DE2618733A1 - Halbleiterbauelement mit heterouebergang - Google Patents

Halbleiterbauelement mit heterouebergang

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DE2618733A1 DE19762618733 DE2618733A DE2618733A1 DE 2618733 A1 DE2618733 A1 DE 2618733A1 DE 19762618733 DE19762618733 DE 19762618733 DE 2618733 A DE2618733 A DE 2618733A DE 2618733 A1 DE2618733 A1 DE 2618733A1
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Takeshi Matsushita
Mitsuru Shibazaki
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Sony Corp
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Description

ΤΙΞΗ MEER - MÜLLER - STEiNMEISTER
D-ÜÜüü München 22 D-4ÜOO Bielefeld
liiltblrafie 4 Siekurwall 7
S76P3O 28. März 1976
SONY CORPORATION
Tokio / Japan
Halbleiterbauelement mit HeteroÜbergang
Die Erfindung betrifft ein Halbleiterbauelement, insbesondere einen Transistor mit einem übergang zwischen heterogenen Halbleiterbereichen .
Es sind Transistoren mit Emittern mit breitem Bandabstand bekannt, d.h. solchen, bei denen die Breite der verbotenen Zone oder die Energie des Bandabstandes für den Emitter größer ist als für die Basis, wobei sich ein HeteroÜbergang zwischen Emitter und Basis ergibt. Bei solchen Transistoren kann der Minoritätsladungsträgerstrom im Emitter auch dann noch ausreichend klein werden, wenn die Verunreinigungskonzentration in der Ba-
19 ,3
sis über der Größenordnung von 10 Atomen/cm liegt, wegen der Bandabstandsdifferenz am Emitter-Basisübergang, Dies führt zu einem Wirkungsgrad am Emitterübergang von annähernd Eins und der
609846^0740
! Stromverstärkungsfaktor für Emitter-Basisschaltung h wird sehr i j groß.
Für Materialien, die zur Bildung eines HeteroÜbergangs in Frage kommen, müssen die Unterschiede in der Gitterkonstante und des '■ thermischen Ausdehnungskoeffizienten möglichst klein sein. Bekannt sind Kombinationen von Ga As mit Ge oder Ga Al As mit GaAs . . ,
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, mit einer neuen Kombination von geeigneten Materialien die einfache Herstellung von Halbleiterbauelementen mit möglichst optimalen HeteroÜbergängen ζ u ermöglichen.
Die Patentansprüche geben erfindungsgemäße Lösungen dieser technischen Aufgabe an; vorteilhafte Weiterbildungen sind in der nachfolgenden Beschreibung enthalten und in Unteranschrüchen gekennzeichnet.
Der Grundgedanke der Erfindung beruht darauf, zur Bildung eines HeteroÜbergangs mit verbesserten Eigenschaften polykristallines oder amorphes Silicium zu verwenden, das Sauerstoff enthält. Es wurde nämlich überraschenderweise gefunden, daß die Bandabstands- oder Energiezonenbreite von Silicium mit steigender Sauerstoffkonzentration zunimmt und sich derjenigen von Siliciumdioxid annähert. Diese Feststellung ließ sich mit Hilfe optischer Untersuchungsmethoden bestätigen. Im Rahmen der Erfindung ergibt sich daraus die Bildung eines hervorragenden HeteroÜbergangs zwischen Silicium und sauerstoffdotiertem polykristallinem oder amorphem Silicium.
