DE3428607A1 - Betaetigungsventil - Google Patents

Betaetigungsventil

Info

Publication number
DE3428607A1
DE3428607A1 DE19843428607 DE3428607A DE3428607A1 DE 3428607 A1 DE3428607 A1 DE 3428607A1 DE 19843428607 DE19843428607 DE 19843428607 DE 3428607 A DE3428607 A DE 3428607A DE 3428607 A1 DE3428607 A1 DE 3428607A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
valve
valve piston
air
cylinder
piston
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE19843428607
Other languages
English (en)
Inventor
Alan Dean Upland Calif. Tuck jun.
James Kenneth Yucaipa Calif. Wilden
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
PSG California LLC
Original Assignee
Wilden Pump and Engineering LLC
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Wilden Pump and Engineering LLC filed Critical Wilden Pump and Engineering LLC
Publication of DE3428607A1 publication Critical patent/DE3428607A1/de
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/02Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B43/06Pumps having fluid drive
    • F04B43/073Pumps having fluid drive the actuating fluid being controlled by at least one valve
    • F04B43/0736Pumps having fluid drive the actuating fluid being controlled by at least one valve with two or more pumping chambers in parallel
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F01MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
    • F01LCYCLICALLY OPERATING VALVES FOR MACHINES OR ENGINES
    • F01L5/00Slide valve-gear or valve-arrangements
    • F01L5/04Slide valve-gear or valve-arrangements with cylindrical, sleeve, or part-annularly shaped valves
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00Fluid handling
    • Y10T137/8593Systems
    • Y10T137/86493Multi-way valve unit
    • Y10T137/86879Reciprocating valve unit

