DE3021449A1 - Ultraschallwandleranordnung und verfahren zu seiner herstellung - Google Patents

Ultraschallwandleranordnung und verfahren zu seiner herstellung

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DE3021449A1 DE19803021449 DE3021449A DE3021449A1 DE 3021449 A1 DE3021449 A1 DE 3021449A1 DE 19803021449 DE19803021449 DE 19803021449 DE 3021449 A DE3021449 A DE 3021449A DE 3021449 A1 DE3021449 A1 DE 3021449A1
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Description

SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT Unser Zeichen Berlin und München VPA 80 P 7 5 3 6 DE
Ultraschallwandleranordnung und Verfahren zu seiner Herstellung
Die Erfindung bezieht sich auf eine Ultraschallwandleranordnung mit einer Matrix von Ultraschallschwingern.
Zum Herstellen von Ultraschall-Arrays, beispielsweise für die Anwendung in medizinischen Diagnosegeräten, wird im allgemeinen zunächst ein größeres Schwingerplättchen hergestellt und dann eine elektrische oder zusätzlich noch eine mechanische Aufteilung in beispielsweise linear angeordnete Gruppen von Einzelschwingern vorgenommen. Die elektrische Teilung erfolgt durch Aufbringung von getrennten elektrischen Kontaktflächen, vorzugsweise einer Oberflächenmetallisierung, den regulär angeordneten, beispielsweise rechteckigen Bezirken.
Anschließend wird über diese elektrischen Kontaktfelder die Polarisierung des Schwingermaterials vorgenommen. Zur Stromversorgung sind die Kontaktfelder mit elektrischer Anschlußleitung versehen. Die Wandlerelemente werden zwischen einem Dämpfungskörper und einem Anpassungskörper angeordnet.
Ein bekannter Wandlerkamm für ein Ultraschall-Array oder einen sogenannten Compound-Scanner besteht aus einer linearen Anordnung von Ultraschallschwingern. Durch Feinunterteilung können diese Ultraschallschwinger in akustisch und mechanisch getrennte Wandlerelemente aufgeteilt werden, die gruppenweise elektrisch parallelgeschaltet und gemeinsam gesteuert werden. Die Breite dieser Wandlerelemente wird vorzugsweise wesentlich
Kin 2 Koe / 20.5.1980
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geringer als die halbe Wellenlänge (λ/2) der abgestrahlten bzw. empfangenen Ultraschallwellen gewählt. Wird diese Stäbchenausführung der Wandlerelemente mit zusätzlichen Querspalten versehen, so entsteht eine Matrix von Wandlerelementen (DE-PS 28 29 570).
Bei der mechanischen Feinteilung der Ultraschallschwinger ist der Abstand der entstehenden Wandlerelemente gegeben durch die Schnittbreite, die nicht beliebig klein gemacht werden kann. Mit abnehmender Breite der Wandlerelemente steigen somit die Teilungsverluste, weil die Größe der Zwischenräume im Verhältnis zur Breite der Wandlerelemente entsprechend zunimmt. Diese Verluste nehmen noch zu, wenn durch zusätzliche Querteilung eine Matrix von Wandlerelementen hergestellt wird. Außerdem bilden die Wandlerelemente durch ihre mechanische Trennung keine formschlüssige Baueinheit und in einer Ausführungsform der Anordnung mit einer Vielzahl von Wandlerelementen ist die Kontaktierung nur mit einem erhebliehen Aufwand möglich.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Ultraschallwandleranordnung mit einer Matrix von Ultraschallschwingern anzugeben, die mit einer großen Anzahl von Wandlerelementen mit sehr geringer Breite und sehr geringem Abstand eine mechanisch feste Baueinheit bildet und die in einfacher Weise derart kontaktiert und gesteuert werden kann, daß sie sowohl einen elektronischen Fokus als auch eine veränderbare Apertur ermöglicht.
