DE3112882A1 - "verfahren und vorrichtung zum erzeugen eines dampfstroms" - Google Patents

"verfahren und vorrichtung zum erzeugen eines dampfstroms"

Info

Publication number
DE3112882A1
DE3112882A1 DE19813112882 DE3112882A DE3112882A1 DE 3112882 A1 DE3112882 A1 DE 3112882A1 DE 19813112882 DE19813112882 DE 19813112882 DE 3112882 A DE3112882 A DE 3112882A DE 3112882 A1 DE3112882 A1 DE 3112882A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
particles
evaporator
jet
generating
droplets
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19813112882
Other languages
English (en)
Other versions
DE3112882C2 (de
Inventor
Rama 30247 Lilburn Ga. Iyengar
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
AT&T Corp
Original Assignee
Western Electric Co Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Western Electric Co Inc filed Critical Western Electric Co Inc
Publication of DE3112882A1 publication Critical patent/DE3112882A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3112882C2 publication Critical patent/DE3112882C2/de
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02MSUPPLYING COMBUSTION ENGINES IN GENERAL WITH COMBUSTIBLE MIXTURES OR CONSTITUENTS THEREOF
    • F02M27/00Apparatus for treating combustion-air, fuel, or fuel-air mixture, by catalysts, electric means, magnetism, rays, sound waves, or the like
    • F02M27/04Apparatus for treating combustion-air, fuel, or fuel-air mixture, by catalysts, electric means, magnetism, rays, sound waves, or the like by electric means, ionisation, polarisation or magnetism
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B17/00Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
    • B05B17/04Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
    • B05B17/06Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
    • B05B17/0607Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B5/00Electrostatic spraying apparatus; Spraying apparatus with means for charging the spray electrically; Apparatus for spraying liquids or other fluent materials by other electric means
    • B05B5/08Plant for applying liquids or other fluent materials to objects
    • B05B5/14Plant for applying liquids or other fluent materials to objects specially adapted for coating continuously moving elongated bodies, e.g. wires, strips, pipes
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/018Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/448Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for generating reactive gas streams, e.g. by evaporation or sublimation of precursor materials
    • C23C16/4486Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for generating reactive gas streams, e.g. by evaporation or sublimation of precursor materials by producing an aerosol and subsequent evaporation of the droplets or particles
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S261/00Gas and liquid contact apparatus
    • Y10S261/65Vaporizers

