DE3414527A1

DE3414527A1 - Fluessigkeitsstrahlaufzeichnungskopf

Info

Publication number: DE3414527A1
Application number: DE19843414527
Authority: DE
Inventors: Masami Machida Tokio/Tokyo Ikeda; Hiroto Ebina Kanagawa Matsuda; Makoto Hiratsuka Kanagawa Shibata; Hiroto Hiratsuka Kanagawa Takahashi
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1983-04-19
Filing date: 1984-04-17
Publication date: 1984-10-25
Anticipated expiration: 2004-04-18
Also published as: FR2544662A1; FR2544662B1; US4631555A; JPS59194860A; DE3414527C2

Description

T¹ " η.. IX f* Patentanwälte und

IEDTKE - bUHLING " l%INttE riaRUPJE;.: Vertreter beim EPA

η f% ^: -'θ " :"":*: '-'"'■' Dipl.-Ing. H.Tiedtke f

rTELLMANN - \aRAM6'-^: OTFHJIF -- - Dipl.-Chem. G. Bühling

_o / y, ι r o 7 Dipl.-Ing. R. Kinne O A· IhDZ/ Dipl.-Ing. R Grupe

Dipl.-Ing. B. Pellmann

³ Dipl.-Ing. K. Grams ■

Dipl.-Chem. Dr. B. Struif

Bavariaring 4, Postfach 202' 8000 München 2

Canon Kabushiki Kaisha Tel.:089-539653

Telex: 5-24845 tipat Tokyo, Japan Telecopier: O89-537377

cable: Germaniapatent Münc

17. ApriL 1984 DE 3844

Flussigkeitsstrahlaufzeichnungskopf

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf zur Durchführuno einer Aufzeichnung durch Abstrahlen einer Flüssigkeit zur Ausbildung von "fliegenden" Tröpfchen.

In neuerer Zei't haben Tintenstrahlaufzeichnungsverfahren (Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungsverfahren) aufgrund ihrer vielen Vorteile große Aufmerksamkeit gefunden. Mit diesen Verfahren kann während der Aufzeichnung ein vernachlässinbar kleines Geräusch erzeugt werden, die Aufzeichnung kann mit höheren Geschwindigkeiten durchgeführt werden, und das Verfahren benötigt keinen speziellen Vorgang zur Fixierung der Aufzeichnung auf sogenanntem Normalpapier.

Eines dieser Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungsverfahren ist in der offengelegten japanischen Patentanmeldung Nummer 51837/1979 und in der DE-OS 28 43 064 beschrieben. Dieses Verfahren unterscheidet sich von anderen Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungsverfahren dadurch, daO thermische

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Energie verwendet wird, urn auf die Flüssigkeit einzuwirken · und eine Bewegungskraft zur Abgabe von Flüssigkeitströpfchen zu erzeugen.

Das vorstehend beschriebene Aufzeichnungsverfahren ist dadurch gekennzeichnet, daß bei der Beeinflussung der Flüssigkeit durch die thermische Energie deren Volumen abrupt erhöht und die Flüssigkeit danach von Öffnungen an der Spitze eines Aufzeichnungskopfes infolge des erhöhten Flüssigkeitsvolumens in der Form von "fliegenden" Tröpfchen abgegeben wird. Diese "fliegenden" Tröpfchen haften an einem Aufzeichnungsmedium an.

Der spezielle Vorteil des in der DE-OS 28 43 064 beschriebenen Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungsverfahrens besteht darin, daß mit diesem Verfahren Bilder mit hoher Qualität und Auflösung bei hoher Geschwindigkeit erzeugt werden können, da dieses Verfahren in äußerst wirksamer Weise bei einem sogenannten Aufzeichnungsverfahren mit Tröpfchenbildung auf Anforderung angewendet und in einfacher Weise

durch einen Vollzeilen-Aufzeichnungskopf mit einer Vielzahl von Öffnungen hoher Dichte verwirklicht werden kann.

