DE3112882C2 - - Google Patents
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- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
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- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
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- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/448—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for generating reactive gas streams, e.g. by evaporation or sublimation of precursor materials
- C23C16/4486—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for generating reactive gas streams, e.g. by evaporation or sublimation of precursor materials by producing an aerosol and subsequent evaporation of the droplets or particles
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vor
richtung zum Erzeugen eines selektiv bemessenen Dampfstroms.
Dampfströme werden derzeit bei einer Reihe industrieller An
wendungsfälle erzeugt und verwendet. Beispielsweise werden
bei der Herstellung von Vorformlingen, aus denen dann optische
Fasern gezogen werden, Dämpfe aus Materialien wie SiCl₄, GeCl₄,
POCl₃ und BBr₃ erzeugt und einer Vorformlinganordnung zu
geführt, wo sie zur Reaktion gebracht und auf der Wandung einer
Unterlage niedergeschlagen werden.
Dampfströme werden auch bei Verbrennungsmotoren, beispielsweise
für den Fahrzeugantrieb, erzeugt und verwendet. Hierbei wird
ein Dampfstrom gewöhnlich entweder durch Vergasungs- oder
Brennstoffeinspritzsysteme erzeugt.
Ein seit langem bestehendes Problem und eine üblicherweise den
bekannten Verfahren zum Erzeugen von Dampfströmen zugeordnete
Beschränkung liegen in der genauen und schnellen Steuerung des
Massenströmungsdurchsatzes des innerhalb des Dampfstroms vor
handenen Dampfes. Es besteht daher ein Bedürfnis nach Mitteln
zum Erzeugen von selektiv bemessenen Dampfströmen mit vergrößerter Steuerungsge
schwindigkeit und Genauigkeit auf den verschiedensten An
wendungsgebieten. Demgemäß ist es Aufgabe der Erfindung, ein
solches "flinkes" System bereitzustellen.
Erfindungsgemäß ist diese Aufgabe für ein Verfahren zum Er
zeugen eines selektiv bemessenen Dampfstromes mit den kennzeichnenden Merkmalen
des Anspruches 1 und für eine Vorrichtung zur Durchführung
dieses Verfahrens mit den kennzeichnenden Merkmalen des
Anspruches 5 gelöst.
Bei einer Ausführungsform der Erfindung wird ein Strahl elektro
statisch aufladbarer flüssiger Partikel erzeugt, der zum selek
tiven Zumessen einiger der flüssigen Partikel in einen Verdampfer,
wo die Partikel verdampft werden, elektrostatisch gesteuert
wird.
Bei einer weiteren Ausführungsform der Erfindung werden alle
selektiv zugemessenen Partikel in einen Trägergasstrom injiziert,
wo die Partikel verdampft werden. Entsprechend einer noch wei
teren Ausführungsform der Erfindung wird der Strom aus elektro
statisch aufladbaren Flüssigkeitströpfchen in einen Trägergas
strom eingeführt, es wird aber nur ausgewählten Tröpfchen-
Mengen verstattet, in dem Strom lange genug, um verdampft zu
werden, zu verbleiben.
Nachstehend ist die Erfindung anhand der Zeichnung beschrie
ben, die schematisch eine Apparatur zum Erzeugen eines Dampf
stroms darstellt.
Die dargestellte Apparatur enthält einen üblichen stoßfreien
Tintenstrahlerzeuger, der allgemein mit 10 bezeichnet ist. Der
Strahlerzeuger besitzt einen Ultraschalltropfenerzeuger 12,
einen Aufladetunnel 14 und ein Ablenkplattenpaar 16, 16′.
Hinsichtlich einer detaillierten Erläuterung des Strahl
generators und dessen Wirkungsweise sei verwiesen auf den
Artikel "Ink-Jet Printing" von Kuhn und Myers im Aprilheft
1979 der Zeitschrift Scientific American.
Der Ultraschalltropfenerzeuger 12, der Aufladetunnel 14 und die Ab
lenkplatte 16 sind je mit einer Steuerelektronik verbunden,
während die Ablenkplatte 16′ elektrisch geerdet ist. Der Strahl
generator 10 liegt benachbart zu einer Leitung 18 mit einer seit
lichen Öffnung 20, die zu dem Strahlgenerator 10 ausgerichtet
ist. Ein Trichter 22 befindet sich hinter und etwas oberhalb
von Leitung 18 und Öffnung 20. Ein Abflußrohr 24 verläuft vom Trich
ter 22 nach unten und zum Ultraschalltropfengenerator 12 über
eine nicht dargestellte Pumpeinrichtung zurück. Der Strahl
generator 10 befindet sich innerhalb eines Gehäuses, das von
der Leitung 18 durchsetzt ist.