Description

Beschreibung
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Erzeugen eines DampfStroms.
Dampfströme werden derzeit bei einer Reihe industrieller Anwendungsfälle erzeugt und verwendet. Beispielsweise werden bei der Herstellung von Vorformlingen, aus denen dann optische Fasern gezogen verden, Dämpfe aus Materialien wie SiCl4, GeCl^., POCl3 und BBr_ erzeugt und einer Vorformlinganordnung zugeführt, wo sie zur Reaktion gebracht und auf der Wandung einer Unterlage niedergeschlagen werden.
Dampfströme werden auch bei Verbrennungsmotoren, beispielsweise für den Fahrzeugantrieb, erzeugt und verwendet. Hierbei wird ein Dampfstrom gewöhnlich entweder durch Vergasungs- oder Brennstoffeinspritzsysteme erzeugt.
Ein seit langem bestehendes Problem und eine üblicherweise den bekannten Verfahren zum Erzeugen von Dampfströmen zugeordnete Beschränkung liegen in der genauen und schnellen Steuerung des Massenströmungsdurchsatzes des innerhalb des Dampfstroms vorhandenen Dampfes. Es besteht daher ein Bedürfnis nach Mitteln
1 300S1/0713
zum Erzeugen von Dampfströmen mit vergrößerter Steuerungsgeschwindigkeit und Genauigkeit auf den verschiedensten Anwendungsgebieten. Demgemäß ist es Aufgabe der Erfindung, ein solches "flinkes" System bereitzustellen.
Erfindungsgemäß ist diese Aufgabe für ein Verfahren zum Erzeugen eines Dampfstromes mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruches 1 und für eine Vorrichtung zum Erzeugen eines Dampfstroms mit den kennzeichnenden Merkmalen des nebengeordneten Anspruches 5 gelöst.
Bei einer Ausführungsform der Erfindung wird ein Strahl elektrostatisch aufladbarer flüssiger Partikel erzeugt, der zum selektiven Zumessen einiger der flüssigen Partikel in einen Verdampfer, wo die Partikel verdampft werden, elektrostatisch gesteuert wird.
Bei einer weiteren Ausführungsform der Erfindung werden alle selektiv zugemessenen Partikel in einen Trägergasstrom injiziert, wo die Partikel verdampft werden. Entsprechend einer noch weiteren Ausführungsform der Erfindung wird der Strom aus elektrostatisch aufladbaren Flüssigkeitströpfchen in einen Trägergasstrom eingeführt, es wird aber nur ausgewählten Tröpfchen-Mengen verstattet, in dem Strom lange genug, um verdampft zu werden, zu verbleiben.
1/2
130061/0713
Nachstehend ist die Erfindung anhand der Zeichnung beschrieben, die schematisch eine Apparatur zum Erzeugen eines Dampf-Stroms darstellt.
Die dargestellte Apparatur enthält einen üblichen stoßfreien Tintenstrahlerzeuger, der allgemein mit 10 bezeichnet ist. Der Strahlerzeuger besitzt einen Ultraschalltropfenerzeuger 12, einen Aufladetunnel 14 und ein Ablenkplattenpaar 16, 16' wie jene, die von der A. B. Dick Company Elkgrove, Illinois unter den Teilenummern 339000-11, 339015 bzw. 331312 vertrieben werden. Hinsichtlich einer detaillierten Erläuterung des Strahlgenerators und dessen Wirkungsweise sei verwiesen auf den Artikel "Ink-Jet Printing" von Kuhn und Myers im Aprilheft 1979 der Zeitschrift Scientific American.
Der Ultraschalltropfenerzeuger, der Aufladetunnel und die Ablenkplatte 16 sind je mit einer Steuerelektronik verbunden, während die Ablenkplatte 16 elektrisch geerdet ist. Der Strahlgenerator liegt benachbart zu einer Leitung 18 mit einer seitlichen öffnung 20, die mit dem Strahlgenerator ausgerichtet ist. Ein Trichter 22 befindet sich hinter und etwas oberhalb von Leitung und öffnung. Ein Abflußrohr 24 verläuft vom Trichter 22 nach unten und zum Ultraschalltropfengenerator 12 über eine nicht dargestellte Pumpeinrichtung zurück. Der Strahlgenerator 10 btfindet sich innerhalb eines Gehäuses, das von
130061/0713
der Leitung 18 durchsetzt ist.
Ein erster Anwendungsfall ist die Verwendung der Apparatur zum Erzeugen eines DampfStroms, wie dieser bei der Herstellung einer Vorform für optische Fasern benutzt wird. In diesem Fall wird der Ultraschalltropfengenerator 12, statt mit Tinte gefüllt zu sein,wenn er als Drucker benutzt würde, mit einer dielektrischen Flüssigkeit (d. h. einer solchen, die elektrostatisch aufgeladen werden kann), wie SiCl4, GeCl., POCl, oder BBr, gefüllt. Vorzugsweise hat die dielektrische Flüssigkeit eine Viskosität kleiner als 0,1 Pa s (100 cP) für wirksame Tröpfchenerzeugung. Im Falle eines Verbrennungsmotors würde statt dessen flüssiger Brennstoff, wie Benzin, Äthylalkohol oder Methylalkohol dem Ultraschalltropfengenerator zugeführt. Ein Trägergas, wie Sauerstoff, Helium oder Argon, das eine wesentlich niedrigere Verflüssigungstemperatur als die Siedetemperatur der dielektrischen Flüssigkeit hat, wird dann durch die Leitung 18 für den Aufbau der Vorform hindurchgeschickt. Im Verbrennungsmotor-Falle würde statt dessen Luft, die aus Sauerstoff und Stickstoff besteht, durch die Leitung hindurchgeschickt. Da der Strahlgenerator in einen toten Raum um die öffnung 12 eingeschlossen ist, wird sich der tote Raum ebenfalls mit dem Trägergas füllen. Sodann wird ein Tröpfen-Strahl oder eine Tröpfchenströmung vom Ultraschalltropfenerzeuger erzeugt und zur Öffnung 20 hin getrieben. Die Tropfchenstrahl-
130061/0713