Ein Aufzeichnungskopfabschnitt eines Aufzeichnungssystems, mit dem das vorstehend beschriebene Verfahren verwirklicht wird, umfasst einen Flüssigkeitsabgabeabschnitt, der Öffnungen zur Abgabe der Flüssigkeit und Flüssigkeitskanäle aufweist, die jeweils mit der entsprechenden Öffnung in Verbindung stehen und einen Abschnitt besitzen, in dem die thermische Energie auf die Flüssigkeit einwirkt, um Flüssigkeitströpfchen abzugeben. Ferner ist ein Element zur Umwandlung von elektrischer in thermische Energie vorgesehen, das die thermische Energie erzeugt.

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Dieses Element umfasst zwei Elektroden und eine wärmeerzeugende Widerstandsschicht, die zwischen diesen Elektroden' einen Wärmeerzeugungsbereich aufweist. Allgemein gesagt sind die Elektroden und die wärmeerzeugende Widerstandsschicht mit einer Schutzschicht versehen und auf einer Basisplatte aus isolierendem Material angeordnet. Ein typischer Aufbau eines derartigen Aufzeichnungskopfes ist in dem Teilschnitt der Figur 1 dargestellt..

Wie aus Figur 2 hervorgeht, besteht ein Element 101 zur Umwandlung von elektrischer in thermische Energie aus einem Laminat, das ein Substrat 102 aus Silizium, Glas, Keramik u.a., eine untere Schicht 103 auf dem Substrat 102 aus Si0„ o.a., eine wärmeerzeugende Widerstandsschicht 104 auf der unteren Schicht 103 zur Erzeugung von thermischer Energie, die aus Al o.ä besteht, eine Elektrodenschicht 105, die auf der wärmeerzeugenden Widerstandsschicht 104 angeordnet ist, in Abhängigkeit von Informationen Strom zuführt und aus SiO,-, o.a. besteht, eine erste obere Schicht 106 zum Schütze der wärmeerzeugenden Widerstandsschicht 104 und der Elektrodenschicht 105, eine zweite obere Schicht 107, die der ersten oberen Schicht 106 assistiert und aus Polyimid o.a. besteht, und eine dritte obere Schicht 108 aus Ta o.a. zur Erhöhung der mechanischen Festigkeit des Laminates umfasst. Obwohl das vorstehend beschriebene Laminat drei obere Schichten aufweist, ist es auf diese Zahl nicht begrenzt und kann vielmehr eine oder zwei obere Schichten oder vier oder mehr obere Schichten aufweisen, um einen anderen Schutz als vorstehend beschrieben zu bilden. Wenn die Materialien der wärmeerzeugenden Widerstandsschicht 104 und der Elektrodenschicht 105 eine ausreichende Tintenwiderstandsfähigkeit und mechanische Festigkeit besitzen, wird natürlich keine obere Schicht benötigt.

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In der Draufsicht mit entfernten oberen Schichten besitzt das Element zur Umwandlung von elektrischer in thermische Energie ein ebenes Profil, wie in Figur 1 gezeigt, das eine Vielzahl von parallel angeordneten Lmwandlungseinheiten auf der unteren Schicht 201 aufweist, von denen jede einen wärmeerzeugenden Abschnitt 202, eine gedrehte Elektrode 203, die mit einem Ende an den wärmeerzeugenden Abschnitt 202 angeschlossen .ist, und eine gerade Elektrode 204 besitzt, die mit dem anderen Ende des wärmeerzeugenden Abschnittes 202 verbunden ist.

Der wärmeerzeugende Abschnitt 202 und die Elektroden 203, 204-werden nach dem folgenden Verfahren hergestellt. Zuerst wird die untere Schicht 103 auf dem Substrat 102 ausgebildet. Danach formt, man die wärmeerzeugende Widerstandsschicht 104 aus HfB^ o.a. auf der unteren Schicht 103, indem man hierzu irgendein geeignetes Verfahren einsetzt, beispielsweise Bedampfen, Besprühen o.a. Die Elektrodenschicht 105 aus Al o.ü. wird auf der wärmeerzeugonden Widerstanclsschicht 104 in ähnlicher Weise ausgebildet. Danach werden die Elektrodenschicht 105 und die thermische Widerstandsschicht 104 durch Futoätzen unter Verwendung einer Fotomaske, die das in Figur 3 dargestellte Muster besitzt, teilweise entfernt. Schließlich wird durch einen ähnlichen Fotoätzvorgang unter Verwendung einer Fotomaske mit dem in Figur 4 dargestellten Muster die Elektrodenschicht 105 weiter teilweise entfernt,um an den gewünschten Stellen die gewünschten Elektroden und wsrmeerzeugenden Abschnitte auszubilden.

