DE2811198A1 - Gaslaser mit gepulster elektrischer entladung unter verwendung einer blumlein- uebertragung mit wasser als dielektrikum - Google Patents

Gaslaser mit gepulster elektrischer entladung unter verwendung einer blumlein- uebertragung mit wasser als dielektrikum

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DE2811198A1
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pulse
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laser according
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DE19782811198
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English (en)
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Jun Robert Spencer Bradford
Leonard William Braverman
Jeffrey Ian Levatter
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Xonics Inc
Original Assignee
Xonics Inc
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Description

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Date
14. März 1978
W/Ja
Anmelder: XONICS, INC., 6949 Hayvenhurst Avenue/ Van Nuys, California 91406, USA
Titel:
Gaslaser mit gepulster elektrischer Entladung unter Verwendung einer Blumlein-Übertragung mit Wasser als Dielektrikum
Erfinder: 1. Robert Spencer Bradford, Jr., Physiker
6376 West 84 Street, Los Angeles, Calif. 90045, USA
2. Leonard William Braverman, Physiker
323 Ricknell Street, Santa Monica, Calif. USA
3. Jeffrey lan Levatter, Physiker
1443 Avenida De Las Adelsas, Encinitas, Calif. 92024, USA
Priorität
USA
Nr. 816 696
vom 18. Juli 1977
809885/0628
Konten: Bayerische Vereinsbank (BLZ 750 200 73) 5 839 300 Postscheck München 89369-801
Gerichtsstand Regensburg
Zusammenfassung: Gegenstand der Erfindung ist ein Gaslaser mit gepulster elektrischer Entladung, der durch eine gefaltete Blumlein-Übertragungs- ; leitung mit flüssigem Dielektrikum betrieben wird. Ein Verfahren zum
Vorionisieren und Zünden der Laserentladung verwendet den Blumlein- ; Spannungsvorimpuls zum Vorionisieren und den nachfolgenden Hauptspannungsj impuls für den Funkenstreckenschalterdurchschlag. Bn Funkenstrecken-
schalter mit ersten und zweiten länglichen Elektroden weist eine erste
i Elektrode auf, die eine gerundete Oberfläche für die zweite Elektrode
' bildet, welche einen dünnen, kontinuierlichen Rand der der ersten Elektrode zugewandt ist, umfaßt· Eine längliche, mit Öffnungen versehene
Kathode an der Laserkammer ist mit einer länglichen Vorionisierungselektrode hinter der Kathode versehen, und eine Energiespeisequelle ergibt
einen Vorionisierungsimpuls an der Kathode und der Vorionisierungselektrode, wodurch Ionen und Elektronen im Lasergas vor der Hauptentladung
zwischen Anode und Kathode erzeugt werden·
Die Erfindung bezieht sich auf Gaslaser mit gepulster elektrischer Ent-
;ladung, und insbesondere auf eine neuartige und verbesserte Laserkon- : struktion, die eine Strahlungsquelle hoher Energie ergibt. !
Es sind verschiedenste Laserkonstruktionen bekannt und im Einsatz, und es · wird fortlaufend daran gearbeitet, die Ausgangsleistung von Lasern zu j
erhöhen. Aufgabe vorliegender Erfindung ist es deshalb, einen Laser mit
j ·
Gasentladung zu schaffen, der eine höhere Ausgangsleistung besitzt, \ insbesondere eine Spitzenleistung in der Größenordnung von 1-10 MW und
eine Impulsbreite von 25 nsec. Eine Wiederholrate über 100 Hz und eine ! mittlere Leistung von 10 W ist erwünscht· !
Mit vorliegender Erfindung wird die Verwendung einer gefalteten Blumlein-i
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Übertragungsleitung mit flüssigem Dielektrikum (insbesondere Wasser) alsj Antriebsschaltung für einen Laser mit schneller, quererregter elektri- : scher Entladung vorgeschJcgen. Ein wa iteres Merkmal vorliegender Erfindung
besteht in der Anwendung des charakteristischen Blumlein-Spannungsdmpul-; ι - j
ses als Mittel zum Vorionisieren und damit zum Konditionieren der Laser-j entladung hohen Druckes (ungefähr 1 atm). Ein drittes Merkmal besteht inj der Verwendung einer Schienenfunkenstrecke mit negativer Kante und ι positiver Ebene (negative-edge/positive-plane rail spark gap) als Mittelj zum Schalten des Hochspannungsimpulses hohen Stromwertes auf die Blumleiji-Übertragungsleitung und damit auf die Laserentladung. Ein weiteres wesentliches Merkmal besteht in der Verwendung einer zweiten Kanten/ Ebenen- oder Mehrstellen-Schienenfunkenstrecke als Methode der Überschlagsvorionisierung der Laserentladung über eine halbtransparente Laserkathode.