Description

HOFFMANN · EITLE & PARTNER ' 3 A 2 8 6 0
PATENT- UND RECHTSANWÄLTE
PATENTANWÄLTE DIPL.-INQ. W. EITLE ■ DR. RER. NAT. K. HOFFMANN · DIPL-INO- W. LEHN
DIPL.-ING. K. FOCHSLE · DR. RER. NAT. B. HANSEN · DR. RER. NAT. H -A. BRAUNS · DIPL.-ING. K. GORQ
DIPL.-ING. K. KOHLMANN · RECHTSANWALT A. NETTE
WILDEN PUMP & ENGINEERING COMPANY Colton, Calif. / USA
Betätiqunqsventil
Die Erfindung bezieht sich auf ein Betätigungsventil für luftbetriebene hin- und hergehende Vorrichtungen und mehr insbesondere darauf, daß das Ventil einen pneumatisch gesteuerten Ventilkolben umfaßt.
05
Betätigungsventile für hin- und hergehende pneumatisch angetriebene Vorrichtungen wurden bereits entwickelt. Derartige Ventile verwenden ein Steuerventil oder eine Steuerstange, die auf die Lage des hin- und hergehenden Elementes der Vorrichtung anspricht. Außerdem verwendet ein derartiges Ventil einen pneumatisch gesteuerten Ventilkolben, der auf die Lage der Steuerstange anspricht. Der Ventilkolben steuert seinerseits den einkommenden Druckluftstrom, um der hin- und hergehenden Vorrichtung einen alternierenden Strom zuzuleiten. Dieser alternierende Strom veranlaßt die Vorrichtung zu einem Hin- und Rückhub, wodurch eine Arbeit ausgeführt und die Steuerstange angetrieben wird. Solche Betätigungsventile wandeln eine relativ stetige Druckluftquelle in einen alternierenden Strom um, und zwar mit dem Erfordernis für eine Außenzeitsteuerung oder ein Steuersystem. Die Druckluftquelle alleine treibt das Ventil ebenso wie die Arbeitsvorrichtung an.
25
RABELLASTRASSE 4 . D-BOOO MÖNCHEN 81 ■ TELEFON CO 89} S11O87 · TELEX 5-29619 CPATHE.) · TELEKOPIERER 9180
Ein solches Betätigungsventil verwendet primär luftbetriebene Membranpumpen, wie sie der US-PS 3 071 118 entnehmbar sind. Solche luftbetriebenen Membranpumpen umfassen Membranen, die auf jeder Seite eines Betätib gungsventils in einer Anordnung vorgesehen sind, die gleich den beigefügten Zeichnungen sind, und zwar außerhalb des Betätigungsventils und der Steuerstange. Solche zusätzlichen Vorrichtungen und Ausgestaltungen sind den US-PS'en 4 242 941, 4 247 264, 4 339 985 und D-268,413 entnehmbar.
Das Verschieben des Ventilkolbens in solchen Vorrichtungen wird so verstanden, daß es durch wahlweises Entlüften des einen Endes des den Kolben verschiebbar aufnehmenden Zylinders auftritt. Durch wahlweises Entlüften des einen oder anderen Endes des Zylinders wirkt die in Form von Druckluft im nicht entlüfteten Ende des Zylinders gespeicherte Energie als Antrieb für den Kolben zum alternativen Ende seines Hubs. Unter geeigneten Bedingungen ist diese Energie mehr als ausreichend, um einen vollständigen Kolbenhub sicherzustellen. Wenn jedoch solche Zustände nicht herrschen, wenn beispielsweise Fremdmaterial, Schmutz, Fett oder dergl. sich im Zylinder sammeln, so kann die Dämpfung oder der Widerstand
^ hinsichtlich der Bewegung des Kolbens derart zunehmen, daß das System alle verfügbare potentielle Energie zum Verschieben des Kolbens benötigt. Unter solchen Randbedingungen wird alle mögliche Energie vorteilhafterweise aufgebracht, um den Betrieb des Betätigungsventils sicherzustellen. Ein Mechanismus zum Vorsehen einer Zusatzenergie für das Verschieben ist bei den Vorrichtungen der vorgenannten Patente eingeschlossen. Zusätzliche Druckluft wird durch Passagewege zur expandierenden Kammer an einem Ende des Ventilkolbens züge-
führt. Die Luft ist durch die Lage des Kolbens in den Passagewegen eingeschlossen. Zusätzliche Energie könnte
-δ-jedoch ebenso unter ernsthaften Bedingungen nützlich sein.
Die Natur der luftbetriebenen hin- und hergehenden Vorrichtungen so wie sie für die Verwendung des vorliegenden Betätigungsventils bestimmt ist, gibt ihnen die Fähigkeit, durch einfaches Stillsetzen der Vorrichtung gebraucht zu ■' \ werden, als durch Abschalten der Druckluftquello. Solch ein Zustand könnte bei einer luftbetriebenen Membranpumpe *■"> existieren, wo das zu pumpende Produkt unter Druck gehalten und stromab der Pumpe durch ein Ventil gesteuert wird. Wenn das Ventil geöffnet wird, kann die Pumpe Material durch die Pumpe und das Ventil bewegen. Wenn das Ventil geschlossen wird, befindet sich die Pumpe im Stillstand, wenn die Antriebsluftkraft gleich der Kompressionskraft des getriebenen Materials ist. Unter solchen Umständen bleibt die Pumpe bereit, weiteres Material jederzeit zu pumpen, wenn das Stromabventil geöffnet ist.
Wenn die luftbetriebene hin- und hergehende Vorrichtung '.-auf diese Weise verwendet wird, wird das Betätiqungsventil einfach jederzeit während des Stillstands in Position bleiben. Unter solchen Bedingungen wird tatsächlich keine Luft benötigt, um die Pumpe beizubehalten. Jedoch können alle zur Atmosphäre offenen Passagen und auch die die mit dem Einlaßdruck verbunden sind, den 'Luftstrom dadurch fortsetzen. Es ist daher vorteilhaft, beim Pumpen oder Betätigungsventilhub alles zu vermeiden, wenn solch eine > Leckage auftritt. Eine derartige Leckage kann geräuschvoll und unangenehm sein, sogar wenn sie nicht ausreicht, einen wesentlichen Verlust an Druckluft darzustellen.
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Betätigungsventil· für eine hin- und hergehende, luftbetriebene Vorrichtung. ~'\- Außerdem wird während des Verschiebens dem Ventilkolben Energie zugeführt, um eine geeignete Betätigung des Ventilkolbens sicherzustellen. 5"
Beim Vorsehen zusätzlicher Verschiebeenergie am Ventilkolben spannen axial beabstandete Einlaßöffnungen wahlweise den Ventilkolben in Richtung auf eine Vollendung seines Hubs vor. Die Einlaßöffnungen können hinsichtlich eines weiteren Aspekts der vorliegenden Erfindung so angeordnet sein, daß eine der Einlaßöffnungen über die Querpassage symmetrisch am Ventilkolben angeordnet ist, und zwar an jedem Ende des Ventilkolbenhubs. Entsprechend einem zusätzlichen Merkmal kann die Axialbeabstandung der Einlaßöffnungen so sein, daß die Mittellage beim Ventilkolbenhub dort erzeugt wird, wo einkommende Druckluft nicht direkt durch die Querpassage des Ventilkolbens strömt. Um weiterhin die Vorspannung des Ventilkolbens zu verbessern bzw. zu verstärken, können die Einlaßpassagen zu den Öffnungen geneigt verlaufen.
Diese verschiedenen Merkmale können individuell oder kollektiv wirken, um das Verschieben und das geeignete Anbringen des Kolbens im Zylinder zu verstärken. 20