Der wärmeerzeugende Abschnitt 202 dient dazu, elektrische Energie in thermische Energie umzuwandeln, so daß die resultierende Wärmeenergie ein Verdampfen der Flüssigkeit innerhalb des Flüssigkeitskanales durch die oberen

Schichten 106 und 108 bewirkt. Durch das Verdampfen der Flüssigkeit wird ihr eigenes Volumen verändert, so daß Energie zur Abgabe der Aufzeichnungsflüssigkeit am Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf zur Verfügung gestellt wird.

Der wärmeerzeugende Abschnitt 202 kann daher nicht in seiner Größe reduziert werden. Um die Qualität von gedruckten Buchstaben zu verbessern, kann der Schatten der Bildelemente durch eine Veränderung der Größe der Flüssigkeitströpfchen erzeugt werden. Mit Erhöhung der Grüße des wärmeerzeugenden Abschnittes kann auch der A'nderungsbereich der Größe der Flüssigkeitströpfchen entsprechend vergrößert werden.

Andererseits ist es auch von Bedeutung, die Qualität der aufgezeichneten Bilder durch Erhöhung der Aufzeichnungsdichte zu verbessern, um auf diese Weise das Auflösungsvermögen zu erhöhen. Aus diesem Grunde sollte der Aufzeichnungskopf ein Mehrfachkopf mit hoher Dichte sein. Bei herkömmlich ausgebildeten Aufzeichnungsköpfen besitzt jedoch der wärmeerzeugende Abschnitt die gleiche Breite W₁ wie die gedrehte Elektrode W₂, so daß der Aufzeichnungskopf nicht in kompakter Weise mit höherer Dichte und ohne eine Verringerung der Größe des wärmeerzeugenden Abschnittes ausgebildet werden kann.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf mit einer Vielzahl von üffnungen mit hoher Dichte zur Erzielung eines aufgezeichneten Bildes mit hoher Qualität zu schaffen.

Die Erfindung bezweckt ferner die Schaffung eines Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes mit einer Vielzahl von öffnungen hoher Dichte, bei dem die Größe des wärmeerzeugenden Abschnittes sichergestellt ist.

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Die vorstehend genannte AufQabe wird erfindungsgemäß durch einen Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf gelöst, der einen Flüssigkeitsabgabeabschnitt mi': einer Öffnung zur Abgabe der Flüssigkeit zur Ausbildung von "fliegenden" Tröpfchen und einem Flüssigkeitskanal, der einen Wärmeeinwirkungsabschnitt besitzt, an dem thermische Energie auf die Flüssigkeit zur Ausbildung der Flüssigkeitströpfchen einwirkt, mindestens zwei gegenüberliegende Elektroden, die elektrisch an eine thermische Widerstandsschicht auf einem Substrat angeschlossen sind, und ein Element zur Umwandlung von elektrischer in thermische Energie, dessen Wärmeerzeugungsabschnitt zwischen den Elektroden angeordnet ist, wobei mindestens eine der Elektroden eine gedrehte Ausführungsform besitzt, aufweist. Dieser Aufzeichnungskopf ist erfindungsgemäO dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein Abschnitt der gedrehten Elektrode benachbart zu dem wärmeerzeugenden Abschnitt eine geringere Breite .besitzt als diedes wärmeerzeugenden Abschnittes.

Weiterbildungen des Erfindungsgegenstandes gehen aus den Unteransprüchen hervor.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen in Verbindung mit der Zeichnung im einzelnen erläutert. Es zeigen:

Figur 1 eine Draufsicht auf die Basis.plat'ce bei einen Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf nach den Stand der Technik;

Figur 2 einen Schnitt entlang Linie X - Y in Figur 1;

die Figuren 3 und 4

Draufsichten auf verschiedene Fotomasken, die zur Ausbildung der Elektroden und des wärmeerzeugenden Abschnittes verwendet werden;

die Figuren 5-7

Draufsichten auf unterschiedliche Einheiten zur Urnwandlung von elektrischer in thermische Energie in einer Position am würmeerzeugen-

den Abschnitt, die in erfindungsgernäßsr Weise ausgebildet sind; und

die Figuren 3 und 9

schematische Ansichten zur Darstellung der

Konstruktion von erfindunnsnenüß ausgebildeten Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungsköpfen.

