DE3324578C2 - Vorrichtung zur kapazitiven Messung einer Verschiebung - Google Patents
Vorrichtung zur kapazitiven Messung einer VerschiebungInfo
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Abstract
Die Vorrichtung umfaßt einen Maßstab (1) und einen Schieber (2), die mit Elektroden versehen sind, welche so angeordnet sind, daß zwei Paare von Meßkapazitäten (CA ↓1-CA ↓2, CB ↓1-CB ↓2) zur Messung der Verschiebung der Schieber auf dem Maßstab gebildet sind. Diese Meßkapazitäten sind an eine elektronische Versorgungs- und Verarbeitungsschaltung (3) angeschlossen, in der sie mit geschalteten Referenzkapazitäten vom MOS-Typ in Brücke (4A, 4B) geschaltet sind. In dieser Schaltung (3) sind die Brückenausgänge über Komparatoren (5A, 5B) mit einem Prozessor (6) vom CMOS-Typ verbunden, der geeignet ist, ein das Meßergebnis darstellendes Digitalsignal durch Zählung der Perioden des von den Meßkapazitäten abgeleiteten Signals und durch digitale Interpolation innerhalb jeder dieser Perioden zu erzeugen. Diese Interpolation geschieht durch Abgleich der kapazitiven Brücken unter Anwendung eines digitalen Algorithmus. Die Meßvorrichtung zeichnet sich durch einen Schaltkreis mit geringem Stromverbrauch aus.
Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur kapazitiven Messung einer Verschiebung, insbesondere der Re-
lativverschiebung zwischen dem Maßstab und dem Schieber eines Längen- oder Winkelmeßgeräts, besonders
für ein Gerät mit Handbedienung, z. B. eine Schieblehre, eine säulenförmige Lehre oder ein Winkelmesser,
nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Bei dieser Vorrichtung bekannter Art sind der Maßstab und der Schieber mit Reihen von Elektroden ausgestattet,
die in der Richtung der Relativbewegung ausgerichtet sind und derart angeordnet und elektrisch gespeist
sind, daß sie durch ihre gegenseitige Zuordnung
eine Mehrzahl von elektrischen Kapazitäten bilden, die geeignet sind, ein periodisches Signal zu erzeugen, bei
dem die Anzahl von Perioden proportional zu der Verschiebung ist, wobei die Elektroden des Schiebers mit
einer elektronischen Verarbeitungsschaltung verbun-
den sind, die geeignet ist, um ein numerisches oder digitales Nutzsignal zu erzeugen, das ein Maß für die gemessene
Bewegung ist, und zwar durch Zählen der Anzahl von Perioden und Interpolation innerhalb jeder
Periode.
Eine derartige kapazitive Meßvorrichtung ist in der FR-OS 24 11 391 beschrieben. Bei dieser Vorrichtung ist
der Maßstab mit einer Reihe von Elektroden versehen, die gleichmäßig verteilt und elektrisch voneinander iso-
lierl sowie jeweils aus zwei galvanisch gekoppelten Elementen
zusammengesetzt sind, von denen das eine eine Detektionselektrode und das andere eine Übertragungselektrode
bildet, während der Schieber versehen ist mit wenigstens drei Gruppen von Speiseelektroden,
die jeweils an einen Ausgang eines Generators für wenigstens drei Signale angeschlossen sind, um Spannungen
zyklischer Art zu empfangen, sowie mit wenigstens einer Empfangselektrode, die an die elektronische Signalverarbekungsschaltung
angeschlossen ist.
Bei dieser Anordnung der Elektroden befinden sich die Detektionselektroden des Maßstabs gegenüber der
Bewegungsbahn der Speiseelektroden des Schiebers, während die Übertragungselektroden des Maßstabs
sich gegenüber der Bewegungsbahn der Empfangselektrode des Schiebers befinden. Auf diese Weise führt die
Bewegung des Schiebers auf dem Maßstab zum Erscheinen eines Signals an der Empfangselektrode, welches
ausgehend von wenigstens zwei Signalen erzeugt wird, die nebeneinanderliegenden Speiseelektroden
entsprechen, und die Erfassung des Amplitudenverhältnisses der Signale mittels einer Elektronikschaltung ermöglicht
die Bestimmung der Stellung des Schiebers in bezug auf den Maßstab.
Diese bekannte Vorrichtung weist den wesentlichen Voteil auf, daß jegliche Verbindung zwischen dem Maßstab
und dem Schieber vermieden wird, sei es über ein Kabel oder über einen Gleitkontakt, denn derartige
Verbindungen könnten die Handhabung oder Wartung behindern.
Diese kapazitive Meßvorrichtung, die auch nach Einfachheits- und Kostengesichtspunkten ausgelegt ist, benötigt
jedoch relativ umfangreiche Schaltungsanordnungen größtenteils analoger Art, die notwendigerweise
einen Analog/Digital-Umsetzer benötigen, um eine digitale Meßwertanzeige zu erhalten, so daß die Vorrichtung
einen hohen Stromverbrauch aufweist.
Der Erfindung ]>egt die Aufgabe zugrunde, bei einer
Vorrichtung der genannten Art eine Vereinfachung der elektronischen Verarbeitungsschaltung zu ermöglichen,
so daß diese insbesondere einen .geringeren Stromverbrauch aufweisen kann. Auf diese Weise soll insbesondere
auch die Anwendung von primären oder Speicherbatterien geringer Kapazität und folglich geringen Volumens
ermöglicht werden, um die Abmessungen des Gehäuses zu vermindern, das die Verarbeitungsschaltung
und die Stromversorgung beherbergt, wobei jedoch eine lange Betriebsdauer der Vorrichtung ohne
Erneuern bzw. Aufladen der Batterie gewährleistet ist.