erzeugung erfolgt mit ausgewähltem, vorzugsweise konstantem Durchsatz mit Hilfe eines Steuersignals, das über die Leitung 26 zwischen der Steuerelektronik und dem Tropfengenerator übertragen wird. Mit Hilfe der Leitung 27 wird ein konstantes elektrostatisches Potential zwischen den Platten 16 und 16' erzeugt. Digitalsignale werden durch die Steuerelektronik erzeugt und dem Ladetunnel 14 über die Leitung 28 zugeführt. Während des Anstehens einer Spannung am Tunnel 4 werden die gerade durchlaufenden Flüssigkeitströpfchen aufgeladen. In den Intervallen zwischen den digitalen Spannungsimpulsen v/erden die den Tunnel passierenden Flüssigkeitströpfchen nicht geladen. Da nur einige der Tröpfchen gfiladen werden, werden auch nur einige Tröpfchen (beim dargestellten Ausführungsbeispiel nach oben) abgelenkt, wenn sie das elektrostatische Feld zwischen den Ablenkplatten 16 und 16' passieren. Bei dieser Anordnung werden nur die ungeladenen und unabgelenkten Teile des Strahls oder Tröpfchenzuges, dor vom Ultraschalltropfengenerator erzeugt wird, in die Leitung 18 über die üffnung 20 eingeführt, wo sie dann verdampfen. Die geladenen Teile des Strahls werden durch die Ablenkplatten 16 und 16' über die Leitung nach oben und in den Trichter 22 gelenkt. Diese Tröpfchen wandern dann unter dem Einfluß der Schwerkraft nach unten in die Leitung 24, um zum Tröpfchengenerator 12 zurückgepumpt zu werden.
Das Verhältnis von Dampf zu Trägerqas kann stromabwärts inner-
130061/0713
halb der Leitung 18 überwacht werden, so daß Abweichungen von einem gewünschten Verhältnis durch die Steuerelektronik korrigiert werden können. Beispielsweise kann, wenn ein festgestelltes Dampf/Trägergas-Verhältnis, das zur Lieferung eines gewünschten Dampfmassenströmungsdurchsatzes zu einer optischen Faservorform-Aufbaustelle mit einem gegebenen Trägergasströmungsdurchsatz erforderlich ist, von diesem gewünschten Verhältnis abweicht, ein Korrektionssignal zur Steuerelektronik rückgekoppelt werden. Mit Hilfe üblicher Steuerschaltungen stellt dann die Steuerelektronik die dem Aufladetunnel zugeführten Digitalsignale ein, worauf ein größerer oder kleinerer Teil des Strahls in den Trägergasstrom injiziert wird. Im Verbrennungsmotor-Falle wurden solche Steuersignale gewöhnlich auf Drossel-Maschinenzyklusänderungen hin erzeugt werden. Ein typischer Strömungsdurchsatz für den Aufbau einer Vorform ist ein Liter Trägergas pro Minute, in das 400 Milligramm Tröpfchen pro Minute eingeführt werden und 400 Milligramm Tröpfchen pro Minute rezirkuliert werden. Im Verbrennungsmotor-Fall könnten etwa 145 g Brennstoff pro Minute in einen Luftstrom injiziert werden, der mit einem Durchsatz von etwa 2180 g pro Minute strömt.
Da der Totraum um die öffnung 20 mit Träqergas gefüllt ist, können zu Beginn ein Teil der Tröpfchen innerhalb des Totraums
130061/0713
verdampfen. Wenn jedoch dieser Raum mehr und mehr gesättigt wird, wird das meiste des Strahls den Totraum passieren und in die Leitung eintreten und es wird nur wenig Verlust als Folge einer "Transit"-Verdampfung vorhanden sein. In jedem Fall werden stabile Systembedingungen rasch erreicht.
Zahlreiche Abwandlungen der beschriebenen Apparatur sind möglich. Beispielsweise kann, statt ein Signal zuzuführen, der Ladetunnel mit konstanter Gleichspannung beaufschlagt werden, um alle passierenden flüssigen Partikel aufzuladen. In diesem Fall wird dann ein Digital- oder Analogsignal der Platte 16 zugeführt, um eine Ablenkung ausgewählter Teile des vorbeigehenden Tröpfchenstrahls abzulenken. Ferner kann dann auch die öffnung 20 der Leitung 18 entweder in der Flugbahn der geladenen oder der ungeladenen Partikel oder innerhalb des Weges jener geladener Partikel angeordnet werden, die abgelenkt oder nicht abgelenkt worden sind. Daß die im Trichter 22 gesammelten Tröpfchen rezirkuliert v/erden, ist ebenfalls nicht immer notwendig .
Eine weitere Abwandlung ist die, den gesamten Strahlaenerator 10 in die Leitung 18 einzusetzen, um einen Tröpfchenstrom innerhalb der Trägergasströraung ausreichend lange bis zur Verdampfung aufrecht zu halten, während andere Tröpfchen des
130061/0713
Strahls aus der Trägergasströmung durch eine seitliche Öffnung in der Leitung ausgestoßen werden, bevor sie ausreichend Zeit zur Verdampfung gefunden haben. Beim dargestellten Ausführungsbeispiel verdampfen die Tröpfchen nach Eintritt in die öffnung 20, bevor sie an der gegenüberliegenden Wand der Leitung 18 auftreffen. Die Übergangszeit durch den Leitungsquerschnitt kann geändert werden durch Ändern des Innendurchmessers der Leitung, die Orientierung der Leitung relativ zur Flugbahn der in die Leitung eintretenden Tröpfchen oder durch Ändern der Geschwindigkeit des vom Tropfengenerfitor emittierten Strahls. Falls gewünscht, kann auch eine Gruppe von Strahlerzeugern benutzt werden, um Dampfmischungen in gesteuertem variablem Mischungsverhältnis zu erzeugen. Weiterhin braucht es auch nicht immer notwendig zu sein, daß die Tröpfchen in ein Trägergas injiziert werden. Beispielsweise können die Tröpfchen in einen Verdampfer mit einer heißen Platte eingeführt werden. Beim Auftreffen auf die Platte verdampfen die Tröpfchen und erzeugen einen ausreichenden Druck zur Erzeugung eines den Verdampfer verlassenden DampfStroms.
130061/0713

