DE3526485A1 - Schaltungsanordnung zum pruefen integrierter schaltungseinheiten - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Schaltungsanord­ nung gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.

Eine Schaltungsanordnung dieser Art ist in dem Arti­ kel "In-Situ Testability Design" von Frank F.Tsui in Pro­ ceedings of the IEEE, Band 70, Nr. 1, Januar 1982, Seiten 59 bis 78 beschrieben. Bei dieser bekannten Schaltungs­ anordnung sind an der Grundplatte (Wafer), an der eine Vielzahl integrierter Schaltungseinheiten (Chips) ausge­ bildet ist, viele mit einzelnen oder allen Schaltungsein­ heiten verbundene Außenanschlußflächen (Pads) vorzu­ sehen. An diese Außenanschlüsse wird über entspre­ chende Schnittstelle ein Testgerät angeschlossen. Mit diesem Testgerät werden dann die Schaltungseinheiten an der Grundplatte geprüft. Hierbei wird jedoch vor­ ausgesetzt, daß die Schaltungseinheiten digitale Einhei­ ten sind, in denen zusätzlich zu den für den normalen Betrieb benötigten Bauelementen weitere Bauelemente mit Steueranschlüssen integriert sind, mit denen die Schaltungseinheit für die Prüfung in einen Pseudo-Be­ triebszustand geschaltet werden können, bei dem die Funktionsfähigkeit aller Bauelemente ermittelt werden kann. Durch die zusätzlichen Bauelemente geht an den Schaltungseinheiten ein bestimmter Anteil der nutzba­ ren Fläche verloren, wobei ferner durch die erforderli­ chen zusätzlichen Anschlüsse die Anzahl von im tat­ sächlichen Betrieb nutzbaren Anschlüssen verringert wird. Durch das Anschließen der Grundplatte an die Schnittstelle der Testschaltung ist diese für die ganze Dauer des Prüfvorgangs belegt, so daß der Durchsatz an geprüften Grundplatten gering wird, falls nicht die Prüfdauer verkürzt wird und die hierbei zwangsläufig auftretenden Ungenauigkeiten und Unvollständigkeiten in Kauf genommen werden.

In anderen Veröffentlichungen wurde vorgeschlagen, in eine jeweilige Schaltungseinheit eine eigene Prüf­ schaltung fest einzubauen. Hierdurch gehen große Flä­ chenanteile der Schaltungseinheiten sowie verfügbare Außenanschlüsse der fertigen Einheiten verloren. Wei­ terhin müssen diese Schaltungseinheiten einzeln geprüft werden, was einen großen Zeitaufwand darstellt. Hier­ bei werden Fehler erst bei dem Fertigzustand der Schal­ tungseinheit ermittelt, so daß viele der zum Erreichen des Fertigzustands erforderlichen Herstellungsschritte einen unnützen Aufwand bilden.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Schal­ tungsanordnung gemäß dem Oberbegriff des Patentan­ spruchs 1 derart auszugestalten, daß ein rationelles Prü­ fen ohne Einschränkung auf eine bestimmte Gestaltung der zu prüfenden integrierten Schaltungseinheiten er­ möglicht ist.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den im kenn­ zeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 genannten Mit­ teln gelöst.