Zur Lösung dieser Aufgabe ist die gattungsgemäße Vorrichtung nach der Erfindung dadurch gekennzeichnet,
daß die elektronische Verarbeitungsschaltung zwei Gruppen von geschalteten Referenzkapazitäten binärer
Wichtung und vom MOS-Typ, welche mit den Meßkapazitäten derart in Brücke geschaltet sind, daß zwei
kapazitive Brücken gebildet sind, zwei Komparatoren, von denen jeweils einer an eine dieser beiden Brücken
angeschlossen ist, und einen Prozessor vom CMOS-Typ enthält, der /wei mit diesen beiden Komparatoren verbundene
Eingänge und zwei mit den beiden kapazitiven Brücken verbundene Rückkopplungsausgänge aufweist
und dessen Schaltung Moduln enthält, die geeignet sind, eine digitale Interpolation innerhalb jeder Periode vorzunehmen,
indem periodisch unter der Steuerung durch den das Digitalsignal erzeugenden Generator der Abgleich
der kapazitiven Brücken durch Schalten der Referenzkapazitäten wiederhergestellt wird, wobei die
Stellung der diesen Kapazitäten zugeordneten Schalter bei jedem Abgleich das digitale Äquivalent der Verschiebung
wiedergibt und wobei die Zählung der Perioden zwischen diesen Ablgeichvorgängen unter Anwendung
eines Impulsgenerators erfolgen kann.
Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung erfolgt die Verarbeitung der Analogsignale von den beiden Meßkapazitätspaaren
vollständig digital. Hierdurch wird eine wesentliche Vereinfachung und Energieeinsparung
erreicht, denn der Analogteil der Elekironikschaltung ist
auf die kapazitiven Brücken beschränkt, die im übrigen nur erregt werden, wenn ein Meßvorgang vorgenommen
wird und eine Verschiebung des Schiebers auf dem Maßstab erfolgt.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sieh aus der folgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen
und aus der Zeichnung, auf die Bezug genommen wird. In der Zeichnung zeigt
F i g. 1 eine schematische Blockdarstellung eines ersten
Ausführungsbeispiels;
Fig.2 ein Diagramm, das die Evolution bzw. Entwicklung
der erzeugten Signale darstellt;
Fig.3 ein Schaltbild eines Bestandteils der Elektronikschaltung;
Fig.4 ein Blockschaltbild der Elektronikschaltung zur Verarbeitung der erzeugten Signale; und
F i g. 5, 6 und 7 Schaltbilder von weiteren Ausführungsformen.
Die in F i g. 1 schematisch insgesamt dargestellte kapazitive Meßvorrichtung ist gebildet aus einem bei diesem
Ausführungsbeispiel geradlinigen Maßstab 1, z. B. an einer Schieblehre, einem beweglichen und in üblicher
Weise längs des Maßstabs 1 verschiebbaren Schieber 2, z. B. wie der Schieber bei einer Schieblehre, und einer
elektronischen Versorgungs- und Verarbeitungsschaltung 3, die in ein mit dem Schieber 2 fest verbundenes
Gehäuse integriert sein kann.
Der Maßstab 1 ist mit einer Reihe von Elektroden E\ versehen, die in Längsrichtung desselben gleichförmig
verteilt und alle mit Masse verbunden sind. Diese Elektroden
sind rechtwinklig, und der jeweils zwischen zwei Elektroden liegende Abstand b ist gleich ihrer Breite a.
Auf diese Weise ist ein linearer Maßstab gebildet, der eine periodische Wiederholung jeweils eines durch eine
Elektrode £1 gebildeten Basisleiterelements bildet, mit
einer Wiederholungsperiode /, die gleich der Summe der Elektrodenbreite a und des Abstandes b zwischen den
Elektroden ist:/ = a + b.
Der Schieber 2 ist mit zwei Gruppen von Elektroden A und B versehen, die jeweils eine bestimmte Anzahl
von Elektrodenpaaren A\-B\ bzw. A2-B2 enthalten; bei der gezeigten Ausführungsform ist diese Anzahl gleich
drei. Diese beiden Gruppen von Elektroden A und B sind in Längsrichtung des Maßstabs 1 beabstandet, und
die beiden Elektroden A\ und A2 bzw. B\ und Bi jedes
Elektrodenpaares sind voneinander isoliert, in Querrichtung des Maßstabs voneinander beabstandet und jeweils
an einen ein Digitalsignal erzeugenden Generator angeschlossen, der in die Elektronikschaltung 3 integriert
ist.
Die Elektroden A\, A2, B1 und B2 des Schiebers 2
weisen in jeder Gruppe A und B dieselbe Breite a und denselben Abstand b voneinander auf wie die Elektroden
E\ des Maßstabs; in der Querrichtung sind sie so angeordnet, daß sie die von diesen Elektroden E\ eingenommene
Zone überdecken, und zwar die Elektroden A\ und B\ auf der einen Seite und die Elektroden A2 und
B2 auf der anderen Seite von diesen.
Innerhalb jeder Gruppe von Elektroden A und S sind
die beiden Elektroden jedes Paares gegeneinander um 180° phasenverschoben, und diese beiden Elektrodengruppen
sind um 90° gegeneinander phasenverschoben, was in der Zeichnung durch die punktierte senkrechte
Projektion eines Elektrodenpaares jeder Gruppe A und B auf die Elektroden E\ des Maßstabs 1 verdeutlicht ist
Die derart verteilten Elektroden des Maßstabs 1 und des Schiebers 2 bilden zwei Paare von Meßkapazitäten
gegen Masse, nämlich die Kapazitäten CA\-CA2 bzw.
CBi-CB2, deren Signale sich abhängig von der Realtivverschiebung
D zwischen diesem Maßstab und dem Schieber entwickeln und wegen der oben angegebenen
Phasenverschiebungen zwischen den Elektroden den in F i g. 2 dargestellten Verlauf aufweisen.
in dcrn Diagramm der F i g. 2 sind die Verschiebungen
D auf der Abszisse und die Amplitudenänderungen Cder von den Kapazitäten CA\ und CA2 bzw. CSi und
CBi abgegebenen Signale auf der Ordinate aufgetragen.
