DE3546113A1 - Verbundpulverteilchen, verbundkoerper und verfahren zu deren herstellung - Google Patents
Verbundpulverteilchen, verbundkoerper und verfahren zu deren herstellungInfo
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- B01J8/24—Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes with fluidised particles according to "fluidised-bed" technique
- B01J8/42—Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes with fluidised particles according to "fluidised-bed" technique with fluidised bed subjected to electric current or to radiations this sub-group includes the fluidised bed subjected to electric or magnetic fields
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/583—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on boron nitride
- C04B35/5831—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on boron nitride based on cubic boron nitrides or Wurtzitic boron nitrides, including crystal structure transformation of powder
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
- C04B35/628—Coating the powders or the macroscopic reinforcing agents
- C04B35/62802—Powder coating materials
- C04B35/62828—Non-oxide ceramics
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
- C04B35/628—Coating the powders or the macroscopic reinforcing agents
- C04B35/62802—Powder coating materials
- C04B35/62828—Non-oxide ceramics
- C04B35/62839—Carbon
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
- C04B35/628—Coating the powders or the macroscopic reinforcing agents
- C04B35/62884—Coating the powders or the macroscopic reinforcing agents by gas phase techniques
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
- C04B35/628—Coating the powders or the macroscopic reinforcing agents
- C04B35/62894—Coating the powders or the macroscopic reinforcing agents with more than one coating layer
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
- C04B35/628—Coating the powders or the macroscopic reinforcing agents
- C04B35/62897—Coatings characterised by their thickness
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/009—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/4505—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements characterised by the method of application
- C04B41/4529—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements characterised by the method of application applied from the gas phase
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/4584—Coating or impregnating of particulate or fibrous ceramic material
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
- C04B41/5001—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials with carbon or carbonisable materials
- C04B41/5002—Diamond
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
- C04B41/5053—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials non-oxide ceramics
- C04B41/5062—Borides, Nitrides or Silicides
- C04B41/5064—Boron nitride
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
- C04B41/81—Coating or impregnation
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
- C04B41/81—Coating or impregnation
- C04B41/85—Coating or impregnation with inorganic materials
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
- C04B41/81—Coating or impregnation
- C04B41/85—Coating or impregnation with inorganic materials
- C04B41/87—Ceramics
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K3/00—Materials not provided for elsewhere
- C09K3/14—Anti-slip materials; Abrasives
- C09K3/1436—Composite particles, e.g. coated particles
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K3/00—Materials not provided for elsewhere
- C09K3/14—Anti-slip materials; Abrasives
- C09K3/1436—Composite particles, e.g. coated particles
- C09K3/1445—Composite particles, e.g. coated particles the coating consisting exclusively of metals
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/26—Deposition of carbon only
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/34—Nitrides
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/34—Nitrides
- C23C16/342—Boron nitride
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/442—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using fluidised bed process
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2208/00—Processes carried out in the presence of solid particles; Reactors therefor
- B01J2208/00008—Controlling the process
- B01J2208/00017—Controlling the temperature
- B01J2208/00433—Controlling the temperature using electromagnetic heating
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J2219/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
- B01J2219/0894—Processes carried out in the presence of a plasma
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2103/00—Function or property of ingredients for mortars, concrete or artificial stone
- C04B2103/0041—Non-polymeric ingredients chosen for their physico-chemical characteristics
- C04B2103/0043—Compounds chosen for their specific Moh's hardness
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/38—Non-oxide ceramic constituents or additives
- C04B2235/3852—Nitrides, e.g. oxynitrides, carbonitrides, oxycarbonitrides, lithium nitride, magnesium nitride
- C04B2235/386—Boron nitrides
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/38—Non-oxide ceramic constituents or additives
- C04B2235/3852—Nitrides, e.g. oxynitrides, carbonitrides, oxycarbonitrides, lithium nitride, magnesium nitride
- C04B2235/3865—Aluminium nitrides
- C04B2235/3869—Aluminium oxynitrides, e.g. AlON, sialon
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/42—Non metallic elements added as constituents or additives, e.g. sulfur, phosphor, selenium or tellurium
- C04B2235/421—Boron
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/42—Non metallic elements added as constituents or additives, e.g. sulfur, phosphor, selenium or tellurium
- C04B2235/422—Carbon
- C04B2235/425—Graphite
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/42—Non metallic elements added as constituents or additives, e.g. sulfur, phosphor, selenium or tellurium
- C04B2235/422—Carbon
- C04B2235/427—Diamond
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/50—Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
- C04B2235/54—Particle size related information
- C04B2235/5418—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof
- C04B2235/5436—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof micrometer sized, i.e. from 1 to 100 micron
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/50—Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
- C04B2235/54—Particle size related information
- C04B2235/5418—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof
- C04B2235/5445—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof submicron sized, i.e. from 0,1 to 1 micron
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/96—Properties of ceramic products, e.g. mechanical properties such as strength, toughness, wear resistance
- C04B2235/9646—Optical properties
- C04B2235/9661—Colour
Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verbundpulverteilchen,
bestehend aus einem inneren Kern, der von einer daran anhaftenden
Schale umhüllt wird, sowie auf ein Verfahren zur Herstellung
dieses Verbundpulverteilchens.
Mehrphasige Verbundpulverteilchen sind seit langem bekannt.
Zum Beispiel sind Graphitpartikel mit dünnen Kupfer- oder
Nickelschichten umhüllt sowie Umhüllung von Diamantpulvern
mit z. B. dünnen Nickel- oder Kupferschichten oder Uranoxidteilchen
mit Pyrokohlenstoff oder SiC-Schichten umhüllt in
der Literatur beschrieben.
Der Vorteil derartiger Verbundpulver ist, daß sie, entweder
als Pulver verwendet, besondere Oberflächeneigenschaften
aufweisen, die vom Kernmaterial verschieden sind, oder durch
Verpressen und Sintern zu mehrphasigen Körpern verarbeitet
werden können, die besondere Eigenschaften haben.
Verfahren, derartige Pulver herzustellen, sind zum Beispiel
chemische oder elektrolytische Abscheidung aus wäßriger Lösung
bzw. Salzschmelzen oder Abscheidungen aus der Gasphase.
Auch epitaxisch abgeschiedene Diamantschichten auf Diamantpulvern
wurden vor einiger Zeit beschrieben mit dem Ziel,
das Gewicht des Diamantpulvers zu erhöhen. Besondere Änderungen
der physikalischen und chemischen Eigenschaften des
Diamantpulvers wurden dabei nicht beabsichtigt (S. P. Chauhan,
J. C. Angus, N. C. Gardner: J. of Appl. Phys. 47, 1976,
Seiten 4746 bis 4754).