Demnach wird bei der erfindungsgemäßen Schal­ tungsanordnung auf der Grundplatte der Schaltungsein­ heiten eine speziell hierfür vorgesehene Prüfschaltung ausgebildet. Die Prüfschaltung wird mit den einzelnen Schaltungseinheiten über jeweils angesteuerte Schalt­ stufen und Verbindungsleitungen an der Grundplatte verbunden, um jeweils einen Prüfvorgang auszuführen. Die Ergebnisse hierbei werden mittels einer Ausgabe­ schaltung der Prüfschaltung ausgegeben. Daher muß für die Prüfung lediglich die Grundplatte an eine entspre­ chende Stromversorgung angeschlossen werden, wo­ nach das Prüfen der Schaltungseinheiten der Grund­ platte selbsttätig ablaufen kann. Der einfache Anschluß ermöglicht es somit, auf rationelle Weise eine Vielzahl von Grundplatten bzw. Schaltungseinheiten an Grund­ platten praktisch gleichzeitig zu prüfen. Die Schaltungs­ einheiten können analoge und/oder digitale Schaltun­ gen sein und müssen keine besonderen Bauteile zu Prüf­ zwecken erhalten. Weiterhin können an der gleichen Grundplatte verschiedenartige Schaltungseinheiten ausgebildet sein. Es besteht somit keine Einschränkung auf einen bestimmten Schaltungstyp. Die auf der jewei­ ligen Grundplatte ausgebildete Prüfschaltung muß nur für die verlangten Prüfvorgänge und die hierbei gefor­ derte Genauigkeit ausgelegt werden. Dies stellt eine beträchtliche Vereinfachung gegenüber den herkömm­ lichen Prüfgeräten dar, bei denen verschiedenerlei An­ wendungen für unterschiedliche Schaltungsarten und unterschiedliche Prüfungsauflagen berücksichtigt wer­ den müssen. Die Prüfschaltung und die Schaltstufen be­ anspruchen zwar an der Grundplatte eine bestimmte Fläche, jedoch ist der Anteil dieser Fläche im Vergleich zu den Flächen der Schaltungseinheiten verhältnismä­ ßig gering. An den Schaltungseinheiten selbst sind keine nur zu Prüfzwecken dienende Änderungen vorzuneh­ men, so daß an diesen keine Nutzfläche verlorengeht und die Anzahl von für den tatsächlichen Betrieb ver­ fügbaren Anschlüssen erhalten bleibt. Das einfache gleichzeitige Prüfen der Schaltungseinheiten an vielen Grundplatten mittels der erfindungsgemäßen Schal­ tungsanordnung ist insbesondere dann besonders vor­ teilhaft, wenn das Prüfen einer einzelnen Schaltungsein­ heit sehr zeitaufwendig ist, wie beispielsweise bei Spei­ chern hoher Kapazität, Prozessorfeldern oder derglei­ chen.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemä­ ßen Schaltungsanordnung sind in den Unteransprüchen angeführt.

Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausfüh­ rungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert.

Fig. 1 ist eine Draufsicht auf die erfindungsgemäße Schaltungsanordnung gemäß einem Ausführungsbei­ spiel.

Fig. 2 ist ein schematisches Schaltbild der Schaltungs­ anordnung.

Fig. 3 zeigt ein Beispiel für eine Schaltstufe der Schal­ tungsanordnung.

Fig. 4 zeigt ein Beispiel für die Stromversorgung ei­ ner zu prüfenden Schaltungseinheit.

Die Fig. 1 ist eine schematische Draufsicht auf eine Grundplatte 1, auf der eine Vielzahl von zu prüfenden Schaltungseinheiten 2 in Form integrierter Schaltungen ausgebildet ist. Für die Prüfung ist an einem Teil der Grundplatte I eine durch starke Linien umrandet darge­ stellte Prüfschaltung 3 ausgebildet, die bei diesem Aus­ führungsbeispiel eine Zentraleinheit 4, einen Pro­ grammspeicher 5 und eine Ausgabeschaltung mit einem Ergebnisspeicher 6 und einer Anzeigevorrichtung 7 ent­ hält. Ferner sind an der Grundplatte 1 Anschlußflächen 8 zum Außenanschluß ausgebildet.

Die Grundplatte 1 ist beispielsweise eine zur Halblei­ terherstellung übliche Halbleiterscheibe (Wafer). Je nach Art der darauf auszubildenden Schaltungseinhei­ ten kann die Grundplatte 1 auch irgendein anderes Sub­ strat sein sowie auch andere Formen wie beispielsweise Rechteckform haben. Die zu prüfenden Schaltungsein­ heiten 2 können digitale, analoge oder gemischt digital/ analoge Schaltungen sein. Je nach dem angestrebten Funktionsprinzip können die Schaltungseinheiten 2 ganz oder teilweise Supraleiter, organische bzw. biolo­ gische Schaltelemente, Lichtwellenleiter und derglei­ chen enthalten. Sie können für verschiedenartige Funk­ tionen ausgelegt sein, also beispielsweise Bausteine vom einfachen Schaltglied oder Verstärker bis zu einem Speicher hoher Kapazität ergeben. Falls die Schaltungs­ einheiten 2 als Festspeicher dienen sollen, können sie zunächst als programmierbare Speicher gestaltet sein und im Zuge der Prüfung oder nach deren Abschluß auf die gewünschten Festwerte programmiert werden. Falls die Schaltungseinheit als Speicher mit Reservezellen ausgebildet ist, können diese im Bedarfsfall anstelle von bei der Prüfung als "schlecht" ermittelten Zellen einge­ schaltet werden.

