DE3317919A1 - Lichtempfindliche zusammensetzung - Google Patents
Lichtempfindliche zusammensetzungInfo
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- G03F7/023—Macromolecular quinonediazides; Macromolecular additives, e.g. binders
- G03F7/0233—Macromolecular quinonediazides; Macromolecular additives, e.g. binders characterised by the polymeric binders or the macromolecular additives other than the macromolecular quinonediazides
Description
KINKELDEY. STOCKMAI« £ F3AHTNcR- - - - · PATENTANWÄLTE
A GRUNECKER cvl-nc. DR H KiNKELDHY. τρ·_ ■
DR W STOCKMAiR, :>--·_
DR. K SCHUMANN, α«.-'
P H JAKOB. QPi. ing. DR. G. BEZOLD. cv^-CHa*
W. MEiSTER. oh.-i^;
H. HILG£i-t5. [«pi- **»
JS1UJI PHOTO. FILM CO., LTD. drhmeyer-plav-, ·»
No. 210, Hakamuna
Minami Ashigara-siii
Kanagawa
Minami Ashigara-siii
Kanagawa
Japan booo München 22. ,-
MAXiMlLlANSTRASSE dS P
P 18 021-50
Lichtempfindliche Zusammensetzung
Die Erfindung betrifft eine Lichtempfindliche Zusammensetzung
bzw. Beschichtungsmasse, die geeignet ist für die
Herstellung von lithographischen Druckplatten, integrierten Schaltungen und Photomasken; sie betrifft insbesondere
eine lichtempfindliche Zusammensetzung bzw. Beschichtungsmasse
(nachstehend der Einfachheit halber stets als "lichtempfindliche Zusammensetzung" bezeichnet), die eine
o-Naphthochinondiazid-Verbindung und eine alkalilösliche hochmolekulare Verbindung enthält.
Lichtempfindliche Zusammensetzungen, die eine o-Naphthochinondiazid-Verbindung
und ein Phenolharz vom Novolak-Typ enthalten, werden bereits industriell verwendet zur
Herstellung von ausgezeichneten lichtempfindlichen Zusammensetzungen
für die Herstellung von lithographischen Druckplatten oder Photoresistmaterlallen.
Aufgrund dor Eigonschäften des darin als eine Hauptkomö5
ponente verwendeten Phenolharzes vom Novolak-Typ weisen sie jedoch ein geringes Haftvermögen an der Trägerplatte
auf, bilden einen spröden Film, weisen schlechte Beschichtungseigenschaften
und eine geringe Abriebsbeständigkeit
•S- auf und ergeben, wenn sie für die Herstellung von lithographischen
Druckplatten verwendet werden, eine unzureichende Druckhaltbarkeit (Drucklebensdauer).
Um die obengenannten Mängel zu beseitigen, wurden bereits verschiedene hochmolekulare Verbindungen als Bindemittel
geprüft· So sind beispielsweise in der japanischen Patentpublikation 41 050/77 Polyhydroxystyrol und ein Hydroxystyrol-Copolymeres
beschrieben, die zwar verbesserte FiImeigenschaften aufweisen, deren Abriebsbeständigkeit aber
immer noch gering ist. In der japanischen Patentanmeldung (OPI) Nr. 34 711/76 wird die Verwendung eines Bindemittels
vorgeschlagen, bei dem es sich um eine hochmolekulare Verbindung handelt, die in ihrer Molekülstruktur eine
Struktureinheit eines Acrylsäurederivats aufweist. Die
Verwendung eines solchen Bindemittels engt jedoch die geeigneten Entwicklungsbedingungen ein.
Ziel der vorliegenden Erfindung ist es daher, eine lichtempfindliche
Zusammensetzung (Beschichtungsmasse) zu finden, welche die Entwicklung unter einem breiten Bereich von
Entwicklungsbedingungen erlaubt und eine lithographische Druckplatte mit einer hohen Druckhaltbarkeit (Drucklebensdauer)
ergibt. Ein weiteres Ziel der Erfindung besteht darin, eine lichtempfindliche Zusammensetzung (Beschichtungsmasse)
zu finden, die eine gute Haftung an einer Trägerplatte aufweist/ einen flexiblen Film ergibt und ausgezeichnete
Beschichtungseigenschaften besitzt.
Als Ergebnis von umfangreichen Untersuchungen wurde nun die erfindungsgemäße lichtempfindliche Zusammensetzung
bzw. Beschichtungsmasse gefunden, mit der die obengenannten
Ziele der Erfindung erreicht werden können und die eine hochmolekulare Verbindung, die in ihrem Molekül eine
Stu>:eureinhöIt der nach;;behend angagsbonon til.i-jO.-rii.nen
Formel (I) aufweist
(D
CH-O-CO-Y-OH
worin R ein Wasserstoffatom oder eine Methylgruppe und Y
sine Phenylengruppe/ eine substituierte Phenylengruppe,
eine Naphthylengruppe oder eine substituierte Naphthylengruppe
bedeuten,
und als eine lichtempfindliche Verbindung eine o-Naphtho-
chinondiazid-Verbindung enthält.
15
15
Der charakteristische Aspekt der erfindungsgemäß verwendeten
hochmolekularen Verbindung ist die Struktureinheit der oben angegebenen allgemeinen Formel (I) . Bei dein hochmolekularen
Polymeren handelt es sich um ein Polymeres, das nur die wiederkehrende Struktureinheit der oben angegebenen
allgemeinen Formel (I) enthält, oder um ein Copolymeres,
das enthält eine Kombination aus der Stuktureinheit der oben angegebenen allgemeinen Formel (I) und einem oder
mehr Viny!monomeren.