Dementsprechend ist es Aufgabe der Erfindung, ein verbessertes Betätigungsventil für eine luftbetriebene hin- und hergehende Vorrichtung zu schaffen.
Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung der in den Zeichnungen rein schematisch dargestellten Ausführungsbeispiele. Es zeigt:
^O Fig. 1 eine Querschnittsansicht durch eine luftgetriebene Kolbenpumpe, in der sich ein Betätigungsventil gemäß der Erfindung befindet,
Fig. 2 eine Endansicht entlang der Linie 2-2 der Fig. 1, 35
Fig. 3 eine Querschnittsansicht entlang der Linie 3-3 der Fig. 1,
Fig. 4 eine Querschnittsansicht entlang der Linie 4-4 in Fig. 1, und
Fig. 5 eine Querschnittsansicht entlang der Linie 5-5 der Fig. 1.
In Fig. 1 und 2 ist eine luftgetriebene hin- und hergehende Vorrichtung, nämlich eine luftgetriebene Membranpumpe in Verbindung mit einem Betätigungsventil· dargestellt., welches allgemein das Bezugszeichen 10 trägt. Am besten ist aus Fig. 3 ersichtlich, daß das Betätigungsventilgehäuse allgemein einen Hauptkörper 12, einen Zylinderkörper 14 und einen Deckel 16 umfaßt. Der Hauptkörper 12 ist entsprechend der vorliegenden Ausführungsform integriert mit Luftkammergehäusen 18 und 20 ausgebildet. Der Hauptkörper 12, der Zylinderkörper 14 und der Deckel 16 werden durch ein Befestigungsmittel 22, von denen vier vorgesehen sind, zusammengehalten.
^O Bevor im einzelnen auf das Betätigungsventil 10 eingegangen wird, ist noch darauf hinzuweisen, daß die .luftgetriebene Membranpumpe der Fig. 1 und 2 die vorerwähnten Luftkammergehäuse 18 und 20 umfassen, welche integriert mit dem Hauptkörper 12 des Betätigungsventils 10 verbunden sind. Außerhalb der Luftkammergehäuse 18 und 20 befinden sich Pumpenkammergehäuse 24 und 26. Zwischen den Luftkammergehäusen 18 und 20 und den Pumpenkammergehäusen 24 und 26 befinden sich elastisch nachgiebige Membranen 28 und 30. Die Membranen 28 und 30 um-
fassen einen Ringwulst 32, welcher in beiden Luftkammergehäusen 18 und 20 und den Pumpenkammergehäusen 24 und 26 angebrachten Nuten liegen. Klemmbänder (nicht dargestellt) können um den Kreisumfang jedes Pumpenmechanismus angeordnet sein, um die Membranen 28 und 30 zu hal-
ten und somit eine Leckage zu verhindern. Jedes der Pumpenkammergehäuse 24 und 26 verläuft zu einem Pumpeneinlaß 34 und einem Pumpenauslaß 36. Rückschlagventile
mit Ventilsitzen 38 und Ventilkugeln 40 sind am Pumpeneinlaß 34 und an den Pumpenauslässen 36 angeordnet, um eine Strömung aufgrund der Pumpwirkung der Membran 28 und 30 in eine Richtung zu erlauben. Plazierungsrippen halten die Kugeln 40 in Lage und O-Ringe 44 verhindern eine Leckage an den Öffnungen.
Zu dem Pumpeneinlaß 34 gehört eine Einlaßsaugleitung 46. Die Einlaßsaugleitung 46 verläuft von einem gemeinsamen Einlaß zu jedem der Pumpeneinlasse 34. Entsprechend der Darstellung bei der bevorzugten Ausführungsform ist die Einlaßsaugleitung 46 in drei Abschnitte aufgeteilt, welche auf herkömmliche Weise durch Klemmbänder (nicht dargestellt) am Ort gehalten werden. Die Einlaßsaugleitung 46 umfaßt ebenfalls Füße 50, welche zum Abstützen der Pumpe angeordnet sind. Diametral gegenüberliegend der Einlaßsaugleitung 46 befindet sich eine Auslaßsaugleitung 52. Die Auslaßsaugleitung 52 ist auf gleiche Weise aufgebaut und umfaßt eine Abgabe von einem daran befindlichen zentralen Abschnitt. Zusätzlich können Klemmbänder verwendet werden, um die Teile in ihrer Lage zu halten. Entsprechend der Darstellung in Fig. 2 halten Befestigungselemente 54 die Saugleitungen 46 und 52 in ihrer Lage an der Pumpe. Für solche Befestigungselemente werden herkömmliche Befestigungselemente eingesetzt.
Durch das Betätigungsventil 10 verläuft eine Steuerstange 56. Die Steuerstange 56 verläuft zu zwei Pumpenkolbenanordnungen an jedem ihrer Enden. Die Pumpenkolbenanordnungen umfassen jeweils eine Innenplatte 58 und eine Außenplatte 60, zwischen denen sich die Pumpenmembran 28 oder 30 sandwichartig befindet. Die Steuerstange und die Pumpenkolbenanordnungen wirken
^S hinsichtlich des Haltens der Membranen in einer geeigneten Ausrichtung, zieht die Membran, welche sich
im Einfahrhub befindet, in die Luftkammer und bringt funktionell die Lage der Pumpe zum Betätigungsventil, wie dies nachfolgend diskutiert wird.
Bei dieser Ausführungsform besteht die dargestellte Pumpe mit Ausnahme der O-Ringe 4 4 und der Membranen 28 und 30, die im allgemeinen aus elastomerem Material bestehen, aus polymerem Material. Außerdem bestehen die Klemmbänder (nicht dargestellt) und die Steuerstange 56 aus metallischem Material. Zusätzliche Teile des Betatigungsventils bestehen entsprechend der nachfolgenden Beschreibung ebenfalls aus metallischem Material.
Der Hauptkörper 12 des Betätigungsventil ist integriert mit den Luftkammergehäusen 18 und 20 ausgebildet. So sind entgegengesetzt liegende Wände 4 2 sowohl im Innenabschnitt der Luftkammergehäuse 18 und 20 als auch in den Außenabschnitten des Betätigungsventils 10 ausgebildet. Entgegengesetzt ausgebildete Wände 64 und 66 verlaufen zwischen den entgegengesetzten Wänden 62, um innerhalb des Hauptkörpers 12 des Betätigungsventils 10 einen Hohlraum zu bilden. Der Hohlraum ist an einer Seite durch den Deckel 16 geschlossen, welcher einen Auslaß 68 aufweist. Der Auslaß 68 ist mit einem Gewinde versehen, um einen Schalldämpfer zur Geräuschreduzierung oder ein Auspuffrohr aufzunehmen, wo die von der Pumpe weggebrachte Luft ausgestoßen wird.
Zentral im Hauptkörper 12 befindet sich ein Passageweggehäuse 70, welches zwischen entgegengesetzten Wänden 62 zur Aufnahme der Steuerstange 56 verläuft. Das Passageweggehäuse 70 befindet sich beabstandet von den entgegengesetzten Wänden 64 und 66 und dem Deckel 16, ist jedoch integriert mit einer Vorderwand 72 ausgebildet. 35
Eine Steuerstangenhülse 74 aus metallischem Material, wie Messing, verläuft durch das Passageweggehäuse 70, um für die Steuerstange 56 einen Passageweg 76 zu bilden.
Eine Vielzahl von Gestaltungen sowohl für die Steuerstange 56 als auch für die Steuerstangenhülse 74 stehen zur Verfügung. Hierzu wird auf die vorgenannten Patente Bezug genommen. Bei der dargestellten Ausführungsform befindet sich eine Axialpassage 78 zentral in der Steuerstange 56. Vier abdichtende O-Ringe 80 befinden sich in Ringnuten 82, um den Passageweg 76, durch den die Steuerstange verläuft, in separate Zonen aufzuteilen.