Wenn CA und CB die Mittelwerte der von den Kapazitäten
CAu CA2 bzw. CBi und CB2 während der Verschiebung
abgegebenen Signale sind und wenn C die Amplitudenänderung dieser Signale innerhalb einer Periode
ist, so ist ersichtlich, daß diese Signale sich folgendermaßen entwickeln:
CA, = CA±C
CA2 =CA + C
CBx = CB ± C
CB2 = CB+ C
Da die Amplitude C mit der Relativverschiebung zwischen dem Maßstab und dem Schieber innerhalb einer
Periode in Beziehung steht, kann auf diese Weise die Relativstellung zwischen diesen beiden Elementen bestimmt
werden, indem die beiden Meßkomponenten kombiniert werden:
1. eine Grobposition, die durch Heraufzählen und/ oder Herunterzählen der Anzahl von Perioden bestimmt
wird, wobei die beiden Kapazitätspaare CA]-CA2 und CBrCB2 aufgrund ihrer gegenseitigen
Phasenverschiebung um 90° eine Bestimmung der Verschiebungsrichtung ermöglichen;
2. eine Feinposition, die durch Interpolation innerhalb einer Periode erhalten wird.
Hierbei ist zu beachten, daß während einer Verschiebung, deren Größe einer Signalperiode / entspricht, die
Gesamtheit der vier abgegebenen Signale vier NuH-durchgänge
ergibt, wodurch das Meßinkrement auf ein Viertel der Länge a einer Periode reduziert wird, indem
diese Nulldurchgänge gezählt werden.
Die Grobposition und die Feinposition sowie ihre Kombination werden mittels der elektronischen Verarbeitungsschaltung
3 aus den Analogsignalen gewonnen, die von den beiden Meßkapazitätspaaren abgegeben
werden.
Zu diesem Zweck enthält die Schaltung 3 zwei mit den beiden Meßkapazitätspaaren CA]-CA2 und
CBi-CB2 verbundene geschaltete Referenzkapazitätsgruppen
RAj und RA2 bzw. RB\ und RB2, die mit den
Meßkapazitäten derart in Brücke geschaltet sind, daß zwei verschiedene kapazitive und einander gleiche
Brücken 4Λ und 4ß gebildet werden, wovon die eine Brücke 4Λ in F i g. 3 im einzelnen gezeigt ist Diese Referenzkapazitäten,
die in F i g. 3 in beiden Gruppen mit CT? bezeichnet sind, sind ebenso wie die zugeordneten
Schalter 11 vom MOS-Typ und sind binär gewichtet (1, 2,4,8 usw.).
Die beiden Ausgänge jeder dieser kapazitiven Brükken 4A und 45 sind jeweils mit einem Komparator 5A
bzw. 5B verbunden, dessen Ausgang mit einem Prozessor 6 vom CMOS-Typ verbunden ist. Dieser Prozesor 6
enthält zwei Gegenkopplungsausgänge 7 und 8, die mit den beiden kapazitiven Brücken verbunden sind, sowie
ίο einen dritten Ausgang 9, der an eine Digitalanzeige 10
angeschlossen ist.
Die charakteristische Funktion des Prozessors 6 besteht darin, die Schaltung der Referenzkapazitäten der
beiden kapazitiven Brücken 4/4 und 4ß gemäß einem
!5 rein digitalen Algorithmus zu gewährleisten. Der angewendete
Prozeß ist folgender:
Die Komparatoren 5/4 und 5ß zeigen dem Prozessor 6 den Sinn des Ungleichgewichts an den beiden kapazitiven
Brücken 4Λ und 4B an. Der Prozessor 6 stellt das Gleichgewicht bzw. den Abgleich jeder dieser beiden
Brücken wieder her, indem die Referenzkapazitäten CR zu- oder weggeschaltet werden. Die Stellung der Schalter
11 ist in diesem Zeitpunkt das digitale Äquivalent der
Amplitude C des Analogsignals, das jeweils von den Meßkapazitäten CA\, CA2, CB\ und CB2 in der zuvor
anhand von F i g. 2 erläuterten Weise abgegeben wird.
Da die Referenzkapazitäten binär gewichtet sind, ist die angewendete Verfahrensweise des Abgleichs eine
Umsetzung durch sukzessive Approximation, wie sie in gleicher Weise bei Analog/Digital-Umsetzern angewendet
wird.
Da die Amplitude C des genannten Signals in Beziehung zu der Relativstellung zwischen dem Maßstab und
dem Schieber innerhalb jeder Periode steht, ist dieser Abgieichvorgang virtuellen Verschiebungen äquivalent,
denn an den Komparatoren 5Λ und SB ist keinerlei Unterscheidung zwischen einer effektiven Bewegung
und dem Approximationsprozeß möglich.
Diese charakteristische Funktion der Schaltung von Referenzkapazitäten unter Anwendung eines digitalen
Algorithmus bildet die Feinmessung durch digitale interpolation innerhalb jeder Periode der periodischen
Signale von den Meßkapazitäten CAu CA2, CB\ und CS2 während der Relativverschiebung zwischen dem
Maßstab und dem Schieber der Meßvorrichtung. Diese Funktion sowie die anderen Funktionen des Heraufzählens
bzw. Herunterzählens der Perioden für die Grobmessung sowie die Kombination dieser beiden Meßkomponenten
sind in dem Blockschaltbild der F i g. 4 dargestellt.