Bei dem Copolymeren der erfindungsgemäßen hochmolekularen
Verbindung handelt es sich bei den Struktureinheiten, die
in Kombination mit der Struktureinheit der allgemeinen Formel (I) verwendet werden sollen, beispielsweise um solehe,
die gebildet werden durch Aufspaltung der Bindung der ungesättigten DoppIbindungen von Vinylmonomeren, wie
ethylenisch ungesättigten Olefinen (z.B. Ethylen, Propylen, Isobutylen, Butadien, Isobutylen und dgl.), Styrolen
(z.3. Sbyrol, &-Methylstyrol, o-Methylstyrol, m-MethylsLyroi,
p-Mebnylstyrol, o-Chlorstyrol, p-Chlorstyrol und
dgl.), Acrylsäure und Estern davon (z.B. Acrylsäure, Methvlacrvlat,Etnylacrylat'
Isobutylacrylat, n-Butylacrylat,
Hex.ylacrylat, Octylacrylat, 2-Hydroxyethylacrylat, 2-Cy-
anoethylacrylat, Glycidylacrylat, Dimethylaminoethylacrylat
■ und dgl.), Methacrylsäure und ihren Estern (z.B. Methacrylsäure, Methylmethacrylat, Ethylmethacrylat, n-Butylmeth~
acrylat, Isobutylmethacrylat, tert.-Butylmethacrylat, Hexylmethacrylat,
2-Ethylhexylmethacrylat, Laury!methacrylate
Tridecylmethacrylat, Cyclohexyltnethacrylat, Benzylmethacrylat,
2-Hydroxyethylmethacrylat, 2-Hydroxypropylmethacrylat,
Dimethylaminoethylmethacrylat, Diethylaminoethylmethacrylat,
Glycidylraethacrylat, Tetrahydrofurfurylmethacrylat,
Allylmethacrylat und dgl.), Vinylestern (z.B. Vinylacetat, Vinylpropionat, Vinylbutyrat, Vinylcaproat,
Vinylbenzoat und dgl.), Vinyläthern (z.B. Methylvinyläther, Ethylvinyläther, Isobutylvinyläther, ß-Chlorethylvinyläther,
Cyclohexylvinyläther und dgl.), Acrylnitril, Methacrylnitril,
Acry!amiden (z.B. Acrylamid, N-Methylacrylamid, N,N-Dimethy!acrylamid,
N-tert.-Butylacrylamid, N-Octylacrylamid,
Diacetonacrylamid und dgl.), N-Vinylverbindungen (z.B. N-Viny!pyrrol, N-Vinylcarbazol, N-Vinylindol, N-Viny!pyrrolidon
und dgl.) und dgl.
In der allgemeinen Formel (I) umfaßt die durch Y repräsentierte Phenylengruppe eine 1,2-Phenylen-, 1,3-Phenylen-
und 1,4-Phenylengruppe und die substituierte Phenylengruppe
umfaßt die"obengenannten Phenylengruppen, die substituiert sind durch eine Alkylgruppe (z.B. eine Methyl- oder Ethylgruppe),
eine Alkoxygruppe (z.B. eine Methoxy- oder Ethoxygruppe),
ein Halogenatom (z.B. ein Chlor- oder Bromatom) , eine Pheny!gruppe, eine Hydroxygruppe, eine Carbonsäuregruppe,
-eine Sulfonsäuregruppe, eine Cyanogruppe, eine Nitrogruppe und dgl. Bevorzugte Beispiele sind insbesondere
eine 3-Methyl-1,2-phenylengruppe, eine 4-Methyl-1,2-phenylengruppe,
eine 4-Butyl-1,2-phenylengruppe, eine 5-Butyl-1,2-phenylengruppe,
eine 3,5-Dibutyl-1,2-phenylengruppe, eine 3-Phenyl-1 p 2-phenylengruppe , eine 5-Chl.oro-i ,2-phenyiengruppe,
eine 5-Bromo-1,2-phenyiengruppe, eine i-Nitro-1 r 4-phenylengruppe,
eine 2-Hydroxy-1,4-phenylengruppe, eino
3-Hydroxy-1,4-phenylengruppe, eine 5-Hydroxy-1;2-phenylengruppe
, eine 2-Hydroxy-1,3-phenylengruppe, eine 5-Hydroxy-
1,3-phenylengruppe, eine 6-Hydroxy-1,2-phenylengruppe, eine
4,6-Dihydroxy-i,2-phenylengruppe, eine 3,5-Dihydroxy-1,4-phenylengruppe,
eine 3-Carboxy-1,5-phenylengruppe, eine
3-Carboxy-1,4-phenylengruppe und dgl. Bei der durch Y repräsentierten
Naphthylengruppe handelt es sich vorzugsweise um eine 1,2-Naphthylengruppe oder eine 2,3-Naphthylengruppe
und die substituierte Naphthylengruppe umfaßt die obengenannten Naphthylengruppen, die substituiert sind
durch eine Alkylgruppe (z.B. eine Methyl- oder Ethylgruppe), eine Alkoxygruppe (z.B. eine Methoxy- oder Ethoxygruppe),
ein Halogenatom (z.B. ein Chlor- oder Bromatom), eine Phenylgruppe, eine Hydroxygruppe, eine Carbonsäuregruppe,
eine Sulfonsäuregruppe, eine Cyanogruppe, eine Nitrogruppe
und dgl. Bevorzugt sind beispielsweise eine 4-Hydroxy-1,2-naphthylengruppe,
eine 4-Methoxy-1,2-naphthylengruppe,
eine 4-Ethoxy-1,2-naphthylengruppe, eine 4-(ß-Bromoethyloxy)-1,2-naphthylengruppe,
eine 4-(ß-Phenylethyloxy)-1,2-naphthylengruppe
und dgl.
Typische spezifische Beispiele für die erfindungsgemäßen
hochmolekularen Verbindungen sind nachstehend angegeben. In den nachstehend angegebenen beispielhaften Verbindungen
stehen x, y und ζ jeweils für den Molprozent-Anteil jeder Struktureinheit.
CH2-O-CO-f V OH
Nr. 2
OH
-o-co/Λ
β It
I» «I M
OH
CH2-O-CO
OH CH2-O-CO-/ ^)— OH
-(CH2-CH-)-
OH
CH2-O-CO
OH
OH
■ *« X IH W
-(CH -CH-)
Ct
CH.
C£
HO
CH2-O-CO
OH
CH2-O-CO
-fCH-CH-H
x:y=27:73
CH2-O-CO-/ Vol·
41.