Für die Herstellung von Diamant-Schichten sind in der Literatur
neue Verfahren zur Abscheidung von Diamant im metastabilen
Bereich, im Unterdruck, beschrieben worden (K. Recker:
Z. Dt. Gemmol. Ges. Nr. 1/2, 1984, 5/34).
Auch die Herstellung von superharten BN wird in der Literatur
mit analogen Methoden erwähnt (S. Komatsu, K. Akashi,
T. Yoshida, Paper number P-5-11, Proceedings of the JSPC-7
Eindhoven, Juli 1985).
Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe bestand nun darin,
unterschiedlich anwendbare Pulver mit verbesserten
Eigenschaften zu bekommen.
Diese Aufgabe wird mit Verbundpulverteilchen mit den eingangs
genannten Merkmalen gelöst, die dadurch gekennzeichnet
sind, daß die Schale wenigstens teilweise aus einem superharten
Stoff besteht, der von dem Kern verschieden ist.
Nach einer bevorzugten Ausführungsform besteht die Schale
wenigstens teilweise aus einem superharten Stoff, der chemisch
verschieden von dem Material des Kernes ist.
Unter Superhartstoffen werden Stoffe mit einer Härte von
mehr als 3500 Vickers verstanden, die vorzugsweise Modifikationen
von Kohlenstoff, Bornitrid und anderen Phasen aus
dem ternären System B, N, C darstellen, wobei diese Elemente
als Hauptbestandteile auftreten. Einige in diesen Systemen
auftretende Phasen oder Verbindungen können einzeln oder
als Gemische oder als Übergangsstrukturen oder in der Form
von Kristallgittern mit interstitiell eingelagerten Atomen
oder als Mischkristalle oder als Kristallstrukturen, die
mit einem hohen Anteil von Gitterfehlern behaftet sind, diese
Härte erreichen.
Weiterhin ist es zweckmäßig, daß der innere Kern ein ein-
oder polykristallines Teilchen aus einer superharten Modifikation
von Bornitrid oder ein bei Temperaturen bis 1000°C
mit Kohlenstoff und/oder Bornitrid höchstens wenig reagierender
und sie bis zu dieser Temperatur höchstens langsam
auflösender Harstoff, bestehend aus einem Karbid, z. B. SiC,
B4C, WC, TiC, TaC, einem Nitrid, z. B. TiN, TaN, ZrN, AlN,
Si3N4, einem Bornitrit, z. B. TiB2, TaB2, WB, einem Phosphid,
z. B. BP, einem Sulfid, z. B. CaS, CeS, einem Silicid, z. B.
MoSi2, TiSi2, einem Oxid, Oxynitrid, Oxycarbid, Oxycarbonitrid,
z. B. Al2O3, AlNO, AlCON, Ti(C,O), Zr(C,N,O), einer
NOSC (= Non-Oxide-Silicon-Ceramic), SiAlON, oder einem anorganischen
Stoff normaler Härte, der bei Temperaturen bis
1000°C mit Kohlenstoff nicht oder nur langsam reagiert oder
diesen nicht oder nur wenig auflöst, z. B. Metalle wie Cu,
Ag, Au, Legierungen, intermetallische Phase(n), Verbindungen
wie Oxide und Oxidgemische, wie Silicate, Aluminate, Spinelle,
oder Sulfide, Karbide, Nitride, Carbonitride, Oxykarbide,
Silicide, Boride, Oxycarbonitride, Hydride, Aluminide,
Ferrite, oder anorganische Salze, sowie mehrphasigen Mischungen
dieser Stoffe bzw. Mischkristallen dieser Stoffe,
oder einem festen Reaktionsprodukt, das im Reaktionssystem
spontan auftritt und als heterogener Kristallkeim wirkt,
ist.
Bei noch einer anderen bevorzugten Ausführungsform besteht
die äußere Schale aus mehreren Schichten, wovon mindestens
eine aus ein- oder polykristallinem Diamant und/oder einer
anderen superharten Kohlenstoffmodifikation oder einer superharten
Modifikation von Bornitrid oder einer superharten
binären oder ternären Phase aus dsem System B, N, C besteht,
wobei dieser superharte Stoffe eine zusammenhängende anhaftende
Schicht bildet.
Weiterhin ist es zweckmäßig, wenn sowohl der Kern als auch
die Schale aus Diamant und/oder einer anderen superharten
Kohlenstoffmodifikation besteht, wobei diese sich chemisch
und/oder physikalisch in ihrer Struktur und/oder ihren
Eigenschaften unterscheiden.
Zweckmäßig kann es auch sein, daß der Kern so klein ist,
daß er als ein homogener oder heterogener Keim für die
Kristallisation des Superhartstoffes aus der damit übersättigten
Gasphase anzusehen ist.
Im Gegensatz zu bereits in der Literatur beschriebenen
Verbundpulverkörpern, die den superharten Bestandteil immer
nur im Zentrum enthalten, ist es aufgrund der Erfindung
jetzt möglich, superharte Stoffe auch dann als dünne Schicht
in der äußeren Schale eines Pulververbundkörpers anzubringen,
wenn der Kern ncht aus Diamant besteht. Mit gewissen,
später näher beschriebenen Einschränkungen kann der Kern
aus einer großen Reihe von Stoffgruppen frei ausgewählt werden.
Der Kern kann auch aus einem superharten Stoff bestehen,
der sich dann aber von den äußeren superharten Schichten
der Umhüllung in seiner chemischen Zusammensetzung und/
oder in seinen physikalischen und/oder chemischen Eigenschaften
mehr oder weniger stark unterscheidet.
Eine Reihe von Kombinationsmöglichkeiten für fast vollständig
aus superharten Stoffen bestehende Pulver existiert.
1. Kombination:
Einkristalliner superharter Kern mit einkristalliner superharter Umhüllung mit vom Kern verschiedenen chemischen und/oder physikalischen Eigenschaften.
Einkristalliner superharter Kern mit einkristalliner superharter Umhüllung mit vom Kern verschiedenen chemischen und/oder physikalischen Eigenschaften.
Obwohl die der Erfindung zugrundegelegte Umhüllung mit einem
superharten Stoff normalerweise nicht einkristallin ist,
kann dies erzwungen werden, und zwar insbesondere dann, wenn
auch der Kern aus einem einkristallinen Teilchen besteht
und die Schicht auf diesem Kern epitaxisches Wachstum zeigt.
Das Wachstum dieser Umhüllungsschicht ist dann aber nicht
gleichmäßig. Ihre Dicke ist von den Kernkristallflächen abhängig
und je nach Unterlagsflächen unterschiedlich. Das
heißt, gewisse Kristallflächen und Kristallorientierungen
werden dicker belegt sein und andere dünner. Hochindizierte
Flächen werden normalerweise stärker belegt. Kristallgleichgewichtsformen
mit niedrig indizierten Flächen treten dadurch
bevorzugt im äußeren Erscheinungsbild auf und bestimmen
stark die äußere Gestalt (Habitus) der Pulverteilchen.
