DE3705014A1 - Tintenstrahl-aufzeichnungskopf und substrat hierfuer - Google Patents

Tintenstrahl-aufzeichnungskopf und substrat hierfuer

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Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Tintenstrahl-Auf­ zeichnungskopf für ein Tintenstrahl-Aufzeichnungsgerät, in dem Aufzeichnungsflüssigkeit bzw. Tinte in Form fliegender Tröpfchen ausgestoßen wird, um Zeichen auf einem Auf­ zeichnungsmaterial aufzuzeichnen; insbesondere bezieht sich die Erfindung auf einen Tintenstrahl-Aufzeichnungs­ kopf für den Ausstoß von Flüssigkeit durch Einwirkung von Wärmeenergie sowie auf ein Substrat für einen solchen Aufzeichnungskopf.
Im allgemeinen hat gemäß Fig. 8 ein Aufzeichnungskopf für ein Tintenstrahl-Aufzeichnungsgerät, bei dem das vorste­ hend genannte Strahlverfahren angewandt wird, jeweils eine Düsenöffnung 105 für den Tintenausstoß, eine Tintenaus­ stoßeinheit mit einem Strömungskanal 104, der eine Wärme­ einwirkungseinheit für das Zuführen von Wärmeenergie zu der Tinte für deren Ausstoß enthält, und einen elektro­ thermischen Wandler 103 für das Erzeugen der Wärmeenergie. Ein derartiger Aufzeichnungskopf ist beispielsweise in der US-PS 46 02 261 beschrieben. Der elektrothermische Wandler weist ein Paar von Elektroden und eine an die Elektroden angeschlossene Heizwiderstandsschicht mit einer Heizfläche auf. Die von dem elektrothermischen Wandler erzeugte Wär­ meenergie wirkt auf die Flüssigkeit bzw. Tinte derart ein, daß Bläschen erzeugt werden, die durch Volumensexpansion und Zusammenziehung schnelle Zustandsänderungen hervorru­ fen.
Das Volumen der Bläschen steht mit dem Tröpfchendurchmes­ ser in Zusammenhang. Daher ist es zum Erzielen einer gleichförmigen Aufzeichnung hoher Qualität erforderlich, daß die Festwerte der den jeweiligen Düsenöffnungen des Aufzeichnungskopfs zugeordneten Heizwiderstandsschichten gleich sind.
Die Heizwiderstandsschicht wird in einem Ätzprozeß in eine vorgeschriebene Form gebracht. Bei dem Ätzprozeß wird die Ätzlösung an den einander gegenüberliegenden Endbereichen der Heizwiderstände wirkungsvoller umgewälzt als an dem mittleren Bereich, so daß bei dem Ätzen ein Randeffekt auftritt und das Ätzen an den Endbereichen bzw. Randberei­ chen schneller fortschreitet. Infolgedessen wird die Breite der Heizwiderstandsschicht verringert.
Fig. 1 zeigt eine Verteilung der Breiten der Heizwider­ standsschicht bei einem Aufzeichnungskopf nach dem Stand der Technik. Es ist ersichtlich, daß die Breite der Heiz­ widerstandsschicht an den Endbereichen kleiner als im mittleren Bereich ist. Infolgedessen ist bei dem Auf­ zeichnungskopf nach dem Stand der Technik die Aufzeich­ nungsdichte in der Richtung der Anordnung bzw. Aufreihung der Heizwiderstandsschichten nicht gleichförmig, so daß die Druckdichte von der Mitte weg zu den einander gegen­ überliegenden Enden hin geringer wird.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Tinten­ strahl-Aufzeichnungskopf bzw. ein Substrat hierfür zu schaffen, bei denen die durch ungleiche Breiten von Heiz­ widerstandsschichten elektrothermischer Wandler verursach­ ten Ungleichförmigkeiten vermieden sind, um eine Bildauf­ zeichnung hoher Qualität zu ermöglichen.