-5 Für kurzdauernde Hochspannungsimpulse von weniger als 10 Sekunden
; verhält sich reines Wasser als Dielektrikum hoher Qualität, wie es für Laser mit schneller elektrischer Entladung erforderlich ist. Wasser
' in Form polcrer Moleküle besitzt eine außergewöhnlich höhe Dielektrizi tätskonstante (ε Λ» 78)über einen breiten Frequenzbereich (l MHz bis 1000 MHz). Aufgrund dieser hohen Dielektrizitätskonstante stellt Wasser ein ausnehmend gutes gepulstes Dielektrikum dar. Typische Dielektrika hoher Qualität und geringen Verlustes, wie sie heutzutage bei gepulsten elektrischen Lasern verwendet werden, z.B. Mylarpolyester, Kapton und
] Mica, besitzen Dielektrizitätskonstanten von nur zwei oder drei. Da die elektrische Feldenergie, die in einem polarisierbaren Medium gespeichert ist, proportional der Dielektrizitätskonstante ist, ist ein Wasserkondensator oder eine Übertragungsleitung in der Lage, etwa dreißigmal so viel Energie pro Volumeneinheit zu speichern, wie diese anderen Dielektrika. Infolgedessen werden Dimensionstoleranzen, die normalerweise in Übertragungsleitungen niedriger Impedanz erforderlich sind, wesentlich
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i herabgesetzt, weil die Trennung der stromleitenden Platten für einen Wasserkondensator typischerweise mehrere Millimeter bis mehrere Zenti-'_ meter beträgt, nicht Bruchteile eines Millimeters. Wasser hat auch eine sehr hohe Durchschlagsfestigkeit (größer als 200 kV/cm unter bestimmten Bedingungen), so daß es in idealer Weise für hochspannungsgepulste Anwendungsfälle geeignet ist. Sei noch höheren elektrischen Feldern bildet sich, falls ein elektrischer Lichtbogen im Wasser auftritt, Dampf, der sich dann in Wasser zurückbildet und sich somit selbst heilt. Her-■ kömmliche feste Dielektrika für Laser sind nicht reparierbar, wenn sie von einem elektrischen Lichtbogen beschädigt werden, und müssen somit ersetzt werden.
Für viele gepulste Lasersysteme ist es erwünscht, die Impulslänge zu vergrößern, um mehr Laserenergie entnehmen zu können. Die Impulslänge Χ' , die durch eine koaxiale Übertragsleitung oder eine solche mit paralleler Platte erzeugt wird, ist
Impuls •η
wobei 1 die räumliche Länge der Übertragungsleitung, c die Lichtgeschwindigkeit und <£, die Dielektrizitätskonstante ist. Deshalb ist eine Übertragungsleitung mit Wasser als Dielektrikum in der Lage, einen
ι elektrischen Impuls zu erzeugen, der etwa fünfmal länger dauert als mit
j herkömmlichen Dielektrika erzielbar, die für gepulste Laser verwendet werden.
Auch der Verlustwinkel des Dielektrikums für reines Wasser ist verhält-.. j
nismäßig klein und ergibt nur geringe Energieverluste in der übertragung^ ■ leitung. Abwärme wird leicht durch Konvektion des Wassers und Wärme-S austausch entfernt. Dies ermöglicht das Potential für sehr hohe Laserimpulswiederholraten ( >1OkHz).