In diesem Blockschaltbild sind die bereits erwähnten
Verbindungen und Elemente mit gleichen Bezugszeichen bezeichnet
Der Prozessor 6 weist für jede der beiden kapazitiven Brücken 4Λ und 4ß einen mit der entsprechenden Brükke über eine Verbindung 7 bzw. 8 verbundenen Abgleichmodul 12 bzw. 13 auf, der das Ausgangssignal des zugeordneten Komparators 5A bzw. 5B sowie periodische Unterbrechungsimpulse aus einem unabhängigen Impulsgenerator 14 empfängt
Der Prozessor 6 weist für jede der beiden kapazitiven Brücken 4Λ und 4ß einen mit der entsprechenden Brükke über eine Verbindung 7 bzw. 8 verbundenen Abgleichmodul 12 bzw. 13 auf, der das Ausgangssignal des zugeordneten Komparators 5A bzw. 5B sowie periodische Unterbrechungsimpulse aus einem unabhängigen Impulsgenerator 14 empfängt
Diese beiden Abgleichmoduln 12 und 13 sind über einen zweiten Ausgang 15 bzw. 16 an einen Rechner
angeschlossen, der die Feinposition berechnet und außerdem das periodische Unterbrechungssignal aus dem
Impulsgenerator 14 empfängt
In diesem ersten Teil der Schaltung des Prozessors 6, der den Feimeßwert mittels des Rechners 17 bestimmt,
haben die periodischen Unterbrechungsimpulse die
Funktion, bei jedem Impuls den Prozeß der sukzessiven Approximierungen zu unterbrechen, und zwar sowohl
um die Wiederherstellung des Abgleichs der kapazitiven Brücken 4A und 4ß zu ermöglichen als auch um den
Verlust des durch Zählung gewonnenen Grobmeßwertes zu verhindern sowie den Sinn der Relativbewegung
zwischen dem Maßstab und dem Schieber zu unterscheiden.
Für die Grobmessung enthält der Prozessor 6 einen mit den Ausgängen der beiden Komparatoren 5A und
5ß und des Impulsgenerators 14 verbundenen Diskriminator 18 zur Unterscheidung der Bewegungsrichtung
aufgrund der Phasenverschiebung von 90° zwischen den Signalen von den beiden Meßkapazitätspaaren sowie
einen Äuf-/Abwärtszähier 19, der durch die NuIldurchgänge
der Signale von diesen Meßkapazitäten angesteuert wird und mit dem Diskriminator 18 verbunden
ist.
Der so bestimmte Feinmeßwert und Grobmeßwert der Verschiebung werden dann durch einen Summierer
20 kombiniert, der mit dem Ausgang des Rechners 17 und mit dem Ausgang des Auf-/Abwärtszählers 19 verbunden
ist und dessen Ausgang an die Digitalanzeige 10 über einen Schnittstellendecoder 21 angeschlossen ist.
Der Auf-/Abwärtszähler 19 und der Summierer 20 dieser Schaltung sind mit einer externen Nullrücksetzsteuerung
22 verbunden.
Der Grad der Auflösung und Präzision der erfindungsgemäßen kapazitiven Meßvorrichtung hängt offensichtlich
von der Größe des verwendeten Zählimkrements ab, von der Symmetrie seiner Verteilung und von
der Genauigkeit der Interpolation innerhalb jeder Periode der Meßsignale, in gleicher Weise wie bei allen
bekannten kapazitiven Meßvorrichtungen, die mit Zählung und Interpolation arbeiten.
Die bei der erfindungsgemäßen Meßvorrichtung durch den Prozessor 6 nach einem digitalen Algorithmus
vorgenommene Steuerung der Schalter für die Referenzkapazitäten CR der kapazitiven Brücken 4/4 und
4ß ist günstig, da die Kapazitätsverhältnisse durch die angewendete CMOS-Technologie sehr genau definiert
werden können.
Wenn eine größere Präzision angestrebt wird, ist es vorteilhaft, diese Interpolation mittels einer Schaltung
nach der in F i g. 5 gezeigten Ausführungsform vorzunehmen, wobei es sich um eine erste Ausführungsvariante
der in F i g. 3 gezeigten kapazitiven Brücke handelt.
Diese erste Ausführungsvariante hat den Vorteil, daß eine integrierte Schaltung mit geschalteten Referenzkapazitäten
simuliert wird. Diese Brückenschaltung besteht aus zwei invertierenden Integratoren mit geschailelen
Referenzkapazitäten und einer digital gesteuerten Verstärkung.
In dieser Schaltung sind die Schalter 11 für die Referenzkapazitäten
CR der beiden Gruppen RAj und RA-i
so angeordnet, daß jeder Schaltvorgang stattfindet zwischen einem Potential, das gesteuert wird durch eine
niederimpedante Quelle, die durch den Ausgang eines in die Schaltung der Kapazitäten integrierten Operationsverstärkers
23 bzw. 24 gebildet ist, und einer virtuellen Masse, die durch den Eingang des Verstärkers gebildet
ist
In diesen beiden Integratoren wird der Widerstand durch die Gesamtheit aus einer Meßkapazität CA\ bzw.
CA2 und einem Schalter 25 bzw. 26 gebildet
Diese beiden Schalter 25 und 26 werden durch den bereits erwähnten, das Digitalsignal erzeugenden Impulsgenerator
betätigt und schalten zwischen einer Quelle 29 niedriger Impedanz, die durch den seinerseits
bereits erwähnten Digitalsignalgenerator gespeist wird, und der virtuellen Masse der Verstärker 23 und 24.
Die beiden Ausgänge dieser Brückenschaltung sind mit dem Komparator 5/4 in gleicher Weise und zu demselben
Zweck wie bei der zuvor beschriebenen Ausführungsform verbunden.
Bei dieser ersten Ausführungsvariante ist eine zweite, gleiche Brückenschaltung mit dem zweiten Paar von
Meßkapazitäten RB\, RB2 und mit dem Komparator 5ß
verbunden, und innerhalb jeder Gruppe von Referenzkapazitäten dieser beiden Brückenschaltungen werden
diese in gleicher Weise durch den Prozessor 6 in der zuvor bereits beschriebenen Weise gesteuert.
