DE3222680C2 - Tintenstrahlkopf und Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Tintenstrahlkopf gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 und ein Verfahren zu seiner Herstellung gemäß dem Patentanspruch 4.

Ein in einem Tintenstrahlaufzeichnungssystem verwendeter Tintenstrahlkopf besitzt im allgemeinen sehr kleine Tintenaustrittsöffnungen, die Durchmesser zwischen etwa einige 10 µm bis 100 µm besitzen. Hierbei umfaßt ein derartiger Tintenstrahlkopf mindestens einen mit einem Tintenausstoßelement versehenen Flüssigkeitskanal, der eine Tinteneinlaßöffnung mit einer Tintenauslaßöffnung verbindet. Um die zuvor beschriebenen kleinen Durchmesser der Austrittsöffnungen zu erzeugen, sind mehrere Verfahren bekannt.

So beschreibt beispielsweise die US-PS 42 29 265 ein Verfahren zur Herstellung einer mit den Austrittsöffnungen versehenen metallischen Lochplatte, wobei hierbei unter Zuhilfenahme eines im wesentlichen als Füllmaterial dienenden Fotoresists ein Plattierungsverfahren zur Anwendung gelangt.

Weiterhin wird in der FR 24 48 979 A1 ein Verfahren zur Herstellung von Lochplatten mit Austrittsöffnungen vorgeschlagen, bei dem diese Austrittsöffnungen in einer Kunststofflochplatte beispielsweise auf elektrochemischem Wege oder durch chemische Gravur erzeugt werden.

Ein Tintenstrahlkopf mit den Merkmalen des Oberbegriffs des Patentanspruchs 1 ist aus der DE 29 43 164 A1 zu entnehmen. Hierbei wird die Tintenauslaßöffnung des Flüssigkeitskanals durch eine dreidimensional polymerisierbare Kunstharzflüssigkeit derart abgedeckt, daß sich kleine Mengen der Harzflüssigkeit an den Umfangswandungen der Tintenauslaßöffnung unter Ausbildung der im Durchmesser verkleinerten Austrittsöffnung ablagern.

In der nicht veröffentlichten DE-OS 31 08 206 wird ein Tintenstrahlkopf und ein Verfahren zu seiner Herstellung beschrieben, bei dem in einer auf eine Fläche eines Substrats aufgebrachten Schicht aus einer photoempfindlichen Masse durch Maskierungstechnik eine Nut oder Nuten zur Bildung von Tintenströmungsbahnen gebildet werden.

Bei den zuvor beschriebenen Tintenstrahlköpfen besteht die Gefahr, daß die Dimensionen der Austrittsöffnungen und deren Ausrichtung auf die Tintenkanäle beträchtlich variieren können, wodurch eine störungsfreie Funktionsweise, insbesondere auch das Geradflugverhalten der Tintentröpfchen im Dauerbetrieb, in Frage gestellt ist.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen Tintenstrahlkopf zur Verfügung zu stellen, bei dem die Austrittsöffnungen auf einfache Weise ausbildbar sind und die darüber hinaus eine hohe Präzision aufweisen und ein Verfahren anzugeben, das die Fertigung eines solchen Tintenstrahlkopfes mit der erforderlichen Präzision ermöglicht.

Die Aufgabe wird durch einen Tintenstrahlkopf gemäß den Merkmalen des Patentanspruchs 1 bzw. durch ein Verfahren gemäß Patentanspruch 4 gelöst.

Das erfindungsgemäße Verfahren weist eine Reihe von Vorteilen auf. So lassen sich hiermit Tintenstrahlköpfe herstellen, deren Austrittsöffnungen sich durch eine besonders hohe Präzision auszeichnen, so daß die hieraus ausgestoßenen Tintentröpfchen ein sehr gutes Geradflugverhalten zeigen. Auch bilden sich an den nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten Austrittsöffnungen keine unerwünschten Tintenlachen aus, so daß ein derartiger Tintenstrahlkopf auch über einen längeren Zeitraum störungsfrei betrieben werden kann.