Steuerstangenlüftungspassagen 83 und 84 verlaufen sowohl durch die Steuerstangenhülse 74 und das Passageweggehäuse 70, so daß sie in den Hohlraum oder die Kammer innerhalb des Hauptkörpers 12 münden und dann durch den Auslaß 68 austreten. Außerhalb der Steuerstangenlüftungspassagen 83 und 84 befinden sich parallel zu den dichtenden O-Ringen 80 Ringkanäle 86 und 88. Diese Ringkanäle sind mit Ventilkolbenlüftungspassagen 90 und 92 gekuppelt, welche durch die vordere Wand 72 des Hauptkörpers 12 und parallel zur Fläche der Vorderwand 72, wie dies am besten aus Fig. 1 ersichtlich ist, in den Zylinderkörper 14 verlaufen, wie dies am besten der Fig. 3 zu entnehmen ist. Entsprechend der Darstellung in Fig. 5 können die Ventilkolbenlüftungspassagen 90 und 92 wahlweise für das Entlüften durch die Steuerstangenlüftungspassagen 82 84 geöffnet werden, wenn die Steuerstange 56 so angeordnet ist, daß die Axialpassage 78 den einen oder den anderen inneren O-Ring 80 überspannt. Dies tritt an den Enden des Hubs der hin- und hergehenden Vorrichtung auf.
Ebenso verlaufen durch den Hauptkörper 12 des Betätigungsventils 10 Luftkammerleitungen 94 und 96. Die Luftkammerleitungen 9 4 und 96 verlaufen durch die entgegengesetzte Wand 62 zu den Luftkammern, und zwar für die Abgabe von komprimierter Arbeitsluft zur hin- und hergehenden Vorrichtung. Diese Leitungen verlaufen durch die vordere Wand 72 und den Zylinderkörper 14, wie dies am besten Fig. 3 zu entnehmen ist.
Der Zylinderkörper 14 ist sicher an der Vorderwand 72 des Hauptkörpers 14 befestigt, und zwar durch die Befestigungsmittel 22. Der Zylinderkörper 14 umfaßt im allgemeinen einen Zylinder 98, welcher für ein einfaches Bearbeiten durch den Zylinderkörper 14 verläuft. Endkappen 100 und 102 sind mittels Federclips 104 an den Enden des Zylinders 98 angebracht. O-Ringe 106 dichten den Zylinder 98 an den Endkappen ab. Ein Ausrichtstift 108 ist durch ein Ende der Endkappen befestigt und verläuft für die Ausrichtung des darin befindlichen Kolbens in den Zylinder 98.
Ebenso befindet sich im Zylinderkörper 14 ein Lufteinlaß 110. Dieser Lufteinlaß 110 ist mit einem Gewinde versehen, um einen geeigneten Einsatz oder Anschluß aufzunehmen. Der Lufteinlaß ist in zwei Einlaßpassagen 112 und 114 aufgegabelt, welche gegenseitig in Richtung auf zwei Öffnungen 116 und 118 divergieren. Diese Öffnungen 116 : und 118 umfassen jeweils einen exzentrisch ausgeschnittenen Kanal, welcher für eine größere Luftverteilung im Zylinder 98 um diesen herum wegverläuft. So sind die beiden Öffnungen 116 und 118 relativ zum Zylinder 98 axial beabstandet, um Druckluft in das Betätigungsventil 10 einzuführen.
Innerhalb des Zylinders 98 befindet sich ein Ventilkolben, welcher eine im wesentlichen zylindrische Form hat und
an jedem Ende Abstandhalter 122 aufweist. Der Ventilkolben 120 ist so angeordnet, daß er innerhalb des Zylinders so gleitet, daß die Abstandhalter 122 mit den Endkappen 100 und 102 am Ende des Hubs in Berührung stehen. Der Körper des Ventilkolbens ist so bemessen, daß zwischen der Wand des Zylinders 98 und dem Ventilkolben 120 ein Freiraum vorgesehen ist, um somit ein Mittel zu schaffen, gemäß dem die Luft kontinuierlich zu den Enden des Zylinders gerichtet wird. Längspassagen 124 verlaufen durch den Kolbenkörper weg zu jedem Ende desselben. Ein Stiftloch 126 gehört zu jeder Passage 124, so daß ein Volumen von durch den Lufteinlaß 110 eintretender Luft durch das Stiftloch 126 und die Passage 124 zu einem Ende oder dem anderen Ende des Zylinders 98 gerichtet werden kann, wenn ein Stiftloch sich in direkter Verbindung mit dem Einlaß befindet, und zwar während eines Teils des Hubs. Der Führungsstift 108 kann in einer der Passagen 124 angeordnet und so bemessen sein, daß eine freie Luftströmung dadurch möglich ist.
Ein Hohlraum 128 ist innerhalb des Ventilkolbens 120 ausgebildet und hat zwei Durchgangsöffnungen 130 und 132, die den Hohlraum 128 mit einer Seite des Zylinders 98 verbinden. Vier Öffnungen 134, 136, 138 und 140 sind entlang einer Wand des Zylinders 98 angeordnet, um mit den Durchgangsöffnungen 132 und 134 zusammenzuwirken. Die Öffnungen 134 bis 140 sind so angeordnet, daß die Durchgangsöffnungen 130 und 132 mit zwei der Stützen mit dem Kolben an jedem Ende seines Hubs ausgerichtet sein werden. Die Öffnungen 134 und 140 verlaufen durch den Passageweg 70 des Hauptkörpers 12 zu Passagen 142 und 144, um mit dem Hohlraum innerhalb des Hauptkörpers 12 zum Ausstoßen durch den Auslaß 68 in Verbindung zu stehen.
Eine Querpassage 146, die bei der vorliegenden Ausführungsform eine Umfangsnut ist, verläuft um das Zentrum des
Ventilkolbens 120. Die Öffnungen 136 und 138 sind so ausgerichtet, daß die Querpassage 146 mit einer der Passagen an den Enden des Hubs des Ventilkolbens in Verbindung sein wird. Außerdem ist die Querpassage mit einer der Einlaßöffnungen 116 und 118 an den Enden des Ventilkolbenhubes ausgerichtet. So wird die Verbindung zwischen dem Einlaß 110 und der einen oder der anderen der Öffnungen 136 und 138 an den Enden des Ventilkolbenhubes durch die Querpassage 146 erzielt.
Die Axialbeabstandung der Öffnungen 116 und 118 kann so gewählt sein, daß die Trennung zwischen den Öffnungen 116 und 118 grob gleich der Trennung zwischen den Öffnungen 136 und 138 ist. Dies richtet für eine verbesserte Strömung durch die Querpassage 146 die Öffnungen an jedem Ende der Querpassage 146 aus. Ebenso können die Einlaßöffnungen 116 und 118 so beabstandet sein, daß sich berde nicht gleichzeitig zur Querpassage öffnen können. Ein übermäßiger Luftstrom in der Querpassage 1 46 hat keine Auswirkung auf den Verschiebevorgang mit solch einer Beabstandung.
Der Hauptstrom durch die Querpassage 146 wird eingeleitet, wenn der Ventilkolben 120 eine der Öffnungen und 118 ebenso wie die entsprechende der Öffnungen 136 und 138, wo Atmosphärendruck herrscht, öffnet. Wenn die Verbindung zwischen der Hochdrucköffnung und der Niedrigdrucköffnung eingeleitet wird, wird die eintretende Luft mit Geschwindigkeit auf den Kolben 120 gerichtet und gegen die Seitenwände der .Queröffnung 136, um zusätzliche Energie für das Verschieben des Ventilkolbens 120 vorzusehen. Der Luftstrom durch die Querpassage hat die Wirkung der Zentrierung der Passage 146 relativ zur Öffnung 116 oder 118, und zwar an einem oder dem anderen Ende des Ventilkolbenhubs. Die gegenseitige Divergenz der Einlaßpassagen 112 und 114 ergibt ebenso