Die Prüfschaltung 3 nimmt zwar an der Grundplatte 1 eine größere Fläche als die einzelnen Schaltungseinhei­ ten 2 ein, jedoch erspart sie in jede einzelne Schaltungs­ einheit eingebaute Testschaltungen, die insgesamt eine noch größere Fläche beanspruchen würden und die vor allem die Anzahl von Funktionselementen der Schal­ tungseinheiten herabsetzen würden. Die Prüfschaltung 3 enthält eine Art Mikroprozessor mit der Zentralein­ heit 4 und dem Programmspeicher 5. Die Zentraleinheit 4 enthält Schnittstellen für die Verbindung mit den Schalteinheiten 2 und für die Steuerung dieser Verbin­ dungen, Oszillatoren zum Erzeugen von Prüfsignalen, Taktsignalen, Steuersignalen und dergleichen, Zeitge­ ber zur Programmablaufsteuerung usw. Die Zentralein­ heit 4 kann auch eine Eigentestschaltung enthalten so­ wie mit Reserveblöcken oder Reservekanälen versehen sein, welche bei dem Ausfall bestimmter Blöcke und Kanäle dem Eigentestergebnis entsprechend als Ersatz eingeschaltet werden können. Die Zentraleinheit 4 führt das in dem Programmspeicher 5 gespeicherte Prüfpro­ gramm aus. Das Prüfprogramm wird je nach der Art der zu prüfenden Schaltungseinheiten, der Art der zu prü­ fenden Parameter, der erwünschten Genauigkeit und dergleichen gestaltet werden. Dementsprechend kön­ nen für den Programmspeicher 5 jeweils passende Pro­ grammuster vorbereitet werden, die bei gleichbleiben­ dem Schaltungsmuster der Zentraleinheit 4 wahlweise eingesetzt werden.

Ferner enthält die Prüfschaltung 3 die Ausgabeschal­ tung mit dem Ergebnisspeicher 6 und der Anzeigevor­ richtung 7. Der Ergebnisspeicher 6 kann wie der Pro­ grammspeicher 5 in Abhängigkeit von den zu prüfenden Schaltungseinheiten und den Prüfkriterien gestaltet werden und wie der Programmspeicher wahlweise ein­ gesetzt werden. In dem Ergebnisspeicher 6 können "gut/ schlecht"-Daten, Fehlerartdaten, Gütebereichdaten und dergleichen gespeichert werden, die über die Zentral­ einheit 4 als Prüfergebnisse eingegeben werden. Die Prüfdaten werden im Ergebnisspeicher 6 an vorbe­ stimmten Speicherstellen gespeichert, die den jeweili­ gen Schaltungseinheiten 2 zugeordnet werden. Vor­ zugsweise wird der Ergebnisspeicher 6 als nichtflüchti­ ger Speicher wie beispielsweise als programmierbarer Festspeicher ausgebildet, dessen Speicherinhalt über die Zentraleinheit 4 abgerufen werden kann, um bei­ spielsweise Prüfergebnisse auszudrucken oder den Prüfergebnissen entsprechende Reparaturen oder Mar­ kierungen vorzunehmen. Falls es möglich ist, an der Grundplatte 1 Reparaturen von fehlerhaften Schal­ tungseinheiten 2 auszuführen, wie z. B. mittels Laser­ strahlen, wird der Ergebnisspeicher 6 als löschbarer programmierbarer Speicher (EPROM) gestaltet, der nach erfolgter Reparatur gelöscht und zum Speichern der Ergebnisse einer erneuten Prüfung herangezogen wird. Die Anzeigevorrichtung 7 dient dazu, die Prüfer­ gebnisse in einem erwünschten Umfang sichtbar anzu­ zeigen. Die Anzeigevorrichtung 7 kann mit dem lnhalt des Ergebnisspeichers 6 angesteuert werden oder auch eigene Speicherzellen für bestimmte Prüfergebnisse wie z. B. hinsichtlich Güteklassen enthalten. Zweckdienlich weist die Anzeigevorrichtung 7 für eine jede zu prüfen­ de Schaltungseinheit 2 mindestens ein Anzeigeelement auf, wie z. B. eine Leuchtdiode oder eine Schmelzverbin­ dung, deren Schmelzzustand optisch erkennbar ist. Nach Fig. 1 sind die Anzeigeelemente der Anzeigevor­ richtung 7 zu einem Anzeigefeld zusammengefaßt, in welchem die Anzeigeelemente im gleichen Muster wie die Schaltungseinheiten 2 angeordnet sind. Nach erfolg­ ter Prüfung kann das Anzeigefeld auf automatische Weise und/oder durch Betrachtung mit einer Lupe oder einem Mikroskop ausgewertet werden, um eine Fehler­ analyse auszuführen, fehlerhafte Schaltungseinheiten zusätzlich mit Farbe zu markieren, bei einer zu hohen Fehleranzahl die ganze Grundplatte auszumustern und dergleichen. Obgleich dies nicht dargestellt ist, können anstelle des Anzeigefelds oder zusätzlich zu diesem An­ zeigeelemente jeweils in der Nähe der entsprechenden Schaltungseinheiten 2 angeordnet werden, was die Zu­ ordnung bei der Auswertung der Prüfergebnisse er­ leichtert.