Die Erfindung und vorteilhafte Einzelheiten werden nachfolgend unter Bezug auf die Zeichnungen in beispielsweisen Ausführungsformen näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 die vergrößerte Prinzipschnittdarstellung einer ersten Ausfuhrungsform eines Halbleiterbauelements mit erfindungsgemäßen Merkmalen;
609846/0740
' 3 ~ I
Fig. 2 die Draufsicht auf das Halbleiterbauelement nach Fig. 1;
Fig. 3A bis 3D verschiedene Schnittdarstellungen eines Halbleiterbauelements im Verlauf einzelner Stufen des Herstellungsprozesses ;
Fig. 4 in graphischer Darstellung den Zusammenhang zwischen der ,
l Sauerstoffkonzentration in Silicium und den Energiekenn- j
werten des Bandabstands;
Fig. 5 in schematischer Darstellung eine Vorrichtung zur Herstellung erfindungsgemäßer Halbleiterbauelemente; \
Fig. 6 die Kennwerte für die Energiezone bzw. den Bandabstand ; bei einer zweiten Aüsführungsform der Erfindung;
Fig. 7A bis 7D verschiedene Schnittdarstellungen eines anderen
Halbleiterbauelements mit erfindungsgemäßen Merkmalen j im Verlauf des Herstellungsprozesses;
! Fig. 8 die graphische Darstellung des Zusammenhangs zwischen der
j Sauerstoffkonzentration in Silicium und dem spezifischen ; Widerstand;
I
j :
; Fig. 9 eine dritte Ausführungsform der Erfindung und
ι Fig.10 verdeutlicht die Bandabstands-Energieverteilung für eine I Aüsführungsform der Erfindung, i
Die Fig. 1, 2 sowie 3A bis 3D dienen zur Verdeutlichung der Erfindung in Anwendung auf einen Transistor, der einen Emitter aus Halbleitermaterial mit breitem Bandabstand aufweist; In einem N-leitenden, einen Kollektor 6 bildenden Siliciumsubsstrat 1 ist ein P -Basis-Bereich 2 durch Diffusion erzeugt, der
19 3
eine Verunreinigungskonzentration von über 10 Atomen/cm aufweist, über dem Bereich 2 ist eine polykristalline oder amorphe Siliciumschicht 3 aufgebracht, die Sauerstoff und eine N-Verunreinigung enthält. Auf der Oberseite der Schicht 3 ist eine polykristalline oder amorphe Siliciumschicht 4 niedergeschlagen, die keinen Sauerstoff, jedoch eine zu N -Leitfähigkeit führende
609846/0740
Verunreinigung enthält. Auf der Siliciumschicht 3 und einem P -Typ Basis-Bereich 7 sind Emitter- bzw. Basiselektroden 9e bzw. 9b niedergeschlagen. Besteht die Elektrode 9e aus Alumi-
■ nium, so ist die Schicht 4 erforderlich. Wird dagegen als Material für die Elektrode 9e eine Cr-Au-Legierung vorgesehen, so kann die Schicht 4 erübrigt werden, da diese Legierung einen sehr guten Kontakt zur Schicht 3 ergibt.
Die Siliciumschicht 3 bildet den Emitter und zwischen der Basis 2 und dem Emitter 3 liegt ein HeteroÜbergang J. Eine Siliciumdioxidschicht 10 überdeckt das Substrat 1. Wie die Draufsicht der Fig. 2 erkennen läßt, weisen die Emitter- und Basiselektroden 9e und 9b eine kammartig ineinandergreifende Flächenanord-
■ nung auf.
Das Herstellungsverfahren für den Transistor nach den Fig. 1 und 2 wird nachfolgend unter Bezug auf die Fig. 3A bis 3D erläutert:
Die Basis 2 wird in dem N -Kollektor erzeugt; sie weist eine
+ 19
P -Verunreinigung in einer Konzentrationsgrößenordnung von 10 bis 10 cm auf. Der in Fig. 1 dargestellte P -Bereich 7 kann vor der Diffusion des Bereichs 2 eindiffundiert sein; er dient als Basis-Bereich.
; Die Schicht 3 enthält Sauerstoff und Phosphor in einer Größen-
20 3
Ordnung i-jn 10 Atome/cm ; sie weist eine Dicke im Bereich von 1000 bis 10 000 S, beispielsweise von 5000 S auf. Die in Fig. 3C ' dargestellte Schicht 4 besitzt eine Dicke von 5000 A .
: Die Sauerstoffdotierung für die Siliciumschicht 3 wird so gewählt ; daß der Bandabstand um mehr als 0,2 eV größer ist als der des J Silicium-Bereichs 2. Die Sauerstoffkonzentration liegt vorzugsweise über 15 Atom%.