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Um eine Laserentladung gleichförmigen Volumens (d.h. Vermeidung einer elektrischen Lichtbogenbildung) bei hohen Gasdrücken zu erzielen, ist es erforderlich, eine Anfangskonzentration von Ionen und Elektronen im Laserentladungsvolumen vor dem Anlegen des elektrischen Hauptimpulses zu erzielen. Diese Technik wird als "Vprionisierung" bezeichnet. Eine Möglichkeit der Erzielung einer Vorionisierung ist die Verwendung des charakteristischen Blumlein-Spannungs-Vorimpulses, der an den Laserentladungselektroden während des Ladezyklus der Blumlein-Übertragungsleitun ausgebildet wird. Dieser schnelle Impuls ist in der Amplitude groß genug» damit eine anfänglich Störung von Elektronen in der Nähe der Laserelektro den erzielt wird, er ist jedoch ausreichend kurz, damit ein vollständiges Durchschlagen des Lasermediums verhindert wird. Die Größe und das Zeitverhalten des Vorimpulses werden durch die Impulsladegeschwindigkeit der Blumlein-Übertragungsleitung gesteuert und können Über einen weiten Bereich von Werten verändert werden, damit eine optimale Vorionisierung erzielt wird.
Ein weiteres Verfahren zum Vorionisieren besteht incfer Verwendung einer raschen Vorionisierungsentladung mit hohem Strom, die in unmittelbarer Nähe der Hauptlaserentladung vorgenommen wird. !
Eine vierte Platte wird in der gleichen Ebene mit der Grundebene der ; Blumlein-Leitung angeordnet; sie wird zur Steuerung der Hauptentladung j verwendet und bildet eine weitere Übertragungsleitung mit Wasser, die ' die Energie für die Vorionisierungsentladung liefert. Verwendet man diese Technik, wird eine Steuerschaltung mit sehr geringer Induktanz erzielt. !
Die Vorionisierelektrode wird hinter einer mit Offnungen versehenen Kathode angeordnet, wodurch die Lichtbogenbildung zur Anode und eine Störung der elektrischen FeüLinien zwischen der Laserkathode und der Laseranode verhindert wird,, Aufgrund der Vorionisierungsentladung gelangen Elektronen durch die Kathode in den Bereich zwischen Laseranode
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und Laserkathode, so daß die Hauptentladung vorbereitet wird. Die : Vorionisierelektrode ist für hohe Feldverstärkung in Richtung der Kathode! ausgelegt und besteht typischerweise aus einer linearen Anordnung von Metallstiften mit hoher Dichte. Durch die Vorionisierungsentladung wird ; ferner ultraviolettes Licht erzeugt, das das Austreten von Fotoelektronerl aus den Elektrodenflächen bewirkt, was auch dazu beiträgt, die Laser- ; entladung vorzubereiten.
Um die optimale Leistung aus dem über die Blumlein-Übertragungsleistung < '■ angetriebenen Laser mit elektrischer Entladung (txicimer) zu erzielen, ; muß die Impedanz der Übertragungsleitung ziemlich niedrig sein (= 1 Ohm), und die elektrische Anstiegszeit der Leistung muß gering sein (= 20 nsec), Herkömmliche Schalter hoher Spannung und hohen Stromes mit einzelnem Lichtbogenkanal haben eine zu hohe Induktivität, als daß sie zur Einleitung des elektrischen Stzomimpulses für Übertragungsleitungen mit paralleler Platte mit niedriger Impedanz verwendet werden können, weil die elektrische Impulsanstiegsdauer proportional der Schalterinduktivität geteilt durch die Leitungsimpedanz ist.
Während man versucht sein könnte, eine Parallelanordnung von Lichtbogen- ' strecken mit Einfachkanal zu verwenden, um die gesamte Schalterindukti- . vität zu verringern, können die sich daraus ergebenden Synchronisierj probleme den gewünschten Effekt so schwierig gestalten, daß er unmöglich
ι ;
realisiert werden kann. Um die Synchronisierprobleme zu vermeiden, wird ' eine Lichtbogenstrecke mit Einfachkanal und Vielfachlichtbögen verwendet,;
j bei dem eine Schienenlichtbogenstrecke mit negativer Kante und positiver ;
Ebene mit Gas- oder Flüssigkeitsfüllung als Mittel zum Schalten des
ι Hochspannungsimpulses hohen Stromes auf die Blumlein-Übertragungsleitung ;
j und damit an der tatsächlichen Laserentladung zu verwenden· '
! j
j
Die beiden Hauptvorteile der Mehrfachlichtbogenkanal-Funkenentladungs- '>
ι i
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strecke sind
α) eine geringere Induktivität als eine Funkenentladungsstrecke mit einem einzigen Lichtbogenkanal und damit eine raschere Anstiegszeit, die erforderlich ist für die Betätigung der Blumlein-Leitung geringe Impedanz, und
b) eine wesentlich geringere Elektrodenerrosion als bei einer Funkenentladungsstrecke mit Einfachlichtbogenkanal, und infolgedessen eine
j wesentlich größere Lebensdauer der Mehrfachkanalstrecke. Die Spannung, bei der die Strecke schaltet, wird durch den Druck des Füllgases und die Trennung der negativen Kante von der positiven Ebene gesteuert.