Die Anschlußflächen 8 an der Grundplatte 1 dienen zur Stromversorgung der Schaltungseinheiten 2 und der Prüfschaltung 3 sowie zur Eingabe und Ausgabe von Daten. Beispielsweise kann über eine jeweilige An­ schlußfläche 8 der Speicherinhalt des Ergebnisspeichers 6 zu Registrierzwecken oder dergleichen ausgegeben werden oder es kann an die Zentraleinheit 4 ein Befehl zum Beginn der Prüfung, zum Ausführen einer be­ stimmten Teilprüfung oder im Falle bestimmter Prüfer­ gebnisse zum Ausführen einer zusätzlichen Prüfung ein­ gegebenwerden.

Die Prüfschaltung 3 ist mit den Schaltungseinheiten 2 über Verbindungsleitungen und Schaltstufen auf die in Fig. 2 dargestellte Weise verbunden. Gemäß Fig. 2 führt eine Eingabe-Sammelleitung 9 zu den Eingängen aller Schaltungseinheiten 2, während die Ausgänge der Schaltungseinheiten über jeweils eine Schaltstufe 10 un­ ter Steuerung durch die Prüfschaltung 3 mit einer ge­ meinsamen Ausgabe-Sammelleitung 1 1 verbunden wer­ den, die zur Zentraleinheit4 der Prüfschaltung 3 zurück­ führt. Die Schaltstufen 10 werden von der Zentralein­ heit 4 über Steuerleitungen 12 und 13 gesteuert. Bei der Darstellung in Fig. 2 sind die Schaltstufen 10 zu einer Kettenschaltung in Form eines Schieberegisters ge­ schaltet, in der sie über die zu einer Fortschaltleitung durchgeschleifte Steuerleitung 12 nacheinander ein­ und ausgeschaltet werden. Die Steuerleitung 13 dient hierbei zur Übertragung von Taktsignalen für das Fort­ schalten.

Zur Prüfung einer einzelnen Schaltungseinheit 2 wird die entsprechende Schaltstufe 10 eingeschaltet, wäh­ rend alle übrigen Schaltstufen ausgeschaltet werden. Die Schaltungseinheit 2 erhält über die Eingabe-Sam­ melleitung 9 bestimmte Eingangssignale, die zu entspre­ chenden Ausgangssignalen auf der Ausgabe-Sammellei­ tung 11 führen sollten. ln der Prüfschaltung 3 wird über die Zentraleinheit 4 festgestellt, ob die tatsächlich auf der Ausgabe-Sammelleitung 11 auftretenden Signalen den Sollsignalen entsprechen bzw. in Sollbereichen lie­ gen.

Gleichartige Schaltstufen 10 können auch zwischen die Sammelleitung 9 und die Eingänge der Schaltungs­ einheiten 2 geschaltet werden und jeweils zusammen mit der betreffenden Schaltstufe 10 am Ausgang der Schaltungseinheit gesteuert werden. Dadurch kann eine übermäßige Belastung der zur Sammelleitung 9 führen­ den Ausgangsstufe der Zentraleinheit 4 durch die vielen Eingänge der Schalteinheiten 2 verhindert werden.