Aus der graphischen Darstellung der Fig. 4 ist ersichtlich, daß der Bandabstand, bzw. der Abstand der Energiebänder sich jenem für Siliciumdioxid nähert, wenn die Sauerstoffkonzentration an-
6098 46/0740
Die Korngröße des Siliciuins in der sauerstoffdotierten Silicium- ι schicht 3 beträgt zwischen 50 und 1000 A* . Liegt die Korngröße ;
! unter 50 A , so nähern sich die Eigenschaften jenen von Silicium-!
! dioxid an, 'so daß sich leicht ein unerwünschter Speichereffekt ergibt. Außerdem ist dafür eine niedrige Reaktionstemperatur erforderlich, was zu niedrigen Wachstumsgeschwindigkeiten führt,
; so daß die Produktivität zu wünschen übrig läßt. Liegt die Korn-, größe über 1000 A , so steigt der Leckstrom an.
Die Fig. 5 verdeutlicht eine Einrichtung zur chemischen Erzeugung , eines Dampfniederschlage, insbesondere zur Erzeugung der sauer-. stoffdotierten Siliciumschicht. Ein Reaktionsofen 11 ist mit einer N2-Trägergasquelle 12 über ein Ventil 16 und an eine Silicium : liefernde SiH4-Quelle 13 über ein Ventil 17 angeschlossen. Über ein Ventil 18 ist der Reaktionsofen 11 außerdem mit einer Sauer-, stoff liefernden Quelle (N~0, NO oder NO2) verbunden, während eine die gewünschte Verunreinigung abgebende Quelle 15 (PH3, AsH3, . B2H6+CO2 oder AlCl3) über ein Ventil 19 angeschlossen ist. Das Substrat 1 wird in den Ofen 11 eingebracht und wird auf eine Temperatur im Bereich zwischen 600 und 750 C, beispielsweise auf 650 C aufgeheizt. Als Silicxumspeisequelle dient Monosilan (SiH4)^ da sich damit verhältnismäßig leicht eine gewünschte Siliciumkörngröße bei relativ niedrigen Temperaturen, beispielsweise bei 650 C, erzeugen läßt. Wird SiCl4 als Siliciumlieferant verwendet, so muß die Reaktionstemperatur auf etwa 900°C erhöht werden; dabei jedoch wird die Korngröße leicht zu groß und die Wachstumsgeschwindigkeit ist so stark beschleunigt, daß die Überwachung der richtigen Schichtdicke schwierig wird.
Die Sauerstoffkonzentration wird durch Steuerung der Zufluß-Mengenverhältnisse von N2O zu SiH4 überwacht. Die nachfolgende Tabelle gibt die Beziehung für gleichmäßige Ausbildung der Silicium schichten 3 und 4 an:
6098 U6/0740
26Ί8733
N .μ s Sauerstoff
konzentration
in Atom%		 Energie
(eV)
O (J 1. 1
10
50		 15 i. 3
20
50		 22 1.4
50
50		 30 i.5
100
5(7 		36 i.6
200
50		 44 1.7
250
50		 46 > 1.75
3(JO
50		 47.5 1.77
4(30
50		 50 1.9
2000
50		 SiO? 8.0
Der so hergestellte Transistor erfindungsgemäßer Bauart weist eine hohe Verunreinigungskonzentration bei niedrigem Bahnwiderstand von etwa 0,1 ./!./Flächeneinheit in der Basis auf. Ein solcher Transistor zeichnet sich durch einen sehr hohen Stromverstärkungsfaktor bei hoher Grenzfrequenz von etwa 1 GHz aus. Der Unterschied in den thermischen Ausdehnungskoeffizienten der verschiedenen Schichten ist vernachlässigbar.