Zur Lösung der Aufgabe wird mit der Erfindung ein Tinten­ strahl-Aufzeichnungskopf geschaffen, der eine Vielzahl von Ausstoßöffnungen für den Ausstoß von Flüssigkeit bzw. Tinte in Form fliegender Tröpfchen, eine Vielzahl jeweils den Ausstoßöffnungen zugeordneter elektrothermischer Wand­ ler, die in einem Ätzprozeß hergestellt werden und die jeweils eine Heizwiderstandsschicht zum Erzeugen von Wär­ meenergie für das Formen der Tröpfchen haben, und beider­ seits der elektrothermischen Wandler angeordnete Schichten aus dem gleichen Material wie die Heizwiderstandsschicht oder mit gleicher Ätzgeschwindigkeit bzw. Ätzrate wie die Heizwiderstandsschicht aufweist.
Erfindungsgemäß wird bei der Herstellung der Heizwider­ standsschichten der elektrothermischen Wandler für das Bilden der Tröpfchen durch die beiderseits der Heizwider­ standsschichten angeordneten Schichten das Ausbreiten der Einwirkung der Umwälzung der Ätzlösung an den Endbereichen zu den Heizwiderstandsschichten hin verändert, so daß die Breiten der Wärmeerzeugungsbereiche gleichförmig werden.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß mit einem Tintenstrahl- Aufzeichnungskopf gemäß Patentanspruch 1 bzw. einem Substrat gemäß Patentanspruch 12 oder 23 gelöst.
Vorteilhafte Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Auf­ zeichnungskopfs bzw. Substrats sind in den Unteransprüchen aufgeführt.
Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausführungsbei­ spielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläu­ tert.
Fig. 1 zeigt die Verteilung der Breiten von Heizwider­ standsschichten eines Kopfs nach dem Stand der Technik.
Fig. 2 ist eine Draufsicht auf einen Tintenstrahl-Auf­ zeichnungskopf gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel.
Fig. 3, 4 und 9 sind Draufsichten auf Tintenstrahl-Auf­ zeichnungsköpfe gemäß weiteren Ausführungsbeispielen.
Fig. 5 ist eine Draufsicht eines Tintenstrahl-Aufzeich­ nungskopfs gemäß einem nächsten Ausführungsbeispiel, bei dem eine Blindwiderstandsschicht streifenförmig ist.
Fig. 6 ist eine Draufsicht eines Tintenstrahl-Aufzeich­ nungskopfs gemäß einem anderen Ausführungsbeispiel, bei dem die Blindwiderstandsschicht rasterförmig ist.
Fig. 7 zeigt die Verteilung der Breiten von Heizwider­ standsschichten des erfindungsgemäßen Aufzeichnungskopfs.
Fig. 8 zeigt ein Beispiel für einen üblichen Tintenstrahl- Aufzeichnungskopf.
Die Fig. 2 zeigt einen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf gemäß einem Ausführungsbeispiel. Mit 200 ist ein Satz von elektrothermischen Wandlern bzw. Heizelementen für den Ausstoß von Flüssigkeit bzw. Tinte bezeichnet. Jedes Heiz­ element hat eine Heizwiderstandsschicht 201 und eine Elek­ trodenschicht 203. Mit 202 ist ein Satz von elektrothermi­ schen Wandlern bzw. Blindheizelementen bezeichnet, die beiderseits der Heizelemente 200 angeordnet sind und die dazu dienen, die Flächen der Heizwiderstandsschichten 201 der Heizelemente einander gleich zu machen, wobei die Blindheizelemente nicht zum Tintenausstoß dienen. Im glei­ chen Prozeß wie die Heizelemente können die Blindheizele­ mente in einer Anzahl (von beispielsweise 10 oder mehr) gebildet werden, die zum Verhindern der Ausbreitung der Einwirkung des Randeffekts bei dem Ätzen zu den Heiz­ elementen 200 hin ausreichend ist.
D. h., bei diesem Ausführungsbeispiel werden mehr Heizele­ mente als die für die Bildaufzeichnung erforderlichen hergestellt und als tatsächliche Heizelemente die Heizele­ mente außer einer bestimmten Anzahl von Heizelementen an den einander gegenüberliegenden Enden verwendet. Daher wird der Kopf in dem Prozeß nicht nachteilig verändert, so daß gleichförmige und fehlerfreie Köpfe erzielt werden.
Das Blindheizelement kann den gleichen Aufbau wie das Heizelement haben, muß aber zwischen den beiden Elektroden (bzw. elektrisch leitenden Schichten) keine Wärme erzeu­ gen da es nicht zum Bilden von Tröpfchen herangezogen wird. Daher ist kein Anschluß an eine Steuersignalquelle erforderlich und das Ausbilden des Blindheizelements auf dem Substrat ausreichend.