In der Fig. 3 ist schematisch der Aufbau einer Schalt­ stufe 10 gemäß einem Ausführungsbeispiel gezeigt.

Demnach enthält die Schaltstufe 10 ein Speicherglied 14 und mindestens ein Schaltglied 15. Das Speicherglied 14 ist als Flipflop ausgebildet, welches bei der Gesamt­ schaltung nach Fig. 2 Bestandteil der Kettenschaltung ist und entsprechend dem Schaltzustand der vorange­ henden Schaltstufe 10 über die Fortschaltleitung 12 un­ ter Steuerung durch die Taktsignale auf der Steuerlei­ tung 13 geschaltet wird. Ein Ausgangssignal des Spei­ cherglieds 14 dient zum Schalten der jeweils ange­ schlossenen Schaltglieder 15, für die in der Fig. 3 sche­ matisch einige Beispiele gezeigt sind. Gemäß Fig. 3 kann ein jeweiliges Schaltglied 15 ein geschalteter Püf­ fer bzw. Verstärker, ein geschalteter Inverter, ein UND- Glied, ein NAND-Glied oder ein Schalttransistor sein. Die Schaltglieder werden entsprechend der Art der Schaltungseinheiten 2 als analoge oder digitale Schalt­ glieder gestaltet. Ferner kann die Schaltstufe 10 mehre­ re Teilstufen gemäß Fig. 3 enthalten, die dann für auf­ einanderfolgende Prüfschritte unterschiedliche Prüfbe­ dingungen ergeben, wie Signalinversion, Pegeländerun­ gen, Signalverknüpfungen oder dergleichen.

Die Fig. 4 veranschaulicht die Stromversorgung einer einzelnen Schaltungseinheit 2. Bei dem in der Fig. 4 ge­ zeigten Beispiel ist in die beiden Stromversorgungs- Speiseleitungen der Schaltungseinheit 2 jeweils eine Schmelzbrücke 16 geschaltet, die bei einem übermäßi­ gen Stromverbrauch durchschmilzt, wobei vorzugswei­ se ein solcher Schmelzzustand optisch erkennbar sein sollte. Damit dienen die Schmelzbrücken 16 als Siche­ rung zum Abtrennen einer fehlerhaften Schaltungsein­ heit 2, die die Stromversorgung aller Schaltungseinhei­ ten verhindern und damit die Prüfung unmöglich ma­ chen würde. Ferner sind in der Fig. 4 zwei Schalttransi­ storen 17 gezeigt, mit denen unter Steuerung durch die Prüfschaltung 3 eine jeweilige Schmelzbrücke 16 ab­ sichtlich durch Anlegen der Speisespannung unterbro­ chen werden kann, um eine als fehlerhaft erkannte Schaltungseinheit zu markieren oder eine Beeinflussung der Prüfung durch eine solche, wie beispielsweise durch ′′wilde Schwingungen′′ zu verhindern. Derartige Schmelzbrücken 16 können auch in bestimmten Ein­ gangs- und Ausgangsleitungen der Schaltungseinheiten 2 vorgesehen werden, damit durch eventuell auftreten­ de Kurzschlüsse nicht die Zentraleinheit 4 außer Betrieb gesetzt wird. Ferner können anstelle der Schmelzbrük­ ken 16 oder zusätzlich zu diesen weitere nicht gezeigte Schalttransistoren vorgesehen werden, mit denen unter der Steuerung durch die Prüfschaltung 3 jeweils nur eine der Schaltungseinheiten 2 oder eine Gruppe dersel­ ben mit Strom versorgt wird, um den Stromverbrauch während der Prüfung zu senken.

Die Schaltstufen 10, die Eingabe- und Ausgabe-Sam­ melleitungen 9 bzw. 11 sowie die Schmelzbrücken 16 und die Schalttransistoren 17 werden zusammen mit Speiseleitungen zur Stromversorgung zweckdienlich an Bereichen der Grundplatte 1 angeordnet, die bei der zum Zerteilen der Grundplatte 1 für das Erhalten der einzelnen Schaltungseinheiten 2 erforderlichen Bearbei­ tung durch Sägen, Laserstrahltrennung oder derglei­ chen wegfallen. Damit werden nach dem Zerteilen der Grundplatte 1 Schaltungseinheiten 2 erhalten, die ge­ prüft sind und die lediglich die für ihre Funktion erfor­ derlichen Bauelemente und Anschlüsse enthalten.