Nr. 11
—cCH -CHf-
—{ CHn-CHf-2
, y
x:y=49
CH2-O-CO
rs
OH
-CHf-
2 j y 0-CO-CH.
x:y=34:66
CH2-O-CO
-ICH0-CHf-
2 |"'y CO-NH-C(CH3)
x:y=26:74
CH2-O-CO
X.
—(-CH--2
x:y=59 :'41
CH^-O-CO-/ ' V OH
- Μ»
CH.
CH.
CO2CH3
x:y:z=33:60:7
CO
OH
16
CH.
CO2-CH3
x:y=30:70
CH2-O-CO
OH
OH
O a m «
Nr. 17
2 I Y
CH2-O-CO
OH
OH
x:y=27:73
^»1» V-Ci j
CH2-O-CO
x:y=40:60
19
CH.
H- -CH-I-ι
x
H. -Cf-2 ί Υ
CK2-O-CO
HO
OH
χ:γ=28:72
CH.
CH2-O-CO,
2 ι υ
x:y=43:57
Die erfindungsgemäßen hochmolekularen Verbindungen werden
wie folgt synthetisiert:
Ein Metallsalz (beispielsweise ein Natrium- oder Kaliumsalz)
eines Benzoe- oder Naphthoesäurederivats mit einer phenolisehen Hydroxygruppe wird in einem Reaktionslösungsmittel,
wie z.B. Ν,Ν-Dimethylformamid, Ν,Ν-Dxmethylacetamid,
N-Methy!pyrrolidon oder Dimethylsulfoxid, mit Vinylbenzylchlorid
.oder Isopropenyibenzylchlorid umgesetzt zur Synthese
eines Monomeren mit einer phenolischen Hydroxygruppe un|ä das dabei erhaltene Monomere wird homopolymerisiert
oder copolymerisiert mit mindestens einem anderen Vinylmonomeren als das obengenannte Monomere auf konventionelle
Weise.
Das Copolymerisationsverhältnis und das Molekulargewicht
der hochmolekularen Verbindung können in beliebiger Weise über einen breiten Bereich kontrolliert bzw. gesteuert
werden durch entsprechende Auswahl des jeweils geeigneten molekularen Mengenanteils jedes Monomeren und der Polymerisationsbedingungen.
Für die erfindungsgemäße Verwendung beträgt das Molekulargewicht jedoch vorzugsweise 2000
bis 1 000 000, insbesondere 2000 bis 100 000. Bei der Copolymerisation mit einem oder mehreren anderen Vinylmonomeren·
als- einem solchen mit der Struktureinheit der vorstehend angegebenen allgemeinen Formel (I) enthält das
resultierende Copolymere vorzugsweise 10 Mol-% oder mehr
der-Stuktureinheit 'der allgemeinen Formel (I), insbesondere
20 Mol-% oder mehr der Struktureinheit der allgemeinen Formel (I).
Nachstehend werden einige typische Synthesebeispiele für die Synthese der erfindungsgemä&en hochmolekularen Verbindungen
angegeben.
op; Synthesebeispiel 1
Synthese der beispielhaften Verbindung Nr. 1
71,5 g Vinylbenzylchlorid und 75,0 g Natrium-p-hydroxy-
benzoat wurden zu 250 ml Dimethylsulfoxid zugegeben und gerührt und 4 Tage lang bei 400C reagieren gelassen. Dann
wurden 1000 ml Wasser zugegeben und die resultierende Mischung wurde mit 200 ml Ethylacetat extrahiert. Nach dem
Abdestillieren von Ethylacetat ergab die Umkristallisation des Rückstandes aus einem Benzol/Hexan-Lösungsmittelgemisch
110 g Vinylbenzyl-p-hydroxybenzoat, F. 83 bis 85°C.
40,7 g Vinylbenzyl-p-hydroxybenzoat wurden in 100 g Methylethylketon
gelöst und die Polymerisation wurde 7 Stunden lang unter Erhitzen auf 7O0C in einem Stickstoffstrom in
Gegenwart von 0,08 g 2,2'-Azobis(2,4-dimethylvaleronitril)
durchgeführt. Nach Beendigung der Polymerisation wurde die auf Raumtemperatur abgekühlte Reaktionslösung in eine
große Menge Benzol gegossen, wobei man als hochmolekulare Verbindung die Verbindung Nr. 1 erhielt, Ausbeute 32,0 g,
Molekulargewicht 8600.
Synthesebeispiel· 2
Synthese der beispielhaften Verbindung Nr. 4 154,0 g Kalium-2,4-dihydroxybenzoat und 122,3 g Vinylbenzyl
chlorid wurden zu 500 ml Dimethylsulfoxid zugegeben und zur Durchführung der Reaktion wurde 3 Tage lang bei 400C
gerührt. Dann wurden 1000 ml Wasser zugegeben und die resul tierende Mischung wurde mit 500 ml Ethylacetat extrahiert.
Nach dem Abdestillieren des Ethylacetats und nach der Umkristallisation
des Rückstandes aus einem Benzol/Hexan-LÖ-sungsmittelgemisch
erhielt man 140 g Vinylbenzyl-2,4-dihydroxybenzoat, F, 52 bis 540C.
43,2 g Vinylbenzyl-2,4-dihydroxybenzoat wurden in 100 g
Methylethylketon gelöst und die Polymerisation wurde 7 Stunden lang in einem Stickstoffstrom unter Erhitzen auf
Tu0C in Gegenwart von 0,08 g 2,2'-Azobis(2,4-dimethylvaleronitril)
durchgeführt. Nach Beendigung der Polymerisation wurde die Reaktionslösung in eine große Menge
Hexan gegossen, wobei man als hochmolekulare Verbindung
die beispielhafte Verbindung Nr. 4 erhielt, Ausbeute 33 g,
Molekulargewicht 6700.