Der Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf gemäß dem Ausführungs­ beispiel wird in folgenden Schritten hergestellt:
Auf einer Fläche einer Si-Scheibe wird durch thermische Oxidation ein SiO2-Film in einer Dicke von 5 µm gebildet. Dann wird eine Heizwiderstandsschicht aus HfB2 in einer Dicke von 150 nm aufgesprüht, wonach eine Al-Schicht in einer Dicke von 500 nm nach einem Elektronenstrahl-Ablage­ rungsverfahren aufgebracht wird.
Dann werden die Schichten in einem fotolithografischen Prozeß zu den erwünschten Heizflächen und Elektroden ge­ formt. Danach wird nach einem Hochgeschwindigkeits-Auf­ sprühverfahren eine SiO2-Schicht in einer Dicke von 2,5 µm aufgebracht.
Dann wird in einem Polyimidfilm (mit 3 µm Dicke) wie einem Film aus PIQ von Hitachi Chemical als Fotolack für das Abheben von Ta ein Muster ausgebildet, wonach nach einem Gleichstrom-Aufsprühverfahren ein Ta-Film (von 1,0 µm Dicke) aufgebracht wird. Nach dem Bilden des Ta-Films wird der Polyimidfilm entfernt und der Ta-Film mit dem Muster versehen. Auf diese Weise wird das Substrat hergestellt.
Abschließend wird zum Bilden eines Tintenzuführkanals, einer Wärmeeinwirkungsfläche und einer Düsenöffnung eine mit Nuten versehene Glasplatte derart aufgelegt, daß die Nut in eine geeignete Lage in bezug auf die an dem Substrat gebildete Heizfläche gebracht wird, und an das Substrat angeklebt.
Wenn für die Blindheizelemente eine andere Form als für die Heizelemente 200 gewählt wird, können die Blindheiz­ elemente und die Heizelemente leicht voneinander unter­ schieden werden, so daß der Zuleitungsanschluß der Heiz­ elemente erleichtert ist.
Die Fig. 9 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel. Hierbei stellt ein jeweils mit 202 bezeichneter Bereich einen Satz von Blindheizelementen dar. Bei diesem Ausführungsbeispiel unterscheidet sich die Form des Blindheizelements von derjenigen eines Heizelements 201, 203 in dem Satz von Heizelementen 200. Die Blindheizelemente und die Heizele­ mente können jedoch im gleichen Schritt hergestellt wer­ den. Der Formunterschied zwischen den Heizelementen dient zur leichten Unterscheidung derselben, so daß die Verbin­ dung zwischen diesen und der Leitungsanschluß der Heizele­ mente leicht und zuverlässig ausgeführt werden kann.
Bei den vorstehend beschriebenen beiden Ausführungsbei­ spielen sind zwar auch an den Blindheizelementen Elektro­ den ausgebildet, jedoch ist das Ausbilden von Elektroden an den Blindheizelementen nicht erforderlich, da diese nicht für den Ausstoß der Tinte bzw. Flüssigkeit benutzt werden.
Die Fig. 3 zeigt einen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel. Bei diesem Aus­ führungsbeispiel sind benachbart zu dem Tintenausstoß- Heizelementen 200 als Blindheizelemente rechteckige Wi­ derstandsschichten 301 mit einer Breite angeordnet, die für das Verhindern der Verengung der Heizelemente ausrei­ chend ist.
Der Aufzeichnungskopf gemäß diesem Ausführungsbeispiel kann auf die gleiche Weise wie derjenige gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel hergestellt werden. Da die Wider­ standsschichten 301 nicht zum Tintenausstoß herangezogen werden, müssen sie nicht angeschlossen werden.
Die Fig. 4 zeigt ein Ausführungsbeispiel, bei dem Wider­ standsschichten 401 vorgesehen sind, die ein anderes For­ mat als die rechteckigen Widerstandsschichten 301 nach Fig. 3 haben.
Gemäß den Fig. 5 und 6 sind die Widerstandsschichten der Ausführungsbeispiele gemäß Fig. 3 und 4 unterteilt, so daß Widerstandsschichten 501 bzw. 601 gebildet sind. D. h., nach Fig. 5 ist die Blindwiderstandsschicht streifenför­ mig, während nach Fig. 6 die Blindwiderstandsschicht ra­ sterförmig ist. Bei diesen Ausführungsbeispielen ist in­ folge der Vergrößerung der Randbereiche der in den Fig. 3 bis 6 und 9 gezeigten Widerstandsschichten die HfB2- Schicht leicht zu schmelzen bzw. zu ätzen.