2. Kombination:
Superharter Kern und chemische gleichartige aber polykristalleine, superharte Umhüllung.
Superharter Kern und chemische gleichartige aber polykristalleine, superharte Umhüllung.
Beispielsweise ist die Herstellung von superharten Bornitridschichten
mit speziellen physikalischen Eigenschaften
auf einem ein- oder polykristallinen superharten Bornitridkern
möglich. Derartige Verbundpulver sind nicht nur für
die weitere Verarbeitung zu einem Sinterprodukt von Interesse,
sondern auch als Pulver selbst verwendbar.
Das Verfahren erlaubt aber auch, ohne hohen Druck durch eine
Gasphasenreaktion als Umhüllung Diamant auf superharten Bornitridkernen
herzustellen.
Ebenfalls ist es möglich, bei einem einkristallinen Kern
anstelle der einkristallinen Schale eine polykristalline
Schicht herzustellen, die z. B., als Pulver verwendet, beim
Schleifen oder Polieren besonders griffig bleibt. Dabei kann
eine teilweise epitaxische Beziehung zwischen dem Kern und
der aufgewachsenen Schicht bestehen.
Die Schale wird sich aber im allgemeinen vom Kern auch bei
Verwendung der gleichen chemischen Substanz (BN oder Kohlenstoff)
unterscheiden, z. B. in ihrer chemischen Zusammensetzung,
in ihren physikalischen Eigenschaften, in ihrem inneren
Aufbau, z. B. der Zahl und Art der Einschlüsse von Kristallfehlern
und deren Dimension. Im Falle des Bestehens
des Kerns und der Schale aus dem gleichen superharten Material
kann zwar oft kein Unterschied in der Kristallstruktur
vorliegen, aber trotzdem können absichtlich zur Erzielung
gewisser besonderer Eigenschaften die chemische Zusammensetzung
und/oder die physikalischen und/oder chemischen Eigenschaften
der Schale stark geändert werden. Dies kann in extremen Fällen sogar
zur Änderung der Kristallstruktur (z. B. Diamant geht in
Lonsdaleit über) führen, was aber nur in Ausnahmefällen der
Fall sein wird und keineswegs zur Erzielung der gewünschten
Eigenschaftsveränderungen notwendig ist.
Wenn die Schale sich vom superharten Kern nur in den chemischen
und/oder physikalischen Eigenschaften, jedoch nicht
in seiner Kristallstruktur vom Kern unterscheidet, z. B.
im Falle eines Diamantkerns und einer Diamantschale oder
einer Schale aus einer anderen superharten Kohlenstoffmodifikation,
können durch eine Änderung der Zusammensetzung
oder der physikalischen Struktur der äußeren Schale besondere
Eigenschaften des so erzeugten Diamantpulvers erzielt
werden. Nicht die Gewichtszunahme des Diamanten durch den
Materialzuwachs ist dabei - im Gegensatz zu ähnlichen, in
der Literatur bereits beschriebenen Verfahren - bedeutend,
sondern die Vorteile, die diese neuen Eigenschaften erbringen.
Es ist so möglich, entweder durch chemische Zusätze (Doping)
Änderung sowohl der physikalischen als auch der chemischen
Natur in die äußere Schale einzuführen, oder während der
Bildung dieser superharten Diamantschicht durch besondere
Abscheidungsbedingungen (Veränderung der Keimzahl und
Wachstumsgeschwindigkeit durch Abscheidungstemperatur oder besondere
Sättigung des Gasraumes mit den reagierenden Komponenten
oder durch eine besondere Beeinflussung [Beschleunigung]
der Ionen etc.) deren Eigenschaften so zu verändern, daß
diese wesentlich von den ursprünglich eingesetzten Kernen
abweichen. Es ist ferner möglich, durch diese Verfahren auch
von idealem Diamantkristall stark abweichende fehlerhafte
und verzerrte Kristallgitter zu erzeugen, bis hin zu Übergangsformen,
die z. B. Einschlüsse von Lonsdaleit, d. h. ausgeprägte
Stapelfehler des Gitters und sogar bis hin zu Strukturen, die der Stoffgruppe
der Carbide angehören sowie teilweise amorphe Strukturen zeigen.
Durch verschiedene Abscheidungsbedingungen sind dabei u. a.
Eigenschaftsveränderungen möglich, die die Schale von dem
eingebrachten, relativ gut kristallisierten, kubischen Diamanten
deutlich unterscheiden, beispielsweise:
Farbe, z. B. blau (durch B-Zusätze), gelb-durchsichtig
(durch N2) oder braun bis schwarz (durch verschiedene
Reinheitsgrade oder Verunreinigungen, z. B. durch Elemente
wie Ni, Fe, Mn etc.). Damit verbunden sind z. B. bestimmte:
Lichtbrechung, Lichtreflexion, Lichtszintilationseigenschaften,
Röntgen-, Thermo-, Elektro- und Kathodoluminiszenz,
z. B. mit verschiedenen Donor- und Akzeptorzentren,
die durch Doping und/oder infolge Wachstumsfehler
entstehen, anormale Doppelbrechung, Photoleitfähigkeit,
UV- und/oder IR-Absorption oder Fluoreszenz und
Phosphoreszenz.
Dichte, Härte, Festigkeit, E-Modul, Spaltbarkeit, Abriebbeständigkeit
und Abriebfestigkeit, thermische Leitfähigkeit,
Bildung besonderer Kristallfacetten (z. B. ausschließlich
Oktaederflächen oder Würfelflächen durch Zusätze
von Mn, Zr, Platinmetalle etc. oder [113] Facetten,
z. B. durch B-Zusätze, wie oft auf Ge- und Si-Kristallen
beobachtet, Typ I Diamanten bzw. Ia oder Ib ähnliche Diamanten
oder Typ II bzw. Typ IIa oder IIb Diamanten, z. B.
durch besonders niedrige Stickstoffgehalte.
elektrische Leitfähigkeit, Halbleitereigenschaft vom p-
Typ (z. B. durch B-, Al- oder ähnlichen Zusatz oder Zusatz
von freiem Kohlenstoff) mit besonderen Druck- und
Temperaturabhängigkeiten, Halbleitereigenschaften vom
n-Typ z. B. durch Legieren mit Stickstoff, P, As, Sb oder
Li als Zwischengitter-Donoren und anderen geeigneten
Elementen.
Benetzbarkeit durch flüssige Metalle, Legierungen etc.,
Benetzbarkeit durch oxidische und silicatische Schmelzen,
Oberflächenreaktionsgeschwindigkeiten mit chemischen
Stoffen, z. B. chemische Resistenz gegen oxidierende Medien,
wie Sauerstoff, Salzschmelzen etc. oder reduzierende
Medien, wie H2, CO etc., Umwandlungskinetik (Geschwindigkeit)
bei Erhitzen über 500°C der superharten metastabilen
Modifikationen in die stabilen Modifikationen.