eine Axialkomponente der Strömungsgeschwindigkeit, um weiterhin eine Bewegung des Ventilkolbens 120 zu dem Ende seines Hubs zu induzieren.
Die Ventilkolbenlüftungspassagen 90 und 92 sind so dargestellt, daß sie den Zylinder 98 an Stellen neben den Enden des Zylinders 98 kreuzen, die als Endkappen 100 und 102 definiert sind. Diese Ventilkolbenlüftungspassagen 90 und 92 sind von den Enden des Zylinders 98 ausreichend beabstandet, so daß der Ventilkolbenkörper wahlweise die nächste Ventilkolbenluftungspassage an den Enden des Hubs abdeckt und schließt. Die Lüftungspassagen 90 und 92 sind ebenso diametral gegenüberliegend dem Einlaß 110 angeordnet. Wegon des Drucks auf den Ventilkolben 120 wird der Ventilkolben vom Einlaß 110 gegen die Seite des Zylinders 98 weggedrückt, wo die Ventilkolbenlüftungspassagen 90 und 92 dein Zylinder 98 kreuzen. Wegen der auf den Ventilkolben 120 während des Verschiebens gerichteten Energie und des Freiraums um den Ventilkolben 120 kann der Ventilkolben 120 seinen Hub ausdehnen, bis die Abstandhalter 122 die eine oder andere der Endkappen 100 oder 102 berührt. Es sollte jedoch dahingehend Sorge getragen werden, daß ein ausreichender Abstand an jedem Ende des Zylinders 98 verbleibt, so daß ein momentaner Druckaufbau nicht dahingehend wirksam wird, daß der verbleibende Raum als pneumatisch federwirkt, wenn die Ventilkolbenluftungspassage 90 oder 92 abgedeckt ist. Da kein unausgeglichener Druck herrscht, welcher dazu tendieren würde, den Kolben weg von der Endlage zu drücken, verbleibt der Ventilkolben
30,in einer Lage, in der er die eine oder andere der Ventilkolbenlüftungspassagen 90 und 92 abdeckt, bis der Ventilkolben 120 wieder zu einer Verschiebung veranlaßt wird.
Nachdem die Elemente und die Merkmale des Betätigungsventils beschrieben wurden, wird nunmehr der Betrieb des Systems erläutert. Druckluft gelangt in den Einlaß 110.
wenn der Ventilkolben 120 sich an dem einen oder dem anderen Hubende befindet. Wenn man die Stellung in Fig. 3 betrachtet, so gelangt Druckluft durch die Einlaßpassage 112, die Öffnung 116 und die Querpassage 146 zur Öffnung 136. So gelangt Druckluft zur Luftkammerleitung 96, wo sie auf der rechten Seite der in Fig.1 dargestellten Vorrichtung zur Luftkammer gelangt. Dies verursacht eine Bewegung der Membranen 28 und 30, der Steuerstange 56 und der Pumpenkolbenanordnungen bei Betrachtung der Fig. 1 entsprechend einem Pumpenhub nach rechts. Nach einer Bewegung über einen Pumpenhub· trifft die Axialpassage 78 der Steuerstange 56 den abdichtenden O-Ring zwischen der Steuerstangenlüftungspassage 84 und dem Kanal 88, welcher mit der Ventilkolbenlüftungspassage 92 in Verbindung steht und traversiert diese. Die Ventilkolbenlüftungspassage 92, die Axialpassage 78 an der Steuerstange 56 und die Steuerstangenlüftungspassage 84 bilden so ein Mittel zum Entlüften des Endes des Zylinders 98 in der Nähe der Lüftungspassage 92.
Der Kolben 120 umfaßt einen Freiraum mit dem Zylinder 98, so daß sich Druckluft um den Kolben 120 ansammelt, wenn beide Lüftungspassagen 90 und 92 geschlossen sind. Mit dem zuvor beschriebenen Entlüften der Ventilkolbenlüftungspassage 92 verursacht die Druckluft um den Abstandhalter 122 am entgegengesetzten Ende des Ventilkolbens 120 ein Verschieben des Ventilkolbens 120 zum anderen Ende des Zylinders 98. Wenn der Kolben 120 um einen bestimmten Abstand bewegt worden ist, ragt das Stiftloch 126, welches mit dem geschlossenen Ende des Ventilkolbens 120 in Verbindung steht, in den Einlaß 110 an der Öffnung 116. Zu diesem Zeitpunkt wird zusätzliche Druckluft zum nachlaufenden Ende des Ventilkolbens 120 gerichtet, um weitere Verschiebeenergie hinzuzufügen.
Wenn die Verschiebung des Ventilkolbens 120 sich fortsetzt, nähert sich die Querpassage 146 der Öffnung 138 in der Seite des Zylinders 98 und ebenso der Einlaßöffnung 118. Wenn diese Öffnungen mit der Querpassage 146 in Verbindung gelangen, wird zusätzliche Luft auf die Querpassage 146 gerichtet, wodurch diese dann durch die Öffnung 138 gelangen kann. Mit der Ausrichtung der Einlaßpassage 114 kann die Luft eine Axialkomponente haben, die die Bewegung des Ventilkolbens auf seinem Hub unterstützt. Dadurch ergibt sich eine Zentrierwirkung zum Bewegen und Halten der Querpassage 146 in Linie mit der Einlaßöffnung 116 oder 118. Auf diese Weise wird dem Ventilkolben 120 für seinen Hub zum entgegengesetzten Ende des Zylinders 98 Energie
1r zugeführt.
Der Ventilkolben 120 wird bei seinem Betrieb so gehalten, daß er gegen die Seite des Zylinders 98 stößt, die dem Einlaß 110 diametral gegenüberliegt. Dies resultiert aus der Tatsache, daß zumindest die Öffnungen 134 und
140 stets zur Atmosphäre hin offen sind, während der Einlaß 110 zur Druckluft hin offen ist. So besteht ein Druckunterschied über den Ventilkolben 120, welcher diesen gegen die Seite des Zylinders 98 mit den Öffnungen 134, 136, 138 und 140 und den Passagen 90 und 92 halt.
Nachdem das Verschieben des Kolbens 120 aufgetreten ist, strömt die Luft durch die Einlaßpassage 114, die Querpassage 146 und die Öffnung 138 in die Luftkammerleitung 94. Diese Druckluft stößt dann die Membran nach links, um den Rückkehrhub einzuleiten. Es kann erkannt werden, daß die Durchgangsöffnungen 130 und dahingehend zusammenwirken, durch die Luftkammerleitungen 94 und 96 die Seite der Pumpe zu entlüften, 35
welche nicht mit der Druckluft versorgt wird. Auf diese Weise kann die Pumpe sich aufgrund der Positionierung des Ventilkolbens 120 hin- und herbewegen, welcher seinerseits auf die Lage der Steuerstange 56 anspricht.
Wenn die Steuerstange 56 sich mit der Hin- und Herbewegung der Pumpe bewegt, wird eine kontinuierliche Steuerschleife definiert, um eine konstante Drucklufteingabe in eine hin- und hergehende Bewegung umzuwandeln. Mit dem Ventilkolben 120 an jedem Ende seines Hubs sind die Ventilkolbenlüftungspassagen 90 und 92 alternierend zum Zylinder 98 hin geschlossen. Wenn die Pumpe im Stillstand ist, und zwar so, daß die Steuerstange 56 sich in einer Lage befindet, in der sie ein Ende oder das andere Ende des Zylinders 98 entlüftet, würde der Kolben 120 verschoben, um die entsprechende Ventilkolbenlüftungspassage abzudecken, um im wesentlichen den gesamten Luftstrom der gesamten Vorrichtung zu unterbrechen. Dies bedeutet natürlich eine Einsparung an Druckluft und Energie sowie führt zu einer Geräuschbeseitigung im Stillstand.