Nachstehend wird die Erfindung in Verbindung mit der Zeichnung anhand eines Ausfuhrungsbeispieles erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine perspektivische Darstellung eines Gasentladungslasers nach
einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung, Fig. 2 eine vertikale Schnittansicht längs der Linie 2-2 der Fig. 1 in vergrößerter Darstellung,
Fig. 3 eine horizontale Schnittansicht längs der Linie 3-3 der Fig. 2, j Fig. 4 eine vergrößerte Teilschnittansicht längs der Linie 4-4 der
Fig. 2, I
Fig. 5 eine vergrößerte Teilschnittansicht längs der Linie 5-5 der Fig.2jr Fig· 6 ein elektrisches Diagramm, das Energiesped severbindungen für den '
Laser nach Fig. 1 zeigt, und
Fig. 7 eine äquivalente elektrische Schaltung des Lasers nach den Fig.
1 bis 5.
Der Laser nach Fig. 1 weist einen Laserabschnitt 10 auf, der auf einen Flüssigkeitsbehälter 11 befestigt ist0 Der Behälter besitzt eine Ober- | seite 12, einen Boden 13, Seiten 14, 15 und Enden 16, 17, die abdichtend!
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! miteinander verbunden sind, so daß ein Flüssigkeitsgehäuse für ein Dielektrikum, z.B. Wasser, entsteht. Metallplatten 21, 22, 23, 24 (Fig. 2 : und 3) sind innerhalb des Behälters 11 zwischen Tragblöcken 25 angeordnet, die mit den Behälterenden 16, 17 verbunden, z.B. verschraubt sind. Die Platten 21, 22, 23, sind parallel zueinander angeordnet und stellen [ eine gefaltete Blumlein-Übertragungsleitung dar. Die Platte 24 ist parallel im Abstand zur Platte 21 angeordnet und mit der Vorionisierungs elektrode verbunden, die nachstehend beschrieben wird.
Die Platten 21 und 22 stehen durch den Behälterboden 13 in einen Hilfsbehälter 28 vor, der Seiten 29, 30, einen Boden 31 und Enden (nicht dargestellt) aufweist, wobei die Seiten und die Enden mit dem Boden durch Schrauben und der Hilfsbehälter 28 mit dem Behälterboden 13 durch entsprechende Schraubverbindungen 32 verbunden ist. An den Platten 21, 22 ' sind Abdichtungen 34 vorgesehen, um zu verhindern, daß Strömungsmittel ' zwischen den beiden Behältern fließt. ;
Ein Funkenstreckenschalter zur Einleitung der Hauptentladung des Lasers ist innerhalb des Hilfsbehälters 28 angeo rdnet. Eine Strömungsmittelquelle 37 ist mit dem Inneren des Behälters 28 Über eine Leitung 38 verbunden, damit ein Strömungsmittelvorrat mit gesteuertem und variablem Druck zur Verfügung steht. Eine längliche Elektrode 40 ist auf dem unteren Ende der Platte 21 befestigt und erstreckt sich vorzugsweise
ι über die gesamte Breite der Platte. Eine weitere längliche Elektrode 41 |
ist auf dem unteren Ende der Platte 22 befestigt und erstreckt sich j ebenfalls vorzugsweise über die gesamte Breite der Platte. Die Elektrode 40 ist zweckmäßigerweise kontinuierlich mit gerundeter Oberfläche ausgebildet, wie Fig. 2 zeigt. Die Elektrode 41 weist vorzugsweise eine kontinuierliche dünne Kante oder Schiene auf, die nach außen gegen die
Elektrode 40 vorsteht; eine bevorzugte Konstruktion ist in Fig. 5 ge-
43 zeigt. Ein Metallstreifen/ist in einer Nut in der Elektrode 41 angeord-
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net und wird durch Einstellschrauben 44 gehalten. j
Der Laserabschnitt 10 besitzt eine Laserkammer 50, die in einem Block 52| angeordnet ist, welcher mit dem oberen Ende der Platte 23, dem oberen
Ende der Platte 21, einem weiteren Block 53 und einer Platte 54 zusammen! gebaut wird. Diese Anordnung wird durch dielektrische Stäbe 56 und
Schrauben 57 zusammengehalten. Die Platte 54 ist mit dem oberen Ende
der Platte 24 befestigt, wobei die Platten 24, 21 und 23 durch die Deckwand 12 des Behälters 11 vorsteht. Die Enden der Laserkammer sind durch j Endplatten 59 geschlossen, die einen entsprechenden Spiegel oder ein
Fenster aufnehmen.