Manche der hier aufgelisteten Eigenschaftsänderungen können
zum Teil einzeln, zum Teil gemeinsam auftreten und ermöglichen
eine starke Erweiterung der Nutzbarkeit derartiger Diamantpulver.
Alle hier genannten Änderungen der Eigenschaften der in der
Schale gebildeten Diamantschicht(en) können nicht nur bei
Diamantkernen, sondern auch bei allen anderen hier angeführten
Kernmaterialien angewendet werden.
Ebenso ist es möglich, derartige modifizierte Diamantschichten
oder BN-Schichten mit besonderen Eigenschaften als sogenannte
"Coatings" auf größeren Verbundkörpern aufzubringen,
die nicht pulverförmig sind. Das Substrat muß dabei nicht
aus Diamant bestehen. Die praktische Nutzung dieser Verbundkörper
kann durch die besonderen Eigenschaften der aufgebrachten
Diamantcoating-Schichten auch an größeren Körpern
direkt, d. h. ohne die Notwendigkeit des Verpressens von
Pulvern genutzt werden und stellen daher Erweiterung der
in diesen Patenten genannten Anwendungsmöglichkeiten dar.
Für die Substrate dieser Verbundkörper gelten die nachfolgenden
Ausführungen bezüglich der Beschaffenheit der Kerne
der Verbundteilchen.
3. Kombination:
Verbundpulverteilchen bestehend aus wenigstens zwei chemisch verschiedenen superharten Stoffen als Kern oder Hülle (z. B. Diamantkern mit BN-Schicht oder umgekehrt).
Verbundpulverteilchen bestehend aus wenigstens zwei chemisch verschiedenen superharten Stoffen als Kern oder Hülle (z. B. Diamantkern mit BN-Schicht oder umgekehrt).
Die Kombination verschiedener superharter Stoffe in einem
Verbundpulverteilchen war bisher nicht möglich, da geeignete Verfahren
zur Bildung einer Schicht fehlten. So ist z. B. die Kombination von
superhartem Bornitrid und superhartem Diamant von besonderem Interesse,
da die beiden superharten Stoffe sich in ihrern Polier-, Schleif- und
Schneideigenschaften, z. B. gegenüber Stahl, Aluminium, Gesteinen u. a.
Stoffen, wesentlich unterscheiden. Dabei ist entweder der Kern eine
ein- oder polykristalline superharte Modifikation des Kohlenstoffs und
die Umhüllung eine oder mehrere ein- oder polykristalline Phase(n) des
superharten Bornitrids oder umgekehrt. Ebenso können hier alle anderen
oben definierten Superhartstoffe mit Härten von über 3500 Vickers beliebig
verwendet werden.
4. Kombination:
Superharter Kern mit superharter polykristalliner Schicht (chemisch gleich oder verschieden) sowie Ein lagerung ihrer stabilen Phasen in den Korngrnzen.
Superharter Kern mit superharter polykristalliner Schicht (chemisch gleich oder verschieden) sowie Ein lagerung ihrer stabilen Phasen in den Korngrnzen.
Eine weitere Möglichkeit ist, daß insbesondere bei den polykristallinen
Schichten neben den superharten und metastabilen auch die normalen
stabilen Phasen gleicher chemischer Zusammensetzung
in gewissen Anteilen erzeugt werden können. Beispielsweise
kann eine Umhüllungsschicht aus polykristallinem Diamant,
in den Korngrenzen, je nach Herstellungsart, mehr oder weniger
große Anteile von Graphit und/oder amorphem Kohlenstoff
enthalten. Dies bringt beispielsweise bei jenen Anwendungen
Vorteile, wo die Pulverteilchen nachträglich in einer Hochdruckpresse
zu einem größeren Körper verdichtet werden. Dieser
Graphitanteil hilft, vor seiner Hochdruckumwandlung in
Diamant eine besonders dichte Packung des Preßkörpers zu
erzeugen, da er im ersten Augenblick des Zusammenpressens
zunächst ein Gleiten der Körper untereinander und eine Verschiebung
in sich ermöglicht, was die optimale Verdichtung
erlaubt. Da der Graphit sehr fein verteilt ist, ist er in
dieser Wirkung besonders günstig und besser geeignet als
die dafür normalerweise zugesetzten Graphitpulveranteile.
Aber auch bei gewissen direkten Anwendungen der Verbundpulver
zum Schleifen und Polieren hat der Graphitanteil eine
positive Wirkung auf die Schleif- und Polierwirkung, da er
infolge seiner Gleiteigenschaften und seiner besonderen Verteilung
im Verbundkörper den Vorgang der Oberflächenglättung
günstig beeinflußt.
Analoge Beispiele gelten für die superharten kubischen bzw.
hexagonalen Bornitridphasen und die amorphen oder die normalerweise
hexagonal auftretenden weichen Schichtstrukturen
des Bornitrids. Auch hier kann die gleichzeitige Erzeugung
dieser Nichthartstoffphasen durch geeignete Prozeßbedingungen
gesteuert werden.
5. Kombination:
Kern mit einer oder mehreren äußeren superharten Schichten allein oder mit zusätzlichen normalen Schichten oder Hartstoffschichten.
Kern mit einer oder mehreren äußeren superharten Schichten allein oder mit zusätzlichen normalen Schichten oder Hartstoffschichten.
Beispielsweise kann die Kombination von einem oder mehreren
superharten Stoffen mit solchen Hartstoffen, die teilweise
zum Polieren oder Schleifen heute bereits industriell genutzt
werden (z. B. Aluminiumoxid, Siliciumcarbid, Borcarbid
usw.), von besonderem Vorteil sein.
Dabei kann entweder nur der Kern ein normaler Hartstoff sein
und ein einziger Superhartstoff die Schalen bilden, oder
es können mehrere superharte Schichten aufgebracht werden,
wobei als Zwischenlagen auch normale Stoffe oder Hartstoffschichten
gewählt werden. In diesem Fall wird z. B. die Griffigkeit
des superharten Stoffes, der in mehreren Lagen in
der Schale aufgebracht wurde, durch eine Art Selbstschärfung
erhöht, weil der zwar harte, aber doch vergleichsweise zum
Superhartstoff relativ weiche Hartstoff schneller abgerieben
wird und damit der superharte Stoff immer eine scharfe
Schneidkante für die Polier- oder Schleifarbeit darbietet.
Durch Aufbringen in wechselnder Folge von superharten und
harten Schichten ist dieser Effekt besonders ausgeprägt.