Ergänzend zu dem eingangs beschriebenen Stand der Technik wird noch auf die DE 19 17 294 A1 verwiesen. In dieser Veröffentlichung wird allgemein ein Verfahren zur Herstellung von dickschichtigen Abbildungen von flächigen oder räumlichen Vorlagen beschrieben, bei dem eine Fläche eines Tragkörpers unter anderem auch mit einem fotopolymerisierbaren Kunststoff beschichtet wird. Anschließend wird die Vorlage auf der beschichteten Fläche derart abgebildet, daß der Kunststoff unterschiedlich belichtet wird, wodurch dieser auch unterschiedlich polymerisiert. Hiernach werden die nicht polymerisierten Flächen unter Ausbildung der gewünschten dickschichtigen Abbildung mit einem geeigneten Lösungsmittel entfernt. Nach einem derartigen Verfahren können beispielsweise dekorative Strukturen, Druckstöcke o. dgl hergestellt werden. Die spezielle Anwendung eines derartigen Verfahrens zur Herstellung eines Tintenstrahlkopfes geht jedoch nicht aus der DE 19 17 294 A1 hervor.

Vorteilhafte Weiterbildungen des erfindungsgemäßen Tintenstrahlkopfes und des Verfahrens gehen aus den Unteransprüchen hervor.

Nachstehend werden anhand schematischer Zeichnungen mehrere Ausführungsbeispiele der Erfindung näher erläutert. Es zeigen

Fig. 1 und 2 schematische perspektivische Ansichten zur Darstellung von Einzelteilen bzw. Teilabschnitten einer Ausführungsform des beanspruchten Tintenstrahlkopfes,

Fig. 3, 4, 6 und 7 jeweils schematische Schnittansichten zur Darstellung von Einzelteilen bzw. Teilbereichen einer Ausführungsform des beanspruchten Tintenstrahlkopfs,

Fig. 5 eine perspektivische Ansicht des Tintenstrahlkopfes.

Die Fig. 1 bis 4 zeigen schematische Ansichten zur Veranschaulichung einer Ausführungsform des Tintenstrahlkopfs sowie dessen Fertigungsstufen bzw. Herstellungsschritte.

Wie in Fig. 1 dargestellt ist, werden zunächst auf einem geeigneten Substrat bzw. auf einer geeigneten Trägerschicht 1 aus einem Glasmaterial, einem keramischen Werkstoff, einem Kunststoff oder einem metallischen Werkstoff Tintenausstoßelemente 2, wie z. B. wärmeerzeugende Elemente, piezoelektrische Elemente und dergleichen, in einer erwünschten Anzahl (zwei in den Zeichnungen) angeordnet. Das Substrat 1 wird dann mit einer weiteren Platte 3, die Nuten für die Tintenflüssigkeitskanäle aufweist, zur Herstellung eines Tintenstrahlkopfes 4 verbunden. In den Zeichnungen werden durch die Bezugszeichen 5-1 und 5-2 jeweils Tintenauslaßöffnungen im Tintenstrahlkopf 4 bezeichnet. Wenn als Tintenausstoßelemente 2 wärmeerzeugende Elemente verwendet werden, wird der Tintenausstoßdruck erzeugt, indem die Tinte in der Nachbarschaft dieser Elemente erwärmt wird. Wenn andererseits piezoelektrische Elemente verwendet werden, wird der Tintenausstoßdruck durch mechanische Verformung oder durch Schwingungsbewegungen dieser Elemente erzeugt. Ferner sind (in der Zeichnung nicht dargestellte) Elektroden für den Signaleingang an diese Elemente 2 angeschlossen.

Dann wird, wie dies in Fig. 2 gezeigt ist, nachdem die Stirnoberfläche auf der mit den Öffnungen versehenen Seite des Tintenstrahlkopfes 4 gereinigt und getrocknet worden ist (während dieses Vorgangs kann diese Stirnoberfläche ggf. aufgerauht werden), ein trockener in Form eines Films vorliegender Fotoresist 6 (Filmdicke: etwa 25 µm bis 100 µm), der auf eine Temperatur von ca. 80°C bis 105°C erwärmt worden ist, mit einer Geschwindigkeit von 0,00254 bis 0,02032 m/s unter Druckeinwirkung mit der Stirnoberfläche verbunden, wobei die Druckeinwirkung im Bereich von 9,81×10⁴-2,943×10⁵ Pa erfolgt. Der trockene in Form eines Films vorliegende Fotoresist 6 wird dadurch teilweise in einem Anschmelzverbindungszustand fixiert, so daß er unter keinen Umständen mehr vom Tintenstrahlkopf 4 abgeschält bzw. abgelöst werden kann, selbst wenn auf ihn ein beträchtlicher Außendruck einwirkt.