Die Fig. 6 sowie 7A bis 7D verdeutlichen eine zweite Ausführungsform der Erfindung in Anwendung auf einen Transistor mit Driftfeldbasis und hohen Grenzfrequenzkennwerten. Transistoren mit einer Basis, in der ein Driftfeld für Minoritätsladungsträger aufgrund des Gradienten der Verunreinigungskonzentration auftritt, sind bekannt. Bei der vorliegenden Ausführungsform entsteht das Driftfeld (Potential) durch den Gradienten
6 0 9 8 4.8 / 0 7 4 0
26Ί8733
des BundabsLands,dor - wie die Fig. 6 zeigt - auf der Emitterseite größer ist. Der erste, linke Abschnitt der Kurve in Fig. entspricht dem ßandabstand im Emitter eines PNP-Transistors; ersichtlicherweise ergibt sich in diesem Bereich ein flacher Verlauf des Bandabstands. Der nächst mittlere Abschnitt der Kurve verdeutlicht den Bandabstand in der Basis; es ist erkennbar, daß der Bandabstand angrenzend an den Emitter größer ist als auf der rechten, also der Kollektorseite. In der Basis eines Transistors, für den die Bandabstandskurven nach Fig. 6 gelten, werden also die Elektronen in der Tendenz nach "unten" und die Löcher nach "oben" gehen. Je größer der Sauerstoffanteil ist, umso größer wird der Bandabstand.
Die Fig. 7A bis 7D verdeutlichen das Verfahren zur Herstellung dieser zweiten Ausführungsform; ein Siliciumsubstrat 23 besteht aus einem N -Hauptteil 21 und einer darüberliegenden N-leitenden Epitaxialschicht 22. Ober der Epitaxialschicht 22 ist eine polykristalline oder amorphe Siliciumschicht 24 aufgebracht. Die Schicht 24 enthält Bor oder Sauerstoff und ist durch chemische Dampfabscheidung aufgebracht. Die Sauerstoffdotierung steigt zur Schichtoberfläche hin an und zwar innerhalb eines Bereichs von 0 bis 50 Atom%. Auch die Bordotierung steigt zur Oberfläche hin an, um die Abnahme der Borwirksamkeit aufgrund des vorhandenen Sauerstoffs zu kompensieren. Auf der Schicht 24 ist (vgl. Fig. 7A) eine kontinuierliche polykristalline oder amorphe Siliciumschicht 25 abgeschieden, die Phosphor oder gleichmäßig verteilten Sauerstoff enthält. Die Schicht 24 bildet eine Basis und die Schicht 25 den Emitter.
Die Schichten 24 und 25 werden nach Aufbringen von Wachs über dem in Fig. 7B angegebenen Abschnitt selektiv geätzt, wobei ein Emitter-Basisübergang Je verbleibt.
Wiederum unter Verwendung einer Wachsschicht 26 werden sodann die Schicht 24 und das Substrat 22 selektiv geätzt, um den in Fig. 7C angegebenen Kollektor-Basisübergang Jc zu erhalten= Ersichtlicherweise ergibt sich damit ein Mesa-Transistor.
■ 609848/0740
Wie die Fiy. 7D zeigt, wird sodann eine Passivierungsschicht aufgebracht. Diese Passivierungsschicht besteht aus einer polykristallinen oder amorphen Siliciumschicht 28, die Sauerstoff enthält und einer v/eiteren darüberliegenden Schicht 29 aus polykristallinen! oder amorphem Stickstoff enthaltendem Silicium oder aus Siliciumdioxid. Wie in Fig. 7D dargestellt, werden sodann die Emitter- und Basiselektroden 32 und 33 niedergeschlagen. Die Schichten werden kontinuierlich durch ein chemisches Dampfniederschlagsverfahren etwa unter Verwendung der Vorrichtung nach Fig. 5 erzeugt. Soll als Schicht 29 eine stickstoffdotierte polykristalline oder amorphe Siliciumschicht entstehen, so wird eine Stickstoff liefernde Quelle (NH-.) 31 mit dem Reaktionsofen 11 über ein Ventil 30 verbunden.
Die Schicht 28 enthält Sauerstoff im Bereich von 2 bis 45 Atom%, vorzugsweise im Bereich von 14 bis 35 Atom%. Die mittlere Siliciumkorngröße beträgt 50 bis 1000 Ä.