Wichtig ist hierbei, daß die jeweilige Dicke der Schichten
und ihre Härte in einem optimalen Verhältnis zueinander stehen.
Je dünner die superharte Schicht, umso härter muß auch
die Zwischenschicht der Hartstoffe sein, damit der sonst
allzu rasche Verschleiß dieser Schicht nicht zu einem Ausbrechen
und Abplatzen der superharten Schicht führt.
Die mehrlagige Aufbringung von superharten Stoffen in wechselnder
Folge ermöglicht aber auch eine besonders feinkörnige
Unterteilung dieser nach dem Verpressen und/oder Sintern
in einem größeren Verbundkörper.
Auch die besondere chemische Resistenz oder andere Oberflächeneigenschaften
der superharten Werkstoffe können hierbei
genutzt werden.
Beim Verpressen derartiger mehrlagiger Verbundpulver können,
z. B. besonders wenn als letzte äußerste Schicht eine besonders
in Bezug auf ihre chemische Beständigkeit und Benetzung
ausgewählte Schicht aufgebracht wird, die üblichen Vorteile
der mehrphasigen Verbundpulverteilchen, wie gute Benetzbarkeit
oder gute Kaltverschweißbarkeit oder besondere Resistenz
gegenüber flüssigen Phasen bei der Herstellung usw., optimal
genutzt werden.
6. Kombination:
Der Kern besteht aus einem winzigen Keim, auf dem der Superhartstoff aufgewachsen ist.
Der Kern besteht aus einem winzigen Keim, auf dem der Superhartstoff aufgewachsen ist.
Dieser Keim kann aus einem artfremden Stoff bestehen und
so klein sein, daß er praktisch nur schwer sichtbar gemacht
werden kann (= heterogener Keim) oder arteigenes Material
darstellen und nur aus einem sehr fehlerhaften Kristallgitter
des superharten Stoffes selbst bestehen (= homogener
Keim).
Im folgenden sind einige Stoffbeispiele aufgelistet, die
zahlreiche weitere Kombinationen zeigen; denn der Erfindung
entsprechend wird ein Verbundpulverteilchen hergestellt,
bestehend aus einem in seiner Natur und seiner Größe sehr
variablen inneren Kern, der von einer anhaftenden, vorzugsweise
fest anhaftenden, äußeren Schale umhüllt wird. Diese
besteht vollständig oder nur teilweise aus einem superharten
Stoff und ist in ihren Dimensionen und in der Wahl der nicht
superharten Zwischenschichten in weiten Bereichen variierbar.
Derartige Zwischenschichten können im Prinzip aus dem
gleichen Stoff wie die nachfolgend beschriebenen Kernmaterialien
ausgewählt werden.
Der Kern ist entweder ein superharter Stoff, bestehend aus
einem einkristallinen Diamant oder Lonsdaleit oder einer
anderen einkristallinen superharten Kohlenstoffmodifikation,
einem polykristallinen Diamant oder Lonsdaleit oder einer
anderen polykristallinen Kohlenstoffmodifikation, einer einkristallinen
superharten Modifikation von Bornitrid, einer
polykristallinen superharten Modifikation von Bornitrid oder
ein harter Stoff, der bei Temperaturen bis 1000°C mit Kohlenstoff
nicht oder nur langsam reagiert oder diesen nicht
oder nur wenig auflöst, bestehend aus einem Karbid, z. B.
SiC, B4C, WC, TiC, TaC etc. einem Nitrid, z. B. TiN, TaN,
ZrN, AlN, Si3N4 etc., einem Borid, z. B. TiB2, TaB2, WB,
etc., einem Phosphid, z. B. BP etc., einem Sulfid, z. B.
CaS, CeS etc., einem Silicid, z. B. MoSi2, TiSi2 etc., einem
Oxid, Oxynitrid, Oxycarbid, Oxycarbonitrid, z. B. Al2O3,
AlNO; AlCON, Ti(C,O), Zr(C,N.O) etc., einer NOSC (= Non-Oxide-
Silicon-Ceramic) oder SiAlON etc., oder ein anorganischer
Stoff normaler Härte, der bei Temperaturen bis 1000°C mit
Kohlenstoff nicht oder nur langsam reagiert oder diesen
nicht oder nur wenig auflöst, wie z. B. Metalle wie Cu, Ag,
Au etc., oder Legierungen oder eine intermetallische Phase(n)
oder Verbindungen wie Oxide und Oxidgemische wie Silicate,
Aluminate, Spinelle etc., oder Sulfide, Karbide, Nitride,
Carbonitride, Oxykarbide, Silicide, Boride, Oxycarbonitride,
Hydride, Aluminide, Ferrite etc., oder Oxidgemische
oder anorganische Salze oder mehrphasige Mischungen dieser
Stoffe bzw. Mischkristalle dieser Stoffe oder ein fester
Stoff, der ein Reaktionsprodukt darstellt, das im Reaktionssystem
spontan auftritt und als heterogener Kristallkeim
wirkt.
Das Verbundpulverteilchen ist ferner charakterisiert dadurch,
daß die Schale wenigstens eine Lage eines superharten
Stoffes aufweist, wobei der Kern z. B. aus einer der oben
aufgelisteten Substanzen besteht und wobei die äußere superharte
Schale epitaxisch auf einem einkristallinen Kern aufgewachsen
ist oder jede kristallographische Beziehung zwischen
dem Kern und der ersten Schale fehlt, oder Übergänge
zwischen den beiden Extremfällen in beliebigen Maß auftreten
können oder die polykristalline Schale neben dem superharten
Stoff den gleichen Stoff in seiner stabilen Modifikation
enthält, welche in der Korngrenze vorkommt, wobei, wenn der
superharte Stoff Diamant oder Lonsdaleit oder eine andere
superharte Kohlenstoffmodifikation ist, zusätzlich entweder
Graphit und/oder amorpher Kohlenstoff auftreten, eine superharte
Modifikation von Bornitrid ist, zusätzlich entweder
weiches hexagonales und/oder amorphes BN auftritt, oder die
äußere Schale aus mehreren Schichten besteht, wovon mindestens
eine aus kristallinem oder polykristallinem Diamant
und/oder Lonsdaleit und/oder einer anderen superharten
Kohlenstoffmodifikation besteht und diese eine zusammenhängende
Schicht bilden, oder die äußere Schale aus mehreren Schichten
besteht, wovon mindestens eine aus einkristallinen oder
polykristallinen Modifikationen von superhartem Bornitrid
besteht und dieses eine zusammenhängende Schicht bildet,
oder die äußere Schale aus mehreren Schichten, die in regelmäßiger
Reihenfolge abwechselnd immer wieder Zwischenschichten
von Diamant oder superhartem Bornitrid enthalten, besteht,
oder desgleichen, wobei in wechselnder unregelmäßiger Folge sowohl
Diamantschichten als auch kubische Bornitridschichten verwendet
werden, oder die äußeren Schichten neben Diamant und/oder superharten
BN-Schichten und/oder anderen superharten binären oder ternären Phasen
aus dem System B, N, C auch andere Schichten (z. B. die oben als Kern genannten
anorganischen Stoffe) in der Schale des Verbundteilchens als
Zwischenschicht enthalten.