Eine längliche Anode 60 ist in Block 52 längs einer Seite der Laserkammer befestigt und mit dem oberen Ende der Platte 23 verbunden. Eine längliche Ktthode 61 ist auf der entgegengesetzten Seite der Laserkammer auf
Armen 62 befestigt, die ihrerseits mit der Platte 21 verbunden sind.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform weist die Kathode Öffnungen auf,
wie sie beispielsweise durch ein Gitter einer perforierten Metallplatte
dargestellt sind. Eine längliche Vorionisierungselektrode 65 ist im
Block 53 befestigt und mit der Platte 54 verbunden, wobei die Elektrode '' sich längs des Blockes hinter der Kathode 61 erstreckte, Vorzug sweise j ist eine Vielzahl von spitzen Stiften 66 in der Elektrode 65 befestigt,
sie werden durch Einstellschrauben an Ort und Stelle gehalten, wobei : die Reihe von Stiften gegen die Kathode vorsteht. Eine Induktivität 68 ; ist zwischen die Platte 21 und die Platte 23 elektrisch an den Spalt : zwischen Kathode und Anode eingeschaltet. j
Eine Ladespeisequelle 70 fUr den Vorionisierungsimpuls ist an die ;
Platten 24 und 21 gelegt, wie durch die Anschlüsse 1 und 2 dargestellt« ! Eine Hauptimpuls-Ladespeisequelle 71 ist an die Platten 21 und 22 ge- j legt, wie durch die Anschlüsse 2 und 3 gezeigte Di© beiden Energie» ι
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speisequellen erzeugen Ausgangsimpulse mit einer vorbestimmten und j vorzugsweise veränderlichen Wiederholrate, und eine oder beide weisen , Mittel auf, um die Verzögerung zwischen dem Impuls aus der Speisequelle i 70 und dem Impuls ausdsr Speisequelle 71 zu variieren. Ferner weisen I beide Speisequellen Steuerungen zur Veränderung der Impulsspitze, Impulsf-
i breite und Impulskurvenform auf. Die Energiequelle 71 besitzt Mittel zurj Veränderung der Ladungsgeschwindigkeit der Übertragungsleitung, mit der die Speisequelle verbunden ist. Derartige Energiespeisequellen sind an sich bekannt und werden deshalb nicht weiter erläutert.
, Im Betrieb ist der Behälter 11 mit einem flüssigen Dielektrikum, vorzugsweise mit Wasser gefüllt. Der Behälter 28 ist mit einem dielektrischen
' Strömungsmittel, z.B. Stickstoff gefüllt. Die Platten im Behälter arbeiten als gefaltete Blumlein-Übertragungsleitung zur Kopplung von Energie von den Energiequellen zu Kathode und Anode.
Bei einer Betriebsart wird ein Vorionisierungsimpuls aus der Energiespeisequelle 70 zwischen Elektrode 65 und Kathode 61 eingeschaltet, um Ionen und Elektronen im Gas zwischen Elektrode und Kathode zu erzeugen,
. wobei ein Teil dieser Ionen und Elektronen sich durch die Kathode mit Öffnungen in den Spalt zwischen Kathode und Anode bewegt. Dann wird
, der Hauptimpuls der Energiespeisequelle 71 an die Platten 21, 22 ange- ;
ι schaltet, um den Kondensator der Übertragungsleitung aufzuladen. Wenn die Spannung an der Funkenstrecke zwischen den Elektroden 4O7 41 die : Überschlagsspannung übersteigt, tritt eine Stromleitung am Spalt ein, die eine Entladung zwischen Anode und Kathode in herkömmlicher Weise für den Laser mit elektrischer Entladung ergibt. :
Bei einer anderen Betriebsweise können die Vorionisierungs-Speisequelle 70,die Vorionisierungselektrode 65 und die Platte 24 weggelassen werden.!
