DE3710874C2 - - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft einen Ultraschallvibrator mit mindestens einem
Elektrostriktivelement, vorzugsweise zwei Elektrostriktivelementen,
zwei Metallteilen und einem Befestigungsglied, wobei das Elektrostrik
tivelement bzw. die Elektrostriktivelemente in Verbundbauweise zwischen
den Metallteilen angeordnet und alle Teile mittels des Befestigungs
gliedes miteinander verspannt sind, wobei das Elektrostriktivelement
aus einem in Dickenrichtung polarisierten Elektrostriktivkörper mit
mehreren Elektroden auf einer Fläche und einer gemeinsamen
Elektrode auf der anderen Fläche besteht und wobei an die Elektroden
in der relativen Phase und/oder in der relativen Amplitude steuerbare
Wechselspannungen anlegbar sind.
Ein solcher Ultraschallvibrator ist Gegenstand eines nachver
öffentlichten Standes der Technik (DE-OS 36 35 806) und zeichnet sich
dadurch aus, daß die Elliptizität und die Schwingungsrichtung am Ab
triebsende und damit das Schwingungsbild einer Überlagerungsschwingung
leicht steuerbar sind, indem nämlich lediglich Wechselspannungen un
terschiedlicher relativer Phase und/oder unterschiedlicher relativer
Amplitude an die Elektroden angelegt werden. Dadurch können auf ein
fache Weise lineare Schwingungen, kreisförmige Schwingungen und ellip
tische Schwingungen in jeder Richtung erzeugt werden.
Bei diesem zum nachveröffentlichten Stand der Technik
zählenden Ultraschallvibrator werden die vorzüglichen anwendungstech
nischen Ergebnisse mit relativ großem bautechnischen Aufwand erreicht,
nämlich dadurch, daß das Elektrostriktivelement bzw. jedes Elektrostrik
tivelement mehrere in Umfangsrichtung verteilt angeordnete Elektroden
paare umfaßt.
Das ist für besondere Anwendungen zwar zweckmäßig, aber
nicht in allen Fällen erforderlich, so daß der Erfindung die Aufgabe
zugrundeliegt, den bekannten Ultraschallvibrator bautechnisch zu verein
fachen, ohne die steuerungstechnischen Möglichkeiten dadurch zu ver
schlechtern.
Diese Aufgabe ist bei dem erfindungsgemäßen Ultra
schallvibrator dadurch gelöst, daß auf der einen Fläche zwei
Elektroden vorgesehen sind und der Elektrostriktivkörper in den Be
reichen unter den Elektroden in einander entgegengesetzten Rich
tungen polarisiert ist. Mit nur zwei Elektrodenbereichen lassen sich
bei dem beanspruchten Ultraschallvibrator im Elektrostriktivkörper
die gleichen steuerungstechnischen Möglichkeiten realisieren wie bei
dem bekannten Ultraschallvibrator mit einer Vielzahl von Elektroden
bereichen, wozu es allerdings auf die einander entgegengesetzte Po
larisationsrichtung in den beiden Elektrodenbereichen entscheidend
ankommt.
Im folgenden wird die Erfindung durch die Erläuterung eines bevorzugten
Ausführungsbeispiels anhand der Zeichnung weiter verdeutlicht. In der
Zeichnung zeigt
Fig. 1 ein Ausführungsbeispiel eines Ultraschallvibrators in einem
Längsschnitt sowie eine Vielzahl von mit diesem Ultraschall
vibrator erzeugbaren Schwingungsmustern,
Fig. 2 in perspektivischer Ansicht ein Elektrostriktivelement eines
Ultraschallvibrators aus Fig. 1,
Fig. 3 in perspektivischer Ansicht Elektrodenplatten für einen Ultra
schallvibrator aus Fig. 1,
Fig. 4 den Ultraschallvibrator aus Fig. 1 in einer perspektivischen
Ansicht in Verbindung mit einem Ultraschallmeißel und
Fig. 5 in einer Seitenansicht den Ultraschallvibrator aus Fig. 1 in
Verbindung mit einer Drehvorrichtung.
Anhand der Fig. 1 bis 3 wird zunächst grundsätzlich der Aufbau des dar
gestellten Ultraschallvibrators 25 erläutert.