Synthesebeispiel 3
5
5
Synthese der beispielhaften Verbindung Mr. 5 129,4 g Kalium-3,5-dihydroxybenzoat und 102,7 g Vinylbenzylchlorid
wurden zu 700 ml Dimethylsulfoxid zugegeben und 4 Tage lang gerührt und bei 400C reagieren gelassen. Dann
wurden 1500 ml Wasser zugegeben und die resultierende Mischung wurde mit 500 ml Ethylacetat extrahiert. Nach
dem Abdestillieren des Ethylacetats und nach der Urakristallisation
des Rückstandes aus einem Ethylacetat/Toluol-Lösungsmittelgemisch
erhielt man 152 g Vinylbenzyl-3,5-dihydroxybenzoat,
F. 117 bis 119°C.
43,2 g Vinylbenzyl-3,5-dihydroxybenzoat wurden in 100 g
Methylethylketon gelöst und die Polymerisation wurde 7 Stunden lang in einem Stickstoffstrom unter Erhitzen auf
700C in Gegenwart von 0,08 g 2,2'-Azobis(2,4-dimethylvaleronitril)
durchgeführt. Nach Beendigung der Polymerisation wurde die Reaktionslösung in eine große Menge Hexan
gegossen, wobei man als hochmolekulare Verbindung die beispielhafte Verbindung Nr. 5 erhielt, Ausbeute 36 g,
Molekulargewicht 7600.
Synthese der beispielhaften Verbindung Nr. 10
38,1 g Vinylbenzyl-p-hydroxybenzoat, das im Synthesebeispiel
1 synthetisiert worden war, und 35,0 g Methylmethacrylat wurden in 150 ml Methylethylketon gelöst
und die Polymerisation wurde 7 Stunden lang in einem Stickstoffstrom unter Erhitzen auf 70°C in Gegenwart von
0,124 g-2,2'-Azobis(2,4-dimethylvaleronitril) durchgeführt.
Nach Beendigung der Polymerisation wurde die Reaktionslösung in eine große Menge Hexan gegossen, wobei man
als hochmolekulare Verbindung die beispielhafte Verbin-
dung Nr. 10 erhielt, Ausbeute 52 g, Molekulargewicht
21 000.
Synthesebeispiel 5
5
5
Synthese der beispielhaften Verbindung Nr. 11 38,1 g Vinylbenzyl-p-hydroxybenzoat, wie es in Synthesebeispiel
1 synthetisiert worden war, und 10,0 g Ethylacrylat wurden in 100 ml. Methylethylketon gelöst und die
Polymerisation wurde 7 Stunden lang in einem Stickstoffstrom
unter Erhitzen auf 700C in Gegenwart von 0,124 g 2,2'-Azobis(2,4-dimethylvaleronitril) durchgeführt. Nach
Beendigung der Polymerisation wurde die Reaktionslösung in eine große Menge Hexan gegossen, wobei man als hochmole
kulare Verbindung die beispielhafte Verbindung Nr. 11 erhielt, Ausbeute 29 g, Molekulargewicht 48 500.
Synthese der beispielhaften Verbindung Nr. 14 38,1 g Vinylbenzyl-p-hydroxybenzoat, wie es in Synthesebei
spiel 1 synthetisiert worden war, und 10,4 g Styrol wurden in 100 ml Methylethylketon gelöst und die Polymerisation
wurde 7 Stunden lang in einem Stickstoffstrom unter Erhitzen auf 700C in Gegenwart von 0,124 g 2,2'-Azobis(2,4-dimethylvaleronitril)
durchgeführt. Nach Beendigung der Polymerisation wurde die Reaktionslösung in eine große
Menge Hexan gegossen, wobei man als hochmolekularge Verbindung
die beispielhafte Verbindung Nr. 14 erhielt, Ausbeute 31 g, Molekulargewicht 46 000.
Synth^ se_ der be isp ie !haften Verbindung Nr . 1 6
40,5 g Vinylbenzyl-2,4-dihydroxybenzoat, wie es im Synthesebeispiel
2 synthetisiert worden war, und 35,0 g Methylmethacrylat wurden in 250 ml Methylethylketon gelöst
und die Polymerisation wurde 7 Stunden lang in einem
: ''J.J^J-J 33 179
Stickstoffstrom unter Erhitzen auf 700C in Gegenwart von
0,124 g 2,2'-Azobis(2,4-dimethylvaleronitril) durchgeführt.
Nach Beendigung der Polymerisation wurde die Reaktionslösung in eine große Menge Hexan gegossen, wobei man als hochmolekulare
Verbindung die beispielhafte Verbindung Nr. 16 erhielt,
Ausbeute 44 g, Molekulargewicht 26 000.
Synthese der beispielhaften Verbindung Nr. 19
32,4 g Vinylbenzyl-3,5-dihydroxybenzoat, wie es im Synthesebeispiel
3 synthetisiert worden war, und 28,0 g Methylmethacrylat wurden in 200 ml Methylethylketon gelöst und
die Polymerisation wurde 7 Stunden lang in einem Stickstoffstrom unter Erhitzen auf 700C in Gegenwart von 0,0 99 g
2,2'-Azobis(2,4-dimethylvaleronitril) durchgeführt. Nach
Beendigung der Polymerisation wurde die Reaktionslösung in eine große Menge Hexan gegossen, wobei man als hochmolekulare
Verbindung die beispielhafte Verbindung Nr. 19 erhielt, Ausbeute 54 g, Molekulargewicht 42 000.
Als o-Naphthochinondiazid-Verbindung, die erfindungsgemäß
verwendet werden soll, ist ein Ester zwischen 1,2-Diazonaphthochinonsulfonylchlorid
und Pyrogallol·-Aceton-Harζ, wie in der US-PS 3 635 709 beschrieben, am meisten bevorzugt.
Eine andere bevorzugte o-Chinondiazid-Verbindung ist ein Ester zwischen 1,2-Diazonaphthochinonsulfonylchlorid
und Phenol-Forraaldehyd-Harz, wie in den US-PS 3 046 120
und 3 188 210 beschrieben. Andere brauchbare o-Naphthochinondiazid-Verbindungen
sind bekannt und in vielen Patentschriften bereits beschrieben. Geeignete
Beispiele dafür sind solche, wies sie in den japanischen (OPI) Patentanmeldungen Nr. 5303/72, 63802/73,
638C3/73, 96575/73, 38701/74, 13354/73, in den japanisehen
Patentpublikationen 11222/66, 96 10/70 und 17481/74, in den US-PS 2 797 213, 3 4 54 4 00,
3 544 323, 3 573 917, 3 674 495, 3 785 825, in den GB-PS 1 227 602, 1 251 345, 1 267 005, 1 329 888, 1 330 932,
in dar DE-PS 854 890 und dgl. beschrieben sind.