Ein erster Anwendungsfall ist die Verwendung der Apparatur
zum Erzeugen eines Dampfstroms, wie dieser bei der Herstellung
einer Vorform für optische Fasern benutzt wird. In diesem Fall
wird der Ultraschalltropfengenerator 12, statt mit Tinte ge
füllt zu sein, wenn er als Drucker benutzt würde, mit einer
dielektrischen Flüssigkeit (d. h. einer solchen, die elektro
statisch aufgeladen werden kann), wie SiCl₄, GeCl₄, POCl₃ oder
BBr₃ gefüllt. Vorzugsweise hat die dielektrische Flüssigkeit
eine Viskosität kleiner als 0,1 Pa s für wirksame
Tröpfchenerzeugung. Im Falle eines Verbrennungsmotors würde
statt dessen flüssiger Brennstoff, wie Benzin, Äthylalkohol
oder Methylalkohol dem Ultraschalltropfengenerator 12 zugeführt.
Ein Trägergas, wie Sauerstoff, Helium oder Argon, das eine we
sentlich niedrigere Verflüssigungstemperatur als die Siede
temperatur der dielektrischen Flüssigkeit hat, wird dann durch
die Leitung 18 für den Aufbau der Vorform hindurchgeschickt.
Im Verbrennungsmotor-Falle würde statt dessen Luft, die aus
Sauerstoff und Stickstoff besteht, durch die Leitung 18 hindurch
geschickt. Da der Strahlgenerator 10 in einen toten Raum um die
Öffnung 20 eingeschlossen ist, wird sich der tote Raum eben
falls mit dem Trägergas füllen. Sodann wird ein Tröpfchen-Strahl
oder eine Tröpfchenströmung vom Ultraschalltropfenerzeuger 12
erzeugt und zur Öffnung 20 hin getrieben. Die Tröpfchenstrahl
erzeugung erfolgt mit ausgewähltem, vorzugsweise konstantem
Durchsatz mit Hilfe eines Steuersignals, das über die Leitung
26 zwischen der Steuerelektronik und dem Tropfengenerator 12
übertragen wird. Mit Hilfe der Leitung 27 wird ein konstantes
elektrostatisches Potential zwischen den Platten 16 und 16′
erzeugt. Digitalsignale werden durch die Steuerelektronik er
zeugt und dem Ladetunnel 14 über die Leitung 28 zugeführt.
Während des Anstehens einer Spannung am Tunnel 14 werden die
gerade durchlaufenden Flüssigkeitströpfchen aufgeladen. In
den Intervallen zwischen den digitalen Spannungsimpulsen wer
den die den Tunnel passierenden Flüssigkeitströpfchen nicht
geladen. Da nur einige der Tröpfchen geladen werden, werden
auch nur einige Tröpfchen (beim dargestellten Ausführungsbei
spiel nach oben) abgelenkt, wenn sie das elektrostatische
Feld zwischen den Ablenkplatten 16 und 16′ passieren. Bei die
ser Anordnung werden nur die ungeladenen und unabgelenkten
Teile des Strahls oder Tröpfchenzuges, der vom Ultraschall
tropfengenerator 12 erzeugt wird, in die Leitung 18 über die Öff
nung 20 eingeführt, wo sie dann verdampfen. Die geladenen
Teile des Strahls werden durch die Ablenkplatten 16 und 16′
oberhalb der Leitung 18 in den Trichter 22 gelenkt.
Diese Tröpfchen wandern dann unter dem Einfluß der Schwer
kraft nach unten in die Leitung 24, um zum Tröpfchengenerator
12 zurückgepumpt zu werden.
Das Verhältnis von Dampf zu Trägergas kann stromabwärts inner
halb der Leitung 18 überwacht werden, so daß Abweichungen
von einem gewünschten Verhältnis durch die Steuerelektronik
korrigiert werden können. Beispielsweise kann, wenn ein
festgestelltes Dampf/Trägergas-Verhältnis, das zur Lieferung
eines gewünschten Dampfmassenströmungsdurchsatzes zu einer
optischen Faservorform-Aufbaustelle mit einem gegebenen Trä
gegasströmungsdurchsatz erforderlich ist, von diesem gewünsch
ten Verhältnis abweicht, ein Korrektursignal zur Steuerelek
tronik rückgekoppelt werden. Mit Hilfe üblicher Steuerschal
tungen stellt dann die Steuerelektronik die dem Aufladetunnel
zugeführten Digitalsignale ein, worauf ein größerer oder klei
nerer Teil des Strahls in den Trägergasstrom injiziert wird.
Im Verbrennungsmotor-Falle würden solche Steuersignale gewöhn
lich auf Drossel-Maschinenzyklusänderungen hin erzeugt werden.
Ein typischer Strömungsdurchsatz für den Aufbau einer Vorform
ist ein Liter Trägergas pro Minute, in das 400 Milligramm
Tröpfchen, die pro Minute eingeführt werden und 400 Milligramm Tröpf
chen pro Minute rezirkuliert werden. Im Verbrennungsmotor-Fall
könnten etwa 145 g Brennstoff pro Minute in einen Luftstrom
injiziert werden, der mit einem Durchsatz von etwa 2180 g pro
Minute strömt.
