DE3307171C2

DE3307171C2 -

Info

Publication number: DE3307171C2
Application number: DE3307171A
Authority: DE
Inventors: Sachiko Osaka Jp Ihata
Original assignee: Nippon Tenshashi KK
Current assignee: Nippon Tenshashi KK
Priority date: 1982-03-02
Filing date: 1983-03-01
Publication date: 1990-11-08
Also published as: GB2166676A; GB2115322B; SE454148B; SE8600291L; JPS6214228B2; DE3307171A1; GB2115322A; GB8514819D0; FR2522691A1; FR2522691B1; MY100030A; MY100013A; US4456500A; SE8600291D0; HK77587A; SG39687G; HK77687A; JPS58151477A; GB2166676B; US4526589A

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Polierelements, bestehend aus einem Metallrohmaterial, das eine Mehrzahl von Vertiefungen hat, die in eine Oberfläche desselben eingeätzt sind und Schneidzähne bilden, deren Zahnoberseiten im wesentlichen in der Ebene der Metallroh materialoberfläche liegen, sowie Zahnflanken, die einen spitzen Winkel mit den Zahnoberseiten einschließen, wobei die die Schneidzähne aufweisende Oberfläche des Metallroh materials eine natürliche Rauhigkeit aufweist und gehärtet wird, umfassend

(a) Ablagern eines Photoresistfilms auf der Oberfläche des Metallrohmaterials,
(b) Anwenden einer Photomaske zum selektiven Abdecken von Teilen des Photoresistfilms,
(c) Entfernen von Teilen des Photoresistfilms, so daß dadurch unbedeckte freiliegende Teile der Metallroh materialoberfläche erhalten werden;
(d) Ätzen von Vertiefungen in den unbedeckten Teilen der Metallrohmaterialoberfläche durch Anwenden eines Ätzmittels, während das Metallrohmaterial und das Ätzmittel in physischer Bewegung relativ zueinander sind, so daß dadurch Schneidzähne ausgebildet werden, die Zahnoberseiten haben, die im wesentlichen in der Ebene der Metallrohmaterialoberfläche liegen, und Zahnflanken, welche wenigstens teilweise die jeweilige Vertiefung begrenzen, wobei der innere Winkel zwischen der Zahnoberseite und der Zahnflanke ein spitzer Winkel ist, und
(e) Entfernen der übrigen Teile des Photoresistfilms von dem Metallrohmaterial.

Ein Verfahren dieser Art ist aus der DE 25 10 626 A1 und der US-PS 30 45 321 bekannt, indem davon ausgegangen wird, daß die Metallrohmaterialoberfläche eine natürliche Rauhig keit aufweist, wie es beispielsweise bei der Oberfläche von gewalzten Stahlblechen - solange diese nicht geschliffen und poliert worden ist - der Fall ist.

Ein ähnliches Verfahren ist aus der US-PS 8 52 873 bekannt, wobei jedoch anstelle eines Photoresistfilms ein Firnisbelag verwendet wird, von dem Teile durch mechanische Bearbeitung entfernt werden.

Weiter ist es aus der US-PS 30 45 321 bekannt, das Polier element insgesamt zu härten.

Bei der natürlichen Rauhigkeit der Oberfläche von gewalzten Stahlplatten handelt es sich jedoch nur um eine partielle Rauhigkeit, d. h., daß solche gewalzten Stahlplatten auf Teilen ihrer Oberfläche nicht glatt sind, also nur Teile der Oberfläche einer solchen Stahlplatte rauh sind. Auf diese Weise ergibt sich, wenn man ein Metallrohmaterial nimmt, welches die natürliche Oberfläche von gewalzten Stahlplatten hat, infolge der nur partiellen Rauhigkeit dieser Ober fläche eine ungleichmäßige Polierwirkung eines so herge stellten Polierelements.