Die o-Naphthochinondiazid-Verbindung liegt in der erfindungsgemäßen
lichtempfindlichen Zusammensetzung in einer Menge von 10 bis 50 Gew.-%, vorzugsweise von 20 bis 40
Gew.-%, vor. Der Gehalt der lichtempfindlichen Zusammensetzung an der hochmolekularen Verbindung beträgt 90 bis
5 Gew.-%, vorzugsweise 60 bis 10 Gew.-%.
In die erfindungsgemäße Zusammensetzung können zusätzlich zu der vorgenannten hochmolekularen Verbindung auch noch
bekannte alkalilösliche hochmolekulare Verbindungen, wie z.B. ein Phenol-Formaldehyd-Harz, ein Kresol-Formaldehyd-Harz,
ein Phenol-modifiziertes Xylolharz, Polyhydroxystyrol
und polyhalogeniertes Hydroxystyrol, eingearbeitet
werden. Diese alkalilöslichen hochmolekularen Verbindungen werden in einer Menge von 70 Gew.-% oder weniger,
bezogen auf das Gewicht der gesamten Zusammensetzung, verwendet.
Der erfindungsgemäßen Zusammensetzung können zugesetzt
werden ein cyclisches Säureanhydrid zur Erhöhung der Empfindlichkeit, ein Auskopiermittel zur Erzielung eines
sichtbaren Bildes unmittelbar nach der Belichtung, ein Bildfärbemittel, wie z.B. ein Farbstoff, und andere
Füllstoffe. Beispiele für brauchbare cyclische Säureanhydride sind Phthalsäureanhydrid, Tetrahydrophthalsäureanhydrid,
Hexahydrophthalsäureanhydrid, 3,6-Endoxy- k -tetrahydrophthalsäureanhydrid,
Tetrachlorophthalsäureanhydrid, Maleinsäureanhydrid, Chloromaleinsäureanhydrid,
ti-Phenylmaleinsäureanhydrid, Bernsteinsäureanhydrid,
Pyromellitsäureanhydrid und dgl., wie in der US-PS 4 115 128 beschrieben. Die Empfindlichkeit kann durch
Einarbeitung dieser cyclischen Säureanhydride in einer Menge von 1 bis 15 Gew.-%, bezogen auf die gesamte Zusammensetzung,
höchstens auf etwa das Dreifache erhöht werden.
33 179 U
Bei dem Auskopiermittel, das zur Erzielung eines sichtbaren Bildes unmittelbar nach der Belichtung verwendet wird,
kann es sich um eine Kombination aus einer lichtempfindlichen
Verbindung, die bei der Belichtung eine Säure freisetzen kann, und einem organischen Farbstoff, der ein
Salz bilden kann, handeln. Zu· spezifischen Beispielen gehören eine Kombination aus o-Naphthochinondiazido-4-sulfonylhalogenid
und einem salzbildenden organischen Farbstoff, wie in der US-PS 3 969 118 und in der japanisehen
(OPI) Patentanmeldung Nr. 8 128/78 beschrieben, und eine Kombination aus einer Trihalogenmethylverbindung
und einem salzbildenden organischen Farbstoff, wie in den US-PS 4 160 671 und 4 212 970 beschrieben.
Zu geeigneten Bildfärbemitteln gehören andere Farbstoffe als die obengenannten salzbildenden organischen Farbstoffe.
Zu bevorzugten Farbstoffen gehören salzbildende organische Farbstoffe, ollösliche Farbstoffe und basische Farbstoffe.
Zu spezifischen Beispielen gehören Oil Yellow No.
101, Oil Yellow No. 130, Oil Pink No. 312, Oil Green BG,
Oil Blue BOS, Oil Blue No. 603, Oil Black BY, Oil Black BS, Oil Black T-505 (soweit hergestellt von der Fa. Orient
Kagaku Kogyo Co., Ltd.), Crystal Violet (CI 42555), Methyl Violet (CI 42535), Rhodamine B (CI 45170B),
Malachite Green (CI 42000) und Methylene Blue (CI 52015).
Die erfindungsgemäße Zusammensetzung wird in einem Lösungsmittel
gelöst, das die obengenannten Komponenten lösen kann, und in Form einer Schicht auf einen Träger aufgebracht.
Zu Lösungsmitteln, die zum Auflösen der Zusammensetzung verwendet werden können, gehören beispielsweise
Ethylendichlorid, Cyclohexanon, 'Methylethylketon, Ethylenglykolmonomethyläther,
Ethylenglykolmonoethyläther, 2~ Methoxyethylacetat, Toluol, Ethylacetat und dgl. Diese
werden allein oder in Kombination verwendet. Die Konzentration der Feststoffe der obengenannten Bestandteile beträgt
2 bis 50 Gew.-%. Die Beschichtungsmenge variiert in Abhängigkeit von dem Endverwendungszweck. Bei lichtempfind-
lichen lithographischen Druckplatten beträgt beispielsweise die Konzentration der Feststoffe im allgemeinen 0,5 bis
3,0 g/m2. Wenn die Beschichtungsmenge abnimmt, werden die
physikalischen Eigenschaften der lichtempfindlichen :-iembran
δ schlechter, während ihre Empfindlichkeit zunimmt.
Zur Herstellung einer lithographischen Druckplatte unter Verwendung der erfindungsgemäßen lichtempfindlichen Zusammensetzung
(Beschichtungsmasse) können als Träger eine Aluminiumplatte, die hydrophil gemacht worden ist, wie
z.B. eine mit einem Silikat behandelte Aluminiumplatte, eine anodisierte Aluminiumplatte, eine aufgerauhte Aluminiumplatte
oder eine Aluminiumplatte mit einem elektrolytisch darauf abgeschiedenen Silicat, eine Zinkplatte, -eine Platte
aus rostfreiem Stahl, eine mit Chrom behandelte Stahlplatte, ein Kunststoffilm oder Papier, die hydrophil gemacht
worden sind, und dgl. verwendet werden.
