DE3001613C2 - Befestigung eines, eine monolithisch integrierte Halbleiterschaltung enthaltenden Halbleiterkörpers aus Silicium an einer Unterlage mit einem entsprechenden Verfahren hierzu - Google Patents

Befestigung eines, eine monolithisch integrierte Halbleiterschaltung enthaltenden Halbleiterkörpers aus Silicium an einer Unterlage mit einem entsprechenden Verfahren hierzu

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Description

Die vorliegene Erfindung befaßt sich sowohl mit der Befestigung eines, eine monolithisch integrierte Halbleerschaltung enthaltenden Halbleiterkörpers aus Silicium an einer Unterlage mittels einer mit Silberpartikeln versetzten, organischen Klebstoffschicht, als auch einem entsprechenden Verfahren eine derartige Befestigung zusammen mit einem entsprechenden Verfahren sind aus der US-PS 27 74 747 bekannt. Bei dem bekannten Verfahren wird eine Halbleitervorrichtung in ein Gehäuse eingebaut. Indem die Rückseite des Halbleiterkörpers mit einem Silberpartikel enthaltendem organischen Kleber an einer Unterlage, wie dem Gehäusesockel befestigt wird. Diesem Kleber auf Araldit-Basis werden Silberpartikel beigemischt, um die elektrische Leitfähigkeit der Klebstoffschicht zu erhöhen. Die elektrischen Eigenschaften einer solchen Klebstoffschicht lassen sich nämlich durch entsprechende Einstellung der Konzentration an Sllperpartikeln einstellen, wobei eine zu hohe Konzentration die mechanischen Eigenschaften und eine zu niedrige Konzentration das Leitvermögen der Klebstoffschicht beeinträcht.
Im gleichen Zusammenhang wird auf die US-PS 38 96 544 hingewiesen, aus der ebenfalls die Befestigung des Halbleiterkörpers einer Halbleitervorrichtung auf einem Gehäusesockel, der als Elektrode dient, bekannt. Wobei eine aus organischem, elastischen und mit Sllberpartlkeln versetzten Material bestehenden Zwischenschicht verwendet wird. Dort wird zudem bei der fertigen Anordnung der Halbleiterkörper durch eine Im Gehäuse vorgesehene Feder permanent gegen die Unterlage gedrückt, wodurch eine gute elektrische und wärmeleitende Verbindung zwischen dem Halbleiterkörper und der Unterlage erreicht wird. Jedoch ist ein permanenter Federdruck auf den Halbleiterkörper einer Integrierten Schaltung insofern mit Nachteilen behaftet, als dieser Federdruck zu mechanischen Verspannungen im Halbleiterkörper führt und damit die Funktion der integrierten Schaltung beeinträchtigen kann.
Das Problem der Wärmeleitung einer solchen Zwischenschicht wird zwar in der US-PS 38 96 544, z. B. in der Zusammenfassung angedeutet und aufgrund der dort angegebenen Mittel gelöst.
Es ist nun Aufgabe der Erfindung, die Befestigung eines Halbleiterkörpers aus Silicium, der eine integrierte Schaltung enthält und mittels eines silberhaltigen Klebers an einer als Wärmesenke dienenden Unterlage bleibend befestigt werden soil, derart auszugestalten, daß der Wärmeübergang vom Halbleiterkörper auf die Unterlage merklich verbessert wird, ohne daß dabei der Halblei terkörper mechanischen Verspannungen ausgesetzt werden muß und daß dabei die hierfür vorzusehenden Mittel nur einen geringen Aufwand darstellen. Dabei kommt es entscheidend auch auf eine VeK .ssserung des Wärmeübergangs vom Halbleiterkörper in den silberhaltigen Kleber an.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß bei der eingangs genannten Befestigung zwischen dem Halbleiterkörper und der Klebstoffschicht eine Chromschicht und eine Silberschicht derart angeordnet sind, daß die Chromschicht am Halbleiterkörper anliegt und die Silberschicht der Klebstoffschicht zugewandt ist.
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren zur Herstellung einer solchen Befestigung des eine integrierte Halbleiterschaltung enthaltenden Halbleiterkörpers aus Silicium an einer Unterlage mittels einer mit Silberpartikeln versetzten, organischen Klebstoffschicht, wird der Halbleiterkörper zunächst an einer Seite geschliffen, und dann werden auf die geschliffene Seite die Chromschicht und die Silberschicht aufgedampft oder aufgesputtert.
Das Aufbringen zweier Schichten aus Chrom und aus Silber auf einen Halbleiterkörper aus Silicium 1st an sich aus AT-PS 2 64 594 bekannt, wodurch ein guter chmscher Kontakt zwischen dem Halbleiterkörper und der Elektrode erreicht wird. Vorteilhafte Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Verfahrens sind In den Unteransprüchen angegeben.
Der Wärmewiderstand Rlh einer gemäß der Erfindung ausgestalteten Befestigung eines Halbleiterkörpers Ist nicht größer, als wenn der Halbleiterkörper durch Auflöten oder Auflegleren auf der metallischen Unterlage befestigt wird. Außerdem haben Dauerversuche gezeigt, daß der bei der erfindungsgemäßen Ausgestaltung der Befestigung erreichte nledriege Wärmeübergangswiderstand auch durch langdauernde Wechselbelastungen keine merkliche Beeinträchtigung erleidet.
Um eine der Erfindung entsprechende Befestigung eines mit einer Integrierten Schaltung versehenen SlIIcI-umplättchens zu erreichen, geht man bevorzugt, wie folgt, vor:
1. Zunächst wird der aus monokristallinem Silicium bestehende Halbleiterkörper der zu montierenden Halbleitervorrichtung an der mit der Unterlage zu verbindenden Unterseite durch Schleifen soweit abgetragen, daß eine Gesamtstärke von etwa 180 μπι verbleibt.
2. In einer Bedampfungsanlage wird die Rückseite des scheibenförmigen Halbleiterkörpers bei ca. 300* C mit einer 0,1 μΐη starken Chromschicht versehen.
3. Unmittelbar darauf (d. h. ohne die Bedampfungsanlage zu öffnen) wird auf die Chromschicht eine ca. 1 μίτι dicke Silberschicht aufgedampft. Zu bemerken Ist dabei, daß man auch mit dünneren Silberschichten, z. B. einer 0,5 μπι starken Silberschicht, noch ausreichend gute Ergebnisse erhält.
4. Die dann aus der Bedampfungsanlage herausgenommene Halbleitervorrichtung wird nun mittels des silberhaltigen Klebers auf dem als Unterlage vorgesehenen und aus wärmeleitendem Material bestehenden Gehäuseteil, insbesondere einer metallischen Gehäuse-Grundplatte, befestigt. Als Kleber Ist insbesondere ein Silicon-Kleber geeignet, der mit dem erforderlichen Gehalt an Silberpartikeln versehen und vor der Anwendung mit ca. 10% eines geeigneten Lösungsmittels verdünnt wird. Unmittelbar nach dem Verkleben ist eine Wärmebehandlung bei etwa 200° C zweckmäßig. Die Erfindung wurde vor allem unter Anwendung des im Handel befindlichen Silicon-Klebers, dem über 50 Volumprozent an Silberteilchen zugesetzt sind, erprobt.
5. Beim Aufdampfen der beiden Metallschichten sind die Aufdampfraten und damit die Rauhigkeit der schließlich erhaltenen Oberfläche der Metallisierung auf die Größe der im Kleber vorgesehenen Silberpartikel derart abzustimmen, daß zwischen der Oberfläche der Silbermetallisierung an der Chip-Rückseite und den im Kleber anwesenden Sfifesrteilchen ein guter Flächenkontakt gewährleistet ist. Zweckmäßig wird man deshalb einen Kleber verwenden, der mit möglichst einheitlichen Silberteilchen, insbesondere zyllnderförmigen oder kugelförmigen Leitsilberteilchen, versetzt ist, wobei die Teilchengröße auf die Oberflächenrauhigkeit der Silberschicht abgestimmt wird.
Für das Aufdampfen der Chromschicht empfehlen sich Aufdampfgeschwindigkeiten von 3 ■ 10~s mm/min bis 4 ■ ΙΟ"5 mm/min, für das Aufdampfen der Silberschicht Aufdampfgeschwindigkeiten von 5 · 10~5 mm/min sowie ein Kleber, der zylindrische Silberteilchen von 5μΐη Durchmesser und 10 μΐη LaMe entteiit. Der Metallgehalt des Klebers wird auf § SO Volumprozent eingestellt. Hauptaufgabe der Chromschicht Ist es die Haftfestigkeit der Metallisierung auf der Sliiclumunterlage zu verbessern und damit Indirekt die wärmeableitende Funktion der Silberschicht zu unterstützen.
Anstelle des Aufbringens der Metallschichten durch Aufdampfen Ist auch deren Aufbringen durch Aufsputtern möglich.
45
so
60
63