Weiterhin hat es sich bei Untersuchungen gezeigt, daß ein Abblättern des Photoresistfilms auftrat, wenn Platten ver wendet wurden, deren Oberfläche so belassen war, wie sie durch das Walzen erzeugt wurde, d. h., wenn Platten verwendet wurden, deren Oberfläche nicht künstlich und absichtlich für einen speziellen Zweck rauh gemacht worden war. Das bedeutet, daß mit den unbearbeiteten Platten, die natürliche Rauhigkeit besaßen, teilweise Polierelemente erhalten wurden, welche Unregelmäßigkeiten bezüglich der Schneidzähne, insbesondere an manchen Stellen keine Schneid zähne aufwiesen oder trotz eines regelmäßig vorgesehenen Musters nur unregelmäßig Schneidzähne besaßen. Diese Er scheinung trat, wie die Untersuchungen gezeigt haben, bei allen Platten mit natürlicher Rauhigkeit auf, unabhängig davon, wie rauh sie auch waren.

Ein anderer Nachteil der bekannten Verfahren besteht darin, daß Polierelemente hergestellt werden, die nur eine ver hältnismäßig beschränkte Polierleistungsfähigkeit haben. Wenn nämlich bei den bekannten Polierelementen sehr viele Schneidzähne vorgesehen sind, die einen großen Teil der Fläche des Polierelements bedecken, dann ergibt sich ein schlechtes Eindringen in die Oberfläche des zu polierenden Materials. Wenn dagegen nur verhältnismäßig wenige Schneid zähne pro Flächeneinheit vorgesehen sind, wie das bei dem Polierelement nach der DE-OS 23 00 611 der Fall ist, dann ergibt sich zwar ein verhältnismäßig gutes Eindringen der Schneidzähne in die Oberfläche des zu polierenden Materials, jedoch wirken dann nur die wenigen Schneidzähne beim Polier vorgang auf das zu polierende Material ein. In beiden Fällen ist also die Polierleistungsfähigkeit verhältnismäßig be schränkt, und zwar entweder dadurch, daß viele Schneidzähne da sind und die Polierleistungsfähigkeit durch das beschränkte Eindringen herabgesetzt wird, oder dadurch, daß wenige Schneidzähne vorgesehen sind, und die Polierleistungsfähig keit durch die geringe Zahl der Schneidzähne beschränkt wird. Selbst wenn man versucht, hier ein Optimum zu finden, wie das bei dem Verfahren nach der DE 25 10 626 A1 geschieht, ist diese Lösung nicht völlig zufriedenstellend.

Aufgabe der Erfindung ist es daher, ein Verfahren zum Her stellen eines Polierelements der gattungsgemäßen Art zur Verfügung zu stellen, das eine über die gesamte Oberfläche des Polierelements gleichmäßige Polierfähigkeit bei vergrößerter Polierleistungsfähigkeit besitzt und bei dessen Herstellung der Ausschuß an Polierelementen mit unregelmäßigen Schneidzähnen beträchtlich vermindert ist.

Diese Aufgabe wird bei dem gattungsgemäßen Verfahren erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Oberseite der Schneidzähne vor dem Härten zusätzlich rauh gemacht wird.

Wenn gemäß einer Weiterbildung des erfindungsgemäßen Verfahrens nur die rauhe schleifende Oberfläche gehärtet wird, ergibt sich eine weitere Vergleichmäßigung der Schleifwirkung, weil sich das Polierelement in seinem relativ weichen Zustand besser an die zu polierende Oberfläche anschmiegen kann.

Die Erfindung sei nachfolgend anhand von bevorzugten Ausführungs formen unter Bezugnahme auf die Fig. 1 bis 14 der Zeichnung näher erläutert, wobei in den verschiedenen Figuren der Zeichnung die gleichen Teile mit den gleichen Bezugszeichen versehen sind; in den Figuren der Zeichnung, die nicht not wendigerweise maßstabsgerecht sind, um besser die Prinzipien der Erfindung zu veranschaulichen, zeigen:

Fig. 1 bis 7 schematische Querschnittsansichten, die Ver fahrensschritte einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens darstellen, wobei das Metallrohmaterial der Fig. 1 eine zusätz lich zur natürlichen Rauhigkeit rauh gemachte Oberfläche hat;

Fig. 8 eine perspektivische Ansicht eines durch das Verfahren nach den Fig. 1 bis 7 hergestellten Polierelements, das eine Mehrzahl von im wesent lichen zylindrisch geformten Zähnen hat;