Claims (5)

  1. PATENT- UND RECHTSANWÄLTE
    PATENTANWÄLTE DlPL.-ΙΝβ. W. EITLE ■ DR. RER. NAT. K. HOFFMANN · DIPL.-ING. W. LEHN
    DIPL.-ING. K. FDCHSLE · DR. RER. NAT. B. HANSEN ■ DR. RER. NAT. H-A. BRAUNS · DIPL.-ING. K. GDRG
    DIPL.-JNG. K. KOHLMANN · RECHTSANWALT A. NETTE
    WILDEN PUMP & ENGINEERING GOiXiPANY
    Colton, Calif- / USA
    Betätigungsventil Patentansprüche
    Betätigungsventil für eine luftbetriebene hin- und hergehende Vorrichtung mit einem in einem Gehäuse hin- und herbeweglichen Ventilkolben, dadurch gekennzeichnet , daß der Ventilkolben
    (120) eine Querpassage (146) aufweist, und daß das Gehäuse einen Zylinder (98) aufweist, welcher an jedem Ende geschlossen ist und den Ventilkolben (120) umschließt, wobei am Zylinder (98) ein Lufteinlaß (110) vorgesehen ist, welcher zwei axial zum Zylinder beabstandete Öffnungen (116,118) umfaßt, welche Öffnungen wahlweise mit der Querpassage (146) ausrichtbar sind, wenn sich der Kolben jeweils am Ende des genannten Zylinders befindet.
  2. 2. Betätigungsventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Lufteinlaß (110) weiterhin zwei Einlaßpassagen (112,114) umfaßt, die zu den beiden Öffnungen (116,118) verlaufen, wobei die Einlaßpassagen zueinander geneigt verlaufen, um zu den beiden Öffnungen zu divergieren.
    LLASTRASSE 4 . D-8OOO MÜNCHEN 81 · TELEFON CO89} 911087 · TELEX 5-29619 CPATHEJ ■ TELEKOPIERER 9183
  3. 3. Betätigungsventil nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Querpassage (146) eine Umfangsnut um den Ventilkolben (120) ist.
  4. b 4. Betätigungsventil nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die axial beabstandeten Öffnungen (116,118) zumindest um die Breite der Querpassage (146) voneinander getrennt sind.
  5. 5. Betätigungsventil nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß eine Steuerstange (56) so vorgesehen ist, daß sie sich mit der luftbetriebenen hin- und hergehenden Vorrichtung hin- und .herbewegt und mit einem Durchgangspassageweg (76) versehen ist, daß Ven-
    Ik tilkolben-Lüftungspassagen (90,92) von der Nähe der Enden des Zylinders (98) zum genannten Passageweg verlaufen, daß Steuerstangen-Lüftungspassagen (83,84) von dem genannten Passageweg zur Atmosphäre verlaufen, daß der Ventilkolben (120) mit dem Gehäuse dahingehend zusammenwirkt, daß er Mittel zum Richten der einkommenden Luft zu den Enden des Ventilkolbens umfaßt und Mittel zum wahlweisen Richten der einkommenden Luft zur luftgetriebenen hin- und hergehenden Vorrichtung und zum Ausstoßen derselben aus dieser Vorrichtung, daß die Steuer-
    ^5 stange (56) zumindest eine Axialpassage (78) in der Steuerstange umfaßt, die mit den Ventilkolben-Lüftungspassagen und den Steuerstangen-Lüftungspassagen zusammenwirkt.
DE19843428607 1983-08-03 1984-08-02 Betaetigungsventil Ceased DE3428607A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/519,988 US4549467A (en) 1983-08-03 1983-08-03 Actuator valve