Wenn die Hauptimpuls-Ladespeisequelle einen Ausgangsimpuls an die
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Blumlein-Übertragungsleitung ergibt, treten zwei Impulse auf; der erste wird als Vorimpuls und der zweite als Hauptimpuls bezeichnet. Bei bekannten Lasern, die Blumlein-Übertragungsleitungen verwenden, werden Versuche gemacht, um den Vorimpuls durch entsprechende Änderung der Ladegeschwindigkeit in die Leitung auf ein Minimum herabzusetzen oder zu
eliminiereno Im Falle vorliegender Erfindung wird gerade der umgekehrte .
J Weg gegangen und der Vorimpuls verstärkt und verwendet, um die gev/Unschtje ; Vorionisierung im Gas zwischen Kathode und Anode zu erreichen. Der Aus- !
gang aus der Speisequelle 71 wird so verändert, daß der Vorimpuls eine j Größe besitzt, die ausreicht, um eine Ionisierung im Spalt zwischen Kathode und Anode zu erzielen, der aber eine genügend kurze Dauer und Amplitude hat, damit nicht ein vollständiges Durchschlagen des Anoden- '■ Kathoden-Raumes erhalten wird. Der folgende oder Hauptimpuls hat eine größere Amplitude und erzeugt den gewünschten Funkenstreckenüberschlag und ein Zünden der Hauptentladung. In machen Fällen können beide Arten der Vorionisierung gleichzeitig verwendet werden. Dasbedeutet, daß die Vorionisierungselektrode 65, die Platte 24 und die Speisequelle 70 mit der mit Öffnungen versehenen Kathode zur Vorionisierung in den Raum zwischen der Elektrode und der Kathode verwendet werden können, und zwar zusammen mit der Hauptspeisequelle 71 und dem Blumlein-Vorimpuls zur Vorionisierung im Raum zwischen Kathode und Anode.
Wie weiter oben erwähnt, sind die dielektrischen Eigenschaften von ; Wasser bekannt, und Wasser ist als Dielektrikum verwendet worden; die ! Verwendung von Wasser als Dielektrikum in der Blumlein-Übertragungs- ;
leitung zur Abgabe von Energie an einen Laser ermöglicht jedoch einen '
Betrieb bei wesentlich höheren Energien als dies bisher bei Lasern mög- ' i
lieh war. ■
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Leerseife

Claims (1)

  1. Patentansprüche ;
    — # — » — · — » — «"■. — » — » — » — »""»■"» — . — »— j
    J ο) Gaslaser mit gepulster elektrischer Entladung und mit einer läng- | liehen Gaslaserkammer mit länglichen, im Abstand versetzten Elektroden und Anoden längs entgegengesetzter Seiten der Kammer, gekennzeichnet durch einen Flüssigkeitsbehälter (ll), j
    erste, zweite und dritte Metallplatten (21, 22, 23), die in dem Behälter (11) im Abstand angeordnet sind, wobei die zweite Platte (22) parallel zu und entgegengesetzt zu den ersten und dritten Platten j
    (21, 23) angeordnet ist,
    eine Verbindung der ersten Platte (21) mit der Kathode (61) und der dritten Platte (23) mit der Anode (60),
    eine Induktivität (68), die zwischen die erste und dritte Platte (21,
    23) eingeschaltet ist, und :
    eine Verbindung einer Impulsspeisequelle (70) mit der zweiten Batte ;
    (22) und einer der ersten und dritten Platten(21, 23).
    2. Laser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste und die zweite Platte (21, 22) durch eine Wand (13) des Behälters (11) vorstehen, wobei die Kathode (61) auf der ersten Platte (21) und die Anode (60) auf der dritten Platte (23) aufgenommen ist.
    3. Laser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste und de dritte Platte (21, 23) parallel zueinander angeordnet sind, und daß die zweite Platte (22) dazwischen angeordnet ist.
    4. Laser nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen Funkenstreckenschalter φ-41), der zwischen die zweite Platte (22) und eine der ersten und dritten Platten (21, 23) eingeschaltet isto
    809885/0628 original inspected
    5. Laser nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Schalter (40-41) erste und zweite kontinuierliche längliche Elektroden (40-41) aufweis-p, die gleichmäßig voneinander längs der Strecke versetzt sind, wobei '
    i eine der Elektroden eine dünne Kante besitzt, die der anderen der
    Elektroden zugewandt ist.