Fig. 9 eine perspektivische Ansicht eines durch das Verfahren nach den Fig. 1 bis 7 hergestellten Polierelements mit streifenförmigen Zähnen;

Fig. 10 eine perspektivische Ansicht eines durch das Verfahren nach den Fig. 1 bis 7 hergestellten Polierelements mit streifenförmigen Zähnen, die sich seitlich und vertikal schneiden und gekreuzt zueinander und einander durchsetzend verlaufen;

Fig. 11 eine teilweise vertikale Aufrißansicht eines durch das Verfahren nach den Fig. 1 bis 7 herge stellten Polierelements mit einer Mehrzahl von im wesentlichen zylinderförmigen Zähnen, das an einem Halter befestigt ist;

Fig. 12 eine Ansicht des Polierelements der Fig. 11 von unten;

Fig. 13 eine Aufrißansicht eines durch das Verfahren gemäß den Fig. 1 bis 7 hergestellten Polierelements, das an einer anderen Art von Halter angebracht ist, so daß es als Polierwerkzeug benutzt werden kann; und

Fig. 14 eine Ansicht des Polierwerkzeugs der Fig. 13 von unten.

Es sei nun näher auf die Figuren der Zeichnung eingegangen, und zwar zunächst auf die Fig. 1 bis 7, wonach ein Polier element dadurch hergestellt wird, daß man anfänglich ein Teil aus Metallrohmaterial 1 als Ausgangsmaterial wählt, und zwar kann dieses Metallrohmaterial 1 unter verschiedensten geeig neten Metallen ausgewählt werden, welche mittels eines Ätzmittels geätzt werden können. Die Form des Metallrohma terials 1 kann beispielsweise die einer Platte oder eines Blocks sein. Im Falle eines blockförmigen Rohmaterials kann das Rohmaterial z. B. entweder quadratisch oder rund sein. In dem in Fig. 1 gezeigten Beispiel wurde eine Stahlplatte als Metallrohmaterial 1 ausgewählt.

Das Metallrohmaterial 1 hat, wie in Fig. 1 veranschaulicht ist, eine zusätzlich rauh gemachte Oberfläche, so daß die Oberseite der durch das Verfahren ausgebildeten Schneidzähne 11 entsprechend rauh bleibt, wie in Fig. 7 gezeigt ist. Das im wesentlichen vollständig aus Metall bestehende Polierelement 10 erleichtert aufgrund seiner rauhen Oberfläche kritischere Polierarbeit.

Ein Photoresistfilm 2, der gegen Korrosion widerstands fähig ist, wird auf die Oberfläche des Metallrohmaterials 1, vorzugsweise durch Beschichten, aufgebracht, wie in Fig. 2 gezeigt ist. Es sei darauf hingewiesen, daß der später erhaltene schleifende Arbeitsbereich des Polierelements 10 nicht notwendig auf die eine Seite des Metallrohmaterials 1 beschränkt ist, sondern gewünschtenfalls auf mehr als einer Seite des Metallrohmaterials 1 ausgebildet werden kann. Zur Ver einfachung der Erläuterung der veranschaulichten Beispiele ist die schleifende Arbeitsoberfläche hier nur auf der Vorder seite (auf der oberen Seite) der als Metallrohmaterial 1 verwendeten Stahlplatte ausgebildet. Jedoch kann auch die Rückseite (die untere Seite) so bearbeitet werden, daß sie eine schleifende oder polierende Fläche hat.

Als nächstes wird der Photoresistfilm 2 einer "Vorbrenn"- Behandlung unterworfen. Danach wird ein Muster der in dem Metallrohmaterial 1 auszubildenden Schneidzähne 11 mit einer ent sprechenden Einrichtung, wie beispielsweise mit einer Mikro zeicheneinrichtung oder dergleichen, hergestellt, und dieses Muster wird verkleinert, um eine Präzisionsphotoplatte oder -photomaske herzustellen. Diese Photomaske 3 hat ein Muster von im wesentlichen lichtundurchlässigen Bereichen, die den im Metallrohmaterial 1 auszubildenden Schneidzähnen 11 entsprechen, und von im wesentlichen lichtdurchlässigen Bereichen, die sich zwischen den Schneidzähnen 11 befinden. Die Photomaske 3 wird dann über den Photoresistfilm 2 gelegt, um Bereiche des Photoresistfilms 2 während eines Belichtungs- und Entwicklungsschritts abzudecken, durch den nichtmaskierte Bereiche des Photoresistfilms 2 entfernt werden.