Die beispielsweise in der medizinischen Diagnostik eingesetzten Ultraschall-Arrays für Abbildungssysteme zur Herstellung von Schnittbildern, sogenannten B-Bildern, sind mit einem mechanisch gebildeten Fokus in der Längs-
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richtung des Ultraschall-Arrays versehen und erzeugen elektronisch einen Fokus in der dazu senkrechten Richtung. Der elektronische Fokus kann durch unterschiedlich gesteuerte Erregung der Schwinger in einer Gruppe in der Tiefe, d.h. parallel zur Abstrahlrichtung, verschoben werden. Dies ist jedoch nicht möglich bei einem mechanisch gebildeten Fokus, der beispielsweise durch eine Zylinderkrümmung der Abstrahlfläche gebildet wird. Diese fehlende Synchronisierbarkeit durch eine zusätzliehe elektronische Fokussierung auch in der zweiten Richtung, also anstelle der mechanischen Fokussierung zu erreichen, erfordert einen hohen technologischen Aufwand.
Die Erfindung löst die erwähnte Aufgabe in einfacher Weise und sie besteht in den Geetaltungsmerkmalen nach dem Kennzeichen des Anspruchs 1. Der Füllstoff stellt eine formschlüssige und mechanisch feste Verbindung zwischen den einzelnen Wandlerelementen her und hat gegenüber dem Schwingermaterial der Wandlerelemente entweder eine wesentlich abweichende Schallgeschwindigkeit oder eine abweichende Dichte. Durch die Steuerung der Zeilen bzw. der Spalten an einer Flachseite der Matrix mit einer fokussierenden Verzögerung wird ein elektronischer Fokus gebildet. Durch die Steuerung der Spalten bzw. Zeilen an der gegenüberliegenden Flachseite, die jeweils von außen einzeln oder in Gruppen stufenweise ab- oder zugeschaltet werden, erhält man eine veränderbare Apertur. Durch die mechanisch feste Baueinheit der Matrix mit einer Vielzahl von Ultraschallschwingern, die jeweils aus einer Matrix von Wandlerelementen bestehen, erhält man eine hohe Packungsdichte mit einer entsprechend großen Abstrahlfläche. Die Abstände zwischen den Wandlerelementen können nur wenige yum, beispielsweise 5 /um, betragen und man
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erhält somit eine entsprechend hohe Empfindlichkeit. Durch die besondere Art der Kontaktierung und elektronischen Steuerung kann sowohl ein Linienfokus als auch wenigstens annähernd ein Punktfokus gebildet werden.
Die Matrix besteht aus säulenförmigen Wandlerelementen, deren Höhe senkrecht zu den Flachseiten der Matrix mindestens gleich dem doppelten Betrag der Dicke der Wandlerelemente in Richtung der Flachseiten der Matrix beträgt.
Die Matrix von Wandlerelementen kann dadurch in einfacher Weise hergestellt werden, daß Platten aus Ultraschallschwingermaterial mit ihren Flachseiten jeweils abwechselnd mit einer dünnen Zwischenschicht aus dem Füllstoff aufeinandergeschichtet werden und eine mechanisch feste Verbindung zwischen dem Füllstoff und den Platten hergestellt wird. Anschließend werden mehrere plattenförmige Formkörper durch jeweils einen Schnitt senkrecht zur Stapelebene und parallel zur Breite und in Richtung der Länge des Stapels hintereinander hergestellt. Dann werden diese Formkörper mit ihren Flachseiten jeweils abwechselnd mit einer dünnen Zwischenschicht aus dem Füllstoff aufeinandergeschichtet und eine mechanisch feste Verbindung zwischen dem Füllstoff und diesen Formkörpern hergestellt. Dann entsteht jeweils eine die Wandlerelemente enthaltende Matrix durch einen Schnitt senkrecht zur Stapelebene der-Formkörper. Jeweils eine Gruppe von Wandlerelementen, die einen Ultraschallschwinger bilden sollen, wird an ihren Stirnflächen, die an einer der Flachseiten der Matrix liegen, mit einer Metallisierung versehen, die als Stromzuführung dient. Durch eine entsprechende elektrische Verbindung werden an den Flachseiten der Matrix die Zeilen und Spalten gebildet und mit einem
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elektrischen Steuerleiter verbunden.
Zur weiteren Erläuterung der Erfindung wird auf die Zeichnung Bezug genommen, in deren Figuren 1 eine Draufsieht auf eine Ultraschallwandleranordnung nach der Erfindung mit der elektrischen Steuerung der Wandlerelemente scheraatisch veranschaulicht ist. In Figur 2 ist eine Anordnung mit mechanischer Fokussierung veranschaulicht. Die Herstellung der Ultraschallwandleranordnung ist anhand der Figuren 3 "bis 5 erläutert.