Die Fig. 8 veranschaulicht die Sauerstoffkonzentration hinsichtlich ihres Einflusses auf den spezifischen Widerstand der Schicht 28. Die Korngröße beträgt 200 bis 300 S . Wie in der deutschen Patentanmeldung P 25 14 459.2 im einzelnen beschrieben, weist die Schicht 28 gute Passivierungseigenschaften auf. Besteht die Schicht 29 aus stickstoffdotiertem polykristalli-Rem oder amorphem Silicium, so sollte der Stickstoffanteil über 10 Ätom% liegen. Eine solche Schicht bietet einen sehr guten Schutz gegen Wasser oder Wasserdampfeinflüsse, was in Einzelheiten in der Patentanmeldung P 25 47 304.5 erläutert ist.
Die Fig. 9 zeigt die Anwendung der Erfindung auf einen Sperrschicht-Feldeffekttransistor, bei dem der Gate-Übergang ein HeteroÜbergang ist. Auf einem P-leitendem Siliciumsubstrat 41 sind drei N-leitende Einzelbereiche 42A, 42B und 42C ausgebildet. Der Einzelbereich 42B enthält einen P-leitenden Kanal-Bereich 43. Zur Bildung eines Gate-Übergangs 46 ist über dem Kanal-Bereich 4 3 eine Gate-Schicht 44 aus N-leitendem sauerstoffdotiertem amorphem oder kristallinem Silicium niederge-
609846/0740
schlagen. Die Gate-Source- und Drainelektrode sowie die untere Gateelektrode 45, 47, 48 bzw. 49 sind wie in der Zeichnung der Fig. 9 erkennbar angebracht. Ein solcher Feldeffektransistor 5o besitzt eine sehr hohe Eingangsimpedanz.
Im Inselbereich 42A liegt ein Transistor 51 mit einem Emitter mit großem Bandabstand und einem Emitter-Heteroübergang J, Weiterhin befindet sich im Inselbereich 42C ein seitlich daneben angeordneter Transistor 54 mit einem Emitter 52 und einem Kollektor 53.
Die Fig, 10 verdeutlicht das Bandabstandsmodell für eine vierte Ausführungsform der Erfindung in Anwendung auf einen Bipolartransistor, der einen Emitter aus sauerstoffdotiertem polykristallinem oder amorphem Silicium enthält. Die Sauerstoffkonzentration im Emitter steigt zur Oberfläche (gegenüber der Basis) hin an. Das Verfahren zur Erzielung dieser ansteigenden Sauerstoffkonzentration wurde anhand der zweiten Ausführungsform der Erfindung erläutert. Die Bandabstandsenergie für den Emitter steigt also zur Oberfläche hin an, was in Fig. 10 angedeutet ist. Beim in Fig. 10 links angenommenen Emitter steigt die Kurve ersichtlicherweise von unten nach rechts oben an; dies entspricht einem Potential oder Feld, durch das von der Basis in den Emitter injizierte Minoritätsladungsträger zurückgedrückt werden. Daraus folgt für den Transistor ein hoher Emitterwirkungsgrad und ein sehr hoher Stromverstärkungsfaktor h„„. Bei der Ausführungsform
Γ Γι
nach Fig. 10 besteht der Unterschied zur Ausführungsform nach Fig, 6 lediglich darin, daß die unterschiedliche Sauerstoffkonzentration im Emitter liegt, anstatt in der Basis, Dadurch werden in den Emitter gelangende Löcher inhibiert bzw, der Potentialr gradient im Emitter wirkt den von der Basis injizierten Löchern entgegen.
Die Erfindung läßt sich auch auf einen Transistor anwenden, bei dem der Kollektor zur Bildung eines Hetero-Kollektor-Basisübergangs aus polykristallinem oder amorphem Silicium besteht. In die;-sem Fall wäre der dritte (rechte) Abschnitt der Kurve nach den !
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Fig. 10 bzw. 6 geneigt, da in diesem Fall der dritte Kurvenabschnitt einem variierenden Bandabstand im Kollektor entspricht.
Zusammenfassend wurde mit der Erfindung eine Möglichkeit zur Erzeugung von Halbleiterbauelementen mit hervorragenden HeteroÜbergängen geschaffen. Solche Halbleiterbauelemente weisen vorzugsweise eine sauerstoffdotierte polykristalline oder amorphe Siliciumschicht auf dem Substrat zur Bildung des HeteroÜbergangs auf. Ein erfindungsgemäßer Transistor weist vorzugsweise als Emitter-Basisübergang einen HeteroÜbergang auf; er zeichnet sich durch einen sehr hohen Stromverstärkungsfaktor aus.