Zu geeigneten Entwicklerlösungen für die erfindungsgemäße
lichtempfindliche Zusammensetzung (Beschichtungsmasse) gehören eine wäßrige Lösung eines anorganischen Alkaliagens,
wie Natriumsilicat, Kaliumsilicat, Natriumhydroxid, Kaliumhydroxid,
Lithiumhydroxid, Natrium-tert.-phosphat, Natriumsec.-phosphat,
Ammonium-tert.-phosphat, Ammonium-sec.-phosphat, Natriummetasilicat, Natriumbicarbonat oder wäßriges
Ammoniak. Das Alkaliagens wird in einer solchen Menge zugegeben, daß eine Entwicklerlösung erhalten wird, die 0,1
bis 10 Gew.-%, vorzugsweise 0,5 bis 5 Gew.-%· des Agens enthält.
Zu der alkalischen wäßrigen Lösung können erforderlichenfalls ein oberflächenaktives Mit'tel und ein organisches
Lösungsmittel, wie z.B. ein Alkohol, zugegeben werden.
Die Erfindung wird nachstehend an Hand bevorzugter Ausführungsformen
der Erfindung näher beschrieben, es sei jedoch darauf hingewiesen, daß die Erfindung auf diese Beispiele
keineswegs beschränkt ist. Die in den nachstehend
E "..-.J ·.."..= 331791Ü
-SW-
beschriebenen Beispielen angegebenen Prozentsätze beziehen sich, wenn nichts anderes angegeben ist, alle auf das
Gewicht.
Eine 0,15 mm dicke 2S Aluminiumplatte wurde 3 Minuten
lang in eine 10 %ige wäßrige Lösung von Natrium-tert.-phosphat,
die bei 800C gehalten wurde, eingetaucht, um die Platte zu entfetten, die dann mit einer Nylonbürste
aufgerauht und in einer 3 %igen wäßrigen Natriumhydrogensulfatlösung
gereinigt wurde. Diese Aluminiumplatte wurde mit einer 1,5 % Natriumsilicat enthaltenden wäßrigen
Lösung 1 Minute lang bei 70°C behandelt, wobei man eine Aluminiumplatte (I) erhielt.
Die nachstehend angegebene lichtempfindliche Lösung (A)
wurde in Form einer Schicht auf diese Aluminiumplatte (I) aufgebracht und 2 Minuten lang bei 1000C getrocknet,
wobei man eine lichtempfindliche lithographische Druckplatte
(A) erhielt.
Esterprodukt zwischen Naphthochinon-1,2-diazido-5-sulfonylchlorid
und Pyrogallol-Aceton-Harz (beschrieben
in Beispiel 1 der US-PS 3 635 709) 0,9 g
beispielhafte Verbindung Nr. 1,
erhalten in Synthesebeispiel 1 U9 g
Phthalsäureanhydrid 0,2 g
2-(p-Butoxyphenyl)-4,6-bis{trichloromethyl)-s-triazin
0,02 g
Naphthochinon-1,2-diazido-4-
sulfonylchlorid , 0,02 g
öllöslicher Farbstoff (CI 42 595) 0,03 g
Ethylendichlorid - 15 g
Methvlcellosolve 8 g
-2T- .
Es wurde eine lichtempfindliche Lösung (B) hergestellt
unter Verwendung eines Kresol-Formaldehyd-Harzes anstelle
der beispielhaften Verbindung Nr. 1 bei der Herstellung der lichtempfindlichen Lösung (A) und auf die gleiche
Weise wie die lichtempfindliche Lösung (A) in Form einer
Schicht auf eine Aluminiumplatte (I) aufgebracht zur
Herstellung einer lichtempfindlichen lithographischen Druckplatte (B). Bei beiden lichtempfindlichen lithographischen
Druckplatten (A) und (B) betrug das Trockenbe-Schichtungsgewicht etwa 2,5 g/m2. Ein positives Dia mit
einem Strichbild und einem Halbtonbild wurde auf die lichtempfindliche Schicht sowohl aus (A) als auch aus (B)
in innigem Kontakt aufgelegt und es wurde eine Belichtung durchgeführt unter Verwendung einer 30 Ampere-Kohlelichtbogenlampe
in einem Abstand von 70 cm.
Die auf diese Weise belichteten lichtempfindlichen lithographischen
Druckplatten (A) und (B) wurden zur Entwicklung eine Minute lang in eine 4 %ige wäßrige Natriummetasilicatlösung
eingetaucht, dann auf konventionelle Weise behandelt, wobei man lithographische Druckplatten (A) und
(B) erhielt.
Beim Aufsetzen auf eine Offsetdruckerpresse betrug die Anzahl der haltbaren Druckblätter, die mit der lithographischen
Druckplatte (B) hergestellt wurden, wie gefunden wurde, etwa 40 000, während diejenigen der lithographischen
Druckplatte (A) etwa 80 000 betrug. Dadurch wird die große Druckhaltbarkeit (Drucklebensdauer) der lithographischen
Druckplatte (A) bestätigt. Außerdem war der Bereich der geeigneten Entwicklungsbedingungen bei der lithographi-
sehen Druckplatte (A) etwa ebenso breit wie bei der lithographischen
Druckplatte (B).
Eine 0,24 mm dicke 2S Aluminiumplatte wurde 3 Minuten
lang in eine 10 %ige wäßrige Natrium-tert.-phosphatlösung,
..1 die bei SO0C gehalten wurde, eingetaucht, um die Platte zu
entfetten, die dann mit einer Nylonbürste aufgerauht, mit Natriumaluminat etwa 10 Sekunden lang geätzt und mit
einer 3 %igen wäßrigen Natriumhydrogensulfatlösung gereinigt
wurde. Diese Aluminiumplatte wurde 2 Minuten lang in 20 %iger Schwefelsäure bei einer Stromdichte von 2A/dm2
anodisiert, wobei man eine Aluminiumplatte (II) erhielt.