Der Photoresistfilm 2, der nach dem Entwicklungs prozeß auf dem Metallrohmaterial 1 geblieben ist, wird dann zum Zwecke des Nachbrennens behandelt. In dem Nach brennschritt wird eine Mehrzahl von Öffnungen 4, die posi tionsmäßig dem Muster der im wesentlichen licht durchlässigen Teile der Photomaske 3 entsprechen, in dem Photoresistfilm 2 ausgebildet, wie in Fig. 4 veranschaulicht ist, so daß dadurch freiliegende Teile 5 des Metall rohmaterials 1, die für das Ätzen bereit sind, ausgebildet werden.

Bei der vorstehend beschriebenen Ausführungsform wird ein sogenanntes Positivbildverfahren angewandt, in dem ein Photo resistfilm, dessen belichtete Teile nach dem Entwicklungs prozeß entfernt werden, zusammen mit einer entsprechenden Photomaske verwendet wird. Jedoch kann statt dessen auch ein anderes in weitem Umfange verwendetes Verfahren angewandt werden, nämlich ein Negativbildverfahren, in dem ein Photoresistfilm, bei dem im Gegensatz zum Positivbild verfahren die nichtbelichteten Teile nach dem Entwicklungs prozeß entfernt werden, zusammen mit einer entsprechenden Photomaske verwendet wird. Nach alledem ist es also erfor derlich, daß die Teile des Photoresistfilms, die entfernt werden, derart ausgewählt werden, daß die nicht entfernten Teile des Photoresistfilms den Schneidzähnen 11, 21, 31 des Polierelements 10, 20, 30 entsprechen, unabhängig davon, ob das Positivbildverfahren oder das Negativbildverfahren angewandt wird.

Während des Ätzens werden die freiliegenden Teile 5 des Metall rohmaterials 1 chemisch durch Anwendung eines Ätzmittels korrodiert. Bei dem Ätzvorgang tritt eine relative physische Bewegung zwischen dem Metallrohmaterial 1 und dem Ätzmittel auf. Die relative physische Bewegung des Metallroh materials 1 und des Ätzmittels bewirkt, daß das Ätzmittel tiefer in das Metallrohmaterial 1 durch Korrosion eindringt und erleichtert das seitliche Ätzen. Das bedeutet, daß die relative physische Bewegung das Hinterschneiden derjenigen Teile des Metallrohmaterials 1, die unter dem Photoresistfilm 2 liegen, erleichtert. Das Ätzen führt zu der Ausbildung von einer Mehrzahl von golf- oder buchtförmigen Vertiefungen 6 in dem Metallrohmaterial 1, wie sie in den Fig. 5 und 7 beispielsweise dargestellt sind. Eine golf- oder buchtförmige Vertiefung 6 ist eine bogenartige Vertiefung (und in einigen Ausführungsformen eine im wesentlichen halbovalförmige Vertiefung), die zwischen den Schneidzähnen 11 ausgebildet wird. Wie in den Figuren dargestellt ist, wird jeder Schneidzahn 11 durch die obere Oberfläche des Metallrohmaterials 1 und die bogenförmigen Konturen der benachbarten Vertiefungen 6 begrenzt. Eine Tangente an den Bogen der geätzten Vertiefungen 6 in der Nähe des Schnittpunkts der Vertiefung 6 mit der oberen geätzten Oberfläche des Metallrohmaterials 1 schneidet die Oberfläche des Metallrohmaterials 1 unter einem inneren Winkel α, der kleiner als 90° ist (siehe Fig. 7).