Zunächst ist ein ringförmiger Elektrostriktivkörper 9 vorgesehen, der
in der Richtung seiner Dicke polarisiert ist. Auf der einen Fläche des
Elektrostriktivkörpers 9 sind Elektroden 11, 12 angeordnet, auf der
anderen Fläche ist eine gemeinsame Elektrode 13 vorgesehen, so daß sich
gemeinsam ein aus zwei Teilen 14 a und 14 b bestehendes Elektrostriktiv
element 14 bildet. Wesentlich ist dabei, daß der Elektrostriktivkörper 9
in den Bereichen unter den Elektroden 11, 12 in einander entgegengesetzten
Richtungen polarisiert ist.
Zur Konstruktion des Ultraschallvibrators 25 sind dann zwei Elektro
striktivelemente 14 mit zwei U-förmigen Elektrodenplatten 15, 16 in Ver
bundbauweise angeordnet, wobei die Elektroden 11, 12 einander gegenüber
liegen. In der Mitte der Elektrostriktivelemente 14 wird ein Isolierzy
linder 17 eingesetzt. An der Oberfläche der gemeinsamen Elektrode 13
eines der Elektrostriktivelemente 14 wird ein Metallteil 19, an der Ober
fläche der gemeinsamen Elektrode 13 des anderen Elektrostriktivelements 14
wird über eine gemeinsame Elektrodenplatte 20 ein Metallteil 21 befestigt.
An einem Ende des Metallteils 19 ist ein Abtriebsende 18 mit kreisförmigem
Querschnitt angeordnet und das Metallteil 19 ist mit einem exponentiell
eingezogenen Bereich versehen, der in Richtung des Abtriebsendes 18 ver
läuft.
Die derart kombinierten Elektrostriktivelemente 14 und Metallteile 19
und 21 werden mit einer Schraube als Befestigungsglied 22 integral und
fest verspannt. Insbesondere ist eine Bohrung 23 im Metallteil 21 vorge
sehen, in die die Schraube 22 eingeführt wird, und das Metallteil 19 ist
mit einem Innengewinde 24 versehen, in das die Schraube 22 eingeschraubt
wird. So werden die Elektrostriktivelemente 14 und die Metallteile 19
und 21 integral miteinander verspannt, indem die Schraube 22 durch die
Bohrung 23 und den Isolierzylinder 17 geführt und in das Innengewinde 24
eingeschraubt wird.
Anschließend werden die Elektroden 11, 12 sowie die gemeinsame Elektro
de 13 über die Elektrodenplatten 15, 16 sowie die gemeinsame Elektro
denplatte 20 an eine nicht gezeigte Antriebsschaltung angeschlossen.
Durch Einstellung der Frequenz der Antriebsspannungen auf die axiale Re
sonanzfrequenz und/oder auf die Biegeresonanzfrequenz und durch Einstel
lung der relativen Phase bzw. der relativen Amplitude lassen sich eine
Vielzahl von Schwingungsmustern am Abtriebsende 18 des Ultraschallvibra
tors 25 realisieren. Bei Antrieb mit Einstellung der relativen Phase
auf Null insbesondere beschreibt das Abtriebsende 18 wie in Fig. 1(d)
gezeigt eine lineare Bewegung, die in senkrechter Richtung zur Achse
verläuft. Dies ist darauf zurückzuführen, daß gleiche Spannungen an die
Elektrostriktivelemente 14 a, 14 b angelegt werden, so daß sich ein Elek
trostriktivelement ausdehnt, während sich das andere Elektrostriktivele
ment zusammenzieht, wodurch die Biegeresonanzschwingung erzeugt wird.
Wenn dann die Phase der an Elektrodenplatte 16 angelegten Antriebsspan
nung so eingestellt wird, daß sie der Phase der an Elektrodenplatte 15
angelegten Antriebsspannung voreilt, so ändert sich das Schwingungs
muster am Abtriebsende 18 bei steigendem Ausmaß der Phasenvoreilung
wie in Fig. 1(c), (b) und (a) gezeigt. Wird umgekehrt eine Phasen
nacheilung eingestellt, so ändert sich das Schwingungsmuster am Ab
triebsende 18 bei steigendem Ausmaß der Phasennacheilung wie in
Fig. 1(e), (f) und (g) gezeigt.
