druck P g
stehenden Druckraum in Verbindung steht. Die feste
Elektrode 1 und die bewegliche Elektrode 2 sind somit fest
zwischen den Montagesockeln 1 A und 2 A gehalten und liegen
einander mit einem gewissen Abstand gegenüber.
Die Membran Z, die die bewegliche Elektrode 2 bildet, ist
insgesamt aus der dünnen Metallfolie Y (beispielsweise einer
Nickelfolie oder dergleichen) hergestellt. Zur Herstellung
der Membran wurde die Metallfolie mit einer relativ
einfachen mikromechanischen Bearbeitungstechnik, etwa einem
Elektro-Formverfahren oder durch Photoätzung, bearbeitet.
Während der äußere Randbereich A der Membran Z zwischen den
Abstandshaltern 3 und 4 B fixiert ist, ist der Mittelbereich B
der Membran durch den Differenzdruck P g -P f auslenkbar,
so daß der Differenzdruck in ein elektrisches Signal
umgewandelt wird. Der quadratische Mittelbereich wird an
den vier Ecken durch die Federabschnitte C gehalten. Wie
in Fig. 6 zu erkennen ist, sind die Federabschnitte C
jeweils mäanderförmig ausgebildet, so daß sie eine geringe
Biegesteifigkeit gegenüber Auslenkungen senkrecht zur
Ebene der Membran aufweisen und darüber hinaus ähnlich
Schraubenfedern eine hohe Dehnbarkeit in ihrer Längsrichtung
aufweisen. Selbst wenn die Druckdifferenz P g -P f zwischen
den beiden Seiten des Mittelbereichs B der Membran nur
gering ist, werden die Federabschnitte C daher verhältnis
mäßig stark gebogen und gedehnt, so daß der Mittelbereich B
der Membran eine starke Auslenkung erfährt. Auf diese Weise
wird eine hohe Empfindlichkeit des Sensors erzielt. Die
Bezugszeichen 5 in Fig. 3 bezeichneten Leitungsdrähte zur
Weiterleitung des elektrischen Meßsignals.
In Fig. 7 und 8 ist ein anderes Beispiel eines als
Kondensatormikrophon ausgebildeten Sensors dargestellt, der
eine bewegliche Standard- oder Bezugselektrode 1 C aufweist.
Bei diesem Ausführungsbeispiel wird die bewegliche Bezugs
elektrode 1 C ebenfalls durch eine erfindungsgemäße Membran Z
gebildet. Wenn auf den Sensor eine Störung, beispielsweise
eine Erschütterung, einwirkt, so kann die Bezugselektrode 1 C
in der gleichen Weise schwingen wie die gegenüberliegende
bewegliche Elektrode 2 zur Abtastung des Differenzdruckes,
so daß der durch die Störung (Erschütterung) hervorgerufene
Meßfehler kompensiert wird. Wie in Fig. 9 gezeigt ist,
ist die Membran Z, die die bewegliche Bezugselektrode 1 C
bildet, in diesem Fall mit einer großen Anzahl von Durch
laßöffnungen 1 d (anstelle der runden Öffnungen können auch
Schlitze vorgesehen sein) versehen, damit diese Membran
nicht auf den Differenzdruck P g -P f anspricht. Zwischen
der beweglichen Bezugselektrode 1 C und dem ersten Elektroden-
Montagesockel 1 A (der mit einer großen Durchlaßöffnung zur
Einleitung des Druckes P f versehen ist) ist ein Abstands
halter 4 A eingefügt. Im übrigen entspricht der Aufbau dieses
Sensors dem zuvor beschriebenen Ausführungsbeispiel.
Fig. 10 zeigt als weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung
eine ziehharmonikaartige Gestaltung des Federabschnitts C
der Membran Z.
In Fig. 11(A) bis (E) sind abgewandelte Ausführungs
formen der erfindungsgemäßen Membran dargestellt. Wie aus
diesen Beispielen hervorgeht, kann der Mittelbereich B
der Membran anstelle einer quadratischen Form auch recht
eckig, dreieckig oder kreisförmig ausgebildet sein, und
es können drei, vier oder mehr als vier stützende Feder
abschnitte C vorgesehen sein. Damit eine gleichmäßige
Auslenkung des Mittelbereichs B der Membran gewährleistet
ist, sollten die Federabschnitte C jedoch in regelmäßigen
Abständen angeordnet sein.
In der obigen Beschreibung wurde die Erfindung am Beispiel
eines Kondensatormikrophons erläutert, das als Sensor in
einem dispersionsfreien Infrarot-Gasanalysegerät eingesetzt
ist. Die vorteilhaften Eigenschaften der erfindungsgemäßen
Membran können jedoch auch in anderen Sensoren ausgenutzt
werden, beispielsweise in Mikro-Differenzdrucksensoren,
Mikro-Strömungssensoren und dergleichen.
Claims (5)
1. Membran zur Verwendung als druckaufnehmendes und auslenkbares
Element in einem nach dem Prinzip eines Kondensatormikrophons
arbeitenden Sensor, mit einem Mittelbereich (B), einem zur
Befestigung der Membran in dem Sensor dienenden äußeren Randbereich
(A) und einem federnden Bereich, der den Mittelbereich
derart mit dem Randbereich verbindet, daß der Mittelbereich
in bezug auf den Randbereich längs einer zur Ebene der Membran
senkrechten Achse beweglich ist, dadurch gekennzeichnet,
daß die Membran (Z) insgesamt aus einer dünnen Metallfolie
besteht und daß der federnde Bereich durch drei oder mehr getrennte
Stege (C) gebildet wird, die einen den Mittelbereich
(B) umgebenden und von dem Randbereich (A) trennenden Zwischenraum
überbrücken und jeweils im Grundriß mäanderförmig oder
ziehharmonikaförmig ausgebildet sind.
2. Membran nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß der Mittelbereich (B) einen
quadratischen Grundriß aufweist.
3. Membran nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß der Mittelbereich (B) der Membran
einen dreieckigen Grundriß aufweist.
4. Membran nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß der Mittelbereich (B) der Membran
einen kreisförmigen Grundriß aufweist.
5. Membran nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß der Mittel
bereich (B) der Membran mit mehreren Durchlaßöffnungen (1 d)
versehen ist.
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