Diese erste Ausführungsvariante bietet eine größere Präzision, da sie störende Einflüsse unterdrückt. Da
nämlich die Schaltvorgänge zwischen Massepotentialen, der virtuellen Masse und dem Ausgangspotential
einer Quelle mit niedriger Impedanz erfolgen, werden die kapazitiven Streuungen der Analogschalter eliminiert.
Da ferner die Meßkapazitäten CAi und CA2 auf
denselben Potentialen liegen, besteht keine kapazitive Kopplung zwischen ihren Elektroden, so daß auch keine
Störsignale erzeugt werden, wodurch darüber hinaus die Abschirmung derselben sowie der Elektronikschaltung
vereinfacht wird.
Die Empfindlichkeit der Meßvorrichtung kann weiter gesteigert werden. Diesem Zweck dient die anhand von
F i g. 6 beschriebene Ausführungsform.
Bei dieser zweiten Ausführungsvariante werden die Elektroden £Ί des Maßstabs abwechselnd über Umschalter
27,28 mit Masse und mit einer Quelle 29 niedriger Impedanz verbunden, die durch den Digitalsignalgenerator
gespeist wird. Die Meßkapazitäten CAi und
CA2 sind ebenfalls in eine kapazitive Brücke gleicher
Art wie bei der zuvor beschriebenen, in F i g. 5 gezeigten Ausführungsform geschaltet, die zwei invertierende
Integratoren mit geschalteten Referenzkapazitäten aufweist.
Die Umschalter 27 und 28 werden bei dieser Ausführungsform ebenfalls durch den Digitalsignalgenerator
vorgesteuert, ebenso wie die Umschalter 25 und 26 und synchron mit diesen.
Die Umschalter 25 und 26 schalten jeweils zwischen Masse und der virtuellen Masse eines Operationsverstärkers 23, 24 um, während die Umschalter 27 und 28 zwischen der Quelle 29 niedriger Impedanz und Masse umschalten. Auf diese Weise werden alle Störkapazitäten zur Masse, die auf den Umschaltern beruhen, eliminiert, und die so gewonnene Empfindlichkeitssteigerung ermöglicht die Messung von KapäziiäiSwerien, die kleiner als 0,1 pF sind.
Die Umschalter 25 und 26 schalten jeweils zwischen Masse und der virtuellen Masse eines Operationsverstärkers 23, 24 um, während die Umschalter 27 und 28 zwischen der Quelle 29 niedriger Impedanz und Masse umschalten. Auf diese Weise werden alle Störkapazitäten zur Masse, die auf den Umschaltern beruhen, eliminiert, und die so gewonnene Empfindlichkeitssteigerung ermöglicht die Messung von KapäziiäiSwerien, die kleiner als 0,1 pF sind.
Im Rahmen der Erfindung sind weitere Ausführungsvarianten der kapazitiven Brücken AA und 4ß möglich,
sofern stets Meßkapazitäten mit Referenzkapazitäten verglichen werden.
Im Rahmen der Erfindung sind ferner andere Ausführungsformen der Elektroden und ihrer Anordnung möglich,
sofern zwei Paare von Meßkapazitäten geschaffen werden, die imstande sind, Signale zu erzeugen, deren
Evolution bzw. Entwicklung sowohl für die Größe als auch für die Richtung der Verschiebung zwischen dem
Schieber und dem Maßstab kennzeichnend ist
Eine andere Ausführungsform der Elektrodenanordnung geht aus F i g. 7 hervor.
Bei dieser dritten Ausführungsvariante, deren Darstellung auf das zum Verständnis Notwendige beschränkt
ist, enthält der Schieber 2 zusätzlich zu den
beiden Gruppen von Elektroden A und .B (die im einzelnen
in F i g. 1 gezeigt sind) eine Elektrode 30, welche die Speiseelektrode oder Masseelektrode sein kann und
elektrisch von diesen beiden Gruppen durch eine Isolierelektrode 31 isoliert ist, die in einer Zwischenstellung
angeordnet ist, wobei diese beiden zusätzlichen Elektroden die beiden betreffenden Gruppen A und B einrahmen.
Die nicht dargestellten Elektroden Fi des Maßstabs
sind ihrerseits einzeln und »schwimmend« angeordnet, d. h. elektrisch vollkommen voneinander sowie von dem
Maßstab isoliert. Auf diese Weise wirken diese Elektroden Ei des Maßstabs lediglich als Signalübertragungselektroden.
Diese Ausführungsform weist den Vorteil auf, daß keinerlei elektrischer Kontakt zwischen dem
Schieber und dem Maßstab erforderlich ist, wie bei der in F i g. 1 gezeigten Ausführungsform.
Bei dieser dritten Ausführungsvariante kann derselbe
Effekt durch Anwendung von mehreren Versorgungsoder Masseelektroden 30 erreicht werden, die jeweils
von den beiden Elektrodengruppen A und B isoliert sind.
Eine weitere, in der Zeichnung nicht dargestellte Ausführungsform der Elektroden besteht darin, daß die
Elektroden Λ1-Λ2 bzw. B\-B2 der beiden Elektrodenpaare
des Schiebers kammartig verzahnt sind. Eine solche Ausführungsform ermöglicht das Einhalten einer
symmetrischen Gestaltung der Elektroden und ihre Versetzung.
Bei einer weiteren Ausführungsform ist die Umsetzung
durch sukzessive Approximierung durch einen anderen Algorithmus ersetzt, insbesondere durch eine
Umsetzung nach dem Iterationsverfahren.