Wird die relative Amplitude der Antriebsspannungen bei gleichzeitiger
Einstellung der relativen Phase auf Null geändert, so ändern sich die
Schwingungsmuster am Abtriebsende 18 aus dem Zustand, in dem zum Zeit
punkt gleicher Amplituden eine Resonanzschwingung (Fig. 1(j)) in der
zur Achse senkrechten Richtung verläuft, in die in Fig. 1(i) und (h)
bzw. Fig. 1(k) und (l) gezeigten Zustände. Fig. 1(i) und (h) zeigen
die Schwingungsmuster für den Fall, daß
die an Elektroden
platte 15 angelegte Antriebsspannung niedriger ist als die Elektro
denplatte 16 angelegte Antriebsspannung, während Fig. 1(k) und (l)
die Schwingungsmuster im umgekehrten Fall zeigen.
Wenn die Antriebsfrequenz andererseits auf die axiale Resonanzfrequenz
eingestellt wird und Spannungen mit einem Phasenunterschied von 180° an
die Elektrodenplatte 15, 16 angelegt werden, so bewirkt dies ein gleich
zeitiges Ausdehnen und Zusammenziehen der Elektrostriktivelemente 14 a, 14 b,
so daß der Ultraschallvibrator 25 wie in Fig. 1(p) gezeigt genau wie
ein axialer Ultraschallvibrator 25 eine Resonanzschwingung in Axialrich
tung erzeugt. Wird der Phasenunterschied der an die Elektrodenplatte 15,
16 angelegten Antriebsspannungen danach so eingestellt, daß in bezug auf
einen Phasenunterschied von 180° eine Voreilung oder Nacheilung entsteht,
so werden elliptische Schwingungen erzeugt, deren Richtung und Ellipti
zität wie in Fig. 1(o) bis (m) bzw. (q) bis (s) vom jeweiligen Ausmaß
der Voreilung bzw. Nacheilung abhängt.
Wird der Phasenunterschied auf 180° eingestellt und die relative Ampli
tude geändert, so werden lineare Schwingungen erzeugt, deren Neigungs
winkel sich auf entsprechende Weise je nach der Größe und Polarität der
relativen Amplitude von der in Fig. 1(v) gezeigten Axialschwingung in
die in Fig. 1(t), (u), (w) und (x) gezeigten Axialschwingungen ändert.
Werden relative Phase und relative Amplitude gleichzeitig verändert, so
entstehen als nicht gezeigte Schwingungsmuster geneigte elliptische
Schwingungen. Durch Einstellung der relativen Phase und der relativen
Amplitude der betreffenden Antriebsspannungen können Elliptizität,
Neigungswinkel, Drehrichtung und Größe der geneigten elliptischen
Schwingungen beliebig eingestellt werden.
Wenn ein Ultraschallvibrator 25 solcher Bauart so betrieben werden soll,
daß nur eine Axialschwingung oder nur eine Biegeschwingung erzeugt wird,
so kann dieser Zweck durch Verwendung der Resonanzfrequenz der entspre
chenden Schwingung erzielt werden. Bei Verwendung als zusammengesetzter
Ultraschallvibrator 25 werden die Resonanzfrequenz in Axialrichtung und
die Resonanzfrequenz in Biegerichtung vorzugsweise so abgestimmt, daß
sie unter den tatsächlichen Lastbedingungen miteinander übereinstimmen.
Obwohl es konstruktionsmäßig in der Praxis schwierig ist, ein völlige
Übereinstimmung dieser beiden Frequenzen zu erzielen, treten praktisch
keine Probleme auf, solange sich der Unterschied innerhalb eines Tole
ranzbereiches von ±1% bis 2% bewegt. Der Begriffe "Resonanzfrequenz
in Axialrichtung" und "Resonanzfrequenz in Biegerichtung" in der obigen
Beschreibung wurden einfach aus dem Grunde verwendet, das es sich dabei
um bevorzugte Frequenzen handeln und diese Begriffe ein leichteres Ver
ständnis der Erläuterung ermöglichen. Die Anwendung ist daher nicht auf
diese Frequenz beschränkt.
Wenn insbesondere nur die senkrecht zur Achse verlaufende Schwingung
(Biegeschwingung) erforderlich ist, wie bei den weiter unten beschrie
benen Anwendungen bei Einsatz in einem Ultraschallmeißel oder einer
Ultraschalldrehvorrichtung, wird der Antrieb durch Verwendung der gleichen
Antriebsspannung realisiert, so daß die Antriebsschaltung wesentlich
vereinfacht werden kann.