Die relative physische Bewegung des Metallrohmaterials 1 und des Ätzmittels kann in einer Reihe von Arten bewirkt werden. Zum Beispiel wird in einer Ausführungsform das Metall rohmaterial 1 mit seinen freiliegenden Teilen 5 in eine Wanne, einen Behälter o. dgl., die bzw. der mit Ätzmittel gefüllt ist, gelegt und eingetaucht, während das Metallroh material sowohl seitlich als auch vertikal bewegt wird. In einer anderen Ausführungsform wird Ätzmittel auf ein Metall rohmaterial 1 und dessen freiliegende Teile 5 gesprüht. Nach Fig. 6 wird beispielsweise das Metallrohmaterial 1 mit dessen freiliegenden Teilen 5 um seine Achse A (die vorliegend senkrecht zu der behandelten Oberfläche verläuft) rotiert, während das Ätzmittel von einer ortsfesten Düse B auf die freiliegenden Teile 5 gesprüht wird. Das Ätzmittel wird gleichmäßig auf die freiliegenden Teile 5 gesprüht, während das Metallrohmaterial 1 sich dreht, was zur Ausbildung der golf- oder buchtförmigen Vertiefungen 6 durch den Ätzvorgang führt.

Alternativ wird das Metallrohmaterial 1 in einer anderen Ausführungsform ortsfest gehalten, während die Düse B bewegt wird. Eine andere Alternative besteht darin, daß sowohl die Düse B als auch das Metallrohmaterial 1 rotiert werden. In einer noch anderen Alternative ist eine Mehrzahl von sich drehenden Düsen B vorgesehen, und das Metall rohmaterial 1 bleibt ortsfest, so daß die gesamte Ober fläche des Metallrohmaterials 1 einschließlich der frei liegenden Teile 5 besprüht wird.

Nach Vollendung des Ätzvorgangs wird der übrige Photoresist film 2 mittels konventioneller Techniken entfernt.

Die obigen Schritte des beschriebenen Verfahrens führen zur Ausbildung von jeweils erhabenen Schneidzähnen 11 zwischen benach barten golf- oder buchtförmigen Vertiefungen 6, wie in Fig. 7 veranschaulicht ist. Infolgedessen wird ein metallisches Polierelement 10 erhalten, das eine Mehrzahl von Schneidzähnen 11 hat.

Die Schneidzähne 11 auf dem Polierelement 10 haben flache Oberseiten, jedoch sind die Zahnflanken 12 gekrümmt wie ein Bogen, wie oben beschrieben. Die Schneidkante der Zahnflanke 12 ist an der Grenzlinie oder an der Schnittlinie zwischen der Zahnoberseite und der Zahnflanke 12 ausgebildet. Der Winkel α zwischen der Zahnoberseite und der Zahnflanke 12 (siehe Fig. 7) ist ein spitzer Winkel. Vorzugsweise liegt der Winkel α im Bereich von 40 bis 70°.

Die Schneidzähne 11, 21 und 31 können in einer Vielzahl von gewünschten Formen und Mustern ausgebildet und angeordnet sein. Die Fig. 7 und 8 veranschaulichen ein Polierelement 10, das im wesentlichen kreisförmige Schneidzähne 11 hat. Die Schneidzähne 11 wurden unter Verwendung einer Photomaske ausgebildet, die eine Mehrzahl von Kreisen hatte, welche in vorgegebenen Abständen angeordnet waren, um ein Metallrohteil 1 aus Stahl zu bedecken, das eine Dicke T (im Ausführungsbei spiel war T gleich 0,5 mm) hatte. Im vorliegenden Beispiel hatte der maximale Zahndurchmesser D eine Größe von 0,13 mm; die Zahnhöhe H betrug 0,13 mm, und der Winkel α betrug 70°.

Die Fig. 9 veranschaulicht ein im wesentlichen vollständiges metallisches Polierelement 20, das aus einer Metallplatte hergestellt ist und Schneidzähne 21 in der Form von erhabenen Streifen hat.

Ein im wesentlichen vollständiges metallisches Polierelement 30, wie es in Fig. 10 dargestellt ist, ist auch aus einer Stahlplatte hergestellt. Das Polierelement der Fig. 10 hat Schneidzähne 31, die von erhabenen Zahnstreifen gebildet sind, welche sowohl quer als auch vertikal verlaufen, so daß sie einander durchsetzen. Die oberen Flächen der erhabenen Zahnstreifen durchsetzen einander. Im Gegensatz jedoch zu üblichen Feilen ist keine Vertiefung an den Stellen vorhanden, an denen sich die Zahnstreifen durchsetzen und schneiden.