Claims (6)

Patentansprüche
1./Verfahren zum Erzeugen eines Dampfstromes, g e k e η η zeich η et durch
- Herstellen (bei 12) eines Strahls elektrostatisch aufladbarer flüssiger Partikel,
- elektrostatisches Aufladen (bei 14) wenigstens einiqer der Partikel,
- Injizieren wenigstens einiger der Partikel in einen Partikclverdampfer (18) und
- elektrostatisches Steuern (28) des Anteils der Strahlpartikel, die in dem Verdampfer verdampft werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der in den Verdampfer injizierte Partikelanteil elektrostatisch gesteuert wird und alle der solcherart injizierten Partikel verdampft werden.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß alle Partikel des Strahls in den Verdampfer injiziert werden und daß ein elektrostatisch gesteuerter Anteil der Partikel aus dem Verdampfer vor Verdampfung ausgestoßen vrird.
13006 i/0713
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet , daß ein Trägergas durch den Verdampfer hindurchgeleitet wird.
5. Vorrichtung zum Erzeugen eines DampfStroms, gekennzeichnet durch
- einen Generator (12) zum Erzeugen eines Strahls elektrostatisch aufladbarer flüssiger Partikel,
- eine elektrostatische Ladungseinrichtung (14) zum Aufladen wenigstens einiger der Partikel,
- eine Verdampfereinrichtung (18) zum Verdampfen von Partikeln hierin und
- eine elektrostatische Ablenkeinrichtung (16) zum Steuern des Anteils der Partikel, die in dem Verdampfer verdampft werden.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Ablenkeinrichtung dafür ausgelegt ist, den Anteil der Partikel, die in den Verdampfer zur Verdampfung hierin eintreten, zu steuern.
130061/0713
DE19813112882 1980-04-02 1981-03-31 "verfahren und vorrichtung zum erzeugen eines dampfstroms" Granted DE3112882A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/136,597 US4310474A (en) 1980-04-02 1980-04-02 Method and apparatus for generating a vapor stream