Nach Figur 1 wird eine Matrix 2 durch Ultraschallschwinger gebildet, von denen in der Figur lediglich einige dargestellt und jeweils mit einer strichpunktierten Umrandung versehen und mit 4 bis 12 bezeichnet sind. Die Ultraschallschwinger bestehen jeweils aus einer Matrix von säulenförmigen Wandlerelementen 14, die an ihren an jeweils einer Flachseite der Matrix 2 liegenden Stirnflächen mit einer in der Figur nicht dargestellten gemeinsamen elektrischen Kontaktierung versehen sind und dadurch gemeinsam elektrisch gesteuert werden können. Die Zwischenräume 16 zwischen den Wandlerelementen 14 sind in der Figur zur Verdeutlichung vergrößert dargestellt. An der unteren Flachseite der Matrix 2 sind die Ultraschallschwinger 4, 7 und 10 und5, 8 und 11 sowie 6, 9 und 12 durch gemeinsame elektrische Verbindung in Zeilen 22 bis 24 angeordnet, was in der Figur durch eine gestrichelte Einfassung der gemeinsamen elektrischen Kontaktierung angedeutet ist. An der oberen Flachseite der Matrix 2 bilden jeweils die Ultraschallschwinger 4 bis 6 sowie 7 bis 9 und 10 bis 12 durch gemeinsame elektrische Kontaktierung Spalten, die mit 26 bis 28 bezeichnet sind. Den Reihen 22 bis 24 ist ein Ultraschallsender zugeordnet, der einen gemeinsamen Taktgeber 30 und für die einzelnen Reihen 22 bis 24 jeweils
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einen Sender einer Senderkette 32 enthält. Die Sender sind in der Figur mit S1, S2 und S, bezeichnet. Die Sender S* bis S, erhalten ihre Taktimpulse jeweils über einen Umschalter einer elektronischen Weiche 42 und eine elektronische Verzögerungsstufe einer Verzögerungskette 34. Die Verzögerungsstufen sind in der Figur mit Tf*t Vp und T-* bezeichnet. Die Verzögerungskette 34 ist sowohl dem Sender als auch einem Empfänger zugeordnet, der eine elektronische Verstärkerkette 36 sowie einen Summierverstärker 38 und einen Bildschirm 40 enthält. Die Sendeimpulse werden den Ultraschallschwingern 4 bis 12 jeweils über einen Umschalter einer elektronischen Weiche 44 zugeführt. Die Echoimpulse werden über die Weiche 44 und jeweils eine Verstärkerstufe der stärkerkette 36 sowie die betreffende Verzögerungsstufe 34 und den Umschalter der elektronischen Weiche dem Summierverstärker 38 zugeführt und können auf dem Bildschirm 40 sichtbar gemacht werden. Die elektronischen Weichen 42 und 44 können vorzugsweise als integrierte Schaltkreise ausgebildet sein, deren Sperrdämpfung vorzugsweise wenigstens etwa 40 dB betragen kann. Dies gilt insbesondere für die elektronische Weiche 44.
Den Spalten 26 bis 28 sind elektronische Schalter zugeordnet, die in der Figur mit 52 bis 54 bezeichnet sind. Die gemeinsame Kontaktierung der Reihen 22 bis 24 und Spalten 26 bis 28 besteht jeweils aus einer Metallisierung in Streifenform, die beispielsweise durch Aufsputtern einer Metallschicht aus Chrom-Platin-Gold bestehen kann. Die Breite dieser Streifen ist so bemessen, daß sie alle Wandlerelemente der gemeinsam gesteuerten Ultraschallschwinger bedeckt, die gleichphasig schwingen sollen. Diese Breite beträgt, beispielsweise bei einem Ultraschall-Array für eine Frequenz von 2,5 MHz etwa 3 mm. Mehrere Reihen von Ultraschallschwingern elektrisch
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zusammengeschaltet zu einer Gruppe bilden die Strahlapertur. Durch Fortschaltung dieser Gruppe entlang dem Ultraschall-Array in X-Richtung entsteht Zeile für Zeile das Bild. Die Spalten 26 bis 28 an der oberen Flachseite der Matrix 2 sind dabei über die Schalter 52 bis 54 an gemeinsames Potential gelegt, das im allgemeinen Nullpotential sein wird.