Die vorliegende Erfindung wird nunme.hr anhand der Figuren 5 bis 7 im einzelnen erläutert. Wie aus Figur 5 hervorgehe, umfasst jede der Einheiten zur Umwandlung von elektrischer in thermische Energie eine untere Schicht 201, einen wärmeerzeugenden Abschnitt 202 und Elektroden 203 und 20Λ. Bei der in Figur 5 dargestellten Ausführungsform besitzt eine der Elektroden (die gedrehte Elektrode) 203 eine Breite U₉ ,die geringer ist als die Breite U, des wärmeerzeugendeh Abschnittes 202. Auf diese Weise kann das erfindungsgemäße Element zur Umwandlung von elektrischer in thermische Energie in kompakter Weise mit einer Grüße im Vergleich zu den Elementen des Standes der Technik ausgebildet werden, die dem Wert (W₁ - W₂) pro Teil entspricht. Die Breite der gedrehten Elektrode nuß jedoch so festgelegt werden, daß an dieser Elektrode koine Beschädigungen entstehen und daß die gedrehte Elektrode auch bei v.'icder-

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holten Einsätzen ihre Dauerfestigkeit behält.

Beim 'Stand der Technik lag die Breite IJ, des wärmeerzeugenden Abschnittes in e-inem Bereich von 20μm bis 30μπ, in welchem der Aufzeichnungskopf nur in einem Dereich von 8 pel bis 12 pel in kompakter Weise ausgebildet werden kann. Bei der vorstehend beschriebenen Ausführungsform der vorliegenden -Erfindung kann die Breite l·.' der gedrehten Elektrode in einem Bereich von 5μη bis ΙΟμπι liegen, so daß der Aufzeichnungskopf in einem Bereich von 16 pel bis 32 pel in kompakter Weise ausgebildet werden kann.

•In den Figuren 6 und 7 sind weitere Ausfuhrungsforrnen 15. der vorliegenden Erfindung dargestellt. Diese Ausführungsformen besitzen gedrehte Elektroden, die keine gleichmäßige Breite aufweisen. Der wärraeerzeugende Abschnitt jader dieser Ausführungsformen weist eine erhöhte Breite auf, wäh'rend der Abschnitt der entsprechenden gedrehten Elektrode 203 benachbart zu dem verbreiterten wärmeerzeggenden Abschnitt in entsprechender Weise ih seiner Breite reduziert ist. Der verbleibende Abschnitt der gedrehten Elektrode 203 kann eine Breite aufweisen, die der der anderen Elektrode 204 entspricht, wie bei W₃ in den Figuren 6 und 7 darncstellt. Alternativ dazu kann jede Elektrode in ihrer Breite soweit reduziert werden, wie es ihre Dauerfestigkeit bzw. Haltbarkeit gestattet. Die Beziehung zwischen dem wärneerzeugenden Abschnitt 202 und den Elektroden 203, 2Ό4 kann

durch die Bedingung U₁ Z. U₃ > W₂ verdeutlicht werden, wobei beide Elektroden die gleiche Breite U₃ besitzen.

Dei der Ausführungsform der Figur 6 ist der würiaccrzcugende Abschnitt 202 an seinem inneren Seitenrand erweitert, während der innere Seitenrand der gedrehten Elektrode