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3112882A1 true DE3112882A1 (de) 1982-01-07
DE3112882C2 DE3112882C2 (de) 1989-08-17

Family

ID=22473525

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19813112882 Granted DE3112882A1 (de) 1980-04-02 1981-03-31 "verfahren und vorrichtung zum erzeugen eines dampfstroms"

Country Status (7)

Country Link
US (1) US4310474A (de)
JP (1) JPS56155668A (de)
CA (1) CA1128759A (de)
DE (1) DE3112882A1 (de)
FR (1) FR2479709B1 (de)
GB (1) GB2073442B (de)
IT (1) IT1137117B (de)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3326043A1 (de) * 1983-07-20 1985-02-07 Licentia Gmbh Verfahren zur herstellung eines aerosolstromes und dessen verwendung
DE3522979A1 (de) * 1985-06-27 1987-01-02 Bayer Ag Verfahren zur erzeugung elektrisch geladenen spruehnebels aus leitfaehigen fluessigkeiten
US5086972A (en) * 1990-08-01 1992-02-11 Hughes Aircraft Company Enhanced electrostatic paint deposition method and apparatus
US5246166A (en) * 1991-09-30 1993-09-21 Her Majesty The Queen In The Right Of Canada As Represented By The Minister Of Forestry Spraying apparatus
JPH06240456A (ja) * 1992-12-21 1994-08-30 Kawasaki Steel Corp 半導体装置のアルミニウム配線の形成方法及び装置
US6325475B1 (en) 1996-09-06 2001-12-04 Microfab Technologies Inc. Devices for presenting airborne materials to the nose
US6339897B1 (en) * 1997-07-08 2002-01-22 Microfab Technologies, Inc. Method and apparatus for dispensing airborne materials for controlling pests
JPH11111644A (ja) * 1997-09-30 1999-04-23 Japan Pionics Co Ltd 気化供給装置
US6672129B1 (en) 1997-10-22 2004-01-06 Microfab Technologies, Inc. Method for calibrating a sensor for measuring concentration of odors
US6390453B1 (en) * 1997-10-22 2002-05-21 Microfab Technologies, Inc. Method and apparatus for delivery of fragrances and vapors to the nose
US20070095726A1 (en) * 2005-10-28 2007-05-03 Tihiro Ohkawa Chafftron
US7951421B2 (en) * 2006-04-20 2011-05-31 Global Oled Technology Llc Vapor deposition of a layer
WO2011130174A1 (en) * 2010-04-15 2011-10-20 Novellus Systems, Inc. Gas and liquid injection methods and apparatus

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3281860A (en) * 1964-11-09 1966-10-25 Dick Co Ab Ink jet nozzle
US3266783A (en) * 1964-12-30 1966-08-16 Milton A Knight Electric carburetor
US3570275A (en) * 1965-02-08 1971-03-16 Halbmond Teppiche Veb Apparatus for the continuous dyeing of textile webs and the like
CH446809A (de) * 1966-05-24 1967-11-15 Walter Dr Ott Vorrichtung zur Reduktion des CO-Gehaltes in den Abgasen eines Verbrennungsmotors
US3769624A (en) * 1972-04-06 1973-10-30 Ibm Fluid droplet printer
US3761941A (en) * 1972-10-13 1973-09-25 Mead Corp Phase control for a drop generating and charging system
US3769627A (en) * 1972-12-13 1973-10-30 Dick Co Ab Ink jet printing system using ion charging of droplets
US3769625A (en) * 1972-12-29 1973-10-30 Ibm Traveling wave actuated segmented charging electrode for an ink jet printer
SU596782A1 (ru) * 1976-07-20 1978-03-05 Shabalkin Anatolij Z Устройство дл увлажени воздуха
GB1527444A (en) * 1977-03-01 1978-10-04 Itt Creed Ink drop printhead