Ein mechanischer Fokus in der Y-Z-Ebene kann nach Figur 2 beispielsweise durch Biegen der Matrix 2 um seine Längsachse erzeugt werden. Die erforderliche Krümmung erhält man beispielsweise mit Hilfe von Formkörpern, bevor der Füllstoff 16 zwischen den Wandlerelementen 14 völlig ausgehärtet ist. Unter Umständen kann es zweckmäßig sein, die Krümmung der Matrix 2 bei erhöhter Temperatur von beispielsweise 400C vorzunehmen. Anschließend erfolgt die vollständige Aushärtung in den Formkörpern unter den von den Herstellern des Füllstoffes 16 angegebenen Bedingungen. Die elektronische Fokussierung in der X-Z-Ebene erhält man durch entsprechende verzögerte Ansteuerung der Zeilen, die über die Umschalter der elektronischen Weiche 44 angeschlossen sind. Die Spalten an der Oberseite der Matrix 2 werden über die Schalter 52 bis 54 an Nullpotential angeschlossen. Der Radius R der Krümmung der Matrix 2 bestimmt die Tiefe des Fokuspunktes innerhalb des in der Figur nicht dargestellten, zu untersuchenden Körpers.
Anstelle der in Figur 2 angenommenen zylinderförmigen Krümmung mit dem Radius R kann beispielsweise auch eine parabolische oder hyperbolische Krümmung sowie eine Dachform (Axicon-Array) gewählt werden. Durch diese unterschiedlichen Krümmungen erhält man jeweils eine unterschiedlich breite und lange Fokuszone. Sie kann zur weiteren Optimierung der Lage des durch die wählbare
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Apertur gegebenen Fokus dienen, insbesondere, wenn in einem vorbestimmten Tiefenbereich entlang der Abstrahlrichtung eine stärkere Einengung des Schallbündels in der Y-Z-Ebene über den natürlichen Fokus hinaus gewünscht wird. Auch in der ebenen Anordnung der Matrix nach Figur 1 erhält man eine elektronische Fokussierung in der X-Z-Ebene durch Laufzeitverzögerung der Sende- und Echoimpulse durch die Verzögerungsglieder 1^1 bis Tf^ der Verzögerungskette 34. Einen dynamischen Fokus erhält man durch Änderung der Verzögerung entsprechend der Laufgeschwindigkeit des Ultraschallimpulses.
Die Verzögerung wird so gewählt, daß die Fokuslage jeweils in eine Tiefe gelegt werden kann, aus der man die Pulsantwort erwartet. Die Tiefenlage des natürlichen Fokus in der Y-Z-Ebene ist abhängig von der Größe der Apertur und der Wellenlänge im zu prüfenden Körper. Durch Änderung der Apertur, d.h. durch Steuerung der Spalten 26 bis 28, kann der natürliche Fokus in die Nähe des elektronischen Fokus der Reihen 22 bis 24 gelegt und mit diesem verändert werden. Zu diesem Zweck werden jeweils in der Y-Richtung am Anfang und am Ende der Matrix 2 liegende Spalten durch öffnen der Schalter 52 bis 54 elektrisch von der Matrix 2 abgetrennt. Damit erhält man wenigstens annähernd einen Punktfokus. Unter Umständen kann es zweckmäßig sein, mehrere benachbarte Spalte am Anfang und Ende der Matrix in der Y-Richtung gleichzeitig zu- oder abzuschalten.