Die nachstehend angegebene lichtempfindliche Lösung (G)
wurde in Form einer Schicht auf diese Aluminiumplatte (II) aufgebracht und 2 Minuten lang bei 100°C getrocknet,
wobei man eine lichtempfindliche lithographische Druckplatte
(C) erhielt.
Lichtempfindliche Lösung (C)
Esterprodukt zwischen Naphtho-
chinon-1 ^-diazido-S-sulfonyl-"
Chlorid und Kresol-pormaldehyd-
Harz 0,90 g
beispielhafte Verbindung Nr. 16, 2Q erhalten im Synthesebeispiel 7 1,0
Kresol-Formaldehyd-Harz 0,9 g
öllöslicher Farbstoff (CI 4-2 595) 0,04 g
Naphthochinon-1,2-diazido-4-sulfonylchlorid
0,02 g
Methylcellosolve 20 g
' ,
Methylethylketon ^O g
Eine unter Verwendung von Kresol-Formaldehyd-Harz anstelle
der beispielhaften Verbindung Nr. 16 bei der Herstellung
der lichtempfindlichen Lösung (C) hergestellte licht-30
empfindliche Lösung(D) wurde auf die gleiche Weise wie die
lichtempfindliche Lösung (C) in,Form einer Schicht auf die Aluminiumpaltte (II) aufgebracht, wobei man eine lichtempfindliche
lithographische Druckplatte (D) erhielt.
Bei beiden lichtempfindlichen lithographischen Druckplat-
ten (C) und (D) betrug das Trockenbeschichtungsgewicht 2,5 g/m2.
Diese Platten (C) und (D) wurden auf die gleiche Weise wie in Beispiel 1 belichtet und entwickelt und auf eine Offset-Druckerpresse
aufgesetzt, um Vervielfältigungen herzustellen. Die Anzahl der haltbaren Kopierblä*fcter, dxe mit
der lithographischen Druckplatte (D) gebildet wurden, betrug, wie gefunden wurde, etwa 100 000, während diejenige
bei Verwendung der lithographischen Druckplatte (C) etwa 150 000 betrug. Auch dies bestätigt die ausgezeichnete
Druckhaltbarkeit (Drucklebensdauer) der lithographischen
Druckplatte (C).
Die Erfindung wurde zwar vorstehend unter Bezugnahme auf spezifische bevorzugte Ausführungsformen näher erläutert,
es ist jedoch für den Fachmann selbstverständlich, daß sie darauf keineswegs beschränkt ist, sondern daß diese in
vielfacher Hinsicht abgeändert und modofiziert werden können, ohne daß dadurch der Rahmen der vorliegenden Erfindung
verlassen wird.
Claims (14)
1.. ' Lichtempfindliche Zusammensetzung, dadurch
gekennzeichnet , daß sie eine hochmolekulare Verbindung, die in ihrer Molekülstruktur eine Struktureinheit der nachstehend angegebenen
allgemeinen Formel (I) aufweist
10
10
(D 15
CH2-O-CO-Y-OH
worin R ein Wasserstoffatom oder eine Methylgruppe und
Y eine Phenylengruppe, eine substituierte Phenyleng.ruppe,
eine Naphthylengruppe oder eine substituierte Naphthylengruppe bedeuten; und
eine o-Naphthochinon-diazid-Verbindung enthält.
eine o-Naphthochinon-diazid-Verbindung enthält.
2. Lichtempfindliche Zusammensetzung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die hochmolekulare Verbin^ dung außerdem Viny!monomereinheiten aufweist.
3. Lichtempfindliche Zusammensetzung nach Anspruch 1
und/oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß γ ausgewählt wird aus der Gruppe 1,2-Naphthylengruppe und 2,3-Naphthylengruppe.
4. Lichtempfindliche Zusammensetzung nach Anspruch 1
und/oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß Y ausgewählt wird aus der Gruppe 4-Hydroxy-1,2-naphthylengruppe, 4-Methoxy-1,2-naphthylengruppe,
4-Ethoxy-1,2-naphthylengruppe, 4-
(ß-Bromethyloxy)-1,2-naphthylengruppe und 4-(ß-Phenylethyloxy)-1,2-naphthylengruppe.
5. Lichtempfindliche Zusammensetzung nach mindestens
einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die hochmolekulare Verbindung ein Molekulargewicht innerhalb
des Bereiches von 2000 bis 1 000 000 hat.
6. Lichtempfindliche Zusammensetzung nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet, daß die hochmolekulare Verbindung ein Molekulargewicht innerhalb des Bereiches von 2000 bis
100 000 hat.
7. Lichtempfindliche Zusammensetzung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet,
daß die hochmolekulare Verbindung die Struktureinheit der allgemeinen Formel (I) in einer Menge von 10 Mol-% oder
mehr enthält.
8. Lichtempfindliche Zusammensetzung nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet, daß die hochmolekulare Verbindung die Struktureinheit der allgemeinen Formel (I) in einer
Menge von 20 Mol-% oder mehr enthält.
9. Lichtempfindliche Zusammensetzung nach mindestens
einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die hochmolekulare Verbindung in der Zusammensetzung
in einer Menge von 5 bis 90 Gew.-% vorliegt.
10. Lichtempfindliche Zusammensetzung nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet, daß die hochmolekulare Verbindung in der Zusammensetzung in einer 'Menge innerhalb des Bereiches
von 10 bis 60 Gew.-% vorliegt.
11. Lichtempfindliche Zusammensetzung nach mindestens
einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die o-Naphthochinon-diazid-Verbindung in der Zusammensetzung
in einer Menge innerhalb des Bereiches von
"ζ- τ <ψη "τ ^* ™ ^* — —■
10 bis 50 Gew.-% vorliegt.
12. Lichtempfindliche Zusammensetzung nach Anspruch
11, dadurch gekennzeichnet, daß die o-Naphthochinondiaζid-Verbindung
in der Zusammensetzung in einer Menge innerhalb des Bereiches von 20 bis 40 Gew.-% vorliegt.