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
KUHN und MYERS: Ink-Jet Printing in US-Z.: Scientific American, April 1979 *

Also Published As

Publication number Publication date
GB2073442B (en) 1984-02-15
US4310474A (en) 1982-01-12
DE3112882C2 (de) 1989-08-17
FR2479709B1 (fr) 1986-12-19
IT1137117B (it) 1986-09-03
JPS56155668A (en) 1981-12-01
IT8120849A0 (it) 1981-03-31
JPH0131431B2 (de) 1989-06-26
FR2479709A1 (fr) 1981-10-09
CA1128759A (en) 1982-08-03
GB2073442A (en) 1981-10-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3112882C2 (de)
DE69923360T2 (de) Thermische Lichtbogenspritzpistole und ihre Gaskappe
DE2755610C3 (de) Tintenstrahldrucker mit einem Windkanal
EP0282049B1 (de) Tintensystem für Tintenstrahlmatrixdrucker
DE2431077C2 (de) Vorrichtung zum Ausrichten eines aus einer Düse ausgestoßenen Tintenstromes
DE19725955C1 (de) Verfahren zur Herstellung eines Quarzglasrohlings und dafür geeignete Vorrichtung
DE4430307A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur gleichzeitigen Dispergierung und Zerstäubung von mindestens zwei Flüssigkeiten
DE2342559A1 (de) Verfahren zur anpassung der brennstoffzufuhr zu einer brennkraftmaschine insbesondere eines kraftfahrzeuges an die angesaugte luftmenge
DE4106563A1 (de) Vorrichtung zur elektrostatischen zerstaeubung von fluessigkeiten
DE3218342C2 (de)
DE2445257A1 (de) Tintenstrahldrucker
EP0767006B1 (de) Verfahren und Einrichtung zum Zuführen von Pulver zu einer Pulversprüheinrichtung
DE2713113A1 (de) Treibstoffeinspritzeinheit fuer verbrennungsvorrichtungen
DE102015112540A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten einer Oberfläche
DE2638825A1 (de) Tintenstrahldrucker mit steuerung der satellitentropfenbildung
EP0017113A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Aufzeichnung von Informationen
DE102015105375B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung monodisperser gefrorener Tropfen
DE2401047A1 (de) Einrichtung zur erzeugung eines luft/ kraftstoffgemisches
EP0051767A1 (de) Vorrichtung zum Zerstäuben von Flüssigkeiten
DE2610175B1 (de) Vorrichtung zur erzeugung von tropfen
EP0197300B1 (de) Verfahren zum Steuern und Verbessern der Schriftgüte eines Druckers
WO2023036929A1 (de) Einrichtung und verfahren zur abtrennung von partikeln aus aerosolen zur konditionierung von prüfaerosolen zur penetrationsmessung an filtern
DE2852412C2 (de) Zerstäubungseinrichtung für Pulver zum Beschichten von Gegenständen
DE1419194C (de) Verfahren und Vorrichtung zum Verdampfen von Flüssigkeiten mittels feinkörniger Masseteilchen als Wärmeüberträger
DE3816680C2 (de) Verfahren zum Bestimmen von Eigenschaften gasgetragener Feststoffaerosole in Hochtemperaturzonen

Legal Events

Date Code Title Description
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: AT & T TECHNOLOGIES, INC., NEW YORK, N.Y., US

8110 Request for examination paragraph 44
8125 Change of the main classification

Ipc: B01D 1/00

D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8328 Change in the person/name/address of the agent

Free format text: BLUMBACH, KRAMER & PARTNER, 65193 WIESBADEN