    6. Laser nach Anspruch 5, gekennzeichnet durch einen mit Strömungsmittel; j gefüllten Behälter (28) für die Elektroden (40f 41) und eine Vorrichtung (37) zur Veränderung des Strö'mungsmitteldruckes in dem Behälter j (28). \
    , 7. Laser nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Platte ; (22) und eine der ersten und dritten Platten (21, 23) durch die Wand ; (13) des Behälters (ll) in einen mit Strömungsmittel gefüllten Be- ; hälter (28) vorstehen, wobei die Elektroden (60, 61) auf den vorstehenden Platten (21, 22, 23) innerhalb des Behälters (28) aufgenommen ! sind.
    - 8. Laser nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten und dritten Platten (21, 23) durch eine entgegengesetzte Wand (12) des J Behälters (ll) vorstehen, wobei die Kathode (61) auf der ersten Platte (21) und die Anode (60) auf der dritten Platte (23) aufgenommen ist. I
    9. Laser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Impulsspeisequelle (70) einen Impuls vorbestimmter Ladegeschwindigkeit in die kapazitive Last liefert, die durch die Platten (21, 22, 23) dargestellt ist, wobei ein erster Impuls niedrigerer Amplitude und ein zweiter Impuls höherer Amplitude an Anode (60) und Kathode (61) erzeugt wird, und wobei der erste Impuls eine anfängliche Konzentration von Ionen und Elektronen in dem Lasergas ergibt, ohne daß ein Durchschlag im Gas entsteht.
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    10. Laser nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Impulsspeisequelle (70) Mittel zur Veränderung der Impulsladegeschwindigkeit aufweist.
    Vl. Laser nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine zweite Kammer, die von der Laserkammer (50) durch die Kathode (61) getrennt ist, eine längliche Vorionisierungselektrode (65), die in der zweiten Kammer im Abstand von der Kathode (61) angeordnet ist, wobei die Kathode (61) eine Vielzahl von Öffnungen aufweist, durch die hindurch) eine Verbindung zwischen der Laserkammer (50) und der zweiten Kammer entsteht, und
    eine Verbindung einer zweiten Impulsspeisequelle (71) mit der Kathode (61) und der Vorionisierungselektrode (65).
    12« Laser nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorionisierungselektrode (65) eine längliche Schiene mit einer Vielzahl von Stiften (66) ist, die von der Schiene gegen die Kathode (61) vorstehen.
    13. Laser nach Anspruch 11, gekennzeichnet durch eine vierte Metallplatte (24), die in dem Behälter (11) im Abstand von und parallel zur ersten Platte (21) angeordnet ist, eine Verbindung der vierten Platte (24) mit der Vorionisierungselektrode (65), und eine Verbindung der zweiteh Impulsspeisequelle (71) mit der ersten und vierten Platte (21, 24).
    14. Laser nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens eine der Impulsspeisequellen (70, 71) Mittel zur Veränderung der Zeitdauer
    ι des Ausgangsimpulses in bezug auf den Ausgangsimpuls der anderen der Impulsspeisequellen aufweist.
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    15. Laser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Flüssigkeit Wasser ist.
    16. Verfahren zum Vorionisieren der Laserkammer und zum Zünden des Funkenstreckenschalters eines Gaslasers mit gepulster elektrischer Entladung aus einer einzigen Impulsenergiequelle, dadurch gekenn- \ zeichnet, daß der Ausgangsimpuls der Energiespeisequelle mit den parallelen Platten einer flüssigen, dielektrischen Übertragungsleitung verbunden wird, die mit der Anode und der Kathode des Lasers gekoppelt ist, und daß die Impulsladegeschwindigkeit der Energiespeisequelle so eingestellt wird, daß die beiden Spitzen in der Übertragungsleitung erzeugt werden, wobei die erste Spitze mit niedrigerer Amplitude aus-? reicht, um das Gas zwischen Kathode und Anode vorzuionisieren, jedoch keinen Durchschlag der Funkenstrecke ergibt, und wobei die zweite Spitze größerer Amplitude ausreicht, um einen Durchschlag der Funkenstrecke zu erzeugen.
    809885/0628
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