Da bei den Tintenstrahl-Aufzeichnungsköpfen gemäß den vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispielen an den einander gegenüberliegenden Enden der Heizelemente für den Tintenausstoß die nicht für den Tintenausstoß benutzten Heizwiderstandsschichten angeordnet werden, sind gemäß der Darstellung in Fig. 7 die Breiten der Heizwiderstands­ schichten für den Tintenausstoß im wesentlichen gleich. Infolgedessen wird ein gleichförmiges Bild hoher Qualität aufgezeichnet.
Da die nicht für den Tintenausstoß benutzten Heizwider­ standsschichten im gleichen Prozeß wie die Tintenausstoß- Heizelemente allein durch Hinzufügen des betreffenden Musters gebildet werden, ist der Prozeß für die Herstel­ lung des Aufzeichnungskopfs unkompliziert.
Bei den vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispielen bestehen die als Blindheizelemente an den einander gegen­ überliegenden Seiten der Heizelemente 200 angeordneten Heizwiderstandsschichten aus dem gleichen Material wie die Heizwiderstandsschichten der Heizelemente 200.
Alternativ können die Blindheizelemente aus einem Material hergestellt werden, das die gleiche Ätzrate bzw. Ätzge­ schwindigkeit wie die Heizwiderstandsschichten der Heiz­ elemente 200 hat.
In einem Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf gemäß den Ausfüh­ rungsbeispielen sind die Breiten der Heizwiderstands­ schichten der für den Tintenausstoß benutzten Heizelemente gleich, so daß daher mit dem Tintenstrahl-Aufzeichnungs­ kopf das Aufzeichnen von Bildern in gleichförmiger Dichte und hoher Qualität ermöglicht ist.
Darüberhinaus kann das Substrat, auf dem die Heizwider­ standsschicht ausgebildet wird, eine Wärmesammelschicht enthalten.
Es werden ein Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf mit einer Vielzahl von Ausstoßöffnungen, durch die die Tinte ausge­ stoßen wird, einer Vielzahl von jeweils den Ausstoßöffnun­ gen zugeordneten elektrothermischen Wandlerelementen zum Erzeugen von Wärmeenergie für das Ausstoßen der Tinte, wobei jedes Wandlerelement eine an dem Substrat angebrach­ te Heizwiderstandsschicht und eine elektrisch leitende Schicht zum Bilden mindestens eines Satzes von elektrisch mit der Heizwiderstandsschicht verbundenen Elektroden aufweist, und einen benachbart zu einer Gruppe aus mehre­ ren Heizwiderstandsschichten angebrachten Blindheizelement und ein Substrat für den Aufzeichnungskopf angegeben.

Claims (23)

1. Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf, gekennzeichnet durch eine Vielzahl von Ausstoßöffnungen, durch die Tinte ausge­ stoßen wird, eine Vielzahl von jeweils einer Ausstoßöff­ nung entsprechend angeordneten elektrothermischen Wandler­ elementen (200) zum Erzeugen von Wärmeenergie für den Tintenausstoß, wobei jedes Wandlerelement eine an einem Substrat angebrachte Heizwiderstandsschicht (201) und eine elektrisch leitende Schicht (203) zum Bilden mindestens eines Satzes von elektrisch mit der Heizwiderstandsschicht verbundenen Elektroden aufweist, und ein Blindheizelement (202; 301; 401; 501; 601), das jeweils einer Gruppe von mehreren Heizwiderstandsschichten benachbart angeordnet ist.
2. Aufzeichnungskopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß das Blindheizelement (202; 301; 401; 501; 601) eine Heizwiderstandsschicht aufweist.
3. Aufzeichnungskopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß das Blindheizelement (202; 301; 401; 501; 601) eine Schicht aufweist, deren Ätzrate im wesentlichen gleich derjenigen der Heizwiderstandsschicht (201) ist, mit der das elektrothermische Wandlerelement (200) bei dessen Herstellungsschritt gebildet ist.
4. Aufzeichnungskopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß das Blindheizelement (202) die Heizwiderstands­ schicht und die elektrisch leitende Schicht aufweist.
5. Aufzeichnungskopf nach Anspruch 4, dadurch gekennzeich­ net, daß das Blindheizelement (202) eine Schicht mit einer Ätzrate ist, die im wesentlichen höher als diejenige der Heizwiderstandsschicht (201) ist, mit der das elektro­ thermische Wandlerelement (200) bei dessen Herstellungs­ schritt gebildet ist.
6. Aufzeichnungskopf nach Anspruch 4, dadurch gekennzeich­ net, daß die elektrisch leitende Schicht derart ausgebil­ det ist, daß zwischen der elektrisch leitenden Schicht und der Heizwiderstandsschicht ein gewählter Abstand gebildet ist.
7. Aufzeichnungskopf nach Anspruch 5, dadurch gekennzeich­ net, daß die elektrisch leitende Schicht derart ausgebil­ det ist, daß zwischen der elektrisch leitenden Schicht und der Schicht des Blindheizelements ein erwünschter Abstand gebildet ist.
8. Aufzeichnungskopf nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Blindheizelement (301; 401) rechteckförmig ist.
9. Aufzeichnungskopf nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Blindheizelement (501) streifenförmig ist.
10. Aufzeichnungskopf nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Blindheizelement (601) in kleine Teile aufgeteilt ist.
11. Aufzeichnungskopf nach Anspruch 10, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Aufteilung rasterförmig ist.
12. Substrat für einen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf, gekennzeichnet durch eine Vielzahl elektrothermischer Wandlerelemente (200), die auf einem Trägermaterial ausge­ bildet sind, wobei jedes Wandlerelement eine auf dem Trä­ germaterial ausgebildete Heizwiderstandsschicht (201) und eine elektrisch leitende Schicht (203) zum Bilden minde­ stens eines Satzes von elektrisch mit der Heizwiderstands­ schicht verbundenen Elektroden aufweist, und ein Blind­ heizelement (202; 301; 401; 501; 601), das auf dem Trä­ germaterial zu mindestens den beiden Seiten der Reihe der Wandlerelemente benachbart ausgebildet ist.
13. Substrat nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Blindheizelement (202; 301; 401; 501; 601) eine Heizwiderstandsschicht aufweist.
14. Substrat nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Blindheizelement (202; 301; 401; 501; 601) eine Schicht aufweist, deren Ätzrate im wesentlichen gleich derjenigen der Heizwiderstandsschicht (201) ist, mit der das elektrothermische Wandlerelement (200) bei dessen Herstellungsschritt gebildet ist.
15. Substrat nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Blindheizelement (202) die Heizwiderstandsschicht und die elektrisch leitende Schicht aufweist.
16. Substrat nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß das Blindheizelement (202) eine Schicht mit einer Ätzrate ist, die im wesentlichen höher als diejenige der Heizwiderstandsschicht (201) ist, mit der das elektrother­ mische Wandlerelement (200) bei dessen Herstellungsschritt gebildet ist.
17. Substrat nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrisch leitende Schicht derart ausgebildet ist, daß zwischen der elektrisch leitenden Schicht und der Heizwiderstandsschicht ein gewählter Abstand gebildet ist.
18. Substrat nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrisch leitende Schicht derart ausgebildet ist, daß zwischen der elektrisch leitenden Schicht und der Schicht des Blindheizelements ein erwünschter Abstand gebildet ist.
19. Substrat nach einem der Ansprüche 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß das Blindheizelement (301; 401) recht­ eckförmig ist.
20. Substrat nach einem der Ansprüche 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß das Blindheizelement (501) streifen­ förmig ist.
21. Substrat nach einem der Ansprüche 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß das Blindheizelement (601) in kleine Teile aufgeteilt ist.
22. Substrat nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufteilung rasterförmig ist.
23. Substrat für einen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf, dadurch gekennzeichnet, daß zur Herstellung des Substrats auf einem Trägermaterial für eine Vielzahl elektrothermi­ scher Wandlerelemente (200) eine Heizwiderstandsschicht (201) auf einer Fläche gebildet wird, welche zumindest die beiden Seiten der Reihe der elektrothermischen Wandlerele­ mente enthält, und die Heizwiderstandsschicht derart geätzt wird, daß an den beiden Seiten ein Blindbereich gebildet ist, so daß die Ätzrate der Heizwiderstands­ schicht über den ganzen Bereich konstant ist, in welchem mindestens ein Wärmeerzeugungsbereich ausgebildet ist.
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Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5798780A (en) * 1988-07-03 1998-08-25 Canon Kabushiki Kaisha Recording element driving unit having extra driving element to facilitate assembly and apparatus using same
EP0349959B1 (de) * 1988-07-03 1997-12-10 Canon Kabushiki Kaisha Tintenstrahlaufzeichnungsvorrichtung
US6234599B1 (en) 1988-07-26 2001-05-22 Canon Kabushiki Kaisha Substrate having a built-in temperature detecting element, and ink jet apparatus having the same
ES2069586T3 (es) * 1988-07-26 1995-05-16 Canon Kk Substrato para la impresion mediante chorros de tinta, cabezal de impresion y aparato que lo utilizan.
ATE117944T1 (de) * 1989-03-01 1995-02-15 Canon Kk Substrat für thermischen aufzeichnungskopf und thermischer aufzeichnungskopf unter verwendung dieses substrats.
DE69020021T2 (de) * 1989-03-24 1995-11-02 Canon Kk Tintendruckkopf-Substrat und Tintendruckkopf mit einem solchen Substrat.
US5237343A (en) * 1989-03-24 1993-08-17 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet head substrate, ink jet head having same and manufacturing method for ink jet head
ATE107231T1 (de) * 1990-02-02 1994-07-15 Canon Kk Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf und gerät.
DE69129159T2 (de) * 1990-11-09 1998-07-16 Citizen Watch Co Ltd Tintenstrahlkopf
CA2085551C (en) * 1991-12-19 1997-11-25 Atsushi Arai Ink jet recording apparatus and method
US5412412A (en) * 1992-12-28 1995-05-02 Xerox Corporation Ink jet printhead having compensation for topographical formations developed during fabrication
US5901425A (en) 1996-08-27 1999-05-11 Topaz Technologies Inc. Inkjet print head apparatus
JP4632386B2 (ja) * 2000-12-21 2011-02-16 キヤノン株式会社 液体吐出記録ヘッド
US7097280B2 (en) * 2004-02-12 2006-08-29 Lexmark International, Inc. Printheads having improved heater chip construction
KR100757861B1 (ko) * 2004-07-21 2007-09-11 삼성전자주식회사 잉크젯 헤드 기판, 잉크젯 헤드 및 잉크젯 헤드 기판의제조방법.
JP6720669B2 (ja) * 2016-04-22 2020-07-08 株式会社リコー 電気機械変換装置、センサ、アクチュエータ、及びそれらの製造方法、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置
CN109031813B (zh) * 2018-08-31 2021-04-30 上海天马微电子有限公司 液晶显示面板与液晶显示装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3008487A1 (de) * 1979-03-06 1980-09-18 Canon Kk Tintenstrahlaufzeichnungsgeraet

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5931943B2 (ja) * 1979-04-02 1984-08-06 キヤノン株式会社 液体噴射記録法
JPS5693564A (en) * 1979-12-28 1981-07-29 Canon Inc Recording method by jetting of liquid droplet
US4429321A (en) * 1980-10-23 1984-01-31 Canon Kabushiki Kaisha Liquid jet recording device
US4609427A (en) * 1982-06-25 1986-09-02 Canon Kabushiki Kaisha Method for producing ink jet recording head
US4646110A (en) * 1982-12-29 1987-02-24 Canon Kabushiki Kaisha Liquid injection recording apparatus
JPS59194860A (ja) * 1983-04-19 1984-11-05 Canon Inc 液体噴射記録ヘツド
JPH062414B2 (ja) * 1983-04-19 1994-01-12 キヤノン株式会社 インクジェットヘッド
US4624740A (en) * 1985-01-22 1986-11-25 International Business Machines Corporation Tailoring of via-hole sidewall slope
US4648938A (en) * 1985-10-11 1987-03-10 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Composition/bandgap selective dry photochemical etching of semiconductor materials

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3008487A1 (de) * 1979-03-06 1980-09-18 Canon Kk Tintenstrahlaufzeichnungsgeraet

Also Published As

Publication number Publication date
DE3705014C2 (de) 1992-04-16
US4740800A (en) 1988-04-26

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