Es sei darauf hingewiesen, daß viele Muster von Schneidzähnen in dem Metallrohmaterial 1 ausgebildet werden können, und daß die Anzahl und die Arten solcher Muster nicht auf die hier erwähnten Muster beschränkt sind. Außerdem braucht das Metall rohmaterial 1 nicht notwendigerweise Platten- bzw. Blech form zu haben. Es können z. B. auch quadratische, runde oder blockförmige Metallrohmaterialien 1 verwendet werden. In einigen Ausführungsformen sind die Schneidzähne 11, 21, 31 sogar auf einer Ober fläche eines blockförmigen Metallrohmaterials ausgebildet, das mittels eines Halters gegriffen oder eingespannt oder mit einem Halter vereinigt wird.

In Abhängigkeit von seiner Dicke kann ein plattenförmiges Polierelement 10, 20, 30 eine genügende Steifigkeit haben, um bei einem Poliervorgang ohne die Notwendigkeit eines Trägers oder Halters benutzt zu werden. Ein Polierelement 10, 20, 30 kann natürlich selbst dann, wenn es für sich allein genügende Steifigkeit hat, auch an einem Halter befestigt werden. Die Formen der ver wendbaren Halter können je nach der Art des zu bearbeitenden Werkstücks oder der zu bearbeitenden Stelle eines Werkstücks variieren.

Wenn das Polierelement 10, 20, 30 in Verbindung mit einem Halter verwendet werden soll, dann wird es zu einer angemessenen Abmessung zugeschnitten und druckgeformt, so daß es leicht an dem Halter befestigt werden kann. Die Befestigung kann mittels verschiedenster Verfahren erfolgen. Zum Beispiel zeigen die Fig. 11 und 12 ein Polierwerkzeug 40, bei dem ein plattenförmiges Polierelement 10 an einem Halter 41 unter Ver wendung von Schrauben 42 befestigt ist. Das Polierwerkzeug 40 ist ideal für das Polieren einer großen ebenen Fläche.

Die Fig. 13 und 14 zeigen ein Polierwerkzeug 50, das für enge Ecken brauchbar ist. Demgemäß ist das Polierelement 10 hier dreieckförmig, und die Spitze des Polierelements 10 ist umgebogen, so daß sie an einem Haken 52 oder in einer Ausnehmung des Halters 51 befestigt werden kann. Der rückwärtige Teil des Polierelements 10 ist mit einer Schraube 53 befestigt.

Wie oben angegeben, können die Formen des Polierwerkzeugs in Abhängigkeit von dem Zweck des Polierwerkzeugs geändert werden. Zum Beispiel kann ein zylindrischer Halter mit einem Polierelement umwickelt sein, so daß damit die Innenseite eines Lochs oder einer Bohrung poliert werden kann.

In verschiedenen Ausführungsformen können plattenförmige Polierelemente an Haltern befestigt sein, die Oberflächen haben, welche entweder erhaben oder vertieft sind. Die Polierelemente können auch druckgeformt sein, so daß dadurch Erhebungen oder Vertiefungen ausgebildet werden, welche eine einfachere Polierarbeit auf gekrümmten Oberflächen erleichtern.

Weiterhin kann zum groben Polieren ein Polierelement an einem Halter befestigt werden, das entweder erhabene oder ver tiefte Oberflächen oder beides hat; oder ein plattenförmiges Polierelement kann derart druckgeformt werden, daß eine erhabene oder vertiefte Oberfläche erzeugt wird.