Zum einfachen Herstellen der Matrix 2 mit den Wandlerelementen 14 wird nach Figur 3 zunächst eine größere Anzahl von streifenförmigen Platten 64 bis 67 aus Ultraschallschwingermaterial beispielsweise durch Abtrennen aus einem Piezo-Keramikblock hergestellt und zu einem Stapel 62 aufgeschichtet. Die Platten 64 bis 67 können
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beispielsweise aus Bleizirkonat-Titanat Pb(ZrTi)O5 oder Bleimetaniobat Pb(NbO,)2 oder einem anderen Schwingermaterial bestehen. Die Dicke der Platten 64 bis 67 kann beispielsweise 100 /um oder weniger betragen. Zwischen den Platten 64 bis 67 können Abstandshalter 70 bis 75 angeordnet werden, die aus Streifen einer Kunststofffolie bestehen können, deren Dicke den Abstand A der Platten bestimmt und wesentlich geringer ist als die Dicke D der Platten 64 bis 67. Die Anzahl der Platten, von denen in der Figur zur Vereinfachung nur vier dargestellt sind, wird gleich der gewünschten Anzahl der Wandlerelemente gewählt, die in der herzustellenden Matrix in einer Reihe angeordnet sein sollen, und kann beispielsweise mehrere 100 betragen. Die Platten 64 bis 67 des Stapels 62 werden von außen fixiert, beispielsweise mittels Klammern, und die Spalte 78 bis 80 zwischen den Platten 64 bis 67 werden mit einem Füllmaterial versehen, das gegenüber dem Ultraschallschwingermaterial der Platten 64 bis 67 wesentlich abweichende, d.h. eine wesentlich geringere oder auch wesentlich größere akustische Impedanz aufweist, die sich als Produkt aus der Dichte des UltraschallSchwingermaterials und der Schallgeschwindigkeit des in Frage kommenden Schwingungsmods ergibt. Das Füllmaterial kann beispielsweise aus einem selbsthärtenden Kunststoff, vorzugsweise Araldit, oder auch Epoxidharz sowie Silikon-Gummi bestehen. Die Spalten 78 bis 80 können mit dem Füllstoff ausgegossen oder auch durch Tauchen des Stapels 62 gefüllt werden.
Nach dem Aushärten des Füllstoffes 82 zwischen den Platten 64 bis 67 entsteht nach Figur 4 jeweils ein Formkörper 84 durch Abtrennen von Scheiben senkrecht zur Stapelebene und parallel zur Richtung der Breite B und in Richtung der Länge L des Stapels 62 hintereinander.
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Die Dicke der Formkörper 84 bestimmt die Dicke der Wandlerelemente 14 in der herzustellenden Matrix 2.
Von diesen Formkörpern 84, die in ihrer Längsrichtung hintereinander jeweils abwechselnd einen Streifen aus Piezomaterial und eine Zwischenschicht des Füllstoffes 82 enthalten, werden nun eine größere Anzahl in der Art gestapelt, wie in Figur 3 dargestellt ist. Dabei können zunächst Abstandshalter zwischen den Formkörpern 84 angeordnet werden und die dadurch entstehenden Spalte mit einem Füllstoff 86 gefüllt werden, der vorzugsweise aus einem selbsthärtenden Kunststoff bestehen kann.
Nach einem abweichenden Verfahrensmerkmal können die Formkörper 84 auch zunächst auf wenigstens einer ihrer Flachseiten mit einer dünnen Oberflächenschicht des Füllstoffes 86 versehen werden. Der Füllstoff 86 kann beispielsweise aufgespritzt, aufgesprüht oder auch aufgedruckt werden. In diesem Falle kann der Füllstoff 86 selbst eine gut haftende Verbindung der Platten 84 untereinander herstellen oder die mit dem Füllstoff 86 beschichteten Flachseiten der Formkörper 84 können auch miteinander verklebt werden. Nach dem Aushärten des Füllstoffes 86 entsteht jeweils eine Matrix 2 aus Wandlerelementen 14 durch einen Schnitt parallel zur Längsrichtung H und in Richtung der Breite B des Stapels 92 hintereinander. Innerhalb der Matrix 2 werden jeweils benachbarte Wandlerelemente 14 an ihren Stirnseiten derart mit einer gemeinsamen elektrischen Kontaktierung versehen, daß sie einen Ultraschallschwinger bilden, wie es in Figur 5 durch eine strichpunktierte Trennungslinie angedeutet ist. Der Abstand der Schnitte innerhalb des Stapels 92 bestimmt jeweils die Länge der säulenförmigen Wandlerelemente 14 und wird vorzugsweise wenigstens so
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groß wie die Dicke D der Platten 64 bis 67 gewählt, welche zugleich die Breite der Wandlerelemente 14 bestimmt.