13. Lichtempfindliche Zusammensetzung nach mindestens
einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß sie außerdem eine alkalilösliche hochmolekulare Verbindung
in einer Menge von 70 Gew--% oder weniger enthält.
14. Lichtempfindliche Zusammensetzung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet,
daß sie außerdem ein cyclisches Säureanhydrid in einer Menge von 1 bis 15 Gew.-%, bezogen auf das Gewicht der
lichtempfindlichen Zusammensetzung, enthält.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57085765A JPS58203433A (ja) | 1982-05-21 | 1982-05-21 | 感光性組成物 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3317919A1 true DE3317919A1 (de) | 1983-11-24 |
Family
ID=13867960
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19833317919 Withdrawn DE3317919A1 (de) | 1982-05-21 | 1983-05-17 | Lichtempfindliche zusammensetzung |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4493884A (de) |
JP (1) | JPS58203433A (de) |
DE (1) | DE3317919A1 (de) |
GB (1) | GB2125177B (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0546997A1 (de) * | 1991-12-10 | 1993-06-16 | OCG Microelectronic Materials Inc. | Strahlungsempfindliche Polymere |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3421448A1 (de) * | 1984-06-08 | 1985-12-12 | Hoechst Ag, 6230 Frankfurt | Perfluoralkylgruppen aufweisende polymere, sie enthaltende reproduktionsschichten und deren verwendung fuer den wasserlosen offsetdruck |
GB8430377D0 (en) * | 1984-12-01 | 1985-01-09 | Ciba Geigy Ag | Modified phenolic resins |
DE3445276A1 (de) * | 1984-12-12 | 1986-06-19 | Hoechst Ag, 6230 Frankfurt | Strahlungsempfindliches gemisch, daraus hergestelltes lichtempfindliches aufzeichnungsmaterial und verfahren zur herstellung einer flachdruckform |
US4758497A (en) * | 1985-08-22 | 1988-07-19 | Polychrome Corporation | Photosensitive naphthoquinone diazide sulfonyl ester compounds for the fabrication of lithographic plates and photosensitive sheet construction with the compounds |
EP0293058B1 (de) * | 1987-05-28 | 1995-08-30 | Nippon Paint Co., Ltd. | Positiv arbeitende lichtempfindliche Harzzusammensetzung |
JP2551948B2 (ja) * | 1987-07-31 | 1996-11-06 | 三菱化学株式会社 | 感光性平版印刷版 |
US5200293A (en) * | 1989-02-23 | 1993-04-06 | Ciba-Geigy Corporation | Photoresist composition containing specific amounts of a naphthoquinone diazide sulfonyl ester of tetrahydroxy diphenyl sulfide and a polyhydroxy compound |
US5362597A (en) * | 1991-05-30 | 1994-11-08 | Japan Synthetic Rubber Co., Ltd. | Radiation-sensitive resin composition comprising an epoxy-containing alkali-soluble resin and a naphthoquinone diazide sulfonic acid ester |
EP0887182B1 (de) | 1996-04-23 | 2002-07-24 | Kodak Polychrome Graphics Company Ltd. | Wärmeempfindliche Zusammensetzung zur Herstellung eines lithographischen Druckformvorläufers |
US6228552B1 (en) * | 1996-09-13 | 2001-05-08 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Photo-sensitive material, method of forming a resist pattern and manufacturing an electronic parts using photo-sensitive material |
US6117610A (en) * | 1997-08-08 | 2000-09-12 | Kodak Polychrome Graphics Llc | Infrared-sensitive diazonaphthoquinone imaging composition and element containing non-basic IR absorbing material and methods of use |
US6063544A (en) * | 1997-03-21 | 2000-05-16 | Kodak Polychrome Graphics Llc | Positive-working printing plate and method of providing a positive image therefrom using laser imaging |
US6090532A (en) * | 1997-03-21 | 2000-07-18 | Kodak Polychrome Graphics Llc | Positive-working infrared radiation sensitive composition and printing plate and imaging method |
EP0996869A1 (de) | 1997-07-05 | 2000-05-03 | Kodak Polychrome Graphics LLC | Bilderzeugungsverfahren und strahlungsempfindliche materialen |
US6060217A (en) * | 1997-09-02 | 2000-05-09 | Kodak Polychrome Graphics Llc | Thermal lithographic printing plates |
US6221989B1 (en) * | 1998-05-14 | 2001-04-24 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Polymers and positive resist compositions |
JP2000347397A (ja) | 1999-06-04 | 2000-12-15 | Jsr Corp | 感放射線性樹脂組成物およびその層間絶縁膜への使用 |
US7255970B2 (en) * | 2005-07-12 | 2007-08-14 | Az Electronic Materials Usa Corp. | Photoresist composition for imaging thick films |
US9469941B2 (en) * | 2011-07-01 | 2016-10-18 | Empire Technology Development Llc | Paraben derivatives for preserving cellulosic materials |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1375461A (de) * | 1972-05-05 | 1974-11-27 | ||
US4139384A (en) * | 1974-02-21 | 1979-02-13 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Photosensitive polymeric o-quinone diazide containing lithographic printing plate and process of using the plate |
JPS55527A (en) * | 1978-06-16 | 1980-01-05 | Fuji Photo Film Co Ltd | Photosensitive planographic plate |
-
1982
- 1982-05-21 JP JP57085765A patent/JPS58203433A/ja active Granted
-
1983
- 1983-05-16 GB GB08313425A patent/GB2125177B/en not_active Expired
- 1983-05-17 DE DE19833317919 patent/DE3317919A1/de not_active Withdrawn
- 1983-05-23 US US06/497,282 patent/US4493884A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0546997A1 (de) * | 1991-12-10 | 1993-06-16 | OCG Microelectronic Materials Inc. | Strahlungsempfindliche Polymere |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB8313425D0 (en) | 1983-06-22 |
GB2125177A (en) | 1984-02-29 |
JPS58203433A (ja) | 1983-11-26 |
GB2125177B (en) | 1986-03-05 |
JPH0340378B2 (de) | 1991-06-18 |
US4493884A (en) | 1985-01-15 |
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