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Claims (1)

  1. 26Ί8733
    ] SONY CORPORATION
    S76P3O
    Patentansprüche
    1. Halbleiterbauelement mit HeteroÜbergang, g e k e η η zeichnet durch eine erste Siliciumschicht (2) und eine darüber aufgebrachte sauerstoffdotierte polykristalline oder amorphe zweite Siliciumschicht (3), die mit der ersten Schicht den HeteroÜbergang (J) bildet.
    2. Halbleiterbauelement nach Anspruch 1f dadurch gekennzeichnet , daß die Sauerstoffkonzentration in der zweiten Schicht im wesentlichen gleichmäßig verteilt ist.
    3. Halbleiterbauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß die Sauerstoffkonzentration in der zweiten Schicht in Abhängigkeit von der Schichtdicke im wesentlichen gleichmäßig zu- oder abnimmt.
    j 4. Halbleiterbauelement mit HeteroÜbergang, gekennzeich
    net durch ein Halbleitersubstrat (1 bzw. 5f 6) einer ; ersten Leitfähigkeit, einen in dem Halbleitersubstrat angren- ; zend an eine Hauptfläche ausgebildeten ersten Halbleiterbe-ί reich (2) einer zweiten Leitfähigkeitf eine über ausgewählten > Abschnitten des ersten Bereichs erzeugte erste polykristalline oder amorphe Siliciumschicht (3) mit erster Leitfähig- ' keit, die Sauerstoff enthält und durch auf dem ersten Bereich und der ersten polykristallinen oder amorphen Siliciumschicht ausgebildete Elektroden (9b, 9e).
    609846/0740
    ; 5. Halbleiterbauelement nach Anspruch 4, dadurch ge- '· ; kennzeichnet, daß die Elektrode auf der ersten >
    I -
    ' polykristallinen oder amorphen Siliciumschicht aus einer ' ; Legierung von Chrom und Gold hergestellt ist. '
    ■ 6. Halbleiterbauelement nach Anspruch 4,dadurch g e -
    ! kennzeichnet, daß über der ersten Sauerstoff ent- j ! haltenden polykristallinen oder amorphen Siliciumschicht : (3) eine zweite sauerstoffreie polykristalline oder amorphe
    Siliciumschicht (4) ausgebildet ist und daß auf der Oberfläche dieser zweiten Schicht eine Aluminiumelektrode (9e) : angebracht ist.
    7. Halbleiterbauelement nach Anspruch 4, gekennzeichnet durch eine über dem ersten Bereich und der ersten
    Sauerstoff enthaltenden polykristallinen oder amorphen Siliciumschicht (3) aufgebrachte Siliciumdioxidschicht (10).
    8. Halbleiterbauelement nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch eine über dem ersten Bereich und der zwei-
    ! ten sauerstoffreien polykristallinen oder amorphen Siliciumschicht (4) aufgebrachten Siliciumdioxidschicht (10).
    ■ ι
    9. Halbleiterbauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche
    4 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die
    1 9
    Verunreinigungskonzentration im ersten Bereich über 10
    Atome/cm liegt,
    I10. Halbleiterbauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche
    ι ,
    j 4 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß '-ι die erste polykristalline oder amorphe Siliciumschicht Sauer-
    i 20
    stoff und/oder Phosphor in einer Größenordnung von 10
    ι Atome/cm enthält. !
    ι ' I
    11. Halbleiterbauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche I
    I 4 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß j
    j die Dicke der ersten polykristallinen oder amorphen Schicht I
    609848/0740
    "Ij"
    im Bereich zwischen 1000 und 10 000 R liegt.
    12. Halbleiterbauelement nach Anspruch 6,dadurch g e I kennzeichnet, daß die Dicke der zweiten poly-
    I kristallinen oder amorphen Siliciumschicht etwa 5000 A be-
    I trägt.