Die elektrische Polarisation des Schwingermaterials kann vor dem Abtrennen der Scheiben 64 bis 67 von einem Block des gewünschten Schwingermaterials erfolgen. Dann werden in den folgenden Verfahrensschritten die Schnittebenen jeweils so gewählt, daß im Endzustand der hergestellten Matrix 2 nach Figur 5 die einzelnen Wandlerelemente 14 senkrecht zu den Flachseiten der Matrix 2 polarisiert sind. Die elektrische Polarisation kann jedoch auch vorgenommen werden, wenn die Matrix 2 in Figur 5 fertiggestellt und die Wandlerelemente 15 elektrisch kontaktiert sind,
5 Patentansprüche
5 Figuren
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Claims (5)

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1. Ultraschallwandleranordnung mit einer Matrix von Ultraschallschwingern, gekennzeichnet durch die Gestaltungsmerkmale, daß
a) die Ultraschallschwinger (4 bis 12) jeweils aus einer Matrix von säulenförmigen, elektrisch gemeinsam gesteuerten Wandlerelementen (14) bestehen, deren Höhe wesentlich größer ist als ihre Dicke und daß b) sowohl die Zwischenräume zwischen den Ultraschallschwingern (4 bis 12) als auch die Zwischenräume zwischen den Wandlerelementen (14) mit einem Füllstoff (16) gefüllt sind, dessen akustische Impedanz wesentlich verschieden ist von der akustischen Impedanz des Schwingermaterials der Wandlerelemente (14) und das eine formschlüssige Verbindung zwischen den Wandlerelementen (14) bildet, und daß c) die Elektroden der Wandlerelemente (14) auf der einen Plachseite der Matrix (2) in Zeilen (22 bis 24) hintereinander und auf der anderen Plachseite der Matrix (2) in Spalten (26 bis 28) nebeneinander jeweils mit einer elektrischen Steuerleitung versehen sind.
2. Ultraschallwandleranordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß den Zeilen (22 bis 24) oder den Spalten (26 bis 28) auf der einen Flachseite der Matrix (2) jeweils ein elektronisches Verzögerungsglied einer fokussierenden Verzögerungskette (34) zugeordnet ist und daß die Spalten (26 bis 28) bzw. die Zeilen (22 bis 24) der anderen Flachseite der Matrix (2) getrennt steuerbar sind.
3. Ultraschallwandleranordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die
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Spalten (26 bis 28) bzw. Zeilen (22 bis 24) der anderen Flachseite der Matrix (2) gruppenweise steuerbar sind.
4. Ultraschallwandleranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet,
daß die Höhe der Wandlerelemente (14) senkrecht zu den Flachseiten der Matrix (2) mindestens gleich dem doppelten Betrag der Dicke (D) der Wandlerelemente (14) in Richtung der Flachseiten der Matrix (2) beträgt. 10
5. Verfahren zum Herstellen einer Ultraschallwandleranordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß Platten (64 bis 67) aus Ultraschallschwingermaterial mit ihren Flachseiten jeweils abwechselnd mit einer dünnen Schicht aus einem Füllstoff (82), dessen akustische Impedanz wesentlich verschieden ist von der akustischen Impedanz des Ultraschallschwingermaterials der Platten (64 bis 67)» aufeinandergeschichtet werden und eine mechanisch feste Verbindung zwischen dem Füllstoff (82) und den Platten (64 bis 67) hergestellt wird und daß anschließend mehrere plattenförmige Formkörper (84) durch jeweils einen Schnitt senkrecht zur Stapelebene und parallel zur Breite B und in Richtung der Länge L des Stapels (62) hintereinander hergestellt werden und daß dann diese Formkörper (84) mit ihren Flachseiten jeweils abwechselnd mit einer dünnen Zwischenschicht aus einem Füllstoff (86), dessen akustische Impedanz wesentlich verschieden ist von der akustischen Impedanz des Ultraschallschwingermaterials der Platten (64 bis 67), aufeinandergeschichtet werden und eine unlösbare Verbindung zwischen dem Füllstoff (86) und den Formkörpern (84) hergestellt wird und daß anschließend jeweils eine die Wandlerelemente (14) enthaltende Matrix (2) durch einen Schnitt senkrecht zur Stapelebene und parallel zur Länge H und in Richtung der Breite (B) des Stapels (92) hintereinander hergestellt wird.
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DE19803021449 1980-06-06 1980-06-06 Ultraschallwandleranordnung und verfahren zu seiner herstellung Withdrawn DE3021449A1 (de)

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