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benachbart zu dem wärmeerzeugenden Abschnitt 202 in der Breite entsprechend reduziert ist. LSci der Ausführungsform der Figur 7 ist der uärmeerzeugende Abschnitt 202 an den gegenüberliegenden Seitenrändern erweitert, während der Abschnitt der gedrehten Elektrode benachbart zu dem wärmeerzeugenden Abschnitt an den gegenüberliegenden Seitenrändern in der Breite entsprechend reduziert ist. Die Ausführungsformen der Figuren 6 und 7 bieten beide entsprechende Vorteile wie die Ausführungsform der Figur 5, da ihre Dauerhaftigkeit bzw. Haltbarkeit bei wiederholten Einsätzen gesichert werden kann. In erfindungsgernäßer Weise umfasst der Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf ein Element zur Umwandlung von elektrischer in thermische Energie, das die vorstehend erläuterten Merkmale aufweist·, auf dem Substrat ausgebildet ist und mit einer oder mehreren oberen Schichten versehen ist, wie in Verbindung mit Figur 1 beschrieben. Dieses Element wird durch Ausbildung eines Flüssigkeitskanales 205 und einer Öffnung'206, die dem wärrneerzeugenden Abschnitt 109 einer jeden der auf den Substrat befindlichen EinheitenlOl zur Umwandlung von elektrischer in thermische Energie entsprechen, vervollständigt.

Figur 8 zeigt die inneren Einzelheiten eines der vorstehend beschriebenen erfindungsgemäß ausgebildeten Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungsküpfe. Dieser Aufzeichnungskopf umfasst eine Öffnung 206 über jedem wärmeerzeugenden Abschnitt 202. Er besitzt des weiteren Wände 207, die die entsprechenden Tintenkanäle bilden, eine erste geneinsame'Flüssigkeitskammer 208, eine zweite gemeinsame Flüssigkeitskanmer 209,. eine Durchgangsüffnung 21U, die die gemeinsamen Flüssigkeitskammern 208, 209 miteinander verbindet, und eine Deckplatte 211. In Figur 8 ist din Verdrahtung der Einheiten zur Umwandlung von elektrischer in thermische Energie aus Einfachhoitsnründon weggelassen worden.

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Figur 9 zeigt eine andere Ausführungsforci eines erfindungsgemäß ausgebildeten Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes, bei dem eine Öffnung 206 an der Spitze eines jeden· Flüssigkeitskanal^ ausgebildet ist. Die Tinte wird dem Aufzeichnungskopf durch öffnungen 212 zugeführt.

Nachfolgend wird ein Ausführungsbeispiel eines Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskop/es im Detail beschrieben.

Aus f'ührungsbeispiel

Ein Flüssigkcitsstrahlaufzeichnungskopf, der mit den in Figur 5 dargestellten Einheiten zur Umwandlung von elektrischer in thermische Energie verschen ist, die mit hoher Dichte in kompakter Weise angeordnet sind, enthielt ein Substrat, das dadurch hergestellt wurde, daß ein SiO^-FiIm mit einer Dicke von 5|.Jtn auf ein Si-Plüttchen unter thermischer Oxidation ausgebildet wurde. Auf diesem Substrat wurde eine thermische Widerstandsschicht

aus HfB₂ mit einer Dicke von 3000 A durch Sprühen hergestellt. Danacjr wurden Schichten aus Ti und Al kontinuierlich auf der thermischen Widerstandsschicht mit Dicken

O O

von 50 A und 1000 A durch Elektronenstrahlbedampfcn abgeschieden.

Ein Muster mit einer Wiederholungsdichte von 16 Einheiten/mm wurde auf fotolithografischem Wege ausgebildet, so daß der wärmeerzeugende Abschnitt eine Breite W, von 30pm und die gedrehte Elektrode eine Breite W₉ von 10|.im besaß. Danach wurde die Elektrodenschicht auf dem würincerzeugenden Abschnitt geätzt, um die in Figur 5 dargestellte Einheit zur Umwandlung von elektrischer in thormische Energie auszubilden.

Danach wurde eine Sprühschicht aus SiO₂ mit einer Dicke von 2,8pm durch Hochleistungssprühen auf den Einheiten zur Umwandlung von elektrischer in thermische Energie

abgeschieden. Auf der Sprühschicht wurde durch Aufbringung einer PIQ-Schicht (Warenzeichen der Firma Hitachi Kasei) unter Verwendung einer Schleuder eine geeignete Schutzschicht ausgebildet. Die Schutzschicht wurde am wärmeerzeugenden Abschnitt durch ein PIQ-Atzmittel entfernt und zur Verfestigung gebrannt. Eine weitere Sprühschicht aus Ta wurde mit einer Dicke von 0,5pm auf der Schutzschicht abgeschieden, um das einzige Element zur Umwandlung von. elektrischer in thermische Energie zu vervollständigen, das eine Vielzahl von in kompakter ' Weise darauf angeordneten Einheiten zur Umwandlung von elektrischer in thermische Energie aufweist.