Nachfolgend wird, wie dies in Fig. 3 dargestellt ist, eine Fotomaske 7, die Maskenabdeckauflagen 7a und 7b besitzt, die den Austrittsöffnungen mit einer gewünschten Formgebung entsprechen, auf den trockenen, in Form eines Films vorliegenden Fotoresist 6 derart gelegt, daß er an der Stirnoberfläche der mit den Tintenauslaßöffnungen versehenen Seite des Tintenstrahlkopfes 4 befestigt ist, wonach Licht auf die Maske 7 geworfen wird. Da die Abdeckauflagen 7a und 7b kein Licht durchtreten lassen, wird der trockene Fotoresist 6 in der durch diese Abdeckauflagen 7a und 7b abgedeckten Gegend keiner Belichtung ausgesetzt. Während dieses Vorgangs wird auf konventionelle Art und Weise eine exakte Positionierung durchgeführt, so daß die Zentren der Maskenauflagen 7a und 7b mit den jeweiligen Zentren der Austrittsöffnungen 5-1 und 5-2 des Tintenstrahlkopfes 4 zusammenfallen können. Der Bereich außerhalb der Abschnitte, die den Auflagen 7a und 7b entsprechen, d. h., der der Belichtung ausgesetzte Fotoresist 6 nimmt, wenn er der oben beschriebenen Belichtung ausgesetzt ist, an einer Polymerisation teil, so daß er aushärtet, wodurch er für ein Lösungsmittel unlöslich gemacht wird. Andererseits bleibt der Bereich des Fotoresists 6, der dem Licht nicht ausgesetzt wurde und somit nicht ausgehärtet ist, für ein Lösungsmittel löslich. Nach einem derartigen Belichtungsvorgang wird der trockene Fotoresist 6 in ein flüchtiges organisches Lösungsmittel, wie z. B. Trichlorethan, eingetaucht, um den nicht polymerisierten (nicht gehärteten) Fotoresist 6 wegzulösen, wodurch im gehärteten Fotoresist 6 H Austrittsöffnungen 8-1 und 8-2 (Fig. 4) gebildet werden, die den Auflagen 7a nund 7b entsprechen. Um die Lösungsmittelbeständigkeit des ausgehärteten Fotoresists 6 H, der an der Stirnoberfläche der mit den Öffnungen versehenen Seite des Tintenstrahlkopfes 4 verbleibt, zu verbessern, wird der Fotoresist einem weiteren Aushärtungsverfahren unterzogen. Ein derartiger Aushärtevorgang kann entsprechend einer Wärme-Polymerisation (Wärmebehandlung bei 130°C bis 160°C während einer Zeitspanne von ca. 10 bis 60 min), einer Bestrahlung mit UV-Strahlen oder einer Kombination dieser beiden Behandlungsarten durchgeführt werden. Die durch den der Lochplatte entsprechenden ausgehärteten Fotoresistfilm 6 H geformten Austrittsöffnungen 8-1 und 8-2 können jede gewünschte Querschnittsform aufweisen, so daß sie beispielsweise kreisförmige, quadratische oder dergleichen Umrißformen erhalten. Die Querschnittsgestaltungen der Austrittsöffnungen 8-1 und 8-2 in Längsrichtung können ebenso frei nach Wunsch variiert werden, so daß beispielsweise eine Querschnittsform erzeugt werden kann, die sich in Tintenausstoßrichtung verjüngt, oder alternativ dazu eine Querschnittsform geschaffen werden kann, die sich zur Spitze hin erweitert, oder auch eine geradlinige Querschnittsform erzeugt werden kann.

Bei einer tatsächlichen Verwirklichung der oben beschriebenen Ausführungsform wurden die Austrittsöffnungen 8-1 und 8-2 für den Fall, daß die Maskenauflagen 7a und 7b kreisförmig mit einem Durchmesser von 60 µm ausgeführt waren, tatsächlich durch den ausgehärteten Fotoresist 6 H (mit der Dicke von 50 µm) mit einer Genauigkeit von etwa ±5 µm geformt. Zum Vergleich wurden dieselben Austrittsöffnungen auf einer Silicium-Flachplatte im Ätzverfahren hergestellt, wobei man nur Genauigkeiten von etwa ±15 µm erreichte.