Fig. 4 und 5 zeigen die oben beschriebenen Anwendungen des Ultra
schallvibrators 25.
Fig. 4 zeigt ein Beispiel der Anwendung in einem Ultraschallmeißel. Hier
ist der Ultraschallvibrator 25 als ein integraler Ultraschallmeißel aus
gebildet, bei dem die Spitze des Metallteils 19 als eine messerförmige
Schneide 39 ausgebildet ist. Nach Anlegen einer in bezug auf die gemein
same Elektrodenplatte 20 gleichen Spannung an die Elektrodenplatten 15, 16
erzeugt der Ultraschallvibrator 25 eine Biegeschwingung, wobei die Spitze
der Schneide 39 in eine lineare Schwingung in der durch Pfeil 40 gekenn
zeichneten, senkrecht zur Achse verlaufenden Richtung versetzt wird. Im
Gegensatz zu einem Ultraschallmeißel herkömmlicher Bauart, bei dem die
Schnittwirkung durch seine Axialschwingung erhöht wird, schneidet der
vorliegende Meißel das Werkstück mit Hilfe seiner senkrecht zur Achse
verlaufenden Schwingung. Da die Schwingung in bezug auf das Werkstück in
Schnittrichtung verläuft, wird die Schnittwirkung der Ultraschallschwin
gung eines Meißels dieser Ausführungsform wesentlich erhöht.
Fig. 5 zeigt ein Beispiel der Anwendung in einer Ultraschallschwingungs
drehmaschine. Insbesondere ist der Ultraschallvibrator 25 so ausgeführt,
daß seine axiale Dimension einer Wellenlänge entspricht, und ein Schneid
werkzeug 41 ist fest am Abtriebsende 18 angebracht. Da der Ultraschallvi
brator 25 in einer dünnen zylindrischen Form über seine Länge von der
Spitze bis zum ersten Knotenpunkt ausgebildet ist, wird der Schwingungs
hub vergrößert, das Schneidwerkzeug 41 führt eine größere Resonanzschwin
gung in Aufwärts- und Abwärtsrichtung aus. Der Schwingungsschnitt wird
dadurch ausgeführt, daß das Schneidwerkzeug 41 gegen ein Werkstück 42
gepreßt wird, das sich in der durch den Pfeil gekennzeichneten Richtung
dreht. Da sich das Schneidwerkzeug 41 wie oben beschrieben an einem Ende
des Ultraschallvibrators 25 befindet, wird eine axiale Schwingungserzeu
gung überflüssig. Außerdem kann trotz der kurzen Gesamtlänge eine größere
Schwingungsamplitude erzielt werden, wodurch sich eine kompaktere
Vorrichtung realisieren läßt. Indem der Ultraschallvibrator 25 überdies
durch Punktkontakt am Knotenpunkt der Biegeschwingung gehalten wird,
kann das Anbringen und Auswechseln des Ultraschallvibrators 25 einfacherer
und sicherer gestaltet werden, und ein wirksamer Antrieb ohne Schwingungs
verluste läßt sich erzielen.