Da der Totraum um die Öffnung 20 mit Trägergas gefüllt ist,
können zu Beginn ein Teil der Tröpfchen innerhalb des Totraums
verdampfen. Wenn jedoch dieser Raum mehr und mehr gesättigt
wird, wird das meiste des Strahls den Totraum passieren und
in die Leitung 18 eintreten, und es wird nur wenig Verlust als
Folge einer "Transit"-Verdampfung vorhanden sein. In jedem
Fall werden stabile Systembedingungen rasch erreicht.
Zahlreiche Abwandlungen der beschriebenen Apparatur sind mög
lich. Beispielsweise kann, statt ein Signal zuzuführen, der
Ladetunnel 14 mit konstanter Gleichspannung beaufschlagt werden,
um alle passierenden flüssigen Partikel aufzuladen. In diesem
Fall wird dann ein Digital- oder Analogsignal der Platte 16
zugeführt, um eine Ablenkung ausgewählter Teile des vorbeigehen
den Tröpfchenstrahls abzulenken. Ferner kann dann auch die
Öffnung 20 der Leitung 18 entweder in der Flugbahn der gelade
nen oder der ungeladenen Partikel oder innerhalb des Weges je
ner geladener Partikel angeordnet werden, die abgelenkt oder
nicht abgelenkt worden sind. Daß die im Trichter 22 gesammelten
Tröpfchen rezirkuliert werden, ist ebenfalls nicht immer not
wendig.
Eine weitere Abwandlung ist die, den gesamten Strahlgenerator
10 in die Leiung 18 einzusetzen, um einen Tröpfchenstrom in
nerhalb der Trägergasströmung ausreichend lange bis zur Ver
dampfung aufrechtzuhalten, während andere Tröpfchen des
Strahls aus der Trägergasströmung durch eine seitliche Öff
nung in der Leitung 18 ausgestoßen werden, bevor sie ausreichend
Zeit zur Verdampfung gefunden haben. Beim dargestellten Aus
führungsbeispiel verdampfen die Tröpfchen nach Einritt in die
Öffnung 20, bevor sie an der gegenüberliegenden Wand der Lei
tung 18 auftreffen. Die Übergangszeit durch den Leitungsquer
schnitt kann geändert werden durch Ändern des Innendurchmessers
der Leitung 18, die Orientierung der Leitung 18 relativ zur Flug
bahn der in die Leitung 18 eintretenden Tröpfchen oder durch Än
dern der Geschwindigkeit des vom Tropfengenerator 12 emittierten
Strahls. Falls gewünscht, kann auch eine Gruppe von Strahler
zeugern 10 benutzt werden, um Dampfmischungen in gesteuertem
variablem Mischungsverhältnis zu erzeugen. Weiterhin braucht
es auch nicht immer notwendig zu sein, daß die Tröpfchen in
ein Trägergas injiziert werden. Beispielweise können die Tröpf
chen in einen Verdampfer 18 mit einer heißen Platte eingeführt
werden. Beim Auftreffen auf die Platte verdampfen die Tröpf
chen und erzeugen einen ausreichenden Druck zur Erzeugung eines
den Verdampfer 18 verlassenden Dampfstroms.
Claims (6)
1. Verfahren zum Erzeugen eines selektiv bemessenen Dampfstromes, gekenn
zeichnet durch
- - Herstellen eines Strahls elektrostatisch auflad barer flüssiger Partikel,
- - elektrostatisches Aufladen wenigstens einiger der Partikel,
- - Injizieren wenigstens einiger der Partikel in einen Partikel verdampfer und
- - elektrostatisches Steuern des Anteils der Strahlpartikel, die in dem Verdampfer verdampft werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß der in den Verdampfer injizierte Partikelanteil
elektrostatisch gesteuert wird und alle der solcherart inji
zierten Partikel verdampft werden.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß alle Partikel des Strahls in den Verdampfer in
jiziert werden und daß ein elektrostatisch gesteuerter Anteil
der Partikel aus dem Verdampfer vor Verdampfung ausgestoßen wird.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch ge
kennzeichnet, daß ein Trägergas durch den Ver
dampfer hindurchgeleitet wird.
5. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens gemäß Anspruch 1,
gekennzeichnet durch
- - einen Generator (12) zum Erzeugen eines Strahls elektrosta tisch aufladbarer flüssiger Partikel,
- - eine elektrostatische Ladungseinrichtung (14) zum Aufladen wenigstens einiger der Partikel,
- - eine Verdampfereinrichtung (18) zum Verdampfen von Partikeln hierin und
- - eine elektrostatische Ablenkeinrichtung (16) zum Steuern des Anteils der Partikel, die in dem Verdampfer verdampft werden.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeich
net, daß die Ablenkeinrichtung dafür ausgelegt ist, den
Anteil der Partikel, die in den Verdampfer zur Verdampfung
hierin eintreten, zu steuern.
Applications Claiming Priority (1)
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: AT & T TECHNOLOGIES, INC., NEW YORK, N.Y., US |
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8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8125 | Change of the main classification |
Ipc: B01D 1/00 |
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D2 | Grant after examination | ||
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Free format text: BLUMBACH, KRAMER & PARTNER, 65193 WIESBADEN |