Die Lageabweichung zwischen den Tintenauslaßöffnungen 5-1, 5-2 und den Austrittsöffnungen 8-1 und 8-2 lag bei diesem Ausführungsbeispiel bei etwa ±5 µm, wohingegen die Lageabweichung bei dem bekannten Ätzverfahren nicht geringer als ±30 µm war. Dies wiederum führt dazu, daß der erfindungsgemäße Tintenstrahlkopf im Vergleich zu dem bekannten Tintenstrahlkopf eine etwa 5mal größere Tintenstrahlaufbauungsgenauigkeit besitzt.

Im Folgenden wird auf die Fig. 1, 2 und 5 bis 7 Bezug genommen, anhand derer eine weitere Ausführungsform beschrieben wird.

Wie bereits oben beschrieben, wird nach Beendigung des in Fig. 2 gezeigten Vorbereitungsschritts auf den an der Stirnoberfläche der mit den Auslaßöffnungen versehenen Seite gemäß der Darstellung in Fig. 5 des Tintenstrahlkopfes 4 fixierte Trockenfilm-Fotoresist 6 eine Fotomaske 17 aufgelegt, die den Austrittsöffnungen von erwünschter Formgebung entsprechende Abdeckauflagen 17a und 17b und eine maschenförmige Auflage 17c um diese Maskenauflagen herum besitzt, wonach auf die Maske 17 (wie in Fig. 6 gezeigt) Lichtstrahlen gerichtet werden. Da die oben angesprochenen Auflagen 17a, 17b und 17c kein Licht durchtreten lassen, wird der Fotoresist in den Bereichen, die durch diese Auflagen 17a, 17b und 17c abgedeckt sind, der Belichtung nicht ausgesetzt. Vor der Belichtung wird auf konventionelle Art und Weise eine exakte Positionierung durchgeführt, so daß die Zentren der Maskenabdeckauflagen 17a und 17b mit den jeweiligen Zentren der Tintenauslaßöffnungen 5-1 und 5-2 des Tintenstrahlkopfes 4 zusammenfallen. Der Fotoresist 6 ist in dem durch die maschenförmige Auflage 17c abgedeckten Bereich nicht vollkommen abgedeckt und folglich schwacher Belichtung ausgesetzt. Ferner sind die Umfangsbereiche der den Austrittsöffnungen entsprechenden Auflagen 17a und 17b so angeordnet, daß sie in ringförmiger Gestalt belichtet werden können, wie dies in der Zeichnung dargestellt ist. Dies erfolgt deshalb, weil die Umfangs- bzw. Randabschnitte selbst der Austrittsöffnungen ansonsten während des nachfolgenden Entwicklungs-Behandlungsschritts (Auflösen des nicht ausgehärteten Resists) aufgerauht werden würden, wodurch das Geradflug-Verhalten der ausgestoßenen Tintentröpfchen in unerwünschter Weise verschlechtert werden würde.

Der Bereich außerhalb der Auflagen 17a und 17b, d. h. der der Belichtung ausgesetzte Fotoresist 6, nimmt, wenn er der oben beschrieben Belichtung ausgesetzt wird, an einer Polymerisationsreaktion teil, wodurch er gehärtet wird, so daß er in einem Lösungsmittel unlöslich ist. Andererseits wird der dem Licht nicht ausgesetzte Fotoresist 6 nicht gehärtet und bleibt in einem Lösungsmittel löslich. Nach einem derartigen Belichtungsvorgang wird der Fotoresist 6 in ein flüchtiges organisches Lösungsmittel, beispielsweise in Trichlorethan, eingetaucht, um den nicht polymerisierten (nicht gehärteten) Fotoresist abzulösen, wodurch im ausgehärteten Fotoresistfilm 16 H den Auflagen 17a und 17b entsprechende Austrittsöffnungen 18-1 und 18-2 sowie eine mit feinen Unebenheiten versehene Oberfläche 19 (Fig. 7) gebildet werden. Um die Lösungsmittelbeständigkeit des verbleibenden gehärteten Fotoresistfilms 16 H anzuheben, wird er einem weiteren Aushärteprozeß unterzogen. Ein derartiger Aushärteprozeß kann gemäß einer Wärmepolymerisation (Wärmebehandlung bei 130°C bis 160°C mit einer Behaldungsdauer von etwa 10 bis 60 min), einer Bestrahlung mit UV-Strahlen oder einer Kombination dieser beiden Verfahren durchgeführt werden.