    .13. Halbleiterbauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche
    ■ 4 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Sauerstoffdotierung für die erste polykristalline oder
    '. amorphe Siliciumschicht so gewählt ist, daß der Bandabstand I um mehr als 0,2 eV größer ist als der des ersten Bereichs.
    ! 14. Halbleiterbauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche 4 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß
    ; die Sauerstoffkonzentration in der ersten polykristallinen oder amorphen Siliciumschicht im Bereich von 15 bis 50 Atom%
    \ liegt.
    15. Halbleiterbauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche ; 4 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die durchschnittliche Korngröße der ersten polykristallinen oder amorphen Siliciumschicht im Bereich von 50 bis 1000 A* liegt.
    j 16. Halbleiterbauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche
    • 4 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß
    ι der Bahnwiderstand des ersten Bereichs etwa 0,1 Ohm/Flächen-
    ■ einheit beträgt.
    17. Halbleiterbauelement mit HeteroÜbergang, gekennzei ch-i
    net durch ein Halbleitersubstrat eines ersten Leiti fähigkeitstyps (21), eine auf dem Substrat ausgebildete I Epitaxialschicht (22) erster Leitfähigkeit, eine auf der ! Epitaxialschicht aufgebrachte und einen Basis-Bereich bil-I dende erste polykristalline oder amorphe Siliciumschicht (24), die Bor und Sauerstoff enthält, wobei die Sauerstoff-
    6098*6/0740
    _ 14 _ 26Ί8733
    dotierung gegen die Oberfläche dieser Schicht zu inner- >
    halb eines Bereichs von 0 bis 50 Atom% zunimmt und durch eine auf der ersten polykristallinen Schicht und dem einen Kollektorbereich bildenden Substrat aufgebrachte zweite polykristalline oder amorphe Siliciumschicht (25), die Phosphor und Sauerstoff in gleichförmiger Verteilung ent- :
    ; hält und einem Emitterbereich bildet. '
    18, Halbleiterbauelement nach Anspruch 17, gekenn-
    zeichnet durch eine über dem Emitter- und Basis-Bereich sowie dem Substrat aufgebrachte erste Passivierungsschicht (28) aus Sauerstoff enthaltendem polykristallinem oder amrophem Silicium.
    19, Halbleiterbauelement nach Anspruch 18, gekennzei chnet durch eine über der ersten Passivierungsschicht aufgebrachten zweiten Passivierungsschicht (28) aus Stickstoff enthaltendem polykristallinem oder amorphem Silicium.
    20, Halbleiterbauelement nach Anspruch 18,dadurch gekennzeichnet, daß über der ersten Passivierungsschicht eine zweite Passivierungsschicht (28) aus Siliciumdioxid aufgebracht ist,
    21, Halbleiterbauelement nach Anspruch 18 oder 19, dadurch gekennzeichnet r daß die erste Passivierungsschicht (27) Sauerstoff in einem Bereich von 2 bis 45 Atom% enthält und daß die mittlere Korngröße dieser Schicht im Bereich von 50 bis 1000 2. liegt.
    22, Halbleiterbauelement nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Passivierungsschicht
    ; (22) mehr als 10 Atom% Stickstoff enthält,
    23. Halbleiterbauelement mit HeteroÜbergang, g e k e η η -
    ! zeichnet durch ein Halbleitersubstrat einer
    ersten Leitfähigkeit (41), einen in dem Substrat ausgebil- ;
    609846/0740
    deten Kanalbereich (4 3) einer zweiten Leitfähigkeit, einen über dem Kanalbereich aufgebrachten Gate-Bereich (44) erster Leitfähigkeit, der durch Sauerstoff dotiertes polykristallines oder amorphes Silicium gebildet ist sowie durch mit dem Kanalbereich verbundene Source- und Drain-Elektroden(47, 48) und einer dazwischen liegenden mit dem Gate-Bereich verbundenen Gate-Elektrode (45).
    24. Halbleiterbauelement nach Anspruch 23, gekennzeichnet durch eine mit dem Substratbereich verbundene untere Gate-Elektrode.
    609846/0740
    Ab
    Leerseite
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