Claims (1)
- Ultraschallvibrator mit mindestens einem Elektrostriktivelement (14), vorzugsweise zwei Elektrostriktivelementen (14), zwei Metallteilen (19, 21) und einem Befestigungsglied (22), wobei das Elektrostriktivelement (14) bzw. die Elektrostriktivelemente (14) in Verbundbauweise zwischen den Metallteilen (19, 21) angeordnet und alle Teile mittels des Befestigungs gliedes (22) miteinander verspannt sind, wobei das Elektrostriktivele ment (14) aus einem in Dickenrichtung polarisierten Elektrostriktiv körper (9) mit mehreren Elektroden (11, 12) auf einer Fläche und einer gemeinsamen Elektrode (13) auf der anderen Fläche besteht und wo bei an die Elektroden (11, 12) in der relativen Phase und/oder in der relativen Amplitude steuerbare Wechselspannungen anlegbar sind, dadurch gekennzeichnet, daß auf der einen Fläche zwei Elek troden (11, 12) vorgesehen sind und der Elektrostriktivkörper (9) in den Bereichen unter den Elektroden (11, 12) in einander entgegengesetzten Richtungen polarisiert ist.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60252526A JPS62114478A (ja) | 1985-11-11 | 1985-11-11 | 超音波振動子とその駆動制御方法 |
JP60291731A JPS62152377A (ja) | 1985-12-24 | 1985-12-24 | 超音波振動子の駆動制御方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3710874A1 DE3710874A1 (de) | 1988-10-20 |
DE3710874C2 true DE3710874C2 (de) | 1989-03-09 |
Family
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19873710874 Granted DE3710874A1 (de) | 1985-11-11 | 1987-04-01 | Ultraschall-schwingungserzeuger und verfahren zu seiner antriebsregelung |
Country Status (2)
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---|---|
US (1) | US4728843A (de) |
DE (1) | DE3710874A1 (de) |
Families Citing this family (50)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2203978B (en) * | 1987-03-03 | 1991-06-12 | Taga Electric Co Ltd | Ultrasonic vibrational cutting apparatus |
EP0289734B1 (de) * | 1987-03-18 | 1994-06-01 | Honda Electric Co., Ltd. | Ultraschall-Antriebsanordnung |
EP0299415B1 (de) * | 1987-07-14 | 1994-11-30 | Honda Electric Co., Ltd. | Ultraschalltreiberanordnung |
US4945275A (en) * | 1987-07-26 | 1990-07-31 | Honda Electric Co., Ltd. | Ultrasonic driving device |
DE3904070C2 (de) * | 1988-02-12 | 1997-02-20 | Ngk Spark Plug Co | Ultraschallmotor |
JPH01234067A (ja) * | 1988-03-11 | 1989-09-19 | Nec Corp | 超音波モータ |
IL86570A (en) * | 1988-05-31 | 1991-07-18 | Elscint Ltd | Reduction of truncation caused artifacts |
US5140215A (en) * | 1988-09-19 | 1992-08-18 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Vibrator and ultrasonic motor employing the same |
US5216313A (en) * | 1988-12-16 | 1993-06-01 | Alps Electric Co., Ltd. | Ultrasonic wave linear motor |
GB2229045A (en) * | 1989-03-08 | 1990-09-12 | Alps Electric Co Ltd | Ultrasonic linear motor with U-shaped vibrating body |
JP2874762B2 (ja) * | 1989-06-05 | 1999-03-24 | キヤノン株式会社 | モータ駆動装置 |
US5087851A (en) * | 1989-06-21 | 1992-02-11 | Alps Electric Co., Ltd. | Device for driving a part on a vehicle |
JP2935504B2 (ja) * | 1989-07-05 | 1999-08-16 | キヤノン株式会社 | モータ |
EP0458638B1 (de) * | 1990-05-24 | 1997-04-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Schwingungswellenmotor |
US5016055A (en) * | 1990-07-02 | 1991-05-14 | Xerox Corporation | Method and apparatus for using vibratory energy with application of transfer field for enhanced transfer in electrophotographic imaging |
US5010369A (en) * | 1990-07-02 | 1991-04-23 | Xerox Corporation | Segmented resonator structure having a uniform response for electrophotographic imaging |
DE69130751T2 (de) * | 1990-08-03 | 1999-07-01 | Canon Kk | Vibrationsangetriebener Motor |
JP2925272B2 (ja) * | 1990-08-31 | 1999-07-28 | キヤノン株式会社 | 振動波モータ |
JP3015090B2 (ja) * | 1990-10-05 | 2000-02-28 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置 |
JP2714261B2 (ja) * | 1990-12-14 | 1998-02-16 | キヤノン株式会社 | 振動子および振動装置 |
CA2066084A1 (en) * | 1991-05-31 | 1992-12-01 | Gordon Walter Culp | Twisting actuators |