Hierzu 4 Blatt Zeichnungen
40
45
50
55
«5
Claims (7)
1. Vorrichtung zur kapazitiven Messung der Relativverschiebung zwischen einem Maßstab (1) und einem
Schieber (2) eines Längen- oder Winkelmeßgeräts, bei welchem der Maßstab (1) und der Schieber
(2) mit Reihen von in Richtung der Relativverschiebung ausgerichteten Elektroden (Ex bzw. Ax, A2, Bx,
B2) versehen sind, die derart angeordnet und elektrisch
gespeist sind, daß durch ihre gegenseitige Zuordnung eine Mehrzahl von elektrischen Kapazitäten
geschaffen wird, die geeignet sind, ein periodisches Signal zu erzeugen, bei dem die Anzahl von
Perioden proportional zu dieser Verschiebung ist, wobei die Elektroden (Ax, A2, Bx, B1) des Schiebers
(2) an eine elektronische Verprbeitungsschaltung (3) angeschlossen sind, die geeignet ist, ein digitales, das
Ergebnis der Messung dieser Verschiebung darstellendes Signal durch Zählen der Anzahl dieser Periöden
und durch Interpolation innerhalb jeder Periode zu erzeugen, wobei ferner die Elektroden (Ex) des
Maßstabs (1) gleichmäßig in Längsrichtung desselben verteilt sind, wenigstens ein Teil der Elektroden
des Schiebers (2) in zwei Gruppen (A, B) verteilt sind, die jeweils wenigstens ein Elektrodenpaar
(A\-Bu A2-B2) enthalten, in welchem die beiden Elektroden
voneinander isoliert, über der Ausdehnung der Elektroden (Ex) des Maßstabs angeordnet und
durch einen Digitalsignalgenerator gespeist sind, und wobei diese beiden Elektroden ferner um 180°
und die beiden Elektrodengruppen um 90° phasenversetzt sind, so daß durch ihre Zuordnung zu den
Elektroden (Ex) des Maßstabs zwei Paare von Meßkapazitäten
gegen Masse (CAx-CA2, CBx-CB2) gebildet
sind, bei denen die Evolution der Signale für die Größe und den Sinn der Verschiebung bedeutsam
ist, dadurch gekennzeichnet, daß die elektronische Verarbeitungsschaltung (3) .iwei Gruppen
von geschalteten Referenzkapazitäten (RAx-RA2,
RBx-RB2) binärer Wichtung und vom MOS-Typ, die
mit den Meßkapazitäten zur Bildung von zwei kapazitiven Brücken (4Λ, AB) in Brücke geschaltet sind,
zwei Komparatoren (5A, 5B), von denen jeder an eine dieser beiden Brücken angeschlossen ist, und
einen Prozesor (6) vom CMOS-Typ enthält, der zwei mit diesen beiden Komparatoren verbundene Eingänge
und zwei mit den beiden kapazitiven Brücken verbundene Gegenkopplungsausgänge (7, 8) aufweist,
und dessen Schaltkreis Moduln (12, 13) enthält, die geeignet sind, um eine digitale Interpolation
innerhalb jeder Periode vorzunehmen, indem periodisch unter Steuerung durch den Digitalsignalgenerator
der Abgleich bzw. das Gleichgewicht der kapazitiven Brücken wiederhergestellt wird durch Schaltung
der Referenzkapazitäten (CR), wobei die Stellung der Schalter (11) für diese Kapazitäten bei jedem
Abgleich das digitale Äquivalent der Verschiebung ergibt und die Zählung der Perioden zwischen
diesen Abgleichvorgängen unter Verwendung eines Impulsgenerators vorgenommen werden kann.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Elektroden (Ex) des Maßstabs alle mit Masse verbunden sind (F i g. 1,3,5).
3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden (E\) des Maßstabs alle
abwechselnd mit Masse und mit einer niederimpedanten Quelle (29) durch zwei durch den Digitalsignalgenerator
betätigte Schalter (27,28) verbunden sind (F ig. 6).
4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jede der beiden kapazitiven Brücken
(4Λ, 4B) gebildet ist durch zwei Operationsver.tärker
(23, 24), die als invertierende Integratoren mit geschalteten Kapazitäten geschaltet sind und bei denen
der Widerstand simuliert ist durch die Gesamtheit einer Meßkapazität (CAx, CA2) und eines Schalters
(25, 26), der durch den Digitalsignalgenerator betätigt ist, wobei die Referenzkapazitäten (CR) in
die Gegenkopplungsschleife dieser Integratoren so eingefügt sind, daß sie durch ihre Wirkung eine Verstärkung
festlegen, die digital durch die Schalter (11) für die Referenzkapazitäten gesteuert ist (F i g. 5,6).
5. Vorrichtung each den Ansprüchen 1, 2 und 4, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Schalter
(25, 26) der beiden Integratoren derart geschaltet sind, daß sie zwischen einer niederimpedanten Quelle
(29), die durch den Digitalsignalgenerator gespeist ist, und der virtuellen Masse der Operationsverstärker
(23,24) schalten (F i g. 5).
6. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1, 3 und 4, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Schalter
(25, 26) der beiden Integratoren derart angeordnet sind, daß sie zwischen Masse und der virtuellen Masse
der Operationsverstärker (23,24) schalten, wobei diese beiden Schalter synchron mit den Schaltern
(27, 28) betätigt werden, welche die Elektroden des Maßstabs abwechselnd mit Masse und mit der niederimpedanten
Quelle (29) verbinden (F i g. 6).
7. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden (Ex) des Maßstabs einzeln
und schwimmend ausgebildet sind und daß der Schieber (2) zusätzlich zu seinen beiden Elektrodengruppen
(A, B) wenigstens eine Versorgungs- oder Masseelektrode (30) enthält, die von diesen beiden
Gruppen isoliert ist (F i g. 7).