Die Steifigkeit der Schneidzähne eines Polierelements wird verbessert, durch die zur Härtung vorgesehene Wärmebehandlung für die Oberfläche, auf der die Schneidzähne aus gebildet sind. Eine verbesserte Zahnsteifigkeit ergibt eine längere Lebensdauer und eine bessere Qualität des Polierelements. Weiter kann eine Wärmebehandlung als ein Abschreckungshärtungsvorgang nur auf den Oberflächen teil des Metallrohteils, auf dem die Schneidzähne ausgebildet werden oder sind, angewandt werden. Insofern, als ein Härten nur auf den Oberflächenteil des Polier elements angewandt wird, ergibt sich keine Schwierigkeit, wenn das Polierelement gebogen wird, um es einem Halter anzu passen, wie er beispielsweise in den Fig. 11 bis 14 gezeigt ist. Auf diese Weise kann das Polierelement nach dem Härten verschiedene Formen annehmen und einer Deformation unterworfen werden. Natürlich ist es gewünschtenfalls möglich, anstat nur den Oberflächenteil zu härten, auch den gesamten Teil des Polierelements zu härten, nachdem der Vorgang des Formens vollendet ist.

Wie oben beschrieben, wird ein Verfahren zum Herstellen von einem in hohem Maße wirksamen Polierelement zur Verfügung gestellt. Die Art und Weise der Durchführung des Verfahrens hat verschiedene Vorteile:

Dadurch, daß in dem Verfahren ein Metallrohmaterial verwendet wird, das eine zusätzlich rauh gemachte Fläche hat, bleibt die Oberseite der Schneidzähne, die auf dem Metallrohmaterial ausgebildet werden, rauh. Für viele Arbeiten wird dadurch, daß eine rauhe Fläche vorgesehen ist, die Polierleistungsfähigkeit verbessert.

Ein Polierelement mit Schneidzähnen von verbesserter Härte wird in der Weise bevorzugt ausgebildet, daß nur die Bearbeitungsoberfläche, auf der die Schneidzähne ausgebildet sind, wärmebehandelt wird. Gehärtete Schneidzähne bringen eine längere Lebensdauer und eine überragende Qualität des Polierelements. Das Polierelement kann nach der Wärme behandlung zu einer gewünschten Form gebogen oder einer gewünschten Form angepaßt werden.

Die Polierleistungsfähigkeit wird dadurch verbessert, daß die Oberseite der Schneidzähne rauh gemacht und nur die rauhe schleifende Oberfläche gehärtet wird.

Claims

1. Verfahren zum Herstellen eines Polierelements (10, 20, 30), bestehend aus einem Metallrohmaterial (1), das eine Mehrzahl von Vertiefungen (6) hat, die in eine Oberfläche desselben eingeätzt sind und Schneidzähne (11, 21, 31) bilden, deren Zahnoberseiten im wesentlichen in der Ebene der Metall rohmaterialoberfläche liegen, sowie Zahnflanken (12), die einen spitzen Winkel (α) mit den Zahnoberseiten ein schließen, wobei die die Schneidzähne (11, 21, 31) aufweisende Oberfläche des Metallrohmaterials (1) eine natürliche Rauhigkeit aufweist und gehärtet wird, umfassend

(a) Ablagern eines Photoresistfilms (2) auf der Oberfläche des Metallrohmaterials (1),
(b) Anwenden einer Photomaske (3) zum selektiven Abdecken von Teilen des Photoresistfilms (2),
(c) Entfernen von Teilen des Photoresistfilms (2), so daß dadurch unbedeckte freiliegende Teile (5) der Metall rohmaterialoberfläche erhalten werden;
(d) Ätzen von Vertiefungen (6) in den unbedeckten Teilen (5) der Metallrohmaterialoberfläche durch Anwenden eines Ätzmittels, während das Metallrohmaterial (1) und das Ätzmittel in physischer Bewegung relativ zueinander sind, so daß dadurch Schneidzähne (11, 21, 31) ausgebildet werden, die Zahnoberseiten haben, welche im wesentlichen in der Ebene der Metallrohmaterial oberfläche liegen, und Zahnflanken (12), welche wenigstens teilweise die jeweilige Vertiefung (6) begrenzen, wobei der innere Winkel (α) zwischen der Zahnoberseite und der Zahnflanke (12) ein spitzer Winkel ist,
(e) Entfernen der übrigen Teile des Photoresistfilms (2) von dem Metallrohmaterial (1),

dadurch gekennzeichnet, daß die Oberseite der Schneidzähne (11, 21, 31) vor dem Härten zusätzlich rauh gemacht wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekenn zeichnet, daß nur die rauhe schleifende Oberfläche gehärtet wird.