Danach wurde ein derartiges Element mit einem Trockenfilin · eines lichtempfindlichen Harzes einer Dicke von 50μm beschichtet. Diese Einheit wurde dann durch das gewünschte Muster belichtet und entwickelt und mit Flüssigkeitskanälen und Flüssigkeitszuführkammern versehen. Schliei31ich wurde eine Deckplatte aus Glas angeheftet, um die Flüssigkeitskanäle und Zuführkammern mit Hilfe eines Epoxidklebers zu verschließen. Auf diese Weise wurde der in Figur 9 dargestellte Flüssigkeitsstrahl aufzeichnung kopf iiergeste.lt.

Mit dem erfindungsgemäß ausgebildeten Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf kann eine Aufzeichnungsdichte erreicht werden, die im wesentlichen doppelt so hoch ist viis die von Aufzeichnungsköpfen des Standes der Technik. Ferner ka-nn mit einem derartigen Au fzeichnungskopf die Bildqualität stark verbessert werden. 30

Erfindungsgemäß wird somit ein Flüssigkeitostrahlaufzeichnungskopf vorgeschlagen, der einen Flüssigkeitsabgabeabschnitt aufweist, welcher eine Öffnung zur Abgabe der Flüssigkeit zur Ausbildung von "fliegenden" Tröpfchen und einen Flüssigkeitskanal besitzt, der einen Teil eines Wärmeeinwirkungsabschnittes bildet, an dem thermische Energie auf die Flüssigkeit zur Tröpfchen-

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bildung Ginwirkt, mindestens zwei gegenüberliegende Elektroden, die elektrisch an eine wärmeerzeugende Uiderstandsschicht auf einem Substrat angeschlossen sind, und ein Element zur Umwandlung von elektrischer in thermische Energie, das einen wärmeerzeugenden Abschnitt aufweist, der zwischen den Elektroden angeordnet ist, wobei es sich bei mindestens einer der Elektroden um eine gedrehte Elektrode handelt, bei der mindestens ein Abschnitt benachbart zu dem wärmeerzeugenden Ab.schnitc eine Breite besitzt, die geringer als die des wärmeerzeugenden Abschnittes ist.

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Claims

Patentansprüche

l.J Flüssigkeitsstrah!aufzeichnungskopf, gekennzeichnet TCfurch einen Flüssigkeitsabgabeabschnitt mit einer Öffnung (206) zur Abgabe der Flüssigkeit zur Ausbildung von "fliegenden" Tröpfchen und einem Flüssigkeitskanal (205), der einen Teil eines Wärmeeinwirkungsabschnittes bildet, an dem. thermische Energie auf die Flüssigkeit zur Ausbildung der Tröpfchen einwirkt, mindestens zwei gegenüberliegende Elektroden (203, 204), die an eine wärmeerzeugende Widerstandsschicht auf einem Substrat (201) elektrisch angeschlossen sind, und ein Element zur Umwandlung von elektrischer in thermische Energie mit einem wärmeerzeugenden Abschnitt (202), der zwischen den Elektroden (203, 204) angeordnet ist, wobei mindestens eine der Elektroden eine gedrehte Elektrode (203) ist, von der mindestens ein Abschnitt benachbart zu dem wärmeerzeugenden Abschnitt (202) eine Breite aufweist, die geringer ist als die des wärmeerzeugenden Abschnittes (202).

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2. Flüs sigkeitsstrahlaufzeichnungskopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnung (206) gegenüber dem wärmeerzeugenden Abschnitt (202) angeordnet ist.

3. Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Vielzahl von Öffnungen (206) relativ zu einer Vielzahl von Elementen zur Umwandlung von elektrischer in thermische Energie angeordnet

ist.
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A. Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat (201) eine Flüssigkeitszuführöffnung (210) zur Zuführung der Flüssigkeit in den Flüssigkeitsabgabeabschnitt aufweist. 15

5. Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Flüssigkeitskanal (205) zur Öffnung (206) hin schräg ausgebildet ist.