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CH4133/82A CH648929A5 (fr) | 1982-07-07 | 1982-07-07 | Dispositif de mesure capacitif de deplacement. |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3324578A1 DE3324578A1 (de) | 1984-01-12 |
DE3324578C2 true DE3324578C2 (de) | 1985-06-20 |
Family
ID=4270450
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE3324578A Expired DE3324578C2 (de) | 1982-07-07 | 1983-07-07 | Vorrichtung zur kapazitiven Messung einer Verschiebung |
Country Status (10)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4543526A (de) |
JP (1) | JPS5923218A (de) |
BR (1) | BR8303577A (de) |
CH (1) | CH648929A5 (de) |
DE (1) | DE3324578C2 (de) |
FR (1) | FR2530011B1 (de) |
GB (1) | GB2123629B (de) |
IN (1) | IN159378B (de) |
IT (1) | IT1162890B (de) |
SE (1) | SE455230B (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3834200A1 (de) * | 1988-10-07 | 1990-04-12 | Rexroth Mannesmann Gmbh | Kapazitiver wegaufnehmer |
DE19715078A1 (de) * | 1997-04-11 | 1998-10-15 | Univ Ilmenau Tech | Verfahren zur kapazitiven Weg- und Winkelmessung |
Families Citing this family (48)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4677578A (en) * | 1982-04-05 | 1987-06-30 | Armco Inc. | Non-contact sensing system for determining the relative elongation in a moving flat steel strip |
US4633249A (en) * | 1983-05-18 | 1986-12-30 | Mitutoyo Mfg. Co., Ltd. | Displacement detector utilizing change of capacitance |
DE3338108A1 (de) * | 1983-10-20 | 1985-05-02 | Robert 5446 Engeln Wolff | Digitale messvorrichtung fuer drehwinkelabhaengige groessen |
DE3340782C2 (de) * | 1983-11-11 | 1985-12-05 | Mauser-Werke Oberndorf Gmbh, 7238 Oberndorf | Kapazitive Längen- und Winkelmeßeinrichtung |
CH666122A5 (fr) * | 1986-04-10 | 1988-06-30 | Hans Ulrich Meyer | Capteur capacitif de position. |
US4857828A (en) * | 1986-05-30 | 1989-08-15 | Control Logic (Proprietary) Limited | Method and apparatus for detecting presence of objects |
US4794393A (en) * | 1986-08-22 | 1988-12-27 | Imran Mir A | Device for measuring parameters on electrocardiogram strip recordings |
DE3637529A1 (de) * | 1986-09-02 | 1988-03-17 | Hengstler Gmbh | Kapazitiver linear- oder drehgeber zum steuern und positionieren von bewegten gegenstaenden |
US4896098A (en) * | 1987-01-08 | 1990-01-23 | Massachusetts Institute Of Technology | Turbulent shear force microsensor |
US4893071A (en) * | 1988-05-24 | 1990-01-09 | American Telephone And Telegraph Company, At&T Bell Laboratories | Capacitive incremental position measurement and motion control |
US4958115A (en) * | 1988-11-28 | 1990-09-18 | At&T Bell Laboratories | Capacitively commutated brushless DC servomotors |
US5049824A (en) * | 1988-12-12 | 1991-09-17 | Mitutoyo Corp. | Phase discrimination type electrostatic capacity detector |
US5012237A (en) * | 1989-05-26 | 1991-04-30 | Cummins Electronics Company, Inc. | Reflected electrostatic field angle resolver |
JPH0318759A (ja) * | 1989-06-15 | 1991-01-28 | Akebono Brake Ind Co Ltd | 輪速検出装置 |
CH685214A5 (fr) * | 1991-10-15 | 1995-04-28 | Hans Ulrich Meyer | Capteur capacitif de position. |
DE4201813A1 (de) * | 1992-01-24 | 1993-07-29 | Pav Praezisions Apparatebau Ag | Vorrichtung zum messen einer geometrischen groesse |
FR2688315B1 (fr) * | 1992-03-09 | 1994-05-27 | Sagem | Capteur accelerometrique capacitif et accelerometre non asservi en comportant application. |
SE470271B (sv) * | 1992-06-29 | 1993-12-20 | Johansson Ab C E | Skalsystem för absolutmätning |
US5321366A (en) * | 1992-08-31 | 1994-06-14 | Murata Mfg. Co. Ltd. | Capacitance sensor apparatus of divided multi-electrode type |
DE4308462A1 (de) * | 1993-03-17 | 1994-09-22 | Vdo Schindling | Anordnung zur Signalverarbeitung für Absolutwertsensoren mit periodischen Strukturen, insbesondere für Positions- und Winkelsensoren |
US5739775A (en) * | 1993-07-22 | 1998-04-14 | Bourns, Inc. | Digital input and control device |
US5880683A (en) * | 1993-07-22 | 1999-03-09 | Bourns, Inc. | Absolute digital position encoder |
DE4328525A1 (de) * | 1993-08-25 | 1995-04-06 | Mikroelektronik Und Technologi | Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
CH689190A5 (fr) * | 1993-10-19 | 1998-11-30 | Hans Ulrich Meyer | Instrument de mesure de longueurs ou d'angles. |
US5828142A (en) * | 1994-10-03 | 1998-10-27 | Mrs Technology, Inc. | Platen for use with lithographic stages and method of making same |
EP0747673B1 (de) | 1995-06-07 | 2003-03-26 | Brown & Sharpe Tesa S.A. | Kapazitive Messvorrichtung |
JP3125675B2 (ja) * | 1996-03-29 | 2001-01-22 | 三菱電機株式会社 | 容量型センサインターフェース回路 |
DE69621334T2 (de) * | 1996-10-11 | 2003-01-09 | Tesa Brown & Sharpe Sa | Kapazitive Dimensionsmesseinrichtung |
KR100744103B1 (ko) * | 1997-12-30 | 2007-12-20 | 주식회사 하이닉스반도체 | 플래쉬메모리장치의로우디코더 |