Die Dimensionen des Verbundkörperteilchens sowie die Größe
des Kernes bzw. der Umhüllung kann in weiten Grenzen variiert
werden, z. B. ist der Durchmesser des inneren Kernpartikels
bei gewissen Pulvern, die alle für superharte Pulver heute übliche
Durchmesser erreichen können, bei bewußt gewählten Versuchsbedingungen
infolge Keimbildung aus der stark übersättigten Gasphase viel kleiner
als 0,01 µm und daher praktisch mit den üblichen Methoden nur schwer
nachweisbar. Weist der Durchmesser des inneren Kernpartikelchens eine
Größe von 0,01 bis 100 µm, vorzugsweise jedoch zwischen 1 und 10 µm,
auf, liegt der äußere Durchmesser des Pulververbundteilchens
zwischen 1 µm und mehreren 1000 µm, vorzugsweise aber im
Bereich zwischen 10 und 100 µm, haben die einzelnen Schichten
der äußeren zusammenhängenden Schale jeweils eine Dicke
zwischen 0,1 und 5000 µm, jedoch vorzugsweise zwischen 1
und 5 µm.
Auch der Aufbau ist variabel. Es können zum Beispiel die
äußeren Schichten der Schale in gewisser Reihenfolge aufgebracht
werden und zueinander in einem geordneten und regelmäßigen
Verhältnis stehen, die in der äußeren Schale liegenden
Schichtdicken des superharten Stoffes im Bereich zwischen
1 und 5 µm liegen, wobei die Hartstoffschichtdicke
nur etwa die Hälfte bis ein Zehntel dieser Dicke betragen
soll, die in der Schale liegenden Schichten des superharten
Stoffes zwischen 100 und 500 µm liegen und der Hartstoff
etwa gleich dick wie die Superhartstoffschicht sein.
Die erfindungsgemäßen Verbundpulverteilchen werden zweckmäßig
nach einem Wirbelschichtverfahren oder anderen Gasphasenabscheidungsverfahren
hergestellt. Allerdings muß das
bestehende Verfahren in dem Sinne modifiziert werden, daß
der Gasstrom, der die Pulverteilchen in Wirbelschichtbewegung
hält, durch eine geeignete Vorbehandlung einen reaktiven
und angeregten Gasanteil enthält, der die Entstehung
der weichen und im Druck- und Temperaturbereich des Verfahrens
thermodynamisch stabilen Phasen anstelle der metastabilen
superharten Phasen verhindert. Insbesondere ist z. B.
bei der Herstellung von Diamant, ein entsprechend hoher Anteil
eines reaktiven atomaren Wasserstoffatomes im Gas, sowie
die Bildung von Kohlenstoffradikalen bzw. entsprechender
Ionen von Bedeutung, da sonst weder der Diamant entsteht,
noch die Bildung von unerwünschtem weichem Graphit oder von
Kohlenstoffphasen verhindert bzw. kontrolliert werden kann.
Ähnliches gilt für die Herstellung der superharten Bornitridphasen.
Durch eine geeignete Gasanregung müssen die Bor
enthaltenden Gasmolekühle und/oder ein zweites Gas, wie z. B.
Wasserstoff, Halogene oder Gemische daraus, in einen solchen
Zustand gebracht werden, daß die Bildung der weichen hexagonalen
Bornitridphase oder amorpher Phasen unterdrückt oder
kontrolliert werden kann und die superharten Phasen als
Hauptbestandteile oder ausschließlich abgeschieden werden.
Im Falle von Verbundkörpern arbeitet man nicht in einer Wirbelschicht,
sondern legt oder hängt die Substrate im Reaktionsraum
auf.
Die oben erwähnte Anregung und Herstellung entsprechen aggressiver
Gase (H2, Halogenide etc.) bzw. die Modifikation
der Bor- bzw. Kohlenstoffverbindungen gelingt durch die Verwendung
von Verfahren, die die gasförmigen Moleküle oder
Atome entsprechend aufbricht und kurzlebige Ionen, Radikale
oder atomare Gasspezien erzeugt. Dies kann auf verschiedene
Art geschehen, beispielsweise durch Erhitzen z. B. mit Hilfe
einer glühenden Metalloberfläche, z. B. eines Ta- oder W-
Drahtes, -Rohres oder -Netzes mit entsprechend hoher Temperatur,
durch Gasentladungen im Unterdruck, ausgelöst von
Gleich- oder Wechselströmen, durch die Anwendung eines kalten
Plasmas, hergestellt durch elektromagnetische Wellen
vorzugsweise im Mega- und Gigahertz-Bereich, durch Ultraschall
bzw. Druckwechsel, durch die Verwendung rein chemischer
Verfahren, wie z. B. durch Zersetzung von HJ oder HBr
mit Licht, wobei die Bildung von atomarem Wasserstoff und
Halogenen erzwungen wird. Werden dabei Stoffe verwendet,
die als Endprodukt eine bei Reaktionstemperatur feste oder
flüssige Phase bilden, so können diese als Kerne (heterogene
Keime) des superharten Stoffes auftreten. Ein Wirbelbettverfahren
ist dann meist nicht notwendig für die Herstellung
derartiger Pulver.
Derartige Anregungsverfahren sind zum Teil in den oben genannten
Patenten enthalten und zum Teil auch in der älteren
Literatur bereits erwähnt.
Es eignen sich insbesondere jene CVD-Verfahren zum Beispiel
als Wirbelschichtverfahren oder CVD-Verfahren mit up-stream-
Reaktoren, bei denen dieser Anregungszustand der Gase, bevor
diese die Partikel z. B. in der Wirbelschicht erreichen,
nicht zu stark verlorengeht und außerdem die in den Normalzustand
zurückgekehrten Gasmoleküle, nach ihrer Reaktion
oder auch unverbraucht, möglichst geringe Konzentrationen
in der Wirbelschicht erreichen. Das heißt, sie müssen aus
dieser so rasch wieder entfernt werden, daß sie den Ablauf
der gewünschten Reaktion nicht stören. Die Wirbelbettkonstruktion
muß daher in Bezug auf die Verweilzeit der Gase
den Bedürfnissen und der Kinetik der Abscheidungsreaktionen
möglichst optimal angepaßt werden.