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE3428607A1 true DE3428607A1 (de) 1985-02-14

Family

ID=24070726

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19843428607 Ceased DE3428607A1 (de) 1983-08-03 1984-08-02 Betaetigungsventil

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4549467A (de)
JP (1) JPS6047889A (de)
CA (1) CA1234022A (de)
DE (1) DE3428607A1 (de)
GB (1) GB2144493B (de)

Families Citing this family (79)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB8529085D0 (en) * 1985-11-26 1986-01-02 Blagdon Durham Ltd Pump
US4936753A (en) * 1988-06-03 1990-06-26 The Aro Corporation Diaphragm pump with interchangeable valves and manifolds
US5169296A (en) * 1989-03-10 1992-12-08 Wilden James K Air driven double diaphragm pump
US5213485A (en) * 1989-03-10 1993-05-25 Wilden James K Air driven double diaphragm pump
US5378122A (en) 1993-02-16 1995-01-03 Wilden Pump & Engineering Co. Air driven diaphragm pump
US5391060A (en) * 1993-05-14 1995-02-21 The Aro Corporation Air operated double diaphragm pump
US5441281A (en) * 1993-05-21 1995-08-15 Wilden Pump & Engineering Co. Shaft seal
US5607290A (en) * 1995-11-07 1997-03-04 Wilden Pump & Engineering Co. Air driven diaphragm pump
US5743170A (en) 1996-03-27 1998-04-28 Wilden Pump & Engineering Co. Diaphragm mechanism for an air driven diaphragm pump
US5927954A (en) * 1996-05-17 1999-07-27 Wilden Pump & Engineering Co. Amplified pressure air driven diaphragm pump and pressure relief value therefor
TW539918B (en) * 1997-05-27 2003-07-01 Tokyo Electron Ltd Removal of photoresist and photoresist residue from semiconductors using supercritical carbon dioxide process
US5957670A (en) * 1997-08-26 1999-09-28 Wilden Pump & Engineering Co. Air driven diaphragm pump
US6102363A (en) * 1998-04-20 2000-08-15 Wilden Pump & Engineering Co. Actuator for reciprocating air driven devices
US6257845B1 (en) * 1998-07-14 2001-07-10 Wilden Pump & Engineering Co. Air driven pumps and components therefor
US6152705A (en) 1998-07-15 2000-11-28 Wilden Pump & Engineering Co. Air drive pumps and components therefor
US6168394B1 (en) * 1999-06-18 2001-01-02 Wilden Pump & Engineering Co. Air driven double diaphragm pump
EP1234322A2 (de) 1999-11-02 2002-08-28 Tokyo Electron Limited Verfahren und vorrichtungen zur überkritischen verarbeitung von werkstücken
US6748960B1 (en) 1999-11-02 2004-06-15 Tokyo Electron Limited Apparatus for supercritical processing of multiple workpieces
US6561774B2 (en) * 2000-06-02 2003-05-13 Tokyo Electron Limited Dual diaphragm pump
KR100750018B1 (ko) 2000-07-26 2007-08-16 동경 엘렉트론 주식회사 반도체 기판의 처리를 위한 고압 챔버 및 반도체 기판의고압 처리를 위한 장치
US20040040660A1 (en) * 2001-10-03 2004-03-04 Biberger Maximilian Albert High pressure processing chamber for multiple semiconductor substrates
US7001468B1 (en) 2002-02-15 2006-02-21 Tokyo Electron Limited Pressure energized pressure vessel opening and closing device and method of providing therefor
US7387868B2 (en) * 2002-03-04 2008-06-17 Tokyo Electron Limited Treatment of a dielectric layer using supercritical CO2
US7021635B2 (en) * 2003-02-06 2006-04-04 Tokyo Electron Limited Vacuum chuck utilizing sintered material and method of providing thereof
US7225820B2 (en) * 2003-02-10 2007-06-05 Tokyo Electron Limited High-pressure processing chamber for a semiconductor wafer
US7077917B2 (en) 2003-02-10 2006-07-18 Tokyo Electric Limited High-pressure processing chamber for a semiconductor wafer
US7270137B2 (en) 2003-04-28 2007-09-18 Tokyo Electron Limited Apparatus and method of securing a workpiece during high-pressure processing
US7025578B2 (en) * 2003-05-07 2006-04-11 Ingersoll-Rand Company Pump having air valve with integral pilot
US7163380B2 (en) * 2003-07-29 2007-01-16 Tokyo Electron Limited Control of fluid flow in the processing of an object with a fluid
US20050035514A1 (en) * 2003-08-11 2005-02-17 Supercritical Systems, Inc. Vacuum chuck apparatus and method for holding a wafer during high pressure processing
US20050067002A1 (en) * 2003-09-25 2005-03-31 Supercritical Systems, Inc. Processing chamber including a circulation loop integrally formed in a chamber housing
US7186093B2 (en) * 2004-10-05 2007-03-06 Tokyo Electron Limited Method and apparatus for cooling motor bearings of a high pressure pump
US7168928B1 (en) 2004-02-17 2007-01-30 Wilden Pump And Engineering Llc Air driven hydraulic pump
US7367785B2 (en) * 2004-03-19 2008-05-06 Ingersoll-Rand Company Reduced icing valves and gas-driven motor and reciprocating pump incorporating same
US7063516B2 (en) * 2004-05-04 2006-06-20 Wilden Pump And Engineering Llc One-way valve
US7125229B2 (en) * 2004-05-10 2006-10-24 Wilden Pump And Engineering Llc Reciprocating air distribution system
US7063517B2 (en) * 2004-06-16 2006-06-20 Ingersoll-Rand Company Valve apparatus and pneumatically driven diaphragm pump incorporating same
US7250374B2 (en) 2004-06-30 2007-07-31 Tokyo Electron Limited System and method for processing a substrate using supercritical carbon dioxide processing
US7307019B2 (en) 2004-09-29 2007-12-11 Tokyo Electron Limited Method for supercritical carbon dioxide processing of fluoro-carbon films
US20060065189A1 (en) * 2004-09-30 2006-03-30 Darko Babic Method and system for homogenization of supercritical fluid in a high pressure processing system
US8047222B2 (en) * 2004-10-18 2011-11-01 Wilden Pump And Engineering Llc Air valve for an air driven reciprocating device
US7491036B2 (en) 2004-11-12 2009-02-17 Tokyo Electron Limited Method and system for cooling a pump
US7658598B2 (en) * 2005-10-24 2010-02-09 Proportionair, Incorporated Method and control system for a pump
CA3127360A1 (en) * 2004-11-17 2006-05-26 Proportionair, Inc. Control system for an air operated diaphragm pump
US7517199B2 (en) * 2004-11-17 2009-04-14 Proportion Air Incorporated Control system for an air operated diaphragm pump
US7140393B2 (en) 2004-12-22 2006-11-28 Tokyo Electron Limited Non-contact shuttle valve for flow diversion in high pressure systems
US7434590B2 (en) 2004-12-22 2008-10-14 Tokyo Electron Limited Method and apparatus for clamping a substrate in a high pressure processing system
US7291565B2 (en) 2005-02-15 2007-11-06 Tokyo Electron Limited Method and system for treating a substrate with a high pressure fluid using fluorosilicic acid
US7435447B2 (en) 2005-02-15 2008-10-14 Tokyo Electron Limited Method and system for determining flow conditions in a high pressure processing system
US7767145B2 (en) * 2005-03-28 2010-08-03 Toyko Electron Limited High pressure fourier transform infrared cell
US7380984B2 (en) * 2005-03-28 2008-06-03 Tokyo Electron Limited Process flow thermocouple
US20060225772A1 (en) * 2005-03-29 2006-10-12 Jones William D Controlled pressure differential in a high-pressure processing chamber
US7494107B2 (en) * 2005-03-30 2009-02-24 Supercritical Systems, Inc. Gate valve for plus-atmospheric pressure semiconductor process vessels
US7789971B2 (en) 2005-05-13 2010-09-07 Tokyo Electron Limited Treatment of substrate using functionalizing agent in supercritical carbon dioxide
US7524383B2 (en) 2005-05-25 2009-04-28 Tokyo Electron Limited Method and system for passivating a processing chamber
US7399168B1 (en) 2005-12-19 2008-07-15 Wilden Pump And Engineering Llc Air driven diaphragm pump
US7811067B2 (en) 2006-04-19 2010-10-12 Wilden Pump And Engineering Llc Air driven pump with performance control
MX351912B (es) 2008-10-22 2017-11-03 Graco Minnesota Inc Rociador sin aire portátil.
ES2581203T3 (es) 2009-01-23 2016-09-02 Warren Rupp, Inc. Procedimiento para aumentar el rendimiento del aire comprimido en una bomba
AU2010245694B2 (en) * 2009-05-08 2014-10-02 Warren Rupp, Inc. Air operated diaphragm pump with electric generator
US8382445B2 (en) * 2009-12-16 2013-02-26 Warren Rupp, Inc. Air logic controller
US8496451B2 (en) 2010-06-21 2013-07-30 Wilden Pump And Engineering Llc Pump diaphragm
US8479879B2 (en) * 2011-06-13 2013-07-09 King Fahd University Of Petroleum And Minerals Expandable chamber acoustic silencer
US9976545B2 (en) 2014-01-31 2018-05-22 Wilden Pump And Engineering Llc Air operated pump
JP6574189B2 (ja) 2014-02-07 2019-09-11 グラコ ミネソタ インコーポレーテッド 無脈動の容積式ポンプの作動機構
US10300569B2 (en) 2014-10-14 2019-05-28 Technical Tooling L.L.C. Method for fabricating vacuum fixturing using granular media
US10933594B2 (en) * 2014-10-14 2021-03-02 Technical Tooling LLC Method for forming a part using a layup tool
US10077763B2 (en) 2015-03-25 2018-09-18 Wilden Pump And Engineering Llc Air operated pump
US10422331B2 (en) 2016-08-12 2019-09-24 Ingersoll-Rand Company One piece diaphragm
US11007545B2 (en) 2017-01-15 2021-05-18 Graco Minnesota Inc. Handheld airless paint sprayer repair
EP3409987B1 (de) * 2017-05-31 2020-11-04 Hamilton Sundstrand Corporation Federabgedichtetes pneumatisches servoventil
IT201700121760A1 (it) * 2017-10-26 2019-04-26 Annovi Reverberi Spa Collettore per pompa
US11022106B2 (en) 2018-01-09 2021-06-01 Graco Minnesota Inc. High-pressure positive displacement plunger pump
US20220234062A1 (en) 2019-05-31 2022-07-28 Graco Minnesota Inc. Handheld fluid sprayer
EP4127471A1 (de) 2020-03-31 2023-02-08 Graco Minnesota Inc. Elektrisch betriebene verdrängerpumpe
US10968903B1 (en) 2020-06-04 2021-04-06 Graco Minnesota Inc. Handheld sanitary fluid sprayer having resilient polymer pump cylinder
US10926275B1 (en) 2020-06-25 2021-02-23 Graco Minnesota Inc. Electrostatic handheld sprayer
EP3995694A1 (de) * 2020-11-09 2022-05-11 Idromeccanica Bertolini S.p.A. Pumpe zum pumpen korrosiver flüssigkeiten
US11746771B2 (en) * 2021-04-16 2023-09-05 Teryair Equipment Pvt. Ltd. Actuator valve of an air operated double diaphragm pump