JP3171887B2 (ja) * | 1991-10-21 | 2001-06-04 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置 |
CA2088234C (en) * | 1992-01-29 | 1999-09-14 | Akio Atsuta | A vibration driven motor or actuator |
JP3205026B2 (ja) * | 1992-01-30 | 2001-09-04 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置および振動波駆動装置を有する装置 |
EP0584775B1 (de) * | 1992-08-25 | 1997-12-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Verfahren zur Herstellung einer laminierten piezoelektrischen Anordnung und Polarisationsverfahren und vibrationswellengetriebener Motor |
US6404104B1 (en) * | 1997-11-27 | 2002-06-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration type actuator and vibration type driving apparatus |
JP3233901B2 (ja) * | 1998-05-22 | 2001-12-04 | セントラル技研工業株式会社 | 超音波振動によるスクリューロッド駆動機構 |
US6448694B2 (en) * | 2000-01-21 | 2002-09-10 | Minolta Co., Ltd. | Actuator and driving method thereof |
US6690101B2 (en) * | 2000-03-23 | 2004-02-10 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Vibratory motors and methods of making and using same |
US6392327B1 (en) | 2000-03-29 | 2002-05-21 | James L. Sackrison | Sonic transducer and feedback control method thereof |
US6362557B1 (en) * | 2000-08-28 | 2002-03-26 | International Business Machines Corporation | Ultrasonic method and actuator for inducing motion of an object |
US20050127789A1 (en) * | 2001-03-08 | 2005-06-16 | Magnussen Bjoern B. | Piezoelectric motors and methods for the production and operation thereof |
DE10146703A1 (de) * | 2001-09-21 | 2003-04-10 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Piezomotor mit Führung |
US7368853B2 (en) * | 2002-04-22 | 2008-05-06 | Elliptec Resonant Actuator Aktiengesellschaft | Piezoelectric motors and methods for the production and operation thereof |
US7117754B2 (en) * | 2002-10-28 | 2006-10-10 | The Curators Of The University Of Missouri | Torque ripple sensor and mitigation mechanism |
JP4447558B2 (ja) * | 2004-01-21 | 2010-04-07 | 日本電信電話株式会社 | ネジ回し装置 |
US7224099B2 (en) * | 2004-04-20 | 2007-05-29 | Elliptec Resonant Actuator Aktiengesellschaft | Molded piezoelectric apparatus |
JP4756916B2 (ja) * | 2005-05-31 | 2011-08-24 | キヤノン株式会社 | 振動波モータ |
JP4809016B2 (ja) * | 2005-08-12 | 2011-11-02 | 富士フイルム株式会社 | アクチュエータ |
US7774894B2 (en) * | 2005-10-11 | 2010-08-17 | Kimberly-Clark Worldwide, Inc. | Micro powered floor cleaning device |
JP4542499B2 (ja) * | 2005-10-28 | 2010-09-15 | オリンパスメディカルシステムズ株式会社 | 超音波治療装置 |
JP4657082B2 (ja) * | 2005-10-28 | 2011-03-23 | オリンパスメディカルシステムズ株式会社 | 超音波治療装置 |
US20070129678A1 (en) * | 2005-12-06 | 2007-06-07 | Medtronic, Inc. | Regulator |
CN101313456B (zh) * | 2006-01-12 | 2011-09-21 | 松下电器产业株式会社 | 超声波执行机构 |
US8534301B2 (en) | 2008-06-02 | 2013-09-17 | Innovation Direct Llc | Steam mop |
DE102009047551A1 (de) * | 2009-12-04 | 2011-06-09 | Robert Bosch Gmbh | Vielschichtaktor |
US9154055B2 (en) * | 2010-02-04 | 2015-10-06 | Konica Minolta, Inc. | Drive device |
CN102120302A (zh) * | 2010-12-30 | 2011-07-13 | 河南理工大学 | 一种单激励椭圆超声振动修整装置 |
CN109849090B (zh) * | 2019-03-07 | 2021-08-31 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 超声振动切割刀具 |
US11890728B2 (en) | 2021-05-19 | 2024-02-06 | Nextgen Aerospace Technologies, Llc | Concentrated longitudinal acoustical/ultrasonic energy fastener design and manipulation system |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2834158A (en) * | 1955-01-28 | 1958-05-13 | Gulton Ind Inc | Ultrasonic drill |
JPS5937672B2 (ja) * | 1979-03-19 | 1984-09-11 | 年生 指田 | 超音波振動を利用した回転駆動装置 |
DE3412014C1 (de) * | 1984-03-31 | 1985-10-17 | Deutsche Forschungs- und Versuchsanstalt für Luft- und Raumfahrt e.V., 5000 Köln | Piezokeramischer Stellantrieb zur Erzeugung von Translationsbewegungen |
JPS60257777A (ja) * | 1984-06-04 | 1985-12-19 | Taga Denki Kk | ねじり振動装置 |
US4703214A (en) * | 1985-11-27 | 1987-10-27 | Taga Electric Co., Ltd. | Ultrasonic vibrator and its drive control method |
-
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