In Betracht zu ziehen sind unter anderem Verfahren zur Erzeugung
von Verbundpulverteilchen mit Hilfe einer chemischen
Gasphasenreaktion, Verfahren mit einer speziellen CVD-
Reaktion in einem Upstream- oder Wirbelschichtreaktor, in
welchem Partikel in Bewegung gehalten werden und in einem
Gasstrom beschichtet werden können.
Die obigen Verfahren sind dadurch charakterisiert, daß sie
für die Herstellung der Pulververbundteilchen ganz oder teilweise
ein spezielles CVD-Verfahren, geeignet für die Herstellung
von Superhartstoffen, einsetzen, wobei verwendet
werden:
ein Gasstrom bestehend aus CH4 oder einer anderen gasförmigen
oder flüchtigen Kohlenstoffverbindung sowie atomarem
und molekularem Wasserstoff, sowie entsprechenden Ionen und
Radikalen, die aus den Ausgangskomponenten entstehen können,
ein Gasstrom bestehend aus einer gas- oder dampfförmigen
Borverbindung bzw. festen bzw. flüssigen Borverbindungen
(z. B. Borhalogenide, Borane, Bor-Mg-, Bor-Al-Verbindungen),
die solche bilden können - mit oder ohne atomarem und molekularem
Wasserstoff - und atomarem und molekularem Stickstoff,
sowie entsprechenden Ionen und Radikalen, die aus
den Ausgangskomponenten entstehen können,
ein Gasstrom bestehend aus einer gas- oder dampfförmigen Borverbindung
(z. B. Borhalogenide, Borane, Bor-Mg-, Bor-Al-
Verbindungen etc.) - mit oder ohne atomarem und molekularem
Wasserstoff - sowie atomarem und molekularem Stickstoff und/
oder atomarem und molekularem Halogenid oder Verbindungen
dieser Stoffe, sowie Ionen und Radikalen, die aus den Ausgangskomponenten
entstehen können,
ein Gasstrom, der eine gas- oder dampfförmige Verbindung
enthält, die neben anderen Atomen Bor- und Stickstoffatome
als wesentliche Bestandteile aufweist (z. B. H4BN), die bei
starkem Erhitzen in BN zerfällt, und deren Gas oder Dampf
in Verbindung mit anderen atomaren oder molekularen Gasen,
wie Wasserstoff und/oder Stickstoff und/oder Halogeniden
und/oder Edelgasen bzw. Verbindungen dieser Stoffe, Ionen,
Radikale, atomare Spezien, die aus den Ausgangskomponenten
dieser Mischung entstehen können, enthält.
Die Verfahren sind ferner dadurch charakterisiert, daß der
Temperaturbereich, in dem sich die zu beschichtenden Pulver
bewegen, zwischen 500 und 1200°C liegt, die Beschichtung
im Druckbereich unter 500 Torr, vorzugsweise im Bereich zwischen
0,5 und 50 Torr, betrieben wird, der Betrieb im diskontinuierlichen
oder kontinuierlichen Betrieb geführt werden
kann.
100 g Diamantpulver, 0,5 µm mittlerer Korndurchmesser, gut
kristallisiert, Wasserstoff mit 0,5% Methan.
Gasdurchflußgeschwindigkeit: 20 cm3/min
Temperatur des Ta-Glühfadennetzes:2100°C
Temperatur des Wirbelbettes: 750°C
Gasdruck: 35 Torr
Reaktionszeit: 20 h
Unterstützung des Wirbelbettes mit 50% Fremdgas-Zusatz
(entfällt bei Beispiel 1c und 1e), wodurch ca. 50 cm3/min
Gasfluß entsteht.
Beschicken der Wirbelschicht-Apparatur mit Diamantpulver
Aufheizen des Wirbelbettes unter Wasserstoff, anschließend
kurze Ätzperiode (10 min) mit reinem H2 unter zeitweiser
Zuhilfenahme eines glühenden Wolframdrahtnetzsystems
anschließend Zumischen von Methan 0,5%
Versuchsdauer 20 h.
Versuchsdauer 20 h.
Einkristalline Umhüllung gewachsen auf die ursprünglichen
0,5 µm Körner bis auf einen Durchmesserbereich zwischen 10
und 20 µm, mittlerer Kornbereich 16 µm.
Dem Gas wurde zusätzlich 0,01% Borwasserstoff zugesetzt.
Das Resultat ist weitgehend identisch. Außenhülle des aufgetragenen
Diamantpulvers ist mit Bor gedopt und hat entsprechende
elektrische Eigenschaften.
Durchflußmenge auf 200 cm3/min und die CH4-Konzentration auf
2% erhöht.
Resultat: Polykristalline Schichten wachsen anstelle von
einkristallinen Schichten. Schichtdicke auf das ca. 3- bis
4fache erhöht.
Anstelle der einkristallinen 0,5 µm-Pulverteilchen als Einsatzmaterial
wurden polykristalline Ballas-Diamanten verwendet.
Ausgangskorngröße 5 µm.
Die höhere Gasgeschwindigkeit und die höhere CH4-Konzentration
von Beispiel 1c wird verwendet.
Resultat: Es entsteht eine polykristalline Diamantschicht mit besonderen
Eigenschaften und einer Vergrößerung der Ballas (Carbonados)-Diamanten-
Durchmesser um durchschnittlich 20 µm in der Versuchszeit von 20 h.
Ausgangsmaterial Ballas-Diamant, alle Versuchsbedingungen
gleich, jedoch weitere Erhöhung des Methan-Gethaltes auf
3% unter leichter Drosselung der Anregung der Temperatur
des Ta-Drahtes auf 2000°C.
Resultat: Ballas-Diamanten, umhüllt mit polykristalliner Diamantschicht
mit ca. 10 bis 20% zwischengelagerter Graphit
und amorphem Kohlenstoff in den Korngrenzen und an der äußeren
Oberfläche der gewachsenen Diamanten.
Identische Versuchsbedingungen wie bei den Beispielen 1a
bis 1c, jedoch als Kernmaterial wird SiAlON anstelle von
Diamant verwendet. Korngröße 20 µm.
Verwendung von kub. Bornitrid als Kern anstelle von Diamant,
sonst analog den Beispielen 1a bis 1e.
Herstellung eines mehrlagigen Superhartstoff-Verbundkörpers.
Versuchsbedingungen: zunächst von Beispiel 2a.
Anschließend wird umgeschaltet auf eine andere Anregungsquelle
mit Mikrowellen 4,8 GHz. Es werden neue Gase, bestehend
aus 1% Boran, 2% Ammoniak, Rest Wasserstoff eingebracht.
Während 5 h wird superhartes Bornitrid abgeschieden.
Anschließend wird wieder rückgeschaltet auf die für Diamant
nötigen Gase und abschließend durch 2% Si2H6 mit 2% Ammoniak
und Rest H2 ohne besondere Anregung der Gase die Bildung
einer Si3N4-Schicht erzielt.