Die in den der Lochplatte entsprechenden ausgehärteten Fotoresistfilm 16 H eingeformten Austrittsöffnungen 18-1 und 18-2 können jede beliebige (nicht gezeigte) Querschnittsgestaltung aufweisen. Sie können beispielsweise kreisförmige, quadratische oder dergleichen Randkonturen aufweisen. Auch die Querschnittsgestaltungen der Austrittsöffnungen 18-1 und 18-2 in Längsrichtung können frei nach Wunsch variiert werden; so kann diese Querschnittsform so ausgebildet werden, daß sie sich in Tintenausstoßrichtung verjüngt oder alternativ dazu zur Spitze hin erweitert; die Querschnittsform kann auch geradlinig durchgehend gestaltet sein.

Bei einer Realisierung der beschriebenen Ausführungsform konnten die tatsächlich durch den ausgehärteten Fotoresistfilm 16 H (Dicke von 50 µm) geformten Austrittsöffnungen 18-1 und 18-2 unter Verwendung von kreisförmigen Maskenabdeckauflagen 17a und 17b mit Durchmessern von 60 µm mit einer Genauigkeit von etwa ±5 µm erhalten werden. Zum Vergleich betrug die Genauigkeit etwa ±15 µm, wenn dieselben Austrittsöffnungen im oben beschriebenen Ausführungsbeispiel im Ätzverfahren auf einer Silicium- Flachplatte ausgebildet wurden.

Die Lageabweichung zwischen den Tintenauslaßöffnungen 5-1 und 5-2 und den Austrittsöffnungen 18-1 und 18-2 lag bei etwa ±15 µm, wohingegen die Lageabweichung bei bekannten Tintenstrahlköpfen nicht unter ±30 µm gehalten werden konnte. Dies wiederum führt dazu, daß die Strahlaufbringungsgenauigkeiten der Tintenstrahlköpfe im Vergleich zu den Tintenstrahlköpfen des Standes der Technik etwa 5mal größer ist.

Darüber hinaus kann das Maß der auf der Oberfläche der Lochplatte ausgebildeten Unebenheit, d. h. der Rauhigkeitsgrad, in bemerkenswerter Weise frei abhängend von der Maschenweite der netzartigen Auflage 17c (in Fig. 5) gesteuert werden (indem die Dosierung der Belichtung gesteuert wird). Eine derartige Maske für das Aufrauhen der Oberfläche einer Lochplatte ist nicht auf die maschenähnliche Maske beschränkt, wie sie im oben beschriebenen Ausführungsbeispiel verwendet wird, sondern es können vielmehr auch Masken verwendet werden, deren Muster von Radiallinien oder Parallellinien gebildet werden.

Der Trockenfilm-Fotoresist, wie er in jedem der oben beschriebenen Ausführungsbeispiele verwendet wird, ist ein fotoempfindliches Kunstharz, das in der vorliegenden Erfindung verwendet wird, weil es einerseits einfach zu handhaben ist und weil andererseits seine Dicke einfach und genau kontrolliert werden kann. Als derartige Filmarten können handelsübliche fotoempfindliche Kunstharze dienen.

Wie oben beschrieben führt die vorliegende Erfindung zu einer Anzahl von vorteilhaften Effekten, die nachstehend zusammengefaßt noch einmal aufgelistet werden:

• 1) Da die Austrittsöffnungen mit äußerst hoher Abmessungsgenauigkeit aus dem gleichen Material gebildet sind, ergibt sich ein exzellentes Geradflugverhalten des Tröpfchenausstoßes, wobei die Größe der Tintentröpfchen vereinheitlicht wird.
• 2) Die Stirnoberfläche der mit den Austrittsöffnungen versehenen Lochplatte wird rauh gemacht, so daß eine gleichmäßige Benetzbarkeit für Tinte geschaffen wird, wodurch sich der Vorteil ergibt, daß sich eine Tintenlache um die Öffnungen herum nicht bilden kann und somit die Geradflug- Charakteristik der Tintentröpfchen selbst nach längerer Betriebsdauer stabilisiert ist.
• 3) Da eine Vielzahl von Austrittsöffnungen mit den gleichen Dimensionen und der gleichen Gestaltung gleichzeitig ausgebildet werden, können auf einfache Weise mehrreihige Tintenstrahlköpfe mit hoher Austrittsöffnungsflächendichte mit großer Wirtschaftlichkeit hergestellt werden.
• 4) Die Austrittsöffnungen können mit der erwünschten Formgebung hergestellt werden, die von der aufzubringenden Fotomaske abhängt.
• 5) Da das Eigenhaftvermögen eines fotoempfindlichen Kunstharzes ausgenützt wird, ist es nicht erforderlich einen Klebstoff zu verwenden. Deshalb besteht auch nicht die Gefahr, daß die Tintenflüssigkeitskanäle oder die Auslaßöffnungen verstopfen, wenn der Klebstoff während der Herstellung in die Tintenflüssigkeitskanäle oder Tintenauslaßöffnungen fließt.
• 6) Die Lagezuordnung zwischen dem Tintenstrahlkopf und den geformten Austrittsöffnungen kann exakt und einfach realisiert werden.
• 7) Da kein Ätzmittel (starke Säuren wie z. B. Flußsäure oder dergleichen) erforderlich ist, ergibt sich ferner ein Vorteil hinsichtlich der Sicherheit und Hygiene.

Claims (11)

1. Tintenstrahlkopf mit einem ein Tintenausstoßelement beinhaltenden, sich zwischen einer Tinteneinlaßöffnung und einer an der Oberfläche des Tintenstrahlkopfes vorgesehenen Tintenauslaßöffnung erstreckenden Tintenkanal, wobei die Tintenauslaßöffnung durch eine Kunstharzschicht abgedeckt ist, in die eine Austrittsöffnung eingebracht ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Kunstharzschicht (6) in Form einer Platte aus einem gehärteten, photoempfindlichen Harz vorliegt, die eine Austrittsöffnung (8-1, 8-2; 18-1, 18-2) in Richtung der Dicke der Platte aufweist, wobei die Austrittsöffnung (8-1, 8-2; 18-1, 18-2) der Platte mit der Tintenauslaßöffnung (5-1, 5-2) des Tintenstrahlkopfes (4) zusammenfällt.

2. Tintenstrahlkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Austrittsöffnung (8-1, 8-2; 18-1, 18-2) in der Draufsicht eine kreisförmige oder quadratische Querschnittsform und in der Längsrichtung eine geradlinig oder verjüngt verlaufende Querschnittsform aufweist.

3. Tintenstrahlkopf nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Kunstharzschicht (6) auf ihrer Oberfläche (19) aufgerauht ist.

4. Verfahren zur Herstellung eines Tintenstrahlkopfes nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Kunstharzschicht (6) eine fotoempfindliche Masse ist, die in einem ersten Schritt auf die mit der mindestens einen Tintenauslaßöffnung (5-1, 5-2) versehenen Oberfläche des Tintenstrahlkopfes (4) aufgebracht wird, anschließend auf die Kunstharzschicht (6) eine Fotomaske (17) mit einem der Formgebung der Austrittsöffnung (8-1, 8-2; 18-1, 18-2) entsprechenden Muster gelegt und daraufhin mittels einer Lichtquelle belichtet wird, so daß der durch das Maskenmuster nicht abgedeckte Teil des Kunstharzes (6) ausgehärtet wird, und der nichtausgehärtete Teil des Kunstharzes (6) durch ein Lösungsmittel weggelöst wird, wodurch sich eine Austrittsöffnung ergibt.

5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß als Lösungsmittel ein organisches Lösungsmittel verwendet wird.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 4 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß als Lösungsmittel ein flüchtiges organisches Lösungsmittel, insbesondere Trichlorethan, verwendet wird.

7. Verfahren nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die fotoempfindliche Masse als trockener Film auf die Stirnoberfläche des Tintenstrahlkopfes aufgebracht wird.

8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Film eine Filmdicke zwischen 25 µm und 100 µm aufweist.

9. Verfahren nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Film unter Druck von 9,81·10⁴ Pa bis 2,943·10⁵ Pa und einer Temperatur zwischen 80°C und 105°C auf der Oberfläche fixiert wird.

10. Verfahren nach einem der Ansprüche 4 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß der nach dem Entfernen des nicht- ausgehärteten Teils des Kunstharzes verbleibende Teil einem weiteren Aushärteverfahren unterzogen wird.

11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß das weitere Aushärteverfahren durch eine Wärme-Polymerisation bei 130°C bis 160°C und/oder eine UV-Bestrahlung erfolgt.