In der Fig. 1 ist nur ein Beispiel für die Anordnung der Prüfschaltung 3 in Verbindung mit den Schaltungsein­ heiten 2 gezeigt. Alternativ kann die Prüfschaltung 3 statt an einer Seite der Grundplatte 1 gemäß Fig. 1 auf den Umfang der Grundplatte 1 verteilt werden, für eine kürzere Leitungsführung in der Mitte der Grundplatte 1 angeordnet werden und bei der Bestückung der Grund­ platte 1 mit unterschiedlichen Schaltungseinheiten 2 mit verschiedenen abrufbaren Programmspeichern verse­ henwerden.

Die Schaltungsanordnung gemäß dem vorstehenden Ausführungsbeispiel ist mit elektrischen Leitern und Schalteinheiten für das Prüfen von Schaltungseinheiten für elektrische Signale beschrieben. Auf die gleiche Weise kann jedoch eine Schaltungsanordnung für das Prüfen von Schaltungseinheiten aufgebaut werden, bei denen zumindest zum Teil Lichtwellenleiter, Supralei­ ter, organische Leiter oder dergleichen eingesetzt wer­ den. ln diesem Fall sind die betreffenden Verbindungs­ leitungen und Schaltglieder der Schaltungsanordnung entsprechend auszugestalten.

Die Prüfschaltung 3 ist zwar nach Fig. 1 als auf einen außerhalb der Schaltungseinheiten 2 gelegenen Bereich liegend dargestellt, jedoch können auch Teile der Prüf­ schaltung wie beispielsweise Prüfsignalverstärker, digi­ taler Puffer, Grenzbereichsschalter u. dgl. nahe den Ausgängen oder Eingängen der Schaltungseinheiten an­ geordnet sein, um damit Fehlerfaktoren durch zu lange Prüfsignalleitungen auszuschließen.

Claims (27)

1. Schaltungsanordnung zum Prüfen von Schal­ tungseinheiten, die als integrierte Schaltungen auf einer gemeinsamen Grundplatte ausgebildet und an der Grundplatte über gemeinsame Speiseleitun­ gen betreibbar sind, dadurch gekennzeichnet,
daß auf der gleichen Grundplatte (1) eine Prüf­ schaltung (3) und Schaltstufen (10) als integrierte Schaltungen ausgebildet sind,
daß die Schaltstufen von der Prüfschaltung steuer­ bar sind,
daß die Schaltstufen in Verbindungsleitungen (9, 11) zum Verbinden der Prüfschaltung mit den Schaltungseinheiten (2) eingeschaltet sind und
daß die Prüfschaltung eine Ausgabeschaltung (6, 7) zur Ausgabe von Prüfergebnissen aufweist.

2. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Prüfschaltung (3) einen Mikroprozessor mit einem Programmspeicher (5) und einer Zentraleinheit (4) aufweist.

3. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Prüfschaltung (3) zu einer Selbstprüfung ausgebildet ist.

4. Schaltungsanordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Prüfschaltung (3) für Teile ihrer Funktion gleichwertige Schaltungsabschnitte enthält, die dem Selbstprüfungsergebnis entspre­ chend einschaltbar sind.

5. Schaltungsanordnung nach einem der vorange­ henden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Stromversorgung der jeweiligen Schaltungsein­ heit (2) durch die Prüfschaltung (3) ein- und aus­ schaltbarist.

6. Schaltungsanordnung nach einem der vorange­ henden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die jeweiligen Schaltungseinheiten (2) an die Spei­ seleitungen über Schmelzbrücken (16) angeschlos­ sen sind.

7. Schaltungsanordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß ein Unterbrechungszustand der Schmelzbrücken (16) optisch erkennbar ist.

8. Schaltungsanordnung nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß die jeweilige Schmelzbrücke (16) mittels eines von der Prüfschal­ tung (3) angesteuerten Transistors (17) durch Anle­ gen der Speisespannung unterbrechbar ist.