Claims (4)

Patentansprüche:
1. Befestigung eines eine monolithisch integrierte Halbleiterschaltung enthaltenden Halbleiterkörper aus Silicium an einer Unterlage mittels einer mit Silberpartikeln versetzten organischen Klebstoffschicht, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Halbleiterkörper und der Klebstoffschicht eine Chromschicht und eine Silberschicht derart angeordnet sind, daß die Chromschicht am Halbleiterkörper anliegt und die Silberschicht der Klebstoffschicht zugewandt ist.
2. Verfahren zur Befestigung eines Halbleiterkörpers nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß is der Halbleiterkörper zunächst an einer Seite geschliffen wird, und daß dann auf die geschliffene Seite die Chromschicht und die Silberschicht aufgedampft oder aufgesplittert werden.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch- gekennzeichnet, daß die Stärke der Chromschicht auf 0.1 um und die Stärke der Silberschicht auf 1 μπι eingestellt wird.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 2-3, dadurch gekennzeichnet, daß ein Kleber verwendet wird, dessen Silbergehalt durch einander gleiche Silberpartikel von zylindrischer oder kugelförmiger Gestalt gegeben ist, deren Abmessung auf die Rauhigkeit der Oberfläche der Silberschicht abgestimmt ist.
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DE3001613A 1980-01-17 1980-01-17 Befestigung eines, eine monolithisch integrierte Halbleiterschaltung enthaltenden Halbleiterkörpers aus Silicium an einer Unterlage mit einem entsprechenden Verfahren hierzu Expired DE3001613C2 (de)

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