Resultat: Wechselnde Schichtstruktur.
Kern: eingebrachtes SiAlON, darauf aufgebrachte Schichten
aus Diamant, Bornitrid und als äußerste Schicht Silicumnitrid.
Schichtdicken in Funktion der Zeit unterschiedlich
einstellbar, im vorliegenden Fall - wo bei jeweils 10 h pro
Schicht beschichtet wurde - beträgt die Schichtdicke unter
den gewählten Versuchsbedingungen für Diamant 4 µm, für Bornitrid
8 µm und für Siliciumnitrid 6 µm.
Claims (12)
1. Verbundpulverteilchen bestehend aus einem inneren Kern,
der von einer daran anhaftenden Schale umhüllt ist, dadurch
gekennzeichnet, daß die Schale wenigstens teilweise
aus einem superharten Stoff besteht, der von dem Kern
verschieden ist.
2. Verbundpulverteilchen nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Schale wenigstens teilweise aus einem
superharten Stoff besteht, der von dem Material des Kerns
chemisch verschieden ist.
3. Verbundpulverteilchen nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß der innere Kern ein ein- oder polykristallines
Teilchen aus einer superharten Modifikation
von Bornitrid, ein bei Temperaturen bis 1000°C mit Kohlenstoff
und/oder Bornitrid höchstens wenig reagierender
und sie bis zu dieser Temperatur höchstens langsam auflösender
Hartstoff, bestehend aus einem Karbid, z. B. SiC,
B4C, WC, TiC, TaC, einem Nitrid, z. B. TiN, TaN, ZrN,
AlN, Si3N4, einem Borid, z. B. TiB2, TaB2, WB, einem Phos
phid, z. B. BP, einem Sulfid, z. B. CaS, CeS, einem Silicid,
z. B. MoSi2, TiSi2, einem Oxid, Oxynitrid, Oxycarbid,
Oxycarbonitrid, z. B. Al2O3, AlNO, AlCON, Ti(C,O),
Zr(C,N.O), einer NOSC (= Non-Oxide-Silicon-Ceramic) oder
SiAlON, oder einem anorganischen Stoff normaler Härte,
der bei Temperaturen bis 1000°C mit Kohlenstoff nicht
oder nur langsam reagiert oder diesen nicht oder nur wenig
auflöst, wie z. B. Metalle wie Cu, Ag, Au, Legierungen,
intermetallische Phase(n), Verbindungen, wie Oxide
und Oxidgemische wie Silicate, Aluminate, Spinelle, Sulfide,
Karbide, Nitride, Carbonitride, Oxykarbide, Silicide,
Boride, Oxycarbonitride, Hydride, Aluminide, Ferrite,
Oxidgemische, anorganische Salze, mehrphasige Mischungen
dieser Stoffe bzw. Mischkristalle dieser Stoffe, oder
einem festen Reaktionsprodukt, das als heterogener Kristallkeim
wirkt, ist.
4. Verbundpulverteilchen nach einem der Ansprüche 1, 2 oder
3, dadurch gekennzeichnet, daß die äußere Schale aus mehreren
Schichten besteht, wovon mindestens eine aus ein-
oder polykristallinem Diamant und/oder einer anderen superharten
Kohlenstoffmodifikation oder einer superharten
Modifikation von Bornitrid besteht, wobei dieser superharte
Stoff eine zusammenhängende anhaftende Schicht bildet.
5. Verbundpulverteilchen nach einem der Ansprüche 1, 2 und
4, dadurch gekennzeichnet, daß sowohl der Kern als auch
die Schale aus Diamant und/oder einer anderen superharten
Kohlenstoffmodifikation besteht und diese sich in ihren
chemischen und/oder physikalischen Eigenschaften unterscheiden.
6. Verbundpulverteilchen nach einem der Ansprüche 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet, daß der Kern so klein ist, daß
er als ein homogener oder heterogener Keim für die Kristallisation
des Superhartstoffes aus der damit übersättigten
Gasphase anzusehen ist.
7. Verbundkörper bestehend aus einem Substrat, das mit einem
daran anhaftenden Überzug versehen ist, dadurch gekennzeichnet,
daß der Überzug wenigstens teilweise aus einer
in ihren chemischen und/oder physikalischen Eigenschaften
modifizierten Diamantschicht besteht.
8. Verbundkörper nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet,
daß das Substrat gemäß den Kernen nach einem oder mehreren
der Ansprüche 3 bis 5 aufgebaut ist.
9. Verfahren zur Herstellung von Verbundteilchen nach einem
der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die
Kerne in einem Gasphasenabscheidungsverfahren (CVD-Verfahren)
mit Hilfe eines Gasstromes in Bewegung gehalten,
bei einer Temperatur zwischen 500 und 1200°C und einem
Druck unter 500 Torr beschichtet werden, wobei der Gasstrom
entweder
- a) aus CH4 oder einer anderen gas- oder dampfförmigen Kohlenstoffverbindung und Wasserstoff mit oder ohne Zusatz von Edelgasen oder
- b) aus einer gas- oder dampfförmigen Borverbindung oder einer Bor und Stickstoff enthaltenden Verbindung und/ oder Wasserstoff und/oder Stickstoff und/oder Halogen mit oder ohne Edelgaszusatz
besteht, und in diesen Fällen wenigstens eines der Gase
durch ein pyhsikalisches oder chemisches Verfahren in
einen angeregten Zustand gebracht wurde und das Gasgemisch
in einem CVD-Reaktor, der kleine Festkörper in
Schwebe hält, mit einem pulverförmigen Substrat rasch
in Kontakt gebracht wird.
10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß
der Gasstrom durch
- a) eine stark erhitzte glühende Oberfläche eines festen Stoffes, vorzugsweise eine Metalloberfläche aus Tantal oder Wolfram, und/oder
- b) eine Gasentladung im Unterdruck, ausgelöst von Gleich- oder Wechselströmen, und/oder
- c) ein kaltes Plasma, hergestellt durch elektromagnetische Wellen, vorzugsweise im Giga- und Megahertz-Bereich und/oder
- d) Ultraschall bzw. Druckwechsel und/oder
- e) ein rein chemisches Verfahren, wie Zersetzung von Verbindungen mit Licht oder Mischen zweier chemischer Substanzen, die entsprechend miteinander reagieren,
angeregt wird, wobei in allen angeführten Fällen wenigstens
eines der eingesetzten Gase vor oder während der
Berührung mit dem zu umhüllenden Kern teilweise in einen
angeregten Zustand versetzt wird und kurzlebige und sich
spontan in beständigere Stoffe umwandelnde Radikale und/
oder atomare Spezien der eingesetzten Gase und/oder von
Verbindungen, die sich aus den Gasgemischen bilden können,
gebildet werden.
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