9. Schaltungsanordnung nach einem der vorange­ henden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgabeschaltung (6, 7) mit einem Außenan­ schluß (8) der Grundplatte (1) verbindbar ist.

10. Schaltungsanordnung nach einem der vorange­ henden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgabeschaltung (6, 7) einen Ergebnisspeicher (6) mit den jeweiligen Schaltungseinheiten (2) zuge­ ordneten Speicherstellen aufweist.

11. Schaltungsanordnung nach Anspruch 10, da­ durch gekennzeichnet, daß der Ergebnisspeicher (6) als nichtflüchtiger Speicher ausgebildet ist.

12. Schaltungsanordnung nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Ergebnisspei­ cher (6) über einen Außenanschluß (8) der Grund­ platte (1) auslesbar ist.

13. Schaltungsanordnung nach einem der vorange­ henden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgabeschaltung (6, 7) eine Anzeigevorrich­ tung (7) zur Sichtanzeige der Prüfergebnisse auf­ weist.

14. Schaltungsanordnung nach Anspruch 13, da­ durch gekennzeichnet, daß die Anzeigevorrichtung (7) mindestens ein Anzeigeelement für eine jede Schaltungseinheit (2) aufweist.

15. Schaltungsanordnung nach Anspruch 14, da­ durch gekennzeichnet, daß jeweils ein Anzeigeele­ ment nahe der zugeordneten Schaltungseinheit (2) angeordnetist.

16. Schaltungsanordnung nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Anzeigeele­ mente (7) in einem Muster angeordnet sind, daß dem Muster der Anordnung der Schaltungseinhei­ ten (2) an der Grundplatte (1) entspricht.

17. Schaltungsanordnung nach einem der Ansprü­ che 14 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die An­ zeigeelemente Leuchtdioden sind.

18. Schaltungsanordnung nach einem der Ansprü­ che 14 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die An­ zeigeelemente Schmelzverbindungen sind, deren Schmelzzustand optisch erkennbar ist.

19. Schaltungsanordnung nach einem der Ansprü­ che 14 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß den Anzeigeelementen nichtflüchtige Speicherzellen zugeordnet sind.

20. Schaltungsanordnung nach einem der vorange­ henden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Schaltstufen (10) und/oder Verbindungsleitun­ gen (9, 11) an einem beim Zerteilen der Grundplat­ te (1) wegfallenden Plattenbereich ausgebildet sind.

21. Schaltungsanordnung nach einem der vorange­ henden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß jede Schaltstufe (10) ein Speicherglied (14) und mindestens ein von demselben gesteuertes Schalt­ glied (15) für das Durchschalten einer der Verbin­ dungsleitungen (9, 11) zu der betreffenden Schal­ tungseinheit (2) aufweist.

22. Schaltungsanordnung nach Anspruch 21, da­ durch gekennzeichnet, daß die Speicherglieder (14) zu einer Kettenschaltung verbunden sind, in der ein Einschalt-Speicherzustand fortschaltbar ist.

23. Schaltungsanordnung nach einem der vorange­ henden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Schaltstufen (10) und die Verbindungsleitungen (9, 11) zumindest zum Teil zum Schalten bzw. Lei­ ten elektrischer Signale ausgebildet sind.

24. Schaltungsanordnung nach einem der vorange­ henden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Schaltstufen (10) und die Verbindungsleitungen (9, 11) zumindest zum Teil für das Schalten bzw. Leiten von Signalen in Form elektromagnetischer Strahlung ausgebildet sind.

25. Schaltungsanordnung nach einem der vorange­ henden Ansprüche 1 bis 24, dadurch gekennzeich­ net, daß die Schaltungseinheiten (2) Supraleiter ent­ halten.

26. Schaltungsanordnung nach einem der Ansprü­ che 1 bis 24, dadurch gekennzeichnet, daß die Schaltungseinheiten (2) organische Moleküle ent­ halten.

27. Schaltungsanordnung nach einem der vorange­ henden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß durch das Prüfergebnis der Prüfschaltung (3) als fehlerhaft ermittelte Schaltungseinheiten (2) durch Steuersignale aus der Prüfschaltung an mindestens einer der gemeinsamen Speiseleitungen und/oder Verbindungsleitungen (9, 11) abschaltbar sind.