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4339985A (en) * 1980-04-21 1982-07-20 Wilden Pump & Engineering Co., Inc. Air driven reciprocating device

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1058804A (en) * 1911-12-29 1913-04-15 M T Davidson Company Steam-pump.
US2528097A (en) * 1946-05-17 1950-10-31 Frank L Weed Valve mechanism for steam engines
US2890658A (en) * 1956-07-10 1959-06-16 Skf Svenska Kullagerfab Ab Pneumatic liquid pressure pump
US4085655A (en) * 1976-03-29 1978-04-25 Olson Lawrence P Control for reciprocating pumps or the like
US4242941A (en) * 1979-05-14 1981-01-06 Wilden Pump & Engineering Co. Actuator valve

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4339985A (en) * 1980-04-21 1982-07-20 Wilden Pump & Engineering Co., Inc. Air driven reciprocating device

Also Published As

Publication number Publication date
GB2144493A (en) 1985-03-06
CA1234022A (en) 1988-03-15
US4549467A (en) 1985-10-29
GB8419798D0 (en) 1984-09-05
JPS6047889A (ja) 1985-03-15
GB2144493B (en) 1986-12-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3428607A1 (de) Betaetigungsventil
DE3112434C2 (de)
DE2138544C3 (de) Druckluftbetätigte Schmiervorrichtung für eine Bearbeitungseinrichtung
EP0758540A2 (de) Ärztliches, insbesondere zahnärztliches Turbinen-Handstück
DE2626954A1 (de) Druckluftbetriebene hydraulikpumpe
DE1628144B2 (de) Saugdrosselsteuereinrichtung
DE2532408A1 (de) Pneumatisch betriebene vorrichtung
DE7009627U (de) Steuereinrichtung an einem umkehrbaren, druckmittelbetaetigten antrieb fuer ein arbeitsgeraet
EP0576415A1 (de) Ansaugregelventil
DE19539412C2 (de) Umkehrbares pneumatisches Bodenstechwerkzeug und Verfahren zu dessen Betrieb
DE3637823C2 (de) Hilfskraftbetätigtes Spannfutter
DE1476667A1 (de) Servogesteuertes Werkzeug mit Drehrichtungsumkehrung
DE2102591A1 (de) Hydraulik Pumpe
EP0061706A1 (de) Druckluftgetriebene Doppelmembranpumpe
DE19652707C2 (de) Pneumatischer Klopfer
CH713574A1 (de) Ventileinrichtung zum Entlüften von Druckgiessformen.
EP0472887A1 (de) Ventil
DE3310131C2 (de)
DE1243036B (de) Zugmaschinenschutzventil (Drucksicherungsventil) in Zweileitungs-Druckluftbremsanlagen fuer Fahrzeuge
EP0192037A2 (de) Absperrvorrichtung, insbesondere für unter hohem Druck stehende Flüssigkeiten und Verwendung der Vorrichtung
DE3228109A1 (de) Linearantrieb zum erzeugen impulsartiger schneller stossbewegungen
DE102019004943A1 (de) Reziprozierender Kolbenmotor, Motor-Pumpen-Baugruppe und Verfahren zum Antrieb einer Pumpe
DE10305593A1 (de) Drehdurchführung zur Versorgung eines Rotors einer bedruckstoffverarbeitenden Maschine mit einem Arbeitsfluid
DE102021210772A1 (de) Fluidgerät
DE116613C (de)

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
8131 Rejection