CN1155794C (zh) | 1999-12-02 | 2004-06-30 | 株式会社三丰 | 静电电容式变位检测装置 |
US6862832B2 (en) * | 2002-07-17 | 2005-03-08 | Ronnie G. Barrett | Digital elevation knob |
JP2006047135A (ja) * | 2004-08-05 | 2006-02-16 | Olympus Corp | 静電エンコーダ |
GB2419950A (en) * | 2004-11-09 | 2006-05-10 | Sharp Kk | Capacitance measuring apparatus for LCD touch screen |
JP2007093287A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Tietech Co Ltd | リニアモータ |
US8994382B2 (en) * | 2006-04-12 | 2015-03-31 | Novo Nordisk A/S | Absolute position determination of movably mounted member in medication delivery device |
JPWO2008132930A1 (ja) * | 2007-04-19 | 2010-07-22 | ホシデン株式会社 | 回転入力装置及びそれを使った回転検出装置 |
JP5171395B2 (ja) * | 2007-07-31 | 2013-03-27 | 京セラ株式会社 | ステージの位置変動検出装置およびこれを備えた搬送装置 |
US7570066B2 (en) * | 2007-11-01 | 2009-08-04 | Seagate Technology Llc | Simultaneous detection of in-plane and out-of-plane position displacement with capacitive sensors |
JP5153457B2 (ja) * | 2008-05-29 | 2013-02-27 | 京セラ株式会社 | ステージの位置変動検出装置およびこれを備えた搬送装置 |
WO2010051264A1 (en) * | 2008-10-28 | 2010-05-06 | Pile Dynamics, Inc. | Strain and displacement sensor and system and method for using the same |
US9186465B2 (en) | 2008-11-06 | 2015-11-17 | Novo Nordisk A/S | Electronically assisted drug delivery device |
US8516886B2 (en) | 2010-04-30 | 2013-08-27 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Micromachined piezoelectric X-Axis gyroscope |
US9939932B2 (en) * | 2014-03-21 | 2018-04-10 | Advanced Sensor Technology Limited | Position sensing device and method using self-capacitance |
JP6371643B2 (ja) * | 2014-09-03 | 2018-08-08 | オリエンタルモーター株式会社 | 静電エンコーダ |
GB2550967A (en) * | 2016-06-03 | 2017-12-06 | Brandenburg (Uk) Ltd | Sensing of objects |
CN106643455B (zh) * | 2016-12-26 | 2018-11-30 | 清华大学 | 一种电容式旋变位移传感器 |
WO2018157015A1 (en) | 2017-02-27 | 2018-08-30 | Pile Dynamics, Inc. | Non-contact strain measurement system and method for using the same |
CA3043829A1 (en) * | 2018-05-22 | 2019-11-22 | Chad Unterschultz | Capacitive position sensing |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH538114A (de) * | 1971-05-06 | 1973-06-15 | Bauer Messinstrumente Ag | Vorrichtung zur Digitalen, kapazitiven Messung der örtlichen Lage von Trennschichten zwischen mindestens zwei aneinandergrenzenden Medien |
CH550378A (de) * | 1972-09-07 | 1974-06-14 | Maag Zahnraeder & Maschinen Ag | Vorrichtung zur kapazitiven winkel- oder laengenmessung. |
US3938113A (en) * | 1974-06-17 | 1976-02-10 | International Business Machines Corporation | Differential capacitive position encoder |
US3990005A (en) * | 1974-09-03 | 1976-11-02 | Ade Corporation | Capacitive thickness gauging for ungrounded elements |
SE411392B (sv) * | 1977-12-09 | 1979-12-17 | Inst Mikrovagsteknik Vid Tekni | Metanordning for kapacitiv bestemning av det inbordes leget hos tva relativt varandra rorliga delar |
JPS568508A (en) * | 1979-07-02 | 1981-01-28 | Nippon Soken Inc | Rotation detector |
DE3039483C2 (de) * | 1980-10-18 | 1986-09-11 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Inkrementale Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
-
1982
- 1982-07-07 CH CH4133/82A patent/CH648929A5/fr not_active IP Right Cessation
-
1983
- 1983-06-21 GB GB08316841A patent/GB2123629B/en not_active Expired
- 1983-06-22 IN IN424/DEL/83A patent/IN159378B/en unknown
- 1983-06-22 FR FR8310307A patent/FR2530011B1/fr not_active Expired
- 1983-06-23 SE SE8303619A patent/SE455230B/sv not_active IP Right Cessation
- 1983-06-28 US US06/508,898 patent/US4543526A/en not_active Expired - Lifetime
- 1983-07-01 IT IT67725/83A patent/IT1162890B/it active
- 1983-07-04 BR BR8303577A patent/BR8303577A/pt not_active IP Right Cessation
- 1983-07-06 JP JP58124552A patent/JPS5923218A/ja active Granted
- 1983-07-07 DE DE3324578A patent/DE3324578C2/de not_active Expired
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3834200A1 (de) * | 1988-10-07 | 1990-04-12 | Rexroth Mannesmann Gmbh | Kapazitiver wegaufnehmer |
DE19715078A1 (de) * | 1997-04-11 | 1998-10-15 | Univ Ilmenau Tech | Verfahren zur kapazitiven Weg- und Winkelmessung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
SE8303619D0 (sv) | 1983-06-23 |
FR2530011A1 (fr) | 1984-01-13 |
SE8303619L (sv) | 1984-01-08 |
CH648929A5 (fr) | 1985-04-15 |
FR2530011B1 (fr) | 1986-11-28 |
IN159378B (de) | 1987-05-09 |
GB8316841D0 (en) | 1983-07-27 |
DE3324578A1 (de) | 1984-01-12 |
GB2123629A (en) | 1984-02-01 |
JPS5923218A (ja) | 1984-02-06 |
JPH0376687B2 (de) | 1991-12-06 |
IT8367725A0 (it) | 1983-07-01 |
SE455230B (sv) | 1988-06-27 |
US4543526A (en) | 1985-09-24 |
BR8303577A (pt) | 1984-02-14 |
GB2123629B (en) | 1986-01-08 |
IT1162890B (it) | 1987-04-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition |